JP6259342B2 - Optical fiber sensor - Google Patents

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本発明は、測定対象物に取付けられて、測定対象物の温度、歪み、振動等を計測する光ファイバセンサに関する。   The present invention relates to an optical fiber sensor that is attached to a measurement object and measures temperature, strain, vibration, and the like of the measurement object.

ファイバブラッググレーティング（Ｆｉｂｅｒ Ｂｒａｇｇ Ｇｒａｔｉｎｇ：以下ＦＢＧと略す）を利用して、温度、歪み、振動等を計測する光ファイバセンサが知られている。即ち、光ファイバセンサは、コアと、コアの周囲を覆うように設けられたクラッドと、クラッドの周囲を覆うように設けられた樹脂コーティング等による保護層とを備えた光ファイバに、入力する光の進行方向に沿ってグレーティング（回折格子）が書き込まれて作製され、光ファイバに書き込まれたグレーティングのピッチが歪みや温度によって変化すると、その変化に応じてグレーティングから光のピーク波長（ブラッグ波長）が変化すること、あるいはグレーティングを透過する光のスペクトルが変化（ディップ光の中心波長が変化）することを利用したセンサである。
当該光ファイバセンサを測定対象物に取付ける場合、光ファイバセンサを例えば接着剤又は溶接を用いて測定対象物に取付けるようにしていた。
例えば、測定対象物に図外の型枠を設置して型枠の成型空間内に光ファイバセンサを配置し、光ファイバセンサの周囲を覆うように成型空間内に接着剤等の合成樹脂を充填して固化させることで、図７（ａ）：図７（ｂ）に示すように、光ファイバセンサ２０の周囲を覆うように合成樹脂製の取付部２１を形成し、当該取付部２１を測定対象物に接着等で取付けることにより、光ファイバセンサ２０を測定対象物に取付けるようにしていた。
また、図８に示すように、測定対象物３０が金属の場合は、光ファイバセンサ２０を溶接３１によって測定対象物３０に接着するようにしていた（例えば特許文献１；２等参照）。 2. Description of the Related Art Optical fiber sensors that measure temperature, strain, vibration, and the like using a fiber Bragg grating (hereinafter abbreviated as FBG) are known. That is, the optical fiber sensor is configured to input light to an optical fiber including a core, a clad provided so as to cover the periphery of the core, and a protective layer such as a resin coating provided so as to cover the periphery of the clad. When the pitch of the grating written on the optical fiber changes with strain or temperature, the peak wavelength of light from the grating (Bragg wavelength) is changed according to the change. Or a change in the spectrum of the light transmitted through the grating (the center wavelength of the dip light changes).
When the optical fiber sensor is attached to the measurement object, the optical fiber sensor is attached to the measurement object using, for example, an adhesive or welding.
For example, an unillustrated mold is placed on the measurement object, an optical fiber sensor is placed in the molding space of the mold, and a synthetic resin such as an adhesive is filled in the molding space so as to cover the periphery of the optical fiber sensor. 7 (a): As shown in FIG. 7 (b), the synthetic resin mounting portion 21 is formed so as to cover the periphery of the optical fiber sensor 20, and the mounting portion 21 is measured. The optical fiber sensor 20 is attached to the measurement object by attaching it to the object by adhesion or the like.
As shown in FIG. 8, when the measurement object 30 is a metal, the optical fiber sensor 20 is bonded to the measurement object 30 by welding 31 (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

特開２００１−２９６１１０号公報JP 2001-296110 A 特開２０１２−２１１８６８号公報JP 2012-2111868 A

しかしながら、光ファイバセンサの周囲を覆う合成樹脂と光ファイバセンサの保護層の周面との接着性や、光ファイバセンサの周囲を覆う溶接母剤と光ファイバセンサの保護層の周面との接着性が十分に確保されず、光ファイバセンサの周囲を覆う接着剤や溶接母剤と光ファイバセンサの保護層の周面とに滑りが発生し、測定対象物からの変位情報が光ファイバセンサに正確に伝達されないという問題があった。
本発明は、測定対象物に取付けられた場合、測定対象物からの変位情報が光ファイバセンサに正確に伝達される光ファイバセンサを提供するものである。 However, adhesion between the synthetic resin covering the periphery of the optical fiber sensor and the peripheral surface of the protective layer of the optical fiber sensor, and adhesion between the weld matrix covering the periphery of the optical fiber sensor and the peripheral surface of the protective layer of the optical fiber sensor. Is not sufficiently secured, slippage occurs between the adhesive or welding matrix covering the periphery of the optical fiber sensor and the peripheral surface of the protective layer of the optical fiber sensor, and displacement information from the measurement object is transferred to the optical fiber sensor. There was a problem that it was not transmitted accurately.
The present invention provides an optical fiber sensor in which displacement information from a measurement object is accurately transmitted to the optical fiber sensor when attached to the measurement object.

本発明に係る光ファイバセンサは、コアと、コアの周囲を覆うように設けられたクラッドと、クラッドの周囲を覆うように設けられた保護層とを備えるとともに、ファイバブラッググレーティングを有した光ファイバセンサであって、外周面に、当該外周面を覆うように設けられる周囲材料との間の滑り抑制するための節を備えたので、測定対象物に取付けられた場合、周囲材料と光ファイバセンサの外周面との間の滑りが抑制され、測定対象物からの変位情報が光ファイバセンサに正確に伝達される。
また、節は、保護層の一部が除去された部分にクラッドと一体化するように設けられたので、節とクラッドとの滑りを抑制でき、測定対象部の変位情報が光ファイバセンサに正確に伝達されるようになる。
また、クラッドがガラスにより形成され、節が、クラッドのガラスと一体化したガラスにより形成されたので、節とクラッドとの滑りが発生しなくなり、測定対象部の変位情報が光ファイバセンサに正確に伝達されるようになる。
また、節が、測定対象部に取付けられる光ファイバセンサの検知部分の両端に設けられたので、測定対象物に取付けられた場合、測定対象部と光ファイバセンサとが同じ変位で伸縮するようになるので、光ファイバセンサによる正確な測定が可能となる。 An optical fiber sensor according to the present invention includes a core, a cladding provided to cover the periphery of the core, and a protective layer provided to cover the periphery of the cladding, and an optical fiber having a fiber Bragg grating Since the sensor is provided with a node on the outer peripheral surface for preventing slippage between the outer peripheral surface and the surrounding material, the peripheral material and the optical fiber sensor when attached to the measurement object. Slip between the outer peripheral surface and the displacement information from the measurement object is accurately transmitted to the optical fiber sensor.
In addition, since the node is provided so as to be integrated with the clad at the part where the protective layer is partially removed, the slip between the node and the clad can be suppressed, and the displacement information of the measurement target portion is accurate to the optical fiber sensor. Will be transmitted to.
In addition, since the clad is formed of glass and the node is formed of glass integrated with the glass of the clad, slip between the node and the clad does not occur, and the displacement information of the measurement target portion is accurately transmitted to the optical fiber sensor. Be transmitted.
In addition, since the nodes are provided at both ends of the detection part of the optical fiber sensor attached to the measurement target part, when attached to the measurement target, the measurement target part and the optical fiber sensor expand and contract with the same displacement. Therefore, accurate measurement by the optical fiber sensor becomes possible.

（ａ）は光ファイバセンサを示す図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図（尚、（ｂ）：（ｃ）では、断面ハッチングを省略して図示した）。(A) is a figure which shows an optical fiber sensor, (b) is AA sectional drawing of (a), (c) is BB sectional drawing of (a) (In addition, in (b) :( c), (The cross-sectional hatching is omitted for illustration). 光ファイバセンサの製作手順を示す図。The figure which shows the manufacture procedure of an optical fiber sensor. 光ファイバセンサの製作方法の一例を示す図。The figure which shows an example of the manufacturing method of an optical fiber sensor. 光ファイバセンサに取付部を形成するための型枠を示す斜視図。The perspective view which shows the formwork for forming an attaching part in an optical fiber sensor. 取付部付きの光ファイバセンサの形成する方法の一例を示す図。The figure which shows an example of the method of forming an optical fiber sensor with an attachment part. 取付部付きの光ファイバセンサを示す斜視図。The perspective view which shows an optical fiber sensor with an attachment part. 従来例を示す図。The figure which shows a prior art example. 従来例を示す図。The figure which shows a prior art example.

図１に示すように、実施形態による光ファイバセンサ２は、コア２ａと、コア２ａの周囲を覆うように設けられたクラッド２ｂと、クラッド２ｂの周囲を覆うように設けられた樹脂コーティング等による保護層２ｃとを備え、保護層２ｃの一部が除去された部分に充填された充填材による節１を外周面に備えた構成である。   As shown in FIG. 1, the optical fiber sensor 2 according to the embodiment includes a core 2a, a clad 2b provided so as to cover the periphery of the core 2a, a resin coating provided so as to cover the periphery of the clad 2b, and the like. And a protective layer 2c, and the outer peripheral surface includes a node 1 made of a filler filled in a portion from which a part of the protective layer 2c has been removed.

即ち、光ファイバセンサ２は、保護層２ｃの外周面よりも外方に盛り上がるように形成された節１、即ち、当該光ファイバセンサ２の外周面を覆うように設けられることになる合成樹脂や溶接母剤等の周囲材料と当該光ファイバセンサ２の外周面との間の滑り（光ファイバセンサの周方向及び軸方向の滑り）を抑制するための節１を備えた構成である。   That is, the optical fiber sensor 2 is provided so as to cover the node 1 formed so as to rise outward from the outer peripheral surface of the protective layer 2c, that is, the synthetic resin or the like that covers the outer peripheral surface of the optical fiber sensor 2. This is a configuration provided with a node 1 for suppressing slippage (slip in the circumferential direction and axial direction of the optical fiber sensor) between a surrounding material such as a welding matrix and the outer peripheral surface of the optical fiber sensor 2.

光ファイバセンサ２は、上述したＦＢＧを備え、ＦＢＧを利用して、温度、歪み、振動等を計測するセンサである。
コア２ａ及びクラッド２ｂは、光に対して透過率の異なるガラスまたはプラスチックで形成され、コア２ａの屈折率とクラッド２ｂの屈折率とが異なることにより、全反射や屈折により光を中心部のコア２ａに伝播させる構造になっている。 The optical fiber sensor 2 includes the above-described FBG and is a sensor that measures temperature, strain, vibration, and the like using the FBG.
The core 2a and the clad 2b are made of glass or plastic having different transmittances with respect to light, and the refractive index of the core 2a is different from the refractive index of the clad 2b. 2a is propagated to 2a.

光ファイバセンサ２は、図２に示すように、節１を備えた光ファイバセンサ２の元になる光ファイバセンサ２Ａ（図２（ａ）参照）の保護層２ｃの一部を剥離させた剥離部３を備えた光ファイバセンサ２Ｂを製作（図２（ｂ）参照）した後、この光ファイバセンサ２Ｂの剥離部３の周囲を取り囲むように節１が形成された構成（図２（ｃ）参照）である。   As shown in FIG. 2, the optical fiber sensor 2 is peeled off by removing a part of the protective layer 2 c of the optical fiber sensor 2 </ b> A (see FIG. 2A) that is the base of the optical fiber sensor 2 having the node 1. A configuration in which a node 1 is formed so as to surround the periphery of the peeling portion 3 of the optical fiber sensor 2B after the optical fiber sensor 2B having the portion 3 is manufactured (see FIG. 2B) (see FIG. 2C). Reference).

剥離部３は、例えば、レーザや高周波加熱源などを用いて光ファイバセンサ２Ａ（図２（ａ）参照）の保護層２ｃの一部を剥離することにより形成される。
コア２ａ及びクラッド２ｂがガラスにより形成されている場合、節１は、クラッド２ｂのガラスと一体化するように例えば低融点ガラスペーストを用いて形成すれば、節１がクラッド２ｂに強固に一体化されて形成されるので、節１とクラッド２ｂとの滑りが発生しなくなる。
節１は、測定対象部に取付けられる光ファイバセンサ２による測定間隔に対応する所定間隔を隔てた２点にそれぞれ設けられている。即ち、節１は、測定対象部に取付けられる光ファイバセンサ２の検知部分の両端に設けられている。 The peeling part 3 is formed by peeling a part of the protective layer 2c of the optical fiber sensor 2A (see FIG. 2A) using, for example, a laser or a high frequency heating source.
When the core 2a and the clad 2b are formed of glass, if the node 1 is formed using, for example, a low melting point glass paste so as to be integrated with the glass of the clad 2b, the node 1 is firmly integrated with the clad 2b. Therefore, the slip between the node 1 and the clad 2b does not occur.
The nodes 1 are respectively provided at two points separated by a predetermined interval corresponding to the measurement interval by the optical fiber sensor 2 attached to the measurement target portion. That is, the nodes 1 are provided at both ends of the detection portion of the optical fiber sensor 2 attached to the measurement target portion.

従って、光ファイバセンサ２は、測定対象部に取付けられる光ファイバセンサ２の検知部分の両端にそれぞれ節１を備え、光ファイバセンサ２の検知部分が測定対象部に取付けられた場合、光ファイバセンサ２の外周面を覆うように設けられることになる合成樹脂や溶接母剤等の周囲材料と当該光ファイバセンサ２の外周面との間の滑りが抑制されるとともに、節１とクラッド２ｂとの滑りも発生しない。よって、測定対象部の変位情報が光ファイバセンサ２に正確に伝達され、測定対象部と光ファイバセンサ２とが同じ変位で伸縮するようになるので、光ファイバセンサ２による正確な測定が可能となる。
尚、光ファイバセンサ２は、光ファイバセンサ２Ｂの剥離部３の周囲を覆う節１を備えているので、クラッド２ｂの表面に傷やマイクロクラックが発生することを防止できる。 Accordingly, the optical fiber sensor 2 includes the nodes 1 at both ends of the detection portion of the optical fiber sensor 2 attached to the measurement target portion, and when the detection portion of the optical fiber sensor 2 is attached to the measurement target portion, the optical fiber sensor 2 is prevented from slipping between a peripheral material such as a synthetic resin or a welding base material to be provided so as to cover the outer peripheral surface of the optical fiber sensor 2 and the outer peripheral surface of the optical fiber sensor 2, and between the node 1 and the clad 2b. No slipping occurs. Therefore, the displacement information of the measurement target part is accurately transmitted to the optical fiber sensor 2, and the measurement target part and the optical fiber sensor 2 expand and contract with the same displacement, so that accurate measurement by the optical fiber sensor 2 is possible. Become.
In addition, since the optical fiber sensor 2 is provided with the node 1 which covers the circumference | surroundings of the peeling part 3 of the optical fiber sensor 2B, it can prevent that a crack and a microcrack generate | occur | produce on the surface of the clad 2b.

上述した節１を備えた光ファイバセンサ２の形成方法の一例を説明する。
まず、例えば図３（ａ）に示すように、金属面４上に、光ファイバセンサ２の保護層２ｃの直径に対応した断面半円形の溝５、及び、この溝５の延長方向に沿った測定間隔に対応する所定間隔を隔てた溝５の２地点にそれぞれ節１を形成するための凹部(ディンプル)６を形成した節形成装置を用意する。
そして、上述したように、節１を備えた光ファイバセンサ２の元になる光ファイバセンサ２Ａの測定間隔に対応する所定間隔を隔てた２点において、保護層２ｃを剥離させた剥離部３を備えた光ファイバセンサ２Ｂを製作する。
そして、この光ファイバセンサ２Ｂの剥離部３が凹部６に配置されるように光ファイバセンサ２Ｂを溝５に設置する（３（ｂ）参照）。
そして、凹部６に例えば低融点ガラスを充填して固化させることで、光ファイバセンサ２Ｂの剥離部３の回りに低融点ガラスによる節１が形成された光ファイバセンサ２が完成する（図３（ｃ）参照）。
尚、低融点ガラスは、融解ののち自己の張力により球状態となり、節１を形成する。節１を形成したガラス球は、クラッド２ｂの周囲と融体してクラッド２ｂと一体化するが、クラッド２ｂとコア２ａ間の物理的位置関係は保持されるので、コア２ａ内の全反射が補償される。 An example of a method for forming the optical fiber sensor 2 having the above-described clause 1 will be described.
First, as shown in FIG. 3A, for example, a groove 5 having a semicircular cross section corresponding to the diameter of the protective layer 2c of the optical fiber sensor 2 and the extending direction of the groove 5 are formed on the metal surface 4. A knot forming device is provided in which recesses (dimples) 6 for forming knots 1 are formed at two points of the groove 5 at a predetermined interval corresponding to the measurement interval.
Then, as described above, the peeling portion 3 from which the protective layer 2c is peeled off at two points separated by a predetermined interval corresponding to the measurement interval of the optical fiber sensor 2A that is the base of the optical fiber sensor 2 provided with the node 1. The provided optical fiber sensor 2B is manufactured.
And the optical fiber sensor 2B is installed in the groove | channel 5 so that the peeling part 3 of this optical fiber sensor 2B may be arrange | positioned in the recessed part 6 (refer 3 (b)).
Then, the recess 6 is filled with, for example, low melting point glass and solidified to complete the optical fiber sensor 2 in which the node 1 made of the low melting point glass is formed around the peeling portion 3 of the optical fiber sensor 2B (FIG. 3 ( c)).
The low-melting glass becomes a spherical state by its own tension after melting and forms a node 1. The glass sphere forming the node 1 melts around the clad 2b and is integrated with the clad 2b. However, since the physical positional relationship between the clad 2b and the core 2a is maintained, total reflection in the core 2a is prevented. Compensated.

節１を有した光ファイバセンサ２は、接着剤などで測定対象部に直接設置（接着）してもよい。
また、測定対象部が金属である場合は、節１を有した光ファイバセンサ２を溶接余盛で測定対象部に設置（結合）してもよい。
節１を有した光ファイバセンサ２を、合成樹脂や溶接母剤等の周囲材料で測定対象部に設置した場合、節１が周囲材料と光ファイバセンサ２の外周面との間の滑り（光ファイバセンサの周方向及び軸方向の滑り）を抑制するため、測定対象部の変位情報が光ファイバセンサ２に正確に伝達され、測定対象部と光ファイバセンサ２とが同じ変位で伸縮するようになるので、光ファイバセンサ２による正確な測定が可能となる。 The optical fiber sensor 2 having the node 1 may be directly installed (adhered) to the measurement target portion with an adhesive or the like.
Further, when the measurement target portion is a metal, the optical fiber sensor 2 having the node 1 may be installed (coupled) to the measurement target portion by welding surplus.
When the optical fiber sensor 2 having the node 1 is installed on the measurement target portion with a surrounding material such as a synthetic resin or a welding matrix, the node 1 slips between the surrounding material and the outer peripheral surface of the optical fiber sensor 2 (light In order to suppress the slip of the fiber sensor in the circumferential direction and the axial direction), the displacement information of the measurement target portion is accurately transmitted to the optical fiber sensor 2 so that the measurement target portion and the optical fiber sensor 2 expand and contract with the same displacement. Therefore, accurate measurement by the optical fiber sensor 2 becomes possible.

また、測定対象物への光ファイバセンサ２の取付作業を容易にするための取付部を光ファイバセンサ２の周囲に形成する場合には、図４乃至図６に示すように、光ファイバセンサ２の周囲に取付部１１を形成するための成型装置１０を用いて取付部１１付き光ファイバセンサ２を形成すればよい。例えば、図４に示すような上下の成型型１０Ａ；１０Ｂを用いて成型型１０Ａ；１０Ｂを組み合せて形成される成型空間内に節１を有した光ファイバセンサ２を設置し、図外の注入口を介して、図５（ａ）に示すように、成型空間内に合成樹脂等の周囲材料１１Ａを充填し、周囲材料１１Ａが固化した後に、成型型１０Ａ；１０Ｂを脱型することにより、図５（ｂ）；図６に示すような、節１を有した光ファイバセンサ２の周囲に取付部１１が形成された取付部１１付き光ファイバセンサ２を形成できる。   Further, when an attachment portion for facilitating attachment work of the optical fiber sensor 2 to the measurement object is formed around the optical fiber sensor 2, as shown in FIGS. 4 to 6, the optical fiber sensor 2. What is necessary is just to form the optical fiber sensor 2 with the attachment part 11 using the shaping | molding apparatus 10 for forming the attachment part 11 around. For example, an optical fiber sensor 2 having a node 1 is installed in a molding space formed by combining the molding dies 10A; 10B using the upper and lower molding dies 10A; 10B as shown in FIG. As shown in FIG. 5 (a), by filling the molding space with a surrounding material 11A such as a synthetic resin through the inlet and solidifying the surrounding material 11A, the molds 10A and 10B are demolded, As shown in FIG. 5 (b); FIG. 6, the optical fiber sensor 2 with the attachment portion 11 in which the attachment portion 11 is formed around the optical fiber sensor 2 having the node 1 can be formed.

また、図３（ａ）に示したような、板面に、光ファイバセンサ２の保護層２ｃの直径に対応した断面半円形の溝５、及び、この溝５の延長方向に沿った測定間隔に対応する所定間隔を隔てた溝５の２地点にそれぞれ節１を形成するための凹部(ディンプル)６が形成された金属プレートを用意し、この金属プレート上に、図３（ｂ）；（ｃ）に示したように、節１を有した光ファイバセンサ２を形成し、この金属プレート上に形成された節１を有した光ファイバセンサ２と当該金属プレートとを溶接で接続することで、取付部としての金属プレート付き光ファイバセンサ２を形成できる。   Further, as shown in FIG. 3A, the plate surface has a semicircular groove 5 corresponding to the diameter of the protective layer 2c of the optical fiber sensor 2, and a measurement interval along the extending direction of the groove 5. A metal plate having recesses (dimples) 6 for forming the nodes 1 at two points of the groove 5 separated by a predetermined interval corresponding to is prepared. On this metal plate, FIG. As shown in c), the optical fiber sensor 2 having the node 1 is formed, and the optical fiber sensor 2 having the node 1 formed on the metal plate is connected to the metal plate by welding. The optical fiber sensor 2 with a metal plate as an attachment part can be formed.

上述した取付部１１付き光ファイバセンサ２、取付部としての金属プレート付き光ファイバセンサ２によれば、取付部を備えたことにより、光ファイバセンサ２のハンドリング（取り扱い性）が向上し、測定対象物への光ファイバセンサ２の取付作業が容易になるとともに、光ファイバセンサ２の取付部１１を形成する合成樹脂や金属プレートへの溶接母剤等の周囲材料と光ファイバセンサ２の外周面との間の滑りが節１により抑制されるので、測定対象部の変位情報が光ファイバセンサ２に正確に伝達され、測定対象部と光ファイバセンサ２とが同じ変位で伸縮するようになるので、光ファイバセンサ２による正確な測定が可能となる。   According to the optical fiber sensor 2 with the mounting portion 11 and the optical fiber sensor 2 with the metal plate as the mounting portion described above, the handling (handleability) of the optical fiber sensor 2 is improved by providing the mounting portion, and the measurement target Attaching the optical fiber sensor 2 to an object is facilitated, and surrounding materials such as a base material for welding to a synthetic resin or a metal plate forming the attachment portion 11 of the optical fiber sensor 2 and the outer peripheral surface of the optical fiber sensor 2 Since the displacement information of the measurement target portion is accurately transmitted to the optical fiber sensor 2 and the measurement target portion and the optical fiber sensor 2 expand and contract with the same displacement. Accurate measurement by the optical fiber sensor 2 becomes possible.

尚、節を形成する材料としては、上述したようなクラッドのガラスと一体化する低融点ガラスを用いることが好ましいが、クラッドと一体化しやすい材料であれば節を形成する材料は特に限定されない。   As a material for forming the node, it is preferable to use a low-melting glass integrated with the clad glass as described above. However, the material for forming the node is not particularly limited as long as it is easy to integrate with the cladding.

１ 節、２ 光ファイバセンサ、２ａ コア、２ｂ クラッド、２ｃ 保護。   Section 1, 2 Optical fiber sensor, 2a core, 2b cladding, 2c protection.

Claims (4)

コアと、コアの周囲を覆うように設けられたクラッドと、クラッドの周囲を覆うように設けられた保護層とを備えるとともに、ファイバブラッググレーティングを有した光ファイバセンサであって、
外周面に、当該外周面を覆うように設けられる周囲材料との間の滑り抑制するための節を備えたことを特徴とする光ファイバセンサ。 An optical fiber sensor comprising a core, a clad provided so as to cover the periphery of the core, and a protective layer provided so as to cover the periphery of the clad, and having a fiber Bragg grating,
An optical fiber sensor comprising a node on the outer peripheral surface for suppressing slippage between surrounding materials provided so as to cover the outer peripheral surface. 節は、保護層の一部が除去された部分にクラッドと一体化するように設けられたことを特徴とする請求項１に記載の光ファイバセンサ。   The optical fiber sensor according to claim 1, wherein the node is provided so as to be integrated with the clad in a portion from which a part of the protective layer is removed. クラッドがガラスにより形成され、節が、クラッドのガラスと一体化したガラスにより形成されたことを特徴とする請求項２に記載の光ファイバセンサ。   The optical fiber sensor according to claim 2, wherein the clad is made of glass, and the node is made of glass integrated with the glass of the clad. 節が、測定対象部に取付けられる光ファイバセンサの検知部分の両端に設けられたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の光ファイバセンサ。   The optical fiber sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein nodes are provided at both ends of a detection portion of the optical fiber sensor attached to the measurement target part.
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