JP6142431B2 - Method for manufacturing liquid cell - Google Patents
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Description
本発明は、透過した波形を計測する分光装置に用いられる液体用セルに関するものである。 The present invention relates to a liquid cell used in a spectroscopic device for measuring a transmitted waveform.
近年、光と電波の境界領域にあるテラヘルツ波が注目されており、各分野における分析等に使用されている。また、分析方法は、テラヘルツ分光計測装置が用いられている。このテラヘルツ分光計測装置は、気体、固体、粉体、液体などが測定可能であり、テラヘルツパルス波を被測定物に照射させ、被測定物から透過したテラヘルツパルス波の波形データをフーリエ変換することにより周波数ごとの振幅と位相を得る分光法である。また、テラヘルツ分光計測は、被測定物の材質が固体の場合は平板状に形成して測定し、粉体の場合は錠剤成形機で錠剤化して測定される。また、被測定物の材質が気体の場合は気体セルと言われる容器に被測定物を密封させて測定される。また、液体の場合は液体用セルと言われる容器に封入されて測定される。また、液体用セルは、例えば合成石英ガラス、水晶、高抵抗シリコンウエハなどの透過性器材よりなり、テラヘルツパルス波を透過させるように形成されている。また、液体用セルは、2つの透過性器材に挟まれた一定の距離を有した被測定物を封入する空間が形成されており、被測定物を封入する空間に被測定物を注入する導液口部が設けられている。なお、水はテラヘルツ波を吸収し透過させにくい性質を持っているため、被測定物は、テラヘルツパルス波を被測定物に照射させる方向の光路長が短く形成された液体用セルに封入されて測定される。 In recent years, terahertz waves in the boundary region between light and radio waves have attracted attention and are used for analysis in various fields. As an analysis method, a terahertz spectrometer is used. This terahertz spectrometer can measure gases, solids, powders, liquids, etc., irradiates the object to be measured with terahertz pulse waves, and performs Fourier transform on the waveform data of the terahertz pulse waves transmitted from the object to be measured This is a spectroscopic method for obtaining the amplitude and phase for each frequency. In the terahertz spectroscopic measurement, when the material of the object to be measured is solid, it is measured by forming a flat plate, and when the material is powder, it is measured by tableting with a tablet molding machine. Further, when the material of the object to be measured is gas, the measurement is performed by sealing the object to be measured in a container called a gas cell. In the case of liquid, it is measured by being enclosed in a container called a liquid cell. The liquid cell is made of a transmissive device such as synthetic quartz glass, crystal, or high-resistance silicon wafer, and is formed to transmit a terahertz pulse wave. The liquid cell is formed with a space for enclosing the object to be measured having a certain distance between two permeable devices. The liquid cell is guided to inject the object to be measured into the space for enclosing the object to be measured. A liquid mouth portion is provided. Since water has the property of absorbing and preventing transmission of terahertz waves, the object to be measured is enclosed in a liquid cell formed with a short optical path length in the direction of irradiating the object to be measured with terahertz pulse waves. Measured.
次に、液体用セルの製造方法について説明する。液体用セルの製造方法は、透過性器材の一方の主面に金属膜を形成する。次に、透過性器材に設けられた金属膜表面にレジスト膜を形成する。次に、レジスト膜に光または電子ビームを照射して所望の形状を描画する。次に、レジスト膜に描画されて露出する部分の形状で金属膜をエッチングする。次に、金属膜がエッチングされて露出する透過性器材をエッチングする。次に、エッチングされた露光器材からレジスト膜および金属膜を剥離する。次に、透過性器材を積層して互いに接合することにより液体用セルが形成される(例えば、特許文献1参照)。 Next, a method for manufacturing a liquid cell will be described. In the method for manufacturing a liquid cell, a metal film is formed on one main surface of the permeable device. Next, a resist film is formed on the surface of the metal film provided on the permeable device. Next, a desired shape is drawn by irradiating the resist film with light or an electron beam. Next, the metal film is etched in the shape of the portion that is drawn and exposed on the resist film. Next, the transparent device exposed by etching the metal film is etched. Next, the resist film and the metal film are peeled off from the etched exposure apparatus. Next, a liquid cell is formed by laminating permeable devices and bonding them together (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、従来の液体用セルにおいて被測定物が封入される空間は、エッチングにより形成されているため、エッチングの進捗状況により被測定物が封入される空間の深さのばらつき、残さ等が生じることがあった。そのため、テラヘルツ分光計測を行う被測定物の透過方向の距離にバラツキが生じることとなる。よって、テラヘルツ分光計測を行った場合、被測定物から透過したテラヘルツパルス波の波形データは、誤差が生じ被測定物の分析精度を悪化させる要因となる。
そこで、本発明は、前記問題を解決しテラヘルツ分光計測における分析精度が優れた液体用セルを提供することを課題とする。
However, since the space in which the object to be measured is enclosed in the conventional liquid cell is formed by etching, the depth of the space in which the object to be measured is enclosed, the residue, etc. are generated depending on the progress of the etching. was there. Therefore, the distance in the transmission direction of the object to be measured for terahertz spectroscopic measurement varies. Therefore, when terahertz spectroscopic measurement is performed, the waveform data of the terahertz pulse wave transmitted from the object to be measured causes an error and causes the analysis accuracy of the object to be deteriorated.
Therefore, an object of the present invention is to provide a liquid cell that solves the above problems and has excellent analysis accuracy in terahertz spectroscopy measurement.
本発明によれば、板状の第1窓部材と空間部材と第2窓部材とで構成された液体用セルの製造方法であって、第1窓部材の一方の主面に第1窓部材側金属膜を形成する第1窓部材側金属膜形成工程と、空間部材の一方の主面に空間部材側第1金属膜と空間部材の他方の主面に空間部材側第2金属膜を形成する空間部材側金属膜形成工程と、第1窓部材と空間部材を接合する部材接合工程と、空間部材の他方の主面に設けられた空間部材側第2金属膜の表面にレジスト膜を形成し所定の外形パターンで露光されたレジスト膜を剥離させ露出した空間部材側第2金属膜の形状で空間部材側第2金属膜から空間部材の一方の主面に設けられた空間部材側第1金属膜までエッチングする被測定物封入空間形成工程と、レジスト膜を全て剥離する全レジスト膜剥離工程と、第2窓部材の一方の主面に第2窓部材側金属膜を形成する第2窓部材側金属膜形成工程と、第1窓部材と空間部材と第2窓部材とを接合させた後、被測定物封入空間内の第1窓部材側金属膜と第2窓部材側金属膜をエッチングする全部材接合工程とを含んで構成されている。 According to the present invention, there is provided a liquid cell manufacturing method including a plate-like first window member, a space member, and a second window member, wherein the first window member is formed on one main surface of the first window member. A first window member side metal film forming step of forming a side metal film, and forming a space member side first metal film on one main surface of the space member and a space member side second metal film on the other main surface of the space member. Forming a resist film on the surface of the space member side second metal film provided on the other main surface of the space member; Then, the space member side first provided on the one main surface of the space member from the space member side second metal film in the shape of the space member side second metal film exposed by peeling off the resist film exposed with a predetermined outer shape pattern. A process for forming the space for enclosing the object to be measured, which etches even the metal film, and all the registers that remove the resist film. Film peeling step, a second window member side metal film forming step of forming a second window member side metal film on one main surface of the second window member, a first window member, a space member, and a second window member after joining, it is configured to include a whole material bonding step of etching the first window member side metal film and the second window member side metal film of the object to be measured enclosed space.
本発明によれば、液体用セルにおける被測定物が封入される部分のテラヘルツパルス波を照射する方向、すなわち光路長が短い方向は、空間部材が接合された第1窓部材の主面から空間部材が接合された第2窓部材の主面までとなる。したがって、空間部材が接合された第1窓部材の主面から空間部材が接合された第2窓部材の主面までは同一の距離を有することとなる。よって、本発明の液体用セルにおける被測定物が封入される空間は、従来のエッチングにより被測定物が封入される空間を形成する方法よりも光路長が短い方向の距離のばらつきが少なく形成することができる。また、テラヘルツ分光計測は、被測定物の分析精度が向上した測定をすることができる。 According to the present invention, the direction in which the terahertz pulse wave in the portion where the measurement object is sealed in the liquid cell, that is, the direction in which the optical path length is short, is a space from the main surface of the first window member to which the space member is joined. It becomes to the main surface of the 2nd window member to which the member was joined. Therefore, it has the same distance from the main surface of the 1st window member to which the space member was joined to the main surface of the 2nd window member to which the space member was joined. Therefore, the space in which the object to be measured is enclosed in the liquid cell of the present invention is formed with less variation in the distance in the direction in which the optical path length is shorter than the method of forming the space in which the object to be measured is sealed by conventional etching. be able to. Further, the terahertz spectroscopic measurement can perform measurement with improved analysis accuracy of the object to be measured.
以下、本発明のいくつかの例示的な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、同一要素には同一の符号を付し重複する説明を省略する。また、構成を明確にするために誇張して図示している。なお、本実施形態における主面とは、立体的に形成される例えば水晶板において、最も広い面およびそれと平行する平面のことである。 Hereinafter, some exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same element and the overlapping description is abbreviate | omitted. In addition, the illustration is exaggerated for the sake of clarity. In addition, the main surface in this embodiment is the widest surface and the plane parallel to it in the three-dimensionally formed crystal plate, for example.
(第1の実施形態)
図1および図2に示されているように、本発明の第1の実施形態における液体用セルの製造方法は、板状の第1窓部材10と空間部材20と第2窓部材30とで構成された液体用セル100であって、第1窓部材側金属膜形成工程(S1)、空間部材側金属膜形成工程(S2)、部材接合工程(S3)、被測定物封入空間形成工程(S4)、全レジスト膜剥離工程(S5)、第2窓部材側金属膜形成工程(S6)、全部材接合工程(S7)を含んで構成されている。また、部材接合工程(S3)および全部材接合工程(S7)での接合方法は、原子拡散接合方法により行われる。また、第1の実施形態における液体用セルの製造方法によって、第1窓部材10と第2窓部材30とで空間部材20を挟むことにより、テラヘルツ分光計測用の被測定物を封入する被測定物封入空間40が設けられる。
(First embodiment)
As shown in FIGS. 1 and 2, the liquid cell manufacturing method according to the first embodiment of the present invention includes a plate-like
まず液体用セルの構成要素について説明する。
第1窓部材10は、例えば人工水晶または無色透明な天然水晶からなる透明な平板状に形成されており、第1窓部材10の表裏主面は平行に形成されている。
First, components of the liquid cell will be described.
The
第2窓部材30は、第1窓部材10と同様に例えば人工水晶または無色透明な天然水晶からなる透明な平板状に形成されており、第2窓部材30の表裏主面は平行に形成されている。なお、第2窓部材30には、テラヘルツ分光計測用の被測定物封入空間40にテラヘルツ分光計測用の被測定物を注出入する導液口部(図示せず)が設けられている。
Similar to the
導液口部(図示せず)は、第2窓部材30に設けられており、テラヘルツ分光計測用の被測定物封入空間40に被測定物を注出入する貫通孔である。また、この貫通孔は、第2窓部材30の被測定物封入空間40となる部分が設けられる主面から第2窓部材30の被測定物封入空間40となる部分が設けられる主面と相対する第2窓部材30の主面まで貫通している。また、導液口部(図示せず)は、被測定物封入空間40に被測定物を供給する孔と被測定物が封入された空間から被測定物を排出する孔の2つの穴で形成されている。
The liquid introduction port portion (not shown) is a through-hole that is provided in the
空間部材20は、例えば人工水晶、無色透明な天然水晶、合成石英ガラス、高抵抗シリコンウエハからなる平板状に形成されており、空間部材20の表裏主面は平行に形成されている。
The
次に本発明の第1の実施形態における液体用セルの製造方法について説明する。
[第1窓部材側金属膜形成工程(S1)]
図1および図2(a)に示すように、第1窓部材側金属膜形成工程(S1)は、第1窓部材10の一方の主面に第1窓部材側金属膜1を形成する工程である。
Next, a manufacturing method of the liquid cell in the first embodiment of the present invention will be described.
[First Window Member Side Metal Film Forming Step (S1)]
As shown in FIGS. 1 and 2A, the first window member side metal film forming step (S1) is a step of forming the first window member
第1窓部材側金属膜1は、例えばCr(クロム)、Ni(ニッケル)、Ta(タンタル)、Ti(チタン)等の下地金属膜の上に設けられ、Au(金)等の金属材料より形成されている。なお、第1窓部材側金属膜1の形成方法は、例えば、スパッタリング法や真空蒸着法などにより形成される。
The first window member
[空間部材側金属膜形成工程(S2)]
図1および図2(b)に示すように、空間部材側金属膜形成工程(S2)は、空間部材20の一方の主面に空間部材側第1金属膜2と空間部材20の他方の主面に空間部材側第2金属膜3とを形成する工程である。
[Space member side metal film forming step (S2)]
As shown in FIG. 1 and FIG. 2B, the space member side metal film forming step (S 2) includes the space member side
空間部材側第1金属膜2は、第1窓部材側金属膜1と同様にCr(クロム)、Ni(ニッケル)、Ta(タンタル)、Ti(チタン)等の下地金属膜の上に設けられ、Au(金)等の金属材料より形成されている。なお、空間部材側第1金属膜2の形成方法は、例えば、スパッタリング法や真空蒸着法などにより形成される。
The space member side
空間部材側第2金属膜3は、空間部材側第1金属膜2と同様にCr(クロム)、Ni(ニッケル)、Ta(タンタル)、Ti(チタン)等の下地金属膜の上に設けられ、Au(金)等の金属材料より形成されている。なお、空間部材側第2金属膜3の形成方法は、例えば、スパッタリング法や真空蒸着法などにより形成される。
The space member side
[部材接合工程(S3)]
図1および図2(c)に示すように、部材接合工程(S3)は、第1窓部材10と空間部材20とを第1窓部材側金属膜1と空間部材側第1金属膜2とを介して接合させる工程である。なお、第1窓部材10と空間部材20との接合方法は、原子拡散接合方法により行われる。
[Member joining step (S3)]
As shown in FIG. 1 and FIG. 2C, in the member joining step (S3), the
原子拡散接合方法は、第1窓部材10に形成された第1窓部材側金属膜1と空間部材20の一方の主面に形成された空間部材側第1金属膜2とを密着させ,第1窓部材側金属膜1と空間部材側第1金属膜2との融点以下の温度条件で,塑性変形をできるだけ生じない程度に加圧して,接合面間に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。
In the atomic diffusion bonding method, the first window member-
[被測定物封入空間形成工程(S4)]
図1および図2(d)に示すように、被測定物封入空間形成工程(S4)は、空間部材20の他方の主面に設けられた空間部材側第2金属膜3の表面にレジスト膜5を形成し、所定の外形パターンで露光されたレジスト膜5を剥離するとともに剥離されて露出した空間部材側第2金属膜3の形状で空間部材側第2金属膜3をエッチングし、このエッチングで露出した空間部材20をエッチングし、さらにエッチングで露出した空間部材20の一方の主面に設けられた空間部材側第1金属膜2をエッチングする工程である。なお、エッチングにより形成された空間は、テラヘルツ分光計測の被測定物が封入される空間となる。また、レジスト膜5は、例えば感光性有機物質よりなり、スピンコート法,電着レジスト法,スプレーコート法等により形成される。
[Measurement Object Enclosing Space Formation Step (S4)]
As shown in FIG. 1 and FIG. 2 (d), the measured object enclosure space forming step (S 4) is performed on the surface of the space member side
露光は、レジスト膜5の上に外形パターンが形成されたマスクを設置してレジスト膜5を露光することである。これにより、レジスト膜5の面がマスクに設けられた外形パターンで露光される。また、マスクは、平板状の第1窓部材10と同じ外形寸法を有し、被測定物が封入されることとなる部分が貫通孔となっている。
The exposure is to expose the resist
[全レジスト膜剥離工程(S5)]
図1および図2(e)に示すように、全レジスト膜剥離工程(S5)は、被測定物封入空間形成工程(S4)でエッチングされなかった部分に残っているレジスト膜5を全て剥離する工程である。
[All resist film peeling step (S5)]
As shown in FIGS. 1 and 2 (e), in the all resist film peeling step (S5), all the resist
[第2窓部材側金属膜形成工程(S6)]
図1および図2(f)に示すように、第2窓部材側金属膜形成工程(S6)は、第2窓部材30の一方の主面に第2窓部材側金属膜4を形成する工程である。
[Second Window Member Side Metal Film Forming Step (S6)]
As shown in FIG. 1 and FIG. 2 (f), the second window member side metal film forming step (S 6) is a step of forming the second window member
第2窓部材側金属膜4は、空間部材側第2金属膜3と同様にCr(クロム)、Ni(ニッケル)、Ta(タンタル)、Ti(チタン)等の下地金属膜の上に設けられ、Au(金)等の金属材料より形成されている。なお、第2窓部材側金属膜4の形成方法は、例えば、スパッタリング法や真空蒸着法などにより形成される。
The second window member
[全部材接合工程(S7)]
図1および図2(g)に示すように、全部材接合工程(S7)は、第1窓部材10と空間部材20と第2窓部材30とがそれぞれの部材間に形成された接合用金属膜を介して接合され、被測定物封入空間40内の第1窓部材側金属膜1と第2窓部材側金属膜4をエッチングする工程である。また、全部材接合工程(S7)の接合方法は、原子拡散接合方法により行われる。また、第2窓部材30に設けられた2つの導液口部(図示せず)には、例えばフッ素系プラスチックのチューブが孔内に挿入されており、シリコン系の接着剤で第2窓部材30に気密固定されている。
[All-member joining process (S7)]
As shown in FIGS. 1 and 2G, the all-member joining step (S7) is a joining metal in which the
このように、本発明の第1の実施形態に係る液体用セルの製造方法を構成したことにより、被測定物が封入される部分において、テラヘルツパルス波が照射される方向、すなわち光路長が短い方向は、第1窓部材10と第2窓部材30とで空間部材20を挟んだ方向である。また、第1窓部材10と第2窓部材30と空間部材20の表裏主面は平行に形成されていることにより、被測定物が封入される部分の第1窓部材10の表面から被測定物が封入される部分の第2窓部材30の表面までの距離は一定の距離となる。つまり、本発明の液体用セル100における被測定物が封入される部分は、光路長が短い方向の距離のばらつきが少なく形成されることとなる。よって、本発明の第1の実施形態に係る液体用セルを用いたテラヘルツ分光計測は、被測定物の分析精度が向上した測定をすることができる。
As described above, by configuring the liquid cell manufacturing method according to the first embodiment of the present invention, the direction in which the terahertz pulse wave is irradiated, that is, the optical path length is short in the portion where the object to be measured is enclosed. The direction is a direction in which the
(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態における液体用セル200について図3および図4を参照して説明する。なお、本発明の第2の実施形態における液体用セル200において、第1の実施形態における液体用セル100と異なる構成は被測定物が封入される部分の一方向が開口されていることである。その他の構成については、第1の実施形態における液体用セル100と同様である。
(Second Embodiment)
A
図3に示されているように、本発明の第2の実施形態における液体用セルの製造方法は、板状の第1窓部材10と空間部材20とで構成された液体用セル200の製造方法であって、第1窓部材側金属膜形成工程(S11)、空間部材側第1金属膜形成工程(S12)、部材接合工程(S13)、被測定物封入空間形成工程(S14)、全レジスト膜剥離工程(S15)、全部材接合工程(S16)を含んで構成されている。
As shown in FIG. 3, the method for manufacturing a liquid cell according to the second embodiment of the present invention is a method for manufacturing a
[第1窓部材側金属膜形成工程(S11)]
図3に示すように、第1窓部材側金属膜形成工程(S11)は、第1窓部材10の一方の主面に第1窓部材側金属膜1を形成する工程である。
[First Window Member Side Metal Film Forming Step (S11)]
As shown in FIG. 3, the first window member side metal film forming step (S <b> 11) is a step of forming the first window member
[空間部材側第1金属膜形成工程(S12)]
図3に示すように、空間部材側第1金属膜形成工程(S12)は、空間部材20の一方の主面に空間部材側第1金属膜2を形成する工程である。
[Space member side first metal film forming step (S12)]
As shown in FIG. 3, the space member side first metal film forming step (S <b> 12) is a step of forming the space member side
[部材接合工程(S13)]
図3に示すように、部材接合工程(S13)は、第1窓部材10と空間部材20とを第1窓部材側金属膜1と空間部材側第1金属膜2とを介して接合させる工程である。なお、第1窓部材10と空間部材20との接合方法は、原子拡散接合方法により行われる。
[Member joining step (S13)]
As shown in FIG. 3, the member joining step (S 13) is a step of joining the
[被測定物封入空間形成工程(S14)]
図3に示すように、被測定物封入空間形成工程(S14)は、空間部材側第1金属膜2が設けられていない空間部材20の主面の表面にレジスト膜5を形成し、所定の外形パターンで露光されたレジスト膜5を剥離するとともに剥離されて露出した空間部材20の形状で空間部材20をエッチングし、このエッチングで露出した空間部材20の一方の主面に設けられた空間部材側第1金属膜2をエッチングする工程である。なお、エッチングにより形成された空間は、テラヘルツ分光計測の被測定物が封入される被測定物封入空間40となる。また、レジスト膜5は、例えば感光性有機物質よりなり、スピンコート法,電着レジスト法,スプレーコート法等により形成される。
[Measurement Object Enclosing Space Formation Step (S14)]
As shown in FIG. 3, in the measured object enclosure space forming step (S14), a resist
[全レジスト膜剥離工程(S15)]
図3に示すように、全レジスト膜剥離工程(S15)は、被測定物封入空間形成工程(S14)でエッチングされなかった部分に残っているレジスト膜5を全て剥離する工程である。
[All resist film peeling step (S15)]
As shown in FIG. 3, the all resist film removing step (S15) is a step of removing all of the resist
[全部材接合工程(S16)]
図3および図4に示すように、全部材接合工程(S16)は、第1窓部材10と空間部材20とが第1窓部材側金属膜1と空間部材側第1金属膜2とを介して接合され、被測定物封入空間40内の第1窓部材側金属膜1をエッチングする工程である。また、全部材接合工程(S16)の接合方法は、原子拡散接合方法により行われる。また、この全部材接合工程(S16)を経て、液体用セル200を形成する。
[All members joining step (S16)]
As shown in FIGS. 3 and 4, in the all-member joining step (S 16), the
このように、本発明の第2の実施形態に係る液体用セルの製造方法を構成したことにより、被測定物が封入される部分において、テラヘルツパルス波が照射される方向、すなわち光路長が短い方向は、第1窓部材10の一方の主面から第1窓部材10と接合された空間部材20の主面に相対する空間部材20の主面までの方向である。また、第1窓部材10と空間部材20の表裏主面は平行に形成されていることにより、被測定物が封入される部分の第1窓部材10の表面から被測定物が封入される部分の空間部材20の主面までの距離は一定の距離となる。つまり、本発明の液体用セル200における被測定物が封入される部分は、光路長が短い方向の距離のばらつきが少なく形成されることとなる。よって、本発明の第2の実施形態に係る液体用セルを用いたテラヘルツ分光計測は、被測定物の分析精度が向上した測定をすることができる。
As described above, by configuring the method for manufacturing a liquid cell according to the second embodiment of the present invention, the direction in which the terahertz pulse wave is irradiated, that is, the optical path length is short in the portion where the object to be measured is enclosed. The direction is a direction from one main surface of the
なお、本発明はこれに限定されず、適宜変更可能である。
例えば、第1の実施形態の変形例として、空間部材20が、空間部材側金属膜形成工程(S2)の空間部材側第1金属膜2と空間部材側第2金属膜3を形成する前に物理的に研磨されていてもよい。
In addition, this invention is not limited to this, It can change suitably.
For example, as a modification of the first embodiment, before the
また、例えば、第2の実施形態の変形例として、空間部材20が、空間部材側第1金属膜形成工程(S12)の空間部材側第1金属膜2を形成する前に物理的に研磨されていてもよい。
Further, for example, as a modification of the second embodiment, the
1 第1窓部材側金属膜
2 空間部材側第1金属膜
3 空間部材側第2金属膜
4 第2窓部材側金属膜
5 レジスト膜
10 第1窓部材
20 空間部材
30 第2窓部材
40 被測定物封入空間
100,200 液体用セル
DESCRIPTION OF
Claims (1)
前記第1窓部材の一方の主面に第1窓部材側金属膜を形成する第1窓部材側金属膜形成工程と、
前記空間部材の一方の主面に空間部材側第1金属膜と前記空間部材の他方の主面に空間部材側第2金属膜を形成する空間部材側金属膜形成工程と、
前記第1窓部材と前記空間部材を接合する部材接合工程と、
前記空間部材の他方の主面に設けられた前記空間部材側第2金属膜の表面にレジスト膜を形成し所定の外形パターンで露光された前記レジスト膜を剥離させ露出した前記空間部材側第2金属膜の形状で前記空間部材側第2金属膜から前記空間部材の一方の主面に設けられた空間部材側第1金属膜までエッチングする被測定物封入空間形成工程と、
前記レジスト膜を全て剥離する全レジスト膜剥離工程と、
前記第2窓部材の一方の主面に第2窓部材側金属膜を形成する第2窓部材側金属膜形成工程と、
前記第1窓部材と前記空間部材と前記第2窓部材とを接合させた後、被測定物封入空間内の前記第1窓部材側金属膜と前記第2窓部材側金属膜をエッチングする全部材接合工程とを含んで構成されている
ことを特徴とする液体用セルの製造方法。 A method for producing a liquid cell comprising a plate-like first window member, a space member, and a second window member,
A first window member-side metal film forming step of forming a first window member-side metal film on one main surface of the first window member;
A space member side metal film forming step of forming a space member side first metal film on one main surface of the space member and a space member side second metal film on the other main surface of the space member;
A member joining step for joining the first window member and the space member;
The space member-side second exposed by exposing a resist film formed on a surface of the space member-side second metal film provided on the other main surface of the space member and peeling the resist film exposed with a predetermined outer shape pattern. A measured object enclosing space forming step of etching from the space member side second metal film to the space member side first metal film provided on one main surface of the space member in the shape of a metal film;
A total resist film peeling step for peeling off the resist film;
A second window member side metal film forming step of forming a second window member side metal film on one main surface of the second window member;
All of etching the first window member side metal film and the second window member side metal film in the measured object enclosure space after joining the first window member, the space member, and the second window member. A liquid cell manufacturing method comprising: a material joining step.
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