JP6080495B2 - 固体撮像装置および撮像システム - Google Patents
固体撮像装置および撮像システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6080495B2 JP6080495B2 JP2012237268A JP2012237268A JP6080495B2 JP 6080495 B2 JP6080495 B2 JP 6080495B2 JP 2012237268 A JP2012237268 A JP 2012237268A JP 2012237268 A JP2012237268 A JP 2012237268A JP 6080495 B2 JP6080495 B2 JP 6080495B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- solid
- imaging device
- state imaging
- photoelectric conversion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
Claims (10)
- 互いに反対側の面である第1面および第2面を有する半導体層と、前記半導体層の前記第1面の側に設けられた第1領域と、前記半導体層の前記第2面の側に設けられた第2領域と、を備える固体撮像装置であって、
前記半導体層には複数の光電変換部が配列されており、前記第1領域には、各々が光を集束する複数のレンズ部が前記第1面に沿って配列されており、前記第2領域には、各々が光を反射する複数の反射部が前記第2面に沿って配列されており、
前記固体撮像装置は、前記レンズ部を経て前記第1面の側から前記光電変換部へ入射した光束が、前記第2面を通過し前記反射部の反射面で反射されて、前記第2面の側から前記光電変換部へ入射する画素を含み、
前記画素において、前記光電変換部から前記反射部へ向かう光束の前記第2面における断面積および前記反射面における断面積が、前記光電変換部から前記反射部へ向かう光束の、前記光電変換部と前記反射部との間の部分における断面積よりも大きくなる構造を有することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記光電変換部から前記反射部へ向かう光束の前記反射面における断面積が、前記光電変換部から前記反射部へ向かう光束の前記第2面における断面積よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記反射面の面積が、前記光電変換部から前記反射部へ向かう光束の前記第2面における断面積よりも大きく、前記反射部から前記光電変換部へ向かう光束の、前記第2面における断面積よりも小さいことを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記第1領域には赤色光を選択的に透過する赤色光選択部、緑色光を選択的に透過する緑色光選択部、および青色光を選択的に透過する青色光選択部が設けられており、前記光束は、前記赤色光選択部または前記緑色光選択部を経ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記青色光選択部を経た光束が入射する光電変換部を含む画素では、前記半導体層からの距離が前記反射部と等しい金属パターンの面積が前記反射面の面積よりも小さい、または、前記半導体層からの距離が前記反射部と等しい位置に金属パターンが存在しないことを特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置。
- 前記第1領域は、光を遮光する遮光部を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記第1領域は、複数の光透過部と、前記光透過部よりも屈折率が低く前記光透過部同士の間に配された低屈折率部と、を含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記第1領域は、波長選択部と、前記波長選択部と前記光電変換部との間に設けられたレンズ部と、をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記反射面は、凹面であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、を備えることを特徴とする撮像システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012237268A JP6080495B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 固体撮像装置および撮像システム |
US14/051,904 US9093345B2 (en) | 2012-10-26 | 2013-10-11 | Solid-state imaging apparatus and imaging system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012237268A JP6080495B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 固体撮像装置および撮像システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014086700A JP2014086700A (ja) | 2014-05-12 |
JP6080495B2 true JP6080495B2 (ja) | 2017-02-15 |
Family
ID=50789449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012237268A Active JP6080495B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 固体撮像装置および撮像システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6080495B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016082133A (ja) * | 2014-10-20 | 2016-05-16 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及び電子機器 |
JP6691101B2 (ja) * | 2017-01-19 | 2020-04-28 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子 |
JP2020068289A (ja) | 2018-10-24 | 2020-04-30 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像システム、移動体、および積層用の半導体チップ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7755123B2 (en) * | 2007-08-24 | 2010-07-13 | Aptina Imaging Corporation | Apparatus, system, and method providing backside illuminated imaging device |
JP5364989B2 (ja) * | 2007-10-02 | 2013-12-11 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
KR101559907B1 (ko) * | 2009-01-06 | 2015-10-13 | 삼성전자주식회사 | 전기 회로 배선을 라인 앤 스페이스 타입의 반사막 패턴으로 변경함으로써, 메탈 라인의 최소 간격에 따라 광 감도가 개선되는 이미지 센서 및 그 제조방법. |
JP4798232B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2011-10-19 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
US8299554B2 (en) * | 2009-08-31 | 2012-10-30 | International Business Machines Corporation | Image sensor, method and design structure including non-planar reflector |
JP5538811B2 (ja) * | 2009-10-21 | 2014-07-02 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子 |
KR20110083936A (ko) * | 2010-01-15 | 2011-07-21 | 삼성전자주식회사 | 광자 굴절용 마이크로 렌즈를 구비하는 단위화소, 상기 단위화소를 구비하는 백사이드 일루미네이션 cmos 이미지센서 및 상기 단위화소의 형성방법 |
-
2012
- 2012-10-26 JP JP2012237268A patent/JP6080495B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014086700A (ja) | 2014-05-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9093345B2 (en) | Solid-state imaging apparatus and imaging system | |
JP6055270B2 (ja) | 固体撮像装置、その製造方法、およびカメラ | |
JP6029266B2 (ja) | 撮像装置、撮像システムおよび撮像装置の製造方法 | |
JP5766663B2 (ja) | シリコンマイクロレンズ及び金属反射材を有する裏面イメージセンサピクセル | |
US10121809B2 (en) | Backside-illuminated color image sensors with crosstalk-suppressing color filter array | |
JP5372102B2 (ja) | 光電変換装置および撮像システム | |
JP6166640B2 (ja) | 固体撮像装置、その製造方法及びカメラ | |
JP6071183B2 (ja) | 固体撮像装置およびカメラ | |
US9443891B2 (en) | Solid-state image sensor and imaging device | |
EP3338305B1 (en) | System and method to extend near infrared spectral response for imaging systems | |
JP2015228467A (ja) | 光電変換装置および撮像システム | |
KR20120020448A (ko) | 단위 화소 어레이 및 이를 포함하는 이미지 센서 | |
JP2014130890A (ja) | 光電変換装置 | |
JP2014232761A (ja) | 固体撮像装置 | |
US20150244958A1 (en) | Solid-state imaging device | |
US9786702B2 (en) | Backside illuminated image sensors having buried light shields with absorptive antireflective coating | |
CN108807443A (zh) | 一种具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器 | |
US20150179692A1 (en) | Solid-state imaging apparatus and method of manufacturing the same | |
JP6080495B2 (ja) | 固体撮像装置および撮像システム | |
JP6080494B2 (ja) | 固体撮像装置および撮像システム | |
WO2020100431A1 (ja) | 受光装置 | |
JP2013207053A (ja) | 固体撮像素子、電子機器 | |
JP5055033B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2015228468A (ja) | 光電変換装置および撮像システム | |
JP7457989B2 (ja) | 光検出器、固体撮像素子、及び、光検出器の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150821 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160616 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160627 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170117 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6080495 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |