JP6050183B2 - Cutting tools - Google Patents

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Description

本発明は、例えば、鋼等の切削加工において優れた耐摩耗性を発揮する切削工具に関する。   The present invention relates to a cutting tool that exhibits excellent wear resistance in, for example, cutting of steel or the like.

切削工具として、超硬合金やサーメット等の基体の表面に被覆層を成膜して、耐摩耗性、摺動性、耐欠損性を向上させたコーティング工具が広く使われている。   As a cutting tool, a coating tool in which a coating layer is formed on the surface of a substrate such as cemented carbide or cermet to improve wear resistance, slidability, and fracture resistance is widely used.

例えば、特許文献1では、超硬合金基体の表面に、TiNやTiCNのTi化合物層とAl層とを3〜30μm厚みで成膜した後、TiOx層の最表面下地層を0.1〜3μmと、TiCNO(Oは前記最表面下地層から拡散した酸素)層を0.05〜2μmとの順に積層した構成の硬質被覆層を形成した切削工具が開示され、この切削工具は、ステンレス鋼や軟鋼などの粘性の高い被削材の切粉に対する親和性が低くて、耐溶着性に優れていることが記載されている。 For example, in Patent Document 1, a Ti compound layer of TiN or TiCN and an Al 2 O 3 layer are formed in a thickness of 3 to 30 μm on the surface of a cemented carbide substrate, and then the outermost surface underlayer of the TiOx layer is set to a thickness of 0.03. 1 to 3 μm, and a cutting tool formed with a hard coating layer having a structure in which a TiCNO (O is oxygen diffused from the outermost surface underlayer) layer is laminated in the order of 0.05 to 2 μm, is disclosed. It is described that the workability of a highly viscous work material such as stainless steel or mild steel is low in affinity to chips and is excellent in welding resistance.

また、特許文献2や特許文献3では、上記構成に類似する被覆層を成膜した後で、被覆層の表面を研磨加工して被覆層の表面を滑らかにする方法が開示されている。   Patent Documents 2 and 3 disclose a method of smoothing the surface of the coating layer by polishing the surface of the coating layer after forming a coating layer similar to the above configuration.

特開2001−310203号公報JP 2001-310203 A 特開2008−055581号公報JP 2008-055581 A 特開2006−297585号公報JP 2006-297585 A

しかしながら、特許文献1−3の構成では、被覆層の表面にTiCNO層を有することから、切粉に対する耐溶着性は向上するものの不十分であり、かつTiCNO層は硬度が低くて、比較的早く摩滅してしまい、溶着を抑制する効果が長続きしにくいという不具合があった。   However, in the configuration of Patent Documents 1-3, since the surface of the coating layer has a TiCNO layer, although the welding resistance to chips is improved, it is insufficient, and the TiCNO layer has a low hardness and is relatively fast. There was a problem that it was worn out and the effect of suppressing welding hardly lasted.

本発明では、切削加工する際に良好な耐溶着性を長く維持できて、工具寿命が長い切削工具を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a cutting tool that can maintain good welding resistance for a long time during cutting and has a long tool life.

本発明の切削工具は、基体の表面に多層からなる被覆層を設けており、前記被覆層の最表層が、TiC相、TiN相およびTiCN相の少なくとも1種と、Ti相とを含
有するとともに、前記最表層の前記Ti相の含有割合は、表面側よりも基体側が少なくなっているものである。
The cutting tool of the present invention is provided with a coating layer composed of multiple layers on the surface of the substrate, and the outermost layer of the coating layer comprises at least one of a TiC phase, a TiN phase, and a TiCN phase, and a Ti 3 O 5 phase. In addition, the content ratio of the Ti 3 O 5 phase of the outermost layer is such that the substrate side is less than the surface side.

本発明によれば、最表層が、TiC相、TiN相およびTiCN相の少なくとも1種と
ともに、Ti相を含有することから、切削する際に接触する被削材との親和性が低く、耐溶着性が高い。しかも、最表層におけるTi相の含有割合が最表層の表面側よりも基体側が少なくなっているので、最表層の硬度は表面側よりも基体側が高くなっているとともに、最表層の表面では高い耐溶着性を発揮できる。そのために、被削材に最初に接触して最も溶着が起きやすい最表層の表面においては耐溶着性に優れるとともに、T
相の含有比率が少ない最表層の基体側においても溶着防止効果は維持される。さらに、最表層の摩耗の進行は遅く、結果的に高い耐摩耗性が長く持続される。
According to the present invention, since the outermost layer contains the Ti 3 O 5 phase together with at least one of the TiC phase, the TiN phase, and the TiCN phase, the affinity with the work material that contacts when cutting is low. High resistance to welding. Moreover, since the content of the Ti 3 O 5 phase in the outermost layer is less on the substrate side than on the surface side of the outermost layer, the hardness of the outermost layer is higher on the substrate side than on the surface side, and the surface of the outermost layer Then, high welding resistance can be exhibited. Therefore, the surface of the outermost layer that is most likely to be welded by first contacting the work material has excellent welding resistance, and T
The effect of preventing welding is maintained even on the substrate side of the outermost layer having a small content ratio of the i 3 O 5 phase. Furthermore, the progress of wear of the outermost layer is slow, and as a result, high wear resistance is sustained for a long time.

本発明の切削工具の好適な実施態様であるインサートの一例について、(a)概略斜視図、(b)被覆層を含む要部拡大断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS About an example of the insert which is a suitable embodiment of the cutting tool of this invention, (a) Schematic perspective view, (b) The principal part expanded sectional view containing a coating layer.

本発明の切削工具の実施態様であるインサートの一例について、図1の概略斜視図および要部拡大断面図を基に説明する。   An example of an insert which is an embodiment of the cutting tool of the present invention will be described based on the schematic perspective view of FIG.

インサート1は、図1(a)に示すように、すくい面2と逃げ面3との交差稜線部が切刃4を構成しているとともに、図1(b)に示すように、基体6の表面に、Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物および炭窒酸化物のうちの1層以上(図1(b)の7〜11)と、α型結晶構造のAl層(以下、単にAl層と略す。)12と、Ti相を含有する最表層14とが順に積層してなる被覆層が設けられている。なお、図1(a)のインサート1は、板状で主面が概略正方形形状からなる。そして、最表層14中のTi相の含有割合が、最表層14の表面側よりも基体側が少ない構成となっている。 In the insert 1, as shown in FIG. 1A, the intersecting ridge line portion of the rake face 2 and the flank 3 constitutes a cutting edge 4, and as shown in FIG. On the surface, one or more layers of Ti carbide, nitride, carbonitride, carbonate, nitride oxide and carbonitride (7 to 11 in FIG. 1 (b)) and Al of α-type crystal structure There is provided a coating layer in which a 2 O 3 layer (hereinafter simply referred to as an Al 2 O 3 layer) 12 and an outermost layer 14 containing a Ti 3 O 5 phase are sequentially laminated. Note that the insert 1 in FIG. 1A has a plate shape and a principal surface having a substantially square shape. In addition, the content ratio of the Ti 3 O 5 phase in the outermost layer 14 is configured to be less on the substrate side than on the surface side of the outermost layer 14.

この構成によって、インサート1が被削材に最初に接触して最も溶着が起きやすい最表層14の表面では高い耐溶着性を発揮できるとともに、最表層14の耐摩耗性は表面側よりも基体側が高くなっている。その結果、耐溶着性に優れるとともに、溶着防止効果が長く維持されるものである。しかも、Ti相は青色を呈するので、最表層14の下層または基体6が黒色の場合には、インサート1を使用したときに最表層14が摩耗して使用済みであることが目視で容易に確認でき、後で見たときにこのインサート1が未使用か使用済みかの判別がつきやすく、また、摩耗の進行度合いも容易に確認できる。 With this configuration, the surface of the outermost layer 14 where the insert 1 first comes into contact with the work material and is most likely to be welded can exhibit high welding resistance, and the wear resistance of the outermost layer 14 is higher on the substrate side than on the surface side. It is high. As a result, the welding resistance is excellent and the effect of preventing welding is maintained for a long time. Moreover, since the Ti 3 O 5 phase exhibits a blue color, when the lower layer of the outermost layer 14 or the substrate 6 is black, it is visually confirmed that the outermost layer 14 is worn and used when the insert 1 is used. It can be easily confirmed, and when viewed later, it can be easily determined whether the insert 1 is unused or used, and the progress of wear can be easily confirmed.

ここで、本実施態様では、最表層14中のTi相の含有割合は、最表層14の表面側から基体側へ向かって漸次少なくなっている。この構成であれば、最表層14の耐溶着性が高く、かつ耐摩耗性および耐欠損性も高い。 Here, in this embodiment, the content ratio of the Ti 3 O 5 phase in the outermost layer 14 gradually decreases from the surface side of the outermost layer 14 toward the substrate side. With this configuration, the outermost layer 14 has high welding resistance, and wear resistance and fracture resistance are also high.

なお、本発明において、最表層14のTi相の含有割合は、最表層14の表面に対して薄膜X線回折測定にて確認することができる。具体的には、X線回折測定で検出される各ピーク強度を合算して分母とし、Ti相に起因するピークのピーク強度を合算して分子として計算することにより、最表層14中のTi相の含有割合を求めることができる。なお、X線回折パターンに下層(例えばAl層等の)のピークが存在する場合には、上記計算には含めない。また、最表層14を斜めに研磨して、研磨量の少ない領域から順にX線回折測定を行えば、最表層14の深さ方向に対するTi相の含有割合を確認することができる。本実施態様では、最表層14の表面におけるTi相の含有比率は20〜40%である。これによって、被削材に対する溶着抑制効果を十分に発揮することができる。 In the present invention, the content ratio of the Ti 3 O 5 phase of the outermost layer 14 can be confirmed by thin film X-ray diffraction measurement with respect to the surface of the outermost layer 14. Specifically, the peak intensities detected by the X-ray diffraction measurement are added together as a denominator, and the peak intensity of the peak due to the Ti 3 O 5 phase is added up and calculated as a numerator. The content ratio of Ti 3 O 5 phase can be determined. Incidentally, when the peak of the lower layer to the X-ray diffraction pattern (e.g., the Al 2 O 3 layer, etc.) is present, it not included in the above calculations. Further, if the outermost layer 14 is polished obliquely and X-ray diffraction measurement is performed in order from a region with a small amount of polishing, the content ratio of the Ti 3 O 5 phase with respect to the depth direction of the outermost layer 14 can be confirmed. In this embodiment, the content ratio of the Ti 3 O 5 phase on the surface of the outermost layer 14 is 20 to 40%. As a result, the effect of suppressing the welding to the work material can be sufficiently exhibited.

ここで、Ti相を含む最表層を成膜によって形成させようとすると、インサート1の切刃部4に集中して成膜される傾向にある。しかしながら、後述する本実施態様のインサート1の成膜方法によれば、Ti相を含む最表層14を均一な厚みで形成することができる。その結果、切刃部4における最表層14の平均厚みtと逃げ面3における最表層14の平均厚みtとの比(t/t)を0.8〜1.2に、かつすくい面2における最表層14の平均厚みtと逃げ面3における最表層14の平均厚みtとの比(t/t)を0.8〜1.2とすることができる。比(t/t)および比(t
/t)がこの範囲であれば、切刃部4、すくい面2および逃げ面3における耐摩耗性と耐欠損性とのバランスが良好である。しかも、この方法によれば、Ti相の含有比率を最表層14の表面側から基体6側に向かって漸次少なくすることができる。
Here, when the outermost layer containing the Ti 3 O 5 phase is formed by film formation, the film tends to be concentrated on the cutting edge portion 4 of the insert 1. However, according to the film forming method of the insert 1 of this embodiment described later, the outermost layer 14 including the Ti 3 O 5 phase can be formed with a uniform thickness. As a result, the ratio (t c / t f ) between the average thickness t c of the outermost layer 14 at the cutting edge portion 4 and the average thickness t f of the outermost layer 14 at the flank 3 is 0.8 to 1.2, and the ratio of the average thickness t f of the outermost layer 14 in the average thickness t r and the flank 3 of the outermost layer 14 on the rake face 2 (t r / t f) may be 0.8 to 1.2. Ratio (t c / t f ) and ratio ( tr
If / t f ) is within this range, the balance between wear resistance and fracture resistance at the cutting edge portion 4, rake face 2 and flank face 3 is good. In addition, according to this method, the content ratio of the Ti 3 O 5 phase can be gradually reduced from the surface side of the outermost layer 14 toward the substrate 6 side.

また、本実施態様では、最表層14が、Ti相に加えてTi相を含有している。これによって、Ti相もTi相と同様に耐溶着性が高いので、インサート1の耐溶着性を高めることができる。本実施態様においては、最表層14の表面におけるTi相の含有比率は5〜25%である。 In the present embodiment, the outermost layer 14 contains a Ti 4 O 7 phase in addition to the Ti 3 O 5 phase. As a result, the Ti 4 O 7 phase has a high welding resistance in the same manner as the Ti 3 O 5 phase, so that the welding resistance of the insert 1 can be increased. In this embodiment, the content ratio of the Ti 4 O 7 phase on the surface of the outermost layer 14 is 5 to 25%.

さらに、本実施態様では、最表層14が、Ti相に加えて、TiC相、TiN相およびTiCN相の少なくとも1種を含有しており、これらの含有比率を調整することに
よって、最表層14の耐摩耗性を高めることができるとともに、インサート1の色を自在に調整することができる。すなわち、TiN相とTi相とが混在すると水色となり、TiC相またはTiCN相とTi相とが混在すると群青色となる。例えば、異なる形状のインサート間で色を変えて目視でインサートの区別を可能とすることができる。
Furthermore, in the present embodiment, the outermost layer 14 contains at least one of a TiC phase, a TiN phase, and a TiCN phase in addition to the Ti 3 O 5 phase, and by adjusting these content ratios, The wear resistance of the surface layer 14 can be increased, and the color of the insert 1 can be freely adjusted. That is, when a TiN phase and a Ti 3 O 5 phase coexist, it becomes light blue, and when a TiC phase or a TiCN phase and a Ti 3 O 5 phase coexist, it becomes a group blue. For example, it is possible to change the color between differently shaped inserts and visually distinguish the inserts.

ここで、本実施態様では、被覆層を平面視したときの最表層14を構成する各粒子の最長長さとそれに直交する方向の粒子の平均幅との比(最長長さ/平均幅)であるアスペクト比の平均値が、表面側よりも基体6側が大きくなっている。すなわち、最表層14の表面側の位置で見た最表層14を構成する粒子の形状が粒状であるのに対して、最表層14の基体6側の位置で見た最表層14を構成する粒子の形状が針状になっている。これによって、最表層14はAl層12との密着性がよい。その結果、最表層14のチッピングを抑制できる。なお、最表層14を構成する粒子の表面から見た形状を表面側と基体6側との間を連続的に確認するには、最表層14を斜めに研磨して、その研磨面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察し、電子後方散乱回折法(EBSD)のカラーマッピングを用いて、被覆層の各結晶の面の配向状態を確認することによって各結晶の輪郭を特定して、被覆層の平面視における最表層14を構成する粒子の平均アスペクト比を、表面側から基体側へ連続的に確認することができる。本実施態様では、被覆層の平面視における最表層14を構成する粒子を平均アスペクト比は、表面側から基体6側に向かって漸次大きくなっている。 Here, in the present embodiment, it is a ratio (longest length / average width) of the longest length of each particle constituting the outermost layer 14 when viewed in plan and the average width of particles in a direction perpendicular thereto. The average value of the aspect ratio is larger on the substrate 6 side than on the surface side. That is, the shape of the particles constituting the outermost layer 14 seen at the surface side position of the outermost layer 14 is granular, whereas the particles constituting the outermost layer 14 seen at the position of the outermost layer 14 on the substrate 6 side. The shape is needle-like. Thus, the outermost layer 14 has good adhesion with the Al 2 O 3 layer 12. As a result, chipping of the outermost layer 14 can be suppressed. In order to continuously confirm the shape viewed from the surface of the particles constituting the outermost layer 14 between the surface side and the substrate 6 side, the outermost layer 14 is polished obliquely and the polished surface is scanned. By observing with an electron microscope (SEM) and using electron backscatter diffraction (EBSD) color mapping, the orientation of each crystal surface of the coating layer is confirmed to identify the contour of each crystal, and the coating The average aspect ratio of the particles constituting the outermost layer 14 in plan view of the layer can be continuously confirmed from the surface side to the substrate side. In this embodiment, the average aspect ratio of the particles constituting the outermost layer 14 in plan view of the coating layer is gradually increased from the surface side toward the substrate 6 side.

また、本実施態様では、最表層14の基体6側よりも表面側が炭素に対する窒素の存在割合が大きくなっている。これによって、最表層14はより明度の高い鮮やかな色を呈し、インサートの使用/未使用を目視で容易に判断することができる。なお、最表層14の炭素に対する窒素の存在割合の分布を確認するには、最表層14を斜めに研磨して、その研磨面で窒素と炭素の含有比率を電子線マイクロアナライザー(EPMA)で確認するか、またはX線光電子分光分析(XPS)にて確認すればよい。本実施態様では、最表層14の基体6側から表面側に向かって炭素に対する窒素の存在割合が漸次大きくなっている。   In the present embodiment, the ratio of nitrogen to carbon is larger on the surface side than on the substrate 6 side of the outermost layer 14. Thereby, the outermost layer 14 exhibits a bright color with higher brightness, and the use / non-use of the insert can be easily determined visually. In addition, in order to confirm the distribution of the ratio of nitrogen to carbon in the outermost layer 14, the outermost layer 14 is polished obliquely, and the content ratio of nitrogen and carbon is confirmed by an electron beam microanalyzer (EPMA) on the polished surface. Or X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). In the present embodiment, the ratio of nitrogen to carbon gradually increases from the substrate 6 side to the surface side of the outermost layer 14.

また、本実施態様では、すくい面2における最表層14の平均厚みが0.2〜1μmであり、表面粗さ(Ra)が0.05〜2μmである。これによって、最表層14の耐溶着性をさらに高めることができ、耐摩耗性および耐チッピング性が高い。   Moreover, in this embodiment, the average thickness of the outermost layer 14 in the rake face 2 is 0.2-1 micrometer, and surface roughness (Ra) is 0.05-2 micrometers. Thereby, the welding resistance of the outermost layer 14 can be further increased, and the wear resistance and chipping resistance are high.

次に、最表層14の下(基体6)側に形成されるAl層12について説明する。本実施態様では、Al層12を構成するAl結晶はα型結晶構造である。また、基体6の表面に対して垂直な方向から見た平均結晶幅が0.05〜0.7μmである。これによって、インサート1の耐摩耗性が高くなる。本実施態様におけるAl層12の平均厚みは3〜10μmである。この厚みであれば、X線回折測定において、Al層12よりも下層のピークは検出されない。 Next, the Al 2 O 3 layer 12 formed below the outermost layer 14 (base 6) will be described. In this embodiment, Al 2 O 3 crystals constituting the the Al 2 O 3 layer 12 is α-type crystal structure. The average crystal width as viewed from the direction perpendicular to the surface of the substrate 6 is 0.05 to 0.7 μm. This increases the wear resistance of the insert 1. The average thickness of the Al 2 O 3 layer 12 in this embodiment is 3 to 10 μm. With this thickness, no lower peak than the Al 2 O 3 layer 12 is detected in the X-ray diffraction measurement.

また、本実施態様では、Al層12の基体6側に、TiC、TiN、TiCN、TiCNO、TiCO、TiNOの群から選ばれる1層以上が設けられる。これによって、Al層12およびその下層によって耐摩耗性および耐欠損性が向上する。本実施態様によれば、具体的な構成として、図1(b)に示すように、基体6の直上には第1層としてTiN層7が設けられ、第2層としてTiCN層8−10が設けられている。本実施態様によれば、TiN層7の平均厚みは0.05〜2μm、TiCN層8−10の平均厚みは合計で3〜15μmである。 In the present embodiment, one or more layers selected from the group of TiC, TiN, TiCN, TiCNO, TiCO, and TiNO are provided on the base 6 side of the Al 2 O 3 layer 12. Thus, the wear resistance and fracture resistance are improved by the Al 2 O 3 layer 12 and its lower layer. According to this embodiment, as a specific configuration, as shown in FIG. 1B, a TiN layer 7 is provided as a first layer and a TiCN layer 8-10 is provided as a second layer immediately above the base 6. Is provided. According to this embodiment, the average thickness of the TiN layer 7 is 0.05 to 2 μm, and the average thickness of the TiCN layer 8-10 is 3 to 15 μm in total.

TiCN層8−10としては、アセトニトリル(CHCN)ガスを原料として含み成膜温度が780〜900℃と比較的低温で成膜した柱状結晶からなる、いわゆるMT−TiCN層8,9と、成膜温度が950〜1100℃と高温で成膜した、いわゆるHT−TiCN層10とが順に成膜された構成からなる。さらに、MT−TiCN層8,9は、平均結晶幅が0.5μm未満と微細な微細柱状結晶からなる微細MT−TiCN層8と、平均結晶幅が0.5〜2μmと比較的大きい粗大柱状結晶からなる粗大MT−TiCN層9との積層からなる。これによって、Al層12との密着力が高まり、被覆層の剥離やチッピングを抑えることができる。 As the TiCN layer 8-10, so-called MT-TiCN layers 8 and 9 made of columnar crystals formed at a relatively low film formation temperature of 780 to 900 ° C. containing acetonitrile (CH 3 CN) gas as a raw material, It has a configuration in which a so-called HT-TiCN layer 10 formed at a high film formation temperature of 950 to 1100 ° C. is formed in order. Further, the MT-TiCN layers 8 and 9 are composed of a fine MT-TiCN layer 8 made of fine fine columnar crystals having an average crystal width of less than 0.5 μm, and a coarse columnar shape having a relatively large average crystal width of 0.5 to 2 μm. It consists of a lamination with a coarse MT-TiCN layer 9 made of crystals. Thereby, the adhesive force with the Al 2 O 3 layer 12 is increased, and peeling and chipping of the coating layer can be suppressed.

また、本実施態様では、HT−TiCN層10の表面に、平均厚み0.05〜0.5μmのTiCNOからなる中間層11が設けられている。これによって、後述する中間層11の表面に平均粒径0.05〜0.7μmのα型結晶構造のAl結晶からなるα型Al層12をより容易に作製することができる。 In this embodiment, an intermediate layer 11 made of TiCNO having an average thickness of 0.05 to 0.5 μm is provided on the surface of the HT-TiCN layer 10. As a result, the α-type Al 2 O 3 layer 12 made of Al 2 O 3 crystals having an α-type crystal structure with an average particle size of 0.05 to 0.7 μm can be more easily produced on the surface of the intermediate layer 11 described later. it can.

なお、各層の厚みおよび各層を構成する結晶の性状は、インサート1の断面における電子顕微鏡写真(走査型電子顕微鏡(SEM)写真または透過電子顕微鏡(TEM)写真)を観察することにより、測定することが可能である。また、本発明においては、被覆層の各層を構成する結晶の結晶形態が柱状であるとは、各結晶の被覆層の厚み方向の長さに対する前記平均結晶幅の比が平均で0.3以下の状態を指す。一方、この各結晶の被覆層の厚み方向の長さに対する前記平均結晶幅の比が平均で0.3を超えるものは、結晶形態が粒状であると定義する。   The thickness of each layer and the properties of the crystals constituting each layer should be measured by observing an electron micrograph (scanning electron microscope (SEM) photograph or transmission electron microscope (TEM) photograph) in the cross section of the insert 1. Is possible. In the present invention, the crystal form of the crystals constituting each layer of the coating layer is columnar. The average ratio of the average crystal width to the length of the coating layer in the thickness direction is 0.3 or less on average. Refers to the state. On the other hand, when the ratio of the average crystal width to the length in the thickness direction of the coating layer of each crystal exceeds 0.3 on average, the crystal form is defined as granular.

一方、インサート1の基体6は、炭化タングステン(WC)と、所望により周期表第4、5、6族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物の群から選ばれる少なくとも1種と、からなる硬質相を、コバルト(Co)やニッケル(Ni)等の鉄属金属からなる結合相にて結合させた超硬合金やTi基サーメット、またはSi、Al、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素(cBN)等のセラミックスが挙げられる。中でも、インサート1を切削工具として用いる場合には、基体6は、超硬合金またはサーメットからなることが耐欠損性および耐摩耗性の点でよい。また、用途によっては、基体6は炭素鋼、高速度鋼、合金鋼等の金属からなるものであっても良い。 On the other hand, the base 6 of the insert 1 is a hard material composed of tungsten carbide (WC) and, if desired, at least one selected from the group consisting of carbides, nitrides, and carbonitrides of Group 4, 5, and 6 metals of the periodic table. Cemented carbide, Ti-based cermet, or Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , diamond, cubic nitridation in which phases are bonded with a binder phase composed of an iron group metal such as cobalt (Co) or nickel (Ni) Ceramics such as boron (cBN) can be used. In particular, when the insert 1 is used as a cutting tool, the base 6 may be made of cemented carbide or cermet in terms of fracture resistance and wear resistance. Depending on the application, the substrate 6 may be made of a metal such as carbon steel, high-speed steel, or alloy steel.

(製造方法)
本実施形態のインサートの製造方法について説明する。
(Production method)
A method for manufacturing the insert of this embodiment will be described.

まず、上述した硬質合金を焼成によって形成しうる金属炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物等の無機物粉末に、金属粉末、カーボン粉末等を適宜添加、混合し、プレス成形、鋳込成形、押出成形、冷間静水圧プレス成形等の公知の成形方法によって所定の工具形状に成形する。その後、得られた成形体を真空中または非酸化性雰囲気中にて焼成することによって上述した基体6を作製する。そして、上記基体の表面に所望によって研磨加工や切刃部のホーニング加工を施す。   First, metal powder, carbon powder, etc. are appropriately added to and mixed with inorganic powders such as metal carbides, nitrides, carbonitrides, and oxides that can be formed by firing the hard alloy described above, press molding, cast molding, A predetermined tool shape is formed by a known forming method such as extrusion molding or cold isostatic pressing. Then, the base body 6 mentioned above is produced by baking the obtained molded object in a vacuum or non-oxidizing atmosphere. Then, polishing or honing of the cutting edge portion is performed on the surface of the base as desired.

次に、得られた基体6の表面に化学気相蒸着(CVD)法によって被覆層を形成する。まず、基体の直上に第1層としてTiN層を形成する。TiN層の成膜条件としては、混合ガス組成として四塩化チタン(TiCl)ガスを0.5〜10体積%、窒素(N)ガスを10〜60体積%の割合で含み、残りが水素(H)ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を800〜940℃(チャンバ内)、圧力を8〜50kPaにて成膜される。 Next, a coating layer is formed on the surface of the obtained substrate 6 by chemical vapor deposition (CVD). First, a TiN layer is formed as a first layer directly on the substrate. The conditions for forming the TiN layer include, as a mixed gas composition, titanium tetrachloride (TiCl 4 ) gas in a ratio of 0.5 to 10% by volume and nitrogen (N 2 ) gas in a ratio of 10 to 60% by volume, with the remainder being hydrogen. Using a mixed gas composed of (H 2 ) gas, the film is formed at a film forming temperature of 800 to 940 ° C. (in the chamber) and a pressure of 8 to 50 kPa.

次に、第2層としてTiCN層を形成する。ここでは、TiCN層が、平均結晶幅が小さい微細柱状結晶層と、この層よりも平均結晶幅が大きい粗柱状結晶層とのMT−TiCN層と、HT−TiCN層との3層にて構成する場合の成膜条件について説明する。   Next, a TiCN layer is formed as a second layer. Here, the TiCN layer is composed of three layers of an MT-TiCN layer of a fine columnar crystal layer having a small average crystal width, a coarse columnar crystal layer having a larger average crystal width than this layer, and an HT-TiCN layer. The film forming conditions for this will be described.

MT−TiCN層のうちの微細柱状結晶層の成膜条件は、四塩化チタン(TiCl)ガスを0.5〜10体積%、窒素(N)ガスを10〜60体積%、アセトニトリル(CHCN)ガスを0.1〜0.4体積%の割合で含み、残りが水素(H)ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を780〜900℃、圧力を5〜25kPaとする。MT−TiCN層のうちの粗柱状結晶層の成膜条件は、四塩化チタン(TiCl)ガスを0.5〜4.0体積%、窒素(N)ガスを10〜40体積%、アセトニトリル(CHCN)ガスを0.4〜2.0体積%の割合で含み、残りが水素(H)ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を780〜900℃、圧力を5〜25kPaとする。 The film formation conditions of the fine columnar crystal layer in the MT-TiCN layer are as follows: titanium tetrachloride (TiCl 4 ) gas is 0.5 to 10% by volume, nitrogen (N 2 ) gas is 10 to 60% by volume, acetonitrile (CH 3 CN) gas in a ratio of 0.1 to 0.4% by volume, and the remaining gas is a hydrogen (H 2 ) gas, the film forming temperature is 780 to 900 ° C., and the pressure is 5 to 25 kPa. . The film formation conditions of the coarse columnar crystal layer in the MT-TiCN layer are as follows: titanium tetrachloride (TiCl 4 ) gas is 0.5 to 4.0 vol%, nitrogen (N 2 ) gas is 10 to 40 vol%, acetonitrile (CH 3 CN) gas is contained at a ratio of 0.4 to 2.0% by volume, and the remaining gas is a hydrogen (H 2 ) gas mixed gas, the film forming temperature is 780 to 900 ° C., and the pressure is 5 to 25 kPa. And

HT−TiCN層は、四塩化チタン(TiCl)ガスを0.1〜4体積%、メタン(CH)ガスを0.1〜10体積%、窒素(N)ガスを5〜25体積%の割合で含み、残りが水素(H)ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を950〜1100℃、圧力を5〜40kPaとして成膜する。 The HT-TiCN layer comprises titanium tetrachloride (TiCl 4 ) gas in an amount of 0.1 to 4% by volume, methane (CH 4 ) gas in an amount of 0.1 to 10% by volume, and nitrogen (N 2 ) gas in an amount of 5 to 25% by volume. The film is formed at a film forming temperature of 950 to 1100 ° C. and a pressure of 5 to 40 kPa, using a mixed gas comprising the hydrogen (H 2 ) gas.

TiCNOからなる中間層は、チャンバ内を950〜1100℃、5〜40kPaとし、四塩化チタン(TiCl)ガスを1〜5体積%、メタン(CH)ガスを4〜10体積%、窒素(N)ガスを10〜30体積%、一酸化炭素(CO)ガスを4〜8体積%、残りが水素(H)ガスからなる混合ガスを調整して、チャンバ内に10〜60分導入して成膜する。なお、このCOガスを含む混合ガスを流す工程を経ることなく中間層を形成することもできるが、α型Al層を構成する結晶を微細なものとするためには、COガスを含む混合ガスを流す工程を経ることが望ましい。 The intermediate layer made of TiCNO is 950 to 1100 ° C. and 5 to 40 kPa in the chamber, 1 to 5% by volume of titanium tetrachloride (TiCl 4 ) gas, 4 to 10% by volume of methane (CH 4 ) gas, nitrogen ( N 2 ) gas is mixed in a volume of 10 to 30% by volume, carbon monoxide (CO) gas is 4 to 8% by volume, and the remainder is hydrogen (H 2 ) gas, and introduced into the chamber for 10 to 60 minutes. To form a film. Note that the intermediate layer can be formed without passing the mixed gas containing CO gas, but in order to make the crystals constituting the α-type Al 2 O 3 layer fine, the CO gas is used. It is desirable to go through a process of flowing the mixed gas containing.

Al層の成膜条件は、三塩化アルミニウム(AlCl)ガスを0.5〜5.0体積%、塩化水素(HCl)ガスを0.5〜3.5体積%、二酸化炭素(CO)ガスを0.5〜5.0体積%、硫化水素(HS)ガスを0〜0.5体積%、残りが水素(H)ガスからなる混合ガスをチャンバ内に導入し、成膜温度を950〜1100℃、圧力を5〜10kPaとして成膜する。 The film formation conditions for the Al 2 O 3 layer are as follows: aluminum trichloride (AlCl 3 ) gas is 0.5 to 5.0% by volume, hydrogen chloride (HCl) gas is 0.5 to 3.5% by volume, carbon dioxide ( A mixed gas composed of 0.5 to 5.0% by volume of CO 2 ) gas, 0 to 0.5% by volume of hydrogen sulfide (H 2 S) gas, and the remaining hydrogen (H 2 ) gas was introduced into the chamber. The film is formed at a film formation temperature of 950 to 1100 ° C. and a pressure of 5 to 10 kPa.

さらに、α型Al層の上層に最表層を形成する。例えば、四塩化チタン(TiCl)ガスを1〜5体積%、窒素(N)ガスを0〜30体積%、アセトニトリル(CHCN)ガスまたはメタン(CH)ガスを0〜1体積%、残りが水素(H)ガスの混合ガスを用いて、成膜温度を900〜1100℃、圧力5〜10Paとして、TiC層、TiN層またはTiCN層のいずれかを成膜する。このとき、窒素(N)ガスを含まないとTiC層が生成する。アセトニトリル(CHCN)ガスまたはメタン(CH)ガスを含まないとTiN層が生成する。それ以外はTiCN層が生成する。これらTiC層、TiN層またはTiCN層のいずれかはすくい面、逃げ面および切刃において厚みの差が20%以内の均一な厚みで成膜される。 Further, an outermost layer is formed on the α-type Al 2 O 3 layer. For example, titanium tetrachloride (TiCl 4 ) gas is 1 to 5% by volume, nitrogen (N 2 ) gas is 0 to 30% by volume, acetonitrile (CH 3 CN) gas or methane (CH 4 ) gas is 0 to 1% by volume. Then, using the mixed gas of hydrogen (H 2 ) gas as the remainder, the film forming temperature is 900 to 1100 ° C., the pressure is 5 to 10 Pa, and any one of the TiC layer, the TiN layer, and the TiCN layer is formed. At this time, a TiC layer is generated if nitrogen (N 2 ) gas is not included. If acetonitrile (CH 3 CN) gas or methane (CH 4 ) gas is not included, a TiN layer is formed. Otherwise, a TiCN layer is generated. Any of these TiC layers, TiN layers or TiCN layers is formed with a uniform thickness within 20% of the rake face, flank face and cutting edge.

その後、二酸化炭素(CO)ガスを2〜20体積%、窒素(N)ガスを80〜95体積%の混合ガスを用いて、チャンバ内の温度を900〜1100℃、圧力5〜10Pa
として、上記表面のTiC層、TiN層またはTiCN層のいずれかの表面を酸化して、TiCN層の一部をTi相に変化させる。この方法によれば、最表層14中のTi相の含有割合を、最表層14の表面側から基体側へ向かって少なくなる構成にできるとともに、切刃部における最表層の平均厚みtと逃げ面における最表層の平均厚みtとの比(t/t)を0.8〜1.2であり、かつすくい面における最表層の平均厚みtと逃げ面における最表層の平均厚みtとの比(t/t)を0.8〜1.2に制御することができる。これによって、切削工具の表面に色ムラが発生することを抑制でき、良好な外観を維持することができる。
Thereafter, using a mixed gas of 2 to 20% by volume of carbon dioxide (CO 2 ) gas and 80 to 95% by volume of nitrogen (N 2 ) gas, the temperature in the chamber is 900 to 1100 ° C., and the pressure is 5 to 10 Pa.
As described above, the surface of any one of the TiC layer, TiN layer, and TiCN layer on the surface is oxidized to change a part of the TiCN layer into a Ti 3 O 5 phase. According to this method, the content ratio of the Ti 3 O 5 phase in the outermost layer 14 can be reduced from the surface side of the outermost layer 14 toward the substrate side, and the average thickness t of the outermost layer in the cutting edge portion. the ratio of the outermost layer with an average thickness t f in c and a flank (t c / t f) the 0.8 to 1.2, and the outermost layer in the average thickness t r and the flank of the outermost layer on the rake face The ratio (t r / t f ) to the average thickness t f can be controlled to 0.8 to 1.2. As a result, the occurrence of color unevenness on the surface of the cutting tool can be suppressed, and a good appearance can be maintained.

その後、所望により、成膜された切削工具の最表層の表面から研磨加工を施す。これによって、最表面の表面粗さを小さくして、最表層の耐溶着性をさらに向上させることができる。   Then, if desired, polishing is performed from the surface of the outermost layer of the formed cutting tool. Thereby, the surface roughness of the outermost surface can be reduced, and the welding resistance of the outermost layer can be further improved.

平均粒径1.5μmの炭化タングステン(WC)粉末に対して、平均粒径1.2μmの金属コバルト(Co)粉末を6質量%の割合で添加、混合して、プレス成形により切削工具形状(CNMG120412)に成形した。得られた成形体について、脱バインダ処理を施し、0.5〜100Paの真空中、1400℃で1時間焼成して超硬合金を作製した。さらに、作製した超硬合金に対して、ブラシ加工にてすくい面側について刃先処理(Rホーニング)を施した。   A metal cobalt (Co) powder with an average particle diameter of 1.2 μm is added to and mixed with tungsten carbide (WC) powder with an average particle diameter of 1.5 μm at a ratio of 6% by mass, and the cutting tool shape ( CNMG120412). The obtained compact was subjected to a binder removal treatment and fired at 1400 ° C. for 1 hour in a vacuum of 0.5 to 100 Pa to produce a cemented carbide. Furthermore, the cutting edge processing (R honing) was performed on the rake face side by brush processing on the manufactured cemented carbide.

次に、上記超硬合金に対して、CVD法により各種の被覆層を表1に示す成膜条件、および表2に示す層構成にて形成した。そして、被覆層の表面、すなわち最表層の表面をブラシ加工した。   Next, various coating layers were formed on the cemented carbide by the CVD method under the film forming conditions shown in Table 1 and the layer configuration shown in Table 2. The surface of the coating layer, that is, the surface of the outermost layer was brushed.

得られたインサートについて、すくい面の被覆層について走査型電子顕微鏡観察を行い、各層を構成する結晶の形状、平均粒径(または平均結晶幅)、平均厚みを見積もった。なお、表2中、被覆層の各層を構成する結晶の結晶形態が柱状であるとは、各結晶の被覆層の厚み方向の長さに対する前記平均結晶幅の比(平均結晶幅/厚み方向の長さ)が平均で0.3以下の状態を示し、この各結晶の被覆層の厚み方向の長さに対する前記平均結晶幅の比(平均結晶幅/厚み方向の長さ)が平均で0.3を超えるものは結晶形態が粒状であることを示している。例えば、表2の試料No.1において、第1層を構成する結晶は、被覆層の厚み方向の長さに対する平均結晶幅の比が平均で0.3を超えるものであり、
粒状結晶が第1層の厚み方向に複数個存在する構造となっている。また、第2層を構成する結晶は、被覆層の厚み方向の長さに対する平均結晶幅の比が平均で0.3以下であることを示している。
With respect to the obtained insert, the coating layer on the rake face was observed with a scanning electron microscope, and the shape, average particle diameter (or average crystal width), and average thickness of crystals constituting each layer were estimated. In Table 2, that the crystal form of the crystals constituting each layer of the coating layer is columnar means that the ratio of the average crystal width to the length in the thickness direction of the coating layer of each crystal (average crystal width / thickness direction). (Length) is 0.3 or less on average, and the ratio of the average crystal width to the length in the thickness direction of the coating layer of each crystal (average crystal width / length in the thickness direction) is 0.00 on average. Those exceeding 3 indicate that the crystal form is granular. For example, sample no. 1, the crystal constituting the first layer has an average ratio of the average crystal width to the length in the thickness direction of the coating layer exceeding 0.3 on average.
A plurality of granular crystals exist in the thickness direction of the first layer. Further, the crystals constituting the second layer indicate that the ratio of the average crystal width to the length in the thickness direction of the coating layer is 0.3 or less on average.

また、被覆層の表面である最表層の表面粗さを触針式の表面粗さ計で測定した。さらに、最表層のX線回折測定にて、最表層の構成成分とその含有割合を算出した。また、被覆層を斜めに研磨して、最表層の深さ方向に対する各構成成分の含有割合の変化を測定した。最表層を研磨していない表面、および斜め研磨面で最表層の基体から1/3の厚みの位置におけるTiの含有割合を、表面側Ti、基体側Ti5、Tiの含有割合を、表面側Ti、基体側Tiと表記した。試料No.1〜4については、いずれもTiの含有割合が表面側から基体側に漸次減少していることを確認した。また、最表層のすくい面、逃げ面および切刃における平均厚みを測定した。表中、それぞれすくい面厚み、逃げ面厚み、切刃厚みと表記した。さらに、最表層14を斜めに研磨して、その研磨面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察し、電子後方散乱回折法(EBSD)のカラーマッピングを用いて、被覆層の各結晶の面の配向状態を確認することによって各結晶の輪郭を特定して、被覆層を平面視したときの最表層を構成する粒子の平均アスペクト比について、表面側から基体側への変化を確認した。また、電子線マイクロアナライザ(EPMA)にて、最表層の基体側から表面側への炭素に対する窒素の存在割合の変化を確認した。平均アスペクト比の表面側から基体側への変化については、基体側アスペクト比と表記し、炭素に対する窒素の存在割合の変化については表面側CN比と表記した。結果は表2〜4に示した。 Further, the surface roughness of the outermost layer, which is the surface of the coating layer, was measured with a stylus type surface roughness meter. Furthermore, the constituent component and the content ratio of the outermost layer were calculated by X-ray diffraction measurement of the outermost layer. Moreover, the coating layer was grind | polished diagonally and the change of the content rate of each structural component with respect to the depth direction of outermost layer was measured. The content ratio of Ti 3 O 5 at the position where the surface of the outermost layer is not polished and the thickness of 1/3 of the surface of the outermost layer on the obliquely polished surface is the surface side Ti 3 O 5 , the substrate side Ti 3 O 5, the content of Ti 4 O 7, surface Ti 4 O 7, was referred to as substrate-side Ti 4 O 7. Sample No. Regarding 1 to 4, it was confirmed that the content ratio of Ti 3 O 5 gradually decreased from the surface side to the substrate side. Moreover, the average thickness at the rake face, flank face and cutting edge of the outermost layer was measured. In the table, the rake face thickness, the flank face thickness, and the cutting edge thickness were respectively indicated. Further, the outermost layer 14 is polished obliquely, the polished surface is observed with a scanning electron microscope (SEM), and the surface of each crystal of the coating layer is subjected to electron backscatter diffraction (EBSD) color mapping. By confirming the orientation state, the contour of each crystal was specified, and the change from the surface side to the substrate side was confirmed with respect to the average aspect ratio of the particles constituting the outermost layer when the coating layer was viewed in plan. Further, an electron beam microanalyzer (EPMA) was used to confirm a change in the ratio of nitrogen to carbon from the substrate side to the surface side of the outermost layer. The change of the average aspect ratio from the surface side to the substrate side was expressed as the substrate side aspect ratio, and the change in the ratio of nitrogen to carbon was expressed as the surface side CN ratio. The results are shown in Tables 2-4.

次に、このインサートを用いて以下2つの切削条件にて切削試験を行った。結果は表4に示した。
(摩耗評価)
切削方法:旋削加工
被削材 :SCM415
切削速度:300m/分
送り :0.35mm/rev
切り込み:2.0mm
切削状態:湿式
評価方法:フランク摩耗が0.3mm以上となる時間(表中、摩耗評価寿命と記載。)とそのときの切刃の状態
(断続評価)
切削方法:旋削加工
被削材 :SCM440(4本溝入り)
切削速度:300m/分
送り :0.35mm/rev
切り込み:1.5分
切削状態:湿式
評価方法:切刃が欠損するまでの衝撃回数(表中、断続評価寿命と記載。)
Next, a cutting test was performed using the insert under the following two cutting conditions. The results are shown in Table 4.
(Abrasion evaluation)
Cutting method: Turning work material: SCM415
Cutting speed: 300 m / min Feed: 0.35 mm / rev
Cutting depth: 2.0mm
Cutting state: Wet evaluation method: Time for flank wear to be 0.3 mm or more (indicated in the table as wear evaluation life) and the state of the cutting edge at that time (intermittent evaluation)
Cutting method: Turning work material: SCM440 (with 4 grooves)
Cutting speed: 300 m / min Feed: 0.35 mm / rev
Cutting: 1.5 minutes Cutting state: Wet evaluation method: Number of impacts until the cutting edge is broken (in the table, described as intermittent evaluation life)

表1〜4に示される結果から、最表層にTi相がない試料No.5では、最表層の耐溶着性が不十分であった。また、成膜によって最表層にTi相を生成させて、最表層のTi相の含有割合が、表面側と基体側とで同じである試料No.6では、最表層の摩滅が早くて、工具寿命が短かった。これに対し、本発明の範囲内である試料No.1〜4、7では、耐溶着性が高く、工具寿命が長くなる傾向にあった。 From the results shown in Tables 1 to 4, Sample No. having no Ti 3 O 5 phase on the outermost layer was obtained. In No. 5, the welding resistance of the outermost layer was insufficient. In addition, a Ti 3 O 5 phase was generated in the outermost layer by film formation, and the content ratio of the Ti 3 O 5 phase in the outermost layer was the same on the surface side and the substrate side. In No. 6, the outermost layer was worn quickly and the tool life was short. On the other hand, sample No. which is within the scope of the present invention. In 1-4 and 7, the welding resistance was high and the tool life tended to be long.

1 インサート
2 すくい面
3 逃げ面
4 切刃部
6 基体
7 TiN層
8、9 MT−TiCN層
10 HT−TiCN層
11 中間層
12 Al
14 最表層
1 insert 2 rake face 3 flank face 4 the cutting edge 6 base 7 TiN layer 8, 9 MT-TiCN layer 10 HT-TiCN layer 11 intermediate layer 12 Al 2 O 3 layer 14 outermost layer

Claims (5)

基体の表面に多層からなる被覆層を設けており、前記被覆層の最表層が、TiC相、TiN相およびTiCN相の少なくとも1種と、Ti相とを含有するとともに、前記
最表層の前記Ti相の含有割合が、表面側よりも基体側が少ない切削工具。
A coating layer composed of multiple layers is provided on the surface of the substrate, and the outermost layer of the coating layer contains at least one of a TiC phase, a TiN phase and a TiCN phase, and a Ti 3 O 5 phase, and the outermost layer A cutting tool in which the content of the Ti 3 O 5 phase is less on the substrate side than on the surface side.
切刃部における前記最表層の平均厚みtと逃げ面における前記最表層の平均厚みtとの比(t/t)が0.8〜1.2であり、かつすくい面における前記最表層の平均厚みtと前記逃げ面における前記最表層の平均厚みtとの比(t/t)が0.8〜1.2である請求項1記載の切削工具。 The ratio (t c / t f ) between the average thickness t c of the outermost layer at the cutting edge part and the average thickness t f of the outermost layer at the flank is 0.8 to 1.2, and the ratio at the rake face is the cutting tool of claim 1 wherein the ratio of the outermost layer of average thickness t f (t r / t f ) is 0.8 to 1.2 in the flank face and the average thickness t r of the outermost layer. 前記最表層が、前記Ti相に加えて、Ti相を含有する請求項1または2記載の切削工具。 The cutting tool according to claim 1, wherein the outermost layer contains a Ti 4 O 7 phase in addition to the Ti 3 O 5 phase. 前記被覆層の平面視における前記最表層を構成する粒子の平均アスペクト比は、前記表面側よりも前記基体側が大きい請求項1乃至3のいずれか記載の切削工具。   The cutting tool according to any one of claims 1 to 3, wherein an average aspect ratio of particles constituting the outermost layer in a plan view of the coating layer is larger on the base side than on the surface side. 前記最表層の基体側よりも表面側が炭素に対する窒素の存在割合が大きい請求項1乃至4のいずれか記載の切削工具。   The cutting tool according to any one of claims 1 to 4, wherein the surface side of the outermost layer has a larger proportion of nitrogen to carbon on the surface side.
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