JP6204993B2 - コネクタの上方に液体封じ込めチャンバを有する試験システム - Google Patents
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Description
Claims (20)
- 冷却剤を保持するための流体チャネルを含むマニフォルドと、
前記マニフォルドに機械的に結合され、冷却剤を流体チャネルと試験ボードとの間に通すためのチャネルを含む着脱式コネクタと、
前記マニフォルドに機械的に結合される封じ込め板と、
前記着脱式コネクタの少なくとも一部分を覆い、前記着脱式コネクタ及び前記封じ込め板に気密にシールされて封じ込めチャンバを形成するカバーとを備える試験システム。 - 前記着脱式コネクタは第1着脱式コネクタであり、前記カバーは第1カバーであり、前記封じ込めチャンバは第1封じ込めチャンバであり、且つ前記試験システムは、
前記マニフォルドに機械的に結合され、冷却剤を流体チャネルと前記試験ボードとの間に通すためのチャネルを含む第2着脱式コネクタと、
前記第2着脱式コネクタの少なくとも一部分を覆い、前記第2着脱式コネクタ及び前記封じ込め板に気密にシールされて第2封じ込めチャンバを形成する第2カバーとを更に備える、請求項1に記載の試験システム。 - 前記封じ込め板は、前記第1封じ込めチャンバと前記第2封じ込めチャンバとを接続して封じ込めゾーンを形成する1つ以上のチャネルを含み、且つ
前記マニフォルドは、前記封じ込めゾーンからの出力チャネルを含む、請求項2に記載の試験システム。 - 冷却剤及び気体を前記封じ込めゾーンから運び出すための前記出力チャネルと流体連通され、前記冷却剤を前記気体から分離するセパレータを更に備える、請求項3に記載の試験システム。
- 前記セパレータは、らせん状インサート管を含む、請求項4に記載の試験システム。
- 前記冷却剤を受容するために前記セパレータに機械的に結合される管と、
前記管内の前記冷却剤を検知するためのセンサと、
前記管から前記冷却剤を排水するための排水弁とを更に備える、請求項4に記載の試験システム。 - 前記封じ込めゾーンの気圧を吸引することで下げる真空生成器を更に備え、
前記真空生成器は前記セパレータに機械的に結合され、前記気体が前記セパレータから出て前記真空生成器に流れることを可能にする、請求項4に記載の試験システム。 - 前記封じ込めゾーン内の気圧を監視するための圧力モニタを更に備える、請求項7に記載の試験システム。
- 前記第1カバーと前記封じ込め板との間、及び前記第2カバーと前記封じ込め板との間に、気密のシールを作るために用いられる圧縮板を更に備え、前記第1カバーの少なくとも一部分及び前記第2カバーの少なくとも一部分は、前記圧縮板と前記封じ込め板との間にあり、前記圧縮板は、前記圧縮板を前記封じ込め板に対して締着するための前記封じ込め板への機械的接続を含む、請求項2に記載の試験システム。
- 前記カバーはシリコーンを含み、前記冷却剤は水を含む、請求項1に記載の試験システム。
- 液体冷却剤を試験ボードに提供するための供給チャネルと、前記試験ボードからの液体冷却剤を受容するための戻りチャネルとを含む構造体と、
前記供給チャネルと流体連通される第1着脱式コネクタと、
前記第1着脱式コネクタの少なくとも一部分を覆い、前記第1着脱式コネクタ及び前記構造体に対して気密にシールされて第1封じ込めチャンバを形成する第1カバーと、
前記戻りチャネルと流体連通される第2着脱式コネクタと、
前記第2着脱式コネクタの少なくとも一部分を覆い、前記第2着脱式コネクタ及び前記構造体に気密にシールされて第2封じ込めチャンバを形成する第2カバーとを更に備え、
前記構造体は、前記第1封じ込めチャンバ及び前記第2封じ込めチャンバの両方に流体連通する出力チャネルを含む、試験システム。 - 前記構造体は、
前記戻りチャネルと前記供給チャネルとを含むマニフォルドと、
前記マニフォルドに機械的に結合され、前記第1着脱式コネクタ及び前記第2着脱式コネクタの周囲の流体シールを含む封じ込め板とを備える、請求項11に記載の試験システム。 - 前記第1カバーと前記封じ込め板との間、及び前記第2カバーと前記封じ込め板との間に、気密のシールを作るために用いられる圧縮板を更に備え、前記第1カバーの少なくとも一部分及び前記第2カバーの少なくとも一部分は、前記圧縮板と前記封じ込め板との間にあり、前記圧縮板は、前記圧縮板を前記封じ込め板に対して締着するための前記封じ込め板への機械的接続を含む、請求項12に記載の試験システム。
- 前記封じ込め板は、前記第1封じ込めチャンバと前記第2封じ込めチャンバとを接続する、請求項12に記載の試験システム。
- 液体冷却剤及び気体を前記第1封じ込めチャンバ及び前記第2封じ込めチャンバのうちの少なくとも1つから運び出すための前記出力チャネルと流体連通され、前記液体冷却剤を前記気体から分離するセパレータを更に備える、請求項11に記載の試験システム。
- 前記セパレータは、らせん状インサート管を含む、請求項15に記載の試験システム。
- 前記液体冷却剤を受容するために前記セパレータに機械的に結合される管と、
前記管内の前記液体冷却剤を検知するためのセンサと、
前記液体冷却剤を前記管から排水するための排水弁とを更に備える、請求項15に記載の試験システム。 - 前記第1封じ込めチャンバ内及び前記第2封じ込めチャンバ内の気圧を、吸引することにより下げる真空生成器を更に備え、
前記真空生成器は前記セパレータに機械的に結合され、前記気体が前記セパレータから出て前記真空生成器に流れることを可能にする、請求項15に記載の試験システム。 - 前記封じ込めゾーン内の気圧を監視するための圧力モニタを更に備える、請求項18に記載の試験システム。
- 前記第1カバー及び前記第2カバーそれぞれがシリコーンを含み、前記液体冷却剤が水である、請求項11に記載の試験システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/728,083 | 2012-12-27 | ||
US13/728,083 US9261311B2 (en) | 2012-12-27 | 2012-12-27 | Test system having liquid containment chambers over connectors |
PCT/US2013/062830 WO2014105242A1 (en) | 2012-12-27 | 2013-10-01 | Test system having liquid containment chambers over connectors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016503168A JP2016503168A (ja) | 2016-02-01 |
JP6204993B2 true JP6204993B2 (ja) | 2017-09-27 |
Family
ID=51015813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015550379A Active JP6204993B2 (ja) | 2012-12-27 | 2013-10-01 | コネクタの上方に液体封じ込めチャンバを有する試験システム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9261311B2 (ja) |
JP (1) | JP6204993B2 (ja) |
KR (1) | KR102142927B1 (ja) |
CN (1) | CN104797917B (ja) |
TW (1) | TWI612879B (ja) |
WO (1) | WO2014105242A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10527365B1 (en) | 2018-07-09 | 2020-01-07 | International Business Machines Corporation | Disconnect assembly for active cooling of packaged electronics |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08215650A (ja) * | 1995-02-17 | 1996-08-27 | Olympus Optical Co Ltd | 加熱乾燥装置 |
US5869765A (en) | 1997-07-28 | 1999-02-09 | Westinghouse Air Brake Company | Dual seal fitting for enabling quick measurement of brake cylinder pressure |
US5996401A (en) * | 1998-08-27 | 1999-12-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Leak test adapter system |
US7717470B1 (en) * | 2003-08-13 | 2010-05-18 | Lockheed Martin Corporation | Quick fluid connector leakage containment |
US6826948B1 (en) * | 2003-10-09 | 2004-12-07 | Delphi Technologies, Inc. | Leak detection apparatus for a liquid circulation cooling system |
US20050169710A1 (en) * | 2003-12-11 | 2005-08-04 | Folkers Joie L. | Containment system |
DE102004010148A1 (de) | 2004-02-27 | 2005-09-15 | Deere & Company, Moline | Gehäusestruktur |
US7187549B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-03-06 | Teradyne, Inc. | Heat exchange apparatus with parallel flow |
US7676016B2 (en) * | 2005-02-11 | 2010-03-09 | Holtec International, Inc. | Manifold system for the ventilated storage of high level waste and a method of using the same to store high level waste in a below-grade environment |
DE102005000126A1 (de) | 2005-09-22 | 2007-03-29 | Hilti Ag | Schnellkupplungsanschlussteil mit Filter |
JP4599337B2 (ja) * | 2006-11-27 | 2010-12-15 | 株式会社東芝 | 電子機器ユニットの接続構造 |
US7868633B1 (en) * | 2008-04-12 | 2011-01-11 | EADS North America, Inc. | Modular liquid cooled burn in system |
JP2010086981A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板乾燥装置及び基板乾燥方法 |
US8327879B2 (en) | 2010-03-10 | 2012-12-11 | Coast Pneumatics, Inc. | Modular manifold with quick disconnect valve fittings |
US8752527B2 (en) * | 2010-05-10 | 2014-06-17 | Cummins Intellectual Properties, Inc. | Assembly for connecting double high pressure wall line to a single-walled high pressure connector |
-
2012
- 2012-12-27 US US13/728,083 patent/US9261311B2/en active Active
-
2013
- 2013-10-01 CN CN201380060541.7A patent/CN104797917B/zh active Active
- 2013-10-01 WO PCT/US2013/062830 patent/WO2014105242A1/en active Application Filing
- 2013-10-01 KR KR1020157013113A patent/KR102142927B1/ko active IP Right Grant
- 2013-10-01 JP JP2015550379A patent/JP6204993B2/ja active Active
- 2013-12-25 TW TW102148160A patent/TWI612879B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102142927B1 (ko) | 2020-08-10 |
US20140182813A1 (en) | 2014-07-03 |
US9261311B2 (en) | 2016-02-16 |
WO2014105242A1 (en) | 2014-07-03 |
CN104797917B (zh) | 2018-04-24 |
TWI612879B (zh) | 2018-01-21 |
CN104797917A (zh) | 2015-07-22 |
JP2016503168A (ja) | 2016-02-01 |
KR20150101991A (ko) | 2015-09-04 |
TW201427585A (zh) | 2014-07-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160802 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170724 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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