JP6269506B2 - LAMINATE, LAMINATE, PRINTED WIRING BOARD, LAMINATE MANUFACTURING METHOD, AND LAMINATE MANUFACTURING METHOD - Google Patents

LAMINATE, LAMINATE, PRINTED WIRING BOARD, LAMINATE MANUFACTURING METHOD, AND LAMINATE MANUFACTURING METHOD Download PDF

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Description

本発明は、半導体パッケージ用やプリント配線板用に好適な積層体、積層板及びこれらの製造方法、並びにプリント配線板に関する。   The present invention relates to a laminate suitable for a semiconductor package or a printed wiring board, a laminated board, a manufacturing method thereof, and a printed wiring board.

近年、電子機器の小型化、軽量化、及び多機能化が一段と進み、これに伴いLSIやチップ部品等の高集積化が進んできた。そして、その形態も多ピン化、小型化へと急速に変化している。このため積層板においては、電子部品の実装密度を向上させるために、微細配線化の開発が進められている。これらの要求に合致する多層配線板の製造手法として、ガラスクロスを含まない絶縁樹脂をプリプレグの代わりに絶縁層として用い、必要な部分のみビアホールで接続しながら配線層を形成するビルドアップ方式の多層配線板があり軽量化や小型化、微細化に適した手法として主流になりつつある。   In recent years, electronic devices have been further reduced in size, weight, and functionality, and accordingly, high integration of LSIs and chip parts has progressed. And the form is rapidly changing to a multi-pin and miniaturization. For this reason, in order to improve the mounting density of electronic components in the laminated board, development of fine wiring has been advanced. As a manufacturing method of multilayer wiring boards that meet these requirements, a build-up multilayer that uses insulating resin that does not contain glass cloth as an insulating layer instead of prepreg, and forms wiring layers while connecting only necessary parts with via holes. There is a wiring board and it is becoming mainstream as a technique suitable for weight reduction, miniaturization, and miniaturization.

このようなビルドアップ方式の多層配線板は、まず、絶縁樹脂フィルムを内層回路板にラミネートし、加熱により硬化させて、ビルドアップ層を形成する。その後、レーザー加工によりビアホールを形成し、アルカリ過マンガン酸処理等によって粗化処理とスミア処理を行って無電解銅めっきして、第二の回路と層間接続可能とするビアホールを形成させて製造する(特許文献1〜3参照)。ここで、樹脂と無電解銅めっきとの接着力は、樹脂表面の粗さ(アンカー効果)により確保している状況であり、その表面粗さは、Raで0.6μm以上と、表面粗さが大きい状況であった。このような方法では、10μm以下の微細な回路はショート不良やオープン不良が発生することがある。そのため、多層配線板を歩留り良く製造することができない。一方で、粗化形状を小さくすると、無電解銅めっきとの接着力が低下し、ラインが剥離する等の不良が発生する。そのため、平滑な表面で無電解銅めっきと高接着力を示す配線板材料が必要となっていた。   In such a build-up type multilayer wiring board, an insulating resin film is first laminated on an inner circuit board and cured by heating to form a build-up layer. After that, a via hole is formed by laser processing, and a roughening process and a smear process are performed by an alkali permanganate treatment or the like, and electroless copper plating is performed to form a via hole that enables interlayer connection with the second circuit. (See Patent Documents 1 to 3). Here, the adhesive strength between the resin and the electroless copper plating is secured by the roughness of the resin surface (anchor effect), and the surface roughness is 0.6 μm or more in terms of Ra, and the surface roughness. There was a big situation. With such a method, a short circuit or an open defect may occur in a fine circuit of 10 μm or less. Therefore, a multilayer wiring board cannot be manufactured with a high yield. On the other hand, when the roughened shape is reduced, the adhesive force with the electroless copper plating is reduced, and defects such as line peeling occur. Therefore, the wiring board material which shows electroless copper plating and high adhesive force on the smooth surface was needed.

一方、電子機器の薄型化、軽量化に対する要求がますます強くなり、半導体パッケージやプリント配線板の薄型化、高密度化が進んでいる。これらの薄型化、高密度化に対応して電子部品を安定に実装するためには、実装時に生じるそりを抑えることが重要になる。   On the other hand, demands for thinner and lighter electronic devices are increasing, and semiconductor packages and printed wiring boards are becoming thinner and higher in density. In order to stably mount electronic components corresponding to these reductions in thickness and density, it is important to suppress warpage that occurs during mounting.

実装時、半導体パッケージに生じるそりの主な原因の1つが、半導体パッケージに使われている積層板と当該積層板の表面に実装されるシリコンチップとの熱膨張率差である。そのため、半導体パッケージ用積層板においては、熱膨張率をシリコンチップの熱膨張率に近付ける、すなわち低熱膨張率化する努力が行われている。また、積層板の弾性率もそりの原因となるため、そりを低減するには積層板を高弾性化することも有効である。このように、積層板のそりの低減のためには、積層板の低膨張率化及び高弾性化が有効である。   One of the main causes of warpage occurring in the semiconductor package during mounting is a difference in thermal expansion coefficient between the laminated plate used in the semiconductor package and the silicon chip mounted on the surface of the laminated plate. For this reason, efforts are being made to bring the coefficient of thermal expansion close to the coefficient of thermal expansion of the silicon chip, that is, to lower the coefficient of thermal expansion, in the laminated sheet for semiconductor packages. Further, since the elastic modulus of the laminate also causes warping, it is effective to increase the elasticity of the laminate in order to reduce warpage. Thus, in order to reduce the warpage of the laminate, it is effective to reduce the expansion coefficient and increase the elasticity of the laminate.

積層板を低熱膨張率化、高弾性化する手法は種々考えられるが、その中でも積層板用の樹脂の低熱膨張率化や樹脂中の無機充填材の高充填化が知られている。特に無機充填材の高充填化は、低熱膨張率化とともに耐熱性や難燃性の向上も期待できる手法である(特許文献4)。しかし、このように無機充填材の充填量を増やすことは、絶縁信頼性の低下や樹脂とその表面に形成される配線層との密着不足、積層板製造時におけるプレス成形不良の原因となるため、高充填化には限界がある。   Various methods for lowering the thermal expansion coefficient and increasing the elasticity of the laminated board are conceivable. Among them, it is known to lower the thermal expansion coefficient of the resin for the laminated board and to increase the inorganic filler in the resin. In particular, the high filling of the inorganic filler is a technique that can be expected to improve heat resistance and flame retardancy as well as a low thermal expansion coefficient (Patent Document 4). However, increasing the filling amount of the inorganic filler in this manner causes a decrease in insulation reliability, insufficient adhesion between the resin and the wiring layer formed on the surface, and press molding failure during the production of the laminate. There is a limit to the high filling.

また、樹脂の選択或いは改良により、低熱膨張率を達成することが試みられている。例えば、配線板用の樹脂の架橋密度を高め、Tgを高くして熱膨張率を低減する方法が一般的である(特許文献5及び6)。しかしながら、架橋密度を高めることは官能基間の分子鎖を短くすることであるが、一定以上分子鎖を短くすることは、反応の点で限界があり、樹脂強度の低下を引き起こすという問題があった。   In addition, attempts have been made to achieve a low coefficient of thermal expansion by selecting or improving the resin. For example, a method of increasing the crosslinking density of the resin for wiring boards and increasing the Tg to reduce the coefficient of thermal expansion is generally used (Patent Documents 5 and 6). However, increasing the crosslinking density shortens the molecular chain between the functional groups, but shortening the molecular chain beyond a certain level has a limit in terms of reaction, and causes a problem of causing a decrease in resin strength. It was.

上記とは異なる手法として、電子部品(シリコンチップ)の熱膨張率とほぼ合致した熱膨張率を有する層としてガラスフィルムを用い、樹脂とガラスフィルムとをプレスして積層することによって、熱ショックストレスを軽減する試みがなされているが(特許文献7)、用いる樹脂の弾性率が低く熱膨張率が高いため、基板の低そりを実現するには不十分であった。   As a method different from the above, a heat shock stress is obtained by using a glass film as a layer having a coefficient of thermal expansion substantially matching that of an electronic component (silicon chip) and pressing and laminating the resin and the glass film. (Patent Document 7), however, since the elastic modulus of the resin used is low and the coefficient of thermal expansion is high, it is insufficient to realize low warpage of the substrate.

微細配線形成可能に平滑な表面を有する積層板の構成要素として前述したガラスフィルムも有効であると考えられるが、ガラスと銅との化学的な接着性が非常に乏しいことから微細配線を形成するのは困難であると考えられる。   The glass film described above is considered to be effective as a component of a laminate having a smooth surface so that fine wiring can be formed. However, since the chemical adhesion between glass and copper is very poor, fine wiring is formed. Is considered difficult.

特許第3290296号公報Japanese Patent No. 3290296 特許第3654851号公報Japanese Patent No. 3654851 特許第3785749号公報Japanese Patent No. 378549 特開2004−182851号公報JP 2004-182851 A 特開2000−243864号公報JP 2000-243864 A 特開2000−114727号公報JP 2000-114727 A 特許第4657554号公報Japanese Patent No. 4657554

上述したように、ガラスの表面は非常に平滑であるため微細配線形成に有効であると考えられるが無電解銅めっきとの化学的接着力は非常に弱い。従って、10μm以下の微細な回路を形成すると、ショート不良やオープン不良が発生してしまい、歩留り良く製造することができない。さらに、特許文献4〜6の製造方法によって得られた基板は、弾性率が低いため、基板の低そりを実現するには不十分であった。   As described above, since the surface of the glass is very smooth, it is thought that it is effective for forming fine wiring, but the chemical adhesive force with the electroless copper plating is very weak. Therefore, when a fine circuit of 10 μm or less is formed, a short circuit failure or an open failure occurs, and it cannot be manufactured with a high yield. Furthermore, since the board | substrate obtained by the manufacturing method of patent documents 4-6 was low in elasticity, it was inadequate to implement | achieve the low curvature of a board | substrate.

また、特許文献7には、ガラスフィルムと樹脂とを積層してなる基板において、樹脂の性状に関する開示は一切ない。特許文献7では、基板の熱膨張作用に与える影響のみを考慮する必要があると考えられる。すなわち、無電解銅めっきとの接着力を向上させることで必要な部分のみビアホールで接続しながら配線層を形成するビルドアップ方式の多層配線板を形成することは一切考慮されていない。   Further, Patent Document 7 does not disclose at all about the properties of a resin in a substrate formed by laminating a glass film and a resin. In Patent Document 7, it is considered necessary to consider only the influence on the thermal expansion action of the substrate. That is, it is not considered at all to form a build-up type multilayer wiring board in which a wiring layer is formed while connecting only necessary portions by via holes by improving the adhesive force with electroless copper plating.

以上から、本発明は、表面粗さRaが小さくても無電解銅めっきに対して高い接着性を示し、配線高密度化の可能な積層体及び積層板、並びにこれらの製造方法を提供することを目的とする。また、当該積層体又は積層板を用いたプリント配線板を提供することを目的とする。   As described above, the present invention provides a laminate and a laminate that can exhibit high adhesion to electroless copper plating even when the surface roughness Ra is small, and can increase the wiring density, and a method for manufacturing the same. With the goal. Moreover, it aims at providing the printed wiring board using the said laminated body or laminated board.

本発明者らは上記の課題を解決すべく検討を進めた結果、下記本発明により当該課題を解決できることを見出した。すなわち、本発明は下記の通りである。   As a result of investigations to solve the above problems, the present inventors have found that the problems can be solved by the present invention described below. That is, the present invention is as follows.

[1] 1層以上の樹脂組成物層及び1層以上のガラス基板層を有する積層体であって、前記樹脂組成物層が、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)を含む積層体。
[2] 樹脂組成物層が、多官能エポキシ樹脂(A)、エポキシ樹脂硬化剤(B)を含む、[1]に記載の積層体。
[3] 前記フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)の配合割合が、多官能型エポキシ樹脂(A)及びエポキシ樹脂硬化剤(B)の合計100質量部に対して、4〜40質量部である[2]に記載の積層体。
[4] 前記樹脂組成物層及び前記ガラス基板層を合わせた厚さが50〜300μmである[1]〜[3]のいずれかに記載の積層体。
[5] 前記ガラス基板層の厚さが30〜200μmである[1]〜[4]のいずれかに記載の積層体。
[6] 前記樹脂組成物層に含まれる多官能型エポキシ樹脂(A)がビフェニル構造を有する[2]〜[5]のいずれかに記載の積層体。
[7] 前記樹脂組成物層に含まれる多官能型エポキシ樹脂(A)がビフェニル構造を有するアラルキル型エポキシ樹脂である[6]に記載の積層体。
[8] 無機充填材として、平均一次粒径100nm以下の無機充填材(D)を含有する[1]〜[7]のいずれかに記載の積層体。
[9] 前記無機充填材(D)がヒュームドシリカである[8]に記載の積層体。
[10] 前記無機充填材(D)に表面処理が施されている[8]又は[9]に記載の積層体。
[1] A laminate comprising one or more resin composition layers and one or more glass substrate layers, wherein the resin composition layer comprises a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C).
[2] The laminate according to [1], wherein the resin composition layer includes a polyfunctional epoxy resin (A) and an epoxy resin curing agent (B).
[3] The blending ratio of the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C) is 4 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of the polyfunctional epoxy resin (A) and the epoxy resin curing agent (B). The laminate according to [2].
[4] The laminate according to any one of [1] to [3], wherein the combined thickness of the resin composition layer and the glass substrate layer is 50 to 300 μm.
[5] The laminate according to any one of [1] to [4], wherein the glass substrate layer has a thickness of 30 to 200 μm.
[6] The laminate according to any one of [2] to [5], wherein the polyfunctional epoxy resin (A) contained in the resin composition layer has a biphenyl structure.
[7] The laminate according to [6], wherein the polyfunctional epoxy resin (A) contained in the resin composition layer is an aralkyl epoxy resin having a biphenyl structure.
[8] The laminate according to any one of [1] to [7], which contains an inorganic filler (D) having an average primary particle size of 100 nm or less as the inorganic filler.
[9] The laminate according to [8], wherein the inorganic filler (D) is fumed silica.
[10] The laminate according to [8] or [9], wherein the inorganic filler (D) is subjected to a surface treatment.

[11] フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)が、下記式(i)、(ii)及び(iii)で示される構造単位を有する、[1]〜[10]のいずれかに記載の積層体。
〔式中、a、b、c、x、y及びzは、それぞれ平均重合度であって、a=2〜10、b=1〜8、c=3〜20、x=1に対してy+z=2〜300の整数を示し、さらにy=1に対しz≧20であり、x=1〜100、y=1〜200である。R、R'及びR''は、それぞれ独立に、芳香族ジアミン又は脂肪族ジアミンに起因する2価の基であり、複数のR'''は、それぞれ独立に、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸、又は両末端にカルボキシル基を有するオリゴマーに起因する2価の基である。〕
[12] 1層以上の樹脂硬化物層及び1層以上のガラス基板層を含む積層板であって、[1]〜[11]のいずれかに記載の積層体を硬化処理して得られる積層板。
[13] 40℃における貯蔵弾性率が1GPa〜70GPaである[12]に記載の積層板。
[11] The phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C) according to any one of [1] to [10], which has a structural unit represented by the following formulas (i), (ii), and (iii): Laminated body.
[Wherein, a, b, c, x, y and z are average degree of polymerization, respectively, and a = 2 to 10, b = 1 to 8, c = 3 to 20, and y = 1 to z = 1. = 2 to 300, z ≧ 20 with respect to y = 1, x = 1 to 100, and y = 1 to 200. R, R ′ and R ″ are each independently a divalent group derived from an aromatic diamine or an aliphatic diamine, and a plurality of R ′ ″ are each independently an aromatic dicarboxylic acid, aliphatic It is a divalent group derived from dicarboxylic acid or an oligomer having carboxyl groups at both ends. ]
[12] A laminate including one or more cured resin layers and one or more glass substrate layers, the laminate obtained by curing the laminate according to any one of [1] to [11] Board.
[13] The laminate according to [12], wherein the storage elastic modulus at 40 ° C. is 1 GPa to 70 GPa.

[14] 粗化処理後の樹脂硬化物層の表面粗さ(Ra)が0.4μm以下である[12]又は[13]に記載の積層板。
[15] [12]〜[14]のいずれかに記載の積層板の少なくとも一方の面に配線が設けられてなるプリント配線板。
[16] 複数の積層板を含み、少なくとも1の前記積層板が[12]〜[14]のいずれかに記載の積層板である[15]に記載のプリント配線板。
[14] The laminated plate according to [12] or [13], wherein the surface roughness (Ra) of the cured resin layer after the roughening treatment is 0.4 μm or less.
[15] A printed wiring board in which wiring is provided on at least one surface of the laminated board according to any one of [12] to [14].
[16] The printed wiring board according to [15], including a plurality of laminated boards, wherein at least one of the laminated boards is a laminated board according to any one of [12] to [14].

[17] フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)を含む樹脂組成物をガラス基板の表面に塗布して樹脂組成物層を形成する積層体の製造方法。
[18] 樹脂組成物に多官能エポキシ樹脂(A)、エポキシ樹脂硬化剤(B)を含む、[17]記載の積層体の製造方法。
[17] A method for producing a laminate, which comprises applying a resin composition containing a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C) to the surface of a glass substrate to form a resin composition layer.
[18] The method for producing a laminate according to [17], wherein the resin composition contains a polyfunctional epoxy resin (A) and an epoxy resin curing agent (B).

[19] フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)が、下記式(i)、(ii)及び(iii)で表される構造単位を有する、[17]又は[18]に記載の積層体の製造方法。
〔式中、a、b、c、x、y及びzは、それぞれ平均重合度であって、a=2〜10、b=1〜8、c=3〜20、x=1に対してy+z=2〜300の整数を示し、さらにy=1に対しz≧20であり、x=1〜100、y=1〜200である。R、R'及びR''は、それぞれ独立に、芳香族ジアミン又は脂肪族ジアミンに起因する2価の基であり、複数のR'''は、それぞれ独立に、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸、又は両末端にカルボキシル基を有するオリゴマーに起因する2価の基である。〕
[19] The laminate according to [17] or [18], wherein the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C) has a structural unit represented by the following formulas (i), (ii), and (iii): Manufacturing method.
[Wherein, a, b, c, x, y and z are average degree of polymerization, respectively, and a = 2 to 10, b = 1 to 8, c = 3 to 20, and y = 1 to z = 1. = 2 to 300, z ≧ 20 with respect to y = 1, x = 1 to 100, and y = 1 to 200. R, R ′ and R ″ are each independently a divalent group derived from an aromatic diamine or an aliphatic diamine, and a plurality of R ′ ″ are each independently an aromatic dicarboxylic acid, aliphatic It is a divalent group derived from dicarboxylic acid or an oligomer having carboxyl groups at both ends. ]

[20] 前記樹脂組成物層を形成した後に乾燥処理を施す[17]〜[19]のいずれかに記載の積層体の製造方法。
[21] フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)を含む樹脂組成物からなるフィルムを作製し、真空ラミネーター又はロールラミネーターを用いてガラス基板上に前記フィルムを積層した後に、前記フィルムに硬化処理を施す積層板の製造方法。
[22] 樹脂組成物に多官能エポキシ樹脂(A)、エポキシ樹脂硬化剤(B)を含む、[21]に記載の積層板の製造方法。
[20] The method for producing a laminate according to any one of [17] to [19], wherein a drying process is performed after the resin composition layer is formed.
[21] A film made of a resin composition containing a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C) is prepared, and the film is laminated on a glass substrate using a vacuum laminator or a roll laminator, and then the film is cured. The manufacturing method of the laminated board which gives.
[22] The method for producing a laminated board according to [21], wherein the resin composition contains a polyfunctional epoxy resin (A) and an epoxy resin curing agent (B).

[23] フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)が、下記式(i)、(ii)及び(iii)で表される構造単位を有する、[21]又は[22]に記載の積層板の製造方法。
〔式中、a、b、c、x、y及びzは、それぞれ平均重合度であって、a=2〜10、b=1〜8、c=3〜20、x=1に対してy+z=2〜300の整数を示し、さらにy=1に対しz≧20であり、x=1〜100、y=1〜200である。R、R'及びR''は、それぞれ独立に、芳香族ジアミン又は脂肪族ジアミンに起因する2価の基であり、複数のR'''は、それぞれ独立に、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸、又は両末端にカルボキシル基を有するオリゴマーに起因する2価の基である。〕
[24] 前記フィルムを積層した後で前記硬化処理を施す前に、プレス処理を施す[21]〜[23]のいずれかに記載の積層板の製造方法。
[23] The laminate according to [21] or [22], wherein the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C) has a structural unit represented by the following formulas (i), (ii) and (iii): Manufacturing method.
[Wherein, a, b, c, x, y and z are average degree of polymerization, respectively, and a = 2 to 10, b = 1 to 8, c = 3 to 20, and y = 1 to z = 1. = 2 to 300, z ≧ 20 with respect to y = 1, x = 1 to 100, and y = 1 to 200. R, R ′ and R ″ are each independently a divalent group derived from an aromatic diamine or an aliphatic diamine, and a plurality of R ′ ″ are each independently an aromatic dicarboxylic acid, aliphatic It is a divalent group derived from dicarboxylic acid or an oligomer having carboxyl groups at both ends. ]
[24] The method for manufacturing a laminated board according to any one of [21] to [23], in which a press treatment is performed after the film is laminated and before the curing treatment.

本発明によれば、表面粗さRaが小さくても無電解銅めっきに対して高い接着性を示し、配線高密度化の可能な積層体及び積層板、並びにこれらの製造方法を提供することができる。また、当該積層体又は積層板を用いたプリント配線板を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if surface roughness Ra is small, it shows high adhesiveness with respect to electroless copper plating, and provides the laminated body and laminated board which can be wiring high density, and these manufacturing methods. it can. Moreover, the printed wiring board using the said laminated body or laminated board can be provided.

以下、本発明の積層体、積層板、及びこれらの製造方法、並びにプリント配線板について詳細に説明する。
なお、本明細書において、「積層体」とは、その構成成分である熱硬化性樹脂(多官能エポキシ樹脂)が未硬化又は半硬化であるものを意味し、「積層板」とは、その構成成分である熱硬化性樹脂が硬化、あるいは熱硬化性樹脂の90%以上が硬化しているものを意味する。また、熱硬化性樹脂の硬化度は示差走査熱量計から測定される反応率により測定することができる。
Hereinafter, the laminate, the laminate, the production method thereof, and the printed wiring board of the present invention will be described in detail.
In the present specification, the “laminate” means that the thermosetting resin (polyfunctional epoxy resin) that is a component is uncured or semi-cured, and “laminate” It means that the thermosetting resin as a constituent component is cured, or 90% or more of the thermosetting resin is cured. The degree of cure of the thermosetting resin can be measured by the reaction rate measured from a differential scanning calorimeter.

[積層体及び積層板]
本発明の積層体は、1層以上の樹脂組成物層及び1層以上のガラス基板層を有する積層体であって、樹脂組成物層が、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)を含み、好ましくは、多官能型エポキシ樹脂(A)、エポキシ樹脂硬化剤(B)、及び後述する式(i)、(ii)、及び(iii)で表される構造単位を有するフェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)を含む樹脂組成物である。
ここで、本発明に係る樹脂組成物層は、配線板用積層板や多層配線板の層の一部とされる前は、支持体上やガラス基板上等で未硬化又は半硬化状態(いわゆるBステージ状態)で存在する。
また、本発明の積層板は、本発明の積層体を加熱することで樹脂組成物層を硬化させて樹脂硬化物層とすることにより得られる。
ここでガラス基板層として、シリコンチップと同程度に低熱膨張率かつ高弾性率なものを用いることにより、そりが抑制され、割れが生じ難いものとなる。特に、このような積層板は耐熱性の高いガラス基板層を有することで、100℃から樹脂硬化物のTg未満の温度領域において低熱膨張性を顕著に有する。また、樹脂硬化物層中に無機充填材を含有させることで、樹脂硬化物層が低熱膨張性で高弾性なものとなり、当該樹脂硬化物層を含む積層板は、より低膨張性で高弾性率なものとなる。
[Laminate and laminate]
The laminate of the present invention is a laminate having one or more resin composition layers and one or more glass substrate layers, and the resin composition layer includes a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C). Preferably, the polyfunctional epoxy resin (A), the epoxy resin curing agent (B), and a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene having a structural unit represented by the following formulas (i), (ii), and (iii) It is a resin composition containing a modified polyamide resin (C).
Here, the resin composition layer according to the present invention is an uncured or semi-cured state on a support or a glass substrate (so-called a so-called semi-cured state (so-called “so-called”)) before being made a part of a layer of a wiring board laminate or multilayer wiring board. B stage state).
Moreover, the laminated board of this invention is obtained by hardening the resin composition layer by heating the laminated body of this invention, and setting it as a resin cured material layer.
Here, by using a glass substrate layer having a low thermal expansion coefficient and a high elastic modulus as much as those of a silicon chip, warpage is suppressed and cracking is difficult to occur. In particular, such a laminate has a glass substrate layer with high heat resistance, and thus has a low thermal expansion in a temperature range from 100 ° C. to less than Tg of the cured resin. Moreover, by including an inorganic filler in the cured resin layer, the cured resin layer becomes low thermal expansion and high elasticity, and the laminate including the cured resin layer has lower expansion and high elasticity. It will be rate.

(樹脂組成物)
本発明に係る樹脂組成物は、既述の通り、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)を含み、好ましくは、多官能型エポキシ樹脂(A)(以下、「(A)成分」ということがある)、エポキシ樹脂硬化剤(B)(以下、「(B)成分」ということがある)、及び後述の(i)、(ii)、及び(iii)で表される構造単位を有するフェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)(以下、「(C)成分」ということがある)を含む樹脂組成物により形成されてなる。
以下、成分(A)〜(C)について説明する。
(Resin composition)
As described above, the resin composition according to the present invention contains a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C), preferably a polyfunctional epoxy resin (A) (hereinafter referred to as “component (A)”). ), Epoxy resin curing agent (B) (hereinafter sometimes referred to as “component (B)”), and phenol having a structural unit represented by (i), (ii), and (iii) described later It is formed of a resin composition containing a functional hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C) (hereinafter sometimes referred to as “component (C)”).
Hereinafter, components (A) to (C) will be described.

(C)成分:
Component (C):

式中、a、b、c、x、y及びzは、それぞれ平均重合度であって、a=2〜10、b=1〜8、c=3〜20、x=1に対しy+z=2〜300((y+z)/x)の整数を示し、さらにy=1に対しz≧20(z/y)である。R、R'及びR''は、それぞれ独立に、芳香族ジアミン又は脂肪族ジアミンに起因する2価の基であり、複数のR'''は、それぞれ独立に、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸、又は両末端にカルボキシル基を有するオリゴマーに起因する2価の基である。   In the formula, a, b, c, x, y, and z are average polymerization degrees, respectively, and a + 2 = 2 to a = 2-10, b = 1-8, c = 3-20, and x = 1. An integer of ˜300 ((y + z) / x) is shown, and z ≧ 20 (z / y) with respect to y = 1. R, R ′ and R ″ are each independently a divalent group derived from an aromatic diamine or an aliphatic diamine, and a plurality of R ′ ″ are each independently an aromatic dicarboxylic acid, aliphatic It is a divalent group derived from dicarboxylic acid or an oligomer having carboxyl groups at both ends.

樹脂組成物において、(C)成分の配合割合は、例えば、樹脂組成物の樹脂分((C)成分を除く)の合計100質量部に対して4質量部以上が好ましい。また、(A)成分及び(B)成分を含む場合、これらの合計100質量部に対して、4〜40質量部であることが好ましい。この割合で配合することにより、良好な耐熱性を維持したまま、めっき銅と良好な接着強度が得られる。   In the resin composition, the blending ratio of the component (C) is preferably, for example, 4 parts by mass or more with respect to a total of 100 parts by mass of the resin component (excluding the component (C)) of the resin composition. Moreover, when (A) component and (B) component are included, it is preferable that it is 4-40 mass parts with respect to these 100 mass parts in total. By mix | blending in this ratio, plating copper and favorable adhesive strength are obtained, maintaining favorable heat resistance.

このような効果が得られる理由については、必ずしも明らかではないが次のような理由が考えられる。
すなわち、(C)成分であるフェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂は、エポキシ樹脂と反応可能であるため、エポキシ樹脂の良好な耐熱性を維持したまま、樹脂の強靭化が可能となる。さらに、銅との接着性の高いアミド基を多く有するため、めっき銅との高い接着力が得られる。
また、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂が、エポキシ樹脂と相溶性が良いフェノール性水酸基と、エポキシ樹脂と非相容なポリブタジエンを含有するため、その配合割合が例えば、(A)成分及び(B)成分の合計100質量部に対して4〜40質量部の場合、微細な海島構造をより良好に形成することができる。この海島構造の形成により、粗化処理時に海層と島層との粗化量が異なることを利用して、粗化処理時に緻密な形状を形成することが可能となる。この形状は微細でばらつきが少ないため、アンカー効果に起因した高い物理的接着力を発現し、めっき銅との接着性が著しく向上する。
The reason why such an effect is obtained is not necessarily clear, but the following reason can be considered.
That is, since the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C) can react with the epoxy resin, the resin can be toughened while maintaining good heat resistance of the epoxy resin. Furthermore, since it has many amide groups with high adhesiveness with copper, high adhesive force with plated copper can be obtained.
Moreover, since the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin contains a phenolic hydroxyl group that is compatible with the epoxy resin and a polybutadiene that is incompatible with the epoxy resin, the blending ratio thereof is, for example, (A) component and (B ) In the case of 4 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of the components, a fine sea-island structure can be formed better. By forming this sea-island structure, it is possible to form a dense shape during the roughening process by utilizing the fact that the amount of roughening between the sea layer and the island layer differs during the roughening process. Since this shape is fine and has little variation, it exhibits a high physical adhesive force due to the anchor effect, and the adhesiveness with the plated copper is remarkably improved.

なお、(C)成分の配合割合が4質量部以上の場合、海島構造のドメインサイズが大きくなりすぎず、粗化処理後のRaが小さくなる傾向がある。また、樹脂の強靭性が高く、さらに緻密な粗化形状が得られ、良好なめっき銅との接着力が得られる傾向にある。
一方、(C)成分の配合割合が40質量部以下の場合、海島構造のドメインサイズが大きくなりすぎず、無電解めっき銅との良好な接着力が得られる傾向にある。また、良好な耐熱性が得られ、粗化工程時の薬液への耐性にも優れる傾向にある。
In addition, when the mixture ratio of (C) component is 4 mass parts or more, the domain size of a sea island structure does not become large too much, and there exists a tendency for Ra after a roughening process to become small. In addition, the toughness of the resin is high, and a finer rough shape is obtained, and a good adhesive force with the plated copper tends to be obtained.
On the other hand, when the blending ratio of the component (C) is 40 parts by mass or less, the domain size of the sea-island structure does not become too large and good adhesive strength with the electroless plated copper tends to be obtained. Moreover, favorable heat resistance is obtained and it exists in the tendency which is excellent also in the tolerance to the chemical | medical solution at the time of a roughening process.

めっき銅とのより良好な接着性を得ることを考慮して、(C)成分の配合割合は、(A)成分及び(B)成分を含む場合、これらの合計100質量部に対して、5〜25質量部であることがより好ましく、5〜20質量部であることがさらに好ましく、5〜19質量部であることが特に好ましい。   In consideration of obtaining better adhesiveness with the plated copper, the blending ratio of the component (C) is 5 with respect to 100 parts by mass in total when the component (A) and the component (B) are included. It is more preferably ˜25 parts by mass, further preferably 5 to 20 parts by mass, and particularly preferably 5 to 19 parts by mass.

なお、フェノール性水酸基含有ポリアミド樹脂やフェノール性水酸基含有アクリロニトリル−ブタジエン変性ポリアミド樹脂では、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂と比較してエポキシ樹脂との相溶性が良好であるため、海島構造が緻密になりすぎて、粗化処理後に微細な形状を形成することが難しく、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂ほどのめっき銅との接着力を発揮することができない。また、ニトリル基が導入されると吸湿率が高くなり、吸湿時の絶縁性も低下する。   The phenolic hydroxyl group-containing polyamide resin and the phenolic hydroxyl group-containing acrylonitrile-butadiene modified polyamide resin have better compatibility with the epoxy resin than the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene modified polyamide resin. Therefore, it is difficult to form a fine shape after the roughening treatment, and the adhesive strength with the plated copper as much as the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin cannot be exhibited. In addition, when a nitrile group is introduced, the moisture absorption rate is increased, and the insulating property during moisture absorption is also lowered.

(C)成分であるフェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂は、例えば、ジアミンとフェノール性水酸基含有のジカルボン酸、フェノール性水酸基を含有しないジカルボン酸、両末端にカルボキシル基を有するポリブタジエンとをN−メチル−2−ピロリドン(NMP)等の有機溶媒中で、触媒として亜リン酸エステルとピリジン誘導体の存在下でカルボキシル基とアミノ基とを重縮合させることにより合成される。
(C)成分の重量平均分子量は、60,000〜250,000であることが好ましく、80,000〜200,000であることがより好ましい。
The (C) component phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin includes, for example, diamine, phenolic hydroxyl group-containing dicarboxylic acid, dicarboxylic acid not containing phenolic hydroxyl group, and polybutadiene having carboxyl groups at both ends. It is synthesized by polycondensation of a carboxyl group and an amino group in an organic solvent such as 2-pyrrolidone (NMP) in the presence of a phosphite ester and a pyridine derivative as a catalyst.
The weight average molecular weight of the component (C) is preferably 60,000 to 250,000, and more preferably 80,000 to 200,000.

本発明において、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミドの製造に使用するジアミン(ジアミン原料)としては、芳香族ジアミンでも脂肪族ジアミンでもよい。
芳香族ジアミンの具体例としては、ジアミノベンゼン、ジアミノトルエン、ジアミノフェノール、ジアミノジメチルベンゼン、ジアミノメシチレン、ジアミノニトロベンゼン、ジアミノジアゾベンゼン、ジアミノナフタレン、ジアミノビフェニル、ジアミノジメトキシビフェニル、ジアミノジフェニルエーテル、ジアミノジメチルジフェニルエーテル、メチレンジアミン、メチレンビス(ジメチルアニリン)、メチレンビス(メトキシアニリン)、メチレンビス(ジメトキシアニリン)、メチレンビス(エチルアニリン)、メチレンビス(ジエチルアニリン)、メチレンビス(エトキシアニリン)、メチレンビス(ジエトキシアニリン)、イソプロピリデンジアニリン、ジアミノベンゾフェノン、ジアミノジメチルベンゾフェノン、ジアミノアントラキノン、ジアミノジフェニルチオエーテル、ジアミノジメチルジフェニルチオエーテル、ジアミノジフェニルスルホン、ジアミノジフェニルスルホキシド、ジアミノフルオレン等が挙げられる。
In the present invention, the diamine (diamine raw material) used for producing the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide may be an aromatic diamine or an aliphatic diamine.
Specific examples of aromatic diamines include diaminobenzene, diaminotoluene, diaminophenol, diaminodimethylbenzene, diaminomesitylene, diaminonitrobenzene, diaminodiazobenzene, diaminonaphthalene, diaminobiphenyl, diaminodimethoxybiphenyl, diaminodiphenyl ether, diaminodimethyldiphenyl ether, methylene Diamine, methylenebis (dimethylaniline), methylenebis (methoxyaniline), methylenebis (dimethoxyaniline), methylenebis (ethylaniline), methylenebis (diethylaniline), methylenebis (ethoxyaniline), methylenebis (diethoxyaniline), isopropylidenedianiline, Diaminobenzophenone, diaminodimethylbenzophenone, diamino Ntorakinon, diaminodiphenyl thioether, diaminodiphenyl dimethyl diphenyl thioether, diaminodiphenyl sulfone, diaminodiphenyl sulfoxide, diaminofluorene and the like.

脂肪族ジアミンの具体例としては、エチレンジアミン、プロパンジアミン、ヒドロキシプロパンジアミン、ブタンジアミン、ヘプタンジアミン、ヘキサンジアミン、ジアミノジエチルアミン、ジアミノプロピルアミン、シクロペンタンジアミン、シクロヘキサンジアミン、アザペンタンジアミン、トリアザウンデカジアミン等が挙げられる。これら芳香族及び脂肪族ジアミンは、1種のみを用いてもよく、2種以上を混合してもよい。   Specific examples of the aliphatic diamine include ethylenediamine, propanediamine, hydroxypropanediamine, butanediamine, heptanediamine, hexanediamine, diaminodiethylamine, diaminopropylamine, cyclopentanediamine, cyclohexanediamine, azapentanediamine, and triazaundecadiamine. Etc. These aromatic and aliphatic diamines may be used alone or in combination of two or more.

本発明において、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミドの製造に使用するフェノール性水酸基含有ジカルボン酸としては、ヒドロキシイソフタル酸、ヒドロキシフタル酸、ヒドロキシテレフタル酸、ジヒドロキシイソフタル酸、ジヒドロキシテレフタル酸等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。   In the present invention, examples of the phenolic hydroxyl group-containing dicarboxylic acid used in the production of the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide include hydroxyisophthalic acid, hydroxyphthalic acid, hydroxyterephthalic acid, dihydroxyisophthalic acid, dihydroxyterephthalic acid, and the like. It is not limited to these.

本発明において、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミドの製造に使用するフェノール性水酸基を含有しないジカルボン酸(ジカルボン酸原料)としては、芳香族ジカルボン酸でも脂肪族ジカルボン酸でも両末端にカルボキシル基を有するオリゴマーでもよい。芳香族ジカルボン酸の具体例としては、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ビフェニルジカルボン酸、メチレン二安息香酸、チオ二安息香酸、カルボニル二安息香酸、スルホニル安息香酸、ナフタレンジカルボン酸等が挙げられる。   In the present invention, the dicarboxylic acid not containing a phenolic hydroxyl group (dicarboxylic acid raw material) used for the production of a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide is an oligomer having a carboxyl group at both ends, whether aromatic dicarboxylic acid or aliphatic dicarboxylic acid. But you can. Specific examples of the aromatic dicarboxylic acid include phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, biphenyldicarboxylic acid, methylene dibenzoic acid, thiodibenzoic acid, carbonyl dibenzoic acid, sulfonylbenzoic acid, and naphthalenedicarboxylic acid.

脂肪族ジカルボン酸としては、シュウ酸、マロン酸、メチルマロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、マレイン酸、フマル酸、りんご酸、酒石酸、(メタ)アクリロイルオキシコハク酸、ジ(メタ)アクリロイルオキシコハク酸、(メタ)アクリロイルオキシりんご酸、(メタ)アクリルアミドコハク酸や、(メタ)アクリルアミドりんご酸等が挙げられる。   Aliphatic dicarboxylic acids include oxalic acid, malonic acid, methylmalonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, maleic acid, fumaric acid, malic acid, tartaric acid, (meth) acryloyloxysuccinic acid, di (meth) acryloyl Examples thereof include oxysuccinic acid, (meth) acryloyloxymalic acid, (meth) acrylamide succinic acid, and (meth) acrylamide malic acid.

両末端にカルボキシル基を有するポリブタジエンは、数平均分子量200〜10000であることが好ましく、500〜5000のオリゴマーであることがより好ましい。   The polybutadiene having carboxyl groups at both ends preferably has a number average molecular weight of 200 to 10,000, more preferably an oligomer having a molecular weight of 500 to 5,000.

フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)の市販品としては日本化薬株式会社製のBPAM−155が挙げられる。   As a commercial product of the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C), there is BPAM-155 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.

(A)成分:
(A)成分である多官能型エポキシ樹脂とは、分子中に2つ以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であり、フェノールノボラック型エポキシ樹脂や、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、アラルキル型エポキシ樹脂等が挙げられる。なかでも、多官能型エポキシ樹脂として、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂を含むことが好ましい。
(A) component:
The polyfunctional epoxy resin as component (A) is an epoxy resin having two or more epoxy groups in the molecule, such as a phenol novolac epoxy resin, a cresol novolac epoxy resin, an aralkyl epoxy resin, and the like. It is done. Especially, it is preferable that an aralkyl novolak type epoxy resin is included as a polyfunctional type epoxy resin.

アラルキルノボラック型エポキシ樹脂は、ビフェニル構造を有するアラルキルノボラック型エポキシ樹脂であることが好ましい。ビフェニル構造を有するノボラック型エポキシ樹脂とは、分子中にビフェニル誘導体の芳香族環を含有したアラルキルノボラック型のエポキシ樹脂をいい、例えば、下記式(1)(式中、pは、1〜5を示す)で示されるエポキシ樹脂が挙げられる。   The aralkyl novolac type epoxy resin is preferably an aralkyl novolac type epoxy resin having a biphenyl structure. The novolak type epoxy resin having a biphenyl structure refers to an aralkyl novolak type epoxy resin containing an aromatic ring of a biphenyl derivative in the molecule. For example, the following formula (1) (wherein p is 1 to 5) An epoxy resin represented by

なお、上記式で表されるエポキシ樹脂は複数種を組み合せて用いてもよい。また、当該樹脂の市販品としては、日本化薬株式会社製のNC−3000(pが1.7のエポキシ樹脂)、NC−3000−H(pが2.8のエポキシ樹脂)等が挙げられる。   In addition, you may use the epoxy resin represented by the said formula combining multiple types. Moreover, as a commercial item of the said resin, Nippon Kayaku Co., Ltd. NC-3000 (p is 1.7 epoxy resin), NC-3000-H (p is 2.8 epoxy resin), etc. are mentioned. .

(A)多官能エポキシ樹脂の配合量は、樹脂組成物中の割合で20〜80質量%であることが好ましく、40〜70質量%であることがより好ましい。(A)成分の配合量が、20〜80質量%であることで、回路導体との接着強度及びはんだ耐熱性を良好な状態にすることができる。   (A) It is preferable that the compounding quantity of a polyfunctional epoxy resin is 20-80 mass% in the ratio in a resin composition, and it is more preferable that it is 40-70 mass%. (A) When the compounding quantity of a component is 20-80 mass%, adhesive strength with a circuit conductor and solder heat resistance can be made into a favorable state.

(B)成分:
(B)成分であるエポキシ樹脂硬化剤としては、各種フェノール樹脂類、酸無水物類、アミン類、ヒドラジット類等が使用できる。フェノール樹脂類としては、ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂等が使用できる。酸無水物類としては、無水フタル酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、メチルハイミック酸等が使用できる。アミン類として、ジシアンジアミド、ジアミノジフェニルメタン、グアニル尿素等が使用できる。信頼性を向上させるためには、ノボラック型フェノール樹脂であることが好ましい。
(B) component:
As the epoxy resin curing agent as component (B), various phenol resins, acid anhydrides, amines, hydragits and the like can be used. As the phenol resin, a novolac type phenol resin, a resol type phenol resin, or the like can be used. As the acid anhydrides, phthalic anhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, methyl hymic acid, or the like can be used. As the amines, dicyandiamide, diaminodiphenylmethane, guanylurea and the like can be used. In order to improve reliability, a novolac type phenol resin is preferable.

エポキシ樹脂硬化剤の配合量は、エポキシ基に対して0.5〜1.5当量であることが好ましい。エポキシ基に対して0.5〜1.5当量であることで、外層銅との接着性の低下を防ぎ、かつTg(ガラス転移温度)や絶縁性の低下をも防ぐことができる。   It is preferable that the compounding quantity of an epoxy resin hardening | curing agent is 0.5-1.5 equivalent with respect to an epoxy group. By being 0.5-1.5 equivalent with respect to an epoxy group, the fall of adhesiveness with outer layer copper can be prevented, and a Tg (glass transition temperature) and insulation fall can also be prevented.

また、硬化剤の他に、必要に応じて反応促進剤を使用することができる。反応促進剤としては潜在性の熱硬化剤である各種イミダゾール類やBF3アミン錯体が使用できる。樹脂組成物の保存安定性やBステージ状(半硬化状)の樹脂組成物の取り扱い性及びはんだ耐熱性の点から、2−フェニルイミダゾールや2−エチル−4−メチルイミダゾールが好ましく、その配合量はエポキシ樹脂の配合量に対して0.1〜5.0質量%であることが好ましい。In addition to the curing agent, a reaction accelerator can be used as necessary. As the reaction accelerator, various imidazoles and BF 3 amine complexes which are latent thermosetting agents can be used. 2-phenylimidazole and 2-ethyl-4-methylimidazole are preferable from the viewpoints of storage stability of the resin composition, handleability of the B-staged (semi-cured) resin composition, and solder heat resistance. It is preferable that it is 0.1-5.0 mass% with respect to the compounding quantity of an epoxy resin.

樹脂組成物には、平均一次粒径が100nm以下の無機充填材(D)(以下、「(D)成分」ということがある)を含むことが好ましい。(D)成分を含有することで、高弾性率化に加えて、耐熱性、レーザー加工性を向上させることができる。
以下、(D)成分について説明する。
The resin composition preferably contains an inorganic filler (D) having an average primary particle size of 100 nm or less (hereinafter sometimes referred to as “component (D)”). By containing the component (D), in addition to increasing the elastic modulus, the heat resistance and laser processability can be improved.
Hereinafter, the component (D) will be described.

(D)成分:
(D)成分である無機充填材としては、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム等が挙げられる。なかでもヒュームドシリカが好ましい。
無機充填材は、樹脂組成物層上に微細配線を形成する観点から、比表面積が20m2/g以上であることが好ましい。また、めっきプロセスにおける粗化処理後の表面形状を小さくする観点から、平均一次粒径は100nm以下であることが好ましい。
(D) component:
Examples of the inorganic filler (D) include silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum borate, Examples thereof include barium titanate, strontium titanate, calcium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium zirconate, and calcium zirconate. Of these, fumed silica is preferable.
The inorganic filler preferably has a specific surface area of 20 m 2 / g or more from the viewpoint of forming fine wiring on the resin composition layer. Further, from the viewpoint of reducing the surface shape after the roughening treatment in the plating process, the average primary particle size is preferably 100 nm or less.

なお、本明細書における「平均一次粒径」とは、凝集した粒子の平均径、つまり二次粒子径ではなく、凝集していない単体での平均粒子径をいう。当該一次平均粒子径は、例えば、レーザー回折式粒度分布計により測定して求めることができる。   In the present specification, the “average primary particle size” refers to the average particle size of aggregated particles, that is, not the secondary particle size, but the average particle size of single particles that are not aggregated. The primary average particle size can be determined by measuring with a laser diffraction particle size distribution meter, for example.

さらに、無機充填材は、耐湿性を向上させるためにシランカップリング剤等の表面処理剤で表面処理していることが好ましく、分散性を向上させるために疎水性化処理されていることが好ましい。   Furthermore, the inorganic filler is preferably surface-treated with a surface treatment agent such as a silane coupling agent in order to improve moisture resistance, and is preferably hydrophobized to improve dispersibility. .

(D)成分の含有量としては、樹脂組成物中の5〜75体積%であることが好ましく、15〜70体積%であることがより好ましく、30〜70体積%であることがさらに好ましい。無機充填材の含有量が樹脂組成物中の5体積%以上であると、弾性率の向上効果が十分なものとなり、75体積%以下であると、粗化処理後の良好な表面形状を維持することができ、めっき特性及び層間の絶縁信頼性の低下を防ぐことができる。   As content of (D) component, it is preferable that it is 5-75 volume% in a resin composition, It is more preferable that it is 15-70 volume%, It is further more preferable that it is 30-70 volume%. If the content of the inorganic filler is 5% by volume or more in the resin composition, the effect of improving the elastic modulus is sufficient, and if it is 75% by volume or less, a good surface shape after the roughening treatment is maintained. It is possible to prevent deterioration of plating characteristics and interlayer insulation reliability.

平均一次粒径が100nm以下の無機充填材の市販品としては、日本アエロジル株式会社製のAEROSIL R972(商品名)及びAEROSIL R202、扶桑化学社製のPL−1(商品名、比表面積181m2/g)及びPL−7(商品名、比表面積36m2/g)等がある。
既述のような無機充填材は、1種類のみでも構わなく、2種類以上を併用しても構わない。
また、これらの無機充填材は、分散性を高める目的でニーダー、ボールミル、ビーズミル、3本ロール、ナノマイザー等既知の混練方法、分散方法により使用に供してもよい。
Commercially available inorganic fillers having an average primary particle size of 100 nm or less include AEROSIL R972 (trade name) and AEROSIL R202 manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., PL-1 manufactured by Fuso Chemical Co., Ltd. (trade name, specific surface area of 181 m 2 / g) and PL-7 (trade name, specific surface area 36 m 2 / g).
Only one kind of inorganic filler as described above may be used, or two or more kinds may be used in combination.
Further, these inorganic fillers may be used by a known kneading method or dispersion method such as a kneader, ball mill, bead mill, three rolls, or nanomizer for the purpose of improving dispersibility.

本発明に係る樹脂組成物は、既述の(C)成分を必須成分として配合して得られる他、(A)成分、(B)成分、(D)成分、通常の樹脂組成物に使用されるチキソ性付与剤、界面活性剤、カップリング剤等の各種添加剤を適宜配合できる。これらを充分に撹拌した後、泡がなくなるまで静置して樹脂組成物を得ることができる。   The resin composition according to the present invention is obtained by blending the component (C) described above as an essential component, and is also used for the components (A), (B), (D), and ordinary resin compositions. Various additives such as a thixotropic agent, a surfactant, and a coupling agent can be appropriately blended. After sufficiently stirring them, the resin composition can be obtained by standing until there are no bubbles.

本発明に係る樹脂組成物は溶剤中で混合して希釈又は分散させてワニスの形態とすることが作業性の点で好ましい。この溶剤には、メチルエチルケトン、キシレン、トルエン、アセトン、エチレングリコールモノエチルエーテル、シクロヘキサノン、エチルエトキシプロピオネート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン等を使用できる。これらの溶剤は、単独あるいは混合系でもよい。
溶剤の樹脂組成物に対する割合は、樹脂組成物の塗膜形成の設備にあわせて適宜調整すれがよいが、溶剤を除く樹脂組成物の固形分がワニス中8〜40質量%となるように溶剤の使用量を調節することが好ましい。
It is preferable from the viewpoint of workability that the resin composition according to the present invention is mixed in a solvent and diluted or dispersed to form a varnish. Examples of the solvent include methyl ethyl ketone, xylene, toluene, acetone, ethylene glycol monoethyl ether, cyclohexanone, ethyl ethoxypropionate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone and the like. Can be used. These solvents may be used alone or in a mixed system.
The ratio of the solvent to the resin composition may be appropriately adjusted according to the equipment for forming the coating film of the resin composition, but the solvent is used so that the solid content of the resin composition excluding the solvent is 8 to 40% by mass in the varnish. It is preferable to adjust the amount used.

本発明に係る樹脂組成物層は、既述の樹脂組成物(又はこれを含有するワニス)を支持体フィルムやプリプレグ上に塗布して、100〜230℃で1〜10分程度乾燥することで得られる。樹脂組成物層の厚さは、0.5〜100μmであることが好ましく、1〜50μmであることがより好ましい。
使用する支持体フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、テフロン(登録商標)フィルム、ポリイミドフィルム、粗化されていない無粗化銅箔や表面粗さ(Ra)が0.4μm以下である低粗化銅箔、及びアルミ箔等が好ましい。また、これらの支持体フィルムは、樹脂との剥離を容易にするために表面が離型処理されたものを用いても良い。
The resin composition layer according to the present invention is obtained by applying the above-described resin composition (or varnish containing the same) on a support film or prepreg and drying at 100 to 230 ° C. for about 1 to 10 minutes. can get. The thickness of the resin composition layer is preferably 0.5 to 100 μm, and more preferably 1 to 50 μm.
As the support film to be used, a polyethylene terephthalate film, a polyethylene naphthalate film, a polyphenylene sulfide film, a Teflon (registered trademark) film, a polyimide film, a non-roughened copper foil or a surface roughness (Ra) of 0 is used. A low-roughened copper foil, aluminum foil or the like having a thickness of 4 μm or less is preferable. Moreover, you may use for these support body films the surface by which the mold release process was carried out in order to make peeling with resin easy.

(ガラス基板層)
ガラス基板層の厚さとしては、積層体の薄型化を目的としていることや加工性の観点から30〜200μmの薄型のガラスフィルムが好ましく、取り扱いの容易性等実用性を勘案すると厚さは50〜150μmがより好ましい。さらに、積層体の薄型化の観点からは30〜90μmとすることが好ましい。また、ガラス基材の素材としては、ケイ酸アルカリ系ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス等のガラスを使用することができるが、低熱膨張性の観点からケイ素分比率が高いガラスが好ましい。
(Glass substrate layer)
As the thickness of the glass substrate layer, a thin glass film having a thickness of 30 to 200 μm is preferable from the viewpoint of thinning the laminate and workability, and the thickness is 50 considering practicality such as ease of handling. -150 micrometers is more preferable. Furthermore, it is preferable to set it as 30-90 micrometers from a viewpoint of thickness reduction of a laminated body. Further, as a material for the glass substrate, glass such as alkali silicate glass, non-alkali glass, and quartz glass can be used, and glass having a high silicon content is preferable from the viewpoint of low thermal expansion.

樹脂組成物層及びガラス基板層を合わせた厚さは、50〜300μmであることが好ましく、100〜250μmであることがより好ましい。50〜300μmであることでプリント配線板等の製品の薄型化を実現することができる。   The total thickness of the resin composition layer and the glass substrate layer is preferably 50 to 300 μm, and more preferably 100 to 250 μm. When the thickness is 50 to 300 μm, a product such as a printed wiring board can be thinned.

このガラス基板層の熱膨張率は、シリコンチップの熱膨張率(3ppm/℃程度)に近いほど積層体又はこの積層体から得られる積層板のそりが抑制されてよいが、好ましくは8ppm/℃以下であり、より好ましくは6ppm/℃以下であり、さらに好ましくは4ppm/℃以下である。
このガラス基板層の40℃における動的貯蔵弾性率は、大きいほどよいが、好ましくは20GPa以上、より好ましくは25GPa以上、さらに好ましくは30GPa以上である。
As the thermal expansion coefficient of the glass substrate layer is closer to the thermal expansion coefficient (about 3 ppm / ° C.) of the silicon chip, warpage of the laminate or a laminate obtained from the laminate may be suppressed, but preferably 8 ppm / ° C. It is below, More preferably, it is 6 ppm / degrees C or less, More preferably, it is 4 ppm / degrees C or less.
The larger the dynamic storage elastic modulus of this glass substrate layer at 40 ° C., the better. However, it is preferably 20 GPa or more, more preferably 25 GPa or more, and further preferably 30 GPa or more.

(支持体フィルム及び保護フィルム)
本発明の積層体は、その表面に支持体フィルムや保護フィルムを有していてもよい。これら支持体フィルム及び保護フィルムについては、後述の積層体の製造方法の説明において詳細に説明する。
(Support film and protective film)
The laminate of the present invention may have a support film or a protective film on its surface. About these support body films and protective films, it demonstrates in detail in description of the manufacturing method of the below-mentioned laminated body.

[積層体の製造方法]
本発明の積層体の製造方法は、樹脂組成物のガラス基板への塗布や、樹脂組成物からなるフィルムのガラス基板へのラミネート等によって製造することができる。これらのうちラミネートによる方法が、生産が容易である点から好ましい。
以下に各製造方法について詳細に説明する。
[Manufacturing method of laminate]
The manufacturing method of the laminated body of this invention can be manufactured by the application | coating to the glass substrate of a resin composition, the lamination to the glass substrate of the film which consists of a resin composition, etc. Among these, the method using lamination is preferable from the viewpoint of easy production.
Each manufacturing method will be described in detail below.

[塗布による積層体の製造方法]
塗布による製造方法は、既述の樹脂組成物をガラス基板の表面に塗布して樹脂組成物層を形成して積層体を製造する方法である。例えば、有機溶剤に上記の樹脂組成物を溶解し、任意成分である無機充填材が分散したワニスを調製する。このワニスをガラス基板に塗布し、加熱や熱風吹きつけ等によって有機溶剤を乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成する。この樹脂組成物層は、更に半硬化させてもよい。このようにして、樹脂組成物層が形成された積層体を製造することができる。
[Method for producing laminate by coating]
The production method by coating is a method for producing a laminate by coating the above-described resin composition on the surface of a glass substrate to form a resin composition layer. For example, the above resin composition is dissolved in an organic solvent to prepare a varnish in which an inorganic filler as an optional component is dispersed. The resin composition layer is formed by applying the varnish to a glass substrate and drying the organic solvent by heating or blowing hot air. This resin composition layer may be further semi-cured. Thus, the laminated body in which the resin composition layer was formed can be manufactured.

[ラミネートによる積層体の製造方法]
上記の積層体は、真空ラミネートやロールラミネートのような加圧ラミネートにより、本発明に係る樹脂組成物を用いた接着フィルムとガラス基板とをラミネートすることで製造することができる。この接着フィルムについては後述する。また、真空ラミネートやロールラミネートは、市販の真空ラミネーター、ロールラミネーターを使用して行うことができる。
[Manufacturing method of laminate by lamination]
Said laminated body can be manufactured by laminating | stacking the adhesive film using the resin composition which concerns on this invention, and a glass substrate by pressure lamination like vacuum lamination and roll lamination. This adhesive film will be described later. Moreover, vacuum lamination and roll lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator and roll laminator.

なお、上記の樹脂組成物中の多官能型エポキシ樹脂(A)としては、ラミネート時の温度以下で溶融するものが好適に用いられる。例えば、真空ラミネーター又はロールラミネーターを用いてラミネートする場合、一般には140℃以下で行うことから、上記の樹脂組成物中の多官能型エポキシ樹脂(A)は、140℃以下で溶融するものが好ましい。   As the polyfunctional epoxy resin (A) in the resin composition, those that melt at a temperature equal to or lower than the temperature at the time of lamination are suitably used. For example, when laminating using a vacuum laminator or a roll laminator, since it is generally performed at 140 ° C. or lower, the polyfunctional epoxy resin (A) in the above resin composition is preferably melted at 140 ° C. or lower. .

先ず、上記接着フィルムについて説明し、次いで、この接着フィルムを用いたラミネート方法について説明する。   First, the adhesive film will be described, and then a laminating method using the adhesive film will be described.

(接着フィルム)
真空ラミネーターや加圧ラミネーターを用いて積層体を製造する場合、上記の樹脂組成物は接着フィルムとすることが好ましい。
本発明に使用される接着フィルムとしては、次の積層構造を有するものが好適に使用される。
(Adhesive film)
When manufacturing a laminated body using a vacuum laminator or a pressurization laminator, it is preferable that said resin composition is an adhesive film.
As an adhesive film used for this invention, what has the following laminated structure is used suitably.

(1) 支持体フィルム/樹脂組成物層
また、上記(1)の積層構造において、さらに保護フィルムを積層した次の積層構造を有するものも好適に使用される。
(1) Support Film / Resin Composition Layer In the laminated structure of (1), those having the following laminated structure in which a protective film is further laminated are also preferably used.

(2) 支持体フィルム/樹脂組成物層/保護フィルム
保護フィルムは、本発明に係る樹脂組成物に対し支持体フィルムとは反対側に形成され、異物の付着やキズを防止する目的に使用するものである。
なお、これら接着フィルムから支持体フィルム及び保護フィルムを除いたものを、接着フィルム本体と称することがある。
(2) Support Film / Resin Composition Layer / Protective Film The protective film is formed on the side opposite to the support film with respect to the resin composition according to the present invention, and is used for the purpose of preventing the adhesion and scratches of foreign matters. Is.
In addition, what remove | excluded the support body film and the protective film from these adhesive films may be called an adhesive film main body.

上記(1)及び(2)の積層構造を有する接着フィルムは、当業者の公知の方法に従って製造することができる。
上記(1)の接着フィルムを製造する一例としては、有機溶剤に上記の樹脂組成物を溶解し、無機充填材が分散したワニスを調製する。次いで、支持体フィルムを支持体として、このワニスを塗布し、加熱や熱風吹きつけ等によって有機溶剤を乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成すればよい。
上記(2)の接着フィルムを製造する一例としては、有機溶剤に上記の樹脂組成物を溶解し、任意の無機充填材が分散したワニスを調製する。次いで、支持体フィルム及び保護フィルムのいずれか一方に対してこのワニスを塗布し、このワニス上に支持体フィルム及び保護フィルムの他方を配置し、加熱や熱風吹きつけ等によってこのワニスの有機溶剤を乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成すればよい。
The adhesive film having the laminated structure of (1) and (2) can be produced according to a method known to those skilled in the art.
As an example for producing the adhesive film of the above (1), the above resin composition is dissolved in an organic solvent to prepare a varnish in which an inorganic filler is dispersed. Next, the resin composition layer may be formed by applying the varnish using the support film as a support and drying the organic solvent by heating, hot air blowing, or the like.
As an example for producing the adhesive film of the above (2), the above resin composition is dissolved in an organic solvent, and a varnish in which an arbitrary inorganic filler is dispersed is prepared. Next, this varnish is applied to either the support film or the protective film, the other of the support film and the protective film is placed on the varnish, and the organic solvent of the varnish is removed by heating, hot air blowing, or the like. What is necessary is just to form a resin composition layer by making it dry.

これら樹脂組成物層の塗工装置としては、コンマコーター、バーコーター、キスコーター、ロールコーター、グラビアコーター、ダイコーター等、当業者に公知の塗工装置を用いることができ、作製する膜厚によって、適宜選択することが好ましい。
なお、上記の接着フィルムにおいて、樹脂組成物層は半硬化させておいてもよい。
上記の支持体フィルムは、接着フィルムを製造する際の支持体となるものであり、多層プリント配線板を製造する際に、通常、最終的に剥離、又は除去されるものである。
As the coating device for these resin composition layers, a coating device known to those skilled in the art, such as a comma coater, a bar coater, a kiss coater, a roll coater, a gravure coater, a die coater, etc. can be used. It is preferable to select appropriately.
In the above adhesive film, the resin composition layer may be semi-cured.
The above support film serves as a support when producing an adhesive film, and is usually finally peeled off or removed when producing a multilayer printed wiring board.

次に、上記の接着フィルムを用いたラミネート方法の一例について説明する。
接着フィルムが保護フィルムを有している場合には、保護フィルムを除去した後、接着フィルムを加圧及び加熱しながらガラス基板に圧着する。ラミネートの条件は、接着フィルム及びガラス基板を必要によりプレヒートし、圧着温度(ラミネート温度)を好ましくは60℃〜140℃、圧着圧力を好ましくは1〜11kgf/cm2でラミネートすることが好ましい。また、真空ラミネーターを用いる場合、空気圧20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下でラミネートすることが好ましい。また、ラミネートの方法は、バッチ式であっても、ロールでの連続式であってもよい。
上記のように、接着フィルムをガラス基板にラミネートした後、室温付近に冷却する。支持体フィルムは必要に応じて剥離する。
Next, an example of a laminating method using the above adhesive film will be described.
When the adhesive film has a protective film, after removing the protective film, the adhesive film is pressure-bonded to the glass substrate while being pressurized and heated. The lamination is preferably performed by preheating the adhesive film and the glass substrate as necessary, and laminating at a pressure bonding temperature (laminating temperature) of preferably 60 ° C. to 140 ° C. and a pressure bonding pressure of preferably 1 to 11 kgf / cm 2 . Moreover, when using a vacuum laminator, it is preferable to laminate under a reduced pressure with an air pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less. The laminating method may be a batch method or a continuous method using a roll.
As described above, after the adhesive film is laminated on the glass substrate, it is cooled to around room temperature. The support film is peeled off as necessary.

[積層板の製造方法]
次に、積層板の製造方法の具体例を説明する。
[Manufacturing method of laminate]
Next, a specific example of a method for manufacturing a laminated board will be described.

(積層体の加熱硬化による製造例)
既述のラミネートによって得られた積層体において、必要に応じて支持体フィルムを剥離した後、樹脂組成物層を硬化処理して樹脂硬化物層とすることにより、積層板を製造することができる。
(Production example by heat curing of laminate)
In the laminate obtained by the above-described laminate, a laminate can be produced by peeling the support film as necessary and then curing the resin composition layer to obtain a cured resin layer. .

加熱硬化の条件は、150℃〜220℃で20分〜80分の範囲で選択され、より好ましくは、160℃〜200℃で30分〜120分である。離型処理の施された支持体フィルムを使用した場合には、加熱硬化させた後に、支持体フィルムを剥離してもよい。
この方法によると、積層板の製造時に加圧する必要がないため、製造時に割れが生じることが抑制される。
The conditions for heat curing are selected in the range of 20 to 80 minutes at 150 to 220 ° C, more preferably 30 to 120 minutes at 160 to 200 ° C. When a support film subjected to a release treatment is used, the support film may be peeled off after being cured by heating.
According to this method, since it is not necessary to pressurize at the time of manufacture of a laminated board, it is controlled that a crack arises at the time of manufacture.

樹脂硬化物層の厚さは、好ましくは5〜200μmである。5μm以上であると、積層板の割れが抑制される。200μm以下であると、相対的にガラス基板の厚さが大きくなって積層板の低熱膨張率化及び高弾性率化が可能となる。この観点から、樹脂硬化物層の厚さは、より好ましくは10〜150μmであり、さらに好ましくは10〜100μmである。
但し、ガラス基板層の厚さや層の数、及び樹脂硬化物層の層の数によって樹脂硬化物層の厚さの適正範囲は異なるため、上記の範囲に限定されない。
The thickness of the cured resin layer is preferably 5 to 200 μm. If the thickness is 5 μm or more, cracking of the laminate is suppressed. When the thickness is 200 μm or less, the thickness of the glass substrate is relatively increased, so that the thermal expansion coefficient and the high elastic modulus of the laminated plate can be reduced. From this viewpoint, the thickness of the cured resin layer is more preferably 10 to 150 μm, and further preferably 10 to 100 μm.
However, the appropriate range of the thickness of the cured resin layer varies depending on the thickness of the glass substrate layer, the number of layers, and the number of layers of the cured resin layer, and thus is not limited to the above range.

この積層板の40℃における貯蔵弾性率は、好ましくは1〜80GPaである。1GPa以上であると、ガラス基板が保護され、積層板の割れが抑制される。80GPa以下であると、ガラス基板と樹脂硬化物層との熱膨張率の差による応力が抑制され、積層板のそり及び割れが抑制される。この観点から、樹脂硬化物層の貯蔵弾性率は、より好ましくは3〜70GPaであり、さらに好ましくは5〜60GPaである。
積層板の片面又は両面に、銅やアルミニウム等の金属箔を有していてもよい。金属箔は、電気絶縁材料用途で用いるものであれば、特に制限されない。
The storage elastic modulus of this laminate at 40 ° C. is preferably 1 to 80 GPa. A glass substrate is protected as it is 1 GPa or more, and the crack of a laminated board is suppressed. When it is 80 GPa or less, stress due to the difference in coefficient of thermal expansion between the glass substrate and the cured resin layer is suppressed, and warpage and cracking of the laminate are suppressed. From this viewpoint, the storage elastic modulus of the cured resin layer is more preferably 3 to 70 GPa, and further preferably 5 to 60 GPa.
You may have metal foil, such as copper and aluminum, on the single side | surface or both surfaces of a laminated board. The metal foil is not particularly limited as long as it is used for electrical insulating material applications.

(プレス法による製造例)
また、本発明に係る積層板は、プレス法によって製造することができる。
例えば、既述のラミネートによって得られた積層体を、硬化処理を施す前に、プレス法により加熱、加圧して硬化することにより、積層板を製造することができる。
また、既述の接着フィルム及び/又は当該接着フィルムから支持体フィルムや保護フィルムを除去してなる接着フィルム本体と、ガラス基板とを重ね合せ、プレス法により加熱、加圧して硬化することにより、積層板を製造することもできる。
さらに、ガラス基板に樹脂組成物を塗工・乾燥してBステージ状態としたものを重ね合せ、プレス法により加熱、加圧して硬化することにより、積層板を製造することもできる。
(Production example by press method)
Moreover, the laminated board which concerns on this invention can be manufactured by the press method.
For example, a laminate can be produced by curing a laminate obtained by the above-described laminate by heating and pressurizing by a pressing method before performing a curing treatment.
In addition, by overlapping the adhesive film body described above and / or the adhesive film body obtained by removing the support film and the protective film from the adhesive film, and the glass substrate, by heating, pressing and curing by a press method, Laminates can also be manufactured.
Furthermore, a laminated board can also be manufactured by applying and drying a resin composition on a glass substrate and superimposing them in a B-stage state, followed by heating and pressing by a pressing method and curing.

[多層積層板及びその製造方法]
本発明の多層積層板は、複数個の積層板を含む多層積層板であって、少なくとも1個の積層板が前述した本発明の積層板であるものである。
この多層積層板の製造方法には特に制限はない。
例えば、既述の積層板を、既述の接着フィルムから支持体フィルムや保護フィルムを除去してなる接着フィルム本体を介して複数積層して多層化すればよい。
また、積層体を複数枚(例えば、2〜20枚)重ね、積層成形することにより、多層積層板を製造することもできる。具体的には、多段プレス、多段真空プレス、連続成形機、オートクレーブ成形機等を使用し、温度100〜250℃程度、圧力2〜100MPa程度、及び加熱時間0.1〜5時間程度の範囲で成形することができる。
[Multi-layer laminate and its manufacturing method]
The multilayer laminate of the present invention is a multilayer laminate including a plurality of laminates, and at least one laminate is the aforementioned laminate of the present invention.
There is no restriction | limiting in particular in the manufacturing method of this multilayer laminated board.
For example, a plurality of the above-described laminated plates may be laminated to form a multilayer through an adhesive film body obtained by removing the support film and the protective film from the above-described adhesive film.
Moreover, a multilayer laminated board can also be manufactured by laminating | stacking several laminated bodies (for example, 2-20 sheets) and carrying out lamination | stacking shaping | molding. Specifically, using a multi-stage press, a multi-stage vacuum press, a continuous molding machine, an autoclave molding machine, etc., the temperature is about 100 to 250 ° C., the pressure is about 2 to 100 MPa, and the heating time is about 0.1 to 5 hours. Can be molded.

[プリント配線板及びその製造方法]
本発明のプリント配線板は、本発明の積層板の少なくとも一方の面に配線が設けられてなる。また複数の積層板が含まれた構成(多層プリント配線板)の場合もあり、その場合、少なくとも1の積層板が本発明の積層板となっている。
次に、このプリント配線板の製造方法について説明する。
[Printed wiring board and manufacturing method thereof]
The printed wiring board of the present invention is formed by providing wiring on at least one surface of the laminated board of the present invention. Further, there may be a configuration (multilayer printed wiring board) including a plurality of laminated boards. In that case, at least one laminated board is the laminated board of the present invention.
Next, a method for manufacturing this printed wiring board will be described.

(ビアホール等の形成)
上記の積層板を、必要に応じてドリル、レーザー、プラズマ、又はこれらの組み合わせ等の方法により穴あけを行い、ビアホールやスルーホールを形成する。レーザーとしては、炭酸ガスレーザーやYAGレーザー、UVレーザー、エキシマレーザー等が一般的に用いられる。ビアホール等の形成後、酸化剤を用いてデスミア処理してもよい。酸化剤としては、過マンガン酸塩(過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウム等)、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素/硫酸、硝酸が好適であり、過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウム等の水酸化ナトリウム水溶液(アルカリ性過マンガン酸水溶液)がより好適である。
(Formation of via holes)
The above laminated plate is drilled by a method such as drilling, laser, plasma, or a combination thereof as necessary to form a via hole or a through hole. As the laser, a carbon dioxide laser, YAG laser, UV laser, excimer laser, or the like is generally used. After forming the via hole or the like, desmear treatment may be performed using an oxidizing agent. As the oxidizing agent, permanganate (potassium permanganate, sodium permanganate, etc.), dichromate, ozone, hydrogen peroxide / sulfuric acid, nitric acid are suitable, and potassium permanganate, sodium permanganate A sodium hydroxide aqueous solution (alkaline permanganic acid aqueous solution) such as the above is more preferable.

(配線パターンの形成)
その後のパターン形成の方法として、例えば、公知のサブトラクティブ法、セミアディティブ法等を用いることができる。
本発明の積層板又は多層配線板の樹脂硬化物層上にめっき法で回路加工する場合は、まず、粗化処理を行う。この場合の粗化液としては、クロム/硫酸粗化液、アルカリ過マンガン酸粗化液、フッ化ナトリウム/クロム/硫酸粗化液、ホウフッ酸粗化液等の酸化性粗化液を用いることができる。粗化処理としては、例えば、まず膨潤液として、ジエチレングリコールモノブチルエーテルとNaOHとの水溶液を70℃に加温して積層板又は多層配線板を5分間浸漬処理する。次に、粗化液として、KMnO4とNaOHとの水溶液を80℃に加温して10分間浸漬処理する。引き続き、中和液、例えば塩化第一錫(SnCl2)の塩酸水溶液に室温で5分間浸漬処理して中和する。
ここで、粗化処理後の樹脂硬化物層の表面粗さ(Ra)が例えば、0.45μm以下、が好ましく、0.40μm以下が好ましく、0.38μm以下であることが好ましい。0.4μm以下であることで微細配線化が可能となる。
(Formation of wiring pattern)
As a subsequent pattern formation method, for example, a known subtractive method or semi-additive method can be used.
When circuit processing is carried out by plating on the cured resin layer of the laminated board or multilayer wiring board of the present invention, first, roughening treatment is performed. As the roughening liquid in this case, an oxidizing roughening liquid such as a chromium / sulfuric acid roughening liquid, an alkaline permanganic acid roughening liquid, a sodium fluoride / chromium / sulfuric acid roughening liquid, or a borofluoric acid roughening liquid should be used. Can do. As the roughening treatment, for example, as a swelling liquid, an aqueous solution of diethylene glycol monobutyl ether and NaOH is first heated to 70 ° C., and the laminate or multilayer wiring board is immersed for 5 minutes. Next, as a roughening liquid, an aqueous solution of KMnO 4 and NaOH is heated to 80 ° C. and immersed for 10 minutes. Subsequently, it is neutralized by immersing it in a neutralizing solution, for example, an aqueous hydrochloric acid solution of stannous chloride (SnCl 2 ) at room temperature for 5 minutes.
Here, the surface roughness (Ra) of the cured resin layer after the roughening treatment is, for example, preferably 0.45 μm or less, preferably 0.40 μm or less, and preferably 0.38 μm or less. Fine wiring can be achieved when the thickness is 0.4 μm or less.

粗化処理後は、パラジウムを付着させるめっき触媒付与処理を行う。めっき触媒処理は、塩化パラジウム系のめっき触媒液に浸漬して行われる。次に、無電解めっき液に浸漬してめっきプロセス用プライマー層の表面全面に厚さが0.3〜1.5μmの無電解めっき層(導体層)を析出させる無電解めっき処理と行う。   After the roughening treatment, a plating catalyst application treatment for adhering palladium is performed. The plating catalyst treatment is performed by immersing in a palladium chloride plating catalyst solution. Next, an electroless plating treatment is performed by immersing in an electroless plating solution to deposit an electroless plating layer (conductor layer) having a thickness of 0.3 to 1.5 μm on the entire surface of the plating process primer layer.

次にめっきレジストを形成した後に、電気めっき処理を行い所望な箇所に所望の厚みの回路を形成する。無電解めっき処理に使用する無電解めっき液は、公知の無電解めっき液を使用することができ特に制限はない。めっきレジストも公知のめっきレジストを使用することができ、特に制限はない。また、電気めっき処理についても公知の方法によることができ特に制限はない。これらのめっきは銅めっきであることが好ましい。さらに不要な箇所の無電解めっき層をエッチング除去して外層回路を形成することができる。   Next, after forming a plating resist, electroplating is performed to form a circuit with a desired thickness at a desired location. As the electroless plating solution used for the electroless plating treatment, a known electroless plating solution can be used, and there is no particular limitation. As the plating resist, a known plating resist can be used, and there is no particular limitation. Also, the electroplating treatment can be performed by a known method and is not particularly limited. These platings are preferably copper platings. Furthermore, the outer layer circuit can be formed by etching away the electroless plating layer at unnecessary portions.

[多層プリント配線板及びその製造方法]
上記のプリント配線板の一形態として、上記のようにして配線パターンを形成した積層板を複数積層して、多層プリント配線板としてもよい。
この多層プリント配線板を製造するには、上記の配線パターンを形成した積層板を、既述の接着フィルム本体を介して複数積層することによって多層化する。その後、ドリル加工又はレーザー加工によるスルーホール又はブラインドビアホールの形成と、めっき又は導電性ペーストによる層間配線の形成を行う。このようにして、多層プリント配線板を製造することができる。
[Multilayer printed wiring board and manufacturing method thereof]
As one form of the printed wiring board described above, a multilayer printed wiring board may be formed by laminating a plurality of laminated boards on which wiring patterns are formed as described above.
In order to manufacture this multilayer printed wiring board, a multilayer is formed by laminating a plurality of laminated boards on which the above-described wiring pattern is formed via the adhesive film main body described above. Thereafter, through holes or blind via holes are formed by drilling or laser processing, and interlayer wiring is formed by plating or conductive paste. In this way, a multilayer printed wiring board can be manufactured.

[金属箔付きの積層板及び多層積層板、並びにこれらの製造方法]
本発明の積層板及びこれを用いた多層積層板は、片面又は両面に銅やアルミニウム等の金属箔を有する金属箔付きの積層板及び多層積層板であってもよい。
この金属箔付き積層板の製造方法には特に制限はない。例えば、前述のとおり、支持体フィルムとして金属箔を用いることにより、金属箔付き積層板を製造することができる。また、既述のラミネートや塗工により得られた積層体を1枚又は複数枚(例えば2〜20枚)重ね、その片面又は両面に金属箔を配置した構成で積層成形することにより、金属箔付き積層板を製造することもできる。
成形条件は、電気絶縁材料用積層板や多層板の手法が適用でき、例えば、多段プレス、多段真空プレス、連続成形機、オートクレーブ成形機等を使用し、温度100〜250℃程度、圧力2〜100MPa程度、及び加熱時間0.1〜5時間程度の範囲で成形することができる。
[Laminated plate with metal foil and multilayer laminated plate, and production methods thereof]
The laminate of the present invention and the multilayer laminate using the laminate may be a laminate with a metal foil and a multilayer laminate having a metal foil such as copper or aluminum on one side or both sides.
There is no restriction | limiting in particular in the manufacturing method of this laminated sheet with metal foil. For example, as described above, a laminate with a metal foil can be produced by using a metal foil as the support film. In addition, by laminating one or a plurality (for example, 2 to 20) of laminates obtained by the above-described lamination or coating, and laminating and forming the metal foil on one or both sides, a metal foil is obtained. A laminated board can also be manufactured.
The molding conditions can be applied to a laminated plate for an electrical insulating material or a multilayer plate, for example, using a multistage press, a multistage vacuum press, a continuous molding machine, an autoclave molding machine, etc., at a temperature of about 100 to 250 ° C., a pressure of 2 Molding can be performed in a range of about 100 MPa and a heating time of about 0.1 to 5 hours.

次に実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Next, although an Example demonstrates this invention concretely, the scope of the present invention is not limited to these Examples.

(実施例1)(樹脂ワニスAの調製)
(C)成分であるフェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド(日本化薬社製、商品名:BPAM−155)10.2gに、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)を91.4g配合した後、(A)成分であるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬社製、商品名:NC−3000H)40.0g、(B)成分であるビスフェノールAノボラック(三菱化学社製、商品名:YLH129)12.6g、硬化促進剤として2−フェニルイミダゾール(四国化成工業社製、商品名:2PZ)0.4g、(D)成分であるヒュームドシリカ(日本アエロジル社製、商品名:R972)3.6gを添加した後、DMAc及びメチルエチルケトンからなる混合溶剤で希釈した(固形分濃度約25質量%)。その後、分散機(ナノマイザー、商品名、吉田機械興業株式会社製)を用いて、樹脂ワニスAを得た。
(Example 1) (Preparation of resin varnish A)
After blending 91.4 g of N, N-dimethylacetamide (DMAc) with 10.2 g of the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: BPAM-155) as component (C), 12. A) Biphenyl aralkyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: NC-3000H) 40.0 g, component (B) Bisphenol A novolak (Mitsubishi Chemical Co., trade name: YLH129) 6 g, 0.4 g of 2-phenylimidazole (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name: 2PZ) as a curing accelerator, and 3.6 g of fumed silica (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name: R972) as component (D) After the addition, it was diluted with a mixed solvent consisting of DMAc and methyl ethyl ketone (solid content concentration of about 25% by mass). Thereafter, resin varnish A was obtained using a disperser (Nanomizer, trade name, manufactured by Yoshida Kikai Co., Ltd.).

(接着フィルムの製造)
樹脂ワニスAを、厚さ38μmの離型処理ポリエチレンテレフタラート(PET)フィルム(PET−38X、リンテック社製、商品名)の離型処理面にバーコーターを用いて、乾燥後12μmになるように塗布し、140℃で10分間乾燥させて樹脂組成物層を形成した。
(Manufacture of adhesive film)
The resin varnish A is dried to 12 μm by using a bar coater on the release treatment surface of a release-treated polyethylene terephthalate (PET) film (PET-38X, manufactured by Lintec Co., Ltd.) having a thickness of 38 μm. It was applied and dried at 140 ° C. for 10 minutes to form a resin composition layer.

(積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)の製造)
ガラス基板として、日本電気硝子製の極薄ガラスフィルム「OA−10G」(商品名、厚さ100μm)を用いた。このガラス基板の両面上に、作製した接着フィルムをその樹脂組成物層がガラス基板に当接するように配置し、バッチ式の真空加圧ラミネーター「MVLP−500」(名機株式会社製、商品名)を用いてラミネートによって積層した。この際の真空度は30mmHg(40.0hPa)以下であり、温度は90℃、圧力は0.5MPaの設定とした。
室温に冷却後、支持体フィルムを剥がし、180℃の設定の乾燥気中で60分間硬化して、3層構造の積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)を得た。
(Manufacture of laminated board (cured resin layer / glass substrate layer / cured resin layer))
As the glass substrate, an ultrathin glass film “OA-10G” (trade name, thickness 100 μm) manufactured by Nippon Electric Glass was used. On both surfaces of this glass substrate, the prepared adhesive film was placed so that the resin composition layer was in contact with the glass substrate, and a batch-type vacuum pressure laminator “MVLP-500” (made by Meiki Co., Ltd., trade name) ) Was laminated by lamination. The degree of vacuum at this time was 30 mmHg (40.0 hPa) or less, the temperature was set to 90 ° C., and the pressure was set to 0.5 MPa.
After cooling to room temperature, the support film was peeled off and cured in a dry atmosphere set at 180 ° C. for 60 minutes to obtain a three-layer laminate (resin cured product layer / glass substrate layer / resin cured product layer). .

(実施例2)(樹脂ワニスBの調製)
下記表1の配合とした以外は、樹脂ワニスAと同様にして樹脂ワニスBを得た。
(Example 2) (Preparation of resin varnish B)
Resin varnish B was obtained in the same manner as resin varnish A except that the composition shown in Table 1 below was used.

(接着フィルムの製造)
樹脂ワニスBを用いたこと以外は、実施例1と同様に製造した。
(Manufacture of adhesive film)
Manufactured in the same manner as in Example 1 except that the resin varnish B was used.

(積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)の製造)
実施例1の接着フィルムに代えて上記接着フィルムを用いたこと以外は実施例1と同様の操作を行い、3層構造の積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)を得た。
(Manufacture of laminated board (cured resin layer / glass substrate layer / cured resin layer))
The same operation as in Example 1 was performed except that the above adhesive film was used in place of the adhesive film of Example 1, and a three-layer laminate (resin cured product layer / glass substrate layer / resin cured product layer) was obtained. Obtained.

(実施例3)(樹脂ワニスCの調製)
下記表1の配合とした以外は、樹脂ワニスAと同様にして樹脂ワニスCを得た。
(Example 3) (Preparation of resin varnish C)
A resin varnish C was obtained in the same manner as the resin varnish A except that the composition shown in Table 1 was used.

(接着フィルムの製造)
樹脂ワニスCを用いたこと以外は、実施例1と同様に製造した。
(Manufacture of adhesive film)
Manufactured in the same manner as in Example 1 except that the resin varnish C was used.

(積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)の製造)
実施例1の接着フィルムに代えて上記接着フィルムを用いたこと以外は実施例1と同様の操作を行い、3層構造の積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)を得た。
(Manufacture of laminated board (cured resin layer / glass substrate layer / cured resin layer))
The same operation as in Example 1 was performed except that the above adhesive film was used in place of the adhesive film of Example 1, and a three-layer laminate (resin cured product layer / glass substrate layer / resin cured product layer) was obtained. Obtained.

(実施例4)(樹脂ワニスDの調製)
下記表1の配合とした以外は、樹脂ワニスAと同様にして樹脂ワニスDを得た。
(Example 4) (Preparation of resin varnish D)
A resin varnish D was obtained in the same manner as the resin varnish A except that the formulation shown in Table 1 was used.

(接着フィルムの製造)
樹脂ワニスDを用いたこと以外は、実施例1と同様に製造した。
(Manufacture of adhesive film)
Manufactured in the same manner as in Example 1 except that the resin varnish D was used.

(積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)の製造)
実施例1の接着フィルムに代えて上記接着フィルムを用いたこと以外は実施例1と同様の操作を行い、3層構造の積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)を得た。
(Manufacture of laminated board (cured resin layer / glass substrate layer / cured resin layer))
The same operation as in Example 1 was performed except that the above adhesive film was used in place of the adhesive film of Example 1, and a three-layer laminate (resin cured product layer / glass substrate layer / resin cured product layer) was obtained. Obtained.

(実施例5)(樹脂ワニスEの調製)
下記表1の配合とした以外は、樹脂ワニスAと同様にして樹脂ワニスEを得た。
(Example 5) (Preparation of resin varnish E)
Resin varnish E was obtained in the same manner as resin varnish A except that the composition shown in Table 1 below was used.

(接着フィルムの製造)
樹脂ワニスEを用いたこと以外は、実施例1と同様に製造した。
(Manufacture of adhesive film)
Manufactured in the same manner as in Example 1 except that the resin varnish E was used.

(積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)の製造)
実施例1の接着フィルムに代えて上記接着フィルムを用いたこと以外は実施例1と同様の操作を行い、3層構造の積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)を得た。
(Manufacture of laminated board (cured resin layer / glass substrate layer / cured resin layer))
The same operation as in Example 1 was performed except that the above adhesive film was used in place of the adhesive film of Example 1, and a three-layer laminate (resin cured product layer / glass substrate layer / resin cured product layer) was obtained. Obtained.

樹脂硬化物層とガラス基板層を有する積層板を化学粗化するために、膨潤液として、ジエチレングリコールモノブチルエーテル:200ml/L、NaOH:5g/Lの水溶液を作製し、70℃に加温して5分間浸漬処理した。次に、粗化液として、KMnO4:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液を作製し、80℃に加温して10分間浸漬処理した。引き続き、中和液(SnCl2:30g/L、HCl:300ml/L)の水溶液に室温で5分間浸漬処理して中和した。In order to chemically roughen a laminate having a cured resin layer and a glass substrate layer, an aqueous solution of diethylene glycol monobutyl ether: 200 ml / L, NaOH: 5 g / L was prepared as a swelling liquid and heated to 70 ° C. Immersion treatment was performed for 5 minutes. Next, an aqueous solution of KMnO 4 : 60 g / L and NaOH: 40 g / L was prepared as a roughening solution, heated to 80 ° C. and immersed for 10 minutes. Subsequently, it was neutralized by immersing in an aqueous solution of a neutralizing solution (SnCl 2 : 30 g / L, HCl: 300 ml / L) at room temperature for 5 minutes.

[配線板の製造]
樹脂硬化物層とガラス基板層を有する配線板に回路層を形成するために、まず、PdCl2を含む無電解めっき用触媒であるHS−202B(日立化成工業株式会社製)に、室温−10分間浸漬処理し、水洗し、無電解銅めっき用であるめっき液CUST−201(日立化成工業株式会社製)に室温で15分間浸漬し、さらに硫酸銅電解めっきを行った。その後、アニールを180℃で60分間行い厚さ35μmの導体層を形成した。
[Manufacture of wiring boards]
In order to form a circuit layer on a wiring board having a cured resin layer and the glass substrate layer, first, a catalyst for electroless plating containing PdCl 2 HS-202B (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), room temperature -10 It was immersed in water for a minute, washed with water, immersed in a plating solution CUST-201 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) for electroless copper plating at room temperature for 15 minutes, and further subjected to copper sulfate electrolytic plating. Thereafter, annealing was performed at 180 ° C. for 60 minutes to form a conductor layer having a thickness of 35 μm.

次に、めっき導体の不要な箇所をエッチング除去するために、まず銅表面の酸化皮膜を#600のバフロール研磨で除去した後、エッチングレジストを形成し、次いでエッチングし、その後エッチングレジストを除去して、回路形成を行い、樹脂硬化物層とガラス基板層を有する配線板を作製した。   Next, in order to remove unnecessary portions of the plating conductor by etching, first, the oxide film on the copper surface is removed by polishing with # 600, followed by forming an etching resist, then etching, and then removing the etching resist. Then, circuit formation was performed to produce a wiring board having a cured resin layer and a glass substrate layer.

[外層回路との接着強度]
各例で得た配線板の回路層の一部に銅のエッチング処理によって、幅10mm、長さ100mmの部分を形成し、この一端を回路層/樹脂界面で剥がしてつかみ具でつかみ、垂直方向に引張り速度約50mm/分、室温中で引き剥がした時の荷重を測定した。
[Adhesion strength with outer layer circuit]
A part having a width of 10 mm and a length of 100 mm is formed on a part of the circuit layer of the wiring board obtained in each example by a copper etching process. One end of the circuit layer is peeled off at the circuit layer / resin interface, and is gripped with a gripper. The tensile load was about 50 mm / min, and the load when peeled off at room temperature was measured.

[樹脂硬化物層の表面粗さ]
各例で得た配線板の回路層の一部の銅をエッチング処理して除去したことで露出した樹脂硬化物層表面について、菱化システム社製マイクロマップMN5000型を用い、表面粗さRaを測定した。
[Surface roughness of cured resin layer]
For the resin cured material layer surface exposed by etching and removing a part of the copper of the circuit layer of the wiring board obtained in each example, a surface roughness Ra is used using a Ryoka System Co., Ltd. micromap MN5000 type. It was measured.

[288℃はんだ耐熱性]
各例で作製した多層配線板を25mm角に切断し、288±2℃に調整したはんだ浴に浮かべ、ふくれが発生するまでの時間を調べた。
[288 ° C solder heat resistance]
The multilayer wiring board produced in each example was cut into 25 mm squares, floated in a solder bath adjusted to 288 ± 2 ° C., and the time until blistering was examined.

[貯蔵弾性率]
積層板から5mm×30mmの試験片を切り出した。
広域粘弾性測定装置(レオロジ社製、DVE−V4型)を用い、スパン間を20mm、周波数を10Hz、振動変位1〜3μm(ストップ加振)の条件で、40℃における引張貯蔵弾性率を測定した。その結果を表2に示す。
[Storage modulus]
A test piece of 5 mm × 30 mm was cut out from the laminate.
Using a wide-area viscoelasticity measurement device (DVE-V4, manufactured by Rheology), measuring the tensile storage modulus at 40 ° C under the conditions of 20 mm span, 10 Hz frequency, and 1-3 μm vibration displacement (stop excitation) did. The results are shown in Table 2.

表2から明らかなように、本発明の実施例1〜5は平滑な樹脂表面上において,無電解銅めっきと高接着力を示す。さらに、実施例1〜3は288℃はんだ耐熱性にも優れていることから、環境に配慮した配線板を製造することが可能であることがわかる。さらに、実施例1,2,4及び5から、無機充填剤を加えることで、特許文献7ではなし得なかった高弾性な積層板を得ることができた。
以上の結果から、本発明によれば、無電解銅めっきに対して高い接着性を有する高弾性な積層板を提供することができる。
As is apparent from Table 2, Examples 1 to 5 of the present invention show electroless copper plating and high adhesion on a smooth resin surface. Furthermore, since Examples 1-3 are excellent also in 288 degreeC solder heat resistance, it turns out that a wiring board in consideration of the environment can be manufactured. Furthermore, from Examples 1, 2, 4 and 5, by adding an inorganic filler, it was possible to obtain a highly elastic laminate that could not be achieved in Patent Document 7.
From the above results, according to the present invention, it is possible to provide a highly elastic laminate having high adhesion to electroless copper plating.

Claims (15)

1層以上の樹脂組成物層及び1層以上のガラス基板層を有する積層体を硬化処理して得られる積層板であって、前記樹脂組成物層が、多官能型エポキシ樹脂(A)、エポキシ樹脂硬化剤(B)及びフェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)を含み、且つフェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)が、下記式(i)、(ii)及び(iii)で示される構造単位を有する、40℃における貯蔵弾性率が1GPa〜70GPaである積層板

〔式中、a、b、c、x、y及びzは、それぞれ平均重合度であって、a=2〜10、b=1〜8、c=3〜20、x=1に対してy+z=2〜300の整数を示し、さらにy=1に対しz≧20であり、x=1〜100、y=1〜200である。R、R’及びR’’は、それぞれ独立に、芳香族ジアミン又は脂肪族ジアミンに起因する2価の基であり、複数のR’’’は、それぞれ独立に、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸、又は両末端にカルボキシル基を有するオリゴマーに起因する2価の基である。〕
A laminate obtained by curing a laminate having one or more resin composition layers and one or more glass substrate layers, wherein the resin composition layer is a polyfunctional epoxy resin (A), epoxy resin curing agent (B) and only contains phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene modified polyamide resin (C), and phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene modified polyamide resin (C) is a compound represented by the following formula (i), (ii) and (iii) A laminate having a storage unit and a storage elastic modulus at 40 ° C. of 1 GPa to 70 GPa .

[Wherein, a, b, c, x, y and z are average degree of polymerization, respectively, and a = 2 to 10, b = 1 to 8, c = 3 to 20, and y = 1 to z = 1. = 2 to 300, z ≧ 20 with respect to y = 1, x = 1 to 100, and y = 1 to 200. R, R ′ and R ″ are each independently a divalent group derived from an aromatic diamine or an aliphatic diamine, and a plurality of R ′ ″ are each independently an aromatic dicarboxylic acid, aliphatic It is a divalent group derived from dicarboxylic acid or an oligomer having carboxyl groups at both ends. ]
前記フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)の配合割合が、多官能型エポキシ樹脂(A)及びエポキシ樹脂硬化剤(B)の合計100質量部に対して、4〜40質量部である請求項に記載の積層板The blending ratio of the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C) is 4 to 40 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of the polyfunctional epoxy resin (A) and the epoxy resin curing agent (B). Item 2. The laminated sheet according to item 1 . 前記樹脂組成物層及び前記ガラス基板層を合わせた厚さが50〜300μmである請求項1又は2に記載の積層板The laminated plate according to claim 1 or 2 , wherein a total thickness of the resin composition layer and the glass substrate layer is 50 to 300 µm. 前記ガラス基板層の厚さが30〜200μmである請求項1〜のいずれか1項に記載の積層板 Laminate according to any one of claims 1 to 3 the thickness of the glass substrate layer is 30 to 200 [mu] m. 前記樹脂組成物層に含まれる多官能型エポキシ樹脂(A)がビフェニル構造を有する請求項1〜4のいずれか1項に記載の積層板The laminated board of any one of Claims 1-4 in which the polyfunctional epoxy resin (A) contained in the said resin composition layer has a biphenyl structure. 前記樹脂組成物層に含まれる多官能型エポキシ樹脂(A)がビフェニル構造を有するアラルキル型エポキシ樹脂である請求項に記載の積層板The laminate according to claim 5 , wherein the polyfunctional epoxy resin (A) contained in the resin composition layer is an aralkyl epoxy resin having a biphenyl structure. 無機充填材として、平均一次粒径100nm以下の無機充填材(D)を含有する請求項1〜のいずれか1項に記載の積層板The laminated board of any one of Claims 1-6 containing the inorganic filler (D) with an average primary particle diameter of 100 nm or less as an inorganic filler. 前記無機充填材(D)がヒュームドシリカである請求項に記載の積層板The laminate according to claim 7 , wherein the inorganic filler (D) is fumed silica. 前記無機充填材(D)に表面処理が施されている請求項7又は8に記載の積層板The laminate according to claim 7 or 8 , wherein the inorganic filler (D) is subjected to a surface treatment. 粗化処理後の樹脂硬化物層の表面粗さ(Ra)が0.4μm以下である請求項1〜9のいずれか1項に記載の積層板。 The laminate according to any one of claims 1 to 9, wherein the surface roughness (Ra) of the cured resin layer after the roughening treatment is 0.4 µm or less. 請求項1〜10のいずれか1項に記載の積層板の少なくとも一方の面に配線が設けられてなるプリント配線板。 The printed wiring board by which wiring is provided in the at least one surface of the laminated board of any one of Claims 1-10 . 複数の積層板を含み、少なくとも1の前記積層板が請求項1〜10のいずれか1項に記載の積層板である請求項11に記載のプリント配線板。 It includes a plurality of stacked plates, printed wiring board according to claim 11 at least one of said laminate is a laminate according to any one of claims 1 to 10. 多官能型エポキシ樹脂(A)、エポキシ樹脂硬化剤(B)及びフェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)を含む樹脂組成物からなるフィルムを作製し、前記フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(C)が、下記式(i)、(ii)及び(iii)で示される構造単位を有し、
真空ラミネーター又はロールラミネーターを用いてガラス基板上に前記フィルムを積層した後に、前記フィルムに硬化処理を施すことによる、40℃における貯蔵弾性率が1GPa〜70GPaである積層板の製造方法。

〔式中、a、b、c、x、y及びzは、それぞれ平均重合度であって、a=2〜10、b=1〜8、c=3〜20、x=1に対してy+z=2〜300の整数を示し、さらにy=1に対しz≧20であり、x=1〜100、y=1〜200である。R、R’及びR’’は、それぞれ独立に、芳香族ジアミン又は脂肪族ジアミンに起因する2価の基であり、複数のR’’’は、それぞれ独立に、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸、又は両末端にカルボキシル基を有するオリゴマーに起因する2価の基である。〕
A film composed of a resin composition containing a polyfunctional epoxy resin (A), an epoxy resin curing agent (B) and a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (C) is prepared, and the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin ( C) has a structural unit represented by the following formulas (i), (ii) and (iii),
The manufacturing method of the laminated board whose storage elastic modulus in 40 degreeC is 1 GPa-70 GPa by laminating | stacking the said film on a glass substrate using a vacuum laminator or a roll laminator, and giving the said film a hardening process.

[Wherein, a, b, c, x, y and z are average degree of polymerization, respectively, and a = 2 to 10, b = 1 to 8, c = 3 to 20, and y = 1 to z = 1. = 2 to 300, z ≧ 20 with respect to y = 1, x = 1 to 100, and y = 1 to 200. R, R ′ and R ″ are each independently a divalent group derived from an aromatic diamine or an aliphatic diamine, and a plurality of R ′ ″ are each independently an aromatic dicarboxylic acid, aliphatic It is a divalent group derived from dicarboxylic acid or an oligomer having carboxyl groups at both ends. ]
樹脂組成物に、無機充填材として、平均一次粒径100nm以下の無機充填材(D)を含む、請求項13に記載の積層板の製造方法。The manufacturing method of the laminated board of Claim 13 which contains an inorganic filler (D) with an average primary particle diameter of 100 nm or less as an inorganic filler in a resin composition. 前記フィルムを積層した後で前記硬化処理を施す前に、プレス処理を施す請求項13又は14に記載の積層板の製造方法。 The manufacturing method of the laminated board of Claim 13 or 14 which performs a press process after giving the said hardening process after laminating | stacking the said film.
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