JP6024837B2 - 押圧センサ - Google Patents

Description

本発明は、タッチパネル等の操作面が押し込まれることを検出する押圧センサに関する。

タッチパネルのような入力デバイスでは、操作面でのタッチ位置を検出するだけでなく、操作面での押し込み量を検出する場合があり、操作面の押し込み量を検出することができる押圧センサが付設されることがある。押圧センサには種々の構成があるが、透光性と可撓性に優れる平膜状の圧電フィルムを用いた押圧センサが開発されている（例えば特許文献１参照。）。

圧電フィルムは、代表的には、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ：ＰｏｌｙＶｉｎｙｌｉｄｅｎｅＤｉＦｌｕｏｒｉｄｅ）を主材料とするものが知られている。また、Ｌ型ポリ乳酸（ＰＬＬＡ：Ｐｏｌｙ-Ｌ-Ｌａｃｔｉｃ Ａｃｉｄ）やＤ型ポリ乳酸（ＰＤＬＡ：Ｐｏｌｙ-Ｄ-Ｌａｃｔｉｃ Ａｃｉｄ）などのキラル高分子を主材料とする圧電フィルムも知られている。

国際公開２０１２／１３７８９７号

圧電センサでは、圧電フィルムの両面それぞれに平膜状の検出電極を配する必要がある。しかしながら、圧電フィルムと検出電極との材質の組み合わせによっては、圧電フィルムの圧電性などを損なわずに、圧電フィルムに検出電極を直接接合させることが難しい場合がある。そこで、絶縁性を有するフレキシブルフィルムに検出電極を設け、フレキシブルフィルムを折り返して間に圧電フィルムを挟み込む構成の押圧センサを出願人は開発している。

このような構造の押圧センサは、圧電フィルムと検出電極との材質の組み合わせを自由に設定でき、また、押圧センサの部材数が少なく製造が容易であるという利点を有している。ただし、フレキシブルフィルムの折り返しが元に戻ろうとするスプリングバック効果によって、経時的にフレキシブルフィルムの折り返しが開き、圧電フィルムとフレキシブルフィルムとが剥がれて、押圧センサに不具合が生じてしまうことがあった。

そこで、本発明の目的は、折り返されたフレキシブルフィルムのスプリングバック効果によって不具合が発生することを抑制できる押圧センサを提供することにある。

この発明は、互いに対向する第１平膜部および第２平膜部と、折り返された状態で前記第１平膜部と前記第２平膜部とを繋ぐ折返部と、を備え、前記第１平膜部と前記第２平膜部との間の折り返し線上に前記折返部とともにスリットが設けられているフレキシブルフィルムと、前記第１平膜部と前記第２平膜部との間に貼り付けられている平膜状の圧電フィルムと、を備え、折返部は、折り返し線上での第１平膜部および第２平膜部の縁から離れている。

この構成では、フレキシブルフィルムの折り返しがスプリングバック効果によって開くことを抑制できる。仮に、折返部がフレキシブルフィルムの折り返し線上での第１平膜部および第２平膜部の縁に沿って設けられていれば、フレキシブルフィルムの縁側での圧電フィルムとフレキシブルフィルムとの接着力が弱くなって、フレキシブルフィルムの折り返しが縁側から開く危険性があった。しかしながら、折返部がフレキシブルフィルムの折り返し線上での第１平膜部および第２平膜部の縁から離れていることにより、フレキシブルフィルムの縁側でも接着力を確保することができ、フレキシブルフィルムの折り返しが縁側から開くことを抑制できる。

または、この発明は、互いに対向する第１平膜部および第２平膜部と、折り返された状態で前記第１平膜部と前記第２平膜部とを繋ぐ折返部と、を備え、前記第１平膜部と前記第２平膜部との間の折り返し線上に前記折返部とともにスリットが設けられているフレキシブルフィルムと、前記第１平膜部と前記第２平膜部との間に貼り付けられている平膜状の圧電フィルムと、を備え、折返部は、折り返し線に交差する方向を長手として延びている。

折返部は、幅寸法を小さくするほど、また、長さ寸法を大きくするほど、スプリングバック効果によって生じる作用する力（弾性力）が小さくなる。したがって、折返部が折り返し線に交差する方向を長手として延びることにより、スプリングバック効果によって生じる作用する力（弾性力）を抑制でき、フレキシブルフィルムの折り返しが開くことを抑制できる。

または、この発明は、互いに対向する第１平膜部および第２平膜部と、折り返された状態で前記第１平膜部と前記第２平膜部とを繋ぐ折返部と、を備え、前記第１平膜部と前記第２平膜部との間の折り返し線上に前記折返部とともにスリットが設けられているフレキシブルフィルムと、前記第１平膜部と前記第２平膜部との間に貼り付けられている平膜状の圧電フィルムと、前記折返部を通過して前記第１平膜部と前記第２平膜部とに配線されている配線部と、少なくとも前記折返部で前記配線部を覆っているカバー材と、を備え、前記折返部は、前記配線部が設けられている面の一部が前記カバー材から露出している。

スリットは線状であり、スリットの端点は円形状の開口であってもよい。

折返部で配線部を覆うようにカバー材を設けることで、フレキシブルフィルムを折返部で折り返しても、折返部上で配線部が断線することを防ぐことができる。また、カバー材から露出する折返部の面積が大きいほど、スプリングバック効果により折返部に作用する力（弾性力）を抑制でき、フレキシブルフィルムの折り返しがスプリングバック効果によって開くことを抑制できる。

押圧センサは、圧電フィルムと第１平膜部との間に貼り付けられている第１貼付材と、圧電フィルムと第２平膜部との間に貼り付けられている第２貼付材と、を更に備え、第１貼付材と第２貼付材とのうち、外部構造体への取付面の遠くに位置するものは、外部構造体への取付面の近くに位置するものよりも、厚みが厚いと好適である。

貼付材の厚みがより厚いほど、接着力は増し、逆に圧電フィルムに伝わる応力が減じる。そこで、本構成では、外部構造体への取付面の近くに位置する貼付材を薄手のものにすることで圧電フィルムに伝わる応力が減じることを防ぎながら、外部構造体への取付面の遠くに位置する貼付材を厚手のものにすることで接着力を高める。これにより、圧電センサの感度が低下することを防ぎながら、フレキシブルフィルムの折り返しがスプリングバック効果によって開くことを抑制できる。

圧電フィルム、互いに直交する四辺を有する平面形状であり、前記四辺に対して交差する方向に沿って配向するキラル高分子を主材料とすることが好ましい。特には、前記キラル高分子は、前記四辺に対して略４５°の方向に配向することが好ましい。

この構成のように、キラル高分子を主材料とする圧電フィルムは、フィルムの厚み方向からの押圧力を検出する圧電テンソル成分（フィルムの厚み方向を第１軸とし、フィルムの延伸方向を第３軸としてｄ_１４で表わされる）を有しているが、焦電性を有しておらず、検出位置での温度変化の影響を受けずに電圧出力を得ることができる。

この発明によれば、フレキシブルフィルムの折り返しにより生じるスプリングバック効果が抑制されるので、押圧センサのフレキシブルフィルムが経時的に圧電フィルムから剥がれる不具合が生じることを抑制できる。

本発明の実施形態に係る押圧センサの側面断面図および平面図である。 本発明の実施形態に係る押圧センサを分解した状態で示す平面図である。 本発明の実施形態に係る押圧センサの押圧力検出時の側面断面図である。 本発明の実施形態に係る押圧センサの要部を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る押圧センサの製造過程を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る押圧センサにおけるフレキシブルフィルムの変形例を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る押圧センサにおける貼付材の変形例を示す側面断面図である。

以下、本発明の実施形態に係る押圧センサについて説明する。

図１（Ａ）は、本発明の実施形態に係る押圧センサ１０の側面断面図であり、図１（Ｂ）でＡ−Ａ’として示す位置を通る断面を示している。

押圧センサ１０は、図１（Ａ）に示すセンサ部２０を有している。センサ部２０は、第１フィルム平膜部１１、第２フィルム平膜部１２、第１検出電極１３、第２検出電極１４、第１貼付材１５、第２貼付材１６、および、圧電フィルム１７を備えている。

第１フィルム平膜部１１、第２フィルム平膜部１２、第１検出電極１３、第２検出電極１４、第１貼付材１５、第２貼付材１６、および、圧電フィルム１７は、それぞれ平膜状で、厚み方向に対向する表主面および裏主面を備えている。ここでは図１（Ａ）中の上面を表主面と称し、下面を裏主面と称している。

第１フィルム平膜部１１、第１検出電極１３、第１貼付材１５、圧電フィルム１７、第２貼付材１６、第２検出電極１４、および、第２フィルム平膜部１２は、この記載順に表主面側から裏主面側に並べて、押圧センサ１０の厚み方向に積層されている。具体的には、圧電フィルム１７の表主面に第１貼付材１５が設けられている。第１貼付材１５の表主面に第１検出電極１３が設けられている。第１検出電極１３の表主面に第１フィルム平膜部１１が設けられている。また、圧電フィルム１７の裏主面に第２貼付材１６が設けられている。第２貼付材１６の裏主面に第２検出電極１４が設けられている。第２検出電極１４の裏主面に第２フィルム平膜部１２が設けられている。

圧電フィルム１７は、圧電性を有しており、ＰＬＬＡ（Ｌ型ポリ乳酸）を主たる材料としている。ＰＬＬＡの詳細については後述する。第１フィルム平膜部１１および第２フィルム平膜部１２は、絶縁性および可撓性を有しており、ポリイミド等の樹脂を主たる材料としている。第１検出電極１３は、第１フィルム平膜部１１に対して成膜された銅箔等の金属膜である。第２検出電極１４は、第２フィルム平膜部１２に対して成膜された銅箔等の金属膜である。第１貼付材１５は、第１検出電極１３と圧電フィルム１７との間に貼り付けられた粘着材である。第２貼付材１６は、第２検出電極１４と圧電フィルム１７との間に貼り付けられた粘着材である。なお、粘着材は、接着力を有する状態でも濡れたままであり、液体から固体に相変化することで接着力が生じるような接着材とは異なる。第１貼付材１５および第２貼付材１６は、接着材であってもよいが、粘着材とすることにより、接着材に比べて厚みを精緻に制御することができる。

第１検出電極１３および第２検出電極１４を構成する銅箔は、圧電フィルム１７を構成するＰＬＬＡに対して、圧電フィルム１７の良好な圧電性を阻害せずに直接接合させることが困難である。そこで、第１検出電極１３および第２検出電極１４を、銅箔との接合性が良好な樹脂からなる第１フィルム平膜部１１または第２フィルム平膜部１２に成膜（直接接合）させ、第１貼付材１５または第２貼付材１６を介して圧電フィルム１７に間接的に貼り付けている。このため、銅箔とＰＬＬＡとのような組み合わせでも、圧電フィルム１７に対して、強固な接着力で第１検出電極１３や第２検出電極１４を貼り付けることができる。すなわち、第１検出電極１３および第２検出電極１４と圧電フィルム１７との材料の組み合わせを任意に設定することができる。

図１（Ｂ）は、本発明の実施形態に係る押圧センサ１０を表主面側から視た平面図である。押圧センサ１０は、センサ部２０、配線引出部２１、および、回路形成部２２を備えている。センサ部２０は、前述の断面視形状を有するとともに、平面視した外形状が概略長方形状である。

配線引出部２１は、複数の配線部２３とフィルム基材２４とを備えている。フィルム基材２４は、センサ部２０の第２フィルム平膜部１２（不図示）に対して、センサ部２０の長手方向の一端（右側端）近傍の長辺に接続されており、そこから、センサ部２０の長手方向に対して直交する方向（下方向）に延びている。複数の配線部２３は、フィルム基材２４の天面側に設けられており、センサ部２０の第１検出電極１３（不図示）に接続されているものと、センサ部２０の第２検出電極１４（不図示）に接続されているものと、を少なくとも含んでいる。

回路形成部２２は、複数の配線部２５とフィルム基材２６と複数の電子部品２７と端子具２８とを備えている。フィルム基材２６は、平面視した外形状が概略正方形状であり、配線引出部２１のフィルム基材２４に対して、配線引出部２１の一端（下側端）に接続されている。複数の電子部品２７は、フィルム基材２６の天面側に取り付けられており、配線引出部２１の配線部２３を介して、センサ部２０の第１検出電極１３（不図示）および第２検出電極１４（不図示）に接続されている。端子具２８は、フィルム基材２６の一側面から側方に突出するように、フィルム基材２６に取り付けられている。複数の配線部２５は、端子具２８と複数の電子部品２７との間を接続している。なお、回路形成部２２に設けられる複数の電子部品２７は、センサ部２０の検出信号を変換するものであり、端子具２８は、電子部品２７により変換された電圧信号を外部出力するものである。

図２は、押圧センサ１０を分解した状態を示す平面図である。図２（Ａ）は、圧電フィルム１７を表主面側から視た平面図である。

圧電フィルム１７は、概略長方形状の表主面および裏主面（不図示）を有し、ＰＬＬＡを主たる材料としている。ＰＬＬＡはキラル高分子ポリマーであり柔軟性を有するので、ＰＬＬＡを主材料とする圧電フィルム１７は、大きな変位が生じても圧電セラミックスのように破損することがなく、確実に変位量を検出することができる。また、ＰＬＬＡは、主鎖が螺旋構造を有しており、分子が配向することで圧電性を有し、高分子の中でも圧電定数が非常に高い部類に属する。ＰＬＬＡは、一軸延伸等による分子の配向処理で圧電性を生じ、ＰＶＤＦ等の他のポリマーや圧電セラミックスのように、ポーリング処理を行う必要がない。すなわち、強誘電体に属さないＰＬＬＡの圧電性は、強誘電体に属するＰＶＤＦやＰＺＴ等のようにイオンの分極によって発現するものではなく、分子の特徴的な構造である螺旋構造に由来するものである。このため、ＰＬＬＡには、他の強誘電性の圧電体で生じる焦電性が生じない。さらに、ＰＶＤＦ等は経時的に圧電定数の変動が見られ、場合によっては圧電定数が著しく低下する場合があるが、ＰＬＬＡの圧電定数は経時的に極めて安定している。

ＰＬＬＡの延伸方向に３軸をとり、３軸方向に垂直な方向に１軸および２軸をとると、ＰＬＬＡにはｄ_１４の圧電定数（ずりの圧電定数）が存在する。１軸方向が厚み方向となり、３軸方向（延伸方向）に対して４５°の角度をなす方向が長手方向となるように、ストライプ状の圧電フィルム１７が切り出される。

図３は、押圧センサ１０の押圧力検出時を示す側面断面図である。押圧センサ１０は、図示していないタッチパネル等に貼り付けられて使用される。押圧センサ１０は、一方の主面側（ここでは表主面側）から厚み方向に押し込まれることにより、長手方向に伸縮する。このように押圧センサ１０が長手方向に伸長すると、圧電フィルム１７が厚み方向に分極し、圧電フィルム１７に電荷が発生する。これにより、第１検出電極１３と第２検出電極１４との間に、押圧力の大きさ（圧電フィルム１７の伸長量）に応じた電位差が発生する。前述の複数の電子部品２７は、この圧電フィルム１７に生じる電位差を検出し、所定の電圧信号に変換して端子具２８から外部出力する。

図２（Ｂ）は、圧電フィルム１７を除いて第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２との間を開いた状態での押圧センサ１０の分解平面図である。押圧センサ１０は、フレキシブルフィルム３０を備えている。フレキシブルフィルム３０は、１枚のフレキシブルフィルムの平面視した外形状を成形してなり、前述の第１フィルム平膜部１１、第２フィルム平膜部１２、フィルム基材２４、およびフィルム基材２６を含み、さらに、２つのフィルム折返部３１を有している。

フレキシブルフィルム３０において、第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２とは、それぞれの平面視した外形状が長方形状であり、互いの長辺同士が所定の間隔を隔てて対向するように並べられている。該フレキシブルフィルム３０は、折り返し線ＦＬに沿って折り返され、これにより、第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２とは互いに対向する。折り返し線ＦＬは、第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２との間でフィルム平膜部１１，１２の長手方向に延びており、２つのフィルム折返部３１が設けられている位置を通過する。折り返され対向する第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２との間には、前述の圧電フィルム１７と第１貼付材１５および第２貼付材１６が挟みこまれ、これにより図１（Ａ）に示した断面構造のセンサ部２０が構成される。

２つのフィルム折返部３１は、フレキシブルフィルム３０の折り返し線ＦＬ上に設けられており、第１フィルム平膜部１１および第２フィルム平膜部１２の長手方向に対して直交する方向に延び、一端（上側端）で第１フィルム平膜部１１に連結されており、他端（下側端）で第２フィルム平膜部１２に連結されている。このようにして、第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２との間は、２つのフィルム折返部３１を介して連結されている。フィルム折返部３１それぞれの両脇には、折り返し線ＦＬ上で延びるスリット３２が設けられている。スリット３２により、第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２との間は隔てられている。

また、第１検出電極１３は、第１フィルム平膜部１１の表面の大部分を占めるように第１フィルム平膜部１１の表面を覆っている。第２検出電極１４は、第２フィルム平膜部１２の表面の大部分を占めるように第２フィルム平膜部１２の表面を覆っている。第１検出電極１３と第２検出電極１４とは、開いた状態のフレキシブルフィルム３０の同一の面に設けられており、フレキシブルフィルム３０が折り返されることによって、第１フィルム平膜部１１の裏主面側を第１検出電極１３が向き、第２フィルム平膜部１２の表主面側を第２検出電極１４が向くことになる。

第１検出電極１３に接続されている配線部２３は、回路形成部２２において電子部品２７に接続されており、配線引出部２１を通過し、また、第２フィルム平膜部１２において第２検出電極１４の脇を通過し、フィルム折返部３１を経由して、第１フィルム平膜部１１に到達し、第１検出電極１３に接続されている。また、第２検出電極１４に接続されている配線部２３は、回路形成部２２で電子部品２７に接続されており、配線引出部２１を経由して、第２フィルム平膜部１２に到達し、第２検出電極１４に接続されている。

図４（Ａ）は、本発明の要部をなすフィルム折返部３１の周辺を拡大して示す平面図である。図４（Ｂ）は、フィルム折返部３１を通る側面断面図であり、図４（Ａ）でＢ−Ｂ’として示す位置を通る断面を示している。

フィルム折返部３１は、第１フィルム平膜部１１および第２フィルム平膜部１２の長辺の縁からオフセット量Ｓだけ離れている。すなわち、フィルム折返部３１をフィルム平膜部１１，１２の長辺の縁から離れて位置するようにしている。

また、フィルム折返部３１は幅寸法Ｗと長さ寸法Ｌとを有し、長さ寸法Ｌは、幅寸法Ｗに対してＬ≧Ｗの関係を満たすように設定している。すなわち、フィルム折返部３１を折り返し線ＦＬに交差する方向を長手として延びるようにしている。

さらには、フィルム折返部３１において、フィルム折返部３１および配線部２３の表面はカバー材３３で覆うようにしている。カバー材３３は、レジストや樹脂等からなる。そして、フィルム折返部３１の幅方向でのカバー材３３の幅寸法Ｗ’は、フィルム折返部３１の幅寸法Ｗに対してＷ≧Ｗ’の関係を満たすように設定している。すなわち、フィルム折返部３１および配線部２３の表面を覆うカバー材３３からフィルム折返部３１の一部が露出するようにしている。

このように、フィルム折返部３１をフィルム平膜部１１，１２の長辺の縁から離れて位置するようにすることで、または、フィルム折返部３１を折り返し線に交差する方向を長手として延びるようにすることで、あるいは、フィルム折返部３１および配線部２３の表面を覆うカバー材３３からフィルム折返部３１の一部が露出するようにすることで、フレキシブルフィルム３０の折り返しがスプリングバック効果によって開くことを抑制できる。

即ち、仮にフィルム折返部３１がフィルム平膜部１１，１２の長辺の縁からオフセットして設けられていなければ、フィルム折返部３１よりもフィルム平膜部１１，１２の長辺の縁側に貼付材１５，１６が存在せず、フィルム折返部３１の幅方向の縁で貼付材１５，１６による接着力を得ることができない。このため、スプリングバック効果による弾性力によってフィルム折返部３１の幅方向の縁から貼付材１５，１６が剥がれ、フレキシブルフィルム３０の折り返しが縁側から開く危険性がある。これに対して、上述のようにフィルム折返部３１を第１フィルム平膜部１１および第２フィルム平膜部１２の長辺の縁から離れて位置するようにすることにより、フィルム折返部３１よりもフィルム平膜部１１，１２の長辺の縁側でも貼付材１５，１６による接着力を確保することができ、これにより、フレキシブルフィルム３０の折り返しが縁側から開くことを抑制できる。

ただし、フィルム折返部３１の幅方向の縁からのオフセット量Ｓを大きくとると、第２フィルム平膜部１２内に設けられる、第１検出電極１３への接続のための配線部２３をより長くする必要が生じて、第２電極１４の面積が削減されることになる。すると、第２電極１４の面積が削減される分だけ押圧センサ１０の感度が劣化することになる。したがって、押圧センサ１０の感度の面からは必要な接着力が確保できる範囲内で、前記オフセット量Ｓはできるだけ小さくした方が好ましい。ただし、オフセット量Ｓが小さくなりすぎると、スプリングバックの抑制効果が低減してしまうため、オフセット量Ｓがどの程度であれば必要な接着力を確保できるかを実験的に確認したところ、フィルム折返部３１の幅方向の縁からのオフセット量Ｓが、フィルム折返部３１の幅方向の寸法Ｗに対して、およそＳ ≧ Ｗの関係を満たすならば、必要な接着力が得られることが確認された。

また、フィルム折返部３１の幅寸法Ｗが小さくその長さ寸法Ｌが長いほど、スプリングバック効果によってフレキシブルフィルム３０の折り返しが戻ろうとする弾性力が緩和される。したがって、フィルム折返部３１を折り返し線に交差する方向を長手として延びる形状とすることによっても、フレキシブルフィルム３０の折り返しが縁側から開くことを抑制できる。

また、フィルム折返部３１で配線部２３を覆うようにカバー材３３を設けることで、フレキシブルフィルム３０をフィルム折返部３１で折り返しても、フィルム折返部３１上で配線部２３が断線することを防ぐことができる。しかしながら、このようにフィルム折返部３１をカバー材３３で覆うことによってスプリングバック効果が強くなり、フレキシブルフィルム３０の折り返しが開き易くなってしまう。そこで、カバー材３３からフィルム折返部３１の表面を露出させることで、スプリングバック効果によりフィルム折返部３１に作用する弾性力を緩和でき、やはりフレキシブルフィルム３０の折り返しがスプリングバック効果によって開くことを抑制できる。フィルム折返部３１の露出面積が大きいほど、スプリングバック効果によりフィルム折返部３１に作用する弾性力は緩和される。

したがって、この押圧センサ１０によれば、フレキシブルフィルム３０を用いることで圧電フィルム１７と検出電極１３，１４との材質の組み合わせを任意にできる上、スプリングバック効果による弾性力を抑制でき、フレキシブルフィルム３０の折り返しが開いて圧電フィルム１７と検出電極１３，１４とが離れるような不具合の発生を抑制できる。

図５は、押圧センサ１０の製造過程での状態を示す平面図である。

押圧センサ１０の製造工程では、まず、図５（Ａ）に示すように、電極膜が形成されていない成形済みのフレキシブルフィルム３０を用意し、フレキシブルフィルム３０の片面の全面に電極膜を形成し、電極膜をエッチング等でパターニングすることにより、検出電極１３，１４と配線部２３（不図示）とを形成する。

次に、押圧センサ１０の製造工程では、図５（Ｂ）に示すように、フレキシブルフィルム３０の第１フィルム平膜部１１または第２フィルム平膜部１２上に、圧電フィルム１７を貼り付ける。圧電フィルム１７は、両面に貼付材１５，１６（不図示）が貼り付けられたものであってもよく、貼付材１５，１６（不図示）と圧電フィルム１７とを順番に貼り付けるようにしてもよい。

次に、押圧センサ１０の製造工程では、図５（Ｃ）に示すように、フレキシブルフィルム３０をフィルム折返部３１で折り曲げ、第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２との間に圧電フィルム１７を挟み込み、貼付材１５，１６（不図示）を介して圧電フィルム１７を第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２とに貼り付ける。これにより、センサ部２０が形成される。

そして、押圧センサ１０の製造工程では、図５（Ｄ）に示すように、フレキシブルフィルム３０の回路形成部２２に、電子部品２７を実装するとともに、端子具２８を取り付ける。これにより、押圧センサ１０が形成される。

以上のような製造方法によって押圧センサ１０を製造することができる。すると、単一のフレキシブルフィルム３０の同一面上に、第１検出電極１３と第２検出電極１４と配線部２３，２５（不図示）とを形成することができ、同一の電極工程で一度に電極を形成して製造工程数の削減を図ることができる。また、第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２とを同一工程で形成し、製造工程数の削減とともに部品点数の削減を図ることができる。

≪第１変形例≫
次に、フレキシブルフィルムの変形例について説明する。

図６は、第１変形例に係るフレキシブルフィルム３０Ａの平面図である。

フレキシブルフィルム３０Ａは、第１フィルム平膜部１１と第２フィルム平膜部１２との間を隔てるスリットの形状を変形したものであり、スリット３２Ａを備えている。該スリット３２Ａは、フィルム平膜部１１，１２の長辺に沿って延びており、フィルム平膜部１１，１２の長辺に対して垂直な方向の幅がほとんど無いない線状に形成されている。このようにスリット３２Ａを線状とするならば、フレキシブルフィルム３０Ａの成形時に、スリット３２Ａを設ける際の廃棄物を減じることができ、その成形も容易となる。

また、スリット３２Ａの両端に位置する端点は、所定の直径を有する円形状の開口（孔）としている。これにより、フレキシブルフィルム３０Ａに作用する応力がスリット３２Ａの端点に集中し難くなり、応力集中によってスリット３２Ａの端点からフレキシブルフィルム３０Ａが裂けることを防ぐことができる。

≪第２変形例≫
次に、貼付材の変形例について説明する。

図７は、第２変形例に係るセンサ部２０Ａの断面図である。

センサ部２０Ａは、圧電フィルム１７と第２検出電極１４との間を貼り付ける第２貼付材の厚みを変形したものであり、第２貼付材１６Ａを備えている。該第２貼付材１６Ａは、第１貼付材１５よりも、厚みを厚くしている。このように第２貼付材１６Ａの厚みを厚くすることにより、圧電フィルム１７と第２検出電極１４との間の接着力を高めて、フレキシブルフィルム３０の折り返しがスプリングバック効果によって開くことを抑制できる。

なお、圧電フィルム１７と第１検出電極１３との間を貼り付ける第１貼付材１５においても、その厚みを厚くすることで圧電フィルム１７と第１検出電極１３との間の接着力を高め、フレキシブルフィルム３０の折り返しがスプリングバック効果によって開くことを抑制するようにもできる。ただし、第１貼付材と第２貼付材との両方の厚みを厚くすると、センサ部２０Ａの押圧により生じる応力が緩和されてしまい、押圧センサ１０の検出感度が低下する危険性がある。

そこで、このセンサ部２０Ａのように一方の貼付材のみ厚みを厚くし、他方の貼付材の厚みは薄いままとすることにより、押圧センサ１０の検出感度が低下することを防ぎながら、フレキシブルフィルム３０の折り返しがスプリングバック効果によって開くことを抑制できる。第１貼付材と第２貼付材とのうちのいずれの厚みを厚くするかは、センサ部２０Ａの天面側が外部構造体に貼り付けられるのか、センサ部２０Ａの底面側が外部構造体に貼り付けられるのかにより決定するとよい。外部構造体への取付面に近い貼付材は薄くし、外部構造体への取付面に遠い貼付材は厚くすることにより、効果的に押圧センサ１０の検出感度が低下することを防ぎながら、フレキシブルフィルム３０の折り返しがスプリングバック効果によって開くことを抑制できる。

ＦＬ…折り返し線
１０…押圧センサ
１１…第１フィルム平膜部
１２…第２フィルム平膜部
１３…第１検出電極
１４…第２検出電極
１５…第１貼付材
１６，１６Ａ…第２貼付材
１７…圧電フィルム
２０，２０Ａ…センサ部
２１…配線引出部
２２…回路形成部
２３，２５…配線部
２４，２６…フィルム基材
２６…フィルム基材
２７…電子部品
２８…端子具
３０，３０Ａ…フレキシブルフィルム
３１…フィルム折返部
３２，３２Ａ…スリット
３３…カバー材

Claims (8)

1. 互いに対向する第１平膜部および第２平膜部と、折り返された状態で前記第１平膜部と前記第２平膜部とを繋ぐ折返部と、を備え、前記第１平膜部と前記第２平膜部との間の折り返し線上に前記折返部とともにスリットが設けられているフレキシブルフィルムと、
   前記第１平膜部と前記第２平膜部との間に貼り付けられている平膜状の圧電フィルムと、
   前記折返部を通過して前記第１平膜部と前記第２平膜部とに配線されている配線部と、
   少なくとも前記折返部で前記配線部を覆っているカバー材と、
   を備え、
   前記折返部は、前記配線部が設けられている面の一部が前記カバー材から露出している、
   押圧センサ。
2. 前記折返部は、前記折り返し線上での前記第１平膜部および前記第２平膜部の縁から離れている、
   請求項１に記載の押圧センサ。
3. 第１平膜部と前記第２平膜部とを繋ぐ折返部は、折り返し線上での前記第１平膜部および前記第２平膜部の縁から前記折返部の幅以上に離れている、請求項２に記載の押圧センサ。
4. 前記折返部は、前記折り返し線に交差する方向を長手として延びている、
   請求項１に記載の押圧センサ。
5. 前記スリットは線状であり、前記スリットの端点は円形状の開口である、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の押圧センサ。
6. 前記圧電フィルムと前記第１平膜部との間に貼り付けられている第１貼付材と、
   前記圧電フィルムと前記第２平膜部との間に貼り付けられている第２貼付材と、を更に備え、
   前記第１貼付材と前記第２貼付材とのうち、外部構造体への取付面のより遠くに位置するものは、前記外部構造体への取付面のより近くに位置するものよりも、厚みが厚い、
   請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の押圧センサ。
7. 前記圧電フィルムは、互いに直交する四辺を有する平面形状であり、前記四辺に対して交差する方向に沿って配向するキラル高分子を主材料とする、請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の押圧センサ。
8. 前記キラル高分子は、前記四辺に対して略４５°の方向に配向する、請求項７に記載の押圧センサ。

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