JP6008486B2 - Method for manufacturing piezoelectric plate and liquid discharge head - Google Patents

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Description

本発明は、インクなどの液体（以下では単にインクと称する）を吐出する液体吐出ヘッドに用いられる圧電プレート及びそれを用いた液体吐出ヘッドの製造方法に関する。   The present invention relates to a piezoelectric plate used in a liquid discharge head that discharges a liquid such as ink (hereinafter simply referred to as ink) and a method of manufacturing a liquid discharge head using the piezoelectric plate.

従来、インクを吐出して被記録媒体に画像を記録するインクジェット記録装置が知られている。インクジェット記録装置には、インクを吐出するための液体吐出ヘッドが搭載されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet recording apparatus that records an image on a recording medium by discharging ink is known. The ink jet recording apparatus is equipped with a liquid discharge head for discharging ink.

液体吐出ヘッドにおけるインクを吐出する機構として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）に代表される圧電材料によって液体吐出ヘッドに備えられた液室の容積を変化させてインクの導入及び吐出を行う機構が知られている。液室には、インクを液室に供給するための液体供給路と、液室からインクを吐出するための吐出口と、が設けられている。液室の容積収縮時には、液室にあるインクが吐出口から液滴として吐出され、液室の容積膨張時には、液体供給路から液室にインクが導入される。   As a mechanism for ejecting ink in the liquid ejection head, there is a mechanism for introducing and ejecting ink by changing the volume of the liquid chamber provided in the liquid ejection head with a piezoelectric material typified by lead zirconate titanate (PZT). Are known. The liquid chamber is provided with a liquid supply path for supplying ink to the liquid chamber and an ejection port for ejecting ink from the liquid chamber. When the volume of the liquid chamber shrinks, ink in the liquid chamber is ejected as droplets from the ejection port, and when the volume of the liquid chamber expands, ink is introduced from the liquid supply path into the liquid chamber.

液体吐出ヘッドは、液室の少なくとも１つの壁面を、圧電材料からなる低剛性の振動板で形成したものである。圧電材料の圧電縦モード、圧電横モード、圧電せん断モードを利用して振動板を変形させることによって、液室を膨張収縮させることができる。圧電せん断モードを利用したものとして、特許文献１が知られている。この形態の液体吐出ヘッドは、厚さ方向に分極処理されている平板状の圧電材料に液室が形成されている。液室を構成する隔壁に分極方向と直交する方向に電圧を印加することで隔壁がせん断変形し、液室が膨張収縮してインクが吐出される。   In the liquid discharge head, at least one wall surface of the liquid chamber is formed by a low-rigid diaphragm made of a piezoelectric material. By deforming the diaphragm using the piezoelectric longitudinal mode, piezoelectric transverse mode, and piezoelectric shear mode of the piezoelectric material, the liquid chamber can be expanded and contracted. Patent Document 1 is known as one using a piezoelectric shear mode. In the liquid discharge head of this form, a liquid chamber is formed in a plate-like piezoelectric material polarized in the thickness direction. When a voltage is applied to the partition walls constituting the liquid chamber in a direction perpendicular to the polarization direction, the partition walls are sheared and deformed, and the liquid chamber expands and contracts to eject ink.

近年、液体吐出ヘッドから吐出されるインクに含まれている水分による被記録媒体の変形（カールやコックリングなど）を低減するために、インクの水分量を減らした高粘度インクの使用が検討されている。既存の商用プリンタでは、インクの水分による被記録媒体の変形を防止するために、装置内にヒーターによる乾燥ユニットを設けているものもある。高粘度インク吐出が可能になれば乾燥ユニットが不要となるので、省電力化、装置の小型化も実現することができる。また、液体吐出ヘッド装置を塗布装置やパターン形成装置として利用し、工業製品における機能性材料のパターン形成に技術応用するために、高粘度インクを吐出する技術が求められている。   In recent years, in order to reduce deformation of the recording medium (curling, cockling, etc.) due to moisture contained in the ink ejected from the liquid ejection head, the use of high-viscosity ink with reduced moisture content of the ink has been studied. ing. Some existing commercial printers are provided with a drying unit using a heater in the apparatus in order to prevent deformation of the recording medium due to moisture of the ink. If high-viscosity ink can be ejected, a drying unit is not necessary, so that power saving and apparatus downsizing can be realized. In addition, there is a need for a technique for ejecting high-viscosity ink in order to use the liquid ejection head apparatus as a coating apparatus or a pattern forming apparatus and apply the technique to pattern formation of functional materials in industrial products.

高粘度インクを吐出するためには、大きな吐出力が求められる。このような要求に応えるため、断面形状が円形や矩形などの筒形状の圧電材料で液室を形成した、グールドタイプと呼ばれる筒型圧電部材が提案されている。筒型圧電部材は、筒形状の内外方向に一様に変形し液室を膨張収縮させ、液室内部のインクを吐出口より吐出する。このような形態は、低剛性の振動板を設けた形態と比較して、液室内の圧力の発生効率を改善することができる。液室の壁面が全て変形し、インクの吐出力に寄与するので、１つの壁面だけを振動板で形成した形態と比較して大きなインク吐出力を得ることができる。   In order to eject high viscosity ink, a large ejection force is required. In order to meet such a demand, a cylindrical piezoelectric member called a Gould type has been proposed in which a liquid chamber is formed of a piezoelectric material having a cylindrical shape such as a circular or rectangular cross section. The cylindrical piezoelectric member is uniformly deformed in the cylindrical inner and outer directions, expands and contracts the liquid chamber, and discharges ink in the liquid chamber from the discharge port. Such a configuration can improve the generation efficiency of the pressure in the liquid chamber as compared to a configuration in which a low-rigid diaphragm is provided. Since all the wall surfaces of the liquid chamber are deformed and contribute to the ink ejection force, a larger ink ejection force can be obtained as compared with a mode in which only one wall surface is formed of a diaphragm.

筒型圧電部材を用いた液体吐出ヘッドとして特許文献２が知られている。特許文献２は、圧電体の外面及び内面に個別電極と共通電極とが設けられた、液体吐出ヘッド用の圧電アクチュエータを開示している。圧電体は内部に溝が形成された凹状の断面（コの字型）を有している。所定の方向に延びる圧電体の３方の隔壁は壁厚方向に分極処理されており、圧電体の開口した面に基板を接着することで個別液室が形成される。内側と外側の電極に電圧を印加して圧電アクチュエータを上方及び両側方の三方で変形させることができる。このため、圧電アクチュエータとこれに接着されている基板とで形成される液室内のインクに大きな飛翔力を与えることができる。   Patent Document 2 is known as a liquid discharge head using a cylindrical piezoelectric member. Patent Document 2 discloses a piezoelectric actuator for a liquid discharge head in which an individual electrode and a common electrode are provided on an outer surface and an inner surface of a piezoelectric body. The piezoelectric body has a concave cross section (a U-shape) in which a groove is formed. The three partition walls of the piezoelectric body extending in a predetermined direction are polarized in the wall thickness direction, and an individual liquid chamber is formed by adhering the substrate to the open surface of the piezoelectric body. By applying a voltage to the inner and outer electrodes, the piezoelectric actuator can be deformed in three directions, upper and both sides. For this reason, a large flying force can be applied to the ink in the liquid chamber formed by the piezoelectric actuator and the substrate bonded thereto.

特開２０００−１６８０９４号公報JP 2000-168094 A 特開平９−３００６１５号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-300615

特許文献２に開示されるような筒形状の圧電部材で液室を形成したグールドタイプと呼ばれる筒型圧電アクチュエータは、液室を構成する隔壁を壁厚方向に分極処理する必要がある。分極処理の方法としては、所定の温度環境で、個別液室の隔壁内面側の電極と外面側の電極との間に電界を印加する方法が知られている。基板との接着工程で個別液室を形成し、個別液室の配線パターンや電極パッドなどを基板上に形成した後であれば、複数の液室を構成する複数の隔壁を一括して分極処理することが可能である。しかし、接着工程を経て個別液室を形成した後に分極処理を行うことから、分極時に生じる圧電部材の歪みによって接着強度や液室の位置精度が低下する可能性がある。圧電部材に分極処理を行った後で圧電部材と基板との接着を行えば接着強度の低下は回避することができるが、基板の接着前であるので電極パッドなどの電極パターンが形成されておらず、複数の個別液室を一括して分極処理することが困難である。   A cylindrical piezoelectric actuator called a Gould type in which a liquid chamber is formed of a cylindrical piezoelectric member as disclosed in Patent Document 2 needs to polarize the partition walls constituting the liquid chamber in the wall thickness direction. As a method of polarization treatment, a method of applying an electric field between an electrode on the inner surface of the partition wall and an electrode on the outer surface in a predetermined temperature environment is known. After the individual liquid chambers are formed in the bonding process with the substrate and the wiring patterns and electrode pads of the individual liquid chambers are formed on the substrate, the multiple partition walls constituting the multiple liquid chambers are polarized at once. Is possible. However, since the polarization process is performed after the individual liquid chamber is formed through the bonding process, the bonding strength and the position accuracy of the liquid chamber may be reduced due to the distortion of the piezoelectric member that occurs during polarization. If the piezoelectric member is bonded to the substrate after polarization is applied to the piezoelectric member, a decrease in the bonding strength can be avoided, but since the substrate is not bonded, an electrode pattern such as an electrode pad is not formed. However, it is difficult to polarize a plurality of individual liquid chambers at once.

特許文献１に開示されている、圧電せん断モードを利用した液体吐出ヘッドでは、平板状の圧電部材の１方向（厚さ方向）に対しては一括した分極処理が可能である。しかし、上述したようなグールドタイプで求められる、複数の方向に対する一括した分極処理を行うのは困難である。   In the liquid discharge head using the piezoelectric shear mode disclosed in Patent Document 1, the polarization treatment can be collectively performed in one direction (thickness direction) of the plate-like piezoelectric member. However, it is difficult to perform a collective polarization process for a plurality of directions required for the Gould type as described above.

本発明は、分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理することができる、液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a piezoelectric plate for a liquid discharge head, which can easily polarize a plurality of partition walls that need to be polarized in a lump in the wall thickness direction.

本発明の液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法は、第１及び第２の主面と、第１及び第２の主面に隣接し互いに対向する第１及び第２の側面と、を有する平板状の圧電プレートの第１の主面に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝を交互に形成する工程と、複数の第１の溝の内壁面に第１の電極を形成し、複数の第２の溝の内壁面に第２の電極を形成する工程と、複数の第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極と、複数の第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極と、を形成する工程と、第１の共通電極と第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、第１の溝と第２の溝とを仕切る隔壁を分極する工程と、分極する工程の後、第１の電極が第１の溝ごとに分離されかつ第２の電極が第２の溝ごとに分離されるように、第１及び第２の共通電極を除去する工程と、を有している。
一の態様では、第２の共通電極の一部は第２の主面に形成され、分極する工程は、第１の溝と第２の主面との間の底板を分極することを含む。
他の態様では、第１及び第２の溝はそれぞれ第１の側面から第２の側面まで延びるように形成され、第１及び第２の電極並びに第１及び第２の共通電極は、第１及び第２の溝の内壁面並びに第１及び第２の側面に金属膜を形成し、その後、第１の溝と第２の側面との境界部及び第２の溝と第１の側面との境界部の金属膜を除去することによって形成される。
他の態様では、第１の溝が第１の側面から第２の側面の手前まで延びるように形成され、第２の溝が第２の側面から第１の側面の手前まで延びるように形成され、第１及び第２の電極は、第１及び第２の溝の内壁面に金属膜を形成することによって形成され、第１及び第２の共通電極は第１及び第２の側面に金属膜を形成することによって形成され、第１及び第２の共通電極を除去する工程では、第１の溝が第１の側面と反対側の側面まで達するように、圧電体の第２の側面側の部分が除去される。
他の態様では、第１の共通電極の一部及び第２の共通電極の一部がともに第２の主面上に形成される。
他の態様では、第１の共通電極と導通した第１の電極パッドと、第２の共通電極と導通した第２の電極パッドが第１の主面上に形成される。 The method for manufacturing a piezoelectric plate for a liquid discharge head according to the present invention includes first and second main surfaces, and first and second side surfaces that are adjacent to the first and second main surfaces and face each other. A step of alternately forming a plurality of first and second grooves extending in parallel and having at least a portion in the length direction adjacent to each other on the first main surface of the plate-like piezoelectric plate; Forming a first electrode on an inner wall surface of the groove and forming a second electrode on an inner wall surface of the plurality of second grooves; and a first common electrically connected to the plurality of first electrodes A step of forming an electrode and a second common electrode electrically connected to the plurality of second electrodes, and applying a voltage between the first common electrode and the second common electrode After the step of polarizing the partition wall that partitions the first groove and the second groove and the step of polarizing, the first electrode is separated for each first groove. And as a second electrode is separated for each second groove has a step of removing the first and second common electrode.
In one aspect, a portion of the second common electrode is formed on the second major surface, and the step of polarizing includes polarizing the bottom plate between the first groove and the second major surface.
In another aspect, the first and second grooves are formed to extend from the first side surface to the second side surface, respectively, and the first and second electrodes and the first and second common electrodes are the first side surface. And a metal film is formed on the inner wall surface of the second groove and the first and second side surfaces, and then the boundary between the first groove and the second side surface and the second groove and the first side surface are formed. It is formed by removing the metal film at the boundary.
In another aspect, the first groove is formed to extend from the first side surface to the front side of the second side surface, and the second groove is formed to extend from the second side surface to the front side of the first side surface. The first and second electrodes are formed by forming metal films on the inner wall surfaces of the first and second grooves, and the first and second common electrodes are formed on the first and second side surfaces. In the step of removing the first and second common electrodes, the second side surface side of the piezoelectric body is disposed so that the first groove reaches the side surface opposite to the first side surface. Part is removed.
In another aspect, a part of the first common electrode and a part of the second common electrode are both formed on the second main surface.
In another aspect, a first electrode pad electrically connected to the first common electrode and a second electrode pad electrically connected to the second common electrode are formed on the first main surface.

複数の第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極と、複数の第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極とが形成され、第１の共通電極と第２の共通電極との間に分極のための電圧が印加される。このため１回の電圧印加によって、複数の隔壁を一括して簡便に分極することができる。しかも、第１の溝に第１の電極が、第２の溝に第２の電極が形成されているため、いずれの隔壁も第１の溝側が同じ極性を持つように壁厚方向に分極される。   A first common electrode electrically connected to the plurality of first electrodes and a second common electrode electrically connected to the plurality of second electrodes are formed, and the first common electrode and the first common electrode A voltage for polarization is applied between the two common electrodes. For this reason, a plurality of partition walls can be easily and collectively polarized by a single voltage application. In addition, since the first electrode is formed in the first groove and the second electrode is formed in the second groove, each partition wall is polarized in the wall thickness direction so that the first groove side has the same polarity. The

本発明によれば、分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理することができる、液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the piezoelectric plate for liquid discharge heads which can carry out easily a polarization process collectively in the wall thickness direction of the several partition which needs a polarization process can be provided.

本発明が適用されるインクジェット記録装置の概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of an ink jet recording apparatus to which the present invention is applied. 液体吐出ヘッドユニットの吐出口の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of discharge ports of the liquid discharge head unit. 本発明が適用される液体吐出ヘッドユニットの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the liquid discharge head unit to which the present invention is applied. 図３に示す液体吐出ヘッドユニットの組立後の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view after assembly of the liquid discharge head unit shown in FIG. 3. 本発明が適用される液体吐出ヘッドの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the liquid discharge head to which this invention is applied. 図３に示す液体吐出ヘッドの駆動状態を図示した断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a driving state of the liquid ejection head illustrated in FIG. 3. 図３に示す液体吐出ヘッドの圧電プレートの分極状態を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a polarization state of a piezoelectric plate of the liquid ejection head illustrated in FIG. 3. 第１の実施形態に係る圧電プレートの製造方法を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the manufacturing method of the piezoelectric plate which concerns on 1st Embodiment. 第２の実施形態に係る圧電プレートの製造方法を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the manufacturing method of the piezoelectric plate which concerns on 2nd Embodiment. 第３の実施形態に係る圧電プレートの製造方法を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the manufacturing method of the piezoelectric plate which concerns on 3rd Embodiment.

本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。本発明は以下の実施形態によって限定されるものではない。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following embodiments.

図１に、本発明が適用される好ましいインクジェット記録装置の概略構成を示す。記録装置１００は、搬送ローラー１０３に張架された無端ベルト状の搬送ベルト１０４の上に記録媒体１０２が載置され、搬送ベルト１０４を駆動して記録媒体１０２を矢印方向Ａに走査するものである。   FIG. 1 shows a schematic configuration of a preferred ink jet recording apparatus to which the present invention is applied. In the recording apparatus 100, a recording medium 102 is placed on an endless belt-like conveyance belt 104 stretched around a conveyance roller 103, and the conveyance belt 104 is driven to scan the recording medium 102 in the arrow direction A. is there.

図１に示したインクジェット記録装置の例では、液体吐出ヘッドユニット１０１が用いられている。図の例では４個の、例えばイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）及びブラック（Ｂｋ）の４色に対応した液体吐出ヘッドユニット１０１が、記録媒体搬送方向Ａに並置されている。インクタンク１０６から供給された各色インクを、記録媒体１０２を搬送しながら液体吐出ヘッドユニット１０１で吐出させることによって、高速にフルカラー記録が行われる。   In the example of the ink jet recording apparatus shown in FIG. 1, a liquid discharge head unit 101 is used. In the illustrated example, four liquid discharge head units 101 corresponding to, for example, four colors of yellow (Y), magenta (M), cyan (C), and black (Bk) are juxtaposed in the recording medium conveyance direction A. Yes. Each color ink supplied from the ink tank 106 is ejected by the liquid ejection head unit 101 while transporting the recording medium 102, whereby full color recording is performed at high speed.

図２に、液体吐出ヘッドユニット１０１の吐出口３０８の配置を示す。インク色毎に設けられている各液体吐出ヘッドユニット１０１の構造は各色で共通している。図２に示すように、短尺の液体吐出ヘッド３０９には、インク液滴を吐出する吐出口３０８が２次元アレー状に高密度で配列されている。この短尺の液体吐出ヘッド３０９を複数繋ぎ合わせ、全体で記録媒体１０２の全幅に対応する長さとなるようにして、１つの長尺のフルラインヘッドを備えた液体吐出ヘッドユニット１０１が構成されている。   FIG. 2 shows the arrangement of the discharge ports 308 of the liquid discharge head unit 101. The structure of each liquid discharge head unit 101 provided for each ink color is common to each color. As shown in FIG. 2, in the short liquid discharge head 309, discharge ports 308 for discharging ink droplets are arranged in a two-dimensional array at a high density. A plurality of the short liquid discharge heads 309 are connected to form a liquid discharge head unit 101 having one long full line head so as to have a length corresponding to the entire width of the recording medium 102 as a whole. .

次に、上述したインクジェット記録装置に搭載されている液体吐出ヘッドユニット１０１の構成について説明する。図３は液体吐出ヘッドユニット１０１の分解斜視図、図４は液体吐出ヘッドユニット１０１を組み立てた状態で示す斜視図である。   Next, the configuration of the liquid discharge head unit 101 mounted on the above-described ink jet recording apparatus will be described. 3 is an exploded perspective view of the liquid discharge head unit 101, and FIG. 4 is a perspective view showing the liquid discharge head unit 101 in an assembled state.

液体吐出ヘッドユニット１０１は、オリフィスプレート３０４、液体吐出ヘッド３０３、流体制御プレート３０２及び共通液室３０１をこの順番で積層し、互いに接合することによって構成されている。流体制御プレート３０２及び液体吐出ヘッド３０３は各液室内の電極と電気的に接続されている。液体吐出ヘッド３０３に接続された配線は、流体制御プレート３０２から引き出されたフレキシブルケーブル３１０によって外部と接続されている。オリフィスプレート３０４は、加圧されたインクが液滴として吐出される吐出口３０８を備えている。   The liquid discharge head unit 101 is configured by stacking an orifice plate 304, a liquid discharge head 303, a fluid control plate 302, and a common liquid chamber 301 in this order and bonding them together. The fluid control plate 302 and the liquid discharge head 303 are electrically connected to electrodes in each liquid chamber. The wiring connected to the liquid discharge head 303 is connected to the outside by a flexible cable 310 drawn from the fluid control plate 302. The orifice plate 304 includes an ejection port 308 through which pressurized ink is ejected as droplets.

次に、液体吐出ヘッド３０３の構成について説明する。図５に液体吐出ヘッド３０３の構成を示す。同図（ａ）は、一対の第１及び第２の圧電プレート５０１，５０２の分解斜視図及び組立図であり、同図（ｂ）は複数の第１及び第２の圧電プレート５０１，５０２が積層された液体吐出ヘッド３０３の部分分解斜視図及び組立図である。   Next, the configuration of the liquid discharge head 303 will be described. FIG. 5 shows the configuration of the liquid discharge head 303. FIG. 4A is an exploded perspective view and an assembled view of a pair of first and second piezoelectric plates 501 and 502, and FIG. 4B shows a plurality of first and second piezoelectric plates 501 and 502. FIG. 6 is a partially exploded perspective view and an assembled view of the liquid discharge heads 303 that are stacked.

第１の圧電プレート５０１の第１の主面Ｓ１には、吐出口３０８と連通する個別液室１１となる第１の溝５０３と、第１の空気室１２となる第２の溝５０４とが、交互にかつ平行に（すなわち並列に）形成されている。第１の溝５０３の内壁面には第１の電極（ＳＩＧ）５０５が形成され、第２の溝５０４の内壁面には第２の電極（ＧＮＤ）５０６が形成されている。ここで、ＳＩＧは「信号」、ＧＮＤは「接地」を意味する。第１及び第２の溝５０３，５０４が形成されている第１の主面Ｓ１の裏面である第２の主面Ｓ２には、その全面に第３の電極（ＧＮＤ）５０８が形成されている。第３の電極（ＧＮＤ）５０８は省略することも可能である。   The first main surface S1 of the first piezoelectric plate 501 has a first groove 503 serving as the individual liquid chamber 11 communicating with the discharge port 308 and a second groove 504 serving as the first air chamber 12. , Alternately and in parallel (ie in parallel). A first electrode (SIG) 505 is formed on the inner wall surface of the first groove 503, and a second electrode (GND) 506 is formed on the inner wall surface of the second groove 504. Here, SIG means “signal”, and GND means “ground”. A third electrode (GND) 508 is formed on the entire surface of the second main surface S2 which is the back surface of the first main surface S1 in which the first and second grooves 503 and 504 are formed. . The third electrode (GND) 508 can be omitted.

第２の圧電プレート５０２には、第１の圧電プレート５０１の個別液室１１に対応する位置に、第２の空気室１３となる第３の溝５０７が、互いに平行に（すなわち並列に）複数本形成されている。第１の圧電プレート５０１と第２の圧電プレート５０２を積層すると、図５（ｂ）に示すように、第２の空気室１３と液室１１とが積層方向Ｐに沿って一列に配列する。第２の圧電プレート５０２の第３の溝５０７が設けられた面には、第３の溝５０７の内壁面を含めた全面に、第４の電極（ＧＮＤ）５０９が形成されている。第２の圧電プレート５０２の裏面の、第１の圧電プレート５０１に設けられた液室１１の直上となる位置には、第５の電極（ＳＩＧ）５１２が形成されている。   The second piezoelectric plate 502 has a plurality of third grooves 507 to be the second air chambers 13 in parallel to each other (that is, in parallel) at positions corresponding to the individual liquid chambers 11 of the first piezoelectric plate 501. The book is formed. When the first piezoelectric plate 501 and the second piezoelectric plate 502 are stacked, the second air chamber 13 and the liquid chamber 11 are arranged in a line along the stacking direction P as shown in FIG. A fourth electrode (GND) 509 is formed on the entire surface including the inner wall surface of the third groove 507 on the surface of the second piezoelectric plate 502 where the third groove 507 is provided. A fifth electrode (SIG) 512 is formed on the back surface of the second piezoelectric plate 502 at a position directly above the liquid chamber 11 provided in the first piezoelectric plate 501.

図５（ａ）に示すように、第１の圧電プレート５０１と第２の圧電プレート５０２は、第１、第２及び第３の溝５０３，５０４，５０７が同じ向きに開口するように接合されている。この接合体を一つのユニットとして、複数のユニットを積層接合し、天板となる第１の基板５１０及び第２の基板５１１で挟み、これらの複数のユニットに接合することで液体吐出ヘッド３０３が作製される。この結果、第１の圧電プレート５０１と第２の圧電プレート５０２は交互に積層されている。第１の溝５０３と第２の圧電プレート５０２によって液室１１が形成され、第２の溝５０４と第２の圧電プレート５０２によって第１の空気室１２が形成される。また、第３の溝５０７と第１の圧電プレート５０１（または第１の基板５１０）によって第２の空気室１３が形成される。第２の空気室１３と液室１１は積層方向Ｐに沿って一列に配列している。第１の基板５１０及び第２の基板５１１はパターンが形成されていない平板のプレートである。第１の基板５１０及び第２の基板５１１は圧電体である必要はないが、接合時に加熱を要する場合には熱膨張率が第１の圧電プレート５０１及び第２の圧電プレート５０２に近い材料によって形成されることが望ましい。   As shown in FIG. 5A, the first piezoelectric plate 501 and the second piezoelectric plate 502 are joined so that the first, second, and third grooves 503, 504, and 507 open in the same direction. ing. Using this bonded body as one unit, a plurality of units are stacked and bonded, sandwiched between the first substrate 510 and the second substrate 511 that serve as a top plate, and bonded to the plurality of units, so that the liquid discharge head 303 can be bonded. Produced. As a result, the first piezoelectric plates 501 and the second piezoelectric plates 502 are alternately stacked. The liquid chamber 11 is formed by the first groove 503 and the second piezoelectric plate 502, and the first air chamber 12 is formed by the second groove 504 and the second piezoelectric plate 502. The second air chamber 13 is formed by the third groove 507 and the first piezoelectric plate 501 (or the first substrate 510). The second air chamber 13 and the liquid chamber 11 are arranged in a line along the stacking direction P. The first substrate 510 and the second substrate 511 are flat plates on which no pattern is formed. The first substrate 510 and the second substrate 511 do not need to be piezoelectric bodies. However, when heating is required at the time of bonding, the coefficient of thermal expansion is made of a material close to that of the first piezoelectric plate 501 and the second piezoelectric plate 502. It is desirable to be formed.

次に流体制御プレート３０２について図３を用いて説明する。流体制御プレート３０２は、各個別液室１１に対応した位置に後方絞り（不図示）を備えている。後方絞りは駆動によって生じるインクの流動が吐出口３０８側に強く生じるようにインクの逆流を制限する。流体制御プレート３０２内には駆動回路が形成されている。駆動回路は液体吐出ヘッドの第１の電極（ＳＩＧ）５０５及び第２の電極（ＧＮＤ）５０６と電気的に接続され、流体制御プレート３０２内に形成された圧電アクチュエータの駆動回路に配線されている。さらに各配線はフレキシブルケーブル３１０に電気的に接続され、外部にあるインクジェット記録装置の制御部（不図示）へと接続されている。   Next, the fluid control plate 302 will be described with reference to FIG. The fluid control plate 302 includes a rear throttle (not shown) at a position corresponding to each individual liquid chamber 11. The rear stop restricts the back flow of ink so that the ink flow generated by driving is strongly generated on the ejection port 308 side. A drive circuit is formed in the fluid control plate 302. The drive circuit is electrically connected to the first electrode (SIG) 505 and the second electrode (GND) 506 of the liquid discharge head, and is wired to the drive circuit of the piezoelectric actuator formed in the fluid control plate 302. . Further, each wiring is electrically connected to the flexible cable 310 and connected to an external control unit (not shown) of the ink jet recording apparatus.

共通液室３０１にはインクタンク１０６からインクを供給するためのインク供給口３０５が形成され、共通液室３０１は各個別液室１１と連通している。   An ink supply port 305 for supplying ink from the ink tank 106 is formed in the common liquid chamber 301, and the common liquid chamber 301 communicates with each individual liquid chamber 11.

次に液体吐出ヘッド３０３の駆動動作について説明する。図６は図５（ｂ）の領域Ａの断面拡大図である。図６（ａ）に示すように、個別液室１１を形成する第１の溝５０３は第２及び第３の空気室１２，１３を形成する第２及び第３の溝５０４，５０７に対して区画され、２次元アレー状に形成されている。第１の溝５０３を構成する隔壁５１３は第１の溝５０３から外向きの分極方向６０１、６０２、６０３、すなわち第１の溝５０３側が正、第２の溝５０４側が負となるように分極方向６０１に分極されている。また、第１の溝５０３と第２の主面Ｓ２との間の底板５１４は、その第１の溝５０３側が隔壁５１３の第１の溝５０３側と同じ極性を持つように、すなわち第１の溝５０３側が正、第２の主面Ｓ２側が負となるように分極方向６０２に分極されている。第２の圧電プレート５０２の第１の溝５０３に面する底板５１５も、第１の溝５０３側が正、第３の溝５０７側が負となるように分極方向６０３に分極されている。ここで、底板５１４，５１５は対応する第１の溝５０３溝ごとに別々の部分として定義する。分極方向６０１，６０２，６０３はこの逆でもよい。すなわち、隔壁５１３は、第１の溝５０３側が負、第２の溝５０４側が正となるように、底板５１４が第１の溝５０３側が負、第２の主面Ｓ２側が正となるように、底板５１５が第１の溝５０３側が負、第３の溝５０７側が正となるように分極されてもよい。   Next, the driving operation of the liquid discharge head 303 will be described. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a region A in FIG. As shown in FIG. 6A, the first groove 503 that forms the individual liquid chamber 11 is in contrast to the second and third grooves 504 and 507 that form the second and third air chambers 12 and 13. It is partitioned and formed in a two-dimensional array. The partition wall 513 constituting the first groove 503 has a polarization direction so that the polarization directions 601, 602, and 603 outward from the first groove 503 are positive, that is, the first groove 503 side is positive and the second groove 504 side is negative. 601 is polarized. Further, the bottom plate 514 between the first groove 503 and the second main surface S2 has the same polarity as the first groove 503 side of the partition wall 513, that is, the first plate It is polarized in the polarization direction 602 so that the groove 503 side is positive and the second main surface S2 side is negative. The bottom plate 515 facing the first groove 503 of the second piezoelectric plate 502 is also polarized in the polarization direction 603 so that the first groove 503 side is positive and the third groove 507 side is negative. Here, the bottom plates 514 and 515 are defined as separate portions for the corresponding first grooves 503. The polarization directions 601 602 603 may be reversed. That is, the partition wall 513 is negative on the first groove 503 side and positive on the second groove 504 side, so that the bottom plate 514 is negative on the first groove 503 side and positive on the second main surface S2 side. The bottom plate 515 may be polarized so that the first groove 503 side is negative and the third groove 507 side is positive.

図６（ｂ）は駆動電圧印加時の様子を示している。まず、第１の電極（ＳＩＧ）５０５及び第５の電極（ＳＩＧ）５１２を正電位とし、第２の電極５０６（ＧＮＤ）、第３の電極５０８（ＧＮＤ）及び第４の電極５０９（ＧＮＤ）をＧＮＤ電位とする。この電位状態で、ＳＩＧ電極５０５，５１２とＧＮＤ電極５０６，５０８，５０９との間に電圧を印加すると、図示のように、個別液室１１を形成している隔壁５１３及び底板５１４，５１５は個別液室１１を収縮させるように変形する。この変形によって個別液室１１内に充填されているインクの圧力が高められ、吐出口３０８より液滴が吐出する。第１の電極（ＳＩＧ）５０５及び第５の電極（ＳＩＧ）５１２をＧＮＤ電位、第２の電極５０６（ＧＮＤ）、第３の電極５０８（ＧＮＤ）及び第４の電極５０９（ＧＮＤ）を正電位として駆動電圧を印加すると逆の変形が生じる。すなわち、個別液室１１が膨張するように隔壁５１３及び底板５１４，５１５が変形する（不図示）。   FIG. 6B shows a state when the drive voltage is applied. First, the first electrode (SIG) 505 and the fifth electrode (SIG) 512 are set to a positive potential, the second electrode 506 (GND), the third electrode 508 (GND), and the fourth electrode 509 (GND). Is a GND potential. When a voltage is applied between the SIG electrodes 505, 512 and the GND electrodes 506, 508, 509 in this potential state, the partition walls 513 and the bottom plates 514, 515 forming the individual liquid chambers 11 are individually shown as shown. The liquid chamber 11 is deformed to contract. By this deformation, the pressure of the ink filled in the individual liquid chamber 11 is increased, and droplets are ejected from the ejection port 308. The first electrode (SIG) 505 and the fifth electrode (SIG) 512 are set to a GND potential, and the second electrode 506 (GND), the third electrode 508 (GND), and the fourth electrode 509 (GND) are set to a positive potential. As a driving voltage is applied, the reverse deformation occurs. That is, the partition 513 and the bottom plates 514 and 515 are deformed so that the individual liquid chamber 11 expands (not shown).

個別液室１１を構成する隔壁５１３及び底板５１４，５１５が上述したような変形をするためには、図６（ａ）で示すような分極方向６０１、６０２、６０３に隔壁５１３及び底板５１４，５１５を分極する必要がある。特に第１の圧電プレート５０１では第１の溝５０３を構成する隔壁５１３及び底板５１４を異なる３方向に分極処理する必要がある。図７に第１の圧電プレート５０１の分極状態について示す。図７に示すように隔壁５１３及び底板５１４を分極方向６０１、６０２に分極するには、第１の電極５０５を正電位、第２の電極５０６及び第３の電極５０８をＧＮＤ電位として、ＳＩＧ電極５０５とＧＮＤ電極５０６，５０８との間に高電界を印加する。   In order to deform the partition 513 and the bottom plates 514 and 515 constituting the individual liquid chamber 11 as described above, the partition 513 and the bottom plates 514 and 515 have the polarization directions 601, 602 and 603 as shown in FIG. Need to be polarized. In particular, in the first piezoelectric plate 501, it is necessary to polarize the partition 513 and the bottom plate 514 constituting the first groove 503 in three different directions. FIG. 7 shows the polarization state of the first piezoelectric plate 501. As shown in FIG. 7, in order to polarize the partition wall 513 and the bottom plate 514 in the polarization directions 601 and 602, the first electrode 505 is set to the positive potential, the second electrode 506 and the third electrode 508 are set to the GND potential, and the SIG electrode A high electric field is applied between 505 and the GND electrodes 506 and 508.

本発明は、第１の圧電プレート５０１の複数の個別液室１１を構成する隔壁５１３及び底板５１４を一括して簡便に分極処理することが可能な製造方法に関するものであり、本実施形態の具体的な構成及び製造方法について以下に説明する。   The present invention relates to a manufacturing method in which partition walls 513 and bottom plates 514 constituting a plurality of individual liquid chambers 11 of a first piezoelectric plate 501 can be easily and collectively polarized. A typical configuration and manufacturing method will be described below.

（第１の実施形態）
液体吐出ヘッド用の第１の圧電プレート５０１の、第１の実施形態に係る製造方法について説明する。本実施形態に係る第１の圧電プレート５０１の製造方法を、図８（ａ）〜（ｇ）の斜視図に示す。 (First embodiment)
A manufacturing method according to the first embodiment of the first piezoelectric plate 501 for the liquid discharge head will be described. A manufacturing method of the first piezoelectric plate 501 according to the present embodiment is shown in the perspective views of FIGS.

まず、工程（ａ）で、図８（ａ）に示すように、所望の厚みと形状を有する平板状の圧電プレート８０１を準備する。圧電プレート８０１は、第１及び第２の主面Ｓ１，Ｓ２と、第１及び第２の主面Ｓ１，Ｓ２に隣接し互いに対向する第１及び第２の側面Ｗ１，Ｗ２と、を有する、平板状で直方体状の圧電部材である。   First, in the step (a), as shown in FIG. 8A, a flat piezoelectric plate 801 having a desired thickness and shape is prepared. The piezoelectric plate 801 includes first and second main surfaces S1 and S2, and first and second side surfaces W1 and W2 that are adjacent to the first and second main surfaces S1 and S2 and face each other. It is a flat and rectangular parallelepiped piezoelectric member.

工程（ｂ）で、図８（ｂ）に示すように、圧電プレート８０１の第１の主面Ｓ１に、複数の第１の溝５０３を、互いに平行に（すなわち並列に）形成する。第１の溝５０３は第１の側面Ｗ１から第２の側面Ｗ２まで、第１の主面Ｓ１を横断して延びるように形成される。形成された第１の溝５０３の一部は上述した個別液室１１として機能する。第１の溝５０３は所定の均一の深さで形成する必要があるため、深さ制御の精度が高いダイシング加工などを用いることが望ましい。次に、第２の溝５０４を第１の溝５０３が形成された同一の面（第１の主面Ｓ１）に、第１の溝５０３の長さ方向Ｌに沿って、第１の溝５０３と平行に（すなわち並列に）形成する。第２の溝５０４は第１の溝５０３の両隣りに、すなわち複数の第１及び第２の溝５０３，５０４が交互に位置するように形成される。第２の溝５０４は第１の側面Ｗ１から第２の側面Ｗ２まで、第１の主面Ｓ１を横断して延びるように形成される。形成された第２の溝５０４の一部は上述した第１の空気室１２として機能する。第２の溝５０４の深さ制御及び第１の溝５０３と第２の溝５０４の間の隔壁５１３の厚さ制御は高い精度が要求されるため、ダイシング加工などを適用するのが望ましい。加工の順序は特に限定されない。図では第２の溝５０４の溝幅が第１の溝５０３の溝幅よりも広くなっているが、大小関係はこれに限定されない。   In step (b), as shown in FIG. 8B, a plurality of first grooves 503 are formed in parallel to each other (that is, in parallel) on the first main surface S1 of the piezoelectric plate 801. The first groove 503 is formed so as to extend from the first side surface W1 to the second side surface W2 across the first main surface S1. A part of the formed first groove 503 functions as the individual liquid chamber 11 described above. Since the first groove 503 needs to be formed with a predetermined uniform depth, it is desirable to use a dicing process or the like with high accuracy of depth control. Next, the second groove 504 is formed on the same surface (first main surface S1) on which the first groove 503 is formed, along the length direction L of the first groove 503, and the first groove 503. In parallel (ie in parallel). The second groove 504 is formed on both sides of the first groove 503, that is, the plurality of first and second grooves 503 and 504 are alternately positioned. The second groove 504 is formed so as to extend across the first main surface S1 from the first side surface W1 to the second side surface W2. A part of the formed second groove 504 functions as the first air chamber 12 described above. Since the depth control of the second groove 504 and the thickness control of the partition 513 between the first groove 503 and the second groove 504 require high accuracy, it is desirable to apply dicing or the like. The order of processing is not particularly limited. In the figure, the groove width of the second groove 504 is wider than the groove width of the first groove 503, but the magnitude relationship is not limited to this.

工程（ｃ）では、図８（ｃ）に示すように、形成された第１の溝５０３の内壁面に第１の電極（ＳＩＧ）５０５を、第２の溝５０４の内壁面に第２の電極（ＧＮＤ）５０６を形成する。電極のパターニングは、リフトオフで形成することができるほか、レーザーや研磨などを利用することもできる。リフトオフを用いる場合、レジストを塗布した後、フォトリソグラフィによって、電極パターンを残さない部分を除いてレジストを除去し、その上部からスパッタリングや蒸着によって電極となる金属層をレジストのパターンを含めて全面に形成する。そして、レジストを除去することでレジスト上部に成膜されていた金属膜をレジストと共に剥離して、最終的に所望の金属膜のパターンが得られる。レーザーや研磨を用いる場合は、まず全面にスパッタリング、蒸着、無電解めっきなどの方法で金属膜を成膜する。そして、成膜された金属膜の不要な部分をレーザーや研磨によって除去することで所望の電極パターンが得られる。   In step (c), as shown in FIG. 8C, the first electrode (SIG) 505 is formed on the inner wall surface of the formed first groove 503, and the second electrode is formed on the inner wall surface of the second groove 504. An electrode (GND) 506 is formed. The patterning of the electrode can be formed by lift-off, or laser or polishing can be used. In the case of using lift-off, after applying a resist, the resist is removed by photolithography except for a portion where the electrode pattern is not left, and a metal layer that becomes an electrode is formed on the entire surface including the resist pattern by sputtering or vapor deposition from above. Form. Then, by removing the resist, the metal film formed on the resist is peeled off together with the resist, and a desired metal film pattern is finally obtained. When using laser or polishing, a metal film is first formed on the entire surface by a method such as sputtering, vapor deposition, or electroless plating. A desired electrode pattern can be obtained by removing unnecessary portions of the formed metal film by laser or polishing.

リフトオフ、レーザー、研磨などのいずれの方法を取る場合も、第１の溝５０３及び第２の溝５０４の端部と接している第１の側面Ｗ１及び第２の側面Ｗ２にも金属膜を成膜する。第１の側面Ｗ１の金属膜は第１の共通電極８０２の一部を、第２の側面Ｗ２の金属膜は第２の共通電極８０３の一部をそれぞれ構成する。第１の電極（ＳＩＧ）５０５及び第２の電極（ＧＮＤ）５０６は、第１の側面Ｗ１に成膜された第１の共通電極８０２及び第２の側面Ｗ２に成膜された第２の共通電極８０３と導通している。   When any method such as lift-off, laser, or polishing is used, a metal film is also formed on the first side surface W1 and the second side surface W2 that are in contact with the ends of the first groove 503 and the second groove 504. Film. The metal film on the first side surface W1 forms part of the first common electrode 802, and the metal film on the second side surface W2 forms part of the second common electrode 803. The first electrode (SIG) 505 and the second electrode (GND) 506 are a first common electrode 802 formed on the first side surface W1 and a second common film formed on the second side surface W2. The electrode 803 is electrically connected.

工程（ｄ）では、図８（ｄ）に示すように、圧電プレート８０１の第１の主面Ｓ１の裏面である第２の主面Ｓ２に、金属膜で構成される第１の共通電極８０２と、同じく金属膜で構成される第２の共通電極８０３と、を形成する。第２の共通電極８０３は、図６に示す第３の電極５０８（ＧＮＤ）として機能する。第１の共通電極８０２と第２の共通電極８０３は、第１及び第２の溝５０３，５０４の長さ方向Ｌと垂直な方向に延びる分離帯８０４によって分断される。この結果、第１の共通電極８０２は、第２の主面Ｓ２の比較的小さな領域と第１の側面Ｗ１とに跨って形成され、第２の共通電極８０３は、第２の主面Ｓ２の比較的大きな領域と第２の側面Ｗ２とに跨って形成される。第２の主面Ｓ２における両共通電極８０２，８０３のパターニングは、フォトリソグラフィを利用してフォトレジストをリフトオフする方法、金属膜の不要部分をエッチング、レーザー、ダイシング、フライス加工などで除去する方法によって行うことができる。第１の共通電極８０２は、各第１の電極（ＳＩＧ）５０５及び各第２の電極（ＧＮＤ）５０６と電気的に接続されている。第２の共通電極８０３も各第１の電極（ＳＩＧ）５０５及び各第２の電極（ＧＮＤ）５０６と電気的に接続されている。   In step (d), as shown in FIG. 8D, a first common electrode 802 made of a metal film is formed on the second main surface S2 which is the back surface of the first main surface S1 of the piezoelectric plate 801. And a second common electrode 803 which is also formed of a metal film. The second common electrode 803 functions as the third electrode 508 (GND) illustrated in FIG. The first common electrode 802 and the second common electrode 803 are separated by a separation band 804 extending in a direction perpendicular to the length direction L of the first and second grooves 503 and 504. As a result, the first common electrode 802 is formed across a relatively small region of the second main surface S2 and the first side surface W1, and the second common electrode 803 is formed on the second main surface S2. It is formed across a relatively large region and the second side surface W2. The patterning of the two common electrodes 802 and 803 on the second main surface S2 is performed by a method of lifting off the photoresist using photolithography, or a method of removing unnecessary portions of the metal film by etching, laser, dicing, milling, or the like. It can be carried out. The first common electrode 802 is electrically connected to each first electrode (SIG) 505 and each second electrode (GND) 506. The second common electrode 803 is also electrically connected to each first electrode (SIG) 505 and each second electrode (GND) 506.

工程（ｅ）では、図８（ｅ）に示すように、第１の電極（ＳＩＧ）５０５と第２の電極（ＧＮＤ）５０６との電気的接続を分断する。電気的接続は、少なくとも第１の溝５０３と第２の側面Ｗ２との境界部及び第２の溝５０４と第１の側面Ｗ１との境界部の金属膜を除去することができる限り、様々な方法を採用できる。本実施形態では、第１の側面Ｗ１の一部を切り欠いて（切り欠き８０６）、第２の電極（ＧＮＤ）５０６を除去している。同様に、図示は省略するが、第２の側面Ｗ２の一部を切り欠いて、第１の電極（ＳＩＧ）５０５を除去している。切り欠き８０６はダイシング、フライス加工、レーザーアブレーションなどによって形成することができる。この工程によって第１の電極（ＳＩＧ）５０５と第２の電極（ＧＮＤ）５０６の間は絶縁される。しかし、複数の第１の電極（ＳＩＧ）５０５同士は第１の共通電極８０２を介して導通し、複数の第２の電極（ＧＮＤ）５０６同士は第２の共通電極８０３を介して導通している。   In the step (e), as shown in FIG. 8E, the electrical connection between the first electrode (SIG) 505 and the second electrode (GND) 506 is cut off. As long as at least the boundary between the first groove 503 and the second side surface W2 and the metal film at the boundary between the second groove 504 and the first side surface W1 can be removed, various electrical connections are possible. The method can be adopted. In the present embodiment, a part of the first side face W1 is cut out (notch 806), and the second electrode (GND) 506 is removed. Similarly, although not shown, a part of the second side face W2 is cut away, and the first electrode (SIG) 505 is removed. The notch 806 can be formed by dicing, milling, laser ablation, or the like. By this process, the first electrode (SIG) 505 and the second electrode (GND) 506 are insulated. However, the plurality of first electrodes (SIG) 505 are electrically connected to each other via the first common electrode 802, and the plurality of second electrodes (GND) 506 are electrically connected to each other via the second common electrode 803. Yes.

工程（ｆ）では、図８（ｆ）に示すように、隔壁５１３及び底板５１４の分極処理を行う。具体的には、圧電プレート８０１をそのキュリー点付近まで加熱した状態で、第１の電極（ＳＩＧ）５０５と第２の電極（ＧＮＤ）５０６の間（実際には、第１の共通電極８０２と第２の共通電極８０３の間）に１〜２ｋＶ/ｍｍ程度の高電界を所定の時間印加する。第１の溝５０３と第２の溝５０４とを仕切る隔壁５１３及び第１の溝５０３と第２の主面Ｓ２の間にある底板５１４は、第１の溝５０３側が同じ極性を持つように分極される。第２の主面Ｓ２に形成された第１の共通電極８０２及び第２の共通電極８０３はパターンサイズが大きいので、これらを電極パッドとして利用することができる。このため、第１の共通電極８０２及び第２の共通電極８０３を、高電界を発生する電源装置８０７に容易に接続することができる。   In the step (f), as shown in FIG. 8 (f), the partition 513 and the bottom plate 514 are polarized. Specifically, in a state where the piezoelectric plate 801 is heated to the vicinity of its Curie point, the first electrode (SIG) 505 and the second electrode (GND) 506 (actually, the first common electrode 802 and A high electric field of about 1 to 2 kV / mm is applied for a predetermined time between the second common electrodes 803). The partition wall 513 that partitions the first groove 503 and the second groove 504 and the bottom plate 514 between the first groove 503 and the second main surface S2 are polarized so that the first groove 503 side has the same polarity. Is done. Since the first common electrode 802 and the second common electrode 803 formed on the second main surface S2 have a large pattern size, they can be used as electrode pads. Therefore, the first common electrode 802 and the second common electrode 803 can be easily connected to the power supply device 807 that generates a high electric field.

各隔壁５１３及び底板５１４の厚さは数十〜数百μｍであり、電極５０５，５０６も同等の間隔で配置されているため、空気中で１〜２ｋＶ/ｍｍの高電界を印加すると空中放電や沿面放電を生じる可能性が高い。そのため例えばシリコーンオイル（絶縁破壊電圧：１０ｋＶ／ｍｍ以上）のような絶縁性の高い絶縁性オイル中で分極処理を行うことが望ましい。シリコーンオイルは分極後にキシレン、ベンゼン、トルエンといった炭化水素系溶剤や塩化メチレン、１.１.１-トリクロロエタン、クロロベンゼンといった塩素化炭化水素系溶剤によって除去可能である。   The thickness of each partition wall 513 and bottom plate 514 is several tens to several hundreds μm, and the electrodes 505 and 506 are also arranged at equal intervals. Therefore, air discharge occurs when a high electric field of 1 to 2 kV / mm is applied in air. There is a high possibility of causing creeping discharge. Therefore, it is desirable to perform the polarization treatment in an insulating oil having a high insulating property such as silicone oil (dielectric breakdown voltage: 10 kV / mm or more). Silicone oil can be removed after polarization by a hydrocarbon solvent such as xylene, benzene or toluene, or a chlorinated hydrocarbon solvent such as methylene chloride, 1.1.1-trichloroethane or chlorobenzene.

工程（ｇ）では、図８（ｇ）に示すように、第１の電極５０５が第１の溝５０３ごとに分離され、かつ第２の電極５０６が第２の溝５０４ごとに分離されるように、第１及び第２の共通電極８０２，８０３を除去する。除去方法としては、ダイシング、フライス加工、研磨、レーザーアブレーションなどを利用することができる。ダイシングを用いる場合、図８（ｆ）に示すように、両側側面Ｗ１，Ｗ２よりも内側のａ−ａ線及びｂ−ｂ線に沿ってダイシングすることで、両側側面Ｗ１，Ｗ２上の切り欠き８０６を合わせて除去することができる。また、分離帯８０４の内側境界線付近でダイシングすることで、分極の際に第１の共通電極８０２または分離帯８０４に面していた（すなわち、第３の電極５０８に面していなかった）底板５１４の部分を除去することができる。   In step (g), the first electrode 505 is separated for each first groove 503 and the second electrode 506 is separated for each second groove 504 as shown in FIG. In addition, the first and second common electrodes 802 and 803 are removed. As the removal method, dicing, milling, polishing, laser ablation, or the like can be used. When dicing is used, as shown in FIG. 8 (f), notches on both side surfaces W1 and W2 are obtained by dicing along the aa and bb lines inside the both side surfaces W1 and W2. 806 can be removed together. Further, by dicing near the inner boundary line of the separation band 804, the first common electrode 802 or the separation band 804 was faced during polarization (that is, it did not face the third electrode 508). A portion of the bottom plate 514 can be removed.

上述した液体吐出ヘッドの製造方法を用いることによって、各液室１１に対応して平板状の圧電プレート上に形成された複数の電極を、同一平面上に設けられた大面積の電極パッドに、電位の正負ごとに集約することが可能になる。従って、分極処理時の電源装置８０７と圧電プレートの各電極との配線が容易になり、複数の隔壁５１３及び底板５１４をそれぞれの壁厚方向に一括して分極処理することが可能になる。   By using the manufacturing method of the liquid discharge head described above, a plurality of electrodes formed on a flat piezoelectric plate corresponding to each liquid chamber 11 can be applied to a large-area electrode pad provided on the same plane. Aggregation can be performed for each positive and negative potential. Accordingly, wiring between the power supply device 807 and each electrode of the piezoelectric plate during the polarization process is facilitated, and the plurality of partition walls 513 and the bottom plate 514 can be polarized together in the respective wall thickness directions.

このようにして製造された圧電プレートが複数積層されて、液体吐出ヘッドユニット１０１が形成される。圧電プレートを積層接着し、各種配線などを形成した後に一括して分極処理をする場合、分極時の圧電プレートの歪みによって各圧電プレート間の接着強度が低下する可能性がある。本実施形態では、圧電プレートを積層接着する前に分極処理を行うので、分極時の圧電プレートの歪みによる接着強度の低下を回避することができる。   A plurality of piezoelectric plates manufactured in this way are stacked to form the liquid discharge head unit 101. When the piezoelectric plates are laminated and bonded, and the polarization process is collectively performed after forming various wirings or the like, the bonding strength between the piezoelectric plates may be reduced due to distortion of the piezoelectric plates during polarization. In this embodiment, since the polarization process is performed before the piezoelectric plates are laminated and bonded, it is possible to avoid a decrease in the adhesive strength due to the distortion of the piezoelectric plates during the polarization.

（第２の実施形態）
次に、液体吐出ヘッド３０３を構成する第１の圧電プレート５０１の、第２の実施形態に係る製造方法について説明する。本実施形態に係る第１の圧電プレート５０１の製造方法を、図９（ａ）〜（ｈ）の斜視図を示す。ここでは第１の実施形態との差異を主に説明する。説明のない点は第１の実施形態と同様である。 (Second Embodiment)
Next, a manufacturing method according to the second embodiment of the first piezoelectric plate 501 constituting the liquid discharge head 303 will be described. The manufacturing method of the first piezoelectric plate 501 according to this embodiment is shown in perspective views of FIGS. Here, differences from the first embodiment will be mainly described. The points not described are the same as in the first embodiment.

まず、工程（ａ）では、図９（ａ）に示すように、所望の厚みと形状を有した平板状の圧電プレート８０１を準備する。   First, in step (a), as shown in FIG. 9A, a plate-like piezoelectric plate 801 having a desired thickness and shape is prepared.

工程（ｂ）では、図９（ｂ）に示すように、平板状の圧電プレート８０１に、複数の第１の溝５０３を形成する。形成された第１の溝５０３の一部が個別液室１１として機能する。第１の実施形態では第１の溝５０３は第１の側面Ｗ１から第２の側面Ｗ２まで、第１の主面Ｓ１を貫通するように形成した。本実施形態では、ダイシング加工時にダイシングブレード（不図示）を第２の側面Ｗ２の手前で引き上げることによって、第１の溝５０３を第１の側面Ｗ１から第２の側面Ｗ２の手前まで延びるように形成する。   In the step (b), as shown in FIG. 9B, a plurality of first grooves 503 are formed in the plate-like piezoelectric plate 801. A part of the formed first groove 503 functions as the individual liquid chamber 11. In the first embodiment, the first groove 503 is formed so as to penetrate the first main surface S1 from the first side surface W1 to the second side surface W2. In the present embodiment, a dicing blade (not shown) is pulled up in front of the second side surface W2 during dicing, so that the first groove 503 extends from the first side surface W1 to the front side of the second side surface W2. Form.

工程（ｃ）では、図９（ｃ）に示すように、平板状の圧電プレート８０１に、複数の第２の溝５０４を長さ方向Ｌに沿って平行に（すなわち並列に）形成する。第２の溝５０４は第２の側面Ｗ２から第１の側面Ｗ１の手前まで延びるように形成され、長さ方向Ｌの一部で第１の溝５０３と互いに隣接する。つまり第２の溝５０４は第１の溝５０３の両隣りに、すなわち複数の第１及び第２の溝５０３、５０４が交互に位置するように形成される。形成された第２の溝５０４の一部は第１の空気室１２として機能する。第１の実施形態と同様、第２の溝５０４は第１の溝５０３の両隣りに、第１の溝５０３と交互にかつ平行に（すなわち並列に）形成される。第１の溝５０３が連通している第１の側面Ｗ１には第２の溝５０４が連通しておらず、第２の溝５０４が連通している第２の側面Ｗ２には第１の溝５０３が連通していない。   In the step (c), as shown in FIG. 9C, a plurality of second grooves 504 are formed in parallel along the length direction L (that is, in parallel) on the flat plate-like piezoelectric plate 801. The second groove 504 is formed so as to extend from the second side surface W2 to the front of the first side surface W1, and is adjacent to the first groove 503 in a part in the length direction L. That is, the second groove 504 is formed on both sides of the first groove 503, that is, the plurality of first and second grooves 503 and 504 are alternately positioned. A part of the formed second groove 504 functions as the first air chamber 12. Similar to the first embodiment, the second grooves 504 are formed on both sides of the first grooves 503 alternately and in parallel (that is, in parallel) with the first grooves 503. The second groove 504 is not communicated with the first side face W1 with which the first groove 503 is communicated, and the first groove is provided with the second side face W2 with which the second groove 504 is communicated. 503 is not communicating.

工程（ｄ）では、図９（ｄ）に示すように、形成された第１の溝５０３に第１の電極（ＳＩＧ）５０５を、第２の溝５０４に第２の電極（ＧＮＤ）５０６を形成する。電極となる金属膜の成膜方法とパターニング方法は第１の実施形態と同様である。金属膜成膜時に、第１の溝５０３が連通する第１の側面Ｗ１及び第２の溝５０４が連通する第２の側面Ｗ２にも金属膜が成膜される。第１の溝５０３内に形成された各第１の電極（ＳＩＧ）５０５は、第１の側面Ｗ１に成膜された金属膜（第１の共通電極８０２の一部となる）を介して互いに導通している。第２の溝５０４内に形成された各第２の電極（ＧＮＤ）５０６は、第２の側面Ｗ２に成膜された金属膜（第２の共通電極８０３の一部となる）を介して互いに導通している。   In step (d), as shown in FIG. 9D, the first electrode (SIG) 505 is formed in the formed first groove 503, and the second electrode (GND) 506 is formed in the second groove 504. Form. The deposition method and patterning method of the metal film to be an electrode are the same as those in the first embodiment. At the time of forming the metal film, the metal film is also formed on the first side surface W1 that communicates with the first groove 503 and the second side surface W2 that communicates with the second groove 504. The first electrodes (SIG) 505 formed in the first groove 503 are mutually connected via a metal film (which becomes a part of the first common electrode 802) formed on the first side surface W1. Conducted. Each second electrode (GND) 506 formed in the second groove 504 is mutually connected through a metal film (which becomes a part of the second common electrode 803) formed on the second side surface W2. Conducted.

工程（ｅ）では、図９（ｅ）に示すように、第１の実施形態と同様に、第２の主面Ｓ２に分離した金属膜を成膜し、第１の共通電極８０２と第２の共通電極８０３を形成する。第２の主面Ｓ２に形成された第１の共通電極８０２は、第１の側面Ｗ１に形成された第１の共通電極８０２を介して第１の電極（ＳＩＧ）５０５と導通している。第２の共通電極８０３は、第２の側面Ｗ２に形成された第２の共通電極８０３を介して第２の電極（ＧＮＤ）５０６と導通している。本実施形態では、第１の溝５０３が第１の側面Ｗ１に形成された第１の共通電極８０２だけに連通し、第２の溝５０４が第２の側面Ｗ２に形成された第２の共通電極８０３だけに連通している。このため、第１の実施形態の工程（ｅ）のような、第１及び第２の側面Ｗ１，Ｗ２で第１の共通電極８０２と第２の共通電極８０３を分離する工程は不要である。   In step (e), as shown in FIG. 9 (e), as in the first embodiment, a separated metal film is formed on the second major surface S2, and the first common electrode 802 and the second Common electrode 803 is formed. The first common electrode 802 formed on the second main surface S2 is electrically connected to the first electrode (SIG) 505 via the first common electrode 802 formed on the first side surface W1. The second common electrode 803 is electrically connected to the second electrode (GND) 506 through the second common electrode 803 formed on the second side surface W2. In the present embodiment, the first groove 503 communicates only with the first common electrode 802 formed on the first side face W1, and the second common groove 504 is formed on the second side face W2. Only the electrode 803 communicates. Therefore, the step of separating the first common electrode 802 and the second common electrode 803 by the first and second side surfaces W1, W2 as in step (e) of the first embodiment is unnecessary.

工程（ｆ）では、図９（ｆ）に示すように、隔壁５１３及び底板５１４の分極処理を行う。分極処理の方法は第１の実施形態と同様である。   In the step (f), as shown in FIG. 9F, the partition 513 and the bottom plate 514 are polarized. The method of polarization processing is the same as in the first embodiment.

工程（ｇ）では、図９（ｇ）に示すように、第１の溝５０３が第１の側面Ｗ１と反対側の側面まで達するように、ダイシングブレード９０１によって圧電プレートの第２の側面Ｗ２側の部分が除去される。第１の溝５０３は個別液室１１として機能するので両側の側面と連通する必要がある。このとき、第２の側面Ｗ２上の第２の共通電極８０３も除去される。除去方法としてはダイシングのほか、研磨やレーザーアブレーションなどが挙げられる。この結果、各第２の溝５０４内の第２の電極（ＧＮＤ）５０６及び第２の主面Ｓ２の第２の共通電極８０３は電気的に互いに分離される。   In step (g), as shown in FIG. 9 (g), the dicing blade 901 causes the second side surface W2 side of the piezoelectric plate to reach the side surface opposite to the first side surface W1 as shown in FIG. Are removed. Since the first groove 503 functions as the individual liquid chamber 11, it is necessary to communicate with the side surfaces on both sides. At this time, the second common electrode 803 on the second side surface W2 is also removed. Removal methods include dicing, polishing and laser ablation. As a result, the second electrode (GND) 506 in each second groove 504 and the second common electrode 803 on the second main surface S2 are electrically separated from each other.

工程（ｈ）では、図９（ｈ）に示すように、第１の側面Ｗ１上の第１の共通電極８０２を除去する。除去方法としてはダイシング、研磨やレーザーアブレーションなどが挙げられる。この工程によって第１の側面Ｗ１上の第１の共通電極８０２が除去されるため、各第１の溝５０３内の第１の電極（ＳＩＧ）５０５は電気的に互いに分離される。   In step (h), as shown in FIG. 9 (h), the first common electrode 802 on the first side surface W1 is removed. Examples of the removal method include dicing, polishing, and laser ablation. Since the first common electrode 802 on the first side surface W1 is removed by this step, the first electrodes (SIG) 505 in each first groove 503 are electrically separated from each other.

上述した液体吐出ヘッドの製造方法を用いることによって、第１の空気室１２となる第２の溝５０４が第１の側面Ｗ１に連通しない形状で分極処理を行うことが可能となる。図５（ｂ）に示すように、圧電プレートを積層接着して、個別液室１１である第１の溝５０３を２次元アレー状に配列する際、各個別液室１１からの個別配線は積層した圧電プレートの側面から引き出す必要があり、そのための配線スペースを確保する必要がある。本実施形態によれば、積層接着された圧電プレートの第１の側面Ｗ１上に第１の空気室１２となる第２の溝５０４が形成されないため、そのスペースを配線スペースとして充当することができ、各個別液室１１からの配線引き出しが容易となる。   By using the manufacturing method of the liquid discharge head described above, the polarization process can be performed in a shape in which the second groove 504 serving as the first air chamber 12 does not communicate with the first side surface W1. As shown in FIG. 5B, when the piezoelectric plates are laminated and bonded, and the first grooves 503 that are the individual liquid chambers 11 are arranged in a two-dimensional array, the individual wirings from the individual liquid chambers 11 are laminated. It is necessary to pull out from the side surface of the piezoelectric plate, and it is necessary to secure a wiring space for that purpose. According to the present embodiment, since the second groove 504 that becomes the first air chamber 12 is not formed on the first side face W1 of the laminated and bonded piezoelectric plate, the space can be used as a wiring space. In addition, the wiring drawing from each individual liquid chamber 11 becomes easy.

（第３の実施形態）
液体吐出ヘッド３０３を構成する第１の圧電プレート５０１の、第３の実施形態に係る製造方法について説明する。本実施形態に係る第１の圧電プレート５０１の製造方法を、図１０（ａ）〜（ｈ）の斜視図に示す。本実施形態は第２の実施形態の一部を変更したものであり、説明のない点は第２の実施形態と同様である。 (Third embodiment)
A manufacturing method according to the third embodiment of the first piezoelectric plate 501 constituting the liquid discharge head 303 will be described. A manufacturing method of the first piezoelectric plate 501 according to the present embodiment is shown in the perspective views of FIGS. This embodiment is obtained by changing a part of the second embodiment, and the points not described are the same as those of the second embodiment.

第２の実施形態では、第１及び第２の溝の形成と、溝内への電極形成を行った後に、第２の主面Ｓ２に共通電極を形成していたが、本実施形態では第２の主面Ｓ２に共通電極を形成し、その後で第１及び第２の溝の形成と溝内への電極形成を行う。すなわち、本実施形態では、図９の工程（ｅ）が工程（ｂ）として実施され、それ以外の工程については図９と同じ順序で行われる。   In the second embodiment, after the formation of the first and second grooves and the formation of the electrode in the groove, the common electrode is formed on the second main surface S2. A common electrode is formed on the two main surfaces S2, and then the first and second grooves are formed and the electrodes are formed in the grooves. That is, in the present embodiment, step (e) in FIG. 9 is performed as step (b), and the other steps are performed in the same order as in FIG.

第２の実施形態と異なる他の点は、工程（ｅ）（図１０（ｅ））において、第１の主面Ｓ１の第１及び第２の溝５０３，５０４が形成されている部分とは異なる位置に、第１の電極パッド１１０１及び第２の電極パッド１１０２が形成されることである。これらの電極パッド１１０１，１１０２は、第１及び第２の溝５０３，５０４内に第１の電極（ＳＩＧ）５０５及び第２の電極（ＧＮＤ）５０６を形成する際に同時に形成され、工程（ｆ）（図１０（ｆ））において分極時の電極パッドとして用いられる。第１の電極パッド１１０１は第１の側面Ｗ１上に形成された第１の共通電極８０２と導通し、第２の電極パッド１１０２は第２の側面Ｗ２上に形成された第２の共通電極８０３と導通するように形成される。工程（ｆ）における分極処理は、この第１の電極パッド１１０１、第２の電極パッド１１０２に電源装置８０７を配線し行うことができる。   Another difference from the second embodiment is that in the step (e) (FIG. 10 (e)), the portion where the first and second grooves 503 and 504 of the first main surface S1 are formed. The first electrode pad 1101 and the second electrode pad 1102 are formed at different positions. These electrode pads 1101 and 1102 are formed simultaneously with the formation of the first electrode (SIG) 505 and the second electrode (GND) 506 in the first and second grooves 503 and 504, and the step (f ) (FIG. 10 (f)), it is used as an electrode pad during polarization. The first electrode pad 1101 is electrically connected to the first common electrode 802 formed on the first side surface W1, and the second electrode pad 1102 is the second common electrode 803 formed on the second side surface W2. It is formed so as to be conductive. The polarization process in the step (f) can be performed by wiring the power supply device 807 to the first electrode pad 1101 and the second electrode pad 1102.

上述した液体吐出ヘッドの製造方法によれば、第２の主面Ｓ２の共通電極を形成した後に圧電プレートを反転することなく工程を進めることができる。ＰＺＴのような圧電セラミックスは脆性材料であり、工程途中のハンドリングに注意を要する。特に、圧電プレートに溝を形成した後は圧電プレート自体が非常に脆弱になるため、工程途中のハンドリングの際に圧電プレート自体が破損するおそれがある。本実施形態の製造方法では、第２の主面Ｓ２に共通電極を形成した後に、圧電プレートよりも剛性の高いハンドリング用の支持基板（不図示）に圧電プレートを仮接着して、以降の製造工程を進めることができる。上述した第１の電極パッド１１０１、第２の電極パッド１１０２は第１の実施形態と組み合わせることもできる。   According to the manufacturing method of the liquid discharge head described above, the process can be performed without inverting the piezoelectric plate after forming the common electrode of the second main surface S2. Piezoelectric ceramics such as PZT are brittle materials, and care must be taken during handling. In particular, after the grooves are formed in the piezoelectric plate, the piezoelectric plate itself becomes very fragile. Therefore, the piezoelectric plate itself may be damaged during handling during the process. In the manufacturing method of the present embodiment, after the common electrode is formed on the second main surface S2, the piezoelectric plate is temporarily bonded to a handling support substrate (not shown) having rigidity higher than that of the piezoelectric plate, and the subsequent manufacturing is performed. The process can proceed. The first electrode pad 1101 and the second electrode pad 1102 described above can be combined with the first embodiment.

５０５ 第１の電極
５０６ 第２の電極
５１３ 隔壁
８０２ 第１の共通電極
８０３ 第２の共通電極 505 1st electrode 506 2nd electrode 513 Partition 802 1st common electrode 803 2nd common electrode

Claims (8)

第１及び第２の主面と、前記第１及び第２の主面に隣接し互いに対向する第１及び第２の側面と、を有する平板状の圧電プレートの第１の主面に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝を交互に形成する工程と、複数の前記第１の溝の内壁面に第１の電極を形成し、複数の前記第２の溝の内壁面に第２の電極を形成する工程と、複数の前記第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極と、複数の前記第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極と、を形成する工程と、前記第１の共通電極と前記第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、前記第１の溝と前記第２の溝とを仕切る隔壁を分極する工程と、前記分極する工程の後、前記第１の電極が前記第１の溝ごとに分離されかつ前記第２の電極が前記第２の溝ごとに分離されるように、前記第１及び第２の共通電極を除去する工程と、を有し、
前記第２の共通電極の一部は前記第２の主面に形成され、前記分極する工程は、前記第１の溝と前記第２の主面との間の底板を分極することを含む、液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法。 Parallel to the first main surface of the plate-like piezoelectric plate having the first and second main surfaces and the first and second side surfaces adjacent to the first and second main surfaces and facing each other. Forming a plurality of first and second grooves alternately extending at least partially in the length direction, and forming first electrodes on the inner wall surfaces of the plurality of first grooves, Forming a second electrode on an inner wall surface of the plurality of second grooves, a first common electrode electrically connected to the plurality of first electrodes, a plurality of the second electrodes, Forming a second common electrode electrically connected; and applying a voltage between the first common electrode and the second common electrode to thereby form the first groove and the second common electrode. After the step of polarizing the partition wall partitioning the second groove and the step of polarizing, is the first electrode separated for each of the first grooves? As the second electrode is separated for each of the second groove, and a step of removing the first and second common electrode,
A part of the second common electrode is formed on the second main surface, and the step of polarizing includes polarizing a bottom plate between the first groove and the second main surface. A method of manufacturing a piezoelectric plate for a liquid discharge head. 第１及び第２の主面と、前記第１及び第２の主面に隣接し互いに対向する第１及び第２の側面と、を有する平板状の圧電プレートの第１の主面に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝を交互に形成する工程と、複数の前記第１の溝の内壁面に第１の電極を形成し、複数の前記第２の溝の内壁面に第２の電極を形成する工程と、複数の前記第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極と、複数の前記第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極と、を形成する工程と、前記第１の共通電極と前記第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、前記第１の溝と前記第２の溝とを仕切る隔壁を分極する工程と、前記分極する工程の後、前記第１の電極が前記第１の溝ごとに分離されかつ前記第２の電極が前記第２の溝ごとに分離されるように、前記第１及び第２の共通電極を除去する工程と、を有し、
前記第１及び第２の溝はそれぞれ前記第１の側面から前記第２の側面まで延びるように形成され、前記第１及び第２の電極並びに前記第１及び第２の共通電極は、前記第１及び第２の溝の前記内壁面並びに前記第１及び第２の側面に金属膜を形成し、その後、前記第１の溝と前記第２の側面との境界部及び前記第２の溝と前記第１の側面との境界部の前記金属膜を除去することによって形成される、液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法。 Parallel to the first main surface of the plate-like piezoelectric plate having the first and second main surfaces and the first and second side surfaces adjacent to the first and second main surfaces and facing each other. Forming a plurality of first and second grooves alternately extending at least partially in the length direction, and forming first electrodes on the inner wall surfaces of the plurality of first grooves, Forming a second electrode on an inner wall surface of the plurality of second grooves, a first common electrode electrically connected to the plurality of first electrodes, a plurality of the second electrodes, Forming a second common electrode electrically connected; and applying a voltage between the first common electrode and the second common electrode to thereby form the first groove and the second common electrode. After the step of polarizing the partition wall partitioning the second groove and the step of polarizing, is the first electrode separated for each of the first grooves? As the second electrode is separated for each of the second groove, and a step of removing the first and second common electrode,
The first and second grooves are formed to extend from the first side surface to the second side surface, respectively, and the first and second electrodes and the first and second common electrodes are the first and second sides, respectively. Forming a metal film on the inner wall surfaces of the first and second grooves and the first and second side surfaces; and thereafter, a boundary between the first groove and the second side surface, and the second groove A method of manufacturing a piezoelectric plate for a liquid discharge head, which is formed by removing the metal film at the boundary with the first side surface. 第１及び第２の主面と、前記第１及び第２の主面に隣接し互いに対向する第１及び第２の側面と、を有する平板状の圧電プレートの第１の主面に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝を交互に形成する工程と、複数の前記第１の溝の内壁面に第１の電極を形成し、複数の前記第２の溝の内壁面に第２の電極を形成する工程と、複数の前記第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極と、複数の前記第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極と、を形成する工程と、前記第１の共通電極と前記第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、前記第１の溝と前記第２の溝とを仕切る隔壁を分極する工程と、前記分極する工程の後、前記第１の電極が前記第１の溝ごとに分離されかつ前記第２の電極が前記第２の溝ごとに分離されるように、前記第１及び第２の共通電極を除去する工程と、を有し、
前記第１の溝が第１の側面から前記第２の側面の手前まで延びるように形成され、前記第２の溝が前記第２の側面から前記第１の側面の手前まで延びるように形成され、前記第１及び第２の電極は、前記第１及び第２の溝の前記内壁面に金属膜を形成することによって形成され、前記第１及び第２の共通電極は前記第１及び第２の側面に金属膜を形成することによって形成され、前記第１及び第２の共通電極を除去する工程では、前記第１の溝が前記第１の側面と反対側の側面まで達するように、前記圧電体の前記第２の側面側の部分が除去される、液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法。 Parallel to the first main surface of the plate-like piezoelectric plate having the first and second main surfaces and the first and second side surfaces adjacent to the first and second main surfaces and facing each other. Forming a plurality of first and second grooves alternately extending at least partially in the length direction, and forming first electrodes on the inner wall surfaces of the plurality of first grooves, Forming a second electrode on an inner wall surface of the plurality of second grooves, a first common electrode electrically connected to the plurality of first electrodes, a plurality of the second electrodes, Forming a second common electrode electrically connected; and applying a voltage between the first common electrode and the second common electrode to thereby form the first groove and the second common electrode. After the step of polarizing the partition wall partitioning the second groove and the step of polarizing, is the first electrode separated for each of the first grooves? As the second electrode is separated for each of the second groove, and a step of removing the first and second common electrode,
The first groove is formed to extend from the first side surface to the front of the second side surface, and the second groove is formed to extend from the second side surface to the front of the first side surface. The first and second electrodes are formed by forming a metal film on the inner wall surfaces of the first and second grooves, and the first and second common electrodes are the first and second electrodes. In the step of removing the first and second common electrodes, the first groove is formed so as to reach the side surface opposite to the first side surface. A method for manufacturing a piezoelectric plate for a liquid discharge head, wherein the second side surface portion of the piezoelectric body is removed. 第１及び第２の主面と、前記第１及び第２の主面に隣接し互いに対向する第１及び第２の側面と、を有する平板状の圧電プレートの第１の主面に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝を交互に形成する工程と、複数の前記第１の溝の内壁面に第１の電極を形成し、複数の前記第２の溝の内壁面に第２の電極を形成する工程と、複数の前記第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極と、複数の前記第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極と、を形成する工程と、前記第１の共通電極と前記第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、前記第１の溝と前記第２の溝とを仕切る隔壁を分極する工程と、前記分極する工程の後、前記第１の電極が前記第１の溝ごとに分離されかつ前記第２の電極が前記第２の溝ごとに分離されるように、前記第１及び第２の共通電極を除去する工程と、を有し、
前記第１の共通電極の一部及び第２の共通電極の一部がともに前記第２の主面上に形成される、液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法。 Parallel to the first main surface of the plate-like piezoelectric plate having the first and second main surfaces and the first and second side surfaces adjacent to the first and second main surfaces and facing each other. Forming a plurality of first and second grooves alternately extending at least partially in the length direction, and forming first electrodes on the inner wall surfaces of the plurality of first grooves, Forming a second electrode on an inner wall surface of the plurality of second grooves, a first common electrode electrically connected to the plurality of first electrodes, a plurality of the second electrodes, Forming a second common electrode electrically connected; and applying a voltage between the first common electrode and the second common electrode to thereby form the first groove and the second common electrode. After the step of polarizing the partition wall partitioning the second groove and the step of polarizing, is the first electrode separated for each of the first grooves? As the second electrode is separated for each of the second groove, and a step of removing the first and second common electrode,
A method of manufacturing a piezoelectric plate for a liquid discharge head, wherein a part of the first common electrode and a part of the second common electrode are both formed on the second main surface. 第１及び第２の主面と、前記第１及び第２の主面に隣接し互いに対向する第１及び第２の側面と、を有する平板状の圧電プレートの第１の主面に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝を交互に形成する工程と、複数の前記第１の溝の内壁面に第１の電極を形成し、複数の前記第２の溝の内壁面に第２の電極を形成する工程と、複数の前記第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極と、複数の前記第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極と、を形成する工程と、前記第１の共通電極と前記第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、前記第１の溝と前記第２の溝とを仕切る隔壁を分極する工程と、前記分極する工程の後、前記第１の電極が前記第１の溝ごとに分離されかつ前記第２の電極が前記第２の溝ごとに分離されるように、前記第１及び第２の共通電極を除去する工程と、を有し、
前記第１の共通電極と導通した第１の電極パッドと、第２の共通電極と導通した第２の電極パッドが前記第１の主面上に形成される、液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法。 Parallel to the first main surface of the plate-like piezoelectric plate having the first and second main surfaces and the first and second side surfaces adjacent to the first and second main surfaces and facing each other. Forming a plurality of first and second grooves alternately extending at least partially in the length direction, and forming first electrodes on the inner wall surfaces of the plurality of first grooves, Forming a second electrode on an inner wall surface of the plurality of second grooves, a first common electrode electrically connected to the plurality of first electrodes, a plurality of the second electrodes, Forming a second common electrode electrically connected; and applying a voltage between the first common electrode and the second common electrode to thereby form the first groove and the second common electrode. After the step of polarizing the partition wall partitioning the second groove and the step of polarizing, is the first electrode separated for each of the first grooves? As the second electrode is separated for each of the second groove, and a step of removing the first and second common electrode,
A piezoelectric plate for a liquid discharge head, wherein a first electrode pad electrically connected to the first common electrode and a second electrode pad electrically connected to a second common electrode are formed on the first main surface. Production method. 前記分極する工程は絶縁性オイル中で行われる、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法。 The method for manufacturing a piezoelectric plate for a liquid discharge head according to claim 1, wherein the step of polarizing is performed in an insulating oil. 第１及び第２の主面と、前記第１及び第２の主面に隣接し互いに対向する第１及び第２の側面と、を有する平板状の圧電プレートの第１の主面に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝を交互に形成する工程と、複数の前記第１の溝の内壁面に第１の電極を形成し、複数の前記第２の溝の内壁面に第２の電極を形成する工程と、複数の前記第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極と、複数の前記第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極と、を形成する工程と、前記第１の共通電極と前記第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、前記第１の溝と前記第２の溝とを仕切る隔壁を分極する工程と、前記分極する工程の後、前記第１の電極が前記第１の溝ごとに分離されかつ前記第２の電極が前記第２の溝ごとに分離されるように、前記第１及び第２の共通電極を除去する工程と、を有する圧電プレートの製造方法によって製造された圧電プレートと、第３の溝が並列して形成された第２の圧電プレートとを、前記第１、第２及び第３の溝が同じ向きに開口するように交互に積層し、前記第１の溝と前記第２の圧電プレートとによって形成される液室と、前記第２の溝と前記第２の圧電プレートとによって形成される第１の空気室と、前記第３の溝と前記第１の圧電プレートとによって形成される第２の空気室とを、前記第２の空気室と前記液室とが積層方向に沿って配列するように形成する工程を有する、液体吐出ヘッドの製造方法。   Parallel to the first main surface of the plate-like piezoelectric plate having the first and second main surfaces and the first and second side surfaces adjacent to the first and second main surfaces and facing each other. Forming a plurality of first and second grooves alternately extending at least partially in the length direction, and forming first electrodes on the inner wall surfaces of the plurality of first grooves, Forming a second electrode on an inner wall surface of the plurality of second grooves, a first common electrode electrically connected to the plurality of first electrodes, a plurality of the second electrodes, Forming a second common electrode electrically connected; and applying a voltage between the first common electrode and the second common electrode to thereby form the first groove and the second common electrode. After the step of polarizing the partition wall partitioning the second groove and the step of polarizing, is the first electrode separated for each of the first grooves? Removing the first and second common electrodes so that the second electrode is separated for each of the second grooves, and a piezoelectric plate manufactured by a method of manufacturing a piezoelectric plate, A second piezoelectric plate having three grooves formed in parallel, and alternately stacking the first, second, and third grooves so that the first, second, and third grooves open in the same direction. A liquid chamber formed by the second piezoelectric plate, a first air chamber formed by the second groove and the second piezoelectric plate, the third groove and the first piezoelectric plate, And a second air chamber formed by the step of forming the second air chamber and the liquid chamber so that the second air chamber and the liquid chamber are arranged in a stacking direction. 請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法によって製造された圧電プレートと、第３の溝が並列して形成された第２の圧電プレートとを、前記第１、第２及び第３の溝が同じ向きに開口するように交互に積層し、前記第１の溝と前記第２の圧電プレートとによって形成される液室と、前記第２の溝と前記第２の圧電プレートとによって形成される第１の空気室と、前記第３の溝と前記第１の圧電プレートとによって形成される第２の空気室とを、前記第２の空気室と前記液室とが積層方向に沿って配列するように形成する工程を有する、液体吐出ヘッドの製造方法。
 A piezoelectric plate manufactured by the method for manufacturing a piezoelectric plate for a liquid discharge head according to any one of claims 1 to 6, and a second piezoelectric plate in which a third groove is formed in parallel. A liquid chamber formed by the first groove and the second piezoelectric plate, the first groove, the second groove, and the third groove being alternately stacked so as to open in the same direction, and the second groove A first air chamber formed by the second piezoelectric plate and a second air chamber formed by the third groove and the first piezoelectric plate. And a process for forming the liquid chambers so as to be arranged along the stacking direction.
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