JP6147185B2 - Board work equipment - Google Patents

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Description

本発明は、基板作業装置に関し、特に、基板を搬送する基板搬送部を備えた基板作業装置に関する。   The present invention relates to a substrate working apparatus, and more particularly, to a substrate working apparatus provided with a substrate transport unit that transports a substrate.

従来、基板を搬送する基板搬送部を備えた基板作業装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a substrate working apparatus provided with a substrate transport unit that transports a substrate (for example, see Patent Document 1).

上記特許文献1には、基板を搬送する一対のコンベア(基板搬送部)と、コンベアにより搬送された基板を所定の搬送位置において検知する搬送基板検出装置とを備えた部品搭載装置(基板作業装置)が開示されている。上記特許文献1の部品搭載装置では、搬送基板検出装置は、一対のコンベアの一方側に配置された投光センサと、一対のコンベアの他方側に配置された受光センサと、一対のコンベアの距離が所定値以下となり投光センサおよび受光センサの距離が一定値以下となった場合に投光センサから投光される光を減衰させる光学フィルタとを含む。上記特許文献1の部品搭載装置(基板作業装置)では、一対のコンベアの距離が所定値以下となり投光センサおよび受光センサの距離が一定値以下となった場合に投光センサから投光される光を減衰させる光学フィルタを設けることにより、一対のコンベアの距離が変化した場合でも、投光センサの出力または受光センサの感度を調整することなく基板を検知する感度を調整することが可能である。   Patent Document 1 discloses a component mounting apparatus (board working apparatus) that includes a pair of conveyors (board transfer units) that transfer boards and a transfer board detection device that detects the boards transferred by the conveyor at a predetermined transfer position. ) Is disclosed. In the component mounting apparatus disclosed in Patent Document 1, the transport board detection device includes a light projecting sensor disposed on one side of the pair of conveyors, a light receiving sensor disposed on the other side of the pair of conveyors, and a distance between the pair of conveyors. And an optical filter for attenuating light projected from the light projecting sensor when the distance between the light projecting sensor and the light receiving sensor is equal to or smaller than a predetermined value. In the component mounting apparatus (substrate working apparatus) of Patent Document 1, light is emitted from the light projecting sensor when the distance between the pair of conveyors is equal to or smaller than a predetermined value and the distance between the light projecting sensor and the light receiving sensor is smaller than a certain value. By providing an optical filter that attenuates light, even when the distance between the pair of conveyors changes, it is possible to adjust the sensitivity of detecting the substrate without adjusting the output of the light projecting sensor or the sensitivity of the light receiving sensor. .

特開2007−258386号公報JP 2007-258386 A

しかしながら、上記特許文献1の部品搭載装置では、投光センサまたは受光センサの故障などによる搬送基板検出装置の不具合は、ユーザが実際に基板を搬入するなどの作業を行って確認する必要があると考えられる。このため、搬送基板検出装置の不具合を診断するためのユーザの作業負担を軽減することが困難であるという問題点がある。   However, in the component mounting apparatus disclosed in Patent Document 1, it is necessary for the user to confirm the trouble of the transport substrate detection device due to a failure of the light projecting sensor or the light receiving sensor by performing an operation such as actually carrying in the substrate. Conceivable. For this reason, there is a problem that it is difficult to reduce a user's work burden for diagnosing a defect in the transport substrate detection apparatus.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、基板を所定の搬送位置において検知する基板検知センサの不具合を診断するためのユーザの作業負担を軽減することが可能な基板作業装置を提供することである。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and one object of the present invention is to perform a user's work for diagnosing a malfunction of a substrate detection sensor that detects a substrate at a predetermined transport position. To provide a substrate working apparatus capable of reducing the burden.

上記目的を達成するために、この発明の一の局面における基板作業装置は、基板を搬送する基板搬送部と、基板搬送部により搬送された基板を所定の搬送位置において検知する基板検知センサと、基板に対して作業を行うヘッドと、基板が基板搬送部の所定の搬送位置に位置していない状態において、ヘッドを移動させて基板検知センサが基板を検知する位置に基板があたかも存在する状態を作り出す(基板があるのと同等の状態を作り出す)ことにより、基板検知センサの検知状態を診断する制御部とを備える。   In order to achieve the above object, a substrate working apparatus according to one aspect of the present invention includes a substrate transport unit that transports a substrate, a substrate detection sensor that detects a substrate transported by the substrate transport unit at a predetermined transport position, and A state in which the substrate is present at a position where the head is moved and the substrate detection sensor detects the substrate in a state where the head that performs the operation on the substrate and the substrate is not positioned at a predetermined conveyance position of the substrate conveyance unit. And a controller that diagnoses the detection state of the substrate detection sensor by creating (creating a state equivalent to the presence of the substrate).

この発明の一の局面による基板作業装置では、上記のように、基板が基板搬送部の所定の搬送位置に位置していない状態において、ヘッドを移動させて基板検知センサが基板を検知する位置に基板があたかも存在する状態を作り出す(基板があるのと同等の状態を作り出す)ことにより、基板検知センサの検知状態を診断する制御部を設けることによって、ユーザが実際に基板を搬入することなく基板検知センサの検知状態を診断することができるので、基板検知センサの不具合を診断するためのユーザの作業負担を軽減することができる。   In the substrate working apparatus according to one aspect of the present invention, as described above, in a state where the substrate is not positioned at the predetermined transfer position of the substrate transfer unit, the head is moved to a position where the substrate detection sensor detects the substrate. By creating a control unit that diagnoses the detection state of the substrate detection sensor by creating a state in which the substrate exists (creating a state equivalent to the presence of the substrate), the substrate is not actually carried in by the user. Since the detection state of the detection sensor can be diagnosed, the work burden on the user for diagnosing a defect in the substrate detection sensor can be reduced.

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、ヘッドは、基板検知センサの検知位置に基板がある状態を作り出す被検知部材が取り付けられるように構成されており、制御部は、基板が基板搬送部の所定の搬送位置に位置していない状態において、基板検知センサの検知位置にヘッドに取り付けられた被検知部材を移動させることにより、基板検知センサの検知状態を診断するように構成されている。このように構成すれば、ヘッドに取り付けられた被検知部材を基板の代わりに自動的に検知位置に位置させて、基板検知センサの不具合を容易に診断することができる。   In the substrate working apparatus according to the above aspect, the head is preferably configured such that a detected member that creates a state where the substrate is present at the detection position of the substrate detection sensor is attached, and the control unit is configured to convey the substrate to the substrate. The detection state of the substrate detection sensor is diagnosed by moving the detection member attached to the head to the detection position of the substrate detection sensor in a state where the detection position of the substrate detection sensor is not located at the predetermined conveyance position. . If comprised in this way, the to-be-detected member attached to the head can be automatically located in a detection position instead of a board | substrate, and the malfunction of a board | substrate detection sensor can be diagnosed easily.

この場合、好ましくは、被検知部材は、少なくとも基板の一部と同じ形状の部分を有するダミー基板を含む。このように構成すれば、基板検知センサの検知位置に基板がある状態を確実に作り出すことができるので、基板検知センサの不具合を確実に診断することができる。   In this case, preferably, the member to be detected includes a dummy substrate having at least a part having the same shape as a part of the substrate. If comprised in this way, since the state which has a board | substrate in the detection position of a board | substrate detection sensor can be produced reliably, the malfunction of a board | substrate detection sensor can be diagnosed reliably.

上記ヘッドに被検知部材が取り付けられる構成において、好ましくは、制御部は、基板が基板搬送部の所定の搬送位置に位置していない状態において、基板検知センサの検知位置に被検知部材が位置する状態と、基板検知センサの検知位置に被検知部材が位置しない状態とに、ヘッドを移動させて切り替えることにより、基板検知センサの検知状態を診断するように構成されている。このように構成すれば、基板が検知位置に位置していない状態において基板検知センサが基板を検知する状態になるという不具合を確実に検出することができるとともに、基板が検知位置に位置している状態において基板検知センサが基板を検知しないという不具合を確実に検出することができる。   In the configuration in which the detected member is attached to the head, preferably, the control unit is positioned at the detection position of the substrate detection sensor in a state where the substrate is not positioned at the predetermined transfer position of the substrate transfer unit. The detection state of the substrate detection sensor is diagnosed by moving the head between the state and the state where the detection target member is not located at the detection position of the substrate detection sensor. If comprised in this way, while the board | substrate detection sensor will be in the state which will be in the state which detects a board | substrate in the state which is not located in a detection position, while being able to detect reliably, a board | substrate is located in a detection position. It is possible to reliably detect a problem that the substrate detection sensor does not detect the substrate in the state.

上記ヘッドに被検知部材が取り付けられる構成において、好ましくは、制御部は、基板検知センサの検知位置に移動された被検知部材を検知しない場合に、被検知部材を基板を検知する位置から所定の範囲内で移動させながら、基板検知センサの検知状態を診断し、基板検知センサにより被検知部材を検知した位置を調整データとして保存するように構成されている。このように構成すれば、基板検知センサの検知位置を正確に検出することができるとともに、正確に検出した検知位置を調整データとして保存することにより、次回の基板検知センサの検知状態を診断する際に、保存された調整データの検知位置に被検知部材を直接移動させることができるので、診断時間を短縮することができる。   In the configuration in which the member to be detected is attached to the head, preferably, the control unit does not detect the member to be detected that has been moved to the detection position of the substrate detection sensor. While moving within the range, the detection state of the substrate detection sensor is diagnosed, and the position where the detected member is detected by the substrate detection sensor is stored as adjustment data. If comprised in this way, while the detection position of a board | substrate detection sensor can be detected correctly, when the detection position of the board | substrate detection sensor of the next time is diagnosed by storing the detected position detected correctly as adjustment data, Furthermore, since the member to be detected can be directly moved to the detection position of the stored adjustment data, the diagnosis time can be shortened.

上記ヘッドに被検知部材が取り付けられる構成において、好ましくは、基板を撮像する基板撮像部をさらに備え、制御部は、基板検知センサの検知位置に移動された被検知部材を検知しない場合に、基板撮像部により、基板検知センサ周辺を撮像し、基板検知センサの状態を診断するように構成されている。このように構成すれば、基板撮像部により撮像された画像に基づいて基板検知センサの不具合をさらに詳しく診断することができる。   In the configuration in which the detected member is attached to the head, preferably, the apparatus further includes a substrate imaging unit that images the substrate, and the control unit does not detect the detected member moved to the detection position of the substrate detection sensor. The imaging unit is configured to image the periphery of the substrate detection sensor and diagnose the state of the substrate detection sensor. If comprised in this way, the malfunction of a board | substrate detection sensor can be diagnosed in more detail based on the image imaged by the board | substrate imaging part.

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、基板検知センサの検知状態に基づいて異常を通知する異常通知部をさらに備える。このように構成すれば、基板検知センサの故障などの異常をユーザが容易に認識することができる。   The substrate working apparatus according to the above aspect preferably further includes an abnormality notification unit for notifying abnormality based on the detection state of the substrate detection sensor. With this configuration, the user can easily recognize an abnormality such as a failure of the substrate detection sensor.

本発明によれば、上記のように、基板を所定の搬送位置において検知する基板検知センサの不具合を診断するためのユーザの作業負担を軽減することができる。   According to the present invention, as described above, it is possible to reduce the work burden on the user for diagnosing a defect in the substrate detection sensor that detects the substrate at a predetermined transport position.

本発明の第1実施形態による部品実装装置の全体構成を概略的に示した平面図である。1 is a plan view schematically showing an overall configuration of a component mounting apparatus according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1実施形態による部品実装装置の制御的な構成を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the control structure of the component mounting apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による部品実装装置の基板検知センサ周辺を示した側面図である。It is the side view which showed the board | substrate detection sensor periphery of the component mounting apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による部品実装装置の制御装置による基板作業処理を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the board | substrate work process by the control apparatus of the component mounting apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による部品実装装置の制御装置による基板検知センサチェック処理を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the board | substrate detection sensor check process by the control apparatus of the component mounting apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による部品実装装置の制御装置による基板認識カメラの撮像に基づく診断結果を示した表である。It is the table | surface which showed the diagnostic result based on the imaging of the board | substrate recognition camera by the control apparatus of the component mounting apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による部品実装装置の制御装置による基板検知センサ調整処理を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the board | substrate detection sensor adjustment process by the control apparatus of the component mounting apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態の変形例による部品実装装置の制御装置による基板検知センサチェック処理を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the board | substrate detection sensor check process by the control apparatus of the component mounting apparatus by the modification of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態の変形例による部品実装装置の制御装置による基板認識カメラの撮像に基づく診断結果を示した表である。It is the table | surface which showed the diagnostic result based on the imaging of the board | substrate recognition camera by the control apparatus of the component mounting apparatus by the modification of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による印刷装置の全体構成を概略的に示した側面図である。It is the side view which showed roughly the whole structure of the printing apparatus by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による印刷装置の制御装置による基板作業処理を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the board | substrate work process by the control apparatus of the printing apparatus by 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1実施形態)
図1〜図3を参照して、本発明の第1実施形態による部品実装装置100の構成について説明する。
(First embodiment)
With reference to FIGS. 1-3, the structure of the component mounting apparatus 100 by 1st Embodiment of this invention is demonstrated.

部品実装装置100は、図1に示すように、一対のコンベア11により基板2がX1方向側からX2方向側に搬送されて所定の作業位置において、基板2に部品4を実装する装置である。なお、部品実装装置100は、本発明の「基板作業装置」の一例である。   As shown in FIG. 1, the component mounting apparatus 100 is a device that mounts the component 4 on the substrate 2 at a predetermined work position by the substrate 2 being conveyed from the X1 direction side to the X2 direction side by a pair of conveyors 11. The component mounting apparatus 100 is an example of the “board working apparatus” in the present invention.

また、部品実装装置100は、図1に示すように、基台1と、一対のコンベア11と、ヘッドユニット12と、支持部13と、レール部14と、基板検知センサ15と、制御装置16(図2参照)と、部品認識カメラ17と、通知部18(図2参照)と、ノズルステーション19とを備えている。また、コンベア11の両側(Y1方向側、Y2方向側)には、部品4を供給するための部品供給部3が配置されている。部品供給部3には、複数のテープフィーダ3aが配置されている。ヘッドユニット12は、テープフィーダ3aから部品4を取得(吸着)するとともに、コンベア11上の基板2に部品4を実装(装着)する機能を有する。なお、コンベア11は、本発明の「基板搬送部」の一例であり、制御装置16は、本発明の「制御部」の一例である。また、通知部18は、本発明の「異常通知部」の一例である。   As shown in FIG. 1, the component mounting apparatus 100 includes a base 1, a pair of conveyors 11, a head unit 12, a support unit 13, a rail unit 14, a board detection sensor 15, and a control device 16. (See FIG. 2), a component recognition camera 17, a notification unit 18 (see FIG. 2), and a nozzle station 19. Moreover, the component supply part 3 for supplying the components 4 is arrange | positioned at the both sides (Y1 direction side, Y2 direction side) of the conveyor 11. FIG. A plurality of tape feeders 3 a are arranged in the component supply unit 3. The head unit 12 has a function of acquiring (sucking) the component 4 from the tape feeder 3 a and mounting (mounting) the component 4 on the substrate 2 on the conveyor 11. The conveyor 11 is an example of the “substrate transport unit” in the present invention, and the control device 16 is an example of the “control unit” in the present invention. The notification unit 18 is an example of the “abnormality notification unit” in the present invention.

テープフィーダ3aは、複数の部品4を所定の間隔を隔てて保持したテープが巻き回されたリール(図示せず)を保持している。テープフィーダ3aは、リールを回転させて部品4を保持するテープを送出することにより、テープフィーダ3aの先端から部品4を供給するように構成されている。ここで、部品4は、たとえば、IC、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの小型の電子部品である。   The tape feeder 3a holds a reel (not shown) around which a tape holding a plurality of components 4 at a predetermined interval is wound. The tape feeder 3a is configured to supply the component 4 from the tip of the tape feeder 3a by sending a tape that holds the component 4 by rotating the reel. Here, the component 4 is a small electronic component such as an IC, a transistor, a capacitor, and a resistor.

一対のコンベア11は、基板2を水平方向(X方向)に搬送する機能を有する。また、コンベア11は、搬送中の基板2を実装作業位置で停止させた状態で保持するように構成されている。また、一対のコンベア11は、Y方向の間隔を調整可能に構成されている。具体的には、一対のコンベア11のY1方向(図1参照)側の一方がY方向に移動することにより、一対のコンベア11間の距離が調整される。なお、一対のコンベア11の間隔の調整は、基板検知センサ15により、基板2を検知していない場合に行われる。   The pair of conveyors 11 has a function of transporting the substrate 2 in the horizontal direction (X direction). Moreover, the conveyor 11 is comprised so that the board | substrate 2 in conveyance may be hold | maintained in the state stopped at the mounting operation position. Further, the pair of conveyors 11 is configured to be able to adjust the interval in the Y direction. Specifically, the distance between the pair of conveyors 11 is adjusted by moving one of the pair of conveyors 11 in the Y1 direction (see FIG. 1) side in the Y direction. The interval between the pair of conveyors 11 is adjusted when the substrate 2 is not detected by the substrate detection sensor 15.

ヘッドユニット12は、図1に示すように、ボールナット121と、6本のヘッド122と、6本のヘッド122の下端にそれぞれ取り付けられた6つのノズル123と、基板認識カメラ124と、6本のヘッド122にそれぞれ設けられた6つのZ軸モータ125(図2参照)と、6本のヘッド122にそれぞれ設けられた6つのR軸モータ126(図2参照)とを含んでいる。なお、基板認識カメラ124は、本発明の「基板撮像部」の一例である。   As shown in FIG. 1, the head unit 12 includes a ball nut 121, six heads 122, six nozzles 123 attached to the lower ends of the six heads 122, a substrate recognition camera 124, and six 6 Z-axis motors 125 (see FIG. 2) respectively provided on the heads 122 and six R-axis motors 126 (see FIG. 2) respectively provided on the six heads 122. The board recognition camera 124 is an example of the “board imaging unit” in the present invention.

また、ヘッドユニット12は、支持部13に沿ってX方向に移動可能に構成されている。具体的には、支持部13は、ボールネジ軸131と、ボールネジ軸131を回転させるX軸モータ132と、X方向に延びるガイドレール(図示せず)とを有している。これにより、ヘッドユニット12は、ボールネジ軸131が係合(螺合)されるボールナット121とともにX方向に移動される。   The head unit 12 is configured to be movable in the X direction along the support portion 13. Specifically, the support unit 13 includes a ball screw shaft 131, an X-axis motor 132 that rotates the ball screw shaft 131, and a guide rail (not shown) extending in the X direction. Thereby, the head unit 12 is moved in the X direction together with the ball nut 121 to which the ball screw shaft 131 is engaged (screwed).

6本のヘッド122は、ヘッドユニット12の下面側にX方向に沿って一列に配置されている。各々のヘッド122の先端には、それぞれ、ノズル123が取付けられている。ヘッド122は、基板2に対して作業(部品4の実装)を行うように構成されている。ノズル123は、負圧発生機(図示せず)によりノズル123の先端部に発生された負圧によって、それぞれ、テープフィーダ3aから供給される部品4を吸着して保持することが可能に構成されている。ノズル123は、それぞれ、ヘッド122に対して着脱可能に取り付けられている。つまり、ノズル123は、搭載する部品4に応じて選択されてヘッド122に取り付けられるように構成されている。   The six heads 122 are arranged in a line along the X direction on the lower surface side of the head unit 12. A nozzle 123 is attached to the tip of each head 122. The head 122 is configured to perform work (mounting of the component 4) on the substrate 2. The nozzles 123 are configured to be able to adsorb and hold the components 4 supplied from the tape feeder 3a by the negative pressure generated at the tip of the nozzle 123 by a negative pressure generator (not shown). ing. Each nozzle 123 is detachably attached to the head 122. That is, the nozzle 123 is configured to be selected according to the component 4 to be mounted and attached to the head 122.

また、各々のヘッド122(ノズル123)は、ヘッドユニット12に対して昇降(Z軸方向の移動)可能に構成されている。具体的には、ヘッド122は、部品4の吸着または装着(実装)を行う時の下降した状態の位置と、部品4の搬送や撮影を行う時の上昇した状態の位置との間で昇降可能に構成されている。また、ヘッド122は、ヘッド122毎に設けられたZ軸モータ125により個別に昇降駆動するように構成されている。また、ヘッド122は、ヘッド122毎に設けられたR軸モータ126によりノズル123の中心軸回り(Z軸回り)の回転が可能に構成されている。   Each head 122 (nozzle 123) is configured to be movable up and down (moved in the Z-axis direction) with respect to the head unit 12. Specifically, the head 122 can move up and down between a lowered position when the component 4 is sucked or mounted (mounted) and a raised position when the component 4 is transported or photographed. It is configured. The head 122 is configured to be individually driven up and down by a Z-axis motor 125 provided for each head 122. Further, the head 122 is configured to be rotatable around the central axis (Z axis) of the nozzle 123 by an R-axis motor 126 provided for each head 122.

基板認識カメラ124は、基板2のフィデューシャルマーク(図示せず)を撮影するように構成されている。これにより、基板2の部品4の実装位置を正確に取得することが可能である。また、基板認識カメラ124は、テープフィーダ3aの部品供給位置(部品吸着位置)に位置する部品4を撮影可能に構成されている。これにより、吸着する部品4の位置および姿勢を取得することが可能である。   The board recognition camera 124 is configured to photograph a fiducial mark (not shown) of the board 2. Thereby, it is possible to accurately acquire the mounting position of the component 4 on the substrate 2. The board recognition camera 124 is configured to be able to photograph the component 4 located at the component supply position (component suction position) of the tape feeder 3a. Thereby, it is possible to acquire the position and posture of the component 4 to be picked up.

支持部13は、基台1上に固定された一対のレール部14に沿ってX方向と直交するY方向に移動可能に構成されている。具体的には、レール部14は、図1に示すように、支持部13の両端部(X方向)をY方向に移動可能に支持するガイドレール141と、Y方向に延びるボールネジ軸142と、ボールネジ軸142を回転させるY軸モータ143とを含んでいる。また、支持部13には、ボールネジ軸142が係合(螺合)されるボールナット133が設けられている。これにより、ヘッドユニット12は、基台1上をY方向に沿って移動される。よって、ヘッドユニット12は、基台1上をXY平面に沿って任意の位置に移動することが可能である。   The support portion 13 is configured to be movable in the Y direction orthogonal to the X direction along a pair of rail portions 14 fixed on the base 1. Specifically, as shown in FIG. 1, the rail portion 14 includes guide rails 141 that support both end portions (X direction) of the support portion 13 so as to be movable in the Y direction, a ball screw shaft 142 that extends in the Y direction, And a Y-axis motor 143 that rotates the ball screw shaft 142. The support portion 13 is provided with a ball nut 133 to which the ball screw shaft 142 is engaged (screwed). Thereby, the head unit 12 is moved on the base 1 along the Y direction. Therefore, the head unit 12 can move on the base 1 to an arbitrary position along the XY plane.

基板検知センサ15は、コンベア11により搬送された基板2を所定の搬送位置において検知するように構成されている。具体的には、基板検知センサ15は、図2および図3に示すように、投光部151と、受光部152とを含む。また、基板検知センサ15は、投光部151から受光部152に投光される可視光が基板2により遮断されることによって基板2の位置を検知する透過型のセンサとして構成されている。また、複数の搬送位置において基板2を検知するように、基板検知センサ15は、基板2の搬送方向(X方向)に沿って複数配置されている。   The substrate detection sensor 15 is configured to detect the substrate 2 conveyed by the conveyor 11 at a predetermined conveyance position. Specifically, the substrate detection sensor 15 includes a light projecting unit 151 and a light receiving unit 152, as shown in FIGS. The substrate detection sensor 15 is configured as a transmissive sensor that detects the position of the substrate 2 when visible light projected from the light projecting unit 151 to the light receiving unit 152 is blocked by the substrate 2. A plurality of substrate detection sensors 15 are arranged along the transport direction (X direction) of the substrate 2 so as to detect the substrate 2 at a plurality of transport positions.

投光部151は、可視光を発生させるLED(発光ダイオード)を有する。また、投光部151は、図3に示すように、斜め上方に向けて可視光を投光するように構成されている。また、投光部151は、コンベア11の下側に配置されている。受光部152は、投光部151から投光された可視光を受光するように構成されている。また、受光部152は、コンベア11の上側に配置されている。   The light projecting unit 151 includes an LED (light emitting diode) that generates visible light. Further, as shown in FIG. 3, the light projecting unit 151 is configured to project visible light obliquely upward. Further, the light projecting unit 151 is disposed below the conveyor 11. The light receiving unit 152 is configured to receive visible light projected from the light projecting unit 151. The light receiving unit 152 is disposed on the upper side of the conveyor 11.

ストッパー111は、コンベア11により搬送される基板2を所定の搬送位置で停止させて基板2を位置決めするために設けられている。また、ストッパー111は、コンベア11の下側に配置されている。また、ストッパー111は、基板2を停止させる際に、上側に突出するように移動される。また、ストッパー111は、基板2を通過させる際に、コンベア11の下側に退くように移動される。なお、ストッパー111を上側(基板2を停止させる位置)に移動させる動作は、ストッパー111近傍の基板検知センサ15により、基板2を検知していない場合に行われる。   The stopper 111 is provided to position the substrate 2 by stopping the substrate 2 conveyed by the conveyor 11 at a predetermined conveyance position. Further, the stopper 111 is disposed on the lower side of the conveyor 11. The stopper 111 is moved so as to protrude upward when the substrate 2 is stopped. Further, the stopper 111 is moved so as to retreat to the lower side of the conveyor 11 when the substrate 2 is passed. The operation of moving the stopper 111 upward (position where the substrate 2 is stopped) is performed when the substrate 2 is not detected by the substrate detection sensor 15 in the vicinity of the stopper 111.

制御装置16は、コンピュータを構成要素にして部品実装装置100に搭載されている。また、制御装置16は、X軸モータ132、Y軸モータ143、Z軸モータ125およびR軸モータ126を予め記憶されたプログラムに従って駆動制御して、基板2に部品4の実装作業を行うように構成されている。具体的には、制御装置16は、ヘッドユニット12を部品供給部3(テープフィーダ3a)の上方に移動させるとともに、負圧発生機(図示せず)により発生させた負圧によって各ヘッド122のノズル123により部品4を吸着させる。   The control device 16 is mounted on the component mounting apparatus 100 with a computer as a component. In addition, the control device 16 drives and controls the X-axis motor 132, the Y-axis motor 143, the Z-axis motor 125, and the R-axis motor 126 according to a program stored in advance, so that the component 4 is mounted on the board 2. It is configured. Specifically, the control device 16 moves the head unit 12 above the component supply unit 3 (tape feeder 3a), and at the same time, the negative pressure generated by a negative pressure generator (not shown) of each head 122. The component 4 is adsorbed by the nozzle 123.

そして、制御装置16は、ヘッドユニット12を基板2上へ移動させる。この移動途中、ヘッドユニット12を部品認識カメラ17を経由させて各ヘッド122のノズル123に吸着された部品4がそれぞれ部品認識カメラ17により撮影される。撮影された画像に基づいて各ヘッド122(ノズル123)に吸着された部品4の実装位置補正が行われる。そして、ヘッドユニット12が基板2上へ到達すると、各ヘッド122が昇降駆動されるとともに、所定のタイミングでノズル123への負圧の供給が停止されることによって吸着された部品4が基板2上に実装(装着)される。   Then, the control device 16 moves the head unit 12 onto the substrate 2. During the movement, the component recognition camera 17 photographs each of the components 4 sucked by the nozzles 123 of the heads 122 through the component recognition camera 17. Based on the photographed image, the mounting position of the component 4 sucked by each head 122 (nozzle 123) is corrected. When the head unit 12 reaches the substrate 2, each head 122 is driven up and down, and the suctioned component 4 is stopped on the substrate 2 by stopping the supply of the negative pressure to the nozzle 123 at a predetermined timing. Mounted (mounted).

部品認識カメラ17は、基台1の上面上に固定的に設置されている。また、部品認識カメラ17は、部品4の実装に先立って部品4の吸着状態を認識するためにノズル123に吸着された部品4を撮像するように構成されている。また、部品認識カメラ17は、各ヘッド122のノズル123に吸着された部品4をその下側から撮影するように構成されている。これにより、部品4の吸着姿勢(回転姿勢およびノズル123に対する吸着位置)を取得することが可能である。   The component recognition camera 17 is fixedly installed on the upper surface of the base 1. The component recognition camera 17 is configured to image the component 4 sucked by the nozzle 123 in order to recognize the suction state of the component 4 prior to mounting the component 4. The component recognition camera 17 is configured to photograph the component 4 adsorbed by the nozzle 123 of each head 122 from below. Thereby, it is possible to acquire the suction posture of the component 4 (the rotation posture and the suction position with respect to the nozzle 123).

通知部18は、基板検知センサ15の検知状態に基づいて異常を通知するように構成されている。たとえば、通知部18は、表示部を含み、基板検知センサ15の異常を表示することにより通知する。また、通知部18は、音声により異常を通知してもよい。   The notification unit 18 is configured to notify an abnormality based on the detection state of the substrate detection sensor 15. For example, the notification unit 18 includes a display unit and notifies by displaying an abnormality of the substrate detection sensor 15. The notification unit 18 may notify the abnormality by voice.

ノズルステーション19は、ヘッド122に取り付けられるノズル123が各種載置されるように構成されている。また、ノズルステーション19には、ダミー基板150(図3参照)が載置されるように構成されている。ダミー基板150は、ヘッド122により、基板検知センサ15の検知位置に移動されて、基板検知センサ15の検知位置に基板2がある状態を作り出すように構成されている。また、ダミー基板150は、少なくとも基板2の一部と同じ形状の部分(XY平面に延びる部分)を有している。たとえば、ダミー基板150は、XY平面に広がる板状部分150aと、板状部分150aから上方向(Z方向)に延びる円柱部分150bとを含む。円柱部分150bの外周構成は、ヘッド122に装着可能とされるノズル123の上部装着部の外周構成と同等のものであり、ダミー基板150は、ノズルの代わりにヘッド122に取り付けられる。なお、ダミー基板150は、ヘッド122にノズル123を取り付けた上で、ノズル123に吸着される板状部分150aのみの構成でもよい。   The nozzle station 19 is configured such that various types of nozzles 123 attached to the head 122 are placed. Further, the nozzle station 19 is configured to place a dummy substrate 150 (see FIG. 3). The dummy substrate 150 is configured to move to the detection position of the substrate detection sensor 15 by the head 122 to create a state in which the substrate 2 is at the detection position of the substrate detection sensor 15. The dummy substrate 150 has at least a portion having the same shape as a portion of the substrate 2 (a portion extending in the XY plane). For example, the dummy substrate 150 includes a plate-like portion 150a extending in the XY plane and a columnar portion 150b extending upward (Z direction) from the plate-like portion 150a. The outer peripheral configuration of the cylindrical portion 150b is the same as the outer peripheral configuration of the upper mounting portion of the nozzle 123 that can be mounted on the head 122, and the dummy substrate 150 is attached to the head 122 instead of the nozzle. Note that the dummy substrate 150 may have only the plate-like portion 150 a that is attracted to the nozzle 123 after the nozzle 123 is attached to the head 122.

ここで、第1実施形態では、制御装置16は、図3に示すように、基板2がコンベア11の所定の搬送位置に位置していない状態において、ヘッド122を移動させて基板検知センサ15が基板2を検知する位置に基板2があたかも存在する状態を作り出す(基板があるのと同等の状態を作り出す)ことにより、基板検知センサ15の検知状態を診断するように構成されている。具体的には、制御装置16は、基板2がコンベア11の所定の搬送位置に位置していない状態において、基板検知センサ15の検知位置(投光部151から受光部152に投光される光を遮る位置)にヘッド122に取り付けられたダミー基板150を移動させることにより、基板検知センサ15の検知状態を診断するように構成されている。   Here, in the first embodiment, as shown in FIG. 3, the control device 16 moves the head 122 so that the substrate detection sensor 15 moves when the substrate 2 is not positioned at a predetermined transport position of the conveyor 11. The detection state of the substrate detection sensor 15 is diagnosed by creating a state in which the substrate 2 exists at a position where the substrate 2 is detected (creating a state equivalent to the presence of the substrate). Specifically, the control device 16 detects the position detected by the substrate detection sensor 15 (light projected from the light projecting unit 151 to the light receiving unit 152 in a state where the substrate 2 is not located at a predetermined transport position of the conveyor 11. The dummy substrate 150 attached to the head 122 is moved to a position where the substrate detection sensor 15 is blocked, thereby diagnosing the detection state of the substrate detection sensor 15.

また、制御装置16は、基板2がコンベア11の所定の搬送位置に位置していない状態において、基板検知センサ15の検知位置にダミー基板150が位置する状態と、基板検知センサ15の検知位置にダミー基板150が位置しない状態とに、ヘッド122を移動させて切り替えることにより、基板検知センサ15の検知状態を診断するように構成されている。   The control device 16 also sets the dummy substrate 150 at the detection position of the substrate detection sensor 15 and the detection position of the substrate detection sensor 15 in a state where the substrate 2 is not located at the predetermined transport position of the conveyor 11. The detection state of the substrate detection sensor 15 is diagnosed by moving the head 122 to switch to a state where the dummy substrate 150 is not located.

また、制御装置16は、基板検知センサ15の検知位置に移動されたダミー基板150を検知しない場合に、ダミー基板150を基板2を検知する位置から所定の範囲内で移動させながら、基板検知センサ15の検知状態を診断し、基板検知センサ15によりダミー基板150を検知した位置を調整データとして保存するように構成されている。具体的には、制御装置16は、基板検知センサ15の診断結果から検知位置のダミー基板150を検知しない場合、ヘッド122を水平方向(XY方向)および上下方向(Z方向)に移動させて、基板検知センサ15がダミー基板150を検知する位置を探索する。そして、制御装置16は、基板検知センサ15がダミー基板150を検知した位置を検知位置として調整データに保存する。また、制御装置16は、保存した調整データを次回以降の基板検知センサ15の診断に使用する。また、制御装置16は、ヘッド122を移動させた場合でも基板検知センサ15の検知位置が特定できなかった場合、通知部18にエラーメッセージを表示させる。   Further, when the control device 16 does not detect the dummy substrate 150 moved to the detection position of the substrate detection sensor 15, the control device 16 moves the dummy substrate 150 within a predetermined range from the position where the substrate 2 is detected. The detection state of 15 is diagnosed, and the position where the dummy substrate 150 is detected by the substrate detection sensor 15 is stored as adjustment data. Specifically, when the control device 16 does not detect the dummy substrate 150 at the detection position from the diagnosis result of the substrate detection sensor 15, the control device 16 moves the head 122 in the horizontal direction (XY direction) and the vertical direction (Z direction), The substrate detection sensor 15 searches for a position where the dummy substrate 150 is detected. Then, the control device 16 stores the position where the substrate detection sensor 15 has detected the dummy substrate 150 as the detection position in the adjustment data. Further, the control device 16 uses the stored adjustment data for the diagnosis of the substrate detection sensor 15 from the next time. Further, the control device 16 causes the notification unit 18 to display an error message when the detection position of the substrate detection sensor 15 cannot be specified even when the head 122 is moved.

また、制御装置16は、基板検知センサ15の検知位置に移動されたダミー基板150を検知しない場合に、基板認識カメラ124により、基板検知センサ15周辺を撮像し、基板検知センサ15の状態を診断するように構成されている。具体的には、制御装置16は、基板認識カメラ124の撮像により基板検知センサ15の投光部151から光が投光されているか否かを診断する。また、制御装置16は、基板認識カメラ124の撮像により基板検知センサ15の投光部151および受光部152の設置位置が正しいか否かを診断する。なお、制御装置16は、基板検知センサ15の投光部151および受光部152の正しい設置位置の状態と、撮像した画像とを比較して基板検知センサ15の設置位置を診断する。また、制御装置6は、基板認識カメラ124の撮像により基板検知センサ15の近傍に異物が有るか否かを診断する。   Further, when the control device 16 does not detect the dummy substrate 150 moved to the detection position of the substrate detection sensor 15, the substrate recognition camera 124 images the periphery of the substrate detection sensor 15 and diagnoses the state of the substrate detection sensor 15. Is configured to do. Specifically, the control device 16 diagnoses whether or not light is being projected from the light projecting unit 151 of the substrate detection sensor 15 by imaging by the substrate recognition camera 124. Further, the control device 16 diagnoses whether or not the installation positions of the light projecting unit 151 and the light receiving unit 152 of the substrate detection sensor 15 are correct based on the image captured by the substrate recognition camera 124. Note that the control device 16 diagnoses the installation position of the substrate detection sensor 15 by comparing the state of the correct installation position of the light projecting unit 151 and the light receiving unit 152 of the substrate detection sensor 15 with the captured image. Further, the control device 6 diagnoses whether or not there is a foreign object near the substrate detection sensor 15 based on the image captured by the substrate recognition camera 124.

次に、図4を参照して、部品実装装置100の制御装置16が行う基板作業処理について説明する。   Next, a board work process performed by the control device 16 of the component mounting apparatus 100 will be described with reference to FIG.

ステップS1において、部品実装装置100の電源がONにされると、ヘッドユニット12のX軸およびY軸の原点復帰動作が行われる。ステップS2において、基板検知センサ15のチェック(診断)が行われる。なお、基板検知センサ15のチェック(診断)処理についての詳細は後述する。ステップS3において、部品実装装置100に搬入される基板データが読み出される。具体的には、基板2の種類および数、搭載する部品4の種類および数などの情報を含む基板データが読み出される。   In step S1, when the power of the component mounting apparatus 100 is turned on, the X-axis and Y-axis origin return operations of the head unit 12 are performed. In step S2, the substrate detection sensor 15 is checked (diagnostic). The details of the check (diagnosis) processing of the substrate detection sensor 15 will be described later. In step S3, board data carried into the component mounting apparatus 100 is read. Specifically, substrate data including information such as the type and number of substrates 2 and the type and number of components 4 to be mounted is read.

ステップS4において、ユーザの操作入力が受け付けられる。ステップS5において、終了操作を受け付けたか否かが判断される。具体的には、部品実装装置100をOFFにする操作が行われたか否かが判断される。終了操作を受け付けなければ、ステップS6に進み、終了操作を受け付けたら、ステップS14に進む。   In step S4, a user operation input is accepted. In step S5, it is determined whether an end operation has been accepted. Specifically, it is determined whether or not an operation for turning off the component mounting apparatus 100 has been performed. If the end operation is not accepted, the process proceeds to step S6. If the end operation is accepted, the process proceeds to step S14.

ステップS6において、運転開始操作を受け付けたか否かを判断する。具体的には、部品実装動作の開始操作が行われたか否かを判断する。運転開始操作を受け付けたら、ステップS7に進み、運転開始操作を受け付けなければ、ステップS4に戻る。ステップS7において、運転開始処理が行われる。   In step S6, it is determined whether a driving start operation has been accepted. Specifically, it is determined whether or not a component mounting operation start operation has been performed. If the operation start operation is accepted, the process proceeds to step S7. If the operation start operation is not accepted, the process returns to step S4. In step S7, an operation start process is performed.

ステップS8において、運転停止の操作を受け付けたか否かを判断する。運転停止の操作を受け付けたら、ステップS4に戻り、運転停止の操作を受け付けなければ、ステップS9に進む。ステップS9において、基板検知センサ15のチェック(診断)を行うか否かを判断する。具体的には、部品実装動作の運転中に定期的に基板検知センサ15のチェックが行われる。たとえば、所定の枚数の基板2の実装毎や、所定の時間毎に基板検知センサ15のチェックが行われる。基板検知センサ15のチェックを行う場合、ステップS10に進み、基板検知センサ15のチェックを行わない場合、ステップS11に進む。   In step S8, it is determined whether an operation for stopping operation has been accepted. If an operation for stopping operation is accepted, the process returns to step S4. If an operation for stopping operation is not accepted, the process proceeds to step S9. In step S9, it is determined whether or not to check (diagnose) the substrate detection sensor 15. Specifically, the substrate detection sensor 15 is periodically checked during the component mounting operation. For example, the substrate detection sensor 15 is checked every time a predetermined number of substrates 2 are mounted or every predetermined time. If the substrate detection sensor 15 is checked, the process proceeds to step S10. If the substrate detection sensor 15 is not checked, the process proceeds to step S11.

ステップS10において、基板検知センサ15のチェック(診断)が行われる。ステップS11において、基板2が搬入される。具体的には、部品実装装置100の上流の装置から基板2を受け取り、受け取った基板2をコンベア11により部品実装(作業)位置に移動させる。ステップS12において、基板2に対して作業が行われる。具体的には、基板2に部品4が実装される。ステップS13において、基板2が搬出される。つまり、作業が終了した(部品4が実装された)基板2が下流の装置に受け渡される。その後、ステップS8に戻る。   In step S10, the substrate detection sensor 15 is checked (diagnostic). In step S11, the substrate 2 is carried in. Specifically, the board 2 is received from an apparatus upstream of the component mounting apparatus 100, and the received board 2 is moved to the component mounting (work) position by the conveyor 11. In step S12, an operation is performed on the substrate 2. Specifically, the component 4 is mounted on the substrate 2. In step S13, the substrate 2 is unloaded. That is, the substrate 2 on which the work has been completed (the component 4 is mounted) is delivered to the downstream apparatus. Thereafter, the process returns to step S8.

ステップS5において終了操作を受け付けた場合、ステップS14において、ヘッドユニット12がX軸およびY軸において原点に移動された後、電源が遮断(OFF)されて、基板作業処理が終了する。   When an end operation is received in step S5, in step S14, after the head unit 12 is moved to the origin in the X axis and the Y axis, the power is turned off (OFF), and the substrate work process is ended.

次に、図5を参照して、部品実装装置100の制御装置16が行う基板検知センサチェック処理について説明する。なお、この基板検知センサチェック処理は、図4のステップS2およびステップS10において行われる。   Next, a board detection sensor check process performed by the control device 16 of the component mounting apparatus 100 will be described with reference to FIG. The substrate detection sensor check process is performed in steps S2 and S10 in FIG.

ステップS21において、基板検知センサ15の投光部151の投光がOFFにされる。ステップS22において、基板検知センサ15の受光部152により光を受光したか否かが判断される。ここで、投光部151の投光がOFFにされているので、基板検知センサ15が正常であれば、受光部152により光は受光されない。光を受光しなければ、ステップS23に進み、光を受光すれば、ステップS28に進む。   In step S21, the light projecting unit 151 of the substrate detection sensor 15 is turned off. In step S <b> 22, it is determined whether or not light is received by the light receiving unit 152 of the substrate detection sensor 15. Here, since the light projection of the light projecting unit 151 is turned off, the light is not received by the light receiving unit 152 if the substrate detection sensor 15 is normal. If no light is received, the process proceeds to step S23, and if light is received, the process proceeds to step S28.

ステップS23において、基板検知センサ15の投光部151の投光がONにされる。ステップS24において、基板検知センサ15の受光部152により光を受光したか否かが判断される。ここで、投光部151の投光がONにされているので、基板検知センサ15が正常であれば、受光部152により光が受光される。光を受光すれば、ステップS25に進み、光を受光しなければ、ステップS30に進む。   In step S <b> 23, the light projecting unit 151 of the substrate detection sensor 15 is turned on. In step S <b> 24, it is determined whether light is received by the light receiving unit 152 of the substrate detection sensor 15. Here, since the light projection of the light projecting unit 151 is turned on, the light is received by the light receiving unit 152 if the substrate detection sensor 15 is normal. If light is received, the process proceeds to step S25, and if no light is received, the process proceeds to step S30.

ステップS25において、ダミー基板150が取り付けられたヘッド122が降下されて、基板検知センサ15の検知位置に基板2があたかも存在する状態が作り出される。ステップS26において、基板検知センサ15の受光部152により光を受光したか否かが判断される。ここで、基板検知センサ15の基板検知位置にはダミー基板150があるので、基板検知センサ15が正常であれば、受光部152により光は受光されない。光を受光しなければ、ステップS27に進み、光を受光すれば、ステップS32に進む。   In step S25, the head 122 to which the dummy substrate 150 is attached is lowered to create a state where the substrate 2 is present at the detection position of the substrate detection sensor 15. In step S <b> 26, it is determined whether or not light is received by the light receiving unit 152 of the substrate detection sensor 15. Here, since there is a dummy substrate 150 at the substrate detection position of the substrate detection sensor 15, light is not received by the light receiving unit 152 if the substrate detection sensor 15 is normal. If no light is received, the process proceeds to step S27, and if light is received, the process proceeds to step S32.

ステップS27において、基板検知センサ15が異常なしと判断されて、ダミー基板150が取り付けられたヘッド122が上昇される。その後、基板検知センサチェック処理が終了される。   In step S27, it is determined that the substrate detection sensor 15 is normal, and the head 122 to which the dummy substrate 150 is attached is raised. Thereafter, the substrate detection sensor check process is terminated.

ステップS22において光を受光した場合、ステップS28において、基板認識カメラ124により撮影し、撮影した画像に基づいて画像解析を行い基板検知センサ15の診断を行う。つまり、ステップS28では、基板検知センサ15の投光部151を投光する制御を行う前に、受光部152が受光状態となっている。このため、基板認識カメラ124により投光部151を撮像し、基板検知センサ15の詳しい診断を行う。ここで、図6に示すケース1のように、投光部151が発光していれば(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、投光部151の故障、または、投光部151および受光部152の両方の故障が考えられる。また、投光部151が発光していなければ(「投光部発光?」の欄が「×」の場合)、受光部152の故障が考えられる。ステップS29において、基板認識カメラ124により撮像した画像に基づく診断結果を、エラーメッセージとして通知部18に表示させる。その後、基板検知センサチェック処理が終了される。   If light is received in step S22, the substrate detection camera 124 captures the image, and in step S28, the substrate detection sensor 15 is diagnosed by performing image analysis based on the captured image. That is, in step S28, the light receiving unit 152 is in a light receiving state before performing control for projecting the light projecting unit 151 of the substrate detection sensor 15. For this reason, the light projecting unit 151 is imaged by the substrate recognition camera 124 to perform detailed diagnosis of the substrate detection sensor 15. Here, as in the case 1 shown in FIG. 6, if the light projecting unit 151 emits light (when the “light projecting unit light emission?” Column is “◯”), a failure of the light projecting unit 151, or A failure of both the light projecting unit 151 and the light receiving unit 152 can be considered. Further, if the light projecting unit 151 does not emit light (when the “light projecting unit light emission?” Column is “x”), a failure of the light receiving unit 152 is considered. In step S29, a diagnostic result based on the image captured by the board recognition camera 124 is displayed on the notification unit 18 as an error message. Thereafter, the substrate detection sensor check process is terminated.

ステップS24において光を受光しない場合、ステップS30において、基板認識カメラ124により撮影し、撮影した画像に基づいて画像解析を行い基板検知センサ15の診断を行う。つまり、ステップS30では、基板検知センサ15の投光部151を投光した状態で、受光部152による受光がない状態となっている。このため、基板認識カメラ124により基板検知センサ15を撮像し、基板検知センサ15の詳しい診断を行う。   When light is not received in step S24, in step S30, the board | substrate recognition camera 124 image | photographs, image analysis is performed based on the image | photographed image, and the board | substrate detection sensor 15 is diagnosed. That is, in step S30, the light projecting unit 151 of the substrate detection sensor 15 is projected and the light receiving unit 152 does not receive light. For this reason, the board recognition sensor 124 images the board detection sensor 15 and performs detailed diagnosis of the board detection sensor 15.

ここで、図6に示すケース2のように、投光部151が発光していなければ(「投光部発光?」の欄が「×」の場合)、投光部151の故障、または、投光部151および受光部152の両方の故障が考えられる。また、投光部151が発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、かつ、基板検知センサ15の位置が画像解析によって正しくないと診断された場合(「センサ位置正しい?」の欄が「×」の場合)、基板検知センサ15の位置の不良が考えられる。また、投光部151が発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、基板検知センサ15の位置が正しい場合(「センサ位置正しい?」の欄が「○」の場合)、かつ、画像解析によってコンベア11上に異物があると診断された場合(「コンベア上異物あり?」の欄が「×」の場合)、コンベア11上に異物があると考えられる。また、投光部151が発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、基板検知センサ15の位置が正しいと診断された場合(「センサ位置正しい?」の欄が「○」の場合)、かつ、コンベア11上に異物がないと診断された場合(「コンベア上異物あり?」の欄が「○」の場合)、光軸のずれ、または、受光部152の故障が考えられる。   Here, as in the case 2 shown in FIG. 6, if the light projecting unit 151 does not emit light (when the “light projecting unit light emission?” Column is “x”), a failure of the light projecting unit 151, or A failure of both the light projecting unit 151 and the light receiving unit 152 can be considered. In addition, when the light projecting unit 151 emits light (when the “projection unit light emitting?” Column is “◯”), and the position of the substrate detection sensor 15 is diagnosed as incorrect by image analysis (“ If the sensor position is correct? Column is “x”), the substrate detection sensor 15 may be defective. Further, when the light projecting unit 151 emits light (when the “projection unit light emitting?” Column is “◯”), and the position of the substrate detection sensor 15 is correct (the “sensor position is correct?” Column is “○”). ”) And when it is diagnosed by image analysis that there is a foreign object on the conveyor 11 (when the“ existing foreign object on the conveyor? ”Column is“ X ”), it is considered that there is a foreign object on the conveyor 11. . In addition, when the light projecting unit 151 emits light (when the “light projecting unit light emission?” Column is “◯”) and the position of the substrate detection sensor 15 is diagnosed (“sensor position correct?” When the column is “◯”) and when it is diagnosed that there is no foreign matter on the conveyor 11 (when “There is a foreign matter on the conveyor?” Column is “O”), the optical axis shift or the light receiving unit There are 152 possible failures.

ステップS31において、基板認識カメラ124により撮像した画像に基づく診断結果を、エラーメッセージとして通知部18に表示させる。その後、基板検知センサチェック処理が終了される。   In step S31, a diagnostic result based on an image captured by the board recognition camera 124 is displayed on the notification unit 18 as an error message. Thereafter, the substrate detection sensor check process is terminated.

ステップS26において光を受光した場合、ステップS32において、ダミー基板150が取り付けられたヘッド122が上昇される。その後、ステップS33において、基板認識カメラ124により撮影し、撮影した画像に基づいて画像解析を行い基板検知センサ15の診断を行う。つまり、ステップS32でヘッド122を上昇させる前の状態では、基板検知センサ15の検知位置にダミー基板150が位置している状態で、受光部152が受光状態となっている。このため、基板認識カメラ124により基板検知センサ15を撮像し、基板検知センサ15の詳しい診断を行う。ここで、図6に示すケース3のように、投光部151が発光していなければ(「投光部発光?」の欄が「×」の場合)、投光部151および受光部152の両方の故障が考えられる。また、投光部151が発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、かつ、基板検知センサ15の位置が画像解析によって正しくないとされる場合(「センサ位置正しい?」の欄が「×」の場合)、基板検知センサ15の位置の不良が考えられる。また、投光部151が発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、かつ、基板検知センサ15の位置が正しいとされる場合(「センサ位置正しい?」の欄が「○」の場合)、受光部152の故障が考えられる。   If light is received in step S26, the head 122 to which the dummy substrate 150 is attached is raised in step S32. Thereafter, in step S33, the substrate recognition camera 124 captures an image, performs image analysis based on the captured image, and diagnoses the substrate detection sensor 15. That is, in the state before the head 122 is raised in step S <b> 32, the light receiving unit 152 is in the light receiving state with the dummy substrate 150 positioned at the detection position of the substrate detection sensor 15. For this reason, the board recognition sensor 124 images the board detection sensor 15 and performs detailed diagnosis of the board detection sensor 15. Here, as in the case 3 shown in FIG. 6, if the light projecting unit 151 does not emit light (when the “projection unit light emission?” Column is “x”), the light projecting unit 151 and the light receiving unit 152 Both failures are possible. Further, when the light projecting unit 151 emits light (when the “projection unit light emitting?” Column is “◯”), and the position of the substrate detection sensor 15 is determined to be incorrect by image analysis (“sensor If the “Position correct?” Column is “X”), the substrate detection sensor 15 may be defective. Further, when the light projecting unit 151 emits light (when the “light projecting unit light emission?” Column is “◯”) and the position of the substrate detection sensor 15 is correct (“sensor position correct?”). In the case of “◯” in FIG. 9), a failure of the light receiving unit 152 is considered.

ステップS34において、基板認識カメラ124により撮像した画像に基づく診断結果を、エラーメッセージとして通知部18に表示させる。その後、基板検知センサチェック処理が終了される。   In step S34, a diagnostic result based on the image captured by the board recognition camera 124 is displayed on the notification unit 18 as an error message. Thereafter, the substrate detection sensor check process is terminated.

次に、図7を参照して、部品実装装置100の制御装置16が行う基板検知センサ調整処理について説明する。なお、この基板検知センサ調整処理では、基板検知センサ15の位置や、受光部152の感度が調整される。また、この基板検知センサ調整処理は、部品実装装置100の組み立て時や、据え付け時に行われる。   Next, a board detection sensor adjustment process performed by the control device 16 of the component mounting apparatus 100 will be described with reference to FIG. In the substrate detection sensor adjustment process, the position of the substrate detection sensor 15 and the sensitivity of the light receiving unit 152 are adjusted. The board detection sensor adjustment process is performed when the component mounting apparatus 100 is assembled or installed.

ステップS41において、基板検知センサ15(投光部151および受光部152)の位置と、受光部152の位置が調整される。ステップS42において、図5の基板検知センサ15のチェック処理が行われる。ステップS43において、基板検知センサチェックの結果が確認される。   In step S41, the position of the substrate detection sensor 15 (light projecting unit 151 and light receiving unit 152) and the position of the light receiving unit 152 are adjusted. In step S42, the substrate detection sensor 15 shown in FIG. 5 is checked. In step S43, the result of the substrate detection sensor check is confirmed.

ステップS44において、基板検知センサチェックの結果エラーがあるか否かが判断される。エラーがなければ、ステップS45に進み、基板検知センサ15の位置および感度が良好であると判断され、基板検知センサ調整処理が終了される。エラーがあれば、ステップS46に進み、基板検知センサ15の位置または感度が不良と判断し、ステップS41に戻る。   In step S44, it is determined whether there is an error as a result of the substrate detection sensor check. If there is no error, the process proceeds to step S45, where it is determined that the position and sensitivity of the substrate detection sensor 15 are good, and the substrate detection sensor adjustment process is terminated. If there is an error, the process proceeds to step S46, where it is determined that the position or sensitivity of the substrate detection sensor 15 is defective, and the process returns to step S41.

第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。   In the first embodiment, the following effects can be obtained.

第1実施形態では、上記のように、基板2がコンベア11の所定の搬送位置に位置していない状態において、ヘッド122を移動させて基板検知センサ15が基板2を検知する位置に基板2があたかも存在する状態を作り出す(基板があるのと同等の状態を作り出す)ことにより、基板検知センサ15の検知状態を診断する制御装置16を設けることによって、ユーザが実際に基板2を搬入することなく基板検知センサ15の検知状態を診断することができるので、基板2を所定の搬送位置において検知する基板検知センサ15の不具合を診断するためのユーザの作業負担を軽減することができる。   In the first embodiment, as described above, in a state where the substrate 2 is not positioned at the predetermined transport position of the conveyor 11, the substrate 2 is moved to a position where the substrate detection sensor 15 detects the substrate 2 by moving the head 122. By providing a control device 16 for diagnosing the detection state of the substrate detection sensor 15 by creating a state as if it exists (creating a state equivalent to the presence of the substrate), the user does not actually carry in the substrate 2 Since the detection state of the substrate detection sensor 15 can be diagnosed, it is possible to reduce the work burden on the user for diagnosing a defect in the substrate detection sensor 15 that detects the substrate 2 at a predetermined transfer position.

また、第1実施形態では、上記のように、ヘッド122には、基板検知センサ15の検知位置に基板2があたかも存在する状態を作り出すダミー基板150が取り付けられるように構成されており、制御装置16を、基板2がコンベア11の所定の検知位置に位置していない状態において、基板検知センサ15の検知位置にヘッド122に取り付けられたダミー基板150を移動させることにより、基板検知センサ15の検知状態を診断するように構成する。これにより、ヘッド122に取り付けられたダミー基板150を基板2の代わりに自動的に検知位置に位置させて、基板検知センサ15の不具合を容易に診断することができる。   In the first embodiment, as described above, the head 122 is configured such that the dummy substrate 150 that creates a state in which the substrate 2 exists at the detection position of the substrate detection sensor 15 is attached to the control device. 16 is detected by the substrate detection sensor 15 by moving the dummy substrate 150 attached to the head 122 to the detection position of the substrate detection sensor 15 in a state where the substrate 2 is not positioned at the predetermined detection position of the conveyor 11. Configure to diagnose the condition. Thereby, the dummy board | substrate 150 attached to the head 122 can be automatically located in a detection position instead of the board | substrate 2, and the malfunction of the board | substrate detection sensor 15 can be diagnosed easily.

なお、コンベア11により基板2を所定の検知位置から搬出する際に下側に位置するストッパー111は、基板2の搬出が完了した(これはストッパー111近傍の基板検知センサ15により、基板2が検知されない状態に変化したことに基づき制御装置16により判断される)後、次の上流側の基板2をその所定の検知位置で停止させるため、上側に突出するように移動される。この際、基板検知センサ15によりまだ搬送中の基板2を検知できなかった場合には、搬出中の基板2をストッパー111により跳ね上げるなどの不具合が発生する。しかしながら、基板検知センサ15の故障(不具合)を検出することができるので、基板検知センサ15により基板2を検知できなかったことに起因して、ストッパー111により基板2を跳ね上げるなどの不具合が発生するのを確実に防止することができる。   The stopper 111 positioned on the lower side when the substrate 2 is unloaded from the predetermined detection position by the conveyor 11 has completed the unloading of the substrate 2 (this is detected by the substrate detection sensor 15 in the vicinity of the stopper 111. After that, the control device 16 determines that the next upstream substrate 2 is moved to protrude upward in order to stop at the predetermined detection position. At this time, if the substrate detection sensor 15 cannot detect the substrate 2 that is still being transported, a problem such as the substrate 111 being carried out jumping up by the stopper 111 occurs. However, since a failure (problem) of the substrate detection sensor 15 can be detected, a failure such as the substrate 2 jumping up by the stopper 111 occurs due to the fact that the substrate 2 could not be detected by the substrate detection sensor 15. Can be surely prevented.

また、第1実施形態では、上記のように、制御装置16を、基板2がコンベア11の所定の搬送位置に位置していない状態において、基板検知センサ15の検知位置にダミー基板150が位置する状態と、基板検知センサ15の検知位置にダミー基板150が位置しない状態とに、ヘッド122を移動させて切り替えることにより、基板検知センサ15の検知状態を診断するように構成する。これにより、基板2が検知位置に位置していない状態において基板検知センサ15が基板2を検知する状態になるという不具合を確実に検出することができるとともに、基板2が検知位置に位置している状態において基板検知センサ15が基板2を検知しないという不具合を確実に検出することができる。   In the first embodiment, as described above, the dummy substrate 150 is positioned at the detection position of the substrate detection sensor 15 in the state where the control device 16 is not positioned at the predetermined transport position of the conveyor 11. The detection state of the substrate detection sensor 15 is diagnosed by moving the head 122 between the state and the state where the dummy substrate 150 is not positioned at the detection position of the substrate detection sensor 15. Thereby, while the board | substrate 2 is not located in the detection position, the malfunction that the board | substrate detection sensor 15 will be in the state which detects the board | substrate 2 can be detected reliably, and the board | substrate 2 is located in the detection position. It is possible to reliably detect the problem that the substrate detection sensor 15 does not detect the substrate 2 in the state.

また、第1実施形態では、上記のように、制御装置16を、基板検知センサ15の検知位置に移動されたダミー基板150を検知しない場合に、ダミー基板150を基板2を検知する位置から所定の範囲内で移動させながら、基板検知センサ15の検知状態を診断し、基板検知センサ15によりダミー基板150を検知した位置を調整データとして保存するように構成する。これにより、基板検知センサ15の検知位置を正確に検出することができるとともに、正確に検出した検知位置を調整データとして保存することにより、次回の基板検知センサ15の検知状態を診断する際に、保存された調整データの検知位置にダミー基板150を直接移動させることができるので、診断時間を短縮することができる。   In the first embodiment, as described above, when the control device 16 does not detect the dummy substrate 150 moved to the detection position of the substrate detection sensor 15, the dummy substrate 150 is predetermined from the position where the substrate 2 is detected. , The detection state of the substrate detection sensor 15 is diagnosed, and the position where the dummy substrate 150 is detected by the substrate detection sensor 15 is stored as adjustment data. As a result, the detection position of the substrate detection sensor 15 can be accurately detected, and when the detection position of the substrate detection sensor 15 is diagnosed next time by storing the accurately detected detection position as adjustment data, Since the dummy substrate 150 can be directly moved to the detection position of the stored adjustment data, the diagnosis time can be shortened.

また、第1実施形態では、上記のように、制御装置16を、基板検知センサ15の検知位置に移動されたダミー基板150を検知しない場合に、基板認識カメラ124により、基板検知センサ15周辺を撮像し、基板検知センサ15の状態を診断するように構成する。これにより、基板認識カメラ124により撮像された画像に基づいて基板検知センサ15の不具合をさらに詳しく診断することができる。   In the first embodiment, as described above, when the control device 16 does not detect the dummy substrate 150 that has been moved to the detection position of the substrate detection sensor 15, the substrate recognition sensor 124 allows the periphery of the substrate detection sensor 15 to be detected. An image is taken and the state of the substrate detection sensor 15 is diagnosed. Thereby, the malfunction of the board | substrate detection sensor 15 can be diagnosed in more detail based on the image imaged with the board | substrate recognition camera 124. FIG.

また、第1実施形態では、上記のように、基板検知センサ15の検知状態に基づいて異常を通知する通知部18を設けることによって、基板検知センサ15の故障などの異常をユーザが容易に認識することができる。   In the first embodiment, as described above, by providing the notification unit 18 that notifies the abnormality based on the detection state of the substrate detection sensor 15, the user can easily recognize an abnormality such as a failure of the substrate detection sensor 15. can do.

(第1実施形態の変形例)
上記第1実施形態では、透過型の基板検知センサを用いる例を説明したが、反射型の基板検知センサを用いてもよい。
(Modification of the first embodiment)
In the first embodiment, the example using the transmission type substrate detection sensor has been described, but a reflection type substrate detection sensor may be used.

具体的には、基板検知センサ15は、コンベア11により搬送された基板2を所定の搬送位置において検知するように構成されている。また、図2に示すように、基板検知センサ15は、投光部151aと、受光部152aとを含む。また、基板検知センサ15は、投光部151aから投光された可視光が基板2により反射されて受光部152aに受光されることによって基板2の位置を検知する反射型のセンサとして構成されている。   Specifically, the substrate detection sensor 15 is configured to detect the substrate 2 conveyed by the conveyor 11 at a predetermined conveyance position. As shown in FIG. 2, the substrate detection sensor 15 includes a light projecting unit 151a and a light receiving unit 152a. The substrate detection sensor 15 is configured as a reflective sensor that detects the position of the substrate 2 when the visible light projected from the light projecting unit 151a is reflected by the substrate 2 and received by the light receiving unit 152a. Yes.

次に、図8を参照して、第1実施形態の変形例による部品実装装置100の制御装置16が行う基板検知センサチェック処理について説明する。   Next, a board detection sensor check process performed by the control device 16 of the component mounting apparatus 100 according to the modification of the first embodiment will be described with reference to FIG.

ステップS51において、基板検知センサ15の投光部151aの投光がOFFにされる。ステップS52において、基板検知センサ15の受光部152aにより光を受光したか否かが判断される。ここで、投光部151aの投光がOFFにされているので、基板検知センサ15が正常であれば、受光部152aにより光は受光されない。光を受光しなければ、ステップS53に進み、光を受光すれば、ステップS58に進む。   In step S51, the light projecting unit 151a of the substrate detection sensor 15 is turned off. In step S52, it is determined whether or not light is received by the light receiving unit 152a of the substrate detection sensor 15. Here, since the light projection of the light projecting unit 151a is turned off, if the substrate detection sensor 15 is normal, no light is received by the light receiving unit 152a. If no light is received, the process proceeds to step S53, and if light is received, the process proceeds to step S58.

ステップS53において、基板検知センサ15の投光部151aの投光がONにされる。ステップS54において、基板検知センサ15の受光部152aにより光を受光したか否かが判断される。ここで、投光部151aの投光がONにされていても、基板2が検知位置に位置していないので、基板検知センサ15が正常であれば、受光部152aにより光は受光されない。光を受光しなければ、ステップS55に進み、光を受光すれば、ステップS60に進む。   In step S53, the light projecting unit 151a of the substrate detection sensor 15 is turned on. In step S54, it is determined whether light is received by the light receiving unit 152a of the substrate detection sensor 15. Here, even if the light projection of the light projecting unit 151a is turned on, the substrate 2 is not located at the detection position. Therefore, if the substrate detection sensor 15 is normal, no light is received by the light receiving unit 152a. If no light is received, the process proceeds to step S55, and if light is received, the process proceeds to step S60.

ステップS55において、ダミー基板150が取り付けられたヘッド122が降下されて、基板検知センサ15の検知位置に基板2があたかも存在する状態が作り出される。ステップS56において、基板検知センサ15の受光部152aにより光を受光したか否かが判断される。ここで、基板検知センサ15の基板検知位置にはダミー基板150があるので、基板検知センサ15が正常であれば、受光部152aにより光が受光される。光を受光すれば、ステップS57に進み、光を受光しなければ、ステップS62に進む。   In step S55, the head 122 to which the dummy substrate 150 is attached is lowered to create a state in which the substrate 2 is present at the detection position of the substrate detection sensor 15. In step S56, it is determined whether or not light is received by the light receiving portion 152a of the substrate detection sensor 15. Here, since there is a dummy substrate 150 at the substrate detection position of the substrate detection sensor 15, if the substrate detection sensor 15 is normal, light is received by the light receiving unit 152a. If light is received, the process proceeds to step S57, and if no light is received, the process proceeds to step S62.

ステップS57において、基板検知センサ15が異常なしと判断されて、ダミー基板150が取り付けられたヘッド122が上昇される。その後、基板検知センサチェック処理が終了される。   In step S57, it is determined that the substrate detection sensor 15 is normal, and the head 122 to which the dummy substrate 150 is attached is raised. Thereafter, the substrate detection sensor check process is terminated.

ステップS52において光を受光した場合、ステップS58において、基板認識カメラ124により撮影し、撮影した画像に基づいて画像解析を行い基板検知センサ15の診断を行う。つまり、ステップS58では、基板検知センサ15の投光部151aを投光する制御を行う前に、受光部152aが受光状態となっている。このため、基板認識カメラ124により投光部151aを撮像し、基板検知センサ15の詳しい診断を行う。ここで、図9に示すケース4のように、投光部151aが発光していれば(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、投光部151aの故障、または、投光部151aおよび受光部152aの両方の故障が考えられる。また、投光部151aが発光していなければ(「投光部発光?」の欄が「×」の場合)、受光部152aの故障が考えられる。ステップS59において、基板認識カメラ124により撮像した画像に基づく診断結果を、エラーメッセージとして通知部18に表示させる。その後、基板検知センサチェック処理が終了される。   When light is received in step S52, in step S58, the board recognition camera 124 takes a picture, and based on the taken picture, image analysis is performed and the board detection sensor 15 is diagnosed. That is, in step S58, the light receiving unit 152a is in a light receiving state before performing control for projecting the light projecting unit 151a of the substrate detection sensor 15. For this reason, the light projecting unit 151a is imaged by the board recognition camera 124, and the board detection sensor 15 is diagnosed in detail. Here, as in the case 4 shown in FIG. 9, if the light projecting unit 151 a emits light (when the “light projecting unit light emission?” Column is “◯”), a failure of the light projecting unit 151 a, or A failure of both the light projecting unit 151a and the light receiving unit 152a can be considered. Further, if the light projecting unit 151a is not emitting light (when the “projection unit light emission?” Column is “x”), a failure of the light receiving unit 152a is considered. In step S59, a diagnostic result based on the image captured by the board recognition camera 124 is displayed on the notification unit 18 as an error message. Thereafter, the substrate detection sensor check process is terminated.

ステップS54において光を受光した場合、ステップS60において、基板認識カメラ124により撮影し、撮影した画像に基づいて画像解析を行い基板検知センサ15の診断を行う。つまり、ステップS60では、基板検知センサ15の投光部151aを投光した状態で、基板2が検知位置に位置していない(光が反射しない)にもかかわらず受光部152aによる受光した状態となっている。このため、基板認識カメラ124により基板検知センサ15を撮像し、基板検知センサ15の詳しい診断を行う。   If light is received in step S54, the substrate detection camera 124 captures the image, and in step S60, the substrate detection sensor 15 is diagnosed by performing image analysis based on the captured image. That is, in step S60, in the state where the light projecting unit 151a of the substrate detection sensor 15 is projected, the light received by the light receiving unit 152a even though the substrate 2 is not positioned at the detection position (the light is not reflected) It has become. For this reason, the board recognition sensor 124 images the board detection sensor 15 and performs detailed diagnosis of the board detection sensor 15.

ここで、図9に示すケース5のように、投光部151aが発光していなければ(「投光部発光?」の欄が「×」の場合)、投光部151aおよび受光部152aの両方の故障が考えられる。また、投光部151aが発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、かつ、基板検知センサ15の位置が画像解析によって正しくないと診断された場合(「センサ位置正しい?」の欄が「×」の場合)、基板検知センサ15の位置の不良が考えられる。また、投光部151aが発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、基板検知センサ15の位置が正しい場合(「センサ位置正しい?」の欄が「○」の場合)、かつ、画像解析によってコンベア11上に異物があると診断された場合(「コンベア上異物あり?」の欄が「×」の場合)、コンベア11上に異物があると考えられる。また、投光部151aが発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、基板検知センサ15の位置が正しいと診断された場合(「センサ位置正しい?」の欄が「○」の場合)、かつ、コンベア11上に異物がないと診断された場合(「コンベア上異物あり?」の欄が「○」の場合)、受光部152aの故障が考えられる。   Here, as in case 5 shown in FIG. 9, if the light projecting unit 151 a is not emitting light (when the “light emitting unit light emitting?” Column is “x”), the light projecting unit 151 a and the light receiving unit 152 a Both failures are possible. In addition, when the light projecting unit 151 a emits light (when the “light projecting unit light emission?” Column is “◯”) and the position of the substrate detection sensor 15 is diagnosed by image analysis (“ If the sensor position is correct? Column is “x”), the substrate detection sensor 15 may be defective. Further, when the light projecting unit 151a emits light (when the “projection unit light emission?” Column is “◯”) and the position of the substrate detection sensor 15 is correct (the “sensor position is correct?” Column indicates “○ ”) And when it is diagnosed by image analysis that there is a foreign object on the conveyor 11 (when the“ existing foreign object on the conveyor? ”Column is“ X ”), it is considered that there is a foreign object on the conveyor 11. . In addition, when the light projecting unit 151a emits light (when the “projection unit light emission?” Column is “◯”) and the position of the substrate detection sensor 15 is diagnosed (“sensor position is correct?” When the column is “◯”) and when it is diagnosed that there is no foreign matter on the conveyor 11 (when the “There is a foreign matter on the conveyor?” Column is “O”), a failure of the light receiving unit 152a is considered.

ステップS61において、基板認識カメラ124により撮像した画像に基づく診断結果を、エラーメッセージとして通知部18に表示させる。その後、基板検知センサチェック処理が終了される。   In step S61, a diagnostic result based on an image captured by the board recognition camera 124 is displayed on the notification unit 18 as an error message. Thereafter, the substrate detection sensor check process is terminated.

ステップS56において光を受光しない場合、ステップS62において、ダミー基板150が取り付けられたヘッド122が上昇される。その後、ステップS63において、基板認識カメラ124により撮影し、撮影した画像に基づいて画像解析を行い基板検知センサ15の診断を行う。つまり、ステップS62においてヘッド122を上昇させる前の状態では、基板検知センサ15の検知位置にダミー基板150が位置している状態で、受光部152aが受光しない状態となっている。このため、基板認識カメラ124により基板検知センサ15を撮像し、基板検知センサ15の詳しい診断を行う。   If no light is received in step S56, the head 122 to which the dummy substrate 150 is attached is raised in step S62. Thereafter, in step S63, the board recognition camera 124 takes a picture, and based on the taken picture, image analysis is performed to diagnose the board detection sensor 15. That is, in the state before raising the head 122 in step S62, the light receiving unit 152a does not receive light while the dummy substrate 150 is located at the detection position of the substrate detection sensor 15. For this reason, the board recognition sensor 124 images the board detection sensor 15 and performs detailed diagnosis of the board detection sensor 15.

ここで、図9に示すケース6のように、投光部151aが発光していなければ(「投光部発光?」の欄が「×」の場合)、投光部151aの故障、または、投光部151aおよび受光部152aの両方の故障が考えられる。また、投光部151aが発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、かつ、画像解析によって基板検知センサ15の位置が正しくないと診断された場合(「センサ位置正しい?」の欄が「×」の場合)、基板検知センサ15の位置の不良が考えられる。また、投光部151aが発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、基板検知センサ15の位置が正しいと診断された場合(「センサ位置正しい?」の欄が「○」の場合)、かつ、画像解析によってコンベア11上に異物があると診断された場合(「コンベア上異物あり?」の欄が「×」の場合)、コンベア11上に異物があると考えられる。また、投光部151aが発光しており(「投光部発光?」の欄が「○」の場合)、基板検知センサ15の位置が正しいと診断された場合(「センサ位置正しい?」の欄が「○」の場合)、かつ、コンベア11上に異物がないと診断された場合(「コンベア上異物あり?」の欄が「○」の場合)、光軸のずれ、または、受光部152aの故障が考えられる。   Here, as in the case 6 shown in FIG. 9, if the light projecting unit 151 a is not emitting light (when the “light emitting unit light emission?” Column is “x”), a failure of the light projecting unit 151 a, or A failure of both the light projecting unit 151a and the light receiving unit 152a can be considered. In addition, when the light projecting unit 151a emits light (when the “projection unit light emitting?” Column is “◯”) and it is diagnosed by image analysis that the position of the substrate detection sensor 15 is not correct (“ If the sensor position is correct? Column is “x”), the substrate detection sensor 15 may be defective. In addition, when the light projecting unit 151a emits light (when the “projection unit light emission?” Column is “◯”) and the position of the substrate detection sensor 15 is diagnosed (“sensor position is correct?” When the column is “◯”) and when it is diagnosed by image analysis that there is a foreign object on the conveyor 11 (when the “existing foreign object on the conveyor?” Field is “X”), the foreign object is present on the conveyor 11. It is believed that there is. In addition, when the light projecting unit 151a emits light (when the “projection unit light emission?” Column is “◯”) and the position of the substrate detection sensor 15 is diagnosed (“sensor position is correct?” When the column is “◯”) and when it is diagnosed that there is no foreign matter on the conveyor 11 (when “There is a foreign matter on the conveyor?” Column is “O”), the optical axis shift or the light receiving unit A failure of 152a is conceivable.

ステップS64において、基板認識カメラ124により撮像した画像に基づく診断結果を、エラーメッセージとして通知部18に表示させる。その後、基板検知センサチェック処理が終了される。   In step S64, a diagnostic result based on the image captured by the board recognition camera 124 is displayed on the notification unit 18 as an error message. Thereafter, the substrate detection sensor check process is terminated.

なお、第1実施形態の変形例のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。   The remaining configuration of the modification of the first embodiment is the same as that of the first embodiment.

(第2実施形態)
次に、図10および図11を参照して、本発明の第2実施形態による印刷装置200について説明する。この第2実施形態では、部品実装装置100に本発明を適用した上記第1実施形態と異なり、印刷装置200に本発明を適用した例について説明する。
(Second Embodiment)
Next, a printing apparatus 200 according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the second embodiment, unlike the first embodiment in which the present invention is applied to the component mounting apparatus 100, an example in which the present invention is applied to the printing apparatus 200 will be described.

印刷装置200は、スクリーン印刷機であり、電子部品を基板2に接合するためのクリーム半田を基板2の表面上に塗布する機能を有している。また、印刷装置200は、図10に示すように、基台201と、制御装置210と、一対のコンベア220と、ヘッドユニット230と、半田供給装置240と、マスク固定部250と、基板検知センサ260と、通知部270とを備える。なお、印刷装置200は、本発明の「基板作業装置」の一例であり、制御装置210は、本発明の「制御部」の一例である。また、コンベア220は、本発明の「基板搬送部」の一例であり、通知部270は、本発明の「異常通知部」の一例である。   The printing apparatus 200 is a screen printing machine, and has a function of applying cream solder for joining electronic components to the substrate 2 on the surface of the substrate 2. In addition, as shown in FIG. 10, the printing apparatus 200 includes a base 201, a control device 210, a pair of conveyors 220, a head unit 230, a solder supply device 240, a mask fixing unit 250, and a substrate detection sensor. 260 and a notification unit 270. The printing apparatus 200 is an example of the “substrate working apparatus” in the present invention, and the control apparatus 210 is an example of the “control unit” in the present invention. Further, the conveyor 220 is an example of the “substrate transport unit” in the present invention, and the notification unit 270 is an example of the “abnormality notification unit” in the present invention.

制御装置210は、コンピュータを構成要素にして印刷装置200に搭載されている。また、制御装置210は、ヘッドユニット230および半田供給装置240を予め記憶されたプログラムに従って駆動制御して、マスク251を介して基板2に半田の印刷作業を行うように構成されている。   The control device 210 is mounted on the printing apparatus 200 with a computer as a component. The control device 210 is configured to drive and control the head unit 230 and the solder supply device 240 in accordance with a program stored in advance, and to perform a solder printing operation on the substrate 2 via the mask 251.

一対のコンベア220は、基板2を水平方向(X方向)に搬送する機能を有する。また、コンベア220は、搬送中の基板2を印刷作業位置で停止させた状態で保持するように構成されている。   The pair of conveyors 220 has a function of transporting the substrate 2 in the horizontal direction (X direction). Further, the conveyor 220 is configured to hold the substrate 2 being conveyed in a state of being stopped at the printing work position.

ヘッドユニット230は、2本のヘッド231と、2本のヘッド231の先端に取り付けられたスキージ232とを含む。また、ヘッド231の先端にはスキージ232の代わりにダミー基板233が取り付け可能に構成されている。ヘッド231は、上下方向(Z方向)に昇降可能に構成されている。また、ヘッド231は、Y方向に移動可能に構成されている。スキージ232は、Y方向に移動されながらペースト状の半田をマスク251上でローリング(混練り)しながら拡張するように構成されている。   The head unit 230 includes two heads 231 and a squeegee 232 attached to the tips of the two heads 231. In addition, a dummy substrate 233 can be attached to the tip of the head 231 instead of the squeegee 232. The head 231 is configured to be movable up and down in the vertical direction (Z direction). The head 231 is configured to be movable in the Y direction. The squeegee 232 is configured to expand while rolling (kneading) the paste-like solder on the mask 251 while moving in the Y direction.

半田供給装置240は、半田をマスク251上に供給するように構成されている。   The solder supply device 240 is configured to supply solder onto the mask 251.

マスク固定部250は、マスク251をコンベア220の上方で固定するように構成されている。   The mask fixing unit 250 is configured to fix the mask 251 above the conveyor 220.

基板検知センサ260は、コンベア220により搬送された基板2を所定の搬送位置において検知するように構成されている。具体的には、基板検知センサ260は、投光部261と、受光部262とを含む。また、基板検知センサ260は、投光部261から受光部262に投光される可視光が基板2により遮断されることによって基板2の位置を検知する透過型のセンサとして構成されている。   The substrate detection sensor 260 is configured to detect the substrate 2 conveyed by the conveyor 220 at a predetermined conveyance position. Specifically, the substrate detection sensor 260 includes a light projecting unit 261 and a light receiving unit 262. The substrate detection sensor 260 is configured as a transmissive sensor that detects the position of the substrate 2 when visible light projected from the light projecting unit 261 to the light receiving unit 262 is blocked by the substrate 2.

投光部261は、可視光を発生させるLED(発光ダイオード)を有する。また、投光部261は、図10に示すように、斜め上方に向けて可視光を投光するように構成されている。また、投光部261は、コンベア220の下側に配置されている。受光部262は、投光部261から投光された可視光を受光するように構成されている。また、受光部262は、コンベア220の上側に配置されている。   The light projecting unit 261 includes an LED (light emitting diode) that generates visible light. Further, as shown in FIG. 10, the light projecting unit 261 is configured to project visible light obliquely upward. The light projecting unit 261 is disposed below the conveyor 220. The light receiving unit 262 is configured to receive visible light projected from the light projecting unit 261. The light receiving unit 262 is disposed on the upper side of the conveyor 220.

通知部270は、基板検知センサ260の検知状態に基づいて異常を通知するように構成されている。たとえば、通知部270は、表示部を含み、基板検知センサ260の異常を表示することにより通知する。また、通知部270は、音声により異常を通知してもよい。   The notification unit 270 is configured to notify an abnormality based on the detection state of the substrate detection sensor 260. For example, the notification unit 270 includes a display unit, and notifies by displaying an abnormality of the substrate detection sensor 260. Further, the notification unit 270 may notify the abnormality by voice.

ここで、第2実施形態では、制御装置210は、図10に示すように、基板2がコンベア220の所定の搬送位置に位置していない状態において、ヘッド231を移動させて基板検知センサ260が基板2を検知する位置に基板2のある状態を作り出すことにより、基板検知センサ260の検知状態を診断するように構成されている。具体的には、制御装置210は、基板2がコンベア220の所定の搬送位置に位置していない状態において、基板検知センサ260の検知位置(投光部261から受光部262に投光される光を遮る位置)にヘッド231に取り付けられたダミー基板233を移動させることにより、基板検知センサ260の検知状態を診断するように構成されている。   Here, in the second embodiment, as shown in FIG. 10, the control device 210 moves the head 231 and causes the substrate detection sensor 260 to move when the substrate 2 is not positioned at a predetermined transfer position of the conveyor 220. The detection state of the substrate detection sensor 260 is diagnosed by creating a certain state of the substrate 2 at a position where the substrate 2 is detected. Specifically, the control device 210 detects the position detected by the substrate detection sensor 260 (light projected from the light projecting unit 261 to the light receiving unit 262 in a state where the substrate 2 is not positioned at a predetermined transport position of the conveyor 220. The dummy substrate 233 attached to the head 231 is moved to a position where the substrate detection sensor 260 is shielded, thereby diagnosing the detection state of the substrate detection sensor 260.

次に、図11を参照して、印刷装置200の制御装置210が行う基板作業(半田印刷)処理について説明する。   Next, a substrate work (solder printing) process performed by the control device 210 of the printing apparatus 200 will be described with reference to FIG.

ステップS71において、印刷装置200の電源がONにされると、ヘッドユニット230のX軸およびY軸の原点復帰動作が行われる。ステップS72において、基板検知センサ260のチェック(診断)処理が行われる。なお、基板検知センサ260のチェック処理では、図5に示す処理と同様の処理が行われる。また、基板検知センサ260のチェック処理の際、マスク251は、取り付けられていない。また、スキージ232の一方の代わりにダミー基板233がヘッド231に取り付けられている。   In step S71, when the power of the printing apparatus 200 is turned on, the X-axis and Y-axis origin return operations of the head unit 230 are performed. In step S72, a check (diagnosis) process of the substrate detection sensor 260 is performed. In the check process of the substrate detection sensor 260, the same process as the process shown in FIG. 5 is performed. Further, the mask 251 is not attached during the check process of the substrate detection sensor 260. A dummy substrate 233 is attached to the head 231 instead of one of the squeegees 232.

基板検知センサ260のチェック処理が終了すると、ステップS73において、マスク251、スキージ232および半田がセットされたか否かが判断される。マスク251、スキージ232および半田がそれぞれセットされるまで、ステップS73の判断が繰り返される。マスク251、スキージ232および半田がセットされると、ステップS74において、印刷装置200に搬入される基板データが読み出される。具体的には、基板2の種類および数などの情報を含む基板データが読み出される。   When the check process of the substrate detection sensor 260 is completed, it is determined in step S73 whether the mask 251, the squeegee 232, and the solder are set. The determination in step S73 is repeated until the mask 251, the squeegee 232, and the solder are set. When the mask 251, the squeegee 232, and the solder are set, the board data carried into the printing apparatus 200 is read in step S74. Specifically, substrate data including information such as the type and number of substrates 2 is read.

ステップS75において、ユーザの操作入力が受け付けられる。ステップS76において、終了操作を受け付けたか否かが判断される。具体的には、印刷装置200をOFFにする操作が行われたか否かが判断される。終了操作を受け付けなければ、ステップS77に進み、終了操作を受け付けたら、ステップS83に進む。   In step S75, a user operation input is accepted. In step S76, it is determined whether an end operation has been accepted. Specifically, it is determined whether or not an operation for turning off the printing apparatus 200 has been performed. If the end operation is not accepted, the process proceeds to step S77. If the end operation is accepted, the process proceeds to step S83.

ステップS77において、運転開始操作を受け付けたか否かを判断する。具体的には、半田印刷動作の開始操作が行われたか否かを判断する。運転開始操作を受け付けたら、ステップS78に進み、運転開始操作を受け付けなければ、ステップS75に戻る。ステップS78において、運転開始処理が行われる。   In step S77, it is determined whether a driving start operation has been accepted. Specifically, it is determined whether or not a solder printing operation start operation has been performed. If the operation start operation is accepted, the process proceeds to step S78, and if the operation start operation is not accepted, the process returns to step S75. In step S78, an operation start process is performed.

ステップS79において、運転停止の操作を受け付けたか否かを判断する。運転停止の操作を受け付けたら、ステップS75に戻り、運転停止の操作を受け付けなければ、ステップS80に進む。ステップS80において、基板2が搬入される。具体的には、印刷装置200の上流の装置から基板2を受け取り、受け取った基板2をコンベア220により半田印刷(作業)位置に移動させる。ステップS81において、基板2に対して作業が行われる。具体的には、基板2に半田が印刷される。ステップS82において、基板2が搬出される。つまり、作業が終了した(半田が印刷された)基板2が下流の装置に受け渡される。その後、ステップS79に戻る。   In step S79, it is determined whether an operation for stopping operation has been accepted. If an operation for stopping operation is accepted, the process returns to step S75, and if an operation for stopping operation is not accepted, the process proceeds to step S80. In step S80, the substrate 2 is carried in. Specifically, the board 2 is received from an apparatus upstream of the printing apparatus 200, and the received board 2 is moved to the solder printing (working) position by the conveyor 220. In step S81, an operation is performed on the substrate 2. Specifically, solder is printed on the substrate 2. In step S82, the substrate 2 is unloaded. That is, the substrate 2 on which the operation has been completed (solder is printed) is delivered to a downstream apparatus. Thereafter, the process returns to step S79.

ステップS76において終了操作を受け付けた場合、ステップS83において、ヘッドユニット230がX軸およびY軸において原点に移動された後、電源が遮断(OFF)されて、基板作業処理が終了する。   When an end operation is accepted in step S76, after the head unit 230 is moved to the origin in the X axis and the Y axis in step S83, the power is turned off (OFF), and the substrate work process ends.

なお、第2実施形態のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。   In addition, the other structure of 2nd Embodiment is the same as that of the said 1st Embodiment.

第2実施形態では、以下のような効果を得ることができる。   In the second embodiment, the following effects can be obtained.

上記のように、第2実施形態では、第1実施形態と同様に、基板2がコンベア220の所定の搬送位置に位置していない状態において、ヘッド231を移動させて基板検知センサ260が基板2を検知する位置に基板2のある状態を作り出すことにより、基板検知センサ260の検知状態を診断する制御装置210を設けることによって、ユーザが実際に基板2を搬入することなく基板検知センサ260の検知状態を診断することができるので、基板2を所定の搬送位置において検知する基板検知センサ260の不具合を診断するためのユーザの作業負担を軽減することが可能な印刷装置200を提供することができる。   As described above, in the second embodiment, in the same manner as in the first embodiment, in the state where the substrate 2 is not positioned at the predetermined transfer position of the conveyor 220, the head 231 is moved and the substrate detection sensor 260 is moved to the substrate 2. By providing a control device 210 for diagnosing the detection state of the substrate detection sensor 260 by creating a state where the substrate 2 is detected at a position where the substrate detection is performed, the detection of the substrate detection sensor 260 without the user actually carrying in the substrate 2 is performed. Since the state can be diagnosed, it is possible to provide the printing apparatus 200 that can reduce a user's work burden for diagnosing a defect of the substrate detection sensor 260 that detects the substrate 2 at a predetermined transport position. .

なお、第2実施形態のその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。   The remaining effects of the second embodiment are similar to those of the aforementioned first embodiment.

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiments but by the scope of claims for patent, and further includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims for patent.

たとえば、上記第1実施形態では、部品実装装置100に本発明を適用した例を示し、上記第2実施形態では、印刷装置200に本発明を適用した例を示したが、本発明を他の基板作業装置に適用してもよい。たとえば、基板の検査をする基板検査装置に本発明を適用してもよい。この場合、基板検知センサの診断時に、基板に作業を行うディスペンスヘッドを移動させて、基板を検知する位置に基板のある状態を作り出すようにしてもよい。   For example, in the first embodiment, an example in which the present invention is applied to the component mounting apparatus 100 is shown, and in the second embodiment, an example in which the present invention is applied to the printing apparatus 200 is shown. You may apply to a substrate working apparatus. For example, the present invention may be applied to a substrate inspection apparatus that inspects a substrate. In this case, at the time of diagnosis of the substrate detection sensor, a dispense head for performing work on the substrate may be moved to create a state where the substrate is present at a position where the substrate is detected.

また、上記第1および第2実施形態では、可視光を照射・受光することにより基板を検知する構成の基板検知センサの例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、赤外光を照射・受光することにより基板を検知する構成の基板検知センサを用いてもよいし、レーザ光を照射・受光することにより基板を検知する構成の基板検知センサでもよい。また、超音波を発信・受信することにより基板を検知する構成の基板検知センサでもよい。   In the first and second embodiments, the example of the substrate detection sensor configured to detect the substrate by irradiating and receiving visible light has been described. However, the present invention is not limited to this. In the present invention, a substrate detection sensor configured to detect a substrate by irradiating and receiving infrared light may be used, or a substrate detection sensor configured to detect a substrate by irradiating and receiving laser light may be used. . Moreover, the board | substrate detection sensor of the structure which detects a board | substrate by transmitting / receiving an ultrasonic wave may be sufficient.

また、上記第1および第2実施形態では、ヘッドに取り付けられたダミー基板(被検知部材)を基板検知センサの検知位置に移動させて基板検知センサの検知状態を診断する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ヘッド自体を基板検知センサの検知位置に移動させて基板検知センサの検知状態を診断してもよい。また、ヘッドにダミー基板以外の被検知部材を取り付けて、基板検知センサの検知状態を診断してもよい。たとえば、被検知部材は、部品を吸着するノズルなどでもよい。   In the first and second embodiments, the example of the configuration in which the dummy substrate (detected member) attached to the head is moved to the detection position of the substrate detection sensor and the detection state of the substrate detection sensor is diagnosed is shown. However, the present invention is not limited to this. In the present invention, the head itself may be moved to the detection position of the substrate detection sensor to diagnose the detection state of the substrate detection sensor. Further, a detection member other than the dummy substrate may be attached to the head to diagnose the detection state of the substrate detection sensor. For example, the member to be detected may be a nozzle that adsorbs a component.

また、上記第1実施形態では、基板検知センサのチェック(診断)を電源ON時および基板作業(部品実装)時に定期的に行う構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、電源ON時のみに基板検知センサの診断を行い、基板作業(部品実装)時には基板検知センサの診断を行わなくてもよい。   Further, in the first embodiment, the example of the configuration in which the check (diagnosis) of the board detection sensor is periodically performed at the time of power-on and board work (component mounting) is shown, but the present invention is not limited to this. In the present invention, for example, the board detection sensor is diagnosed only when the power is turned on, and the board detection sensor need not be diagnosed during board work (part mounting).

また、上記第1および第2実施形態では、説明の便宜上、制御装置(制御部)の処理動作を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型(イベントドリブン型)の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。   In the first and second embodiments, for convenience of explanation, the processing operation of the control device (control unit) has been described using a flow-driven flowchart in which processing is performed in order along the processing flow. Is not limited to this. In the present invention, the processing operation of the control unit may be performed by event-driven (event-driven) processing that executes processing in units of events. In this case, it may be performed by a complete event drive type or a combination of event drive and flow drive.

2 基板
11、220 コンベア(基板搬送部)
15、260 基板検知センサ
16、210 制御装置
18、270 通知部(異常通知部)
100 部品実装装置(基板作業装置)
122、231 ヘッド
150、233 ダミー基板(被検知部材)
124 基板認識カメラ(基板撮像部)
200 印刷装置(基板作業装置)
2 Substrate 11, 220 Conveyor (Substrate transport section)
15, 260 Substrate detection sensor 16, 210 Controller 18, 270 Notification unit (abnormality notification unit)
100 Component mounting equipment (board work equipment)
122, 231 Head 150, 233 Dummy substrate (detected member)
124 Board recognition camera (Board imaging unit)
200 Printing device (substrate working device)

Claims (7)

基板を搬送する基板搬送部と、
前記基板搬送部により搬送された前記基板を所定の搬送位置において検知する基板検知センサと、
前記基板に対して作業を行うヘッドと、
前記基板が前記基板搬送部の前記所定の搬送位置に位置していない状態において、前記ヘッドを移動させて前記基板検知センサが前記基板を検知する位置に前記基板があたかも存在する状態を作り出すことにより、前記基板検知センサの検知状態を診断する制御部とを備える、基板作業装置。
A substrate transport section for transporting the substrate;
A substrate detection sensor for detecting the substrate transported by the substrate transport unit at a predetermined transport position;
A head for working on the substrate;
In a state where the substrate is not positioned at the predetermined transport position of the substrate transport unit, the head is moved to create a state where the substrate exists at a position where the substrate detection sensor detects the substrate. And a control unit that diagnoses the detection state of the substrate detection sensor.
前記ヘッドは、前記基板検知センサの検知位置に前記基板がある状態を作り出す被検知部材が取り付けられるように構成されており、
前記制御部は、前記基板が前記基板搬送部の前記所定の搬送位置に位置していない状態において、前記基板検知センサの検知位置に前記ヘッドに取り付けられた前記被検知部材を移動させることにより、前記基板検知センサの検知状態を診断するように構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。
The head is configured such that a detection member that creates a state in which the substrate is present at a detection position of the substrate detection sensor is attached,
The control unit moves the detected member attached to the head to a detection position of the substrate detection sensor in a state where the substrate is not positioned at the predetermined transfer position of the substrate transfer unit. The board | substrate working apparatus of Claim 1 comprised so that the detection state of the said board | substrate detection sensor might be diagnosed.
前記被検知部材は、少なくとも前記基板の一部と同じ形状の部分を有するダミー基板を含む、請求項2に記載の基板作業装置。   The substrate working apparatus according to claim 2, wherein the detected member includes a dummy substrate having at least a portion having the same shape as a part of the substrate. 前記制御部は、前記基板が前記基板搬送部の前記所定の搬送位置に位置していない状態において、前記基板検知センサの検知位置に前記被検知部材が位置する状態と、前記基板検知センサの検知位置に前記被検知部材が位置しない状態とに、前記ヘッドを移動させて切り替えることにより、前記基板検知センサの検知状態を診断するように構成されている、請求項2または3に記載の基板作業装置。   In the state where the substrate is not positioned at the predetermined transport position of the substrate transport unit, the control unit is configured such that the detected member is positioned at a detection position of the substrate detection sensor and the detection of the substrate detection sensor. The substrate work according to claim 2, wherein the substrate operation is configured to diagnose a detection state of the substrate detection sensor by moving the head to switch to a state where the detected member is not positioned at a position. apparatus. 前記制御部は、前記基板検知センサの検知位置に移動された前記被検知部材を検知しない場合に、前記被検知部材を前記基板を検知する位置から所定の範囲内で移動させながら、前記基板検知センサの検知状態を診断し、前記基板検知センサにより前記被検知部材を検知した位置を調整データとして保存するように構成されている、請求項2〜4のいずれか1項に記載の基板作業装置。   The controller detects the substrate while moving the detected member within a predetermined range from the position where the substrate is detected when the detected member moved to the detection position of the substrate detection sensor is not detected. The board | substrate working apparatus of any one of Claims 2-4 comprised so that the detection state of a sensor may be diagnosed and the position which detected the said to-be-detected member with the said board | substrate detection sensor may be preserve | saved as adjustment data. . 前記基板を撮像する基板撮像部をさらに備え、
前記制御部は、前記基板検知センサの検知位置に移動された前記被検知部材を検知しない場合に、前記基板撮像部により、前記基板検知センサ周辺を撮像し、前記基板検知センサの状態を診断するように構成されている、請求項2〜5のいずれか1項に記載の基板作業装置。
A board imaging unit for imaging the board;
The control unit, when not detecting the detected member moved to the detection position of the substrate detection sensor, images the periphery of the substrate detection sensor by the substrate imaging unit and diagnoses the state of the substrate detection sensor. The board | substrate working apparatus of any one of Claims 2-5 comprised as follows.
前記基板検知センサの検知状態に基づいて異常を通知する異常通知部をさらに備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載の基板作業装置。   The board | substrate working apparatus of any one of Claims 1-6 further provided with the abnormality notification part which notifies abnormality based on the detection state of the said board | substrate detection sensor.
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