JP6041975B2 - 高周波加速器の製造方法、高周波加速器、および円形加速器システム - Google Patents

高周波加速器の製造方法、高周波加速器、および円形加速器システム Download PDF

Info

Publication number
JP6041975B2
JP6041975B2 JP2015502654A JP2015502654A JP6041975B2 JP 6041975 B2 JP6041975 B2 JP 6041975B2 JP 2015502654 A JP2015502654 A JP 2015502654A JP 2015502654 A JP2015502654 A JP 2015502654A JP 6041975 B2 JP6041975 B2 JP 6041975B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
linear accelerator
accelerator
stage linear
frequency power
phase
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015502654A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2014132391A1 (ja
Inventor
菅原 賢悟
賢悟 菅原
和之 花川
和之 花川
保人 岸井
保人 岸井
山本 和男
和男 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Application granted granted Critical
Publication of JP6041975B2 publication Critical patent/JP6041975B2/ja
Publication of JPWO2014132391A1 publication Critical patent/JPWO2014132391A1/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • H05H7/08Arrangements for injecting particles into orbits
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61NELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N5/00Radiation therapy
    • A61N5/10X-ray therapy; Gamma-ray therapy; Particle-irradiation therapy
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/42Measurement or testing during manufacture
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/44Factory adjustment of completed discharge tubes or lamps to comply with desired tolerances
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H13/00Magnetic resonance accelerators; Cyclotrons
    • H05H13/04Synchrotrons
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • H05H7/02Circuits or systems for supplying or feeding radio-frequency energy
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • H05H7/22Details of linear accelerators, e.g. drift tubes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H9/00Linear accelerators
    • H05H9/04Standing-wave linear accelerators
    • H05H9/041Hadron LINACS
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H9/00Linear accelerators
    • H05H9/04Standing-wave linear accelerators
    • H05H9/041Hadron LINACS
    • H05H9/045Radio frequency quadrupoles
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H9/00Linear accelerators
    • H05H9/04Standing-wave linear accelerators
    • H05H9/041Hadron LINACS
    • H05H9/047Hybrid systems
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • H05H7/02Circuits or systems for supplying or feeding radio-frequency energy
    • H05H2007/025Radiofrequency systems
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • H05H7/08Arrangements for injecting particles into orbits
    • H05H2007/081Sources
    • H05H2007/082Ion sources, e.g. ECR, duoplasmatron, PIG, laser sources
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • H05H7/22Details of linear accelerators, e.g. drift tubes
    • H05H2007/227Details of linear accelerators, e.g. drift tubes power coupling, e.g. coupling loops

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)
  • Radiation-Therapy Devices (AREA)

Description

本発明は、粒子線を腫瘍など患部に照射して治療を行う粒子線治療装置などの粒子線を発生するための高周波加速器、特にシンクロトロンなどの円形加速器に粒子線を入射させるための入射器としての高周波加速器に関する。
粒子線がん治療装置では、円形加速器に入射する前段加速装置として入射器が用いられる。入射器として線形加速器が用いられることが多い。イオンビームにおいて、イオンビームの各粒子(イオン)間の相互作用(電気的な反発力)のことを空間電荷効果(スペースチ
ャージ)と呼ぶ。この反発力は、エネルギーが大きくなるにつれて緩和されるため、円形
加速に入射する前段でなるべく加速しておきたいという要求がある。
例えば陽子であれば、イオン源からのビームを加速するのに適した線形加速器と、2段加速として比較的小型に作ることが可能な線形加速器とは構造が異なることが知られている。粒子線がん治療装置以外の用途でも複数種類の線形加速器を直列につないで、比較的高エネルギーまで加速するということは行われている。
通常2台の高周波空洞を用いた加速器(高周波加速器)のそれぞれの高周波空洞に高周波を供給する場合は、供給する高周波がビームに対して同期している必要がある。このため、それぞれの高周波空洞には、同じ周波数の高周波を投入し、位相を同期させる必要があった。また、それぞれの高周波空洞へ投入する高周波の電力および2つの高周波空洞に投入する高周波のそれぞれの位相は、ビーム品質および透過効率がよくなるように設計および調整を行なっていた(例えば特許文献1)。
高周波加速器に供給する高周波は、大電力が必要である。高周波の大電力発生装置は高価であり、かつ真空管を用いて作られることが多いため、交換が必要となり保守費用が増加する問題があった。そのため、2台の高周波空洞への電力供給は、電力分配装置を用いると、電力発生装置の数が減るため、安価にかつ、信頼性が向上するというメリットがあった(例えば特許文献2)。
しかしながら、1台の電力発生装置でこれを実現し、共鳴型の電力分配装置で高周波電力を分配すると、その電力分配装置の原理的な問題から、それぞれの空洞へ供給する高周波電力の位相を独立に調整することができなかった。また、ビーム品質および透過効率がよくなるような、各空洞への電力調整も比較的困難であった。
特開平3−34252号公報 特開2010−27529号公報
上記のように、2台の異なる方式の高周波加速器を直列に配置して荷電粒子を加速する場合、従来は、2台の高周波加速器に供給する高周波の電力および位相をそれぞれ最適になるように調整し、高周波の電力および位相は、設計値近傍の狭い範囲でのみ荷電粒子を加速することができると考えられていた。
しかしながら、本願発明者らは、投入高周波電力に対する荷電粒子のエネルギーおよび位相の挙動について解明することにより、より広い範囲の高周波電力においても荷電粒子の加速が可能な条件が存在することを見出した。
本願では、1段目の線形加速器と2段目の線形加速器とを直列に配置し、それら2台の線形加速器を電力分配装置で結合した高周波加速器において、供給する高周波電力を変化させても、1段目の加速器と2段目の加速器とのマッチングが崩れず、調整が容易な高周波加速器を得ることを目的とする。
この発明の高周波加速器の製造方法は、イオン源から出射される荷電粒子を入射して加速する1段目の線形加速器と、この1段目の線形加速器から出射される荷電粒子を、マッチングセクションを介して入射して加速する、1段目の線形加速器と方式が異なる2段目の線形加速器と、1段目の線形加速器および2段目の線形加速器に供給する高周波電力を発生する高周波電源と、高周波電源から供給される全高周波電力を、1段目の線形加速器と2段目の線形加速器とに分配して供給する共鳴型電力分配装置と、を備えた高周波加速器の製造方法において、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンスに基づいて決定される前記全高周波電力の許容範囲のうちの最大許容範囲よりも広い前記全高周波電力の範囲において、2段目の線形加速器から荷電粒子ビームが出射されるように、共鳴型電力分配装置の2段目の線形加速器に供給する高周波電力の電力分配率Rの値と、1段目の線形加速器の出口から2段目の線形加速器の入口までのマッチングセクションの長さLと高周波電力の角周波数ωとの比L/ωの値と、を設定する工程を含むものである。
高周波電源から発生される高周波電力Prf,totalの広い範囲において、2段目の線形加速器から荷電粒子ビームが出射されるように、電力分配装置の2段目の線形加速器に供給する高周波電力の電力分配率Rの値と、1段目の線形加速器の出口から2段目の線形加速器の入口までのマッチングセクションの長さLと高周波電力の角周波数ωとの比L/ωの値と、を設定したので、供給する高周波電力を変化させても、1段目の加速器と2段目の加速器とのマッチングが崩れず、調整が容易な高周波加速器を得ることができる。この結果、さらに、円形加速器への入射器として用いる場合に、円形加速器に入射する荷電粒子ビームとして好ましい荷電粒子ビーム特性を、高周波電力の調整により得られる高周波加速器を提供できるという効果も奏する。
本発明の実施の形態1による高周波加速器の概略構成を示すブロック図である。 本願で用いる、各パラメータの表記を説明する概念図である。 本発明による高周波加速器の、1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームのエネルギー特性例を示す図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、2段目の線形加速器に入射される荷電粒子ビームに要求される設計値としてのエネルギー特性例を示す図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームの電力分配率をパラメータとしたエネルギー特性例を示す図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、2段目の線形加速器に入射される荷電粒子ビームに要求される、電力分配率をパラメータとした設計値としてのエネルギー特性例を示す図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームのエネルギー特性と2段目の線形加速器に入射される荷電粒子ビームに要求されるエネルギー特性とのマッチングを示す図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、2段目の線形加速器に入射される荷電粒子ビームに要求される設計値としての位相特性と設計許容範囲を説明する図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、2段目の線形加速器に入射される荷電粒子ビームに要求される設計値としての位相特性と設計許容範囲を説明する別の図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームの位相特性例を示す図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームが2段目の線形加速器に入口に到達したときの位相特性例を示す図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームが2段目の線形加速器に入口に到達したときの位相特性と、2段目の線形加速器に入射される荷電粒子ビームに要求される設計値としての位相特性とのマッチングを説明する図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、動作特性を、比較例として従来の高周波加速器の動作特性と合わせて示す図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の動作を説明する概念図である。 従来の高周波加速器の動作を説明する概念図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器の、製造工程を示すフロー図である。 本発明の実施の形態2による高周波加速器を含む円形加速システム全体の概略構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器から出力される荷電粒子ビームの特性を位相−エネルギー空間で表わした概念図である。 本発明の実施の形態1による高周波加速器から出力される荷電粒子ビームのエネルギー幅の特性を表わした図である。
図1は、本発明の実施の形態1による高周波加速器10の概略構成を示すブロック図である。イオン源1で発生したイオン(荷電粒子)を、高周波加速器10を構成する1段目の線形加速器2に入射させる。1段目の線形加速器2で加速された荷電粒子は2段目の線形加速器3に入射されてさらに加速される。2段目の線形加速器3から出射される荷電粒子ビームが本発明の実施の形態1による高周波加速器10から出射される荷電粒子ビーム9である。ここでは、1段目の線形加速器2としてRFQ(Radio Frequency Quadrupole)型線形加速器、2段目の線形加速器3としてAPF(Alternating Phase Focus)方式IH(Interdigital-H)型DTL(Drift Tube Linac)加速器を例にして説明する。なお、一段目の加速器はRFQに限らず、RFI(Rf-Focused Interdigital)でも良い。また、2段目の加速器は、APFに限らず、一般のDTLでも良い。
高周波加速器10において、荷電粒子を加速するための高周波は、高周波電源6により発生させ、APF方式IH型DTL加速器である2段目の線形加速器3に供給する。RFQ型線形加速器である1段目の線形加速器2への高周波は、レゾナントカップラ(共鳴型電力分配装置)と呼ばれる電力分配装置7により、2段目の線形加速器3と高周波結合することにより供給される。
1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子の、2段目の線形加速器3へ入射される位相が、APF方式IH型DTL加速器である2段目の線形加速器3の加速に適した位相になるよう、位相および横方向ビームプロファイル(縦方向はビーム進行方向)を調整する部分としてマッチングセクション8が設けられている。
高周波による荷電粒子の加速器は、高周波加速空洞に高周波電力を供給して、高周波加速空洞中に発生する電界により荷電粒子を加速する構成となっている。高周波空洞に高周波電力を供給すると高周波空洞内部に、高周波電界が定在波として誘起される。高周波電界は、その位相に応じて、正にも負にもなるため、その発生電界を荷電粒子の加速と同期する形で設計する。計算機を用いた最適設計を施さないと、正の電界と負の電界を交互に受けるため、荷電粒子は加速と減速を繰り返し、高エネルギーまで加速することはできない。その電界分布設計方針の違いによって、RFQやDTL、RFIなどの加速器の種類が存在する。以下に、RFQ型線形加速器、APF方式IH型DTL型線形加速器、および共鳴型電力分配装置の動作の特性を説明する。
(1)RFQ(Radio Frequency Quadrupole)型線形加速器
RFQ型線形加速器は、イオン源から発生するイオンビームを高周波捕獲(バンチング)させ、初段加速を行う直線型加速器である。ベインと呼ばれる電極対を対向して高周波4重極電場を発生させる。ベイン上にモジュレーションとよばれる変位を設けることにより、荷電粒子の速度と高周波の位相とを同期させて荷電粒子を加速する。ベインの外側には空洞を設け、ある周波数において共振する構造となっている。RFQ型線形加速器は、50keV程度の低いエネルギーで位相が揃っていない荷電粒子をMeV程度のエネルギーまで加速するのに適した加速器である。このため、イオン源から発生される荷電粒子を直接入射して加速する1段目の加速器として適した加速器である。
(2)APF(Alternating Phase Focus)方式IH(Interdigital-H)型DTL(Drift Tube Linac)型線形加速器
IH型DTL加速器とは、共振器内部の上下の加速ビーム軸方向に据え付けられたリッジと呼ばれる板に、ドリフトチューブと呼ばれる中空の円筒形導体が上下交互に取り付けられている構造を持つ線形加速器である。さらに、APF方式とは共振器内に発生する高周波電場によりイオンの加速と収束を同時に行うという収束方式である。これにより従来の線形加速器において、ビーム収束に必要であった四極電磁石等の収束要素が一切不要となり、IH型のDTL線形加速器の小型化が実現できる。しかし、この加速器では、電界で加速も収束も行うため、入口のビームエネルギー、および入口のビームの位相に対して、非常に敏感であり、設計値からずれたエネルギー、位相の荷電粒子が入射されても加速できない。
(3)共鳴型電力分配装置
共鳴型電力分配装置とは、複数台の加速空洞を同軸管で接続し、同軸管の長さを積極的に設計することで共振させ、3つの空洞を連成空洞のように動作させる技術である。3つの空洞を、π/2モードで動作させることで、両端にある加速空洞には、多くの高周波電力が投入されるが、共鳴型電力分配装置自身には、高周波電力が投入されず、高周波電力の分配は、共鳴型電力分配装置に取り付けられたスタブ構造などを有する同軸管の長さなどで調整する。π/2モードにしないと、共鳴型電力分配装置自身にも高周波電力投入がされ、放電などが発生する。π/2モードにすると、両端の空洞には、厳密に両空洞間の位相差が180°に固定された高周波が供給される。
従来、2個の異なる加速器に、2個の高周波電源から別々に高周波電力を給電することが行われている。2個の高周波電源を用いた場合には、位相を制御などで合わせるため、温度や外乱による制御の不安定性による変動などを受けるが、共鳴型電力分配装置を用いた場合には、そのような外乱要因による不安定性はなくなる。しかし、初期設置段階における位相の設定値の調整が不可能になる。また、電力分配率を変更するためには、共鳴型分配装置に取り付けられたスタブ構造などを有する同軸管の長さを変えるなどの変更が必要となり、電源の投入電力を電源の設定パネル上で変更するほど電力分配率の変更は容易でないため、初期設置段階における調整が比較的難しかった。
次に、各加速器の出射荷電粒子ビームの特性、APF方式IH型DTL型線形加速器である2段目の線形加速器3に入射される荷電粒子ビームに要求される特性などを説明する。特に、高周波電力に対する荷電粒子ビームの、エネルギーおよび位相の挙動について解明することにより、本発明の構成を見出した過程を説明する。
説明に当たって、パラメータの表記について説明する。荷電粒子ビームに含まれる荷電粒子のエネルギー分布の中心エネルギーをE、位相分布の中心位相をφと表わす。また、加速器の入口に関するパラメータについてはサフィックスi、出口についてはサフィックスo、1段目の線形加速器2に関するパラメータについてはサフィックス1、2段目の線形加速器3についてはサフィックス2、として表わす。例えば、1段目の線形加速器2の出口の荷電粒子ビームの中心エネルギーはEo,1、中心位相はφo,1として表わす。また1段目の線形加速器2に供給される高周波電力はPrf,1、2段目の線形加速器3に供給される高周波電力はPrf,2と表わす。これらの表記を図2に示す。
高周波電力は、両加速器に供給される高周波電力の和Prf,1+Prf,2が高周波電源6から供給される全高周波電力Prf,totalとなる。ここで、共鳴型電力分配装置7を用いることによって2段目の線形加速器3に分配される高周波電力の電力分配率Rを下式で定義する。
rf,2=R*Prf,total
rf,1=(1−R)*Prf,total
本発明の高周波加速器は、RFQ型線形加速器である1段目の線形加速器2から出射された荷電粒子を、マッチングセクション8を通してAPF方式IH型DTL型線形加速器である2段目の線形加速器3に入射させる。1段目の線形加速器2から出射された荷電粒子は進行方向の位置(位相)が中心値付近に集まっているビーム状の塊となっている。このようなビームの塊をバンチドビーム(bunched-beam)と呼ぶ。2段目の線形加速器3に入射された荷電粒子ビーム中の荷電粒子のうち、2段目の線形加速器3における加速に適した中心エネルギーと中心位相近傍の荷電粒子のみ加速される。2段目の線形加速器3において、入射される荷電粒子の加速に適した中心エネルギーと中心位相はある値であり、その近傍に許容出来る範囲がある。この許容範囲の中に入る粒子のみが加速される。したがって入射される荷電粒子のエネルギーおよび位相の中心値がずれていると2段目の線形加速器3では全く加速されないという状態が発生する。また、入射される荷電粒子のエネルギーおよび位相が許容範囲よりも広く分布する場合には、中心値がずれていなくても透過効率が下がる。
この許容範囲のことを加速器の分野ではアクセプタンスと呼んでいる。ここでは、エネルギーに対するアクセプタンスをエネルギーアクセプタンス、位相に対するアクセプタンスを位相アクセプタンスと呼ぶことにする。これら加速に適した中心エネルギー、中心位相、エネルギーアクセプタンス、位相アクセプタンスは、計算機を用いた解析によって求めることができる。
まず、荷電粒子のエネルギーについて考察する。マッチングセクション8は通常は電界発生装置が無く、磁界は仕事をしないためエネルギー変化は無いので、荷電粒子のエネルギーはマッチングセクション8を通過しても変化しない。よって、1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子のエネルギーが、2段目の線形加速器3に入射される荷電粒子のエネルギーとなる。1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子ビームの中心エネルギーEo,1が、1段目の線形加速器2に供給される高周波電力Prf,1に対して変化する様子を図3に示す。1段目の線形加速器2では、ある範囲の高周波電力Prf,1で荷電粒子を加速することができ、この範囲でPrf,1を増加させるとEo,1が減少する特性となっている。一方、APF方式IH型DTL型線形加速器である2段目の線形加速器3における加速に適した荷電粒子ビームの、入口でのエネルギーEi,2が、2段目の線形加速器3に供給される高周波電力Prf,2に対して変化する様子を図4に示す。Prf,2を増加させると、加速に適したEi,2が減少する特性となっている。図4では、中心エネルギーを実線で、上述のエネルギーアクセプタンスの限界を、2本の破線の曲線で示している。エネルギーアクセプタンス外のエネルギーの荷電粒子は、一切加速できない。
本発明の実施の形態1による高周波加速器の構成では、1段目の線形加速器2および2段目の線形加速器3に供給する高周波電力は、共鳴型電力分配装置7により分配して供給するため、両加速器に供給される高周波電力の変化の割合は同じになる。高周波電源6の出力を増加させると、1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子のエネルギーEo,1が減少し、2段目の線形加速器3に入射される荷電粒子のエネルギーEi,2の加速に適したエネルギーも減少するため、適切に設計すると高周波電力を変化させてもエネルギーマッチングする加速器が得られる。
図3および図4の横軸を高周波電源6の出力Prf,totalに替えて、2段目の線形加速器3に分配される高周波電力の電力分配率Rをパラメータとして特性を表わした図を図5および図6に示す。2段目の線形加速器3に分配される高周波電力Prf,2はR*Prf,totalであるから、Rが大きいとPrf,totalとしては比較的少ない側が加速に適した高周波電力となる。Rが小さいと、逆にPrf,totalとしては比較的多い側が加速に適した高周波電力となる。したがって、R>R>Rの関係にあるRをパラメータとして、2段目の線形加速器3に入射される荷電粒子ビームのエネルギーEi,2の加速に適したエネルギーの特性を示すと図6のようになる。図6では、加速に適した中心エネルギーを実線で、エネルギーアクセプタンスの限界を2本の破線で示している。すなわち、図6では、あるRに対して、2本の破線の間の範囲のエネルギーの荷電粒子が加速可能であることを示している。一方、1段目の線形加速器2に分配される高周波電力は(1−R)*Prf,totalであるから、Rが大きいとPrf,totalとしては比較的多い側が加速に適した高周波電力となる。Rが小さいと、逆にPrf,totalとしては比較的少ない側が加速に適した高周波電力となる。したがって、上記と同様のR、R、Rをパラメータとして1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子ビームのエネルギー特性を示すと図5のようになる。
図5の特性における、Eo,1の変化特性のうち電力分配率R2における特性と、図6のエネルギーアクセプタンス特性における、Ei,2の変化特性のうち電力分配率R2におけるエネルギーアクセプタンス特性とがマッチングしている。共鳴型電力分配装置7の電力分配率をR2に設定することにより、1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子ビームのエネルギーは、高周波電源6の出力の広い範囲で、2段目の線形加速器3に入射される荷電粒子のエネルギーEi,2の加速に適したエネルギーとなる。このように、2段目の線形加速器3に入射される荷電粒子のエネルギーEi,2の加速に適したエネルギーの高周波電力の変化に対する特性であるエネルギーアクセプタンス特性と、1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子のエネルギーEo,1の高周波電力の変化に対する特性である出射エネルギー特性とがマッチングする電力分配率Rが存在することが解った。
ここで、上記の両特性がどの程度マッチングしていれば良いかについて説明する。図5の特性曲線であるEo,1(Prf,total)と、図6の特性曲線、すなわちエネルギーアクセプタンス中の中心エネルギーを、あるRにおいて完全に一致させることは難しい。1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子ビームの中心エネルギーEo,1(Prf,total)が、図6のエネルギーアクセプタンス内にあれば、1段目の線形加速器2から出射された荷電粒子の全部が、あるいは透過効率が下がっても一部の荷電粒子が、2段目の線形加速器3で加速される。この様子を図7に模式的に示す。図5におけるRでの出射エネルギー特性曲線であるEo,1(Prf,total)が、図6におけるRでのエネルギーアクセプタンスの範囲内にあるとした場合に図7に示すような関係となる。
次に、荷電粒子の位相について考察する。2段目の線形加速器3に入射される荷電粒子が加速されるためには、荷電粒子が2段目の線形加速器3の入口に位置する時の高周波位相φi,2として適した位相がある。この適した位相を、横軸を高周波電源が供給する全高周波電力Prf,totalとして示すと、図8のようになる。図8では、加速に適した荷電粒子ビームの中心位相を実線で、その近傍で加速される許容範囲の限界、すなわち位相アクセプタンスの限界を2本の破線曲線で示している。中心位相および位相アクセプタンスは計算機解析により、すなわち設計で求めることができる。位相アクセプタンスの範囲は、図8に示すように、ある位相φdに対してΔφdで示す範囲となっている。この位相アクセプタンス特性に基づいて、ある位相φdの荷電粒子ビームが2段目の線形加速器3で加速できる高周波電力の範囲、すなわち許容範囲は、図9に示すΔPbとなることがわかる。従来は、加速できる高周波電力の範囲はこのΔPbの範囲のみであると考えられていた。しかしながら、本発明者らの以下の解析により、ΔPbよりも広い範囲の高周波電力の範囲で2段目の線形加速器3において加速できる条件が存在することが解った。
1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子の1段目の線形加速器2の出口における位相、すなわち荷電粒子が1段目の線形加速器2の出口に位置するときの荷電粒子の速度vo,1、そのときの高周波の位相をφo,1とする。荷電粒子の速度vo,1はEo,1から簡単に変換できる。マッチングセクションの長さ、すなわち1段目の線形加速器2の出口から2段目の線形加速器3の入口までの距離をL、高周波の角周波数をωとすると、荷電粒子がマッチングセクションを進む間に、高周波の位相は、
L/(ω*vo,1
だけ進むため、1段目の線形加速器2の出口に位置するときの高周波の位相がφo,1であった荷電粒子が2段目の線形加速器3の入口に到達したときの高周波の位相は、
φo,1+L/(ω*vo,1) (1)
となる。
1段目の線形加速器2の出口における荷電粒子ビームの位相φo,1は、図10に示すよ
うに、高周波電力に対して大きくは変化しない。また、荷電粒子の速度が相対論的速度ではない場合、荷電粒子のエネルギーEは速度vの2乗に比例する。図10と、図3および図5に示した特性を考慮して、1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子ビームが2段目の線形加速器3の入口に到達したときの荷電粒子ビームの位相、すなわち式(1)の値を、横軸を高周波電源が供給する全高周波電力Prf,totalとして示すと、図11のようになる。図11は、マッチングセクションの長さLをパラメータとして、 1 <L 2 <L 3
の3個のLについて示している。Lが大きいほど位相の変化が大きいため、傾きが大きくなっている。式(1)から解るように、実際にはL/ωがパラメータとなるが、上記の説明ではωは一定と仮定して説明した。
したがって、図11のようなLをパラメータとした特性中、より好ましくは、図9の位相アクセプタンスの範囲に最も多く入る特性となるLを選択すると、高周波電源の出力電力を広範囲に変化させても、荷電粒子は2段目の線形加速器3において加速されることになる。この様子を図12に示す。図12は、図8や図9と同様、2段目の線形加速器3において加速できる荷電粒子ビームの中心位相φi,2(細い実線)と位相アクセプタンスの範囲(破線曲線で示す範囲)、および式(1)の特性の中でこの位相アクセプタンス内に最も多く入るLの値の特性(太い実線)を模式的に示している。図12で示す特性の場合、高周波電力としてΔPaの範囲で1段目および2段目の線形加速器で荷電粒子を加速することができ、2段目の線形加速器3から荷電粒子ビームを出射することができる。このように、1段目の線形加速器2をRFQ型線形加速器、2段目の線形加速器3をAPF方式IH型DTL型線形加速器という組み合わせの高周波加速器10において、マッチングセクション8の長さLを適切に設定することにより、広い範囲の高周波電力において荷電粒子ビームを出射できる高周波加速器が得られることが解明できた。
なお、1段目の線形加速器2から出力される荷電粒子ビームが2段目の線形加速器3の入口に到達したときの位相の中心値が、2段目の線形加速器3の位相アクセプタンスの中心値にあっており、1段目の線形加速器2から出力される荷電粒子ビームの位相の拡がりが位相アクセプタンス内に入っている場合には透過効率が100%となる。2段目の線形加速器3の入口における荷電粒子ビームの位相の中心値がずれてしまうと、拡がりが位相アクセプタンス内であっても透過効率は下がる。更に、2段目の線形加速器3の入口における荷電粒子ビームの位相の中心値が位相アクセプタンスを超えると拡がりにかかわらず透過効率は0%になってしまう。特にAPF−IH型のDTLでは、位相アクセプタンスが狭いため、1段目の線形加速器2から出力される荷電粒子ビームが2段目の線形加速器3の入口到達したときの位相の中心値を2段目の線形加速器3の位相アクセプタンスの中心値に近づける必要がある。
本発明の実施の形態1による高周波加速器10は、1段目の線形加速器2がRFQ型線形加速器、2段目の線形加速器3がAPF方式IH型DTL型線形加速器という組み合わせの高周波加速器10に対して、1台の高周波電源から、高周波分配器によって高周波を分配して1段目の線形加速器2および2段目の線形加速器3に供給して荷電粒子を加速する構成としている。この構成の高周波加速器において、高周波分配器の電力分配率Rと、1段目の線形加速器2の出口と2段目の線形加速器3の入口の間、すなわちマッチングセクション8の長さLを適切に設定することにより、広い範囲の高周波電力において大電流の荷電粒子ビームを出射できる高周波加速器を提供できることが解明された。ただし、一段目の加速器はRFQに限らず、RFI(Rf-Focused Interdigital)でも良く、2段目の加速器は、APFに限らず、一般のDTLでも良く、これらの線形加速器の場合も上記で説明したのと同様の特性を示す。
図13に、本発明の実施の形態1による高周波加速器10の出力特性の一例を示す。図13は、横軸を高周波電源が供給する全高周波電力Prf,totalとして、2段目の線形加速器3から出射される荷電粒子の単位時間当たりの出射量に相当する、荷電粒子ビームの電流値Io,2を示している。実線が本発明の実施の形態1による高周波加速器10から出射されるIo,2の特性例を示し、破線は、従来の設計によって得られるIo,2の特性例を示している。従来は、破線で示すように、全高周波電力の狭い範囲、すなわち図9に示した2段目の線形加速器における許容範囲ΔPb程度の範囲でしか適切に加速されず、高周波電力の値を広い範囲で変化させて加速器の出力を得ることは難しいと考えられていた。しかし、本発明によれば、図13の実線で示すように、全高周波電力の値を広い範囲ΔPaで変化させても加速器の出力を得ることができることが解った。
上記の説明のように、本願発明者らにより、2つの加速器への高周波電力の電力分配率と、2つの加速器間のマッチングセクションの長さを適切に設定することで、高周波電力の広い範囲ΔPaで荷電粒子を加速でき、高周波電力を変化させても出射される荷電粒子ビームの電流値の変化が少ない高周波加速器を得ることができることが解明された。図9で示す、2段目の線形加速器における、入射荷電粒子の位相に対する全高周波電力Prf,totalの許容範囲ΔPbは位相φdの値により変化するが、ΔPbの最大値よりも広い範囲で2段目の線形加速器3において加速できる条件が存在することが解った。
以上の本発明の高周波加速器の動作と従来の設計による高周波加速器の動作とを、概念的な図を用いて説明する。図14は本発明の高周波加速器の動作を説明する概念図であり、図15は従来の設計による高周波加速器の動作を説明する概念図である。図14および図15において、横方向は荷電粒子の位相、矢印方向は全高周波電力Prf,totalであり、実線は1段目の線形加速器から出射される荷電粒子の位相分布、破線は2段目の線形加速器の位相アクセプタンスを示している。図14に示すように、本発明によれば、全高周波電力を変化させたとき、1段目の線形加速器から出射される荷電粒子の位相分布の変化が、2段目の線形加速器の位相アクセプタンスの変化に追随するため、1段目の線形加速器から出射される荷電粒子の位相分布と2段目の線形加速器の位相アクセプタンスとが全高周波電力の広い範囲にわたってマッチングする。
これに対し、図15に示すように、従来の設計では、ある全高周波電力Pにおいて1段目の線形加速器から出射される荷電粒子の位相分布と2段目の線形加速器の位相アクセプタンスとがマッチングするように設計したとき、全高周波電力がPからずれるに従って、急速に両者のマッチングがずれてしまう。よって、全高周波電力P前後の狭い電力の範囲でしか、1段目の線形加速器から出射される荷電粒子が2段目の線形加速器で加速できなかった。
以上のように、本発明によれば、2段目の線形加速器における、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンスに基づいて決定される全高周波電力の許容範囲のうち最大許容範囲(図9において、φdを変化させてφd毎のΔPbを決定した際の各ΔPbの内の最大値のことを言う)よりも広いPrf,totalの範囲において、2段目の線形加速器から荷電粒子ビームが出射されるように、電力分配装置7の2段目の線形加速器3に供給する高周波電力の電力分配率Rの値と、1段目の線形加速器2の出口から2段目の線形加速器3の入口までのマッチングセクション8の長さLと高周波電力の角周波数ωとの比L/ωの値と、を調整、あるいは設定できることがわかった。どの程度広い高周波電力の範囲まで荷電粒子ビームが出射されるようにできるかは、1段目の線形加速器および2段目の線形加速器の構成などに依存する。ただし、2段目の線形加速器における、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンスに基づいて決定される全高周波電力の許容範囲のうち最大許容範囲の少なくとも2倍以上の範囲で荷電粒子ビームを出射できることが解った。
図16に、上記した本発明の実施の形態1による高周波加速器10の設計方法の工程をフロー図としてまとめて示す。まず、図5に示したような、高周波電源から発生される高周波電力Prf,totalに対して、1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子ビームの、電力分配装置7の電力分配率Rをパラメータとする出射エネルギー特性を求める(ST1)。ステップST1と並行して、図6に示したような、Prf,totalに対し、2段目の線形加速器3に入射される荷電粒子ビームのエネルギーEi,2の、電力分配率Rをパラメータとするエネルギーアクセプタンス特性を求める(ST2)。次に、ステップST1において求めた出射エネルギー特性のうち、ステップST2において求めたエネルギーアクセプタンス特性の範囲にできるだけ多く入る特性、すなわちマッチングする電力分配率Rを決定する(ST3)。
次に、ステップST3において決定した電力分配率Rを用いて、図10に示したような、Prf,totalに対して、1段目の線形加速器2から出射される荷電粒子ビームの1段目の線形加速器2の出口における中心位相φo,1(Prf,total)の特性である出射位相特性を求める(ST4)。次に、この出射位相特性を用いて、図11に示したような、1段目の線形加速器2から出射された荷電粒子ビームが2段目の線形加速器3の入口に到達したときの荷電粒子ビームの中心位相であるφo,1(Prf,total)+(L/ω)/v(Prf,total)の、L/ωの値をパラメータとする特性である入口位相特性を求める(ST5)。
一方、ステップST3において決定した電力分配率Rを用いて、Prf,totalに対する、2段目の線形加速器3に入射される荷電粒子ビームの位相アクセプタンス特性を求める(ST6)。次に、ステップST5において求めたL/ωの値をパラメータとする入口位相特性のうち、ステップST6において求めた位相アクセプタンス特性とマッチングする特性に基づいてL/ωの値を決定する(ST7)。すなわち、ステップST5において求めたL/ωの値をパラメータとする入口位相特性のうち、ステップST6において求めた位相アクセプタンス特性の範囲内に、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンス特性に基づいて決定される全高周波電力の許容範囲のうちの最大許容範囲よりも広い範囲、少なくとも最大許容範囲の2倍以上の全高周波電力の範囲において含まれる入口位相特性に基づいてL/ωの値を決定する。
以上の工程を含んだ設計、調整により製造した高周波加速器は、供給する高周波電力を図9で説明した、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンス特性に基づいて決定される全高周波電力の許容範囲のうちの最大許容範囲よりも広い範囲で変化させても、1段目の加速器と2段目の加速器とのマッチングが崩れず、調整が容易な高周波加速器とすることができる。また、実施の形態2で説明するように、この高周波加速器を円形加速器への入射器として用いる場合に、円形加速器に入射する荷電粒子ビームとして好ましい荷電粒子ビーム特性を、高周波電力の調整により得られる高周波加速器とすることができる。
実施の形態2.
図17は、本発明の実施の形態2による円形加速器システムの概略構成を示すブロック図である。図17における高周波加速器10は、実施の形態1で説明した高周波加速器である。本実施の形態2による円形加速器システムは、高周波加速器10から出射される荷電粒子ビームをシンクロトロンなどの円形加速器5に入射して、粒子線治療装置など、照射対象に照射して利用できるエネルギーまで加速して、荷電粒子ビームとして出射させるシステムである。
従来の高周波加速器を用いる場合はデバンチャ―という、荷電粒子ビームの荷電粒子のエネルギーを揃え、位相幅を拡大する機器を介して荷電粒子ビームをシンクロトロンに入射させる必要があった。しかし、本発明の実施の形態1による高周波加速器10を用いれば、出射される荷電粒子ビームは、デバンチャ―のようなエネルギーの拡がりと位相の拡がりとの関係を調整する機器を介することなく、ビーム進行方向を曲げるための偏向磁石と、ビームの横方向の拡がりを制御する4極電磁石、ビームの軌道を補正するステアリング電磁石のように、荷電粒子ビームに作用する物理量が磁界のみであるビーム輸送系4を介して円形加速器5に入射される。
実施の形態1による高周波加速器10の高周波電力に対する出力特性は図13の実線の様であることを説明した。高周波電力を変化させても出射される荷電粒子ビームの電流値は大きく変化しないが、出射される荷電粒子ビームの性質は変化する。図18はこの変化を説明する図である。図18は、出射される荷電粒子ビームに含まれる荷電粒子の分布を、位相φとエネルギーEの空間で表現した概念図である。図18の(a)、(b)、(c)は、それぞれ高周波電力Prf,totalが異なる場合の荷電粒子ビーム中の個々の荷電粒子の分布を示すもので、出射される個々の荷電粒子が各図の楕円内に分布していることを示している。このように、高周波電力を変化させると、出射される荷電粒子ビームは、φ−E空間で楕円が面積を変化させながら回転する特性を示す。
図19は、図18のように変化する荷電粒子の分布を、エネルギーの幅に相当する運動量の拡がりの幅√|ΔP/Po,2|(運動量スペクトラムとも言われている)の高周波電力Prf,totalに対する特性として表わした図である。図19に示すように、高周波電力の変化に対応して運動量スペクトラム幅が変化する。
シンクロトロンのような円形加速器5より荷電粒子が加速されるためには、運動量スペクトラムは所望の小さな値を有した荷電粒子ビームを入射する必要がある。例えば、円形加速器5の加速に適した運動量スペクトラムが図19のΔpiであるとすると、図19の
ように、本発明の実施の形態1による高周波加速器10の高周波電力をP1あるいはP2に設定することによって、円形加速器5の加速に適した運動量スペクトラムの荷電粒子ビームを高周波加速器10から出射させることができる。この結果、従来の高周波加速器を用いる場合は、デバンチャ―のようにエネルギーの拡がりと位相の拡がりとの関係を調整する機器が必要であったが、本発明の実施の形態1による高周波加速器10を用いることにより、エネルギーの拡がりと位相の拡がりとの関係を調整する機器を配置することなく、円形加速器5により高周波加速器10から出射される荷電粒子ビームを効率よく加速できる円形加速器システムが得られる。

なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
1…イオン源、2…1段目の線形加速器、3…2段目の線形加速器、4…ビーム輸送系、5…円形加速器、6…高周波電源、7…共鳴型電力分配装置、8…マッチングセクション、10…高周波加速器

Claims (10)

  1. イオン源から出射される荷電粒子を入射して加速する1段目の線形加速器と、
    この1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームを、マッチングセクションを介して入射して加速する、前記1段目の線形加速器と方式が異なる2段目の線形加速器と、
    前記1段目の線形加速器および前記2段目の線形加速器に供給する高周波電力を発生する高周波電源と、
    前記高周波電源から供給される全高周波電力を、前記1段目の線形加速器と前記2段目の線形加速器とに分配して供給する共鳴型電力分配装置と、を備えた高周波加速器の製造方法において、
    前記2段目の線形加速器における、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンスに基づいて決定される前記全高周波電力の許容範囲のうちの最大許容範囲より広い前記全高周波電力の範囲において、前記2段目の線形加速器から荷電粒子ビームが出射されるように、前記共鳴型電力分配装置の前記2段目の線形加速器に供給する高周波電力の電力分配率Rの値と、前記1段目の線形加速器の出口から前記2段目の線形加速器の入口までの前記マッチングセクションの長さLと前記高周波電力の角周波数ωとの比L/ωの値と、を設定する工程を含むことを特徴とする高周波加速器の製造方法。
  2. 前記全高周波電力に対する、前記1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームの中心エネルギーの特性である出射エネルギー特性を、前記Rをパラメータとして求める第一工程と、
    前記全高周波電力に対する、前記2段目の線形加速器に入射される荷電粒子ビームの、前記Rをパラメータとするエネルギーアクセプタンス特性を求める第二工程と、
    前記第一工程において求めた出射エネルギー特性と、前記第二工程において求めたエネルギーアクセプタンス特性とがマッチングする前記Rを決定する第三工程と、
    前記第三工程において決定した前記Rを用いて、前記全高周波電力に対する、前記1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームの前記1段目の線形加速器の出口における中心位相φo,1の特性である出射位相特性を求める第四工程と、
    前記1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームの荷電粒子の速度をvとしたとき、前記第四工程において求めた前記出射位相特性を用いて、前記1段目の線形加速器から出射された荷電粒子ビームが前記2段目の線形加速器の入口に到達したときの荷電粒子ビームの中心位相であるφo,1+(L/ω)/vの、前記L/ωの値をパラメータとする特性である入口位相特性を求める第五工程と、
    前記第三工程において決定した前記Rを用いて、前記全高周波電力に対する、前記2段目の線形加速器に入射される荷電粒子ビームの位相アクセプタンス特性を求める第六工程と、
    前記第五工程において求めた前記L/ωの値をパラメータとする前記入口位相特性のうち、前記第六工程において求めた位相アクセプタンス特性内に、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンスに基づいて決定される前記全高周波電力の許容範囲のうちの最大許容範囲よりも広い前記全高周波電力の範囲において含まれる前記入口位相特性に基づいて前記L/ωの値を決定する第七工程と、
    前記共鳴型電力分配装置の電力分配率Rを、前記第三工程において決定した値に設定し、前記マッチングセクションの長さLを前記第七工程において決定した値に設定する第八工程と、
    を含むことを特徴とする請求項1に記載の高周波加速器の製造方法。
  3. 前記2段目の線形加速器における、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンスに基づいて決定される前記全高周波電力の許容範囲のうちの最大許容範囲の2倍以上の前記全高周波電力の範囲において、前記2段目の線形加速器から荷電粒子ビームが出射されるように、前記共鳴型電力分配装置の前記2段目の線形加速器に供給する高周波電力の電力分配率Rの値と、前記1段目の線形加速器の出口から前記2段目の線形加速器の入口までの前記マッチングセクションの長さLと前記高周波電力の角周波数ωとの比L/ωの値と、を設定する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の高周波加速器の製造方法。
  4. 前記第七工程において、前記第五工程において求めた前記L/ωの値をパラメータとする前記入口位相特性のうち、前記第六工程において求めた位相アクセプタンス特性内に、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンスに基づいて決定される前記全高周波電力の許容範囲のうちの最大許容範囲の、少なくとも2倍以上の前記全高周波電力の範囲において含まれる前記入口位相特性に基づいて前記L/ωの値を決定することを特徴とする請求項2に記載の高周波加速器の製造方法。
  5. 前記1段目の線形加速器はRFQ型線形加速器であり、前記2段目の線形加速器はAPF方式IH型DTL型線形加速器であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の高周波加速器の製造方法。
  6. イオン源から出射される荷電粒子を入射して加速して荷電粒子ビームとして出射する1段目の線形加速器と、
    この1段目の線形加速器から出射される荷電粒子ビームを、マッチングセクションを介して入射して加速して荷電粒子ビームとして出射する、前記1段目の線形加速器と方式が異なる2段目の線形加速器と、
    前記1段目の線形加速器および前記2段目の線形加速器に供給する高周波電力を発生する高周波電源と、
    前記高周波電源から供給される全高周波電力を、前記1段目の線形加速器と前記2段目の線形加速器とに分配して供給する共鳴型電力分配装置と、を備えた高周波加速器において、
    前記2段目の線形加速器における、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンスに基づいて決定される前記全高周波電力の許容範囲のうちの最大許容範囲よりも広い前記全高周波電力の範囲において、前記2段目の線形加速器から荷電粒子ビームが出射されるように、前記共鳴型電力分配装置の前記2段目の線形加速器に供給する高周波電力の電力分配率Rの値と、前記1段目の線形加速器の出口から前記2段目の線形加速器の入口までの前記マッチングセクションの長さLと前記高周波電力の角周波数ωとの比L/ωの値と、
    が設定されていることを特徴とする高周波加速器。
  7. 前記2段目の線形加速器における、各位相の入射荷電粒子に対する位相アクセプタンスに基づいて決定される前記全高周波電力の許容範囲のうちの最大許容範囲の2倍以上の前記全高周波電力の範囲において、前記2段目の線形加速器から荷電粒子ビームが出射されるように、前記共鳴型電力分配装置の前記2段目の線形加速器に供給する高周波電力の電力分配率Rの値と、前記1段目の線形加速器の出口から前記2段目の線形加速器の入口までの前記マッチングセクションの長さLと前記高周波電力の角周波数ωとの比L/ωの値と、が設定されていることを特徴とする請求項に記載の高周波加速器。
  8. 前記1段目の線形加速器はRFQ型線形加速器であり、前記2段目の線形加速器はAPF方式IH型DTL型線形加速器であることを特徴とする請求項またはに記載の高周波加速器。
  9. 請求項に記載の高周波加速器と、この高周波加速器から出射される荷電粒子ビームを輸送するビーム輸送系と、このビーム輸送系により輸送されてきた荷電粒子ビームを入射して加速する円形加速器を備えた円形加速器システムであって、
    前記ビーム輸送系において前記荷電粒子ビームに作用する物理量が磁界のみであることを特徴とする円形加速器システム。
  10. 前記円形加速器に入射する荷電粒子ビームのエネルギー幅が、前記円形加速器に入射する荷電粒子ビームの設計エネルギー幅となるよう、前記高周波電源の高周波電力が設定されたことを特徴とする請求項に記載の円形加速器システム。
JP2015502654A 2013-02-28 2013-02-28 高周波加速器の製造方法、高周波加速器、および円形加速器システム Active JP6041975B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2013/055407 WO2014132391A1 (ja) 2013-02-28 2013-02-28 高周波加速器の製造方法、高周波加速器、および円形加速器システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6041975B2 true JP6041975B2 (ja) 2016-12-14
JPWO2014132391A1 JPWO2014132391A1 (ja) 2017-02-02

Family

ID=51427692

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015502654A Active JP6041975B2 (ja) 2013-02-28 2013-02-28 高周波加速器の製造方法、高周波加速器、および円形加速器システム

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9402298B2 (ja)
EP (1) EP2964003A4 (ja)
JP (1) JP6041975B2 (ja)
CN (1) CN105027686B (ja)
TW (1) TWI604760B (ja)
WO (1) WO2014132391A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022031392A1 (en) * 2020-08-03 2022-02-10 Applied Materials, Inc. Ion implantation system and linear accelerator having novel accelerator stage configuration

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014123591A2 (en) * 2012-10-17 2014-08-14 Cornell University Generation and acceleration of charged particles using compact devices and systems
WO2016135877A1 (ja) * 2015-02-25 2016-09-01 三菱電機株式会社 シンクロトロン用入射器システム、およびドリフトチューブ線形加速器の運転方法
US9854662B2 (en) * 2016-03-11 2017-12-26 Varex Imaging Corporation Hybrid linear accelerator with a broad range of regulated electron and X-ray beam parameters includes both standing wave and traveling wave linear sections for providing a multiple-energy high-efficiency electron beam or X-ray beam useful for security inspection, non-destructive testing, radiation therapy, and other applications
US10015874B2 (en) 2016-03-11 2018-07-03 Varex Imaging Corporation Hybrid standing wave linear accelerators providing accelerated charged particles or radiation beams
US10568196B1 (en) * 2016-11-21 2020-02-18 Triad National Security, Llc Compact, high-efficiency accelerators driven by low-voltage solid-state amplifiers
JP6901381B2 (ja) * 2017-11-20 2021-07-14 株式会社日立製作所 加速器および粒子線治療システム
KR20210003748A (ko) * 2018-04-25 2021-01-12 아담 에스.에이. 가변 에너지 양성자 선형 가속기 시스템 및 조직을 조사하기에 적합한 양성자 빔 작동 방법
US11483920B2 (en) * 2019-12-13 2022-10-25 Jefferson Science Associates, Llc High efficiency normal conducting linac for environmental water remediation
US11569063B2 (en) 2021-04-02 2023-01-31 Applied Materials, Inc. Apparatus, system and method for energy spread ion beam
CN115515292B (zh) * 2022-10-20 2024-06-21 中国科学院上海高等研究院 一种质子注入器
CN117395851A (zh) * 2023-10-09 2024-01-12 中国科学院近代物理研究所 一种用于肿瘤治疗的紧凑型离子注入器及离子注入方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0334252A (ja) * 1989-06-30 1991-02-14 Shimadzu Corp 高エネルギイオン注入装置
JPH05258898A (ja) * 1992-03-11 1993-10-08 Kobe Steel Ltd 複数段高周波四重極加速器
JPH05290997A (ja) * 1992-04-03 1993-11-05 Sumitomo Heavy Ind Ltd ビーム加速器
JPH0757898A (ja) * 1993-08-10 1995-03-03 Nissin Electric Co Ltd 高周波型荷電粒子加速装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19750904A1 (de) * 1997-07-29 1999-02-18 Accsys Technology Inc Dualenergie-Ionenstrahlbeschleuniger
JP2003086400A (ja) * 2001-09-11 2003-03-20 Hitachi Ltd 加速器システム及び医療用加速器施設
US6777893B1 (en) * 2002-05-02 2004-08-17 Linac Systems, Llc Radio frequency focused interdigital linear accelerator
JP4257741B2 (ja) * 2004-04-19 2009-04-22 三菱電機株式会社 荷電粒子ビーム加速器、荷電粒子ビーム加速器を用いた粒子線照射医療システムおよび、粒子線照射医療システムの運転方法
CN100420353C (zh) * 2004-04-19 2008-09-17 三菱电机株式会社 带电粒子束加速器、粒子束照射医疗系统及其运行方法
JP4719255B2 (ja) 2008-07-24 2011-07-06 三菱電機株式会社 高周波加速器
JP5456562B2 (ja) * 2010-04-30 2014-04-02 株式会社日立製作所 荷電粒子ビーム発生装置、荷電粒子ビーム照射装置及びそれらの運転方法
JP5597162B2 (ja) * 2011-04-28 2014-10-01 三菱電機株式会社 円形加速器、および円形加速器の運転方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0334252A (ja) * 1989-06-30 1991-02-14 Shimadzu Corp 高エネルギイオン注入装置
JPH05258898A (ja) * 1992-03-11 1993-10-08 Kobe Steel Ltd 複数段高周波四重極加速器
JPH05290997A (ja) * 1992-04-03 1993-11-05 Sumitomo Heavy Ind Ltd ビーム加速器
JPH0757898A (ja) * 1993-08-10 1995-03-03 Nissin Electric Co Ltd 高周波型荷電粒子加速装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022031392A1 (en) * 2020-08-03 2022-02-10 Applied Materials, Inc. Ion implantation system and linear accelerator having novel accelerator stage configuration
US11476087B2 (en) 2020-08-03 2022-10-18 Applied Materials, Inc. Ion implantation system and linear accelerator having novel accelerator stage configuration
TWI797680B (zh) * 2020-08-03 2023-04-01 美商應用材料股份有限公司 離子植入系統、操作其的方法以及線性加速器

Also Published As

Publication number Publication date
EP2964003A4 (en) 2016-10-05
TW201434356A (zh) 2014-09-01
US20160014877A1 (en) 2016-01-14
US9402298B2 (en) 2016-07-26
WO2014132391A1 (ja) 2014-09-04
CN105027686B (zh) 2017-04-12
JPWO2014132391A1 (ja) 2017-02-02
CN105027686A (zh) 2015-11-04
EP2964003A1 (en) 2016-01-06
TWI604760B (zh) 2017-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6041975B2 (ja) 高周波加速器の製造方法、高周波加速器、および円形加速器システム
Tavares et al. The MAX IV storage ring project
CN102651942B (zh) 圆形加速器以及圆形加速器的运转方法
US6856105B2 (en) Multi-energy particle accelerator
WO2016023597A1 (en) High frequency compact low-energy linear accelerator design
Nghiem et al. Dynamics of the IFMIF very high-intensity beam
Sun et al. X-band rf driven free electron laser driver with optics linearization
Andrianov et al. Development of 200 MeV linac for the SKIF light source injector
Teryaev et al. Innovative two-stage multibeam klystron: Concept and modeling
Sannibale et al. Upgrade possibilities for continuous wave rf electron guns based on room-temperature very high frequency technology
JP2013506942A (ja) 加速器、及び加速器を作動させる方法
CN107211523B (zh) 射频腔
Limborg-Deprey et al. An X-band gun test area at SLAC
Seeman et al. Design and Principles of Linear Accelerators and Colliders
CN116234140A (zh) 一种紧凑型质子注入器
Wang et al. Longitudinal compression and transverse matching of electron bunch for external injection LPWA at ESCULAP
Yefimov et al. Theoretical model and experimental observation of resonance generation of free electron laser
JP6171126B2 (ja) 高周波型荷電粒子加速器
Raubenheimer Accelerator physics and technologies for linear colliders
Ashanin et al. The SYLA Linear Electronic Accelerator–Injector for a Specialized Source of Synchrotron Radiation of the Fourth Generation
Aksoy et al. Design Optimization of an X-band based FEL
Preger State of art of storage rings for FEL operation
Sharkov Next generation high power solid-state RF sources
Pont et al. Injector design for ALBA
Tarnetsky et al. Status of Work on 5 MeV 300kW Industrial Electron Accelerator Prototype

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161011

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161108

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6041975

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250