JP6174417B2

JP6174417B2 - Press machine

Info

Publication number: JP6174417B2
Application number: JP2013171393A
Authority: JP
Inventors: 岡崎　静明; 静明岡崎; 功夫則清
Original assignee: Kitagawa Seiki KK
Current assignee: Kitagawa Seiki KK
Priority date: 2013-08-21
Filing date: 2013-08-21
Publication date: 2017-08-02
Anticipated expiration: 2033-08-21
Also published as: JP2015039817A; KR20150021881A; CN104417011A; TW201507860A

Description

本発明は、流体圧によって作動するダイヤフラムをプレス手段として備えたプレス装置に関する。 The present invention relates to a press apparatus provided with a diaphragm operated by fluid pressure as a press means.

可撓性・伸縮性を有するシート状のダイヤフラムによって仕切られた２つの空間（チャンバ）に気圧差を与えることで、ダイヤフラムにより被加工物をプレスする方式のプレス装置（以下「ダイヤフラム式プレス装置」という。）が知られている。ダイヤフラム式プレス装置は、シート状の部材を積層した積層材料を加熱プレスして一体の板状製品（例えば、太陽電池パネルやプリント配線基板）に成形するラミネート加工等に使用されている（ラミネート装置）。 A press device that presses a workpiece with a diaphragm by applying a pressure difference between two spaces (chambers) partitioned by a flexible sheet-like diaphragm (hereinafter referred to as “diaphragm press device”). Is known). Diaphragm press devices are used for laminating and the like that heat-press a laminated material in which sheet-like members are laminated to form an integrated plate-like product (for example, a solar cell panel or a printed wiring board). ).

ダイヤフラム式プレス装置は、ダイヤフラムによって仕切られたチャンバを加圧又は真空引きするための配管を備えている。従来のダイヤフラム式プレス装置では、特許文献１に記載されているように、チャンバ内への作動流体（空気）の給排が共通の配管を用いて行われていた。 The diaphragm type press device includes a pipe for pressurizing or evacuating a chamber partitioned by the diaphragm. In the conventional diaphragm type press device, as described in Patent Document 1, the supply and discharge of the working fluid (air) into the chamber is performed using a common pipe.

特開２００１−７９８６５号公報JP 2001-79865 A

ラミネート加工の被加工物（積層材料）には、積層材料を接合させるための接着剤（例えば、熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂）が含まれている。そのため、ラミネート加工中に接着剤に含まれる有機溶剤等の揮発成分が気化して、或いは接着剤の硬化反応によって過酸化物や酸が発生して、被加工物から放出される。ラミネート加工中に被加工物から放出されるガスは、シリコーンゴムや天然ゴムから形成されたダイヤフラムの劣化を促進させる。 A laminate workpiece (laminated material) includes an adhesive (for example, a thermoplastic resin or a thermosetting resin) for bonding the laminated material. Therefore, a volatile component such as an organic solvent contained in the adhesive is vaporized during the laminating process, or a peroxide or an acid is generated by a curing reaction of the adhesive and is released from the workpiece. The gas released from the workpiece during laminating promotes the deterioration of the diaphragm formed from silicone rubber or natural rubber.

特許文献１に記載されているように、チャンバ内への吸気と排気を共通の配管を用いて行う従来のダイヤフラム式プレス装置では、チャンバ内から一旦排出された劣化促進作用を有するガスの一部が配管内から再びチャンバ内に戻されるため、チャンバ内の劣化促進性ガスの濃度が高くなり、ダイヤフラムの寿命が短くなるという問題があった。 As described in Patent Document 1, in a conventional diaphragm type press device that performs intake and exhaust into a chamber using a common pipe, a part of gas having a deterioration promoting action once exhausted from the chamber However, since the concentration of the deterioration promoting gas in the chamber is increased, the life of the diaphragm is shortened.

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものである。 The present invention has been made in view of the above circumstances.

本発明の一実施形態に係るプレス装置は、
剛性を有するプレス面と、
前記プレス面と対向配置され、前記プレス面側の第１チャンバと、前記プレス面と反対側の第２チャンバとを仕切る可撓性シートと、
前記プレス面と前記可撓性シートとの間に配置される被加工物を加熱する加熱手段と、
前記第１チャンバと前記第２チャンバとの内圧差を制御する圧力制御システムと、
を備え、
前記第１チャンバの内圧を前記第２チャンバの内圧よりも相対的に低くすることによって、前記プレス面と前記可撓性シートとの間で被加工物を挟み込んでプレス成形するプレス装置であって、
前記圧力制御システムが、
前記第１チャンバと前記第２チャンバの少なくとも一方のチャンバから排気するための排気管路と、
前記少なくとも一方のチャンバに給気するための給気管路と、
を備えている。 The press device according to an embodiment of the present invention is:
A rigid press surface;
A flexible sheet disposed opposite to the press surface and partitioning the first chamber on the press surface side and the second chamber on the opposite side of the press surface;
Heating means for heating a workpiece disposed between the press surface and the flexible sheet;
A pressure control system for controlling an internal pressure difference between the first chamber and the second chamber;
With
A press apparatus for press-molding a workpiece between the press surface and the flexible sheet by lowering the internal pressure of the first chamber relative to the internal pressure of the second chamber. ,
The pressure control system comprises:
An exhaust line for exhausting air from at least one of the first chamber and the second chamber;
An air supply line for supplying air to the at least one chamber;
It has.

上記のプレス装置において、前記排気管路が、前記少なくとも一方のチャンバにそれぞれ接続された複数の排気分枝管を備えた構成としてもよい。 In the press apparatus, the exhaust pipe line may include a plurality of exhaust branch pipes respectively connected to the at least one chamber.

また、上記のプレス装置において、前記給気管路が、前記少なくとも一方のチャンバにそれぞれ接続された複数の給気分枝管を備えた構成としてもよい。 In the press apparatus, the air supply pipe line may include a plurality of air supply branch pipes respectively connected to the at least one chamber.

また、上記のプレス装置において、
一面に前記プレス面が形成された定盤を備え、
前記定盤には、
前記一面に一端が開口して前記第１チャンバと連絡し、他端に前記複数の給気分枝管がそれぞれ接続された複数の給気路と、
前記一面に一端が開口して前記第１チャンバと連絡し、他端に前記複数の排気分枝管がそれぞれ接続された複数の排気路と、が形成された構成としてもよい。 Moreover, in the above press device,
Provided with a surface plate on which the press surface is formed,
On the surface plate,
A plurality of air supply passages having one end opened on the one surface to communicate with the first chamber, and the plurality of air supply branch pipes connected to the other end;
One end may be opened on the one surface to communicate with the first chamber, and a plurality of exhaust passages each having the plurality of exhaust branch pipes connected to the other end may be formed.

また、上記のプレス装置において、前記複数の排気分枝管の開口が、前記プレス面の周囲において、前記一面に所定間隔で形成された構成としてもよい。 Further, in the press device described above, the openings of the plurality of exhaust branch pipes may be formed on the one surface at a predetermined interval around the press surface.

また、上記のプレス装置において、
前記定盤は対向する一対の側面を有し、
複数対の前記排気分枝管の開口が、前記一対の側面に沿って対向して設けられた構成としてもよい。 Moreover, in the above press device,
The surface plate has a pair of opposing side surfaces,
A plurality of pairs of the exhaust branch pipes may be configured so as to face each other along the pair of side surfaces.

また、上記のプレス装置において、前記排気管路の一端が、バルブを介して真空ポンプに接続された構成としてもよい。 Further, in the press device described above, one end of the exhaust pipe line may be connected to a vacuum pump via a valve.

また、上記のプレス装置において、
前記排気管路が、
前記一対の側面のうち一方の側面に沿って延び、該一方の側面に沿って設けられた前記排気分枝管の各対の一方に接続された第１配管部と、
前記一対の側面のうち他方の側面に沿って延び、該他方の側面に沿って設けられた前記排気分枝管の各対の他方に接続された第２配管部と、
一端が前記第１配管部及び前記第２配管部に接続され、他端が前記真空ポンプに接続された中継部と、を備えた、
構成としてもよい。 Moreover, in the above press device,
The exhaust line is
A first piping portion extending along one side surface of the pair of side surfaces and connected to one of each pair of the exhaust branch pipes provided along the one side surface;
A second piping portion extending along the other side surface of the pair of side surfaces and connected to the other of the pair of exhaust branch pipes provided along the other side surface;
One end is connected to the first pipe part and the second pipe part, and the other end is connected to the vacuum pump.
It is good also as a structure.

また、上記のプレス装置において、前記給気管路の一端が、バルブを介して大気に開放された構成としてもよい。 Moreover, in said press apparatus, it is good also as a structure by which the end of the said air supply line was open | released by the atmosphere through the valve | bulb.

本発明の実施形態に係るプレス装置は、チャンバ内への吸気と排気を別の配管を使用して行うことにより、一旦チャンバ内から排出された劣化促進性のガスがチャンバ内に逆流してダイヤフラムの劣化が促進されることが防止される。 In the press apparatus according to the embodiment of the present invention, the deterioration promoting gas once exhausted from the chamber flows backward into the chamber by performing separate intake and exhaust into the chamber using separate piping. It is prevented that the deterioration of the glass is accelerated.

図１は、本発明の実施形態に係るラミネート加工システムの外観図である。FIG. 1 is an external view of a laminating system according to an embodiment of the present invention. 図２は、本発明の実施形態に係るキャリアプレートの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the carrier plate according to the embodiment of the present invention. 図３は、本発明の実施形態に係るカバーシートの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the cover sheet according to the embodiment of the present invention. 図４は、本発明の実施形態に係るラミネート装置の側面図である。FIG. 4 is a side view of the laminating apparatus according to the embodiment of the present invention. 図５は、本発明の第１実施形態に係るラミネート装置の固定盤及び可動盤の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the fixed plate and the movable plate of the laminating apparatus according to the first embodiment of the present invention. 図６は、図５の一部拡大図である。FIG. 6 is a partially enlarged view of FIG. 図７は、本発明の実施形態に係る圧力制御システムの概略構成図である。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a pressure control system according to the embodiment of the present invention. 図８は、本発明の第２実施形態に係るラミネート装置の固定盤及び可動盤の断面の一部を拡大した図である。FIG. 8 is an enlarged view of a part of the cross section of the fixed plate and the movable plate of the laminating apparatus according to the second embodiment of the present invention. 図９は、本発明の第２実施形態に係る真空枠の断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of a vacuum frame according to the second embodiment of the present invention. 図１０は、本発明の第２実施形態に係る真空枠の平面図である。FIG. 10 is a plan view of a vacuum frame according to the second embodiment of the present invention.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る太陽電池用ラミネート加工システム１の外観図である。ラミネート加工システム１は、積層装置１００、搬入用コンベア２００、ラミネート装置（プレス装置）３００、キュア処理装置４００、搬出用コンベア５００、及び制御装置１０を備えている。制御装置１０は、ラミネート加工システム１を構成する各装置と通信可能に接続され、各装置の動作を統制する。 (First embodiment)
FIG. 1 is an external view of a solar cell laminating system 1 according to the first embodiment of the present invention. The laminating system 1 includes a laminating apparatus 100, a carry-in conveyor 200, a laminating apparatus (press apparatus) 300, a curing processing apparatus 400, a carry-out conveyor 500, and a control apparatus 10. The control device 10 is communicably connected to each device constituting the laminating system 1 and regulates the operation of each device.

積層装置１００は、太陽電池を構成する複数の部材（例えば、ガラス板、充填材、太陽電池セル、充填材及び裏板）を重ね合わせて太陽電池アセンブリＡを組み立てる装置である。積層装置１００によって組み立てられた太陽電池アセンブリＡは、搬入用コンベア２００によってラミネート装置３００に搬送される。ラミネート装置３００は、太陽電池アセンブリＡのラミネートプレス（加熱プレス成形）を行う。すなわち、ラミネート装置３００は、太陽電池アセンブリＡを加熱プレスして、所定の厚さの板状体に成形する。なお、ラミネート装置３００による加熱プレスは、プレス温度における充填材の流動性が実質的に消失するまで行われる。成形後の太陽電池アセンブリＡは、ラミネート装置３００に内蔵された搬送ユニットによって、キュア処理装置４００に搬送される。 The stacking apparatus 100 is an apparatus that assembles a solar battery assembly A by stacking a plurality of members (for example, a glass plate, a filler, a solar battery cell, a filler, and a back plate) constituting the solar battery. The solar cell assembly A assembled by the laminating apparatus 100 is conveyed to the laminating apparatus 300 by the carry-in conveyor 200. The laminating apparatus 300 performs a laminating press (heating press molding) of the solar cell assembly A. That is, the laminating apparatus 300 heat-presses the solar cell assembly A to form a plate-like body having a predetermined thickness. In addition, the heat press by the laminating apparatus 300 is performed until the fluidity | liquidity of the filler in press temperature lose | disappears substantially. The molded solar cell assembly A is transported to the curing apparatus 400 by a transport unit built in the laminating apparatus 300.

キュア処理装置４００は、ラミネート装置３００によって成形された太陽電池アセンブリＡに対して、形状を保持するための軽い圧力を加えながら加熱するキュア処理を行い、熱硬化性樹脂である太陽電池アセンブリＡの充填材を安定化させる。以上の処理によって、太陽電池パネルが作製される。キュア処理を終えて完成した太陽電池パネルは、搬出用コンベア５００によってラミネート加工システム１から搬出される。 The curing apparatus 400 performs a curing process for heating the solar cell assembly A formed by the laminating apparatus 300 while applying a light pressure for maintaining the shape, and the solar cell assembly A, which is a thermosetting resin, is heated. Stabilize the filler. A solar cell panel is produced by the above process. The completed solar cell panel after the curing process is unloaded from the laminating system 1 by the unloading conveyor 500.

以上の一連の処理は、制御装置１０が、積層装置１００、搬入用コンベア２００、ラミネート装置３００、キュア処理装置４００、及び搬出用コンベア５００を制御することによって行われる。 The above-described series of processing is performed by the control device 10 controlling the laminating device 100, the carry-in conveyor 200, the laminating device 300, the cure processing device 400, and the carry-out conveyor 500.

本実施形態においては、太陽電池アセンブリＡ及び加工後の太陽電池パネルは、次に説明するキャリアプレート８００に載せられた状態で搬送され、ラミネート装置３００及びキュア処理装置４００によってキャリアプレート８００ごとプレスされる。 In this embodiment, the solar cell assembly A and the processed solar cell panel are conveyed in a state of being placed on a carrier plate 800 described below, and pressed together with the carrier plate 800 by the laminating apparatus 300 and the curing processing apparatus 400. The

図２は、本実施形態において使用されるキャリアプレート８００の斜視図である。キャリアプレート８００は、中央部に中空部Ｈが形成された主枠体８１０と、中空部Ｈを覆うように主枠体８１０の上面に固定された支持シート８２０と、支持シート８２０を外縁部で保持して主枠体８１０に固定する副枠体８３０を有している。 FIG. 2 is a perspective view of the carrier plate 800 used in the present embodiment. The carrier plate 800 includes a main frame 810 having a hollow portion H formed at the center, a support sheet 820 fixed to the upper surface of the main frame 810 so as to cover the hollow portion H, and the support sheet 820 at the outer edge. A sub-frame body 830 that is held and fixed to the main frame body 810 is provided.

主枠体８１０及び副枠体８３０は、太陽電池パネルの製造工程において実質的に変形しない（実質的に剛体とみなせる）程度の十分な剛性を有する構造材である。また、主枠体８１０及び副枠体８３０は、加熱プレス時にも十分な剛性を維持するよう、金属や耐熱性樹脂（例えばポリイミド樹脂）から形成される。本実施形態においては、ステンレス鋼板から形成された主枠体８１０及び副枠体８３０が使用される。 The main frame body 810 and the sub-frame body 830 are structural materials having sufficient rigidity so as not to be substantially deformed (substantially regarded as a rigid body) in the manufacturing process of the solar cell panel. Moreover, the main frame 810 and the sub-frame 830 are formed from a metal or a heat resistant resin (for example, a polyimide resin) so as to maintain sufficient rigidity even during hot pressing. In the present embodiment, a main frame 810 and a sub-frame 830 formed from a stainless steel plate are used.

また、支持シート８２０は、脆性部材である太陽電池セルやガラス板を柔軟に支持して衝撃から保護する、可撓性を有する低剛性の支持部材である。支持シート８２０は、加熱プレスを繰り返しても破損しないよう高温下でも十分な強度を有するフッ素樹脂シート、繊維強化耐熱樹脂シート、あるいは金属薄板（例えばステンレス鋼板や銅板）等の耐熱材料から形成されている。また、支持シート８２０の厚さは、耐久性と柔軟性が両立する範囲に設定される。例えば、ポリイミドを母材とする炭素繊維強化プラスチックから形成される支持シート８２０を使用する場合、支持シート８２０の板厚は０．０５〜１．５ミリメートルの範囲、より好ましくは０．５〜１．０ミリメートルの範囲に設定される。 The support sheet 820 is a flexible, low-rigidity support member that flexibly supports a photovoltaic cell or glass plate that is a brittle member and protects it from impact. The support sheet 820 is formed from a heat-resistant material such as a fluororesin sheet, a fiber-reinforced heat-resistant resin sheet, or a metal thin plate (for example, a stainless steel plate or a copper plate) having sufficient strength even at a high temperature so that the support sheet 820 is not damaged even when repeated heating presses. Yes. Further, the thickness of the support sheet 820 is set in a range in which durability and flexibility are compatible. For example, when using a support sheet 820 formed of a carbon fiber reinforced plastic based on polyimide, the thickness of the support sheet 820 is in the range of 0.05 to 1.5 millimeters, more preferably 0.5 to 1. Set to a range of 0.0 millimeters.

支持シート８２０の周縁部は副枠体８３０に巻き付けられ、例えば接着剤によって接合されている。また、支持シート８２０は、撓まないように、わずかに張力がかかった状態で副枠体８３０に接合されている。支持シート８２０が接合された副枠体８３０は、主枠体８１０との間で支持シート８２０を挟み込むように、ボルト等で主枠体８１０に取り付けられる。これにより、支持シート８２０の形状は、主枠体８１０及び／又は副枠体８３０により略平面状に保持される。 The peripheral edge portion of the support sheet 820 is wound around the sub-frame body 830 and joined by, for example, an adhesive. Further, the support sheet 820 is joined to the sub-frame 830 in a slightly tensioned state so as not to bend. The sub-frame 830 to which the support sheet 820 is joined is attached to the main frame 810 with bolts or the like so as to sandwich the support sheet 820 with the main frame 810. Thereby, the shape of the support sheet 820 is held in a substantially planar shape by the main frame body 810 and / or the sub-frame body 830.

キャリアプレート８００において、支持シート８２０の周縁部は主枠体８１０に裏打ちされて可撓性を失っているが、中空部Ｈに面する中央部は可撓性を維持している。太陽電池アセンブリＡは、可撓性のある支持シート８２０の中央部の上に配置され、支持シート８２０によって弾性的に支持される。また、搬入用コンベア２００や搬出用コンベア５００等の搬送ユニットによってキャリアプレート８００が搬送されるときは、主枠体８１０が搬送ユニットによって支持される。そのため、キャリアプレート８００に載せられた太陽電池アセンブリＡには搬送中に強い衝撃が加わることがなく、搬送中の太陽電池アセンブリＡの破損が防止される。 In the carrier plate 800, the peripheral portion of the support sheet 820 is lined with the main frame 810 and loses flexibility, but the central portion facing the hollow portion H maintains flexibility. The solar cell assembly A is disposed on the central portion of the flexible support sheet 820 and is elastically supported by the support sheet 820. When the carrier plate 800 is transported by a transport unit such as the carry-in conveyor 200 or the carry-out conveyor 500, the main frame 810 is supported by the transport unit. Therefore, a strong impact is not applied to the solar cell assembly A placed on the carrier plate 800 during transportation, and damage to the solar cell assembly A during transportation is prevented.

また、本実施形態では、キャリアプレート８００上に配置された太陽電池アセンブリＡの上に更にカバーシート７００（後述）を載せ、太陽電池アセンブリＡとラミネート装置３００のダイヤフラム３５０（後述）との間にカバーシート７００を介在させた状態で太陽電池アセンブリＡのラミネートプレスが行われる。 Further, in this embodiment, a cover sheet 700 (described later) is further placed on the solar cell assembly A disposed on the carrier plate 800, and between the solar cell assembly A and a diaphragm 350 (described later) of the laminating apparatus 300. Lamination press of the solar cell assembly A is performed with the cover sheet 700 interposed.

カバーシート７００を使用することにより、ラミネート加工中に太陽電池アセンブリＡから流出した樹脂がダイヤフラム３５０に固着して、それによりラミネート加工の品質が低下することが防止される。 By using the cover sheet 700, it is possible to prevent the resin that has flowed out of the solar cell assembly A during the laminating process from adhering to the diaphragm 350, thereby reducing the quality of the laminating process.

また、ダイヤフラム３５０は、ラミネートプレス中に太陽電池アセンブリＡの樹脂から発生するガスに曝されて、劣化することがある。このように、ラミネートプレス中に被加工物から発生し、ダイヤフラム３５０の劣化を促進する性質を有するガスを、以下「劣化促進性ガス」という。カバーシート７００は、劣化促進性ガスによるダイヤフラム３５０の劣化の防止にも有効である。 In addition, the diaphragm 350 may be deteriorated by being exposed to gas generated from the resin of the solar cell assembly A during the laminating press. In this way, a gas that is generated from a workpiece during the laminating press and has a property of promoting the deterioration of the diaphragm 350 is hereinafter referred to as a “deterioration promoting gas”. The cover sheet 700 is also effective in preventing the deterioration of the diaphragm 350 due to the deterioration promoting gas.

劣化促進性ガスについては、本発明者の研究により、ＥＶＡ（エチレン・酢酸ビニル共重合体）樹脂が封止材として使用される被加工物からは、ダイヤフラム３５０を形成するシリコーンゴムと反応して変質させる（例えば、架橋反応を進行させて可撓性や伸縮性を喪失させる）成分のガスが加熱プレス時に発生し、これがダイヤフラム３５０を著しく劣化させることが解明されている。従って、特に、シリコーンゴム製のダイヤフラムを使用してＥＶＡ樹脂を含む被加工物のラミネートプレスを行う際のダイヤフラム３５０の劣化防止にカバーシート７００が有効である。また、ＥＶＡ以外の樹脂からも、例えば樹脂に含まれる有機溶剤等の揮発成分や、樹脂の硬化反応に伴って発生する酸等のガスが加熱プレス時に発生し、天然ゴム、合成ゴム、又はシリコーンゴムから形成されたダイヤフラム３５０の劣化を促進する可能性がある。従って、ＥＶＡ以外の樹脂を含む被加工物や、シリコーンゴム以外の材質のダイヤフラム３５０を使用する場合であっても、ダイヤフラム３５０の劣化防止にカバーシート７００が有効である。 With regard to the deterioration promoting gas, from the work in which EVA (ethylene / vinyl acetate copolymer) resin is used as a sealing material, the reaction with the silicone rubber that forms the diaphragm 350 has been made. It has been elucidated that a component gas that causes alteration (for example, advancing a crosslinking reaction to lose flexibility and stretchability) is generated during hot pressing, which significantly deteriorates the diaphragm 350. Therefore, in particular, the cover sheet 700 is effective for preventing the deterioration of the diaphragm 350 when performing laminate pressing of a workpiece containing EVA resin using a silicone rubber diaphragm. Further, from resins other than EVA, for example, volatile components such as organic solvents contained in the resin and gases such as acids generated during the curing reaction of the resin are generated during heat pressing, and natural rubber, synthetic rubber, or silicone There is a possibility of accelerating deterioration of the diaphragm 350 formed from rubber. Therefore, the cover sheet 700 is effective in preventing the deterioration of the diaphragm 350 even when a workpiece including a resin other than EVA or a diaphragm 350 made of a material other than silicone rubber is used.

図３は、カバーシート７００の平面図である。カバーシート７００は、略矩形状の可撓性を有するシート部７１０と、矩形枠状の剛性を有するフレーム部７２０とを備えている。カバーシート７００は、耐熱性を有するゴムシート等から形成される。フレーム部７２０は、シート部７１０の周縁部に装着され、シート部７１０の形状を略平面状に保持する。フレーム部７２０は、例えば鋼線やニチノール等の形状記憶合金の線材等により形成される。シート部７１０の周縁部はループ状に閉じられ、シート部７１０の四辺に沿って延びる中空部が形成されている。この中空部にフレーム部７２０が通されている（図６）。また、シート部７１０は、フレーム部７２０よりわずかに小さく形成されている。そのため、シート部７１０にフレーム部を装着することによって、シート部が張られて、シート部７１０に弛みが生じないようになっている。また、カバーシート７００の周縁部には、フレーム部７２０の挿抜を容易にするために、複数の切欠部７１２が設けられている。 FIG. 3 is a plan view of the cover sheet 700. The cover sheet 700 includes a sheet portion 710 having a substantially rectangular shape and a frame portion 720 having a rectangular frame shape. The cover sheet 700 is formed from a heat-resistant rubber sheet or the like. The frame portion 720 is attached to the peripheral portion of the seat portion 710 and holds the shape of the seat portion 710 in a substantially flat shape. The frame portion 720 is formed of, for example, a wire material of a shape memory alloy such as a steel wire or Nitinol. The peripheral part of the sheet part 710 is closed in a loop shape, and a hollow part extending along the four sides of the sheet part 710 is formed. A frame portion 720 is passed through the hollow portion (FIG. 6). Further, the seat portion 710 is formed slightly smaller than the frame portion 720. Therefore, by attaching the frame portion to the seat portion 710, the seat portion is stretched so that the seat portion 710 is not slackened. In addition, a plurality of cutout portions 712 are provided on the peripheral edge portion of the cover sheet 700 in order to facilitate the insertion and removal of the frame portion 720.

次に、ラミネート装置３００の構成について説明する。図４は、ラミネート装置３００の側面図である。ラミネート装置３００は、太陽電池アセンブリＡを載せたキャリアプレート８００を搬送するための一対のコンベア３１０（図には手前側の１つのみが示されている）を備えている。一対のコンベア３１０は、ラミネート装置３００の幅方向（図４において紙面に垂直な方向）に並べて配置されている。 Next, the configuration of the laminating apparatus 300 will be described. FIG. 4 is a side view of the laminating apparatus 300. The laminating apparatus 300 includes a pair of conveyors 310 (only one on the front side is shown in the drawing) for conveying the carrier plate 800 on which the solar cell assembly A is placed. The pair of conveyors 310 are arranged side by side in the width direction of the laminating apparatus 300 (direction perpendicular to the paper surface in FIG. 4).

一対のコンベア３１０の間には、ラミネート装置３００のフレームに固定された固定盤３２０が配置されている。また、固定盤３２０の上方には可動盤３３０が設けられている。可動盤３３０は、シリンダユニット３９０を介してフレームに支持されていて、シリンダユニット３９０によって上下方向に駆動可能となっている。太陽電池アセンブリＡを載せたキャリアプレート８００を固定盤３２０の上に配置し、次いで可動盤３３０を降下させて可動盤３３０と固定盤３２０の間に太陽電池アセンブリＡを挟み込ませた状態で、後述するダイヤフラム３５０を使用した太陽電池アセンブリＡのラミネートプレスが行われる。なお、固定盤３２０がキャリアプレート８００の主枠体８１０と干渉しないよう、固定盤３２０の上面全体がキャリアプレート８００の中空部Ｈ（図２）内に収容されるように固定盤３２０の水平方向の寸法が設定されている。 Between the pair of conveyors 310, a fixed platen 320 fixed to the frame of the laminating apparatus 300 is disposed. A movable platen 330 is provided above the fixed platen 320. The movable platen 330 is supported by the frame via the cylinder unit 390 and can be driven in the vertical direction by the cylinder unit 390. The carrier plate 800 on which the solar cell assembly A is placed is placed on the fixed platen 320, and then the movable platen 330 is lowered so that the solar cell assembly A is sandwiched between the movable platen 330 and the fixed platen 320. The laminate pressing of the solar cell assembly A using the diaphragm 350 is performed. The horizontal direction of the stationary platen 320 is such that the entire upper surface of the stationary platen 320 is accommodated in the hollow portion H (FIG. 2) of the carrier plate 800 so that the stationary platen 320 does not interfere with the main frame 810 of the carrier plate 800. The dimensions are set.

また、コンベア３１０は、図示されないアクチュエータによって上下方向に移動可能となっている。コンベア３１０が太陽電池アセンブリＡを載せたキャリアプレート８００を搬送する際は、コンベア３１０の上面３１０ｔが固定盤３２０の上面３２０ｔよりも高い位置に移動される。そのため、キャリアプレート８００及び太陽電池アセンブリＡは、固定盤３２０と干渉することなく搬送される。一方、太陽電池アセンブリＡのラミネートプレスを行う際は、コンベア３１０の上面３１０ｔが固定盤３２０の上面３２０ｔよりも低い位置に移動され、固定盤３２０の上面３２０ｔにキャリアプレート８００の支持シート８２０が直接載せられた状態となる。この時、キャリアプレート８００の枠部８１０は支持シート８２０を介して固定盤３２０の上面３２０ｔから垂れ下がった状態となる。 The conveyor 310 can be moved in the vertical direction by an actuator (not shown). When the conveyor 310 transports the carrier plate 800 on which the solar cell assembly A is placed, the upper surface 310t of the conveyor 310 is moved to a position higher than the upper surface 320t of the fixed plate 320. Therefore, the carrier plate 800 and the solar cell assembly A are transported without interfering with the stationary platen 320. On the other hand, when laminating the solar cell assembly A, the upper surface 310t of the conveyor 310 is moved to a position lower than the upper surface 320t of the fixed plate 320, and the support sheet 820 of the carrier plate 800 is directly attached to the upper surface 320t of the fixed plate 320. It will be put on. At this time, the frame portion 810 of the carrier plate 800 hangs down from the upper surface 320t of the stationary platen 320 via the support sheet 820.

図５は、太陽電池アセンブリＡを載せたキャリアプレート８００がセットアップされた状態におけるラミネート装置３００の固定盤３２０及び可動盤３３０の断面図である。また、図６は、図５の一部（図４において破線Ｐで囲まれた部分）を拡大した一部拡大図である。 FIG. 5 is a cross-sectional view of the fixed plate 320 and the movable plate 330 of the laminating apparatus 300 in a state where the carrier plate 800 on which the solar cell assembly A is mounted is set up. 6 is a partially enlarged view in which a part of FIG. 5 (a part surrounded by a broken line P in FIG. 4) is enlarged.

図６に示されるように、可動盤３３０は、可動盤本体３３１と、可動盤本体３３１の下面に取り付けられた枠部３４０を備えている。枠部３４０は、上部枠体３４０Ａと下部枠体３４０Ｂを有している。上部枠体３４０Ａと下部枠体３４０Ｂの間には、枠部３３２の開口を塞ぐダイヤフラム３５０の周縁部が挟み込まれている。ダイヤフラム３５０は、伸縮性、気密性、及び耐熱性を有するシート状部材であり、上部枠体３４０Ａ及び下部枠体３４０Ｂと気密に接合されている。これにより、ダイヤフラム３５０、可動盤本体３３１及び上部枠体３４０Ａに囲まれた上部チャンバＵＣが形成される。可動盤本体３３１又は上部枠体３４０Ａには、上部チャンバＵＣと外部空間とを連絡する通気路（不図示）が設けられており、上部チャンバＵＣの内圧が大気圧に維持されるようになっている。 As shown in FIG. 6, the movable platen 330 includes a movable platen main body 331 and a frame part 340 attached to the lower surface of the movable platen main body 331. The frame part 340 includes an upper frame 340A and a lower frame 340B. Between the upper frame body 340A and the lower frame body 340B, the peripheral edge portion of the diaphragm 350 that closes the opening of the frame portion 332 is sandwiched. The diaphragm 350 is a sheet-like member having stretchability, airtightness, and heat resistance, and is airtightly joined to the upper frame body 340A and the lower frame body 340B. As a result, an upper chamber UC surrounded by the diaphragm 350, the movable platen body 331, and the upper frame 340A is formed. The movable platen body 331 or the upper frame 340A is provided with an air passage (not shown) that connects the upper chamber UC and the external space, so that the internal pressure of the upper chamber UC is maintained at atmospheric pressure. Yes.

キャリアプレート８００及びカバーシート７００は、それぞれ水平方向寸法（図６における左右方向及び紙面に垂直な方向）が固定盤３２０よりも大きく、ラミネートプレス時にはキャリアプレート８００の支持シート８２０及びカバーシート７００のシート部７１０が下部枠体３４０Ｂと固定盤３２０との間で気密に挟み込まれる。これにより、可動盤３３０のダイヤフラム３５０及び枠部３４０と、固定盤３２０とで囲まれて密閉された下部チャンバＬＣが形成される。 The carrier plate 800 and the cover sheet 700 have horizontal dimensions (the horizontal direction in FIG. 6 and the direction perpendicular to the paper surface) larger than those of the fixed platen 320, respectively. The portion 710 is sandwiched between the lower frame 340B and the stationary platen 320 in an airtight manner. As a result, the lower chamber LC enclosed by the diaphragm 350 and the frame portion 340 of the movable platen 330 and the fixed platen 320 is formed.

なお、下部枠体３４０Ｂの下面には、周方向に延びる環状溝３４１が形成されていて、この環状溝３４１にはパッキン３４１ｐが嵌入されている。下部枠体３４０Ｂの下面から下端部が突出したパッキン３４１ｐによって、下部枠体３４０Ｂとカバーシート７００との当接部の気密が確保されている。また、本実施形態では、キャリアプレート８００の支持シート８２０に密着性の高い材料を使用しているため、固定盤３２０の上面にパッキンが設けられていないが、支持シート８２０に密着性の低い材料を使用する場合には、固定盤３２０の上面にも環状溝及びパッキンを設ける構成を採用してもよい。 An annular groove 341 extending in the circumferential direction is formed on the lower surface of the lower frame 340B, and a packing 341p is fitted into the annular groove 341. Airtightness of the abutting portion between the lower frame 340B and the cover sheet 700 is secured by the packing 341p whose lower end protrudes from the lower surface of the lower frame 340B. In this embodiment, since a material having high adhesion is used for the support sheet 820 of the carrier plate 800, no packing is provided on the upper surface of the fixed platen 320, but a material having low adhesion to the support sheet 820 is used. When using, a configuration in which an annular groove and packing are also provided on the upper surface of the fixed platen 320 may be employed.

固定盤３２０には図示されない電熱ヒータが装着されていて、固定盤３２０のプレス面３２０ｐは太陽電池アセンブリＡの成形温度（充填材の硬化温度）に維持されている。電熱ヒータによって加熱された固定盤３２０のプレス面３２０ｐ上に太陽電池アセンブリＡを配置することによって、太陽電池アセンブリＡが成形温度に加熱される。なお、プレス面３２０ｐは、固定盤３２０の上面３２０ｔの中央部に設けられた平坦面であり、プレス面３２０ｐ上に配置された太陽電池アセンブリＡがプレス面３２０ｐとダイヤフラム３５０とで挟みこまれて加熱プレスされるようになっている。 An electric heater (not shown) is attached to the fixed plate 320, and the press surface 320p of the fixed plate 320 is maintained at the molding temperature of the solar cell assembly A (the curing temperature of the filler). By disposing the solar cell assembly A on the press surface 320p of the stationary platen 320 heated by the electric heater, the solar cell assembly A is heated to the molding temperature. The press surface 320p is a flat surface provided at the center of the upper surface 320t of the fixed platen 320, and the solar cell assembly A disposed on the press surface 320p is sandwiched between the press surface 320p and the diaphragm 350. Heat-pressed.

また、固定盤３２０には、上面３２０ｔの周縁部（プレス面３２０ｐの周囲）と側面３２０ｓａ、３２０ｓｂとを連絡する複数の給気路３２３及び排気路３２４（図６には一つのみを示す）が設けられている。固定盤３２０の側面３２０ｓａ、３２０ｓｂに設けられた給気路３２３及び排気路３２４の開口３２３ａ及び３２４ａには、後述する圧力制御システムＳが接続されていて、下部チャンバＬＣ内の気圧を加減圧可能になっている。圧力制御システムＳにより下部チャンバＬＣ内を真空引きすると、ダイヤフラム３５０によって仕切られた上部チャンバＵＣと下部チャンバＬＣとの間に内圧差が生じ、その結果、ダイヤフラム３５０が内圧の低い下部チャンバＬＣ側に膨張して、ダイヤフラム３５０と固定盤３２０の上面３２０ｔとの間で太陽電池アセンブリＡが加熱プレスされ、ラミネート加工が行われる。 In addition, the fixed platen 320 includes a plurality of air supply passages 323 and exhaust passages 324 (only one is shown in FIG. 6) that communicates the peripheral portion of the upper surface 320t (around the press surface 320p) and the side surfaces 320sa and 320sb. Is provided. A pressure control system S, which will be described later, is connected to the openings 323a and 324a of the air supply path 323 and the exhaust path 324 provided on the side surfaces 320sa and 320sb of the fixed platen 320, and the pressure inside the lower chamber LC can be increased or decreased. It has become. When the inside of the lower chamber LC is evacuated by the pressure control system S, an internal pressure difference is generated between the upper chamber UC and the lower chamber LC partitioned by the diaphragm 350, and as a result, the diaphragm 350 moves toward the lower chamber LC where the internal pressure is low. The solar cell assembly A is expanded and heated between the diaphragm 350 and the upper surface 320t of the fixed plate 320, and laminating is performed.

次に、圧力制御システムＳについて説明する。図７は、圧力制御システムＳが接続された固定盤３２０の平面図である。圧力制御システムＳは、下部チャンバＬＣ内に外気を供給する給気管路３６０と、下部チャンバＬＣ内から空気を排出（真空引き）する真空ポンプ３７４と、真空ポンプ３７４と下部チャンバＬＣとを接続する排気管路３７０と、上部チャンバＵＣ及び下部チャンバＬＣの内圧を検出する圧力計（不図示）と、真空ポンプ３７４等の動作を制御することによって上部チャンバＵＣと下部チャンバＬＣの内圧差を制御する圧力制御装置３７５を備えている。 Next, the pressure control system S will be described. FIG. 7 is a plan view of the fixed platen 320 to which the pressure control system S is connected. The pressure control system S connects an air supply line 360 that supplies outside air into the lower chamber LC, a vacuum pump 374 that exhausts (evacuates) air from the lower chamber LC, and a vacuum pump 374 and the lower chamber LC. The internal pressure difference between the upper chamber UC and the lower chamber LC is controlled by controlling the operation of the exhaust pipe 370, the pressure gauge (not shown) for detecting the internal pressure of the upper chamber UC and the lower chamber LC, the vacuum pump 374, and the like. A pressure control device 375 is provided.

排気管路３７０は、一端が真空ポンプ３７４に接続された本管３７１（３７１ａ、３７１ｂ、３７１ｃ）と、固定盤３２０に設けられた複数の排気路３２４と本管３７１とを接続する複数の分枝管３７２ａ、３７２ｂを備えている。 The exhaust pipe line 370 has a plurality of pipes 371 (371a, 371b, 371c) having one end connected to the vacuum pump 374 and a plurality of exhaust pipes 324 provided on the stationary platen 320 and the main pipe 371. Branch pipes 372a and 372b are provided.

本管３７１は、一端が真空ポンプ３７４に接続された中継部３７１ｃと、固定盤３２０の周縁部に沿って延びる略コの字状の配管部（３７１ａ、３７１ｂ）とを有している。中継部３７１ｃの他端は、配管部（３７１ａ、３７１ｂ）の略中央に接続されている。言い換えれば、本管３７１は、固定盤３２０側で２つの配管部３７１ａ、３７１ｂに分岐されている。また、本管３７１の中途には、開閉及び流量調節が可能な電磁バルブ３７３が設けられている。 The main pipe 371 has a relay portion 371 c having one end connected to the vacuum pump 374 and substantially U-shaped piping portions (371 a, 371 b) extending along the peripheral edge of the stationary platen 320. The other end of the relay part 371c is connected to the approximate center of the pipe parts (371a, 371b). In other words, the main pipe 371 is branched into two piping parts 371a and 371b on the fixed platen 320 side. Further, an electromagnetic valve 373 that can be opened and closed and adjusted in flow rate is provided in the middle of the main pipe 371.

配管部３７１ａは、複数（本実施形態では４本）の分枝管３７２ａを介して、固定盤３２０の側面３２０ｓａ（図７における上側の側面）に開口する複数の排気路３２４に接続されている。同様に、配管部３７１ｂは、複数の分枝管３７２ｂを介して、固定盤３２０の別の側面３２０ｓｂ（側面３２０ｓａの下側の側面）に開口する複数の排気路３２４に接続されている。 The piping part 371a is connected to a plurality of exhaust passages 324 that open to the side surface 320sa (the upper side surface in FIG. 7) of the stationary platen 320 via a plurality of (four in this embodiment) branch pipes 372a. . Similarly, the piping part 371b is connected to a plurality of exhaust passages 324 that open to another side surface 320sb (a side surface below the side surface 320sa) of the fixed platen 320 via a plurality of branch pipes 372b.

給気管路３６０は、本管３６１（３６１ａ、３６１ｂ、３６１ｃ）と、固定盤３２０に設けられた複数の給気路３２３と本管３６１とを接続する複数の分枝管３６２ａ、３６２ｂを備えている。 The air supply line 360 includes a main pipe 361 (361a, 361b, 361c) and a plurality of branch pipes 362a, 362b connecting the plurality of air supply paths 323 provided on the stationary platen 320 and the main pipe 361. Yes.

本管３６１は、中継部３６１ｃと、固定盤３２０の周縁部に沿って延びる略コの字状の配管部（３６１ａ、３６１ｂ）とを有している。中継部３６１ｃは、一端がマフラー３６４を介して大気に開放されていて、他端が配管部（３６１ａ、３６１ｂ）の略中央に接続されている。言い換えれば、本管３６１は、固定盤３２０側で２つの配管部３６１ａ、３６１ｂに分岐されている。また、中継部３６１ｃの中途には、開閉及び流量調節が可能な電磁バルブ３６３が設けられている。 The main pipe 361 includes a relay part 361c and substantially U-shaped pipe parts (361a, 361b) extending along the peripheral edge of the fixed platen 320. One end of the relay part 361c is open to the atmosphere via the muffler 364, and the other end is connected to the approximate center of the pipe parts (361a, 361b). In other words, the main pipe 361 is branched into two piping parts 361a and 361b on the fixed platen 320 side. Further, an electromagnetic valve 363 capable of opening and closing and adjusting the flow rate is provided in the middle of the relay unit 361c.

配管部３６１ａは、複数（本実施形態では２本）の分枝管３６２ａを介して、固定盤３２０の側面３２０ｓａに開口する複数の給気路３２３に接続されている。同様に、配管部３６１ｂは、複数の分枝管３６２ｂを介して、固定盤３２０の側面３２０ｓｂに開口する複数の給気路３２３に接続されている。 The piping part 361a is connected to a plurality of air supply passages 323 that open to the side surface 320sa of the stationary platen 320 via a plurality of (two in this embodiment) branch pipes 362a. Similarly, the piping part 361b is connected to a plurality of air supply paths 323 that open to the side surface 320sb of the stationary platen 320 via a plurality of branch pipes 362b.

なお、電磁バルブ３６３及び３７３は、圧力制御装置３７５と通信可能に接続されていて、圧力制御装置３７５の制御下で動作する。下部チャンバＬＣの内圧は、電磁バルブ３６３及び３７３の開度によって調整される。例えば、下部チャンバＬＣ内を真空引きしてラミネートプレスを行うときには、給気管路３６０の電磁バルブ３６３を閉じて外気を遮断した状態にしてから、真空ポンプ３７４を作動させ、排気管路３７０の電磁バルブ３７３を徐々に開く。また、下部チャンバＬＣ内を大気圧に戻して、太陽電池アセンブリＡの搬入／搬出を行うときには、排気管路３７０の電磁バルブ３７３を閉じてから、給気管路３６０の電磁バルブ３６３を徐々に開く。 The electromagnetic valves 363 and 373 are communicably connected to the pressure control device 375 and operate under the control of the pressure control device 375. The internal pressure of the lower chamber LC is adjusted by the opening degree of the electromagnetic valves 363 and 373. For example, when performing laminating press by evacuating the lower chamber LC, the electromagnetic valve 363 of the air supply line 360 is closed to shut off the outside air, and then the vacuum pump 374 is operated to The valve 373 is gradually opened. Further, when the inside of the lower chamber LC is returned to the atmospheric pressure and the solar cell assembly A is carried in / out, the electromagnetic valve 373 of the exhaust line 370 is closed and then the electromagnetic valve 363 of the supply line 360 is gradually opened. .

上述したように、本実施形態では、下部チャンバＬＣ内の空気を排出するための排気管路３７０とは別に、下部チャンバＬＣ内に外気を導入するための給気管路３６０が設けられている。この構成により、下部チャンバＬＣから一旦排出された排出ガスが、下部チャンバＬＣ内に逆流することが防止されている。下部チャンバＬＣから排出される排出ガスには、加熱された太陽電池アセンブリＡの接着材（封止材）等から放出される有機溶剤等の揮発成分、過酸化物、酸等のダイヤフラム３５０の劣化を促進させる各種成分のガス（劣化促進性ガス）が含まれている。本実施形態のように、排気専用の管路を設けて、管路内に残った劣化促進性ガスが下部チャンバＬＣへ逆流しないようにしたことにより、下部チャンバＬＣ内の劣化促進性ガスの濃度が高くなってダイヤフラム３５０の寿命が短くなるのを防止し、ダイヤフラム３５０の交換等のメンテナンスのコストを軽減することができる。 As described above, in the present embodiment, the air supply line 360 for introducing the outside air into the lower chamber LC is provided in addition to the exhaust line 370 for discharging the air in the lower chamber LC. With this configuration, the exhaust gas once exhausted from the lower chamber LC is prevented from flowing back into the lower chamber LC. The exhaust gas discharged from the lower chamber LC includes deterioration of the diaphragm 350 such as a volatile component such as an organic solvent, a peroxide, or an acid discharged from the adhesive (sealing material) of the heated solar cell assembly A. Gases of various components (deterioration promoting gas) that promote the aging are included. As in the present embodiment, a dedicated exhaust line is provided so that the deterioration promoting gas remaining in the pipe does not flow back to the lower chamber LC, thereby reducing the concentration of the deterioration promoting gas in the lower chamber LC. Therefore, the life of the diaphragm 350 can be prevented from being shortened and the maintenance cost such as replacement of the diaphragm 350 can be reduced.

また、本実施形態では、給気管路３６０に接続される給気路３２３が下部チャンバＬＣの長手方向の一端側（図７における右側）に接続され、排気管路３７０に接続される排気路３２４が下部チャンバＬＣの長手方向の他端側（図７における左側）に接続されている。この構成により、下部チャンバＬＣ内の吸排気時の空気の流れが一方向（図７における右側から左側に向かう方向）に固定されるため、下部チャンバＬＣ内の劣化促進性ガスが効率的に排出される。 In the present embodiment, the air supply path 323 connected to the air supply pipe line 360 is connected to one end side in the longitudinal direction of the lower chamber LC (the right side in FIG. 7), and the exhaust path 324 connected to the exhaust pipe line 370. Is connected to the other end side in the longitudinal direction of the lower chamber LC (left side in FIG. 7). With this configuration, the flow of air during intake and exhaust in the lower chamber LC is fixed in one direction (the direction from the right side to the left side in FIG. 7), so that the deterioration promoting gas in the lower chamber LC is efficiently discharged. Is done.

図６に示されるように、カバーシート７００のシート部７１０及びキャリアプレート８００の支持シート８２０には、固定盤３２０の上面３２０ｔに設けられた給気路３２３及び排気路３２４の開口３２３ｂ及び３２４ｂと対向する位置に、通気孔７１４及び８２４がそれぞれ設けられていて、給気路３２３及び排気路３２４を経由した空気の移動が阻害されないようになっている。 As shown in FIG. 6, the sheet portion 710 of the cover sheet 700 and the support sheet 820 of the carrier plate 800 include openings 323 b and 324 b of an air supply path 323 and an exhaust path 324 provided on the upper surface 320 t of the fixed plate 320. Vent holes 714 and 824 are respectively provided at the opposing positions so that the movement of air via the air supply path 323 and the exhaust path 324 is not hindered.

また、下部枠体３４０Ｂの内周には、給気路３２３及び排気路３２４の開口３２３ｂ及び３２４ｂを覆うように内側に突出した遮蔽突起３４３が設けられている。遮蔽突起３４３を設けることにより、給気路３２３及び排気路３２４から下部チャンバＬＣ内に噴出する気流がダイヤフラム３５０に直撃して、ダイヤフラム３５０が激しく振動し、その結果、ダイヤフラム３５０が太陽電池アセンブリＡや可動盤本体３３１に衝突することが生じないようになっている。なお、下部枠体３４０Ｂの下面には段差３４４が設けられていて、遮蔽突起３４３の下面はシート部７１０の上面よりも高い位置に形成されている。これにより、遮蔽突起３４３とシート部７１０との間には隙間が確保されている。この隙間を介して、下部チャンバＬＣの吸排気が行われる。また、遮蔽突起３４３とシート部７１０との間の隙間は、下部枠体３４０Ｂの全周に亘って設けられている。そのため、吸排気の気流が給気路３２３の開口３２３ｂや排気路３２４の開口３２４ｂ付近に集中せず、隙間全周に分散されるため、下部チャンバＬＣ内に強い気流が発生して、ダイヤフラム３５０やカバーシート７００のシート部７１０が振動し、ラミネート加工の品質を低下させることがない。 Further, a shielding projection 343 that protrudes inward is provided on the inner periphery of the lower frame 340B so as to cover the openings 323b and 324b of the air supply path 323 and the exhaust path 324. By providing the shielding protrusion 343, the airflow ejected from the air supply path 323 and the exhaust path 324 into the lower chamber LC directly hits the diaphragm 350, and the diaphragm 350 vibrates violently. As a result, the diaphragm 350 is solar cell assembly A. The movable platen 331 does not collide with the movable platen body 331. A step 344 is provided on the lower surface of the lower frame 340 </ b> B, and the lower surface of the shielding protrusion 343 is formed at a position higher than the upper surface of the sheet portion 710. Thereby, a gap is secured between the shielding protrusion 343 and the sheet portion 710. The intake and exhaust of the lower chamber LC are performed through this gap. Further, the gap between the shielding protrusion 343 and the sheet portion 710 is provided over the entire circumference of the lower frame 340B. Therefore, the air flow of intake and exhaust is not concentrated in the vicinity of the opening 323b of the air supply path 323 or the opening 324b of the exhaust path 324, but is distributed over the entire circumference of the gap, so that a strong air flow is generated in the lower chamber LC and the diaphragm 350 In addition, the sheet portion 710 of the cover sheet 700 does not vibrate and the quality of the lamination process is not deteriorated.

また、給気路３２３の開口３２３ｂと排気路３２４の開口３２４ｂは、吸排気時の気流がより均一なものとなるように、それぞれ等間隔に設けられている。 Further, the opening 323b of the air supply passage 323 and the opening 324b of the exhaust passage 324 are provided at equal intervals so that the air flow during intake and exhaust becomes more uniform.

また、図７に示されるように、分枝管３６２ａ（３７２ａ）に接続された給気路３２３（排気路３２４）の開口３２３ｂ（開口３２４ｂ）と、分枝管３６２ｂ（３７２ｂ）に接続されたた給気路３２３（排気路３２４）の開口３２３ｂ（３２４ｂ）とが、対向する位置に設けられているため、吸排気時に下部チャンバＬＣ内の気流が乱れず、下部チャンバＬＣ内のガスが効率的に排出される。 Further, as shown in FIG. 7, the air supply path 323 (exhaust path 324) connected to the branch pipe 362a (372a) is connected to the opening 323b (opening 324b) and the branch pipe 362b (372b). Since the opening 323b (324b) of the air supply path 323 (exhaust path 324) is provided at a facing position, the airflow in the lower chamber LC is not disturbed during intake and exhaust, and the gas in the lower chamber LC is efficient. Are exhausted.

また、図６に示されるように、上部枠体３４０Ａの下面の内周側と、下部枠体３４０Ｂの上面の内周側は、緩やかなテーパ面又は曲率の小さな曲面になっている。そのため、ダイヤフラム３５０が上部枠体３４０Ａや下部枠体３４０Ｂの表面に沿って屈曲しても、ダイヤフラム３５０に大きなひずみが生じることはなく、ダイヤフラム３５０の応力集中による劣化が防止される。 Further, as shown in FIG. 6, the inner peripheral side of the lower surface of the upper frame 340A and the inner peripheral side of the upper surface of the lower frame 340B are gently tapered surfaces or curved surfaces with a small curvature. Therefore, even if the diaphragm 350 is bent along the surfaces of the upper frame body 340A and the lower frame body 340B, the diaphragm 350 is not greatly strained, and deterioration of the diaphragm 350 due to stress concentration is prevented.

また、カバーシート７００はキャリアプレート８００の副枠体８３０の内側の空間（中空部）に配置されるが、副枠体８３０の内幅（内側側面の間隔）はカバーシート７００の幅（フレーム部７２０の外幅）よりも少しだけ広く形成されている。そのため、カバーシート７００の水平方向の位置は、キャリアプレート８００の副枠体８３０によって規制（位置決め）される。また、キャリアプレート８００の副枠体８３０は、カバーシート７００を所定位置に案内するガイドとしても機能する。そのため、カバーシート７００を所定位置に正確に配置することが容易になっている。 Further, the cover sheet 700 is disposed in a space (hollow part) inside the sub-frame 830 of the carrier plate 800. The inner width (interval of the inner side surface) of the sub-frame 830 is the width of the cover sheet 700 (frame part). The outer width of 720) is slightly wider. Therefore, the horizontal position of the cover sheet 700 is regulated (positioned) by the sub-frame 830 of the carrier plate 800. The sub-frame 830 of the carrier plate 800 also functions as a guide for guiding the cover sheet 700 to a predetermined position. Therefore, it is easy to accurately arrange the cover sheet 700 at a predetermined position.

上述のように、カバーシート７００はラミネート装置３００に取り付けられておらず、また、カバーシート７００のフレーム部７２０はシート部７１０に着脱容易になっている。そのため、被加工物から流出した樹脂がシート部７１０に付着したり、被加工物から発生した劣化促進性ガスによりシート部７１０が劣化しても、シート部７１０を容易に交換することができる。また、シート部７１０を使い捨てにし、ラミネートプレス毎にシート部７１０を交換することにより、シート部７１０の劣化や汚れによるラミネートプレスの不良を防止することができる。 As described above, the cover sheet 700 is not attached to the laminating apparatus 300, and the frame part 720 of the cover sheet 700 is easily attached to and detached from the sheet part 710. Therefore, even if the resin flowing out from the workpiece adheres to the sheet portion 710 or the sheet portion 710 deteriorates due to the deterioration promoting gas generated from the workpiece, the sheet portion 710 can be easily replaced. In addition, by disposing the sheet portion 710 and replacing the sheet portion 710 for each laminate press, it is possible to prevent the laminate portion from being defective due to deterioration or contamination of the sheet portion 710.

以上説明した本発明の第１実施形態では、カバーシート７００に通気孔７１４が形成されているため、カバーシート７００の両側の空間（すなわち、下部チャンバＬＣ全体）が相互に連絡している。そのため、固定盤３２０に設けられた給気路３２３及び排気路３２４を介して、下部チャンバＬＣ全体を同時に吸排気できるという利点がある。その一方で、太陽電池アセンブリＡが配置される空間（すなわち、劣化促進性ガスが発生する空間）と、ダイヤフラム３５０が露出する空間とが通気孔７１４を介して連絡しているため、太陽電池アセンブリＡから発生した劣化促進性ガスがダイヤフラム３５０に到達する可能性があり、ダイヤフラム３５０の劣化を完全に防止することはできない。以下に説明する本発明の第２実施形態は、カバーシート７００の通気孔７１４を無くすことにより、ダイヤフラム３５０の劣化をより確実に防止できるようにしたものである。 In the first embodiment of the present invention described above, since the vent holes 714 are formed in the cover sheet 700, the spaces on both sides of the cover sheet 700 (that is, the entire lower chamber LC) communicate with each other. Therefore, there is an advantage that the entire lower chamber LC can be simultaneously sucked and exhausted via the air supply path 323 and the exhaust path 324 provided in the fixed platen 320. On the other hand, the space in which the solar cell assembly A is disposed (that is, the space in which the deterioration promoting gas is generated) and the space in which the diaphragm 350 is exposed communicate with each other through the vent hole 714. The deterioration promoting gas generated from A may reach the diaphragm 350, and the deterioration of the diaphragm 350 cannot be completely prevented. In the second embodiment of the present invention described below, the deterioration of the diaphragm 350 can be more reliably prevented by eliminating the vent hole 714 of the cover sheet 700.

（第２実施形態）
図８は、本発明の第２実施形態に係るラミネート装置３００Ａの固定盤３２０及び可動盤３３０の断面の一部を拡大した図（第１実施形態の図６に相当する図）である。なお、以下の第２実施形態の説明においては、第１実施形態との相違点を中心に説明する。また、第１実施形態と同一又は類似の構成要素に対しては同一又は類似の符号を使用し、重複する説明は省略する。 (Second Embodiment)
FIG. 8 is an enlarged view (a view corresponding to FIG. 6 of the first embodiment) of a cross section of the fixed plate 320 and the movable plate 330 of the laminating apparatus 300A according to the second embodiment of the present invention. In the following description of the second embodiment, differences from the first embodiment will be mainly described. In addition, the same or similar reference numerals are used for the same or similar components as those in the first embodiment, and duplicate descriptions are omitted.

第２実施形態では、カバーシート７００のシート部７１０に通気孔７１４（図６）が設けられていない。そのため、下部チャンバＬＣは、シート部７１０によって、第１部ＣＬ１（可動盤３３０側）と第２部ＬＣ２（固定盤３２０側）とに気密に仕切られている。すなわち、第１部ＣＬ１はシート部７１０によって固定盤３２０に設けられた給気路３２３及び排気路３２４から遮断されているため、給気路３２３及び排気路３２４を介して第１部ＣＬ１の吸排気を行うことができない。そこで、本実施形態のラミネート装置３００Ａでは、第１実施形態の下部枠体３４０Ｂに替えて、下部チャンバＬＣの第１部ＣＬ１の吸排気を行うための給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅ（図９）が設けられた真空枠３４０Ｃが使用されている。 In the second embodiment, the vent 714 (FIG. 6) is not provided in the sheet portion 710 of the cover sheet 700. Therefore, the lower chamber LC is airtightly divided into a first part CL1 (movable platen 330 side) and a second part LC2 (fixed platen 320 side) by the sheet portion 710. That is, since the first portion CL1 is cut off from the air supply passage 323 and the exhaust passage 324 provided in the fixed plate 320 by the seat portion 710, the first portion CL1 is inhaled through the air supply passage 323 and the exhaust passage 324. Unable to exhaust. Therefore, in the laminating apparatus 300A of the present embodiment, instead of the lower frame body 340B of the first embodiment, an air supply path 345s and an exhaust path 345e for intake and exhaust of the first part CL1 of the lower chamber LC (FIG. 9). ) Is provided.

図９及び図１０は、それぞれ本発明の第２実施形態に係る真空枠３４０Ｃの横断面図及び平面図である。 9 and 10 are a cross-sectional view and a plan view of a vacuum frame 340C according to the second embodiment of the present invention, respectively.

図９に示されるように、真空枠３４０Ｃは、矩形枠状の上部材３４０ｉ、下部材３４０ｊ及びパッキン３４６ｐを備えている。上部材３４０ｉと下部材３４０ｊは上下に重ね合わされ、その接合部が環状のパッキン３４６ｐによって封止されている。真空枠３４０Ｃ内には、延長方向に延びる給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅが設けられている。給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅは、上部材３４０ｉと下部材３４０ｊとに囲まれて形成された中空部である。給気路３４５ｓは真空枠３４０Ｃの一端側（図１０における右端側）に形成され、真空枠３４０Ｃの残りの部分には排気路３４５ｅが形成されている。具体的には、給気路３４５ｓは矩形枠状の真空枠３４０Ｃの一辺（及びそれに隣接する二辺の近傍部分）に形成され、排気路３４５ｅは他の三辺（給気路３４５ｓが形成された一辺に対向する一辺と、他の二辺の大部分）に形成されている。給気路３４５ｓと排気路３４５ｅは、２つの隔壁３４５ｗ（図１０）によって遮断されている。 As shown in FIG. 9, the vacuum frame 340C includes a rectangular frame-shaped upper member 340i, a lower member 340j, and a packing 346p. The upper member 340i and the lower member 340j are stacked one above the other, and the joint is sealed with an annular packing 346p. An air supply path 345s and an exhaust path 345e extending in the extending direction are provided in the vacuum frame 340C. The air supply path 345s and the exhaust path 345e are hollow portions formed by being surrounded by the upper member 340i and the lower member 340j. The air supply path 345s is formed on one end side (right end side in FIG. 10) of the vacuum frame 340C, and an exhaust path 345e is formed in the remaining part of the vacuum frame 340C. Specifically, the air supply path 345s is formed on one side of the rectangular frame-shaped vacuum frame 340C (and the vicinity of two adjacent sides), and the exhaust path 345e is formed on the other three sides (the air supply path 345s is formed). One side opposite to the other side and most of the other two sides). The supply passage 345s and the exhaust passage 345e are blocked by two partition walls 345w (FIG. 10).

また、給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅよりも内周側において、上部材３４０ｉと下部材３４０ｊとは近接して対向しており、その間に、給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅと下部チャンバＬＣの第１部ＣＬ１とをそれぞれ連絡する給気スリット３４９ｓ及び排気スリット３４９ｅが形成されている。給気スリット３４９ｓ及び排気スリット３４９ｅは、それぞれ給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅの略全長に亘って形成されている。 Further, the upper member 340i and the lower member 340j face each other closer to each other on the inner peripheral side than the air supply path 345s and the exhaust path 345e, and between the air supply path 345s and the exhaust path 345e and the lower chamber LC. An air supply slit 349s and an exhaust slit 349e are formed to communicate with the first part CL1. The supply slit 349s and the exhaust slit 349e are formed over substantially the entire length of the supply path 345s and the exhaust path 345e, respectively.

また、矩形枠状の真空枠３４０Ｃの対向する二辺には、給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅと真空枠３４０Ｃの外周面とをそれぞれ連絡する給気孔３４７ｓ及び排気孔３４７ｅが、それぞれ形成されている。給気孔３４７ｓ及び排気孔３４７ｅは、それぞれ給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅの延長方向中央に接続されている。給気孔３４７ｓ及び排気孔３４７ｅは、それぞれ一端部（真空枠３４０Ｃの外周面付近）において拡径されて、テーパねじ３４８ｓ及び３４８ｅが形成されている。テーパねじ３４８ｓ及び３４８ｅは、給気管路３６０及び排気管路３７０にそれぞれ接続されている。そのため、固定盤３２０に設けられた給気路３２３及び排気路３２４を介した下部チャンバＬＣの第２部ＬＣ２の吸排気と連動して、真空枠３４０Ｃに設けられた給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅを介した下部チャンバＬＣの第１部ＬＣ１の吸排気が行われる。また、この構成により、カバーシート７００のシート部７１０によって仕切られた下部チャンバＬＣの第１部ＬＣ１と第２部ＬＣ２の内圧が常に一定となり、シート部７１０に内圧差が加わることがない。 In addition, air supply holes 347s and exhaust holes 347e that connect the air supply path 345s and the exhaust path 345e and the outer peripheral surface of the vacuum frame 340C, respectively, are formed on two opposite sides of the rectangular frame-shaped vacuum frame 340C. Yes. The air supply hole 347s and the exhaust hole 347e are connected to the center in the extending direction of the air supply path 345s and the exhaust path 345e, respectively. The air supply hole 347s and the exhaust hole 347e are expanded in diameter at one end (near the outer peripheral surface of the vacuum frame 340C), and taper screws 348s and 348e are formed. The taper screws 348s and 348e are connected to an air supply line 360 and an exhaust line 370, respectively. Therefore, in conjunction with the intake and exhaust of the second part LC2 of the lower chamber LC via the air supply path 323 and the exhaust path 324 provided in the fixed plate 320, the air supply path 345s and the exhaust path provided in the vacuum frame 340C. Intake and exhaust of the first part LC1 of the lower chamber LC through 345e is performed. Also, with this configuration, the internal pressures of the first part LC1 and the second part LC2 of the lower chamber LC partitioned by the sheet part 710 of the cover sheet 700 are always constant, and no internal pressure difference is applied to the sheet part 710.

給気スリット３４９ｓ及び排気スリット３４９ｅは、圧力損失が延長方向で略均一になるように、全長に亘って断面寸法（図９に示される横断面の寸法）が一定に形成されている。また、下部チャンバＬＣの第１部ＬＣ１内の空気は、断面積が大きく圧力損失が小さい給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅと、断面積が小さく（すなわち、給気路３４５ｓ及び排気路３４５ｅよりも薄く）圧力損失が大きい給気スリット３４９ｓ及び排気スリット３４９ｅを介して給排される。そのため、下部チャンバＬＣの第１部ＬＣ１への空気の給排は、給気スリット３４９ｓ及び排気スリット３４９ｅの周方向全長から略均一且つ緩やかに行われる。 The supply slit 349s and the exhaust slit 349e are formed to have a constant cross-sectional dimension (the cross-sectional dimension shown in FIG. 9) over the entire length so that the pressure loss is substantially uniform in the extending direction. In addition, the air in the first part LC1 of the lower chamber LC has a small cross-sectional area (that is, smaller than that of the air supply path 345s and the air exhaust path 345e). It is supplied and discharged through the supply slit 349s and the exhaust slit 349e, which have a large pressure loss. Therefore, air supply / discharge to / from the first part LC1 of the lower chamber LC is performed substantially uniformly and gradually from the entire circumferential length of the supply slit 349s and the exhaust slit 349e.

以上が本発明の好適な実施形態の説明である。しかしながら、本発明の実施形態の具体的態様は、上記のものに限定されず、特許請求の範囲の記載により表現された技術的思想の範囲において様々な変形が可能である。 The above is the description of the preferred embodiment of the present invention. However, the specific aspects of the embodiments of the present invention are not limited to the above-described ones, and various modifications can be made within the scope of the technical idea expressed by the description of the claims.

例えば、上記の実施形態のラミネート装置においては、下部チャンバＬＣに被加工物が配置されるように構成されているが、上部チャンバＵＣに被加工物が配置される構成にしてもよい。この場合、ダイヤフラムは下部チャンバＬＣに固定され、上部チャンバＵＣが開閉可能に構成される。被加工物は例えばキャリアプレート８００の支持シート８２０を介してダイヤフラム上に配置され、被加工物と可動盤本体３３１との間にカバーシート７００のシート部７１０が配置される。また、各チャンバの内圧制御は上記実施形態のものとは上下逆転したものとなる。すなわち、下部チャンバＬＣの内圧を大気圧に保ったまま上部チャンバＵＣの内圧を負圧にすることで、ダイヤフラムが上部チャンバＵＣ側に膨張して、上部チャンバＵＣの天井面とダイヤフラムとの間で被加工物が加熱プレスされる。 For example, in the laminating apparatus of the above embodiment, the workpiece is arranged in the lower chamber LC. However, the workpiece may be arranged in the upper chamber UC. In this case, the diaphragm is fixed to the lower chamber LC, and the upper chamber UC can be opened and closed. The workpiece is disposed on the diaphragm via the support sheet 820 of the carrier plate 800, for example, and the sheet portion 710 of the cover sheet 700 is disposed between the workpiece and the movable platen body 331. Also, the internal pressure control of each chamber is reversed upside down from that of the above embodiment. That is, by maintaining the internal pressure of the lower chamber LC at atmospheric pressure while making the internal pressure of the upper chamber UC negative, the diaphragm expands toward the upper chamber UC, and between the ceiling surface of the upper chamber UC and the diaphragm. The workpiece is heated and pressed.

また、上記実施形態のラミネート装置においては、下部チャンバＬＣが固定盤に、上部チャンバＵＣが可動盤に支持される構成が採用されているが、下部チャンバＬＣを可動盤に、上部チャンバＵＣを固定盤に支持させる構成にしてもよい。この場合、固定盤は可動盤の上方に配置される。あるいは、両チャンバを上下一対の可動盤に支持させる構成にしてもよい。 In the laminating apparatus of the above embodiment, the lower chamber LC is supported on the fixed platen and the upper chamber UC is supported on the movable platen. However, the upper chamber UC is fixed on the lower chamber LC on the movable platen. You may make it the structure supported by a board. In this case, the fixed platen is disposed above the movable platen. Alternatively, both chambers may be supported by a pair of upper and lower movable plates.

また、上記の各実施形態では、被加工物が載置される固定盤３２０を電熱ヒータで加熱することによって、被加工物を加工温度（成形温度）に加熱する構成が採用されているが、他の加熱手段を使用して熱盤を加熱する構成としてもよい。例えば、国際公開第２００６／１０３８６８号に開示されているような、固定盤に形成された流路にシリコーンオイル等の熱媒を流すことで固定盤を均一に加熱する構成を採用することができる。また、製品が収容された下部チャンバＬＣに電熱ヒータ等で加熱した空気を導入する方法や、遠赤外線やマイクロ波で被加工物を直接加熱する方法を採用してもよい。また、固定盤３２０の被加工物が載置される面を遠赤外線放射材料でコーティングし、固定盤３２０を電熱ヒータ等で加熱する構成を採用してもよい。この構成によれば、固定盤３２０と被加工物との接触による加熱に加えて、遠赤外線による遠隔加熱が行われるため、被加工物の加熱をより効率的且つ均一に行うことが可能になり、ラミネートプレスの加工時間が短縮される。 In each of the above embodiments, a configuration is employed in which the workpiece is heated to the machining temperature (molding temperature) by heating the stationary platen 320 on which the workpiece is placed with an electric heater. It is good also as a structure which heats a hot platen using another heating means. For example, as disclosed in International Publication No. 2006/103868, a configuration in which the fixing plate is uniformly heated by flowing a heat medium such as silicone oil through a channel formed in the fixing plate can be employed. . Further, a method of introducing air heated by an electric heater or the like into the lower chamber LC in which the product is accommodated, or a method of directly heating the workpiece with far infrared rays or microwaves may be adopted. Alternatively, a configuration may be employed in which the surface of the fixed plate 320 on which the workpiece is placed is coated with a far-infrared radiation material and the fixed plate 320 is heated with an electric heater or the like. According to this configuration, in addition to heating by contact between the stationary platen 320 and the workpiece, remote heating by far infrared rays is performed, so that the workpiece can be heated more efficiently and uniformly. The processing time of the laminating press is shortened.

また、上記の各実施形態では、矩形枠状の枠部３４０が使われているが、他の形状（例えば円筒状や多角筒状）の枠部を使用することもできる。また、キャリアプレート８００やカバーシート７００の形状を他の形状（例えば円板状）にすることもできる。 In each of the above embodiments, the frame portion 340 having a rectangular frame shape is used, but a frame portion having another shape (for example, a cylindrical shape or a polygonal cylindrical shape) may be used. Further, the carrier plate 800 and the cover sheet 700 may have other shapes (for example, a disc shape).

また、上記の実施形態は、上部チャンバＵＣが常に大気に開放されていて、下部チャンバＬＣの内圧を大気圧と真空との間で変化させることによって、加熱プレスを行う構成が採用されているが、本発明はこのような構成には限定されるものではない。例えば、可動盤本体３３１又は上部枠体３４０Ａに設けられた通気路にコンプレッサ等の加圧空気を供給する装置を接続して、上部チャンバＵＣの内圧を大気圧以上に加圧可能にした構成も本発明に含まれる。 The above embodiment employs a configuration in which the upper chamber UC is always open to the atmosphere, and the internal pressure of the lower chamber LC is changed between atmospheric pressure and vacuum to perform a heating press. The present invention is not limited to such a configuration. For example, a configuration in which a device for supplying pressurized air such as a compressor is connected to a ventilation path provided in the movable platen body 331 or the upper frame 340A so that the internal pressure of the upper chamber UC can be increased to an atmospheric pressure or higher. It is included in the present invention.

また、下部チャンバＬＣを常に大気に開放した状態にして、上部チャンバＵＣの内圧を陽圧に加圧することによってプレスを行う構成を採用することもできる。この場合も、可動盤本体３３１又は上部枠体３４０Ａに設けられた下部チャンバＬＣに外気を供給する通気路には、コンプレッサ等の加圧空気を供給する装置が接続される。また、上部チャンバＵＣ及び下部チャンバＬＣのいずれの内圧も（例えば、真空から陽圧まで）調整可能な構成としてもよい。 It is also possible to adopt a configuration in which pressing is performed by keeping the lower chamber LC open to the atmosphere and pressurizing the internal pressure of the upper chamber UC to a positive pressure. Also in this case, a device for supplying pressurized air, such as a compressor, is connected to an air passage that supplies outside air to the lower chamber LC provided in the movable platen body 331 or the upper frame 340A. Moreover, it is good also as a structure which can adjust any internal pressure (for example, from a vacuum to a positive pressure) of upper chamber UC and lower chamber LC.

また、上記の実施形態では、上部チャンバＵＣが大気に開放され、下部チャンバＬＣに空気が給排される構成が採用されているが、高純度の窒素ガスや炭酸ガス等の低活性又は不活性なガスを上部チャンバＵＣ及び／又は下部チャンバＬＣに供給する構成としてもよい。これにより、ダイヤフラムの劣化をより軽減させることができる。 Further, in the above embodiment, a configuration in which the upper chamber UC is opened to the atmosphere and air is supplied to and discharged from the lower chamber LC is employed. However, low activity or inactivity such as high-purity nitrogen gas or carbon dioxide gas is employed. A configuration may be adopted in which a simple gas is supplied to the upper chamber UC and / or the lower chamber LC. Thereby, the deterioration of the diaphragm can be further reduced.

また、排気管路３７０の本管３７１又は分枝管３７２ａ、３７２ｂ（例えば、本管３７１の電磁バルブ３７３と分枝管３７２ａ、３７２ｂとの間）に逆止弁を設けてもよい。排気管路３７０に逆止弁を設けることにより、排気管路３７０内に残った排出ガスの下部チャンバＬＣへの逆流を、より確実に防止することができ、ダイヤフラム１３３の劣化を更に効果的に抑制することが可能になる。 Further, a check valve may be provided in the main pipe 371 or the branch pipes 372a and 372b (for example, between the electromagnetic valve 373 of the main pipe 371 and the branch pipes 372a and 372b) of the exhaust pipe line 370. By providing a check valve in the exhaust pipe line 370, it is possible to more reliably prevent the exhaust gas remaining in the exhaust pipe line 370 from flowing back into the lower chamber LC, and to further effectively prevent the deterioration of the diaphragm 133. It becomes possible to suppress.

また、上記の実施形態は太陽電池パネルの製造に本発明を適用したものであるが、本発明は任意のラミネート構造体の成形に適用することができる。例えば、本発明は、プリプレグを含む構成材の積層体を加熱プレスすることにより成形されるプリント配線基板等の板状ラミネート構造体の製造に適用することができる。また、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬディスプレイパネル等の各種フラットパネルディスプレイの製造にも適用することができる。 Moreover, although said embodiment applies this invention to manufacture of a solar cell panel, this invention can be applied to shaping | molding of arbitrary laminated structures. For example, the present invention can be applied to the manufacture of a plate-like laminate structure such as a printed wiring board that is formed by heat-pressing a laminate of constituent materials including a prepreg. Moreover, it is applicable also to manufacture of various flat panel displays, such as a plasma display panel and an organic EL display panel.

１ラミネート加工システム
１００積層装置
２００搬入用コンベア
３００ラミネート装置
３２０固定盤
３３０可動盤
３４０枠部
３５０ダイヤフラム
４００キュア処理装置
７００カバーシート
７１０シート部
７２０フレーム部
８００キャリアプレート
Ａ太陽電池アセンブリ
ＵＣ上部チャンバ
ＬＣ下部チャンバ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laminating system 100 Laminating apparatus 200 Carry-in conveyor 300 Laminating apparatus 320 Fixed board 330 Movable board 340 Frame part 350 Diaphragm 400 Cure processing apparatus 700 Cover sheet 710 Sheet part 720 Frame part 800 Carrier plate A Solar cell assembly UC Upper chamber LC Lower part Chamber

Claims

A rigid press surface;
A flexible sheet disposed opposite to the press surface and partitioning the first chamber on the press surface side and the second chamber on the opposite side of the press surface;
Heating means for heating a workpiece disposed between the press surface and the flexible sheet;
A pressure control system for controlling an internal pressure difference between the first chamber and the second chamber;
With
A press apparatus for press-molding a workpiece between the press surface and the flexible sheet by lowering the internal pressure of the first chamber relative to the internal pressure of the second chamber. ,
The pressure control system comprises:
An exhaust line for exhausting air from at least one of the first chamber and the second chamber;
An air supply line that is provided separately from the exhaust line and supplies air to the at least one chamber;
Equipped with a,
The exhaust pipe line includes a plurality of exhaust branch pipes respectively connected to the at least one chamber;
The air supply line includes a plurality of air supply branch pipes respectively connected to the at least one chamber;
The at least one chamber comprises:
A plurality of exhaust side openings respectively connected to the plurality of exhaust branch pipes;
A plurality of air supply side openings respectively connected to the plurality of air supply branch pipes;
Have
Each of the plurality of air supply side openings is formed on one end side of a predetermined position in a predetermined direction parallel to the press surface in the at least one chamber,
Each of the plurality of exhaust side openings is formed on the other end side of the predetermined position in the predetermined direction in the at least one chamber.
Press device.

Provided with a surface plate on which the press surface is formed,
Wherein the plurality of air supply openings and the plurality of exhaust openings are formed in said one surface of said plate,
The press apparatus according to claim 1 .

The plurality of exhaust side openings are formed at predetermined intervals on the one surface around the press surface.
The press apparatus according to claim 2 .

The surface plate has a pair of opposing side surfaces,
A plurality of pairs of the exhaust side openings are provided to face each other along the pair of side surfaces.
The press apparatus according to claim 3.

One end of the exhaust line is connected to a vacuum pump via a valve,
The press apparatus as described in any one of Claims 1-4 .

The exhaust line is
A first piping portion extending along one side surface of the pair of side surfaces and connected to one of each pair of the exhaust branch pipes provided along the one side surface;
A second piping portion extending along the other side surface of the pair of side surfaces and connected to the other of the pair of exhaust branch pipes provided along the other side surface;
One end is connected to the first pipe part and the second pipe part, and the other end is connected to the vacuum pump.
The press apparatus according to claim 5 .

One end of the air supply line was opened to the atmosphere via a valve;
The press apparatus as described in any one of Claims 1-6 .

The at least one chamber comprises:
A plurality of shielding portions disposed between each of the plurality of exhaust side openings and the flexible sheet, and covering each of the plurality of exhaust side openings with a predetermined gap;
A shielding portion disposed between each of the plurality of air supply side openings and the flexible sheet and covering each of the plurality of air supply side openings with a predetermined gap;
Having
The press apparatus as described in any one of Claims 1-7.

A rigid press surface;
A flexible sheet disposed opposite to the press surface and partitioning the first chamber on the press surface side and the second chamber on the opposite side of the press surface;
Heating means for heating a workpiece disposed between the press surface and the flexible sheet;
A pressure control system for controlling an internal pressure difference between the first chamber and the second chamber;
With
A press apparatus for press-molding a workpiece between the press surface and the flexible sheet by lowering the internal pressure of the first chamber relative to the internal pressure of the second chamber. ,
The pressure control system comprises:
An exhaust line for exhausting air from at least one of the first chamber and the second chamber;
An air supply line that is provided separately from the exhaust line and supplies air to the at least one chamber;
With
The at least one chamber comprises:
An exhaust side opening connected to the exhaust line;
An air supply side opening connected to the air supply line;
A shielding portion disposed between the exhaust side opening and the flexible sheet, and covering the exhaust side opening with a predetermined gap;
A shielding part disposed between the air supply side opening and the flexible sheet, and covering the air supply side opening with a predetermined gap;
Having
Press device.

The exhaust pipe line includes a plurality of exhaust branch pipes respectively connected to the at least one chamber;
The air supply line includes a plurality of air supply branch pipes respectively connected to the at least one chamber;
The at least one chamber comprises:
A plurality of exhaust side openings respectively connected to the plurality of exhaust branch pipes;
A plurality of the air supply side openings respectively connected to the plurality of air supply branch pipes;
Have
Each of the plurality of air supply side openings is formed on one end side of a predetermined position in a predetermined direction parallel to the press surface in the at least one chamber,
Each of the plurality of exhaust side openings is formed on the other end side of the predetermined position in the predetermined direction in the at least one chamber.
The press apparatus according to claim 9.