JP6256028B2 - Reciprocating metering pump control device, pump facility, and reciprocating metering pump control method - Google Patents

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Description

本発明は、往復式定量ポンプの制御装置、ポンプ設備、及び、往復式定量ポンプの制御方法に関する。   The present invention relates to a control device for a reciprocating metering pump, a pump facility, and a control method for a reciprocating metering pump.

従来、配管等に液体（例えば化学薬液）を注入するための定量ポンプには、ポンプ室内にガス（気体）が混在しないように、自動でガスを外部（系外）に排出する自動ガス抜き機構を備えるものがある。
例えば特許文献１には、定量ポンプの自動ガス抜き機構として、吸込口からポンプ室に向かう吸込通路の途中に、吸込通路から分岐するガス抜き通路等の構造を設けたものが開示されている。 Conventional metering pumps for injecting liquids (such as chemicals) into pipes, etc., have an automatic degassing mechanism that automatically discharges the gas outside (outside the system) so that no gas (gas) is mixed in the pump chamber. There is something with.
For example, Patent Document 1 discloses an automatic degassing mechanism for a metering pump in which a structure such as a degassing passage branched from the suction passage is provided in the middle of the suction passage from the suction port toward the pump chamber.

特開２００９−２３６０５９号公報JP 2009-236059 A

しかしながら、上記従来の定量ポンプは自動ガス抜き機構を備えるため、ガスを定量ポンプの外部に排出するためには、既存の定量ポンプを自動ガス抜き機構付きの定量ポンプに交換したり、既存の定量ポンプを改造したりする必要がある。このため、定量ポンプを含む設備のコストが高くなってしまう。
また、上記従来の定量ポンプでは、ガスを系外に排出するため、高圧の定量ポンプに適用することが困難である。 However, since the conventional metering pump has an automatic gas venting mechanism, in order to discharge the gas to the outside of the metering pump, the existing metering pump can be replaced with a metering pump with an auto gas venting mechanism or an existing metering pump can be used. It is necessary to modify the pump. For this reason, the cost of the installation containing a metering pump will become high.
In addition, since the conventional metering pump discharges gas out of the system, it is difficult to apply it to a high-pressure metering pump.

本発明は、上述した事情に鑑みたものであって、既存の往復式定量ポンプを使用しながらガス抜きを実現して、設備の低コスト化を図ることが可能な往復式定量ポンプの制御装置、ポンプ設備、及び、往復式定量ポンプの制御方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and is a control device for a reciprocating metering pump capable of degassing while using an existing reciprocating metering pump to reduce the cost of equipment. An object of the present invention is to provide a pump facility and a control method for a reciprocating metering pump.

この課題を解決するために、本発明に係る一態様としての制御装置は、ヘッドの往復移動により液室の容積が増減する往復式定量ポンプ用の制御装置であって、前記往復式定量ポンプの吐出口に接続された配管内を流れる液体に関する第一物理量が目的の値になるように、前記ヘッドのストローク量を変えるストローク可変器にストローク量を指示する第一ストローク制御部と、前記ストローク可変器に最大ストローク量を指示する第二ストローク制御部と、前記配管内を流れる液体に関する物理量であって、前記液室を含む前記往復式定量ポンプ内におけるガスの有無に応じて変化する第二物理量が、前記ガスの有りを示す状態になると、前記第一ストローク制御部による物理量制御モードから前記第二ストローク制御部によるガス抜きモードに変更する制御切換部と、を備え、前記第一物理量と前記第二物理量とは、同一の物理量であり、前記第一物理量及び前記第二物理量は、前記往復式定量ポンプから前記配管中に吐出された液体の濃度に相関する物理量であることを特徴とする。 In order to solve this problem, a control device according to one aspect of the present invention is a control device for a reciprocating metering pump in which the volume of a liquid chamber is increased or decreased by a reciprocating movement of a head. A first stroke control unit for instructing a stroke amount to a stroke variable device that changes a stroke amount of the head so that a first physical amount related to a liquid flowing in a pipe connected to the discharge port becomes a target value; A second stroke control unit for instructing a maximum stroke amount to a container, and a second physical quantity that is a physical quantity related to a liquid flowing in the pipe and changes depending on the presence or absence of gas in the reciprocating metering pump including the liquid chamber However, when the state indicating the presence of the gas is entered, the degassing mode by the second stroke control unit is changed from the physical quantity control mode by the first stroke control unit. And a control switching unit to change de; wherein the first physical quantity and the second physical quantity is the same physical quantity, the first physical quantity and the second physical quantity is the pipe in from the reciprocating metering pump It is a physical quantity that correlates with the concentration of the liquid discharged to the surface.

また、本発明に係る一態様としてのポンプ設備は、ヘッドが液室内で往復移動する往復式定量ポンプと、前記制御装置と、を備えることを特徴とする。   According to another aspect of the present invention, there is provided a pump facility including a reciprocating metering pump whose head reciprocates in a liquid chamber, and the control device.

さらに、本発明に係る一態様としての制御方法は、ヘッドの往復移動により液室の容積が増減する往復式定量ポンプ用の制御方法であって、前記往復式定量ポンプの吐出口に接続された配管内を流れる液体に関する第一物理量が目的の値になるように、前記ヘッドのストローク量を制御する物理量制御モード工程と、前記ヘッドのストローク量を最大ストローク量とするガス抜きモード工程と、前記配管内を流れる液体に関する物理量であって、前記液室を含む前記往復式定量ポンプ内におけるガスの有無に応じて変化する第二物理量が、前記ガスの有りを示す状態になると、前記物理量制御モード工程から前記ガス抜きモード工程に変更する切換工程と、を含み、前記第一物理量と前記第二物理量とは、同一の物理量であり、前記第一物理量及び前記第二物理量は、前記往復式定量ポンプから前記配管中に吐出された液体の濃度に相関する物理量であることを特徴とする。 Furthermore, the control method as one aspect according to the present invention is a control method for a reciprocating metering pump in which the volume of the liquid chamber is increased or decreased by the reciprocating movement of the head, and is connected to the discharge port of the reciprocating metering pump. A physical quantity control mode step for controlling the stroke amount of the head so that the first physical quantity relating to the liquid flowing in the pipe has a target value; a degassing mode step for setting the stroke amount of the head as a maximum stroke amount; and When the physical quantity relating to the liquid flowing in the pipe, which changes depending on the presence or absence of gas in the reciprocating metering pump including the liquid chamber, indicates the presence of the gas, the physical quantity control mode includes a switching step of changing the process to the degassing mode process, the, the and the first physical quantity and the second physical quantity is the same physical quantity, the first physical And said second physical quantity, characterized in that the said reciprocating metering pump is a physical quantity that correlates to the concentration of the liquid discharged in the pipe.

上記した制御装置や制御方法によれば、前記第二物理量が「往復式定量ポンプ内にガスが無い」ことを示している状態では、配管内を流れる液体の第一物理量が目的の値となるように、第一ストローク制御部の指示に基づいてヘッドのストローク量を制御する物理量制御モード（工程）が実施される。物理量制御モード（工程）では、往復式定量ポンプによって配管内に注入される注入液体の量が調整され、前記液体の第一物理量が目的の値となるように調整される。   According to the control device and the control method described above, in the state where the second physical quantity indicates “no gas is in the reciprocating metering pump”, the first physical quantity of the liquid flowing in the pipe becomes the target value. Thus, the physical quantity control mode (process) for controlling the stroke amount of the head based on the instruction of the first stroke control unit is performed. In the physical quantity control mode (process), the amount of injected liquid injected into the pipe by the reciprocating metering pump is adjusted, and the first physical quantity of the liquid is adjusted to a target value.

一方、前記第二物理量が「往復式定量ポンプ内にガスがある」ことを示すと、制御切換部（制御切換工程）によって、前記物理量制御モード（工程）から、ヘッドのストローク量が最大となるように制御するガス抜きモード（工程）に変更される。ガス抜きモード（工程）では、往復式定量ポンプの出力が最大となるため、液室の容積を最小にして、液室を含む往復式定量ポンプ内のガスを吐出口から配管側に排出することができる。
すなわち、上記した制御装置や制御方法を採用するだけで、既存の往復式定量ポンプを使用しながらガス抜きを実現することができる。したがって、往復式定量ポンプを含む設備の低コスト化を図ることができる。 On the other hand, when the second physical quantity indicates “there is gas in the reciprocating metering pump”, the stroke amount of the head is maximized from the physical quantity control mode (process) by the control switching unit (control switching process). Thus, the degassing mode (process) is controlled. In the gas venting mode (process), the output of the reciprocating metering pump is maximized, so the volume of the liquid chamber is minimized and the gas in the reciprocating metering pump including the liquid chamber is discharged from the discharge port to the piping side. Can do.
That is, the gas venting can be realized using the existing reciprocating metering pump only by adopting the control device and the control method described above. Therefore, the cost of the equipment including the reciprocating metering pump can be reduced.

また、上記した制御装置や制御方法では、往復式定量ポンプ内のガスを吐出口から配管（系内）に排出し、従来のように系外に排出しないため、これら制御装置や制御方法は高圧の往復式定量ポンプにも適用可能である。
さらに、物理量制御モードでのヘッドのストローク量の制御、及び、物理量制御モードからガス抜きモードへの切換制御を実施するために、液体の濃度を検知する一つの物理量検知部（濃度計）だけを用意すればよい。したがって、ポンプ設備の簡素化を図ることができる。 Further, in the above-described control device and control method, the gas in the reciprocating metering pump is discharged from the discharge port to the pipe (inside the system) and is not discharged outside the system as in the past. It is also applicable to the reciprocating metering pump.
Furthermore, in order to carry out the control of the stroke amount of the head in the physical quantity control mode and the switching control from the physical quantity control mode to the degassing mode, only one physical quantity detection unit (concentration meter) that detects the liquid concentration is provided. Just prepare. Therefore, simplification of pump equipment can be achieved.

そして、前記制御装置において、前記制御切換部は、前記ガス抜きモードで前記ヘッドが予め定められた回数往復移動すると、前記ガス抜きモードから前記物理量制御モードに変更してもよい。   In the control device, the control switching unit may change from the degas mode to the physical quantity control mode when the head reciprocates a predetermined number of times in the degas mode.

この場合には、ガス抜きモードにおいて配管に注入される注入液体の注入量を所定量に抑え、配管内を流れる液体の第一物理量が、ガス抜きモードにおいて注入された注入液体によって大きく変化することを抑制できる。   In this case, the injection amount of the injected liquid injected into the pipe in the degassing mode is suppressed to a predetermined amount, and the first physical quantity of the liquid flowing in the pipe greatly changes depending on the injected liquid injected in the degassing mode. Can be suppressed.

また、前記制御装置においては、前記制御切換部は、予め設定された所定時間毎に、前記物理量制御モードから前記ガス抜きモードに変更してもよい。   In the control device, the control switching unit may change from the physical quantity control mode to the degassing mode every predetermined time set in advance.

上記制御装置によれば、定期的（例えば一日一回、数時間に一回）にガス抜きモードとなることで、往復式定量ポンプ内におけるガスが少量で、前記第二物理量の変化に影響を与えなくても、往復式定量ポンプ内のガスを吐出口から配管側に排出することができる。   According to the above control device, the degassing mode is periodically performed (for example, once a day, once every several hours), so that a small amount of gas in the reciprocating metering pump affects the change in the second physical quantity. Even if it does not give, the gas in a reciprocating metering pump can be discharged | emitted from a discharge port to the piping side.

本発明によれば、既存の往復式定量ポンプを使用しながら往復式定量ポンプからのガス抜きを実現でき、往復式定量ポンプを含む設備の低コスト化を図ることができる。
また、本発明の制御装置や制御方法は、高圧の往復式定量ポンプにも適用可能である。 According to the present invention, degassing from a reciprocating metering pump can be realized while using an existing reciprocating metering pump, and the cost of equipment including the reciprocating metering pump can be reduced.
Further, the control device and the control method of the present invention can be applied to a high-pressure reciprocating metering pump.

本発明の第一、第二実施形態に係るポンプ設備を含む蒸気タービン設備を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the steam turbine equipment including the pump equipment which concerns on 1st, 2nd embodiment of this invention. 図１の蒸気タービン設備に備える第一実施形態のポンプ設備を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the pump installation of 1st embodiment with which the steam turbine installation of FIG. 1 is equipped. 図２のポンプ設備において、濃度計で検知された薬液の検知濃度の時間履歴、及び、検知濃度に基づいて制御装置により制御されるダイヤフラムのストローク量の時間履歴を示すグラフである。3 is a graph showing a time history of a detected concentration of a chemical solution detected by a densitometer and a time history of a stroke amount of a diaphragm controlled by a control device based on the detected concentration in the pump facility of FIG. 2. 図１の蒸気タービン設備に備える第二実施形態に係るポンプ設備を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the pump installation which concerns on 2nd embodiment with which the steam turbine installation of FIG. 1 is equipped. 図４のポンプ設備において、圧力計で検知された液体の検知圧力の時間履歴、及び、検知圧力に基づいて制御装置により制御されるダイヤフラムのストローク量の時間履歴を示すグラフである。5 is a graph showing a time history of a detected pressure of a liquid detected by a pressure gauge and a time history of a stroke amount of a diaphragm controlled by a control device based on the detected pressure in the pump facility of FIG. 4.

〔第一実施形態〕
以下、図１〜３を参照して本発明の第一実施形態について説明する。
図１に示すように、本実施形態に係るポンプ設備１０Ａは、蒸気タービン設備１に設けられる。
蒸気タービン設備１は、蒸気のエネルギーを回転動力として取り出す外燃機関であり、発電所の発電機等に連結して用いられる装置である。蒸気タービン設備１は、節炭器２と、ボイラ３と、蒸気タービン４と、復水器５と、循環ポンプ６と、を備える。これらの構成は、上記した順番で配管により接続されている。
節炭器２は、水を加熱して温水とする。ボイラ３は、節炭器２からの温水をさらに加熱して高圧の蒸気とする。蒸気タービン４は、ボイラ３から供給された蒸気を回転動力として取り出す。復水器５は、蒸気タービン４から排気された蒸気を冷却として水に戻す。循環ポンプ６は、復水器５からの水を再び節炭器２に送出する。 [First embodiment]
The first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, a pump facility 10 </ b> A according to the present embodiment is provided in a steam turbine facility 1.
The steam turbine facility 1 is an external combustion engine that extracts steam energy as rotational power, and is a device that is used by being connected to a generator or the like of a power plant. The steam turbine facility 1 includes a economizer 2, a boiler 3, a steam turbine 4, a condenser 5, and a circulation pump 6. These structures are connected by piping in the order described above.
The economizer 2 heats water into warm water. The boiler 3 further heats the hot water from the economizer 2 into high-pressure steam. The steam turbine 4 takes out the steam supplied from the boiler 3 as rotational power. The condenser 5 returns the steam exhausted from the steam turbine 4 to water as cooling. The circulation pump 6 sends the water from the condenser 5 to the economizer 2 again.

ポンプ設備１０Ａは、上記した蒸気タービン設備１のうち、循環ポンプ６と節炭器２とを接続する配管７に設けられている。ポンプ設備１０Ａは、蒸気タービン設備１における配管等の腐食を防ぐために配管内を流れる水に薬液を注入する。以下の説明では、水、薬液のことを液体と呼ぶことがある。
ポンプ設備１０Ａは、往復式定量ポンプ１１と、制御装置１２と、濃度計（物理量検知部）１３と、薬液タンク１４と、を備える。 The pump facility 10 </ b> A is provided in a pipe 7 that connects the circulation pump 6 and the economizer 2 in the steam turbine facility 1 described above. The pump facility 10A injects a chemical solution into the water flowing through the piping in order to prevent corrosion of the piping and the like in the steam turbine facility 1. In the following description, water and chemicals may be referred to as liquids.
The pump facility 10 </ b> A includes a reciprocating metering pump 11, a control device 12, a concentration meter (physical quantity detection unit) 13, and a chemical solution tank 14.

図２に示すように、往復式定量ポンプ１１（以下、定量ポンプ１１と呼ぶ）は、ヘッドの往復移動により液室の容積が増減するものである。定量ポンプ１１には、従来周知のものを任意に使用できるが、本実施形態の定量ポンプ１１は、ポンプヘッド２１と、ダイヤフラム（ヘッド）２２と、駆動部２３と、ストローク可変器２４と、を備える。
ポンプヘッド２１は、ダイヤフラム２２との間に液室２５を形成する。ダイヤフラム２２は、可撓性を有する膜であり、ダイヤフラム２２の周縁部がポンプヘッド２１に保持されている。 As shown in FIG. 2, the reciprocating metering pump 11 (hereinafter referred to as metering pump 11) has a liquid chamber whose volume is increased or decreased by the reciprocating movement of the head. As the metering pump 11, a conventionally known pump can be arbitrarily used. However, the metering pump 11 of this embodiment includes a pump head 21, a diaphragm (head) 22, a drive unit 23, and a stroke variable device 24. Prepare.
The pump head 21 forms a liquid chamber 25 between the pump head 21 and the diaphragm 22. The diaphragm 22 is a flexible film, and the periphery of the diaphragm 22 is held by the pump head 21.

ポンプヘッド２１には、液室２５から個別に延びる吸込通路２６及び吐出通路２７が形成されている。吸込通路２６の延在方向先端は定量ポンプ１１の吸込口１１Ａである。また、吐出通路２７の延在方向先端は定量ポンプ１１の吐出口１１Ｂである。吸込通路２６のうち液室２５と吸込口１１Ａとの間には第一逆止弁２８Ａが設けられている。第一逆止弁２８Ａは薬液等の液体が液室２５側から吸込口１１Ａ側に逆流することを防ぐ。吐出通路２７のうち液室２５と吐出口１１Ｂとの間には第二逆止弁２８Ｂが設けられている。第二逆止弁２８Ｂは薬液等の液体が吐出口１１Ｂ側から液室２５側に逆流することを防ぐ。
定量ポンプ１１の吸込口１１Ａには、薬液を貯留する薬液タンク１４が接続されている。定量ポンプ１１の吐出口１１Ｂは、接続配管１５を介して循環ポンプ６と節炭器２とを接続する配管７に接続されている。 The pump head 21 is formed with a suction passage 26 and a discharge passage 27 that individually extend from the liquid chamber 25. The leading end of the suction passage 26 in the extending direction is the suction port 11 </ b> A of the metering pump 11. The distal end of the discharge passage 27 in the extending direction is the discharge port 11B of the metering pump 11. A first check valve 28A is provided between the liquid chamber 25 and the suction port 11A in the suction passage 26. The first check valve 28A prevents a liquid such as a chemical from flowing backward from the liquid chamber 25 side to the suction port 11A side. A second check valve 28B is provided between the liquid chamber 25 and the discharge port 11B in the discharge passage 27. The second check valve 28B prevents a liquid such as a chemical from flowing backward from the discharge port 11B side to the liquid chamber 25 side.
A chemical liquid tank 14 for storing a chemical liquid is connected to the suction port 11 </ b> A of the metering pump 11. The discharge port 11 </ b> B of the metering pump 11 is connected to a pipe 7 that connects the circulation pump 6 and the economizer 2 through a connection pipe 15.

駆動部２３は、ダイヤフラム２２を往復移動させる。駆動部２３は、プランジャ３１と、カム３２と、モータ３３とを備える。
プランジャ３１は、棒状に形成されている。プランジャ３１の第一端はダイヤフラム２２に固定されている。プランジャ３１の第二端は、コイルスプリング等の付勢部材３４によってカム３２の外周面（カム面）に押し付けられる。カム３２は、その回転軸３２Ａが中心軸に対してずれて位置する偏心カムである。また、カム３２は、中心軸に対する回転軸３２Ａのずれ量が、回転軸３２Ａ方向に沿って漸次変化する。モータ３３は、カム３２の回転軸３２Ａに接続され、カム３２を回転駆動する。 The drive unit 23 reciprocates the diaphragm 22. The drive unit 23 includes a plunger 31, a cam 32, and a motor 33.
The plunger 31 is formed in a rod shape. A first end of the plunger 31 is fixed to the diaphragm 22. The second end of the plunger 31 is pressed against the outer peripheral surface (cam surface) of the cam 32 by a biasing member 34 such as a coil spring. The cam 32 is an eccentric cam in which the rotation shaft 32A is positioned with respect to the central axis. Further, in the cam 32, the displacement amount of the rotation shaft 32A with respect to the central axis gradually changes along the direction of the rotation shaft 32A. The motor 33 is connected to the rotation shaft 32 </ b> A of the cam 32 and rotationally drives the cam 32.

ストローク可変器２４は、ダイヤフラム２２のストローク量を変える。本実施形態のストローク可変器２４は、後述する制御装置１２から出力されるストローク量のデータに基づいて、カム３２を回転軸３２Ａ方向に移動させるアクチュエータ２４Ａである。
図１，２に示すように、濃度計１３は、配管７内で循環ポンプ６から節炭器２に向けて流れる液体において薬液の濃度を検知する。濃度計１３は、配管７のうち定量ポンプ１１との接続部分よりも下流側（節炭器２側）に設けられている。 The stroke variable device 24 changes the stroke amount of the diaphragm 22. The stroke variable device 24 of the present embodiment is an actuator 24A that moves the cam 32 in the direction of the rotation shaft 32A based on stroke amount data output from the control device 12 described later.
As shown in FIGS. 1 and 2, the concentration meter 13 detects the concentration of the chemical in the liquid flowing from the circulation pump 6 toward the economizer 2 in the pipe 7. The densitometer 13 is provided on the downstream side (the economizer 2 side) of the connecting portion with the metering pump 11 in the pipe 7.

制御装置１２は、定量ポンプ１１のダイヤフラム２２のストローク量を制御する。制御装置１２は、入力部４１と、第一ストローク制御部４２と、第二ストローク制御部４３と、制御切換部４４と、出力部４５と、を備える。
入力部４１は、濃度計１３で検知された薬液の濃度（検知濃度）を制御装置１２内に入力し、第一ストローク制御部４２、及び、制御切換部４４に出力する。 The control device 12 controls the stroke amount of the diaphragm 22 of the metering pump 11. The control device 12 includes an input unit 41, a first stroke control unit 42, a second stroke control unit 43, a control switching unit 44, and an output unit 45.
The input unit 41 inputs the concentration (detected concentration) of the chemical solution detected by the densitometer 13 into the control device 12 and outputs it to the first stroke control unit 42 and the control switching unit 44.

第一ストローク制御部４２は、配管７内を流れる液体において薬液の濃度（第一物理量）が目的の値（濃度の目的値）になるように、ダイヤフラム２２のストローク量を変えるストローク可変器２４にストローク量を指示する。濃度の目的値は、予め設定されたものであり、例えば制御装置１２の記憶部（不図示）に記憶されている。第一ストローク制御部４２が指示するダイヤフラム２２のストローク量は、任意であってもよいが、例えば最大ストローク量よりも小さくてもよい。第一ストローク制御部４２が指示するストローク量は、例えば最大ストローク量の４０％〜６０％程度でもよい。
本実施形態の第一ストローク制御部４２は、入力部４１から入力された薬液の検知濃度に応じて、ストローク可変器２４に指示するストローク量のデータを制御切換部４４に出力する。 The first stroke control unit 42 controls the stroke variable device 24 that changes the stroke amount of the diaphragm 22 so that the concentration (first physical quantity) of the chemical in the liquid flowing in the pipe 7 becomes a target value (target value of concentration). Specify the stroke amount. The target value of density is set in advance, and is stored in a storage unit (not shown) of the control device 12, for example. The stroke amount of the diaphragm 22 instructed by the first stroke control unit 42 may be arbitrary, but may be smaller than the maximum stroke amount, for example. The stroke amount indicated by the first stroke control unit 42 may be, for example, about 40% to 60% of the maximum stroke amount.
The first stroke control unit 42 of the present embodiment outputs stroke amount data instructed to the stroke variable device 24 to the control switching unit 44 in accordance with the detected concentration of the chemical liquid input from the input unit 41.

第二ストローク制御部４３は、ストローク可変器２４に最大ストローク量を指示する。本実施形態の第二ストローク制御部４３は、ストローク可変器２４に指示する最大ストローク量のデータを制御切換部４４に出力する。   The second stroke control unit 43 instructs the stroke variable device 24 on the maximum stroke amount. The second stroke control unit 43 of the present embodiment outputs maximum stroke amount data instructed to the stroke variable device 24 to the control switching unit 44.

制御切換部４４は、第一ストローク制御部４２による濃度制御モード（物理量制御モード）と、第二ストローク制御部４３によるガス抜きモードとに切り換える。
制御切換部４４は、濃度制御モードを選択した状態で、第一ストローク制御部４２から入力されたストローク量のデータを出力部４５に出力する。また、制御切換部４４は、ガス抜きモードを選択した状態で、第二ストローク制御部４３から入力された最大ストローク量のデータを出力部４５に出力する。 The control switching unit 44 switches between a concentration control mode (physical quantity control mode) by the first stroke control unit 42 and a degassing mode by the second stroke control unit 43.
The control switching unit 44 outputs the stroke amount data input from the first stroke control unit 42 to the output unit 45 while the density control mode is selected. Further, the control switching unit 44 outputs the data of the maximum stroke amount input from the second stroke control unit 43 to the output unit 45 in a state where the gas venting mode is selected.

さらに、制御切換部４４は、配管７内を流れる液体に関する物理量であり、液室２５を含む定量ポンプ１１内におけるガスの有無に応じて変化する薬液の濃度（第二物理量）が、「定量ポンプ１１内にガスがある」ことを示す状態になった際に、濃度制御モードからガス抜きモードに変更する。
本実施形態の制御切換部４４は、濃度計１３で検知されて入力部４１から出力された配管７中の薬液の検知濃度が閾値よりも小さくなった際に「定量ポンプ１１内にガスがある」と判定し、濃度制御モードからガス抜きモードに変更する。濃度の閾値は、上述の予め設定される濃度の目的値よりも小さい値であり、例えば制御装置１２の記憶部（不図示）に記憶されている。 Further, the control switching unit 44 is a physical quantity relating to the liquid flowing in the pipe 7, and the concentration of the chemical liquid (second physical quantity) that changes depending on the presence or absence of gas in the metering pump 11 including the liquid chamber 25 is expressed as “metering pump”. When the state indicating that “there is gas in 11” is entered, the concentration control mode is changed to the degassing mode.
The control switching unit 44 of the present embodiment indicates that “there is gas in the metering pump 11” when the detected concentration of the chemical in the pipe 7 detected by the densitometer 13 and output from the input unit 41 becomes smaller than the threshold value. ”And change from the concentration control mode to the degassing mode. The density threshold is a value smaller than the above-described preset density target value, and is stored, for example, in a storage unit (not shown) of the control device 12.

また、制御切換部４４は、ガス抜きモードでダイヤフラム２２が予め定められた回数（例えば１〜１０回）往復移動した後に、ガス抜きモードから濃度制御モードに変更する。
さらに、制御切換部４４は、予め設定された所定時間毎（例えば一日毎、数時間毎）に、濃度制御モードからガス抜きモードに変更する。 Further, the control switching unit 44 changes from the gas vent mode to the concentration control mode after the diaphragm 22 reciprocates a predetermined number of times (for example, 1 to 10 times) in the gas vent mode.
Further, the control switching unit 44 changes from the concentration control mode to the degassing mode every predetermined time set in advance (for example, every day or every several hours).

出力部４５は、制御切換部４４から入力されたデータ（濃度制御モードのストローク量データ、あるいは、ガス抜きモードの最大ストローク量データ）をストローク可変器２４に出力する。   The output unit 45 outputs data (stroke amount data in the concentration control mode or maximum stroke amount data in the degassing mode) input from the control switching unit 44 to the stroke variable device 24.

次に、本実施形態におけるポンプ設備１０Ａの動作、特に、定量ポンプ１１の制御方法について説明する。
濃度計１３で検知される薬液の検知濃度（第二物理量）が「定量ポンプ１１内にガスが無い」ことを示す状態（図３のグラフにおいて薬液の検知濃度が閾値ＤＶｔよりも高い状態）の場合、制御切換部４４は、第一ストローク制御部４２による濃度制御モードＭ１（図３参照）を選択し、濃度制御モードＭ１のストローク量データをストローク可変器２４に出力する。すなわち、配管７内を流れる液体における薬液の濃度（第一物理量）が目的の値（濃度の目的値ＤＶｐ）となるように、ダイヤフラム２２のストローク量を制御する濃度制御モード工程（物理量制御モード工程）が実施される。 Next, the operation of the pump facility 10A in the present embodiment, particularly the control method of the metering pump 11 will be described.
The state where the detected concentration (second physical quantity) of the chemical solution detected by the densitometer 13 indicates that “there is no gas in the metering pump 11” (the state where the detected concentration of the chemical solution is higher than the threshold DVt in the graph of FIG. 3). In this case, the control switching unit 44 selects the density control mode M1 (see FIG. 3) by the first stroke control unit 42, and outputs the stroke amount data of the density control mode M1 to the stroke variable device 24. That is, a concentration control mode process (physical quantity control mode process) for controlling the stroke amount of the diaphragm 22 so that the concentration (first physical quantity) of the chemical in the liquid flowing in the pipe 7 becomes a target value (concentration target value DVp). ) Is implemented.

濃度制御モード工程では、第一ストローク制御部４２からの指示に基づいてダイヤフラム２２が往復移動し、液室２５の容積が増減することで、所定量の薬液が薬液タンク１４から配管７に供給される。
また、濃度制御モード工程では、図３のグラフに示すように、濃度計１３で検知される薬液の検知濃度が濃度の目的値ＤＶｐよりも低くなると、第一ストローク制御部４２からの指示に基づいてダイヤフラム２２のストローク量が増加する。その後、濃度計１３で検知される薬液の検知濃度が濃度の目的値ＤＶｐに戻ると、第一ストローク制御部４２からの指示に基づいてダイヤフラム２２のストローク量が減少する。濃度制御モード工程において制御するダイヤフラム２２のストローク量は、任意であってよいが、例えば最大ストローク量Ｓｍａｘよりも小さくてもよい。 In the concentration control mode process, the diaphragm 22 reciprocates based on an instruction from the first stroke control unit 42, and the volume of the liquid chamber 25 is increased or decreased, whereby a predetermined amount of chemical liquid is supplied from the chemical liquid tank 14 to the pipe 7. The
Further, in the concentration control mode step, as shown in the graph of FIG. 3, when the detected concentration of the chemical liquid detected by the densitometer 13 becomes lower than the concentration target value DVp, it is based on an instruction from the first stroke control unit 42. As a result, the stroke amount of the diaphragm 22 increases. Thereafter, when the detected concentration of the chemical solution detected by the densitometer 13 returns to the concentration target value DVp, the stroke amount of the diaphragm 22 decreases based on an instruction from the first stroke control unit 42. The stroke amount of the diaphragm 22 controlled in the density control mode process may be arbitrary, but may be smaller than the maximum stroke amount Smax, for example.

そして、濃度計１３で検知される薬液の濃度（第二物理量）が「定量ポンプ１１内にガスがある」ことを示す状態（図３において薬液の検知濃度が閾値ＤＶｔ以下である状態）の場合、制御切換部４４は、第一ストローク制御部４２による濃度制御モードＭ１から第二ストローク制御部４３によるガス抜きモードＭ２に変更する（図３参照）。すなわち、濃度制御モード工程から後述するガス抜きモード工程に変更する第一切換工程が実施される。   When the concentration (second physical quantity) of the chemical detected by the densitometer 13 indicates that “there is a gas in the metering pump 11” (in FIG. 3, the detected concentration of the chemical is equal to or less than the threshold DVt). The control switching unit 44 changes from the concentration control mode M1 by the first stroke control unit 42 to the degassing mode M2 by the second stroke control unit 43 (see FIG. 3). That is, a first switching step is performed in which the concentration control mode step is changed to a degassing mode step which will be described later.

第一切換工程が実施されると、第二ストローク制御部４３によりダイヤフラム２２のストローク量を最大ストローク量Ｓｍａｘとするガス抜きモード工程が実施される。
ガス抜きモード工程では、定量ポンプ１１の出力が最大となるため、液室２５の容積を最小にして、液室２５を含む定量ポンプ１１内のガスを吐出口１１Ｂから配管７側に排出することができる。これにより、定量ポンプ１１内のガスに起因する配管７への薬液の供給低下や停止を抑え、薬液の検知濃度を濃度の目的値ＤＶｐに向けて戻すことができる（図３参照）。 When the first switching step is performed, the second stroke control unit 43 performs a degassing mode step in which the stroke amount of the diaphragm 22 is set to the maximum stroke amount Smax.
In the degassing mode process, the output of the metering pump 11 is maximized, so that the volume of the liquid chamber 25 is minimized and the gas in the metering pump 11 including the liquid chamber 25 is discharged from the discharge port 11B to the pipe 7 side. Can do. Thereby, the supply fall and stop of the chemical | medical solution to the piping 7 resulting from the gas in the metering pump 11 can be suppressed, and the detection density | concentration of a chemical | medical solution can be returned toward the target value DVp of a density | concentration (refer FIG. 3).

また、上記したガス抜きモード工程においてダイヤフラム２２が予め定められた回数（例えば１〜１０回）往復移動した後には、制御切換部４４がガス抜きモードＭ２から濃度制御モードＭ１に変更する（図３参照）。すなわち、ガス抜きモード工程から濃度制御モード工程に変更する第二切換工程が実施される。
また、本実施形態の制御方法では、配管７中の薬液の濃度に関係なく、予め設定された所定時間毎に、濃度制御モードＭ１からガス抜きモードＭ２に変更する第三切換工程も実施される。第三切換工程は制御切換部４４により実施される。第三切換工程の実施後には、前述したガス抜きモード工程及び第二切換工程が順次実施される。 Further, after the diaphragm 22 reciprocates a predetermined number of times (for example, 1 to 10 times) in the above-described degassing mode step, the control switching unit 44 changes from the degassing mode M2 to the concentration control mode M1 (FIG. 3). reference). That is, the second switching step for changing from the degassing mode step to the concentration control mode step is performed.
Further, in the control method of the present embodiment, a third switching step for changing from the concentration control mode M1 to the degassing mode M2 is also performed at predetermined time intervals regardless of the concentration of the chemical solution in the pipe 7. . The third switching step is performed by the control switching unit 44. After the third switching step, the above-described degassing mode step and second switching step are sequentially performed.

以上説明した本実施形態のポンプ設備１０Ａにおいて使用可能な薬液は、配管７中の液体に含まれる薬液の濃度を検知できるものであればよく、例えばヒドラジン（Ｎ２Ｈ４）、次亜塩素酸ソーダ（２ＮａＣｌＯ）が挙げられる。ヒドラジンの場合には例えば濃度計１３においてヒドラジン濃度を検知すればよく、次亜塩素酸ソーダの場合には例えば濃度計１３において残留塩素濃度を検知すればよい。
これらヒドラジンや次亜塩素酸ソーダ等の薬液は、液室２５内で自己分解反応によって窒素（Ｎ２）ガスや酸素（Ｏ２）ガスが発生するが、上記した本実施形態のように定量ポンプ１１内のガス抜きを実施することで、配管７への薬液の注入が阻害されることを防止できる。 The chemical solution that can be used in the pump facility 10A of the present embodiment described above may be any chemical solution that can detect the concentration of the chemical solution contained in the liquid in the pipe 7, such as hydrazine (N 2 H 4 ) or hypochlorous acid. Soda (2NaClO) is mentioned. In the case of hydrazine, for example, the concentration meter 13 may detect the hydrazine concentration, and in the case of sodium hypochlorite, for example, the concentration meter 13 may detect the residual chlorine concentration.
In these chemicals such as hydrazine and sodium hypochlorite, nitrogen (N 2 ) gas and oxygen (O 2 ) gas are generated in the liquid chamber 25 by the self-decomposition reaction. By performing degassing in 11, the injection of the chemical solution into the pipe 7 can be prevented from being hindered.

以上説明したように、本実施形態の制御装置１２及び制御方法によれば、定量ポンプ１１に備えるダイヤフラム２２のストローク量を制御するだけで、配管７中における薬液の濃度を制御でき、さらに、往復式定量ポンプ１１内で発生した窒素ガスや酸素ガス等のガスを吐出口１１Ｂから配管７側に排出することもできる。したがって、従来のようなガス抜き通路等の特別な構造を備えない既存の定量ポンプ１１を使用しながらガス抜きを実現することができる。したがって、定量ポンプ１１を含むポンプ設備１０Ａの低コスト化を図ることができる。
また、本実施形態によれば、定量ポンプ１１内のガスを吐出口１１Ｂから配管７（系内）に排出し、従来のように系外に排出しないため、本実施形態の制御装置１２や制御方法は高圧の定量ポンプ１１にも適用可能である。 As described above, according to the control device 12 and the control method of the present embodiment, the concentration of the chemical solution in the pipe 7 can be controlled only by controlling the stroke amount of the diaphragm 22 provided in the metering pump 11, and further Gases such as nitrogen gas and oxygen gas generated in the formula metering pump 11 can be discharged from the discharge port 11B to the pipe 7 side. Therefore, degassing can be realized while using an existing metering pump 11 that does not have a special structure such as a conventional degassing passage. Therefore, cost reduction of the pump equipment 10A including the metering pump 11 can be achieved.
Further, according to the present embodiment, the gas in the metering pump 11 is discharged from the discharge port 11B to the pipe 7 (inside the system) and is not discharged out of the system as in the prior art. The method can also be applied to the high-pressure metering pump 11.

さらに、本実施形態によれば、ガス抜きモードでダイヤフラム２２が予め定められた回数だけ往復移動した後に濃度制御モードに復帰するため、ガス抜きモードにおいて配管７に注入される薬液の注入量を所定量に抑え、配管７内を流れる液体における薬液の濃度が、ガス抜きモードにおいて注入された薬液によって大きく変化することを抑制できる。   Furthermore, according to this embodiment, since the diaphragm 22 reciprocates a predetermined number of times in the degassing mode and then returns to the concentration control mode, the injection amount of the chemical solution injected into the pipe 7 in the degassing mode is determined. It can suppress to fixed_quantity | quantitative_assay and it can suppress that the density | concentration of the chemical | medical solution in the liquid which flows through the inside of the piping 7 changes greatly with the chemical | medical solution inject | poured in the degassing mode.

また、本実施形態によれば、濃度制御モードでのダイヤフラム２２のストローク量の制御、及び、濃度制御モードからガス抜きモードへの切換制御の両方が、薬液の濃度に基づいて実施されるため、一つの濃度計１３だけを用意すればよい。したがって、ポンプ設備１０Ａの簡素化を図ることができる。   Further, according to the present embodiment, both the stroke amount control of the diaphragm 22 in the concentration control mode and the switching control from the concentration control mode to the degassing mode are performed based on the concentration of the chemical solution. Only one densitometer 13 needs to be prepared. Therefore, simplification of the pump equipment 10A can be achieved.

さらに、本実施形態によれば、配管７中の薬液の濃度に関係なく、定期的（例えば一日一回、数時間に一回）に濃度制御モードからガス抜きモードに変更するため、定量ポンプ１１内におけるガスが少量で、配管７中の薬液の濃度変化に影響を与えなくても、定量ポンプ１１内のガスを吐出口１１Ｂから配管７側に排出することができる。   Furthermore, according to the present embodiment, since the concentration control mode is changed from the concentration control mode to the degassing mode periodically (for example, once a day or once every several hours) regardless of the concentration of the chemical in the pipe 7, the metering pump The gas in the metering pump 11 can be discharged from the discharge port 11B to the pipe 7 side even if the gas in the pipe 11 is small and does not affect the change in the concentration of the chemical in the pipe 7.

〔第二実施形態〕
次に、本発明の第二実施形態について、図４，５を参照して、第一実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第一実施形態と共通する構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。 [Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 5 focusing on differences from the first embodiment. In addition, about the structure which is common in 1st embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

図４に示すように、本実施形態のポンプ設備１０Ｂは、第一実施形態と同様の往復式定量ポンプ１１、制御装置１２、及び、濃度計（第一物理量検知部）１３、を備える。さらに、本実施形態のポンプ設備１０Ｂは圧力計（第二物理量検知部）１６も備える。
圧力計１６は、吐出口１１Ｂから吐出される薬液の圧力を検知する。圧力計１６は、定量ポンプ１１の作動による圧力の脈動を良好に検知できるように、吐出口１１Ｂの近くに配されるとよい。本実施形態では、圧力計１６が定量ポンプ１１の吐出口１１Ｂと配管７とを接続する接続配管１５に設けられている。 As shown in FIG. 4, the pump facility 10 </ b> B of this embodiment includes a reciprocating metering pump 11, a control device 12, and a concentration meter (first physical quantity detection unit) 13 similar to those of the first embodiment. Furthermore, the pump facility 10 </ b> B of the present embodiment also includes a pressure gauge (second physical quantity detection unit) 16.
The pressure gauge 16 detects the pressure of the chemical liquid discharged from the discharge port 11B. The pressure gauge 16 may be arranged near the discharge port 11B so that the pressure pulsation due to the operation of the metering pump 11 can be detected well. In the present embodiment, the pressure gauge 16 is provided in the connection pipe 15 that connects the discharge port 11 </ b> B of the metering pump 11 and the pipe 7.

本実施形態の制御装置１２は、第一実施形態と同様に、入力部４１、第一ストローク制御部４２、第二ストローク制御部４３、制御切換部４４、及び、出力部４５、を備える。第一ストローク制御部４２、第二ストローク制御部４３及び出力部４５は第一実施形態と同様である。
本実施形態の入力部４１は、第一実施形態と同様に、濃度計１３で検知された薬液の検知濃度を制御装置１２内に入力するが、第一ストローク制御部４２にのみ出力する。また、本実施形態の入力部４１は、圧力計１６で検知された薬液の圧力（検知圧力）を制御装置１２内に入力し、制御切換部４４に出力する。 The control device 12 of this embodiment includes an input unit 41, a first stroke control unit 42, a second stroke control unit 43, a control switching unit 44, and an output unit 45, as in the first embodiment. The 1st stroke control part 42, the 2nd stroke control part 43, and the output part 45 are the same as that of 1st embodiment.
Similarly to the first embodiment, the input unit 41 of the present embodiment inputs the detected concentration of the chemical solution detected by the densitometer 13 into the control device 12, but outputs it only to the first stroke control unit 42. Further, the input unit 41 of the present embodiment inputs the pressure of the chemical solution (detected pressure) detected by the pressure gauge 16 into the control device 12 and outputs it to the control switching unit 44.

制御切換部４４は、第一実施形態と同様に、第一ストローク制御部４２による濃度制御モード（物理量制御モード）と、第二ストローク制御部４３によるガス抜きモードとに切り換え、選択されたモードに応じて、第一ストローク制御部４２あるいは第二ストローク制御部４３からのデータを出力部４５に出力する。   As in the first embodiment, the control switching unit 44 switches between the concentration control mode (physical quantity control mode) by the first stroke control unit 42 and the degassing mode by the second stroke control unit 43 and switches to the selected mode. In response, the data from the first stroke control unit 42 or the second stroke control unit 43 is output to the output unit 45.

本実施形態の制御切換部４４は、配管７内を流れる液体に関する物理量であり、液室２５を含む定量ポンプ１１内におけるガスの有無に応じて変化する薬液の圧力（第二物理量）が、「定量ポンプ１１内にガスがある」ことを示す状態になった際に、濃度制御モードからガス抜きモードに変更する。
本実施形態の制御切換部４４は、圧力計１６で検知される薬液の検知圧力が所定の閾値よりも小さくなった際に「定量ポンプ１１内にガスがある」と判定し、濃度制御モードからガス抜きモードに変更する。図５のグラフに示すように、圧力の閾値ＰＶｔは、定量ポンプ１１の動作によって薬液が吐出口１１Ｂから吐出されたときにおける薬液の最大圧力が、ガスが無い状態における圧力値と比較して低い圧力値であり、「定量ポンプ１１内にガスがある」と判定される圧力値である。この閾値ＰＶｔは、予め設定されるものであり、例えば制御装置１２の記憶部（不図示）に記憶されている。 The control switching unit 44 of the present embodiment is a physical quantity relating to the liquid flowing in the pipe 7, and the pressure of the chemical liquid (second physical quantity) that changes depending on the presence or absence of gas in the metering pump 11 including the liquid chamber 25 is “ When it becomes a state indicating that “there is gas in the metering pump 11”, the concentration control mode is changed to the degassing mode.
The control switching unit 44 of the present embodiment determines that “there is gas in the metering pump 11” when the detected pressure of the chemical liquid detected by the pressure gauge 16 becomes smaller than a predetermined threshold, and starts from the concentration control mode. Change to degas mode. As shown in the graph of FIG. 5, the pressure threshold PVt is lower than the pressure value in the absence of gas when the chemical liquid is discharged from the discharge port 11B by the operation of the metering pump 11. It is a pressure value, and is a pressure value determined as “there is gas in the metering pump 11”. This threshold value PVt is set in advance, and is stored in, for example, a storage unit (not shown) of the control device 12.

また、制御切換部４４は、第一実施形態と同様に、ガス抜きモードでダイヤフラム２２が予め定められた回数往復移動した後に、ガス抜きモードから濃度制御モードに変更する。
さらに、制御切換部４４は、第一実施形態と同様に、予め設定された所定時間毎に、濃度制御モードからガス抜きモードに変更する。 Similarly to the first embodiment, the control switching unit 44 changes from the gas venting mode to the concentration control mode after the diaphragm 22 has reciprocated a predetermined number of times in the gas venting mode.
Further, the control switching unit 44 changes from the concentration control mode to the degassing mode every predetermined time set in the same manner as in the first embodiment.

次に、本実施形態におけるポンプ設備１０Ｂの動作、特に、定量ポンプ１１の制御方法について説明する。
本実施形態では、第一実施形態と同様の濃度制御モード工程、第一切換工程、ガス抜きモード工程、第二切換工程、第三切換工程が適宜実施される。ただし、本実施形態の第一切換工程では、図５のグラフに示すように、圧力計１６で検知される薬液の検知圧力（第二物理量）が「定量ポンプ１１内にガスがある」ことを示す状態（図５において検知圧力が閾値ＰＶｔ以下である状態）になると、制御切換部４４が、第一ストローク制御部４２による濃度制御モードＭ１から第二ストローク制御部４３によるガス抜きモードＭ２に変更する。
上記した第一切換工程後には、第一実施形態と同様のガス抜きモード工程が実施される。また、ガス抜きモード工程においてダイヤフラム２２が予め定められた回数（例えば１〜１０回）往復移動した後には、制御切換部４４がガス抜きモードＭ２から濃度制御モードＭ１に変更する。すなわち、第一実施形態と同様の第二切換工程が実施される。
以上説明した本実施形態のポンプ設備１０Ｂにおいて使用可能な薬液は、第一実施形態と同様である。 Next, the operation of the pump facility 10B in the present embodiment, in particular, a method for controlling the metering pump 11 will be described.
In the present embodiment, the same concentration control mode process, first switching process, degassing mode process, second switching process, and third switching process as in the first embodiment are appropriately performed. However, in the first switching step of the present embodiment, as shown in the graph of FIG. 5, the detection pressure (second physical quantity) of the chemical liquid detected by the pressure gauge 16 is “there is gas in the metering pump 11”. When the state shown in FIG. 5 is reached (the detected pressure is equal to or less than the threshold PVt), the control switching unit 44 changes from the concentration control mode M1 by the first stroke control unit 42 to the degassing mode M2 by the second stroke control unit 43. To do.
After the first switching step described above, the same degassing mode step as that in the first embodiment is performed. Further, after the diaphragm 22 reciprocates a predetermined number of times (for example, 1 to 10 times) in the degassing mode step, the control switching unit 44 changes from the degassing mode M2 to the concentration control mode M1. That is, the same second switching process as that in the first embodiment is performed.
The chemical | medical solution which can be used in the pump installation 10B of this embodiment demonstrated above is the same as that of 1st embodiment.

本実施形態の制御装置１２及び制御方法によれば、第一実施形態と同様の効果を奏する。
また、本実施形態によれば、定量ポンプ１１から吐出されて流れる薬液の圧力に基づいて濃度制御モードからガス抜きモードに切り換える。定量ポンプ１１から吐出されて流れる薬液の圧力は、配管７中における薬液の濃度と比較して、ガスの有無に応じて大きく変動するため、より的確なタイミングでガス抜きモードに切り換えることが可能となり、定量ポンプ１１内のガスを効果的に排出することができる。 According to the control device 12 and the control method of the present embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.
Further, according to the present embodiment, the concentration control mode is switched to the degassing mode based on the pressure of the chemical liquid discharged from the metering pump 11 and flowing. Since the pressure of the chemical liquid discharged from the metering pump 11 varies greatly depending on the presence or absence of gas as compared with the concentration of the chemical liquid in the pipe 7, it is possible to switch to the gas venting mode at a more accurate timing. The gas in the metering pump 11 can be effectively discharged.

〔第三実施形態〕
次に、本発明の第三実施形態について、第一、第二実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第一、第二実施形態と共通する構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。 [Third embodiment]
Next, a third embodiment of the present invention will be described focusing on differences from the first and second embodiments. In addition, about the structure which is common in 1st, 2nd embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

本実施形態に係るポンプ設備は、図２，４に示すポンプ設備１０Ａ，１０Ｂから濃度計１３、圧力計１６を除いて構成される。
このため、本実施形態のポンプ設備に備える制御装置１２において、第二ストローク制御部４３及び出力部４５は第一、第二実施形態と同様であるが、入力部４１は、例えば備えなくてもよいし、例えばダイヤフラム２２のストローク量を手動で入力する機能を有してもよい。
また、本実施形態の第一ストローク制御部４２は、ストローク可変器２４に所定のストローク量を指示する。所定のストローク量は、例えば入力部４１に手動で入力されたダイヤフラム２２のストローク量、あるいは、予め設定されたダイヤフラム２２のストローク量である。所定のストローク量は、例えば制御装置１２の記憶部（不図示）に記憶される。第一ストローク制御部４２がストローク可変器２４に指示するダイヤフラム２２のストローク量の大きさは任意であってよいが、例えば最大ストローク量よりも小さくてもよい。 The pump facility according to the present embodiment is configured by removing the concentration meter 13 and the pressure gauge 16 from the pump facilities 10A and 10B shown in FIGS.
For this reason, in the control device 12 provided in the pump equipment of the present embodiment, the second stroke control unit 43 and the output unit 45 are the same as those in the first and second embodiments, but the input unit 41 may not be provided, for example. For example, the stroke amount of the diaphragm 22 may be manually input.
Further, the first stroke control unit 42 of the present embodiment instructs the stroke variable device 24 on a predetermined stroke amount. The predetermined stroke amount is, for example, the stroke amount of the diaphragm 22 manually input to the input unit 41 or a preset stroke amount of the diaphragm 22. The predetermined stroke amount is stored in a storage unit (not shown) of the control device 12, for example. The magnitude of the stroke amount of the diaphragm 22 that the first stroke control unit 42 instructs the stroke variable device 24 may be arbitrary, but may be smaller than the maximum stroke amount, for example.

さらに、本実施形態の制御切換部４４は、予め設定された所定時間毎に、第一ストローク制御部４２による定常制御モード（上記した所定のストローク量をストローク可変器２４に指示するモード）から第二ストローク制御部４３によるガス抜きモードに変更する。
また、本実施形態の制御切換部４４は、第一、第二実施形態の場合と同様に、ガス抜きモードでダイヤフラム２２が予め定められた回数往復移動した後に、ガス抜きモードから定常制御モードに変更する。 Further, the control switching unit 44 of the present embodiment starts from the steady control mode (the mode in which the above-described predetermined stroke amount is instructed to the stroke variable device 24) by the first stroke control unit 42 every predetermined time set in advance. The mode is changed to the degassing mode by the two-stroke controller 43.
Further, as in the first and second embodiments, the control switching unit 44 of this embodiment switches from the gas venting mode to the steady control mode after the diaphragm 22 has reciprocated a predetermined number of times in the gas venting mode. change.

次に、本実施形態における定量ポンプ１１の制御方法について説明する。
本実施形態の制御方法では、例えば定量ポンプ１１により薬液を配管７に定常的に供給する定常状態において、制御切換部４４が第一ストローク制御部４２による定常制御モードを選択し、定常制御モードのストローク量データをストローク可変器２４に出力する。すなわち、定常状態では、ダイヤフラム２２のストローク量を所定のストローク量に制御する定常制御モード工程が実施される。
そして、本実施形態の制御方法では、予め設定された所定時間毎に、定常制御モードからガス抜きモードに変更する第一切換工程が実施される。第一切換工程は制御切換部４４により実施される。第一切換工程の実施後には、第一、第二実施形態と同様のガス抜きモード工程が実施される。また、ガス抜きモード工程においてダイヤフラム２２が予め定められた回数（例えば１〜１０回）往復移動した後には、制御切換部４４がガス抜きモードから定常制御モードに変更する。すなわち、ガス抜きモード工程から定常制御モード工程に変更する第二切換工程が実施される。 Next, a method for controlling the metering pump 11 in this embodiment will be described.
In the control method of the present embodiment, for example, in the steady state in which the chemical liquid is constantly supplied to the pipe 7 by the metering pump 11, the control switching unit 44 selects the steady control mode by the first stroke control unit 42, The stroke amount data is output to the stroke variable device 24. That is, in the steady state, a steady control mode process for controlling the stroke amount of the diaphragm 22 to a predetermined stroke amount is performed.
And in the control method of this embodiment, the 1st switching process which changes to a degassing mode from a steady control mode is implemented for every predetermined time set beforehand. The first switching step is performed by the control switching unit 44. After the first switching step, the same degassing mode step as in the first and second embodiments is performed. In addition, after the diaphragm 22 reciprocates a predetermined number of times (for example, 1 to 10 times) in the degassing mode process, the control switching unit 44 changes from the degassing mode to the steady control mode. That is, the second switching step for changing from the degassing mode step to the steady control mode step is performed.

本実施形態の制御装置１２及び制御方法によれば、配管７内を流れる液体に関する物理量（例えば濃度や圧力）を検知できなくても、定量ポンプ１１内のガスを定期的（例えば一日一回、数時間に一回）に吐出口１１Ｂから配管７側に排出することができる。したがって、本実施形態の制御装置１２や制御方法を採用するだけで、既存の定量ポンプ１１を使用しながらガス抜きを実現することができ、定量ポンプ１１を含む設備の低コスト化を図ることができる。すなわち、第一、第二実施形態と同様の効果を奏する。   According to the control device 12 and the control method of the present embodiment, the gas in the metering pump 11 is periodically (for example, once a day) even if a physical quantity (for example, concentration or pressure) related to the liquid flowing in the pipe 7 cannot be detected. , Once every few hours) from the discharge port 11B to the pipe 7 side. Therefore, it is possible to realize gas venting while using the existing metering pump 11 only by adopting the control device 12 and the control method of the present embodiment, and the cost of the equipment including the metering pump 11 can be reduced. it can. That is, the same effects as those of the first and second embodiments are achieved.

以上、本発明の詳細について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることができる。
例えば、第一、第二実施形態では、定量ポンプ１１内におけるガスの有無に応じて変化する第二物理量として、配管７内を流れる液体中における薬液の濃度や、定量ポンプ１１から吐出されて流れる薬液の圧力を採用しているが、これに限ることはなく、例えば配管７内を流れる液体の電気伝導率等、配管内７を流れる液体に関する他の物理量を採用してもよい。 Although the details of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in the first and second embodiments, as the second physical quantity that changes in accordance with the presence or absence of gas in the metering pump 11, the concentration of the chemical in the liquid flowing in the pipe 7, or the gas discharged from the metering pump 11 flows. Although the pressure of the chemical solution is adopted, the present invention is not limited to this, and other physical quantities relating to the liquid flowing in the pipe 7 such as the electrical conductivity of the liquid flowing in the pipe 7 may be adopted.

また、第一、第二実施形態では、配管７内を流れる液体中における薬液の濃度（第一物理量）が目的の値となるように、ダイヤフラム２２のストローク量を制御するが、これに限ることはなく、例えば配管７内を流れる液体の電気伝導率等、配管内７を流れる液体に関する他の物理量（第一物理量）が目的の値となるように、ダイヤフラム２２のストローク量を制御してもよい。すなわち、第一、第二実施形態のポンプ設備１０Ａ，１０Ｂは、濃度計１３、圧力計１６を備えることに限らず、少なくとも第一物理量や第二物理量を検出する物理量検知部を備えればよい。   In the first and second embodiments, the stroke amount of the diaphragm 22 is controlled so that the concentration (first physical quantity) of the chemical in the liquid flowing in the pipe 7 becomes a target value. Even if, for example, the stroke amount of the diaphragm 22 is controlled so that another physical quantity (first physical quantity) relating to the liquid flowing in the pipe 7 becomes a target value, such as the electric conductivity of the liquid flowing in the pipe 7. Good. That is, the pump facilities 10A and 10B according to the first and second embodiments are not limited to including the concentration meter 13 and the pressure gauge 16, but may include a physical quantity detection unit that detects at least the first physical quantity and the second physical quantity. .

さらに、第一、第二実施形態の制御切換部４４は、ガス抜きモードでダイヤフラム２２が予め定められた回数往復移動した後に、ガス抜きモードから物理量制御モード（濃度制御モード、圧力制御モード）に変更するが、これに限ることはない。第一、第二実施形態の制御切換部４４は、例えば物理量制御モードからガス抜きモードに切り換える場合と同様に、第二物理量が「定量ポンプ１１内にガスが無い」ことを示す状態になる（例えば濃度や圧力が閾値以上になる）と、ガス抜きモードから物理量制御モードに切り換えてもよい。   Furthermore, the control switching unit 44 of the first and second embodiments switches from the degas mode to the physical quantity control mode (concentration control mode, pressure control mode) after the diaphragm 22 reciprocates a predetermined number of times in the degas mode. Change, but not limited to this. The control switching unit 44 of the first and second embodiments is in a state in which the second physical quantity indicates that “there is no gas in the metering pump 11”, for example, as in the case of switching from the physical quantity control mode to the degassing mode ( For example, when the concentration or pressure becomes equal to or higher than a threshold value, the degassing mode may be switched to the physical quantity control mode.

そして、本発明の制御装置１２及び制御方法は、ダイヤフラム２２を備える定量ポンプ１１に適用されることに限らず、少なくともヘッドの往復移動により液室の容積が増減する往復式定量ポンプに適用することが可能である。ヘッドの他の例としては、シリンダ内を往復移動するピストンが挙げられる。
また、本発明のポンプ設備１０Ａ，１０Ｂやこれに備える制御装置１２及び制御方法は、蒸気タービン設備１に適用されることに限らず、各種設備に適用することが可能である。 The control device 12 and the control method of the present invention are not limited to being applied to the metering pump 11 provided with the diaphragm 22, but are applied to at least a reciprocating metering pump in which the volume of the liquid chamber is increased or decreased by the reciprocating movement of the head. Is possible. Another example of the head is a piston that reciprocates in a cylinder.
Moreover, the pump equipment 10A, 10B of the present invention and the control device 12 and the control method provided therein are not limited to being applied to the steam turbine equipment 1, but can be applied to various equipment.

７…配管、１０Ａ，１０Ｂ…ポンプ設備、１１…往復式定量ポンプ、１１Ｂ…吐出口、１２…制御装置、１３…濃度計（物理量検知部、第一物理量検知部）、１６…圧力計（第二物理量検知部）、２２…ダイヤフラム（ヘッド）、２４…ストローク可変器、２５…液室、４２…第一ストローク制御部、４３…第二ストローク制御部、４４…制御切換部、Ｍ１…濃度制御モード（物理量制御モード）、Ｍ２…ガス抜きモード DESCRIPTION OF SYMBOLS 7 ... Pipe, 10A, 10B ... Pump equipment, 11 ... Reciprocating metering pump, 11B ... Discharge port, 12 ... Control device, 13 ... Concentration meter (physical quantity detection part, 1st physical quantity detection part), 16 ... Pressure gauge (1st 2 physical quantity detector), 22 ... diaphragm (head), 24 ... stroke variable, 25 ... liquid chamber, 42 ... first stroke controller, 43 ... second stroke controller, 44 ... control switching unit, M1 ... concentration control Mode (physical quantity control mode), M2 ... degassing mode

Claims (5)

ヘッドの往復移動により液室の容積が増減する往復式定量ポンプ用の制御装置であって、
前記往復式定量ポンプの吐出口に接続された配管内を流れる液体に関する第一物理量が目的の値になるように、前記ヘッドのストローク量を変えるストローク可変器にストローク量を指示する第一ストローク制御部と、
前記ストローク可変器に最大ストローク量を指示する第二ストローク制御部と、
前記配管内を流れる液体に関する物理量であって、前記液室を含む前記往復式定量ポンプ内におけるガスの有無に応じて変化する第二物理量が、前記ガスの有りを示す状態になると、前記第一ストローク制御部による物理量制御モードから前記第二ストローク制御部によるガス抜きモードに変更する制御切換部と、
を備え、
前記第一物理量と前記第二物理量とは、同一の物理量であり、
前記第一物理量及び前記第二物理量は、前記往復式定量ポンプから前記配管中に吐出された液体の濃度に相関する物理量であることを特徴とする往復式定量ポンプの制御装置。 A control device for a reciprocating metering pump in which the volume of the liquid chamber is increased or decreased by the reciprocating movement of the head,
First stroke control for instructing the stroke amount to the stroke variable device that changes the stroke amount of the head so that the first physical amount related to the liquid flowing in the pipe connected to the discharge port of the reciprocating metering pump becomes a target value. And
A second stroke control unit for instructing a maximum stroke amount to the stroke variable device;
When the second physical quantity, which is a physical quantity related to the liquid flowing in the pipe and changes depending on the presence or absence of gas in the reciprocating metering pump including the liquid chamber, indicates the presence of the gas, the first quantity A control switching unit for changing from a physical quantity control mode by a stroke control unit to a degassing mode by the second stroke control unit;
Equipped with a,
The first physical quantity and the second physical quantity are the same physical quantity,
The control device for a reciprocating metering pump, wherein the first physical quantity and the second physical value are physical quantities correlating with a concentration of liquid discharged from the reciprocating metering pump into the pipe . 前記制御切換部は、前記ガス抜きモードで前記ヘッドが予め定められた回数往復移動すると、前記ガス抜きモードから前記物理量制御モードに変更することを特徴とする請求項１に記載の往復式定量ポンプの制御装置。   2. The reciprocating metering pump according to claim 1, wherein the control switching unit changes from the degassing mode to the physical quantity control mode when the head reciprocates a predetermined number of times in the degassing mode. Control device. 前記制御切換部は、予め設定された所定時間毎に、前記物理量制御モードから前記ガス抜きモードに変更することを特徴とする請求項１又は２に記載の往復式定量ポンプの制御装置。 3. The reciprocating metering pump control device according to claim 1, wherein the control switching unit changes from the physical quantity control mode to the degassing mode every predetermined time set in advance. 4. ヘッドが液室内で往復移動する往復式定量ポンプと、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の制御装置と、
を備えることを特徴とするポンプ設備。 A reciprocating metering pump in which the head reciprocates in the liquid chamber;
The control device according to any one of claims 1 to 3 ,
A pump facility comprising: ヘッドの往復移動により液室の容積が増減する往復式定量ポンプ用の制御方法であって、
前記往復式定量ポンプの吐出口に接続された配管内を流れる液体に関する第一物理量が目的の値になるように、前記ヘッドのストローク量を制御する物理量制御モード工程と、
前記ヘッドのストローク量を最大ストローク量とするガス抜きモード工程と、
前記配管内を流れる液体に関する物理量であって、前記液室を含む前記往復式定量ポンプ内におけるガスの有無に応じて変化する第二物理量が、前記ガスの有りを示す状態になると、前記物理量制御モード工程から前記ガス抜きモード工程に変更する切換工程と、
を含み、
前記第一物理量と前記第二物理量とは、同一の物理量であり、
前記第一物理量及び前記第二物理量は、前記往復式定量ポンプから前記配管中に吐出された液体の濃度に相関する物理量であることを特徴とする往復式定量ポンプの制御方法。 A control method for a reciprocating metering pump in which the volume of the liquid chamber is increased or decreased by the reciprocating movement of the head,
A physical quantity control mode step of controlling the stroke amount of the head so that the first physical quantity relating to the liquid flowing in the pipe connected to the discharge port of the reciprocating metering pump becomes a target value;
A degassing mode step in which the stroke amount of the head is the maximum stroke amount;
When a second physical quantity that is a physical quantity related to the liquid flowing in the pipe and changes depending on the presence or absence of gas in the reciprocating metering pump including the liquid chamber is in a state indicating the presence of the gas, the physical quantity control A switching step for changing from the mode step to the degassing mode step;
Including
The first physical quantity and the second physical quantity are the same physical quantity,
The control method for a reciprocating metering pump, wherein the first physical quantity and the second physical quantity are physical quantities that correlate with a concentration of liquid discharged from the reciprocating metering pump into the pipe .
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JPS519043Y1 (en) * 1969-03-28 1976-03-10
JPS60162280U (en) * 1984-04-05 1985-10-28 株式会社　ト−ケミ Automatic gas venting device for metering pumps
JP3069598B2 (en) * 1994-08-19 2000-07-24 克美 野村 Fixed dose pump system
JP5280721B2 (en) * 2008-03-27 2013-09-04 日機装エイコー株式会社 Reciprocating pump with automatic degassing mechanism
EP2362102B1 (en) * 2010-02-18 2012-10-03 Grundfos Management A/S Metering pump aggregate

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