JP6120885B2 - 電気化学的検出用途向き合成ダイヤモンド材料 - Google Patents
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Description
脱イオン水及び支持電解質としての0.1MのKNO3だけを含むpH6の溶液中で飽和カロメル基準電極に対してボロンドープ合成ダイヤモンド材料の電位をスイープすることによって測定された以下の基準のうちの一方又は両方を満たす溶剤窓を有し、これらの基準は、
溶剤窓が少なくとも4.1Vの電位範囲にわたって延び、ボロンドープ合成ダイヤモンド材料のところで測定された陽極及び陰極電流密度が38mA・cm-2に達したときに溶剤窓に関する電位範囲の端点が定められること、及び
溶剤窓が少なくとも3.3Vの電位範囲にわたって延び、ボロンドープ合成ダイヤモンド材料のところで測定された陽極及び陰極電流密度が0.4mA・cm-2に達したときに溶剤窓に関する電位範囲の端点が定められることであり、
脱イオン水、0.1MのKNO3支持電解質及び1mMのFcTMA+又はRu(NH3)36 3+だけを含むpH6の溶液中の飽和カロメル基準電極に対してボロンドープ合成ダイヤモンド材料の電位を100mVs-1の速度でスイープすることによって測定された70mV以下のピークピーク間隔ΔEp(マクロ電極に関して)又は四分位電位ΔE3/4-1/4(ミクロ電極に関して)を有し、
脱イオン水及び0.1MのKNO3支持電解質だけを含むpH6の溶液中で飽和カロメル基準電極に対して70mV〜−70mVのボロンドープ合成ダイヤモンド材料の電位をスイープし、合成電流を測定し、負の電位に向かってスイープしたときの0Vでの電流値を正の電位に向かってスイープしたときの0Vでの電流値から減算し、減算結果の電流値を2で除算し、次に除算結果をボロンドープ合成ダイヤモンド材料の面積(cm2)及び電位のスイープ速度(Vs-1)で除算してFcm-2で表されるキャパシタンスの値を出すことによって測定された10μFcm-2以下のキャパシタンスを有することを特徴とするボロンドープ合成ダイヤモンド材料が提供される。
上式において、Cmeasuredは、実験的に測定されたキャパシタンス値、CHは、ヘルムホルツ二重層のキャパシタンス(20μFcm-2)、Cscは、ボロンドープ合成ダイヤモンド電極の空間電荷キャパシタンス、Cdiffは、拡散二重層のキャパシタンスである(この場合、0.1M電解質では、Cdiff>>CHである)。
溶剤窓(SCE基準電極に対してpH6において0.1MのKNO3の条件下で測定して)が次の基準、即ち、(i)少なくとも、4.1V、4.2V、4.3V、4.5V、4.6V又は4.7Vの電位範囲にわたって延び、この場合、ボロンドープ合成ダイヤモンド材料のところで測定された陽極及び陰極電流密度が38mA・cm-2に達したときに溶剤窓に関する電位範囲の端点が定められるという基準、(ii)少なくとも、3.3V、3.4V、3.5V又は3.6Vの電位範囲にわたって延び、この場合、ボロンドープ合成ダイヤモンド材料のところで測定された陽極及び陰極電流密度が0.4mA・cm-2に達したときに溶剤窓に関する電位範囲の端点が定められるという基準のうちの一方又は両方を満たすという特性、
正の電位窓と負の電位窓の両方において高速な電子移動一電子外圏型レドックス対について70mV以下、68mV以下、66mV以下、64mV以下、62mV以下、60mV以下又は59mV以下のΔEp(マクロ電極)又はΔE3/4-1/4(マイクロ電極)という特性、及び
10μFcm-2未満、8μFcm-2未満、6μFcm-2未満、5μFcm-2未満、4μFcm-2未満、3μFcm-2未満、2μFcm-2未満又は1μFcm-2未満の測定キャパシタンスという特性を有するボロンドープ合成ダイヤモンド材料を提供することが可能であることが判明した。
上述の機能的電気化学的特性を達成する適当なボロンドーパント含有量及び結晶学的品質を備えたキャッピング層及び低いボロン含有量を有する支持層を有するキャッピングされたボロンドープ単結晶合成ダイヤモンド材料、及び
上述の機能的電気化学的特性を達成するために多数のボロンドープ合成ダイヤモンド結晶粒を含むボロンドープ多結晶合成ダイヤモンド材料であって、材料の露出面のところの結晶粒の十分な部分が相純度を維持しながら(即ち、実質的にゼロのsp2炭素含有量)適当なボロンドーパント含有量を有する。
上述の形式の材料のうちどれが設けられても、ボロンドープ合成ダイヤモンド材料を作製するのが有利であることが判明しており、この場合、露出面層の少なくとも一部分が1×1020個のボロン原子cm-3から7×1021個のボロン原子cm-3までの範囲のボロン含有量を有するボロンドープ合成ダイヤモンド材料から成る。好ましくは、露出面層の少なくとも50%、70%、90%又は95%が、1×1020個のボロン原子cm-3から7×1021個のボロン原子cm-3までの範囲のボロン含有量を有するボロンドープ合成ダイヤモンド材料から成る。
ダイヤモンド(及び他の半導体)内の有効質量のようなアクセプタについて予想される結合エネルギーに関する単純な推定値を次の方程式から計算することができ、即ち、
上式において、Ry=13.6eV(リュードベリエネルギー)、mH=正孔有効質量、εr≒5.7(比誘電率)である。mH=0.7m0(電子の静止質量)であると仮定すると、Ea=0.3eVであり、これは、思いがけないこととして、実際の実験によるボロン結合エネルギーに近い。束縛された正孔基底状態波動関数は、3つの格子係数よりもほんの小さいレベルにわたって延びるので、有効質量理論は、極めて信頼性が低く且つ不正確であるはずである。
上式において、nbは、材料のボロンドーパント密度である。a0=0.43nmの場合、nb>6×1020cm-3であると推定される。基準が満たされた場合、材料は、導電性(金属)になり、その他の場合、これは、絶縁体になる(キッテル・チャールズ(Kittel, Charles),「イントロダクション・トゥ・ソリッド・ステート・フィジックス第8版(Introduction to Solid State Physics(8th ed.)」,ジョン・ワイリー・アンド・サンズ(John Wiley & Sons),2005年,p.407〜409)。
760MPa以下、より好ましくは800MPa以下の核形成側破壊応力、
400MPa以下、より好ましくは450MPa以下の成長側破壊応力、
950MPa以下、より好ましくは1000MPaのヤング率、
7MPa・m1/2以下、より好ましくは8MPa・m1/2以下の破壊靱性、
9以下、より好ましくは10以下のワイブルモジュラス、
70Gpa以下、より好ましくは80GPa以下の硬度、及び
300Kで平面を介して測定して600W/mK以下、より好ましくは700W/mK以下の熱伝導率のうちの1つ又は2つ以上を有するのが良い。
本発明の実施形態としての材料を、マイクロ波プラズマ活性化化学気相成長(CVD)合成プロセスを用いて作製した。マイクロ波プラズマ活性化CVDダイヤモンド合成システムは、代表的には、原料ガス供給源とマイクロ波電力源の両方に結合されたプラズマ反応器容器を含む。プラズマ反応器容器は、定在マイクロ波を支える空胴共振器を形成するよう構成され、この加熱用途に用いられる代表的な周波数は、各国のRFスペクトル割り当てに応じて2.45GHz及び約900MHzを含む。この操作では、例示の条件は、2.45GHzマイクロ波源を備えたシステムについて与えられている。炭素源及び分子水素を含む原料ガスは、プラズマ反応器容器中に送り込まれ、定在マイクロ波によってかかる原料ガスを活性化させて高電界領域中にプラズマを生成するのが良い。適当な基板がプラズマに密接して設けられている場合、ラジカルを含む反応性炭素は、プラズマから基板に拡散することができ、そしてこの基板上に蒸着可能である。原子水素も又、プラズマから基板に拡散することができ、そして選択的に、非ダイヤモンド炭素を基板からエッチング除去し、その結果、ダイヤモンド成長が起こることができるようになる。ボロンの源、例えばジボランガスが合成雰囲気中に導入される場合、ボロンドープ合成ダイヤモンド材料を成長させることができる。単結晶合成ダイヤモンド材料は、代表的には、単結晶ダイヤモンド基板上のホモエピタキシャル成長を介して作製される。これとは対照的に、多結晶合成ダイヤモンドウェーハをシリコン又は耐熱金属基板上で成長させることができる。
上述したように、1×1020個ボロン原子cm-3から7×1021個ボロン原子cm-3までの範囲のボロンドーパント濃度が電気化学的検出用途向きの高性能合成ダイヤモンド材料の作製を達成するのに望ましいことが判明した。しかしながら、単結晶ボロンドープダイヤモンド材料の電気化学的性能は、倍率が最高100倍までの可視顕微鏡によって観察可能な結晶欠陥特徴部の存在によって悪影響を受ける場合のあることも又判明している。単結晶CVD合成ダイヤモンド材料を高い電力及び高い圧力(5cm径キャリヤ基板領域を用いて例えば、250トル(即ち、33.33kPa)、2.45GHzの動作周波数で5.0kW)で成長させると、良好な結晶品質材料が作られるが、高い電力及び圧力では、ボロンドーパントの取り込み量が減少して所要レベルを達成することができないということが判明した。これとは逆に、電力及び圧力を減少させた場合、(例えば、100トル(即ち、13.33kPa)、2kW)、ボロン取り込み量は、所要レベルまで増大するが、材料の結晶品質が低下し、その結果、所望の電気化学的パラメータが達成されない。電力及び圧力は所要の結晶品質を達成するのに十分高く且つ所望レベルのボロンドーパント取り込みを達成するのに十分低い狭い動作窓が存在することが判明した。好ましくは、圧力は、120トルから160トルまで(即ち、16.00kPaから21.33kPaまで)、より好ましくは130トルから150トルまで(即ち、17.33kPaから20.00kPaまで)の範囲にあるよう、特に好ましくは約140トル(即ち、18.67kPa)に制御される。加うるに、好ましくは、電力は、3.1kWから3.9kWまでの範囲、より好ましくは3.3kWから3.8kWまでの範囲にあり、最も好ましくは約3.6kWに制御される。基板の温度は、750℃から850℃までの範囲にあるよう制御されるのが良い。
単結晶ボロンドープダイヤモンドについて上述した説明と同様な説明が多結晶ボロンドープダイヤモンド材料についても当てはまる。多結晶材料を考慮して、課題は、成長中におけるsp2炭素の導入を回避しながら高レベルのボロンドーピングをどのように達成するかということにある。これは、比較的低い濃度の炭素含有ガス(例えば、全ガス流量の1%から3%の範囲にある)、高電力密度(50mm径基板にかかる5〜6kW)を有する合成雰囲気を比較的高い反応器圧力(例えば、200トルから300トルまで(即ち、26.66kPaから40.00kPaまで)の範囲にある)と組み合わせて用い、そして単結晶成長について上述したような高いガス流形態及び前流量を用いて基板温度を1050℃から1120℃までの範囲に制御することによって達成された。
数種類の高速電子移動外圏型レドックス種が様々なレベルのボロンドーパントの酸素を末端基とする合成ダイヤモンドサンプルのために電子移動特性に対するボロンドーピングを介して状態密度の作用効果を研究するために用いられた(5つの多結晶ボロンドープ合成ダイヤモンドサンプルA〜Eが本明細書において説明され、サンプルA〜Dは、比較サンプルであり、サンプルEは、本発明の実施形態である)。この作用効果は、プロービング(probing)されている系の形式的レドックス電位及び再構成キネティックスに照らして考慮される。また、マイクロラマンで観察されたボロン含有量及び非ダイヤモンド炭素含有量がボロンドープ合成ダイヤモンド電極のための電位窓及びバックグラウンド電流中にどのように反映されているかが示されている。相当な量のsp2炭素含有量を含む合成ダイヤモンド材料が狭い電位窓、バックグラウンドレドックスプロセス及び大きなキャパシタンス値を生じさせることができるということも又示されている。
電気化学的性質に対するボロン濃度及びダイヤモンド品質の影響を様々なボロン及びsp2炭素含有量の5つのpBDDサンプルA〜Eの使用により研究した。マイクロ波化学気相成長(蒸着)により全てを成長させ、サンプルAをナーバル・リサーチ・ラボラトリー(Naval Research Laboratory)によって成長させ、サンプルB,D,Eをエレメント・シックス・リミティッド(Element Six Ltd)によって成長させ、サンプルCをアドバンスド・ダイヤモンド・テクノロジーズ・インコーポレイテッド(Advanced Diamond Technologies Inc.)によって成長させた。電気化学的性質に先立って、二次イオン質量分光法(SIMS)、抵抗測定法、電界放出走査型電子顕微鏡(FE‐SEM)及びマイクロラマンを用いて材料特性を特徴付けした。サンプルに関する平均ボロン含有量をSIMSによって求め、サンプルシーケンスA〜Eについて2×1018個原子cm-3以下から7×1020個原子cm-3までの増大が判明した(例えば、サンプルBについて2×1018個原子cm-3、サンプルDについて3×1020個原子cm-3、サンプルEについて7×1020個原子cm-3)。サンプルA〜Eについてそれぞれ4.07×104、87.9、0.1、0.085及び0.039Ω・cmの抵抗値により、抵抗値が平均ボロン濃度の増大につれて減少することが確認された。これら値は、様々なボロン濃度の単結晶BDDを研究したラグランジェ等(Lagrange et al.)によって求められた値と一致している。抵抗率測定値から、サンプルA,Bは、価電子帯を介して電気を伝え、かくして、半導体として挙動し、これに対し、サンプルCの抵抗率は、ホッピング伝導機構を示唆している。高度にドープされたサンプルD,Eは、ちょうど金属伝導領域内に位置し、多結晶サンプル内の種々の結晶粒は、ホッピング伝導か金属伝導かのいずれかを示す場合があった。
全ての溶液を25℃の抵抗率18.2MΩ・cmのMilli-Q(商標)水(ミリポア・コーポレーション(Millipore Corp.))から調製した。ボロンドープダイヤモンド電極の電気化学的特性を試験するため、カリウムヘキサクロロイリデート(IV)(アルドリッチ・ケミカル・カンパニー(Aldrich Chemical Co))、ヘキサアミンルテニウム(III)クロリド(マサチューセッツ州ニューベリーポート所在のストレム・ケミカルズ(Strem Chemicals))、フェロセニルメチルトリメチルアンモニウムヘキサフルオロホスフェート(企業内製造)、フェロシアン化カリウム(シグマ・アルドリッチ・カンパニー(Sigma Aldrich Co))、トリ(ビピリジン)ルテニウム(II)クロイド(シグマ・アルドリッチ・カンパニー)、メチルビオロゲン(シグマ・アルドリッチ・カンパニー)及び硫化鉄(II)(シグマ・アルドリッチ・カンパニー)を含む溶液を0.1MのKNO3(フィッシャー・サイエンティフィック(Fischer Scientific))中に採用した。
明確に規定された寸法を有するボロンドープダイヤモンドディスク電極を作製するため、レーザ微細加工装置(オックスフォード・レーザーズ(Oxford Lasers)製のE-355H-3-ATHI-Oシステム)を用いて提供された材料サンプルA,B,D,Eから直径1mmのBDDコラム(厚さ約500μm)を切断した。サンプルEは、極めて高いボロン含有量及び極めて低いsp2含有量を含むよう開発された新多結晶ボロンドープダイヤモンド(pBDD)材料である。次の調製に先立って、ボロンドープダイヤモンドコラムをKNO3で過飽和した沸騰中の濃縮H2SO4(98%)中で酸洗浄した。溶液を加熱し、ついには、この溶液がちょうど沸騰するようにし、そしてKNO3が排出された(放出された煙が茶色から白色に変わった)。溶液をいったん冷却すると、サンプルを取り出し、水の中で繰り返し濯ぎ洗いし、空中で乾燥させるようにした。このプロセスにより、レーザ微細加工中に生じると共にpBDD表面を酸素末端基状態にする可能性のある非ダイヤモンド状炭素を除去した。
これらサンプルも又、当初酸洗浄し、次にTi/Au接点をバンドとしてpBDDの頂縁部上にスパッタリングした。サンプルB及びDのための水素末端基化をブリストル・ユニバーシティ(Bristol University)によって水素プラズマを介し1kW及び60トルの状態でCVD反応器内で実施した。次に電気分解のための領域をKapton(商標)テープ(英国ノーサンツ所在のアールエス・コンポーネンツ・リミテッド)を用いて覆い隠した。
ラップトップ型コンピュータに接続されたポテンシオスタット(テキサス州シーエイチ・インストゥルメンツ・インコーポレイテッド(CH Instruments Inc.)製のCHI730A)を用いて全ての電気化学的測定を3電極モードで行った。飽和カロメル電極(SCE)を基準電極として用い、Pt金網は、対向電極としての役目を果たした。実験室を全ての測定に関して23±1℃に空調した。
次に5つの電極の電気化学的特性を調べた。全ての実験を別段の指定がなければ新たにアルミナでポリッシングされると共に濯ぎ洗いされた表面を用いて実施した。作製したpBDD1mm径ディスク電極を用いて溶剤窓を100mVs-1の走査速度において0.1MのKNO3内で記録し、これら溶剤窓は、図8(a)及び図8(d)に示されている。全ての電極は、他の市販の材料、例えばPt及びガラス状炭素と比較して、広い電位窓を示した。水分解の電気化学的プロセスは、溶剤窓の範囲を定め、水素及び炭素の発生は、かかる溶剤窓内において陰極端部及び陽極端部のところでそれぞれ起こり、これらは、電極表面上への吸着中間物を含む複雑な機構を介して起こることが知られている。これらの場合、電極の活性度は、その表面組織及び例えば白金上における外側電子配置の関数であり、水電気分解の中間物は、部分的に満たされたd軌道を介して化学吸着することができ、効率的な電気分解が利用可能である。しかしながら、pBDD電極の場合、水分解は、高い電位で起こり、このことは、これら反応がpBDD表面のところでは阻止される可能性があることを示している。これは、ダイヤモンド表面がC−H結合(338kJmol-1)によって水素末端基化されるかこの場合、強いC−O結合(358kJmol-1)及びC=O結合(805kJmol-1)を含む種々の官能基で酸素末端基化されているかのいずれかなので最もありそうである。中間物を形成するためにこれら結合の再配置又は破壊は、水素及び酸素の発生反応を阻害する恐れのある要因である。
上述の結果の示すところによれば、サンプルEの新たに開発された多結晶ボロンドープ合成ダイヤモンド材料がサンプルA〜Dと比較したときに優れた電気機械的性能を有し、これは、ラマン分光法により測定されるsp2炭素の不存在と組み合わせて材料の高いボロン含有量に関連付けられる。特に、サンプルEの材料は、次の特性を有することが判明した。
脱イオン水、0.1MのKNO3支持電解質及び1mMのFcTMA+又はRu(NH3)36 3+だけを含むpH6の溶液中の飽和カロメル基準電極に対してボロンドープ合成ダイヤモンド材料の電位を100mVs-1の速度でスイープすることによって測定された70mV以下のΔEpという特性、及び
pBDDサンプルを更に特徴付けるため、材料に間欠的接触走査型電気化学的顕微鏡(IC‐SECM)と呼ばれている比較的新しい電気化学的画像化技術を施した。この点に関し、電極‐電解質インターフェースの電子移動(ET)特性を真の意味で理解するためには、表面反応度を空間的にマップすると共に定量化することができるということが重要である。さらに、ET電極システムの挙動を良好にいったん理解すると、ET性能を最高にするために電極の材料特性を設計しなおすことが可能である。これは、多結晶ボロンドープダイヤモンド(pBDD)材料について特にそうである。というのは、表面の多結晶という性質により定められることとして、ボロンドーピングプロセス中、互いに異なる結晶粒が互いに異なる量のボロンを吸収し、その結果、表面の不均質なドーピング及び表面の電気的性質の変化が生じる。
Milli-Q(商標)試薬水(ミリポア・コーポレーション(Millipore Corp.))を用いて水溶液を調製した。溶液は、1mM又は5mMのヘキサミンルテニウムクロイド(シグマ・アルドリッチ又は1mMのフェロセニルメチルトリメチルアンモニウム(FcTMA+)ヘキサフルオロホスフェートから成っていた。全ての溶液は、支持電解質として0.1MのKNO3(シグマ・アルドリッチ)を含んでいた。FcTMA+ヘキサフルオロホスフェートを対応のヨウ化物塩(99%、ストレム(Strem))とアンモニウムヘキサフルオロホスフェート(99.5%、ストレム)のメタセシスを介して調製した。
CCD検出器(ペリチエ冷却式)により514.5nmAr+レーザを用いてマイクロラマン分光法(英国所在のレニショウ・インビア社)を実施した。分光計は、1800ライン/mm拡散格子を備えていた。自動化ステージ(1.2μmの小刻みなステップサイズ)を用いてマップを作り、この場合、レーザビームを100倍対物レンズにより収束させた。約1332cm-1でのピークシフトを分析した(Wire3.0)。
確立された手順を用いてウォラストン線(Wollaston wire)から企業内でPtディスクUME(直径1〜1.3μm)を作製した。溶液中のレドックス活性メディエータの既知の濃度の電気分解のために定常電流を記録することによって電極のサイズを求めた。この操作におけるIC‐SECM画像の全ては、2μmごと(ステップサイズ)且つ0.25μmごとのサブステップ(先端部が走査中、どのように再位置決めされる場合が多いか‐基板を「感じる」)で読みを取ることによって得られた。
これら研究における高イオン強度条件下において、Cdiff>>CHであり、従って、これがCmeasに貢献する度合いは、無視できるほどである。
上式において、e0は、電子電荷であり、εは、pBDD(5.5)の誘電率であり、ε0は、真空透過性である。CH≒20μFcm-2という代表的な値を前提にすると、高及び低ボロンドープ結晶粒に関するLDOSは、それぞれ、約1.7(±0.02)×1020cm-3eV-1及び約7.5(±0.08)×1020cm-3eV-1と推定され、即ち、LDOS中に約4〜5倍の違いが存在する。比較すると、金属は、約1023cm-3eV-1というD(EF)を有する。
新たな多結晶ボロンドープ合成ダイヤモンド材料は、結晶粒界領域内であってもラマン分光法により検出可能なsp2炭素を含まない。さらに、ボロン濃度は、材料の表面上において、結晶粒の大部分が1×1020個ボロン原子cm-3から7×1021個ボロン原子cm-3までの範囲のボロン濃度を有するようなものである。かくして、電気化学的機能性が向上した多結晶ボロンドープ合成ダイヤモンド材料を実質的にsp2炭素を含まず、1×1020個ボロン原子cm-3から7×1021個ボロン原子cm-3までの範囲のボロン濃度中で金属伝導を示す表面結晶粒の大部分を含む材料によって提供できることが示された。
約1×1019個原子cm-3のボロン含有量を有する支持基板層及びサンプルごとにばらつきのある高いボロン含有量を有する薄いキャッピング層を含む一連の単結晶合成ダイヤモンドサンプルを作製した。キャッピング層内のボロン含有量を上述したようにSIMSによって測定した。電気化学的電極を各サンプルについてpBDDサンプルについて上述した仕方とほぼ同じ仕方で作製した。全てのサンプルを処理して上述したように酸素を末端基とするようにした。
sp2炭素電極のところの旧式の内圏型レドックス対Fe2+/3+の調査結果の示すところによれば、電子移動キネティックスは、電極表面、大抵の場合、特に酸化物の存在によって強い影響を受ける場合がある(オオニシ・ケー(Ohnishi, K.),エイナガ・ワイ(Einaga, Y.),ノツ・エイチ(Notsu, H.),テラシマ・シー(Terashima, C),ラオ・ティ・エヌ(Rao, T. N.),パーク・エス・ジー(Park, S. G.),フジシマ・エー(Fujishima, A.),エレクトロケミカル・アンド・ソリッド・ステート・レターズ(Electrochem. Solid-State Lett.),2002年,第5巻,D1)。図17(b)は、(i)ポリッシングされたアルミナ及び(ii)陽極化された表面に関する1mm径BDDディスク電極のところでの100mVs-1の走査速度で0.1MのHClO4中の1mMのFe2+/3+の酸化に関する周期的ボルタンモグラムを示している。アルミナポリッシング済み表面のところのこのシステムに関するΔEp値は、{100}結晶面に関する830mVから{110}結晶面に関する885mVまでの範囲にあることが示されており、これは、疑似可逆系であることを示している。これらの値は、蒸着したばかりの(837mVのΔEp)pBDDについて他のシステムにより観察される値よりも僅かに大きい。しかしながら、陽極予備処理時、ΔEp値は、図17(bii)に示されているように全てのダイヤモンド電極について減少することが示された。大抵の場合、特に、{100}結晶面ピークピーク間隔は、234mVであることが判明した。この場合も又、多結晶サンプルは、{100}及び{110}/{111}表面影響の組み合わせであることが判明した。
H2Sは、室温且つ1気圧(即ち、101.3kPaの圧力)状態では無色で可燃性且つ有毒のガスである。H2Sは、腐った卵のにおいをしており、H2Sは、8時間にわたる10ppmの暴露限度で中枢神経系に作用する(昏睡状態)。100ppmの暴露により、頭痛が生じ、300ppmでは、H2Sは、713ppmという致死濃度値LC50で即座に危険な状態になると考えられる。H2Sは、弱酸であり、還元剤は、空気酸化され、そして金属に吸着する(腐食性)。その可溶性は、温度、圧力、攪拌、相(油/水)及びpHで決まる。H2Sは、液体と蒸気との間で高い分配係数を有し、即ち、液相におけるppmは、蒸気空間中で50ppmを超える濃度を生じさせることができる。
HS-はS0(固体)+H++e-へ
Claims (14)
- 次の特徴を有するボロンドープ合成ダイヤモンド材料であって、
脱イオン水及び支持電解質としての0.1MのKNO3だけを含むpH6の溶液中で飽和カロメル基準電極に対して前記ボロンドープ合成ダイヤモンド材料の電位をスイープすることによって測定された以下の基準のうちの一方又は両方を満たす溶剤窓を有し、前記基準は、
前記溶剤窓が少なくとも4.1Vの電位範囲にわたって延び、前記ボロンドープ合成ダイヤモンド材料のところで測定された陽極及び陰極電流密度が38mA・cm-2に達したときに前記溶剤窓に関する前記電位範囲の端点が定められること、及び
前記溶剤窓が少なくとも3.3Vの電位範囲にわたって延び、前記ボロンドープ合成ダイヤモンド材料のところで測定された陽極及び陰極電流密度が0.4mA・cm-2に達したときに前記溶剤窓に関する前記電位範囲の端点が定められることであり、
脱イオン水、0.1MのKNO3支持電解質及び1mMのFcTMA+又はRu(NH3)6 3+だけを含むpH6の溶液中の飽和カロメル基準電極に対して前記ボロンドープ合成ダイヤモンド材料の電位を100mVs-1の速度でスイープすることによって測定された70mV以下のピークピーク間隔ΔEp(マクロ電極に関して)又は四分位電位ΔE3/4-1/4(ミクロ電極に関して)を有し、
脱イオン水及び0.1MのKNO3支持電解質だけを含むpH6の溶液中で飽和カロメル基準電極に対して70mV〜−70mVの前記ボロンドープ合成ダイヤモンド材料の電位をスイープし、合成電流を測定し、負の電位に向かってスイープしたときの0Vでの電流値を正の電位に向かってスイープしたときの0Vでの電流値から減算し、減算結果の電流値を2で除算し、次に除算結果を前記ボロンドープ合成ダイヤモンド材料の面積(cm2)及び前記電位のスイープ速度(Vs-1)で除算してFcm-2で表されるキャパシタンスの値を出すことによって測定された10μFcm-2以下のキャパシタンスを有し、
露出面層の少なくとも一部分は、1×1020個のボロン原子cm-3から7×1021個のボロン原子cm-3までの範囲のボロン含有量を有するボロンドープ合成ダイヤモンド材料から成り、
sp2炭素含有量は、前記材料のラマンスペクトル中に非ダイヤモンド炭素ピークを示さないほど十分低い、ボロンドープ合成ダイヤモンド材料。 - 前記溶剤窓は、少なくとも、4.1V、4.3V、4.5V又は4.7Vの電位範囲にわたって延び、前記ボロンドープ合成ダイヤモンド材料のところで測定された陽極及び陰極電流密度が38mA・cm-2に達したときに前記溶剤窓に関する前記電位範囲の端点が定められる、請求項1記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 前記溶剤窓は、少なくとも、−2.0V〜+2.1V、−2.1V〜+2.2V、−2.2V〜+2.3V又は−2.3V〜+2.4Vの電位範囲にわたって延びている、請求項2記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 前記溶剤窓は、少なくとも、3.3V、3.4V、3.5V又は3.6Vの電位範囲にわたって延び、前記ボロンドープ合成ダイヤモンド材料のところで測定された陽極及び陰極電流密度が0.4mA・cm-2に達したときに前記溶剤窓に関する前記電位範囲の端点が定められる、請求項1記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- ΔEp又はΔE3/4-1/4は、68mV以下、66mV以下、64mV以下又は62mV以下である、請求項1〜4のうちいずれか一に記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 前記キャパシタンスは、8μFcm-2以下、6μFcm-2以下、5μFcm-2以下又は4μFcm-2以下である、請求項1〜5のうちいずれか一に記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 露出面層の少なくとも50%、70%、90%又は95%は、1×1020個のボロン原子cm-3から7×1021個のボロン原子cm-3までの範囲のボロン含有量を有するボロンドープ合成ダイヤモンド材料から成る、請求項1〜6のうちいずれか一に記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 前記露出面層は、少なくとも、2×1020個のボロン原子cm-3、3×1020個のボロン原子cm-3、5×1020個のボロン原子cm-3又は7×1020個のボロン原子cm-3のボロン含有量を有するボロンドープ合成ダイヤモンド材料から成る、請求項1〜7のうちいずれか一に記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 前記露出面層は、5×1021個のボロン原子cm-3以下、3×1021個のボロン原子cm-3以下又は1×1021個のボロン原子cm-3以下のボロン含有量を有するボロンドープ合成ダイヤモンド材料から成る、請求項1〜8のうちいずれか一に記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 前記ボロンドープ合成ダイヤモンド材料は、単結晶ボロンドープ合成ダイヤモンド材料である、請求項1〜9のうちいずれか一に記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 前記単結晶ボロンドープ合成ダイヤモンド材料は、請求項7〜10のうちいずれか一に記載のボロン含有量を有するキャッピング層及び前記キャッピング層よりも低いボロン含有量を有する支持層を構成している、請求項10記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 前記支持層は、少なくとも、5×1018個のボロン原子cm-3、1×1019個のボロン原子cm-3又は5×1019個のボロン原子cm-3のボロン含有量を有する、請求項11記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 前記単結晶ボロンドープ合成ダイヤモンド材料の少なくとも50%、70%、90%又は95%の大部分の体積は、請求項1及び7〜9のうちいずれか一に記載のボロン含有量を有する、請求項10記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
- 前記ボロンドープ合成ダイヤモンド材料は、多結晶ボロンドープ合成ダイヤモンド材料である、請求項1〜9のうちいずれか一に記載のボロンドープ合成ダイヤモンド材料。
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