JP6162050B2 - Effective use of sapphire scrap - Google Patents
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本発明はサファイア加工くずの有効利用方法に係わる。詳しくは、通常、埋め立て処分等により破棄されることの多かったサファイア加工くずを、セメント等の混合材として有用なアノーサイト(CaO・Al2O3・2SiO2)を20質量%以上含有する焼成物製造の原料とする有効利用方法を提供するものである。 The present invention relates to a method for effectively using sapphire processing waste. More specifically, sapphire processing waste, which is usually discarded by landfill disposal, etc., is fired containing 20% by mass or more of anorthite (CaO.Al 2 O 3 .2SiO 2 ) useful as a mixed material such as cement. It provides an effective utilization method as a raw material for manufacturing products.
サファイアはAl2O3の結晶体で、機械的、熱的特性、化学的安定性、光透過性に優れていることから、電子デバイスなどの工業製品の材料として広く普及しており、LED基板としても用いられている。 Sapphire is a crystal of Al 2 O 3 and is widely used as a material for industrial products such as electronic devices because of its excellent mechanical, thermal properties, chemical stability, and light transmission. It is also used as.
単結晶サファイアからLED基板を作製する過程で発生するサファイア加工くずは、一部は単結晶サファイアの原料としてリサイクルされるが、材料を切断、研削もしくは研磨する際に発生する粉末状のものは、切断機の刃や研削液由来の不純物が混入するためリサイクルできずに廃棄物として排出される。その発生量は年間約500トンになると言われており、今後も増加する見込みであるが、それらが有効利用されずに埋め立て処分されているのが現状である。 Sapphire processing waste generated in the process of manufacturing LED substrates from single crystal sapphire is partly recycled as raw material for single crystal sapphire, but powder generated when cutting, grinding or polishing the material is cut. Impurities from the machine blades and grinding fluid are mixed in and cannot be recycled and are discharged as waste. The amount generated is said to be about 500 tons per year and is expected to increase in the future, but at present it is disposed of in landfills without being effectively used.
一方、近年の地球環境問題と関連して、廃棄物、副産物等の有効利用は重要な課題となっている。セメント産業、セメント製造設備の特徴を生かし、セメントクリンカー製造時に原料や燃料として廃棄物を有効利用あるいは処理を行うことは、安全かつ大量処分が可能という観点から有効とされている。 On the other hand, in connection with recent global environmental problems, effective use of waste, by-products, etc. has become an important issue. Taking advantage of the characteristics of the cement industry and cement production facilities, it is considered effective from the viewpoint of safe and mass disposal to effectively use or treat waste as raw material or fuel during cement clinker production.
しかしながら、廃棄物、副産物等の中で、石炭灰、都市ゴミ焼却灰、高炉水砕スラグ、高炉徐冷スラグ等、特に石炭灰は、通常のセメントクリンカー組成に比べ、Al2O3含有量が多い。そのためこのような廃棄物、副産物等の使用量を増加させた場合、セメントクリンカー成分のうち間隙相に当たるアルミネート相の含有量が増加することになり、セメント物性に影響が生じる。従って、セメントクリンカー原料としての廃棄物、副産物等の使用量は、Al2O3成分の量により制約を受ける。 そのような中、石炭灰を主原料とし、アノーサイト(CaO・Al2O3・2SiO2)を含有する焼成物を製造し、セメント混合材や細骨材とする技術が提案されており(特許文献1、2参照)、廃棄物、副産物等の新たな処理方法として有望である。 However, among wastes, by-products, etc., coal ash, municipal waste incineration ash, blast furnace granulated slag, blast furnace slow-cooled slag, etc., especially coal ash, have an Al 2 O 3 content as compared with ordinary cement clinker composition. Many. Therefore, when the amount of such wastes, by-products, etc. used is increased, the content of the aluminate phase corresponding to the interstitial phase in the cement clinker component is increased, which affects the cement physical properties. Accordingly, the amount of waste, by-product, etc. used as a cement clinker raw material is restricted by the amount of the Al 2 O 3 component. Under such circumstances, a technique has been proposed in which a baked product containing coal ash as a main raw material and containing anorthite (CaO · Al 2 O 3 · 2SiO 2 ) is used as a cement mixture or fine aggregate ( It is promising as a new treatment method for wastes, by-products and the like.
本発明は、上述のように埋め立て処分により破棄されることが多かったサファイア加工くずの有効な利用方法を提供しようとするものである。 The present invention seeks to provide an effective method of using sapphire processing waste that has often been discarded by landfill disposal as described above.
本発明者等は、上記課題を解決すべく鋭意研究を行った。そして、サファイア加工くずは97%以上がAl2O3からなり、アノーサイト原料のアルミニウム源として利用が可能なこと、アルミニウム以外の少量成分であるC及び有機物は高温での熱分解が可能なこと、その他の微量金属はアノーサイト内に固溶されることに見出し、本発明を完成するに至った。 The present inventors have conducted intensive research to solve the above problems. And 97% or more of the sapphire processing waste is made of Al 2 O 3 and can be used as an aluminum source for anorthite raw material, C and organic matter which are minor components other than aluminum can be thermally decomposed at high temperature, The inventors have found that other trace metals are dissolved in anorthite and have completed the present invention.
即ち、本発明は、サファイアの加工時に排出される加工くずの処理方法であって、該加工くずを少なくとも石炭灰及びカルシウム源の双方と混合し、焼成してアノーサイト含有率が20質量%以上の焼成物とするサファイア加工くずの処理方法である。 That is, the present invention is a processing method of processing waste discharged at the time of processing sapphire, the processing waste is mixed with at least both coal ash and a calcium source, and calcined to have an anosite content of 20% by mass or more. It is a processing method of the sapphire processing waste made into this baked product.
本発明の処理方法によれば、サファイア加工くずを原料とし、セメント混合材や細骨材として有用なアノーサイトを20質量%以上含有する焼成物を得ることができる。従って、従来技術に比べて多量の廃棄物処理が可能となり、環境問題対応策として高度な方法である。 According to the treatment method of the present invention, it is possible to obtain a fired product containing sapphire processing waste as a raw material and containing 20% by mass or more of anorthite useful as a cement mixture or fine aggregate. Therefore, a large amount of waste can be treated as compared with the prior art, which is an advanced method for dealing with environmental problems.
本発明の処理方法は、サファイア加工くずと石炭灰、カルシウム含有原料粉末とを混合し、これを焼成する。当該サファイア加工くずは、サファイア単結晶のインゴットからLEDチップを作製する工程で、切断、研削や研磨する際に発生するものを使用することができる。サファイア加工くずは、固形分のうちの主成分は97〜99質量%がAl2O3であり、少量成分として切断機の刃や研削液に由来するC、有機物が1〜2質量%、その他の金属1質量%以下程度を含む。 The processing method of this invention mixes sapphire processing waste, coal ash, and calcium containing raw material powder, and bakes this. The said sapphire processing waste can use what generate | occur | produces when cut | disconnecting, grinding, and grinding | polishing at the process of producing LED chip from the ingot of a sapphire single crystal. The main component of the sapphire processing waste is 97 to 99% by mass of Al 2 O 3 in the solid content, C as a minor component derived from the blade of the cutting machine and the grinding fluid, 1 to 2% by mass of organic matter, Including about 1% by mass or less of metal.
当該切断、研削及び研磨の工程としては、インゴットの上下端切断や円筒研削によるサファイアコアの製造、当該サファイアコアのマルチワイヤーソー等による薄板状物への切断、及び切断により得られた薄板の両面又は片面研磨による基板への加工などがある。本発明においてはいずれの工程から排出された加工くずでも使用できる。 As the cutting, grinding, and polishing steps, the upper and lower ends of the ingot are cut and the sapphire core is manufactured by cylindrical grinding, the sapphire core is cut into a thin plate with a multi-wire saw, and the both sides of the thin plate obtained by the cutting. Alternatively, there is a processing to a substrate by single-side polishing. In the present invention, any processing waste discharged from any process can be used.
サファイアの切断や研磨は、水もしくは少量の有機物を水に溶かした研削液を用いて行うことが多いので、通常、サファイアの加工くずは、その際に排出される排出スラリーに含まれる。排出スラリーとその他の原料を混ぜて、焼成することでアノーサイトを得ることも可能であるが、ハンドリング性や熱エネルギーの有効活用の観点から、その排出液を固液分離して、サファイア加工くずを固形分として回収した後、乾燥、粉砕し、粉末状にしたものを原料として用いることが望ましい。固液分離は、公知の方法でよく、例えば、フィルタープレス、真空ろ過、ベルトプレス、遠心分離等により行うことができる。 Since cutting or polishing of sapphire is often performed using a grinding liquid in which water or a small amount of an organic substance is dissolved in water, sapphire processing waste is usually included in the discharged slurry discharged at that time. It is possible to obtain anorthite by mixing the discharged slurry and other raw materials and firing, but from the viewpoint of handling and effective use of thermal energy, the discharged liquid is separated into solid and liquid, and sapphire processing waste It is desirable to use as a raw material what was dried, grind | pulverized, and powdered after collect | recovering as solid content. The solid-liquid separation may be a known method, and can be performed by, for example, a filter press, vacuum filtration, belt press, centrifugation, or the like.
本発明においては、アノーサイト(CaO・Al2O3・2SiO2)を20質量%以上含有する焼成物を得るために、上記サファイア加工くずに加えて、少なくともSiO2源として石炭灰を用いる。むろん周知のように、石炭灰は、SiO2以外にAl2O3を多く含んでいるが、当該Al2O3もアノーサイトを構成する成分であるため、有効に利用できる。 In the present invention, in order to obtain a fired product containing 20% by mass or more of anorthite (CaO · Al 2 O 3 · 2SiO 2 ), coal ash is used as at least a SiO 2 source in addition to the sapphire processing waste. Of course, as is well known, coal ash has included many Al 2 O 3 in addition to SiO 2, because the Al 2 O 3 is also a component constituting the anorthite, it can be effectively utilized.
当該石炭灰は、公知の石炭灰、即ち、火力発電所等から排出されるものを特に制限されることなく使用できる。一般的な石炭灰は、主成分としてSiO2を35〜76質量%、Al2O3を17〜40質量%含み、その他の少量成分をして、CaO、Fe2O3、MgO、TiO2、Na2O、K2O等を含む。石炭灰は、その語が示すように粉末状のものである。 The said coal ash can use well-known coal ash, ie, what is discharged | emitted from a thermal power plant etc., without being restrict | limited in particular. Common coal ash contains 35 to 76% by mass of SiO 2 as a main component, 17 to 40% by mass of Al 2 O 3 , and other minor components to form CaO, Fe 2 O 3 , MgO, and TiO 2. , Na 2 O, K 2 O and the like. Coal ash is in the form of powder as the term indicates.
本発明においてはアノーサイトを20質量%以上含有する焼成物を得るために、上記サファイア加工くず及び石炭灰に加えてカルシウム源を原料として用いる。なお本発明においてカルシウム源とは975℃での強熱残分におけるCaOの割合が40質量%以上のものをいう。 In the present invention, a calcium source is used as a raw material in addition to the sapphire processing waste and coal ash in order to obtain a fired product containing 20% by mass or more of anorthite. In the present invention, the calcium source means that the CaO ratio in the ignition residue at 975 ° C. is 40% by mass or more.
当該カルシウム源としては、CaO、CaCO3、Ca(OH)2の粉末などが使用できる。入手の容易さから石灰石(CaCO3)を用いることが望ましい。又、その他に、これを単独で焼成した際、ポルトランドセメントクリンカーを生じるように石灰石を主成分とし化学組成が調整された粉末(セメントクリンカー原料)も用いることができる。 As the calcium source, CaO, CaCO 3 , Ca (OH) 2 powder, and the like can be used. Limestone (CaCO 3 ) is preferably used because of its availability. In addition, a powder (cement clinker raw material) whose main component is limestone and whose chemical composition is adjusted so as to produce a Portland cement clinker when fired alone can be used.
本発明においては、アノーサイト(CaO・Al2O3・2SiO2)を20質量%以上含有する焼成物を得るために、上記サファイア加工くず、石炭灰及びカルシウム源以外に、セメントクリンカーの原料として公知の各種原料をさらに混合して用いてもかまわない。このような原料としては、珪石、粘土、高炉スラグ、製鋼スラグ、非鉄鉱滓、廃白土、ボタ、浄水汚泥、製紙スラッジ、建設発生土、都市ゴミ、都市ゴミ焼却灰、下水汚泥、下水汚泥焼却灰等が挙げられる。 In the present invention, in order to obtain a fired product containing 20% by mass or more of anorthite (CaO · Al 2 O 3 · 2SiO 2 ), in addition to the sapphire processing waste, coal ash and calcium source, as a raw material for cement clinker Various known raw materials may be further mixed and used. Such raw materials include silica, clay, blast furnace slag, steelmaking slag, non-ferrous iron slag, waste white clay, bottling, purified water sludge, paper sludge, construction generated soil, municipal waste, municipal waste incineration ash, sewage sludge, sewage sludge incineration ash Etc.
本発明において、よりアノーサイト含有量の高い焼成物を得るためには、混合後の原料が、SiO2を34〜63質量%、Al2O3を22〜42質量%、CaOを12〜28質量%含むようにすることが好ましく、SiO2を40〜55質量%、Al2O3を27〜37質量%、CaOを15〜23質量%含むようにすることがより好ましい。 In the present invention, in order to obtain a higher-anorthite content baked product, the raw material after mixing, the SiO 2 thirty-four to sixty-three wt%, the Al 2 O 3 22~42% by weight, a CaO 12 to 28 preferably to include mass%, a SiO 2 40 to 55 wt%, the Al 2 O 3 27 to 37 wt%, and more preferably comprise a CaO 15 to 23 wt%.
なお、原料の強熱残分の化学組成が上記範囲に入っているか否かについては、当該原料をJIS R5202「ポルトランドセメントの化学分析法」やJIS R5204「セメントの蛍光X線分析法」などに準拠した方法により測定、確認すれば良い。また、950℃での強熱はJIS R5202中の「5.強熱減量の定量方法」に準じて行う。 Whether or not the chemical composition of the ignition residue of the raw material is within the above range is determined according to JIS R5202 “Portland cement chemical analysis method” or JIS R5204 “cement fluorescent X-ray analysis method”. Measurement and confirmation may be performed by a compliant method. Further, ignition at 950 ° C. is performed according to “5. Determination of ignition loss” in JIS R5202.
本発明において、上記焼成物の原料の焼成温度は1000℃以上である。焼成温度が1000℃未満の場合には上記鉱物の生成が不十分となる。より好ましい焼成温度は1150℃以上である。また、焼成温度が1400℃を上回る場合には、原料が溶融、ガラス化するため、上記鉱物の生成が困難となる。従って、焼成時の最高温度は1400℃以下であり、1350℃以下が好ましい。 In the present invention, the firing temperature of the raw material of the fired product is 1000 ° C. or higher. When the firing temperature is less than 1000 ° C., the mineral is not sufficiently generated. A more preferable firing temperature is 1150 ° C. or higher. In addition, when the firing temperature exceeds 1400 ° C., the raw material melts and vitrifies, making it difficult to produce the mineral. Accordingly, the maximum temperature during firing is 1400 ° C. or lower, and preferably 1350 ° C. or lower.
焼成時間は、焼成温度にもよるが、一般的には0.5〜10時間、好ましくは1〜5時間である。 Although the firing time depends on the firing temperature, it is generally 0.5 to 10 hours, preferably 1 to 5 hours.
焼成に際しては各原料を粉末にしておくことが望ましい。粉末度としては、セメントクリンカー焼成原料と同程度でよく、一般には90ミクロン篩残が20〜30%程度である。 It is desirable that each raw material be powdered during firing. The degree of fineness may be the same as that of the cement clinker firing raw material, and generally 90 micron sieve residue is about 20 to 30%.
焼成方法は特に限定されず、上記温度を得られる装置であれば特に限定されないが、既存のポルトランドセメント製造設備を使用できるという観点からNSPキルンや、SPキルンに代表されるセメントキルン等の高温加熱が可能な装置が好適に使用できる。また、大量生産あるいは大量処理の観点からも当該セメント設備を用いることが好ましい。 The firing method is not particularly limited as long as it is an apparatus capable of obtaining the above temperature, but from the viewpoint that an existing Portland cement production facility can be used, NSP kiln, high temperature heating such as cement kiln represented by SP kiln, etc. The apparatus which can be used can be used conveniently. Moreover, it is preferable to use the said cement equipment also from a viewpoint of mass production or mass processing.
本発明においては、アノーサイト(CaO・Al2O3・2SiO2)を20質量%以上含有する焼成物を得る。好ましくはアノーサイトが50質量%以上であり、より好ましくは70質量%以上である。 In the present invention, a fired product containing 20% by mass or more of anorthite (CaO · Al 2 O 3 · 2SiO 2 ) is obtained. Preferably, the anorthite is 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more.
本発明で製造された焼成物は、ポルトランドセメントクリンカーおよび石膏と共に粉砕、または個別に粉砕した後、混合することにより水硬性組成物とすることができる。該焼成物の混合割合は、一般的にはポルトランドセメントクリンカー100質量部に対して1〜50質量部、好ましくは1〜30質量部である。使用する石膏については、二水石膏、半水石膏、無水石膏等のセメント製造として公知の石膏が特に制限なく使用できる。石膏の添加量は、水硬性組成物中のSO3量が1.5〜5.0質量%となるように添加することが好ましく、1.8〜3.0質量%となるような添加量がより好ましい。本発明の製造方法で製造された焼成物、ポルトランドセメントクリンカーおよび石膏の粉砕方法については、公知の技術が特に制限なく使用できる。ポルトランドセメントクリンカーは、その製造方法、組成に特に制限なく公知のものが使用できる。 The fired product produced in the present invention can be made into a hydraulic composition by pulverization with Portland cement clinker and gypsum, or pulverization individually and then mixing. The mixing ratio of the fired product is generally 1 to 50 parts by mass, preferably 1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of Portland cement clinker. As the gypsum to be used, known gypsum can be used without particular limitation for producing cement such as dihydrate gypsum, hemihydrate gypsum, and anhydrous gypsum. The amount of gypsum added is preferably such that the amount of SO 3 in the hydraulic composition is 1.5 to 5.0% by mass, such that the amount is 1.8 to 3.0% by mass. Is more preferable. For the method of pulverizing the fired product, Portland cement clinker and gypsum produced by the production method of the present invention, known techniques can be used without particular limitation. As the Portland cement clinker, known ones can be used without any particular limitation on the production method and composition.
また、当該水硬性組成物には、さらに高炉スラグ、シリカ質混合材、フライアッシュ、炭酸カルシウム、石灰石等の混合材や粉砕助剤を適宜、添加混合、混合粉砕してもよい。また、塩素バイパスダスト等を混合してもよい。 Further, the hydraulic composition may be further appropriately mixed, mixed and pulverized with a blast furnace slag, a siliceous mixed material, fly ash, calcium carbonate, limestone and other mixed materials and a grinding aid. Further, chlorine bypass dust or the like may be mixed.
当該水硬性組成物の粉末度は、特に制限されないが、2800〜4500cm2/gに調整されることが望ましい。 The fineness of the hydraulic composition is not particularly limited, but is desirably adjusted to 2800 to 4500 cm 2 / g.
さらに必要に応じ、粉砕後に高炉スラグ、フライアッシュ等を混合し、高炉スラグセメント、フライアッシュセメント等にすることも可能である。 Further, if necessary, blast furnace slag, fly ash or the like can be mixed after pulverization to obtain blast furnace slag cement, fly ash cement or the like.
本発明の焼成物は、JIS規格外のセメント製造原料や、セメント系固化材等の原料としてもよい。 The fired product of the present invention may be used as a raw material for cement production outside the JIS standard or a cement-based solidified material.
さらに本発明の製造方法で得られた焼成物は、ふるい法で粒径2.5mm以下になるまで粉砕することにより、モルタルやコンクリートを製造する際の細骨材とすることも可能である。 Furthermore, the fired product obtained by the production method of the present invention can be used as a fine aggregate for producing mortar and concrete by pulverizing the particles to 2.5 mm or less by a sieving method.
以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention more concretely, this invention is not limited to these Examples.
サファイア加工くずは、サファイア単結晶のインゴットをウェハ状に切断する際に発生したものを用いた。石炭灰は、日本国内の火力発電所から排出されたものを用いた。カルシウム含有粉末は、石灰石を主成分とするセメントクリンカー原料を用いた。これら原料の化学分析結果(蛍光X線分析)を以下の表1に示す。 The sapphire processing waste was generated when a sapphire single crystal ingot was cut into a wafer. The coal ash used was discharged from a thermal power plant in Japan. As the calcium-containing powder, a cement clinker raw material mainly composed of limestone was used. The chemical analysis results (fluorescence X-ray analysis) of these raw materials are shown in Table 1 below.
サファイア加工くず14質量%と石炭灰50質量%、セメントクリンカー原料36質量%を混合したものを1250℃で、0.5時間焼成し、焼成物を得た(実施例1)。サファイア加工くず7質量%と石炭灰54質量%、セメントクリンカー原料39質量%を混合したものを1100℃で0.5時間焼成し、焼成物を得た(実施例2)。得られた焼成物を蛍光X線分析による化学組成および粉末X線回折の内部標準を用いたリートベルト解析により、含有されるアノーサイト量を求めた。結果を表2に示す。 A mixture of 14% by mass of sapphire scrap, 50% by mass of coal ash and 36% by mass of cement clinker raw material was calcined at 1250 ° C. for 0.5 hour to obtain a calcined product (Example 1). A mixture of 7% by mass of sapphire processing waste, 54% by mass of coal ash, and 39% by mass of cement clinker raw material was calcined at 1100 ° C. for 0.5 hour to obtain a calcined product (Example 2). The amount of anorthite contained in the fired product was determined by Rietveld analysis using the chemical composition by fluorescent X-ray analysis and the internal standard of powder X-ray diffraction. The results are shown in Table 2.
また、石炭灰単独(参考例1)、もしくは、石炭灰58質量%とセメントクリンカー原料42質量%を混合したもの(参考例2)、1100℃で0.5時間焼成して、それぞれの焼成物を得た。これらの評価結果も併せて表2に示す。 In addition, coal ash alone (Reference Example 1) or a mixture of 58% by mass of coal ash and 42% by mass of cement clinker raw material (Reference Example 2), calcined at 1100 ° C. for 0.5 hour, Got. These evaluation results are also shown in Table 2.
Claims (2)
Machining debris, processing method according to claim 1 which is a solid component obtained by solid-liquid separation discharge slurry discharged when forming the sapphire single crystal on the LED substrate.
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