JP6065414B2 - Radiation detector and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、ピクセル型電極によるガス増幅を用いた放射線検出器、及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a radiation detector using gas amplification by a pixel-type electrode and a method for manufacturing the same .

ガス増幅を利用した放射線検出器として、従来、ピクセル型の放射線検出器が用いられてきた。この放射線検出器は、例えば両面プリント基板の表面にストリップ状陰極電極が形成されるとともに、裏面に陽極ストリップが形成され、ストリップ状陰極電極には、一定間隔に開口部が形成されるとともに、開口部の中心には裏面の陽極ストリップと接続されている円柱状陽極電極、すなわちピクセル電極が形成されたような構成を採っている。   Conventionally, a pixel type radiation detector has been used as a radiation detector utilizing gas amplification. In this radiation detector, for example, a strip-like cathode electrode is formed on the surface of a double-sided printed circuit board, an anode strip is formed on the back surface, and openings are formed at regular intervals in the strip-like cathode electrode. A cylindrical anode electrode connected to the anode strip on the back surface, that is, a pixel electrode is formed at the center of the part.

なお、放射線検出器は、例えばＡｒとエタンとの混合ガス中に配置される。また、ピクセル電極とストリップ状陰極電極との間には所定の電圧が印加されている。   The radiation detector is disposed, for example, in a mixed gas of Ar and ethane. A predetermined voltage is applied between the pixel electrode and the strip-like cathode electrode.

上記放射線検出器においては、所定の放射線が検出器内に入射すると、上記混合ガスが電離して電子を生成し、この電子は、上記ストリップ状陰極電極と上記ピクセル電極との間に印加された高電圧、及び上記ピクセル電極の点電極としての形態（形状異方性）に起因して生成される強力な電場によって、電子雪崩増幅を引き起こす。一方、電子雪崩増幅によって生じた陰イオンは、周囲の前記ピクセル状陰極電極に向けてドリフトする。   In the radiation detector, when predetermined radiation is incident on the detector, the mixed gas is ionized to generate electrons, and the electrons are applied between the strip-like cathode electrode and the pixel electrode. Electron avalanche amplification is caused by a high voltage and a strong electric field generated due to the shape (shape anisotropy) of the pixel electrode as a point electrode. On the other hand, the negative ions generated by the electron avalanche amplification drift toward the surrounding pixel cathode electrode.

この結果、ストリップ状陰極電極及びピクセル電極に、それぞれ正孔と電子とがチャージされる。この電荷が生成されたストリップ状陰極電極及びピクセル電極の位置を検出することによって、放射線の検出器における入射位置を特定することができ、放射線の検出が可能となる（特許文献１）。   As a result, the strip-like cathode electrode and the pixel electrode are charged with holes and electrons, respectively. By detecting the positions of the strip-like cathode electrode and the pixel electrode where the electric charges are generated, the incident position in the radiation detector can be specified, and the radiation can be detected (Patent Document 1).

上述した放射線検出器の検出効率を向上させるには、上記ストリップ状陰極電極及びピクセル電極を密に配置する必要がある。このため、以前は、これらの電極をレーザ加工等によって微細加工し、ストリップ状陰極電極及びピクセル電極を狭小化することによって配置密度を向上させ、検出効率を向上させていた。しかしながら、このような微細加工を用いる方法では、装置が複雑で加工操作が煩雑となるとともに製造歩留まりも低下してしまい、放射線検出器の製造コストが増大してしまうという問題があった。   In order to improve the detection efficiency of the radiation detector described above, it is necessary to arrange the strip-like cathode electrodes and pixel electrodes densely. For this reason, in the past, these electrodes were finely processed by laser processing or the like, and the strip-like cathode electrodes and pixel electrodes were narrowed to improve the arrangement density and improve the detection efficiency. However, the method using such microfabrication has a problem that the apparatus is complicated and the machining operation becomes complicated, and the production yield is lowered, and the production cost of the radiation detector is increased.

したがって、このような放射線検出器の製造歩留まりを劣化させることなく、安価かつ簡易に検出効率を向上させることが可能な方法の確立が望まれていた。   Therefore, it has been desired to establish a method capable of improving the detection efficiency at low cost and without reducing the manufacturing yield of such a radiation detector.

特開２００２−６０４７号JP 2002-6047

本発明は、製造歩留まりを劣化させることなく、安価かつ簡易に検出効率を向上させることが可能なピクセル型の放射線検出器を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a pixel-type radiation detector capable of improving detection efficiency inexpensively and easily without deteriorating the manufacturing yield.

上記目的を達成すべく、本発明は、
絶縁部材の第１の面上に形成され、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上に形成され、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されていることを特徴とする、放射線検出器に関する。
また、本発明は、
絶縁部材の第１の面上に形成され、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上に形成され、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されており、
前記第２の電極パターンの帯状電極は蛇行するようにして形成されており、隣接する前記凸状電極間を電気的に接続していることを特徴とする、放射線検出器に関する。
さらに、本発明は、
絶縁部材の第１の面上に形成され、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電
極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上に形成され、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されており、
前記第２の電極パターンの帯状電極は、隣接する前記凸状電極の少なくとも一部と接触するようにして直線状に形成されていることを特徴とする、放射線検出器に関する。 In order to achieve the above object, the present invention provides:
A plurality of first electrode patterns formed on the first surface of the insulating member, each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip-like electrodes that electrically connect the plurality of circular electrodes;
Formed on a second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrating the insulating member, and leading end at a substantially central portion of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern And a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes exposed and a belt-like electrode that electrically connects the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. The present invention relates to a radiation detector.
The present invention also provides:
A plurality of first electrode patterns formed on the first surface of the insulating member, each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip-like electrodes that electrically connect the plurality of circular electrodes;
Formed on a second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrating the insulating member, and leading end at a substantially central portion of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern And a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes exposed and a belt-like electrode that electrically connects the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. Has been
The strip electrode of the second electrode pattern is formed to meander, and the adjacent convex electrodes are electrically connected to each other.
Furthermore, the present invention provides
A plurality of first electrode patterns formed on the first surface of the insulating member, each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip-like electrodes that electrically connect the plurality of circular electrodes;
Formed on a second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrating the insulating member, and leading end at a substantially central portion of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern And a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes exposed and a belt-like electrode that electrically connects the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. Has been
The strip-shaped electrode of the second electrode pattern is related to a radiation detector, wherein the strip-shaped electrode is formed in a straight line so as to be in contact with at least a part of the adjacent convex electrode.

また、本発明は、
絶縁部材の第１の面上において、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンを形成するステップと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上において、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンを形成するステップとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されていることを特徴とする、放射線検出器の製造方法に関する。

さらに、本発明は、
絶縁部材の第１の面上において、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンを形成するステップと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上において、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンを形成するステップとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されており、
前記第２の電極パターンの帯状電極は蛇行するようにして形成し、隣接する前記凸状電極間を電気的に接続することを特徴とする、放射線検出器の製造方法に関する。
また、本発明は、
絶縁部材の第１の面上において、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンを形成するステップと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上において、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンを形成するステップとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されており、
前記第２の電極パターンの帯状電極は、隣接する前記凸状電極の少なくとも一部と接触するようにして直線状に形成することを特徴とする、放射線検出器の製造方法に関する。 The present invention also provides:
Forming a plurality of first electrode patterns each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip electrodes electrically connecting the plurality of circular electrodes on the first surface of the insulating member; ,
On the second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrates the insulating member, and tips are exposed at substantially central portions of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern. Forming a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes and strip-shaped electrodes that electrically connect the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. It is related with the manufacturing method of the radiation detector characterized by the above-mentioned.

Furthermore, the present invention provides
Forming a plurality of first electrode patterns each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip electrodes electrically connecting the plurality of circular electrodes on the first surface of the insulating member; ,
On the second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrates the insulating member, and tips are exposed at substantially central portions of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern. Forming a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes and strip-shaped electrodes that electrically connect the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. Has been
The present invention relates to a method for manufacturing a radiation detector, characterized in that the strip-like electrode of the second electrode pattern is formed to meander and the adjacent convex electrodes are electrically connected.
The present invention also provides:
Forming a plurality of first electrode patterns each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip electrodes electrically connecting the plurality of circular electrodes on the first surface of the insulating member; ,
On the second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrates the insulating member, and tips are exposed at substantially central portions of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern. Forming a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes and strip-shaped electrodes that electrically connect the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. Has been
The strip electrode of the second electrode pattern is formed in a straight line so as to be in contact with at least a part of the adjacent convex electrode, and relates to a method of manufacturing a radiation detector.

本発明によれば、放射線検出器を構成する検出電極である複数の第１の電極パターンそれぞれにおける複数の円形状電極を、絶縁部材の第１の面上で最密充填となるように配列し、各第１の電極パターンを構成する複数の円形状電極それぞれの略中心部にピクセル電極として機能する凸状電極が露出するようにして、上記絶縁部材の第１の面と対向する第２の面上に複数の第２の電極パターンを配列するようにしている。   According to the present invention, the plurality of circular electrodes in each of the plurality of first electrode patterns that are detection electrodes constituting the radiation detector are arranged so as to be closest packed on the first surface of the insulating member. The second electrode opposing the first surface of the insulating member is exposed so that the convex electrode functioning as a pixel electrode is exposed at substantially the center of each of the plurality of circular electrodes constituting each first electrode pattern. A plurality of second electrode patterns are arranged on the surface.

したがって、放射線検出器を構成する電極パターンの配列密度を、電極パターンの微細加工による狭小化に基づいた配置密度の向上によらず、単に電極パターンの、放射線検出に寄与する電極部分の配列状態を変化させ、これら電極部分の配置密度を向上させることによって、放射線の検出効率を向上させている。   Therefore, the arrangement density of the electrode pattern that contributes to radiation detection of the electrode pattern is simply changed without increasing the arrangement density of the electrode pattern constituting the radiation detector based on the narrowing of the electrode pattern by fine processing. Radiation detection efficiency is improved by changing the arrangement density of these electrode portions.

このため、微細加工を用いる場合のような、装置が複雑で加工操作が煩雑となるとともに製造歩留まりも低下してしまい、放射線検出器の製造コストが増大してしまうという問題を回避することができる。すなわち、放射線検出に寄与する電極部分の配列状態を変化させるという、安価かつ簡易な方法で検出効率を向上させることが可能なピクセル型の放射線検出器を提供することができる。   For this reason, it is possible to avoid the problem that the apparatus is complicated and the processing operation becomes complicated and the manufacturing yield is lowered, and the manufacturing cost of the radiation detector is increased, as in the case of using fine processing. . That is, it is possible to provide a pixel-type radiation detector capable of improving the detection efficiency by an inexpensive and simple method of changing the arrangement state of the electrode portions that contribute to radiation detection.

なお、本発明における“最密充填”とは、いわゆる結晶学における３次元的な最密充填を意味するものではなく、平面内における円形状電極に対する“最密充填”を意味するものである。また、当該“最密充填”は、隣接する円形状電極が接触して短絡することなく、各円形状電極が電極としての機能を果たすことができるように、最も高密度に円形状電極を配列することを意味する。   In the present invention, “close-packing” does not mean three-dimensional close-packing in so-called crystallography, but means “close-packing” of circular electrodes in a plane. In addition, the “close-packing” means that the circular electrodes are arranged at the highest density so that each circular electrode can function as an electrode without contacting and short-circuiting the adjacent circular electrodes. It means to do.

上述した第１の電極パターンの円形状電極を絶縁部材の第１の面上で最密充填の状態で配列するには、例えば複数の第１の電極パターンを、隣接する第１の電極パターンが、複数の第１の電極パターンの配列方向において、円形状電極とストリップ状電極とが隣接するようにして配列することによって実現することができる。   In order to arrange the circular electrodes of the first electrode pattern described above in a close-packed state on the first surface of the insulating member, for example, a plurality of first electrode patterns are arranged by using adjacent first electrode patterns. This can be realized by arranging the circular electrodes and the strip-like electrodes adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns.

また、本発明の一例においては、第２の電極パターンの帯状電極を、複数の第１の電極パターンの配列方向において、隣接する凸状電極間を電気的に接続するように形成することができる。この場合、第１の電極パターンは、その円形状電極を最密充填に配列することに起因して、その配列数、すなわち形成すべきパターンの数が増大することになる。   In one example of the present invention, the strip electrode of the second electrode pattern can be formed so as to electrically connect adjacent convex electrodes in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. . In this case, the number of arrangements of the first electrode patterns, that is, the number of patterns to be formed, increases because the circular electrodes are arranged in the closest packing.

しかしながら、本例においては、ピクセル電極である凸状電極を電気的に接続する帯状電極の配列数、すなわち形成すべきパターン数を増大させる必要がないので、第２の電極パターンの配列数、すなわち形成すべきパターンの数を増大させる必要がない。したがって、電極パターンの形成工程を簡略化することができ、放射線検出器の検出効率をより安価かつ簡易な方法で向上させることができる。   However, in this example, since it is not necessary to increase the number of strip electrodes arranged to electrically connect the convex electrodes as pixel electrodes, that is, the number of patterns to be formed, the number of second electrode patterns, that is, There is no need to increase the number of patterns to be formed. Therefore, the electrode pattern forming process can be simplified, and the detection efficiency of the radiation detector can be improved by a cheaper and simpler method.

上記の具体例としては、例えば第２の電極パターンの帯状電極を蛇行するようにして形成し、隣接する前記凸状電極間を電気的に接続するようにすることができる。また、第２の電極パターンの帯状電極を、隣接する凸状電極の少なくとも一部と接触するようにして直線状に形成することができる。   As a specific example of the above, for example, the belt-like electrode of the second electrode pattern can be formed to meander, and the adjacent convex electrodes can be electrically connected. Further, the strip electrode of the second electrode pattern can be formed linearly so as to be in contact with at least a part of the adjacent convex electrode.

以上説明したように、本発明によれば、製造歩留まりを劣化させることなく、安価かつ簡易に検出効率を向上させることが可能なピクセル型の放射線検出器を提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide a pixel-type radiation detector capable of improving the detection efficiency easily and inexpensively without deteriorating the manufacturing yield.

第１の実施形態の放射線検出器の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the radiation detector of 1st Embodiment. 第２の実施形態の放射線検出器の概略構成を示す平面図である。It is a top view which shows schematic structure of the radiation detector of 2nd Embodiment. 第３の実施形態の放射線検出器の概略構成を示す平面図である。It is a top view which shows schematic structure of the radiation detector of 3rd Embodiment.

以下、本発明の特徴及びその他の利点について、発明を実施するための形態に基づいて説明する。   Hereinafter, the features and other advantages of the present invention will be described based on embodiments for carrying out the invention.

（第１の実施形態）
図１は、本実施形態の放射線検出器の概略構成を示す斜視図である。なお、図１では、本実施形態の特徴を明確にすべく、放射線検出器の検出電極が形成された検出パネルの部分のみを示し、検出パネルの上方に配設した電極板については記載を省略している。 (First embodiment)
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of the radiation detector of the present embodiment. In FIG. 1, only the detection panel portion on which the detection electrode of the radiation detector is formed is shown in order to clarify the features of this embodiment, and the description of the electrode plate disposed above the detection panel is omitted. doing.

図１に示すように、本実施形態における放射線検出器の検出パネル（以下、単に「放射線検出器」という場合がある）１０は、絶縁部材１５の主面１５Ａ上に形成された複数の第１の電極パターン１１が、Ｘ方向に沿って配列されている。各第１の電極パターン１１は、複数の円形状電極１１１と、これら複数の円形状電極１１１間を電気的に接続する複数のストリップ状電極１１２とを有している。なお、各第１の電極パターン１１の両端には、検出した放射線の検出信号（電気信号）を図示しない外部回路あるいは外部装置に送信するための接続端子１１３が形成されている。   As shown in FIG. 1, a detection panel (hereinafter, simply referred to as “radiation detector” in some cases) 10 of the radiation detector according to the present embodiment is a plurality of first panels formed on a main surface 15 </ b> A of an insulating member 15. The electrode patterns 11 are arranged along the X direction. Each first electrode pattern 11 has a plurality of circular electrodes 111 and a plurality of strip electrodes 112 that electrically connect the plurality of circular electrodes 111. Note that connection terminals 113 for transmitting a detected signal (electric signal) of detected radiation to an external circuit or an external device (not shown) are formed at both ends of each first electrode pattern 11.

第１の電極パターン１１は、複数の円形状電極１１１と複数のストリップ状電極１１２とが列状（直線状）に配列されてなる。   The first electrode pattern 11 includes a plurality of circular electrodes 111 and a plurality of strip-shaped electrodes 112 arranged in a row (linear shape).

また、絶縁部材１５の裏面１５Ｂ上に形成された複数の第２の電極パターン１２が、第１の電極パターン１１の配列方向であるＸ方向と直交する方向（Ｙ方向）に沿って配列されている。各第２の電極パターン１２は、複数の凸状電極１２１と、これら複数の凸状電極１２１を電気的に接続する複数の帯状電極１２２とを有している。凸状電極１２１は、第１の電極パターン１１の円形状電極１１１の略中心部に先端が露出するようにして形成され、いわゆるピクセル電極を構成している。なお、各第２の電極パターン１２において、帯状電極１２２の両端部１２２Ａは、検出した放射線の検出信号（電気信号）を図示しない外部回路あるいは外部装置に送信するための接続端子として機能する。   A plurality of second electrode patterns 12 formed on the back surface 15B of the insulating member 15 are arranged along a direction (Y direction) orthogonal to the X direction that is the arrangement direction of the first electrode patterns 11. Yes. Each second electrode pattern 12 has a plurality of convex electrodes 121 and a plurality of strip electrodes 122 that electrically connect the plurality of convex electrodes 121. The convex electrode 121 is formed so that the tip is exposed at a substantially central portion of the circular electrode 111 of the first electrode pattern 11 and constitutes a so-called pixel electrode. In each second electrode pattern 12, both end portions 122A of the strip electrode 122 function as connection terminals for transmitting a detected signal (electric signal) of detected radiation to an external circuit or an external device (not shown).

凸状電極１２１は、円柱形状とすることもできるし、先端部を狭窄させたような形状とすることもできる。   The convex electrode 121 can have a cylindrical shape or a shape in which the tip is narrowed.

第２の電極パターン１２は、複数の凸状電極１２１と複数の帯状電極１２２とが列状（直線状）に配列されてなる。   The second electrode pattern 12 includes a plurality of convex electrodes 121 and a plurality of strip electrodes 122 arranged in a row (linear).

第１の電極パターン１１及び第２の電極パターン１２は、別途絶縁部材１５に対してレーザ加工でスルーホールを形成するような工程を要するが、基本的にはめっき法によって形成することができる。   The first electrode pattern 11 and the second electrode pattern 12 require a separate process for forming a through hole by laser processing on the insulating member 15, but can basically be formed by a plating method.

なお、図１に示す放射線検出器１０を実際に駆動させるに際しては、複数の第１の電極パターン１１と複数の第２の電極パターン１２との間に所定の電圧、例えば４００Ｖ〜６００Ｖの電圧を印加する。以下に説明するように、放射線の検出は、電子雪崩を利用して行うので、一般には第１の電極パターン１１側が負電位となり、第２の電極パターン１２側が正電位となるようにして上述のような電圧印加操作を行う。   When the radiation detector 10 shown in FIG. 1 is actually driven, a predetermined voltage, for example, a voltage of 400V to 600V is applied between the plurality of first electrode patterns 11 and the plurality of second electrode patterns 12. Apply. As will be described below, since the detection of radiation is performed using an avalanche, in general, the first electrode pattern 11 side has a negative potential and the second electrode pattern 12 side has a positive potential. Such voltage application operation is performed.

さらに、本実施形態では、複数の第１の電極パターン１１を、隣接する第１の電極パターン１１が、複数の第１の電極パターン１１の配列方向（Ｘ方向）において、円形状電極１１１とストリップ状電極１１２とが隣接するようにして配列している。具体的には、円形状電極１１１の略中心部に露出した第２の電極パターン１２における凸状電極１２１の先端の中心を通る直線Ｉ−Ｉ線が、ストリップ状電極１１２の中心を通るようにして配列する。これによって、複数の第１の電極パターン１１の、検出電極である円形状電極１１１を絶縁部材１５の主面１５Ａ上で最密充填の状態で配列することができる。   Further, in the present embodiment, the plurality of first electrode patterns 11 and the adjacent first electrode patterns 11 are stripped with the circular electrodes 111 in the arrangement direction (X direction) of the plurality of first electrode patterns 11. The electrode electrodes 112 are arranged adjacent to each other. Specifically, a straight line II passing through the center of the tip of the convex electrode 121 in the second electrode pattern 12 exposed at a substantially central portion of the circular electrode 111 passes through the center of the strip-shaped electrode 112. Arrange. Accordingly, the circular electrodes 111 serving as detection electrodes of the plurality of first electrode patterns 11 can be arranged on the main surface 15A of the insulating member 15 in a close-packed state.

したがって、本実施形態の放射線検出器１０においては、放射線検出に供する円形電極１１１の配置密度が向上するので、放射線の検出効率が必然的に向上することになる。   Therefore, in the radiation detector 10 of this embodiment, since the arrangement density of the circular electrodes 111 used for radiation detection is improved, the radiation detection efficiency is inevitably improved.

このように、本実施形態の放射線検出器１０では、電極パターン１１，１２の配列密度を、電極パターン１１，１２の微細加工による狭小化に基づいた配置密度の向上によらず、単に第１の電極パターン１１の、放射線検出に寄与する円形状電極１１１の配列状態を変化させ、これら円形状電極１１１の配置密度を向上させることによって、放射線の検出効率を向上させている。   As described above, in the radiation detector 10 of the present embodiment, the arrangement density of the electrode patterns 11 and 12 is simply the first density regardless of the improvement in the arrangement density based on the narrowing of the electrode patterns 11 and 12 by the fine processing. Radiation detection efficiency is improved by changing the arrangement state of the circular electrodes 111 that contribute to radiation detection in the electrode pattern 11 and improving the arrangement density of the circular electrodes 111.

このため、微細加工を用いる場合のような、装置が複雑で加工操作が煩雑となるとともに製造歩留まりも低下してしまい、放射線検出器の製造コストが増大してしまうという問題を回避することができる。すなわち、放射線検出に寄与する電極部分の配列状態を変化させるという、安価かつ簡易な方法で検出効率を向上させることが可能なピクセル型の放射線検出器を提供することができる。   For this reason, it is possible to avoid the problem that the apparatus is complicated and the processing operation becomes complicated and the manufacturing yield is lowered, and the manufacturing cost of the radiation detector is increased, as in the case of using fine processing. . That is, it is possible to provide a pixel-type radiation detector capable of improving the detection efficiency by an inexpensive and simple method of changing the arrangement state of the electrode portions that contribute to radiation detection.

但し、本実施形態においては、第１の電極パターン１１及び第２の電極パターン１２の微細加工を全く排除するものではない。第１の電極パターン１１及び第２の電極パターン１２の微細加工を行った上で、上述のような円形状電極１１１の最密充填を行えば、放射線検出器１０の検出効率をより向上させることができる。   However, in the present embodiment, the fine processing of the first electrode pattern 11 and the second electrode pattern 12 is not excluded at all. When the first electrode pattern 11 and the second electrode pattern 12 are finely processed, and the closest packing of the circular electrodes 111 as described above is performed, the detection efficiency of the radiation detector 10 is further improved. Can do.

なお、本実施形態の放射線検出器１０の各部の寸法は、現在汎用されているピクセル型の放射線検出器と同様に構成することができる。例えば、絶縁部材１５の厚さは、２０μｍ〜１００μｍとすることができ、第１の電極パターン１１及び第２の電極パターン１２の厚さは、それぞれ５μｍ〜１８μｍとすることができる。また、凸状電極１２１の直径は、１５μｍ〜７０μｍとすることができる。   In addition, the dimension of each part of the radiation detector 10 of this embodiment can be comprised similarly to the pixel type radiation detector currently used widely. For example, the thickness of the insulating member 15 can be 20 μm to 100 μm, and the thickness of the first electrode pattern 11 and the second electrode pattern 12 can be 5 μm to 18 μm, respectively. Moreover, the diameter of the convex electrode 121 can be 15 micrometers-70 micrometers.

円形状電極１１１の直径は８０μｍ〜３００μｍとすることができ、その電極幅は第１の電極パターン１１の厚さと同程度とすることができる。ストリップ状電極１１２の電極幅は２０μｍ〜５０μｍとすることができ、帯状電極１２２の電極幅は２０μｍ〜５０μｍとすることができる。   The diameter of the circular electrode 111 can be 80 μm to 300 μm, and the electrode width can be approximately the same as the thickness of the first electrode pattern 11. The electrode width of the strip electrode 112 can be set to 20 μm to 50 μm, and the electrode width of the strip electrode 122 can be set to 20 μm to 50 μm.

但し、上述した具体的な数値はあくまで設計上の目安に過ぎず、使用する加工方法及び加工装置等の仕様等に応じて任意に設定することができる。   However, the specific numerical values described above are merely a design guideline, and can be arbitrarily set according to the specifications of the processing method and processing apparatus to be used.

第１の電極パターン１１及び第２の電極パターン１２は、銅、金、銀、ニッケル、アルミニウム等の導電性部材から構成することができる。また、絶縁部材１５は、熱硬化性樹脂のフィルムあるいはシートから構成することができる。   The 1st electrode pattern 11 and the 2nd electrode pattern 12 can be comprised from electroconductive members, such as copper, gold | metal | money, silver, nickel, and aluminum. Moreover, the insulating member 15 can be comprised from the film or sheet | seat of a thermosetting resin.

次に、本実施形態の放射線検出器１０の駆動方法について簡単に説明する。
最初に、放射線検出器（検出パネル）１０と図示しない電極板との間に、所定のガス、例えばＨｅとメタンとの混合ガスを充満させる。なお、電極板は所定の電圧にバイアスする。また、放射線検出器（検出パネル）１０の複数の第１の電極パターン１１と複数の第２の電極パターン１２との間には、上述のように、第１の電極パターン１１が負電位となり、第２の電極パターン１２が正電位となるようにして電圧を印加する。 Next, a method for driving the radiation detector 10 of the present embodiment will be briefly described.
First, a predetermined gas, for example, a mixed gas of He and methane is filled between the radiation detector (detection panel) 10 and an electrode plate (not shown). The electrode plate is biased to a predetermined voltage. Further, between the plurality of first electrode patterns 11 and the plurality of second electrode patterns 12 of the radiation detector (detection panel) 10, as described above, the first electrode pattern 11 has a negative potential, A voltage is applied so that the second electrode pattern 12 is at a positive potential.

このような状態で放射線検出器１０に放射線が入射すると、放射線はガスと衝突することによって当該ガスを電離し、電子を生成する。生成した電子は、電極板２２のバイアス電圧を受けて検出パネル、すなわち図１に示す放射線検出器１０に導かれ、複数の第１の電極パターン１１の円形状電極１１１と、複数の第２の電極パターン１２の凸状電極１１２との間に生成された大きな電場によって電子雪崩を引き起こし、凸状電極１１２に溜まるようになる。一方、電子雪崩によって生じた正イオンは、凸状電極１１２から周囲の円形状電極１１１に向けてドリフトする。   When radiation enters the radiation detector 10 in such a state, the radiation collides with the gas, thereby ionizing the gas and generating electrons. The generated electrons receive the bias voltage of the electrode plate 22 and are guided to the detection panel, that is, the radiation detector 10 shown in FIG. 1, and the circular electrodes 111 of the plurality of first electrode patterns 11 and the plurality of second electrodes. The large electric field generated between the electrode pattern 12 and the convex electrode 112 causes an electron avalanche and accumulates on the convex electrode 112. On the other hand, positive ions generated by the electron avalanche drift from the convex electrode 112 toward the surrounding circular electrode 111.

この結果、円形状電極１１１及び凸状電極１２１には、それぞれ正孔及び電子がチャージされるようになるので、このようにして得られた電荷（電気信号）を、ストリップ状電極１１２を介して接続端子１１３から外部に取り出し、さらに帯状電極１２２の端部１２２Ａから外部に取り出し、例えば図示しない電荷検出回路等で検出することによって、放射線の、放射線検出器１０における入射位置を特定することができ、放射線の検出が可能となる。   As a result, the circular electrode 111 and the convex electrode 121 are charged with holes and electrons, respectively, and thus the electric charge (electric signal) thus obtained is transferred via the strip electrode 112. By taking it out from the connection terminal 113 and taking it out from the end 122A of the strip electrode 122, and detecting it with a charge detection circuit (not shown), for example, the incident position of the radiation in the radiation detector 10 can be specified. Radiation can be detected.

（第２の実施形態）
図２は、本実施形態の放射線検出器の概略構成を示す平面図である。なお、本実施形態では、絶縁部材の裏面上に形成した第２の電極パターンの形状に特徴があり、その他の構成については図１に関する第１の実施形態の放射線検出器１０と同様の構成を有するので、図２においては、放射線検出器の裏面における第２の電極パターンの形態のみを示している。また、図１に示す放射線検出器１０と類似あるいは同一の構成要素については同一の符号を用いている。 (Second Embodiment)
FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of the radiation detector of the present embodiment. In this embodiment, there is a feature in the shape of the second electrode pattern formed on the back surface of the insulating member, and the other configuration is the same as that of the radiation detector 10 of the first embodiment related to FIG. FIG. 2 shows only the form of the second electrode pattern on the back surface of the radiation detector. Further, the same reference numerals are used for components similar or identical to those of the radiation detector 10 shown in FIG.

本実施形態では、第２の電極パターン１２の帯状電極１２２を蛇行するようにして形成し、第１の電極パターン１１の配列方向に沿って隣接する凸状電極１２１間を電気的に接続するようにしている。   In the present embodiment, the strip electrode 122 of the second electrode pattern 12 is formed to meander, and the adjacent convex electrodes 121 are electrically connected along the arrangement direction of the first electrode pattern 11. I have to.

第１の実施形態の放射線検出器１０では、円形状電極１１１を最密充填に配列することに起因して、その配列数、すなわち形成すべき第１の電極パターンの数が増大することになる。しかしながら、本実施形態では、上述のように帯状電極１２２を蛇行させ、第１の電極パターン１１の配列方向において隣接する凸状電極１２１を電気的に接続するようにしている。したがって、帯状電極の配列数、すなわち形成すべき第２の電極パターン１２の数を増大させる必要がないので、第２の電極パターン１２の配列数、すなわち形成すべき第２の電極パターン１２の数を増大させる必要がない。このため、第２の電極パターン１２の形成工程を簡略化することができ、放射線検出器１０の検出効率をより安価かつ簡易な方法で向上させることができる。   In the radiation detector 10 of the first embodiment, due to the circular electrodes 111 being arranged in the closest packing, the number of arrangement, that is, the number of first electrode patterns to be formed increases. . However, in the present embodiment, the belt-like electrode 122 is meandered as described above, and the convex electrodes 121 adjacent in the arrangement direction of the first electrode patterns 11 are electrically connected. Therefore, since it is not necessary to increase the number of strip electrodes arranged, that is, the number of second electrode patterns 12 to be formed, the number of second electrode patterns 12 arranged, that is, the number of second electrode patterns 12 to be formed. Need not be increased. For this reason, the formation process of the 2nd electrode pattern 12 can be simplified, and the detection efficiency of the radiation detector 10 can be improved by a cheaper and simple method.

その他の特徴、利点及び作用効果については第１の実施形態の場合と同様であるので、本実施形態では、それらに関する説明は省略する。   Other features, advantages, and operational effects are the same as in the case of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted in this embodiment.

（第３の実施形態）
図３は、本実施形態の放射線検出器の概略構成を示す平面図である。なお、本実施形態でも、絶縁部材の裏面上に形成した第２の電極パターンの形状に特徴があり、その他の構成については図１に関する第１の実施形態の放射線検出器１０と同様の構成を有するので、図３においては、放射線検出器の裏面における第２の電極パターンの形態のみを示している。また、図１に示す放射線検出器１０と類似あるいは同一の構成要素については同一の符号を用いている。 (Third embodiment)
FIG. 3 is a plan view showing a schematic configuration of the radiation detector of the present embodiment. Note that the present embodiment is also characterized by the shape of the second electrode pattern formed on the back surface of the insulating member, and the other configurations are the same as those of the radiation detector 10 of the first embodiment related to FIG. FIG. 3 shows only the form of the second electrode pattern on the back surface of the radiation detector. Further, the same reference numerals are used for components similar or identical to those of the radiation detector 10 shown in FIG.

本実施形態では、第２の電極パターン１２の帯状電極１２２を、第１の電極パターン１１の配列方向（Ｘ方向）に沿って、隣接する凸状電極１２１の一部と電気的に接続するようにして、第１の実施形態と同様に直線状に形成している。   In the present embodiment, the strip electrode 122 of the second electrode pattern 12 is electrically connected to a part of the adjacent convex electrode 121 along the arrangement direction (X direction) of the first electrode pattern 11. Thus, it is formed linearly as in the first embodiment.

第１の実施形態の放射線検出器１０では、円形状電極１１１を最密充填に配列することに起因して、その配列数、すなわち形成すべき第１の電極パターンの数が増大することになる。しかしながら、本実施形態では、上述のように帯状電極１２２を、第１の電極パターン１１の配列方向において隣接する凸状電極１２１の一部と電気的に接続するようにして直線状に形成している。したがって、帯状電極の配列数、すなわち形成すべき第２の電極パターン１２の数を増大させる必要がないので、第２の電極パターン１２の配列数、すなわち形成すべき第２の電極パターン１２の数を増大させる必要がない。このため、第２の電極パターン１２の形成工程を簡略化することができ、放射線検出器１０の検出効率をより安価かつ簡易な方法で向上させることができる。   In the radiation detector 10 of the first embodiment, due to the circular electrodes 111 being arranged in the closest packing, the number of arrangement, that is, the number of first electrode patterns to be formed increases. . However, in the present embodiment, as described above, the strip electrode 122 is formed in a straight line so as to be electrically connected to a part of the convex electrode 121 adjacent in the arrangement direction of the first electrode pattern 11. Yes. Therefore, since it is not necessary to increase the number of strip electrodes arranged, that is, the number of second electrode patterns 12 to be formed, the number of second electrode patterns 12 arranged, that is, the number of second electrode patterns 12 to be formed. Need not be increased. For this reason, the formation process of the 2nd electrode pattern 12 can be simplified, and the detection efficiency of the radiation detector 10 can be improved by a cheaper and simple method.

また、本実施形態では、帯状電極１２２から延在するようにして追加の環状電極１２３を形成し、この環状電極１２３を凸状電極１２１と電気的に接続するようにしている。したがって、帯状電極１２２と凸状電極１２１との電気的接続をより確実なものとすることができる。   In this embodiment, an additional annular electrode 123 is formed so as to extend from the strip electrode 122, and the annular electrode 123 is electrically connected to the convex electrode 121. Therefore, the electrical connection between the strip electrode 122 and the convex electrode 121 can be made more reliable.

但し、環状電極１２３は微細であり、めっき法等で形成する際に使用するマスクに対して高い精度が要求されるので、製造工程の面からは環状電極１２３を形成することはあまり好ましくない。実際、環状電極１２３が存在しない場合においても、帯状電極１２２と凸状電極１２１とが一部でも電気的に接続されていれば、第２の電極パターン１２は、放射線検出器１０の検出電極として機能する。   However, since the annular electrode 123 is fine and requires high accuracy for a mask used when forming by plating or the like, it is not preferable to form the annular electrode 123 from the viewpoint of the manufacturing process. In fact, even when the annular electrode 123 is not present, the second electrode pattern 12 can be used as a detection electrode of the radiation detector 10 as long as the strip electrode 122 and the convex electrode 121 are partially electrically connected. Function.

その他の特徴、利点及び作用効果については第１の実施形態の場合と同様であるので、本実施形態では、それらに関する説明は省略する。   Other features, advantages, and operational effects are the same as in the case of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted in this embodiment.

以上、本発明を上記具体例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。   The present invention has been described in detail based on the above specific examples. However, the present invention is not limited to the above specific examples, and various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention.

例えば、本実施形態では、第１の電極パターン１１及び第２の電極パターン１２の数をそれぞれ６個としているが、当該個数は、本発明の特徴を説明するために便宜上採用したものであるので、第１の電極パターン１１及び第２の電極パターン１２の数は、必要に応じて任意の数とすることができる。   For example, in the present embodiment, the number of the first electrode patterns 11 and the number of the second electrode patterns 12 is six, but the numbers are adopted for convenience in order to explain the characteristics of the present invention. The number of the first electrode patterns 11 and the second electrode patterns 12 can be any number as necessary.

また、円形状電極１１１の最密充填に際しても上述した実施形態に限定されるものではなく、任意の形態とすることができる。   Further, the close-packed filling of the circular electrodes 111 is not limited to the above-described embodiment, and any form can be adopted.

１０ 放射線検出器
１１ 第１の電極パターン
１１１ 円形状電極
１１２ ストリップ状電極
１２ 第２の電極パターン
１２１ 凸状電極
１２２ 帯状電極
１２３ 追加の環状電極
１５ 絶縁部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Radiation detector 11 1st electrode pattern 111 Circular electrode 112 Strip electrode 12 2nd electrode pattern 121 Convex electrode 122 Strip electrode 123 Additional annular electrode 15 Insulating member

Claims (6)

絶縁部材の第１の面上に形成され、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上に形成され、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されていることを特徴とする、放射線検出器。 A plurality of first electrode patterns formed on the first surface of the insulating member, each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip-like electrodes that electrically connect the plurality of circular electrodes;
Formed on a second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrating the insulating member, and leading end at a substantially central portion of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern And a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes exposed and a belt-like electrode that electrically connects the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. A radiation detector, characterized in that 絶縁部材の第１の面上に形成され、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上に形成され、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されており、
前記第２の電極パターンの帯状電極は蛇行するようにして形成されており、隣接する前記凸状電極間を電気的に接続していることを特徴とする、放射線検出器。 A plurality of first electrode patterns formed on the first surface of the insulating member, each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip-like electrodes that electrically connect the plurality of circular electrodes;
Formed on a second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrating the insulating member, and leading end at a substantially central portion of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern And a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes exposed and a belt-like electrode that electrically connects the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. Has been
The strip electrode of the second electrode pattern is formed so as to meander, and the adjacent convex electrodes are electrically connected to each other. 絶縁部材の第１の面上に形成され、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電
極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上に形成され、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されており、
前記第２の電極パターンの帯状電極は、隣接する前記凸状電極の少なくとも一部と接触するようにして直線状に形成されていることを特徴とする、放射線検出器。 A plurality of first electrode patterns formed on the first surface of the insulating member, each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip-like electrodes that electrically connect the plurality of circular electrodes;
Formed on a second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrating the insulating member, and leading end at a substantially central portion of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern And a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes exposed and a belt-like electrode that electrically connects the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. Has been
The radiation detector, wherein the strip electrode of the second electrode pattern is formed in a straight line so as to be in contact with at least a part of the adjacent convex electrode. 絶縁部材の第１の面上において、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンを形成するステップと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上において、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンを形成するステップとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されていることを特徴とする、放射線検出器の製造方法。 Forming a plurality of first electrode patterns each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip electrodes electrically connecting the plurality of circular electrodes on the first surface of the insulating member; ,
On the second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrates the insulating member, and tips are exposed at substantially central portions of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern. Forming a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes and strip-shaped electrodes that electrically connect the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. The manufacturing method of the radiation detector characterized by the above-mentioned. 絶縁部材の第１の面上において、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンを形成するステップと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上において、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンを形成するステップとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されており、
前記第２の電極パターンの帯状電極は蛇行するようにして形成し、隣接する前記凸状電極間を電気的に接続することを特徴とする、放射線検出器の製造方法。 Forming a plurality of first electrode patterns each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip electrodes electrically connecting the plurality of circular electrodes on the first surface of the insulating member; ,
On the second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrates the insulating member, and tips are exposed at substantially central portions of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern. Forming a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes and strip-shaped electrodes that electrically connect the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. Has been
The method of manufacturing a radiation detector, wherein the strip electrode of the second electrode pattern is formed to meander, and the adjacent convex electrodes are electrically connected. 絶縁部材の第１の面上において、各々が複数の円形状電極及びこれら複数の円形状電極間を電気的に接続する複数のストリップ状電極を有する複数の第１の電極パターンを形成するステップと、
前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上において、各々が前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記複数の円形状電極の略中心部に先端が露出した複数の凸状電極及びこれら複数の凸状電極間を電気的に接続する帯状電極を有する複数の第２の電極パターンを形成するステップとを具え、
前記複数の第１の電極パターンは、隣接する前記第１の電極パターンが、前記複数の第１の電極パターンの配列方向において、前記円形状電極と前記ストリップ状電極とが隣接するようにして配列されており、
前記第２の電極パターンの帯状電極は、隣接する前記凸状電極の少なくとも一部と接触するようにして直線状に形成することを特徴とする、放射線検出器の製造方法。 Forming a plurality of first electrode patterns each having a plurality of circular electrodes and a plurality of strip electrodes electrically connecting the plurality of circular electrodes on the first surface of the insulating member; ,
On the second surface opposite to the first surface of the insulating member, each penetrates the insulating member, and tips are exposed at substantially central portions of the plurality of circular electrodes of the first electrode pattern. Forming a plurality of second electrode patterns having a plurality of convex electrodes and strip-shaped electrodes that electrically connect the plurality of convex electrodes,
The plurality of first electrode patterns are arranged so that the adjacent first electrode patterns are adjacent to each other in the arrangement direction of the plurality of first electrode patterns. Has been
The method of manufacturing a radiation detector, wherein the strip electrode of the second electrode pattern is formed in a straight line so as to be in contact with at least a part of the adjacent convex electrode.
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