JP6071590B2 - Optical scanning unit, optical scanning observation device, and optical scanning display device - Google Patents

Optical scanning unit, optical scanning observation device, and optical scanning display device Download PDF

Info

Publication number
JP6071590B2
JP6071590B2 JP2013014812A JP2013014812A JP6071590B2 JP 6071590 B2 JP6071590 B2 JP 6071590B2 JP 2013014812 A JP2013014812 A JP 2013014812A JP 2013014812 A JP2013014812 A JP 2013014812A JP 6071590 B2 JP6071590 B2 JP 6071590B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
permanent magnet
optical scanning
optical fiber
scanning unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013014812A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2014145939A (en
Inventor
篤義 嶋本
篤義 嶋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2013014812A priority Critical patent/JP6071590B2/en
Publication of JP2014145939A publication Critical patent/JP2014145939A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6071590B2 publication Critical patent/JP6071590B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Endoscopes (AREA)

Description

本発明は、光ファイバを振動させる振動駆動手段を特定の位置に配置した光走査ユニット、光走査型観察装置、および光走査型表示装置に関するものである。   The present invention relates to an optical scanning unit, an optical scanning observation device, and an optical scanning display device in which vibration driving means for vibrating an optical fiber is arranged at a specific position.

光を出射する光ファイバを振動させることにより、被観察物を走査して画像を撮像可能な光走査ユニット、または照射面上を走査して画像を形成可能な光走査ユニットが知られている。光走査ユニットにおいて、光ファイバを振動させる多様な振動駆動手段が提案されている。例えば、片持ちばり状に支持された光ファイバに永久磁石を取付け、電磁力を作用させることにより光ファイバを振動させることが提案されている(特許文献1参照)。   There are known optical scanning units that can scan an object to be picked up by vibrating an optical fiber that emits light or scan an irradiation surface to form an image. In the optical scanning unit, various vibration driving means for vibrating the optical fiber have been proposed. For example, it has been proposed to attach a permanent magnet to an optical fiber supported in a cantilever shape and vibrate the optical fiber by applying an electromagnetic force (see Patent Document 1).

特開2010−9035号公報JP 2010-9035 A

光走査ユニットにおいては、広い画角を実現するために、振幅が大きくなるように光ファイバを駆動させることが好ましい。そのため、振幅を大きくするために、光ファイバを共振周波数または共振周波数で振動させることが望ましい。また、光走査ユニットにおいては、視認可能な画像の形成および動きのある被観察物の走査のために、光ファイバを高速で振動、すなわち周波数を大きくすることが望まれている。したがって、振動駆動手段には、光ファイバの先端における振幅が大きく、且つ比較的高い振動周波数で振動させることが求められる。   In the optical scanning unit, it is preferable to drive the optical fiber so as to increase the amplitude in order to realize a wide angle of view. Therefore, it is desirable to vibrate the optical fiber at the resonance frequency or the resonance frequency in order to increase the amplitude. Further, in the optical scanning unit, it is desired to vibrate the optical fiber at high speed, that is, to increase the frequency, in order to form a visible image and scan a moving object. Therefore, the vibration drive means is required to vibrate at a relatively high vibration frequency with a large amplitude at the tip of the optical fiber.

特許文献1において提案される振動駆動手段においては、片持ちばりの固定点から離れた位置に永久磁石を取付ける構成であるため、最低限求められる周波数以上の共振周波数で光ファイバを振動させるためには高次の振動モードで振動させる必要がある。しかし、高次の振動モードで振動させる場合には、永久磁石などの重量物の取付け位置に高い精度が求められ、取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきが大きかった。   In the vibration driving means proposed in Patent Document 1, since the permanent magnet is attached at a position away from the fixed point of the cantilever, in order to vibrate the optical fiber at a resonance frequency higher than the minimum required frequency. Needs to be vibrated in a higher order vibration mode. However, when vibrating in a higher-order vibration mode, high accuracy is required for the attachment position of a heavy object such as a permanent magnet, and variation in resonance frequency due to an error in the attachment position is large.

本発明は、かかる観点に鑑みてなされたもので、共振周波数のばらつきを抑制した光走査ユニット、光走査型観察装置、および光走査型表示装置を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of such a viewpoint, and an object of the present invention is to provide an optical scanning unit, an optical scanning observation apparatus, and an optical scanning display apparatus that suppress variations in resonance frequency.

上述した諸課題を解決すべく、第1の観点による光走査ユニットは、
固定部において支持され、前記固定部から端部まで揺動可能である光ファイバと、
前記光ファイバを振動させる振動駆動手段とを備え
前記振動駆動手段は、前記光ファイバに取付けられた磁性体を含み、
前記磁性体は、前記振動駆動手段による前記光ファイバの高次の振動モードにおいて、当該磁性体の外部に振動の腹を有し、当該磁性体の内部に振動の節を有するように前記光ファイバに配置される、
ことを特徴とするものである。
In order to solve the above-described problems, the optical scanning unit according to the first aspect is
It is supported in the fixed part, and the optical fiber is an end or in rockably from the fixed portion,
And a vibration driving means for vibrating said optical fiber,
The vibration driving means includes a magnetic body attached to the optical fiber,
In the higher-order vibration mode of the optical fiber by the vibration driving means, the magnetic body has an antinode of vibration outside the magnetic body and has a vibration node inside the magnetic body. Placed in the
It is characterized by this.

また、第の観点による光走査ユニットにおいて、
前記磁性体は、当該磁性体の中心近傍が前記節と重なるように前記光ファイバに配置される
ことが好ましい。
In the optical scanning unit according to the second aspect ,
The magnetic body is preferably arranged in the optical fiber so that the vicinity of the center of the magnetic body overlaps the node.

また、第の観点による光走査ユニットにおいて、
前記高次の振動モードは3次の振動モードであって、前記節は前記振動モードによる振動の変曲点と一致する
ことが好ましい。
In the optical scanning unit according to the third aspect ,
Preferably, the higher order vibration mode is a third order vibration mode, and the node coincides with an inflection point of vibration caused by the vibration mode.

また、第の観点による光走査ユニットにおいて、
前記振動駆動手段は前記磁性体を平面に沿って回動させることにより前記光ファイバを振動させる
ことが好ましい。
In the optical scanning unit according to the fourth aspect ,
It said vibration driving means preferably vibrates the optical fiber by Rukoto rotated along the plane of the magnetic body.

また、上述した諸課題を解決すべく、第5の観点による光走査ユニットは、
固定部において支持され、前記固定部から端部まで揺動可能である光ファイバと、
前記光ファイバを振動させる振動駆動手段と、を備え、
前記振動駆動手段は、前記光ファイバに取付けられた磁性体を含み、
前記磁性体は、前記振動駆動手段による前記光ファイバの高次の振動モードにおいて、当該磁性体の外部に振動の腹と振動の節とを有し、かつ前記光ファイバの振動の変曲点が重なるように前記光ファイバに配置される、
ことを特徴とするものである。
In order to solve the above-described problems, the optical scanning unit according to the fifth aspect is
An optical fiber supported at the fixed portion and swingable from the fixed portion to the end;
Vibration drive means for vibrating the optical fiber,
The vibration driving means includes a magnetic body attached to the optical fiber,
The magnetic body has a vibration antinode and a vibration node outside the magnetic body in a higher-order vibration mode of the optical fiber by the vibration driving means, and the inflection point of the vibration of the optical fiber is Arranged in the optical fiber so as to overlap,
It is characterized by this.

また、第の観点による光走査ユニットにおいて、
前記磁性体は前記高次の振動モードによる振動における前記固定部から最初の腹前記固定部の間に配置される
ことが好ましい。
In the optical scanning unit according to the sixth aspect ,
The magnetic material are preferably disposed between the first antinode and the fixing part from the fixed part of the vibration due to the higher-order vibration mode.

また、第の観点による光走査ユニットにおいて、
前記振動駆動手段は前記磁性体を平面に沿って変位させることにより前記光ファイバを振動させる
ことが好ましい。
In the optical scanning unit according to the seventh aspect ,
It said vibration driving means preferably vibrates the optical fiber by Rukoto is displaced along the plane of the magnetic body.

また、第の観点による光走査型観察装置は、
上記の第1の観点から第7の観点のいずれかに係る光走査ユニットを備える
ことを特徴とするものである。
An optical scanning observation apparatus according to the eighth aspect is
The optical scanning unit according to any one of the first to seventh aspects is provided.

また、第の観点による光走査型表示装置は、
上記の第1の観点から第7の観点のいずれかに係る光走査ユニットを備える
ことを特徴とするものである。
An optical scanning display device according to a ninth aspect is
The optical scanning unit according to any one of the first to seventh aspects is provided.

本発明によれば、光走査ユニット、光走査型観察装置、および光走査型表示装置において、共振周波数のばらつきを抑制可能である。   According to the present invention, it is possible to suppress variations in resonance frequency in the optical scanning unit, the optical scanning observation device, and the optical scanning display device.

本発明の第1の実施形態に係る光走査型観察装置の内部構成を概略的に示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows roughly the internal structure of the optical scanning observation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 図1の光走査型内視鏡本体を概略的に示す概観図である。FIG. 2 is an overview diagram schematically showing the optical scanning endoscope main body of FIG. 1. 図2の光走査型内視鏡本体の先端部を拡大して示す断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view illustrating a distal end portion of the optical scanning endoscope main body of FIG. 2. 図3の走査部を拡大して示す斜視図である。It is a perspective view which expands and shows the scanning part of FIG. 第1の実施形態における揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state figure which shows the vibration state of the rocking | swiveling part in 1st Embodiment. 第2の実施形態における揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state figure which shows the vibration state of the rocking | swiveling part in 2nd Embodiment. 第3の実施形態における揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state diagram which shows the vibration state of the rocking | swiveling part in 3rd Embodiment. 第4の実施形態における揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state figure which shows the vibration state of the rocking | swiveling part in 4th Embodiment. 実施例における永久磁石の取付け位置を説明するための、揺動部の概観図である。It is a general-view figure of the rocking | swiveling part for demonstrating the attachment position of the permanent magnet in an Example. 実施例1の揺動部の振動状態を示す状態図である。FIG. 3 is a state diagram illustrating a vibration state of a swinging unit according to the first embodiment. 実施例2の揺動部の振動状態を示す状態図である。FIG. 6 is a state diagram showing a vibration state of a swing part according to the second embodiment. 実施例3の揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state diagram which shows the vibration state of the rocking | swiveling part of Example 3. 実施例4の揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state diagram which shows the vibration state of the rocking | swiveling part of Example 4. 実施例5の揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state diagram which shows the vibration state of the rocking | swiveling part of Example 5. 実施例6の揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state diagram which shows the vibration state of the rocking | swiveling part of Example 6. 実施例7の揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state figure which shows the vibration state of the rocking | swiveling part of Example 7. 実施例8の揺動部の振動状態を示す状態図である。FIG. 10 is a state diagram illustrating a vibration state of a swinging unit according to an eighth embodiment. 実施例9の揺動部の振動状態を示す状態図である。FIG. 10 is a state diagram showing a vibration state of a swing part according to a ninth embodiment. 実施例10の揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state diagram which shows the vibration state of the rocking | swiveling part of Example 10. 実施例11の揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state diagram which shows the vibration state of the rocking | swiveling part of Example 11. 実施例12の揺動部の振動状態を示す状態図である。FIG. 16 is a state diagram showing a vibration state of a swing part according to a twelfth embodiment. 実施例13の揺動部の振動状態を示す状態図である。It is a state diagram which shows the vibration state of the rocking | swiveling part of Example 13. 長さ0.5mmの永久磁石を二次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する揺動部の共振周波数の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the resonant frequency of the rocking | swiveling part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a 0.5 mm long permanent magnet in a secondary vibration mode. 長さ0.5mmの永久磁石を三次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する揺動部の共振周波数の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the resonant frequency of the rocking | swiveling part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a 0.5-mm-long permanent magnet in a tertiary vibration mode. 長さ2.0mmの永久磁石を二次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する揺動部の共振周波数の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the resonant frequency of the rocking | swiveling part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a 2.0-mm-long permanent magnet in a secondary vibration mode. 長さ2.0mmの永久磁石を三次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する揺動部の共振周波数の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the resonant frequency of the rocking | swiveling part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a 2.0-mm-long permanent magnet in a tertiary vibration mode. 長さ3.0mmの永久磁石を三次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する揺動部の共振周波数の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the resonance frequency of the rocking | swiveling part with respect to the attachment position of a permanent magnet when a 3.0-mm-long permanent magnet is vibrated in the tertiary vibration mode. 長さ4.0mmの永久磁石を二次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する揺動部の共振周波数の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the resonant frequency of the rocking | swiveling part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a 4.0-mm-long permanent magnet in a secondary vibration mode. 長さ4.0mmの永久磁石を三次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する揺動部の共振周波数の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the resonant frequency of the rocking | swiveling part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a 4.0-mm-long permanent magnet in a tertiary vibration mode. 長さ0.5mmの永久磁石を二次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する先端部の振幅の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the amplitude of the front-end | tip part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a 0.5-mm-long permanent magnet in a secondary vibration mode. 長さ0.5mmの永久磁石を三次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する先端部の振幅の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the amplitude of the front-end | tip part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a 0.5-mm-long permanent magnet in a tertiary vibration mode. 長さ2.0mmの永久磁石を二次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する先端部の振幅の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the amplitude of the front-end | tip part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating the permanent magnet of length 2.0mm in a secondary vibration mode. 長さ2.0mmの永久磁石を三次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する先端部の振幅の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the amplitude of the front-end | tip part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a permanent magnet of length 2.0mm in a tertiary vibration mode. 長さ3.0mmの永久磁石を三次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する先端部の振幅の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the amplitude of the front-end | tip part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a permanent magnet of length 3.0mm in a tertiary vibration mode. 長さ4.0mmの永久磁石を二次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する先端部の振幅の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the amplitude of the front-end | tip part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a 4.0-mm-long permanent magnet in a secondary vibration mode. 長さ4.0mmの永久磁石を三次の振動モードで振動させたときの、永久磁石の取付け位置に対する先端部の振幅の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the amplitude of the front-end | tip part with respect to the attachment position of a permanent magnet when vibrating a 4.0-mm-long permanent magnet in a tertiary vibration mode.

以下、本発明の実施の形態について、図を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本発明の第1の実施形態に係る光走査ユニットを有する光走査型観察装置の内部構成を概略的に示す機能ブロック図である。   FIG. 1 is a functional block diagram schematically showing an internal configuration of an optical scanning observation apparatus having an optical scanning unit according to the first embodiment of the present invention.

光走査型観察装置10は、例えば、光走査型内視鏡装置であり、光源部11、光走査型内視鏡本体12、検出部13、駆動電流生成部14、制御部15、および表示部16を含んで構成される。   The optical scanning observation device 10 is, for example, an optical scanning endoscope device, and includes a light source unit 11, an optical scanning endoscope body 12, a detection unit 13, a drive current generation unit 14, a control unit 15, and a display unit. 16 is comprised.

光源部11は、例えばレーザ光源であり、白色光を出射して、光走査型内視鏡本体12に供給する。白色光は、例えば、赤色、緑色、青色の単色レーザをダイクロイックミラーまたは光ファイバによって構成された光コンバイナにより、結合して構成する。または、広帯域であるスーパーコンティニューム光などを発信する単一の白色ファイバレーザとしてもよい。光源は、レーザ光源に限らず、例えばLED(Light Emitting Diode)などの他の形態の光源としてもよい。光走査型内視鏡本体12は、供給される白色光を用いて被観察物objを走査し、走査により得られた信号光を検出部13に伝播させる。信号光は検出部13に伝播する前に、例えばダイクロイックミラーなどにより、R、G、Bの各波長に対応する光に分光される。分光された信号光は、各波長に対応した検出部13に伝達される。検出部13は伝播された信号光を電気信号に変換する。駆動電流生成部14は被観察物objの走査に必要な駆動信号を光走査型内視鏡本体12に送信する。制御部15は、光源部11、検出部13、および駆動電流生成部14を同期制御するとともに、検出部13により出力された電気信号を処理して、画像を合成し表示部16に表示する。   The light source unit 11 is, for example, a laser light source, emits white light, and supplies the white light to the optical scanning endoscope body 12. For example, the white light is configured by combining red, green, and blue monochromatic lasers with an optical combiner configured by a dichroic mirror or an optical fiber. Or it is good also as a single white fiber laser which transmits the super continuum light etc. which are broadband. The light source is not limited to the laser light source, and may be another type of light source such as an LED (Light Emitting Diode). The optical scanning endoscope main body 12 scans the observation object obj using the supplied white light, and propagates the signal light obtained by the scanning to the detection unit 13. Before propagating the signal light to the detection unit 13, the signal light is split into light corresponding to R, G, and B wavelengths by, for example, a dichroic mirror. The split signal light is transmitted to the detection unit 13 corresponding to each wavelength. The detector 13 converts the propagated signal light into an electrical signal. The drive current generator 14 transmits a drive signal necessary for scanning the object obj to the optical scanning endoscope body 12. The control unit 15 synchronously controls the light source unit 11, the detection unit 13, and the drive current generation unit 14, processes the electrical signal output from the detection unit 13, synthesizes an image, and displays the image on the display unit 16.

図2は、光走査型内視鏡本体12を概略的に示す概観図である。光走査型内視鏡本体12は、操作部17および挿入部18を備え、操作部17の一方の端部と挿入部18の基端部とは接続されて一体となっている。   FIG. 2 is a schematic view schematically showing the optical scanning endoscope main body 12. The optical scanning endoscope main body 12 includes an operation unit 17 and an insertion unit 18, and one end of the operation unit 17 and a base end of the insertion unit 18 are connected and integrated.

光走査型内視鏡本体12は、照明用光ファイバ19、検出用光ファイババンドル20、配線ケーブル21、および振動駆動手段を含んで構成される。照明用光ファイバ19、検出用光ファイババンドル20、および配線ケーブル21は、操作部17から挿入部18内部を通じて、挿入部18の先端部22(図2における破線部内の部分)まで導かれている。照明用光ファイバ19は、操作部17側において光源部11に接続され、白色光を先端部22に伝播させる。検出用光ファイババンドル20は、操作部17側において検出部13に接続され、先端部22において得られた信号光を検出部13に伝播させる。配線ケーブル21は、操作部17側において駆動電流生成部14に接続され、駆動信号を先端部22に配置される振動駆動手段に送信する。振動駆動手段は、照明用光ファイバ19を駆動信号に基づいて振動させることにより、照明用光ファイバ19から出射する白色光で被観察物objを走査させる。   The optical scanning endoscope main body 12 includes an illumination optical fiber 19, a detection optical fiber bundle 20, a wiring cable 21, and vibration drive means. The illumination optical fiber 19, the detection optical fiber bundle 20, and the wiring cable 21 are guided from the operation unit 17 through the inside of the insertion unit 18 to the distal end portion 22 of the insertion unit 18 (part in the broken line portion in FIG. 2). . The illumination optical fiber 19 is connected to the light source unit 11 on the operation unit 17 side, and propagates white light to the distal end portion 22. The detection optical fiber bundle 20 is connected to the detection unit 13 on the operation unit 17 side, and propagates the signal light obtained at the distal end portion 22 to the detection unit 13. The wiring cable 21 is connected to the drive current generation unit 14 on the operation unit 17 side, and transmits a drive signal to the vibration drive means arranged at the tip portion 22. The vibration drive means vibrates the illumination optical fiber 19 based on the drive signal, thereby scanning the observation object obj with white light emitted from the illumination optical fiber 19.

図3は、図1の光走査型内視鏡本体12の先端部22を拡大して示す断面図である。先端部22は、振動駆動手段23、投影用レンズ24a、24b、および図示しない検出用レンズを備えるとともに、照明用光ファイバ19および検出用光ファイババンドル20が延在している。照明用光ファイバ19および振動駆動手段23は、光走査ユニットとして機能する。   3 is an enlarged cross-sectional view of the distal end portion 22 of the optical scanning endoscope main body 12 of FIG. The distal end portion 22 includes vibration driving means 23, projection lenses 24a and 24b, and a detection lens (not shown), and an illumination optical fiber 19 and a detection optical fiber bundle 20 extend. The illumination optical fiber 19 and the vibration driving means 23 function as an optical scanning unit.

振動駆動手段23は、角型チューブ25、永久磁石26(図4参照)、および第1の偏向磁場発生用コイル27a1〜27d1、第2の偏向磁場発生用コイル27a2〜27d2を含んで構成される。   The vibration driving means 23 includes a square tube 25, a permanent magnet 26 (see FIG. 4), first deflection magnetic field generating coils 27a1 to 27d1, and second deflection magnetic field generating coils 27a2 to 27d2. .

角型チューブ25は中空の四角柱形状であり、一端が閉鎖され、他端が開放されている。角型チューブ25は、取付環28(図3参照)により先端部22内部に、先端部22の中心軸線に長手方向が一致し且つ開放された端部が先端部22の先端側を向くように固定される。本実施形態においては、四角柱形状の角型チューブ25を適用するが、円筒状および内部が中空である他の形状であってもよい。   The square tube 25 has a hollow quadrangular prism shape, one end is closed and the other end is opened. The rectangular tube 25 is arranged in the distal end portion 22 by the mounting ring 28 (see FIG. 3) so that the longitudinal direction coincides with the central axis of the distal end portion 22 and the opened end portion faces the distal end side of the distal end portion 22. Fixed. In the present embodiment, the square tube 25 having a quadrangular prism shape is applied, but a cylindrical shape and other shapes having a hollow inside may be used.

角型チューブ25の閉鎖された端部は孔部を有しており、照明用光ファイバ19が当該孔部を挿通する。当該孔部は、照明用光ファイバ19を挿通させた状態で、照明用光ファイバ19と結合する。孔部を照明用光ファイバ19と結合させることにより、当該孔部と結合される照明用光ファイバ19の固定部19aから先端部19cまでの部位が支持される。   The closed end of the square tube 25 has a hole, and the illumination optical fiber 19 is inserted through the hole. The hole is coupled to the illumination optical fiber 19 in a state where the illumination optical fiber 19 is inserted. By coupling the hole portion with the illumination optical fiber 19, a portion from the fixing portion 19a to the tip portion 19c of the illumination optical fiber 19 coupled to the hole portion is supported.

永久磁石26は円筒状であり、円筒の高さ方向に着磁される。以下、永久磁石26は、この方向に着磁されたものとして説明するが、着磁方向はこの方向に限定されない。また、永久磁石ではなく、磁性体を用いてもよい。磁界の制御を考えれば、永久磁石と同等の効果が得られる。永久磁石26は、内部の貫通孔に照明用光ファイバ19を挿通させた状態で、照明用光ファイバ19に取付けられる。永久磁石26を取付けた照明用光ファイバ19の固定部19aから先端部19cまでの部位が揺動部19bを構成し、揺動可能である。図5に示すように、永久磁石26は、振動駆動手段23が生じさせる三次の振動モードによる揺動部19bの振動の腹anを外部に且つ当該振動の節nを内部に有し、且つ永久磁石26が内部に有する節nが当該振動の変曲点と重なる節nと一致するように、照明用光ファイバ19に取付けられる。   The permanent magnet 26 has a cylindrical shape and is magnetized in the height direction of the cylinder. Hereinafter, the permanent magnet 26 is described as being magnetized in this direction, but the magnetization direction is not limited to this direction. Moreover, you may use a magnetic body instead of a permanent magnet. Considering the control of the magnetic field, the same effect as the permanent magnet can be obtained. The permanent magnet 26 is attached to the illumination optical fiber 19 in a state where the illumination optical fiber 19 is inserted through the internal through hole. A portion from the fixed portion 19a to the tip portion 19c of the illumination optical fiber 19 to which the permanent magnet 26 is attached constitutes the swing portion 19b and can swing. As shown in FIG. 5, the permanent magnet 26 has an antinode of vibration of the oscillating portion 19b in the tertiary vibration mode generated by the vibration driving means 23 on the outside and a node n of the vibration on the inside, and is permanent. The magnet 26 is attached to the illumination optical fiber 19 so that the node n inside the magnet 26 coincides with the node n overlapping the inflection point of the vibration.

第1の偏向磁場発生用コイル27a1〜27d1は、角型チューブ25の各側面の長手方向において、永久磁石26の先端部19c側の極と対向する位置に設けられる(図4参照)。第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1が互いに対向する側面に設けられ、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1が互いに対向する側面に設けられる。第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1の中心を通る直線と、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1の中心を通る直線とは、角型チューブ25の中心軸線付近で直交する。   The first deflection magnetic field generating coils 27a1 to 27d1 are provided at positions facing the poles on the distal end portion 19c side of the permanent magnet 26 in the longitudinal direction of each side surface of the square tube 25 (see FIG. 4). The first deflection magnetic field generating coils 27a1 and 27c1 are provided on the side surfaces facing each other, and the first deflection magnetic field generation coils 27b1 and 27d1 are provided on the side surfaces facing each other. The straight line passing through the centers of the first deflection magnetic field generating coils 27a1 and 27c1 and the straight line passing through the centers of the first deflection magnetic field generating coils 27b1 and 27d1 are orthogonal to each other in the vicinity of the central axis of the square tube 25.

第2の偏向磁場発生用コイル27a2〜27d2は、角型チューブ25の各側面の長手方向において、永久磁石26の固定部19a側の極と対向する位置に設けられる。第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2が互いに対向する側面に設けられ、第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2が互いに対向する側面に設けられる。第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2の中心を通る直線と、第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2の中心を通る直線とは、角型チューブ25の中心軸線付近で直交する。   The second deflection magnetic field generating coils 27 a 2 to 27 d 2 are provided at positions facing the pole on the fixed portion 19 a side of the permanent magnet 26 in the longitudinal direction of each side surface of the square tube 25. The second deflection magnetic field generating coils 27a2 and 27c2 are provided on the side surfaces facing each other, and the second deflection magnetic field generating coils 27b2 and 27d2 are provided on the side surfaces facing each other. The straight line passing through the centers of the second deflection magnetic field generating coils 27a2 and 27c2 and the straight line passing through the centers of the second deflection magnetic field generating coils 27b2 and 27d2 are orthogonal to each other in the vicinity of the central axis of the square tube 25.

第1の偏向磁場発生用コイル27a1〜27d1および第2の偏向磁場発生用コイル27a2〜27d2は、配線ケーブル21を介して駆動電流生成部14に接続される。第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1と、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1と、第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2と、第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2とには、駆動電流生成部14から、揺動部19bに三次の振動モードの振動を引起す周波数の電流が駆動信号として印加される。   The first deflection magnetic field generating coils 27 a 1 to 27 d 1 and the second deflection magnetic field generating coils 27 a 2 to 27 d 2 are connected to the drive current generator 14 via the wiring cable 21. First deflection magnetic field generation coils 27a1, 27c1, first deflection magnetic field generation coils 27b1, 27d1, second deflection magnetic field generation coils 27a2, 27c2, and second deflection magnetic field generation coils 27b2, 27d2 The drive current generator 14 applies a current having a frequency that causes the vibration of the tertiary vibration mode to the swing unit 19b as a drive signal.

第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1に駆動信号を印加すると、第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1間に第1軸偏向磁場が発生する。第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2に駆動信号を印加すると、第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2間に第2軸偏向磁場が発生する。第1軸偏向磁場および第2軸偏向磁場の方向を互いに同じ向きにさせ且つ大きさを同じにさせる駆動信号が、第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1および第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2に送信される。このような駆動信号に基づく第1軸偏向磁場および第2軸偏向磁場により、第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1の中心および第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2の中心を通る平面に沿って永久磁石26が回動し、揺動部19bが振動する。   When a drive signal is applied to the first deflection magnetic field generating coils 27a1, 27c1, a first axis deflection magnetic field is generated between the first deflection magnetic field generating coils 27a1, 27c1. When a drive signal is applied to the second deflection magnetic field generating coils 27a2 and 27c2, a second axial deflection magnetic field is generated between the second deflection magnetic field generating coils 27a2 and 27c2. The drive signals for causing the first axis deflection magnetic field and the second axis deflection magnetic field to have the same direction and the same magnitude are the first deflection field generation coils 27a1 and 27c1 and the second deflection field generation coil. 27a2 and 27c2. A plane passing through the centers of the first deflection magnetic field generation coils 27a1 and 27c1 and the centers of the second deflection magnetic field generation coils 27a2 and 27c2 by the first axis deflection magnetic field and the second axis deflection magnetic field based on such a drive signal. The permanent magnet 26 rotates along the oscillating portion, and the swinging portion 19b vibrates.

第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1に駆動信号を印加すると、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1間に第3軸偏向磁場が発生する。第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2に駆動信号を印加すると、第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2間に第4軸偏向磁場が発生する。第3軸偏向磁場および第4軸偏向磁場の方向を互いに同じ向きにさせ且つ大きさを同じにさせる駆動信号が、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1および第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2に送信される。このような駆動信号に基づく第3軸偏向磁場および第4軸偏向磁場により、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1の中心および第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2の中心を通る平面に沿って永久磁石26が回動し、揺動部19bが振動する。   When a drive signal is applied to the first deflection magnetic field generating coils 27b1, 27d1, a third axis deflection magnetic field is generated between the first deflection magnetic field generating coils 27b1, 27d1. When a drive signal is applied to the second deflection magnetic field generating coils 27b2 and 27d2, a fourth axis deflection magnetic field is generated between the second deflection magnetic field generating coils 27b2 and 27d2. The drive signals that cause the third and fourth axis deflection magnetic fields to be in the same direction and have the same magnitude are the first deflection field generation coils 27b1 and 27d1 and the second deflection field generation coil. 27b2 and 27d2. A plane passing through the centers of the first deflection magnetic field generating coils 27b1 and 27d1 and the centers of the second deflection magnetic field generating coils 27b2 and 27d2 by the third axis deflection magnetic field and the fourth axis deflection magnetic field based on such drive signals. The permanent magnet 26 rotates along the oscillating portion, and the swinging portion 19b vibrates.

投影用レンズ24a、24bおよび検出用レンズは、挿入部18の先端部22の最先端に配置される。投影用レンズ24a、24bは、照明用光ファイバ19の先端部19cから射出されたレーザ光が、被観察物obj上に略集光するように構成されている。また、検出用レンズは、被観察物obj上に集光されたレーザ光が、被観察物objにより反射、散乱、屈折等をした光(被観察物objと相互作用した光)又は蛍光等を検出光として取込み、検出用レンズの後に配置された検出用光ファイババンドル20に集光、結合させるように配置される。   The projection lenses 24 a and 24 b and the detection lens are disposed at the forefront of the distal end portion 22 of the insertion portion 18. The projection lenses 24a and 24b are configured so that the laser light emitted from the distal end portion 19c of the illumination optical fiber 19 is substantially condensed on the observation object obj. Further, the detection lens emits light (light interacting with the observation object obj) or fluorescence that is reflected, scattered, or refracted by the observation object obj from the laser light collected on the observation object obj. It is taken in as detection light, and is arranged so as to be condensed and coupled to the detection optical fiber bundle 20 arranged after the detection lens.

以上のような構成の第1の実施形態の光走査ユニットによれば、高次の振動モードによる揺動部19bの振動の腹anを外部に有するように永久磁石26が配置される。永久磁石26の内部に振動の腹anがある場合には、永久磁石26を屈曲させる力が大きくかかる。一方で、永久磁石26剛性を有しているので、永久磁石26は屈曲させる力に抵抗する力を発する。それゆえ、振動が比較的不安定になり、永久磁石26の取付け位置の誤差により共振周波数にばらつきを生じさせると考えられる。それゆえ、本実施形態においては、永久磁石26を上述のように配置するので、永久磁石26の取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきを抑制可能である。   According to the optical scanning unit of the first embodiment configured as described above, the permanent magnet 26 is disposed so as to have an antinode of vibration of the swinging portion 19b in a higher-order vibration mode. In the case where there is a vibration belly an inside the permanent magnet 26, a large force for bending the permanent magnet 26 is applied. On the other hand, since the permanent magnet 26 has rigidity, the permanent magnet 26 generates a force that resists the bending force. Therefore, it is considered that the vibration becomes relatively unstable, and the resonance frequency varies due to an error in the attachment position of the permanent magnet 26. Therefore, in the present embodiment, since the permanent magnet 26 is arranged as described above, it is possible to suppress variations in the resonance frequency due to an error in the attachment position of the permanent magnet 26.

また、第1の実施形態の光走査ユニットによれば、永久磁石26が三次の振動モードによる揺動部19bの振動の節nを内部に有するように永久磁石26が配置される。振動の節nは、比較的屈曲が小さくなるため、永久磁石26を屈曲させる力が比較的小さい。それゆえ、振動の節nを内部に有するように永久磁石26を配置することにより、振動を比較的安定化させることが可能であり、永久磁石26の取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきの抑制効果をさらに向上させることが可能である。   Further, according to the optical scanning unit of the first embodiment, the permanent magnet 26 is arranged so that the permanent magnet 26 has the vibration node n of the swinging portion 19b in the tertiary vibration mode. Since the bending of the vibration node n is relatively small, the force for bending the permanent magnet 26 is relatively small. Therefore, by arranging the permanent magnet 26 so as to have the vibration node n inside, it is possible to relatively stabilize the vibration, and to suppress variations in resonance frequency due to an error in the mounting position of the permanent magnet 26. The effect can be further improved.

また、第1の実施形態の光走査ユニットによれば、永久磁石26が内部に有する節が三次の振動モードによる揺動部19bの振動の変曲点ipと重なる節nと一致するように配置される。変曲点を含む部位において振動による屈曲が部位全体で最小となるので、当該部位において永久磁石26を屈曲させる力が比較的小さい。それゆえ、上述のように永久磁石26を配置することにより、振動を比較的安定化させることが可能であり、永久磁石26の取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきの抑制効果をさらに向上させることが可能である。   Further, according to the optical scanning unit of the first embodiment, the nodes included in the permanent magnet 26 are arranged so as to coincide with the nodes n that overlap with the inflection points ip of the vibration of the rocking portion 19b in the tertiary vibration mode. Is done. Since bending due to vibration is minimized in the entire region including the inflection point, the force for bending the permanent magnet 26 in the region is relatively small. Therefore, by arranging the permanent magnet 26 as described above, it is possible to relatively stabilize the vibration, and to further improve the effect of suppressing variation in the resonance frequency due to an error in the mounting position of the permanent magnet 26. Is possible.

また、第1の実施形態の光走査ユニットによれば、平面に沿って永久磁石26が回動する。揺動部19bへの永久磁石26の取付け位置の誤差によるばらつきは、共振周波数だけでなく、振幅にも発生し得る。振動の節nを内部に有するように永久磁石26を配置する場合には、節nを中心に永久磁石26を回動させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差による振幅のばらつきを抑制することが可能となる。   Further, according to the optical scanning unit of the first embodiment, the permanent magnet 26 rotates along a plane. Variation due to an error in the attachment position of the permanent magnet 26 to the swinging portion 19b can occur not only in the resonance frequency but also in the amplitude. When the permanent magnet 26 is arranged so as to have the vibration node n inside, the permanent magnet 26 is rotated around the node n to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude due to the error of the mounting position. It becomes possible to do.

次に、本発明の第2の実施形態を説明する。第2の実施形態では揺動部の振動モードが二次である点において第1の実施形態と異なっている。以下に、第1の実施形態と異なる点を中心に第2の実施形態について説明する。なお、第1の実施形態と同じ構成を有する部位には同じ符号を付す。   Next, a second embodiment of the present invention will be described. The second embodiment differs from the first embodiment in that the vibration mode of the rocking part is secondary. The second embodiment will be described below with a focus on differences from the first embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the site | part which has the same structure as 1st Embodiment.

第2の実施形態においては、永久磁石26は、振動駆動手段23が生じさせる二次の振動モードによる揺動部19bの振動の腹anを外部に且つ当該振動の節nを内部に有し、且つ節nが永久磁石26の長手方向の中心近傍と重なるように、照明用光ファイバ19に取付けられる(図6参照)。   In the second embodiment, the permanent magnet 26 has an antinode of vibration of the oscillating portion 19b in the secondary vibration mode generated by the vibration driving means 23 outside and a node n of the vibration inside. And it is attached to the optical fiber 19 for illumination so that the node n may overlap with the center vicinity of the longitudinal direction of the permanent magnet 26 (refer FIG. 6).

また、第2の実施形態において、第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1と、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1と、第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2と、第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2とには、駆動電流生成部14から、揺動部19bに二次の振動モードの振動を引起す周波数の電流が駆動信号として印加される。   In the second embodiment, the first deflecting magnetic field generating coils 27a1, 27c1, the first deflecting magnetic field generating coils 27b1, 27d1, the second deflecting magnetic field generating coils 27a2, 27c2, and the second The deflection magnetic field generating coils 27b2 and 27d2 are supplied with a current having a frequency that causes vibration in the secondary vibration mode from the drive current generator 14 to the swing unit 19b.

以上のような構成の第2の実施形態の光走査ユニットによっても、高次の振動モードによる揺動部19bの振動の腹anを外部に有するように永久磁石26が配置されるので、永久磁石26の取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきを抑制可能である。また、第2の実施形態の光走査ユニットによっても、永久磁石26が二次の振動モードによる揺動部19bの振動の節nを内部に有するように永久磁石26が配置されるので、永久磁石26の取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきの抑制効果をさらに向上させることが可能である。また、第2の実施形態の光走査ユニットによっても、平面に沿って永久磁石26が回動するので、振幅の拡大化および取付け位置の誤差による振幅のばらつきを抑制することが可能となる。   Also with the optical scanning unit of the second embodiment configured as described above, the permanent magnet 26 is arranged so as to have the antinodes of vibration of the oscillating portion 19b in the higher-order vibration mode outside. It is possible to suppress variations in resonance frequency due to errors in the mounting positions of the 26. Further, also in the optical scanning unit of the second embodiment, the permanent magnet 26 is arranged so that the permanent magnet 26 has the vibration node n of the swinging portion 19b in the secondary vibration mode inside. It is possible to further improve the effect of suppressing the variation in the resonance frequency due to the error in the mounting position of 26. In addition, also with the optical scanning unit of the second embodiment, since the permanent magnet 26 rotates along a plane, it is possible to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude due to the attachment position error.

また、第2の実施形態の光走査ユニットによれば、三次の振動モードによる揺動部19bの振動の節nが永久磁石26の長手方向の中心近傍と重なるように配置される。節nを中心とする部位において振動による屈曲が部位全体で比較的小さくなるので、当該部位において永久磁石26を屈曲させる力が比較的小さい。それゆえ、上述のように永久磁石26を配置することにより、永久磁石26の取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきの抑制効果をさらに向上させることが可能である。   Further, according to the optical scanning unit of the second embodiment, the vibration node n of the oscillating portion 19b in the tertiary vibration mode is arranged so as to overlap with the vicinity of the center of the permanent magnet 26 in the longitudinal direction. Since the bending due to vibration is relatively small in the entire part at the part centered on the node n, the force for bending the permanent magnet 26 in the part is relatively small. Therefore, by arranging the permanent magnet 26 as described above, it is possible to further improve the effect of suppressing variation in resonance frequency due to an error in the attachment position of the permanent magnet 26.

次に、本発明の第3の実施形態を説明する。第3の実施形態では永久磁石の配置において第1の実施形態と異なっている。以下に、第1の実施形態と異なる点を中心に第3の実施形態について説明する。なお、第1の実施形態と同じ構成を有する部位には同じ符号を付す。   Next, a third embodiment of the present invention will be described. The third embodiment differs from the first embodiment in the arrangement of permanent magnets. The third embodiment will be described below with a focus on differences from the first embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the site | part which has the same structure as 1st Embodiment.

第3の実施形態においては、永久磁石26は、振動駆動手段23が生じさせる三次の振動モードによる揺動部19bの振動による固定部19aからの最初の腹anと固定部19aとの間において、固定部19aとともに当該振動の変曲点ipを挟み、且つ当該振動の腹anおよび節nを外部に有するように、照明用光ファイバ19に取付けられる(図7参照)。   In the third embodiment, the permanent magnet 26 is between the first belly an from the fixed portion 19a and the fixed portion 19a by the vibration of the swinging portion 19b in the tertiary vibration mode generated by the vibration driving means 23. It is attached to the illumination optical fiber 19 so as to sandwich the inflection point ip of the vibration together with the fixing portion 19a and to have an antinode an and a node n of the vibration outside (see FIG. 7).

また、第3の実施形態においては、第1軸偏向磁場および第2軸偏向磁場の方向を互いに逆向きにさせ且つ大きさを同じにさせる駆動信号が、第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1および第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2に送信される。このような駆動信号に基づく第1軸偏向磁場および第2軸偏向磁場により、第1の偏向磁場発生用コイル27a1、37c1の中心および第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2の中心を通る平面に沿って永久磁石26が変位し、揺動部19bが振動する。同様に、第3軸偏向磁場および第4軸偏向磁場の方向を互いに逆向きにさせ且つ大きさを同じにさせる駆動信号が、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1および第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2に送信される。このような駆動信号に基づく第3軸偏向磁場および第4軸偏向磁場により、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1の中心および第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2の中心を通る平面に沿って永久磁石26が変位し、揺動部19bが振動する。   In the third embodiment, the drive signals for causing the directions of the first axis deflection magnetic field and the second axis deflection magnetic field to be opposite to each other and to have the same magnitude are the first deflection magnetic field generating coils 27a1, 27c1 and the second deflection magnetic field generating coils 27a2 and 27c2. A plane passing through the centers of the first deflection magnetic field generating coils 27a1 and 37c1 and the centers of the second deflection magnetic field generating coils 27a2 and 27c2 by the first axis deflection magnetic field and the second axis deflection magnetic field based on such a drive signal. , The permanent magnet 26 is displaced, and the swinging portion 19b vibrates. Similarly, the driving signals for making the directions of the third axis deflection field and the fourth axis deflection field opposite to each other and having the same magnitude are the first deflection field generation coils 27b1, 27d1 and the second deflection field. It is transmitted to the generating coils 27b2 and 27d2. A plane passing through the centers of the first deflection magnetic field generating coils 27b1 and 27d1 and the centers of the second deflection magnetic field generating coils 27b2 and 27d2 by the third axis deflection magnetic field and the fourth axis deflection magnetic field based on such drive signals. , The permanent magnet 26 is displaced, and the swinging portion 19b vibrates.

以上のような構成の第3の実施形態の光走査ユニットによっても、高次の振動モードによる揺動部19bの振動の腹anを外部に有するように永久磁石26が配置されるので、永久磁石26の取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきを抑制可能である。   Also with the optical scanning unit of the third embodiment having the above-described configuration, the permanent magnet 26 is disposed so as to have the antinodes of vibration of the oscillating portion 19b in the higher-order vibration mode outside. It is possible to suppress variations in resonance frequency due to errors in the mounting positions of the 26.

また、第3の実施形態の光走査ユニットによれば、永久磁石26は、振動駆動手段23が生じさせる三次の振動モードによる揺動部19bの振動による固定部19aから最初の腹anと固定部19aとの間において、固定部19aとともに当該振動の変曲点ipを挟み、且つ当該振動の節nを外部に有するように、照明用光ファイバ19に取付けられる。このような構成を満たすことにより、永久磁石26に作用する応力を軽減させることができ、永久磁石26の取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきの抑制効果をさらに向上させることが可能である。   Further, according to the optical scanning unit of the third embodiment, the permanent magnet 26 is moved from the fixed portion 19a to the first belly an and the fixed portion by the vibration of the swing portion 19b in the tertiary vibration mode generated by the vibration driving means 23. It is attached to the illumination optical fiber 19 so as to sandwich the inflection point ip of the vibration together with the fixing portion 19a and the node n of the vibration outside. By satisfying such a configuration, the stress acting on the permanent magnet 26 can be reduced, and the effect of suppressing variation in resonance frequency due to an error in the attachment position of the permanent magnet 26 can be further improved.

また、第3の実施形態の光走査ユニットによれば、平面に沿って永久磁石26が変位する。揺動部19bへの永久磁石26の取付け位置の誤差によるばらつきは、共振周波数だけでなく、振幅にも発生し得る。振動の節nを外部に有するように永久磁石26を配置する場合には、永久磁石26を回動させるのではなく、変位させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差による振幅のばらつきを抑制することが可能となる。   Further, according to the optical scanning unit of the third embodiment, the permanent magnet 26 is displaced along the plane. Variation due to an error in the attachment position of the permanent magnet 26 to the swinging portion 19b can occur not only in the resonance frequency but also in the amplitude. When the permanent magnet 26 is disposed so as to have the vibration node n outside, the permanent magnet 26 is not rotated, but is displaced to increase the amplitude and to vary the amplitude due to an error in the mounting position. It becomes possible to suppress.

次に、本発明の第4の実施形態を説明する。第4の実施形態では揺動部の振動モードが二次である点および永久磁石26の配置が第1の実施形態と異なっている。以下に、第1の実施形態と異なる点を中心に第2の実施形態について説明する。なお、第1の実施形態と同じ構成を有する部位には同じ符号を付す。   Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. The fourth embodiment differs from the first embodiment in that the vibration mode of the rocking portion is secondary and the arrangement of the permanent magnets 26. The second embodiment will be described below with a focus on differences from the first embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the site | part which has the same structure as 1st Embodiment.

第4の実施形態においては、永久磁石26は、振動駆動手段23が生じさせる二次の振動モードによる揺動部19bの振動による固定部19aからの最初の腹anと固定部19aとの間において、当該振動の変曲点ipを内部に有し、且つ当該振動の腹anおよび節nを外部に有するように、照明用光ファイバ19に取付けられる(図8参照)。   In the fourth embodiment, the permanent magnet 26 is located between the first belly an from the fixed portion 19a and the fixed portion 19a due to the vibration of the swinging portion 19b in the secondary vibration mode generated by the vibration driving means 23. It is attached to the optical fiber 19 for illumination so that it has the inflection point ip of the vibration inside and has the antinode an and the node n of the vibration outside (see FIG. 8).

また、第4の実施形態において、第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1と、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1と、第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2と、第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2とには、駆動電流生成部14から、揺動部19bに二次の振動モードの振動を引起す周波数の電流が駆動信号として印加される。   In the fourth embodiment, the first deflection magnetic field generating coils 27a1, 27c1, the first deflection magnetic field generating coils 27b1, 27d1, the second deflection magnetic field generating coils 27a2, 27c2, and the second The deflection magnetic field generating coils 27b2 and 27d2 are supplied with a current having a frequency that causes vibration in the secondary vibration mode from the drive current generator 14 to the swing unit 19b.

また、第4の実施形態においては、第1軸偏向磁場および第2軸偏向磁場の方向を互いに逆向きにさせ且つ大きさを同じにさせる駆動信号が、第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1および第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2に送信される。このような駆動信号に基づく第1軸偏向磁場および第2軸偏向磁場により、第1の偏向磁場発生用コイル27a1、27c1の中心および第2の偏向磁場発生用コイル27a2、27c2の中心を通る平面に沿って永久磁石26が変位し、揺動部19bが振動する。同様に、第3軸偏向磁場および第4軸偏向磁場の方向を互いに逆向きにさせ且つ大きさを同じにさせる駆動信号が、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1および第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2に送信される。このような駆動信号に基づく第3軸偏向磁場および第4軸偏向磁場により、第1の偏向磁場発生用コイル27b1、27d1の中心および第2の偏向磁場発生用コイル27b2、27d2の中心を通る平面に沿って永久磁石26が変位し、揺動部19bが振動する。   In the fourth embodiment, the drive signals for causing the directions of the first axis deflection magnetic field and the second axis deflection magnetic field to be opposite to each other and having the same magnitude are the first deflection magnetic field generating coils 27a1, 27c1 and the second deflection magnetic field generating coils 27a2 and 27c2. A plane passing through the centers of the first deflection magnetic field generation coils 27a1 and 27c1 and the centers of the second deflection magnetic field generation coils 27a2 and 27c2 by the first axis deflection magnetic field and the second axis deflection magnetic field based on such a drive signal. , The permanent magnet 26 is displaced, and the swinging portion 19b vibrates. Similarly, the driving signals for making the directions of the third axis deflection field and the fourth axis deflection field opposite to each other and having the same magnitude are the first deflection field generation coils 27b1, 27d1 and the second deflection field. It is transmitted to the generating coils 27b2 and 27d2. A plane passing through the centers of the first deflection magnetic field generating coils 27b1 and 27d1 and the centers of the second deflection magnetic field generating coils 27b2 and 27d2 by the third axis deflection magnetic field and the fourth axis deflection magnetic field based on such drive signals. , The permanent magnet 26 is displaced, and the swinging portion 19b vibrates.

以上のような構成の第4の実施形態の光走査ユニットによっても、高次の振動モードによる揺動部19bの振動の腹anを外部に有するように永久磁石26が配置されるので、永久磁石26の取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきを抑制可能であるまた、第4の実施形態の光走査ユニットによっても、平面に沿って永久磁石26が回動するのではなく、変位するので、振幅の拡大化および取付け位置の誤差による振幅のばらつきを抑制することが可能となる。   Also with the optical scanning unit of the fourth embodiment configured as described above, the permanent magnet 26 is disposed so as to have the antinodes of vibration of the oscillating portion 19b in the higher-order vibration mode outside. The variation of the resonance frequency due to the error of the mounting position of the 26 can be suppressed. Also by the optical scanning unit of the fourth embodiment, the permanent magnet 26 is not rotated along the plane but is displaced. It is possible to suppress variations in amplitude due to an increase in the size and an error in the mounting position.

また、第4の実施形態の光走査ユニットによれば、永久磁石26は、振動駆動手段23が生じさせる二次の振動モードによる揺動部19bの振動による固定部19aから最初の腹anと固定部19aとの間において、当該振動の変曲点ipを内部に有し、且つ当該振動の節nを外部に有するように、照明用光ファイバ19に取付けられる。このような構成を満たすことにより、永久磁石26に作用する応力を軽減させることができ、永久磁石26の取付け位置の誤差による共振周波数のばらつきの抑制効果をさらに向上させることが可能である。   Further, according to the optical scanning unit of the fourth embodiment, the permanent magnet 26 is fixed to the first belly an from the fixing portion 19a by the vibration of the swinging portion 19b by the secondary vibration mode generated by the vibration driving means 23. It is attached to the optical fiber 19 for illumination so that it may have the inflection point ip of the vibration inside and the node n of the vibration outside. By satisfying such a configuration, the stress acting on the permanent magnet 26 can be reduced, and the effect of suppressing variation in resonance frequency due to an error in the attachment position of the permanent magnet 26 can be further improved.

次に、実施例により本発明の効果を説明するが、本実施例はあくまでも本発明の効果を説明する一例に過ぎず、本発明を限定するものではない。   Next, the effects of the present invention will be described by way of examples. However, the present examples are merely examples for explaining the effects of the present invention, and do not limit the present invention.

長さが0.5mmである永久磁石26の揺動部19bへの取付け位置別の、振動の変曲点などの位置、共振周波数、および振幅を有限要素法により計算した。以下の説明において、図9に示すように、取付け位置は固定部19aからの距離によって表す。上述の計算において、取付け位置を0.5mmから0.5mmずつ先端側に変位させたそれぞれの位置に永久磁石26の長手方向の中心を重ねた。また、上述の計算において、二次および三次の振動モードの振動を生じさせた。上述の計算において、照明用光ファイバ19の直径を0.125mm、揺動部19bの長さを10mm、ヤング率を70GPa、ポアソン比を0.17、密度を2.2g/cmとした。また、永久磁石26は中空円筒形状とし、外径を0.5mm、内径を0.125mm、ヤング率を150GPa、ポアソン比を0.27、密度を8.3g/cmとした。磁石に作用する電磁力については、磁石両端1点に集中荷重が1×10−4Nそれぞれ作用していると仮定した。磁石を回動させる場合は、両端に作用する電磁力の向きは互いに逆向きになるようにし、磁石を平面に沿って変位させる場合は、両端に作用する電磁力の向きは互いに同じ向きになるようにした。 The position of the inflection point of vibration, resonance frequency, and amplitude were calculated by the finite element method for each position where the permanent magnet 26 having a length of 0.5 mm was attached to the swing part 19b. In the following description, as shown in FIG. 9, the attachment position is represented by the distance from the fixing portion 19a. In the above calculation, the center in the longitudinal direction of the permanent magnet 26 was overlapped at each position where the mounting position was displaced 0.5 mm to 0.5 mm from the tip side. In the above calculation, vibrations in the secondary and tertiary vibration modes were generated. In the above calculation, the diameter of the illumination optical fiber 19 was 0.125 mm, the length of the swinging portion 19b was 10 mm, the Young's modulus was 70 GPa, the Poisson's ratio was 0.17, and the density was 2.2 g / cm 3 . The permanent magnet 26 has a hollow cylindrical shape with an outer diameter of 0.5 mm, an inner diameter of 0.125 mm, a Young's modulus of 150 GPa, a Poisson's ratio of 0.27, and a density of 8.3 g / cm 3 . For the electromagnetic force acting on the magnet, it was assumed that a concentrated load was acting on each point of the magnet at 1 × 10 −4 N. When rotating the magnet, the directions of the electromagnetic forces acting on both ends are opposite to each other. When the magnet is displaced along a plane, the directions of the electromagnetic forces acting on both ends are the same. I did it.

同様に、長さが1.0mm、2.0mm、3.0mm、4.0mmである永久磁石26に関しても、振動の変曲点などの位置、共振周波数、および振幅を有限要素法により計算した。長さが1.0mm、2.0mm、3.0mm、4.0mmである永久磁石26それぞれにおける上述の計算において、取付け位置を1.0mm、1.5mm、2.0mm、2.5mmから0.5mmずつ先端側に変位させたそれぞれの位置に永久磁石26の中心を重ねた。   Similarly, for the permanent magnet 26 having a length of 1.0 mm, 2.0 mm, 3.0 mm, and 4.0 mm, the position of the inflection point of vibration, the resonance frequency, and the amplitude were calculated by the finite element method. . In the above calculation in each of the permanent magnets 26 having lengths of 1.0 mm, 2.0 mm, 3.0 mm, and 4.0 mm, the mounting position is changed from 1.0 mm, 1.5 mm, 2.0 mm, 2.5 mm to 0. The center of the permanent magnet 26 was overlapped at each position displaced to the tip side by 5 mm.

上述の計算により、それぞれの取付け位置において、永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させているか否かを判別した。永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置を表1に示した。   Based on the above calculation, it was determined whether or not an antinode of vibration an occurred outside the permanent magnet 26 at each mounting position. Table 1 shows the mounting positions at which the antinodes of vibrations are generated outside the permanent magnet 26.

Figure 0006071590
Figure 0006071590

表1に示すように、永久磁石26の長さが0.5mm、取付け位置が3.5mm、且つ二次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例1とする。また、永久磁石26の長さが0.5mm、取付け位置が6.5mm、且つ二次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例2とする。また、永久磁石26の長さが0.5mm、取付け位置が1.5mm、且つ三次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例3とする。また、永久磁石26の長さが0.5mm、取付け位置が4.5mm、且つ三次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例4とする。また、永久磁石26の長さが0.5mm、取付け位置が7.5mm、且つ三次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例5とする。また、永久磁石26の長さが0.5mm、取付け位置が8.0mm、且つ三次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例6とする。また、永久磁石26の長さが2.0mm、取付け位置が2.0mm、且つ二次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例7とする。また、永久磁石26の長さが2.0mm、取付け位置が6.0mm、且つ二次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例8とする。また、永久磁石26の長さが2.0mm、取付け位置が4.0mm、且つ三次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例9とする。また、永久磁石26の長さが2.0mm、取付け位置が5.0mm、且つ三次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例10とする。また、永久磁石26の長さが3.0mm、取付け位置が3.5mm、且つ三次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例11とする。また、永久磁石26の長さが3.0mm、取付け位置が4.5mm、且つ三次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例12とする。また、永久磁石26の長さが4.0mm、取付け位置が7.5mm、且つ二次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例13とする。また、永久磁石26の長さが4.0mm、取付け位置が4.0mm、且つ三次の振動モードで振動させる揺動部19bを実施例14とする。   As shown in Table 1, Example 1 is a swinging portion 19b having a length of the permanent magnet 26 of 0.5 mm, an attachment position of 3.5 mm, and vibrating in a secondary vibration mode. Further, the swinging portion 19b that has a length of the permanent magnet 26 of 0.5 mm, a mounting position of 6.5 mm, and vibrates in the secondary vibration mode is referred to as a second embodiment. In addition, the swinging portion 19b that has a length of the permanent magnet 26 of 0.5 mm, a mounting position of 1.5 mm, and vibrates in a tertiary vibration mode is referred to as a third embodiment. In addition, the swinging portion 19b that has a length of the permanent magnet 26 of 0.5 mm, a mounting position of 4.5 mm, and vibrates in a tertiary vibration mode is referred to as a fourth embodiment. Further, the swinging portion 19b that has a length of the permanent magnet 26 of 0.5 mm, a mounting position of 7.5 mm, and vibrates in the tertiary vibration mode is referred to as a fifth embodiment. Further, the swinging portion 19b that has the length of the permanent magnet 26 of 0.5 mm, the mounting position of 8.0 mm, and vibrates in the tertiary vibration mode is referred to as Example 6. Further, the swinging portion 19b that has a length of the permanent magnet 26 of 2.0 mm, a mounting position of 2.0 mm, and vibrates in the secondary vibration mode is referred to as a seventh embodiment. Further, the swinging portion 19b that has the length of the permanent magnet 26 of 2.0 mm, the mounting position of 6.0 mm, and vibrates in the secondary vibration mode is referred to as an eighth embodiment. Further, the swinging portion 19b that has a length of the permanent magnet 26 of 2.0 mm, a mounting position of 4.0 mm, and vibrates in the tertiary vibration mode is referred to as a ninth embodiment. In addition, the swinging portion 19b that has the length of the permanent magnet 26 of 2.0 mm, the mounting position of 5.0 mm, and vibrates in the tertiary vibration mode is referred to as Example 10. In addition, the swinging portion 19b that has the length of the permanent magnet 26 of 3.0 mm, the mounting position of 3.5 mm, and vibrates in the tertiary vibration mode is referred to as Example 11. The oscillating portion 19b that has a length of the permanent magnet 26 of 3.0 mm, an attachment position of 4.5 mm, and vibrates in the tertiary vibration mode is referred to as Example 12. Further, the swinging portion 19b having the length of the permanent magnet 26 of 4.0 mm, the mounting position of 7.5 mm, and vibrating in the secondary vibration mode is referred to as Example 13. Further, a swinging portion 19b that has a length of the permanent magnet 26 of 4.0 mm, a mounting position of 4.0 mm, and vibrates in a tertiary vibration mode is referred to as a fourteenth embodiment.

実施例1から実施例13における揺動部19bの振動の状態を、図10から図22に示す。   FIGS. 10 to 22 show the vibration state of the swinging portion 19b in the first to thirteenth embodiments.

実施例2、4、6、8〜13においては、図11、13、15、17〜22に示すように、高次の振動モードによる揺動部19bの振動の節nを内部に有するように、永久磁石26を配置可能であることが分かる。   In Examples 2, 4, 6, and 8 to 13, as shown in FIGS. 11, 13, 15, and 17 to 22, the vibration node n of the oscillating portion 19b in the higher-order vibration mode is provided inside. It can be seen that the permanent magnet 26 can be arranged.

さらに、実施例2、8、13においては、図11、17、22に示すように、永久磁石26の中心近傍および振動の節nが重なるように、永久磁石26を配置可能であることが分かる。   Further, in Examples 2, 8, and 13, as shown in FIGS. 11, 17, and 22, it can be seen that the permanent magnet 26 can be arranged so that the vicinity of the center of the permanent magnet 26 and the vibration node n overlap. .

また、実施例4、9、10においては、図13、18、19に示すように、三次の振動モードにおいて振動の節nと変曲点ipとを一致させることが可能であることが分かる。   In Examples 4, 9, and 10, as shown in FIGS. 13, 18 and 19, it can be seen that the vibration node n and the inflection point ip can be matched in the third-order vibration mode.

実施例1、3、6、7においては、図10、12、14、16に示すように、高次の振動モードによる揺動部19bの振動の節nを外部に有するように、永久磁石26が配置可能であることが分かる。   In Examples 1, 3, 6, and 7, as shown in FIGS. 10, 12, 14, and 16, the permanent magnet 26 has a vibration node n of the oscillating portion 19 b in a higher-order vibration mode outside. It can be seen that can be arranged.

さらに、実施例1、3、7においては、図10、12、16に示すように、固定部19aから最初の腹anと固定部19aとの間に、永久磁石26を配置可能であることが分かる。   Furthermore, in the first, third, and seventh embodiments, as shown in FIGS. 10, 12, and 16, the permanent magnet 26 can be disposed between the first belly an and the fixed portion 19a from the fixed portion 19a. I understand.

また、実施例1、3、5においては、図10、12、14に示すように、固定部19aおよび永久磁石26の間に変曲点ipが挟まれるように、永久磁石26を配置可能であることが分かる。   In Examples 1, 3, and 5, as shown in FIGS. 10, 12, and 14, the permanent magnet 26 can be arranged so that the inflection point ip is sandwiched between the fixed portion 19 a and the permanent magnet 26. I understand that there is.

また、実施例7においては、図16に示すように、変曲点ipを内部に有するように、永久磁石26を配置可能であることが分かる。   Moreover, in Example 7, as shown in FIG. 16, it turns out that the permanent magnet 26 can be arrange | positioned so that it may have the inflection point ip inside.

永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが0.5mmで二次の振動モードで振動させたときの、取付け位置に対する共振周波数のグラフを図23に示した。図23に示すように、取付け位置が3.5mmおよび6.5mm近辺において、取付け位置に対する共振周波数の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例1、2においては、取付け位置の誤差に対する共振周波数のばらつきを抑制可能であることが分かる。   A graph of the resonance frequency with respect to the mounting position when the length of the permanent magnet 26 is 0.5 mm and vibrates in the secondary vibration mode, where there is a mounting position that generates an antinode of vibration an outside the permanent magnet 26. This is shown in FIG. As shown in FIG. 23, the inclination of the curve of the resonance frequency with respect to the mounting position is relatively small when the mounting position is around 3.5 mm and 6.5 mm. Therefore, in Examples 1 and 2, it can be seen that the variation in the resonance frequency with respect to the error in the mounting position can be suppressed.

また、永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが0.5mmで三次の振動モードで振動させたときの、取付け位置に対する共振周波数のグラフを図24に示した。図24に示すように、取付け位置が1.5mm、4.5、7.5、および8.0mm近辺において、取付け位置に対する共振周波数の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例3から実施例6においては、取付け位置の誤差に対する共振周波数のばらつきを抑制可能であることが分かる。   Further, a graph of the resonance frequency with respect to the attachment position when the permanent magnet 26 is oscillated in the tertiary vibration mode with the length of the permanent magnet 26 having an attachment position that generates an antinode of vibration an outside the permanent magnet 26. Is shown in FIG. As shown in FIG. 24, the inclination of the curve of the resonance frequency with respect to the mounting position is relatively small when the mounting position is around 1.5 mm, 4.5, 7.5, and 8.0 mm. Therefore, in Example 3 to Example 6, it can be seen that the variation of the resonance frequency with respect to the error of the mounting position can be suppressed.

また、永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが2.0mmで二次の振動モードで振動させたときの、取付け位置に対する共振周波数のグラフを図25に示した。図25に示すように、取付け位置が2.0mmおよび6.0mm近辺において、取付け位置に対する共振周波数の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例7、8においては、取付け位置の誤差に対する共振周波数のばらつきを抑制可能であることが分かる。   Further, there is an attachment position that generates an antinode of vibration an outside of the permanent magnet 26, and the resonance frequency of the attachment position when the permanent magnet 26 is vibrated in the secondary vibration mode with a length of 2.0 mm. The graph is shown in FIG. As shown in FIG. 25, the inclination of the curve of the resonance frequency with respect to the mounting position is relatively small when the mounting position is around 2.0 mm and 6.0 mm. Therefore, in Examples 7 and 8, it can be seen that the variation of the resonance frequency with respect to the error of the mounting position can be suppressed.

また、永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが2.0mmで三次の振動モードで振動させたときの、取付け位置に対する共振周波数のグラフを図26に示した。図26に示すように、取付け位置が4.0mmおよび5.0mm近辺において、取付け位置に対する共振周波数の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例9、10においては、取付け位置の誤差に対する共振周波数のばらつきを抑制可能であることが分かる。   Further, a graph of the resonance frequency with respect to the mounting position when the permanent magnet 26 is oscillated in the third vibration mode with the length of the permanent magnet 26 being 2.0 mm, where there is an mounting position that generates an antinode of vibration outside the permanent magnet 26. This is shown in FIG. As shown in FIG. 26, the inclination of the curve of the resonance frequency with respect to the mounting position is relatively small when the mounting position is around 4.0 mm and 5.0 mm. Therefore, in Examples 9 and 10, it can be seen that the variation of the resonance frequency with respect to the error of the mounting position can be suppressed.

また、永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが3.0mmで三次の振動モードで振動させたときの、取付け位置に対する共振周波数のグラフを図27に示した。図27に示すように、取付け位置が3.5mmおよび4.5mm近辺において、取付け位置に対する共振周波数の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例11、12においては、取付け位置の誤差に対する共振周波数のばらつきを抑制可能であることが分かる。   Further, a graph of the resonance frequency with respect to the mounting position when the permanent magnet 26 is oscillated in the tertiary vibration mode with the length of the permanent magnet 26 being 3.0 mm where there is an mounting position that generates an anti-vibration an of the outside of the permanent magnet 26. This is shown in FIG. As shown in FIG. 27, the inclination of the curve of the resonance frequency with respect to the mounting position is relatively small when the mounting position is in the vicinity of 3.5 mm and 4.5 mm. Therefore, in Examples 11 and 12, it can be seen that the variation of the resonance frequency with respect to the error of the mounting position can be suppressed.

また、永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが4.0mmで二次の振動モードで振動させたときの、取付け位置に対する共振周波数のグラフを図28に示した。図28に示すように、取付け位置が7.5mm近辺において、取付け位置に対する共振周波数の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例13においては、取付け位置の誤差に対する共振周波数のばらつきを抑制可能であることが分かる。   In addition, there is an attachment position that generates an anti-vibration vibration an outside the permanent magnet 26. When the permanent magnet 26 is 4.0 mm long and vibrates in the secondary vibration mode, the resonance frequency relative to the attachment position is The graph is shown in FIG. As shown in FIG. 28, when the attachment position is around 7.5 mm, the slope of the curve of the resonance frequency with respect to the attachment position is relatively small. Therefore, in Example 13, it can be seen that the variation of the resonance frequency with respect to the error of the mounting position can be suppressed.

また、永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、 永久磁石26の長さが4.0mmで三次の振動モードで振動させたときの、取付け位置に対する共振周波数のグラフを図29に示した。図29に示すように、取付け位置が4.0mm近辺において、取付け位置に対する共振周波数の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例14においては、取付け位置の誤差に対する共振周波数のばらつきを抑制可能であることが分かる。   In addition, there is a mounting position that generates an antinode of vibration outside the permanent magnet 26. When the permanent magnet 26 has a length of 4.0 mm and is vibrated in the third vibration mode, a graph of the resonance frequency with respect to the mounting position. This is shown in FIG. As shown in FIG. 29, when the attachment position is around 4.0 mm, the slope of the resonance frequency curve with respect to the attachment position is relatively small. Therefore, in Example 14, it turns out that the dispersion | variation in the resonant frequency with respect to the error of an attachment position can be suppressed.

永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが0.5mmで二次の振動モードで、永久磁石26を回動または変位させることにより振動させたときの、取付け位置に対する照明用光ファイバ19先端部19cの振幅のグラフを図30に示した。   In the secondary vibration mode, the permanent magnet 26 is vibrated by rotating or displacing the permanent magnet 26 in the secondary vibration mode in which there is an attachment position for generating an anti-vibration ann outside the permanent magnet 26. FIG. 30 shows a graph of the amplitude of the distal end portion 19c of the illumination optical fiber 19 with respect to the mounting position.

図30に示すように、取付け位置が6.5mm近辺において、永久磁石26を回動させたときの、振幅は大きくなり、また取付け位置に対する振幅の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例2においては、永久磁石26を回動させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差に対する振幅のばらつきを抑制可能であることが分かる。また、取付け位置が3.5mm近辺において、永久磁石26を変位させたときの、振幅は大きくなり、また取付け位置に対する振幅の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例1においては、永久磁石26を変位させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差に対する振幅のばらつきを抑制可能であることが分かる。   As shown in FIG. 30, the amplitude when the permanent magnet 26 is rotated when the mounting position is around 6.5 mm is large, and the slope of the amplitude curve with respect to the mounting position is relatively small. Therefore, in the second embodiment, it can be seen that by rotating the permanent magnet 26, it is possible to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude with respect to the error of the mounting position. Further, when the permanent magnet 26 is displaced in the vicinity of the attachment position of 3.5 mm, the amplitude becomes large, and the slope of the amplitude curve with respect to the attachment position is relatively small. Therefore, in Example 1, it can be seen that by displacing the permanent magnet 26, it is possible to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude with respect to the error of the mounting position.

永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが0.5mmで三次の振動モードで、永久磁石26を回動または変位させることにより振動させたときの、取付け位置に対する照明用光ファイバ19先端部19cの振幅のグラフを図31に示した。   The permanent magnet 26 is oscillated by rotating or displacing the permanent magnet 26 in the tertiary vibration mode in which the permanent magnet 26 has a length of 0.5 mm and there is an attachment position for generating an antinode of vibration outside the permanent magnet 26. FIG. 31 shows a graph of the amplitude of the distal end portion 19c of the illumination optical fiber 19 with respect to the mounting position.

図31に示すように、取付け位置が4.5mmおよび8.0mm近辺において、永久磁石26を回動させたときの、振幅は大きくなり、また取付け位置に対する振幅の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例4、6においては、永久磁石26を回動させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差に対する振幅のばらつきを抑制可能であることが分かる。また、取付け位置が1.5mmおよび7.5近辺において、永久磁石26を変位させたときの、振幅は大きくなり、また取付け位置に対する振幅の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例3、5においては、永久磁石26を変位させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差に対する振幅のばらつきを抑制可能であることが分かる。   As shown in FIG. 31, when the attachment position is around 4.5 mm and 8.0 mm, the amplitude increases when the permanent magnet 26 is rotated, and the slope of the amplitude curve relative to the attachment position is relatively small. Therefore, in Examples 4 and 6, it can be seen that by rotating the permanent magnet 26, it is possible to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude with respect to the error of the mounting position. Further, when the permanent magnet 26 is displaced in the vicinity of the mounting position of 1.5 mm and 7.5, the amplitude increases, and the slope of the amplitude curve with respect to the mounting position is relatively small. Therefore, in Examples 3 and 5, it can be seen that by displacing the permanent magnet 26, it is possible to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude with respect to the error of the mounting position.

永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが2.0mmで二次の振動モードで、永久磁石26を回動または変位させることにより振動させたときの、取付け位置に対する照明用光ファイバ19先端の振幅のグラフを図32に示した。   The permanent magnet 26 is vibrated by rotating or displacing the permanent magnet 26 in the secondary vibration mode in which the attachment position for generating the anti-vibration an is present outside the permanent magnet 26 and the length of the permanent magnet 26 is 2.0 mm. FIG. 32 shows a graph of the amplitude of the tip of the illumination optical fiber 19 with respect to the mounting position.

図32に示すように、取付け位置が6.0mm近辺において、永久磁石26を回動させたときの、振幅は大きくなり、また取付け位置に対する振幅の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例8においては、永久磁石26を回動させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差に対する振幅のばらつきを抑制可能であることが分かる。また、取付け位置が2.0近辺において、永久磁石26を変位させたときの、振幅は大きくなり、また取付け位置に対する振幅の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例7においては、永久磁石26を変位させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差に対する振幅のばらつきを抑制可能であることが分かる。   As shown in FIG. 32, when the mounting position is around 6.0 mm, the amplitude increases when the permanent magnet 26 is rotated, and the slope of the curve of the amplitude with respect to the mounting position is relatively small. Therefore, in the eighth embodiment, it can be seen that by rotating the permanent magnet 26, it is possible to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude with respect to the error of the mounting position. In addition, when the permanent magnet 26 is displaced near the mounting position of 2.0, the amplitude increases, and the slope of the amplitude curve with respect to the mounting position is relatively small. Therefore, in Example 7, it can be seen that by displacing the permanent magnet 26, it is possible to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude with respect to the error of the mounting position.

永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが2.0mmで三次の振動モードで、永久磁石26を回動または変位させることにより振動させたときの、取付け位置に対する照明用光ファイバ19先端の振幅のグラフを図33に示した。   The permanent magnet 26 is vibrated by rotating or displacing the permanent magnet 26 in the tertiary vibration mode in which the attachment position for generating the vibration anti-an exists outside the permanent magnet 26 and the length of the permanent magnet 26 is 2.0 mm. FIG. 33 shows a graph of the amplitude of the tip of the illumination optical fiber 19 with respect to the mounting position.

図33に示すように、取付け位置が4.0mmおよび5.0mm近辺において、永久磁石26を回動させたときの、振幅は大きくなり、また取付け位置に対する振幅の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例9、10においては、永久磁石26を回動させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差に対する振幅のばらつきを抑制可能であることが分かる。   As shown in FIG. 33, when the attachment position is around 4.0 mm and 5.0 mm, the amplitude increases when the permanent magnet 26 is rotated, and the slope of the amplitude curve relative to the attachment position is relatively small. Therefore, in Examples 9 and 10, it can be seen that by rotating the permanent magnet 26, it is possible to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude with respect to the error of the mounting position.

永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが3.0mmで三次の振動モードで、永久磁石26を回動または変位させることにより振動させたときの、取付け位置に対する照明用光ファイバ19先端の振幅のグラフを図34に示した。   The permanent magnet 26 is oscillated by rotating or displacing the permanent magnet 26 in the tertiary vibration mode in which the permanent magnet 26 has a length of 3.0 mm and there is an attachment position for generating an antinode of vibration an outside of the permanent magnet 26. FIG. 34 shows a graph of the amplitude of the tip of the illumination optical fiber 19 with respect to the mounting position.

図34に示すように、取付け位置が3.5mmおよび4.5mm近辺において、永久磁石26を回動させたときの、振幅は大きくなり、また取付け位置に対する振幅の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例11、12においては、永久磁石26を回動させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差に対する振幅のばらつきを抑制可能であることが分かる。   As shown in FIG. 34, when the mounting position is around 3.5 mm and 4.5 mm, the amplitude increases when the permanent magnet 26 is rotated, and the slope of the amplitude curve with respect to the mounting position is relatively small. Therefore, in Examples 11 and 12, it can be seen that by rotating the permanent magnet 26, it is possible to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude with respect to the error of the mounting position.

永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する、永久磁石26の長さが4.0mmで二次の振動モードで、永久磁石26を回動または変位させることにより振動させたときの、取付け位置に対する照明用光ファイバ19先端の振幅のグラフを図35に示した。   The permanent magnet 26 is vibrated by rotating or displacing the permanent magnet 26 in the secondary vibration mode in which the permanent magnet 26 has a length of 4.0 mm and there is an attachment position for generating an antinode of vibration an outside of the permanent magnet 26. A graph of the amplitude of the tip of the illumination optical fiber 19 with respect to the mounting position is shown in FIG.

図35に示すように、取付け位置が7.5mm近辺において、永久磁石26を回動させたときの、振幅は大きくなり、また取付け位置に対する振幅の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例13においては、永久磁石26を回動させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差に対する振幅のばらつきを抑制可能であることが分かる。   As shown in FIG. 35, when the attachment position is in the vicinity of 7.5 mm, the amplitude increases when the permanent magnet 26 is rotated, and the slope of the curve of the amplitude with respect to the attachment position is relatively small. Therefore, in the thirteenth embodiment, it can be seen that by rotating the permanent magnet 26, it is possible to suppress the amplitude variation and the variation in the amplitude with respect to the error of the mounting position.

永久磁石26の外部に振動の腹anを発生させる取付け位置が存在する 、永久磁石26の長さが4.0mmで三次の振動モードで、永久磁石26を回動または変位させることにより振動させたときの、取付け位置に対する照明用光ファイバ19先端の振幅のグラフを図36に示した。   There is an attachment position for generating an antinode of vibration outside the permanent magnet 26. The length of the permanent magnet 26 is 4.0 mm, and the permanent magnet 26 is vibrated by rotating or displacing in the tertiary vibration mode. FIG. 36 shows a graph of the amplitude of the tip of the illumination optical fiber 19 with respect to the mounting position.

図36に示すように、取付け位置が4.0mm近辺において、永久磁石26を回動させたときの、振幅は大きくなり、また取付け位置に対する振幅の曲線の傾きが比較的小さい。それゆえ、実施例14においては、永久磁石26を回動させることにより、振幅の拡大化および取付け位置の誤差に対する振幅のばらつきを抑制可能であることが分かる。   As shown in FIG. 36, when the mounting position is around 4.0 mm, the amplitude when the permanent magnet 26 is rotated is large, and the slope of the curve of the amplitude with respect to the mounting position is relatively small. Therefore, in Example 14, it can be seen that by rotating the permanent magnet 26, it is possible to increase the amplitude and to suppress variations in amplitude with respect to an error in the mounting position.

本発明を諸図面や実施形態に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々の変形や修正を行うことが容易であることに注意されたい。従って、これらの変形や修正は本発明の範囲に含まれることに留意されたい。   Although the present invention has been described based on the drawings and embodiments, it should be noted that those skilled in the art can easily make various changes and modifications based on the present disclosure. Therefore, it should be noted that these variations and modifications are included in the scope of the present invention.

例えば、第1の実施形態から第3の実施形態において、光走査ユニットを、光走査型内視鏡装置に適用したが、面を走査する他の装置にも適用可能である。例えば、出射する光の波長および強度を変化させながら、照明用光ファイバ19を振動させることにより、被照明面に画像を表示する光走査型表示装置に、光走査ユニットを適用してもよい。また、光観察装置として、他に例えば、操作型顕微鏡などにも適用可能である。レーザを用いた光走査型装置として、例えば、レーザ加工装置、レーザ治療装置、レーザ計測にも適用可能である。   For example, in the first to third embodiments, the optical scanning unit is applied to the optical scanning endoscope apparatus, but the present invention can also be applied to other apparatuses that scan a surface. For example, the optical scanning unit may be applied to an optical scanning display device that displays an image on the illuminated surface by vibrating the illumination optical fiber 19 while changing the wavelength and intensity of the emitted light. In addition, the light observation apparatus can be applied to, for example, an operation microscope. As an optical scanning apparatus using a laser, for example, it can be applied to a laser processing apparatus, a laser treatment apparatus, and laser measurement.

10 光走査型観察装置
11 光源部
12 光走査型内視鏡本体
13 検出部
14 駆動電流生成部
15 制御部
16 表示部
17 操作部
18 挿入部
19 照明用光ファイバ
19a 固定部
19b 揺動部
19c 先端部
20 検出用光ファイババンドル
21 配線ケーブル
22 先端部
23 振動駆動手段
24a、24b 投影用レンズ
25 角型チューブ
26 永久磁石
27a1〜27d1 第1の偏向磁場発生用コイル
27a2〜27d2 第2の偏向磁場発生用コイル
28 取付環
an 腹
n 節
ip 変曲点
obj 被観察物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Optical scanning type observation apparatus 11 Light source part 12 Optical scanning type endoscope main body 13 Detection part 14 Drive current generation part 15 Control part 16 Display part 17 Operation part 18 Insertion part 19 Optical fiber for illumination 19a Fixing part 19b Oscillating part 19c Tip portion 20 Optical fiber bundle for detection 21 Wiring cable 22 Tip portion 23 Vibration drive means 24a, 24b Projection lens 25 Square tube 26 Permanent magnet 27a1-27d1 First deflection magnetic field generating coil 27a2-27d2 Second deflection magnetic field Coil for generating 28 Mounting ring an belly n node ip Inflection point obj Object to be observed

Claims (9)

固定部において支持され、前記固定部から端部まで揺動可能である光ファイバと、
前記光ファイバを振動させる振動駆動手段とを備え
前記振動駆動手段は、前記光ファイバに取付けられた磁性体を含み、
前記磁性体は、前記振動駆動手段による前記光ファイバの高次の振動モードにおいて、当該磁性体の外部に振動の腹を有し、当該磁性体の内部に振動の節を有するように前記光ファイバに配置される、
ことを特徴とする光走査ユニット。
It is supported in the fixed part, and the optical fiber is an end or in rockably from the fixed portion,
And a vibration driving means for vibrating said optical fiber,
The vibration driving means includes a magnetic body attached to the optical fiber,
In the higher-order vibration mode of the optical fiber by the vibration driving means, the magnetic body has an antinode of vibration outside the magnetic body and has a vibration node inside the magnetic body. Placed in the
An optical scanning unit characterized by that.
請求項に記載の光走査ユニットであって、前記磁性体は、当該磁性体の中心近傍が前記節と重なるように前記光ファイバに配置されることを特徴とする光走査ユニット。 2. The optical scanning unit according to claim 1 , wherein the magnetic body is disposed in the optical fiber so that a vicinity of a center of the magnetic body overlaps the node. 3. 請求項または請求項に記載の光走査ユニットであって、前記高次の振動モードは3次の振動モードであって、前記節は前記振動モードによる振動の変曲点と一致することを特徴とする光走査ユニット。 The optical scanning unit according to claim 1 or claim 2, wherein the higher-order vibration mode is a third-order vibration mode, said clause to match the inflection point of the vibration by the vibration mode An optical scanning unit characterized. 請求項から請求項のいずれか1項に記載の光走査ユニットであって、前記振動駆動手段は前記磁性体を平面に沿って回動させることにより前記光ファイバを振動させることを特徴とする光走査ユニット。 The optical scanning unit according to any one of claims 1 to 3, wherein the vibration driving means, characterized in that vibrating the optical fiber by Rukoto rotated along the plane of the magnetic body An optical scanning unit. 固定部において支持され、前記固定部から端部まで揺動可能である光ファイバと、
前記光ファイバを振動させる振動駆動手段と、を備え、
前記振動駆動手段は、前記光ファイバに取付けられた磁性体を含み、
前記磁性体は、前記振動駆動手段による前記光ファイバの高次の振動モードにおいて、当該磁性体の外部に振動の腹と振動の節とを有し、かつ前記光ファイバの振動の変曲点が重なるように前記光ファイバに配置される、
ことを特徴とする光走査ユニット。
An optical fiber supported at the fixed portion and swingable from the fixed portion to the end;
Vibration drive means for vibrating the optical fiber,
The vibration driving means includes a magnetic body attached to the optical fiber,
The magnetic body has a vibration antinode and a vibration node outside the magnetic body in a higher-order vibration mode of the optical fiber by the vibration driving means, and the inflection point of the vibration of the optical fiber is Arranged in the optical fiber so as to overlap,
An optical scanning unit characterized by that.
請求項に記載の光走査ユニットであって、前記磁性体は前記高次の振動モードによる振動における前記固定部から最初の腹前記固定部の間に配置されることを特徴とする光走査ユニット。 The optical scanning unit according to claim 5, wherein the magnetic body light, characterized in that disposed between the first antinode and the fixing part from the fixed part of the vibration due to the higher-order vibration mode Scanning unit. 請求項5または請求項に記載の光走査ユニットであって、前記振動駆動手段は前記磁性体を平面に沿って変位させることにより前記光ファイバを振動させることを特徴とする光走査ユニット。 The optical scanning unit according to claim 5 or claim 6, wherein the vibration driving means optical scanning unit, characterized in that vibrating the optical fiber by Rukoto is displaced along the plane of the magnetic body. 請求項1から請求項のいずれか1項に記載の光走査ユニットを備えることを特徴とする光走査型観察装置。 An optical scanning observation apparatus comprising the optical scanning unit according to any one of claims 1 to 7 . 請求項1から請求項のいずれか1項に記載の光走査ユニットを備えることを特徴とする光走査型表示装置。 Optical scanning type display apparatus comprising the optical scanning unit according to any one of claims 1 to 7.
JP2013014812A 2013-01-29 2013-01-29 Optical scanning unit, optical scanning observation device, and optical scanning display device Active JP6071590B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013014812A JP6071590B2 (en) 2013-01-29 2013-01-29 Optical scanning unit, optical scanning observation device, and optical scanning display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013014812A JP6071590B2 (en) 2013-01-29 2013-01-29 Optical scanning unit, optical scanning observation device, and optical scanning display device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014145939A JP2014145939A (en) 2014-08-14
JP6071590B2 true JP6071590B2 (en) 2017-02-01

Family

ID=51426238

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013014812A Active JP6071590B2 (en) 2013-01-29 2013-01-29 Optical scanning unit, optical scanning observation device, and optical scanning display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6071590B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018092302A1 (en) * 2016-11-21 2018-05-24 オリンパス株式会社 Optical scanning device and assembly adjusting method for optical scanning device
CN108123229B (en) * 2016-11-29 2020-09-25 中国科学院电子学研究所 High-order mode frequency control wave beam scanning reflection device and terahertz imaging system

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4836173Y1 (en) * 1972-07-12 1973-10-30
US7920312B2 (en) * 2006-09-14 2011-04-05 Optiscan Pty Ltd. Optical fiber scanning apparatus
EP2171521B1 (en) * 2007-07-20 2017-09-27 Koninklijke Philips N.V. Fiber-optic scanner
JP5493144B2 (en) * 2008-05-30 2014-05-14 国立大学法人東北大学 Optical scanning device
WO2012166116A1 (en) * 2011-05-31 2012-12-06 Vanderbilt University Optical coherence tomography probe

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014145939A (en) 2014-08-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6086674B2 (en) Optical scanning device
US9612435B2 (en) Optical scanning device, and endoscope, microscope, and projector each provided with the same
US7920312B2 (en) Optical fiber scanning apparatus
WO2014119288A1 (en) Optical scanning observation device
JP6438221B2 (en) Optical scanning actuator and optical scanning device
JP2014145937A (en) Optical scanner
JP2015075566A (en) Optical fiber scanner, illumination device and observation device
JP6071591B2 (en) Optical scanning endoscope
JP2016033593A (en) Scanner device
WO2015129391A1 (en) Optical fiber scanner, lighting device, and observation device
JP6071590B2 (en) Optical scanning unit, optical scanning observation device, and optical scanning display device
JP6006039B2 (en) Optical scanning observation device
JP6518687B2 (en) Optical scanning actuator and optical scanning device
JP6422872B2 (en) Optical scanning device
JP6006127B2 (en) Optical scanning device
WO2016116962A1 (en) Optical scanning method and optical scanning device
JPWO2016189627A1 (en) Optical fiber scanner, illumination device and observation device
WO2018122917A1 (en) Fiber optic scanning device and endoscope
WO2017068924A1 (en) Optical fiber scanner, lighting device, and observation device
WO2018092302A1 (en) Optical scanning device and assembly adjusting method for optical scanning device
JPWO2018073948A1 (en) Optical fiber scanner, illumination device and observation device
WO2017068651A1 (en) Optical fiber scanner, illumination device, and observation device
WO2018122916A1 (en) Optical fiber scanning device and endoscope

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150916

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160420

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160510

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160711

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161213

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161227

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6071590

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250