JP6137914B2 - Optical scanning apparatus and endoscope apparatus - Google Patents
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本発明は、光を走査する光走査装置及び内視鏡装置に関する。 The present invention relates to an optical scanning device and an endoscope device that scan light.
内視鏡装置は、光を2次元で走査するための光走査装置を内蔵している。例えば特許文献1には、2つの可動ミラーと、2つの固定ミラーを用いて入射した光を2次元で走査することが記載されている。 The endoscope apparatus has a built-in optical scanning device for scanning light in two dimensions. For example, Patent Document 1 describes that incident light is scanned two-dimensionally using two movable mirrors and two fixed mirrors.
しかし特許文献1に記載の技術では、光が光走査装置に入射する方向と、光が光走査装置から照射対象に向けて出射する方向とが90°程度変わってしまう。このため、光走査装置の操作者が、照射対象の位置を勘違いする可能性が出てしまう。一方で、内視鏡装置などにおいては、光走査装置の厚さを薄くする必要がある。 However, in the technique described in Patent Document 1, the direction in which light is incident on the optical scanning device and the direction in which light is emitted from the optical scanning device toward the irradiation target are changed by about 90 °. For this reason, the operator of the optical scanning device may misunderstand the position of the irradiation target. On the other hand, in an endoscope apparatus or the like, it is necessary to reduce the thickness of the optical scanning apparatus.
これに対して特許文献2〜4には、互いに直交する2つの回転軸を有する可動ミラーの上方に、断面が略三角形のプリズムを配置し、このプリズムの2面を反射面として用いることが記載されている。特許文献2〜4には、この技術により光走査装置の径を小さくできる、と記載されている。 On the other hand, Patent Documents 2 to 4 describe that a prism having a substantially triangular cross section is disposed above a movable mirror having two rotation axes orthogonal to each other, and two surfaces of the prism are used as reflecting surfaces. Has been. Patent Documents 2 to 4 describe that this technique can reduce the diameter of the optical scanning device.
特許文献2〜4に記載の技術では、可動ミラーは、互いに直交する2つの回転軸を有する必要がある。この場合、一つの回転軸を有する可動ミラーを複数組み合わせた場合と比べ、径方向の寸法が大きくなる。かつ、構造が複雑化するため製造コストが高くなる。 In the techniques described in Patent Documents 2 to 4, the movable mirror needs to have two rotation axes that are orthogonal to each other. In this case, the radial dimension is larger than when a plurality of movable mirrors having one rotation axis are combined. In addition, the manufacturing cost increases because the structure is complicated.
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、径方向の寸法が大きくなることを抑制でき、光が出射する方向と、光が光走査装置に入射する方向とを一致させることができ、かつ製造コストを抑制できる光走査装置及び内視鏡装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to suppress an increase in radial dimension, a direction in which light is emitted, and a direction in which light is incident on an optical scanning device. It is an object of the present invention to provide an optical scanning device and an endoscopic device that can match each other and can reduce manufacturing costs.
本発明に係る光走査装置は、第1可動反射部、第2可動反射部、第1固定反射部、第2固定反射部、及び第3固定反射部を備えている。これらの反射部は、平面視でこの順に並んでいる。第1固定反射部は、入射光を第1可動反射部に向けて反射する。第1可動反射部は、反射面が回転可能であり、かつ第1固定反射部で反射された入射光を第2固定反射部に向けて反射する。第2固定反射部は、第1可動反射部で反射された入射光を第2可動反射部に向けて反射する。第2可動反射部は、反射面が回転可能であり、回転軸が第1可動反射部の回転軸と交わる方向を向いており、かつ第2固定反射部で反射された入射光を第3固定反射部に向けて反射する。第3固定反射部は、第2可動反射部で反射された入射光を、平面視で第2可動反射部とは逆側に進む方向に反射することにより、出射光として出力する。第2固定反射部の反射面は、楕円体の表面に沿った形状を有している。そして、第1可動反射部は、楕円体の第1の焦点と重なっており、第2可動反射部は、楕円体の第2の焦点と重なっている。 The optical scanning device according to the present invention includes a first movable reflective portion, a second movable reflective portion, a first fixed reflective portion, a second fixed reflective portion, and a third fixed reflective portion. These reflecting portions are arranged in this order in plan view. The first fixed reflection part reflects incident light toward the first movable reflection part. The first movable reflecting portion has a reflecting surface that is rotatable, and reflects incident light reflected by the first fixed reflecting portion toward the second fixed reflecting portion. The second fixed reflection part reflects incident light reflected by the first movable reflection part toward the second movable reflection part. The second movable reflector has a reflecting surface that is rotatable, the rotation axis is in a direction intersecting with the rotation axis of the first movable reflector, and incident light reflected by the second fixed reflector is third fixed. Reflects toward the reflecting part. The third fixed reflection unit outputs the incident light reflected by the second movable reflection unit as outgoing light by reflecting the incident light in a direction proceeding to the opposite side of the second movable reflection unit in plan view. The reflection surface of the second fixed reflection part has a shape along the surface of the ellipsoid. The first movable reflector overlaps with the first focal point of the ellipsoid, and the second movable reflector overlaps with the second focal point of the ellipsoid.
本発明に係る内視鏡装置は、光源と、上記した光走査装置とを備える。光走査装置は、光源から入射された光を走査するとともに、観察対象からの光を取り出す。 An endoscope apparatus according to the present invention includes a light source and the above-described optical scanning device. The optical scanning device scans light incident from a light source and extracts light from an observation target.
本発明によれば、光走査装置の径方向の寸法が大きくなることを抑制でき、光が光走査装置から出射する方向と、光が光走査装置に入射する方向とを一致させることができ、かつ、製造コストを抑制できる。 According to the present invention, it is possible to suppress an increase in the radial dimension of the optical scanning device, it is possible to match the direction in which light is emitted from the optical scanning device and the direction in which light is incident on the optical scanning device, And manufacturing cost can be controlled.
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate.
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る光走査装置10の構成を示す断面図である。本実施形態に係る光走査装置10は、第1可動反射部102、第2可動反射部104、第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206を備えている。第1可動反射部102は反射面が回転可能である。第2可動反射部104は反射面が回転可能であり、反射面の回転軸が第1可動反射部102の反射面の回転軸と交わる方向(例えば直角に交わる方向)を向いている。平面視で、第2可動反射部104は第1可動反射部102と並んで配置されている。第1固定反射部202は、平面視で第1可動反射部102を介して第2可動反射部104とは逆側に位置しており、入射光を第1可動反射部102に向けて反射する。第2固定反射部204は、平面視で第1可動反射部102と第2可動反射部104の間に配置されており、第1可動反射部102で反射された入射光を第2可動反射部104に向けて反射する。第3固定反射部206は、平面視で第2可動反射部104を介して第1可動反射部102とは逆側に配置されており、第2可動反射部104で反射された入射光を第2可動反射部104から離れる方向に、すなわち平面視で第2可動反射部104とは逆側に進む方向に反射する。以下、詳細に説明する。
(First embodiment)
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an
本実施形態において、平面視において第1固定反射部202、第1可動反射部102、第2固定反射部204、第2可動反射部104、及び第3固定反射部206は、直線に沿ってこの順に並んでいる。このため、光走査装置10の幅(図1の紙面に対して直角な方向の幅)は、小さくなる。なお、以下の説明において、第1可動反射部102、第2固定反射部204、第2可動反射部104、及び第3固定反射部206が並んでいる方向を、第1の方向とする。
In the present embodiment, the first
第1可動反射部102及び第2可動反射部104は、同一の基板100に形成されている。基板100は、例えばシリコン基板である。そして第1可動反射部102及び第2可動反射部104は、基板100を加工することにより形成されている。第1可動反射部102及び第2可動反射部104の構造の詳細については後述する。
The first
第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206は、一つの光学部材200の外面(第1反射面、第2反射面、及び第3反射面)として形成されている。光学部材200は、例えばセラミックス、金属、ガラス、又は樹脂により形成されている。そして第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206は、光学部材200の外面のうち基板100に対向している面に金属膜(例えばAl膜)を蒸着法などで形成したものである。第1固定反射部202及び第3固定反射部206は、いずれも平面であるが、向きが互いに異なる。
The first
本実施形態において、第2固定反射部204の反射面は、楕円体ESの表面に沿った形状を有している。楕円体ESは2つの焦点を有しているが、一方の焦点は第1可動反射部102と重なっており、他方の焦点は第2可動反射部104と重なっている。好ましくは、一方の焦点は、第1可動反射部102の中心と重なっており、他方の焦点は第2可動反射部104の中心と重なっている。なお、楕円体ESは回転楕円体であっても良い。
In the present embodiment, the reflecting surface of the second fixed reflecting
また、第2固定反射部204に対する第1固定反射部202の角度θ1は、第2固定反射部204に対する第3固定反射部206の角度θ2と等しい。ただし、第1固定反射部202と第3固定反射部206は互いに逆側を向いている。角度θ1及びθ2とは、例えば12.4°以上12.6°以下である。ただし角度θ1及びθ2とはこの範囲に限定されない。そして、第2固定反射部204のうち光が入射する部分から第2可動反射部104のうち光が入射する部分までの距離をL、第2固定反射部204から第2可動反射部104までの距離の最大値をh、第2固定反射部204の法線に対する光の角度をθ3とすると、以下の関係が成り立つ。
tanθ3=L/h・・・(1)
θ1=(π/2−θ3)/2・・・(2)
Further, the angle θ 1 of the first
tan θ 3 = L / h (1)
θ 1 = (π / 2−θ 3 ) / 2 (2)
なお、第1可動反射部102と第2可動反射部104の中心間距離を3.0mm、hを0.5mmとした場合、角度θ1は9.2°となり、角度θ3は71.6°となる。
When the distance between the centers of the first movable
そして、第3固定反射部206による反射光、すなわち光走査装置10の出射光の進行方向は、第2可動反射部104の傾きが変わることによって、第1可動反射部102の回転軸に直交する方向(図1において紙面に垂直な方向:以下、第1の軸方向と記載)に沿って変化し、かつ第2可動反射部104の傾きが変わることによって第1の軸と交わる第2の軸方向(図1における上下方向)に沿って変化する。
Then, the traveling direction of the reflected light from the third fixed reflecting
図2は、第1可動反射部102の詳細構造の一例を示す平面図である。第1可動反射部102は、可動電極120、枠体110、保持部材130、及び2つの第1固定電極140を備えている。保持部材130は、可動電極120を枠体110に取り付けており、かつ可動電極120の回転軸となる。2つの第1固定電極140は、可動電極120を介して互いに対向しており、可動電極120の回転軸と交わる方向に並んでいる。
FIG. 2 is a plan view showing an example of a detailed structure of the first movable reflecting
可動電極120の平面形状は矩形であるが、第1固定電極140と対向する辺(図2においてY方向に伸びている辺)は、櫛歯形状となっている。枠体110は、可動電極120の4辺のうち第1固定電極140と対向していない2つの辺(図2においてX方向に伸びている辺)それぞれに対向している。保持部材130は、可動電極120のうち枠体110と対向している2辺それぞれに対して設けられている。詳細には、保持部材130は、可動電極120のうち枠体110と対向している辺の中心に接続している。そして2つの保持部材130を結ぶ線が、可動電極120の回転軸となっている。本実施形態では、枠体110、可動電極120、及び保持部材130は一体的に形成されている。
The planar shape of the
第1固定電極140のうち可動電極120と対向する辺は、櫛歯形状となっており、可動電極120の櫛歯部分とかみ合っている。このため、第1固定電極140と可動電極120は、互いに対向する部分の面積が大きくなり、その結果、可動電極120の駆動力は大きくなる。
The side of the first
また、第1固定電極140は、一部が可動電極120と枠体110の間に伸びている。その伸びている部分の先端は、保持部材130に対向している。
Further, a part of the first
第1可動反射部102の可動電極120は、例えば上面が鏡面になっている。この鏡面は、例えば可動電極120の上面に金属膜(例えばAl膜)を形成することにより、形成されている。そして可動電極120の角度を変えることにより、可動電極120に入射してきた光の反射角を変える。可動電極120の角度は、制御部300によって制御される。
The
なお、第2可動反射部104の詳細構造は、平面視における向きが90°異なっている点を除いて、第1可動反射部102の詳細構造と同様である。また、第2可動反射部104も制御部300によって制御されている。
The detailed structure of the second
図3は、図2に示した制御部300による第1可動反射部102の制御方法を説明するための上面概略図である。本図に示す例において、第1可動反射部102の回転軸は、光の入射方向に沿う方向(図中X方向)に延伸している。このため、制御部300が第1可動反射部102を回転させると、光は回転軸に直交する方向(図中Y方向)に走査される。ここで、第1可動反射部102で進行方向が変更された光は、第2固定反射部204で反射される。このため、回転軸に直交する方向(図中Y方向)で見た場合、第2固定反射部204から第2可動反射部104に向かう光は、第1可動反射部102から第2固定反射部204に向かうときとは逆方向に進む。
FIG. 3 is a schematic top view for explaining a method of controlling the first
そして本図に示す例では、第2可動反射部104の回転軸は、第1可動反射部102の回転軸と直交する方向を向いている。このため、光が第2可動反射部104で反射する際、光の進行方向は、第1可動反射部102の回転軸に直交する方向(図中Y方向)に関しては、変化しない。
In the example shown in the figure, the rotation axis of the second
このように、制御部300は、図中Y方向に光を走査する場合には、第1可動反射部102の傾きを制御する。そして制御部300は、第2可動反射部104からの出射光を、図中Y方向において正方向(例えば図中上方向)に変化させたい場合、第1可動反射部102からの反射光が図中Y方向において負方向(図中下方向)に変化するように、第1可動反射部102を変化させる。また制御部300は、図中Y方向において光を負方向(例えば図中下方向)に変化させたい場合、第1可動反射部102からの反射光が図中Y方向において正方向に変化するように、第1可動反射部102を変化させる。
Thus, the
なお、第1可動反射部102の回転軸と第2可動反射部104の回転軸を上記のようにした場合、光走査装置10からの出力光を走査できる範囲を正方形や長方形にしやすい。これは、第1可動反射部102から第2可動反射部104までの光路長が、第2可動反射部104で反射してから後の光路長よりも短いためである。
In addition, when the rotation axis of the 1st
なお、第1可動反射部102の回転軸が光の入射方向に沿う方向(図中X方向)に延伸していても、制御部300は、同様の制御を行う。
Note that the
次に、本実施形態の効果について説明する。本実施形態によれば、光走査装置10は、第1可動反射部102及び第2可動反射部104の他に、第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206を備えている。そして、第1固定反射部202に入射した光は、第1可動反射部102に向けて反射される。第1可動反射部102は、光の方向を第1の方向に走査する。第1可動反射部102で反射された光は、第2固定反射部204を介して第2可動反射部104に入射する。第2可動反射部104は、光の方向を第2の方向に走査する。第2可動反射部104で反射された光は、第3固定反射部206を介して光走査装置10の外部に出射する。
Next, the effect of this embodiment will be described. According to the present embodiment, the
このため、光走査装置10から出射される光の方向を、光走査装置10に入射される光の向きにあわせることができる。すなわち光走査装置10から出射される光の光軸は、光走査装置10に入射される光の光軸と同一の向きを有している。また、第2固定反射部204に対する第1固定反射部202及び第3固定反射部206の角度θ1、θ2を大きくしなくても良いため、光走査装置10の厚さtを薄くできる。
For this reason, the direction of the light emitted from the
また、可動反射部として、第1可動反射部102及び第2可動反射部104の2つを用いている。このため、一つの可動反射部に、互いに直交する2つの回転軸を持たせる必要がない。従って、光走査装置10の径方向の寸法は、回転軸が2つではなく1つであるため、そのぶん小さくすることができる。また、光走査装置10の構造がシンプルになるので、製造コストを抑制できる。
In addition, two movable reflective portions, the first movable
さらに、第2固定反射部204の反射面を、楕円体ESの表面に沿った形状にしている。楕円体ESの一方の焦点は第1可動反射部102に重なっており、楕円体ESの他方の焦点は第2可動反射部104に重なっている。このため、第1可動反射部102で反射した光は、第2固定反射部204によって第2可動反射部104の中心に向かう方向に戻ってくる。従って、第1可動反射部102による光の走査量を大きくしても、第2可動反射部104の反射面を大きくしなくてよい。この結果、光走査装置10の厚さtを大きくしなくても、光走査装置10から出射される光が第1可動反射部102によって走査される範囲を大きくすることができる。
Furthermore, the reflecting surface of the second fixed reflecting
(第2の実施形態)
図4は、第2の実施形態に係る光走査装置10の構成を示す断面図である。本実施形態に係る光走査装置10は、光学部材200の構造を除いて第1の実施形態に係る光走査装置10と同様の構成である。
(Second Embodiment)
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the configuration of the
本実施形態において光学部材200は、ガラスや樹脂など、光走査装置10に入射する光に対して透明な材料により形成されている。そして光学部材200は、第1可動反射部102及び第2可動反射部104とは反対側の面に、第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206を有している。具体的には、光学部材200は、第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206となる面に、金属膜を有している。そしてこの金属膜のうち光学部材200の本体と接する面、すなわち光学部材200と外部の境界の内側の面が、第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206として機能する。
In the present embodiment, the
なお、光学部材200のうち第1可動反射部102及び第2可動反射部104に対向する面、並びに両側面(光の入射面及び出射面)は、いずれも、光が散乱しないように平坦であることが好ましい。
Note that the surfaces of the
本実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206は外部に露出しない。このため、第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206の表面が汚染されることを抑制できる。さらに、光学部材200を基板100上に接合する場合、第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206とは逆側の面が基板100に接合される。このため、この接合時に第1固定反射部202、第2固定反射部204、及び第3固定反射部206が汚染されることを抑制できる。
Also according to this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. Further, the first
(第3の実施形態)
図5は、第3の実施形態に係る光走査装置10の構成を示す断面図である。本実施形態に係る光走査装置10は、以下の点を除いて、第2の実施形態に係る光走査装置10と同様の構成である。
(Third embodiment)
FIG. 5 is a cross-sectional view showing the configuration of the
本実施形態において、光学部材200は、光の入射面207及び光の出射面208が、それぞれレンズ形状となっている。本図に示す例では、入射面207及び出射面208は、いずれも凸レンズとなっている。そして、入射面207及び出射面208によって、共焦点光学系が構成されている。
In the present embodiment, in the
本実施形態によれば、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、光学部材200の入射面207及び出射面208をレンズ形状にしているため、光学部材200にコリメートレンズ及び対物レンズを一体化することができる。
According to this embodiment, the same effect as that of the second embodiment can be obtained. Moreover, since the
(第4の実施形態)
図6は、第4の実施形態に係る内視鏡装置40の構成を示す図である。本実施形態に係る内視鏡装置40は、共焦点光学系の内視鏡装置であり、光走査装置10、光源420、ダイクロイックミラー430、光ファイバー440、光検出部450、AD変換部460、及び画像処理部470を備えている。光走査装置10は、ケース410の中に収容されている。ケース410は、内視鏡装置40の先端部を構成しており、その先端にレンズ412を有している。光源420は、例えばレーザ光源である。
(Fourth embodiment)
FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of an
本実施形態において、光走査装置10は、基板100、光学部材200、制御部300、及び配線基板310を有している。基板100及び光学部材200の構造は、第1〜第3の実施形態のいずれかと同様である。本図に示す例では、第1の実施形態と同様の場合を示している。制御部300は半導体ベアチップであり、基板100と共に配線基板310上に実装されている。基板100には貫通電極106が設けられている。第1可動反射部102及び第2可動反射部104は、貫通電極106及び配線基板310を介して、制御部300に接続している。
In the present embodiment, the
次に、内視鏡装置40の動作について説明する。光源420が生成した光は、ダイクロイックミラー430で反射され、光ファイバー440に入射する。光ファイバー440は、入射した光を光学部材200の第1固定反射部202に向けて出射する。第1固定反射部202に入射した光は、第1可動反射部102、第2固定反射部204、第2可動反射部104、及び第3固定反射部206を介して、レンズ412から観察対象に向けて出射する。このとき、制御部300が第1可動反射部102及び第2可動反射部104を制御することにより、観察対象に向けて出射する光の向きが制御される。
Next, the operation of the
観察対象には、予め蛍光体の分子が含浸されている。この蛍光体の分子は、レーザ光で励起されることにより蛍光発光する。この蛍光発光した光は、レンズ412を介して第3固定反射部206、第2可動反射部104、第2固定反射部204、第1可動反射部102、及び第1固定反射部202を介して光ファイバー440に入射する。光ファイバー440に入射した光は、ダイクロイックミラー430を透過して光検出部450によって電気信号に変換される。この電気信号は、AD変換部460によってデジタル信号に変換される。画像処理部470は、AD変換部460が生成したデジタル信号に基づいて画像データを生成する。
The observation object is impregnated with phosphor molecules in advance. The phosphor molecules emit fluorescence when excited by laser light. The fluorescently emitted light passes through the
本実施形態によれば、光走査装置10は、第1〜第3の実施形態のいずれかと同様の構造を有している。このため、内視鏡装置40から出射される光の光軸を、内視鏡装置40が延伸する方向(すなわちケース410が向いている方向)に合わせることができる。また、ケース410の径rを小さくすることができる。
According to this embodiment, the
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。例えば第1〜第3の実施形態に示した光走査装置10は、内視鏡装置40以外の装置、例えばレーザープロジェクタに使用されても良い。
As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable. For example, the
10 光走査装置
40 内視鏡装置
100 基板
102 第1可動反射部
104 第2可動反射部
106 貫通電極
110 枠体
120 可動電極
130 保持部材
140 第1固定電極
200 光学部材
202 第1固定反射部
204 第2固定反射部
206 第3固定反射部
207 入射面
208 出射面
300 制御部
310 配線基板
410 ケース
412 レンズ
420 光源
430 ダイクロイックミラー
440 光ファイバー
450 光検出部
460 AD変換部
470 画像処理部
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記第1固定反射部は、入射光を前記第1可動反射部に向けて反射し、
前記第1可動反射部は、反射面が回転可能であり、かつ前記第1固定反射部で反射された前記入射光を前記第2固定反射部に向けて反射し、
前記第2固定反射部は、前記第1可動反射部で反射された前記入射光を前記第2可動反射部に向けて反射し、
前記第2可動反射部は、反射面が回転可能であり、回転軸が前記第1可動反射部の回転軸と交わる方向を向いており、かつ前記第2固定反射部で反射された前記入射光を前記第3固定反射部に向けて反射し、
前記第3固定反射部は、前記第2可動反射部で反射された前記入射光を、平面視で前記第2可動反射部とは逆側に進む方向に反射し、
前記第2固定反射部の反射面は、楕円体の表面に沿った形状を有しており、
前記第1可動反射部で反射され、前記第2固定反射部で反射され、前記第2可動反射部で反射された前記入射光を含む断面において、前記第2固定反射部の前記反射面は、楕円に沿った形状を有しており、
前記断面において、前記第1可動反射部は、前記楕円の第1の焦点と重なっており、第2可動反射部は、前記楕円の第2の焦点と重なっている光走査装置。 The first fixed reflection portion, the first movable reflection portion, the second fixed reflection portion, the second movable reflection portion, and the third fixed reflection portion are arranged in this order in plan view,
The first fixed reflection part reflects incident light toward the first movable reflection part,
The first movable reflecting portion has a reflecting surface that is rotatable and reflects the incident light reflected by the first fixed reflecting portion toward the second fixed reflecting portion;
The second fixed reflection part reflects the incident light reflected by the first movable reflection part toward the second movable reflection part,
The incident light reflected by the second fixed reflecting portion, the reflecting surface of the second movable reflecting portion being rotatable, the rotation axis being in a direction intersecting with the rotation axis of the first movable reflecting portion. Is reflected toward the third fixed reflecting portion,
The third fixed reflecting portion reflects the incident light reflected by the second movable reflecting portion in a direction traveling in a direction opposite to the second movable reflecting portion in a plan view,
The reflection surface of the second fixed reflection part has a shape along the surface of the ellipsoid,
In the cross section including the incident light reflected by the first movable reflective portion, reflected by the second fixed reflective portion, and reflected by the second movable reflective portion, the reflective surface of the second fixed reflective portion is: It has a shape along an ellipse,
In the cross section, the first movable reflecting portion, the oval overlaps the first focal point of the circle, the second movable reflecting portion, a second focal point and overlapping and the optical scanning device of the ellipse.
前記第1可動反射部、第2固定反射部、第2可動反射部、及び第3固定反射部が並んでいる方向を第1の方向とした場合、
前記第1可動反射部の回転軸は、前記第1の方向に平行な方向を向いており、
前記第2可動反射部の回転軸は、前記第1の方向に直角な方向を向いている光走査装置。 The optical scanning device according to claim 1,
When the direction in which the first movable reflective portion, the second fixed reflective portion, the second movable reflective portion, and the third fixed reflective portion are arranged as a first direction,
The rotation axis of the first movable reflecting portion faces a direction parallel to the first direction,
An optical scanning device in which a rotation axis of the second movable reflector is oriented in a direction perpendicular to the first direction.
前記第1可動反射部及び前記第2可動反射部は同一の基板に形成されている光走査装置。 The optical scanning device according to claim 1 or 2,
The optical scanning device, wherein the first movable reflective portion and the second movable reflective portion are formed on the same substrate.
前記第3固定反射部の反射面は、前記第1固定反射部の反射面とは逆側を向いており、
前記第2固定反射部の反射面に対する前記第3固定反射部の反射面の傾きの大きさは、前記第2固定反射部の反射面に対する前記第1固定反射部の反射面の傾きの大きさと等しい光走査装置。 In the optical scanning device according to any one of claims 1 to 3,
The reflective surface of the third fixed reflective part faces away from the reflective surface of the first fixed reflective part,
The inclination of the reflection surface of the third fixed reflection part with respect to the reflection surface of the second fixed reflection part is equal to the inclination of the reflection surface of the first fixed reflection part with respect to the reflection surface of the second fixed reflection part. Equal optical scanning device.
前記第1可動反射部及び前記第2可動反射部に対向して配置された光学部材を備え、
前記光学部材は、前記第1固定反射部である第1反射面、前記第2固定反射部である第2反射面、及び前記第3固定反射部である第3反射面を有している光走査装置。 In the optical scanning device according to any one of claims 1 to 4,
An optical member disposed opposite to the first movable reflective portion and the second movable reflective portion;
The optical member has a first reflecting surface that is the first fixed reflecting portion, a second reflecting surface that is the second fixed reflecting portion, and a third reflecting surface that is the third fixed reflecting portion. Scanning device.
前記第1反射面、前記第2反射面、及び前記第3反射面は、前記光学部材の外面である光走査装置。 The optical scanning device according to claim 5,
The optical scanning device, wherein the first reflecting surface, the second reflecting surface, and the third reflecting surface are outer surfaces of the optical member.
前記第1反射面、前記第2反射面、及び前記第3反射面は、前記光学部材と外部の境界の内側の面である光走査装置。 The optical scanning device according to claim 5,
The optical scanning device, wherein the first reflection surface, the second reflection surface, and the third reflection surface are surfaces inside the boundary between the optical member and the outside.
前記光源から入射された光を走査するとともに、観察対象からの光を取り出す光走査装置と、
を備え、
前記光走査装置は、第1固定反射部、第1可動反射部、第2固定反射部、第2可動反射部、及び第3固定反射部を、平面視でこの順に並んだ状態で備えており、
前記第1固定反射部は、入射光を前記第1可動反射部に向けて反射し、
前記第1可動反射部は、反射面が回転可能であり、かつ前記第1固定反射部で反射された前記入射光を前記第2固定反射部に向けて反射し、
前記第2固定反射部は、前記第1可動反射部で反射された前記入射光を前記第2可動反射部に向けて反射し、
前記第2可動反射部は、反射面が回転可能であり、回転軸が前記第1可動反射部の回転軸と交わる方向を向いており、かつ前記第2固定反射部で反射された前記入射光を前記第3固定反射部に向けて反射し、
前記第3固定反射部は、前記第2可動反射部で反射された前記入射光を、平面視で前記第2可動反射部とは逆側に進む方向に反射することにより、出射光として出力し、
前記第2固定反射部の反射面は、楕円体の表面に沿った形状を有しており、
前記第1可動反射部は、前記楕円体の第1の焦点と重なっており、第2可動反射部は、前記楕円体の第2の焦点と重なっている内視鏡装置。 A light source;
An optical scanning device that scans the light incident from the light source and extracts light from the observation target;
With
The optical scanning device includes a first fixed reflection portion, a first movable reflection portion, a second fixed reflection portion, a second movable reflection portion, and a third fixed reflection portion arranged in this order in plan view. ,
The first fixed reflection part reflects incident light toward the first movable reflection part,
The first movable reflecting portion has a reflecting surface that is rotatable and reflects the incident light reflected by the first fixed reflecting portion toward the second fixed reflecting portion;
The second fixed reflection part reflects the incident light reflected by the first movable reflection part toward the second movable reflection part,
The incident light reflected by the second fixed reflecting portion, the reflecting surface of the second movable reflecting portion being rotatable, the rotation axis being in a direction intersecting with the rotation axis of the first movable reflecting portion. Is reflected toward the third fixed reflecting portion,
The third fixed reflecting portion outputs the incident light reflected by the second movable reflecting portion as outgoing light by reflecting the incident light in a direction traveling in a direction opposite to the second movable reflecting portion in a plan view. ,
The reflection surface of the second fixed reflection part has a shape along the surface of the ellipsoid,
The endoscope apparatus in which the first movable reflector overlaps the first focal point of the ellipsoid, and the second movable reflector overlaps the second focal point of the ellipsoid.
前記第1可動反射部を制御する制御部を備え、
前記出射光の進行方向は、前記第1可動反射部の傾きが変わることによって、前記第1可動反射部の回転軸に直交する方向である第1の軸方向に沿って変化し、かつ前記第2可動反射部の傾きが変わることによって第1の軸と交わる第2の軸方向に沿って変化し、
前記制御部は、
前記第1の軸方向における前記出射光の進行方向を前記第1の軸の正方向に変化させる場合、第1可動反射部における前記入射光の反射方向を、前記第1の軸の負方向に変化させ、
前記第1の軸方向における前記出射光の進行方向を前記第1の軸の負方向に変化させる場合、第1可動反射部における前記入射光の反射方向を、前記第1の軸の正方向に変化させる内視鏡装置。 The endoscope apparatus according to claim 8, wherein
A control unit for controlling the first movable reflection unit;
The traveling direction of the emitted light changes along a first axial direction which is a direction perpendicular to the rotation axis of the first movable reflective portion by changing the inclination of the first movable reflective portion, and 2 change along the second axis direction intersecting the first axis by changing the inclination of the movable reflecting portion,
The controller is
When the traveling direction of the emitted light in the first axis direction is changed to the positive direction of the first axis, the reflection direction of the incident light in the first movable reflector is set to the negative direction of the first axis. Change
When the traveling direction of the emitted light in the first axis direction is changed to the negative direction of the first axis, the reflection direction of the incident light in the first movable reflector is set to the positive direction of the first axis. Endoscopic device to change.
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