JP6021727B2 - Transformer, power supply device including the transformer, and stage device including the transformer - Google Patents
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Description
本発明は、トランスと、このトランスを備えた電源装置およびステージ装置と、に関する。 The present invention relates to a transformer, and a power supply device and a stage device including the transformer.
従来、各種測定装置や半導体リソグラフィ工程で用いられる露光装置などにおいて、ウエハやレチクルなどの試料の位置制御を行うステージ装置が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。特許文献１や特許文献２に示されているステージ装置は、半導体リソグラフィ工程において試料をステージに固定し、このステージを移動させるとともに、ステージが移動することによって生じる反力を他に伝達させないようにする。これによれば、ステージが移動することにより生じる反力が他に伝達することによって、振動が発生してしまうのを防止して、ステージの移動を高精度に制御でき、その結果、試料の位置制御を高精度に行うことができる。 2. Description of the Related Art Conventionally, stage apparatuses that control the position of a sample such as a wafer or a reticle have been proposed in various measurement apparatuses and exposure apparatuses used in semiconductor lithography processes (see, for example, Patent Documents 1 and 2). The stage apparatus shown in Patent Document 1 and Patent Document 2 fixes a sample to the stage in a semiconductor lithography process, moves the stage, and prevents the reaction force generated by the movement of the stage from being transmitted to others. To do. According to this, the reaction force generated by the movement of the stage is transmitted to the other to prevent the occurrence of vibration, and the movement of the stage can be controlled with high accuracy. Control can be performed with high accuracy.
［ステージ装置１００の構成および動作］
図８は、従来例に係るステージ装置１００の構成を示す図である。ステージ装置１００は、ステージ１０、駆動部２０、固定台３０、電源４０、および配線５０を備える。
[Configuration and operation of stage apparatus 100]
FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a stage apparatus 100 according to a conventional example. The stage apparatus 100 includes a stage 10, a drive unit 20, a fixed base 30, a power supply 40, and wiring 50.
ステージ１０は、ウエハやレチクルなどの試料を保持した状態で、図８中のＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のうち少なくとも１つの軸方向に沿って移動可能に設けられ、図示しないステージ駆動装置により駆動される。これによれば、ステージ１０は、Ｘ軸とＹ軸とＺ軸とのうちいずれかの軸方向に沿って移動したり、Ｘ軸とＹ軸とＺ軸とのうち２つの軸を含む平面に平行な平面内で移動したり、Ｘ軸とＹ軸とＺ軸とを含む３次元空間内で移動したりすることになる。 The stage 10 is provided so as to be movable along at least one of the X-axis, Y-axis, and Z-axis in FIG. 8 while holding a sample such as a wafer or a reticle. Driven by. According to this, the stage 10 moves along the axial direction of any of the X axis, the Y axis, and the Z axis, or on a plane including two axes of the X axis, the Y axis, and the Z axis. It moves in a parallel plane, or moves in a three-dimensional space including the X axis, the Y axis, and the Z axis.
駆動部２０は、図８中のＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のうち少なくとも１つの軸方向に沿って移動可能に設けられ、図示しない駆動部駆動装置により、ステージ１０の移動に同期して、ステージ１０が移動した方向と逆方向に駆動される。これによれば、駆動部２０は、ステージ１０が移動すると、ステージ１０が移動した方向と逆方向に移動することになる。 The drive unit 20 is provided so as to be movable along at least one of the X-axis, Y-axis, and Z-axis in FIG. 8, and is synchronized with the movement of the stage 10 by a drive unit drive device (not shown). The stage 10 is driven in the direction opposite to the moving direction. According to this, when the stage 10 moves, the drive unit 20 moves in the direction opposite to the direction in which the stage 10 has moved.
固定台３０は、床や地面に対して移動しないように固定される。 The fixed base 30 is fixed so as not to move with respect to the floor or the ground.
電源４０は、駆動部２０に設けられた回路や機器に、配線５０を介して電力を供給する。この電源４０は、固定台３０に取り付けられており、床や地面に対して移動しない。 The power supply 40 supplies power to the circuits and devices provided in the drive unit 20 via the wiring 50. The power source 40 is attached to the fixed base 30 and does not move relative to the floor or the ground.
以上の構成を備えるステージ装置１００は、ステージ１０が移動した方向と逆方向に駆動部２０を移動させて、ステージ１０が移動することによって生じる反力を、駆動部２０を移動させることによって生じる反力で打ち消す。 The stage apparatus 100 having the above configuration moves the driving unit 20 in the direction opposite to the direction in which the stage 10 has moved, and the reaction force generated by moving the stage 10 is the reaction generated by moving the driving unit 20. Counteract with force.
上述のステージ装置１００において、ステージ１０の移動を高精度に制御するためには、上述の振動が発生してしまうのを防止するために、ステージ１０の移動に合わせて、駆動部２０の位置制御を高精度に行う必要がある。 In the stage apparatus 100 described above, in order to control the movement of the stage 10 with high accuracy, the position control of the driving unit 20 is performed in accordance with the movement of the stage 10 in order to prevent the above-described vibration from occurring. Must be performed with high accuracy.
上述のステージ装置１００において、配線５０の一端には駆動部２０が接続され、配線５０の他端には電源４０が接続される。ここで、駆動部２０は、ステージ１０が移動した方向と逆方向に移動するのに対して、電源４０は、床や地面に対して移動しない。このため、駆動部２０が移動すると、配線５０の一端も動くのに対して、配線５０の他端は動かない。 In the above-described stage apparatus 100, the drive unit 20 is connected to one end of the wiring 50, and the power supply 40 is connected to the other end of the wiring 50. Here, the drive unit 20 moves in the direction opposite to the direction in which the stage 10 moves, whereas the power source 40 does not move with respect to the floor or the ground. For this reason, when the drive unit 20 moves, one end of the wiring 50 also moves, whereas the other end of the wiring 50 does not move.
このため、駆動部２０が移動することによって配線５０に応力が発生し、この配線５０の応力が駆動部２０の移動を妨げてしまい、駆動部２０の位置制御を高精度に行うことはできないおそれがあった。 For this reason, a stress is generated in the wiring 50 due to the movement of the driving unit 20, and the stress of the wiring 50 hinders the movement of the driving unit 20, and the position control of the driving unit 20 may not be performed with high accuracy. was there.
上述の課題に鑑み、本発明は、高精度な位置制御を実現できるトランスと、このトランスを備えた電源装置およびステージ装置と、を提供することを目的とする。 In view of the above-described problems, an object of the present invention is to provide a transformer that can realize highly accurate position control, and a power supply device and a stage device including the transformer.
本発明は、上述の課題を解決するために、以下の事項を提案している。
（１） 本発明は、コア（例えば、図２のコア６３に相当）と、当該コアに巻回される１次巻線（例えば、図２の１次巻線６１に相当）および２次巻線（例えば、図２の２次巻線６２に相当）と、を有し、半導体リソグラフィ工程において試料の位置制御を行うステージ装置（例えば、図１のステージ装置１に相当）に設けられ、当該ステージ装置に設けられた駆動手段（例えば、図１の駆動部２０に相当）に動力を伝送するために用いられるトランス（例えば、図２のトランス６０に相当）であって、前記１次巻線および前記２次巻線は、前記コアの同一の部分（例えば、図３の磁脚６３３に相当）に巻回され、前記１次巻線および前記２次巻線のうち一方の巻線（例えば、図３の２次巻線６２に相当）は、当該１次巻線および当該２次巻線のうち他方の巻線（例えば、図３の１次巻線６１に相当）に対して予め定められた間隙を空けて、当該同一の部分に巻回されることを特徴とするトランスを提案している。
The present invention proposes the following items in order to solve the above-described problems.
(1) The present invention relates to a core (for example, equivalent to the core 63 in FIG. 2), a primary winding wound around the core (for example, equivalent to the primary winding 61 in FIG. 2), and a secondary winding. 2 (for example, equivalent to the secondary winding 62 in FIG. 2), and provided in a stage apparatus (for example, equivalent to the stage apparatus 1 in FIG. 1) that controls the position of the sample in the semiconductor lithography process. A transformer (for example, equivalent to the transformer 60 in FIG. 2) used for transmitting power to driving means (for example, equivalent to the driving unit 20 in FIG. 1) provided in the stage apparatus, the primary winding And the secondary winding is wound around the same portion of the core (for example, corresponding to the magnetic leg 633 in FIG. 3), and one of the primary winding and the secondary winding (for example, , Corresponding to the secondary winding 62 in FIG. 3), the primary winding and the secondary winding Proposed a transformer that is wound around the same portion with a predetermined gap between the other winding (for example, corresponding to the primary winding 61 in FIG. 3). ing.
この発明によれば、１次巻線および２次巻線のうち、一方の巻線を、他方の巻線に対して予め定められた間隙を空けて、コアに巻回すこととした。このため、一方の巻線は、他方の巻線にもコアにも接触することなく自由に動くことができる。したがって、１次巻線および２次巻線のうち、一方から他方にも、他方から一方にも、力が伝わらない。よって、１次巻線や２次巻線が取り付けられた構成の移動がこれら巻線により妨げられてしまうのを防止でき、この構成の位置制御を高精度に行うことができる。 According to the present invention, one of the primary winding and the secondary winding is wound around the core with a predetermined gap with respect to the other winding. Thus, one winding can move freely without contacting the other winding or the core. Therefore, no force is transmitted from one to the other and from the other to the other of the primary and secondary windings. Therefore, it is possible to prevent the movement of the configuration in which the primary winding and the secondary winding are attached from being hindered by these windings, and position control of this configuration can be performed with high accuracy.
また、この発明によれば、１次巻線および２次巻線を、コアの同一の部分に巻回すこととした。このため、１次巻線と２次巻線とが互いに異なる部分に巻回されている場合と比べて、１次巻線に発生した磁束のうち２次巻線を貫くものが増加する。したがって、１次巻線と２次巻線とが互いに異なる部分に巻回されている場合と比べて、１次巻線と２次巻線とのカップリングの度合いを強くすることができる。 According to the present invention, the primary winding and the secondary winding are wound around the same part of the core. For this reason, compared with the case where a primary winding and a secondary winding are wound by the mutually different part, what penetrates a secondary winding among the magnetic flux generated in the primary winding increases. Therefore, the degree of coupling between the primary winding and the secondary winding can be increased compared to the case where the primary winding and the secondary winding are wound around different portions.
（２） 本発明は、（１）のトランスについて、前記一方の巻線は、前記同一の部分の延在する方向である第１の軸方向（例えば、図２のＺ軸方向に相当）と、前記第１の軸方向に直交する第２の軸方向（例えば、図２のＸ軸方向に相当）と、前記第１の軸方向および前記第２の軸方向の双方に直交する第３の軸方向（例えば、図２のＹ軸方向に相当）と、のうち少なくとも１つの軸方向に沿って移動可能に、前記同一の部分に巻回されることを特徴とするトランスを提案している。 (2) The present invention relates to the transformer of (1), wherein the one winding is in a first axial direction (for example, corresponding to the Z-axis direction in FIG. 2), which is a direction in which the same portion extends. , A second axial direction orthogonal to the first axial direction (e.g., corresponding to the X-axis direction in FIG. 2), and a third orthogonal to both the first axial direction and the second axial direction. A transformer characterized by being wound around the same portion so as to be movable along an axial direction (for example, corresponding to the Y-axis direction in FIG. 2) and at least one of the axial directions is proposed. .
この発明によれば、（１）のトランスにおいて、１次巻線および２次巻線のうち一方の巻線を、第１の軸方向と第２の軸方向と第３の軸方向との少なくとも１つの軸方向に沿って移動可能に、コアに巻回すこととした。このため、一方の巻線と、他方の巻線およびコアと、を互いに接触させることなく、１次巻線や２次巻線が取り付けられた構成を、第１の軸方向と第２の軸方向と第３の軸方向とのうちいずれかの軸方向に沿って移動させたり、第１の軸方向と第２の軸方向と第３の軸方向とのうち２つの軸を含む平面に平行な平面内で移動させたり、第１の軸方向と第２の軸方向と第３の軸方向との３つの軸を含む３次元空間内で移動させたりすることができる。 According to this invention, in the transformer of (1), one of the primary winding and the secondary winding is connected to at least one of the first axial direction, the second axial direction, and the third axial direction. The core is wound around the core so as to be movable along one axial direction. For this reason, the configuration in which the primary winding and the secondary winding are attached without bringing the one winding and the other winding and the core into contact with each other, the first axial direction and the second axis In parallel with a plane including two axes of the first axial direction, the second axial direction, and the third axial direction. It is possible to move in a three-dimensional space including three axes of a first axial direction, a second axial direction, and a third axial direction.
（３） 本発明は、（１）または（２）のトランスについて、前記コア（例えば、図５のコア６３Ａに相当）は、３つの磁脚（例えば、図６の磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａに相当）を有し、前記３つの磁脚のそれぞれの同一の部分には、前記１次巻線と前記２次巻線とが巻回されることを特徴とするトランスを提案している。 (3) According to the present invention, in the transformer of (1) or (2), the core (for example, equivalent to the core 63A in FIG. 5) has three magnetic legs (for example, magnetic legs 632A, 633A, 634A in FIG. 6). The transformer is characterized in that the primary winding and the secondary winding are wound around the same portion of each of the three magnetic legs.
この発明によれば、（１）または（２）のトランスにおいて、コアが有する３つの磁脚のそれぞれの同一の部分に、１次巻線と２次巻線とを巻回すこととした。このため、いわゆる三相トランスにおいても、上述した効果と同様の効果を奏することができる。 According to the present invention, in the transformer of (1) or (2), the primary winding and the secondary winding are wound around the same portion of each of the three magnetic legs of the core. For this reason, also in what is called a three-phase transformer, the effect similar to the effect mentioned above can be show | played.
（４） 本発明は、（１）から（３）のいずれかのトランスを備え、半導体リソグラフィ工程において試料の位置制御を行うステージ装置を駆動させる電源装置（例えば、図１の電源装置２に相当）であって、前記ステージ装置の固定手段に取り付けられ、前記１次巻線（例えば、図１の１次巻線６１に相当）に接続されるスイッチ回路（例えば、図１の１次側スイッチ回路７０に相当）と、前記２次巻線（例えば、図１の２次巻線６２に相当）に接続され、当該２次巻線に発生した起電力を整流し、前記ステージ装置の駆動手段（例えば、図１の駆動部２０に相当）に設けられた回路や機器に電力を供給する整流回路（例えば、図１の２次側整流回路８０に相当）と、を備えることを特徴とする電源装置を提案している。 (4) The present invention is a power supply device (for example, corresponding to the power supply device 2 in FIG. 1) that includes any one of the transformers (1) to (3) and drives a stage device that controls the position of the sample in the semiconductor lithography process. And a switch circuit (for example, the primary side switch of FIG. 1) attached to the fixing means of the stage apparatus and connected to the primary winding (for example, equivalent to the primary winding 61 of FIG. 1) And the secondary winding (e.g., equivalent to the secondary winding 62 in FIG. 1), and rectifies the electromotive force generated in the secondary winding to drive the stage device. And a rectifier circuit (for example, equivalent to the secondary side rectifier circuit 80 in FIG. 1) for supplying power to a circuit or device provided in the drive unit 20 (eg, equivalent to the drive unit 20 in FIG. 1). A power supply is proposed.
この発明によれば、（１）から（３）のいずれかのトランスを備え、半導体リソグラフィ工程において試料の位置制御を行うステージ装置を駆動させる電源装置に、スイッチ回路および整流回路を設けることとした。スイッチ回路については、ステージ装置の固定手段に取り付けられ、１次巻線に接続されるものとした。また、整流回路については、２次巻線に接続され、２次巻線に発生した起電力を整流し、ステージ装置の駆動手段に設けられた回路や機器に電力を供給するものした。このため、半導体リソグラフィ工程における試料の位置制御を従来のステージ装置と比べて高精度に行うことができるステージ装置を、駆動させることができる。 According to the present invention, the switch circuit and the rectifier circuit are provided in the power supply device that includes any of the transformers (1) to (3) and drives the stage device that controls the position of the sample in the semiconductor lithography process. . The switch circuit is attached to the fixing means of the stage device and connected to the primary winding. In addition, the rectifier circuit is connected to the secondary winding, rectifies the electromotive force generated in the secondary winding, and supplies power to the circuits and devices provided in the drive means of the stage device. For this reason, it is possible to drive a stage apparatus that can perform the position control of the sample in the semiconductor lithography process with higher accuracy than the conventional stage apparatus.
（５） 本発明は、（１）から（３）のいずれかのトランスを備えるステージ装置について、移動可能に設けられた移動手段（例えば、図１のステージ１０に相当）と、前記移動手段に対して相対的に移動する駆動手段（例えば、図１の駆動部２０に相当）と、を備え、前記一方の巻線（例えば、図１の２次巻線６２に相当）は、前記駆動手段に取り付けられ、前記他方の巻線（例えば、図１の１次巻線６１に相当）および前記コアは、前記移動手段および前記駆動手段に対して移動しない固定手段（例えば、図１の固定台３０に相当）に取り付けられることを特徴とするステージ装置を提案している。 (5) The present invention relates to a stage device including any one of the transformers (1) to (3), a moving means (for example, equivalent to the stage 10 in FIG. 1) provided movably, and the moving means Drive means (for example, equivalent to the drive unit 20 in FIG. 1) that moves relative to the first winding (for example, equivalent to the secondary winding 62 in FIG. 1). The other winding (for example, corresponding to the primary winding 61 in FIG. 1) and the core are fixed to the moving means and the driving means (for example, the fixed base in FIG. 1). The stage device is characterized in that it can be mounted on the stage device.
この発明によれば、（１）から（３）のいずれかのトランスを備えるステージ装置において、１次巻線および２次巻線のうち一方の巻線を、移動する駆動手段に取り付け、１次巻線および２次巻線のうち他方の巻線とコアとを、移動しない固定手段に取り付けることとした。このため、駆動手段が移動すると、一方の巻線も動くことになるが、一方の巻線は、他方の巻線にもコアにも接触することなく自由に動くことができる。したがって、駆動手段の移動が１次巻線や２次巻線により妨げられてしまうのを防止でき、駆動手段の位置制御を高精度に行うことができ、その結果、移動手段の位置制御も高精度に行うことができる。 According to the present invention, in the stage apparatus including any one of the transformers (1) to (3), one of the primary winding and the secondary winding is attached to the moving drive means. Of the winding and the secondary winding, the other winding and the core are attached to a fixing means that does not move. For this reason, when the driving means moves, one winding also moves, but one winding can move freely without contacting the other winding or the core. Therefore, the movement of the driving means can be prevented from being hindered by the primary winding and the secondary winding, and the position control of the driving means can be performed with high accuracy. As a result, the position control of the moving means is also high. Can be done with precision.
（６） 本発明は、（１）から（３）のいずれかのトランスを備えるステージ装置について、移動可能に設けられた移動手段（例えば、図１のステージ１０に相当）と、前記移動手段に対して相対的に移動する駆動手段（例えば、図１の駆動部２０に相当）と、を備え、前記他方の巻線および前記コアは、前記駆動手段に取り付けられ、前記一方の巻線は、前記移動手段および前記駆動手段に対して移動しない固定手段に取り付けられることを特徴とするステージ装置を提案している。 (6) The present invention relates to a stage device including any one of the transformers (1) to (3), a moving means (for example, equivalent to the stage 10 in FIG. 1) provided movably, and the moving means Drive means (for example, corresponding to the drive unit 20 in FIG. 1) that moves relative to the other winding, the other winding and the core are attached to the driving means, the one winding, A stage apparatus is proposed which is attached to a fixing means which does not move with respect to the moving means and the driving means.
この発明によれば、（１）から（３）のいずれかのトランスを備えるステージ装置において、１次巻線および２次巻線のうち他方の巻線とコアとを、移動する駆動手段に取り付け、１次巻線および２次巻線のうち一方の巻線を、移動しない固定手段に取り付けることとした。このため、駆動手段が移動すると、他方の巻線およびコアも動くことになるが、他方の巻線およびコアは、一方の巻線に接触することなく自由に動くことができる。したがって、駆動手段の移動が１次巻線や２次巻線により妨げられてしまうのを防止でき、駆動手段の位置制御を高精度に行うことができ、その結果、移動手段の位置制御も高精度に行うことができる。 According to the present invention, in the stage apparatus including any one of the transformers (1) to (3), the other winding and the core of the primary winding and the secondary winding are attached to the moving drive means. One of the primary winding and the secondary winding is attached to a fixed means that does not move. For this reason, when the driving means moves, the other winding and the core also move, but the other winding and the core can move freely without contacting one of the windings. Therefore, the movement of the driving means can be prevented from being hindered by the primary winding and the secondary winding, and the position control of the driving means can be performed with high accuracy. As a result, the position control of the moving means is also high. Can be done with precision.
（７） 本発明は、（５）または（６）のステージ装置について、前記駆動手段は、前記移動手段の移動に同期して、当該移動手段が移動した方向と逆方向に移動することを特徴とするステージ装置を提案している。 (7) In the stage apparatus according to (5) or (6), the driving unit moves in a direction opposite to a direction in which the moving unit moves in synchronization with the movement of the moving unit. A stage device is proposed.
この発明によれば、（５）または（６）のステージ装置において、移動手段の移動に同期して、移動手段が移動した方向と逆方向に駆動手段を移動させることとした。このため、移動手段が移動することによって生じる反力を、駆動手段を移動させることによって生じる反力で打ち消すことができる。 According to the present invention, in the stage device of (5) or (6), the driving means is moved in the direction opposite to the direction in which the moving means has moved in synchronization with the movement of the moving means. For this reason, the reaction force generated by the movement of the moving unit can be canceled by the reaction force generated by moving the drive unit.
本発明によれば、高精度な位置制御を実現できる。 According to the present invention, highly accurate position control can be realized.
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態における構成要素は適宜、既存の構成要素などとの置き換えが可能であり、また、他の既存の構成要素との組み合わせを含む様々なバリエーションが可能である。したがって、以下の実施形態の記載をもって、特許請求の範囲に記載された発明の内容を限定するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the constituent elements in the following embodiments can be appropriately replaced with existing constituent elements, and various variations including combinations with other existing constituent elements are possible. Accordingly, the description of the following embodiments does not limit the contents of the invention described in the claims.
＜第１実施形態＞
［ステージ装置１の構成および動作］
図１は、本発明の第１実施形態に係るステージ装置１の構成を示す図である。ステージ装置１は、半導体リソグラフィ工程においてウエハやレチクルなどの試料の位置制御を行うステージ装置であり、図８に示した従来例に係るステージ装置１００とは、電源４０および配線５０の代わりに電源装置２を備える点が異なる。なお、ステージ装置１において、ステージ装置１００と同一構成要件については、同一符号を付し、その説明を省略する。
<First Embodiment>
[Configuration and operation of stage apparatus 1]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a stage apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention. The stage apparatus 1 is a stage apparatus that controls the position of a sample such as a wafer or a reticle in a semiconductor lithography process. The stage apparatus 1 is different from the stage apparatus 100 according to the conventional example shown in FIG. 2 is different. In the stage apparatus 1, the same constituent elements as those of the stage apparatus 100 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
電源装置２は、トランス６０、１次側スイッチ回路７０、および２次側整流回路８０を備える。この電源装置２は、いわゆるスイッチング電源を構成し、図８に示した電源４０と同様に、駆動部２０に設けられた回路や機器に電力を供給する。 The power supply device 2 includes a transformer 60, a primary side switch circuit 70, and a secondary side rectifier circuit 80. The power supply device 2 constitutes a so-called switching power supply, and supplies power to circuits and devices provided in the drive unit 20 in the same manner as the power supply 40 shown in FIG.
トランス６０は、１次巻線６１、２次巻線６２、およびコア６３を備える。トランス６０については、図２、３、４を用いて後に詳述する。 The transformer 60 includes a primary winding 61, a secondary winding 62, and a core 63. The transformer 60 will be described later in detail with reference to FIGS.
なお、図１から４では、説明のために便宜上、１次巻線６１の太さと２次巻線６２の太さとを異ならせている。 1 to 4, for convenience of explanation, the thickness of the primary winding 61 and the thickness of the secondary winding 62 are different.
１次側スイッチ回路７０は、スイッチ素子を備えており、固定台３０に取り付けられる。この１次側スイッチ回路７０には、１次巻線６１およびコア６３が取り付けられる。１次側スイッチ回路７０は、上述のスイッチ素子を適宜スイッチングさせることによって、１次巻線６１に磁束を発生させる。１次巻線６１に発生した磁束が２次巻線６２を貫くことにより、２次巻線６２に起電力が発生する。 The primary side switch circuit 70 includes a switch element and is attached to the fixed base 30. A primary winding 61 and a core 63 are attached to the primary side switch circuit 70. The primary side switch circuit 70 generates a magnetic flux in the primary winding 61 by appropriately switching the above-described switch element. When the magnetic flux generated in the primary winding 61 passes through the secondary winding 62, an electromotive force is generated in the secondary winding 62.
２次側整流回路８０は、駆動部２０に設けられ、整流回路を備えており、この２次側整流回路８０には、２次巻線６２が取り付けられる。２次側整流回路８０は、２次巻線６２に発生した起電力を整流し、駆動部２０に設けられた回路や機器に電力を供給する。 The secondary side rectifier circuit 80 is provided in the drive unit 20 and includes a rectifier circuit. A secondary winding 62 is attached to the secondary side rectifier circuit 80. The secondary side rectifier circuit 80 rectifies the electromotive force generated in the secondary winding 62 and supplies power to the circuits and devices provided in the drive unit 20.
［トランス６０の構成］
図２は、トランス６０の斜視図である。図３は、図２に示したＸ軸とＹ軸とを含む平面に平行な平面におけるトランス６０の断面図である。図４は、図２に示したＸ軸とＺ軸とを含む平面に平行な平面におけるトランス６０の断面図である。
[Configuration of Transformer 60]
FIG. 2 is a perspective view of the transformer 60. FIG. 3 is a cross-sectional view of the transformer 60 in a plane parallel to a plane including the X axis and the Y axis shown in FIG. 4 is a cross-sectional view of the transformer 60 in a plane parallel to a plane including the X axis and the Z axis shown in FIG.
コア６３は、２つのＥ型コアからなり、２つのＥ型コアのそれぞれは、ヨーク部６３１と、ヨーク部６３１から延伸する３つの磁脚６３２、６３３、６３４と、を備える。磁脚６３３には、１次巻線６１および２次巻線６２が巻回される。磁脚６３３と１次巻線６１と２次巻線６２との関係について、以下に詳述する。 The core 63 includes two E-type cores, and each of the two E-type cores includes a yoke portion 631 and three magnetic legs 632, 633, and 634 extending from the yoke portion 631. A primary winding 61 and a secondary winding 62 are wound around the magnetic leg 633. The relationship between the magnetic leg 633, the primary winding 61, and the secondary winding 62 will be described in detail below.
磁脚６３３の表面には、絶縁シートといった絶縁材（図示省略）が設けられている。 An insulating material (not shown) such as an insulating sheet is provided on the surface of the magnetic leg 633.
１次巻線６１は、磁脚６３３の表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、磁脚６３３に巻回される。このため、１次巻線６１とコア６３とは絶縁材を介して接触しており、１次巻線６１およびコア６３のうち一方が動くと他方も動くことになる。 The primary winding 61 is wound around the magnetic leg 633 without a gap with respect to the insulating material provided on the surface of the magnetic leg 633. For this reason, the primary winding 61 and the core 63 are in contact with each other through an insulating material, and when one of the primary winding 61 and the core 63 moves, the other also moves.
一方、２次巻線６２は、ヨーク部６３１と、磁脚６３３に巻回された１次巻線６１と、に対して予め定められた間隙を空けて、磁脚６３３に巻回される。具体的には、図３に示すように、磁脚６３３に巻回された１次巻線６１と２次巻線６２とのＸ軸方向の間隙を、距離ＷＸとし、磁脚６３３に巻回された１次巻線６１と２次巻線６２とのＹ軸方向の間隙を、距離ＷＹとするとともに、図４に示すように、ヨーク部６３１と２次巻線６２とのＺ軸方向の間隙を、距離ＷＺとして、２次巻線６２は磁脚６３３に巻回される。 On the other hand, the secondary winding 62 is wound around the magnetic leg 633 with a predetermined gap between the yoke portion 631 and the primary winding 61 wound around the magnetic leg 633. Specifically, as shown in FIG. 3, the gap in the X-axis direction between the primary winding 61 and the secondary winding 62 wound around the magnetic leg 633 is a distance W X, and the winding is wound around the magnetic leg 633. A gap in the Y-axis direction between the rotated primary winding 61 and secondary winding 62 is a distance W Y and, as shown in FIG. 4, the Z-axis between the yoke portion 631 and the secondary winding 62 the direction of the gap, as the distance W Z, 2 winding 62 is wound magnetic legs 633 wound.
このため、２次巻線６２のＸ軸方向の変位がＷＸ未満であれば、２次巻線６２がＸ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２は１次巻線６１にも磁脚６３３にも接触しない。また、２次巻線６２のＹ軸方向の変位がＷＹ未満であれば、２次巻線６２がＹ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２は１次巻線６１にも磁脚６３３にも接触しない。また、２次巻線６２のＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、２次巻線６２がＺ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２は１次巻線６１にもヨーク部６３１にも接触しない。以上より、２次巻線６２のＸ軸方向の変位がＷＸ未満であり、２次巻線６２のＹ軸方向の変位がＷＹ未満であり、２次巻線６２のＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、２次巻線６２がどの方向に移動しても、２次巻線６２は１次巻線６１にもコア６３にも接触しないことになる。 For this reason, if the displacement of the secondary winding 62 in the X-axis direction is less than W X , the secondary winding 62 will move to the primary winding 61 even if the secondary winding 62 moves along the X-axis direction. Nor contact with the magnetic leg 633. Further, if the displacement of the secondary winding 62 in the Y-axis direction is less than W Y , the secondary winding 62 is changed to the primary winding 61 even if the secondary winding 62 moves along the Y-axis direction. Nor the magnetic leg 633. Also, if the Z-axis direction than displacement W Z of the secondary winding 62, secondary winding 62 is also moved along the Z-axis direction, the secondary winding 62 to the primary winding 61 Nor the yoke part 631. From the above, X-axis direction of the displacement of the secondary winding 62 is less than W X, Y-axis direction of displacement of the secondary winding 62 is less than W Y, Z-axis direction of the secondary winding 62 displacement There is less than W Z, also move the secondary winding 62 in any direction, the secondary winding 62 will not come into contact with the core 63 to the primary winding 61.
ここで、２次巻線６２は、上述のように２次側整流回路８０に取り付けられており、２次側整流回路８０は、駆動部２０に設けられている。このため、駆動部２０が移動すると、２次巻線６２も移動することになる。しかしながら、駆動部２０のＸ軸方向の変位がＷＸ未満であり、駆動部２０のＹ軸方向の変位がＷＹ未満であり、駆動部２０のＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、駆動部２０がどの方向に移動しても、２次巻線６２は、１次巻線６１にもコア６３にも接触することなく自由に動くことができる。 Here, the secondary winding 62 is attached to the secondary side rectifier circuit 80 as described above, and the secondary side rectifier circuit 80 is provided in the drive unit 20. For this reason, if the drive part 20 moves, the secondary winding 62 will also move. However, if the displacement of the drive unit 20 in the X-axis direction is less than W X , the displacement of the drive unit 20 in the Y-axis direction is less than W Y , and the displacement of the drive unit 20 in the Z-axis direction is less than W Z The secondary winding 62 can move freely without contacting the primary winding 61 or the core 63 no matter which direction the drive unit 20 moves.
なお、上述の距離ＷＸは、駆動部２０がＸ軸方向に移動する距離以上で、かつ、駆動部２０がＸ軸方向に移動しても２次巻線６２が磁脚６３２にも磁脚６３４にも接触しないように設定される。また、上述の距離ＷＹは、駆動部２０がＹ軸方向に移動する距離以上に設定される。また、上述の距離ＷＺは、駆動部２０がＺ軸方向に移動する距離以上に設定される。 Note that the above-described distance W X is equal to or longer than the distance that the drive unit 20 moves in the X-axis direction, and the secondary winding 62 also moves to the magnetic leg 632 even if the drive unit 20 moves in the X-axis direction. 634 is set so as not to touch. Further, the above-described distance W Y is set to be equal to or greater than the distance that the drive unit 20 moves in the Y-axis direction. Further, the above-described distance WZ is set to be equal to or greater than the distance that the drive unit 20 moves in the Z-axis direction.
以上のステージ装置１によれば、以下の効果を奏することができる。 According to the above stage apparatus 1, the following effects can be produced.
ステージ装置１は、１次巻線６１、２次巻線６２、およびコア６３を有するトランス６０を備えており、２次巻線６２は、ヨーク部６３１と、磁脚６３３に巻回された１次巻線６１と、に対して予め定められた間隙を空けて、磁脚６３３に巻回される。このため、駆動部２０が移動すると２次巻線６２も動くが、２次巻線６２は、１次巻線６１にもコア６３にも接触することなく自由に動くことができる。したがって、駆動部２０の移動が１次巻線６１や２次巻線６２により妨げられてしまうのを防止でき、駆動部２０の位置制御を高精度に行うことができ、その結果、ステージ１０の位置制御も高精度に行うことができる。 The stage device 1 includes a transformer 60 having a primary winding 61, a secondary winding 62, and a core 63. The secondary winding 62 is wound around a yoke portion 631 and a magnetic leg 633. The next winding 61 is wound around the magnetic leg 633 with a predetermined gap. For this reason, when the drive unit 20 moves, the secondary winding 62 also moves, but the secondary winding 62 can move freely without contacting the primary winding 61 or the core 63. Therefore, the movement of the drive unit 20 can be prevented from being obstructed by the primary winding 61 and the secondary winding 62, and the position control of the drive unit 20 can be performed with high accuracy. Position control can also be performed with high accuracy.
また、ステージ装置１において、１次巻線６１および２次巻線６２は、コア６３の同一の部分である磁脚６３３に巻回される。このため、１次巻線６１と２次巻線６２とが互いに異なる部分に巻回されている場合と比べて、１次巻線６１に発生した磁束のうち２次巻線６２を貫くものが増加する。したがって、１次巻線６１と２次巻線６２とが互いに異なる部分に巻回されている場合と比べて、１次巻線６１と２次巻線６２とのカップリングの度合いを強くすることができる。 In the stage device 1, the primary winding 61 and the secondary winding 62 are wound around a magnetic leg 633 that is the same part of the core 63. For this reason, compared with the case where the primary winding 61 and the secondary winding 62 are wound around different portions, the magnetic flux generated in the primary winding 61 passes through the secondary winding 62. To increase. Therefore, compared with the case where the primary winding 61 and the secondary winding 62 are wound around different parts, the degree of coupling between the primary winding 61 and the secondary winding 62 is increased. Can do.
また、ステージ装置１において、１次巻線６１は、磁脚６３３の表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、磁脚６３３に巻回される。このため、１次巻線６１と２次巻線６２とのカップリングの度合いをさらに強くすることができる。 Further, in the stage apparatus 1, the primary winding 61 is wound around the magnetic leg 633 without a gap with respect to the insulating material provided on the surface of the magnetic leg 633. For this reason, the degree of coupling between the primary winding 61 and the secondary winding 62 can be further increased.
また、ステージ装置１は、ステージ１０の移動に同期して、ステージ１０が移動した方向と逆方向に駆動部２０を駆動する。このため、ステージ１０が移動することによって生じる反力を、駆動部２０を移動させることによって生じる反力で打ち消すことができる。 In addition, the stage apparatus 1 drives the drive unit 20 in the direction opposite to the direction in which the stage 10 has moved in synchronization with the movement of the stage 10. For this reason, the reaction force generated by moving the stage 10 can be canceled by the reaction force generated by moving the drive unit 20.
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態に係るステージ装置１Ａについて、以下に説明する。ステージ装置１Ａは、本発明の第１実施形態に係るステージ装置１とは、トランス６０の代わりにトランス６０Ａを備える点が異なる。なお、ステージ装置１Ａにおいて、ステージ装置１と同一構成要件については、同一符号を付し、その説明を省略する。
Second Embodiment
A stage apparatus 1A according to the second embodiment of the present invention will be described below. The stage apparatus 1A differs from the stage apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention in that a transformer 60A is provided instead of the transformer 60. In the stage apparatus 1A, the same components as those of the stage apparatus 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
［トランス６０Ａの構成］
図５は、トランス６０Ａの斜視図である。図６は、図５に示したＸ軸とＹ軸とを含む平面に平行な平面におけるトランス６０Ａの断面図である。図７は、図５に示したＸ軸とＺ軸とを含む平面に平行な平面におけるトランス６０Ａの磁脚６３２Ａの断面図である。
[Configuration of Transformer 60A]
FIG. 5 is a perspective view of the transformer 60A. 6 is a cross-sectional view of transformer 60A in a plane parallel to the plane including the X axis and the Y axis shown in FIG. FIG. 7 is a sectional view of the magnetic leg 632A of the transformer 60A in a plane parallel to the plane including the X axis and the Z axis shown in FIG.
トランス６０Ａは、いわゆる三相トランスであり、３つの１次巻線６１Ａと、３つの２次巻線６２Ａと、コア６３Ａと、を備える。コア６３Ａは、所定の間隔を空けて設けられたＸ軸とＹ軸とを含む平面に平行な２つヨーク部６３１Ａ、６３１Ｂと、Ｚ軸方向に延在してヨーク部６３１Ａ、６３１Ｂを連結する磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａと、を備える。 The transformer 60A is a so-called three-phase transformer, and includes three primary windings 61A, three secondary windings 62A, and a core 63A. The core 63A is connected to two yoke parts 631A and 631B parallel to a plane including the X axis and the Y axis provided at a predetermined interval, and the yoke parts 631A and 631B extending in the Z axis direction. Magnetic legs 632A, 633A, 634A.
図６に示すように、Ｘ軸とＹ軸とを含む平面に平行な平面における、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれ断面は、直径が互いに等しい円形である。 As shown in FIG. 6, the cross sections of the magnetic legs 632A, 633A, 634A in the plane parallel to the plane including the X axis and the Y axis are circular with the same diameter.
３つの１次巻線６１Ａのそれぞれは、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれの表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれに巻回される。このため、磁脚６３２Ａと、磁脚６３２Ａに巻回された１次巻線６１Ａとは、絶縁材を介して接触しており、これら磁脚６３２Ａおよび１次巻線６１Ａのうち一方が動くと他方も動くことになる。磁脚６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれと、磁脚６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれに巻回された１次巻線６１Ａと、についても、上述の磁脚６３２Ａおよび１次巻線６１と同様に、一方が動くと他方も動くことになる。 Each of the three primary windings 61A is wound around each of the magnetic legs 632A, 633A, 634A without a gap with respect to the insulating material provided on the surface of each of the magnetic legs 632A, 633A, 634A. For this reason, the magnetic leg 632A and the primary winding 61A wound around the magnetic leg 632A are in contact with each other via an insulating material, and one of the magnetic leg 632A and the primary winding 61A moves. The other will also move. As for each of the magnetic legs 633A and 634A and the primary winding 61A wound around each of the magnetic legs 633A and 634A, when one of them moves, similarly to the magnetic leg 632A and the primary winding 61 described above, The other will also move.
一方、３つの２次巻線６２Ａのそれぞれは、ヨーク部６３１Ａ、６３１Ｂのそれぞれと、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれに巻回された１次巻線６１と、に対して予め定められた間隙を空けて、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのうち対応するものに巻回される。具体的には、図６に示すように、３つの２次巻線６２Ａのそれぞれと、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのうち対応するものに巻回された１次巻線６１Ａと、の間隙を、距離ＷＸＹとするとともに、図７に示すように、３つの２次巻線６２Ａのそれぞれとヨーク部６３１Ａ、６３１ＢとのＺ軸方向の間隙を、距離ＷＺとして、３つの２次巻線６２Ａのそれぞれは、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのうち対応するものに巻回される。 On the other hand, each of the three secondary windings 62A is predetermined for each of the yoke portions 631A, 631B and the primary winding 61 wound around each of the magnetic legs 632A, 633A, 634A. The magnetic legs 632A, 633A, and 634A are wound around the corresponding ones with a gap. Specifically, as shown in FIG. 6, there is a gap between each of the three secondary windings 62A and the primary winding 61A wound around the corresponding one of the magnetic legs 632A, 633A, 634A. , together with the distance W XY, as shown in FIG. 7, respectively and the yoke portion 631A of the three secondary windings 62A, the Z-axis direction of the gap and 631B, as the distance W Z, three secondary windings Each of 62A is wound around the corresponding one of magnetic legs 632A, 633A, 634A.
このため、３つの２次巻線６２ＡのＸ軸方向の変位がＷＸＹ未満であれば、３つの２次巻線６２ＡがＸ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２Ａは１次巻線６１Ａにも磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａにも接触しない。また、３つの２次巻線６２ＡのＹ軸方向の変位がＷＸＹ未満であれば、３つの２次巻線６２ＡがＹ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２Ａは１次巻線６１Ａにも磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａにも接触しない。また、３つの２次巻線６２ＡのＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、３つの２次巻線６２ＡがＺ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２Ａは１次巻線６１Ａにもヨーク部６３１Ａ、６３１Ｂにも接触しない。以上より、３つの２次巻線６２ＡのＸ軸方向およびＹ軸方向の変位がＷＸＹ未満であり、３つの２次巻線６２ＡのＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、３つの２次巻線６２Ａがどの方向に移動しても、２次巻線６２Ａは１次巻線６１Ａにもコア６３Ａにも接触しないことになる。 Therefore, if it is less than three secondary windings 62A X-axis direction of displacement W XY of even three secondary windings 62A is moved along the X-axis direction, the secondary winding 62A 1 Neither the secondary winding 61A nor the magnetic legs 632A, 633A, 634A are in contact. Further, if it is less than three secondary windings 62A of the Y-axis direction displacement W XY, also three secondary windings 62A is moved along the Y-axis direction, the secondary winding 62A is the primary Neither the winding 61A nor the magnetic legs 632A, 633A, 634A are in contact. Also, if the Z-axis direction than displacement W Z three secondary windings 62A, also three secondary windings 62A is moved along the Z-axis direction, the secondary winding 62A is the primary Neither the winding 61A nor the yoke parts 631A, 631B are in contact. From the above, X-axis direction and the Y-axis direction displacement of the three secondary windings 62A is less than W XY, three secondary windings 62A displacement in the Z axis direction is less than W Z, three No matter which direction the secondary winding 62A moves, the secondary winding 62A will not contact the primary winding 61A or the core 63A.
ここで、３つの２次巻線６２Ａは、本発明の第１実施形態に係る２次巻線６２と同様に２次側整流回路８０に取り付けられており、２次側整流回路８０は、駆動部２０に設けられている。このため、駆動部２０が移動すると、３つの２次巻線６２Ａのそれぞれも一緒に移動することになる。しかしながら、駆動部２０のＸ軸方向およびＹ軸方向の変位がＷＸＹ未満であり、駆動部２０のＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、駆動部２０が移動しても、３つの２次巻線６２Ａは、１次巻線６１Ａにもコア６３Ａにも接触することなく自由に動くことができる。 Here, the three secondary windings 62A are attached to the secondary rectifier circuit 80 in the same manner as the secondary winding 62 according to the first embodiment of the present invention, and the secondary rectifier circuit 80 is driven. The unit 20 is provided. For this reason, if the drive part 20 moves, each of the three secondary windings 62A will also move together. However, if the displacement of the drive unit 20 in the X-axis direction and the Y-axis direction is less than W XY and the displacement of the drive unit 20 in the Z-axis direction is less than W Z , three movements are caused even if the drive unit 20 moves. The secondary winding 62A can move freely without contacting the primary winding 61A or the core 63A.
なお、上述の距離ＷＸＹは、駆動部２０がＸ軸方向やＹ軸方向に移動する距離以上に設定される。また、上述の距離ＷＺは、駆動部２０がＺ軸方向に移動する距離以上に設定される。 Note that the above-described distance WXY is set to be greater than or equal to the distance that the drive unit 20 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction. Further, the above-described distance WZ is set to be equal to or greater than the distance that the drive unit 20 moves in the Z-axis direction.
以上のステージ装置１Ａによれば、ステージ装置１と同様の効果を奏することができる According to the above stage apparatus 1A, the same effects as the stage apparatus 1 can be obtained.
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and applications can be made without departing from the gist of the present invention.
例えば、上述の各実施形態では、移動しない１次側スイッチ回路７０に１次巻線が取り付けられ、移動する駆動部２０に２次巻線が取り付けられるものとした。しかし、これに限らず、例えば、移動する構成に１次巻線を取り付け、移動しない構成に２次巻線を取り付けてもよい。また、例えば、１次巻線および２次巻線を、それぞれ、移動する構成に取り付けてもよい。 For example, in each of the embodiments described above, the primary winding is attached to the primary switch circuit 70 that does not move, and the secondary winding is attached to the moving drive unit 20. However, the present invention is not limited to this. For example, the primary winding may be attached to the moving configuration, and the secondary winding may be attached to the non-moving configuration. Further, for example, the primary winding and the secondary winding may each be attached to a moving configuration.
また、上述の各実施形態では、移動しない１次側スイッチ回路７０にコアが取り付けられるものとした。しかし、これに限らず、例えば、駆動部２０のように移動する構成に、コアを取り付けてもよい。 In each of the above-described embodiments, the core is attached to the primary switch circuit 70 that does not move. However, the present invention is not limited to this. For example, the core may be attached to a configuration that moves like the drive unit 20.
また、上述の各実施形態では、コアの表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、１次巻線がコアに巻回され、コアに巻回された１次巻線に対して予め定められた間隙を空けて、２次巻線がコアに巻回されるものとした。しかし、これに限らず、例えば、コアの表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、２次巻線がコアに巻回され、コアに巻回された２次巻線に対して予め定められた間隙を空けて、１次巻線がコアに巻回されるものとしてもよい。また、例えば、１次巻線および２次巻線が、それぞれ、コアの表面に設けられた絶縁材に対して予め定められた間隙を空けて、コアに巻回されるものとしてもよい。 Further, in each of the above-described embodiments, the primary winding is wound around the core without any gap with respect to the insulating material provided on the surface of the core, and the primary winding wound around the core is predetermined. The secondary winding is wound around the core with a gap formed. However, the present invention is not limited to this. For example, the secondary winding is wound around the core without any gap with respect to the insulating material provided on the surface of the core, and the secondary winding wound around the core is predetermined. The primary winding may be wound around the core with a gap formed. Further, for example, the primary winding and the secondary winding may be wound around the core with a predetermined gap with respect to the insulating material provided on the surface of the core.
また、上述の第１実施形態では、コア６３は、ＥＥコアであるものとしたが、これに限らず、ＥＩコアといった他の形状のコアであってもよい。 In the first embodiment described above, the core 63 is an EE core, but is not limited thereto, and may be a core having another shape such as an EI core.
なお、トランスは、各種測定装置といった、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のうち少なくとも１つの軸方向に沿って移動する構成が１次巻線や２次巻線に接続される機器や装置などにも、用いることができる。 In addition, the transformer is a device such as various measuring devices that moves along at least one of the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions and is connected to the primary winding or the secondary winding. Can also be used.
１、１Ａ、１００；ステージ装置
２；電源装置
１０；ステージ
２０；駆動部
３０；固定台
４０；電源
５０；配線
６０、６０Ａ；トランス
６１、６１Ａ；１次巻線
６２、６２Ａ；２次巻線
６３、６３Ａ；コア
６３１、６３１Ａ、６３１Ｂ；ヨーク部
６３２、６３３、６３４、６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａ；磁脚
７０；１次側スイッチ回路
８０；２次側整流回路
1, 1A, 100; Stage device 2; Power supply device 10; Stage 20; Drive unit 30; Fixing base 40; Power supply 50; Wiring 60, 60A; Transformer 61, 61A; Primary winding 62, 62A; 63, 63A; Core 631, 631A, 631B; Yoke part 632, 633, 634, 632A, 633A, 634A; Magnetic leg 70; Primary side switch circuit 80; Secondary side rectifier circuit
Claims (7)
前記１次巻線および前記２次巻線は、前記コアの同一の部分に巻回され、
前記１次巻線および前記２次巻線のうち一方の巻線は、当該１次巻線および当該２次巻線のうち他方の巻線に対して予め定められた間隙を空けて、当該同一の部分に巻回されることを特徴とするトランス。 A drive unit provided in a stage device having a core, a primary winding and a secondary winding wound around the core, and provided in a stage device that controls the position of a sample in a semiconductor lithography process A transformer used to transmit power to
The primary winding and the secondary winding are wound around the same part of the core,
One of the primary winding and the secondary winding is the same with a predetermined gap with respect to the other of the primary winding and the secondary winding. Transformer that is wound around the part of
前記同一の部分の延在する方向である第１の軸方向と、
前記第１の軸方向に直交する第２の軸方向と、
前記第１の軸方向および前記第２の軸方向の双方に直交する第３の軸方向と、のうち少なくとも１つの軸方向に沿って移動可能に、前記同一の部分に巻回されることを特徴とする請求項１に記載のトランス。 The one winding is
A first axial direction in which the same portion extends;
A second axial direction orthogonal to the first axial direction;
Wrapping around the same portion so as to be movable along at least one of the third axial direction orthogonal to both the first axial direction and the second axial direction. The transformer according to claim 1, wherein
前記３つの磁脚のそれぞれの同一の部分には、前記１次巻線と前記２次巻線とが巻回されることを特徴とする請求項１または２に記載のトランス。 The core has three magnetic legs,
The transformer according to claim 1 or 2, wherein the primary winding and the secondary winding are wound around the same portion of each of the three magnetic legs.
前記ステージ装置の固定手段に取り付けられ、前記１次巻線に接続されるスイッチ回路と、
前記２次巻線に接続され、当該２次巻線に発生した起電力を整流し、前記ステージ装置の駆動手段に設けられた回路や機器に電力を供給する整流回路と、を備えることを特徴とする電源装置。 A power supply device comprising the transformer according to any one of claims 1 to 3, and driving a stage device that performs position control of a sample in a semiconductor lithography process,
A switch circuit attached to the fixing means of the stage device and connected to the primary winding;
A rectifier circuit connected to the secondary winding, rectifying an electromotive force generated in the secondary winding, and supplying electric power to a circuit or a device provided in the driving unit of the stage device. Power supply.
移動可能に設けられた移動手段と、
前記移動手段に対して相対的に移動する駆動手段と、を備え、
前記一方の巻線は、前記駆動手段に取り付けられ、
前記他方の巻線および前記コアは、前記移動手段および前記駆動手段に対して移動しない固定手段に取り付けられることを特徴とするステージ装置。 A stage apparatus comprising the transformer according to any one of claims 1 to 3,
A moving means movably provided;
Driving means that moves relative to the moving means,
The one winding is attached to the drive means;
The stage device, wherein the other winding and the core are attached to a fixing means that does not move relative to the moving means and the driving means.
移動可能に設けられた移動手段と、
前記移動手段に対して相対的に移動する駆動手段と、を備え、
前記他方の巻線および前記コアは、前記駆動手段に取り付けられ、
前記一方の巻線は、前記移動手段および前記駆動手段に対して移動しない固定手段に取り付けられることを特徴とするステージ装置。 A stage apparatus comprising the transformer according to any one of claims 1 to 3,
A moving means movably provided;
Driving means that moves relative to the moving means,
The other winding and the core are attached to the drive means;
The stage device is characterized in that the one winding is attached to a fixing means that does not move with respect to the moving means and the driving means.
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