JP6043536B2 - Adhesive tape sticking device and sticking method - Google Patents

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この発明は複数の半導体セルをリード線によって一列に接続する際に用いられる粘着テープの貼着装置及び貼着方法に関する。   The present invention relates to an adhesive tape sticking device and a sticking method used when connecting a plurality of semiconductor cells in a row by lead wires.

太陽電池モジュールには結晶タイプと薄膜タイプがある。結晶タイプの太陽電池モジュールは単結晶シリコンや多結晶シリコンなどの半導体セルを帯状のリード線によって一列に接続し、その半導体セルをガラス製のベース板上に樹脂によって一体的にラミネートして構成される。   Solar cell modules include crystal types and thin film types. A crystal type solar cell module is formed by connecting semiconductor cells such as single crystal silicon and polycrystalline silicon in a row by strip-shaped lead wires, and laminating the semiconductor cells integrally on a glass base plate with resin. The

太陽電池モジュールは太陽電池セルである、複数の半導体セルの表面に貼着された導電性を有する熱硬化性の樹脂によって形成された粘着テープを介してクランク状に曲成された上記リード線によって電気的に接続される。   The solar battery module is a solar battery cell, and the lead wire bent in a crank shape through an adhesive tape formed of a conductive thermosetting resin attached to the surface of a plurality of semiconductor cells. Electrically connected.

図11(a),(b)は一般的な結晶タイプの太陽電池モジュールを示し、図11(a)は多数の半導体セル1(1a〜1nとする)をリード線2(2a〜2nとする)によって一列に接続した状態の平面図、図11(b)は拡大した側面図である。   FIGS. 11A and 11B show a general crystal type solar cell module, and FIG. 11A shows a large number of semiconductor cells 1 (1a to 1n) as lead wires 2 (2a to 2n). ), And FIG. 11B is an enlarged side view.

図11(b)に示すように、各半導体セル1a〜1nの太陽光を受ける受光面である上面には多数のグリッド電極(フィンガー電極)5が等間隔に形成され、これらグリッド電極5の配置方向と交差する幅方向の両端部及び中央部の三箇所はバスバー電極6aによって接続されている。各半導体セル1a〜1nの裏面には、裏面のほぼ全体にわたって裏面電極7が形成され、この裏面電極7には3本のバスバー電極6bが上面側のバスバー電極6aと対応して形成されている。   As shown in FIG. 11B, a large number of grid electrodes (finger electrodes) 5 are formed at equal intervals on the upper surface which is a light receiving surface that receives sunlight of each of the semiconductor cells 1a to 1n. Three portions of the both ends and the center in the width direction crossing the direction are connected by a bus bar electrode 6a. On the back surface of each of the semiconductor cells 1a to 1n, a back electrode 7 is formed over almost the entire back surface, and three bus bar electrodes 6b are formed on the back electrode 7 so as to correspond to the bus bar electrodes 6a on the upper surface side. .

上面側のバスバー電極6aと下面側のバスバー電極6bとにはそれぞれ導電性を有する熱硬化性の樹脂からなる粘着テープ3が貼着され、隣り合う一対の半導体セル1の上面側のバスバー電極6aと裏面側のバスバー電極6bに貼着された粘着テープ3には、クランク状に屈曲されたリード線2a〜2nの一端部と他端部が仮圧着される。   An adhesive tape 3 made of a thermosetting resin having electrical conductivity is attached to the bus bar electrode 6a on the upper surface side and the bus bar electrode 6b on the lower surface side, and the bus bar electrode 6a on the upper surface side of a pair of adjacent semiconductor cells 1 is attached. One end portion and the other end portion of the lead wires 2a to 2n bent in a crank shape are temporarily press-bonded to the adhesive tape 3 attached to the bus bar electrode 6b on the back surface side.

ついで、上記リード線2a〜2nを仮圧着時よりも大きな加圧力で加圧しながら加熱する。それによって、上記粘着テープ3が溶融硬化するから、リード線2a〜2nが半導体セル1a〜1nの上下面に本圧着、つまり接続固定されることになる。   Next, the lead wires 2a to 2n are heated while being pressed with a larger pressing force than that at the time of temporary press bonding. As a result, the pressure-sensitive adhesive tape 3 is melted and hardened, so that the lead wires 2a to 2n are permanently crimped, that is, connected and fixed to the upper and lower surfaces of the semiconductor cells 1a to 1n.

上記リード線2は、一端部を隣り合う一対の半導体セル1の一方の上面に接続し、他端部を他方の下面に接続するため、長手方向の中途部を境にして一端部と他端部とが上下方向に異なる高さになるよう屈曲形成される。   The lead wire 2 has one end connected to one upper surface of a pair of adjacent semiconductor cells 1 and the other end connected to the other lower surface. The portion is bent so as to have different heights in the vertical direction.

上記リード線2を所定の形状に屈曲形成するためには、供給装置の供給リールに巻装されたリード線2をチャックによって所定長さ引き出したならば、成形装置によって上述した屈曲形状に成形して半導体セル1に粘着テープ3を介して仮圧着してから本圧着するようにしている。   In order to bend the lead wire 2 into a predetermined shape, if the lead wire 2 wound on the supply reel of the supply device is pulled out by a chuck for a predetermined length, the lead wire 2 is formed into the above-described bent shape by a molding device. Thus, the semiconductor cell 1 is temporarily pressure-bonded via the adhesive tape 3 and then finally pressure-bonded.

それによって、複数の半導体セル1a〜1nはリード線2a〜2nによって一列に接続されることになる。リード線2a〜2nによって一列に接続された半導体セル1a〜1nはストリング1Aと呼ばれている。   Thereby, the plurality of semiconductor cells 1a to 1n are connected in a row by the lead wires 2a to 2n. The semiconductor cells 1a to 1n connected in a row by the lead wires 2a to 2n are called strings 1A.

上記粘着テープ3は離型テープの一方の面に貼着され、これら粘着テープ3と離型テープとでテープ部材を形成している。このテープ部材は、供給装置を構成する供給リールに巻装されている。   The pressure-sensitive adhesive tape 3 is attached to one surface of the release tape, and the pressure-sensitive adhesive tape 3 and the release tape form a tape member. This tape member is wound around a supply reel constituting the supply device.

隣り合う半導体セル1を、これらの上下面に設けられたそれぞれのバスバー電極6a,6bの数に対応する複数のリード線2、この例では3本のリード線2で接続する場合、上記供給装置にはリード線2の数に応じて上記半導体セル1の上面側と下面側とにテープ部材を供給するそれぞれ3つの供給リールが所定間隔で設けられることになる。   When the adjacent semiconductor cells 1 are connected by a plurality of lead wires 2 corresponding to the number of the respective bus bar electrodes 6a and 6b provided on the upper and lower surfaces, in this example, three lead wires 2, the above supply device According to the number of lead wires 2, three supply reels for supplying tape members to the upper surface side and the lower surface side of the semiconductor cell 1 are provided at predetermined intervals.

各3つの供給リールから引き出されたテープ部材は、粘着テープ3と離型テープのうちの、粘着テープだけが切断機構によって上記半導体セル1に対応する長さ寸法に切断される。ついで、粘着テープの所定長さに切断された部分は、それぞれ離型テープとともに走行搬送され、貼着位置に位置決めされた上記半導体セル1の上面と下面とに対向するよう位置決めされる。   Of the adhesive tape 3 and the release tape, only the adhesive tape of the tape members drawn out from the three supply reels is cut to a length corresponding to the semiconductor cell 1 by the cutting mechanism. Next, the portions of the adhesive tape cut to a predetermined length are each transported along with the release tape and positioned so as to face the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1 positioned at the sticking position.

上記貼着位置には上部加圧ツールと下部加圧ツールが設けられ、各加圧ツールがそれぞれ下降方向及び上昇方向に駆動されることで、所定長さに切断された粘着テープが上記半導体セル1の上面と下面に押圧される。それによって、所定長さに切断された上記粘着テープが上記半導体セル1の上下面に貼着される。   An upper pressurizing tool and a lower pressurizing tool are provided at the sticking position, and each pressurizing tool is driven in a descending direction and an ascending direction, so that the adhesive tape cut to a predetermined length becomes the semiconductor cell. 1 is pressed against the upper and lower surfaces. Accordingly, the adhesive tape cut to a predetermined length is attached to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1.

貼着後、上記半導体セル1に貼着された粘着テープから離型テープが剥離される。そして、剥離後に離型テープが所定長さ送られ、粘着テープの所定長さに切断された次の部分が貼着位置に位置決めされたつぎの基板に貼着されるということが繰り返して行なわれることになる。   After the sticking, the release tape is peeled off from the adhesive tape stuck to the semiconductor cell 1. Then, after peeling, the release tape is fed a predetermined length, and the next portion cut to the predetermined length of the adhesive tape is repeatedly attached to the next substrate positioned at the attachment position. It will be.

このような貼着作業が継続して行なわれると、上記供給装置の供給リールに巻装されたテープ部材がなくなってくるから、残量が所定以下となったならば、使用中の供給リールを新たな供給リールに交換するということが行なわれる。   If such a sticking operation is continuously performed, the tape member wound around the supply reel of the supply device will be lost. A new supply reel is replaced.

上記供給リールから引き出されたテープ部材は多数のパスローラにガイドされるなどの経路で走行させられるようになっている。そのため、上記経路に上記テープ部材を配置する作業、つまり経路にテープ部材を通す作業に多くの手間が掛かるということがある。   The tape member pulled out from the supply reel is made to travel along a route such as being guided by a number of pass rollers. For this reason, it takes a lot of work to place the tape member in the path, that is, to put the tape member in the path.

そこで、上記供給装置に設けられた供給リールに巻装されたテープ部材の残量が所定以下となったならば、そのことを検出する。そして、使用中の供給リールからテープ部材がなくなる前に、新たな供給リールのテープ部材の始端部を、使用中の供給リールのテープ部材の後端部に接続する。   Therefore, when the remaining amount of the tape member wound on the supply reel provided in the supply device becomes equal to or less than a predetermined value, this is detected. Then, before the tape member runs out of the supply reel in use, the starting end of the tape member of the new supply reel is connected to the rear end of the tape member of the supply reel in use.

それによって、新たな供給リールに巻装されたテープ部材を、使用中の供給リールのテープ部材によって経路に導入するということが行なわれている。   As a result, the tape member wound around the new supply reel is introduced into the path by the tape member of the supply reel in use.

新たな供給リールに巻装されたテープ部材が使用中の供給リールのテープ部材によって経路に導入されると、そのテープ部材はテープ供給機構によって所定長さずつ送られるとともに、テープ部材の粘着テープだけが切断機構によって所定の長さに切断される。そして、所定の長さに切断された上記粘着テープを上記半導体セル1の上下面に貼着するようにしている。   When the tape member wound on the new supply reel is introduced into the path by the tape member of the supply reel in use, the tape member is fed by a predetermined length by the tape supply mechanism and only the adhesive tape of the tape member is used. Is cut into a predetermined length by the cutting mechanism. And the said adhesive tape cut | disconnected by the predetermined length is stuck on the upper and lower surfaces of the said semiconductor cell 1. FIG.

ところで、使用中の供給リールを新たな供給リールに交換した場合、テープ部材の粘着テープを切断機構によって所定の長さに切断した後、切断された粘着テープの先端を、半導体セルに対して位置決めする、頭出し作業が行なわれる。   By the way, when the supply reel in use is replaced with a new supply reel, after the adhesive tape of the tape member is cut to a predetermined length by the cutting mechanism, the tip of the cut adhesive tape is positioned with respect to the semiconductor cell. Cueing work is performed.

従来、上記粘着テープの頭出し作業は作業者が手作業で行なっていた。すなわち、テープ部材の粘着テープを切断機構によって切断したならば、テープ部材のその部分をピンセットで挟んで供給リールから引き出し、粘着テープの切断された先端を貼着位置に位置決めされた半導体セルに対して位置決めするようにしていた。   Conventionally, a cueing operation of the adhesive tape has been manually performed by an operator. That is, if the adhesive tape of the tape member is cut by the cutting mechanism, that portion of the tape member is sandwiched between tweezers and pulled out from the supply reel, and the cut end of the adhesive tape is positioned on the semiconductor cell positioned at the sticking position. Positioning.

また、新しく供給されたテープ部材は古いテープ部材に対して適当な位置で接合されるため、粘着テープの切断位置が貼着位置に対してずれるということがある。このような場合、上記貼着位置から上記粘着テープの上記切断位置までの上記粘着テープをピンセットで剥がし、上記切断位置を貼着位置に合わせる、頭出し作業が必要となる。   Further, since the newly supplied tape member is joined to the old tape member at an appropriate position, the cutting position of the adhesive tape may be shifted from the sticking position. In such a case, a cueing operation is required in which the pressure-sensitive adhesive tape from the sticking position to the cutting position of the pressure-sensitive adhesive tape is peeled off with tweezers, and the cutting position is adjusted to the sticking position.

特許第4549432号公報Japanese Patent No. 4549432

ところで、上記テープ部材は幅寸法が数mm程度で非常に細く、しかも厚さも薄くて柔軟な材質であるから、ピンセットで強く挟んだり、作業者が触れるなどすると、位置ずれが生じたり、損傷するということがある。   By the way, the tape member is a very thin material with a width of about several millimeters, and is thin and flexible. Therefore, if the tape member is pinched with tweezers or touched by an operator, it may be displaced or damaged. There is.

しかも、半導体セルには上下面にそれぞれ複数、たとえば3本の粘着テープが貼着される。そのため、半導体セルの幅方向手前側の粘着テープは比較的位置決めし易いものの、奥側の粘着テープの切断された先端を目視によって確認し難いため、その頭出しを確実かつ迅速に行なうことが難しいということがある。   Moreover, a plurality of, for example, three adhesive tapes are attached to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell. Therefore, although the adhesive tape on the front side in the width direction of the semiconductor cell is relatively easy to position, it is difficult to visually confirm the cut end of the adhesive tape on the back side, and it is difficult to reliably and quickly cue the head. There is.

さらに、奥側の粘着テープの頭出しを行う際、作業者の手指が手前側の粘着テープに触れると、位置ずれや損傷を招く虞があるため、そのことによっても頭出し作業がし難いということがある。   In addition, when cueing the adhesive tape on the back side, if the operator's fingers touch the adhesive tape on the near side, there is a risk of misalignment or damage, which also makes it difficult to cue Sometimes.

しかも、上記粘着テープは厚さが薄くて柔軟な材料であるから、切断された粘着テープをピンセットによって離型テープから剥がす際、損傷させるということがあるばかりか、その切断位置を貼着位置に対して位置決めする作業が非常に難しいということもある。   Moreover, since the adhesive tape is a thin and flexible material, it may be damaged when the adhesive tape is peeled off from the release tape with tweezers, and the cutting position is set to the sticking position. In some cases, the positioning operation is very difficult.

この発明は、切断された粘着テープの頭出しを、容易かつ確実に、しかも迅速に行なうことができるようにした粘着テープの貼着装置及び貼着方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a pressure-sensitive adhesive tape sticking device and a sticking method which can easily, reliably and quickly cue a cut pressure-sensitive adhesive tape.

この発明は、半導体セルの上下面それぞれ複数の粘着テープを所定間隔で同時に貼着する粘着テープの貼着装置であって、
離型テープ及びこの離型テープの一方の面に上記粘着テープが貼着されてなるテープ部材が巻装された複数の供給リール、これら供給リールから引き出された上記テープ部材が上記半導体セルの上面と下面とに対向するよう走行させるガイド手段を有するテープ供給機構と、
上記供給リールから引き出された上記テープ部材の上記粘着テープを上記半導体セルに貼着する長さ寸法に切断する切断機構と、
この切断機構によって切断された上記粘着テープを上記半導体セルの上面と下面とに同時に貼着する貼着手段と、
この貼着手段に上記半導体セルを供給上記粘着テープが貼着された半導体セルを排出する給排機構を具備し、
上記給排機構は、駆動手段によって周方向に間欠駆動される回転体を有し、この回転体には上面に上記半導体セルが保持される複数のステージ及びダミーセルが着脱可能に設けられる取付け部が周方向に設けられていて、
上記複数のステージは、上記半導体セルが供給される供給位置と、上記半導体セルに上記貼着手段によって上記粘着テープを貼着する貼着位置と、上記粘着テープが貼着された上記半導体セルを排出する排出位置とに上記駆動手段によって位置決めされるようになっていて、
上記ダミーセルが設けられる上記取付け部は、上記供給リールを新たな供給リールに交換したときに、上記取付け部に設けられる上記ダミーセルに上記切断機構によって切断された上記粘着テープを上記貼着手段によって試し貼着して上記粘着テープの頭出しをするために上記貼着位置に位置決めされ、この状態で上記ダミーセルには上面と下面とに同時に試し貼着されることを特徴とする粘着テープの貼着装置にある。
This invention is an adhesive tape attaching device for simultaneously attaching a plurality of adhesive tapes to the upper and lower surfaces of a semiconductor cell at a predetermined interval ,
Release tape and the release tape at one said adhesive tape to the surface of the bonded plurality of supply reels tape member is wound made, the tape member drawn from these supply reel the semiconductor cell A tape supply mechanism having guide means for running so as to face the upper and lower surfaces of the tape;
A cutting mechanism for cutting the adhesive tape of the tape member pulled out from the supply reel into a length dimension for adhering to the semiconductor cell;
The adhesive tape is cut by the cutting mechanism and the attaching means for attaching the same time the upper and lower surfaces of the semiconductor cell,
The semiconductor cell is supplied to the attaching means, comprising a supply and discharge mechanism for discharging the semiconductor cells in which the adhesive tape is adhered,
The supply / discharge mechanism has a rotating body intermittently driven in the circumferential direction by a driving means, and the rotating body has a plurality of stages on which the semiconductor cells are held and a mounting portion on which a dummy cell is detachably provided. Provided in the circumferential direction,
The plurality of stages include a supply position to which the semiconductor cell is supplied, an adhesion position at which the adhesive tape is adhered to the semiconductor cell by the adhesion means, and the semiconductor cell to which the adhesive tape is adhered. It is positioned by the drive means to the discharge position to discharge,
When the supply reel is replaced with a new supply reel, the attachment portion provided with the dummy cell is tested by the sticking means with the adhesive tape cut by the cutting mechanism in the dummy cell provided in the attachment portion. stuck to be positioned at the attaching position to the beginning of the adhesive tape, attaching of the adhesive tape, characterized in Rukoto been tried bonded simultaneously in this state to the upper and lower surfaces in the dummy cell In the device.

この発明は、半導体セルの上下面それぞれ複数の粘着テープを所定間隔で同時に貼着する粘着テープの貼着方法であって、
上記半導体セルをステージに供給する工程と、
供給リールに巻装された離型テープ及びこの離型テープの一方の面に上記粘着テープが貼着されてなるテープ部材を、上記ステージに供給された上記半導体セルの上面と下面とに対向するよう走行させて供給する工程と、
上記テープ部材の上記粘着テープを上記半導体セルに貼着する長さ寸法に切断する工程と、
所定長さに切断された上記粘着テープを上記半導体セルの上面と下面とに位置決めして同時に貼着する工程と、
上記粘着テープが貼着された上記半導体セルを上記ステージから排出する工程と
を具備し、
回転体の周方向に設けられて間欠駆動される複数のステージと取付け部とを有し、
上記複数のステージを、上記半導体セルを供給する供給位置と、上記半導体セルに上記粘着テープを貼着する貼着位置と、上記粘着テープが貼着された上記半導体セルを排出する排出位置とに位置決めし、
上記供給リールを新たな供給リールに交換したときに、上記取付け部にダミーセルを設け、このダミーセルを上記貼着位置に位置決めし、所定長さに切断された上記粘着テープを上記ダミーセルの上面と下面とに同時に試し貼着し、この貼着結果に基づいて上記粘着テープの頭出しを行うことを特徴とする粘着テープの貼着方法にある。
This invention is an adhesive tape attaching method for simultaneously attaching a plurality of adhesive tapes to the upper and lower surfaces of a semiconductor cell at predetermined intervals respectively .
Supplying the semiconductor cell to a stage;
A release tape wound around a supply reel and a tape member formed by adhering the adhesive tape to one surface of the release tape are opposed to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell supplied to the stage. A process of running and supplying
A step of cutting the adhesive tape of the tape member into a length dimension for adhering to the semiconductor cell;
The step of positioning the adhesive tape cut to a predetermined length on the upper surface and the lower surface of the semiconductor cell and sticking simultaneously ,
And discharging the semiconductor cell to which the adhesive tape has been attached from the stage,
A plurality of stages provided in the circumferential direction of the rotating body and intermittently driven, and an attachment portion,
The plurality of stages, a supply position for supplying the semiconductor cell, an attachment position for attaching the adhesive tape to the semiconductor cell, and a discharge position for discharging the semiconductor cell to which the adhesive tape is attached. Positioning,
When the supply reel is replaced with a new supply reel, a dummy cell is provided in the mounting portion, the dummy cell is positioned at the attaching position, and the adhesive tape cut to a predetermined length is attached to the upper and lower surfaces of the dummy cell. stuck tried same time bets, in adhering method of the adhesive tape which is characterized in that the beginning of the adhesive tape on the basis of the attached results.

この発明によれば、貼着位置に位置決めされたダミーセルに、所定長さに切断された複数の粘着テープを、通常の貼着工程と同様の作業でダミーセルに試し貼着して頭出しすることができる。   According to the present invention, a plurality of adhesive tapes cut to a predetermined length are dummy-adhered to the dummy cell in the same operation as a normal attaching process, and are cued to the dummy cell positioned at the attaching position. Can do.

つまり、複数の粘着テープの頭出し作業を、作業者がテープ部材をピンセットで挟んで引き出すようなことをせず、しかも粘着テープの切断位置が貼着位置に対してずれが生じ、そのずれを修正するために粘着テープを離型テープから剥がすというようなことをせず、通常の貼着作業と同様の機械的な作業で行なうことができるため、粘着テープの位置ずれや損傷を招くことなく、行なうことができる。しかも、半導体セルを用いず、ダミーセルを用いて頭出し作業を行なうため、半導体セルを無駄せずにすむということもある。   In other words, the cueing work of a plurality of adhesive tapes is not performed by the operator pinching the tape member with tweezers, and the cutting position of the adhesive tape is deviated from the sticking position. Because it can be done by mechanical work similar to normal pasting work without removing the adhesive tape from the release tape for correction, it does not cause misalignment or damage of the adhesive tape Can be done. Moreover, since the cueing operation is performed using a dummy cell without using a semiconductor cell, the semiconductor cell may not be wasted.

この発明の第1の実施の形態を示す粘着テープの貼着装置の概略的構成図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic block diagram of the adhesive tape sticking apparatus which shows 1st Embodiment of this invention. 図1に示された貼着装置に用いられた回転体の平面図。The top view of the rotary body used for the sticking apparatus shown by FIG. 回転体に設けられた取付け部の部分拡大した側面図。The side view which expanded the part of the attaching part provided in the rotary body. 貼着位置で半導体セルの上下面に粘着テープを貼着する貼着手段を示す正面図。The front view which shows the sticking means which sticks an adhesive tape on the upper and lower surfaces of a semiconductor cell in the sticking position. 上記貼着手段の切断機構によって粘着テープに切断線が形成されたテープ部材の拡大図。The enlarged view of the tape member by which the cutting line was formed in the adhesive tape by the cutting | disconnection mechanism of the said sticking means. 上下部の供給ユニットに設けられた3つの供給リールを示す平面図。The top view which shows three supply reels provided in the upper and lower supply units. 図3に示す貼着手段の側面図。The side view of the sticking means shown in FIG. 上下面に粘着テープが貼着された半導体セルの側面図。The side view of the semiconductor cell by which the adhesive tape was stuck on the upper and lower surfaces. 粘着テープが試し貼着されたダミーセルの平面図。The top view of the dummy cell by which the adhesive tape was test-pasted. この発明の第2の実施の形態を示す回転体の平面図。The top view of the rotary body which shows 2nd Embodiment of this invention. (a)は複数の半導体セルがリード線によって接続されたストリングを示す平面図、(b)はストリングの一部を示す拡大側面図。(A) is a top view which shows the string with which several semiconductor cells were connected by the lead wire, (b) is an enlarged side view which shows a part of string.

以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図1乃至図9はこの発明の第1の実施の形態を示し、図1に示す粘着テープの貼着装置は半導体セル1が後述するように供給、排出される給排機構10を備えている。この給排機構10は回転体11を有する。この回転体11は支持体12に回転可能に支持されていて、駆動手段としての駆動源13によって後述するように周方向に所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるようになっている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
1 to 9 show a first embodiment of the present invention, and the adhesive tape sticking apparatus shown in FIG. 1 includes a supply / discharge mechanism 10 for supplying and discharging the semiconductor cell 1 as will be described later. . The supply / discharge mechanism 10 has a rotating body 11. The rotator 11 is rotatably supported by a support 12 and is driven to rotate intermittently by a predetermined angle in the circumferential direction as will be described later by a drive source 13 as a drive means.

図2に示すように、上記回転体11には周方向に90度間隔で4つの突出部14が設けられている。4つの突出部14のうちの3つにはそれぞれ矩形状のステージ15の一方の長辺に突設された連結部16がねじ16aによって着脱可能に連結固定されている。   As shown in FIG. 2, the rotating body 11 is provided with four protrusions 14 at intervals of 90 degrees in the circumferential direction. Three of the four protrusions 14 are detachably connected to and fixed by a screw 16a at a connecting portion 16 protruding from one long side of the rectangular stage 15, respectively.

上記ステージ15には、長手方向に沿う3つの貫通孔17が長手方向と交差する幅方向に対して所定間隔で穿設されている。上記ステージ15の上面の、上記貫通孔17の両側にはそれぞれ吸引孔18が開口形成されている。各吸引孔18は吸引ポンプにチューブ(ともに図示せず)を介して接続されている。それによって、上記吸引孔18には吸引力を発生させることができるようになっている。   The stage 15 is formed with three through holes 17 along the longitudinal direction at predetermined intervals in the width direction intersecting the longitudinal direction. Suction holes 18 are formed on both sides of the through hole 17 on the upper surface of the stage 15. Each suction hole 18 is connected to a suction pump via a tube (both not shown). Thereby, a suction force can be generated in the suction hole 18.

上記回転体11に設けられた3つのステージ15は、供給位置A、貼着位置B、排出位置C及び予備位置Dに順次位置決めされるようになっている。つまり、上記回転体11は通常、上記駆動源13によって周方向に90度ずつ間欠的に回転駆動されるようになっていて、3つのステージ15は上述したように4つのポジションに順次位置決めされるようになっている。上記排出位置Cと予備位置Dは逆の順序で設けられていてもよい。   The three stages 15 provided in the rotating body 11 are sequentially positioned at the supply position A, the sticking position B, the discharge position C, and the preliminary position D. That is, the rotating body 11 is normally rotated intermittently by 90 degrees in the circumferential direction by the driving source 13, and the three stages 15 are sequentially positioned at the four positions as described above. It is like that. The discharge position C and the preliminary position D may be provided in the reverse order.

なお、図2では3つのステージ15が貼着位置B、排出位置C及び予備位置Dに位置決めされている状態を示している。   FIG. 2 shows a state where the three stages 15 are positioned at the sticking position B, the discharge position C, and the preliminary position D.

図1に示すように、上記供給位置Aに位置決めされたステージ15の上面には、供給部21に貯えられた半導体セル1が第1のロボット22によって取り出されて供給される。それによって、その半導体セル1は上記吸引孔18に生じる吸引力によってステージ15の上面に吸着保持される。なお、上記第1のロボット22は第1のX・Y・Z駆動源22aによってX、Y、Z方向に駆動されるようになっている。   As shown in FIG. 1, the semiconductor cell 1 stored in the supply unit 21 is taken out and supplied to the upper surface of the stage 15 positioned at the supply position A by the first robot 22. Thereby, the semiconductor cell 1 is sucked and held on the upper surface of the stage 15 by the suction force generated in the suction hole 18. The first robot 22 is driven in the X, Y, and Z directions by a first X, Y, and Z drive source 22a.

上記供給位置Aで半導体セル1が供給された後、上記回転体11が90度回転駆動されて上記ステージ15が上記貼着位置Bに位置決めされると、後述する貼着手段23によって上記半導体セル1の上面と下面にそれぞれ3本の粘着テープ3が貼着される。   After the semiconductor cell 1 is supplied at the supply position A, the rotating body 11 is driven to rotate 90 degrees and the stage 15 is positioned at the attachment position B. Three adhesive tapes 3 are attached to the upper surface and the lower surface of 1, respectively.

上記半導体セル1の上面と下面にそれぞれ3本の粘着テープ3が貼着されると、上記回転体11が90度間欠的に回転駆動され、上記半導体セル1を保持したステージ15が上記排出位置Cに位置決めされる。   When three adhesive tapes 3 are attached to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1, the rotating body 11 is intermittently rotated by 90 degrees, and the stage 15 holding the semiconductor cell 1 is moved to the discharge position. C is positioned.

上記排出位置Cに位置決めされた上記ステージ15に保持された半導体セル1は、第2のロボット24により取り出され、上記半導体セル1の粘着テープ3にリード線2を貼着する次工程に受け渡される。上記第2のロボット24は第2のX・Y・Z駆動源24aによってX、Y、Z方向に駆動されるようになっている。   The semiconductor cell 1 held on the stage 15 positioned at the discharge position C is taken out by the second robot 24 and delivered to the next step of attaching the lead wire 2 to the adhesive tape 3 of the semiconductor cell 1. It is. The second robot 24 is driven in the X, Y, and Z directions by a second X, Y, and Z drive source 24a.

なお、上記第1、第2のロボット22,24はそれぞれ複数の吸着パッド25を有し、この吸着パッド25に生じる吸引力で上記供給部21の半導体セル1の上面を吸着して取り出すようになっている。   Each of the first and second robots 22 and 24 has a plurality of suction pads 25, and the upper surface of the semiconductor cell 1 of the supply unit 21 is sucked and taken out by the suction force generated in the suction pads 25. It has become.

上記回転体11に設けられた4つの突出部14のうちの、残りの1つの突出部14は、図2に示すように他の3つの突出部14よりも突出長さが短く設定されている。その突出部14には取付け部51が設けられているこの取付け部51は、上記突出部14の先端に一側がねじ16aによって取付けられたホルダプレート52を有する。このホルダプレート52には上記ステージ15と同様、3本の貫通孔52aが形成されていて、上面は上記ステージ15の上面と同じ高さに設定されている。   Of the four protrusions 14 provided on the rotating body 11, the remaining one protrusion 14 is set to have a shorter protrusion length than the other three protrusions 14 as shown in FIG. . The mounting portion 51 is provided on the projecting portion 14, and the mounting portion 51 has a holder plate 52 that is attached to the tip of the projecting portion 14 on one side by a screw 16 a. Similar to the stage 15, the holder plate 52 has three through holes 52 a, and the upper surface is set to the same height as the upper surface of the stage 15.

上記ホルダプレート52の上面の両端部には一対の支持片53が立設されている。各支持片53にはアーム54の中途部が支軸55によって枢支されている。各アーム54は図3に示すように上記支軸55に取付けられたばね56によって矢印で示すように先端が上記ホルダプレート52の上面に圧接する方向に付勢されている。   A pair of support pieces 53 are erected on both end portions of the upper surface of the holder plate 52. A middle portion of the arm 54 is pivotally supported on each support piece 53 by a support shaft 55. As shown in FIG. 3, each arm 54 is urged by a spring 56 attached to the support shaft 55 in a direction in which the tip is pressed against the upper surface of the holder plate 52 as indicated by an arrow.

そして、後述するように半導体セル1に貼着される粘着テープ3の頭出し貼着を行う際、上記取付け部51にはダミーセル1Xが一側部を上記ホルダプレート52と上記アーム54の先端とによって着脱可能に挟持されて上記ホルダプレート52の上面に保持される。   Then, as will be described later, when cueing and sticking the adhesive tape 3 to be attached to the semiconductor cell 1, the dummy cell 1 </ b> X has one side portion on the attachment portion 51 and the tip of the holder plate 52 and the arm 54. And is detachably held by the upper surface of the holder plate 52.

なお、上記回転体11の突出部14にホルダプレート52を設けておくことで、粘着テープ3の交換時にステージ15上に製造途中の製品が搭載されていても、ダミーセル1Xを上記ホルダプレート52に搭載することができるから、製造途中の製品をステージ15から除去する必要がない。   In addition, by providing the holder plate 52 on the projecting portion 14 of the rotating body 11, the dummy cell 1 </ b> X is attached to the holder plate 52 even when a product in the middle of manufacture is mounted on the stage 15 when the adhesive tape 3 is replaced. Since it can be mounted, it is not necessary to remove the product being manufactured from the stage 15.

しかも、上記回転体11の突出部14からステージ15を取り外したり、上記ホルダプレート52を上記突出部14に取り付けるなどのことをせずにすむから、作業効率や生産性の向上を図ることができる。   In addition, it is not necessary to remove the stage 15 from the projecting portion 14 of the rotating body 11 or to attach the holder plate 52 to the projecting portion 14, so that the work efficiency and productivity can be improved. .

上記ダミーセル1Xとしては半導体セル1に比べて安価な材料で、しかも粘着テープ3の貼着性が半導体セル1と同等の表面状態のものを用いることが好ましく、種々実験をしたところ、アルミニウムなどの金属板やアクリル樹脂或いはエポキシ樹脂などの合成樹脂板よりも、厚紙で形成することが最適であることが確認された。   As the dummy cell 1X, it is preferable to use a material that is less expensive than the semiconductor cell 1 and that has a sticking property of the adhesive tape 3 equivalent to that of the semiconductor cell 1, and has been subjected to various experiments. It was confirmed that it is more optimal to use cardboard than a synthetic resin plate such as a metal plate, an acrylic resin, or an epoxy resin.

上記貼着手段23は、図4に示すように上記ステージ15に保持された上記半導体セル1の上面に粘着テープ3を供給して貼着する上部供給ユニット27Aと、下面に粘着テープ3を供給して貼着する下部供給ユニット27Bを有する。各供給ユニット27A,27Bは上下方向の向きが異なるものの、構成は同じであるので、同一部分には同一記号を付して説明を省略する。   As shown in FIG. 4, the adhering means 23 supplies an upper supply unit 27A for supplying and adhering the adhesive tape 3 to the upper surface of the semiconductor cell 1 held by the stage 15, and supplies the adhesive tape 3 to the lower surface. The lower supply unit 27B is attached. Although the supply units 27A and 27B have different configurations in the vertical direction, the configuration is the same.

すなわち、上記各供給ユニット27A,27Bは図4と図6に示すように、上記貼着位置Bに位置決めされたステージ15の一端側の上方と下方にそれぞれ配置された3つの供給リール28を有する。図4は供給リール28を1つだけ示している。上記供給リール28には図5に示すように上記粘着テープ3が離型テープ3aに貼着されたテープ部材4が巻装されている。   That is, as shown in FIGS. 4 and 6, each of the supply units 27A and 27B has three supply reels 28 arranged above and below one end side of the stage 15 positioned at the sticking position B, respectively. . FIG. 4 shows only one supply reel 28. As shown in FIG. 5, the supply reel 28 is wound with a tape member 4 in which the adhesive tape 3 is adhered to a release tape 3a.

3つの供給リール28は、図6に示すように径方向の中心部に軸受31が設けられていて、各軸受31は支軸33にスペーサ34を介して所定間隔で回転可能に支持されている。上記支軸33の両端部は、一対のブラケット32の先端に形成された凹部32aに着脱可能に係合させて支持されている。一対のブラケット32の基端部は基部材30の板面に固定されている。   As shown in FIG. 6, the three supply reels 28 are provided with bearings 31 in the center portion in the radial direction, and each bearing 31 is supported on a support shaft 33 via a spacer 34 so as to be rotatable at a predetermined interval. . Both ends of the support shaft 33 are supported by being detachably engaged with recesses 32a formed at the tips of the pair of brackets 32. The base end portions of the pair of brackets 32 are fixed to the plate surface of the base member 30.

上記支軸33の両端部にはストッパ35が装着され、このストッパ35はハンドル36を回転させることで、上記支軸33に着脱できるようになっている。それによって、上記ブラケット32から上記支軸33とともに3つの供給リール28を取り外した後、上記ストッパ35を上記ハンドル36によって緩めて各供給リール28を上記支軸33から取り外し、新たな供給リール28に交換できるようになっている。つまり、使用中の3つの供給リール28を未使用の新たな3つの供給リール28に一括で交換できるようになっている。   Stoppers 35 are attached to both ends of the support shaft 33, and the stoppers 35 can be attached to and detached from the support shaft 33 by rotating a handle 36. Accordingly, after removing the three supply reels 28 together with the support shaft 33 from the bracket 32, the stopper 35 is loosened by the handle 36 and each supply reel 28 is removed from the support shaft 33, and a new supply reel 28 is attached. It can be exchanged. In other words, the three supply reels 28 in use can be replaced at once with three new supply reels 28 that are not used.

図4に示すように、3つの供給リール28からそれぞれ引き出されたテープ部材4の粘着テープ3には、シリンダ29a及びこのシリンダ29aによって駆動されるカッタ29bによって図5に示す切断線4aが後述するように一定の間隔で形成される。   As shown in FIG. 4, the adhesive tape 3 of the tape member 4 pulled out from the three supply reels 28 has a cutting line 4a shown in FIG. 5 described later by a cylinder 29a and a cutter 29b driven by the cylinder 29a. So as to be formed at regular intervals.

3つのシリンダ29aは、送りねじ、リニアモータ或いはシリンダなどのZ駆動機構29cによってそれぞれ矢印Zで示す上記テープ部材4の走行方向に沿って駆動位置決めできるようになっている。   The three cylinders 29a can be driven and positioned along the traveling direction of the tape member 4 indicated by an arrow Z by a Z drive mechanism 29c such as a feed screw, a linear motor, or a cylinder.

つまり、上記粘着テープ3に形成する切断線4aの、上記テープ部材4の走行方向、つまり長手方向に対する位置を調整できるようになっている。上記シリンダ29a、カッタ29b及びZ駆動機構29cによって切断機構29を構成している。   That is, the position of the cutting line 4a formed on the adhesive tape 3 with respect to the traveling direction of the tape member 4, that is, the longitudinal direction can be adjusted. The cylinder 29a, the cutter 29b, and the Z drive mechanism 29c constitute a cutting mechanism 29.

第1の実施の形態では、3つの供給リール28から引き出されたそれぞれのテープ部材4の粘着テープ3に対し、別々のカッタ29によって切断線4aを形成する例を上げて説明したが、3つの供給リール28から引き出された3本のテープ部材4の粘着テープ3に対し、1つのカッタによって同時に切断線4aを形成するようにしてもよい。   In the first embodiment, the example in which the cutting line 4a is formed by the separate cutters 29 on the adhesive tapes 3 of the respective tape members 4 drawn from the three supply reels 28 has been described. The cutting line 4a may be simultaneously formed by one cutter with respect to the adhesive tape 3 of the three tape members 4 drawn out from the supply reel 28.

このようにすれば、3本の粘着テープ3に形成された切断線4aの位置を一致させることができるから、3本の粘着テープ3のうちの1本の粘着テープ3の切断線4aの位置を調整するだけで、3本の粘着テープ3の切断線4aを同時に位置決めすることができる。したがって、位置決め精度や作業性の向上を図ることが可能となる。   If it does in this way, since the position of the cutting line 4a formed in the three adhesive tapes 3 can be made to correspond, the position of the cutting line 4a of one adhesive tape 3 of the three adhesive tapes 3 It is possible to position the cutting lines 4a of the three adhesive tapes 3 at the same time only by adjusting. Therefore, it is possible to improve positioning accuracy and workability.

上記切断線4aは離型テープ3aをハーフカットする深さであるが、上記粘着テープ3だけを切断する。そして、上記切断線4aは図5に示すように上記粘着テープ3に所定の間隔で形成される。つまり、上記切断線4aは同図にLで示す半導体セル1に貼着される粘着テープ3の長さ寸法に対応する間隔で形成される。   The cutting line 4a has a depth for half-cutting the release tape 3a, but only the adhesive tape 3 is cut. The cutting lines 4a are formed at predetermined intervals on the adhesive tape 3 as shown in FIG. That is, the cutting lines 4a are formed at intervals corresponding to the length of the adhesive tape 3 attached to the semiconductor cell 1 indicated by L in the drawing.

このように、切断線4aによって粘着テープ3が所定の長さに分断されたテープ部材4は、離型テープ3aとともに3つのガイドローラ38にガイドされ、上記貼着位置Bに位置決めされたステージ15の上面に保持された半導体セル1の上面と下面に対して平行に走行するようになっている。なお、上記3つのガイドローラ38はガイド手段を構成している。   Thus, the tape member 4 in which the adhesive tape 3 is divided into a predetermined length by the cutting line 4a is guided by the three guide rollers 38 together with the release tape 3a, and is positioned at the sticking position B. The semiconductor cell 1 that is held on the upper surface of the semiconductor cell 1 runs parallel to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1. The three guide rollers 38 constitute guide means.

上記粘着テープ3が平行に走行する部分の上方と下方にはそれぞれシリンダなどの上下駆動源41によって上下方向に駆動される上部加圧ツール42と下部加圧ツール43が配置されている。   An upper pressurizing tool 42 and a lower pressurizing tool 43 that are driven in the vertical direction by a vertical driving source 41 such as a cylinder are disposed above and below the portion where the adhesive tape 3 runs in parallel.

図4と図7に示すように、各加圧ツール42,43の加圧面には、上記半導体セル1の上面と下面に平行に走行する、それぞれ3本のテープ部材4に対向する間隔で3本の突条42a,43aが突設されている。   As shown in FIGS. 4 and 7, the pressing surfaces of the pressing tools 42 and 43 are 3 at intervals facing the three tape members 4 that run parallel to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1. The protrusions 42a and 43a of the book are protrudingly provided.

それによって、上記上下駆動源41によって上部加圧ツール42が下降方向に、上記下部加圧ツール43が上昇方向に駆動されると、各加圧ツール42,43に設けられた3本の突条42a,43aによって上記貼着位置Bに位置決めされた半導体セル1の上面と下面にそれぞれ3本のテープ部材4の粘着テープ3が加圧貼着されるようになっている。   Accordingly, when the upper pressurizing tool 42 is driven in the descending direction and the lower pressurizing tool 43 is driven in the ascending direction by the vertical drive source 41, the three protrusions provided on the pressurizing tools 42, 43 are provided. The adhesive tapes 3 of the three tape members 4 are pressure bonded to the upper surface and the lower surface of the semiconductor cell 1 positioned at the bonding position B by 42a and 43a, respectively.

このとき、上記下部加圧ツール43の突条43aは上記ステージ15の貫通孔17に入り込んで上記テープ部材4の粘着テープ3を半導体セル1の下面に押圧貼着するようになっている。つまり、上記下部加圧ツール43の突条43aは、上部加圧ツール42の突条42aよりの高さ寸法が高く、しかも上記ステージ15厚さ寸法よりの高く形成されている。   At this time, the protrusion 43 a of the lower pressure tool 43 enters the through hole 17 of the stage 15 and presses and adheres the adhesive tape 3 of the tape member 4 to the lower surface of the semiconductor cell 1. That is, the protrusion 43a of the lower pressurizing tool 43 has a height dimension higher than that of the protrusion 42a of the upper pressurization tool 42, and is higher than the thickness dimension of the stage 15.

なお、各加圧ツール42,43には図示しないヒータが内蔵され、粘着テープ3を半導体セル1の上下面に押圧貼着するとき、上記粘着テープ3を加熱して粘着性を向上させるようになっている。   In addition, each pressure tool 42 and 43 has a heater (not shown) built therein, and when the adhesive tape 3 is pressed and adhered to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1, the adhesive tape 3 is heated to improve the adhesiveness. It has become.

所定長さに分断された粘着テープ3が上記各加圧ツール42,43によって上記半導体セル1の上面と下面に同時に押圧貼着された後、上記半導体セル1の上面と下面に貼着された粘着テープ3から離型テープ3aが図示しない離型ローラなどの剥離手段によって剥離される。そして、上記半導体セル1の上面と下面に貼着された粘着テープ3から剥離された上記離型テープ3aは、それぞれ図4に示す巻取りリール44に巻き取られる。   The pressure-sensitive adhesive tape 3 divided into a predetermined length was simultaneously pressed and stuck to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1 by the pressure tools 42 and 43, and then stuck to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1. The release tape 3a is peeled from the adhesive tape 3 by a peeling means such as a release roller (not shown). And the said release tape 3a peeled from the adhesive tape 3 stuck on the upper surface and the lower surface of the said semiconductor cell 1 is each wound up by the winding reel 44 shown in FIG.

上記巻取りリール44は、巻取りモータ46によって回転駆動されるようになっていて、半導体セル1に貼着された粘着テープ3から離型テープ3aが剥離されると、上記巻取りモータ46が作動して上記離型テープ3aを所定長さずつ巻き取るようになっている。つまり、上記巻取りモータ46による1回当たりの上記離型テープ3aの巻取り長さは、図5にLで示す粘着テープ3に形成される一対の切断線4aの間隔と同じに設定されている。   The take-up reel 44 is driven to rotate by a take-up motor 46. When the release tape 3a is peeled off from the adhesive tape 3 attached to the semiconductor cell 1, the take-up motor 46 is turned on. In operation, the release tape 3a is wound up by a predetermined length. That is, the winding length of the release tape 3a per turn by the winding motor 46 is set to be the same as the interval between the pair of cutting lines 4a formed on the adhesive tape 3 indicated by L in FIG. Yes.

それによって、上記切断機構29によって長さLに切断された粘着テープ3は、上記巻取りリール44が上記巻取りモータ46によって所定角度で回転駆動される毎に、上記貼着位置Bに位置決めされた半導体セル1の上面と下面に対向するよう位置決めされることになる。   Thereby, the adhesive tape 3 cut to the length L by the cutting mechanism 29 is positioned at the sticking position B every time the take-up reel 44 is driven to rotate at a predetermined angle by the take-up motor 46. The semiconductor cell 1 is positioned so as to face the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1.

この実施の形態では、上記供給ユニット27A,27Bを構成する上記供給リール28、上記ガイドローラ38及び上記巻取りリール44によってテープ部材4を所定長さずつ送ることができるテープ供給機構を構成している。   In this embodiment, the supply reel 28, the guide roller 38 and the take-up reel 44 constituting the supply units 27A and 27B constitute a tape supply mechanism capable of feeding the tape member 4 by a predetermined length. Yes.

なお、巻取りリール44に代わり、粘着テープ3から剥離された上記離型テープ3aを挟持して回転駆動される一対のニップローラによってテープ部材4を所定長さずつ送るようにしてもよい。   Instead of the take-up reel 44, the tape member 4 may be fed by a predetermined length by a pair of nip rollers that are driven to rotate while sandwiching the release tape 3a peeled off from the adhesive tape 3.

その場合、上記ニップローラによって搬送された離型テープ3aを風圧によって所定方向に圧送するエアーダクトを併用することで、半導体セル1に貼着された粘着テープ3から剥離された離型テープ3aを確実に回収することが可能となる。   In that case, the release tape 3a peeled off from the adhesive tape 3 adhered to the semiconductor cell 1 can be surely secured by using an air duct that pumps the release tape 3a conveyed by the nip roller in a predetermined direction by wind pressure. Can be recovered.

つぎに、上記構成の貼着装置によって半導体セル1の上面と下面に粘着テープ3を貼着する動作について説明する。
まず、図示しない制御装置によって通常の貼着作業を行なうよう貼着装置の動作が設定されている場合には、供給位置Aに位置決めされた回転体11の3つのステージ15のうちの1つに、第1のロボット22によって半導体セル1が供給される。ついで、上記回転体11が駆動源13によって90度回転駆動される。
Next, the operation of adhering the adhesive tape 3 to the upper surface and the lower surface of the semiconductor cell 1 by the adhering device having the above configuration will be described.
First, when the operation of the sticking device is set so that a normal sticking operation is performed by a control device (not shown), one of the three stages 15 of the rotating body 11 positioned at the supply position A is set. The semiconductor cell 1 is supplied by the first robot 22. Next, the rotating body 11 is rotated 90 degrees by the driving source 13.

それによって、半導体セル1が供給された上記ステージ15は貼着位置Bに位置決めされ、他の2つのステージ15はそれぞれ排出位置C、予備位置Dに位置決めされ、取付け部51は供給位置Aに位置決めされる。この状態を図2に示す。なお、図2では取付け部51にダミーセル1Xが取付けられているが、通常の貼着作業を行なう場合、上記取付け部51にダミーセル1Xは取付けられていない。   Thereby, the stage 15 to which the semiconductor cell 1 is supplied is positioned at the sticking position B, the other two stages 15 are positioned at the discharge position C and the preliminary position D, respectively, and the mounting portion 51 is positioned at the supply position A. Is done. This state is shown in FIG. In FIG. 2, the dummy cell 1 </ b> X is attached to the attachment portion 51, but the dummy cell 1 </ b> X is not attached to the attachment portion 51 when performing a normal attaching operation.

上記供給位置Aに上記回転体11の取付け部51が位置決めされたとき、上記回転体11の回転角度に対する上記取付け部51の位置が上記制御装置によって予め認識されている。それによって、上記供給位置Aに位置決めされた上記取付け部51に対して上記第1のロボット22による半導体セル1の供給は行われないようになっている。   When the mounting portion 51 of the rotating body 11 is positioned at the supply position A, the position of the mounting portion 51 with respect to the rotation angle of the rotating body 11 is recognized in advance by the control device. Accordingly, the semiconductor cell 1 is not supplied by the first robot 22 to the mounting portion 51 positioned at the supply position A.

上記貼着位置Bに位置決めされた半導体セル1の上下面には、上部供給ユニット27Aと下部供給ユニット27Bによって粘着テープ3が貼着される。すなわち、上記貼着位置Bに位置決めされた上記半導体セル1の上面と下面は、各供給ユニット27A,27Bの供給リール28からガイドローラ38によってガイドされて繰り出された粘着テープ3に対向する。   The adhesive tape 3 is attached to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1 positioned at the attachment position B by the upper supply unit 27A and the lower supply unit 27B. That is, the upper surface and the lower surface of the semiconductor cell 1 positioned at the sticking position B face the adhesive tape 3 that is guided and fed out from the supply reel 28 of each of the supply units 27A and 27B by the guide roller 38.

つまり、各供給ユニット27A,27Bの供給リール28から繰り出された粘着テープ3は、切断機構29によって上記半導体セル1に貼着される長さLに切断された後、貼着位置Bに位置決めされた半導体セル1の上面と下面に対向する。   That is, the adhesive tape 3 fed out from the supply reels 28 of the supply units 27A and 27B is cut to the length L to be attached to the semiconductor cell 1 by the cutting mechanism 29 and then positioned at the attachment position B. The upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1 are opposed to each other.

ついで、上部加圧ツール42と下部加圧ツール43がそれぞれ上下駆動源41によって下降方向と上昇方向に駆動され、各加圧ツール42,43の加圧面に設けられた3つの突条42a,43aによってそれぞれ3本のテープ部材4が上記半導体セル1の上面と下面とに押圧される。それによって、各テープ部材4の粘着テープ3が図8に示すように上記半導体セル1の上面と下面にそれぞれ貼着される。   Next, the upper pressurizing tool 42 and the lower pressurizing tool 43 are driven in the descending direction and the ascending direction by the vertical drive source 41, respectively, and three protrusions 42a, 43a provided on the pressurizing surfaces of the respective pressurizing tools 42, 43 are provided. As a result, the three tape members 4 are pressed against the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1. As a result, the adhesive tape 3 of each tape member 4 is adhered to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1 as shown in FIG.

上記半導体セル1に粘着テープ3が貼着されると、各粘着テープ3から離型テープ3aが図示しない離型ローラによって剥離される。それによって、上記半導体セル1の上下面に対する粘着テープ3の貼着が終了する。   When the adhesive tape 3 is attached to the semiconductor cell 1, the release tape 3a is peeled from each adhesive tape 3 by a release roller (not shown). Thereby, the adhesion of the adhesive tape 3 to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1 is completed.

上記半導体セル1の上下面に対する粘着テープ3の貼着が終了すると、上記回転体11が駆動源13によって90度回転駆動され、粘着テープ3が貼着された半導体セル1を保持したステージ15が排出位置Cに位置決めされる。   When the adhesion of the adhesive tape 3 to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1 is completed, the rotating body 11 is rotated 90 degrees by the drive source 13, and the stage 15 holding the semiconductor cell 1 to which the adhesive tape 3 is adhered is provided. It is positioned at the discharge position C.

それと同時に、上記取付け部51の次のステージ15が供給位置に位置決めされ、そのステージ15に新たな半導体セル1が供給される。このとき、上記貼着位置Bには上記取付け部51が位置決めされるが、上記制御装置の認識に基づいて上記取付け部51に対しては粘着テープ3の貼着作業は行われない。   At the same time, the next stage 15 of the mounting portion 51 is positioned at the supply position, and a new semiconductor cell 1 is supplied to the stage 15. At this time, the attaching portion 51 is positioned at the attaching position B, but the attaching operation of the adhesive tape 3 is not performed on the attaching portion 51 based on the recognition of the control device.

粘着テープ3が貼着されて上記排出位置Cに位置決めされたステージ15に保持された半導体セル1は、第2のロボット24によって上記ステージ15から搬出されて次工程に受け渡される。   The semiconductor cell 1 held on the stage 15 with the adhesive tape 3 attached and positioned at the discharge position C is unloaded from the stage 15 by the second robot 24 and transferred to the next process.

その後、上記回転体11は90度回転され、半導体セル1が保持されたステージ15が貼着位置Bに位置決めされると、その半導体セル1の上下面に対して上述したように粘着テープ3が貼着される。   Thereafter, the rotating body 11 is rotated 90 degrees, and when the stage 15 holding the semiconductor cell 1 is positioned at the attaching position B, the adhesive tape 3 is attached to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1 as described above. Affixed.

このとき、上記取付け部51は排出位置Cに位置決めされるものの、そのことが制御装置によって認識されているから、第2のロボット24による半導体セル1の搬出作業は行なわれることがない。   At this time, although the mounting portion 51 is positioned at the discharge position C, it is recognized by the control device, so that the semiconductor robot 1 is not carried out by the second robot 24.

このように、3つのステージ15と1つの取付け部51を有する回転体11が90度ずつ間欠的に回転駆動され、これらのステージ15がそれぞれ供給位置A、貼着位置B、排出位置C及び予備位置Dに順次位置決めされ、各位置A〜Dで3つのステージ15に対して所定の作業が行なわれることで、上下面に粘着テープ3が貼着された半導体セル1を、上記回転体11が90度回転される毎に、上記排出位置Cから次工程に受け渡すことができる。   As described above, the rotating body 11 having the three stages 15 and the one mounting portion 51 is intermittently rotated by 90 degrees, and these stages 15 are respectively supplied to the supply position A, the sticking position B, the discharge position C, and the spare. By sequentially positioning the position D and performing predetermined operations on the three stages 15 at the positions A to D, the rotating body 11 is connected to the semiconductor cell 1 having the adhesive tape 3 attached to the upper and lower surfaces. Every time it is rotated 90 degrees, it can be transferred from the discharge position C to the next process.

半導体セル1に対する粘着テープ3の貼着作業が所定回数繰り返して行なわれると、各供給ユニット27A,27Bのそれぞれ複数の供給リール28に巻装されたテープ部材4の残量が所定以下になり、そのことが検出される。   When the sticking operation of the adhesive tape 3 to the semiconductor cell 1 is repeated a predetermined number of times, the remaining amount of the tape member 4 wound around each of the plurality of supply reels 28 of each of the supply units 27A and 27B becomes less than a predetermined value, That is detected.

すなわち、3つの供給リール28に巻装されたテープ部材4のちの、1つの供給リール28に巻装されたテープ部材4の残量が所定以下になると、その供給リール28から離型テープ3aの粘着テープ3が貼着されていない部分が導出され始めるから、そのことが図示しないセンサによって検出される。   That is, when the remaining amount of the tape member 4 wound on one supply reel 28 after the tape member 4 wound on the three supply reels 28 becomes a predetermined amount or less, the release tape 3a is removed from the supply reel 28. Since the portion where the adhesive tape 3 is not attached starts to be led out, this is detected by a sensor (not shown).

供給リール28に巻装されたテープ部材4の残量が所定以下になったことが検出されると、各供給ユニット27A,27Bのそれぞれ3つの供給リール28を新たな供給リール28に一括して交換する交換作業を行なうことになる。   When it is detected that the remaining amount of the tape member 4 wound around the supply reel 28 is less than a predetermined value, the three supply reels 28 of each of the supply units 27A and 27B are collectively put into a new supply reel 28. Exchange work to exchange will be performed.

上記供給リール28の交換作業は、使用中の供給リール28の離型テープ3aに粘着テープ3が貼着されていない後端部分を図示しない保持具によって吸着保持し、その部分よりも上流側で上記離型テープ3aを切断する。   The supply reel 28 is exchanged by sucking and holding the rear end portion of the supply reel 28 that is not attached to the release tape 3a in use with a holding tool (not shown) and upstream of the portion. The release tape 3a is cut.

切断後、各供給ユニット27A,27Bの図6に示す使用中の3つの供給リール28が取付けられた支軸33をブラケット32から取り外し、未使用の3つの供給リール28が取付けられた支軸33を上記ブラケット32に取付ける。   After the cutting, the support shaft 33 to which the three supply reels 28 in use shown in FIG. 6 of each of the supply units 27A and 27B are attached is removed from the bracket 32, and the support shaft 33 to which the three unused supply reels 28 are attached. Is attached to the bracket 32.

ついで、未使用の供給リール28から粘着テープ3が貼着されていない離型テープ3aの先端部分を引出し、上記保持具に保持された使用中の離型テープ3aの後端部分に重ね、それらの重合部分を図示しない超音波接続装置を用いて接合する。   Next, the front end portion of the release tape 3a to which the adhesive tape 3 is not attached is pulled out from the unused supply reel 28, and is overlapped with the rear end portion of the release tape 3a in use held by the holder. The superposed portions of are bonded using an ultrasonic connecting device (not shown).

接続後、新たな供給リール28のテープ部材4を、供給リール28から巻取りリール44に至る経路に通す。つまり、使用中のテープ部材4に新たな供給リール28のテープ部材4を接続したならば、上記巻取りリール44によって使用中のテープ部材4を所定長さずつ巻き取れば、新たな供給リール28から引き出されたテープ部材4を、複数のガイドローラ38にガイドされて巻取りリール44に至る経路に通すことができる。   After the connection, the tape member 4 of the new supply reel 28 is passed through a path from the supply reel 28 to the take-up reel 44. That is, if the tape member 4 of the new supply reel 28 is connected to the tape member 4 being used, the new supply reel 28 can be obtained by winding the tape member 4 being used by the take-up reel 44 by a predetermined length. The tape member 4 drawn out from can be guided by a plurality of guide rollers 38 and passed through a path reaching the take-up reel 44.

このとき、上記離型テープ3aに貼着された粘着テープ3には、上記切断機構29によって切断線4aが図5に示す長さLの間隔で形成される。   At this time, cutting lines 4a are formed at intervals of the length L shown in FIG. 5 by the cutting mechanism 29 on the adhesive tape 3 adhered to the release tape 3a.

ところで、使用中の供給リール28を新たな供給リール28に交換し、その供給リール28のテープ部材4を巻取りリール44に至る経路に通し、上記供給リール28を巻取りモータ46によって回転駆動する。   By the way, the supply reel 28 in use is replaced with a new supply reel 28, the tape member 4 of the supply reel 28 is passed through the path to the take-up reel 44, and the supply reel 28 is rotationally driven by the take-up motor 46. .

そして、上記テープ部材4の粘着テープ3を上記切断機構29のカッタ29bで長さLに切断しながら、上記テープ部材4を長さLずつ送るようにしても、複数の供給リール28から引き出されて上記切断機構29のカッタ29bによって切断された粘着テープ3を上記貼着位置Bに位置決めしたとき、複数の粘着テープ3の切断線4aによって切断された粘着テープ3の先端位置にずれが生じることがある。   Even if the tape member 4 is fed by length L while the adhesive tape 3 of the tape member 4 is cut to length L by the cutter 29b of the cutting mechanism 29, it is pulled out from the plurality of supply reels 28. When the adhesive tape 3 cut by the cutter 29b of the cutting mechanism 29 is positioned at the sticking position B, the tip position of the adhesive tape 3 cut by the cutting lines 4a of the plurality of adhesive tapes 3 is displaced. There is.

つまり、各粘着テープ3の先端の位置ずれは、各供給ユニット27A,27Bに設けられたそれぞれ新たな3つの供給リール28の寸法精度の違い、取付け位置のわずかなずれ、さらには新たな3つの供給リール28と、交換前の3つの供給リール28の寸法精度のばらつきや取付け位置のわずかなずれなどによって生じる。   In other words, the positional deviation of the tip of each adhesive tape 3 is caused by the difference in dimensional accuracy of the three new supply reels 28 provided in the respective supply units 27A and 27B, slight deviation of the mounting position, and three new three. This is caused by variations in dimensional accuracy between the supply reel 28 and the three supply reels 28 before replacement, a slight shift in the mounting position, and the like.

したがって、使用中の供給リール28を新たな供給リール28に交換したならば、貼着位置Bに位置決めされた、上部供給ユニット27Aと下部供給ユニット27Bのそれぞれ3つの供給リール28から引き出されて切断機構29によって切断された各3本の粘着テープ3の先端の位置を合わせる、いわゆる頭出し作業を行なう必要がある。   Therefore, if the supply reel 28 in use is replaced with a new supply reel 28, the supply reel 28 is pulled out from the three supply reels 28 of the upper supply unit 27A and the lower supply unit 27B positioned at the sticking position B and cut. It is necessary to perform a so-called cueing operation in which the positions of the tips of the three adhesive tapes 3 cut by the mechanism 29 are aligned.

また、粘着テープ3の切断線4aが形成された位置から、接続される元の粘着テープ3と交換される新たな粘着テープ3の接合位置までの距離と、粘着テープ3に形成される切断線4a間の長さLは、必ずしも長さLの整数倍となるとは限らない。   Moreover, the distance from the position where the cutting line 4a of the adhesive tape 3 is formed to the joining position of the new adhesive tape 3 to be replaced with the original adhesive tape 3 to be connected, and the cutting line formed on the adhesive tape 3 The length L between 4a is not necessarily an integral multiple of the length L.

その場合、新たなテープ部材4が切断機構29の切断位置まで送られてその粘着テープ3に切断線4aを形成し、その切断線4aである、粘着テープ3の先頭が貼着位置に位置決めされたとき、その先頭が粘着位置に対してずれることがある。   In that case, a new tape member 4 is sent to the cutting position of the cutting mechanism 29 to form a cutting line 4a on the adhesive tape 3, and the leading end of the adhesive tape 3 which is the cutting line 4a is positioned at the sticking position. The leading edge may deviate from the adhesive position.

そこで、そのような場合、新たなテープ部材4の粘着テープ3の切断線4aの位置である、先頭位置を頭出しする必要がある。   Therefore, in such a case, it is necessary to cue the head position, which is the position of the cutting line 4a of the adhesive tape 3 of the new tape member 4.

この頭出し作業は、まず、回転体11の取付け部51を供給位置Aに位置決めし、その取付け部51に図2と図3に示すようにダミーセル1Xを取付ける。つまり、ダミーセル1Xの一側部を上記取付け部51のアーム54によってホルダプレート52に挟持する。   In this cueing operation, first, the attaching portion 51 of the rotating body 11 is positioned at the supply position A, and the dummy cell 1X is attached to the attaching portion 51 as shown in FIGS. That is, one side portion of the dummy cell 1 </ b> X is held between the holder plate 52 by the arm 54 of the mounting portion 51.

ついで、回転体11を90度回転させて取付け部51、つまりダミーセル1Xを貼着位置Bに位置決めする。   Next, the rotating body 11 is rotated 90 degrees to position the attachment portion 51, that is, the dummy cell 1 </ b> X at the attachment position B.

上記取付け部51を貼着位置Bに位置決めしたならば、上記上部加圧ツール42と下部加圧ツール43を作動させ、上記ダミーセル1Xの上下面に、上記切断機構29で図4にLで示す所定長さに切断され、その切断位置から巻取りリール44の回転によって上記長さLずつ送られて上記貼着位置Bに位置決めされたそれぞれ3本の粘着テープ3を試し貼着する。   When the mounting portion 51 is positioned at the sticking position B, the upper pressurizing tool 42 and the lower pressurizing tool 43 are operated, and the upper and lower surfaces of the dummy cell 1X are indicated by L in FIG. Each of the three adhesive tapes 3 cut into a predetermined length, fed by the length L by the rotation of the take-up reel 44 from the cutting position, and positioned at the sticking position B is trial stuck.

上記ダミーセル1Xの上下面に粘着テープ3を貼着したならば、その粘着テープ3から離型テープ3aを剥離した後、上記ダミーセル1Xを上記取付け部51から取り外し、上下面に貼着された各3本の粘着テープ3の先端位置のずれ量を測定する。   If the adhesive tape 3 is attached to the upper and lower surfaces of the dummy cell 1X, the release tape 3a is peeled off from the adhesive tape 3, and then the dummy cell 1X is removed from the mounting portion 51 and attached to the upper and lower surfaces. The amount of deviation of the tip positions of the three adhesive tapes 3 is measured.

図9は粘着テープ3が貼着された上記ダミーセル1Xの上面を示し、この場合には上記ダミーセル1Xの上面に貼着された3本の粘着テープ3のうち、1本の粘着テープ3の先端位置が他の2本の粘着テープ3の先端に対してΔdの寸法だけずれている。したがって、Δdのずれがある場合、そのずれをなくす頭出し作業を行なう。   FIG. 9 shows the upper surface of the dummy cell 1X to which the adhesive tape 3 is adhered, and in this case, the tip of one adhesive tape 3 among the three adhesive tapes 3 adhered to the upper surface of the dummy cell 1X. The position is shifted by the dimension Δd with respect to the tips of the other two adhesive tapes 3. Therefore, if there is a deviation of Δd, a cueing operation for eliminating the deviation is performed.

この実施の形態では、上部供給ユニット27Aと下部供給ユニット27Bにそれぞれ設けられた3つの切断機構29のうち、ずれが生じた粘着テープ3を切断した切断機構29のカッタ29bを駆動するシリンダ29aを、Z駆動機構29cによって上記ずれ量Δdに応じた距離だけZ方向、この場合はZ方向下方へ移動させる。   In this embodiment, a cylinder 29a for driving a cutter 29b of the cutting mechanism 29 that cuts the adhesive tape 3 that has been displaced out of the three cutting mechanisms 29 provided in the upper supply unit 27A and the lower supply unit 27B, respectively. The Z drive mechanism 29c is moved downward in the Z direction, in this case, in the Z direction, by a distance corresponding to the shift amount Δd.

それによって、長さLに切断された3本の粘着テープ3を、これらの先端が一致するよう、貼着位置Bに位置決めして半導体セル1の上面に貼着することが可能となる。   As a result, the three adhesive tapes 3 cut to a length L can be positioned at the attaching position B so that their tips coincide with each other and attached to the upper surface of the semiconductor cell 1.

同様に、上記ダミーセル1Xの下面に貼着された3本の粘着テープ3の先端のずれ量を測定し、その測定に基づいて先端がずれた粘着テープ3の切断機構29を、そのずれ量に応じてZ駆動機構29cによって位置決め調整すれば、半導体セル1の下面においても、3本の粘着テープ3を先端が一致するよう、貼着位置Bに位置決めして半導体セル1の下面に貼着することが可能となる。   Similarly, the amount of displacement of the tips of the three adhesive tapes 3 adhered to the lower surface of the dummy cell 1X is measured, and the cutting mechanism 29 of the adhesive tape 3 whose tips are displaced based on the measurement is used as the amount of displacement. Accordingly, if the positioning is adjusted by the Z drive mechanism 29c, the three adhesive tapes 3 are also positioned at the sticking position B and stuck to the bottom surface of the semiconductor cell 1 so that the tips coincide with each other even on the bottom surface of the semiconductor cell 1. It becomes possible.

なお、シリンダ29aをZ駆動機構29cによって位置補正した後、新たなダミーセル1Xを上記回転体11の取付け部51に保持し、確認のため、再度、新たなダミーセル1Xに粘着テープ3を試し貼着し、各粘着テープ3の先端にずれがあるか否かを確認するようにしてもよい。   After the position of the cylinder 29a is corrected by the Z drive mechanism 29c, the new dummy cell 1X is held on the mounting portion 51 of the rotating body 11, and the adhesive tape 3 is again affixed to the new dummy cell 1X for confirmation. Then, it may be confirmed whether or not there is a deviation at the tip of each adhesive tape 3.

このように、回転体11にダミーセル1Xを着脱可能に取付けることができる取付け部51を設け、この取付け部51に取付けられたダミーセル1Xの上下面に、貼着位置Bで上部供給ユニット27Aと下部供給ユニット27Bの切断機構29によって所定長さに切断されて供給される粘着テープ3を試し貼着することで、粘着テープ3の頭出しを行うようにした。   Thus, the attachment part 51 which can attach the dummy cell 1X to the rotary body 11 so that attachment or detachment is possible is provided, and the upper supply unit 27A and the lower part are attached to the upper and lower surfaces of the dummy cell 1X attached to the attachment part 51 at the attaching position B. The pressure-sensitive adhesive tape 3 was cued by trial-adhering the pressure-sensitive adhesive tape 3 cut into a predetermined length by the cutting mechanism 29 of the supply unit 27B.

つまり、使用中の供給リール28を新たな供給リール28に交換したとき、貼着装置に備えられた上部供給ユニット27Aと下部供給ユニット27Bを用いてテープ部材4を実際の貼着時と同様に送って粘着テープ3を所定長さに切断し、所定長さに切断された粘着テープ3をダミーセル1Xに貼着して頭出しを行なうため、その貼着作業を手作業によらず、機械的に行うことができる。   That is, when the supply reel 28 in use is replaced with a new supply reel 28, the tape member 4 is attached in the same manner as in the actual sticking using the upper supply unit 27A and the lower supply unit 27B provided in the sticking device. The adhesive tape 3 is cut to a predetermined length by feeding, and the adhesive tape 3 cut to a predetermined length is attached to the dummy cell 1X to perform cueing. Can be done.

したがって、作業者がテープ部材4をピンセットで挟んで粘着テープ3の頭出しを行う場合のように、細くて柔軟なテープ部材4に作業者の手指が触れ、そのテープ部材4の位置ずれを招いたり、損傷させるなどして頭出しを確実かつ迅速に行うことができないということをなくすることができる。   Accordingly, the operator's fingers touch the thin and flexible tape member 4 as in the case where the operator puts the tape member 4 with tweezers to cue the tape, and the tape member 4 is displaced. It is possible to eliminate the fact that cueing cannot be performed reliably and promptly due to damage or damage.

とくに、半導体セル1の上下面にそれぞれ3本の粘着テープ3が貼着される場合、それら粘着テープ3の頭出しを手作業で行うようにすると、半導体セル1の幅方向手前側のテープ部材4に比べて奥側のテープ部材4や下面側の粘着テープ3の先端が視認し難いため、奥側や下面側の粘着テープ3の頭出しが非常に難しいということがある。   In particular, when three adhesive tapes 3 are attached to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1, respectively, when the cueing of the adhesive tapes 3 is performed manually, the tape member on the front side in the width direction of the semiconductor cell 1 is used. 4, it is difficult to visually recognize the tip of the tape member 4 on the back side or the adhesive tape 3 on the lower surface side, so that it is very difficult to cue the adhesive tape 3 on the back side or the lower surface side.

しかしながら、この実施の形態では、所定長さに切断された粘着テープ3を回転体11の取付け部51に取付けられたダミーセル1Xに試し貼着するため、貼着後に上記ダミーセル1Xを上記取付け部51から取り外すことで、上記ダミーセル1Xの上下面に貼着された全ての粘着テープ3の先端の位置ずれの確認を容易に、しかも確実に行うことができる。   However, in this embodiment, since the adhesive tape 3 cut to a predetermined length is trial-attached to the dummy cell 1X attached to the attachment portion 51 of the rotating body 11, the dummy cell 1X is attached to the attachment portion 51 after attachment. As a result, it is possible to easily and reliably confirm the positional deviation of the tips of all the adhesive tapes 3 adhered to the upper and lower surfaces of the dummy cell 1X.

さらに、安価な厚紙をダミーセル1Xとして用いて粘着テープ3の頭出し作業を行なうため、その作業に多くのコストが掛かるということもないばかりか、製品である半導体セル1を用いて頭出しを行う場合のように、半導体セル1を汚したり、傷付けて不良品を発生させるということもなくすことができる。   Furthermore, since the cueing work of the adhesive tape 3 is performed using inexpensive cardboard as the dummy cell 1X, the work is not costly, and the cueing is performed using the semiconductor cell 1 which is a product. As in the case, the semiconductor cell 1 can be prevented from being soiled or damaged to generate defective products.

図10はこの発明の第2の実施の形態を示す。この実施の形態は回転体11の変形例であって、この実施の形態の回転体11Aには周方向に90度間隔で3つの突出部14が設けられている。そして、3つの突出部14のうちの、180度離れた2つの突出部14にはそれぞれステージ15が連結されている。   FIG. 10 shows a second embodiment of the present invention. This embodiment is a modification of the rotator 11, and the rotator 11A according to this embodiment is provided with three protrusions 14 at intervals of 90 degrees in the circumferential direction. A stage 15 is connected to each of the two protrusions 14 that are 180 degrees apart from each other.

そして、残りの1つの突出部14に取付け部51が設けられ、供給リール28を交換して各供給リール28に巻装されたテープ部材4の粘着テープ3の頭出しを行う場合は、第1の実施の形態と同様、上記取付け部51にダミーセル1Xを取付けるようにする。   Then, when the attachment portion 51 is provided in the remaining one projecting portion 14 and the supply reel 28 is exchanged to cue the adhesive tape 3 of the tape member 4 wound around each supply reel 28, the first As in the embodiment, the dummy cell 1X is attached to the attachment portion 51.

上記回転体11の突出部14にホルダプレート52を設けておくことで、粘着テープ3の交換時にステージ15上に製造途中の製品が搭載されていても、ダミーセル1Xを上記ホルダプレート52に搭載することができるから、製造途中の製品をステージ15から除去する必要がない。   By providing the holder plate 52 on the projecting portion 14 of the rotating body 11, the dummy cell 1 </ b> X is mounted on the holder plate 52 even if a product being manufactured is mounted on the stage 15 when the adhesive tape 3 is replaced. Therefore, it is not necessary to remove the product being manufactured from the stage 15.

しかも、上記回転体11の突出部14からステージ15を取り外したり、上記ホルダプレート52を上記突出部14に取り付けるなどのことをせずにすむから、作業効率や生産性の向上を図ることができる。   In addition, it is not necessary to remove the stage 15 from the projecting portion 14 of the rotating body 11 or to attach the holder plate 52 to the projecting portion 14, so that the work efficiency and productivity can be improved. .

なお、この第2の実施の形態では上記回転体11に設けられるステージ15が2つであるから、一方のステージ15に対して半導体セル1の供給と、粘着テープ3が貼着された半導体セル1の排出が同じ位置で行われる。つまり、供給位置Aと排出位置Cが同じ位置に設定されている。この位置を同図にFで示す給排位置とする。   In the second embodiment, since there are two stages 15 provided on the rotating body 11, the semiconductor cell 1 is supplied to one stage 15 and the semiconductor cell having the adhesive tape 3 attached thereto. 1 is discharged at the same position. That is, the supply position A and the discharge position C are set to the same position. This position is defined as a supply / discharge position indicated by F in FIG.

一方のステージ15が給排位置Fに位置決めされているとき、他方のステージ15は同図にBで示す貼着位置に位置決めされる。   When one stage 15 is positioned at the supply / discharge position F, the other stage 15 is positioned at the sticking position indicated by B in FIG.

したがって、給排位置Fで一方のステージ15に半導体セル1が供給されると、上記回転体11が180度回転駆動されて貼着位置Bに位置決めされる。貼着位置Bで半導体セル1の上下面に粘着テープ3が貼着されると、上記回転体11が180度回転駆動され、粘着テープ3が貼着された半導体セル1が給排位置Fに位置決めされる。   Therefore, when the semiconductor cell 1 is supplied to the one stage 15 at the supply / discharge position F, the rotating body 11 is driven to rotate 180 degrees and positioned at the sticking position B. When the adhesive tape 3 is attached to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell 1 at the attaching position B, the rotating body 11 is rotated by 180 degrees, and the semiconductor cell 1 to which the adhesive tape 3 is attached is moved to the supply / discharge position F. Positioned.

なお、粘着テープ3の頭出しを行う場合には、上記取付け部51に対して貼着位置Bでダミーセル1Xを保持させ、その状態で上記ダミーセル1Xの上下面に粘着テープ3を貼着して各粘着テープ3の先端位置にずれがあるか否かを確認すればよい。   When cueing the adhesive tape 3, the dummy cell 1X is held at the attaching position B with respect to the mounting portion 51, and the adhesive tape 3 is attached to the upper and lower surfaces of the dummy cell 1X in this state. What is necessary is just to confirm whether the front-end | tip position of each adhesive tape 3 has a shift | offset | difference.

なお、第2の実施の形態において、突出部を4つ設け、そのうちの2つの突出部にステージを設け、残りの2つのステージに取付け部を設けるようにしてもよい。   In the second embodiment, four protrusions may be provided, two of which may be provided with stages, and the remaining two stages may be provided with attachments.

第1、第2の実施の形態において、取付け部にダミーセルを支持するためのホルダプレートを設けるようにしたが、ダミーセルが変形しない硬さ(剛性)を備えた材料であるならば、上記ホルダプレートを十分に短くし、ダミーセルの端部だけをホルダプレートとアームとで挟持するようにしてもよい。   In the first and second embodiments, a holder plate for supporting the dummy cell is provided in the mounting portion. However, if the dummy cell is a material having hardness (rigidity) that does not deform, the holder plate is used. May be sufficiently shortened so that only the end of the dummy cell is sandwiched between the holder plate and the arm.

さらに、第1、第2の実施の形態において、回転体にダミーセルを支持するためのホルダプレートを有する1つの取付け部を設けるようにしたが、取付け部の数は1つの限定されず、2つなど複数設けるようにしてもよい。   Furthermore, in the first and second embodiments, one attachment portion having a holder plate for supporting the dummy cell is provided on the rotating body. However, the number of attachment portions is not limited to one, and two attachment portions are provided. A plurality of them may be provided.

1…半導体セル、3…粘着テープ、4…テープ部材、10…給排機構、11…回転体、13…駆動源(駆動手段)、15…ステージ、21…供給部、23…貼着手段、27A…上部供給ユニット、27B…下部供給ユニット、28…供給リール(テープ供給機構)、29…切断機構、38…ガイドローラ(ガイド手段、テープ供給機構)、42…上部加圧ツール、43…下部加圧ツール、44…巻取りリール(テープ供給機構)、51…取付け部、52…ホルダプレート、53…支持片、54…アーム、56…ばね。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Semiconductor cell, 3 ... Adhesive tape, 4 ... Tape member, 10 ... Feeding / discharging mechanism, 11 ... Rotating body, 13 ... Drive source (drive means), 15 ... Stage, 21 ... Supply part, 23 ... Adhering means, 27A ... Upper supply unit, 27B ... Lower supply unit, 28 ... Supply reel (tape supply mechanism), 29 ... Cutting mechanism, 38 ... Guide roller (guide means, tape supply mechanism), 42 ... Upper pressure tool, 43 ... Lower Pressurizing tool, 44 ... take-up reel (tape supply mechanism), 51 ... mounting portion, 52 ... holder plate, 53 ... support piece, 54 ... arm, 56 ... spring.

Claims (4)

半導体セルの上下面それぞれ複数の粘着テープを所定間隔で同時に貼着する粘着テープの貼着装置であって、
離型テープ及びこの離型テープの一方の面に上記粘着テープが貼着されてなるテープ部材が巻装された複数の供給リール、これら供給リールから引き出された上記テープ部材が上記半導体セルの上面と下面とに対向するよう走行させるガイド手段を有するテープ供給機構と、
上記供給リールから引き出された上記テープ部材の上記粘着テープを上記半導体セルに貼着する長さ寸法に切断する切断機構と、
この切断機構によって切断された上記粘着テープを上記半導体セルの上面と下面とに同時に貼着する貼着手段と、
この貼着手段に上記半導体セルを供給上記粘着テープが貼着された半導体セルを排出する給排機構を具備し、
上記給排機構は、駆動手段によって周方向に間欠駆動される回転体を有し、この回転体には上面に上記半導体セルが保持される複数のステージ及びダミーセルが着脱可能に設けられる取付け部が周方向に設けられていて、
上記複数のステージは、上記半導体セルが供給される供給位置と、上記半導体セルに上記貼着手段によって上記粘着テープを貼着する貼着位置と、上記粘着テープが貼着された上記半導体セルを排出する排出位置とに上記駆動手段によって位置決めされるようになっていて、
上記ダミーセルが設けられる上記取付け部は、上記供給リールを新たな供給リールに交換したときに、上記取付け部に設けられる上記ダミーセルに上記切断機構によって切断された上記粘着テープを上記貼着手段によって試し貼着して上記粘着テープの頭出しをするために上記貼着位置に位置決めされ、この状態で上記ダミーセルには上面と下面とに同時に試し貼着されることを特徴とする粘着テープの貼着装置。
An adhesive tape attaching device for simultaneously attaching a plurality of adhesive tapes to the upper and lower surfaces of a semiconductor cell at a predetermined interval ,
Release tape and the release tape at one said adhesive tape to the surface of the bonded plurality of supply reels tape member is wound made, the tape member drawn from these supply reel the semiconductor cell A tape supply mechanism having guide means for running so as to face the upper and lower surfaces of the tape;
A cutting mechanism for cutting the adhesive tape of the tape member pulled out from the supply reel into a length dimension for adhering to the semiconductor cell;
The adhesive tape is cut by the cutting mechanism and the attaching means for attaching the same time the upper and lower surfaces of the semiconductor cell,
The semiconductor cell is supplied to the attaching means, comprising a supply and discharge mechanism for discharging the semiconductor cells in which the adhesive tape is adhered,
The supply / discharge mechanism has a rotating body intermittently driven in the circumferential direction by a driving means, and the rotating body has a plurality of stages on which the semiconductor cells are held and a mounting portion on which a dummy cell is detachably provided. Provided in the circumferential direction,
The plurality of stages include a supply position to which the semiconductor cell is supplied, an adhesion position at which the adhesive tape is adhered to the semiconductor cell by the adhesion means, and the semiconductor cell to which the adhesive tape is adhered. It is positioned by the drive means to the discharge position to discharge,
When the supply reel is replaced with a new supply reel, the attachment portion provided with the dummy cell is tested by the sticking means with the adhesive tape cut by the cutting mechanism in the dummy cell provided in the attachment portion. stuck to be positioned at the attaching position to the beginning of the adhesive tape, attaching of the adhesive tape, characterized in Rukoto been tried bonded simultaneously in this state to the upper and lower surfaces in the dummy cell apparatus.
上記給排機構は、上記回転体の周方向に90度間隔で設けられた3つの上記ステージと1つの上記取付け部とを有し、この取付け部にダミーセルが設けられていないとき、3つの上記ステージが上記供給位置、上記貼着位置、上記排出位置に順次位置決めされることを特徴とする請求項1記載の粘着テープの貼着装置。   The supply / discharge mechanism has the three stages provided at 90 ° intervals in the circumferential direction of the rotating body and the one attachment portion, and when the attachment portion is not provided with a dummy cell, The adhesive tape sticking apparatus according to claim 1, wherein the stage is sequentially positioned at the supply position, the sticking position, and the discharge position. 上記給排機構は、上記回転体の周方向に180度間隔で設けられた2つのステージとこれらステージに対して周方向に90度ずれた位置に設けられた上記取付け部とを有し、一方のステージが上記貼着位置に位置決めされているとき、他方のステージは上記半導体セルの供給位置と排出位置と同じ位置に設定されてなる給排位置に位置決めされるようになっていて、
上記取付け部にダミーセルが設けられていないとき、2つの上記ステージが上記給排位置と上記貼着位置に順次位置決めされることを特徴とする請求項1記載の粘着テープの貼着装置。
The supply / discharge mechanism has two stages provided at intervals of 180 degrees in the circumferential direction of the rotating body and the mounting portion provided at a position shifted by 90 degrees in the circumferential direction with respect to these stages. When the stage is positioned at the sticking position, the other stage is positioned at the supply / discharge position where the supply position and discharge position of the semiconductor cell are set at the same position ,
2. The adhesive tape sticking apparatus according to claim 1, wherein when the dummy cell is not provided in the attachment portion, the two stages are sequentially positioned at the supply / discharge position and the sticking position.
半導体セルの上下面それぞれ複数の粘着テープを所定間隔で同時に貼着する粘着テープの貼着方法であって、
上記半導体セルをステージに供給する工程と、
供給リールに巻装された離型テープ及びこの離型テープの一方の面に上記粘着テープが貼着されてなるテープ部材を、上記ステージに供給された上記半導体セルの上面と下面とに対向するよう走行させて供給する工程と、
上記テープ部材の上記粘着テープを上記半導体セルに貼着する長さ寸法に切断する工程と、
所定長さに切断された上記粘着テープを上記半導体セルの上面と下面とに位置決めして同時に貼着する工程と、
上記粘着テープが貼着された上記半導体セルを上記ステージから排出する工程と
を具備し、
回転体の周方向に設けられて間欠駆動される複数のステージと取付け部とを有し、
上記複数のステージを、上記半導体セルを供給する供給位置と、上記半導体セルに上記粘着テープを貼着する貼着位置と、上記粘着テープが貼着された上記半導体セルを排出する排出位置とに位置決めし、
上記供給リールを新たな供給リールに交換したときに、上記取付け部にダミーセルを設け、このダミーセルを上記貼着位置に位置決めし、所定長さに切断された上記粘着テープを上記ダミーセルの上面と下面とに同時に試し貼着し、この貼着結果に基づいて上記粘着テープの頭出しを行うことを特徴とする粘着テープの貼着方法。
A method for adhering an adhesive tape in which a plurality of adhesive tapes are simultaneously adhered to the upper and lower surfaces of a semiconductor cell at a predetermined interval ,
Supplying the semiconductor cell to a stage;
A release tape wound around a supply reel and a tape member formed by adhering the adhesive tape to one surface of the release tape are opposed to the upper and lower surfaces of the semiconductor cell supplied to the stage. A process of running and supplying
A step of cutting the adhesive tape of the tape member into a length dimension for adhering to the semiconductor cell;
The step of positioning the adhesive tape cut to a predetermined length on the upper surface and the lower surface of the semiconductor cell and sticking simultaneously ,
And discharging the semiconductor cell to which the adhesive tape has been attached from the stage,
A plurality of stages provided in the circumferential direction of the rotating body and intermittently driven, and an attachment portion,
The plurality of stages, a supply position for supplying the semiconductor cell, an attachment position for attaching the adhesive tape to the semiconductor cell, and a discharge position for discharging the semiconductor cell to which the adhesive tape is attached. Positioning,
When the supply reel is replaced with a new supply reel, a dummy cell is provided in the mounting portion, the dummy cell is positioned at the attaching position, and the adhesive tape cut to a predetermined length is attached to the upper and lower surfaces of the dummy cell. preparative same time stuck tried, adhering method of the adhesive tape which is characterized in that the beginning of the adhesive tape on the basis of the attached results.
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