JP6176025B2

JP6176025B2 - Method for forming metal film and method for manufacturing light-emitting element

Info

Publication number: JP6176025B2
Application number: JP2013198114A
Authority: JP
Inventors: 泰彦北村; 直樹東; 周作板東
Original assignee: Nichia Corp
Current assignee: Nichia Corp
Priority date: 2013-09-25
Filing date: 2013-09-25
Publication date: 2017-08-09
Anticipated expiration: 2033-09-25
Also published as: JP2015065280A

Description

本発明は、金属膜の形成方法及び発光素子の製造方法に関し、特にバリを発生させない金属膜の形成方法及びこれを利用した発光素子の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for forming a metal film and a method for manufacturing a light-emitting element, and more particularly to a method for forming a metal film that does not generate burrs and a method for manufacturing a light-emitting element using the same.

近年、発光素子などの電子部品の小型化に伴い、信頼性が高く且つ設計の自由度が高い電子部品を作製するために、電子部品の電極等に使用される金属膜の端部にバリが形成されないことが求められている。
特許文献１には、半導体層上に開口部を有するレジスト層を形成し、金属膜を被覆した後、レジスト層を除去することが記載されており、さらに、レジスト層を除去した際に発生する金属膜のバリを、例えば、スクラブ処理又はＣＭＰ等の研磨処理、プラズマ処理、ソフトエッチング処理などの方法を利用して除去することが記載されている。 In recent years, with the miniaturization of electronic components such as light-emitting elements, burrs are formed at the end of metal films used for electrodes of electronic components in order to manufacture electronic components with high reliability and high design freedom. It is required that it is not formed.
Patent Document 1 describes that a resist layer having an opening is formed on a semiconductor layer, the metal layer is coated, and then the resist layer is removed, and further, this occurs when the resist layer is removed. It is described that the burrs of the metal film are removed by using a method such as a scrub treatment or a polishing treatment such as CMP, a plasma treatment, or a soft etching treatment.

特開２００８−３０５８７４号公報JP 2008-305874 A

しかし、金属膜のバリが発生した後に上述したような方法等によりバリを除去する場合、バリは除去できても、金属膜の直下に存在する部材へのダメージ及び金属膜の端面が浸食されることによる金属膜サイズの変動を招き、電子部品の信頼性の低下を招く恐れがある。 However, when the burrs are removed by the above-described method after the burrs of the metal film are generated, even if the burrs can be removed, damage to the member existing immediately below the metal film and the end face of the metal film are eroded. As a result, the metal film size may vary, and the reliability of the electronic component may be reduced.

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、簡便な方法により、金属膜の端部におけるバリの発生を抑制し得る金属膜の形成方法及び信頼性の高い発光素子の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and provides a method for forming a metal film and a method for manufacturing a highly reliable light-emitting element capable of suppressing the occurrence of burrs at the end of the metal film by a simple method. For the purpose.

本発明の金属膜の形成方法は、
（ａ）半導体構造体上にレジスト層を形成し、該レジスト層に開口部を形成する工程、
（ｂ）前記開口部の底面から前記開口部の側面に亘って、前記開口部の側面に形成される膜厚が前記開口部の底面に形成される膜厚よりも薄くなるように第１金属膜を形成する工程、
（ｃ）前記開口部の側面に形成された第１金属膜を部分的にエッチングにより除去する工程及び
（ｄ）前記レジスト層を除去する工程を順に有することを特徴とする。 The method for forming a metal film of the present invention includes:
(A) forming a resist layer on the semiconductor structure and forming an opening in the resist layer;
(B) The first metal so that the film thickness formed on the side surface of the opening portion is thinner than the film thickness formed on the bottom surface of the opening portion from the bottom surface of the opening portion to the side surface of the opening portion. Forming a film;
(C) a step of partially removing the first metal film formed on the side surface of the opening by etching; and (d) a step of removing the resist layer.

本発明によれば、パターニングされた金属膜を形成した際に、金属膜のバリの発生を確実に防止することができる金属膜の形成方法を実現することができる。
また、このような金属膜の形成方法を利用することにより、信頼性の高い発光素子の製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when forming the patterned metal film, the formation method of the metal film which can prevent reliably generation | occurrence | production of the burr | flash of a metal film is realizable.
In addition, by using such a metal film formation method, a highly reliable manufacturing method of a light-emitting element can be provided.

本発明の金属膜の形成方法を説明するための概略断面製造工程図である。It is a general | schematic cross-section manufacturing process figure for demonstrating the formation method of the metal film of this invention. 本発明の金属膜の形成方法を説明するための概略断面製造工程図である。It is a general | schematic cross-section manufacturing process figure for demonstrating the formation method of the metal film of this invention. 本発明の金属膜の形成方法を説明するための概略断面製造工程図である。It is a general | schematic cross-section manufacturing process figure for demonstrating the formation method of the metal film of this invention. 本発明の金属膜の形成方法を説明するための概略断面製造工程図である。It is a general | schematic cross-section manufacturing process figure for demonstrating the formation method of the metal film of this invention. 本発明の発光素子の製造方法で製造される発光素子の概略平面図である。It is a schematic plan view of the light emitting element manufactured with the manufacturing method of the light emitting element of this invention. 図２ＡのＡ−Ａ’線断面図である。It is A-A 'line sectional drawing of FIG. 2A. 図２Ａの発光素子における絶縁層の構成を説明するための要部の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the principal part for demonstrating the structure of the insulating layer in the light emitting element of FIG. 2A. 本発明の発光素子の製造方法で製造される別の発光素子の概略平面図である。It is a schematic plan view of another light emitting element manufactured with the manufacturing method of the light emitting element of this invention.

以下、本発明の金属膜の形成方法及び発光素子の製造方法の実施形態の詳細を、図面を参照しながら説明する。各図面が示す部材の大きさ、厚み、位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称又は符号は、原則として同一又は同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。
発光素子において、「上面」とは、電極、例えば、ｎ側電極、ｐ側電極、ｎ側外部接続用電極、ｐ側外部接続用電極等が配置されている面を指し、「下面」とは、上面とは反対側の面を指す。また、「上」とは、接触した状態のみならず、他の層等を介した非接触状態での積層関係を意味する。 Hereinafter, details of embodiments of a metal film forming method and a light emitting device manufacturing method of the present invention will be described with reference to the drawings. The size, thickness, positional relationship, and the like of the members shown in each drawing may be exaggerated for clarity of explanation. Further, in the following description, the same name or reference sign indicates the same or the same member in principle, and the detailed description is omitted as appropriate.
In the light-emitting element, the “upper surface” refers to a surface on which electrodes, for example, an n-side electrode, a p-side electrode, an n-side external connection electrode, a p-side external connection electrode, and the like are disposed. , Refers to the surface opposite to the top surface. Further, “upper” means not only a contacted state but also a stacked relationship in a non-contact state through another layer or the like.

本発明の金属膜の形成方法は、上述したように、
（ａ）半導体構造体上にレジスト層を形成し、このレジスト層に開口部を形成する工程、
（ｂ）開口部の底面から開口部の側面に亘って、前記開口部の側面に形成される膜厚が前記開口部の底面に形成される膜厚よりも薄くなるように第１金属膜を形成する工程、
（ｃ）開口部の側面に形成された第１金属膜を部分的にエッチングにより除去する工程及び
（ｄ）レジスト層を除去する工程を順に含む。 As described above, the method for forming the metal film of the present invention is as follows.
(A) forming a resist layer on the semiconductor structure and forming an opening in the resist layer;
(B) The first metal film is formed from the bottom surface of the opening to the side surface of the opening so that the film thickness formed on the side surface of the opening is thinner than the film thickness formed on the bottom surface of the opening. Forming step,
(C) a step of partially removing the first metal film formed on the side surface of the opening by etching; and (d) a step of removing the resist layer.

開口部の側面に形成された第１金属膜を部分的にエッチングにより除去する工程（すなわち、第１金属膜の突出部位（図１Ｂに示す凸部２１ｂ）を除去する工程）をレジストを除去する工程の前に行うことにより、レジスト層を除去した際に、第１金属膜にバリが発生することを抑制することができる。また、第１金属膜の突出部位を除去する際には、第１金属膜の端面の全部にレジスト層が被覆されているため、レジスト層がマスクとして機能する。よって、エッチングの方法にかかわらず、第１金属膜の端面からのエッチングを確実に防止することができる。その結果、製造工程に起因する第１金属膜サイズの変動を最小限に止めることができる。 The step of removing the first metal film formed on the side surface of the opening partly by etching (that is, the step of removing the protruding portion of the first metal film (projection 21b shown in FIG. 1B)) removes the resist. By performing before the step, it is possible to suppress the occurrence of burrs in the first metal film when the resist layer is removed. Moreover, when removing the protrusion part of a 1st metal film, since the resist layer is coat | covered all over the end surface of a 1st metal film, a resist layer functions as a mask. Therefore, etching from the end face of the first metal film can be reliably prevented regardless of the etching method. As a result, the first metal film size variation caused by the manufacturing process can be minimized.

半導体構造体上に金属膜を有するいかなる種類の部品又は装置（例えば、フェイスアップ又はフェイスダウン実装型の発光装置又は半導体装置、電気回路、電子機器等）にも適用することができる。これら（ａ）〜（ｄ）の各工程は、以下に示す発光素子の製造方法にそのまま利用することができる。 The present invention can be applied to any kind of component or device having a metal film over a semiconductor structure (for example, a face-up or face-down mounting type light-emitting device or semiconductor device, an electric circuit, an electronic device, or the like). Each of these steps (a) to (d) can be used as it is in the following method for manufacturing a light-emitting element.

本発明の発光素子の製造方法は、
ｐ型半導体層及びｎ型半導体層を有する前記半導体構造体を準備する工程と、
上述した第１金属膜の形成方法によって、ｐ側電極及びｎ側電極の少なくとも一方の電極を形成する工程とを有する。 The method for producing the light emitting device of the present invention includes:
preparing the semiconductor structure having a p-type semiconductor layer and an n-type semiconductor layer;
Forming at least one of a p-side electrode and an n-side electrode by the first metal film forming method described above.

（ａ）半導体構造体の準備及びレジスト層の形成
半導体構造体は、少なくとも半導体層が複数積層された積層体を含み、半導体素子（例えば、発光素子として機能し得る半導体層、つまり、活性層を有する半導体層の積層体）を含むことが好ましい。
半導体構造体は、このような半導体層の積層体のみで構成されていてもよいし、このような半導体層の積層体を含む限り、その上面又は半導体層間に、絶縁層及び／又は導電層等が積層されたものでもよい。例えば、通常、半導体構造体は、上述した半導体層の積層体の上面にオーミック電極及び絶縁層が形成されている。 (A) Preparation of semiconductor structure and formation of resist layer The semiconductor structure includes a stacked body in which at least a plurality of semiconductor layers are stacked, and includes a semiconductor element (for example, a semiconductor layer that can function as a light-emitting element, that is, an active layer). A stacked body of semiconductor layers).
The semiconductor structure may be composed of only a stacked body of such semiconductor layers, and as long as such a stacked body of semiconductor layers is included, an insulating layer and / or a conductive layer, etc. May be laminated. For example, in general, in a semiconductor structure, an ohmic electrode and an insulating layer are formed on the upper surface of the above-described stack of semiconductor layers.

（半導体層の積層体）
半導体層の積層体は、ホモ構造、シングルヘテロ構造又はダブルヘテロ構造のいずれであってもよい。なかでも、ｎ型半導体層と、活性層と、ｐ型半導体層とが下面側から上面に向かって順に積層されて構成されるダブルヘテロ構造のものが好ましい。活性層は、量子効果が生ずる薄膜に形成された単一量子井戸構造、多重量子井戸構造のいずれでもよい。ｎ型半導体層とｐ型半導体層は、積層順序が逆であってもよい。半導体層の種類、材料は特に限定されるものではなく、例えばＩｎ_XＡｌ_YＧａ_1-X-YＮ（０≦Ｘ、０≦Ｙ、Ｘ＋Ｙ≦１）等の窒化物半導体が好適に用いられる。これらのｎ型半導体層、活性層及びｐ型半導体層はいずれも、単層であってもよいし、２層以上の多層又は超格子等の積層構造であってもよい。 (Laminated body of semiconductor layers)
The stack of semiconductor layers may be a homostructure, a single heterostructure, or a double heterostructure. In particular, a double hetero structure having an n-type semiconductor layer, an active layer, and a p-type semiconductor layer stacked in order from the lower surface side to the upper surface is preferable. The active layer may be either a single quantum well structure or a multiple quantum well structure formed in a thin film in which a quantum effect occurs. The stacking order of the n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer may be reversed. Type semiconductor layer, the material is not particularly limited, for example, _{_{_{In X Al Y Ga 1-XY}}} N (0 ≦ X, 0 ≦ Y, X + Y ≦ 1) nitrides such as semiconductor is preferably used. Any of these n-type semiconductor layers, active layers, and p-type semiconductor layers may be a single layer or a multilayer structure of two or more layers or a superlattice.

ｎ型半導体層、活性層及びｐ型半導体層ならびにこれらの積層体の厚みは、特に限定されず、意図する特性、使用する材料等によって適宜調整することができる。 The thicknesses of the n-type semiconductor layer, the active layer, the p-type semiconductor layer, and the laminate thereof are not particularly limited, and can be appropriately adjusted depending on intended characteristics, materials used, and the like.

半導体層は、通常、基板上に積層される。基板の材料としては、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）、スピネル（ＭｇＡ１₂Ｏ₄）等の絶縁性基板；炭化ケイ素（ＳｉＣ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）などの半導体基板が挙げられる。絶縁性基板を用いる場合、絶縁性基板は、その表面に島状又はストライプ状の凹凸を有していてもよい（図２Ｂ参照）。 The semiconductor layer is usually stacked on a substrate. Examples of the material for the substrate include insulating substrates such as sapphire (Al ₂ O ₃ ) and spinel (MgA 1 ₂ O ₄ ); and semiconductor substrates such as silicon carbide (SiC) and gallium nitride (GaN). In the case where an insulating substrate is used, the insulating substrate may have island-shaped or striped unevenness on the surface (see FIG. 2B).

（オーミック電極）
オーミック電極は、半導体層とオーミックコンタクトを取り得る電極材料によって形成することができる。例えば、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、白金（Ｐｔ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、ニオブ（Ｎｂ）、亜鉛（Ｚｎ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｎ）、ハフニウム（Ｈｆ）、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）等の金属又はこれらの合金；亜鉛、インジウム、スズ、ガリウム及びマグネシウムからなる群から選択される少なくとも１種の元素を含む導電性酸化物等が挙げられる。導電性酸化物の具体例としては、ＩＴＯ、ＺｎＯ、ＩＺＯ、ＧＺＯ、Ｉｎ₂Ｏ₃及びＳｎＯ₂等が挙げられる。 (Ohmic electrode)
The ohmic electrode can be formed of an electrode material that can make an ohmic contact with the semiconductor layer. For example, nickel (Ni), titanium (Ti), tungsten (W), platinum (Pt), rhodium (Rh), palladium (Pd), vanadium (V), chromium (Cr), niobium (Nb), zinc (Zn ), Tantalum (Ta), molybdenum (Mn), hafnium (Hf), aluminum (Al), silver (Ag), copper (Cu), or other metals or alloys thereof; composed of zinc, indium, tin, gallium and magnesium Examples thereof include a conductive oxide containing at least one element selected from the group. Specific examples of the conductive oxide include ITO, ZnO, IZO, GZO, In ₂ O ₃ and SnO ₂ .

オーミック電極は、活性層からの光を効率的に取り出すために、透光性導電膜によって形成されていることが好ましい。ここで透光性導電膜は、活性層から出射される光を、５０％以上、好ましくは７０％以上、さらに好ましくは８０％以上の透過性を有することが好ましい。例えば、上述した導電性酸化物の単層膜又は積層膜が挙げられる。なかでも、導電性及び透光性の観点からＩＴＯが好ましい。 The ohmic electrode is preferably formed of a translucent conductive film in order to efficiently extract light from the active layer. Here, the light-transmitting conductive film preferably has a light transmittance of 50% or more, preferably 70% or more, and more preferably 80% or more, emitted from the active layer. For example, the above-described conductive oxide single layer film or laminated film may be used. Of these, ITO is preferable from the viewpoints of conductivity and translucency.

オーミック電極は、真空蒸着法、イオンプレーティング法、イオン・ベーパー・デポジション（ＩＶＤ）法、スパッタリング法、プラズマ蒸着法、化学的気相成長（ＣＶＤ）法等の公知の方法によって形成することができる。
オーミック電極の厚みは特に限定されるものではなく、意図する特性等によって適宜調整することができる。 The ohmic electrode can be formed by a known method such as a vacuum deposition method, an ion plating method, an ion vapor deposition (IVD) method, a sputtering method, a plasma deposition method, or a chemical vapor deposition (CVD) method. it can.
The thickness of the ohmic electrode is not particularly limited, and can be appropriately adjusted depending on intended characteristics.

オーミック電極の大きさ及び形状は、特に限定されるものではなく、電流を半導体層の面内全体に均一に供給するために適宜調整される。例えば、半導体積層体の上面と同じ又はそれよりも若干小さい大きさ、半導体積層体の上面と同様の形状又は相似形状とすることが好ましい。 The size and shape of the ohmic electrode are not particularly limited, and are appropriately adjusted in order to uniformly supply current to the entire surface of the semiconductor layer. For example, it is preferable that the size is the same as or slightly smaller than the upper surface of the semiconductor stacked body, and the shape is similar to or similar to the upper surface of the semiconductor stacked body.

オーミック電極は、ｎ型半導体層及びｐ型半導体層の双方にそれぞれ形成することができる。以下、ｎ型半導体層及びｐ型半導体層にそれぞれ形成するオーミック電極を、ｎ側オーミック電極及びｐ側オーミック電極ということがある。 The ohmic electrode can be formed on both the n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer. Hereinafter, the ohmic electrodes formed on the n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer may be referred to as an n-side ohmic electrode and a p-side ohmic electrode, respectively.

（絶縁層）
絶縁層は、上述したｎ型半導体層とｐ型半導体層とを被覆していることが好ましい。ここでの被覆は、ｎ型半導体層とｐ型半導体層とに接触して被覆していてもよいが、少なくとも一部が、上述したオーミック電極に接触するように形成されていることが好ましい。また、この絶縁層は、例えば、基板、他の絶縁材料、導電材料等のいずれの上に配置されていてもよい。特に、これら半導体層の上に形成されたオーミック電極上に配置されたものがより好ましい。 (Insulating layer)
The insulating layer preferably covers the n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer described above. The coating here may be in contact with the n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer, but it is preferable that at least a part of the coating is in contact with the ohmic electrode described above. The insulating layer may be disposed on any of a substrate, other insulating material, conductive material, and the like. In particular, those disposed on ohmic electrodes formed on these semiconductor layers are more preferable.

絶縁層は、当該分野で通常用いられる材料、例えば、Ｓｉ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ等の酸化物又は窒化物等の単層又は積層膜が挙げられる。なかでも、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ａｌからなる群より選択された少なくとも一種の元素を含む酸化物又は窒化物が好ましい。特に、酸化シリコン、酸化ニオブ、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム及び酸化タンタルからなる群から選択される少なくとも１種がより好ましい。このような材料を用いることにより、後述するレジスト層に開口部を形成する場合に、開口部の側面におけるオーバーハング又は傾斜を調整することができる。 Examples of the insulating layer include materials usually used in this field, for example, single layers or laminated films of oxides or nitrides such as Si, Al, Zr, Ti, Nb, and Ta. Of these, oxides or nitrides containing at least one element selected from the group consisting of Ti, Zr, Nb, Ta, and Al are preferable. In particular, at least one selected from the group consisting of silicon oxide, niobium oxide, titanium oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, and tantalum oxide is more preferable. By using such a material, when an opening is formed in a resist layer described later, an overhang or inclination on the side surface of the opening can be adjusted.

例えば、絶縁層は、２種以上の誘電体を複数層積層させた多層構造膜からなるＤＢＲ（distributed Bragg reflector：分布ブラッグ反射）型構造層とすることができる。これにより、半導体構造体を、活性層を含む積層体で構成する場合、このＤＢＲ型の絶縁層で活性層からの光を反射させることができるため、積層体の一方向から効率的に光を取り出すことができ、高出力の光を得ることができる。この場合、最表面層がＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ａｌからなる群より選択された少なくとも一種の元素を含む酸化物又は窒化物が好ましい。
誘電体の多層構造膜とする場合、通常、一方の誘電体の屈折率ｎ_１、他方の誘電体の屈折率ｎ_２、活性層から発光される光の波長をλとすると、一方の誘電体の厚みｄ_１及び他方の誘電体の厚みｄ_２は、
ｄ_１＝λ／（４ｎ_１）（１）
ｄ_２＝λ／（４ｎ_２）（２）
とすることが好ましい。 For example, the insulating layer can be a DBR (distributed Bragg reflector) type structure layer composed of a multilayer structure film in which a plurality of two or more kinds of dielectrics are laminated. As a result, when the semiconductor structure is composed of a stacked body including an active layer, light from the active layer can be reflected by this DBR type insulating layer, so that light can be efficiently transmitted from one direction of the stacked body. It can be taken out and high output light can be obtained. In this case, an oxide or nitride containing at least one element selected from the group consisting of Ti, Zr, Nb, Ta, and Al is preferable.
In the case of a dielectric multi-layer structure film, one dielectric is usually given that the refractive index n ₁ of one dielectric, the refractive index n ₂ of the other dielectric, and the wavelength of light emitted from the active layer is λ. thickness _{d 1} and the thickness _{d 2} of the other dielectric
d ₁ = λ / (4n ₁ ) (1)
d ₂ = λ / (4n ₂ ) (2)
It is preferable that

絶縁層は、２種以上の誘電体の複数層と反射膜とを積層させた多層構造膜としてもよい。好ましくは、図３に示すように、一組の誘電体（低屈折率層１２及び高屈折率層１３）の複数組と反射膜１５とを積層させた多層構造膜８からなるＤＢＲ型構造層が挙げられる。つまり、一組の誘電体を交互に複数組積層させた多層構造膜の上又は間に、オーミック電極と後述する金属膜との接続に影響しないように絶縁された状態で反射膜を配置してもよい。反射膜の上には、通常、上述した単層構造又は多層構造の絶縁膜が配置されている。また、多層構造膜の間に反射膜を配置する場合、その間の２以上に配置してもよいが、最表面に近い側の間に１つのみ配置することが好ましい。 The insulating layer may be a multilayer structure film in which a plurality of two or more dielectric layers and a reflective film are stacked. Preferably, as shown in FIG. 3, a DBR type structure layer comprising a multilayer structure film 8 in which a plurality of pairs of dielectrics (low refractive index layer 12 and high refractive index layer 13) and a reflective film 15 are laminated. Is mentioned. In other words, a reflective film is arranged in an insulated state so as not to affect the connection between the ohmic electrode and a metal film, which will be described later, on or between a multilayer structure film in which a plurality of pairs of dielectrics are alternately laminated. Also good. The above-mentioned insulating film having a single layer structure or a multilayer structure is usually disposed on the reflective film. Moreover, when arrange | positioning a reflecting film between multilayered structure films | membranes, you may arrange | position in two or more between them, but it is preferable to arrange | position only one between the sides near the outermost surface.

反射膜としては、例えば、Ａｌ、Ａｇ等の金属又は合金の単層又は積層構造の層として形成することができる。Ａｌを単独で用いる場合、高出力の発光素子を得ることができる。また、Ａｌ合金としては、Ａｌと、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｔ等の白金族系の金属との合金が挙げられる。なかでも、ＡｌとＣｕとの合金（ＡｌＣｕ）を用いる場合、Ａｌのマイグレーションを抑制することができ、高信頼性の発光素子を得ることができる。反射膜を積層構造とする場合には、反射率の高い金属又は合金は、最下層に配置することが好ましい。これにより、反射膜内における光吸収を低減することができる。 The reflective film can be formed, for example, as a single layer or a layered structure of a metal or alloy such as Al or Ag. When Al is used alone, a high-power light-emitting element can be obtained. Examples of the Al alloy include alloys of Al and platinum group metals such as Cu, Ag, and Pt. In particular, when an alloy of Al and Cu (AlCu) is used, Al migration can be suppressed, and a highly reliable light-emitting element can be obtained. When the reflective film has a laminated structure, it is preferable that the metal or alloy having a high reflectance is disposed in the lowermost layer. Thereby, the light absorption in a reflective film can be reduced.

また、反射膜をＡｌ、Ａｇ等で形成する場合、その上には、Ａｌ、Ａｇの腐食防止の効果等を有する絶縁又は導電材料を積層させることが好ましい。このような積層構造としては、例えば、Ａｌ合金／Ｔｉの２層構造、Ａｌ合金／ＳｉＯ_２／Ｔｉの３層構造等が挙げられる。
反射膜は、ＤＢＲ型構造の間（好ましくは、ＤＢＲ型構造の最表面に近い側）に形成されるため、半導体層からＤＢＲを透過した光を反射させることができる。ＤＢＲは、所定入射角の光を全反射するため反射による損失が少ないという利点があるが、光の入射角が大きい場合には光の反射率が低下するという欠点がある。一方、反射膜は、光を反射可能な入射角度範囲が大きく、また反射可能な光の波長範囲が大きいという利点がある。従って、ＤＢＲと反射膜とを組み合わせることにより、入射光をより効率よく反射させることができる。
反射膜の厚みは、特に限定されるものではなく、例えば、１５０ｎｍ〜２５０ｎｍ程度が挙げられる。 When the reflective film is formed of Al, Ag or the like, it is preferable to laminate an insulating or conductive material having an effect of preventing corrosion of Al or Ag on the reflective film. Examples of such a laminated structure include a two-layer structure of Al alloy / Ti, a three-layer structure of Al alloy / SiO ₂ / Ti, and the like.
Since the reflective film is formed between the DBR-type structures (preferably, the side closest to the outermost surface of the DBR-type structure), the light transmitted through the DBR from the semiconductor layer can be reflected. DBR has an advantage that there is little loss due to reflection because it totally reflects light at a predetermined incident angle, but there is a disadvantage that the reflectance of light decreases when the incident angle of light is large. On the other hand, the reflective film has an advantage that the incident angle range in which light can be reflected is large and the wavelength range of light that can be reflected is large. Therefore, incident light can be reflected more efficiently by combining the DBR and the reflective film.
The thickness of the reflective film is not particularly limited, and examples thereof include about 150 nm to 250 nm.

絶縁層は、貫通孔を有していてもよい。貫通孔は、オーミック電極上以外のところに形成してもよいが、オーミック電極上に形成することが好ましい。これによって、後述する金属膜をオーミック電極と接続することができる。
貫通孔の形状は、例えば、平面形状を円形、楕円形、多角形等とすることができ、その大きさ、数、レイアウト等は適宜設定することができる。例えば、１つのみ、複数例及び／又は複数行で、あるいは複数列及び複数行で規則的に又はランダムに配置することができる。複数の貫通孔を形成する場合には、例えば、貫通孔の平均直径は、５μｍ〜１５μｍ程度が好ましい。貫通孔の平面形状が、例えば、楕円である場合には長径と短径の平均値、正方形である場合には、正方形の面積と同じ面積を有する円の直径を指す。貫通孔の間隔は、例えば、貫通孔の平均直径の２〜８倍程度が好ましい。 The insulating layer may have a through hole. The through hole may be formed at a place other than on the ohmic electrode, but is preferably formed on the ohmic electrode. Thereby, a metal film described later can be connected to the ohmic electrode.
As for the shape of the through-hole, for example, the planar shape can be a circle, an ellipse, a polygon, etc., and the size, number, layout, etc. can be set as appropriate. For example, it can be arranged regularly or randomly in only one, multiple examples and / or multiple rows, or multiple columns and multiple rows. In the case of forming a plurality of through holes, for example, the average diameter of the through holes is preferably about 5 μm to 15 μm. For example, when the planar shape of the through hole is an ellipse, the average value of the major axis and the minor axis is used, and when the planar shape is a square, the diameter of a circle having the same area as the square is indicated. For example, the interval between the through holes is preferably about 2 to 8 times the average diameter of the through holes.

絶縁層の形成は、例えば、真空蒸着法、イオンプレーティング法、イオン・ベーパー・デポジション（ＩＶＤ）法等、スパッタリング法、ＥＣＲスパッタリング法、プラズマ蒸着法、化学的気相成長（ＣＶＤ）法、ＥＣＲ−ＣＶＤ法、ＥＣＲ−プラズマＣＶＤ法、ＥＢ法、ＡＬＤ法等の公知の方法によって形成することができる。 The insulating layer is formed by, for example, vacuum deposition, ion plating, ion vapor deposition (IVD), sputtering, ECR sputtering, plasma deposition, chemical vapor deposition (CVD), It can be formed by a known method such as an ECR-CVD method, an ECR-plasma CVD method, an EB method, or an ALD method.

（レジスト層）
半導体積層体上に形成するレジスト層は、当該分野で通常使用されているフォトレジスト組成物からなる層を指す。具体的には、ノボラック−ＤＮＱ系フォトレジスト、ポジ型フォトレジスト、ネガ型フォトレジスト、化学増幅型フォトレジスト、光架橋型フォトレジスト、光重合型フォトレジスト等に分類される、種々の材料からなるフォトレジスト組成物から形成することができる。これらのフォトレジスト組成物は、市販品のいずれをも用いることができる。
レジスト層は、スクリーン塗布法、スピン塗布法、ロールコーティング法、ラミネーター法、ディップコーティング法、スプレーコーティング法等の種々の方法によって積層することができる。
レジスト層の厚みは特に限定されるものではなく、例えば、２μｍ〜５μｍ程度が好ましく、３μｍ〜４μｍ程度がより好ましい。 (Resist layer)
The resist layer formed on a semiconductor laminated body refers to the layer which consists of a photoresist composition normally used in the said field | area. Specifically, it is composed of various materials classified into novolak-DNQ photoresists, positive photoresists, negative photoresists, chemically amplified photoresists, photocrosslinked photoresists, photopolymerizable photoresists, and the like. It can be formed from a photoresist composition. As these photoresist compositions, any of commercially available products can be used.
The resist layer can be laminated by various methods such as a screen coating method, a spin coating method, a roll coating method, a laminator method, a dip coating method, and a spray coating method.
The thickness of the resist layer is not particularly limited, and is preferably about 2 μm to 5 μm, for example, and more preferably about 3 μm to 4 μm.

形成されたレジスト層は、フォトリソグラフィー法及びエッチング法を利用して所定の形状にパターニングし、開口部を形成する。
例えば、レジスト層に、所定の形状に開口部を有したマスク又は所定の形状を被覆するマスクを利用して種々の波長の光を利用して、ステッパーを用いるなどして露光を行う。
任意に露光前後に、任意の温度及び時間でベークを行ってもよい。
その後、レジスト層の露光部又は非露光部に存在するレジストを溶解する現像液を用いた浸漬現像又はスプレー現像等により、所定形状に現像する。ここで用いる現像液は、用いるレジストの種類によって適宜選択することができる。 The formed resist layer is patterned into a predetermined shape by using a photolithography method and an etching method to form an opening.
For example, the resist layer is exposed using a stepper using a light having various wavelengths using a mask having an opening in a predetermined shape or a mask covering the predetermined shape.
Baking may optionally be performed at any temperature and time before and after exposure.
Thereafter, the resist layer is developed into a predetermined shape by immersion development or spray development using a developer that dissolves the resist present in the exposed or non-exposed portion of the resist layer. The developer used here can be appropriately selected depending on the type of resist used.

レジスト層の開口部の大きさ、形状等は特に限定されるものではなく、開口部の少なくとも一部の縁部が、絶縁層の上に配置されていることが好ましく、開口部の縁部の全周が絶縁層の上に配置されていることがより好ましい。つまり、開口部は、絶縁層の一部又は全部をその内側に含むことが好ましい。また、開口部は、絶縁層に形成された貫通孔をその内部に含むことがより好ましい。 The size, shape, etc. of the opening of the resist layer are not particularly limited, and at least a part of the edge of the opening is preferably disposed on the insulating layer. More preferably, the entire circumference is disposed on the insulating layer. That is, the opening preferably includes part or all of the insulating layer inside. More preferably, the opening includes a through-hole formed in the insulating layer.

通常、レジスト層に開口部を形成する場合、その側面においてオーバーハング又は傾斜が発生する。オーバーハング又は傾斜の程度は、例えば、レジスト層への露光条件、レジスト層の厚み、下層の種類等によって適宜調整することができる。 Usually, when an opening is formed in a resist layer, overhang or inclination occurs on the side surface. The degree of overhang or inclination can be appropriately adjusted depending on, for example, the exposure conditions for the resist layer, the thickness of the resist layer, the type of the lower layer, and the like.

（ｂ）第１金属膜の形成
レジスト層の開口部を含むレジスト層上に第１金属膜を形成する。
レジスト層の開口部内では、開口部の底面から側面に亘って形成される。この場合、開口部の側面に形成される第１金属膜（以下、「開口部の側面側の第１金属膜」ということがある）の膜厚が、開口部の底面に形成される第１金属膜（以下、「開口部の底面側の第１金属膜」ということがある）の膜厚より薄くなるように形成することが好ましい。第１金属膜の開口部の底面に形成される膜厚とは、レジスト層の開口部の底面からの第１金属膜の高さ（例えば、図１ＢのＭ）を意味し、第１金属膜の開口部の側面に形成される膜厚とは、レジスト層の開口部の側面からの第１金属膜の高さ（例えば、図１ＢのＮ）を意味する。
ここで、第１金属膜が開口部の側面側で底面側より薄膜となる形状は、底面側の第１金属膜に対して、その表面から、側面側の第１金属膜が突出した形状となって現れる。 (B) Formation of first metal film A first metal film is formed on the resist layer including the opening of the resist layer.
In the opening part of a resist layer, it forms from the bottom face of an opening part to a side surface. In this case, the film thickness of the first metal film formed on the side surface of the opening (hereinafter sometimes referred to as “first metal film on the side surface of the opening”) is the first film formed on the bottom surface of the opening. The film is preferably formed to be thinner than a metal film (hereinafter, sometimes referred to as “first metal film on the bottom side of the opening”). The film thickness formed on the bottom surface of the opening of the first metal film means the height of the first metal film from the bottom surface of the opening of the resist layer (for example, M in FIG. 1B). The film thickness formed on the side surface of the opening means the height of the first metal film from the side surface of the opening of the resist layer (for example, N in FIG. 1B).
Here, the shape in which the first metal film is thinner than the bottom surface side on the side surface side of the opening is a shape in which the first metal film on the side surface side protrudes from the surface of the first metal film on the bottom surface side. It appears.

第１金属膜としては、上述したオーミック電極で例示した材料から選択した１種以上を用いて、金属又は合金の単層又は積層構造とすることができる。なかでも、第１金属膜は、後述する第２金属膜よりもエッチングレートが大きいものの単層又は後述する第２金属膜よりもエッチングレートが大きいものが最表面層に配置する積構構造が好ましい。これにより、第１金属膜の凸部２１ｂを第２金属膜より優先的にエッチングすることができる。 As a 1st metal film, it can be set as the single | mono layer or laminated structure of a metal or an alloy using 1 or more types selected from the material illustrated by the ohmic electrode mentioned above. Among them, the first metal film preferably has a stacked structure in which an etching rate is higher than that of the second metal film described later, but a single layer or a layer having an etching rate higher than that of the second metal film described later is disposed on the outermost surface layer. . Thereby, the convex part 21b of a 1st metal film can be preferentially etched rather than a 2nd metal film.

第１金属膜は、オーミック電極において例示した成膜方法と同様の方法によって形成することができる。なかでも、スパッタ法を利用することが好ましい。このような方法によって金属膜を構成する元素を異方的に積層させるために、比較的容易にレジスト層の開口部の側面側の第１金属膜を、開口部の底面側より薄膜とすることができる。
第１金属膜の底面及び側面の厚みは特に限定されるものではなく、求められる特性等によって適宜調整することができる。例えば、底面における膜厚は３００ｎｍ〜８００ｎｍ程度が好ましく、その場合の側面における厚みは底面における厚みより薄ければよい。なお、開口部の側面側の第１金属膜は、必ずしも均一な膜厚でなくてもよく、レジスト層の開口部の側面の傾斜に応じて、部分的に薄膜状又は厚膜状であってもよいし、成膜されない部位が部分的に存在していてもよい。
このように、開口部の底面及び側面において厚みの異なる第１金属膜を形成することにより、後述する第１金属膜の部分的な除去によって、開口部の側面における、バリの発生に起因する第１金属膜の残存を確実に回避することができる。 The first metal film can be formed by a method similar to the film formation method exemplified for the ohmic electrode. Among these, it is preferable to use a sputtering method. In order to anisotropically stack the elements constituting the metal film by such a method, the first metal film on the side surface side of the opening of the resist layer is made relatively thin from the bottom surface side of the opening. Can do.
The thickness of the bottom surface and the side surface of the first metal film is not particularly limited, and can be appropriately adjusted depending on required characteristics. For example, the film thickness on the bottom surface is preferably about 300 nm to 800 nm, and the thickness on the side surface in that case may be smaller than the thickness on the bottom surface. Note that the first metal film on the side surface of the opening does not necessarily have a uniform film thickness, and is partially thin or thick depending on the inclination of the side surface of the opening of the resist layer. Alternatively, a portion where no film is formed may partially exist.
In this way, by forming the first metal film having different thicknesses on the bottom surface and the side surface of the opening, the first metal film, which will be described later, is partially removed, thereby causing the first metal film due to the generation of burrs on the side surface of the opening. The remaining of one metal film can be surely avoided.

第１金属膜は、例えば、Ｔｉ／Ｒｕ、Ｎｉ／Ｒｕ等からなる多層膜によって形成することが好ましい。このような多層膜によって形成される場合には、第1金属膜における下層の膜は、例えば、第１金属膜と第１金属膜の直下に存在する部材との密着性を確保するために機能させることができる。このような膜は、例えば、０．数ｎｍから３ｎｍ程度が挙げられ、０．５ｎｍ〜３ｎｍ程度が好ましい。 The first metal film is preferably formed of a multilayer film made of Ti / Ru, Ni / Ru, or the like, for example. In the case of being formed of such a multilayer film, the lower layer film in the first metal film functions, for example, to ensure adhesion between the first metal film and a member existing immediately below the first metal film. Can be made. Such membranes are, for example, 0. A few nm to about 3 nm are mentioned, and about 0.5 nm to 3 nm are preferable.

（第２金属膜の形成）
第１金属膜を形成した後、後述する第１金属膜の部分的除去の前、つまり、工程（ｂ）と工程（ｃ）との間において、開口部の底面側に形成された第１金属膜の上面に、第１金属膜よりエッチングレートが小さい第２金属膜を形成することが好ましい。
このような第２金属膜は、後述する第１金属膜の部分的除去の際のマスクとして機能させることができる。
ここで、エッチングレートは、第１金属膜と第２金属膜とを同じエッチャントに対して同じエッチング方法の同じ条件で適用した場合の速度を意味する。この場合のエッチング方法は、ドライエッチング及びウェットエッチングのいずれでもよい。なかでも、ウェットエッチングが好ましい。エッチャントの種類及びエッチングの条件は、適宜調整することができる。例えば、ウェットエッチングの具体的な方法としては、エッチャントへの浸漬、エッチャントの噴射等のいずれの方法であってもよく、エッチング温度は常温が挙げられる。また、フッ素系、その他ハロゲン系の各ガス種によるドライエッチング、硫酸系（例えば、硝酸二アンモニウムセリウム溶液）、硝酸系、塩酸系、ＨＦ系又はこれらの混酸エッチャントによるウェットエッチング等が挙げられる。エッチャントは、エッチング対象である金属膜の種類によって市販されているもののいずれをも利用することができる。エッチングレートの差は特に限定されるものではなく、例えば、第１金属膜のエッチングレート：第２金属膜のエッチングレート＝５０〜１００：１程度が挙げられる。 (Formation of second metal film)
After the first metal film is formed, before the partial removal of the first metal film, which will be described later, that is, between the step (b) and the step (c), the first metal formed on the bottom surface side of the opening. It is preferable to form a second metal film having an etching rate smaller than that of the first metal film on the upper surface of the film.
Such a second metal film can function as a mask for partial removal of the first metal film described later.
Here, the etching rate means a speed when the first metal film and the second metal film are applied to the same etchant under the same conditions of the same etching method. In this case, the etching method may be either dry etching or wet etching. Of these, wet etching is preferable. The type of etchant and etching conditions can be adjusted as appropriate. For example, a specific method of wet etching may be any method such as immersion in an etchant or jetting of an etchant, and the etching temperature may be room temperature. Further, dry etching using fluorine or other halogen gas species, wet etching using sulfuric acid (for example, diammonium cerium nitrate solution), nitric acid, hydrochloric acid, HF, or a mixed acid etchant thereof may be used. As the etchant, any of those commercially available depending on the type of metal film to be etched can be used. The difference in the etching rate is not particularly limited. For example, the etching rate of the first metal film: the etching rate of the second metal film = about 50 to 100: 1.

第２金属膜は、例えば、上述したオーミック電極で例示した材料から選択した１種以上を用いて、金属又は合金の単層又は積層構造とすることができる。なかでも、第２金属膜は、第１金属膜よりもエッチングレートが小さいものの単層又は第１金属膜（積層構造の場合は第１金属膜の最表面層）よりもエッチングレートが小さいものが最表面層に配置する積構構造が好ましく、前者がより好ましい。具体的には、Ｔｉ、Ｎｉ等が好ましい。特に、第１金属膜の最上層がＲｕの場合、第２金属膜はＴｉがより好ましい。これにより、第２金属膜が第１金属膜の部分的除去の際のマスクとして機能させることができ、また、第２金属膜上に後述する層間絶縁膜（例えば、ＳｉＯ_２）を形成する場合、第２金属層と層間絶縁膜との密着性を向上させることができる。 For example, the second metal film may have a single layer or a laminated structure of metal or alloy using one or more selected from the materials exemplified for the ohmic electrode described above. Among them, the second metal film has a lower etching rate than the first metal film, but has a lower etching rate than the single layer or the first metal film (the outermost surface layer of the first metal film in the case of a laminated structure). A stacked structure disposed on the outermost surface layer is preferable, and the former is more preferable. Specifically, Ti, Ni and the like are preferable. In particular, when the uppermost layer of the first metal film is Ru, the second metal film is more preferably Ti. Thereby, the second metal film can function as a mask for partial removal of the first metal film, and an interlayer insulating film (for example, SiO ₂ ) described later is formed on the second metal film. The adhesion between the second metal layer and the interlayer insulating film can be improved.

第２金属膜は、上述したように、第１金属膜の部分的除去の際のマスクとして機能させるために、レジスト層の開口部の底面における第１金属膜を被覆し、開口部の側面における第１金属膜を少なくとも部分的に露出するように形成する、つまり、開口部の側面における第１金属膜を部分的又は全面的に被覆しないように形成することが好ましい。例えば、上述したように、底面側の第１金属膜の表面から側面において突出した部分の第１金属膜を被覆しないように形成することが好ましい。このような形態で第２金属膜を形成する方法としては、オーミック電極において例示した成膜方法と同様の方法によって形成することができ、なかでも、スパッタ法を利用することが好ましい。このような方法を利用することにより、開口部の側面の第２金属膜の厚みが開口部の底面の厚みよりも容易に薄膜状に形成することができる。
例えば、第２金属膜の厚みは、底面において、第１金属膜の１から５％程度の厚みとすることが好ましい。具体的には、０．１〜１００ｎｍ程度が挙げられ、０．１〜１０ｎｍ程度が好ましい。このように底面において極薄膜とすることにより、側面には、部分的に又は全面的に第２金属膜が成膜されない形態で第２金属膜を形成することができるため、後述するように、第２金属膜を、第１金属膜におけるレジストの開口部の側面に沿って形成された金属膜の除去用のマスクとして有効に機能させることができる。 As described above, the second metal film covers the first metal film on the bottom surface of the opening of the resist layer and functions on the side surface of the opening in order to function as a mask for partial removal of the first metal film. The first metal film is preferably formed so as to be at least partially exposed, that is, formed so as not to partially or completely cover the first metal film on the side surface of the opening. For example, as described above, the first metal film is preferably formed so as not to cover the portion of the first metal film that protrudes from the surface of the first metal film on the bottom surface side. As a method of forming the second metal film in such a form, it can be formed by a method similar to the film forming method exemplified in the ohmic electrode, and among these, it is preferable to use a sputtering method. By using such a method, the thickness of the second metal film on the side surface of the opening can be formed into a thin film more easily than the thickness of the bottom surface of the opening.
For example, the thickness of the second metal film is preferably about 1 to 5% of the first metal film on the bottom surface. Specifically, about 0.1-100 nm is mentioned, About 0.1-10 nm is preferable. By forming an extremely thin film on the bottom surface in this way, the second metal film can be formed on the side surface in a form in which the second metal film is not formed partially or entirely. The second metal film can effectively function as a mask for removing the metal film formed along the side surface of the resist opening in the first metal film.

（ｃ）第１金属膜の部分的除去
レジスト層の開口部の側面に形成された第１金属膜を部分的にエッチングにより除去する。この際のエッチングは、レジスト層を残存させたまま行い、特に、レジスト層の開口部の底面に形成された第１金属膜を残存させ、上述したように、この第１金属膜から突出して、レジスト層の開口部の側面に沿って形成された第１金属膜を除去することが好ましい。このエッチングは、上述したように、レジスト層の開口部の底面側の第１金属膜よりも側面側に形成された第１金属膜が薄膜状に形成された場合に、有効かつ容易に実行することができる。 (C) Partial removal of the first metal film The first metal film formed on the side surface of the opening of the resist layer is partially removed by etching. The etching at this time is performed with the resist layer remaining, and in particular, the first metal film formed on the bottom surface of the opening of the resist layer is left and, as described above, protrudes from the first metal film, It is preferable to remove the first metal film formed along the side surface of the opening of the resist layer. As described above, this etching is effectively and easily performed when the first metal film formed on the side surface side of the first metal film on the bottom surface side of the opening of the resist layer is formed in a thin film shape. be able to.

一般に、レジスト層の開口部内及びレジスト層上に金属膜を形成した後、レジスト層を除去することによりレジスト層上に形成された金属膜を除去することを利用して金属膜をパターニングするリフトオフ法を行う場合、上述した工程（ｂ）の後、上述した工程（ｃ）を行わない。つまり、金属膜を形成した後、例えば、レジスト層を溶解し得る溶液の高圧噴射によってレジスト層及びその上の金属膜を除去する。
しかし、このように、溶液の高圧噴射によりレジスト層を除去すると、金属膜の上面にダメージを与えることがある。また、レジスト層の側面で突出する金属膜を除去することができない。そのために、金属膜の突出した部位が、得られた電極のバリとなる。このようなバリは、従来技術において説明したようにスクラブ処理、研磨処理、ソフトエッチング処理等によって除去することは可能であるが、その際に、金属膜の上面が研削又は溶解される恐れがあり、電極特性の悪化をもたらすという懸念がある。 Generally, after forming a metal film in the opening of the resist layer and on the resist layer, the lift-off method of patterning the metal film by removing the metal film formed on the resist layer by removing the resist layer When performing, the process (c) mentioned above is not performed after the process (b) mentioned above. That is, after the metal film is formed, for example, the resist layer and the metal film thereon are removed by high-pressure jetting of a solution capable of dissolving the resist layer.
However, if the resist layer is removed by high-pressure jetting of the solution as described above, the upper surface of the metal film may be damaged. Further, the metal film protruding on the side surface of the resist layer cannot be removed. Therefore, the protruding portion of the metal film becomes a burr of the obtained electrode. Such burrs can be removed by scrubbing, polishing, soft etching, etc. as described in the prior art, but at that time, the upper surface of the metal film may be ground or dissolved. There is a concern that the electrode characteristics will be deteriorated.

一方、上述したようなエッチングによる第１金属膜の部分的除去を行うことにより、レジスト層を除去した際に得られた電極にバリが発生することを効果的に防止することができる。
また、第１金属膜の形状と一致する開口部を備えるレジスト層をそのまま利用することにより、第１金属膜の側面（レジスト層に接触する側）の全部をレジスト層によって確実に被覆することができる。それよって、エッチング方法にかかわらず、第１金属膜の端部からのエッチングを確実に防止することができる。その結果、第１金属膜の直下に配置する部材にダメージを発生させず、効率的にレジスト層の開口部の側面に沿って形成された第１金膜の突出部分を部分的に除去することができる。さらに製造工程による電極サイズの変動を防止することができる。 On the other hand, by partially removing the first metal film by etching as described above, it is possible to effectively prevent burrs from being generated in the electrode obtained when the resist layer is removed.
In addition, by using the resist layer having an opening that matches the shape of the first metal film as it is, it is possible to reliably cover the entire side surface (side contacting the resist layer) of the first metal film with the resist layer. it can. Therefore, etching from the end of the first metal film can be reliably prevented regardless of the etching method. As a result, the protruding portion of the first gold film formed along the side surface of the opening of the resist layer can be partially removed efficiently without causing damage to the member disposed immediately below the first metal film. Can do. Furthermore, fluctuations in the electrode size due to the manufacturing process can be prevented.

第１金属膜の部分的除去は、ウェットエッチング及びドライエッチングのいずれを利用してもよく、エッチング法によって、エッチャント及び条件を適宜調整することができる。例えば、フッ素系、その他ハロゲン系の各ガス種によるドライエッチング、硫酸系、硝酸系、塩酸系、ＨＦ系エッチャントによるウェットエッチング等が挙げられる。なかでも、ウェットエッチングが好ましい。ウェットエッチングの具体的な方法としては、エッチャントへの浸漬、エッチャントの噴射等のいずれの方法であってもよい。 For the partial removal of the first metal film, either wet etching or dry etching may be used, and the etchant and conditions can be appropriately adjusted by an etching method. For example, dry etching with fluorine and other halogen gases, wet etching with sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid, and HF etchants can be used. Of these, wet etching is preferable. As a specific method of wet etching, any method such as immersion in an etchant or jetting of an etchant may be used.

第１金属膜を部分的に除去する際、上述したように、第１金属膜の上面に第２金属膜が形成されている場合、これら金属膜のエッチングレートの差異によって、また、第２金属膜の第１金属膜の被覆形態又は露出形態によって、適切な条件を選択することにより、開口部の底面側から突出し、開口部の側面に沿って積層された第１金属膜を効果的に除去することができる。この場合、特に開口部の底面側の第１金属膜は第２金属膜で被覆されているため、ほとんどエッチングされることなく、そのまま底面において残存させることができる。これによって、後述するように、レジスト層を除去した後に一般に発生し得るバリを効果的に除去することができる。 When the first metal film is partially removed, as described above, when the second metal film is formed on the upper surface of the first metal film, the second metal is also caused by the difference in the etching rate of these metal films. The first metal film protruding from the bottom surface side of the opening and laminated along the side surface of the opening is effectively removed by selecting appropriate conditions depending on the coating form or the exposed form of the first metal film of the film. can do. In this case, since the first metal film on the bottom side of the opening is covered with the second metal film, it can be left as it is on the bottom without being etched. Thereby, as will be described later, it is possible to effectively remove burrs that can generally occur after the resist layer is removed.

（ｄ）レジスト層の除去
レジスト層の除去は、公知の方法を利用することができる。例えば、レジスト層を、オゾン等のガスを導入したチャンバ内で紫外線等の光を照射してガスとレジストとの化学反応を使ってレジスト層を除去する光励起アッシング、ガスを高周波等でプラズマ化し、そのプラズマを利用してレジスト層を除去するプラズマアッシング、レジスト層を加熱又は燃焼して無機化合物にする灰化等、レジスト層を溶解させることができる現像液を利用したリフトオフ等、種々の方法を利用することができる。ただし、いずれの方法でも、第１金属膜及び第２金属膜をエッチングしないか、ほとんどエッチングしない方法を利用することが好ましい。なかでも、リフトオフ法が簡便であるため、好ましい。リフトオフ法は、用いるレジスト層の種類によって、適切な現像液を選択して用いることができる。この際、レジスト層のみならず、レジスト層の上に積層された第１金属膜、第２金属膜等も一緒に除去することができる。一方、レジスト層の開口部内に残存した第１金属膜及び第２金属膜はそのまま残存させることができる。
このような工程によって、金属膜、例えば、各種電極を形成することができる。また、上述した工程において、予め、バリとして発生するレジスト層の開口部の側面に位置する第１金属膜を除去するために、バリを発生させることを回避することができる。 (D) Removal of resist layer A known method can be used to remove the resist layer. For example, the resist layer is irradiated with light such as ultraviolet rays in a chamber into which a gas such as ozone is introduced to remove the resist layer using a chemical reaction between the gas and the resist. Various methods such as plasma ashing that removes the resist layer using the plasma, ashing that heats or burns the resist layer to an inorganic compound, lift-off using a developer that can dissolve the resist layer, etc. Can be used. However, in any method, it is preferable to use a method in which the first metal film and the second metal film are not etched or hardly etched. Especially, since the lift-off method is simple, it is preferable. In the lift-off method, an appropriate developer can be selected and used depending on the type of resist layer to be used. At this time, not only the resist layer but also the first metal film and the second metal film laminated on the resist layer can be removed together. On the other hand, the first metal film and the second metal film remaining in the opening of the resist layer can be left as they are.
By such a process, a metal film, for example, various electrodes can be formed. Further, in the above-described process, it is possible to avoid the generation of burrs in order to remove the first metal film located on the side surface of the opening portion of the resist layer generated as burrs in advance.

（発光素子の製造方法）
上述したように、半導体構造体を準備し、この半導体構造体の上に、上述した金属膜の形成方法によって形成された金属膜を、ｎ側電極及びｐ側電極の少なくとも一方の電極又は双方の電極として利用することができる。
なお、金属膜をｐ側電極及びｎ側電極として形成する場合、これらは、半導体積層体における同じ面に形成してもよいし、異なる面に形成してもよい。いずれの場合においても、ｐ側電極及びn側電極は同一材料で同時に形成してもよいし、異なる材料で別々に形成してもよい。 (Manufacturing method of light emitting element)
As described above, a semiconductor structure is prepared, and a metal film formed by the above-described method for forming a metal film is formed on the semiconductor structure by using at least one of the n-side electrode and the p-side electrode, or both It can be used as an electrode.
In addition, when forming a metal film as a p side electrode and an n side electrode, these may be formed in the same surface in a semiconductor laminated body, and may be formed in a different surface. In any case, the p-side electrode and the n-side electrode may be formed simultaneously with the same material, or may be formed separately with different materials.

ｎ側電極及びｐ側電極は、上述した金属膜の形成方法によって形成された第１金属膜（任意に第２金属膜）のみならず、順電圧上昇を抑制する観点から上述したｎ側オーミック電極及び／又はｐ側オーミック電極を介してｎ型半導体層及び／又はｐ型半導体層のそれぞれに電気的に接続されていることが好ましい。 The n-side electrode and the p-side electrode are not only the first metal film (arbitrarily the second metal film) formed by the metal film formation method described above, but also the n-side ohmic electrode described above from the viewpoint of suppressing a forward voltage rise. It is preferable that the n-type semiconductor layer and / or the p-type semiconductor layer are electrically connected to each other via a p-side ohmic electrode.

本発明の発光素子の製造方法では、上述した工程の後、半導体構造体におけるｐ側電極及びｎ側電極が形成された側の全域に層間絶縁膜を形成する。そして、ｐ側電極及びｎ側電極が露出するような開口部をエッチング等で形成した後、ｐ側電極に接し、ｎ側電極の上面の一部を被覆する第１層間絶縁膜及び／又はｎ側電極に接し、ｐ側電極の上面の一部を被覆する第２層間絶縁膜を形成することが好ましい。
なお、層間絶縁膜の開口部をエッチング等で形成する際に、ｐ側電極又はｎ側電極が第１金属層及び第２金属層で構成されている場合、第２金属層が露出するまでエッチングしてもよいし、第１金属層が露出するまでエッチングしてもよい。
さらに、ｐ側電極に接続され、第２層間絶縁膜を介してｎ側電極の上方まで延伸するｐ側外部接続用電極及び／又はｎ側電極に接続され、第１離間絶縁膜を介してｐ側電極の上方まで延伸するｎ側外部接続用電極を形成してもよい。
なかでも、第１離間絶縁膜及び第２離間絶縁膜を形成し、さらに、ｐ側外部接続用電極及びｎ側外部接続用電極を形成することが好ましい。 In the method for manufacturing a light emitting device of the present invention, after the above-described steps, an interlayer insulating film is formed over the entire region of the semiconductor structure on the side where the p-side electrode and the n-side electrode are formed. Then, after forming an opening through which the p-side electrode and the n-side electrode are exposed by etching or the like, the first interlayer insulating film and / or n in contact with the p-side electrode and covering a part of the upper surface of the n-side electrode It is preferable to form a second interlayer insulating film that is in contact with the side electrode and covers a part of the upper surface of the p-side electrode.
When forming the opening of the interlayer insulating film by etching or the like, if the p-side electrode or the n-side electrode is composed of the first metal layer and the second metal layer, the etching is performed until the second metal layer is exposed. Alternatively, etching may be performed until the first metal layer is exposed.
Furthermore, it is connected to the p-side external connection electrode and / or the n-side electrode, which is connected to the p-side electrode and extends to the upper side of the n-side electrode through the second interlayer insulating film, and is connected to the p-side through the first separation insulating film. An n-side external connection electrode that extends to above the side electrode may be formed.
In particular, it is preferable to form the first separation insulating film and the second separation insulating film, and further form the p-side external connection electrode and the n-side external connection electrode.

第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜は、絶縁材料によって形成されていればよく、例えば、酸化膜、窒化膜、酸化窒化膜からなるものが挙げられる。なかでも、Ｎｂ₂Ｏ₅、ＴｉＯ₂、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＺｒＯ₂等の単層又は積層膜とすることができる。また、上述したＤＢＲ型構造を有するものでもよい。このような層間絶縁膜は、上述した絶縁層と同様に形成することができる。なお、第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜は、必ずしも別個に形成しなくてもよく、１つの層として、一体的に形成してもよい。 The first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film only need to be formed of an insulating material, and examples thereof include an oxide film, a nitride film, and an oxynitride film. Among them, it is possible to _{_{_{Nb 2 O 5, TiO 2,}}} SiO 2, Al 2 O 3, ZrO 2 such as a single layer or a stacked film of. Moreover, you may have the DBR type structure mentioned above. Such an interlayer insulating film can be formed in the same manner as the insulating layer described above. Note that the first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film are not necessarily formed separately, and may be integrally formed as one layer.

第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜は、通常、それぞれｎ側電極及びｐ側電極の上に配置された貫通孔を有しており、この貫通孔を通して後述するｐ側外部接続用電極及びｎ側外部接続用電極が、ｎ側電極及びｐ側電極とそれぞれ接続される。貫通孔の大きさ、形状及び数等は、上述した絶縁層に形成するものと同様のものが例示される。
また、このような第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜によって、ｐ側外部接続用電極及びｎ側外部接続用電極の表面を、略平坦又は略面一とすることができる。そのために、第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜の厚みは、例えば、０．２〜１．０μｍ程度が好ましく、０．６５〜０．７５μｍ程度がより好ましい。 The first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film usually have through holes disposed on the n-side electrode and the p-side electrode, respectively, and through this through-hole, a p-side external connection electrode and a later-described electrode The n-side external connection electrode is connected to the n-side electrode and the p-side electrode, respectively. Examples of the size, shape, number, and the like of the through holes are the same as those formed in the insulating layer described above.
Moreover, the surface of the p-side external connection electrode and the n-side external connection electrode can be made substantially flat or substantially flush with such first interlayer insulating film and second interlayer insulating film. Therefore, the thickness of the first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film is preferably about 0.2 to 1.0 μm, and more preferably about 0.65 to 0.75 μm, for example.

ｐ側外部接続用電極及びｎ側外部接続用電極は、導電性を有し、電極として機能し得るものであればよい。ここで、外部接続用電極とは、発光装置を実装する際に、実装基板と電気的な接続をとるための電極である。
これら外部接続用電極は、上述したｎ側電極及びｐ側電極を構成する材料と同様の材料を用いて形成することができる。例えば、これら外部接続用電極は、半導体層側から順にＴｉ、Ｐｔ、Ａｕ又はＴｉ、Ｎｉ、Ａｕ膜が積層した積層膜で形成することが好ましい。 The p-side external connection electrode and the n-side external connection electrode only have to be conductive and can function as electrodes. Here, the external connection electrode is an electrode for electrically connecting to the mounting substrate when the light emitting device is mounted.
These external connection electrodes can be formed using the same material as that of the n-side electrode and the p-side electrode described above. For example, these external connection electrodes are preferably formed of a laminated film in which Ti, Pt, Au or Ti, Ni, and Au films are laminated in order from the semiconductor layer side.

ｐ側外部接続用電極は、半導体積層体におけるｐ型半導体層に対してのみに形成してもよいし、ｎ側外部接続用電極は、半導体積層体におけるｎ型半導体層に対してのみに形成してもよいが、上述したように、発光素子を構成する半導体積層体のｎ型半導体層及びｐ型半導体層にそれぞれ接続されるｎ側電極及びｐ側電極とそれぞれ電気的に接続されることが好ましい。 The p-side external connection electrode may be formed only on the p-type semiconductor layer in the semiconductor stacked body, and the n-side external connection electrode is formed only on the n-type semiconductor layer in the semiconductor stacked body. However, as described above, the n-side electrode and the p-side electrode that are respectively connected to the n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer of the semiconductor stacked body constituting the light emitting element are electrically connected to each other. Is preferred.

ｎ側外部接続用電極及びｐ側外部接続用電極は、ｎ側電極又はｐ側電極の全面と接触して、電気的に接続されていてもよいが、通常、第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜を介して、その一部において、ｎ側電極又はｐ側電極と電気的に接続されている。
例えば、ｎ側外部接続用電極は、ｎ型半導体層と電気的に接続されたｎ側電極の上面の一部と接続し、さらに、第１層間絶縁膜を介して、ｐ側電極上の一部を被覆している。
また、ｐ側外部接続用電極は、ｐ型半導体層と電気的に接続されたｐ側電極の上面に接続され、第２層間絶縁膜を介して、ｎ側電極上の一部を被覆している。 The n-side external connection electrode and the p-side external connection electrode may be electrically connected in contact with the entire surface of the n-side electrode or the p-side electrode. Part of the interlayer insulating film is electrically connected to the n-side electrode or the p-side electrode through the interlayer insulating film.
For example, the n-side external connection electrode is connected to a part of the upper surface of the n-side electrode that is electrically connected to the n-type semiconductor layer, and further, one electrode on the p-side electrode is interposed through the first interlayer insulating film. The part is covered.
The p-side external connection electrode is connected to the upper surface of the p-side electrode electrically connected to the p-type semiconductor layer, and covers a part of the n-side electrode via the second interlayer insulating film. Yes.

通常、半導体積層体におけるｐ型半導体層側の表面にｐ側電極及びｎ側電極を形成する場合、ｐ型半導体層の一部をｎ型半導体層が露出するまで除去するため、ｎ型半導体層上に形成されるｎ側電極は、ｐ型半導体層上に形成されるｐ側電極よりも、その上面が低い。つまり、その上面が半導体積層体側に配置されている。従って、ｎ側電極上の一部と接続されたｎ側外部接続用電極及びｎ側電極上の一部を被覆するｐ側外部接続用電極は、その一部（下面）が、ｎ側電極が配置されている溝部に入り込んでおり、その上面には、若干の窪みが存在する。ただし、この窪みは、ｎ側外部接続用電極及びｐ側外部接続用電極を実装基板に実装する際、実装基板への実装に利用される接合部材（例えば、半田など）の厚み変動によって、発光素子を実装基板に水平に実装し得る程度の凹凸又は高低差を有するのみである。本発明では、この程度の窪みを有する面を、略平坦、言い換えれば、略面一となっていると称し、「略平坦」、「略面一」とは、この程度の高低差を許容することを意味する。 Usually, when forming a p-side electrode and an n-side electrode on the surface of the semiconductor laminate on the p-type semiconductor layer side, the n-type semiconductor layer is removed in order to remove part of the p-type semiconductor layer until the n-type semiconductor layer is exposed. The upper surface of the n-side electrode formed on the upper side is lower than the p-side electrode formed on the p-type semiconductor layer. That is, the upper surface is disposed on the semiconductor stacked body side. Therefore, the n-side external connection electrode connected to a part on the n-side electrode and the p-side external connection electrode covering a part on the n-side electrode have a part (lower surface) of the n-side electrode. It enters into the arranged groove part, and there is a slight depression on its upper surface. However, this recess emits light due to a variation in the thickness of a bonding member (for example, solder) used for mounting on the mounting board when mounting the n-side external connection electrode and the p-side external connection electrode on the mounting board. It has only unevenness or height difference to the extent that the element can be mounted horizontally on the mounting substrate. In the present invention, a surface having such a depression is referred to as being substantially flat, in other words, substantially flush, and “substantially flat” and “substantially flush” allow such a level difference. Means that.

ｎ側外部接続用電極及びｐ側外部接続用電極は、通常、それぞれ、ｎ側電極及びｐ側電極が配置された部位にのみ配置されていればよいが、それぞれ、ｎ型半導体層の上方からｐ型半導体層の上方にわたって配置されることが好ましい。これにより、熱伝導を増大させることができ、熱抵抗を低減させることが可能となる。また、ｎ型半導体層の上方に位置する部位において、若干の凹みが生じるが、ｎ側外部接続用電極及びｐ側外部接続用電極の表面において若干の凹みを有することにより、その表面積が増大し、熱伝導を顕著に向上させることができる。 Normally, the n-side external connection electrode and the p-side external connection electrode need only be disposed only at the positions where the n-side electrode and the p-side electrode are disposed, respectively, but from above the n-type semiconductor layer, respectively. It is preferable to dispose over the p-type semiconductor layer. Thereby, thermal conduction can be increased and thermal resistance can be reduced. In addition, a slight dent is generated in the portion located above the n-type semiconductor layer, but the surface area of the n-side external connection electrode and the p-side external connection electrode is increased by having a slight dent. The heat conduction can be remarkably improved.

このように、ｎ側電極及び／又はｐ側電極等の電極の上に、第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜を介してこれら電極とは異なる極性（つまり、正又は負）の外部接続用電極が配置される場合には、電極の縁部に上述したバリが存在することにより、バリが第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜を突き抜けてｎ側外部接続用電極及びｐ側外部接続用電極に電気的接触を招く又はリーク電流を生じるなどの不具合を発生させることがある。しかし、上述したように、電極のバリの発生を確実に防止することができる場合には、電極上に異なる極性のｎ側外部接続用電極及びｐ側外部接続用電極が配置されても、バリに起因する短絡及びリーク電流の発生を確実に回避することができる。その結果、信頼性の高い発光素子を製造することができる。 As described above, the external connection having a polarity (that is, positive or negative) different from those of the electrodes is provided on the electrodes such as the n-side electrode and / or the p-side electrode via the first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film. When the electrode for use is arranged, the above-described burr exists at the edge of the electrode, so that the burr penetrates the first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film and the n-side external connection electrode and the p-side external Problems such as electrical contact or leakage current may occur in the connection electrode. However, as described above, in the case where the occurrence of burr in the electrode can be reliably prevented, the burr can be prevented even if the n-side external connection electrode and the p-side external connection electrode having different polarities are arranged on the electrode. It is possible to reliably avoid the occurrence of a short circuit and a leakage current due to. As a result, a highly reliable light-emitting element can be manufactured.

ｎ側外部接続用電極及びｐ側外部接続用電極は、発光素子の一面（つまり、実装面）において、異なる面積を占有していてもよいが、同一面積又は略同一面積であることが好ましい。例えば、一方の外部接続用電極の面積が他方の外部接続用電極の面積の±１０％以内であることが好ましい。 The n-side external connection electrode and the p-side external connection electrode may occupy different areas on one surface (that is, the mounting surface) of the light emitting element, but are preferably the same area or substantially the same area. For example, the area of one external connection electrode is preferably within ± 10% of the area of the other external connection electrode.

以下に本発明の金属膜の形成方法及び発光素子の製造方法の実施形態を、図面を参照しながら具体的に説明する。 Embodiments of a method for forming a metal film and a method for manufacturing a light emitting element according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

＜実施の形態１：金属膜の形成方法＞
（ａ）半導体構造体の準備及びレジスト層の形成
まず、図１Ａに示すように、半導体構造体２０を準備する。
そして、この半導体構造体２０の上に、レジスト層１７を３μｍの膜厚で形成する。その後、レジスト層１７に対して、所定の形状に開口部を有したマスクを利用して波長４３６ｎｍの光を利用して、ステッパーを用いて露光を行う。
その後、レジスト層の露光部又は非露光部に存在するレジスト層を溶解する現像液を用いた浸漬現像を行う。これによって、レジスト層１７に開口部１７ａを形成する。 <Embodiment 1: Method for forming metal film>
(A) Preparation of Semiconductor Structure and Formation of Resist Layer First, as shown in FIG. 1A, a semiconductor structure 20 is prepared.
Then, a resist layer 17 is formed with a thickness of 3 μm on the semiconductor structure 20. Thereafter, the resist layer 17 is exposed using a stepper using light having a wavelength of 436 nm using a mask having an opening in a predetermined shape.
Thereafter, immersion development is performed using a developer that dissolves the resist layer present in the exposed or non-exposed portion of the resist layer. As a result, an opening 17 a is formed in the resist layer 17.

ここでのレジスト層１７における開口部１７ａは、用いるレジスト層の種類、厚み等を調整して、図示しないが、側面において、上方から中央付近において、レジスト層の肩部が比較的大きい鋭角（９０度に近い、８０度以上）を構成するようにその側面が内側に直線状に徐々に入りこんでいる。中央付近よりも底面側（例えば、底面から１／３程度の高さ）では、その側面が上方よりもより急激に内側に入り込む形状を有していることが好ましい。 Although the opening 17a in the resist layer 17 is not shown in the figure by adjusting the type and thickness of the resist layer to be used, the side of the resist layer 17 has a relatively large acute angle (90 from the upper part to the vicinity of the center). The side faces gradually inwardly form a straight line so as to constitute a degree of 80 degrees or more. On the bottom side (for example, about 1/3 of the height from the bottom) near the center, the side surface preferably has a shape that enters the inside more rapidly than above.

（ｂ）第１金属膜の形成
続いて、図１Ｂに示すように、レジスト層１７の開口部１７ａ内及びレジスト層１７上に第１金属膜２１（Ｒｕ膜、底面膜厚５００ｎｍ）をスパッタ法により形成する。この際、第１金属膜２１は、開口部１７ａの底面から側面に亘って形成され、開口部１７ａの側面側が開口部１７ａの底面側より薄膜状に形成される。また、上述したレジスト層１７の開口部１７ａの側面の形状によって、開口部１７ａの側面の上方において第１金属膜が成膜されないこともある。なお、第１金属膜２１内の下層には、第１金属膜と第１金属膜の直下に存在する部材との密着性を確保するために、Ｔｉ膜２１ａ（膜厚１．５ｎｍ）を形成することが好ましい。
次に、第１金属膜２１上に、第２金属膜２２（Ｔｉ膜、１０ｎｍ）をスパッタ法により形成する。ここでの第２金属膜２２は、開口部１７ａの底面及びレジスト層１７の上面においては、略均一に形成されるが、その薄い厚みによって、開口部１７ａの側面においてはほとんど形成されないか、形成されても、側面の一部に形成されるのみとなる。 (B) Formation of First Metal Film Subsequently, as shown in FIG. 1B, the first metal film 21 (Ru film, bottom film thickness 500 nm) is sputtered in the opening 17a of the resist layer 17 and on the resist layer 17. To form. At this time, the first metal film 21 is formed from the bottom surface to the side surface of the opening portion 17a, and the side surface side of the opening portion 17a is formed in a thin film shape from the bottom surface side of the opening portion 17a. Moreover, the first metal film may not be formed above the side surface of the opening 17a due to the shape of the side surface of the opening 17a of the resist layer 17 described above. In addition, a Ti film 21a (film thickness: 1.5 nm) is formed in the lower layer in the first metal film 21 in order to ensure adhesion between the first metal film and a member existing immediately below the first metal film. It is preferable to do.
Next, a second metal film 22 (Ti film, 10 nm) is formed on the first metal film 21 by sputtering. Here, the second metal film 22 is formed substantially uniformly on the bottom surface of the opening 17a and the top surface of the resist layer 17, but is hardly formed on the side surface of the opening 17a due to its thin thickness. However, it is only formed on a part of the side surface.

これら第１金属膜２１及び第２金属膜２２の積層によって、図１Ｂに示すように、開口部１７ａの側面において、第１金属膜２１が、その底面側よりも突出した突出部位（凸部２１ｂ）が形成されることとなる。この凸部２１ｂは、通常、バリ発生の原因となる。 By stacking the first metal film 21 and the second metal film 22, as shown in FIG. 1B, on the side surface of the opening portion 17a, the first metal film 21 protrudes from the bottom surface side (projection portion 21b). ) Will be formed. The convex portion 21b usually causes burrs.

（ｃ）第１金属膜のエッチング
その後、図１Ｃに示すように、第１金属膜２１をエッチングに付す。ここでのエッチングは、ウェットエッチングによって行う。エッチャントは、常温２５℃の硝酸とアンモニウムセリウムの混酸液を用い、浸漬によって行う。このウェットエッチングによって、開口部１７ａの側面に形成された第１金属膜２１ｂを部分的に除去することができる。つまり、上述したように、第２金属膜２２が第１金属膜２１よりも、硝酸とアンモニウムセリウムの混酸液に対するエッチングレートが小さいことから、第２金属膜２２が第１金属膜２１のエッチングマスクとして機能する。これによって、第２金属膜２２で被覆された開口部１７ａの底面側においては、第１金属膜２１は除去されず、第２金属膜２２から露出した凸部２１ｂのみが効率的に除去される。従って、ここでのエッチングは、凸部２１ｂが、第１金属膜２１の他の部位と略平坦となる程度に調整することが好ましい。これによって、金属膜の設計サイズを確実に維持することが可能となる。 (C) Etching of First Metal Film Thereafter, as shown in FIG. 1C, the first metal film 21 is subjected to etching. The etching here is performed by wet etching. The etchant is immersed by using a mixed acid solution of nitric acid and ammonium cerium at a room temperature of 25 ° C. By this wet etching, the first metal film 21b formed on the side surface of the opening 17a can be partially removed. That is, as described above, since the second metal film 22 has a lower etching rate with respect to the mixed acid solution of nitric acid and ammonium cerium than the first metal film 21, the second metal film 22 is an etching mask for the first metal film 21. Function as. Thus, the first metal film 21 is not removed on the bottom surface side of the opening 17a covered with the second metal film 22, and only the convex part 21b exposed from the second metal film 22 is efficiently removed. . Therefore, the etching here is preferably adjusted so that the convex portion 21 b is substantially flat with other portions of the first metal film 21. This makes it possible to reliably maintain the design size of the metal film.

（ｄ）レジスト層の除去
続いて、図１Ｄに示すように、レジスト層１７を除去する。ここでのレジスト層１７の除去は、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリジノン）溶液を用いて行う。これにより、第１金属膜２１及び第２金属膜２２を腐食することなく、レジスト層１７のみを溶解させることができる。また、レジスト層１７の上面に配置していたＴｉ膜２１ａ、第１金属膜２１及び第２金属膜２２もレジスト層１７とともにリフトオフされ、これによって、第１金属膜２１及び第２金属膜２２は、レジスト層１７の開口部１７ａに対応した形状でパターニングされる。また、レジスト層１７を除去した後においては、バリの原因となる第１金属膜２１及び第２金属膜２２の端部における凸部２１ｂがすでに除去され、存在しないために、パターニング後の金属膜にバリが発生することを回避することができる。 (D) Removal of Resist Layer Subsequently, as shown in FIG. 1D, the resist layer 17 is removed. The removal of the resist layer 17 here is performed using an NMP (N-methyl-2-pyrrolidinone) solution. Thus, only the resist layer 17 can be dissolved without corroding the first metal film 21 and the second metal film 22. Further, the Ti film 21a, the first metal film 21 and the second metal film 22 which have been disposed on the upper surface of the resist layer 17 are also lifted off together with the resist layer 17, whereby the first metal film 21 and the second metal film 22 are The resist layer 17 is patterned in a shape corresponding to the opening 17a. Further, after the resist layer 17 is removed, the convex portions 21b at the ends of the first metal film 21 and the second metal film 22 that cause burrs are already removed and do not exist. It is possible to avoid the occurrence of burrs.

＜実施の形態２：発光素子の製造方法＞
この実施の形態で製造される発光素子は、図２Ａ及び図２Ｂに示したように、ｎ型半導体層３と、活性層４と、ｐ型半導体層５とが順に下面側から上面に向かって積層された半導体積層体６と、
半導体積層体６の上面、つまりｐ型半導体層５の上面で、ｐ型半導体層５に接続されたｐ側電極と、
半導体積層体６の上面のｐ型半導体層５の一部が、半導体積層体６の内側において溝状に除去されて、ｎ型半導体層３が露出し、その露出したｎ型半導体層３の上面で、ｎ型半導体層３に接続されたｎ側電極を有する。
なお、半導体積層体６は、通常、サファイア基板等の基板２の上に形成されている。基板２の表面には、ストライプ状の凹凸が形成されている。
また、発光素子と、ｎ側電極及びｐ側電極とそれぞれ接続された導電層であるｎ側外部接続用電極及びｐ側外部接続用電極とを備える。
このような発光素子は、通常、平面視が矩形又は略矩形である。ここで略矩形とは、四隅の角が９０±１０度程度の角度の変動が許容されることを意味する。 <Embodiment 2: Manufacturing method of light emitting element>
As shown in FIGS. 2A and 2B, the light emitting device manufactured in this embodiment includes an n-type semiconductor layer 3, an active layer 4, and a p-type semiconductor layer 5 in order from the lower surface side to the upper surface. A laminated semiconductor laminate 6;
A p-side electrode connected to the p-type semiconductor layer 5 on the upper surface of the semiconductor stacked body 6, that is, the upper surface of the p-type semiconductor layer 5;
Part of the p-type semiconductor layer 5 on the upper surface of the semiconductor stacked body 6 is removed in a groove shape inside the semiconductor stacked body 6 to expose the n-type semiconductor layer 3, and the exposed upper surface of the n-type semiconductor layer 3. And having an n-side electrode connected to the n-type semiconductor layer 3.
The semiconductor laminate 6 is usually formed on a substrate 2 such as a sapphire substrate. Striped irregularities are formed on the surface of the substrate 2.
The light-emitting element includes an n-side external connection electrode and a p-side external connection electrode, which are conductive layers connected to the n-side electrode and the p-side electrode, respectively.
Such a light emitting element is usually rectangular or substantially rectangular in plan view. Here, “substantially rectangular” means that a change in angle of which the corners of the four corners are about 90 ± 10 degrees is allowed.

ｎ側電極は、ｎ型半導体層３の上面にオーミックコンタクトしたｎ側オーミック電極７ａと、ｎ側オーミック電極７ａの一部を被覆する絶縁層として、絶縁性の多層構造膜８を介してｎ側オーミック電極７ａと電気的に接続されたｎ側金属膜９ａとからなる。
ｐ側電極は、ｐ型半導体層５の上面にオーミックコンタクトしたｐ側オーミック電極７ｂと、ｐ側オーミック電極７ｂの一部を被覆する絶縁性の多層構造膜８を介してｐ側オーミック電極７ｂと電気的に接続されたｐ側金属膜９ｂとからなる。
ここで、図２Ｂに示すｎ側金属膜９ａ及び／又はｐ側金属膜９ｂは、図１Ｄに示す第１金属膜２１及び第２金属膜２２で構成される金属膜に対応する。
この絶縁性の多層構造膜８には貫通孔が複数形成されており、その貫通孔を通じて、ｎ側オーミック電極７ａとｎ側金属膜９ａとが電気的に接続されており、ｐ側オーミック電極７ｂとｐ側金属膜９ｂとが電気的に接続されている。 The n-side electrode includes an n-side ohmic electrode 7a that is in ohmic contact with the upper surface of the n-type semiconductor layer 3, and an insulating layer that covers a part of the n-side ohmic electrode 7a. The n-side metal film 9a is electrically connected to the ohmic electrode 7a.
The p-side electrode includes a p-side ohmic electrode 7b that is in ohmic contact with the upper surface of the p-type semiconductor layer 5, and a p-side ohmic electrode 7b via an insulating multilayer structure film 8 that covers a part of the p-side ohmic electrode 7b. The p-side metal film 9b is electrically connected.
Here, the n-side metal film 9a and / or the p-side metal film 9b shown in FIG. 2B corresponds to the metal film composed of the first metal film 21 and the second metal film 22 shown in FIG. 1D.
A plurality of through holes are formed in the insulating multilayer structure film 8, and the n-side ohmic electrode 7a and the n-side metal film 9a are electrically connected through the through-holes, and the p-side ohmic electrode 7b. And the p-side metal film 9b are electrically connected.

ｎ側金属膜９ａ及びｐ側金属膜９ｂの上には、それぞれｎ側金属膜９ａ及びｐ側金属膜９ｂの上に開口部１０ａを有する第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜１０（ＳｉＯ_２、厚み：７００ｎｍ）が形成されている。この第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜１０の上には、導電層として、ｎ側金属膜９ａ上に配置する開口部１０ａを介して、ｎ側金属膜９ａに接続されたｎ側外部接続用電極１１ａが形成されている。ｐ側金属膜９ｂ上に配置する開口部１０ａを介して、ｐ側金属膜９ｂに接続されたｐ側外部接続用電極１１ｂが形成されている。
ｎ側外部接続用電極１１ａは、ｎ側金属膜９ａ上から、ｐ型半導体層５の上に配置するｐ側金属膜９ｂの上にわたって配置されている。ｐ側外部接続用電極１１ｂは、ｐ側金属膜９ｂ上から、ｎ型半導体層３の上に配置するｎ側金属膜９ａの上にわたって配置されている。 On the n-side metal film 9a and the p-side metal film 9b, a first interlayer insulating film 10 and a second interlayer insulating film 10 (SiO 2 having openings 10a on the n-side metal film 9a and the p-side metal film 9b, respectively. ₂ and a thickness of 700 nm). On the first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film 10, an n-side external connected to the n-side metal film 9 a is formed as a conductive layer through an opening 10 a disposed on the n-side metal film 9 a. A connection electrode 11a is formed. A p-side external connection electrode 11b connected to the p-side metal film 9b is formed through an opening 10a disposed on the p-side metal film 9b.
The n-side external connection electrode 11 a is disposed from the n-side metal film 9 a to the p-side metal film 9 b disposed on the p-type semiconductor layer 5. The p-side external connection electrode 11b is disposed over the n-side metal film 9a disposed on the n-type semiconductor layer 3 from the p-side metal film 9b.

このような発光素子は、以下の方法によって製造することができる。
（ａ）半導体構造体の準備及びレジスト層の形成
（半導体積層体の準備）
表面に凹凸を有するサファイア基板２上に、例えば、Ｉｎ_XＡｌ_YＧａ_1-X-YＮ（０≦Ｘ、０≦Ｙ、Ｘ＋Ｙ≦１）からなるｎ型半導体層３、活性層４及びｐ型半導体層５を積層する。１つの発光素子を構成する半導体積層体６の内側において、一部領域のｐ型半導体層５と活性層４とを除去し、ｎ型半導体層３を露出させる。 Such a light emitting device can be manufactured by the following method.
(A) Preparation of semiconductor structure and formation of resist layer (Preparation of semiconductor laminate)
On the sapphire substrate 2 having an uneven surface, for example, an n-type semiconductor layer 3, an active layer 4, and a p-type semiconductor made of In _X Al _Y Ga _1-XY N (0 ≦ X, 0 ≦ Y, X + Y ≦ 1). Layer 5 is laminated. Inside the semiconductor stacked body 6 constituting one light emitting element, the p-type semiconductor layer 5 and the active layer 4 in a partial region are removed, and the n-type semiconductor layer 3 is exposed.

（オーミック電極の形成）
半導体積層体６の同一面側（図２Ａ及び図２Ｂでは、上面側）において、ｎ型半導体層３及びｐ型半導体層５とそれぞれオーミック接続されるｎ側オーミック電極７ａ及びｐ側オーミック電極７ｂを形成する。ここでは、例えば、ＩＴＯ（厚み：１２０ｎｍ）をスパッタ法によって成膜する。 (Formation of ohmic electrodes)
An n-side ohmic electrode 7a and a p-side ohmic electrode 7b that are ohmically connected to the n-type semiconductor layer 3 and the p-type semiconductor layer 5 on the same surface side (the upper surface side in FIGS. 2A and 2B) of the semiconductor stacked body 6, respectively. Form. Here, for example, ITO (thickness: 120 nm) is formed by sputtering.

（絶縁層の形成）
ｎ側オーミック電極７ａ及びｐ側オーミック電極７ｂが形成されたサファイア基板２の上に、絶縁層として、絶縁性の多層構造膜８を形成する。
多層構造膜８として、例えば、図３に示したように、ｎ側オーミック電極７ａ又はｐ側オーミック電極７ｂの上に、ＳｉＯ_２膜１１（厚み：５００ｎｍ）を介して、低屈折率層１２と高屈折率層１３とが１組となって交互に積層された誘電体（（Ｎｂ_２Ｏ_５／ＳｉＯ_２）n、ｎは１〜２０の整数、厚み：５０ｎｍ／９０ｎｍ）からなるＤＢＲ構造１４、所定形状にパターニングされた反射膜１５であるアルミニウム膜（厚み：２００ｎｍ）とを形成する。これらの上には、絶縁膜８ａとして、これらの全面を被覆するＳｉＯ_２膜（厚み：２００ｎｍ）を形成する。なお、アルミニウム膜は、上下面及び側面の全面が絶縁体又は誘電体で被覆されており、後述するｎ側電極及びｐ側電極に対して絶縁性が確保された形態で配置されている。
これらの膜は、例えば、スパッタ法によって公知の条件を組み合わせて成膜することができる。
絶縁膜８ａが最表面層に形成された多層構造膜８は、ｎ側オーミック電極７ａ上に１つの貫通孔が形成されており、ｐ側オーミック電極７ｂ上に、複数の貫通孔が形成されている。貫通孔は、フォトレジスト及びエッチング工程によって形成することができる。 (Formation of insulating layer)
An insulating multilayer structure film 8 is formed as an insulating layer on the sapphire substrate 2 on which the n-side ohmic electrode 7a and the p-side ohmic electrode 7b are formed.
As the multilayer structure film 8, for example, as shown in FIG. 3, the low refractive index layer 12 is formed on the n-side ohmic electrode 7 a or the p-side ohmic electrode 7 b via the SiO ₂ film 11 (thickness: 500 nm). DBR structure 14 composed of dielectrics ((Nb ₂ O ₅ / SiO ₂ ) n, n is an integer of 1 to 20, thickness: 50 nm / 90 nm) alternately stacked as a pair with the high refractive index layer 13. Then, an aluminum film (thickness: 200 nm) which is the reflective film 15 patterned into a predetermined shape is formed. On these, an SiO ₂ film (thickness: 200 nm) covering the entire surface is formed as the insulating film 8a. Note that the entire upper and lower surfaces and side surfaces of the aluminum film are covered with an insulator or a dielectric, and are arranged in a form in which insulation is ensured with respect to an n-side electrode and a p-side electrode described later.
These films can be formed by, for example, combining known conditions by sputtering.
In the multilayer structure film 8 having the insulating film 8a formed on the outermost surface layer, one through hole is formed on the n-side ohmic electrode 7a, and a plurality of through holes are formed on the p-side ohmic electrode 7b. Yes. The through hole can be formed by a photoresist and an etching process.

（レジスト層の積層及び開口部形成）
まず、図１Ａに示したように、得られた絶縁膜を含む半導体構造体２０上にレジスト層（厚み：３μｍ）を積層する。
次いで、レジスト層１７に対して、フォトリソグラフィー法及びエッチング法を利用して、所定の形状に、つまり、後述する金属膜との接続のための開口部１７ａを有する形状に、形成する。具体的には、レジスト層に、所定の形状に開口部を有したマスクを利用して波長４３６ｎｍの光を利用して、ステッパーを用いて露光を行う。
その後、レジスト層の露光部又は非露光部に存在するレジストを溶解する現像液を用いた浸漬現像を行う。
なお、レジスト層１７の開口部１７ａの全周にわたって絶縁膜８ａが露出しており、開口部１７ａ内には、絶縁膜８ａに形成された貫通孔を含んでいる（図示せず）。 (Lamination of resist layer and formation of opening)
First, as shown in FIG. 1A, a resist layer (thickness: 3 μm) is laminated on the semiconductor structure 20 including the obtained insulating film.
Next, the resist layer 17 is formed into a predetermined shape using a photolithography method and an etching method, that is, a shape having an opening 17a for connection to a metal film described later. Specifically, the resist layer is exposed using a stepper using light having a wavelength of 436 nm using a mask having an opening in a predetermined shape.
Thereafter, immersion development is performed using a developer that dissolves the resist present in the exposed or non-exposed portion of the resist layer.
The insulating film 8a is exposed over the entire periphery of the opening 17a of the resist layer 17, and the opening 17a includes a through-hole formed in the insulating film 8a (not shown).

ここでのレジスト層１７における開口部１７ａは、用いるレジスト層の種類、厚み等を調整して、側面において、意図するオーバーハングを形成している。例えば、側面の上方から中央付近において、レジスト層の肩部が比較的大きい鋭角（９０度に近い、８０度以上）を構成するようにその側面が内側に直線状に徐々に入りこんでいる。中央付近よりも底面側（例えば、底面から１／３程度の高さ）では、その側面が上方よりもより急激に内側に入り込む形状を有している。 Here, the opening 17a in the resist layer 17 forms an intended overhang on the side surface by adjusting the type, thickness, and the like of the resist layer to be used. For example, from the upper side of the side surface to the vicinity of the center, the side surface of the resist layer gradually enters the inner side so as to form a relatively large acute angle (close to 90 degrees, 80 degrees or more). On the bottom side (for example, about 1/3 the height from the bottom) of the vicinity of the center, the side surface has a shape that enters the inside more rapidly than the upper side.

（ｂ）第１金属膜の形成
図１Ｃに示したように、レジスト層１７の開口部１７ａ内及びレジスト層１７上に金属膜を形成する。金属膜は、例えば、スパッタ法によって、下層側からＴｉ膜２１ａ（厚み：１．５ｎｍ）、第１金属膜２１（Ｒｈ、底面厚み：５００ｎｍ）及び第２金属膜２２（Ｔｉ、底面厚み：１０ｎｍ）によって形成する。
この際、上述したようなオーバーハングを有するレジスト層１７の開口部内では、開口部側面の下方におけるレジスト層側面の急峻な入り込みによって、金属膜材料が適度にその側面側に入り込む。加えて、開口部側面の中央から上方において、適度な傾斜によって、金属膜材料の積層を抑制して、レジスト層１７上に積層された金属膜材料と確実に分離されている。つまり、レジスト層１７の開口部１７ａ側面への金属膜材料の付着を抑え、底面と比較して薄膜状で成膜することができる。 (B) Formation of First Metal Film As shown in FIG. 1C, a metal film is formed in the opening 17a of the resist layer 17 and on the resist layer 17. The metal film is formed, for example, by sputtering, from the lower layer side to the Ti film 21a (thickness: 1.5 nm), the first metal film 21 (Rh, bottom thickness: 500 nm), and the second metal film 22 (Ti, bottom thickness: 10 nm). ).
At this time, in the opening portion of the resist layer 17 having the overhang as described above, the metal film material appropriately enters the side surface side due to the steep penetration of the side surface of the resist layer below the side surface of the opening portion. In addition, the metal film material laminated on the resist layer 17 is surely separated from the center of the opening side surface by suppressing the lamination of the metal film material by an appropriate inclination. That is, adhesion of the metal film material to the side surface of the opening 17a of the resist layer 17 can be suppressed, and the film can be formed in a thin film as compared with the bottom surface.

（ｃ）第１金属膜のエッチング
その後、図１Ｃに示すように、第１金属膜２１をエッチングに付す。ここでのエッチングは、ウェットエッチングによって行う。エッチャントは、常温２５℃の硝酸とアンモニウムセリウムの混酸液を用い、浸漬によって行う。このウェットエッチングによって、開口部１７ａの側面に形成された第１金属膜２１ｂを部分的に除去することができる。つまり、上述したように、第２金属膜２２が第１金属膜２１よりも、硝酸とアンモニウムセリウムの混酸液に対するエッチングレートが小さいことから、第２金属膜２２が第１金属膜２１のエッチングマスクとして機能する。これによって、第２金属膜２２で被覆された開口部１７ａの底面側においては、第１金属膜２１は被覆されず、第２金属膜２２から露出した凸部２１ｂのみが効率的に除去される。従って、ここでのエッチングは、凸部２１ｂが、第１金属膜２１の他の部位と略平坦となる程度に調整することが好ましい。これによって、金属膜の設計サイズを確実に維持することが可能となる。 (C) Etching of First Metal Film Thereafter, as shown in FIG. 1C, the first metal film 21 is subjected to etching. The etching here is performed by wet etching. The etchant is immersed by using a mixed acid solution of nitric acid and ammonium cerium at a room temperature of 25 ° C. By this wet etching, the first metal film 21b formed on the side surface of the opening 17a can be partially removed. That is, as described above, since the second metal film 22 has a lower etching rate with respect to the mixed acid solution of nitric acid and ammonium cerium than the first metal film 21, the second metal film 22 is an etching mask for the first metal film 21. Function as. As a result, the first metal film 21 is not covered on the bottom surface side of the opening 17a covered with the second metal film 22, and only the convex part 21b exposed from the second metal film 22 is efficiently removed. . Therefore, the etching here is preferably adjusted so that the convex portion 21 b is substantially flat with other portions of the first metal film 21. This makes it possible to reliably maintain the design size of the metal film.

（ｄ）レジスト層の除去
図１Ｄに示したように、レジスト層１７を除去する。ここでのレジスト層１７の除去は、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリジノン）溶液を用いて行う。これにより、第１金属膜２１及び第２金属膜２２を腐食することなく、レジスト層１７のみを溶解させることができる。また、レジスト層１７の上面に配置していたＴｉ膜２１ａ、第１金属膜２１及び第２金属膜２２もレジスト層１７とともにリフトオフされ、これによって、第１金属膜２１及び第２金属膜２２は、レジスト層１７の開口部１７ａに対応した形状でパターニングされる。また、レジスト層１７を除去した後においては、バリの原因となる第１金属膜２１及び第２金属膜２２の端部における凸部２１ｂがすでに除去され、存在しないために、パターニング後の金属膜にバリが発生することを回避することができる。 (D) Removal of Resist Layer As shown in FIG. 1D, the resist layer 17 is removed. The removal of the resist layer 17 here is performed using an NMP (N-methyl-2-pyrrolidinone) solution. Thus, only the resist layer 17 can be dissolved without corroding the first metal film 21 and the second metal film 22. Further, the Ti film 21a, the first metal film 21 and the second metal film 22 which have been disposed on the upper surface of the resist layer 17 are also lifted off together with the resist layer 17, whereby the first metal film 21 and the second metal film 22 are The resist layer 17 is patterned in a shape corresponding to the opening 17a. Further, after the resist layer 17 is removed, the convex portions 21b at the ends of the first metal film 21 and the second metal film 22 that cause burrs are already removed and do not exist. It is possible to avoid the occurrence of burrs.

これらの工程によって、先に形成されたオーミック電極と、第１金属膜２１及び第２金属膜２２とによって、それぞれ、設計サイズを確保したｎ側電極及びｐ側電極を形成することができる。 By these steps, the n-side electrode and the p-side electrode having a designed size can be formed by the previously formed ohmic electrode and the first metal film 21 and the second metal film 22, respectively.

なお、比較のために、工程（ｂ）の第１金属膜の形成、続いて工程（ｄ）のレジスト除去を行った後に上記の工程（ｃ）の第１金属膜のエッチングを実施する以外、上記と同様の方法において、金属膜（Ｔｉ／Ｒｕ／Ｔｉ）を形成した。その結果、レジスト層の除去によって、レジスト層１７の開口部１７ａの側面が存在していた部位の一部にバリが発生した。
その後、レジスト層の除去後に発生したバリに対して、硝酸とアンモニウムセリウムの混酸液により、バリをエッチングした。その結果、レジスト層１７の開口部１７ａ内の金属膜の最表面の膜（Ｔｉ）の表面に孔が点在して発生し、その孔のうち、Ｒｕが露出した部分から硝酸とアンモニウムセリウムの混酸液が浸透し、Ｒｕ膜の全域においてその一部が腐食されていることが確認された。 For comparison, except that the formation of the first metal film in the step (b) and the resist removal in the step (d) are performed, and then the etching of the first metal film in the step (c) is performed. In the same manner as described above, a metal film (Ti / Ru / Ti) was formed. As a result, the removal of the resist layer caused burrs in a part of the portion where the side surface of the opening 17a of the resist layer 17 was present.
Thereafter, the burrs generated after the removal of the resist layer were etched with a mixed acid solution of nitric acid and ammonium cerium. As a result, holes are scattered on the surface of the outermost film (Ti) of the metal film in the opening 17a of the resist layer 17, and the portion of the hole where Ru is exposed is formed of nitric acid and ammonium cerium. It was confirmed that the mixed acid solution penetrated and part of the Ru film was corroded.

（第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜の形成）
その後、得られた金属膜上に、第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜を介して外部接続用電極をさらに形成する。
第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜１０は、例えば、ＳｉＯ_２（厚み：７００ｎｍ）によって、ｎ側電極上及びｐ側電極上にそれぞれ貫通孔を有して形成する。ここでの貫通孔は、ｎ側電極及び／又はｐ側電極と外部接続用電極との電気的な接続を可能とする程度の大きさ及び数とする。 (Formation of first interlayer insulating film and second interlayer insulating film)
Thereafter, an external connection electrode is further formed on the obtained metal film via the first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film.
The first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film 10 are formed, for example, with SiO ₂ (thickness: 700 nm) with through holes on the n-side electrode and the p-side electrode, respectively. Here, the through holes have a size and a number that allow electrical connection between the n-side electrode and / or the p-side electrode and the external connection electrode.

（外部接続用電極の形成）
外部接続用電極は、上述したスパッタ法等、さらにフォトレジスト及びエッチング法等を利用して、形成することができる。 (Formation of external connection electrodes)
The external connection electrode can be formed by using the above-described sputtering method, and further using a photoresist and an etching method.

このようにして製造された発光素子は、ｎ側電極及び／又はｐ側電極となる第１金属膜２１及び第２金属膜２２において、そのパターニング前にバリとなる部位を確実に除去することができるため、ｎ側電極及び／又はｐ側電極の端部におけるバリの発生を確実に回避することができる。従って、その上に、導電性の異なる外部接続用の電極が配置されても、ショート等の問題が発生せず、信頼性の高い発光素子を、特別に煩雑な工程を追加することなく、簡便かつ確実に製造することが可能となる。 The light-emitting element manufactured in this manner can reliably remove the burrs in the first metal film 21 and the second metal film 22 to be the n-side electrode and / or the p-side electrode before patterning. Therefore, the generation of burrs at the ends of the n-side electrode and / or the p-side electrode can be reliably avoided. Therefore, even if electrodes for external connection having different conductivity are arranged thereon, a problem such as a short circuit does not occur, and a highly reliable light-emitting element can be easily obtained without adding a particularly complicated process. And it becomes possible to manufacture reliably.

＜実施の形態３＞
この実施の形態で製造される発光素子は、図４に示すように、絶縁性の多層構造膜１８として、低屈折率層と高屈折率層とが交互に積層された１組の誘電体（Ｎｂ_２Ｏ_５／ＳｉＯ_２）、厚み：４０ｎｍ／９０ｎｍ、図２参照）を含み、これらの最表面層である絶縁層８ａとして、ＳｉＯ_２膜（厚み：２００ｎｍ）を配置し、オーミック電極と金属膜との間にバリアとしてＡｕからなる厚み５００ｎｍの金属膜によるバリア１９を配置する以外は実施の形態２における発光素子と同様の構造を有し、同様の製造方法によって製造することができる。
この発光素子の製造においても、実施の形態２と同様に、バリの発生を確実に回避することができ、信頼性の高い発光素子を簡便かつ確実に製造することが可能となる。 <Embodiment 3>
As shown in FIG. 4, the light-emitting device manufactured in this embodiment is a set of dielectrics in which low-refractive index layers and high-refractive index layers are alternately stacked as an insulating multilayer structure film 18. Nb ₂ O ₅ / SiO ₂ ), thickness: 40 nm / 90 nm, see FIG. 2), and an SiO ₂ film (thickness: 200 nm) is disposed as an insulating layer 8a which is the outermost surface layer of these, an ohmic electrode and a metal It has the same structure as that of the light-emitting element in Embodiment 2 except that a barrier 19 made of a metal film made of Au and having a thickness of 500 nm is disposed between the film and the film, and can be manufactured by the same manufacturing method.
Also in the manufacture of this light emitting element, as in Embodiment 2, the generation of burrs can be avoided with certainty, and a highly reliable light emitting element can be manufactured easily and reliably.

本発明の金属膜の形成方法は、絶縁層、半導体層及び導電層等の上に金属膜を有するいかなる種類の構造又は装置（例えば、フェイスアップ又はフェイスダウン実装型の発光装置又は半導体装置、電気回路、電子機器等）にも適用することができる。
本発明の発光素子の製造方法は、各種発光装置、特に、照明用光源、ＬＥＤディスプレイ、液晶表示装置などのバックライト光源、信号機、照明式スイッチ、各種センサ及び各種インジケータ、動画照明補助光源、その他の一般的な民生品用光源等に好適に利用することができる。 The metal film forming method of the present invention can be applied to any kind of structure or device having a metal film over an insulating layer, a semiconductor layer, a conductive layer, etc. (for example, a face-up or face-down mounting type light emitting device or semiconductor device, electrical The present invention can also be applied to circuits, electronic devices, and the like.
The light emitting device manufacturing method of the present invention includes various light emitting devices, in particular, a light source for illumination, a backlight light source such as an LED display and a liquid crystal display device, a traffic light, an illumination switch, various sensors and various indicators, a moving image illumination auxiliary light source, and others. It can be suitably used for general light sources for consumer products.

１発光素子
２サファイア基板
３ｎ型半導体層
４活性層
５ｐ型半導体層
６半導体積層体
７ａｎ側オーミック電極
７ｂｐ側オーミック電極
８ａ絶縁膜
８、１８多層構造膜
９ａｎ側金属膜
９ｂｐ側金属膜
１０第１層間絶縁膜、第２層間絶縁膜
１１ａｎ側外部接続用電極
１１ｂｐ側外部接続用電極
１２低屈折率層
１３高屈折率層
１４ＤＢＲ構造
１５反射膜
１７レジスト層
１７ａ開口部
１９バリア
２０半導体構造体
２１第１金属膜
２１ａＴｉ膜
２１ｂ凸部
２２第２金属膜

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light emitting element 2 Sapphire substrate 3 N type semiconductor layer 4 Active layer 5 P type semiconductor layer 6 Semiconductor laminated body 7a N side ohmic electrode 7b P side ohmic electrode 8a Insulating film 8, 18 Multilayer structure film 9a N side metal film 9b P side Metal film 10 First interlayer insulating film, second interlayer insulating film 11a n side external connection electrode 11b p side external connection electrode 12 low refractive index layer 13 high refractive index layer 14 DBR structure 15 reflective film 17 resist layer 17a opening 19 Barrier 20 Semiconductor Structure 21 First Metal Film 21a Ti Film 21b Protrusion 22 Second Metal Film

Claims

(A) forming a resist layer on the semiconductor structure and forming an opening in the resist layer;
(B) The first metal so that the film thickness formed on the side surface of the opening portion is thinner than the film thickness formed on the bottom surface of the opening portion from the bottom surface of the opening portion to the side surface of the opening portion. A film is formed and made of Ti or Ni having an etching rate smaller than that of the first metal film so as to at least partially expose the first metal film on the side surface of the opening on the first metal film. Forming a second metal film ;
(C) a step of partially removing the first metal film formed on the side surface of the opening by etching ;
(D) removing the resist layer ;
(E) A method for forming a metal film, comprising sequentially forming an insulating film on the first metal film and the second metal film .

The method for forming a metal film according to claim 1, wherein the thickness of the second metal film is 1 to 5% of the thickness of the first metal film .

preparing the semiconductor structure having a p-type semiconductor layer and an n-type semiconductor layer;
The method for forming the first metal film according to claim 1 or 2, the method of manufacturing the light emitting device and a step of forming at least one electrode of the p-side and n-side electrodes.

As the insulating film ,
A first interlayer insulating film in contact with the p-side electrode and covering a part of the upper surface of the n-side electrode; and a second interlayer insulating film in contact with the n-side electrode and covering a part of the upper surface of the p-side electrode. And form the
further,
A p-side external connection electrode connected to the p-side electrode and extending to the upper side of the n-side electrode via the second interlayer insulating film, and connected to the n-side electrode and via the first interlayer insulating film The method for manufacturing a light-emitting element according to claim 3 , further comprising forming an n-side external connection electrode extending to above the p-side electrode.