JP6060822B2 - Transfer equipment and production system - Google Patents
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Description
本発明は、移載装置及び生産システムに関する。 The present invention relates to a transfer apparatus and a production system.
この種の技術として、特許文献1は、搬送台車の搬送室に収容されているワークをプロセス装置へ清浄雰囲気内で移載する技術を開示している。 As this type of technology, Patent Document 1 discloses a technology for transferring a workpiece housed in a transfer chamber of a transfer carriage to a process device in a clean atmosphere.
特許文献1の構成では、搬送台車からプロセス装置へのワークの移載を実現するために、搬送台車に移載装置を設ける必要があり、搬送台車の構成が複雑になっていた。 In the configuration of Patent Document 1, it is necessary to provide a transfer device on the transfer carriage in order to realize transfer of the workpiece from the transfer carriage to the process apparatus, and the configuration of the transfer carriage is complicated.
本発明の目的は、処理対象物を搬送する搬送装置の構成を簡素にしつつ、搬送装置から処理装置への処理対象物の移載を清浄雰囲気内で実現する技術を提供することにある。 The objective of this invention is providing the technique which implement | achieves transfer of the processing target object from a conveying apparatus to a processing apparatus in a clean atmosphere, simplifying the structure of the conveying apparatus which conveys a processing target object.
本願発明の観点によれば、処理対象物を搬送する搬送装置と、前記処理対象物を処理する処理装置と、の間で前記処理対象物を移載する移載装置であって、前記処理対象物を保持して移動させる保持移動手段と、前記保持移動手段を収容する筐体と、前記筐体内を清浄雰囲気にするための清浄雰囲気形成手段と、を備えた、移載装置が提供される。以上の構成によれば、前記処理対象物を搬送する前記搬送装置の構成を簡素にしつつ、前記搬送装置から前記処理装置への前記処理対象物の移載を清浄雰囲気内で実現できる。
前記筐体は、前記筐体内の空気を循環させるための循環通気路を有し、前記清浄雰囲気形成手段は、前記筐体内を循環する前記空気を清浄にすることで、前記筐体内を清浄雰囲気にする。
前記筐体は、通気路を内部に有する支柱を有し、前記循環通気路は、前記支柱の前記通気路を含んで実現されている。このように前記支柱を通気路として兼用することで、前記循環通気路を備えた前記移載装置を小型化することができる。
前記筐体は、高圧室と、前記高圧室と比較して低圧である低圧室と、を有し、前記清浄雰囲気形成手段は、前記高圧室から前記低圧室に移動した前記空気を清浄にし、清浄にした前記空気を前記高圧室に供給する。
前記保持移動手段は、前記高圧室内に配置されている。以上の構成によれば、前記保持移動手段で発生したダストは、前記低圧室に排出されることになる。
前記清浄雰囲気形成手段は、前記筐体内に配置され、前記移載装置は、前記清浄雰囲気形成手段を前記筐体から引き出すための引出手段を有する。以上の構成によれば、前記清浄雰囲気形成手段のメンテナンス性が良好となる。
前記引出手段は、前記低圧室に配置されている。以上の構成によれば、前記引出手段で発生したダストは、前記高圧室に移動することがなく、前記低圧室に留まる。従って、前記保持移動手段によって保持される前記処理対象物を汚染することがない。
前記搬送装置と、前記処理装置と、上記何れかに記載の前記移載装置と、を備えた生産システムが提供される。
According to an aspect of the present invention, there is provided a transfer apparatus for transferring the processing object between a transport apparatus that transports the processing object and a processing apparatus that processes the processing object, the processing object There is provided a transfer apparatus comprising a holding and moving means for holding and moving an object, a casing for housing the holding and moving means, and a clean atmosphere forming means for making the inside of the casing a clean atmosphere. . According to the above configuration, the transfer of the processing object from the transport apparatus to the processing apparatus can be realized in a clean atmosphere while simplifying the configuration of the transport apparatus that transports the processing object.
The casing has a circulation air passage for circulating the air in the casing, and the clean atmosphere forming means cleans the air circulating in the casing, thereby cleaning the interior of the casing. To.
The housing includes a support column having a ventilation path therein, and the circulation ventilation path is realized including the ventilation path of the support column. Thus, the transfer apparatus provided with the circulation ventilation path can be miniaturized by using the support column as a ventilation path.
The housing has a high pressure chamber and a low pressure chamber that is lower in pressure than the high pressure chamber, and the clean atmosphere forming means cleans the air that has moved from the high pressure chamber to the low pressure chamber, The cleaned air is supplied to the high pressure chamber.
The holding and moving means is disposed in the high pressure chamber. According to the above configuration, the dust generated by the holding and moving means is discharged to the low pressure chamber.
The clean atmosphere forming means is disposed in the casing, and the transfer device has a drawing means for pulling out the clean atmosphere forming means from the casing. According to the above configuration, maintainability of the clean atmosphere forming means is improved.
The extraction means is disposed in the low pressure chamber. According to the above configuration, the dust generated by the drawing means does not move to the high pressure chamber and remains in the low pressure chamber. Therefore, the processing object held by the holding and moving means is not contaminated.
A production system including the transfer device, the processing device, and the transfer device according to any one of the above is provided.
本発明によれば、前記処理対象物を搬送する前記搬送装置の構成を簡素にしつつ、前記搬送装置から前記処理装置への前記処理対象物の移載を清浄雰囲気内で実現できる。 According to the present invention, the transfer of the processing object from the transport apparatus to the processing apparatus can be realized in a clean atmosphere while simplifying the configuration of the transport apparatus that transports the processing object.
図1及び図2に示すように、半導体製造ライン1(生産システム)は、破線で示すウエハ2(処理対象物)を搬送するウエハ搬送装置3(搬送装置)と、ウエハ2に対して所定の処理を行うプロセス装置4(処理装置)と、ウエハ搬送装置3とプロセス装置4の間でウエハ2を移載する移載装置5と、を備える。「移載する(to transfer)」とは、「装置間で対象物を受け渡す」を意味する。
As shown in FIGS. 1 and 2, a semiconductor manufacturing line 1 (production system) includes a wafer transfer device 3 (transfer device) that transfers a wafer 2 (processing object) indicated by a broken line, and a predetermined amount with respect to the
ウエハ搬送装置3は、パレット6(搭載装置)と、浮上搬送装置7と、を備える。図1に示すように、浮上搬送装置7は、水平方向において直線的に構成されている。
The
ここで、図1を参照して、「システム長手方向」及び「鉛直方向」、「システム幅方向」を定義する。システム長手方向は、浮上搬送装置7の長手方向を意味する。システム長手方向のうち、ウエハ2を搬送する方向を「搬送方向」とし、搬送方向と反対の方向を「反搬送方向」とする。鉛直方向は、地面に対して垂直な方向である。鉛直方向のうち、地面に向かう方向を「下方向」とし、地面から離れる方向を「上方向」とする。システム幅方向は、システム長手方向及び鉛直方向に対して直交する方向である。システム幅方向のうち、ウエハ搬送装置3に近づく方向を処理後移載方向とし、ウエハ搬送装置3から離れる方向を処理前移載方向とする。
Here, referring to FIG. 1, “system longitudinal direction”, “vertical direction”, and “system width direction” are defined. The system longitudinal direction means the longitudinal direction of the
(パレット6)
図2に示すように、パレット6は、ウエハ2を搭載するものである。即ち、本実施形態のウエハ搬送装置3は、ウエハ2を直接的に搬送するのではなく、ウエハ2を搭載したパレット6を搬送することで間接的にウエハ2を搬送する。
(Pallet 6)
As shown in FIG. 2, the
(浮上搬送装置7)
図1に示すように、浮上搬送装置7は、パレット浮上ユニット20と複数のカバー21、複数のFFU22(Fan Filter Unit)を備える。
(Floating transfer device 7)
As shown in FIG. 1, the
複数のFFU22は、取り入れた空気を清浄化することで清浄空気を生成するものである。複数のFFU22は、システム長手方向において間隔を空けて配置されている。
Several FFU22 produces | generates clean air by purifying the taken-in air. The plurality of
パレット浮上ユニット20は、複数のFFU22が生成した清浄空気を用いてパレット6を浮上させつつパレット6を搬送するものである。
The
複数のカバー21は、パレット浮上ユニット20上に外部環境から隔離された搬送空間を形成するためのものである。複数のカバー21は、システム長手方向に並べて配置されている。各カバー21は、システム長手方向で見て下方向に開口する断面U字状に形成されている。
The plurality of covers 21 are for forming a conveyance space isolated from the external environment on the
このようにウエハ搬送装置3を筒状に構成し、ウエハ搬送装置3内の限定的な空間を清浄雰囲気にしているので、半導体製造ライン1が設置される環境全体を清浄雰囲気にする必要がなく、もって、半導体製造ライン1のランニングコストが低く抑えられている。
As described above, the
図3〜5に示すように、移載装置5は、筐体10と、移載ロボット11(保持移動手段)と、FFU12(Fan Filter Unit、清浄雰囲気形成手段)と、を備える。
As shown in FIGS. 3 to 5, the
筐体10は、上パネル30と、整流板31と、排気板32と、トレー33と、ベースプレート34と、4つの側板35と、4つの中空支柱36(支柱)と、を有する。
The
4つの側板35と4つの中空支柱36を組み合わせることで筒体が形成されている。隣り合う側板35は、1つの中空支柱36によって連結される。4つの中空支柱36により、4つの側板35が一体的に連結される。
A cylindrical body is formed by combining the four
図4に示すように、上パネル30と整流板31、排気板32、トレー33、ベースプレート34は、下方向にこの順で、互いに間隔を空けて並べられている。
As shown in FIG. 4, the
上パネル30は、4つの中空支柱36によって支持されている。
The
整流板31は、4つの中空支柱36によって支持されている。整流板31は、多数の通気孔31aを有する。
The
排気板32は、4つの中空支柱36によって支持されている。排気板32の上面32aには、移載ロボット11が搭載される。排気板32は、多数の通気孔32bを有する。
The
トレー33は、ガイドレール機構Rを介して対向する一対の側板35によって支持されている。トレー33の上面33aには、FFU12が搭載されている。トレー33は、通気孔33bを有する。
The
4つの中空支柱36は、ベースプレート34によって支持されている。
The four
図3に示すように、4つの側板35のうちウエハ搬送装置3側の側板35には、第1ウエハ移載孔35bと第2ウエハ移載孔35cが形成されており、その側板35と対向する側板35には、第3ウエハ移載孔35dが形成されている。なお、図3の状態で、第2ウエハ移載孔35cは閉塞されている。
As shown in FIG. 3, the first wafer transfer hole 35 b and the second
図5に示すように、各中空支柱36は、鉛直方向に延びる連絡通気路36aを有する。各中空支柱36は、鉛直方向に延びている。
As shown in FIG. 5, each
上パネル30と整流板31の間には、上内圧室40が形成されている。整流板31と排気板32の間には、クリーン室41が形成されている。排気板32とトレー33の間には、排気室42が形成されている。トレー33とベースプレート34の間には、下内圧室43が形成されている。そして、上内圧室40と下内圧室43は、4つの中空支柱36の連絡通気路36aを介して繋がっている。
An upper
図4に戻り、ガイドレール機構Rは、トレー33の上面33aに搭載されるトレー側ガイドレールr1と、側板35の内面35aに搭載される側板側ガイドレールr2と、によって構成されている。
Returning to FIG. 4, the guide rail mechanism R includes a tray side guide rail r <b> 1 mounted on the
移載ロボット11は、クリーン室41に収容されている。移載ロボット11は、排気板32上に搭載されている。移載ロボット11は、ウエハ2を把持するウエハホルダ50と、ウエハホルダ50を駆動するロボット本体51と、を有する。
The
次に、図5を参照して、筐体10の循環通気路Fについて説明する。先ず、排気室42内の空気がFFU12に取り込まれる。FFU12は、取り込んだ空気を清浄化することで清浄空気を生成する。FFU12は、生成した清浄空気をトレー33の通気孔33bを介して下内圧室43に排気する。FFU12から下内圧室43に排気された清浄空気は、4つの中空支柱36の連絡通気路36aを介して上内圧室40に移動する。上内圧室40に移動した清浄空気は、整流板31の通気孔31aを介してクリーン室41に移動する。クリーン室41に移動した清浄空気は、クリーン室41内にダウンフローを形成することで、クリーン室41内を清浄雰囲気にする。この際、クリーン室41に移動した清浄空気は、移載ロボット11の動作等に起因して汚染される。汚染された空気は、排気板32の通気孔32bを介して排気室42に移動する。そして、再び、排気室42内の空気がFFU12に取り込まれて清浄化される。
Next, the circulation ventilation path F of the
以上に説明した循環通気路Fによると、各室の気圧は以下の通りとなる。即ち、下内圧室43内の気圧、連絡通気路36a内の気圧、上内圧室40内の気圧は、何れも略等しい第1の気圧となる。クリーン室41内の気圧は、上内圧室40内の気圧よりも若干低い第2の気圧となる。排気室42内の気圧は、クリーン室41内の気圧よりも若干低い第3の気圧となる。端的に言えば、(第1の気圧)>(第2の気圧)>(第3の気圧)の関係が成立している。
According to the circulation ventilation path F described above, the pressure in each chamber is as follows. That is, the air pressure in the lower
次に、図3及び図4を参照して、移載ロボット11の動作について説明する。移載ロボット11は、ロボット本体51によってウエハホルダ50を駆動することで、ウエハ搬送装置3によって搬送され所定位置で一時停止しているパレット6上のウエハ2を掬い上げ、第1ウエハ移載孔35bを介してクリーン室41内にウエハ2を引き込む。次に、移載ロボット11は、クリーン室41内に引き込んだウエハ2を第3ウエハ移載孔35dを介してプロセス装置4へ挿入する。プロセス装置4へ挿入されたウエハ2は、プロセス装置4内で所定の処理がなされる。ついで、プロセス装置4における所定の処理が完了したら、移載ロボット11は、ロボット本体51によってウエハホルダ50を駆動することで、プロセス装置4によって処理されたウエハ2を、第3ウエハ移載孔35dを介してクリーン室41内に引きこむ。次に、移載ロボット11は、クリーン室41内に引き込んだウエハ2を第1ウエハ移載孔35bを介してウエハ搬送装置3へ挿入し、パレット6上にウエハ2を載せる。その後、パレット6は、再びウエハ搬送装置3によって所定方向に搬送され始める。
Next, the operation of the
次に、図4を参照して、ガイドレール機構Rについて説明する。ガイドレール機構Rは、トレー33とトレー33上に搭載されているFFU12を同時に移載装置5から引き抜くための機構である。このガイドレール機構Rの存在により、FFU12のメンテナンス作業の負担が軽減されている。本実施形態では、ガイドレール機構Rが排気室42内に配置されている。即ち、ガイドレール機構Rを構成するトレー側ガイドレールr1も側板側ガイドレールr2も排気室42内に収容されている。一方、トレー33と各側板35の間には、隙間gが形成されている。前述の通り、下内圧室43内の気圧は、排気室42内の気圧よりも高いので、隙間gには、下内圧室43から排気室42へ向かう空気の流れが常時生じている。従って、ガイドレール機構Rで発生したダストは、隙間gを介して下内圧室43に侵入してしまうことがなく、一旦排気室42内に収容された後、FFU12にて捕捉される。別の観点で言えば、ガイドレール機構Rを排気室42内に収容したことで、隙間gはある程度大きく設定されていても問題ない。
Next, the guide rail mechanism R will be described with reference to FIG. The guide rail mechanism R is a mechanism for pulling out the
図6には、移載ロボット11の可動域Pを二点鎖線で示している。図6に示すように、筐体10は平面視で略四角となるように構成されている。そして、4つの中空支柱36は、平面視で、筐体10の外形となる四角と、略円形の可動域Pと、の差分であるデッドスペースに配置されている。本実施形態では、この4つの中空支柱36を循環通気路Fの一部として兼用している。従って、移載装置5は、循環通気路Fを有しつつも小型化を実現している。
In FIG. 6, the movable range P of the
次に、図7及び8を参照して、キャリア60を説明する。キャリア60は、半導体製造ライン1からウエハ2を何らかの調査のために例えば1枚だけ抜き取り、他所へ持ち運ぶためのものである。キャリア60は、ウエハ2を収容可能な筐体61と、筐体61内を清浄雰囲気にするためのFFU62と、FFU62に電力を供給するバッテリー63と、シャッター64と、を有する。FFU62は、外部環境の空気を取り入れて清浄化した上で、通気孔61aを介して清浄空気を筐体61内に供給する。筐体61内に供給された清浄空気は通気孔61bを介して外部環境に排気される。シャッター64は、筐体61の一部を一時的に開放する。このキャリア60は、図3に示す第2ウエハ移載孔35cに着脱可能に構成されている。以上の構成によれば、ウエハ2の調査のために、移載ロボット11を利用して半導体製造ライン1内の複数のウエハ2のうち特定の又は任意のウエハ2を抜き取り、汚染することなく他所へ持ち運ぶことができるようになる。
Next, the
以上に、好適な実施形態を説明したが、上記実施形態は、以下の特長を有する。 Although the preferred embodiment has been described above, the above embodiment has the following features.
(1)移載装置5は、ウエハ2(処理対象物)を搬送するウエハ搬送装置3(搬送装置)と、ウエハ2を処理するプロセス装置4(処理装置)と、の間でウエハ2を移載する。移載装置5は、ウエハ2を保持して移動させる移載ロボット11(保持移動手段)と、移載ロボット11を収容する筐体10と、筐体10内を清浄雰囲気にするためのFFU12(清浄雰囲気形成手段)と、を備える。以上の構成によれば、ウエハ2を搬送するウエハ搬送装置3の構成を簡素にしつつ、ウエハ搬送装置3からプロセス装置4へのウエハ2の移載を清浄雰囲気内で実現できる。
(2)筐体10は、筐体10内の空気を循環させるための循環通気路Fを有する。FFU12は、筐体10内を循環する空気を清浄にすることで、筐体10内を清浄雰囲気にする。
(3)筐体10は、連絡通気路36a(通気路)を内部に有する中空支柱36(支柱)を有する。循環通気路Fは、中空支柱36の連絡通気路36aを含んで実現されている。このように中空支柱36を連絡通気路36aとして兼用することで、循環通気路Fを備えた移載装置5を小型化することができる。
(4)筐体10は、クリーン室41(高圧室)と、クリーン室41と比較して低圧である排気室42(低圧室)と、を有する。FFU12は、クリーン室41から排気室42に移動した空気を清浄にし、清浄にした空気をクリーン室41に供給する。
(5)FFU12は、クリーン室41内に配置されている。以上の構成によれば、FFU12で発生したダストは、排気室42に排出されることになる。
(6)FFU12は、筐体10内に配置される。移載装置5は、FFU12を筐体10から引き出すためのガイドレール機構R(引出手段)を有する。以上の構成によれば、FFU12のメンテナンス性が良好となる。
(7)ガイドレール機構Rは、排気室42に配置されている。以上の構成によれば、排気室42で発生したダストは、下内圧室43(高圧室)に移動することがなく、排気室42に留まる。従って、FFU12によって保持されるウエハ2を汚染することがない。
(8)半導体製造ライン1(生産システム)は、ウエハ搬送装置3と、プロセス装置4と、移載装置5と、を備えて構成されている。
(1) The
(2) The
(3) The
(4) The
(5) The
(6) The
(7) The guide rail mechanism R is disposed in the
(8) The semiconductor manufacturing line 1 (production system) includes a
また、FFU12は、筐体10の下部に配置されている。これにより、移載装置5の低重心化が図られている。
The
1 半導体製造ライン
2 ウエハ
3 ウエハ搬送装置
4 プロセス装置
5 移載装置
10 筐体
11 移載ロボット
12 FFU
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (3)
前記処理対象物を保持して移動させる保持移動手段と、
前記保持移動手段を収容する筐体と、
前記筐体内を清浄雰囲気にするための清浄雰囲気形成手段と、
を備え、
前記筐体は、複数の側板と、上パネルと、通気孔を有する排気板と、トレーと、ベースプレートと、ガイドレール機構と、循環通気路と、を有しており、
前記上パネル、前記排気板、前記トレー、前記ベースプレートは、下方向にこの順で互いに間隔を空けて並べられており、
前記排気板上に前記保持移動手段が搭載されており、
前記トレー上に前記清浄雰囲気形成手段が搭載されており、
前記排気板の上方にクリーン室が形成されており、
前記排気板と前記トレーの間に排気室が形成されており、
前記トレーと前記ベースプレートの間に下内圧室が形成されており、
前記トレーは、前記ガイドレール機構を介して前記複数の側板に支持されており、
前記清浄雰囲気形成手段は、前記排気室内の空気を取り込んで清浄化し、清浄化した空気を前記下内圧室に排気し、これにより、前記排気室は前記下内圧室よりも低圧となっており、
前記下内圧室に排気された空気は前記循環通気路を介して前記クリーン室に移動するように構成されており、
前記トレーと前記複数の側板との間には、隙間が形成されており、
前記ガイドレール機構は、前記排気室に配置されている、
移載装置。 A transfer device for transferring the processing object between a transfer device for transferring the processing object and a processing device for processing the processing object;
Holding and moving means for holding and moving the processing object;
A housing that houses the holding and moving means;
A clean atmosphere forming means for creating a clean atmosphere in the housing;
With
The housing includes a plurality of side plates, an upper panel, an exhaust plate having a ventilation hole, a tray, a base plate, a guide rail mechanism, and a circulation ventilation path.
The upper panel, the exhaust plate, the tray, and the base plate are arranged at intervals in this order in the downward direction,
The holding and moving means is mounted on the exhaust plate,
The clean atmosphere forming means is mounted on the tray,
A clean chamber is formed above the exhaust plate,
An exhaust chamber is formed between the exhaust plate and the tray,
A lower internal pressure chamber is formed between the tray and the base plate,
The tray is supported by the plurality of side plates via the guide rail mechanism,
The clean atmosphere forming means takes in the air in the exhaust chamber and cleans it, and exhausts the cleaned air to the lower internal pressure chamber, whereby the exhaust chamber has a lower pressure than the lower internal pressure chamber,
The air exhausted to the lower internal pressure chamber is configured to move to the clean chamber via the circulation vent.
A gap is formed between the tray and the plurality of side plates,
The guide rail mechanism is disposed in the exhaust chamber,
Transfer device.
前記筐体は、通気路を内部に有する支柱を有し、The housing has a support column having an air passage inside,
前記循環通気路は、前記支柱の前記通気路を含んで実現されている、The circulation ventilation path is realized including the ventilation path of the support column,
移載装置。Transfer device.
前記処理装置と、The processing device;
請求項1又は2に記載の前記移載装置と、The transfer apparatus according to claim 1 or 2,
を備えた生産システム。Production system equipped with.
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