JP6049636B2 - 粒子モニター装置及び方法 - Google Patents

Description

本発明は、粒子をモニターする装置であって、特に独立請求項１の導入部分に記載された装置に関するものである。さらに、本発明は、粒子センサのイオン・トラップ機構であって、より詳細には、独立請求項１８の導入部分に記載されたイオン・トラップ機構に関するものである。また、本発明は、粒子センサをモニターする方法であって、より詳細には、独立請求項２７の導入部分に記載された方法に関するものである。さらに、本発明は、請求項３０に記載された使用にも関するものである。

多くの工業プロセス及び燃焼プロセスでは１〜１０００ｎｍの直径の微粒子が形成され、様々な理由によって、こうした微粒子の測定が行われる。微粒子の測定は、健康に影響を与える可能性があるために、また燃焼機関、特にディーゼル機関の動作などの、工業プロセス及び燃焼プロセスの動作をモニターするために実施されることがある。微粒子をモニターする他の理由は、工業プロセスにおけるナノサイズ粒子の使用及び生産が増加していることである。上記理由により、信頼性のある微粒子測定の設備及び方法が求められている。

微粒子測定の１つの従来技術の方法及び装置が、国際公開第２００９／１０９６８８号に記載されている。この従来方法では、清浄な本質的に粒子を含まないガスが装置に供給され、入口チャンバから、装置内部に設けられたエゼクタに、主流として方向付けられる。さらに、清浄なガスは、入口チャンバに供給される前及び供給されている間にイオン化される。イオン化された清浄なガスは、音速又は音速に近い速度でエゼクタへ送られることが好ましい。清浄なガスのイオン化は、例えばコロナ帯電器を用いて行うことができる。入口チャンバは、微粒子を有するエアロゾルを含む経路又は空間と流体連通するように配置されたサンプル入口をさらに備える。清浄なガスの流れ及びエゼクタにより、サンプル入口で吸引が生じ、それにより、サンプルのエアロゾルの流れがダクト又は空間から入口チャンバまで形成される。したがって、サンプルのエアロゾルの流れは、エゼクタへの側流として形成される。イオン化された清浄なガスは、粒子の少なくとも一部を帯電させる。帯電した粒子はさらに、エアロゾルを含むダクト又は空間に戻るように導かれることができる。したがって、エアロゾルのサンプルの微粒子は、荷電粒子によって運ばれる電荷モニターによってモニターされる。さらに、自由イオンは、エゼクタの下流に配置されたイオン・トラップを用いて除去される。しかしながら、国際公開第２００９１０９６８８号は、エアロゾルの流れに関連するイオン・トラップの有利な実施例について記載していない。

２００６年７月１９日公開のＭａｔｔｅｒ・Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ・ＡＧの欧州特許出願公開第１６８１５５１号は、余分なイオンがイオン・トラップによって除去される、エアロゾルのモニター装置を記載している。イオン・トラップは、イオンを堆積させるのに十分な高い電圧をかけられたロッドとできる。荷電粒子は、移動性が低いために堆積されない。この文献は、ロッド状のイオン・トラップについて記載しているが、イオン・トラップ内のエアロゾルの流れを、イオン・トラップ内のエアロゾルの流れの方向が変わるように案内することの利点は記載していない。

微粒子モニター装置に対する１つの重要な要求は、メンテナンスが不要で、長期間動作させることのできる信頼性のある動作である。燃焼機関の微粒子のモニターなど多くの用途では、微粒子の測定をリアルタイムで実施するために、モニター装置を絶えず動作させることが可能であることも好ましい。さらに、多くの場合において、微粒子モニター装置は、粒子測定装置のために限られた空間しかない既存のシステムに取り付けなければならない。通常、産業システム、燃焼システム又は他のエアロゾルを含むシステムは、できるだけコンパクトに設計される。したがって、微粒子測定装置も小型にしなければならない。

国際公開第２００９／１０９６８８号 欧州特許出願公開第１６８１５５１号明細書

本発明の目的は、従来技術の欠点を克服する装置及び機構を提供することである。

本発明の目的は、請求項１の特徴部分に記載された装置によって達成される。この装置は、エゼクタから出たエゼクタ流の方向を変えるために、エゼクタの本質的に下流に流れガイド機構を備える。さらに、本発明の目的は、請求項１８の特徴部分に記載されたイオン・トラップ機構によって達成される。このイオン・トラップ機構は、エゼクタ流の方向を変えるように配置される。本発明の目的は、請求項２７の特徴部分に記載された方法によっても達成される。この方法は、エゼクタから出たエゼクタ流の方向を変えることを含む。

本発明の好ましい具体例は、従属請求項に開示される。

本発明は、エゼクタから出たエゼクタ流を、エゼクタ内での流れの方向に対して横断する方向に案内するという考えに基づいている。換言すれば、エゼクタ流は、エゼクタの下流で少なくとも部分的に折り曲げられた流路へ向けられる。これは、エゼクタ流の流れの方向を、エゼクタの軸線方向に対して少なくとも部分的に半径方向に向けることが可能であることを意味する。本発明の装置は、エゼクタから出たエゼクタ流の方向を変えるために、流れガイド機構を備える。流れガイド機構は、エゼクタ下流のエゼクタ流を案内するように配置された、１つ又は複数の流れガイドを備えることができる。好ましい具体例では、粒子に付着されない自由イオンをエゼクタ流から除去するために、流れガイドの少なくとも１つがイオン・トラップとして設けられる。流れガイド機構の少なくとも一部を形成するイオン・トラップは、閉じた底部、底部から延びる１つ又は複数の側壁、及び開いた前壁を備えるカップ状の流れガイドの形の１つ又は複数の流れガイドを含むことができる。カップ状の流れガイドは、エゼクタ流の方向を変えるために、エゼクタ流を開いた前壁を介して受け入れるように配置することができる。

本発明は、エゼクタの下流にあるイオン・トラップ・チャンバでのエゼクタ流の流路を、少なくとも部分的に折り曲げられた流路として形成することができるという利点を有する。エゼクタの下流のイオン・トラップ・チャンバの折り曲げられたエゼクタ流の流路によって、エゼクタ流がイオン・トラップのイオン・トラップ電圧を受ける時間を短くすることなく、イオン・トラップ・チャンバを粒子モニター装置及びエゼクタの軸線方向に短縮することが可能になる。これは、エゼクタ流が少なくとも部分的にイオン・トラップのまわりを流れるように、エゼクタ流を少なくとも部分的に折り曲げられた流路に案内することによって行われる。換言すれば折り曲げられたエゼクタ流流路によって、エゼクタ流がイオン・トラップにかけられる時間を増やすことが可能になる。したがって、エゼクタ流がイオン・トラップにかけられる時間が増えることにより、イオン・トラップ・チャンバの寸法を短くすることが可能になる。

以下では、本発明を、添付図面を参照しながら好ましい実施例に関してさらに詳しく説明する。

粒子モニターの従来装置の概略図。 本発明による粒子モニター装置の一実施例の概略図。 本発明による粒子モニター装置の他の実施例の概略図。 本発明による粒子モニター装置のさらに他の実施例を示す図。 図４の装置の詳細図。 図４及び図５の装置の細部を示す図。 図４及び図５の装置の細部を示す図。 本発明による装置の代替的実施例を示す図。 本発明による装置の代替的実施例を示す図。 本発明による装置の代替的実施例を示す図。 本発明による装置の代替的実施例を示す図。 本発明による装置の代替的実施例を示す図。

図１は、粒子をモニターする従来技術の装置１の一実施例を示している。装置１は、粒子を含むエアロゾルが導かれる空間を形成する測定ハウジング１７を備える。サンプルのエアロゾルの流れＡは、エアロゾル内の粒子をモニター又は測定するために、経路、ダクト又はエアロゾルを含む空間から測定ハウジング１７の内部に案内される。装置１は、内部にエアロゾルの流れＦが存在するエアロゾル・ダクト１１に接続される。したがって、装置１は、エアロゾルの流れＦの中の微粒子又は粒子をモニターするように配置される。エアロゾル・ダクト１１は、燃焼機関等の排気ダクトとすることができる。或いは、エアロゾル・ダクト１１は、エアロゾルを含む任意の空間、又はエアロゾルの流れＦを有する任意のダクト若しくは経路とすることができる。空間はエアロゾルの流れを含むことができるが、装置は、実質的に動かないエアロゾルの粒子、例えば屋内の空気の粒子をモニターするように配置することもできる。

装置１は、サンプルのエアロゾルの流れＡを装置１内へ案内するためのサンプル入口２を備える。サンプル入口２は、エアロゾル・ダクト１１及び装置１の測定ハウジング１７の内部と流体連通する。装置１は、分析されたサンプルのエアロゾルの流れＢが測定ハウジング１７及び装置１から排出されるサンプル出口１０も備えることが好ましい。図１の実施例では、分析されたサンプルのエアロゾルの流れＢは、エアロゾル・ダクト１１へ戻される。サンプル出口１０は、分析されたサンプルのエアロゾルの流れＢを、周囲の大気又はいくつかの他の場所、例えば容器へ直接導くように配置することもできる。したがって、装置１は、エアロゾル・ダクト１１から受け入れられたサンプルのエアロゾルＡを必ずしも収集又は蓄積しない。代替的実施例において、装置は、１つ又は複数のサンプル入口を含むサンプル入口機構２を備えることもできる。さらに装置は、１つ又は複数のサンプル出口を含むサンプル出口機構１０を備えることもできる。

装置１は入口チャンバ４を備え、サンプル入口２は、エアロゾル・ダクト１１と入口チャンバ４との間に流体連通を形成するように配置される。装置は、清浄な粒子を含まないガスＣを入口チャンバ４に供給するためのガス供給部をさらに備える。ガス供給部はガス供給接続部１８を備え、それを介して清浄なガスをガス源１９から供給できる。加圧されたガスの粒子濃度が、サンプルのエアロゾルの流れＡの粒子濃度よりも著しく低くなるように、ガスは、ガスから粒子を本質的に除去するためにフィルタなどで清浄化することができる。清浄なガスは、空気又はいくつかの他の適切なガスとすることができる。清浄なガスはさらに、入口チャンバ４に送り込む前に調整することもできる。調整は、ガスの冷却又は加熱、並びに流量調節器によるガスの流速及び体積の調節を含むことができる。次いで清浄なガスは、ガス供給接続部１８を通して測定装置１へ送られる。

装置１は、清浄なガスを装置１の入口チャンバ４へ送る、清浄なガスの供給経路１６をさらに備える。清浄なガスの供給経路１６は、ガス供給経路１８と流体連通し、入口チャンバ４に通じるノズル・ヘッド６を備える。装置は、清浄なガスをノズル・ヘッド６から入口チャンバ４に送る前又は送っている間に清浄なガスの少なくとも一部をイオン化するイオン化デバイス１４をさらに備える。図１の実施例において、イオン化デバイス１４は、清浄なガスの供給経路１６に対して配置される。図１の実施例において、イオン化デバイスは、清浄なガスの供給経路１６内を延びるコロナ針１４である。イオン化デバイス１４は、清浄なガスをイオン化するのに適した他の種類のデバイスでもよい。ノズル・ヘッド６及びコロナ針１４は、コロナ針１４が本質的にノズル・ヘッド６の近くに延びるように配置されることが有利である。このことは、コロナ針１４を清浄な状態に保つことを助け、イオン生成を促進させる。コロナ針１４を通る清浄なガスの流れは、コロナ針を清浄な状態に保つ。コロナ針１４は、１つ又は複数の電気絶縁体３５によって、清浄なガスの流れの経路の壁及び装置１の本体１７から分離される。ガス供給経路１６の壁は、コロナ針１４と同じポテンシャルであることが好ましい。これまでの記載によれば、ガス供給経路１６は、本質的に粒子を含まないイオン化されたガスの流れＣを入口チャンバ４に供給するように配置される。

装置はエゼクタ２４をさらに備える。エゼクタ２４は、先細末広の（ｃｏｎｖｅｒｇｉｎｇ−ｄｉｖｅｒｇｉｎｇ）流れの経路、すなわちエゼクタ２４のスロート８を形成する先細末広のノズル２４を含む。エゼクタ２４は、主流の運動量を利用して側流の流れを吸引するポンプ状の装置である。主流の流れ及び側流の流れは、エゼクタ２４内で少なくとも部分的に混合される。エゼクタ２４のスロート８を通過した後、混合された流体が広がり、速度が低減し、それによって運動エネルギーを変換して圧力エネルギーに戻す。代替的実施例において、装置は、１つ又は複数の清浄なガスの供給経路１６、コロナ針１４及びエゼクタ２４を備えることもできる。図１の実施例において、ノズル６から放出された本質的に粒子を含まないイオン化されたガスの流れＣは、主流としてエゼクタ２４のスロート８へ送られる。したがって、清浄なガスの供給経路１６及びノズル・ヘッド６は、本質的に粒子を含まないガスの流れＣを高速でスロート８に送るように配置される。本質的に粒子を含まないガスの流れＣの速さは、音速又は音速に近いことが好ましい。エゼクタ２４において、本質的に粒子を含まないガスの流れＣは、サンプルのエアロゾルの流れＡを入口チャンバ４に吸い込むことができるように、サンプル入口２からの吸引を生じさせる。サンプルのエアロゾルの流れＡは、エゼクタ２４の側流を形成する。サンプルのエアロゾルの流れＡの流量は、本質的にエゼクタ２４の形状、及び本質的に粒子を含まないイオン化されたガスの流れＣの流量のみに依存する。好ましい実施例において、主流Ｃと側流Ａの比は小さく、好ましくは１：１よりも小さく、より好ましくは１：３よりも小さい。これまでの記載によれば、サンプルのエアロゾルの流れＡを装置１に積極的に送り込む必要はなく、清浄なガスの供給及びエゼクタ２４によって吸引することができる。

本質的に粒子を含まないイオン化されたガスの流れＣとサンプルのエアロゾルの流れとは、入口チャンバ４及びエゼクタ２４で混合され、サンプルのエアロゾルの流れＡの粒子がイオン化された清浄なガスの流れＣによって混合の間に帯電される。本質的に粒子を含まないイオン化されたガスの流れＣとサンプルのエアロゾルの流れＡとは共に、エゼクタ２４から、特にエゼクタ２４のスロート８から放出されるエゼクタ流Ｊを形成する。装置１は、測定ハウジング１７内にイオン・トラップ・チャンバ２２をさらに備える。イオン・トラップ・チャンバ２２は、サンプルのエアロゾルの流れＡの粒子に付着されないイオンを除去するためにイオン・トラップ１２を備える。イオン・トラップ１２は、言及した自由イオンを除去するための回収電圧を有することができる。自由イオンをトラップするために用いられる電圧は、装置１の設計パラメータに依存するが、通常、イオン・トラップ１２の電圧は１０ｖ〜３０ｋＶである。イオン・トラップ１２の電圧は、凝縮核モードの粒子又は凝集モードの最小粒子をも除去するように調節することも可能である。代替的実施例において、イオン・トラップ１２は、粒子に付着されないイオンを、電場、磁場、拡散又はそれらの組み合わせによってエゼクタ流Ｊから除去するように配置される。

混合されたサンプルのエアロゾル及び本質的に清浄なガス、すなわちエゼクタ流Ｊは、サンプルのエアロゾルのイオン化された粒子と一緒に、出口１０を通って装置１から放出される。出口１０は、放出流Ｂを装置１から排出するために、イオン・トラップ・チャンバ２２と流体連通するように設けられる。出口１０は放出流Ｂを、エアロゾル・ダクト１１に戻すか、又は周囲大気若しくはいくつかの他の場所に供給するように配置することができる。

エアロゾル・ダクト１１内のエアロゾルＦの粒子は、サンプルのエアロゾルの流れＡの荷電粒子によって運ばれる電荷を測定することによりモニターされる。好ましい実施例において、エアロゾルＦの粒子は、出口１０を通過するエゼクタ流Ｊを用いて、荷電粒子と共に装置１から流出する電荷を測定することによってモニターされる。荷電粒子によって運ばれる電荷の測定は、多くの代替的な方法によって測定することができる。一実施例において、荷電粒子によって運ばれる電荷は、サンプル出口１０から流出する正味電流を測定することによって測定される。通常はｐＡレベルの小さい電流の測定を可能にするために、装置１全体が周囲のシステムから分離される。図１において、装置１は、装置１をダクト１１から絶縁するための取り付け式の絶縁体１３を備える。分離された装置１（すなわち、測定ハウジング１７の壁の中の点）と周囲のシステムの接地点との間に、電位計３４を設けることができる。こうした種類の構成によって、電位計３４は、分離された装置１からイオン化された粒子と共に流出する電荷を測定することが可能になる。換言すれば、こうした種類の構成は、流出する電流を測定する。

図１は、装置１から流出する電流を測定することによって粒子をモニターする一実施例を示している。流出する電流は、電気的機構３０を用いて測定される。電気的機構３０は、高い電圧をイオン化デバイス１４に供給するためにイオン化デバイス１４に接続された高電圧源３６を備える。高電圧源３６は、絶縁変圧器３８及び電気絶縁体３５によって他のシステムから電気的に分離される。イオン化デバイス１４は、ガス経路１６の壁と同じ電気ポテンシャルである。電気的機構３０は、イオン化デバイス１４と、測定ハウジング１７の壁とガルバニック接触を有する点との間に組み立てられた電位計３４をさらに備える。高電圧源３６の第１の接点はイオン化デバイス１４に接続され、第２の接点は電位計３４の第１の入力部に接続される。電位計３４の第２の入力部は、測定ハウジング１７の壁及びイオン・トラップ１２に接続される。こうした種類の電気的機構３０によって、電位計３４は、イオン化された粒子と共にイオン・トラップ・チャンバ２２及び装置１から流出する電荷を測定し、例えば流出する電流を測定する。

イオン・トラップ１２は、装置１から流出する自由イオンを妨げる。イオン・トラップ１２は、イオン・トラップ導体（図１には示さず）を介して回収電圧の供給源３６に接続される。従来技術では、イオン・トラップ１２は、網状の電極又はプレート状の電極として設けられる。図１は、自由イオンをエゼクタ流Ｊから除去するためにイオン・トラップ１２がエゼクタ２４の下流に配置されたプレート型機構である従来技術の一実施例を示している。イオン・トラップ１２は、回収電圧の供給源３６に接続される。代替的実施例において、イオン・トラップは、粒子に付着されないイオンを、電場、磁場、拡散又はそれらの組み合わせによってエゼクタ流Ｊから除去するように配置することができる。

図１に示すように、エゼクタ流Ｊは、エゼクタ２４から、エゼクタ又はエゼクタ２４のスロート８の軸線方向に放出される。エゼクタ２４の軸線方向とは、エゼクタ２４の平均の軸線方向である。この文脈において、エゼクタ２４から放出されるエゼクタ流Ｊの方向が、エゼクタ２４の軸線方向である。実際には、エゼクタ流は、エゼクタ２４から放出されるときに広がるが、エゼクタ流Ｊの平均の方向は、エゼクタ２４の軸線方向と本質的に平行である。図１は、イオン・トラップ・チャンバ２２の従来技術の機構を示している。エゼクタ流Ｊは、矢印Ｄによって示すように、イオン・トラップ・チャンバ２２の中でエゼクタ２４の軸線方向の方向に流れ続ける。イオン・トラップ１２は、自由イオンをエゼクタ流Ｊから効率的に除去するために、実質的にエゼクタ１２の軸線方向に延びるように配置される。換言すれば、イオン・トラップ１２は、エゼクタ流Ｊとイオン・トラップ１２との間に十分な接触時間を与え、自由イオンをエゼクタ流Ｊから効率的に除去できるようにするために、エゼクタ２４から放出されたエゼクタ流Ｊの流れの方向に広がるように配置される。この従来技術のイオン・トラップ機構の欠点は、長いイオン・トラップ・チャンバ２２を必要とし、装置の外形寸法が大きくなることである。

図２は、本発明による装置１の一実施例を示している。装置は、動作原理の点において、図１の装置と同じにすることができる。分かりやすくするために、電気的機構は図２及び図３から省いてある。経路１１の中の粒子をモニターするための図２の装置１は、エゼクタ２４と、本質的に粒子を含まないガスの流れＣをエゼクタ２４へ送るように配置されたガス供給部６、１６、１８と、サンプルのエアロゾルの流れＡを、ガス供給部６、１６、１８及びエゼクタ２４による吸引によって、経路１１からエゼクタ２４に供給するように配置されたサンプル入口機構２とを備える。装置１は、エゼクタ２４から放出されたエゼクタ流Ｊの方向を変えるために、エゼクタ２４の本質的に下流に流れガイド機構をさらに備える。図２の実施例において、流れガイド機構は、エゼクタ２４の下流のイオン・トラップ・チャンバ２２に配置された流れガイド５０を備える。流れガイド５０は、エゼクタ流Ｊの流れの方向を変えるように配置されたガイド・プレート又はいくつかの他の機械的部品とすることができる。流れガイド機構は、２つ以上の別個の流れガイド５０を備えることもできる。

図２に示すように、流れガイド５０は、エゼクタ流Ｊを、矢印Ｅの方向にイオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５の方へ向ける。次いで、エゼクタ流Ｊは、イオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５と流れガイド５０との間を流れる。イオン・トラップ・チャンバ２２は、イオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５から延びるイオン・トラップ１２をさらに備える。イオン・トラップ１２は、エゼクタ流Ｊをイオン・トラップ・チャンバ２２内に案内するための第２の流れガイドを形成するように配置される。流れガイド５０及びイオン・トラップ１２は、エゼクタ流Ｊを、矢印Ｆの方向に側壁１５の反対側の部分の方へ向けるように配置される。イオン・トラップ１２はさらに、エゼクタ流Ｊを、矢印Ｇの方向にイオン・トラップ１２とイオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５との間に、さらにイオン・トラップ１２とイオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１との間の出口１０へ向けるように配置される。これまでの記載及び図２によれば、流れガイド機構は流れガイド５０を備え、イオン・トラップ１２は、エゼクタ流Ｊに少なくとも部分的に折り曲げられた流路を形成するように配置される。折り曲げられた流路とは、イオン・トラップ・チャンバ２２内のエゼクタ２２と出口１０との間のエゼクタ流Ｊの流路が、エゼクタ２４の軸線方向から曲げられること、ジグザグになること又は往復することを意味する。流れガイド機構は、エゼクタ流Ｊにとって、エゼクタ２４の軸線方向に対して少なくとも部分的に横断する流路、及び／又はエゼクタ２４の軸線方向に対して少なくとも部分に半径方向に延びる流路を形成するように配置できる。図２のイオン・トラップ１２は、イオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５から電気的に絶縁することができ、イオンをトラップする電圧は、イオン・トラップ１２に直接かけられる。

図３は、本発明の他の実施例を示している。図３において、流れガイド機構は、エゼクタ２４の下流に配置されたカップ状の流れガイド５１を備える。カップ状の流れガイド５１は、閉じた底部、底部から延びる１つ又は複数の側壁、及び開いた前壁を備える。図３に示すように、カップ状の流れガイド５１の底部は、エゼクタ２４に向かって次第に細くなるように形成される。カップ状の流れガイド５１は、エゼクタ流Ｊの方向を変えるために、エゼクタ流Ｊを開いた前壁を介して受け入れるように配置することができる。カップ状の流れガイド５１も、エゼクタ２４のすぐ下流に配置することが好ましい。カップ状の流れガイド５１は、エゼクタ２４からのエゼクタ流Ｊをカップ状の流れガイド５１の底部に受け入れる。カップ状の流れガイド５１の底部は、エゼクタ流Ｊを、矢印Ｉによって示すように少なくとも部分的にエゼクタ２４の方へ戻し、さらにエゼクタ２４の下流で矢印Ｈの方向に、カップ状の流れガイド５１とイオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５との間に向ける。イオン・トラップ・チャンバ２２は、カップ状の流れガイド５１の下流に配置され、イオン・トラップ・チャンバ２２の側壁から延び、中央に開口部を有するイオン・トラップ１２をさらに備える。イオン・トラップ１２は、流れガイド機構の流れガイドの１つを形成し、エゼクタ流を矢印Ｋの方向に案内する。流れガイド機構は、イオン・トラップ１２の下流に配置された第２のカップ状の流れガイド５１をさらに備える。イオン・トラップ１２は、エゼクタ流Ｊを第２のカップ状の流れガイド５１に方向付ける。第２のカップ状の流れガイド５１は、エゼクタ流Ｊを受け入れ、エゼクタ流Ｊを、矢印Ｌによって示すように少なくとも部分的にエゼクタ２４の方へ戻し、さらにエゼクタ２４の下流で、カップ状の流れガイド５１とイオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５との間、及び矢印Ｍの方向に、第２のカップ状の流れガイドとイオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１との間の出口１０へ向ける。図２のイオン・トラップ１２は、イオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５から電気的に絶縁でき、イオンをトラップする電圧は、イオン・トラップ１２に直接もたらされる。

図３の流れガイド機構も、イオン・トラップ・チャンバ２２内で、折り曲げられたエゼクタ流の流路を形成する。図３の流れガイド機構も、エゼクタ流Ｊを、少なくとも局所的にエゼクタ２４内の流れの方向に対して実質的に反対の方向に向けるように配置される。上記のいずれの実施例においても、流れガイド機構は、プレート、平坦なプレート又は湾曲したプレートの形の１つ又は複数の流れガイド５０、５１を含むことができる。流れガイド機構は、閉じた底部、底部から延びる１つ又は複数の側壁、及び開いた前壁を備えるカップ状の流れガイド５１の形の１つ又は複数の流れガイドを含むこともできる。

図４は本発明の他の実施例を示しており、ガス供給部６、１６、１８が、サンプルのエアロゾルの流れＡの粒子の少なくとも一部を帯電させるために、本質的に粒子を含まないイオン化されたガスの流れＣをエゼクタ２４へ送り込むように配置されており、この装置は、粒子に付着されないイオンをエゼクタ流Ｊから除去するためのイオン・トラップ１２をさらに備える。図４では、流れガイド機構はただ１つの流れガイドを備える。この実施例では、イオン・トラップ１２は流れガイドとして設けられる。したがって、図４の装置は、エゼクタ流Ｊの方向を変えるように配置されたイオン・トラップ機構を備える。図４において、イオン・トラップ機構は、イオン・トラップ・チャンバ２２内で、部分的に折り曲げられたエゼクタ流Ｊの流路を形成するように配置される。イオン・トラップ機構は、閉じた底部、閉じた底部から延びる側壁、及び壁からの開口部を有するカップ状のイオン・トラップ１２を備えるが、他の実施例では、イオン・トラップ機構が、１つ又は複数の平坦な若しくは湾曲したイオン・トラップ・プレート１２、又は複数のカップ状のイオン・トラップ１２を備えることもできる。カップ状のイオン・トラップ１２に加えて、この装置は、カップ状のイオン・トラップ１２と共にエゼクタ流Ｊを案内するために、イオン・トラップ・チャンバ内に配置された１つ又は複数の別個の流れガイドを備えることもできる。

図４において、カップ状のイオン・トラップ１２は、エゼクタ２４からエゼクタ流Ｊを受け入れるために、エゼクタ２４のすぐ下流に配置される。カップ状のイオン・トラップ１２の底部は、エゼクタ流Ｊを、矢印Ｎによって示すように少なくとも部分的にエゼクタ２４の方へ戻し、さらにエゼクタ２４の下流で矢印Ｏの方向に、カップ状のイオン・トラップ１２とイオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５との間、及びイオン・トラップ１２とイオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１との間の出口１０へ向ける。したがって、カップ状のイオン・トラップ１２は、エゼクタ２４からエゼクタ流Ｊを受け入れ、エゼクタ流Ｊをイオン・トラップ・チャンバ２２の内壁１５とカップ状のイオン・トラップ１２との間、さらにエゼクタ２４の下流へ案内するように配置することができる。

図５は、図４の装置の好ましい実施例を示している。この実施例では、エゼクタ２４は、エゼクタ２４からのエゼクタ流Ｊを案内するために、エゼクタ２４から、及びエゼクタ２４のスロート８から下流に延びるリップ４８を備える。図５に示すように、リップ４８は、エゼクタ流Ｊをカップ状のイオン・トラップ１２若しくは流れガイド内に案内するように配置すること、及び／又はカップ状のイオン・トラップ１２若しくは流れガイド内に延びるように配置することができる。リップ４８は、流れガイド機構の一部とすることができ、好ましくは測定ハウジング１７と同じ電気ポテンシャルで配置される。カップ状のイオン・トラップ１２の底部は、エゼクタ２４に向かって延びるノーズ４２を備えることができる。ノーズ４２は、少なくとも部分的にエゼクタ２４のスロート８内に延びるように配置できる。ノーズ４２は、エゼクタ２４に向かって次第に細くなるように形成することができる。図５において、イオン・トラップ１２は、やはり図４と同じ方法で流れガイドを形成する。

イオン・トラップ機構はイオン・トラップ１２を備えることができ、イオン・トラップ１２は、イオン・トラップ１２に回収電圧を供給して粒子に付着されないイオンをエゼクタ流Ｊから除去するために、トラップ導体２５によって回収電圧の供給源３６に接続される。図４及び図５に示すように、トラップ導体２５は、イオン・トラップ１２に回収電圧を供給するために、測定ハウジング１７の内部、特に入口チャンバ４からイオン・トラップ・チャンバ２２までの測定ハウジング１７内で延びるように、又は入口チャンバ４を通ってイオン・トラップ・チャンバ２２まで延びるように配置される。図４及び図５に示すように、測定ハウジング１７は、トラップ導体２５を、サンプルのエアロゾルの流れＡ、本質的に粒子を含まないイオン化されたガスの流れＣ及びエゼクタ流Ｊから分離するために、トラップ導体２５を測定ハウジング１７内に通すためのトラップ導体の経路２８を備えることができる。トラップ導体の経路２８は、測定ハウジング１７内でトラップ導体２５用の電気絶縁体を形成することができる。図４及び図５に示すように、イオン・トラップ１２は、イオン・トラップ・チャンバ２２内に機械的なトラップ・ホルダ２６によって支持できる。

トラップ導体の経路２８は汚染された状態になる可能性がある。なぜなら、サンプルのエアロゾルの微粒子などの汚染物質が、イオン・トラップ１２又はイオン・トラップ・ホルダ２６がイオン・トラップ・チャンバ２２内へ延びるための開口部を介してトラップ導体の経路２８に入ることがあるためである。イオン・トラップ・ホルダ２６は、イオン・トラップ１２を支持し、イオン・トラップ導体２５からイオン・トラップ１２へ回収電圧を伝えるように配置された任意の機械的な伝導性部品とすることができる。イオン・トラップ・ホルダ２６は、別個の部品とすること、又はイオン・トラップ導体２５若しくはイオン・トラップ１２若しくはその両方の一体部品とすることができる。トラップ導体の経路２８は、汚損を防止するために、シース・ガス流Ｐを流すことができる。図４及び図５において、この装置は、シース・ガスが、トラップ導体の経路２８の内壁とトラップ導体２５又はイオン・トラップ・ホルダ２６との間のシース流の出口４１から、イオン・トラップ・チャンバ２２に流入できるように、すべてのイオン・トラップの経路２８又はイオン・トラップ・ホルダの経路２８に接続されたシース・ガスの流れの経路４６をさらに備える。

シース・ガスの流れＰは、任意の適切なガス源からの任意の適切なガスを含むことができる。好ましい実施例では、シース・ガスの流れＰは、本質的に粒子を含まないガスの流れを入口チャンバ４に供給するガス源から提供される。トラップ導体の経路２８及びイオン・トラップ導体２５は、トラップ導体の経路２８とイオン・トラップ導体２５との間にシース流Ｐが流れる間隙を形成するために、異なる断面形状を有することが好ましい。図６Ｂは、トラップ導体の経路２８が実質的に円形の断面を有し、イオン・トラップ導体２５が実質的に長方形の断面を有する一実施例を示している。この実施例では、図４に示すように、トラップ導体の経路２８は、イオン・トラップ導体の経路２８の長さに沿ったシース・ガスの流れを含む。代替的実施例において、装置はさらに、図５に示すように、測定ハウジング１７内に延びる別個のシース・ガスの流れの経路４６とすることができる。この装置は、トラップ・コネクタの経路２８に接続された周方向のシース流の分配経路４０をさらに備える。シース流の分配経路４０は、イオン・トラップ・ホルダ２６のすべてと流体接続することが好ましい。これにより、すべてのトラップ・ホルダ２６が、トラップ導体の経路２８を通るシース流を含むことが可能になる。

図６Ａは、エゼクタ２４の軸線方向から見た図４及び図５のイオン・トラップ機構を示している。カップ状のイオン・トラップ１２は、３つのイオン・トラップ・ホルダ２６によって支持され、その１つがイオン・トラップ導体２５に接続され、トラップ導体の流路（図示せず）を備える。シース・ガスは、図５のシース・ガスの分配経路４０を通してすべてのトラップ・ホルダ２６に供給され得る。

図７は、イオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１がイオン・トラップ１２及び／又は流れガイドを形成するように設計された、本発明の一実施例を示している。図７に示すように、イオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１は、エゼクタ２４のスロート８に向かって形成される。この端壁２１は、エゼクタ流Ｊをイオン・トラップ・チャンバ２２に、又は少なくとも部分的に若しくは局所的に若しくは部分的にエゼクタ２４のスロート８内に案内するために、少なくとも部分的に若しくは局所的にイオン・トラップ・チャンバ２２に延びるように形成することもできる。この実施例において、トラップ導体は端壁２１に接続され、端壁２１はさらに、イオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５及びハウジング１７の残りの部分から電気的に絶縁される。端壁２１を代替方法で形成することも可能であることに留意すべきである。したがって、図７において、イオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１は、装置のイオン・トラップ１２を形成する。端壁２１２も、エゼクタ流Ｊの流れの方向を矢印Ｑの方向に変える。代替的実施例において、イオン・トラップ・チャンバ２２の側壁１５は、装置のイオン・トラップを形成するように配置することができる。こうした種類の実施例において、トラップ導体は、（１つ又は複数の）側壁１５に接続され、（１つ又は複数の）側壁はさらに、端壁２１及び測定ハウジング１７の残りの部分から電気的に絶縁される。

図７の実施例は、図１〜図５のように、装置が別個のイオン・トラップを備えるように変更することも可能であるが、イオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１及び／又は側壁は、エゼクタ２４から放出されるエゼクタ流の方向を変えるために、流れガイドを設けるように形成される。したがって、側壁１５は、イオン・トラップ・チャンバ２２に延びる突起部を備えることができる。他の代替的実施例では、測定の端壁２１又は（１つ又は複数の）側壁１５の少なくとも一部が、流れガイドとイオン・トラップ１２の両方を形成する。

図８〜図１１は、エゼクタ２４が、エゼクタ２４からのエゼクタ流Ｊを案内するために、エゼクタ２４及びエゼクタ２４のスロート８から下流に延びるリップ４８を備える代替的実施例を示している。リップ４８は、図５と同じ方法で設けることができる。図８〜図１１の実施例では、リップ４８は、ステンレス鋼又はその他の金属などの導電性材料により形成され、トラップ導体２５は、リップ４８がイオン・トラップ１２を形成するようにリップ４８に電気的に接続される。図８〜図１０の実施例において、リップ４８は、リップ４８並びに端壁２１及び側壁１５のエゼクタ流が、共にイオン・トラップ・チャンバ２２内のエゼクタ流Ｊの流れの方向を変えるような流れガイドを形成する。図８〜図１１において、同じ符号は図１〜図７と同じ部分を指している。

図８は、リップ４８がイオン・トラップ１２を形成し、エゼクタ流の流れの方向を、矢印Ｒに従って出口１０を通して装置から出るように変えるための流れガイドを形成するように、イオン・トラップ・チャンバ２２に延びる一実施例を示している。この実施例において、リップ４８は、測定ハウジング１７、側壁１７及び端壁２１から電気的に絶縁される。

図９は、イオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１が、リップ４８内、又はエゼクタ２４のスロート８内に延びるように形成された代替的実施例を示している。したがって図９に示すように、端壁２１は、リップ４８内又はスロート８内に延びる突起部２３を形成する。突起部２３は、リップ４８と共にエゼクタ流Ｊの方向を矢印Ｓに従って変える流れガイドを形成する。したがって、リップ４８も流れガイドを形成する。リップ４８は、ラップ導体２５がリップ４８に電気的に接続されるため、イオン・トラップ１２を形成する。この実施例において、リップ４８は、測定ハウジング１７、側壁１７及び端壁２１から電気的に絶縁される。

図１０は、トラップ導体２５がリップ４８に電気的に接続され、リップがイオン・トラップ１２を形成し、イオン・トラップ・チャンバ２２内に延び、エゼクタ流Ｊの流れの方向を変えるための流れガイドを形成する他の代替的実施例を示している。この実施例において、リップ４８は、測定ハウジング１７、側壁１７及び端壁２１から電気的に絶縁される。イオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１は、リップ４８内に延び、イオン・トラップ１２の対電極を形成する針状の突起部２３を備える。イオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１又は側壁１５は、エゼクタ流をイオン・トラップ・チャンバ２２内にさらに案内するための流れガイド５０をさらに備える。リップ４８は、イオン・トラップ・チャンバ２２内に延びるイオン・トラップの分岐２７も備える。イオン・トラップの分岐２７はリップ４８に電気的に接続され、流れガイドも形成する。この実施例において、エゼクタ流Ｊは、まずリップと流れガイド５０の間で矢印Ｔの方向に、次いで流れガイド５０とイオン・トラップの分岐２７との間で矢印Ｕの方向に、さらに側壁１５とイオン・トラップの分岐２７との間で矢印Ｖの方向に出口１０を介して装置の外へ出るように方向付けられる。

図１１は、端壁２１に対して針状の突起部２３が設けられ、それがスロート８の内部に延びる、他の実施例を示している。この実施例では、リップ４８はイオン・トラップ・チャンバ２２内に延びず、スロート８に対する導電面を形成するだけである。トラップ導体２５は、エゼクタ２４のスロート８の表面がイオン・トラップ１２を形成するように、リップ４８に電気的に接続される。針状の突起部２３が、イオン・トラップ１２に対する対電極を形成する。

図８〜図１１のすべての実施例では、イオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１又は側壁を、リップ４８ではなくイオン・トラップ導体２５に接続することができる。したがって、イオン・トラップ・チャンバ２２の端壁２１又は側壁１５が、図７の実施例と同じ方法でイオン・トラップを形成することが可能である。そうした種類の実施例において、図１０の流れガイド５０はイオン・トラップも形成し、イオン・トラップの分岐２７が流れガイドを形成する。他の代替的実施例では、針状の突起部２３を端壁２１から電気的に絶縁し、イオン・トラップ導体２５に接続して、針状の突起部がイオン・トラップ１２を形成するようにする。

測定ハウジング１７並びに側壁１５及び端壁２１も、ポリマー材料又は粉末金属により、例えば射出成形によって製造することができる。或いは、ハウジング１７、並びに側壁１５及び端壁２１も、薄板鋼などの薄い金属薄板から形成することができる。薄板は、例えば図９の突起部２３のように、所望の形を形成するように深絞り加工によって形成することができる。

本発明は、エアロゾルを含む経路１１又は空間の粒子をモニターする方法をも提供する。この方法は、エゼクタ２４への本質的に粒子を含まないガスの流れＣ、サンプルのエアロゾルの流れＡを経路１１又は空間から、本質的に粒子を含まないガスの流れＣ及びエゼクタ２４によって吸引すること、並びにエゼクタ２４から放出されるエゼクタ流Ｊの方向を変えることを含む。この方法は、本質的に粒子を含まないガスの流れＣをエゼクタ２４へ送ること、エアロゾルの粒子の少なくとも一部を帯電させ、エゼクタ流Ｊを形成するために、サンプルのエアロゾルの流れＡの少なくとも一部を、本質的に粒子を含まないイオン化されたガスの流れＣと混合すること、及び粒子に付着されないイオンを、イオン・トラップ機構によってエゼクタ流Ｊから除去することをさらに含むことができる。この方法では、エゼクタ流Ｊの方向をイオン・トラップ機構２４によって変えることは、エゼクタ流Ｊが少なくとも部分的に折り曲げられた流路に方向付けられるように行われる。本発明の一実施例において、イオン・トラップ又はイオン・トラップ機構１２は、上記のように、エゼクタ流Ｊを粒子モニター装置又は粒子センサに案内するために用いられる。

一実施例において、流れガイド機構は、エゼクタの末広のディフューザ、又はエゼクタのスロートに少なくとも部分的に延びるように配置される。流れガイドがエゼクタ内に延びるとき、イオン・トラップは、エゼクタの構造体及び内部体積部を利用する。結果として、測定装置の全体的な大きさ及びサンプルガスのセンサ内での滞留時間を減少させることができる。滞留時間が低減されることによって、測定装置の時間応答をより速くすることが可能になる。

図１２は、イオン・トラップ・チャンバ２２が、振動によってイオン・トラップ空間２２の間隙の幅ｄが本質的に変化しないように設計された、本発明の他の実施例を示している。イオン・トラップ・チャンバ２２は、エゼクタ２４のすぐ隣の拡張部であり、一実施例において、イオン・トラップ・チャンバの壁１５は、少なくとも部分的にエゼクタ２４の末広の壁とすることができる。図１２のイオン・トラップ１２は、本質的に球形のキャップ（平面によって球から切り離されたキャップ）であり、平面Ｙとキャップの中心軸線Ｘとの交点から機械的に支持される。そうした単一の点支持により、支持点に対するイオン・トラップの振動が、イオン・トラップ空間２２の間隙の幅ｄの本質的な変化を引き起こすことがない。他の形状の球形セグメントが、イオン・トラップ・チャンバ２２の間隙の幅ｄに対する振動の影響を除くための基準を満たし得ることが、当業者には明らかである。必要とされるトラップ電圧は、電気絶縁体３５を通過する電気導体１０１を介してトラップ１２へ送られる。

発展させた技術として、本発明の基本概念を様々な方法で実施することが可能であることが、当業者には明らかである。したがって、本発明及びその実施例は上記の実例に限定されず、特許請求の範囲の範囲内で変更することが可能である。

Claims (22)

1. エアロゾルを含む、経路（１１）又は空間内の粒子をモニターする粒子センサ（１）であって、
   入口チャンバ（４）と、
   イオン・トラップ・チャンバ（２２）と、
   前記入口チャンバ（４）と前記イオン・トラップ・チャンバ（２２）との間に配置されたエゼクタ（２４）であって、該エゼクタ（２４）のスロート（８）を形成する先細末広のノズルを有する、前記エゼクタ（２４）と、
   サンプルのエアロゾルの流れ（Ａ）の粒子の少なくとも一部を帯電させるために、本質的に粒子を含まないイオン化されたガスの流れ（Ｃ）を前記エゼクタ（２４）へ送るように配置されたガス供給部（６、１６、１８、１９）と、
   サンプルのエアロゾルの流れ（Ａ）を、前記ガス供給部（６、１６、１８、１９）及び前記エゼクタ（２４）による吸引によって、前記経路（１１）又は前記空間から前記入口チャンバ（４）に、および前記エゼクタ（２４）に供給するように配置されたサンプル入口機構（２）と、
   前記粒子に付着されないイオンをエゼクタ流（Ｊ）から除去するためのイオン・トラップ（１２）であって、該イオン・トラップ（１２）は前記イオン・トラップ・チャンバ（２２）に配置され、前記イオン・トラップ（１２）は、前記イオン・トラップ（１２）に回収電圧を供給して前記粒子に付着されないイオンを前記エゼクタ流（Ｊ）から除去するために、回収電圧の供給源（３６）に接続される、前記イオン・トラップ（１２）と
   を備える粒子センサにおいて、
   前記イオン・トラップ（１２）が、前記エゼクタ（２４）から出たエゼクタ流（Ｊ）の方向を変えるための、前記エゼクタ（２４）の本質的に下流の流れガイド機構（１２、５０、５１）として設けられることを特徴とする粒子センサ。
2. 前記流れガイド機構が、少なくとも部分的に折り曲げられた前記エゼクタ流（Ｊ）の流路を形成するように配置されることを特徴とする請求項１に記載された粒子センサ。
3. 前記流れガイド機構が、前記エゼクタ（２４）の軸線方向に、少なくとも部分的に折り曲げられた前記エゼクタ流（Ｊ）の流路を形成するように配置されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載された粒子センサ。
4. 前記流れガイド機構が、前記エゼクタ（２４）の前記軸線方向に対して少なくとも部分的に横断する前記エゼクタ流（Ｊ）の流路を形成するように配置されるか、又は前記流れガイド機構が、前記エゼクタ（２４）の前記軸線方向に対して少なくとも部分的に半径方向に延びる前記エゼクタ流（Ｊ）の流路を形成するように配置されることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載された粒子センサ。
5. 前記流れガイド機構が、前記エゼクタ流（Ｊ）を、少なくとも局所的に前記エゼクタ（２４）内の流れの方向に対して実質的に反対の方向に向けるように配置されることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載された粒子センサ。
6. 前記流れガイド機構が、プレートの形の１つ又は複数の流れガイドを含むことを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載された粒子センサ。
7. 前記流れガイド機構が、閉じた底部、前記底部から延びる１つ又は複数の側壁、及び開いた前壁を備えるカップ状の流れガイドの形の１つ又は複数の流れガイドを含むことを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載された粒子センサ。
8. 前記カップ状の流れガイドが、前記エゼクタ流（Ｊ）の方向を変えるために、前記エゼクタ流（Ｊ）を前記開いた前壁を介して受け入れるように配置されることを特徴とする請求項７に記載された粒子センサ。
9. 前記流れガイド機構が、前記エゼクタの末広の出口ディフューザに延びることを特徴とする請求項１から請求項８までのいずれかに記載された粒子センサ。
10. 前記流れガイド機構が、前記エゼクタ（２４）のスロート（８）に延びることを特徴とする請求項９に記載された粒子センサ。
11. 前記エゼクタ（２４）が、前記エゼクタ（２４）からの前記エゼクタ流（Ｊ）を案内するために、前記エゼクタ（２４）から下流に延びるリップ（４８）を備えることを特徴とする請求項１から請求項１０までのいずれか一項に記載された粒子センサ。
12. 前記エゼクタ（２４）が、前記エゼクタ（２４）からの前記エゼクタ流（Ｊ）を案内するために、前記エゼクタ（２４）から下流に延びるリップ（４８）を備え、前記リップ（４８）が、エゼクタ流（Ｊ）を前記カップ状の流れガイド内に案内するように配置されることを特徴とする請求項７または請求項８に記載された粒子センサ。
13. 前記リップ（４８）が、前記カップ状の流れガイド内に延びるように配置されることを特徴とする請求項１２に記載された粒子センサ。
14. 少なくとも１つの流れガイド（５０）を設けるように形成された測定ハウジング（１７）を備えることを特徴とする請求項１から請求項１３までのいずれか一項に記載された粒子センサ。
15. 少なくとも１つのイオン・トラップ（１２）を設けるように形成された測定ハウジング（１７）を備えることを特徴とする請求項１から請求項１４までのいずれか一項に記載された粒子センサ。
16. 粒子センサ内のイオンを除去するためのイオン・トラップ機構であって、前記粒子センサが、
    エゼクタ（２４）と、
    前記エゼクタ（２４）の上流の入口チャンバ（４）であって、本質的に粒子を含まないイオン化されたガスの流れ（Ｃ）を前記エゼクタ（２４）へ送るように配置されたガス供給部（６、１６、１８、１９）を備え、サンプルのエアロゾルの流れ（Ａ）の粒子の少なくとも一部を帯電させるために、前記サンプルのエアロゾルの流れ（Ａ）を、前記ガス供給部（６、１６、１８、１９）及び前記エゼクタ（２４）による吸引によって、エアロゾルを含む経路（１１）又は空間からサンプル入口機構（２）を通して前記エゼクタ（２４）に供給する前記入口チャンバ（４）と、
    前記エゼクタ（２４）の下流のイオン・トラップ・チャンバ（２２）とを備え、
    前記イオン・トラップ機構が、前記イオン・トラップ・チャンバ（２２）に設けられたイオン・トラップ（１２）を含み、
    前記イオン・トラップ・チャンバ（２２）に、部分的に折り曲げられた前記エゼクタ流（Ｊ）の流路を形成するために、前記イオン・トラップ（１２）が、閉じた底部、前記閉じた底部から延びる側壁、及び壁からの開口部を有するカップ状のイオン・トラップ（１２）を備えることを特徴とするイオン・トラップ機構。
17. 前記イオン・トラップ（１２）が、１つ又は複数の平坦な又は湾曲したトラップ・プレート（１２）を備えることを特徴とする請求項１６に記載されたイオン・トラップ機構。
18. 前記カップ状のイオン・トラップ（１２）が、前記エゼクタ（２４）からの前記エゼクタ流（Ｊ）を受け入れるために、前記エゼクタ（２４）のすぐ下流に配置されることを特徴とする請求項１６に記載されたイオン・トラップ機構。
19. 前記エゼクタ（２４）が、前記エゼクタ（２４）から下流に延びるリップ（４８）を備えることを特徴とする請求項１６から請求項１８までのいずれか一項に記載されたイオン・トラップ機構。
20. 前記リップ（４８）が、前記カップ状のイオン・トラップ（１２）内に延びることを特徴とする請求項１９に記載されたイオン・トラップ機構。
21. 前記カップ状のイオン・トラップ（１２）が、前記エゼクタ（２４）から前記エゼクタ流（Ｊ）を受け入れ、前記エゼクタ流（Ｊ）を、前記イオン・トラップ・チャンバ（２２）の内壁と前記カップ状のイオン・トラップ（１２）との間、さらに前記エゼクタ（２４）の下流へ案内するように配置されることを特徴とする請求項１６から請求項２０までのいずれか一項に記載されたイオン・トラップ機構。
22. 前記粒子センサが、前記エゼクタ流（Ｊ）の方向を変える前記イオン・トラップ（１２）を設けるように形成された測定ハウジング（１７）を備えること、又は
    前記イオン・トラップ・チャンバ（２２）の少なくとも１つの側壁（１５）が、前記エゼクタ流（Ｊ）の方向を変える前記イオン・トラップ（１２）を設けるように形成されること
    を特徴とする請求項１６から請求項２１までのいずれか一項に記載されたイオン・トラップ機構。

Images