JP6201233B2

JP6201233B2 - Test equipment

Info

Publication number: JP6201233B2
Application number: JP2013180165A
Authority: JP
Inventors: 小野　晴義; 晴義小野; 馬場　功; 功馬場
Original assignee: Sumitomo Electric Device Innovations Inc
Current assignee: Sumitomo Electric Device Innovations Inc
Priority date: 2013-08-30
Filing date: 2013-08-30
Publication date: 2017-09-27
Anticipated expiration: 2033-08-30
Also published as: JP2015049106A

Description

本発明は、試験装置に関し、例えば複数の被試験部と複数の測定部とがスイッチ部で接続された試験装置に関する。 The present invention relates to a test apparatus, for example, a test apparatus in which a plurality of units to be tested and a plurality of measurement units are connected by a switch unit.

半導体レーザ等の被試験物の特性を測定する試験装置として、被試験物を備える複数の被試験部と複数の測定部とをスイッチ部によって接続したネットワーク型試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。 As a test apparatus for measuring characteristics of a test object such as a semiconductor laser, a network type test apparatus in which a plurality of test parts including a test object and a plurality of measurement parts are connected by a switch unit is known (for example, Patent Document 1).

特開２００７−２７１５８８号公報JP 2007-271588 A

ネットワーク型試験装置では、被試験部を複数の測定部のうちの稼動していない測定部に接続させることが可能となるため、測定部の稼動効率を向上させることができる。しかしながら、測定効率の点で未だ改善の余地が残されている。 In the network type test apparatus, since the part under test can be connected to a measurement part that is not in operation among a plurality of measurement parts, the operation efficiency of the measurement part can be improved. However, there is still room for improvement in terms of measurement efficiency.

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、測定効率を向上させることが可能な試験装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a test apparatus capable of improving measurement efficiency.

本発明は、複数の被試験部と、同じ測定項目が測定可能な複数の測定部と、前記複数の測定部を１回の試験に許容される占有時間の範囲でグループ分けした情報を記憶する記憶手段と、前記複数の被試験部と前記複数の測定部との間の接続の切替を行うスイッチ部と、を備え、前記スイッチ部は、前記記憶手段に記憶された前記グループ分けした情報に基づき、前記被試験部において実施される試験にかかる時間に対応したグループの前記測定部を選択し、該当する前記被試験部と接続させることを特徴とする試験装置である。本発明によれば、測定効率を向上させることができる。 The present invention stores a plurality of parts under test, a plurality of measurement parts capable of measuring the same measurement item, and information obtained by grouping the plurality of measurement parts within a range of occupation time allowed for one test. A storage unit; and a switch unit that switches connection between the plurality of units to be tested and the plurality of measurement units, and the switch unit stores the grouped information stored in the storage unit. The test apparatus is characterized in that the measurement unit in a group corresponding to the time taken for the test performed in the unit under test is selected and connected to the corresponding unit under test. According to the present invention, measurement efficiency can be improved.

上記構成において、前記複数の被試験部それぞれで実施される試験にかかる時間に該当しない前記グループに所属する前記測定部は、他のグループに所属する前記測定部が測定を実施している期間も測定が停止される構成とすることができる。 In the above-described configuration, the measurement unit belonging to the group that does not correspond to the time taken for the test performed in each of the plurality of test units may be a period in which the measurement unit belonging to another group is performing measurement. The measurement can be stopped.

上記構成において、前記グループに所属する前記測定部の稼動履歴を参照し、前記測定部の前記測定が停止される期間が前記稼動履歴から求まる停止期間よりも短くなるように、前記グループに所属する前記測定部の台数および前記グループを定める前記占有時間の範囲の少なくとも一方を変更する変更手段を備える構成とすることができる。 In the above configuration, the operation history of the measurement unit belonging to the group is referred to, and the period during which the measurement of the measurement unit is stopped is shorter than the stop period obtained from the operation history. A change means for changing at least one of the number of the measurement units and the range of the occupation time defining the group can be provided.

本発明によれば、測定効率を向上させることができる。 According to the present invention, measurement efficiency can be improved.

図１は、実施例１に係る試験装置の全体構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating the overall configuration of the test apparatus according to the first embodiment. 図２（ａ）は、被試験部の詳細を示すブロック図、図２（ｂ）は、測定部の詳細を示すブロック図である。FIG. 2A is a block diagram showing details of the part under test, and FIG. 2B is a block diagram showing details of the measurement part. 図３は、実施例１に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart illustrating an example of a control method of the test apparatus according to the first embodiment. 図４は、時間割当テーブルの一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a time allocation table. 図５（ａ）及び図５（ｂ）は、接続先の測定部の個数の変更について説明するための時間割当テーブルを示す図である。FIG. 5A and FIG. 5B are diagrams showing a time allocation table for explaining the change in the number of connection destination measurement units. 図６は、実施例１の変形例１に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of a control method of the test apparatus according to the first modification of the first embodiment. 図７は、実施例２に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart illustrating an example of a control method of the test apparatus according to the second embodiment. 図８（ａ）及び図８（ｂ）は、複数のグループを定める占有時間の範囲の変更について説明するための時間割当テーブルを示す図である。FIG. 8A and FIG. 8B are diagrams showing a time allocation table for explaining the change of the occupation time range for defining a plurality of groups.

以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図１は、実施例１に係る試験装置の全体構成を示すブロック図である。図１のように、実施例１の試験装置は、複数の被試験部１０、複数の測定部３０、及びスイッチ部５０を備える。測定部３０は測定可能な測定項目毎に複数の測定部群４０〜４４に分けられ、各測定部群には複数の測定部３０が含まれる。例えば、測定部群４０に含まれる４つの測定部３０は、波長測定が可能である。測定部群４２に含まれる２つの測定部３０は、光パワー測定が可能である。測定部群４４に含まれる２つの測定部３０は、光波形測定が可能である。 FIG. 1 is a block diagram illustrating the overall configuration of the test apparatus according to the first embodiment. As shown in FIG. 1, the test apparatus according to the first embodiment includes a plurality of units under test 10, a plurality of measurement units 30, and a switch unit 50. The measurement unit 30 is divided into a plurality of measurement unit groups 40 to 44 for each measurement item that can be measured, and each measurement unit group includes a plurality of measurement units 30. For example, the four measurement units 30 included in the measurement unit group 40 can perform wavelength measurement. The two measurement units 30 included in the measurement unit group 42 can measure optical power. The two measurement units 30 included in the measurement unit group 44 can perform optical waveform measurement.

スイッチ部５０は、マトリクススイッチ５２、コントローラ５４、及び記憶手段５６を含む。コントローラ５４は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）、及びＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等から構成され、マトリクススイッチ５２を制御する。マトリクススイッチ５２は、コントローラ５４の指示に従って、複数の被試験部１０と複数の測定部３０との間の接続の切替を行い、接続組合せを変更する。記憶手段５６は、例えばハードディスクドライブ等である。記憶手段５６には、測定項目の測定に要する占有時間を所定の時間範囲で分けた複数のグループと接続先の測定部３０との関係が記憶されている。言い換えると、記憶手段５６には、複数の測定部３０を１回の試験に許容される占有時間の範囲でグループ分けした情報が記憶されている。例えば、記憶手段５６には、複数のグループそれぞれに対して接続先の測定部３０が規定された時間割当テーブルが記憶されている。時間割当テーブルには、複数のグループそれぞれにおける前記測定項目の測定回数及び合計測定時間が書き込まれるようになっていてもよい。例えば、複数の測定部群４０〜４４それぞれに対して１つの時間割当テーブルが記憶されている。時間割当テーブルの詳細については後述する。 The switch unit 50 includes a matrix switch 52, a controller 54, and storage means 56. The controller 54 includes a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like, and controls the matrix switch 52. The matrix switch 52 switches connections between the plurality of units under test 10 and the plurality of measurement units 30 in accordance with instructions from the controller 54, and changes the connection combination. The storage means 56 is, for example, a hard disk drive. The storage unit 56 stores a relationship between a plurality of groups obtained by dividing the occupation time required for measurement of measurement items within a predetermined time range and the connection destination measurement unit 30. In other words, the storage unit 56 stores information obtained by grouping the plurality of measurement units 30 in the range of the occupation time allowed for one test. For example, the storage unit 56 stores a time allocation table in which the connection measuring unit 30 is defined for each of a plurality of groups. In the time allocation table, the number of measurements of the measurement items and the total measurement time in each of a plurality of groups may be written. For example, one time allocation table is stored for each of the plurality of measurement unit groups 40 to 44. Details of the time allocation table will be described later.

図２（ａ）は、被試験部１０の詳細を示すブロック図、図２（ｂ）は、測定部３０の詳細を示すブロック図である。図２（ａ）のように、被試験部１０は、被試験物１２、ドライバ１４、及びコントローラ１６を備える。被試験物１２は、例えば半導体レーザである。コントローラ１６は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭ等から構成され、ドライバ１４の動作等を制御する。ドライバ１４は、コントローラ１６の指示に従って、被試験物１２を駆動する。 FIG. 2A is a block diagram showing details of the part under test 10, and FIG. 2B is a block diagram showing details of the measurement unit 30. As shown in FIG. 2A, the part under test 10 includes a device under test 12, a driver 14, and a controller 16. The DUT 12 is a semiconductor laser, for example. The controller 16 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like, and controls the operation of the driver 14 and the like. The driver 14 drives the device under test 12 in accordance with instructions from the controller 16.

図２（ｂ）のように、測定部３０は、測定器３２とコントローラ３４とを備える。コントローラ３４は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭ等から構成され、測定器３２の動作を制御する。測定器３２は、マトリクススイッチ５２を介して接続された被試験部１０に備わる被試験物１２の特性を、コントローラ３４の指示に従って測定する。図１で説明したように、測定部３０は複数の測定部群４０〜４４に分けられ、測定部群４０に含まれる４つの測定部３０は波長測定が可能であることから、これらに備わる測定器３２は波長測定器である。同様に、測定部群４２に含まれる２つ測定部３０は光パワー測定が可能であることから、これらに備わる測定器３２は光パワー測定器である。測定部群４４に含まれる２つの測定部３０は光波形測定が可能であることから、これらに備わる測定器３２は光波形測定器である。 As shown in FIG. 2B, the measurement unit 30 includes a measurement device 32 and a controller 34. The controller 34 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like, and controls the operation of the measuring device 32. The measuring device 32 measures the characteristics of the device under test 12 provided in the device under test 10 connected via the matrix switch 52 in accordance with instructions from the controller 34. As described with reference to FIG. 1, the measurement unit 30 is divided into a plurality of measurement unit groups 40 to 44, and the four measurement units 30 included in the measurement unit group 40 can perform wavelength measurement. The device 32 is a wavelength measuring device. Similarly, since the two measuring units 30 included in the measuring unit group 42 can measure the optical power, the measuring device 32 included therein is an optical power measuring device. Since the two measuring units 30 included in the measuring unit group 44 can measure the optical waveform, the measuring device 32 provided in them is an optical waveform measuring device.

図１から図２（ｂ）のように、被試験部１０に備わるコントローラ１６と、測定部３０に備わるコントローラ３４と、スイッチ部５０に備わるコントローラ５４とは、ネットワークを介して互いに接続している。 As shown in FIGS. 1 to 2B, the controller 16 provided in the unit under test 10, the controller 34 provided in the measurement unit 30, and the controller 54 provided in the switch unit 50 are connected to each other via a network. .

次に、実施例１の試験装置の制御方法について説明する。図３は、実施例１に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。図３のように、被試験部１０のコントローラ１６は、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定部群の特定を含む測定項目（例えば、測定部群４０を特定した波長測定）と測定に要する予想占有時間とを通知する（ステップＳ１０）。スイッチ部５０のコントローラ５４は、記憶手段５６に記憶された測定部群４０についての時間割当テーブルを参照し、通知された予想占有時間に対応する測定部３０に被試験部１０を接続させる（ステップＳ１２）。 Next, a method for controlling the test apparatus of Example 1 will be described. FIG. 3 is a flowchart illustrating an example of a control method of the test apparatus according to the first embodiment. As shown in FIG. 3, the controller 16 of the unit under test 10 performs measurement items including the measurement unit group (for example, wavelength measurement specifying the measurement unit group 40) and measurement with respect to the controller 54 of the switch unit 50. The expected occupation time required is notified (step S10). The controller 54 of the switch unit 50 refers to the time allocation table for the measurement unit group 40 stored in the storage unit 56, and connects the device under test 10 to the measurement unit 30 corresponding to the notified expected occupation time (step). S12).

ここで、時間割当テーブルについて説明する。図４は、時間割当テーブルの一例を示す図である。図４のように、時間割当テーブル７０は、占有時間、接続先の測定部、測定回数、及び合計測定時間の項目を有する。占有時間は、測定項目（例えば波長測定）の測定に要する占有時間のことである。占有時間の項目は、所定の占有時間の時間範囲で複数のグループに分けられている。例えば、占有時間Ｔが１秒未満（Ｔ＜１）のグループ１、占有時間Ｔが１秒以上且つ５秒未満（１≦Ｔ＜５）のグループ２、占有時間Ｔが５秒以上（５≦Ｔ）のグループ３に分けられている。接続先の測定部の項目には、複数のグループ１〜３それぞれに割当てられた測定部３０が記載されており、占有時間に応じて接続先の測定部３０が規定されている。図４では、グループ１に測定部３０ａ、３０ｂが割当てられ、グループ２に測定部３０ｃが割当てられ、グループ３に測定部３０ｄが割当てられた場合を例に示している。測定回数の項目は、複数のグループ１〜３それぞれにおける測定の回数が記載される。合計測定時間は、複数のグループ１〜３それぞれにおける測定の総和時間が記載される。このように、記憶手段５６は、占有時間を所定の時間範囲で複数のグループに分け、複数のグループそれぞれに対して接続先の測定部、測定回数、及び合計測定時間の情報を時間割当テーブル７０に記憶する。 Here, the time allocation table will be described. FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a time allocation table. As shown in FIG. 4, the time allocation table 70 includes items of occupation time, connection destination measurement unit, number of measurements, and total measurement time. The occupation time is an occupation time required for measurement of a measurement item (for example, wavelength measurement). The occupation time item is divided into a plurality of groups within a predetermined occupation time range. For example, group 1 with an occupation time T of less than 1 second (T <1), group 2 with an occupation time T of 1 second or more and less than 5 seconds (1 ≦ T <5), and an occupation time T of 5 seconds or more (5 ≦ T). The measurement unit 30 assigned to each of the plurality of groups 1 to 3 is described in the item of the measurement unit of the connection destination, and the measurement unit 30 of the connection destination is defined according to the occupation time. FIG. 4 shows an example in which measurement units 30a and 30b are assigned to group 1, measurement unit 30c is assigned to group 2, and measurement unit 30d is assigned to group 3. In the item of the number of measurements, the number of measurements in each of the plurality of groups 1 to 3 is described. As the total measurement time, the total time of measurement in each of the plurality of groups 1 to 3 is described. As described above, the storage unit 56 divides the occupation time into a plurality of groups within a predetermined time range, and stores information on the connection destination measurement unit, the number of measurements, and the total measurement time for each of the plurality of groups. To remember.

したがって、図３のステップＳ１２においては、スイッチ部５０のコントローラ５４は、時間割当テーブル７０を参照して、被試験部１０のコントローラ１６から通知された予想占有時間が複数のグループ１〜３のどのグループに属するかを判断し、属するグループに対して規定された接続先の測定部３０に被試験部１０を接続させる。例えば、被試験部１０のコントローラ１６から通知された予想占有時間が２秒である場合、スイッチ部５０のコントローラ５４は、時間割当テーブル７０を参照して、測定部３０ｃに被試験部１０を接続させる。このように、スイッチ部５０は、複数の被試験部１０と複数の測定部３０との間の接続の切替を、時間割当テーブル７０の複数のグループ１〜３と接続先の測定部３０との関係に従って行う。 Therefore, in step S12 of FIG. 3, the controller 54 of the switch unit 50 refers to the time allocation table 70, and the expected occupation time notified from the controller 16 of the unit under test 10 It judges whether it belongs to the group, and connects the device under test 10 to the measuring unit 30 of the connection destination defined for the group to which it belongs. For example, when the estimated occupation time notified from the controller 16 of the unit under test 10 is 2 seconds, the controller 54 of the switch unit 50 refers to the time allocation table 70 and connects the unit under test 10 to the measurement unit 30c. Let As described above, the switch unit 50 switches the connection between the plurality of units under test 10 and the plurality of measurement units 30 between the plurality of groups 1 to 3 of the time allocation table 70 and the connection destination measurement unit 30. Do according to the relationship.

スイッチ部５０のコントローラ５４は、被試験部１０のコントローラ１６に、接続先の測定部３０を示す測定部情報と接続が完了したことを通知する（ステップＳ１４）。測定部情報とは、例えば測定部３０のユニット番号等、測定部３０を特定することが可能な情報である。被試験部１０のコントローラ１６は、ドライブ１４に指示を与えて、被試験物１２を所定の条件で駆動させると共に、接続先の測定部３０のコントローラ３４に対して、測定条件と測定開始を通知する（ステップＳ１６）。測定部３０のコントローラ３４は、被試験部１０のコントローラ１６から通知された測定条件に従って測定器３２を制御して測定を行う。測定部３０のコントローラ３４は、測定が終了した後、被試験部１０のコントローラ１６に対して、測定結果と測定の完了を通知する（ステップＳ１８）。被試験部１０のコントローラ１６は、測定結果と測定完了の通知を受けて、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定の完了を通知する。スイッチ部５０のコントローラ５４は、測定完了の通知を受けて、マトリクススイッチ５２を制御して、被試験部１０と測定部３０との接続状態を解除する（ステップＳ２０）。 The controller 54 of the switch unit 50 notifies the controller 16 of the unit under test 10 that the measurement unit information indicating the connection destination measurement unit 30 and the connection have been completed (step S14). The measurement unit information is information that can specify the measurement unit 30, such as a unit number of the measurement unit 30, for example. The controller 16 of the unit under test 10 gives an instruction to the drive 14 to drive the device under test 12 under predetermined conditions, and notifies the controller 34 of the measurement unit 30 at the connection destination of the measurement conditions and the start of measurement. (Step S16). The controller 34 of the measuring unit 30 controls the measuring device 32 according to the measurement conditions notified from the controller 16 of the unit under test 10 and performs measurement. After the measurement is completed, the controller 34 of the measurement unit 30 notifies the measurement result and completion of the measurement to the controller 16 of the unit under test 10 (step S18). In response to the measurement result and the measurement completion notification, the controller 16 of the unit under test 10 notifies the controller 54 of the switch unit 50 of the completion of the measurement. Upon receiving the measurement completion notification, the controller 54 of the switch unit 50 controls the matrix switch 52 to release the connection state between the unit under test 10 and the measurement unit 30 (step S20).

スイッチ部５０のコントローラ５４は、ステップＳ１０〜ステップＳ２０で行われた測定の実績を時間割当テーブル７０に反映させる（ステップＳ２２）。これにより、測定の実績が測定回数及び合計測定時間に反映されることになる。なお、この測定回数及び合計測定時間は、測定部３０の稼動履歴として、占有時間のグループ分けを実行するための情報となる。例えば、実際にかかった測定時間（例えばステップＳ１４の接続完了の通知からステップＳ２０の接続状態の解除までの時間）が２秒であった場合、スイッチ部５０のコントローラ５４は、時間割当テーブル７０に対して、グループ２の測定回数に１を加え、合計測定時間に２秒を加える。 The controller 54 of the switch unit 50 reflects the results of the measurements performed in steps S10 to S20 in the time allocation table 70 (step S22). As a result, the measurement results are reflected in the number of measurements and the total measurement time. The number of times of measurement and the total measurement time are information for executing grouping of occupation times as the operation history of the measurement unit 30. For example, when the actual measurement time (for example, the time from the notification of the completion of connection in step S14 to the release of the connection state in step S20) is 2 seconds, the controller 54 of the switch unit 50 stores the time allocation table 70 in the time allocation table 70. On the other hand, 1 is added to the number of measurements of group 2, and 2 seconds is added to the total measurement time.

スイッチ部５０のコントローラ５４は、予め定められた所定の測定回数の測定が終了したかを判断する（ステップＳ２４）。例えば、所定の測定回数が１０００回であった場合、スイッチ部５０のコントローラ５４は、複数のグループ１〜３それぞれの測定回数の合計が１０００回となったかを判断する。所定の測定回数の測定が終了していない場合（Ｎｏの場合）、ステップＳ１０に戻る。所定の測定回数の測定が終了した場合（Ｙｅｓの場合）、スイッチ部５０のコントローラ５４は、時間割当テーブル７０の複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更する（ステップＳ２６）。接続先の測定部３０の台数を変更した後、ステップＳ１０に戻り、接続先の測定部３０の台数を変更した後の時間割当テーブルを用いて、被試験部１０と測定部３０との接続及び測定を行う。 The controller 54 of the switch unit 50 determines whether or not the measurement for a predetermined number of times has been completed (step S24). For example, when the predetermined number of measurements is 1000, the controller 54 of the switch unit 50 determines whether the total number of measurements for each of the plurality of groups 1 to 3 is 1000. When the predetermined number of measurements has not been completed (in the case of No), the process returns to step S10. When the measurement of the predetermined number of measurements is completed (in the case of Yes), the controller 54 of the switch unit 50 performs the total measurement per one of the measurement units 30 connected to the plurality of groups 1 to 3 in the time allocation table 70. The number of measurement units 30 connected to the plurality of groups 1 to 3 is changed so that the time is leveled (step S26). After changing the number of connection-destination measuring units 30, the process returns to step S10, and using the time allocation table after changing the number of connection-destination measuring units 30, the connection between the DUT 10 and the measurement unit 30 and Measure.

ここで、複数のグループ１〜３の接続先の測定部の台数を変更することについて説明する。図５（ａ）及び図５（ｂ）は、接続先の測定部の台数の変更について説明するための時間割当テーブルを示す図である。例えば、図３のステップＳ２４において、所定の測定回数の測定が終了した際の時間割当テーブル７０が、図５（ａ）のようであった場合を想定する。この場合、グループ１における合計測定時間は５００秒で、グループ２における合計測定時間は１０００秒で、グループ３における合計測定時間は５００秒であったとする。ここで、グループ１の接続先の測定部は、測定部３０ａ、３０ｂと２台あるため、１台当りの合計測定時間は２５０秒である。一方、グループ２、３の接続先の測定部はそれぞれ測定部３０ｃ、測定部３０ｄと１台であるため、１台当りの合計測定時間は１０００秒と５００秒である。このように、複数のグループ１〜３において、接続先の測定部の１台当りの合計測定時間が大きく異なることは、測定効率の点で好ましくない。そこで、図３のステップＳ２６において、図５（ｂ）のように、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３の接続先の測定部の台数を変更する。例えば、グループ１の接続先の測定部を１台とし、グループ２の接続先の測定部を２台とし、グループ３の接続先の測定部を１台とする。これにより、複数のグループ１〜３において、１台当りの測定部の合計測定時間を同程度にすることができ、測定効率を向上させることができる。 Here, changing the number of measurement units connected to the plurality of groups 1 to 3 will be described. FIG. 5A and FIG. 5B are diagrams showing a time allocation table for explaining the change in the number of connection measuring units. For example, it is assumed that the time allocation table 70 at the time when the predetermined number of measurements is completed in step S24 in FIG. 3 is as shown in FIG. In this case, the total measurement time in group 1 is 500 seconds, the total measurement time in group 2 is 1000 seconds, and the total measurement time in group 3 is 500 seconds. Here, since there are two measuring units 30a and 30b as connection destinations of the group 1, the total measurement time per unit is 250 seconds. On the other hand, since there are one measurement unit 30c and one measurement unit 30d as the connection destinations of the groups 2 and 3, the total measurement time per unit is 1000 seconds and 500 seconds. As described above, it is not preferable in terms of measurement efficiency that the total measurement time per unit of the connection destination measurement units is greatly different in the plurality of groups 1 to 3. Therefore, in step S26 of FIG. 3, as shown in FIG. 5B, the plurality of groups 1 are set so that the total measurement time per unit of the measurement units connected to each of the plurality of groups 1 to 3 is leveled. Change the number of measuring units connected to ~ 3. For example, the group 1 connection destination measurement unit is one, the group 2 connection destination measurement unit is two, and the group 3 connection destination measurement unit is one. Thereby, in the some groups 1-3, the total measurement time of the measurement part per unit can be made comparable, and measurement efficiency can be improved.

実施例１によれば、複数の測定部３０を１回の試験に許容される占有時間の範囲でグループ分けした情報（時間割当テーブル７０）を記憶する記憶手段５６を有する。そして、スイッチ部５０は、記憶手段５６に記憶されたグループ分けした情報（時間割当テーブル７０）に基づき、被試験部１０において実施される試験にかかる時間に対応してグループの測定部３０を選択し、該当する被試験部１０と接続させる。このような仕組みを用いることで、測定時間に長短のばらつきが大きい場合でも、測定効率を向上させることができる。 According to the first embodiment, the storage unit 56 stores information (a time allocation table 70) in which a plurality of measurement units 30 are grouped within a range of occupied time allowed for one test. The switch unit 50 selects the group measurement unit 30 corresponding to the time taken for the test performed in the unit under test 10 based on the grouped information (time allocation table 70) stored in the storage unit 56. Then, it is connected to the corresponding part under test 10. By using such a mechanism, the measurement efficiency can be improved even when the measurement time varies greatly.

なお、複数の被試験部１０それぞれで実施される試験にかかる時間が、時間割当テーブル７０の複数のグループ１〜３のうちのいずれかに偏る場合等がある。このような場合、複数の被試験部１０それぞれで実施される試験にかかる時間に該当しないグループに所属する測定部３０は、他のグループに所属する測定部３０が測定を実施している期間も測定が停止されることになる。このため、図５（ａ）のように、複数のグループ１〜３それぞれの合計測定時間に差が生じるようになる。つまり、複数のグループ１〜３それぞれに所属する測定部３０の１台当りの合計測定時間のグループ間の差が、測定部３０の測定が停止されていた期間に相当する。例えば図５（ａ）において、グループ１に所属する測定部３０ａ、３０ｂの１台当りの合計測定時間は２５０秒で、グループ２に所属する測定部３０ｃの合計測定時間は１０００秒であるため、測定部３０ａ、３０ｂは、測定部３０ｃに対して、測定が７５０秒間停止していたことになる。 Note that the time taken for the tests performed in each of the plurality of parts under test 10 may be biased to any one of the plurality of groups 1 to 3 in the time allocation table 70. In such a case, the measurement unit 30 belonging to a group that does not correspond to the time taken for the tests performed in each of the plurality of units under test 10 has a period during which the measurement unit 30 belonging to another group performs measurement. Measurement will be stopped. Therefore, as shown in FIG. 5A, a difference occurs in the total measurement time of each of the plurality of groups 1 to 3. That is, the difference between the groups of the total measurement time per unit of the measurement units 30 belonging to each of the plurality of groups 1 to 3 corresponds to the period during which the measurement of the measurement unit 30 is stopped. For example, in FIG. 5A, the total measurement time per unit of the measurement units 30a and 30b belonging to the group 1 is 250 seconds, and the total measurement time of the measurement unit 30c belonging to the group 2 is 1000 seconds. The measurement units 30a and 30b have stopped measuring for 750 seconds with respect to the measurement unit 30c.

そこで、図５（ａ）及び図５（ｂ）で説明したように、複数のグループ１〜３それぞれにおける合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３それぞれに所属する測定部３０の台数を変更することが好ましい。つまり、複数のグループ１〜３に所属する測定部３０の稼動履歴（合計測定時間）を参照し、測定部３０の測定が停止される期間が稼動履歴から求まる停止期間よりも短くなるように、複数のグループ１〜３それぞれに所属する測定部３０の台数を変更することが好ましい。これにより、測定効率をより向上させることができる。 Therefore, as described in FIG. 5A and FIG. 5B, the total measurement time in each of the plurality of groups 1 to 3 is per one of the measurement units 30 connected to each of the plurality of groups 1 to 3. It is preferable to change the number of measurement units 30 belonging to each of the plurality of groups 1 to 3 so as to be leveled. That is, referring to the operation history (total measurement time) of the measurement units 30 belonging to a plurality of groups 1 to 3, the period in which the measurement of the measurement unit 30 is stopped is shorter than the stop period obtained from the operation history. It is preferable to change the number of measurement units 30 belonging to each of the plurality of groups 1 to 3. Thereby, measurement efficiency can be improved more.

実施例１では、測定項目の測定と測定の実績を時間割当テーブル７０に反映させることを所定回数行う。そして、所定回数の測定実績が反映された後の合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３それぞれに対する接続先の測定部３０の個数を変更している。測定項目の測定と測定の実績を時間割当テーブル７０に反映されることとを行う所定回数は、複数のグループ１〜３における合計測定時間の傾向が分かる程度の複数回数であることが好ましい。また、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間を平準化させるとは、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が同程度になるようにすることである。 In the first embodiment, the measurement items and the measurement results are reflected in the time allocation table 70 a predetermined number of times. Then, the total measurement time after the predetermined number of measurement results are reflected is equalized with respect to each of the measuring units 30 of the connection destinations of the plurality of groups 1 to 3. The number of measurement units 30 connected to each of the three is changed. It is preferable that the predetermined number of times of measuring the measurement items and reflecting the measurement results in the time allocation table 70 is a plurality of times such that the tendency of the total measurement time in the plurality of groups 1 to 3 can be understood. Further, leveling the total measurement time per unit of the measurement units 30 connected to each of the plurality of groups 1 to 3 means that the measurement unit 30 of each connection unit of the plurality of groups 1 to 3 is equalized. The total measurement time should be comparable.

なお、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間を同程度にしたとしても、あるタイミングでは、複数の測定部３０のうち、測定している測定部と測定していない（測定を停止している）測定部とが存在してしまう。これは、例えば、あるタイミングにおいては、グループ１〜３にグループ分けした情報と異なる占有時間であった場合には、測定していない（測定を停止している）測定部が存在するためである。また、グループ１〜３の平準化はされているが、グループ全体における測定が少なければ、測定していない（測定が停止されている）測定部が存在してしまう。 In addition, even if the total measurement time per unit of the measurement units 30 connected to each of the plurality of groups 1 to 3 is made approximately the same, the measurement unit that is measuring among the plurality of measurement units 30 at a certain timing. And a measurement part that has not been measured (the measurement is stopped). This is because, for example, there is a measurement unit that does not measure (stops measurement) when the occupation time is different from the information grouped into groups 1 to 3 at a certain timing. . In addition, although the groups 1 to 3 are leveled, if there are few measurements in the entire group, there are measurement units that are not measuring (measurement is stopped).

実施例１では、時間割当テーブル７０の複数のグループ１〜３に対して接続先の測定部３０が予め割当てられている場合を例に示したがこれに限られない。例えば、測定開始当初は割当てられてなく、複数のグループ１〜３それぞれに対して最初に行った測定に用いた測定部３０を時間割当テーブル７０に書き込んで割当ててもよい。 In the first embodiment, the connection destination measuring unit 30 is assigned to the plurality of groups 1 to 3 in the time allocation table 70 in advance, but the present invention is not limited thereto. For example, the measurement unit 30 used for the first measurement performed for each of the plurality of groups 1 to 3 may be written in the time allocation table 70 and assigned without being assigned at the beginning of measurement.

次に、実施例１の変形例１に係る試験装置について説明する。実施例１の変形例１に係る試験装置の全体構成、被試験部、及び測定部については、実施例１の図１から図２（ｂ）と同じであるため説明を省略する。図６は、実施例１の変形例１に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。図６のように、測定項目（例えば波長測定）の測定が行われる前に、スイッチ部５０のコントローラ５４に、これから行われる測定項目（例えば波長測定）の複数回の測定の測定情報が外部から入力される。測定情報とは、例えば複数回の測定それぞれの予想占有時間や複数回の測定を複数のグループ１〜３の占有範囲の時間範囲で分けた場合での各グループにおける合計測定時間であり、何秒の測定を何回行うかという情報が含まれていればよい。例えば、検査するロット毎にユニークなスペックマスタに測定時間が予め登録されており、そのロット内の検査は同一の測定時間で行われることになるため、このスペックマスタによって測定情報を得ることができる。スイッチ部５０のコントローラ５４は、外部から入力された測定情報を、記憶手段５６に記憶された時間割当テーブル７０に取り込む（ステップＳ３０）。これにより、測定情報が合計測定時間に反映されることになる。スイッチ部５０のコントローラ５４は、測定情報が取り込まれた後の時間割当テーブル７０に対して、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更する（ステップＳ３２）。 Next, a test apparatus according to Modification 1 of Embodiment 1 will be described. Since the entire configuration of the test apparatus, the part under test, and the measurement unit according to the first modification of the first embodiment are the same as those in FIGS. 1 to 2B of the first embodiment, description thereof is omitted. FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of a control method of the test apparatus according to the first modification of the first embodiment. As shown in FIG. 6, before measurement of a measurement item (for example, wavelength measurement) is performed, measurement information of a plurality of measurements of a measurement item (for example, wavelength measurement) to be performed from the outside is sent to the controller 54 of the switch unit 50 from the outside. Entered. The measurement information is, for example, the total measurement time in each group when the estimated occupation time of each of the plurality of measurements and the plurality of measurements are divided into the time ranges of the occupation ranges of the plurality of groups 1 to 3. It is only necessary to include information on how many times the measurement is performed. For example, since the measurement time is registered in advance in a unique spec master for each lot to be inspected, and the inspection in the lot is performed with the same measurement time, measurement information can be obtained by this spec master. . The controller 54 of the switch unit 50 takes the measurement information input from the outside into the time allocation table 70 stored in the storage unit 56 (step S30). As a result, the measurement information is reflected in the total measurement time. The controller 54 of the switch unit 50 equalizes the total measurement time per unit of the connection destination measurement units 30 of the plurality of groups 1 to 3 with respect to the time allocation table 70 after the measurement information is captured. As described above, the number of measurement units 30 connected to the plurality of groups 1 to 3 is changed (step S32).

ここで、図５（ａ）及び図５（ｂ）を再度参照して、複数のグループ１〜３の接続先の測定部の台数の変更について説明する。例えば、図６のステップＳ３０において、外部から入力された測定情報を取り込んだ後の時間割当テーブル７０が、図５（ａ）のようであった場合を想定する。この場合、上述したように、測定効率の点で、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が同程度になることが好ましい。そこで、図６のステップＳ３２において、図５（ｂ）のように、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更する。これにより、複数のグループ１〜３において、１台当りの測定部３０の合計測定時間を同程度にすることができ、測定効率を向上させることができる。 Here, referring to FIG. 5A and FIG. 5B again, a change in the number of measurement units connected to the plurality of groups 1 to 3 will be described. For example, it is assumed that the time allocation table 70 after taking in the measurement information input from the outside in step S30 in FIG. 6 is as shown in FIG. In this case, as described above, in terms of measurement efficiency, it is preferable that the total measurement time per unit of the measurement units 30 connected to each of the plurality of groups 1 to 3 is approximately the same. Therefore, in step S32 in FIG. 6, as shown in FIG. 5B, the plurality of groups are set so that the total measurement time per unit of the measurement units 30 connected to each of the plurality of groups 1 to 3 is leveled. The number of measurement units 30 connected to 1 to 3 is changed. Thereby, in the several groups 1-3, the total measurement time of the measurement part 30 per 1 unit | set can be made comparable, and measurement efficiency can be improved.

図６に戻り、被試験部１０のコントローラ１６は、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定項目と測定に要する予想占有時間とを通知する（ステップＳ３４）。スイッチ部５０のコントローラ５４は、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更した後の時間割当テーブル７０を参照し、通知された予想占有時間に対応する測定部３０に被試験部１０を接続させる（ステップＳ３６）。 Returning to FIG. 6, the controller 16 of the unit under test 10 notifies the controller 54 of the switch unit 50 of the measurement item and the expected occupation time required for the measurement (step S34). The controller 54 of the switch unit 50 refers to the time allocation table 70 after changing the number of the measurement units 30 to which the groups 1 to 3 are connected, and applies to the measurement unit 30 corresponding to the notified expected occupation time. The test unit 10 is connected (step S36).

スイッチ部５０のコントローラ５４は、被試験部１０のコントローラ１６に、接続先の測定部３０を示す測定部情報と接続が完了したことを通知する（ステップＳ３８）。被試験部１０のコントローラ１６は、ドライブ１４に指示を与えて、被試験物１２を所定の条件で駆動させると共に、接続先の測定部３０のコントローラ３４に対して、測定条件と測定開始を通知する（ステップＳ４０）。測定部３０のコントローラ３４は、被試験部１０のコントローラ１６から通知された測定条件に従って測定器３２を制御して測定を行う。測定部３０のコントローラ３４は、測定が終了した後、被試験部１０のコントローラ１６に対して、測定結果と測定の完了を通知する（ステップＳ４２）。被試験部１０のコントローラ１６は、測定結果と測定完了の通知を受けて、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定の完了を通知する。スイッチ部５０のコントローラ５４は、測定完了の通知を受けて、マトリクススイッチ５２を制御して、被試験部１０と測定部３０との接続状態を解除する（ステップＳ４４）。その後、ステップＳ３４に戻る。 The controller 54 of the switch unit 50 notifies the controller 16 of the unit under test 10 that the connection has been completed and the measurement unit information indicating the connection-destination measurement unit 30 (step S38). The controller 16 of the unit under test 10 gives an instruction to the drive 14 to drive the device under test 12 under predetermined conditions, and notifies the controller 34 of the measurement unit 30 at the connection destination of the measurement conditions and the start of measurement. (Step S40). The controller 34 of the measuring unit 30 controls the measuring device 32 according to the measurement conditions notified from the controller 16 of the unit under test 10 and performs measurement. After the measurement is completed, the controller 34 of the measurement unit 30 notifies the measurement result and completion of the measurement to the controller 16 of the unit under test 10 (step S42). In response to the measurement result and the measurement completion notification, the controller 16 of the unit under test 10 notifies the controller 54 of the switch unit 50 of the completion of the measurement. Upon receiving the measurement completion notification, the controller 54 of the switch unit 50 controls the matrix switch 52 to release the connection state between the unit under test 10 and the measurement unit 30 (step S44). Thereafter, the process returns to step S34.

実施例１の変形例１では、測定項目の測定前に外部から入力された複数回の測定の測定情報を時間割当テーブル７０に取り込み、合計測定時間に反映させる。そして、測定情報が反映された後の合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３それぞれに対する接続先の測定部３０の台数を変更している。 In the first modification of the first embodiment, measurement information of a plurality of measurements input from the outside before measurement of the measurement item is taken into the time allocation table 70 and reflected in the total measurement time. And the total measurement time after the measurement information is reflected is equalized for each of the plurality of groups 1 to 3 so as to be leveled with respect to each measuring unit 30 of the connection destination of each of the plurality of groups 1 to 3. The number of measurement units 30 to be connected is changed.

実施例１のように、測定の実績から複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更することで、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間を平準化させることをタイムリーに行うことができる。実施例１の変形例１のように、これから行う測定の測定情報から複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更することで、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間を平準化させた時間割当テーブル７０を測定当初から用いることができる。また、測定の実績とこれから行う測定の測定情報との両方を用いて、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更してもよい。実施例１の変形例１のように、これから行う測定の測定情報だけを用いる場合、この測定情報と実際に行われた測定との間で差が生じてしまうことがある。これから行う測定の測定情報と測定の実績との両方を用いることで、このような差を補正することが可能となる。これから行う測定の測定情報と測定の実績とを併用する場合、測定情報を時間割当テーブル７０に取り込んで接続先の測定部３０の台数を変更した後、測定回数及び合計測定時間を消去し、測定の実績を時間割当テーブル７０に反映させる運用を用いることができる。 As in the first embodiment, by changing the number of connection measuring units 30 of the plurality of groups 1 to 3 based on the measurement results, per unit of the measurement units 30 of the connection destinations of the plurality of groups 1 to 3 The total measurement time can be leveled in a timely manner. As in the first modification of the first embodiment, by changing the number of measuring units 30 connected to the plurality of groups 1 to 3 from the measurement information to be measured in the future, the connection destinations of the plurality of groups 1 to 3 are changed. A time allocation table 70 in which the total measurement time per unit of the measurement unit 30 is leveled can be used from the beginning of measurement. Moreover, you may change the number of the measurement parts 30 of the connection destination of several groups 1-3 using both the measurement result and the measurement information of the measurement performed from now on. When only the measurement information of the measurement to be performed is used as in the first modification of the first embodiment, there may be a difference between the measurement information and the actually performed measurement. By using both the measurement information of the measurement to be performed and the measurement results, it is possible to correct such a difference. When the measurement information to be measured and the measurement results are used together, the measurement information is taken into the time allocation table 70 and the number of measurement units 30 to be connected is changed, then the number of measurements and the total measurement time are deleted, and the measurement is performed. It is possible to use an operation for reflecting the actual results in the time allocation table 70.

実施例２に係る試験装置の全体構成、被試験部、及び測定部については、実施例１の図１から図２（ｂ）と同じであるため説明を省略する。図７は、実施例２に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。図７のように、被試験部１０のコントローラ１６は、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定項目と測定に要する予想占有時間とを通知する（ステップＳ５０）。スイッチ部５０のコントローラ５４は、記憶手段５６に記憶された時間割当テーブル７０を参照し、通知された予想占有時間に対応する測定部３０に被試験部１０を接続させる（ステップＳ５２）。 The overall configuration of the test apparatus according to the second embodiment, the part under test, and the measurement unit are the same as those of the first embodiment shown in FIGS. FIG. 7 is a flowchart illustrating an example of a control method of the test apparatus according to the second embodiment. As shown in FIG. 7, the controller 16 of the unit under test 10 notifies the controller 54 of the switch unit 50 of the measurement item and the expected occupation time required for the measurement (step S50). The controller 54 of the switch unit 50 refers to the time allocation table 70 stored in the storage unit 56 and connects the unit under test 10 to the measuring unit 30 corresponding to the notified expected occupation time (step S52).

スイッチ部５０のコントローラ５４は、被試験部１０のコントローラ１６に、接続先の測定部３０を示す測定部情報と接続が完了したことを通知する（ステップＳ５４）。被試験部１０のコントローラ１６は、ドライブ１４に指示を与えて、被試験物１２を所定の条件で駆動させると共に、接続先の測定部３０のコントローラ３４に対して、測定条件と測定開始を通知する（ステップＳ５６）。測定部３０のコントローラ３４は、被試験部１０のコントローラ１６から通知された測定条件に従って測定器３２を制御して測定を行う。測定部３０のコントローラ３４は、測定が終了した後、被試験部１０のコントローラ１６に対して、測定結果と測定の完了を通知する（ステップＳ５８）。被試験部１０のコントローラ１６は、測定完了の通知を受けて、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定の完了を通知する。スイッチ部５０のコントローラ５４は、測定完了の通知を受けて、マトリクススイッチ５２を制御して、被試験部１０と測定部３０との接続状態を解除する（ステップＳ６０）。 The controller 54 of the switch unit 50 notifies the controller 16 of the unit under test 10 that the measurement unit information indicating the connection-destination measurement unit 30 and the connection have been completed (step S54). The controller 16 of the unit under test 10 gives an instruction to the drive 14 to drive the device under test 12 under predetermined conditions, and notifies the controller 34 of the measurement unit 30 at the connection destination of the measurement conditions and the start of measurement. (Step S56). The controller 34 of the measuring unit 30 controls the measuring device 32 according to the measurement conditions notified from the controller 16 of the unit under test 10 and performs measurement. After the measurement is completed, the controller 34 of the measurement unit 30 notifies the measurement result and the completion of the measurement to the controller 16 of the unit under test 10 (step S58). Upon receiving the notification of measurement completion, the controller 16 of the unit under test 10 notifies the controller 54 of the switch unit 50 of the completion of measurement. The controller 54 of the switch unit 50 receives the notification of the measurement completion, controls the matrix switch 52, and releases the connection state between the unit under test 10 and the measurement unit 30 (step S60).

スイッチ部５０のコントローラ５４は、ステップＳ５０〜ステップＳ６０で行われた測定の実績を時間割当テーブル７０に反映させる（ステップＳ６２）。これにより、測定の実績が測定回数及び合計測定時間に反映されることになる。スイッチ部５０のコントローラ５４は、予め定められた所定の測定回数の測定が終了したかを判断する（ステップＳ６４）。所定の測定回数の測定が終了していない場合（Ｎｏの場合）、ステップＳ５０に戻る。所定の測定回数の測定が終了した場合（Ｙｅｓの場合）、スイッチ部５０のコントローラ５４は、時間割当テーブル７０の複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更する（ステップＳ６６）。占有時間の範囲を変更した後、ステップＳ５０に戻る。 The controller 54 of the switch unit 50 reflects the results of the measurements performed in steps S50 to S60 in the time allocation table 70 (step S62). As a result, the measurement results are reflected in the number of measurements and the total measurement time. The controller 54 of the switch unit 50 determines whether or not the measurement for a predetermined number of times has been completed (step S64). If the predetermined number of measurements has not been completed (No), the process returns to step S50. When the measurement of the predetermined number of measurements is completed (in the case of Yes), the controller 54 of the switch unit 50 performs the total measurement per one of the measurement units 30 connected to the plurality of groups 1 to 3 in the time allocation table 70. The range of the occupation time defining the plurality of groups 1 to 3 is changed so that the time is leveled (step S66). After changing the occupation time range, the process returns to step S50.

ここで、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更することについて説明する。図８（ａ）及び図８（ｂ）は、複数のグループを定める占有時間の範囲の変更について説明するための時間割当テーブルを示す図である。例えば、図７のステップＳ６４において、所定の測定回数の測定が終了した際の時間割当テーブル７０が、図８（ａ）のようであった場合を想定する。この場合、グループ１における合計測定時間は５００秒で、グループ２における合計測定時間は１０００秒で、グループ３における合計測定時間は５００秒であったとする。ここで、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の個数は１台である。このため、グループ１の接続先の測定部３０ａの１台当りの合計測定時間は５００秒である。グループ２の接続先の測定部３０ｂの１台当りの合計測定時間は１０００秒である。グループ３の接続先の測定部３０ｃの１台当りの合計測定時間は５００秒である。このように、複数のグループ１〜３では、接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が大きく異なるため、測定効率の点で好ましくない。そこで、図７のステップＳ６６において、図８（ｂ）のように、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更する。例えば、グループ１の時間範囲を２秒未満（Ｔ＜２）とし、グループ２の時間範囲を２秒以上且つ４秒未満（２≦Ｔ＜４）とし、グループ３の時間範囲を４秒以上（４≦Ｔ）とする。これにより、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間を同程度にすることができ、測定効率を向上させることができる。 Here, changing the range of the occupation time defining the plurality of groups 1 to 3 will be described. FIG. 8A and FIG. 8B are diagrams showing a time allocation table for explaining the change of the occupation time range for defining a plurality of groups. For example, assume that the time allocation table 70 at the time when the predetermined number of measurements has been completed in step S64 in FIG. 7 is as shown in FIG. In this case, the total measurement time in group 1 is 500 seconds, the total measurement time in group 2 is 1000 seconds, and the total measurement time in group 3 is 500 seconds. Here, the number of measurement units 30 to be connected to each of the plurality of groups 1 to 3 is one. Therefore, the total measurement time per unit of the measurement unit 30a to which the group 1 is connected is 500 seconds. The total measurement time per unit of the measurement unit 30b to which the group 2 is connected is 1000 seconds. The total measurement time per unit of the measurement unit 30c to which the group 3 is connected is 500 seconds. As described above, the plurality of groups 1 to 3 are not preferable in terms of measurement efficiency because the total measurement time per unit of the measurement unit 30 at the connection destination is greatly different. Therefore, in step S66 of FIG. 7, as shown in FIG. 8B, the plurality of groups are set such that the total measurement time per unit of the measurement units 30 connected to the groups 1 to 3 is equalized. The range of the occupation time that defines 1-3 is changed. For example, the time range of group 1 is less than 2 seconds (T <2), the time range of group 2 is 2 seconds or more and less than 4 seconds (2 ≦ T <4), and the time range of group 3 is 4 seconds or more ( 4 ≦ T). Thereby, the total measurement time per unit of the measurement units 30 at the connection destinations of the plurality of groups 1 to 3 can be made substantially the same, and the measurement efficiency can be improved.

実施例２では、図８（ａ）及び図８（ｂ）で説明したように、複数のグループ１〜３それぞれにおける合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更している。つまり、複数のグループ１〜３に所属する測定部３０の稼動履歴（合計測定時間）を参照し、測定部３０の測定が停止される期間が稼動履歴から求まる停止期間よりも短くなるように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更している。これによっても、測定効率を向上させることができる。 In Example 2, as described in FIGS. 8A and 8B, the total measurement time in each of the plurality of groups 1 to 3 is the same as that of the measurement unit 30 of the connection destination of each of the plurality of groups 1 to 3. The occupancy time range defining the plurality of groups 1 to 3 is changed so as to equalize per unit. That is, referring to the operation history (total measurement time) of the measurement units 30 belonging to a plurality of groups 1 to 3, the period in which the measurement of the measurement unit 30 is stopped is shorter than the stop period obtained from the operation history. The range of the occupation time that defines a plurality of groups 1 to 3 is changed. This also improves the measurement efficiency.

実施例２では、測定項目の測定と測定の実績を時間割当テーブル７０に反映させることを所定回数行う。そして、所定回数の測定実績が反映された後の合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更している。実施例２においても、実施例１の変形例１のように、測定項目の測定前に外部から入力された複数回の測定の測定情報を時間割当テーブル７０に取り込み、測定情報を合計測定時間に反映させる。そして、測定情報が反映された後の合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更してもよい。また、測定の実績と測定前に入力された測定情報とを併用して、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更してもよい。 In the second embodiment, measurement of measurement items and measurement results are reflected in the time allocation table 70 a predetermined number of times. Then, the total measurement time after the predetermined number of measurement results are reflected is equalized with respect to each of the measuring units 30 of the connection destinations of the plurality of groups 1 to 3. The range of occupation time that determines 3 is changed. Also in the second embodiment, as in the first modification of the first embodiment, the measurement information of a plurality of measurements input from the outside before the measurement of the measurement item is taken into the time allocation table 70, and the measurement information is made into the total measurement time. To reflect. Then, the plurality of groups 1 to 3 are determined so that the total measurement time after the measurement information is reflected is leveled with respect to each of the measurement units 30 connected to the plurality of groups 1 to 3. The range of the occupation time may be changed. In addition, by using the measurement results and the measurement information input before the measurement in combination, the plurality of groups 1 to 3 so that the total measurement time per unit of the measurement unit 30 of each connection destination is equalized. You may change the range of the occupation time which defines the groups 1-3.

実施例２では、図８（ａ）及び図８（ｂ）のように、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０が１台である場合を例に示したが、実施例１の図５（ａ）及び図５（ｂ）のように、複数台である場合でもよい。複数台ある場合、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更することに加え、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更してもよい。 In the second embodiment, as shown in FIG. 8A and FIG. 8B, the case where there is one measuring unit 30 connected to each of the plurality of groups 1 to 3 is shown as an example. As shown in FIGS. 5A and 5B, a plurality of units may be used. When there are a plurality of units, the range of occupied times defining the plurality of groups 1 to 3 is changed so that the total measurement time per unit of the measuring units 30 of the connection destinations of the groups 1 to 3 is equalized. In addition, the number of connection measuring units 30 of the plurality of groups 1 to 3 may be changed.

実施例１及び実施例２では、被試験部１０に備わる被試験物１２が、半導体レーザである場合を例に示した。しかしながら、この場合に限らず、被試験物１２は、例えば受光素子等、半導体レーザ以外の場合であってもよい。測定部３０に備わる測定器３２は、波長測定器、光パワー測定器、及び光波形測定器の場合に限らず、その他の測定器の場合であってもよい。また、実施例１及び実施例２の説明から分かるように、スイッチ部５０のコントローラ５４は、複数のグループ１〜３における合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りに対して平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲及び複数のグループ１〜３それぞれに対する接続先の測定部３０の台数の少なくとも一方を変更する変更手段として機能する。 In Example 1 and Example 2, the case where the device under test 12 provided in the device under test 10 is a semiconductor laser is shown as an example. However, not limited to this case, the DUT 12 may be a case other than a semiconductor laser, such as a light receiving element. The measuring device 32 provided in the measuring unit 30 is not limited to a wavelength measuring device, an optical power measuring device, and an optical waveform measuring device, but may be another measuring device. Further, as can be seen from the description of the first and second embodiments, the controller 54 of the switch unit 50 is configured such that the total measurement time in the plurality of groups 1 to 3 is the measurement unit 30 of the connection destination of each of the plurality of groups 1 to 3. Changing means for changing at least one of a range of occupied time defining a plurality of groups 1 to 3 and the number of measuring units 30 to be connected to each of the plurality of groups 1 to 3 so as to be leveled per unit Function as.

以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to such specific embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. It can be changed.

１０被試験部
１２被試験物
１４ドライバ
１６コントローラ
３０測定部
３２測定器
３４コントローラ
４０〜４４測定部群
５０スイッチ部
５２マトリクススイッチ
５４コントローラ
５６記憶手段
７０時間割当テーブル DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Test part 12 Test object 14 Driver 16 Controller 30 Measuring part 32 Measuring instrument 34 Controller 40-44 Measuring part group 50 Switch part 52 Matrix switch 54 Controller 56 Storage means 70 Time allocation table

Claims

Multiple parts under test;
Multiple measurement units that can measure the same measurement item,
Storage means for storing information obtained by grouping the plurality of measurement units in a range of occupation time allowed for one test;
A switch for switching example of the connection between said plurality of tested portion of the plurality of measuring portions,
A controller that performs control to select a measurement unit that is not operating among the plurality of measurement units when performing the switching control of the switch ,
The controller selects the measurement unit of the group corresponding to the time taken for the test performed in the unit under test based on the grouped information stored in the storage unit, and corresponds to the switch A test apparatus for controlling connection with the part under test.

The controller refers to an operation history of the measurement unit belonging to the group, and the period belonging to the group is such that a period during which measurement of the measurement unit is stopped is shorter than a stop period determined from the operation history. The test apparatus according to claim 1 , wherein control is performed to update at least one of a number of measurement units and a range of the occupation time defining the group.