JP6026597B1 - 光干渉計 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 213
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 21
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 19
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 10
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
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- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
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Abstract
【課題】分岐から合波までの間の光損失を小さく且つ干渉効率を改善するMEMSによる光干渉計を提供する。
【解決手段】光干渉計1Aは、分岐合波部10、第1光学系20、第2光学系30および駆動部40を備え、MEMSにより構成され得る。分岐合波部10は、透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面11,入射面12,出射面13および合波面14を有する。分岐合波部10は、分岐面11において、入射光L0の一部を反射させて第1分岐光L11として出射させるとともに、残部を第2分岐光L21として内部へ透過させる。分岐合波部10は、合波面14において、第1分岐光L12を外部へ出射させるとともに、第2分岐光L22を反射させて、両光を合波して合波光L3として外部へ出射させる。
【選択図】図3
【解決手段】光干渉計1Aは、分岐合波部10、第1光学系20、第2光学系30および駆動部40を備え、MEMSにより構成され得る。分岐合波部10は、透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面11,入射面12,出射面13および合波面14を有する。分岐合波部10は、分岐面11において、入射光L0の一部を反射させて第1分岐光L11として出射させるとともに、残部を第2分岐光L21として内部へ透過させる。分岐合波部10は、合波面14において、第1分岐光L12を外部へ出射させるとともに、第2分岐光L22を反射させて、両光を合波して合波光L3として外部へ出射させる。
【選択図】図3
Description
本発明は、MEMSによる光干渉計に関するものである。
特許文献1〜12に光干渉計の発明が開示されている。また、これらのうち特許文献1,2,4〜7には、MEMS(Micro Electro-Mechanical System)により構成され小型化が容易な光干渉計の発明が開示されている。
特許文献1に記載された光干渉計は、例えばシリコンからなる分岐合波部を用い、この分岐合波部の或る一平面において、入射光の一部を反射させ残部を透過させることで第1分岐光と第2分岐光とに2分岐するとともに、これら第1分岐光と第2分岐光とを合波して合波光として出力する。すなわち、この光干渉計では、分岐合波部の一平面は、入射光を第1分岐光と第2分岐光とに2分岐する分岐面、および、第1分岐光と第2分岐光とを合波して合波光とする合波面、の双方として共通に用いられる。また、この文献に記載された光干渉計では、第1分岐光および第2分岐光のうち一方の光が分岐合波部の内部を往復する間に波長分散が生じるので、他方の光が分散補償用部材の内部を往復するようにして、波長分散の問題の解消を図っている。
特許文献8に記載された光干渉計は、例えばシリコンからなる分岐合波部を用い、この分岐合波部の第1主面において入射光の一部を反射させ残部を透過させることで第1分岐光と第2分岐光とに2分岐し、分岐合波部の第2主面において第1分岐光と第2分岐光とを合波して合波光として出力する。すなわち、この光干渉計では、入射光を第1分岐光と第2分岐光とに2分岐する分岐面(第1主面)と、第1分岐光と第2分岐光とを合波して合波光とする合波面(第2主面)とは、別個のものとされている。この文献に記載された光干渉計では、第1分岐光および第2分岐光それぞれが分岐合波部の内部を1回のみ通過するので、波長分散の問題を抑制することができる。
本発明者は、特許文献1等に記載された従来の光干渉計が以下のような問題を有していることを見出した。
すなわち、特許文献1に記載された光干渉計は、分岐合波部(例えばシリコン)と周囲の媒体(通常は空気)との間の境界面が多いことから、分岐から合波までの間の光の損失が大きい。もし特定の境界面に反射防止膜を形成することができれば光の損失を低減することができると考えられるが、MEMSによる光干渉計は小型であることから、特定の境界面に選択的に反射防止膜を形成することは困難であり、光の損失を低減することは困難である。
特許文献8に記載された光干渉計は、特許文献1に記載された光干渉計と比べると、分岐合波部と周囲の媒体との間の境界面が少ないことから、分岐から合波までの間の光の損失が小さい。しかし、特許文献8に記載された光干渉計では、干渉効率が悪い。
他の特許文献に記載されたものも含め従来の技術は、MEMSにより構成された光干渉計において光損失の低減および干渉効率の改善が可能なものではない。
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、分岐から合波までの間の光の損失を小さくすることができ且つ干渉効率を改善することができるMEMSによる光干渉計を提供することを目的とする。
本発明の光干渉計は、FTIRにおいて用いられる光干渉計であって、MEMSにより構成された分岐合波部,第1光学系,第2光学系および駆動部を備える。分岐合波部は、透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面,入射面,出射面および合波面を有し、分岐面と合波面とが別個のものであり、分岐面と入射面とが共通の第1平面上にあり、出射面と合波面とが共通の第2平面上にあり、第1平面と第2平面とが互いに平行であり、分岐面において、外部から入射した入射光の一部を反射させて第1分岐光として出射させるとともに、残部を第2分岐光として内部へ透過させ、入射面において、分岐面から第1光学系を経て入射した第1分岐光を内部へ透過させ、出射面において、分岐面から内部を経て到達した第2分岐光を外部へ出射させ、合波面において、入射面から内部を経て到達した第1分岐光を外部へ出射させるとともに、出射面から第2光学系を経て入射した第2分岐光を反射させて、第1分岐光と第2分岐光とを合波して合波光として外部へ出射させる。分岐面に入射する入射光の入射角およびビーム径ならびに透明部材の厚み及び屈折率が、出射面で反射した第2分岐光が分岐面において第2分岐光と重ならないように設定される。第1光学系は、分岐面から出射された第1分岐光を1個または複数個のミラーにより反射させて入射面に入射させる。第2光学系は、出射面から出射された第2分岐光を1個または複数個のミラーにより反射させて合波面に入射させる。駆動部は、第1光学系または第2光学系の何れかのミラーを移動させて、分岐面から合波面までの第1分岐光および第2分岐光それぞれの光路長の差を調整する。本発明の光干渉計は、第1光学系のミラーの個数と第2光学系のミラーの個数との和が偶数であり、入射光のビーム断面中の各位置の光線を分岐面において分岐した後に合波面において合波光のビーム断面中の共通位置で合波する。
本発明の光干渉計は、分岐合波部の内部における第1分岐光および第2分岐光それぞれの光路長が互いに等しいのが好適である。
本発明の光干渉計は、分岐合波部の分岐面における入射光の入射領域と入射面における第1分岐光の入射領域とが互いに一致しているのが好適である。
本発明の光干渉計は、分岐合波部の出射面における第2分岐光の出射領域と合波面における合波光の出射領域とが互いに一致しているのが好適である。
本発明の光干渉計は、分岐合波部の合波面から外部へ出射された合波光を検出する検出部を更に備えていてもよい。
本発明によれば、分岐から合波までの間の光の損失を小さくすることができ且つ干渉効率を改善することができるMEMSによる光干渉計を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一または同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。本発明は、これらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
実施形態の光干渉計の説明に先立って、実施形態と対比されるべき比較例の光干渉計について先ず説明する。第1比較例の光干渉計2Aは、特許文献1に記載された構成のものと同等である。第2比較例の光干渉計2Bは、特許文献8に記載された構成のものと同等である。
(第1比較例)
図1は、第1比較例の光干渉計2Aの構成を示す図である。光干渉計2Aは、分岐合波部10、ミラー21、ミラー31および分散補償用部材90を備え、MEMSにより構成され得る。
図1は、第1比較例の光干渉計2Aの構成を示す図である。光干渉計2Aは、分岐合波部10、ミラー21、ミラー31および分散補償用部材90を備え、MEMSにより構成され得る。
分岐合波部10は、例えばシリコンからなり、互いに平行な第1主面10aおよび第2主面10bを有する。外部から第1主面10aに入射した入射光L0は、一部が第1分岐光L11として反射され、残部が第2分岐光L21として分岐合波部10の内部へ透過する。
第1主面10aからの第1分岐光L11は、分散補償用部材90の内部を通過して、ミラー21で反射される。ミラー21で反射された第1分岐光L12は、分散補償用部材90の内部を再び通過して、第1主面10aに入射して分岐合波部10の内部へ透過する。
第1主面10aからの第2分岐光L21は、分岐合波部10の内部を通過し、第2主面10bを透過して外部へ出射され、ミラー31で反射される。ミラー31で反射された第2分岐光L22は、第2主面10bに入射して分岐合波部10の内部へ透過し、分岐合波部10の内部を再び通過して、第1主面10aで反射される。
第1主面10aで分岐合波部10の内部へ透過した第1分岐光L12、および、第1主面10aで反射された第2分岐光L22は、合波されて合波光L3となる。この合波光L3は、分岐合波部10の内部を通過し、第2主面10bを透過して外部へ出射される。外部へ出射された合波光L3は、検出部50により検出される。
この光干渉計2Aでは、分岐合波部10の第1主面10aは、入射光L0を第1分岐光L11と第2分岐光L21とに2分岐する分岐面、および、第1分岐光L12と第2分岐光L22とを合波して合波光L3とする合波面、の双方として用いられる。
例えば、ミラー21は位置が固定されており、ミラー31は、第2分岐光L21の入射方向に沿って駆動部によって移動可能である。この駆動部もMEMSにより構成され得る。ミラー31が可動であることにより、第1分岐光と第2分岐光との間の光路長差が調整され得る。
この光干渉計2Aでは、分岐合波部10および分散補償用部材90は同じ材料(例えばシリコン)からなる。また、第1分岐光L11,L12が分散補償用部材90の内部を往復する区間の光路長と、第2分岐光L21,L22が分岐合波部10の内部を往復する区間の光路長とは、互いに等しく設定されている。これにより、波長分散の問題が解消され、第1分岐光と第2分岐光との間の光路長差の波長依存性が低減される。
この光干渉計2Aは、境界面が多いことに起因して以下のような問題点を有している。ここで、分岐合波部10および分散補償用部材90がシリコン(屈折率3.5)からなるとし、周囲の媒体が空気(屈折率1.0)であるとし、第1主面10aへの入射光L0の入射角が45°であるとする。シリコンと空気との境界面での光の反射率は30%となり、透過率は70%となる。なお、正確にはS波とP波とで反射率・透過率が異なるが、インコヒーレントな光の場合には偏波方向がランダムに分布していると想定されるので、その平均値として反射率を30%とし透過率を70%としてよい。また、ミラー21,31それぞれでの光の反射率を100%とする。
入射光L0のうち第1分岐光を経て検出部50に到達する比率R1は、第1主面10aでの反射率(0.3)、空気から分散補償用部材90への透過率(0.7)、ミラー21での反射率(1.0)、分散補償用部材90から空気への透過率(0.7)、第1主面10aでの外部から内部への透過率(0.7)、および、第2主面10bでの内部から外部への透過率(0.7)の積で計算され、7.2%となる。
入射光L0のうち第2分岐光を経て検出部50に到達する比率R2は、第1主面10aでの外部から内部への透過率(0.7)、第2主面10bでの内部から外部への透過率(0.7)、ミラー31での反射率(1.0)、第2主面10bでの外部から内部への透過率(0.7)、第1主面10aでの反射率(0.3)、および、第2主面10bでの内部から外部への透過率(0.7)の積で計算され、7.2%となる。
合波光L3の干渉強度ピークIppは、Ipp=2√(R1・R2) なる式で表されるので、14.4%となる。
ここで、分散補償用部材90と空気との間の境界面での光の反射、および、第2主面10bでの光の反射は、全て過剰損失となる。もし、これらの面に反射防止膜を形成することができれば、合波光L3の干渉強度ピークIppは42%となる。すなわち、27.6%の過剰損失が発生していることになる。
しかし、MEMSによる光干渉計2Aは小型であることから、特定の境界面に選択的に反射防止膜を形成することは困難である。MEMSにより光干渉計を構成する限り、このような過剰損失は不可避である。
また、この光干渉計2Aは、第2主面10bに入射した第2分岐光L22の一部が反射されることに因り、以下のような問題点をも有する。図1に示されるように、ミラー31から第2主面10bへ入射した第2分岐光L22のうち第2主面10bで反射された第2分岐光L23は、第2主面10bで外部へ出射された合波光L3と同じ方向に伝搬する。これら合波光L3および第2分岐光L22の双方は実際には或るビーム幅を有する。もし、第2主面10bで反射された第2分岐光L23の一部が検出部50により受光されると、検出部50による合波光L3の干渉強度の検出の精度が悪くなる。特に、各光がコリメート光でなく発散光である場合に、検出部50による合波光L3の干渉強度の検出の精度が更に悪くなる。このような干渉強度の検出精度の悪化を回避するには、分岐合波部10の第1主面10aと第2主面10bとの間の距離を大きくすることで、第2主面10bで反射された第2分岐光L23の光路を合波光L3の光路から十分に離せばよい。しかし、そうすると、入射光L0が分岐されたのち合波光L3となって検出部50に到達するまでの光路長が長くなり、このことに因り損失が生じることになる。
(第2比較例)
図2は、第2比較例の光干渉計2Bの構成を示す図である。光干渉計2Bは、分岐合波部10、ミラー21、ミラー31およびミラー32を備える。
図2は、第2比較例の光干渉計2Bの構成を示す図である。光干渉計2Bは、分岐合波部10、ミラー21、ミラー31およびミラー32を備える。
分岐合波部10は、例えばシリコンからなり、互いに平行な第1主面10aおよび第2主面10bを有する。外部から第1主面10aに入射した入射光L0は、一部が第1分岐光L11として反射され、残部が第2分岐光L21として分岐合波部10の内部へ透過する。
第1主面10aからの第1分岐光L11は、ミラー21で反射される。ミラー21で反射された第1分岐光L12は、第1主面10aに入射して分岐合波部10の内部へ透過し、分岐合波部10の内部を通過して、第2主面10bを透過して外部へ出射される。
第1主面10aからの第2分岐光L21は、分岐合波部10の内部を通過し、第2主面10bを透過して外部へ出射され、ミラー31で反射され、ミラー32で再び反射される。ミラー31,32で反射された第2分岐光L22は、第2主面10bに入射して反射される。
第2主面10bで外部へ出射された第1分岐光L12、および、第2主面10bで反射された第2分岐光L22は、合波されて合波光L3となる。この合波光L3は、検出部50により検出される。
この光干渉計2Bでは、入射光L0を第1分岐光L11と第2分岐光L21とに2分岐する分岐面(第1主面10a)と、第1分岐光L12と第2分岐光L22とを合波して合波光L3とする合波面(第2主面10b)とは、別個のものとされている。
例えば、ミラー21は位置が固定されており、ミラー31,32は、第2分岐光L21の入射方向に沿って駆動部によって移動可能である。この駆動部もMEMSにより構成され得る。ミラー31,32が可動であることにより、第1分岐光と第2分岐光との間の光路長差が調整され得る。
第2比較例の光干渉計2Bでは、第1分岐光および第2分岐光それぞれが分岐合波部10の内部を1回のみ通過するので、第1比較例の光干渉計2Aで必要であった分散補償用部材90を用いることなく、波長分散の問題を抑制することができる。
第2比較例の光干渉計2Bは、第1比較例の光干渉計2Aと比較すると、分岐合波部10と周囲の媒体との間の境界面が少ないことから、境界面に起因する過剰損失が小さい。しかし、光干渉計2Bは、以下に説明するような問題点を有している。
この光干渉計2Bでは、分岐面(第1主面10a)と合波面(第2主面10b)とが別個のものであることから、第1分岐光を1個のミラー21で反射させる一方で、第2分岐光を2個のミラー31,32で反射させて、合波面で第1分岐光と第2分岐光とを合波する。第2分岐光を2個のミラー31,32で反射させることで、第2主面10bでの第2分岐光の反射位置(合波位置)は、第2主面10bでの内部から外部への第2分岐光の出射位置と異なり、その一方で第2主面10bでの内部から外部への第1分岐光の出射位置と一致している。
ここで、入射光L0のビーム断面中の互いに異なる2つの位置を通る光線L0R,L0Lを考える。入射光L0の2つの光線L0R,L0Lは、第1主面10aの法線および入射光L0の入射方向の双方に平行な面において互いに異なる経路を伝搬する。第1分岐光L11,L12のうち、入射光L0の一方の光線L0Rに由来する光線をL1Rとし、入射光L0の他方の光線L0Lに由来する光線をL1Lとする。第2分岐光L21,L22のうち、入射光L0の一方の光線L0Rに由来する光線をL2Rとし、入射光L0の他方の光線L0Lに由来する光線をL2Lとする。
このとき、合波面(第2主面10b)では、入射光L0の一方の光線L0Rに由来する第1分岐光の光線L1Rと、入射光L0の他方の光線L0Lに由来する第2分岐光の光線L2Lとが、互いに合波されることになる。また、入射光L0の他方の光線L0Lに由来する第1分岐光の光線L1Lと、入射光L0の一方の光線L0Rに由来する第2分岐光の光線L2Rとが、互いに合波されることになる。
すなわち、合波面(第2主面10b)の各位置に到達する第1分岐光および第2分岐光それぞれの光線が、入射光における互いに異なる光線に由来しているものであれば、互いに合波されて合波光となっても本来の干渉光とならない。一方、点光源のような一つの光線を広げてコリメートしたような光線として入射光L0が与えられた場合には、各位置に到達する第1分岐光および第2分岐光それぞれの光線は干渉され得るが、第1分岐光のビーム断面における光線L1Rと光線L1Lとの間の空間的な距離が光路長差を発生させるため、干渉信号の品質を低下させる。本来、光干渉計では、各位置に到達する第1分岐光と第2分岐光との光路長差が、ミラーの移動で調整された光路長差と全て同じであることを期待する。しかし、光干渉計2Bのように与えられたビーム幅の範囲で、中央に近いものと端に近いものとでは、光路長差が異なることになり、全体として観測される干渉信号は平均化され、弱められてしまう。
FTIR(FourierTransform Infrared Spectroscopy)において用いられる光干渉計では、伝搬光の平行性を高める為にビーム径が大きい光が使用される。結果として、光路長差の異なるビームが多く含まれることになるので、異なる位置の合波光を干渉信号とする光干渉計2Bは、干渉に関する本質的な問題点を有している。
(第1実施形態)
図3は、第1実施形態の光干渉計1Aの構成を示す図である。この光干渉計1Aは、構成を一般化して説明するためのものである。光干渉計1Aは、分岐合波部10、第1光学系20、第2光学系30および駆動部40を備え、MEMSにより構成され得る。
図3は、第1実施形態の光干渉計1Aの構成を示す図である。この光干渉計1Aは、構成を一般化して説明するためのものである。光干渉計1Aは、分岐合波部10、第1光学系20、第2光学系30および駆動部40を備え、MEMSにより構成され得る。
分岐合波部10は、例えばシリコン等の半導体の透明部材からなり、透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面11,入射面12,出射面13および合波面14を有する。
分岐合波部10は、分岐面11において、外部から入射した入射光L0の一部を反射させて第1分岐光L11として出射させるとともに、残部を第2分岐光L21として内部へ透過させる。分岐合波部10は、入射面12において、分岐面11から第1光学系20を経て入射した第1分岐光L12を内部へ透過させる。
分岐合波部10は、出射面13において、分岐面11から内部を経て到達した第2分岐光L21を外部へ出射させる。分岐合波部10は、合波面14において、入射面12から内部を経て到達した第1分岐光L12を外部へ出射させるとともに、出射面13から第2光学系30を経て入射した第2分岐光L22を反射させて、第1分岐光L12と第2分岐光L22とを合波して合波光L3として外部へ出射させる。
第1光学系20は、分岐面11から出射された第1分岐光L11を1個または複数個のミラーにより反射させ、その反射させた第1分岐光L12を入射面12に入射させる。第2光学系30は、出射面13から出射された第2分岐光L21を1個または複数個のミラーにより反射させ、その反射させた第2分岐光L22を合波面14に入射させる。駆動部40は、第1光学系20または第2光学系30の何れかのミラーを移動させて、分岐面11から合波面14までの第1分岐光および第2分岐光それぞれの光路長の差を調整する。
外部から分岐面11に入射した入射光L0は、一部が第1分岐光L11として反射され、残部が第2分岐光L21として分岐合波部10の内部へ透過する。
分岐面11からの第1分岐光L11は、第1光学系20の1個または複数個のミラーにより反射される。その反射された第1分岐光L12は、入射面12に入射して分岐合波部10の内部へ透過し、分岐合波部10の内部を通過して、合波面14を透過して外部へ出射される。
分岐面11からの第2分岐光L21は、分岐合波部10の内部を通過し、出射面13を透過して外部へ出射され、第2光学系30の1個または複数個のミラーにより反射される。その反射された第2分岐光L22は、合波面14に入射して反射される。
合波面14で外部へ出射された第1分岐光L12、および、合波面14で反射された第2分岐光L22は、合波されて合波光L3となる。この合波光L3は、検出部50により検出される。
分岐合波部10の屈折率をn1とし、周囲の媒体の屈折率をn2とする。分岐合波部10の各面での光の反射率Rは下記(1)式で表され、光の透過率Tは下記(2)式で表される。なお、正確には入射角度や光の偏波方向により反射率は異なるが、入射光がインコヒーレントな光源の場合には偏波方向はランダムであり、かつブリュースター角度以下の入射角を想定するならば、トータルの反射率・透過率は(1)式・(2)式に等しくなる。分岐合波部10がシリコン(屈折率3.5)からなるとし、周囲の媒体が空気(屈折率1.0)であるとすると、分岐合波部10の各面での光の反射率Rは30%となり、透過率Tは70%となる。分岐面11のビームスプリッタとしての分岐比は3:7となる。第1光学系20および第2光学系30それぞれでの光の反射率を100%とする。
R={(n1−n2)/(n1+n2)}2 …(1)
T=1−R …(2)
R={(n1−n2)/(n1+n2)}2 …(1)
T=1−R …(2)
入射光L0のうち第1分岐光を経て検出部50に到達する比率R1は、分岐面11での反射率(0.3)、第1光学系20での反射率(1.0)、入射面12での透過率(0.7)、および、合波面14での透過率(0.7)の積で計算され、14.7%となる。
入射光L0のうち第2分岐光を経て検出部50に到達する比率R2は、分岐面11での透過率(0.7)、出射面13での透過率(0.7)、第2光学系30での反射率(1.0)、および、合波面14での反射率(0.3)の積で計算され、14.7%となる。
合波光L3の干渉強度ピークIppは、Ipp=2√(R1・R2) なる式で表されるので、29.4%となる。第1比較例の場合と比べて、本実施形態では合波光L3の干渉強度ピークが大きい。過剰損失は、入射面12および出射面13それぞれにおける光の反射のみとなる。
本実施形態では、分岐合波部10の厚みを第1比較例と同程度とした場合、検出部50に到達するまでの光路長を短くすることができる。また、本実施形態では、第1比較例のように光のビーム広がりを考慮して分岐合波部10を厚くする必要はない。何故なら、合波面14で反射する第2分岐光L22は、第1分岐光L12と合波されて合波光L3となるべきものであり、迷光となるものではないからである。
分岐合波部10の分岐面11、入射面12、出射面13および合波面14それぞれの方位、ならびに、これらの各面における光の入射位置および入射角は、合波面14において第1分岐光と第2分岐光とが互いに同軸に合波されて同じ出射角θで合波光L3として外部へ出力されるように、分岐合波部10および周囲の媒体それぞれの屈折率に応じて適切に設定される。
分岐面11と合波面14とは別個のものである。分岐面11と入射面12とは、互いに平行でなくてもよいし、互いに平行であってもよく、共通の平面上にあってもよい。分岐面11における入射光L0の入射領域と、入射面12における第1分岐光L12の入射領域とは、互いに異なっていてもよいし、一部または全部が互いに一致していてもよい。出射面13と合波面14とは、互いに平行でなくてもよいし、互いに平行であってもよく、共通の平面上にあってもよい。出射面13における第2分岐光L21の出射領域と、合波面14における合波光L3の出射領域とは、互いに異なっていてもよいし、一部または全部が互いに一致していてもよい。
図4〜図6は、第1実施形態の光干渉計1Aの第1光学系20の構成例を示す図である。なお、以下の第1光学系20についての説明は、第2光学系30においても同様である。
図4に示される構成例では、第1光学系20は1個のミラー21を含む。ミラー21は、分岐合波部10の分岐面11で反射されて所定方向(以下「出射方向」という。)に沿って出射された第1分岐光L11を反射させ、その反射させた第1分岐光L12を分岐合波部10の入射面12に対して所定方向(以下「入射方向」という。)に沿って入射させる。
この構成例は、出射方向と入射方向とが交わる場合に可能であり、その交点の位置でミラー21により第1分岐光を反射させるものである。
この構成例は、出射方向と入射方向とが交わる場合に可能であり、その交点の位置でミラー21により第1分岐光を反射させるものである。
ただし、出射方向と入射方向とが交わる場合であっても、その交点の位置が分岐合波部10から遠い場合には、第1分岐光の光路長が長くなり、第1分岐光のビーム広がり等に起因して損失が発生するので、次に示される構成例が好ましい。
図5に示される構成例では、第1光学系20は2個のミラー21,22を含む。分岐合波部10の分岐面11で反射されて所定方向(出射方向)に沿って出射した第1分岐光L11は、ミラー21,22により順次に反射される。その反射された第1分岐光L12は、分岐合波部10の入射面12に対して所定方向(入射方向)に沿って入射する。
この構成例では、第1分岐光の出射方向と入射方向とが互いに平行である場合には、ミラー21およびミラー22それぞれの反射面は互いに垂直とされる。入射方向および出射方向に平行にミラー21,22を一体として駆動部により移動させることで、入射面12における第1分岐光L12の入射位置を変えることなく、第1分岐光の光路長を調整することができる。
図6に示される構成例では、第1光学系20は3個のミラー21〜23を含む。分岐合波部10の分岐面11で反射されて所定方向(出射方向)に沿って出射した第1分岐光L11は、ミラー21〜23により順次に反射される。その反射された第1分岐光L12は、分岐合波部10の入射面12に対して所定方向(入射方向)に沿って入射する。
この構成例では、ミラー22およびミラー23それぞれの反射面は互いに垂直である。ミラー21からミラー22までの第1分岐光の光路と、ミラー23から入射面12までの第1分岐光の光路とは、互いに平行である。したがって、同図中の両矢印に示される方向(入射方向)にミラー22,23を一体として駆動部により移動させることで、入射面12における第1分岐光L12の入射位置を変えることなく、第1分岐光の光路長を調整することができる。
第1光学系20および第2光学系30それぞれに含まれるミラーの個数について説明すると以下のとおりである。図7は、第1実施形態の光干渉計1Aの第1光学系20および第2光学系30それぞれに含まれるミラーの個数について説明する図である。同図では、第1光学系20は2個のミラー21,22を含み、第2光学系30は2個のミラー31,32を含む。
また、同図では、入射光L0のビーム断面中の互いに異なる2つの位置を通る光線L0R,L0Lを考える。入射光L0の2つの光線L0R,L0Lは、分岐面11の法線および入射光L0の入射方向の双方に平行な面において互いに異なる経路を伝搬する。第1分岐光L11,L12のうち、入射光L0の一方の光線L0Rに由来する光線をL1Rとし、入射光L0の他方の光線L0Lに由来する光線をL1Lとする。第2分岐光L21,L22のうち、入射光L0の一方の光線L0Rに由来する光線をL2Rとし、入射光L0の他方の光線L0Lに由来する光線をL2Lとする。
一般に光がミラーで反射される度に左右の光線位置が入れ替わる。同図の構成では、第1分岐光は第1光学系20において2回反射され、第2分岐光は第2光学系30において2回反射される。その結果、合波面14の各位置に到達する第1分岐光および第2分岐光それぞれの光線は、入射光における互いに同じ光線に由来しているので、効率よく干渉する。
一般に、第1光学系20のミラーの個数と第2光学系30のミラーの個数との和を偶数とし、入射光L0のビーム断面中の各位置の光線を分岐面11において分岐した後に合波面14において合波光L3のビーム断面中の共通位置で合波することで、効率よい干渉光を得ることができる。逆に、第1光学系20のミラーの個数と第2光学系30のミラーの個数との和を奇数とすると、干渉効率は悪い。
分岐合波部10の分岐面11、入射面12、出射面13および合波面14の間の関係について説明すると以下のとおりである。一般に、半導体等の材料を用いて分岐合波部10を構成する場合、その材料の屈折率が波長によって異なることから、分岐合波部10を光が通過する間の光路長(=幾何学的長さ×屈折率)が波長によって異なる波長分散が生じる。
第1分岐光および第2分岐光それぞれが分岐合波部10の内部において伝搬する距離を互いに一致させることで、全波長に亘って波長分散を補償することができる。また、第1分岐光および第2分岐光それぞれがビーム幅を有することを考慮すると、第1分岐光および第2分岐光それぞれのビーム断面の各位置の光線について分岐合波部10の内部において伝搬する距離を互いに一致させることが望ましい。すなわち、分岐面11と出射面13とは互いに平行であるのが望ましく、入射面12と合波面14とは互いに平行であるのが望まし。また、分岐面11と出射面13との間隔と、入射面12と合波面14との間隔とは互いに等しいのが望ましい。
また、分岐面11から第1光学系20を経て入射面12までの第1分岐光の光路長、および、出射面13から第2光学系30を経て合波面14までの第2分岐光の光路長も、ビーム断面の各位置の光線について一致させることが望ましい。すなわち、分岐面11と入射面12とは、互いに平行であるのが望ましく、共通の平面上にあるのが望ましい。出射面13と合波面14とは、互いに平行であるのが望ましく、共通の平面上にあるのが望ましい。また、第1光学系20および第2光学系30それぞれは、各々の反射面が互に直交するように配置された2個のミラーを含むことが望ましい。
以下に説明する実施形態は、以上のことを考慮した望ましい構成のものである。
(第2実施形態)
図8は、第2実施形態の光干渉計1Bの構成を示す図である。この光干渉計1Bでは、分岐面11と入射面12とは、共通の平面上にあるが、互いに異なる領域とされている。出射面13と合波面14とは、共通の平面上にあるが、互いに異なる領域とされている。分岐面11および入射面12と、出射面13および合波面14とは、互いに平行である。本実施形態では波長分散が完全に補償され得る。
図8は、第2実施形態の光干渉計1Bの構成を示す図である。この光干渉計1Bでは、分岐面11と入射面12とは、共通の平面上にあるが、互いに異なる領域とされている。出射面13と合波面14とは、共通の平面上にあるが、互いに異なる領域とされている。分岐面11および入射面12と、出射面13および合波面14とは、互いに平行である。本実施形態では波長分散が完全に補償され得る。
第1光学系20は、各々の反射面が互に直交するように配置された2個のミラー21,22を含む。第1光学系20は、分岐面11で反射された第1分岐光L11をミラー21,22により順次に反射させて第1分岐光L12として入射面12に入射させる。入射面12に入射する第1分岐光L12は、分岐面11で反射された第1分岐光L11に対し、互いに平行であるが逆方向に伝搬し、分岐面11上の反射位置とは異なる入射面12上の位置に入射する。
第2光学系30は、各々の反射面が互に直交するように配置された2個のミラー31,32を含む。第2光学系30は、出射面13で外部へ出射された第2分岐光L21をミラー31,32により順次に反射させて第2分岐光L22として合波面14に入射させる。合波面14に入射する第2分岐光L22は、出射面13で出射された第2分岐光L21に対し、互いに平行であるが逆方向に伝搬し、出射面13上の出射位置とは異なる合波面14上の位置に入射する。
駆動部40により第1光学系20および第2光学系30の双方または何れ一方を駆動することで、第1分岐光と第2分岐光との間の光路長差を調整することができる。例えば、第1分岐光の光路長を調整するには、第1光学系20を構成する2個のミラー21,22を一体として、分岐面11からの第1分岐光L11の反射方向に平行に移動させればよい。
(第3実施形態)
図9は、第3実施形態の光干渉計1Cの構成を示す図である。図8に示された第2実施形態の光干渉計1Bの構成と比較すると、図9に示される第3実施形態の光干渉計1Cは、出射面13と合波面14とが共通の面となっている点で相違する。分岐合波部10の厚みを適切に設定することで、このような構成とすることができる。
図9は、第3実施形態の光干渉計1Cの構成を示す図である。図8に示された第2実施形態の光干渉計1Bの構成と比較すると、図9に示される第3実施形態の光干渉計1Cは、出射面13と合波面14とが共通の面となっている点で相違する。分岐合波部10の厚みを適切に設定することで、このような構成とすることができる。
出射面13における第2分岐光L21の出射領域と、合波面14における合波光L3の出射領域とは、互いに一致している。分岐合波部10からミラー31へ伝搬する第2分岐光L21と、ミラー32から分岐合波部10へ伝搬する第2分岐光L22とは、伝搬方向が互いに逆であるが、ビームが互いに重なっている。
図8に示された第2実施形態の光干渉計1Bの構成と比較すると、図9に示される第3実施形態の光干渉計1Cは、第1分岐光および第2分岐光それぞれの光路長を短くすることができるので、実使用上無視できないビーム広がりを極力抑えることができる。
なお、第2分岐光L21の一部は、出射面13で反射されて、第1分岐光の伝搬経路と逆方向に伝搬していくが、合波光L3に対し迷光とはならないので、問題ない。
(第4実施形態)
図10は、第4実施形態の光干渉計1Dの構成を示す図である。図8に示された第2実施形態の光干渉計1Bの構成と比較すると、図10に示される第4実施形態の光干渉計1Dは、分岐合波部10において出射面13と合波面14との配置関係が逆になっている点で相違する。分岐合波部10を薄くすることで、このような構成とすることができる。
図10は、第4実施形態の光干渉計1Dの構成を示す図である。図8に示された第2実施形態の光干渉計1Bの構成と比較すると、図10に示される第4実施形態の光干渉計1Dは、分岐合波部10において出射面13と合波面14との配置関係が逆になっている点で相違する。分岐合波部10を薄くすることで、このような構成とすることができる。
本実施形態では、分岐合波部10を薄くしすぎると分岐合波部10の両主面によるファブリペロ効果が現れるので、分岐合波部10の厚みはファブリペロ効果が現れない程度とする。好ましくは、出射面13で反射した第2分岐光が分岐面11において第2分岐光と重ならないようにするのがよい。このようにすれば、合波面14で反射した第1分岐光が入射面12において第1分岐光と重ならない。
また、本実施形態では、出射面13で反射して分岐面11を透過した第2分岐光(以下「反射第2分岐光」という。)がミラー21に入射しないように設定するか、または、反射第2分岐光の光路長がミラー21,22の可動距離以上になるように設定する必要がある。反射第2分岐光の一部ビームでもミラー21に入射する場合、そのビームは合波光L3に合波されることになる。このとき、反射第2分岐光と本来の合波光L3との間にミラー21,22の可動距離以上の光路長差が生じていれば、この反射第2分岐光による干渉ピークは、ミラー21,22の可動距離の外に発生することになるので、干渉観測に影響を与えない。もちろん、反射第2分岐光がミラー21に入射しなければ問題ない。
(第5実施形態)
図11は、第5実施形態の光干渉計1Eの構成を示す図である。図10に示された第2実施形態の光干渉計1Dの構成と比較すると、図11に示される第4実施形態の光干渉計1Eは、第1光学系20が3個のミラー21〜23を含む点で相違し、第2光学系30が3個のミラー31〜33を含む点で相違する。
図11は、第5実施形態の光干渉計1Eの構成を示す図である。図10に示された第2実施形態の光干渉計1Dの構成と比較すると、図11に示される第4実施形態の光干渉計1Eは、第1光学系20が3個のミラー21〜23を含む点で相違し、第2光学系30が3個のミラー31〜33を含む点で相違する。
第1光学系20では、ミラー21の反射面とミラー22の反射面とは互いに垂直であり、ミラー22の反射面とミラー23の反射面とも互いに垂直である。第1光学系20は、分岐面11で反射された第1分岐光L11をミラー21〜23により順次に反射させる。第2光学系30では、ミラー31の反射面とミラー32の反射面とは互いに垂直であり、ミラー32の反射面とミラー33の反射面とも互いに垂直である。第2光学系30は、出射面13から出射された第2分岐光L21をミラー31〜33により順次に反射させる。分岐合波部10の内部において第1分岐光L12の伝搬方向と第2分岐光L21の伝搬方向とは互いに平行である。合波光L3の伝搬方向と入射光L0の伝搬方向とは互いに平行である。
(第6実施形態)
図12は、第6実施形態の光干渉計1Fの構成を示す図である。この光干渉計1Fでは、第1光学系20は1個のミラー21を含み、第2光学系30は1個のミラー31を含み、分岐面11と入射面12とは互いに非平行であり、出射面13と合波面14とが共通である。
図12は、第6実施形態の光干渉計1Fの構成を示す図である。この光干渉計1Fでは、第1光学系20は1個のミラー21を含み、第2光学系30は1個のミラー31を含み、分岐面11と入射面12とは互いに非平行であり、出射面13と合波面14とが共通である。
本実施形態では、第1光学系20および第2光学系30それぞれが1個のミラーにより構成されているので、第1分岐光および第2分岐光それぞれの光路長を短くすることができる。したがって、光ビームの広がりが無視できない場合、光干渉計を小さくすることができ、光損失を小さくできる。
(他の実施形態)
上記の各実施形態において、光の伝搬方向を逆にしてもよく、その場合にも光干渉計として作用し得る。
上記の各実施形態において、光の伝搬方向を逆にしてもよく、その場合にも光干渉計として作用し得る。
1A〜1F…光干渉計、10…分岐合波部、11…分岐面、12…入射面、13…出射面、14…合波面、20…第1光学系、21〜23…ミラー、30…第2光学系、31〜33…ミラー、40…駆動部、50…検出部、90…分散補償用部材、L0…入射光、L11,L12…第1分岐光、L21,L22…第2分岐光、L3…合波光。
Claims (5)
- FTIRにおいて用いられる光干渉計であって、
MEMSにより構成された分岐合波部,第1光学系,第2光学系および駆動部を備え、
前記分岐合波部は、
透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面,入射面,出射面および合波面を有し、
前記分岐面と前記合波面とが別個のものであり、
前記分岐面と前記入射面とが共通の第1平面上にあり、
前記出射面と前記合波面とが共通の第2平面上にあり、
前記第1平面と前記第2平面とが互いに平行であり、
前記分岐面において、外部から入射した入射光の一部を反射させて第1分岐光として出射させるとともに、残部を第2分岐光として内部へ透過させ、
前記入射面において、前記分岐面から前記第1光学系を経て入射した前記第1分岐光を内部へ透過させ、
前記出射面において、前記分岐面から内部を経て到達した前記第2分岐光を外部へ出射させ、
前記合波面において、前記入射面から内部を経て到達した前記第1分岐光を外部へ出射させるとともに、前記出射面から前記第2光学系を経て入射した前記第2分岐光を反射させて、前記第1分岐光と前記第2分岐光とを合波して合波光として外部へ出射させ、
前記分岐面に入射する前記入射光の入射角およびビーム径ならびに前記透明部材の厚み及び屈折率が、前記出射面で反射した前記第2分岐光が前記分岐面において前記第2分岐光と重ならないように設定され、
前記第1光学系は、前記分岐面から出射された前記第1分岐光を1個または複数個のミラーにより反射させて前記入射面に入射させ、
前記第2光学系は、前記出射面から出射された前記第2分岐光を1個または複数個のミラーにより反射させて前記合波面に入射させ、
前記駆動部は、前記第1光学系または前記第2光学系の何れかのミラーを移動させて、前記分岐面から前記合波面までの前記第1分岐光および前記第2分岐光それぞれの光路長の差を調整し、
前記第1光学系のミラーの個数と前記第2光学系のミラーの個数との和が偶数であり、
前記入射光のビーム断面中の各位置の光線を前記分岐面において分岐した後に前記合波面において前記合波光のビーム断面中の共通位置で合波する、
光干渉計。 - 前記分岐合波部の内部における前記第1分岐光および前記第2分岐光それぞれの光路長が互いに等しい、
請求項1に記載の光干渉計。 - 前記分岐合波部の前記分岐面における前記入射光の入射領域と前記入射面における前記第1分岐光の入射領域とが互いに一致している、
請求項1または2に記載の光干渉計。 - 前記分岐合波部の前記出射面における前記第2分岐光の出射領域と前記合波面における前記合波光の出射領域とが互いに一致している、
請求項1〜3の何れか1項に記載の光干渉計。 - 前記分岐合波部の前記合波面から外部へ出射された前記合波光を検出する検出部を更に備える、
請求項1〜4の何れか1項に記載の光干渉計。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015134967A JP6026597B1 (ja) | 2015-07-06 | 2015-07-06 | 光干渉計 |
EP15897747.0A EP3321650B1 (en) | 2015-07-06 | 2015-07-10 | Optical interferometer |
US15/741,558 US20180195853A1 (en) | 2015-07-06 | 2015-07-10 | Optical interferometer |
PCT/JP2015/069949 WO2017006486A1 (ja) | 2015-07-06 | 2015-07-10 | 光干渉計 |
CN201580081466.1A CN107850491A (zh) | 2015-07-06 | 2015-07-10 | 光学干涉仪 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015134967A JP6026597B1 (ja) | 2015-07-06 | 2015-07-06 | 光干渉計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6026597B1 true JP6026597B1 (ja) | 2016-11-16 |
JP2017015633A JP2017015633A (ja) | 2017-01-19 |
Family
ID=57326581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015134967A Active JP6026597B1 (ja) | 2015-07-06 | 2015-07-06 | 光干渉計 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20180195853A1 (ja) |
EP (1) | EP3321650B1 (ja) |
JP (1) | JP6026597B1 (ja) |
CN (1) | CN107850491A (ja) |
WO (1) | WO2017006486A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6704833B2 (ja) * | 2016-10-27 | 2020-06-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 位置検出方法及び光モジュール |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6233054B1 (en) * | 1998-04-10 | 2001-05-15 | Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government | Fourier-transform spectrometer configuration optimized for self emission suppression and simplified radiometric calibration |
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JP2013504066A (ja) * | 2009-09-08 | 2013-02-04 | シーウェア システムズ | マイクロ電子機械的システム(mems)干渉計 |
WO2015025691A1 (ja) * | 2013-08-19 | 2015-02-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光干渉計を製造する方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1492092A (fr) * | 1966-04-21 | 1967-08-18 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Perfectionnements aux interféromètres |
US4932780A (en) * | 1986-11-05 | 1990-06-12 | Fuji Electric Co., Ltd. | Interferometer |
US9429474B2 (en) * | 2012-10-08 | 2016-08-30 | Si-Ware Systems | Fourier transform micro spectrometer based on spatially-shifted interferogram bursts |
JP5839759B1 (ja) * | 2015-07-30 | 2016-01-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光干渉計 |
-
2015
- 2015-07-06 JP JP2015134967A patent/JP6026597B1/ja active Active
- 2015-07-10 EP EP15897747.0A patent/EP3321650B1/en active Active
- 2015-07-10 CN CN201580081466.1A patent/CN107850491A/zh active Pending
- 2015-07-10 WO PCT/JP2015/069949 patent/WO2017006486A1/ja active Application Filing
- 2015-07-10 US US15/741,558 patent/US20180195853A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2015025691A1 (ja) * | 2013-08-19 | 2015-02-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光干渉計を製造する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017015633A (ja) | 2017-01-19 |
US20180195853A1 (en) | 2018-07-12 |
EP3321650A1 (en) | 2018-05-16 |
WO2017006486A1 (ja) | 2017-01-12 |
EP3321650A4 (en) | 2018-12-19 |
CN107850491A (zh) | 2018-03-27 |
EP3321650B1 (en) | 2020-12-09 |
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|
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|
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