JP6144984B2 - Correction jig - Google Patents
Correction jig Download PDFInfo
- Publication number
- JP6144984B2 JP6144984B2 JP2013147322A JP2013147322A JP6144984B2 JP 6144984 B2 JP6144984 B2 JP 6144984B2 JP 2013147322 A JP2013147322 A JP 2013147322A JP 2013147322 A JP2013147322 A JP 2013147322A JP 6144984 B2 JP6144984 B2 JP 6144984B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction
- probe
- sandwiching
- correction jig
- clamping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 124
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 57
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 20
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 17
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 4
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
本発明は、プローブを用いてオープン補正、ショート補正を行う場合に用いられる補正用治具に関する。 The present invention relates to a correction jig used when performing open correction and short correction using a probe.
電子部品の検査、品質管理等を行うために、一般に、インピーダンス測定器（ＬＣＲメータ）が用いられている。このＬＣＲメータの中には、ピンセット型のプローブを測定器に接続可能としているものがある。かかるピンセット型のプローブとしては、たとえば特許文献１に示すものがある。特許文献１に示すプローブは、その先端側に電極を備えていて、その電極を電子部品に接触させて測定を行うことを可能としている。 In general, an impedance measuring device (LCR meter) is used to perform inspection, quality control, and the like of electronic components. Some LCR meters allow tweezer probes to be connected to a measuring instrument. An example of such a tweezer probe is shown in Patent Document 1. The probe shown in Patent Document 1 includes an electrode on the tip end side thereof, and enables measurement by bringing the electrode into contact with an electronic component.
ところで、特許文献１におけるピンセット型のプローブにおいては、金属片である電極の間で、静電容量が変化し、測定値に影響を与えてしまう虞がある。そのため、上述したピンセット型のプローブを用いる場合を始めとして、ＬＣＲメータを用いて電子部品のインピーダンス等を測定する場合には、オープン補正・ショート補正といった補正を行って、プローブを用いた場合の測定誤差を補正するようにしている。このようなオープン補正・ショート補正を行うことに関しては、たとえば特許文献２に示す技術がある。 By the way, in the tweezers type probe in Patent Document 1, there is a possibility that the capacitance changes between the electrodes that are metal pieces and affects the measured value. For this reason, when measuring the impedance of electronic components using an LCR meter, such as when using the above-described tweezers type probe, corrections such as open correction and short correction are performed, and measurement using a probe is performed. The error is corrected. With respect to performing such open correction / short correction, for example, there is a technique disclosed in Patent Document 2.
ところで、特許文献１に示すようなプローブを用いて、特許文献２に示すようなオープン補正を行う場合、プローブが開いた状態としつつ、電極に何も接触しない状態とする。この状態で、プローブが接続されている測定器が示す測定値を、オープン（開放状態）であることに設定する。また、特許文献１に示すようなプローブを用いて、特許文献２に示すようなショート補正を行う場合、電極同士を互いに接触させてショート（短絡）状態とし、その接触状態を維持したまま、プローブが接続されている測定器が示す測定値を、ショート（短絡状態）であることに設定する。 By the way, when performing an open correction as shown in Patent Document 2 using a probe as shown in Patent Document 1, the probe is in an open state and is in a state in which nothing is in contact with the electrode. In this state, the measurement value indicated by the measuring instrument to which the probe is connected is set to be open (open state). Further, when performing a short correction as shown in Patent Document 2 using a probe as shown in Patent Document 1, the electrodes are brought into contact with each other to form a short (short circuit) state, and the probe is maintained while maintaining the contact state. The measurement value indicated by the measuring instrument connected to is set to be short (short-circuited).
ここで、特許文献１にプローブを用いてオープン補正を行う場合、プローブを閉じずに開いた状態としている。しかしながら、プローブの開き状態とする場合、電極間の距離は、ある特定の値となる。そのため、電極間の距離を、電子部品の寸法に応じた適切な距離に設定することはできず、オープン補正における精度の高い補正値を得ることができない、という問題がある。 Here, when performing open correction using a probe in Patent Document 1, the probe is opened without being closed. However, when the probe is opened, the distance between the electrodes is a specific value. Therefore, the distance between the electrodes cannot be set to an appropriate distance according to the dimensions of the electronic component, and there is a problem that a highly accurate correction value cannot be obtained in open correction.
また、特許文献１に示す構成では、ショート補正を行う場合、電極同士を互いに接触させている。しかし、この場合には、電極同士の距離（寸法）は１つの寸法値に定まるので、電子部品の種々のサイズに応じた微小な違いを、補正値として取り込むことはできない。 In the configuration shown in Patent Document 1, the electrodes are brought into contact with each other when performing short correction. However, in this case, since the distance (dimension) between the electrodes is determined by one dimension value, a minute difference according to various sizes of the electronic component cannot be taken in as a correction value.
ここで、近年は、電子部品の微小化が進展していて、測定に際しての電極間の距離が近くなる傾向にある。そのため、電子部品のサイズの微小な差の影響が大きくなっている。したがって、電極同士の微小な間隔の相違を補正値として取り込めないと、オープン補正およびショート補正において、精度の高い補正値を得られない。 Here, in recent years, miniaturization of electronic components has progressed, and the distance between electrodes during measurement tends to be closer. For this reason, the influence of a minute difference in the size of the electronic component is increasing. Therefore, if the minute difference in the distance between the electrodes cannot be taken in as a correction value, a highly accurate correction value cannot be obtained in the open correction and the short correction.
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、オープン補正およびショート補正のような補正を行う場合において、精度の高い補正値を得ることが可能な補正用治具を提供しよう、とするものである。 The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and its object is to provide a correction jig capable of obtaining a highly accurate correction value when performing corrections such as open correction and short correction. It is intended to provide.
上記課題を解決するために、本発明の第１の観点によると、インピーダンス測定器に接続されるプローブを介して、被測定物のインピーダンス測定における誤差を低減するための補正を行う際に用いられる補正用治具であって、プローブが備える一対の電極によって挟み込まれる複数の挟持部を備え、この挟持部は、少なくとも樹脂を材質として形成され、複数の挟持部の厚みは、サイズの異なる被測定物のそれぞれの全長に対応する寸法に設定され、挟持部には、突当部が隣接して設けられ、挟持部を電極で挟持する際に、その電極の先端側を突当部に突き当てて、当該電極において挟持部を挟み込んでいる部分の長さを規制する、ことを特徴とする補正用治具が提供される。 In order to solve the above-mentioned problem, according to the first aspect of the present invention, it is used when performing correction for reducing an error in impedance measurement of an object to be measured via a probe connected to an impedance measuring instrument. Compensation jig comprising a plurality of clamping parts sandwiched between a pair of electrodes provided in the probe, the clamping parts being formed of at least resin, and the thicknesses of the plurality of clamping parts being different in size The size is set to correspond to the total length of each object, and the abutting part is provided adjacent to the clamping part, and when the clamping part is clamped by the electrode, the tip side of the electrode is abutted against the abutting part Thus, there is provided a correction jig characterized by regulating the length of the portion of the electrode where the clamping portion is sandwiched .
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、補正のうちのオープン補正を行うために、挟持部は、その表面を含めた全体が、電気的な絶縁性を有する樹脂によって形成されている、ことが好ましい。 Further, according to another aspect of the present invention, in the above-described invention, in order to perform open correction among the corrections, the entire clamping portion including the surface thereof is formed of a resin having electrical insulation. It is preferable.
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、補正のうちのショート補正を行うために、樹脂を材質とする挟持部の少なくとも表面側は、導電性を有する導体部が存在している、ことが好ましい。 In addition, according to another aspect of the present invention, in the above-described invention, in order to perform a short correction among the corrections, a conductive conductor portion exists on at least the surface side of the sandwiching portion made of resin. Is preferable.
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、プローブのカバーのうち互いに対向する側とは逆の外側に当接して、電極が挟持部を挟持する状態を維持するプローブ挟持部が設けられている、ことが好ましい。 Further, according to another aspect of the present invention, in the above-described invention, a probe holding portion is provided that abuts the outside of the probe cover opposite to the side facing each other and maintains a state where the electrode holds the holding portion. It is preferable that
本発明によると、オープン補正およびショート補正のような補正を行う場合において、精度の高い補正値を得ることが可能となる。 According to the present invention, it is possible to obtain a highly accurate correction value when performing correction such as open correction and short correction.
以下、本発明の一実施の形態に係る補正用治具１０について、図面に基づいて説明する。なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を用いて説明する場合があるものとし、Ｘ方向を補正用治具１０の長手方向とし、Ｘ１側は図１において手前側かつ右側、Ｘ２側は図１において奥側かつ左側とする。またＺ方向を補正用治具１０の上下方向とし、Ｚ１側は上側、Ｚ２側は下側とする。またＹ方向はＸ方向およびＺ方向に直交する方向とし、Ｙ１側は図１において奥側かつ右側、Ｙ２側はそれとは逆の手前側かつ左側とする。 Hereinafter, a correction jig 10 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the description may be made using an XYZ orthogonal coordinate system, the X direction is the longitudinal direction of the correction jig 10, the X1 side is the front side and the right side in FIG. 1, and the X2 side is In FIG. 1, it is the back side and the left side. Further, the Z direction is the vertical direction of the correction jig 10, the Z1 side is the upper side, and the Z2 side is the lower side. In addition, the Y direction is a direction orthogonal to the X direction and the Z direction, the Y1 side is the back side and the right side in FIG. 1, and the Y2 side is the opposite side and the left side.
＜補正用治具１０の構成について＞
本実施の形態における補正用治具１０は、ピンセット型のプローブ６０の電極６１で挟まれる部分を備えていて、その挟んだ状態を利用して、オープン補正・ショート補正といった補正を行うためのものである。以下、その詳細について説明する。なお、以下に説明する補正用治具１０は、オープン補正の際に用いられるものであるが、後述する導体部２５を挟持部２２に取り付けることにより、ショート補正にも用いることが可能である。
<About the configuration of the correction jig 10>
The correction jig 10 according to the present embodiment includes a portion sandwiched between the electrodes 61 of the tweezer probe 60, and performs corrections such as open correction and short correction using the sandwiched state. It is. The details will be described below. The correction jig 10 described below is used for open correction, but can also be used for short-circuit correction by attaching a conductor portion 25 described later to the sandwiching portion 22.
図１に示すように、補正用治具１０は、補正治具部２０と、プローブ挟持部３０とを有していて、補正治具部２０とプローブ挟持部３０とは、連結部４０で連結されている。この補正用治具１０は、樹脂の射出成形によって形成されており、そのため補正用治具１０は、電気的な絶縁性を有している。なお、上述の樹脂としては、低誘電率のものが好ましい。かかる低誘電率の樹脂としては、フッ素樹脂、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩化ビニル、シリコン樹脂、ポリフェニレンオキシド等が挙げられる。しかしながら、現状の挟持部２２の厚みがさほど大きくないため、列記した以外の樹脂を用いて補正用治具１０を形成しても良いのは勿論である。 As shown in FIG. 1, the correction jig 10 has a correction jig part 20 and a probe holding part 30, and the correction jig part 20 and the probe holding part 30 are connected by a connecting part 40. Has been. The correction jig 10 is formed by injection molding of resin. Therefore, the correction jig 10 has electrical insulation. In addition, as said resin, the thing of a low dielectric constant is preferable. Examples of such a low dielectric constant resin include fluororesin, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, vinyl chloride, silicon resin, polyphenylene oxide, and the like. However, since the thickness of the present clamping part 22 is not so large, it is needless to say that the correction jig 10 may be formed using a resin other than those listed.
図１に示すように、補正治具部２０は、挟持段部２１と、突当部２３とを備えている。挟持段部２１は、階段状に複数の挟持部２２が並んで構成されている。図１では、挟持部２２は、合計７つ存在しているが、この個数は、２つ以上であれば、幾つ存在していても良い。なお、１つのみの挟持部２２を備える構成を採用しても良い。 As shown in FIG. 1, the correction jig portion 20 includes a clamping step portion 21 and an abutting portion 23. The sandwiching step portion 21 is configured by a plurality of sandwiching portions 22 arranged in a staircase pattern. In FIG. 1, there are a total of seven sandwiching portions 22, but any number may be present as long as the number is two or more. In addition, you may employ | adopt the structure provided with the one clamping part 22 only.
複数の挟持部２２の間では、その幅寸法（Ｙ方向の寸法）が同じ寸法となるように設けられている。しかしながら、それぞれの挟持部２２の厚み（Ｚ方向の寸法）は、互いに異なるように設けられている。しかも、Ｘ１側の挟持部２２の厚み（Ｚ方向の寸法）が最も小さく設けられている。そして、このＸ１側の挟持部２２から、Ｘ２側に向かうにつれて、挟持部２２の厚み（Ｚ方向の寸法）が、段階的に大きくなるように設けられている。 Between the plurality of sandwiching portions 22, the width dimension (dimension in the Y direction) is provided to be the same dimension. However, the thicknesses (dimensions in the Z direction) of the respective clamping portions 22 are provided to be different from each other. In addition, the thickness (Z-direction dimension) of the clamping portion 22 on the X1 side is the smallest. Then, the thickness (dimension in the Z direction) of the clamping portion 22 is provided so as to increase stepwise from the clamping portion 22 on the X1 side toward the X2 side.
以下の説明では、最もＸ１側に位置する挟持部２２を挟持部２２ａとし、その挟持部２２ａからＸ２側に向かい、挟持部２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆ、２２ｇが順に並んでいるものとする。 In the following description, the pinching portion 22 positioned closest to the X1 side is referred to as a pinching portion 22a, and the pinching portions 22b, 22c, 22d, 22e, 22f, and 22g are arranged in order from the pinching portion 22a toward the X2 side. To do.
図２は、被測定対象物であるチップ５０の外観を示す斜視図である。図１および図２に示すように、各挟持部２２の厚み（Ｚ方向の寸法）は、電子部品（被測定物に対応；以下、チップ５０とする。）の全長Ｌ１に対応している。そのため、挟持部２２ａ〜２２ｇの間の厚み（Ｚ方向の寸法）の相違は、チップ５０の全長の相違に対応している。 FIG. 2 is a perspective view showing the appearance of the chip 50 that is the object to be measured. As shown in FIGS. 1 and 2, the thickness (dimension in the Z direction) of each clamping portion 22 corresponds to the total length L <b> 1 of an electronic component (corresponding to an object to be measured; hereinafter referred to as a chip 50). Therefore, the difference in thickness (dimension in the Z direction) between the sandwiching portions 22 a to 22 g corresponds to the difference in the total length of the chip 50.
本実施の形態では、挟持部２２ａの厚み（Ｚ方向の寸法）は、０４０２サイズ（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）のチップ５０の全長Ｌ１に対応している。同様に、挟持部２２ｂの厚み（Ｚ方向の寸法）は、０６０３サイズ（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）のチップ５０の全長Ｌ１に対応し、挟持部２２ｃの厚み（Ｚ方向の寸法）は、１００５サイズ（１．０ｍｍ×０．５ｍｍ）のチップ５０の全長Ｌ１に対応し、挟持部２２ｄの厚み（Ｚ方向の寸法）は、１６０８サイズ（１．６ｍｍ×０．８ｍｍ）のチップ５０の全長Ｌ１に対応している。また、挟持部２２ｅの厚み（Ｚ方向の寸法）は、２０１２サイズ（２．０ｍｍ×１．２ｍｍ）のチップ５０の全長Ｌ１に対応し、挟持部２２ｆの厚み（Ｚ方向の寸法）は、３１１６サイズ（３．２ｍｍ×１．６ｍｍ）のチップ５０の全長Ｌ１に対応し、挟持部２２ｇの厚み（Ｚ方向の寸法）は、４５３２サイズ（４．５ｍｍ×３．２ｍｍ）のチップ５０の全長Ｌ１に対応している。 In the present embodiment, the thickness (dimension in the Z direction) of the clamping part 22a corresponds to the total length L1 of the 0402 size (0.4 mm × 0.2 mm) chip 50. Similarly, the thickness (dimension in the Z direction) of the sandwiching portion 22b corresponds to the entire length L1 of the 0603 size (0.6 mm × 0.3 mm) chip 50, and the thickness (dimension in the Z direction) of the sandwiching portion 22c is Corresponding to the total length L1 of the 1005 size (1.0 mm × 0.5 mm) chip 50, the thickness (dimension in the Z direction) of the clamping part 22d is the total length of the 1608 size (1.6 mm × 0.8 mm) chip 50. Corresponds to L1. Further, the thickness (Z-direction dimension) of the clamping part 22e corresponds to the entire length L1 of the 2012 size (2.0 mm × 1.2 mm) chip 50, and the thickness (Z-direction dimension) of the clamping part 22f is 3116. Corresponding to the total length L1 of the chip 50 of size (3.2 mm × 1.6 mm), the thickness (dimension in the Z direction) of the clamping part 22g is the total length L1 of the chip 50 of 4532 size (4.5 mm × 3.2 mm). It corresponds to.
ただし、挟持部２２の厚み（Ｚ方向の寸法）は、これら以外のチップ５０の全長Ｌ１に対応していても良い。 However, the thickness (dimension in the Z direction) of the sandwiching portion 22 may correspond to the entire length L1 of the chip 50 other than these.
また、挟持部２２の背面側（Ｙ１側）には、突当部２３が設けられている。突当部２３のうち手前側（Ｙ２側）には、平面状の突当面２３ａが設けられている。突当面２３ａは、プローブ６０の電極６１の先端側が突き当てられる部分である。図３は、プローブ６０の電極６１で挟持部２２を挟み込みつつ、電極６１の先端を突当面２３ａに突き当てた状態を示す斜視図である。 Further, an abutting portion 23 is provided on the back side (Y1 side) of the sandwiching portion 22. A planar abutting surface 23 a is provided on the near side (Y2 side) of the abutting portion 23. The abutting surface 23 a is a portion against which the distal end side of the electrode 61 of the probe 60 is abutted. FIG. 3 is a perspective view showing a state where the tip of the electrode 61 is abutted against the abutting surface 23a while the clamping part 22 is sandwiched between the electrodes 61 of the probe 60. FIG.
図３に示すような、突当面２３ａが存在するのは、以下の理由による。すなわち、仮に突当面２３ａのような突き当て部分が存在しなく、挟持部２２のＹ方向の長さが図１および図３に示すものよりも長い場合、挟持部２２は、図３の態様よりも長い状態にて、電極６１により挟み込まれることが多い。しかし、樹脂製の挟持部２２は、空気よりも大きな所定の誘電率を有しているので、かかる挟み込み部分（挟持部２２）の長さ（Ｙ方向の寸法）は、短い方が好ましい。そこで、本実施の形態では、電極６１での必要以上に長い挟み込みを防ぐべく、突当面２３ａを設ける構成としている。それにより、挟持部２２をプローブ６０の電極６１で挟み込む際に、挟み込みの長さが規制され、それによってオープン補正を行う場合に、精度の高い補正値を得ることを可能としている。 The abutting surface 23a as shown in FIG. 3 is present for the following reason. That is, if there is no abutting portion such as the abutting surface 23a and the length of the sandwiching portion 22 in the Y direction is longer than that shown in FIG. 1 and FIG. In many cases, the electrode 61 is sandwiched in a long state. However, since the resin sandwiching portion 22 has a predetermined dielectric constant greater than that of air, the length (dimension in the Y direction) of the sandwiching portion (the sandwiching portion 22) is preferably shorter. Therefore, in the present embodiment, the abutting surface 23a is provided to prevent the electrode 61 from being caught longer than necessary. As a result, when the sandwiching portion 22 is sandwiched between the electrodes 61 of the probe 60, the length of the sandwiching is restricted, thereby making it possible to obtain a highly accurate correction value when performing open correction.
なお、挟持段部２１のＸ２側の端部と、突当部２３のＸ２側の端部とは、共にベース部２４に連続している。図１に示すように、ベース部２４は、高さ方向（Ｚ方向）の寸法が挟持段部２１（最も厚みのある挟持部２２ｆ）および突当部２３のそれぞれの高さ方向（Ｚ方向）の寸法よりも大きい。ただし、ベース部２４の高さ方向（Ｚ方向）の寸法は、突当部２３の高さ方向（Ｚ方向）の寸法と同程度か小さくても良く、また挟持段部２１（最も厚みのある挟持部２２ｆ）の高さ方向（Ｚ方向）の寸法と同程度か小さくても良い。 Note that the end portion on the X2 side of the sandwiching step portion 21 and the end portion on the X2 side of the abutting portion 23 are both continuous with the base portion 24. As shown in FIG. 1, the base portion 24 has a height direction (Z direction) dimension in the height direction (Z direction) of the clamping step portion 21 (thickest clamping portion 22 f) and the abutting portion 23. Is larger than the dimensions of However, the dimension in the height direction (Z direction) of the base part 24 may be the same as or smaller than the dimension in the height direction (Z direction) of the abutting part 23, and the clamping step part 21 (thickest). It may be the same as or smaller than the dimension in the height direction (Z direction) of the clamping portion 22f).
また、ベース部２４は、連結部４０を介してプローブ挟持部３０と連続している。連結部４０は、ベース部２４からＸ２側に突出する突出片４１を備え、その突出片４１のＸ２側の先端側は、先細り形状に形成され、最も厚み方向（Ｚ方向）の寸法が小さな薄肉部４３を介して、プローブ挟持部３０側の突出片４２と接続されている。なお、突出片４２は、突出片４１と対称形状であり、構成は突出片４１と同様となっている。 Further, the base portion 24 is continuous with the probe holding portion 30 via the connecting portion 40. The connecting portion 40 includes a protruding piece 41 that protrudes from the base portion 24 to the X2 side, and the tip end side of the protruding piece 41 on the X2 side is formed in a tapered shape, and is thin with the smallest dimension in the thickness direction (Z direction). It is connected to the protruding piece 42 on the probe clamping part 30 side via the part 43. The protruding piece 42 is symmetrical with the protruding piece 41 and has the same configuration as the protruding piece 41.
プローブ挟持部３０は、長手部３１と、一対の保持片部３２とを備えている。長手部３１は、Ｘ方向に延伸する部分であり、保持片部３２は、長手部３１のＸ方向の両端側からそれぞれ上側）Ｚ１側）に向かい延出する部分である。図１では、長手部３１の高さ寸法は、保持片部３２の高さ寸法の半分よりも小さく設けられている。その理由は、長手部３１の上面側（Ｚ１側の面）にプローブ６０のカバー６２を位置させて、一対の保持片部３２の間でカバー６２を挟み込むためである。それにより、プローブ６０の電極６１の閉じ状態を維持可能としている。 The probe clamping part 30 includes a longitudinal part 31 and a pair of holding piece parts 32. The longitudinal portion 31 is a portion extending in the X direction, and the holding piece portion 32 is a portion extending from the both end sides of the longitudinal portion 31 in the X direction toward the upper side (Z1 side). In FIG. 1, the height dimension of the longitudinal portion 31 is provided smaller than half the height dimension of the holding piece portion 32. The reason is that the cover 62 of the probe 60 is positioned on the upper surface side (Z1 side surface) of the longitudinal portion 31 and the cover 62 is sandwiched between the pair of holding piece portions 32. Thereby, the closed state of the electrode 61 of the probe 60 can be maintained.
図４は、プローブ挟持部３０の使用状態を示す斜視図である。この図４に示すように、プローブ挟持部３０を使用する場合、プローブ挟持部３０は、連結部４０にて補正治具部２０から切り離される。そして、プローブ挟持部３０は、カバー６２のうち互いに対向する側とは逆の外側がそれぞれ保持片部３２に接触する状態で、カバー６２を閉じ状態とする。 FIG. 4 is a perspective view showing a usage state of the probe clamping unit 30. As shown in FIG. 4, when the probe clamping unit 30 is used, the probe clamping unit 30 is separated from the correction jig unit 20 by the connecting unit 40. And the probe clamping part 30 makes the cover 62 a closed state in the state which the outer side opposite to the mutually opposing side among the covers 62 contacts the holding piece part 32, respectively.
ここで、図４に示す状態では、プローブ挟持部３０を用いてカバー６２を閉じ状態としているが、この図４では、電極６１同士を直接接触させて、ショート補正を行う場合を示している。しかしながら、後述する図５に示すように、挟持部２２の導体部２５を挟み込んでショート補正を行う場合に、プローブ挟持部３０を用いても良い。また、挟持部２２を挟み込んでオープン補正を行う場合に、プローブ挟持部３０を用いても良い。 Here, in the state shown in FIG. 4, the cover 62 is closed using the probe clamping portion 30, but FIG. 4 shows a case where the electrodes 61 are brought into direct contact with each other to perform short correction. However, as shown in FIG. 5 to be described later, the probe clamping unit 30 may be used when short-circuit correction is performed by clamping the conductor portion 25 of the clamping unit 22. Further, the probe clamping unit 30 may be used when performing the open correction by clamping the clamping unit 22.
なお、一対の保持片部３２の対向間隔は、当該一対の保持片部３２にそれぞれプローブ６０のカバー６２の外側を接触させてカバー６２を閉じ状態として、電極６１同士を接触または近接させることが可能な寸法としている。 Note that the facing distance between the pair of holding pieces 32 is that the electrodes 61 are brought into contact with or close to each other with the outside of the cover 62 of the probe 60 being brought into contact with the pair of holding pieces 32 and the cover 62 being closed. Possible dimensions.
また、本実施の形態では、長手部３１と、保持片部３２とは、それぞれ直方体形状に設けられている。しかしながら、長手部３１および保持片部３２は、直方体以外の形状を採用しても良い。 Moreover, in this Embodiment, the longitudinal part 31 and the holding piece part 32 are each provided in the rectangular parallelepiped shape. However, the longitudinal part 31 and the holding piece part 32 may adopt a shape other than a rectangular parallelepiped.
＜ショート補正を行うための補正用治具１０Ａについて＞
次に、ショート補正を行うため合の補正用治具１０Ａの構成について説明する。図５は、ショート補正を行うための補正用治具１０Ａの構成を示す斜視図である。図５に示す補正用治具１０Ａは、概ね、図１に示す補正用治具１０と同様の構成となっている。ただし、図５に示す補正用治具１０Ａでは、挟持部２２（挟持部２２ｂ）には導体部２５が存在している。導体部２５は、導電性を有する部分であり、たとえば金属箔を挟持部２２に取り付ける等によって構成されている。ただし、導体部２５は、金属箔の取り付け以外の手法によって形成されても良く、たとえば、金属の薄膜の形成によるもの（メッキ、蒸着等）でも良く、挟持部２２の材質自体を金属製として、突当部２３に後付けするようにしても良い。
<About the correction jig 10A for performing the short correction>
Next, the configuration of the joint correction jig 10A for performing short correction will be described. FIG. 5 is a perspective view showing a configuration of a correction jig 10A for performing short correction. A correction jig 10A shown in FIG. 5 has generally the same configuration as the correction jig 10 shown in FIG. However, in the correction jig 10 </ b> A shown in FIG. 5, the conductor portion 25 exists in the clamping portion 22 (the clamping portion 22 b). The conductor portion 25 is a conductive portion, and is configured, for example, by attaching a metal foil to the sandwiching portion 22. However, the conductor portion 25 may be formed by a method other than the attachment of the metal foil, for example, may be formed by forming a metal thin film (plating, vapor deposition, etc.), and the material of the sandwiching portion 22 itself is made of metal. You may make it retrofit to the abutting part 23. FIG.
また、導体部２５は、挟持部２２ｂ以外の挟持部２２ａ，２２ｃ〜２２ｇに設けても良いのは勿論であるが、その際に、各挟持部２２の導体部２５の間で導通性を有するようにしても良く、各挟持部２２の導体部２５の間で導電性を有しない（それぞれの導体部２５の間で絶縁されている）構成としても良い。 In addition, the conductor portion 25 may be provided in the sandwiching portions 22a and 22c to 22g other than the sandwiching portion 22b. However, in this case, the conductor portion 25 has conductivity between the conductor portions 25 of the respective sandwiching portions 22. Alternatively, the structure may be such that there is no electrical conductivity between the conductor portions 25 of each sandwiching portion 22 (insulation between the respective conductor portions 25).
ここで、導体部２５を含めた挟持部２２の厚み（Ｚ方向の寸法）は、図１における挟持部２２と同程度となるように形成されていて、上述したチップ５０の全長Ｌ１に対応している。しかしながら、導体部２５の厚みがさほど大きくない場合には、導体部２５を除いた挟持部２２の厚みが、図１における挟持部２２と同程度となるように形成しても良い。 Here, the thickness (dimension in the Z direction) of the clamping part 22 including the conductor part 25 is formed to be approximately the same as that of the clamping part 22 in FIG. 1, and corresponds to the total length L1 of the chip 50 described above. ing. However, when the thickness of the conductor portion 25 is not so large, the thickness of the sandwiching portion 22 excluding the conductor portion 25 may be formed to be approximately the same as that of the sandwiching portion 22 in FIG.
＜製造方法について＞
以上のような構成の補正用治具１０を製造する場合、樹脂の射出成形によって形成される。このとき、補正用治具１０を形成するための専用の金型を用いて、補正用治具１０を形成する。しかしながら、プローブ６０の樹脂部分（カバー６２等）を射出成形によって形成する際に、そのプローブ６０を形成するための金型に補正用治具１０を形成する部位を設けて、補正用治具１０を形成することも可能である。
<About manufacturing method>
When the correction jig 10 having the above-described configuration is manufactured, it is formed by resin injection molding. At this time, the correction jig 10 is formed using a dedicated mold for forming the correction jig 10. However, when the resin portion (the cover 62 or the like) of the probe 60 is formed by injection molding, a portion for forming the correction jig 10 is provided in a mold for forming the probe 60, and the correction jig 10 is provided. It is also possible to form
＜作用効果について＞
以上のような構成の補正用治具１０，１０Ａを用いて、オープン補正またはショート補正を行う場合、図３または図５に示すように、挟持部２２を電極６１で挟み込む。このとき、挟持部２２の厚みは、チップ５０の寸法Ｌ１に対応している。それにより、電極６１の間の距離を、チップの全長Ｌ１に応じた適切な距離に設定することができ、オープン補正やショート補正といった補正における精度の高い補正値を得ることが可能となる。
<About the effects>
When performing the open correction or the short correction using the correction jigs 10 and 10A having the above-described configuration, the holding portion 22 is held between the electrodes 61 as shown in FIG. 3 or FIG. At this time, the thickness of the clamping portion 22 corresponds to the dimension L1 of the chip 50. Thereby, the distance between the electrodes 61 can be set to an appropriate distance according to the total length L1 of the chip, and a correction value with high accuracy in correction such as open correction and short correction can be obtained.
また、本実施の形態では、挟持段部２１は、チップ５０のサイズに応じて、厚み（Ｚ方向の寸法）の異なる挟持部２２を多数段設けるように構成している。このため、チップ５０の全長Ｌ１に対応させた、適切な補正を行うことができ、インピーダンス測定における誤差を低減して、チップ５０のインピーダンス測定に際して、精度の高い測定を行うことが可能となる。 Further, in the present embodiment, the sandwiching step portion 21 is configured to provide a plurality of sandwiching portions 22 having different thicknesses (dimensions in the Z direction) according to the size of the chip 50. For this reason, it is possible to perform an appropriate correction corresponding to the total length L1 of the chip 50, reduce an error in impedance measurement, and perform highly accurate measurement when measuring the impedance of the chip 50.
さらに、挟持部２２は、樹脂を材質として形成されている。このため、挟持部２２は射出成形によって容易に形成することができる。また、金属を材質としている場合と比較して、挟持部２２の寸法精度を確保するための切削加工等が不要となり、製作のためのコストを低減することが可能となる。 Furthermore, the clamping part 22 is formed from resin. For this reason, the clamping part 22 can be easily formed by injection molding. In addition, as compared with the case where metal is used as a material, it is not necessary to perform a cutting process or the like for ensuring the dimensional accuracy of the sandwiching portion 22, and the manufacturing cost can be reduced.
また、本実施の形態では、補正用治具１０においては、挟持部２２は、その表面を含めた全体が、電気的な絶縁性を有する樹脂によって形成されている。このため、挟持部２２を電極６１で挟持することにより、補正のうちのオープン補正を容易に行うことが可能となる。また、挟持部２２を挟持することにより、電極６１間の間隔を一定に保ちつつ、オープン補正を行うことが可能となる。また、プローブ６０においては、電極６１は比較的変形し易いが、仮に電極６１が変形した場合でも、オープン補正時の電極６１の距離を挟持部２２の厚み（Ｚ方向の寸法）とすることができ、電極６１の変形の影響を除去した精度の高い補正値を得ることが可能となる。 Further, in the present embodiment, in the correction jig 10, the entire clamping portion 22 including the surface thereof is formed of a resin having electrical insulation. For this reason, it is possible to easily perform the open correction among the corrections by holding the holding part 22 between the electrodes 61. Further, by sandwiching the sandwiching portion 22, it is possible to perform open correction while keeping the distance between the electrodes 61 constant. Further, in the probe 60, the electrode 61 is relatively easily deformed. However, even if the electrode 61 is deformed, the distance of the electrode 61 at the time of open correction can be set as the thickness of the holding portion 22 (dimension in the Z direction). In addition, it is possible to obtain a highly accurate correction value from which the influence of deformation of the electrode 61 is removed.
さらに、本実施の形態では、補正用治具１０Ａの挟持部２２には、導電性を有する導体部２５が、当該挟持部２２の表面側に存在している。そのため、挟持部２２を電極６１で挟持することにより、補正のうちのショート補正を容易に行うことが可能となる。また、実際のチップ５０のサイズに対応する挟持部２２を挟み込んでショート補正を行うことで、チップ５０のサイズの違いによる微妙な違いを反映した、精度の高いショート補正の補正値を得ることができる。 Further, in the present embodiment, a conductive conductor portion 25 exists on the front surface side of the clamping portion 22 in the clamping portion 22 of the correction jig 10 </ b> A. Therefore, by sandwiching the clamping part 22 with the electrode 61, it is possible to easily perform the short correction among the corrections. Further, by performing the short correction by sandwiching the holding portion 22 corresponding to the actual size of the chip 50, it is possible to obtain a highly accurate correction value for the short correction that reflects a subtle difference due to the difference in the size of the chip 50. it can.
また、挟持部２２を電極６１で挟み込む場合、突当面２３ａに電極６１の先端側を突き当てることで、電極６１での挟み込み部分（挟持部２２）の長さ（Ｙ方向の寸法）を短くすることが可能となる。加えて、挟持部２２での挟み込み部分を規定の寸法とすることが可能となる。 In addition, when the sandwiching portion 22 is sandwiched between the electrodes 61, the length (dimension in the Y direction) of the sandwiching portion (the sandwiching portion 22) at the electrode 61 is shortened by abutting the tip side of the electrode 61 against the abutting surface 23a. It becomes possible. In addition, it is possible to make the sandwiched portion of the sandwiching portion 22 have a predetermined size.
さらに、本実施の形態では、補正用治具１０にはプローブ挟持部３０が設けられていて、このプローブ挟持部３０は、プローブ６０のカバー６２のうち互いに対向する側とは逆の外側に当接して、電極６１が挟持部２２を挟持する状態を維持可能としている。そのため、電極６１同士を直接接触させた状態でのショート補正を行い易くなり、電極６１同士の直接の接触を手で維持する等の必要がなくなる。それにより、精度の高いショート補正の補正値を得ることができる。また、挟持部２２の導体部２５を電極６１で挟み込んでのショート補正も容易に行うことができ、さらに挟持部２２を電極６１で挟み込んでのオープン補正も容易に行うことができる。 Further, in the present embodiment, the correction jig 10 is provided with the probe holding portion 30, and this probe holding portion 30 is applied to the outside of the cover 62 of the probe 60 opposite to the opposite side. In contact therewith, it is possible to maintain a state in which the electrode 61 holds the holding portion 22. Therefore, it is easy to perform short correction in a state where the electrodes 61 are in direct contact with each other, and it is not necessary to maintain direct contact between the electrodes 61 by hand. Thereby, it is possible to obtain a highly accurate correction value for short correction. Further, it is possible to easily perform the short correction by sandwiching the conductor portion 25 of the sandwiching portion 22 with the electrode 61, and it is also possible to easily perform the open correction by sandwiching the sandwiching portion 22 with the electrode 61.
＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
<Modification>
Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention can be variously modified in addition to this. This will be described below.
上述の実施の形態においては、挟持部２２は、平板状に設けられた構成となっている。しかしながら、挟持部２２には、孔やスリットが設けられる構成として、挟持部２２の誘電率を低減する構成としても良い。 In the above-described embodiment, the clamping unit 22 has a configuration provided in a flat plate shape. However, the sandwiching portion 22 may be provided with a hole or a slit so as to reduce the dielectric constant of the sandwiching portion 22.
また、上述の実施の形態では、補正用治具１０には、補正治具部２０と一体化されたプローブ挟持部３０が設けられていて、そのプローブ挟持部３０を補正治具部２０から切り離して使用するものとしている。しかしながら、プローブ挟持部３０は、補正治具部２０から切り離さずに使用するものとしても良い。また、補正用治具１０は、補正治具部２０とプローブ挟持部３０とが別体的な構成としても良く、プローブ挟持部３０が補正用治具１０に存在しない構成としても良い。 In the above-described embodiment, the correction jig 10 is provided with the probe holding part 30 integrated with the correction jig part 20, and the probe holding part 30 is separated from the correction jig part 20. To be used. However, the probe clamping unit 30 may be used without being separated from the correction jig unit 20. Further, the correction jig 10 may have a configuration in which the correction jig portion 20 and the probe holding portion 30 are separate, or the probe holding portion 30 may not be present in the correction jig 10.
また、上述の実施の形態では、各挟持部２２の厚み（Ｚ方向の寸法）は、チップ５０の全長Ｌ１に対応するものとしている。しかしながら、各挟持部２２の厚み（Ｚ方向の寸法）を、チップ５０の幅に対応させたり、チップ５０の厚みに対応させたり、チップ５０の端子部分の各寸法に対応させても良い。 Further, in the above-described embodiment, the thickness (dimension in the Z direction) of each clamping unit 22 corresponds to the entire length L1 of the chip 50. However, the thickness (dimension in the Z direction) of each clamping part 22 may correspond to the width of the chip 50, correspond to the thickness of the chip 50, or correspond to each dimension of the terminal portion of the chip 50.
また、各挟持部２２のＸ方向の長さを大きく取り、それぞれの挟持部２２に、導体部２５が存在する部分と、導体部２５が存在しない部分（表面にも樹脂が露出していて絶縁性を有する部分）とが並んで存在する構成としても良い。 In addition, the length of each sandwiching portion 22 in the X direction is increased, and each sandwiching portion 22 has a portion where the conductor portion 25 is present and a portion where the conductor portion 25 is not present (resin is exposed on the surface and is insulated. (Parts having properties) may be arranged side by side.
１０…測定治具、２０…基台、２１…挟持段部、２２、２２ａ〜２２ｇ…挟持部、２３…突当部、２３ａ…突当面、２４…ベース部、２５…導体部、３０…プローブ挟持部、３１…長手部、３２…保持片部、４０…連結部、４１，４２…突出片、４３…薄肉部、５０…チップ（被測定物に対応）、６０…プローブ、６１…電極、６２…カバー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Measuring jig, 20 ... Base, 21 ... Clamping step part, 22, 22a-22g ... Clamping part, 23 ... Abutting part, 23a ... Abutting surface, 24 ... Base part, 25 ... Conductor part, 30 ... Probe Clamping part, 31 ... longitudinal part, 32 ... holding piece part, 40 ... connecting part, 41,42 ... projecting piece, 43 ... thin part, 50 ... tip (corresponding to the object to be measured), 60 ... probe, 61 ... electrode, 62 ... Cover
Claims (4)
前記プローブが備える一対の電極によって挟み込まれる複数の挟持部を備え、この挟持部は、少なくとも樹脂を材質として形成され、
複数の前記挟持部の厚みは、サイズの異なる前記被測定物のそれぞれの全長に対応する寸法に設定され、
前記挟持部には、突当部が隣接して設けられ、
前記挟持部を前記電極で挟持する際に、その電極の先端側を前記突当部に突き当てて、当該電極において前記挟持部を挟み込んでいる部分の長さを規制する、
ことを特徴とする補正用治具。 A correction jig used for performing correction for reducing an error in impedance measurement of an object to be measured via a probe connected to an impedance measuring instrument,
A plurality of sandwiching portions sandwiched between a pair of electrodes included in the probe, the sandwiching portion is formed of at least resin as a material,
The thicknesses of the plurality of sandwiching portions are set to dimensions corresponding to the total lengths of the objects to be measured having different sizes ,
The clamping part is provided with an abutting part adjacent thereto,
When the clamping part is clamped by the electrode, the tip side of the electrode is abutted against the abutting part to regulate the length of the part sandwiching the clamping part in the electrode,
A correction jig characterized by that.
前記補正のうちのオープン補正を行うために、前記挟持部は、その表面を含めた全体が、電気的な絶縁性を有する樹脂によって形成されている、
ことを特徴とする補正用治具。 The correction jig according to claim 1,
In order to perform the open correction among the corrections, the entire clamping part including the surface thereof is formed of a resin having an electrical insulating property.
A correction jig characterized by that.
前記補正のうちのショート補正を行うために、樹脂を材質とする前記挟持部の少なくとも表面側は、導電性を有する導体部が存在している、
ことを特徴とする補正用治具。 The correction jig according to claim 1,
In order to perform the short correction among the corrections, at least the surface side of the sandwiching part made of resin has a conductive conductor part,
A correction jig characterized by that.
前記プローブのカバーのうち互いに対向する側とは逆の外側に当接して、前記電極が前記挟持部を挟持する状態を維持するプローブ挟持部が設けられている、
ことを特徴とする補正用治具。 The correction jig according to any one of claims 1 to 3 ,
A probe holding part is provided that contacts the outside opposite to the opposite sides of the cover of the probe and maintains the state in which the electrode holds the holding part.
A correction jig characterized by that.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013147322A JP6144984B2 (en) | 2013-07-16 | 2013-07-16 | Correction jig |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013147322A JP6144984B2 (en) | 2013-07-16 | 2013-07-16 | Correction jig |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015021728A JP2015021728A (en) | 2015-02-02 |
| JP6144984B2 true JP6144984B2 (en) | 2017-06-07 |
Family
ID=52486329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013147322A Active JP6144984B2 (en) | 2013-07-16 | 2013-07-16 | Correction jig |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6144984B2 (en) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0720620Y2 (en) * | 1987-06-30 | 1995-05-15 | 横河・ヒューレット・パッカード株式会社 | Test fixture calibration fixture |
| JPH0611459Y2 (en) * | 1988-12-03 | 1994-03-23 | 日置電機株式会社 | Tweezers type probe |
| US5030919A (en) * | 1990-06-04 | 1991-07-09 | G&E Test Technologies, Inc. | Zero impedance switch |
| JP3569382B2 (en) * | 1996-03-04 | 2004-09-22 | 日置電機株式会社 | LCR meter |
-
2013
- 2013-07-16 JP JP2013147322A patent/JP6144984B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2015021728A (en) | 2015-02-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI544502B (en) | Resistor with temperature coefficient of resistance (tcr) compensation | |
| KR102001349B1 (en) | Probe pin and inspection device using it | |
| US9470501B2 (en) | Contact-terminal apparatus with pressure sensor | |
| JP2011137774A (en) | Sheet resistance measurement terminal and measuring lead employing the same | |
| JP6906036B2 (en) | Shunt resistor for current detection | |
| JP6144984B2 (en) | Correction jig | |
| JP4115456B2 (en) | Measuring device for solid electrolytic capacitors | |
| JP6314010B2 (en) | Current sensor | |
| JP2018071999A (en) | Measuring probe | |
| JP6233039B2 (en) | Semiconductor test jig, measuring device, test method | |
| JP6038551B2 (en) | Capacitor unit for voltage measuring equipment | |
| JP6441122B2 (en) | Terminal unit and resistance device | |
| JP2003270267A (en) | Probe unit, probe card, measuring device and production method for probe card | |
| JP2016161529A (en) | Current sensor | |
| JP7055596B2 (en) | Conductive contact holder and conductive contact unit | |
| JP2017102023A (en) | Current sensor | |
| JP6410426B2 (en) | Conductor processing inspection apparatus and conductor processing inspection method | |
| JP2020094824A (en) | Impedance measurement device and impedance measurement method | |
| JP6377919B2 (en) | Temperature sensor | |
| JP4474874B2 (en) | Aluminum electrolytic capacitor manufacturing method and connection resistance inspection apparatus using the same | |
| JP6783062B2 (en) | Measuring jig and correction value measuring method | |
| CN203798842U (en) | Quartz crystal testing head | |
| JP2014087192A (en) | Bus bar structure and method for manufacturing the same | |
| JPH0720620Y2 (en) | Test fixture calibration fixture | |
| JP2019020356A (en) | Resistance value measurement method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160607 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170310 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170321 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170414 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170509 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170512 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6144984 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |