JP5980377B2 - ANALOG / DIGITAL CONVERSION CIRCUIT, ANALOG / DIGITAL CONVERSION INSPECTION METHOD, IMAGING DEVICE, IMAGING SYSTEM HAVING IMAGING DEVICE, IMAGING DEVICE INSPECTION METHOD - Google Patents

ANALOG / DIGITAL CONVERSION CIRCUIT, ANALOG / DIGITAL CONVERSION INSPECTION METHOD, IMAGING DEVICE, IMAGING SYSTEM HAVING IMAGING DEVICE, IMAGING DEVICE INSPECTION METHOD Download PDF

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本発明は、比較器とメモリとで構成される回路部を複数有するアナログデジタル変換回路、アナログデジタル変換回路の検査方法、アナログデジタル変換回路を搭載した撮像装置および撮像装置を搭載した撮像システム、撮像装置の検査方法に関するものである。   The present invention relates to an analog-to-digital conversion circuit having a plurality of circuit units each including a comparator and a memory, an inspection method for the analog-to-digital conversion circuit, an imaging device equipped with the analog-digital conversion circuit, an imaging system equipped with the imaging device, and imaging The present invention relates to an apparatus inspection method.

従来、複数列設けられた比較器と、該比較器に電気的に接続された複数列の列メモリとを有し、各列でアナログ信号をデジタル信号に変換する、列並列型のアナログデジタル変換回路(以下、アナログデジタル変換回路をADC、列並列型のADCを列ADCと表記する)が知られている。列ADCが有する列メモリの故障の有無を検査するため、診断ロジック部が検査データを列メモリに書き込む検査モードを有するCMOSイメージセンサが特許文献1に記載されている。   Conventionally, a column parallel type analog-to-digital conversion has a plurality of columns of comparators and a column memory of a plurality of columns electrically connected to the comparators, and converts an analog signal into a digital signal in each column. A circuit (hereinafter, an analog-digital conversion circuit is referred to as an ADC, and a column parallel type ADC is referred to as a column ADC) is known. Patent Document 1 discloses a CMOS image sensor having a test mode in which a diagnostic logic unit writes test data into a column memory in order to test whether or not a column memory included in the column ADC has a failure.

特開平11−331883号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-331883

しかしながら、上述したCMOSイメージセンサが有する検査モードでは、列ADCが有する列メモリのそれぞれに共通の検査データを書き込んでいた。そのため、列メモリ同士でショート故障があったとしても、検査モードで出力される信号はショート故障の無い場合と同じ信号である。従って、列メモリにおけるショート故障を検査により発見することができない課題があった。   However, in the above-described inspection mode of the CMOS image sensor, common inspection data is written in each column memory of the column ADC. Therefore, even if there is a short failure between the column memories, the signal output in the inspection mode is the same signal as when there is no short failure. Therefore, there is a problem that a short fault in the column memory cannot be found by inspection.

本発明の目的は、例えば、複数のメモリ間でのショート故障の有無を検査できる構成を有するADCおよびその検査方法、ADCを有する撮像装置、撮像装置を有する撮像システムを提供することにある。   An object of the present invention is to provide, for example, an ADC having a configuration capable of inspecting the presence or absence of a short fault between a plurality of memories, an inspection method thereof, an imaging device having an ADC, and an imaging system having the imaging device.

本発明は上記の課題を鑑みて為されたものであり、一の態様は、アナログ信号と参照信号との比較結果を示す比較結果信号を出力する比較器と、前記比較結果信号に基づいてデジタル信号を保持するメモリと各々が含む複数の回路部をし、前記アナログ信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換回路であって、前記複数の回路部の各々は前記メモリとして第1のメモリまたは第2のメモリを有するとともに、前記複数の回路部は複数の前記第1のメモリと複数の前記第2のメモリを備え、前記複数の第1のメモリの各々に、第1のデジタル信号を保持させるための第1のテスト信号を供給するとともに、前記複数の第2のメモリの各々に、前記第1のデジタル信号とは異なる信号値の第2のデジタル信号を保持させるための第2のテスト信号を給するテスト信号供給部と、期待値を記憶する出力比較部と、送部と、を備え、前記転送部は、前記第1及び第2のメモリがそれぞれ保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送する第1及び第2の転送回路を有し、前記複数の第1のメモリの各々は、前記第1の転送回路にデジタル信号を転送し、前記複数の第2のメモリの各々は、前記第2の転送回路にデジタル信号を転送し、前記テスト信号供給部が前記複数の第1のメモリに前記第1のテスト信号を供給し、前記複数の第2のメモリに前記第2のテスト信号を供給した後、前記第1の転送回路は前記複数の第1のメモリの各々が保持したデジタル信号を前記出力比較部に連続して転送し、前記第2の転送回路は前記複数の第2のメモリが保持したデジタル信号を前記出力比較部に連続して転送し、
前記出力比較部は、前記第1の転送回路から転送される前記第1のデジタル信号と、前記第2の転送回路から転送される前記第2のデジタル信号のそれぞれと、前記期待値とを比較することを特徴とするアナログデジタル変換回路である。
The present invention has been made in view of the above problems, and one aspect thereof is a comparator that outputs a comparison result signal indicating a comparison result between an analog signal and a reference signal, and a digital signal based on the comparison result signal. have a plurality of circuit units each comprising a memory and to hold a signal, the analog signal an analog-digital converter into a digital signal, each of the plurality of circuit portions first as the memory A plurality of first memories and a plurality of second memories, and each of the plurality of first memories includes a first digital signal. supplies the first test signal for holding the, in each of the plurality of second memory, for holding the second digital signals of different signal values from said first digital signal Comprising a test signal supply unit for supply supplying the second test signal, and an output comparator unit for storing an expected value, and the transfer portion, the transfer unit, a digital to the first and second memory are respectively held First and second transfer circuits for transferring a signal to the output comparison unit; each of the plurality of first memories transfers a digital signal to the first transfer circuit; Each of the memories transfers a digital signal to the second transfer circuit, the test signal supply unit supplies the first test signal to the plurality of first memories, and the plurality of second memories. After the second test signal is supplied to the first transfer circuit, the first transfer circuit continuously transfers the digital signal held in each of the plurality of first memories to the output comparison unit, and the second transfer The circuit is a digital signal held in the plurality of second memories. It was continuously transferred to the output comparator unit,
The output comparison unit compares the expected value with each of the first digital signal transferred from the first transfer circuit and the second digital signal transferred from the second transfer circuit. The analog-digital conversion circuit is characterized in that:

別の態様は、アナログ信号と参照信号との比較結果を示す比較結果信号を出力する比較器と、前記比較結果信号に基づいてデジタル信号を保持するメモリと各々が含む複数の回路部をし、前記アナログ信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換回路であって、前記複数の回路部の各々は前記メモリとして第1のメモリまたは第2のメモリを有するとともに、前記複数の回路部は複数の前記第1のメモリと複数の前記第2のメモリを備え、前記複数の第1のメモリの各々に、第1のデジタル信号を保持させるための第1のテスト信号を供給するとともに、前記複数の第2のメモリの各々に、前記第1のデジタル信号とは異なる信号値の第2のデジタル信号を保持させるための第2のテスト信号を給するテスト信号供給部と、出力比較部と、転送部とを備え、前記転送部は、前記第1及び第2のメモリがそれぞれ保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送する第1及び第2の転送回路を有し、前記複数の第1のメモリは、前記第1の転送回路にデジタル信号を転送する前記第1のメモリと、前記第2の転送回路にデジタル信号を転送する前記第1のメモリとを含み、前記複数の第2のメモリは、前記第1の転送回路にデジタル信号を転送する前記第2のメモリと、前記第2の転送回路にデジタル信号を転送する前記第2のメモリとを含み、前記テスト信号供給部が前記複数の第1のメモリに前記第1のテスト信号を供給し、前記複数の第2のメモリに前記第2のテスト信号を供給した後、前記第1の転送回路は前記第1のメモリが保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送した後に前記第2のメモリが保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送し、前記第2の転送回路は前記第1のメモリが保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送した後に前記第2のメモリが保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送し、前記出力比較部は、前記第1の転送回路から転送される前記第1のデジタル信号と前記第2の転送回路から転送される前記第1のデジタル信号とを比較し、前記第1の転送回路から転送される前記第2のデジタル信号と前記第2の転送回路から転送される前記第2のデジタル信号とを比較することを特徴とするアナログデジタル変換回路である。 Another embodiment is a comparator for outputting a comparison result signal indicating a comparison result between the analog signal and the reference signal, a memory for holding the digital signal based on the comparison result signal, a plurality of circuit units each comprising Yes, and the analog signal an analog-digital converter into a digital signal, with each of said plurality of circuit sections includes a first memory or the second memory as the memory, the plurality of circuit portions comprising a plurality of said first memory and a plurality of the second memory, to each of the plurality of first memory supplies the first test signal for holding the first digital signal, said to each of the plurality of second memory, and a test signal supply unit for supplying subjected to a second test signal for holding the second digital signals of different signal values from said first digital signal, Comprising a force comparing unit, and a transfer unit, the transfer unit includes a first and a second transfer circuit for transferring digital signals the first and second memory are respectively held in the output comparator unit, The plurality of first memories include the first memory for transferring a digital signal to the first transfer circuit, and the first memory for transferring a digital signal to the second transfer circuit, The plurality of second memories include the second memory that transfers a digital signal to the first transfer circuit, and the second memory that transfers a digital signal to the second transfer circuit, and the test After the signal supply unit supplies the first test signal to the plurality of first memories and supplies the second test signal to the plurality of second memories, the first transfer circuit includes the first test signal. 1 outputs the digital signal held in the memory The digital signal held in the second memory after being transferred to the comparison unit is transferred to the output comparison unit, and the second transfer circuit transfers the digital signal held in the first memory to the output comparison unit. Later, the digital signal held in the second memory is transferred to the output comparison unit, and the output comparison unit receives the first digital signal transferred from the first transfer circuit and the second transfer circuit. The first digital signal transferred is compared, and the second digital signal transferred from the first transfer circuit is compared with the second digital signal transferred from the second transfer circuit. The analog-digital conversion circuit is characterized in that:

本発明によれば、例えば、メモリ同士のショート故障の有無を検査することができる。   According to the present invention, for example, the presence or absence of a short circuit failure between memories can be inspected.

実施例1に関わる、撮像装置の構成の一例を表した模式図Schematic diagram illustrating an example of the configuration of an imaging apparatus according to the first embodiment 実施例1に関わる、画素の構成および動作の一例を表した模式図Schematic diagram showing an example of the configuration and operation of a pixel related to Example 1 実施例1に関わる、通常モードにおける比較器と選択回路の動作の一例を表した模式図Schematic diagram illustrating an example of the operation of the comparator and the selection circuit in the normal mode according to the first embodiment. 実施例1に関わる、検査モードにおける比較器と選択回路の動作の一例を表した模式図Schematic diagram showing an example of the operation of the comparator and the selection circuit in the inspection mode according to the first embodiment. 実施例1に関わる、通常モードと検査モードのそれぞれにおける列メモリ、水平転送部、水平走査部の動作の一例のタイミング図Timing chart of an example of operations of the column memory, the horizontal transfer unit, and the horizontal scanning unit in each of the normal mode and the inspection mode according to the first embodiment 実施例2に関わる、撮像装置の構成の一例を表した模式図Schematic diagram illustrating an example of the configuration of an imaging apparatus according to the second embodiment 実施例2に関わる、通常モードにおける列メモリ、水平転送部、水平走査部の動作の一例を示したタイミング図FIG. 9 is a timing chart illustrating an example of operations of the column memory, the horizontal transfer unit, and the horizontal scanning unit in the normal mode according to the second embodiment. 実施例2に関わる、検査モード1および検査モード2における比較器と選択回路の動作の一例を示したタイミング図FIG. 5 is a timing diagram illustrating an example of operations of the comparator and the selection circuit in the inspection mode 1 and the inspection mode 2 according to the second embodiment. 実施例2に関わる、検査モード1および検査モード2における列メモリ、水平転送部、水平走査部の動作の一例を示したタイミング図FIG. 6 is a timing chart illustrating an example of operations of the column memory, the horizontal transfer unit, and the horizontal scanning unit in the inspection mode 1 and the inspection mode 2 according to the second embodiment. 実施例3および実施例4に関わる、メモリ部の構成の一例を表した模式図Schematic diagram showing an example of the configuration of the memory unit related to Example 3 and Example 4 実施例5に関わる、撮像システムの構成の一例を表した模式図Schematic diagram illustrating an example of the configuration of an imaging system according to the fifth embodiment

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施例は、列ADCを有する撮像装置に関するものである。以下、図1を参照しながら、本実施例の撮像装置の構成について説明する。   This embodiment relates to an imaging apparatus having a column ADC. Hereinafter, the configuration of the imaging apparatus of the present embodiment will be described with reference to FIG.

本実施例は、撮像部としての画素部200、垂直走査部202を有している。画素部200は、撮像装置に入射した光をアナログ信号である電気信号に変換する画素201が複数列、複数行配置されている。画素201は、入射した光を電荷に変換する光電変換を行う光電変換部を有している。垂直走査部202は、垂直選択信号線203、204の信号レベルを順次Highレベル(以下、Hレベルと表記する)とすることによって画素部200を水平方向に分割した行を選択する。つまり、垂直選択信号線203の信号レベルがHレベルとなることによって画素11〜18が選択される。同様に、垂直選択信号線204の信号レベルがHレベルとなることによって画素21〜28が選択される。垂直走査部202で選択された行を構成する画素に蓄積された電気信号は、行単位で画素11〜18の各々から信号線101〜108の各々に出力される。信号線に出力される電気信号を画素信号と呼ぶ。   The present embodiment includes a pixel unit 200 and a vertical scanning unit 202 as an imaging unit. In the pixel portion 200, a plurality of columns 201 and a plurality of rows of pixels 201 that convert light incident on the imaging device into an electrical signal that is an analog signal are arranged. The pixel 201 includes a photoelectric conversion unit that performs photoelectric conversion that converts incident light into electric charges. The vertical scanning unit 202 selects a row obtained by dividing the pixel unit 200 in the horizontal direction by sequentially setting the signal levels of the vertical selection signal lines 203 and 204 to a high level (hereinafter referred to as an H level). That is, the pixels 11 to 18 are selected when the signal level of the vertical selection signal line 203 becomes H level. Similarly, when the signal level of the vertical selection signal line 204 becomes H level, the pixels 21 to 28 are selected. The electrical signal accumulated in the pixels constituting the row selected by the vertical scanning unit 202 is output from each of the pixels 11 to 18 to each of the signal lines 101 to 108 in units of rows. An electric signal output to the signal line is called a pixel signal.

画素信号を出力する画素の一例として図2(a)に例示した画素を説明する。図2(a)は図1に記載した、画素部200のうちの2行8列の画素11〜18,21〜28、垂直走査部202、信号線101〜108を部分的に示したものである。画素部200に含まれる画素201の具体的な構成を画素11に示した。画素201は、光電変換部501、転送MOSトランジスタ502、リセットMOSトランジスタ503、フローティングディフージョン部(以下、FD部と表記する)504、増幅MOSトランジスタ505、選択MOSトランジスタ506を有している。光電変換部501は入射光を電荷に変換する。ここでは例としてフォトダイオードを示している。転送MOSトランジスタ502は、フォトダイオード501の電荷をFD部504に転送する。転送MOSトランジスタ502のゲートと、画素201を行ごとに走査する垂直走査部202とが転送信号線508を介して接続されている。   The pixel illustrated in FIG. 2A will be described as an example of a pixel that outputs a pixel signal. 2A partially shows the pixels 11 to 18, 21 to 28 of 2 rows and 8 columns of the pixel unit 200, the vertical scanning unit 202, and the signal lines 101 to 108 shown in FIG. is there. A specific configuration of the pixel 201 included in the pixel portion 200 is shown in the pixel 11. The pixel 201 includes a photoelectric conversion unit 501, a transfer MOS transistor 502, a reset MOS transistor 503, a floating diffusion unit (hereinafter referred to as an FD unit) 504, an amplification MOS transistor 505, and a selection MOS transistor 506. The photoelectric conversion unit 501 converts incident light into electric charges. Here, a photodiode is shown as an example. The transfer MOS transistor 502 transfers the charge of the photodiode 501 to the FD unit 504. The gate of the transfer MOS transistor 502 and the vertical scanning unit 202 that scans the pixels 201 row by row are connected via a transfer signal line 508.

FD部504は、増幅MOSトランジスタ505のゲートと電気的に接続されている。増幅MOSトランジスタ505は、FD部504の電荷に基づいて信号を増幅して出力する。増幅MOSトランジスタ505のドレインには電源電圧Vddが供給され、ソースは選択MOSトランジスタ506のソースに電気的に接続されている。選択MOSトランジスタ506は、増幅MOSトランジスタ505と信号線101の間の電気的経路に設けられており、ゲートは垂直選択信号線203を介して垂直走査部202と電気的に接続されている。   The FD portion 504 is electrically connected to the gate of the amplification MOS transistor 505. The amplification MOS transistor 505 amplifies and outputs a signal based on the charge of the FD unit 504. The power supply voltage Vdd is supplied to the drain of the amplification MOS transistor 505, and the source is electrically connected to the source of the selection MOS transistor 506. The selection MOS transistor 506 is provided in an electrical path between the amplification MOS transistor 505 and the signal line 101, and the gate is electrically connected to the vertical scanning unit 202 via the vertical selection signal line 203.

リセットMOSトランジスタ503は、ソースがFD部504と電気的に接続し、ドレインには電源電圧Vddが供給されている。つまり、増幅MOSトランジスタ505とリセットMOSトランジスタ503のそれぞれのドレイン電圧は共通の電源電圧Vddに設定されている。また、リセットMOSトランジスタ503のゲートはリセット信号線507を介して垂直走査部202に電気的に接続されている。リセットMOSトランジスタ503は、垂直走査部202からリセットパルスが印加された時に、FD部504の電位のリセットを行う。増幅MOSトランジスタ505が出力した画素信号は、選択MOSトランジスタ506を介して信号線101に出力される。   The reset MOS transistor 503 has a source electrically connected to the FD unit 504 and a drain supplied with the power supply voltage Vdd. That is, the drain voltages of the amplification MOS transistor 505 and the reset MOS transistor 503 are set to a common power supply voltage Vdd. The gate of the reset MOS transistor 503 is electrically connected to the vertical scanning unit 202 via the reset signal line 507. The reset MOS transistor 503 resets the potential of the FD unit 504 when a reset pulse is applied from the vertical scanning unit 202. The pixel signal output from the amplification MOS transistor 505 is output to the signal line 101 via the selection MOS transistor 506.

信号線101〜108は列ADCに接続されている。本実施例の列ADCは、複数列の比較器301〜308を含む比較部210、選択回路121〜128を含む選択部、複数の列メモリ401〜408を含むメモリ部230を有している。比較器301〜308のそれぞれには、アナログ信号を伝送する信号線101〜108と、ランプ電圧供給部212とが電気的に接続されている。ランプ電圧供給部212はランプ電圧rmpを生成し、ランプ信号線213を介して比較器301〜308に供給する。ランプ電圧rmpとは、信号線101〜108によって伝送されるアナログ信号と比較される参照信号である。比較器301〜308はそれぞれ、比較器出力線111〜118を介して選択回路121〜128にアナログ信号とランプ電圧rmpとの比較結果を示す比較結果信号を出力する。選択回路121〜128は、さらに列メモリ401〜408のそれぞれと、テスト信号供給線214、215を介してテスト信号供給部221とに電気的に接続されている。回路部は列メモリと比較器を含んで構成されている。例えば図1の左から数えて1列目の回路部は、列メモリ401と比較器301とを含んで構成されている。本実施例の列ADCは、8列の回路部が並んで設けられている。即ち、列メモリ401〜408は並んで設けられており、同様に、比較器301〜308についても並んで設けられている。テスト信号供給部221は、第1のテスト信号Ctr1、第2のテスト信号Ctr2、モード選択信号SELを選択回路121〜128に供給する。選択回路121〜128は、モード選択信号SELの信号に応じて、比較器301〜308と、第1及び第2のテスト信号Ctr1、Ctr2とのいずれかの信号を選択して選択回路出力線131〜138を介して列メモリ401〜408に出力する。列メモリ401〜408には、さらに水平転送部240が列メモリ出力線141〜148を介して電気的に接続されている。水平転送部240には、水平走査部250からの水平選択信号が水平選択信号線151〜158を介して供給される。水平走査部250から供給される水平選択信号に基づいて、列メモリ401〜408に記憶されたデジタル信号が水平転送部240に出力される。列メモリ401〜408に記憶されたデジタル信号は、水平転送部240によって出力信号線290に出力される。判定部300は出力信号線290に出力された信号を読み取る。判定部300は出力比較部の一例である。判定部300が有する不図示のメモリは、テスト信号供給部221が判定部供給線216を介して判定部300に供給するテスト信号に基づいてデジタル信号を記憶し、故障の有無の判定の基準となる期待値とする。判定部300はこの期待値と、出力信号線290に出力された信号とを比較し、故障を判定する。   The signal lines 101 to 108 are connected to the column ADC. The column ADC of this embodiment includes a comparison unit 210 including a plurality of columns of comparators 301 to 308, a selection unit including selection circuits 121 to 128, and a memory unit 230 including a plurality of column memories 401 to 408. Each of the comparators 301 to 308 is electrically connected to signal lines 101 to 108 for transmitting an analog signal and a lamp voltage supply unit 212. The ramp voltage supply unit 212 generates a ramp voltage rmp and supplies it to the comparators 301 to 308 via the ramp signal line 213. The ramp voltage rmp is a reference signal that is compared with an analog signal transmitted through the signal lines 101 to 108. The comparators 301 to 308 output comparison result signals indicating the comparison results of the analog signal and the ramp voltage rmp to the selection circuits 121 to 128 via the comparator output lines 111 to 118, respectively. The selection circuits 121 to 128 are further electrically connected to the column memories 401 to 408 and the test signal supply unit 221 via the test signal supply lines 214 and 215, respectively. The circuit unit includes a column memory and a comparator. For example, the circuit section in the first column as counted from the left in FIG. 1 includes a column memory 401 and a comparator 301. The column ADC of the present embodiment is provided with eight columns of circuit portions arranged side by side. That is, the column memories 401 to 408 are provided side by side, and similarly, the comparators 301 to 308 are also provided side by side. The test signal supply unit 221 supplies the first test signal Ctr1, the second test signal Ctr2, and the mode selection signal SEL to the selection circuits 121 to 128. The selection circuits 121 to 128 select one of the comparators 301 to 308 and the first and second test signals Ctr1 and Ctr2 according to the signal of the mode selection signal SEL and select the selection circuit output line 131. Are output to the column memories 401 to 408 via .about.138. A horizontal transfer unit 240 is further electrically connected to the column memories 401 to 408 via column memory output lines 141 to 148. A horizontal selection signal from the horizontal scanning unit 250 is supplied to the horizontal transfer unit 240 via horizontal selection signal lines 151 to 158. Based on the horizontal selection signal supplied from the horizontal scanning unit 250, the digital signals stored in the column memories 401 to 408 are output to the horizontal transfer unit 240. The digital signals stored in the column memories 401 to 408 are output to the output signal line 290 by the horizontal transfer unit 240. The determination unit 300 reads the signal output to the output signal line 290. The determination unit 300 is an example of an output comparison unit. A memory (not shown) included in the determination unit 300 stores a digital signal based on a test signal supplied from the test signal supply unit 221 to the determination unit 300 via the determination unit supply line 216, and is used as a reference for determining whether there is a failure. Is expected value. The determination unit 300 compares this expected value with the signal output to the output signal line 290 to determine a failure.

次に図2(b)に例示したタイミング図を用いて、画素部200に含まれる画素の動作を説明する。   Next, the operation of the pixels included in the pixel portion 200 will be described with reference to the timing chart illustrated in FIG.

図2(b)に示したPSELは垂直選択信号線203を介して選択MOSトランジスタ506のゲートに印加されるパルスである。PRESはリセット信号線507を介してリセットMOSトランジスタ503のゲートに印加されるリセットパルスである。PTXは転送信号線508を介して転送MOSトランジスタ502のゲートに印加されるパルスである。VfdはFD部504の電位、Vlineは信号線101の電位を示している。   PSEL shown in FIG. 2B is a pulse applied to the gate of the selection MOS transistor 506 via the vertical selection signal line 203. PRES is a reset pulse applied to the gate of the reset MOS transistor 503 via the reset signal line 507. PTX is a pulse applied to the gate of the transfer MOS transistor 502 via the transfer signal line 508. Vfd represents the potential of the FD portion 504, and Vline represents the potential of the signal line 101.

時刻t_aでは、PRESはHighレベル(以下、Hレベルと表記する)の状態であり、PTXはLowレベル(以下、Lレベルと表記する)である。選択した画素の行のPSELをHレベルとして選択MOSトランジスタ506をONすることにより、増幅MOSトランジスタ505で増幅された画素信号が信号線101に出力される。   At time t_a, PRES is at a high level (hereinafter referred to as H level), and PTX is at a low level (hereinafter referred to as L level). The pixel signal amplified by the amplification MOS transistor 505 is output to the signal line 101 by turning on the selection MOS transistor 506 by setting the PSEL in the selected pixel row to the H level.

時刻t_aの時、PRESはHレベルの状態であるので、FD部504がリセットされている。FD部504のリセット後の電位に基づく画素信号が増幅MOSトランジスタ505により増幅出力され、選択MOSトランジスタ506を介して信号線101に出力される。   At time t_a, PRES is in the H level state, so the FD unit 504 is reset. A pixel signal based on the reset potential of the FD unit 504 is amplified by the amplification MOS transistor 505 and output to the signal line 101 via the selection MOS transistor 506.

時刻t_bでPRESをLレベルとすることによりFD部504のリセットを解除する。   By resetting PRES to L level at time t_b, the reset of the FD unit 504 is released.

時刻t_cでPTXをHレベル、時刻t_dでPTXをLレベルとすることにより、フォトダイオード501に蓄積された電荷がFD部504へ転送される。   By setting PTX to H level at time t_c and PTX to L level at time t_d, the charge accumulated in the photodiode 501 is transferred to the FD portion 504.

この時のFD部504の電位に基づく信号が増幅MOSトランジスタ505によって増幅出力され、信号線101に画素信号が出力される。   A signal based on the potential of the FD unit 504 at this time is amplified and output by the amplification MOS transistor 505, and a pixel signal is output to the signal line 101.

時刻t_eでPRESを再びHレベルとすることによりFD部504の電位がリセットされる。垂直走査部202は、1行目の画素11〜18を選択して画素信号を出力させた後、2行目の画素21〜28を選択する。そして、1行目の画素11〜18と同様の動作を行い、2行目の画素21〜28に画素信号を出力させる。   By setting PRES to H level again at time t_e, the potential of the FD portion 504 is reset. The vertical scanning unit 202 selects the pixels 11 to 18 in the first row and outputs pixel signals, and then selects the pixels 21 to 28 in the second row. Then, the same operation as the pixels 11 to 18 in the first row is performed, and pixel signals are output to the pixels 21 to 28 in the second row.

次に図3を参照しながら、図1に例示した撮像装置が有する列ADCの動作について説明する。図3は、図1に例示した撮像装置が有する列ADCのうち、1列目から4列目、即ち比較器301〜304を含む列の動作について例示したものである。   Next, the operation of the column ADC included in the imaging apparatus illustrated in FIG. 1 will be described with reference to FIG. FIG. 3 illustrates the operation of the first to fourth columns, that is, the columns including the comparators 301 to 304 among the column ADCs included in the imaging apparatus illustrated in FIG.

本実施例の撮像装置は、列メモリ401〜408に入力される信号が異なる、通常モードと検査モードの2つのモードで動作しうることを特徴としている。ここでいう通常モードとは、画素信号をAD変換して得たデジタル信号を列メモリ401〜408に書き込むモードを指す。一方、検査モードとは、撮像装置に入射した光に依らず、テスト信号Ctr1、Ctr2を列メモリ401〜408に書き込むモードを指す。検査モードでは、列メモリ401〜408、水平転送部240、水平走査部250の検査を行う。つまり、少なくとも列メモリの検査を行うメモリ検査モードの一例である。   The image pickup apparatus of the present embodiment is characterized in that it can operate in two modes, a normal mode and an inspection mode, in which signals input to the column memories 401 to 408 are different. The normal mode here refers to a mode in which digital signals obtained by AD converting pixel signals are written in the column memories 401 to 408. On the other hand, the inspection mode refers to a mode in which the test signals Ctr1 and Ctr2 are written in the column memories 401 to 408 without depending on the light incident on the imaging device. In the inspection mode, the column memories 401 to 408, the horizontal transfer unit 240, and the horizontal scanning unit 250 are inspected. That is, this is an example of a memory inspection mode in which at least the column memory is inspected.

まず、通常モードについて説明する。   First, the normal mode will be described.

テスト信号供給部221が供給するモード選択信号SELにより選択回路121〜124は選択回路出力線131〜134に、比較器出力線111〜114の信号、テスト信号Ctr1、Ctr2の信号を出力する。つまり、例えば選択回路121は、選択回路出力線131に、比較器出力線111の信号と、第1及び第2のテスト信号Ctr1、Ctr2とのいずれかの信号を出力する。   In response to the mode selection signal SEL supplied by the test signal supply unit 221, the selection circuits 121 to 124 output the signals of the comparator output lines 111 to 114 and the signals of the test signals Ctr 1 and Ctr 2 to the selection circuit output lines 131 to 134. That is, for example, the selection circuit 121 outputs the signal of the comparator output line 111 and one of the first and second test signals Ctr1 and Ctr2 to the selection circuit output line 131.

通常モードにおいては、選択回路121〜124は、比較器出力線111〜114の信号を選択回路出力線131〜134に出力する。   In the normal mode, the selection circuits 121 to 124 output the signals of the comparator output lines 111 to 114 to the selection circuit output lines 131 to 134, respectively.

ランプ電圧供給部212は、時刻t0から時刻t5までの期間にアナログ信号に対応した信号線101〜108の信号レベルと比較するためのランプ電圧rmpを上昇させる。即ち、ランプ電圧rmpは時間に依存して変化する。1列目の比較器301に着目すると、信号線101によって伝送されたアナログ信号と、ランプ信号線213を介して入力されたランプ電圧rmpの大きさを比較する。時刻t1で、ランプ電圧rmpが、信号線101が伝送するアナログ信号よりも大きくなると比較器出力線111の信号レベルは変化する。尚、比較器出力線111の信号レベルは比較器301から出力される、アナログ信号とランプ信号との比較結果を示す比較結果信号である。   The ramp voltage supply unit 212 increases the ramp voltage rmp for comparison with the signal levels of the signal lines 101 to 108 corresponding to the analog signals during the period from time t0 to time t5. That is, the lamp voltage rmp changes depending on time. Focusing on the comparator 301 in the first column, the analog signal transmitted through the signal line 101 is compared with the magnitude of the ramp voltage rmp input through the ramp signal line 213. When the ramp voltage rmp becomes larger than the analog signal transmitted by the signal line 101 at time t1, the signal level of the comparator output line 111 changes. Note that the signal level of the comparator output line 111 is a comparison result signal indicating the comparison result between the analog signal and the ramp signal output from the comparator 301.

図3に例示したタイミング図においては、信号線101〜104によって伝送されるアナログ信号の信号レベルがそれぞれ異なっているものとした。従って、比較器302〜304の比較器出力は時刻t1では変化せず、それぞれの比較器出力が変化する時刻は、供給されるアナログ信号の信号レベルによって異なっている。   In the timing diagram illustrated in FIG. 3, the signal levels of the analog signals transmitted through the signal lines 101 to 104 are different from each other. Therefore, the comparator outputs of the comparators 302 to 304 do not change at time t1, and the time at which each comparator output changes differs depending on the signal level of the supplied analog signal.

以上、比較器301〜304を含む列を例として説明したが、他の比較器305〜308についても比較器301〜304と同様に動作させる。よって、通常モードでは、メモリ部230には比較器出力線111〜118を介して比較器301〜308の比較器出力が入力される。   The column including the comparators 301 to 304 has been described above as an example, but the other comparators 305 to 308 are also operated in the same manner as the comparators 301 to 304. Therefore, in the normal mode, the comparator outputs of the comparators 301 to 308 are input to the memory unit 230 via the comparator output lines 111 to 118.

図3で例示した期間T1〜T4は、ランプ電圧rmpが上昇を開始する時刻t0から、比較器301〜304の比較器出力が変化するまでの期間を表している。メモリ部230では、時刻t0からクロック信号で比較器出力が変化するまでの期間を計数する。クロック信号での計数を開始してから、比較器出力の信号が変化するまでの時間をクロック信号で計数した計数結果であるカウント値(カウント信号)を記憶する。このカウント値が、信号線101〜104のそれぞれが伝送するアナログ信号の信号レベルに相当したデジタル信号として列メモリ401〜404のそれぞれに書き込まれる。以降、説明の簡略化のために、信号線101〜104が伝送するアナログ信号の信号レベルに相当したデジタル信号をそれぞれD1〜D4で表現する。   The periods T1 to T4 illustrated in FIG. 3 represent periods from the time t0 when the ramp voltage rmp starts to rise until the comparator outputs of the comparators 301 to 304 change. The memory unit 230 counts the period from the time t0 until the comparator output changes with the clock signal. A count value (count signal), which is a count result obtained by counting the time from the start of counting with the clock signal until the change of the signal of the comparator output with the clock signal, is stored. This count value is written in each of the column memories 401 to 404 as a digital signal corresponding to the signal level of the analog signal transmitted by each of the signal lines 101 to 104. Hereinafter, for simplification of description, digital signals corresponding to the signal levels of the analog signals transmitted by the signal lines 101 to 104 are represented by D1 to D4, respectively.

図5(a)に通常モードにおけるメモリ部230、水平転送部240、水平走査部250の動作を例示したタイミング図を示す。   FIG. 5A is a timing diagram illustrating operations of the memory unit 230, the horizontal transfer unit 240, and the horizontal scanning unit 250 in the normal mode.

水平走査部250が供給する水平選択信号線151の信号レベルをHighレベル(以下、Hレベルと表記する)とすると、水平転送部240には列メモリ401から列メモリ出力線141を介して水平転送部240に信号が出力される。列メモリ401にはデジタル信号D1が記憶されているので、水平転送部240から出力信号線290に、デジタル信号D1が出力される。同様に、水平選択信号線152〜154の信号レベルをHレベルとすることによって、出力信号線290に、列メモリ401〜404に記憶されているデジタル信号D1〜D4が順次出力される。   Assuming that the signal level of the horizontal selection signal line 151 supplied by the horizontal scanning unit 250 is High level (hereinafter referred to as H level), horizontal transfer is performed from the column memory 401 to the horizontal transfer unit 240 via the column memory output line 141. A signal is output to the unit 240. Since the column memory 401 stores the digital signal D 1, the digital signal D 1 is output from the horizontal transfer unit 240 to the output signal line 290. Similarly, the digital signals D1 to D4 stored in the column memories 401 to 404 are sequentially output to the output signal line 290 by setting the signal levels of the horizontal selection signal lines 152 to 154 to the H level.

次に検査モードについて説明をする。   Next, the inspection mode will be described.

図4に検査モードにおける選択回路121〜124、テスト信号供給部221の動作を例示したタイミング図を示す。   FIG. 4 is a timing chart illustrating operations of the selection circuits 121 to 124 and the test signal supply unit 221 in the inspection mode.

検査モードにおいては、モード選択信号SELにより、選択回路121〜124はテスト信号Ctr1,Ctr2のいずれかの信号を選択回路出力線131〜134を介して列メモリ401〜404に出力する。検査モードでは、隣接する列メモリに異なるテスト信号を印加するように、モード選択信号SELを出力する。従って、図1中、左から数えて奇数列目の選択回路出力線131、133に第1のテスト信号Ctr1が出力される場合では、偶数列目の選択回路出力線132、134に第2のテスト信号Ctr2が出力される。すなわち、複数列の列メモリの交互に第1のテスト信号Ctr1と、第2のテスト信号Ctr2とを入力する。よって、比較器出力線111〜114の信号レベルに関わらず、奇数列目の列メモリ401,403には第1のテスト信号Ctr1、偶数列目の列メモリ402,404には第2のテスト信号Ctr2が入力される。すなわち、第1のテスト信号Ctr1が入力された列メモリの隣に位置する列メモリに、第2のテスト信号Ctr2が入力される。この場合、奇数列の列メモリ401、403が第1のメモリであり、偶数列の列メモリ402,404が第2のメモリである。第1のメモリ401、403のそれぞれは回路部の一部である第1の回路部に含まれ、第2のメモリ402,404のそれぞれは第1の回路部以外の少なくとも一部から成る第2の回路部に含まれている。   In the inspection mode, the selection circuits 121 to 124 output any one of the test signals Ctr1 and Ctr2 to the column memories 401 to 404 via the selection circuit output lines 131 to 134 in response to the mode selection signal SEL. In the inspection mode, the mode selection signal SEL is output so that different test signals are applied to adjacent column memories. Therefore, in FIG. 1, when the first test signal Ctr1 is output to the selection circuit output lines 131 and 133 in the odd columns counted from the left, the second circuit is applied to the selection circuit output lines 132 and 134 in the even columns. A test signal Ctr2 is output. That is, the first test signal Ctr1 and the second test signal Ctr2 are alternately input to the column memories of a plurality of columns. Therefore, regardless of the signal levels of the comparator output lines 111 to 114, the first test signal Ctr1 is stored in the odd column memory 401, 403, and the second test signal is stored in the even column memory 402, 404. Ctr2 is input. That is, the second test signal Ctr2 is input to the column memory located next to the column memory to which the first test signal Ctr1 is input. In this case, the odd-numbered column memory 401, 403 is the first memory, and the even-numbered column memory 402, 404 is the second memory. Each of the first memories 401 and 403 is included in a first circuit part that is a part of the circuit part, and each of the second memories 402 and 404 is a second part that includes at least a part other than the first circuit part. Is included in the circuit section.

図4で例示した期間T1´、T2´は、クロック信号の計数を開始する時刻t0から、テスト信号Ctr1、Ctr2のそれぞれの信号値が変化する時までの期間を表している。メモリ部230では、この期間をクロック信号で計数し、計数結果であるカウント値を記憶することで、テスト信号Ctr1、Ctr2によって表した期間T1´、T2´に相当したデジタル信号が書き込まれる。以降、説明の簡略化のためにテスト信号Ctr1、Ctr2に相当するデジタル信号をそれぞれD1´、D2´で表現する。デジタル信号D1´とデジタル信号D2´は異なる信号値を有するデジタル信号である。   The periods T1 ′ and T2 ′ illustrated in FIG. 4 represent periods from the time t0 when the clock signal counting starts to the time when the signal values of the test signals Ctr1 and Ctr2 change. The memory unit 230 counts this period with a clock signal, and stores a count value as a counting result, so that digital signals corresponding to the periods T1 ′ and T2 ′ represented by the test signals Ctr1 and Ctr2 are written. Hereinafter, for simplification of description, digital signals corresponding to the test signals Ctr1 and Ctr2 are represented by D1 ′ and D2 ′, respectively. The digital signal D1 ′ and the digital signal D2 ′ are digital signals having different signal values.

以上説明した動作を、列メモリ405〜408についても同様に行う。よって、奇数列目の列メモリ401、403、405、407にはデジタル信号D1´が書き込まれ、偶数列目の列メモリ402、404、406、408にはデジタル信号D2´が書き込まれる。   The operation described above is similarly performed for the column memories 405 to 408. Therefore, the digital signal D1 ′ is written in the column memories 401, 403, 405, and 407 of the odd columns, and the digital signal D2 ′ is written in the column memories 402, 404, 406, and 408 of the even columns.

図5(b)に検査モードにおけるメモリ部230、水平転送部240、水平走査部250の動作を例示したタイミング図を示す。   FIG. 5B is a timing diagram illustrating operations of the memory unit 230, the horizontal transfer unit 240, and the horizontal scanning unit 250 in the inspection mode.

水平走査部250が供給する水平選択信号線151の信号レベルをHレベルとし、水平転送部240には列メモリ401が記憶するデジタル信号D1´が転送され、出力信号線290にデジタル信号D1´が出力される。   The signal level of the horizontal selection signal line 151 supplied by the horizontal scanning unit 250 is set to H level, the digital signal D1 ′ stored in the column memory 401 is transferred to the horizontal transfer unit 240, and the digital signal D1 ′ is transferred to the output signal line 290. Is output.

同様に、水平選択信号線152の信号レベルがHレベルであるときは、出力信号線290に列メモリ402に記憶されているデジタル信号D2´が出力される。水平選択信号線152〜154の信号レベルも同様にHレベルとすることによって、出力信号線290に列メモリ401〜404に記憶されているデジタル信号D1´、D2´、D1´、D2´が出力される。   Similarly, when the signal level of the horizontal selection signal line 152 is H level, the digital signal D2 ′ stored in the column memory 402 is output to the output signal line 290. Similarly, by setting the signal levels of the horizontal selection signal lines 152 to 154 to the H level, the digital signals D1 ′, D2 ′, D1 ′, and D2 ′ stored in the column memories 401 to 404 are output to the output signal line 290. Is done.

図1で例示した判定部300では、出力信号線290に出力されたデジタル信号に対してテスト信号Ctr1、Ctr2に相当するデジタル信号D1´、D2´を期待値とした判定処理を行う。出力信号線290に出力されたデジタル信号が期待値と異なる場合は、故障と判定することができる。よって、隣接する列メモリに異なるデジタル信号を書き込むことによって隣接する列メモリ同士でのショート故障の有無を検査することができる。   The determination unit 300 illustrated in FIG. 1 performs determination processing using the digital signals D1 ′ and D2 ′ corresponding to the test signals Ctr1 and Ctr2 as expected values for the digital signal output to the output signal line 290. If the digital signal output to the output signal line 290 is different from the expected value, it can be determined that there is a failure. Therefore, by writing different digital signals to the adjacent column memories, it is possible to inspect whether there is a short failure between the adjacent column memories.

また、本実施例の撮像装置が有する列ADCでは、縮退故障の有無を検査することもできる。例えば、列メモリ401〜408の各々が格納するデータ幅を8ビットとする。1例としてD1´、D2´で表されるデジタル信号をそれぞれ10101010、01010101とするステップと、01010101、10101010とするステップの2つの検査モードを実施する。これにより、メモリ部230を構成する各メモリビットが0→1、1→0に遷移することを判定部300が検査することにより縮退故障の有無を判定できる。   In addition, in the column ADC included in the imaging apparatus of the present embodiment, it is possible to inspect whether there is a stuck-at fault. For example, the data width stored in each of the column memories 401 to 408 is 8 bits. As an example, two inspection modes are implemented: a step in which digital signals represented by D1 ′ and D2 ′ are set to 10101010 and 01010101, and a step in which 01010101 and 10101010 are set, respectively. As a result, the determination unit 300 can determine whether or not a stuck-at fault has occurred by checking that each memory bit configuring the memory unit 230 transitions from 0 → 1, 1 → 0.

更に、水平転送部240で転送するデジタル信号を隣接する列メモリで異なる値とすることにより、水平転送部240の遅延故障も検査することができる。   Further, by setting the digital signal transferred by the horizontal transfer unit 240 to a different value in the adjacent column memory, it is possible to inspect the delay failure of the horizontal transfer unit 240.

更に、水平走査部250が順次列メモリ401〜408を選択して出力する際、水平走査部250に故障が無ければ、デジタル信号はD1´、D2´が出力信号線290に交互に出力される。水平走査部250に故障が生じていた場合には、出力信号線290にD1´、D2´が交互に出力されなくなる。よって、本実施例の判定部300は、デジタル信号D1´、D2´が交互に出力されるか否かに基づいて水平走査部250の故障も検査できる。   Further, when the horizontal scanning unit 250 sequentially selects and outputs the column memories 401 to 408, if the horizontal scanning unit 250 has no failure, the digital signals D1 ′ and D2 ′ are alternately output to the output signal line 290. . If a failure occurs in the horizontal scanning unit 250, D1 ′ and D2 ′ are not alternately output to the output signal line 290. Therefore, the determination unit 300 according to the present embodiment can also check for a failure in the horizontal scanning unit 250 based on whether the digital signals D1 ′ and D2 ′ are alternately output.

本実施例では、テスト信号供給部221から選択回路121〜128を介してメモリ部230にテスト信号を供給する形態を示した。本実施例はこの形態には限定されず、テスト信号供給部221として比較部210が動作し、選択回路121〜128を設けない構成とすることができる。即ち、信号線101〜108が伝送するアナログ信号を次のように設定する。隣接する列メモリ同士で異なるデジタル信号を書き込む場合には、信号線101、103、105、107が伝送するアナログ信号を、比較器301、303、305、307の比較出力が時刻t1´で変化するレベルの信号とすればよい。同様に、信号線102、104、106,108が伝送する画素信号を、比較器302、304、306、308の比較出力が時刻t2´で変化するレベルの信号とすればよい。即ち、第1の比較器は比較器301、303、305、307であり、第2の比較器は比較器302、304、306、308である。このようなアナログ信号を、画素から画素信号として出力させるためには、FD部504の電位を隣接する画素同士で異なる電位にすれば良い。このようにするには例えば、画素11が黒の領域、画素12が白の領域を撮像するような縞模様のテストパターンを含む検査用画像を撮像する。この検査用画像を撮像して画素が出力することにより、検査信号である画素信号が信号線101〜108に出力される。通常モードと同様に検査信号である画素信号をAD変換し、メモリ部230が検査信号である画素信号に基づくデジタル信号を記憶し、出力信号線290にメモリ部230が保持したデジタル信号を読み出す。判定部300が、この出力信号線290に伝送されたデジタル信号と、黒を撮像した場合に得られるデジタル信号あるいは白を撮像した場合に得られるデジタル信号とを比較することによって、メモリ部230の検査することができる。   In the present embodiment, the test signal is supplied from the test signal supply unit 221 to the memory unit 230 via the selection circuits 121 to 128. The present embodiment is not limited to this mode, and the comparison unit 210 operates as the test signal supply unit 221 and the selection circuits 121 to 128 can be omitted. That is, the analog signals transmitted by the signal lines 101 to 108 are set as follows. When different digital signals are written between adjacent column memories, the analog signals transmitted by the signal lines 101, 103, 105, and 107 change the comparison outputs of the comparators 301, 303, 305, and 307 at time t1 ′. A level signal may be used. Similarly, the pixel signals transmitted by the signal lines 102, 104, 106, and 108 may be signals having a level at which the comparison outputs of the comparators 302, 304, 306, and 308 change at time t2 ′. That is, the first comparator is the comparators 301, 303, 305, and 307, and the second comparator is the comparators 302, 304, 306, and 308. In order to output such an analog signal as a pixel signal from a pixel, the potential of the FD portion 504 may be set to a different potential between adjacent pixels. To do this, for example, an inspection image including a striped test pattern that captures a black region of the pixel 11 and a white region of the pixel 12 is captured. When the inspection image is captured and the pixel is output, a pixel signal that is an inspection signal is output to the signal lines 101 to 108. Similarly to the normal mode, the pixel signal that is the inspection signal is AD-converted, the memory unit 230 stores the digital signal based on the pixel signal that is the inspection signal, and the digital signal held by the memory unit 230 is read to the output signal line 290. The determination unit 300 compares the digital signal transmitted to the output signal line 290 with the digital signal obtained when the black image is captured or the digital signal obtained when the white image is captured. Can be inspected.

本実施例では、隣接する列メモリ同士で異なるデジタル信号を書き込む形態を説明した。本実施例は、異なるデジタル信号を書き込むのは隣接する列メモリ同士に限定されない。つまり、複数の列メモリの一部に第1のテスト信号を供給し、複数の列メモリの別の一部に第1のテスト信号とは異なるテスト信号を供給する形態であれば良い。この形態においても、列メモリに入力されたデジタル信号と、判定部300に記憶されたデジタル信号とを比較することによって、列メモリのショート故障の有無を検査することができる。   In the present embodiment, the mode of writing different digital signals between adjacent column memories has been described. In this embodiment, writing different digital signals is not limited to adjacent column memories. That is, the first test signal may be supplied to a part of the plurality of column memories and the test signal different from the first test signal may be supplied to another part of the plurality of column memories. Also in this embodiment, by comparing the digital signal input to the column memory with the digital signal stored in the determination unit 300, the presence or absence of a short fault in the column memory can be inspected.

また、本実施例では2つのデジタル信号を列メモリに書き込む形態を説明した。本実施例はこれに限定されず、3つ以上のテスト信号を用いて、複数列の列メモリに対し、異なる複数のデジタル信号を書き込んでも良い。   In the present embodiment, the mode in which two digital signals are written in the column memory has been described. The present embodiment is not limited to this, and a plurality of different digital signals may be written in a plurality of columns of memory using three or more test signals.

本実施例で説明した列ADCは、時間に依存してランプ電圧rmpが変化してアナログ信号との比較を行う形態として説明した。本実施例の列ADCは、この形態に限定されるものではなく、逐次比較型、巡回型、デルタ―シグマ型、サブレンジング型など他の方式の列ADCであってもよい。即ち比較器がアナログ信号と参照信号とを比較した比較結果を示す比較結果信号を出力するものであれば良い。   The column ADC described in the present embodiment has been described as a mode in which the ramp voltage rmp changes depending on time and is compared with an analog signal. The column ADC of the present embodiment is not limited to this form, and may be a column ADC of another scheme such as a successive approximation type, a cyclic type, a delta-sigma type, and a sub-ranging type. That is, any comparator may be used as long as it outputs a comparison result signal indicating a comparison result obtained by comparing the analog signal with the reference signal.

また、本実施例では比較器が複数列設けられた形態を示したが、例えば図1に例示した列ADCを右回りあるいは左回りに90°回転させたように、比較器が複数行設けられた形態であっても良い。つまり、比較器を複数有するADCであれば良い。   Further, in this embodiment, a configuration in which a plurality of comparators are provided is shown. However, for example, a plurality of comparators are provided so that the column ADC illustrated in FIG. 1 is rotated 90 ° clockwise or counterclockwise. It may be a different form. That is, an ADC having a plurality of comparators may be used.

また、本実施例では水平選択信号線151〜158の信号レベルについて、Hレベルとすることで記憶した信号を転送する列メモリが選択され、Lレベルとすることで非選択となる構成を用いて説明した。しかし、逆にLレベルで記憶した信号を転送する列メモリが選択され、Hレベルで非選択となる構成であってもよい。   Further, in this embodiment, the column memory for transferring the stored signal is selected by setting the signal level of the horizontal selection signal lines 151 to 158 to the H level, and is set to the non-selection by setting the signal level to the L level. explained. However, conversely, a column memory for transferring a signal stored at the L level may be selected and non-selected at the H level.

テスト信号供給部221は、選択回路121〜128が設けられている基板と同一の基板に設けられている形態とすることができる。また、テスト信号供給部221は、選択回路121〜128が設けられた基板の外部に設けられた形態とすることもできる。さらに言えば、モード選択信号SEL、テスト信号Ctr1、Ctr2を供給するそれぞれの配線にスイッチ端子を設け、それらのスイッチ端子を介してテスト信号供給部221とメモリ部230とが電気的に接続する形態であっても良い。この時、モード選択信号SELは、テスト信号供給部221とメモリ部230の電気的な接続が遮断されている時をLレベル、テスト信号供給部221とメモリ部230とが電気的に接続されている時をHレベルとすればよい。   The test signal supply unit 221 may be provided on the same substrate as the substrate on which the selection circuits 121 to 128 are provided. Further, the test signal supply unit 221 may be provided outside the substrate on which the selection circuits 121 to 128 are provided. More specifically, a switch terminal is provided in each wiring for supplying the mode selection signal SEL and the test signals Ctr1 and Ctr2, and the test signal supply unit 221 and the memory unit 230 are electrically connected via the switch terminals. It may be. At this time, the mode selection signal SEL is L level when the electrical connection between the test signal supply unit 221 and the memory unit 230 is cut off, and the test signal supply unit 221 and the memory unit 230 are electrically connected. When it is, the H level may be set.

同様に判定部300についても、メモリ部230が設けられている基板と同一の基板に設けられている形態とすることができる。また、判定部300は、メモリ部230が設けられた基板の外部に設けられた形態とすることができる。さらに言えば、出力信号線290にスイッチ端子を設け、スイッチ端子を介して判定部300と出力信号線290とが電気的に接続する形態であっても良い。この形態の場合、判定部300と出力信号線290の電気的な接続を切り替えることができる。よって、検査モードを行う時に判定部300を出力信号線290に電気的に接続させ、通常モードを行う時では判定部300と出力信号線290との電気的な接続を遮断することができる。   Similarly, the determination unit 300 may be provided on the same substrate as the substrate on which the memory unit 230 is provided. The determination unit 300 may be provided outside the substrate on which the memory unit 230 is provided. In other words, the output signal line 290 may be provided with a switch terminal, and the determination unit 300 and the output signal line 290 may be electrically connected via the switch terminal. In the case of this form, the electrical connection between the determination unit 300 and the output signal line 290 can be switched. Therefore, the determination unit 300 can be electrically connected to the output signal line 290 when performing the inspection mode, and the electrical connection between the determination unit 300 and the output signal line 290 can be interrupted when performing the normal mode.

さらに、テスト信号供給部221と判定部300とを有するテスターを、メモリ部230と出力信号線290のそれぞれに設けられた端子に電気的に接続させて、検査モードを行う形態であっても良い。   Further, the test mode may be performed by electrically connecting a tester having the test signal supply unit 221 and the determination unit 300 to terminals provided in the memory unit 230 and the output signal line 290, respectively. .

本実施例では、出力比較部の一例として判定部300を用いる構成を示した。出力比較部は、故障の有無の判定まで行う必要はなく、出力比較部が記憶したテスト信号と、出力信号線290に出力された信号との比較を行うものであればよい。   In the present embodiment, a configuration in which the determination unit 300 is used as an example of the output comparison unit is shown. The output comparison unit does not need to determine whether or not there is a failure, and may be any unit that compares the test signal stored in the output comparison unit with the signal output to the output signal line 290.

本実施例では、アナログ信号を出力する構成として画素部200、垂直走査部202を有する撮像部を例示して説明した。本実施例は撮像部を有する撮像装置に限定されるものではなく、複数の列メモリを有する列ADCの比較部210にアナログ信号を供給する構成を有する装置であれば、好適に実施することができる。   In the present embodiment, the imaging unit having the pixel unit 200 and the vertical scanning unit 202 has been described as an example of the configuration for outputting an analog signal. This embodiment is not limited to an image pickup apparatus having an image pickup section, and can be suitably implemented as long as the apparatus has a configuration for supplying an analog signal to the comparison section 210 of a column ADC having a plurality of column memories. it can.

本実施例について、実施例1と異なる部分を中心に説明を行う。   The present embodiment will be described with a focus on differences from the first embodiment.

本実施例では、メモリ部230に書き込まれたデジタル信号を2列同時に出力する水平2チャンネル出力を行う構成であり、主に水平転送部240の遅延故障の検査を行う点が実施例1とは異なる。以下、図6を参照しながら、本実施例が実施例1と構成が異なる点について説明する。   The present embodiment is configured to perform horizontal two-channel output that simultaneously outputs two columns of digital signals written in the memory unit 230, and the first embodiment is mainly inspected for a delay fault in the horizontal transfer unit 240. Different. Hereinafter, with reference to FIG. 6, the difference between the present embodiment and the first embodiment will be described.

図6は、本実施例の撮像装置の一例のブロック図である。選択回路121〜128は、4本のテスト信号供給線214〜217のいずれかが1列毎に1本ずつ順に電気的に接続されている。選択回路出力線131〜138には、選択回路121〜128からの信号が出力される。   FIG. 6 is a block diagram of an example of the imaging apparatus according to the present embodiment. In the selection circuits 121 to 128, any one of the four test signal supply lines 214 to 217 is electrically connected in order one by one for each column. Signals from the selection circuits 121 to 128 are output to the selection circuit output lines 131 to 138.

水平転送部240は第1の転送回路241、第2の転送回路242を有している。第1の転送回路241は、第1の出力信号線290にデジタル信号を出力し、第2の転送回路242は第2の出力信号線291にデジタル信号を出力する。   The horizontal transfer unit 240 includes a first transfer circuit 241 and a second transfer circuit 242. The first transfer circuit 241 outputs a digital signal to the first output signal line 290, and the second transfer circuit 242 outputs a digital signal to the second output signal line 291.

本実施例の撮像装置では、アナログ信号をデジタル信号に変換する通常モードに加えて、メモリ部230を検査するモードである検査モード1、主に水平転送部240を検査するモードである検査モード2の2つのモードを時分割で動作することができる。   In the imaging apparatus of the present embodiment, in addition to the normal mode for converting an analog signal into a digital signal, the inspection mode 1 is a mode for inspecting the memory unit 230, and the inspection mode 2 is a mode for mainly inspecting the horizontal transfer unit 240. These two modes can be operated in a time-sharing manner.

まず、通常モードについて説明をする。   First, the normal mode will be described.

通常モードにおける比較部210、ランプ電圧供給部212、メモリ制御部220の動作は、実施例1と同様であるため、タイミング図は省略する。   Since the operations of the comparison unit 210, the lamp voltage supply unit 212, and the memory control unit 220 in the normal mode are the same as those in the first embodiment, the timing diagram is omitted.

図7に通常モードにおけるメモリ部230、水平転送部240、水平走査部250の動作を例示したタイミング図を示す。   FIG. 7 is a timing diagram illustrating operations of the memory unit 230, the horizontal transfer unit 240, and the horizontal scanning unit 250 in the normal mode.

水平転送部240は、第1の転送回路241と第2の転送回路242を含んで構成されている。水平走査部250から出力される水平選択信号線151の信号レベルがHレベルであるとき、第1の転送回路241には列メモリ401が記憶するデジタル信号D1が転送され、第2の転送回路242には列メモリ402が記憶するデジタル信号D2が転送される。これにより、第1の出力信号線290にデジタル信号D1が出力される。同様に第2の出力信号線291には、デジタル信号D2が出力される。次に水平選択信号線152の信号レベルをHレベルとすることによって、同様に第1の出力信号線290と第2の出力信号線291には、列メモリ403、404に記憶されているデジタル信号D3、D4が出力される。   The horizontal transfer unit 240 includes a first transfer circuit 241 and a second transfer circuit 242. When the signal level of the horizontal selection signal line 151 output from the horizontal scanning unit 250 is H level, the digital signal D1 stored in the column memory 401 is transferred to the first transfer circuit 241, and the second transfer circuit 242 is transferred. Is transferred with the digital signal D2 stored in the column memory 402. As a result, the digital signal D1 is output to the first output signal line 290. Similarly, the digital signal D2 is output to the second output signal line 291. Next, by setting the signal level of the horizontal selection signal line 152 to the H level, digital signals stored in the column memories 403 and 404 are similarly applied to the first output signal line 290 and the second output signal line 291. D3 and D4 are output.

次に、メモリ部230を検査するメモリ検査モードである検査モード1について説明をする。   Next, an inspection mode 1 that is a memory inspection mode for inspecting the memory unit 230 will be described.

図8(a)に検査モード1におけるテスト信号供給部221、選択回路121〜128の動作を例示したタイミング図を示す。   FIG. 8A shows a timing diagram illustrating the operation of the test signal supply unit 221 and the selection circuits 121 to 128 in the inspection mode 1.

以下、1〜4列目の選択回路121〜124の動作を例として説明する。1列目の選択回路121は、モード選択信号tstがLレベルである時に比較器出力線111の信号レベルを、Hレベルである時にはテスト信号Ctr1を列メモリ401に出力する。2列目の選択回路122は、モード選択信号tstがLレベルである時に比較器出力線112の信号レベルを、Hレベルである時にはテスト信号Ctr2を列メモリ402に出力する。3列目の選択回路123は、モード選択信号tstがLレベルである時に比較器出力線113の信号レベルを、Hレベルである時にはテスト信号Ctr3を列メモリ403に出力する。4列目の選択回路124は、モード選択信号tstがLレベルである時に比較器出力線114の信号レベルを、Hレベルである時にはテスト信号Ctr4を列メモリ404に出力する。5〜8列目の選択回路125〜128の動作は、それぞれ選択回路121〜124の動作と同様である。   Hereinafter, the operation of the selection circuits 121 to 124 in the first to fourth columns will be described as an example. The selection circuit 121 in the first column outputs the signal level of the comparator output line 111 to the column memory 401 when the mode selection signal tst is at the L level, and the test signal Ctr1 when the mode selection signal tst is at the H level. The selection circuit 122 in the second column outputs the signal level of the comparator output line 112 to the column memory 402 when the mode selection signal tst is at the L level, and the test signal Ctr2 when the mode selection signal tst is at the H level. The selection circuit 123 in the third column outputs the signal level of the comparator output line 113 to the column memory 403 when the mode selection signal tst is at the L level, and the test signal Ctr3 when the mode selection signal tst is at the H level. The selection circuit 124 in the fourth column outputs the signal level of the comparator output line 114 to the column memory 404 when the mode selection signal tst is at the L level, and the test signal Ctr4 when the mode selection signal tst is at the H level. The operations of the selection circuits 125 to 128 in the fifth to eighth columns are the same as the operations of the selection circuits 121 to 124, respectively.

画素部200が信号線101〜104にアナログ信号を出力してから比較器301〜304が比較結果信号を比較器出力線111〜114に出力するまでの動作は、実施例1と同様であるため説明を省略する。   The operations from when the pixel unit 200 outputs an analog signal to the signal lines 101 to 104 until the comparators 301 to 304 output the comparison result signals to the comparator output lines 111 to 114 are the same as in the first embodiment. Description is omitted.

検査モード1においては、モード選択信号tstがHレベルであるので、1列目の選択回路121は、テスト信号Ctr1を選択回路出力線131を介して列メモリ401に出力している。同様に、2〜4列目の選択回路122〜124は、テスト信号Ctr2〜Ctr4を、選択回路出力線132〜134を介してそれぞれ列メモリ402〜404に出力している。   In the inspection mode 1, since the mode selection signal tst is at the H level, the selection circuit 121 in the first column outputs the test signal Ctr1 to the column memory 401 via the selection circuit output line 131. Similarly, the selection circuits 122 to 124 in the second to fourth columns output the test signals Ctr2 to Ctr4 to the column memories 402 to 404 via the selection circuit output lines 132 to 134, respectively.

検査モード1においては、テスト信号Ctr1とCtr3を同じテスト信号とすることができる。同様に、テスト信号Ctr2とCtr4についても同じテスト信号とすることができる。図8(a)で例示した期間T1´は、ランプ電圧rmpが上昇を開始する時刻t0から、テスト信号Ctr1とCtr3が変化するまでの期間を表している。期間T2´は、ランプ電圧rmpが上昇開始してから、テスト信号Ctr2、Ctr4が変化するまでの期間を表している。   In the inspection mode 1, the test signals Ctr1 and Ctr3 can be the same test signal. Similarly, the test signals Ctr2 and Ctr4 can be the same test signal. A period T1 ′ illustrated in FIG. 8A represents a period from the time t0 when the ramp voltage rmp starts to rise until the test signals Ctr1 and Ctr3 change. A period T2 ′ represents a period from when the ramp voltage rmp starts to rise until the test signals Ctr2 and Ctr4 change.

メモリ部230では、時刻t0からテスト信号Ctr1〜Ctr4がそれぞれ変化するまでの期間にカウンタに入力されるクロック信号を計数し、クロック信号の計数結果であるカウント値を記憶する。これにより、テスト信号Ctr1〜Ctr4によって表した期間T1´、T2´に相当するデジタル信号が書き込まれる。以降、テスト信号Ctr1、Ctr3に相当するデジタル信号をD1´、テスト信号Ctr2、Ctr4に相当するデジタル信号をD2´と表す。またこれらのデジタル信号D1´、D2´は予め判定部300にある不図示のメモリに記憶しておき、後述するように故障を判定するための期待値とする。   The memory unit 230 counts the clock signal input to the counter during the period from the time t0 to when the test signals Ctr1 to Ctr4 change, and stores the count value that is the count result of the clock signal. As a result, digital signals corresponding to the periods T1 ′ and T2 ′ represented by the test signals Ctr1 to Ctr4 are written. Hereinafter, digital signals corresponding to the test signals Ctr1 and Ctr3 are represented as D1 ′, and digital signals corresponding to the test signals Ctr2 and Ctr4 are represented as D2 ′. These digital signals D1 ′ and D2 ′ are stored in advance in a memory (not shown) in the determination unit 300, and are set as expected values for determining a failure as will be described later.

以上説明した動作により、図6中の左から数えて奇数列目の列メモリ401、403、405、407にはデジタル信号D1´が書き込まれ、偶数列目の列メモリ402、404、406、408にはデジタル信号D2´が書き込まれる。検査モード1における第1のメモリは列メモリ401,403,405,407であり、第2のメモリは列メモリ402,4094,406,408である。   Through the operation described above, the digital signal D1 ′ is written in the odd-numbered column memories 401, 403, 405, and 407 from the left in FIG. 6, and the even-numbered column memories 402, 404, 406, and 408 are written. Is written with a digital signal D2 ′. The first memories in the inspection mode 1 are column memories 401, 403, 405, and 407, and the second memories are column memories 402, 4094, 406, and 408.

図9(a)に検査モード1におけるメモリ部230、水平転送部240、水平走査部250の動作を例示したタイミング図を示す。   FIG. 9A is a timing diagram illustrating operations of the memory unit 230, the horizontal transfer unit 240, and the horizontal scanning unit 250 in the inspection mode 1.

水平走査部250から出力される水平選択信号線151の信号レベルをHレベルとすると、第1の転送回路241には列メモリ401に記憶されたデジタル信号D1´が転送される。第2の転送回路242には列メモリ402に記憶されたデジタル信号D2´が転送される。これにより、第1の出力信号線290にはデジタル信号D1´が出力され、第2の出力信号線291には、デジタル信号D2´が出力される。同様に、水平選択信号線152〜154の信号レベルを順次Hレベルとすることによって、第1の出力信号線290に、列メモリ403、405、407に記憶されているデジタル信号D1´が出力される。また、第2の出力信号線291に、列メモリ404、406、408に記憶されているデジタル信号D2´が出力される。   When the signal level of the horizontal selection signal line 151 output from the horizontal scanning unit 250 is set to H level, the digital signal D 1 ′ stored in the column memory 401 is transferred to the first transfer circuit 241. The digital signal D <b> 2 ′ stored in the column memory 402 is transferred to the second transfer circuit 242. Thus, the digital signal D1 ′ is output to the first output signal line 290, and the digital signal D2 ′ is output to the second output signal line 291. Similarly, the digital signals D1 ′ stored in the column memories 403, 405, and 407 are output to the first output signal line 290 by sequentially setting the signal levels of the horizontal selection signal lines 152 to 154 to the H level. The Further, the digital signal D2 ′ stored in the column memories 404, 406, and 408 is output to the second output signal line 291.

検査モード1では、第1の出力信号線290に出力される信号は常にデジタル信号D1´、第2の出力信号線291に出力される信号は常にデジタル信号D2´となる。従って、隣接するメモリにはデジタル信号D1´、D2´という互いに異なるデジタル信号を書き込むことができる。水平転送部240が出力信号線290、291に出力する信号はそれぞれデジタル信号D1´、D2´に固定される。   In the inspection mode 1, the signal output to the first output signal line 290 is always the digital signal D1 ′, and the signal output to the second output signal line 291 is always the digital signal D2 ′. Accordingly, different digital signals D1 ′ and D2 ′ can be written in adjacent memories. Signals output by the horizontal transfer unit 240 to the output signal lines 290 and 291 are fixed to digital signals D1 ′ and D2 ′, respectively.

図6で例示した判定部300では、出力信号線290、291に出力された信号に対し、判定部300が有する不図示のメモリが記憶するデジタル信号D1´、D2´を期待値として比較し、故障の有無を判定する。出力信号線290、291に出力された信号が、期待値と異なる場合は、故障として判定することができる。よって、隣接するメモリに互いに異なるデジタル信号を書き込むことによって、隣接するメモリにおけるショート故障を検査することができる。   In the determination unit 300 illustrated in FIG. 6, the digital signals D1 ′ and D2 ′ stored in a memory (not illustrated) included in the determination unit 300 are compared as expected values with respect to the signals output to the output signal lines 290 and 291. Determine if there is a failure. When the signals output to the output signal lines 290 and 291 are different from the expected values, it can be determined as a failure. Therefore, by writing different digital signals to adjacent memories, it is possible to check for a short circuit failure in adjacent memories.

また、本実施例の撮像装置が有する列ADCでは、縮退故障の有無を検査することもできる。例えば、列メモリ401〜408に格納するデータ幅を8ビットとする。1例としてD1´、D2´で表されるデジタル信号の信号値をそれぞれ10101010、01010101とするステップと、01010101、10101010とするステップの2つの検査モードを実施する。これにより、メモリ部230を構成する各メモリビットの0→1、1→0への遷移を検査でき、メモリ部230での縮退故障の有無を検査することができる。   In addition, in the column ADC included in the imaging apparatus of the present embodiment, it is possible to inspect whether there is a stuck-at fault. For example, the data width stored in the column memories 401 to 408 is 8 bits. As an example, two inspection modes, a step of setting signal values of digital signals represented by D1 ′ and D2 ′ to 10101010 and 01010101 and a step of setting 01010101 and 10101010, respectively, are performed. Thereby, the transition from 0 → 1, 1 → 0 of each memory bit constituting the memory unit 230 can be inspected, and the presence or absence of a stuck-at fault in the memory unit 230 can be inspected.

次に、主に水平転送部240を検査する転送部検査モードである検査モード2について説明をする。   Next, inspection mode 2 that is a transfer unit inspection mode for mainly inspecting the horizontal transfer unit 240 will be described.

図8(b)に検査モード2における比較部210、ランプ電圧供給部212、テスト信号供給部221、選択回路121〜128の動作を例示したタイミング図を示す。   FIG. 8B is a timing diagram illustrating operations of the comparison unit 210, the lamp voltage supply unit 212, the test signal supply unit 221, and the selection circuits 121 to 128 in the inspection mode 2.

検査モード1においてモード選択信号tstはHレベルであったが、検査モード2においてもモード選択信号をHレベルとする。検査モード2が、検査モード1と異なる点を説明する。検査モード1では、テスト信号Ctr1、Ctr3に相当するデジタル信号D1´を奇数列目の列メモリ401、403、405、407に記憶させていた。同様に、テスト信号Ctr2、Ctr4に相当するデジタル信号D2´を偶数列目の列メモリ402、404、406、408に記憶させていた。一方、検査モード2では、図8(b)に示すように、テスト信号Ctr1とCtr2を同じテスト信号とすることが好ましい。同様に、テスト信号Ctr3とCtr4とを同じテスト信号とすることが好ましい。列メモリ401〜408がテスト信号Ctr1,Ctr2に相当するデジタル信号D1´、テスト信号Ctr3,Ctr4に相当するデジタル信号D2´を記憶する動作は検査モード1と検査モード2とで共通である。よって、列メモリ401、402、405,406にはデジタル信号D1´、列メモリ403、404、407、408にはデジタル信号D2´が記憶される。すなわち、検査モード2における第1のメモリは列メモリ401,402,405,406であり、第2のメモリは列メモリ403,404,407,408である。   Although the mode selection signal tst is at the H level in the inspection mode 1, the mode selection signal is also set to the H level in the inspection mode 2. The difference between the inspection mode 2 and the inspection mode 1 will be described. In the inspection mode 1, the digital signal D1 ′ corresponding to the test signals Ctr1 and Ctr3 is stored in the column memories 401, 403, 405, and 407 of the odd columns. Similarly, the digital signals D2 ′ corresponding to the test signals Ctr2 and Ctr4 are stored in the column memories 402, 404, 406, and 408 of even-numbered columns. On the other hand, in the inspection mode 2, as shown in FIG. 8B, it is preferable that the test signals Ctr1 and Ctr2 are the same test signal. Similarly, the test signals Ctr3 and Ctr4 are preferably the same test signal. The operation in which the column memories 401 to 408 store the digital signal D1 ′ corresponding to the test signals Ctr1 and Ctr2 and the digital signal D2 ′ corresponding to the test signals Ctr3 and Ctr4 is common to the inspection mode 1 and the inspection mode 2. Therefore, the column signals 401, 402, 405, and 406 store the digital signal D1 ′, and the column memories 403, 404, 407, and 408 store the digital signal D2 ′. That is, the first memory in the inspection mode 2 is the column memories 401, 402, 405, and 406, and the second memory is the column memories 403, 404, 407, and 408.

図9(b)に検査モード2におけるメモリ部230、水平転送部240、水平走査部250の動作を例示したタイミング図を示す。   FIG. 9B is a timing diagram illustrating operations of the memory unit 230, the horizontal transfer unit 240, and the horizontal scanning unit 250 in the inspection mode 2.

水平走査部250から出力される水平選択信号線151の信号レベルをHレベルとすると、第1の転送回路241、第2の転送回路242のそれぞれには、列メモリ401、402が記憶するデジタル信号D1´が出力される。続いて水平選択信号線152の信号レベルをHレベルとすると、列メモリ403、404が記憶するデジタル信号D2´が出力される。水平選択信号線153〜154の信号レベルも同様に順次Hレベルとすることで、出力信号線290、291にはデジタル信号D1´、D2´が繰り返し出力される。   When the signal level of the horizontal selection signal line 151 output from the horizontal scanning unit 250 is set to H level, digital signals stored in the column memories 401 and 402 are respectively stored in the first transfer circuit 241 and the second transfer circuit 242. D1 'is output. Subsequently, when the signal level of the horizontal selection signal line 152 is set to H level, the digital signal D2 ′ stored in the column memories 403 and 404 is output. Similarly, by sequentially setting the signal levels of the horizontal selection signal lines 153 to 154 to the H level, the digital signals D1 ′ and D2 ′ are repeatedly output to the output signal lines 290 and 291.

図6で例示した判定部300では、出力信号線290、291に出力された信号に対し、判定部300が有する不図示のメモリが記憶するデジタル信号D1´、D2´を期待値として比較し、故障の有無を判定する。即ち、出力信号線290,291に出力された信号それぞれについて、デジタル信号D1´、D2´が交互に出力されているか検査する。検査モード1では、第1の転送回路241と第2の転送回路242はそれぞれデジタル信号D1´、D2´のいずれか一方のみを出力するため、水平転送部240で縮退故障が生じていても検査モード1では縮退故障を発見することが難しい。一方、この検査モード2では、水平転送部240に縮退故障がある場合には、出力信号線にデジタル信号D1´、D2´が交互に出力されなくなる。よって、水平転送部240の縮退故障を検査することができる。   In the determination unit 300 illustrated in FIG. 6, the digital signals D1 ′ and D2 ′ stored in a memory (not illustrated) included in the determination unit 300 are compared as expected values with respect to the signals output to the output signal lines 290 and 291. Determine if there is a failure. That is, it is inspected whether the digital signals D1 ′ and D2 ′ are alternately output for the signals output to the output signal lines 290 and 291, respectively. In the inspection mode 1, since the first transfer circuit 241 and the second transfer circuit 242 output only one of the digital signals D1 ′ and D2 ′, respectively, even if a stuck-at failure occurs in the horizontal transfer unit 240, the inspection is performed. In mode 1, it is difficult to find stuck-at faults. On the other hand, in this inspection mode 2, when the horizontal transfer unit 240 has a stuck-at fault, the digital signals D1 ′ and D2 ′ are not alternately output to the output signal line. Therefore, the stuck-at fault of the horizontal transfer unit 240 can be inspected.

また、出力信号線290、291には検査モード2においては同じ値のデジタル信号が同期して出力されるため、出力信号線290と291とで出力されたデジタル信号を比較し、出力された時間にずれが生じている場合には、水平転送部240の遅延故障として判定することができる。   In addition, since digital signals having the same value are synchronously output to the output signal lines 290 and 291 in the inspection mode 2, the digital signals output from the output signal lines 290 and 291 are compared and output time is compared. If there is a deviation, it can be determined that the horizontal transfer unit 240 has a delay fault.

水平走査部250で縮退故障が生じていた場合についても、本実施例の撮像装置は検査することができる。本実施例のように第1の転送回路241と第2の転送回路242とが同期してデジタル信号を転送する構成では、検査モード1、検査モード2のいずれにおいても、水平走査部250が縮退故障していた場合に出力信号線290、291の両方に同時に、本来転送されるべきデジタル信号とは異なる値のデジタル信号が転送される。あるいは、デジタル信号が全く転送されないブランク期間が、出力信号線290,291の両方に同時に生じる。例えば、水平選択信号線151の信号レベルをHレベルとすべき時に、水平走査部250の故障によりLレベルであった時、列メモリ401、402が記憶するデジタル信号が出力信号線290,291共に出力されない。よってデジタル信号が転送されるべき時にデジタル信号が転送されない期間が出力信号線290,291の両方に同時に存在する場合には水平走査部250の故障であると判定することができる。よって、水平走査部250の縮退故障についても検査することができる。   Even in the case where a stuck-at failure has occurred in the horizontal scanning unit 250, the imaging apparatus of the present embodiment can be inspected. In the configuration in which the first transfer circuit 241 and the second transfer circuit 242 transfer digital signals in synchronization as in the present embodiment, the horizontal scanning unit 250 is degenerated in both the inspection mode 1 and the inspection mode 2. In the case of failure, a digital signal having a value different from that of the digital signal to be originally transferred is simultaneously transferred to both of the output signal lines 290 and 291. Alternatively, a blank period in which no digital signal is transferred occurs simultaneously on both output signal lines 290 and 291. For example, when the signal level of the horizontal selection signal line 151 should be H level, when the horizontal scanning unit 250 is at L level due to a failure, the digital signals stored in the column memories 401 and 402 are both output signal lines 290 and 291. Not output. Therefore, when there is a period during which the digital signal is not transferred when both of the output signal lines 290 and 291 are present simultaneously when the digital signal is to be transferred, it can be determined that the horizontal scanning unit 250 has failed. Therefore, it is possible to inspect the stuck-at fault of the horizontal scanning unit 250.

本実施例では、メモリ部を主に検査する検査モード1と、水平転送部240を主に検査する検査モード2とを組み合わせることで、メモリ部230、水平転送部240の検査を行うことができる。さらに、第1の転送回路241と第2の転送回路242とが同期してデジタル信号を転送する構成では、水平走査部250の検査も行うことができる。例えば、検査モード1においてメモリ部230の故障が発見されず、検査モード2において第1の出力信号線290と第2の出力信号線291とで異なるデジタル信号が検出された場合には、水平転送部240、水平走査部250の一方あるいは両方に故障が生じている、と判定できる。さらに検査モード1あるいは検査モード2において、出力信号線290、291の両方に本来転送されるべきデジタル信号が出力されない期間が同時に存在する場合には、水平走査部250の故障と判定できる。   In the present embodiment, the inspection of the memory unit 230 and the horizontal transfer unit 240 can be performed by combining the inspection mode 1 for mainly inspecting the memory unit and the inspection mode 2 for mainly inspecting the horizontal transfer unit 240. . Further, in the configuration in which the first transfer circuit 241 and the second transfer circuit 242 transfer digital signals in synchronization, the horizontal scanning unit 250 can also be inspected. For example, when a failure of the memory unit 230 is not found in the inspection mode 1 and different digital signals are detected in the first output signal line 290 and the second output signal line 291 in the inspection mode 2, horizontal transfer is performed. It can be determined that a failure has occurred in one or both of the unit 240 and the horizontal scanning unit 250. Further, in the inspection mode 1 or the inspection mode 2, when there are simultaneously periods during which digital signals that should be originally transferred to both the output signal lines 290 and 291 are present, it can be determined that the horizontal scanning unit 250 has failed.

また、検査モード2においても、列メモリ402と403、あるいは列メモリ404と405、あるいは列メモリ406と407との間でショート故障が生じていた場合、本来それぞれの列メモリが出力するべきデジタル信号とは異なる信号値のデジタル信号が出力されるため、故障を検出することができる。従って、検査モード2において、異なるテスト信号が供給された列メモリ同士のショート故障を検出することができる。よって、検査モード1の代わりに検査モード2を列メモリの検査として用いても良い。   Also in the inspection mode 2, if a short circuit failure occurs between the column memories 402 and 403, the column memories 404 and 405, or the column memories 406 and 407, the digital signal that each column memory should originally output Since a digital signal with a signal value different from that is output, a failure can be detected. Therefore, in inspection mode 2, it is possible to detect a short circuit failure between column memories supplied with different test signals. Therefore, inspection mode 2 may be used as column memory inspection instead of inspection mode 1.

本実施例では、4つのテスト信号Ctr1〜Ctr4によってメモリ部230に1列毎、または2列毎に異なったデジタル信号を書き込む形態を説明した。しかしながら、5つ以上のテスト信号を供給し、複数列単位に異なるデジタル信号を書き込む形態であっても良い。また、検査モード1、検査モード2を行う順序はどちらが先であっても、列メモリ401〜408のショート故障、水平転送部240、水平走査部250の故障について検査することができる。   In the present embodiment, a mode has been described in which different digital signals are written to the memory unit 230 for each column or every two columns by the four test signals Ctr1 to Ctr4. However, a configuration in which five or more test signals are supplied and different digital signals are written in a plurality of columns may be employed. In addition, regardless of which order the inspection mode 1 and the inspection mode 2 are performed, it is possible to inspect for a short circuit failure in the column memories 401 to 408, a failure in the horizontal transfer unit 240, and the horizontal scanning unit 250.

また、検査モード1における、例えばテスト信号Ctr1、3は、検査モード2におけるテスト信号Ctr1,Ctr2と同じ信号として説明した。本実施例はこの形態に限定されず、検査モード1はテスト信号Ctr1とCtr3のペア、Ctr2とCtr4のペアの、それぞれのペアにおいて同じ信号であれば良い。また、検査モード2はテスト信号Ctr1とCtr2のペア、Ctr3とCtr4のペアの、それぞれのペアにおいて同じ信号であれば良い。つまり、検査モード1と2とで用いられるテスト信号が、検査モード1と2とのモード間で共通でなくても良く、検査モード1でデジタル信号D1´、D2´に相当するテスト信号を用いた場合には、検査モード2ではデジタル信号D3´、D4´に相当するテスト信号を用いても良い。   Further, for example, the test signals Ctr1 and 3 in the inspection mode 1 are described as the same signals as the test signals Ctr1 and Ctr2 in the inspection mode 2. The present embodiment is not limited to this form, and the inspection mode 1 may be the same signal in each pair of the test signals Ctr1 and Ctr3 and the pair Ctr2 and Ctr4. The inspection mode 2 may be the same signal in each of the pair of test signals Ctr1 and Ctr2 and the pair of Ctr3 and Ctr4. That is, the test signals used in the inspection modes 1 and 2 may not be common between the inspection modes 1 and 2, and the test signals corresponding to the digital signals D1 ′ and D2 ′ are used in the inspection mode 1. In such a case, test signals corresponding to the digital signals D3 ′ and D4 ′ may be used in the inspection mode 2.

本実施例では検査モード1において、隣接する列メモリ同士で異なるデジタル信号を書き込む形態を説明した。本実施例は、異なるデジタル信号を書き込むのは隣接する列メモリ同士に限定されない。つまり、複数列の列メモリに対し、異なる複数のデジタル信号を書き込む形態であれば良い。この形態においても、列メモリに入力されたデジタル信号と、列メモリが記憶したデジタル信号とを比較することによって、列メモリのショート故障の有無を検査することができる。   In the present embodiment, in the inspection mode 1, a mode in which different digital signals are written between adjacent column memories has been described. In this embodiment, writing different digital signals is not limited to adjacent column memories. That is, any form may be used as long as a plurality of different digital signals are written to a plurality of column memories. Also in this embodiment, the presence or absence of a short failure in the column memory can be inspected by comparing the digital signal input to the column memory with the digital signal stored in the column memory.

また、本実施例の検査モード1においては判定部300が出力信号線290、291のそれぞれが伝送するデジタル信号をデジタル信号D1´、D2´と比較する形態を示した。しかし、本実施例の検査モード1は、出力信号線290、291のいずれか一方が伝送するデジタル信号について判定部300が比較を行う形態であっても良い。例えば、出力信号線290が伝送するデジタル信号についてのみ判定部300が比較を行う場合、出力信号線290が伝送するべきデジタル信号がD1´であれば、デジタル信号D1´と出力信号線290が伝送するデジタル信号とを判定部300が比較する。この時、例えば列メモリ401と列メモリ402とでショート故障が生じていた場合、列メモリ401が保持する信号は列メモリ402が保持するデジタル信号に影響されてデジタル信号D1´とは異なるデジタル信号となる事がある。よって、出力信号線290が伝送するデジタル信号がデジタル信号D1´とは異なる期間が発生するため、判定部300がメモリ部のショート故障を判定することができる。   In the inspection mode 1 of the present embodiment, the determination unit 300 compares the digital signals transmitted by the output signal lines 290 and 291 with the digital signals D1 ′ and D2 ′. However, the inspection mode 1 of the present embodiment may be configured such that the determination unit 300 compares the digital signal transmitted by one of the output signal lines 290 and 291. For example, when the determination unit 300 compares only the digital signal transmitted by the output signal line 290, if the digital signal to be transmitted by the output signal line 290 is D1 ′, the digital signal D1 ′ and the output signal line 290 are transmitted. The determination unit 300 compares the digital signal to be processed. At this time, for example, when a short circuit failure occurs in the column memory 401 and the column memory 402, the signal held in the column memory 401 is influenced by the digital signal held in the column memory 402 and is different from the digital signal D1 ′. It may become. Therefore, a period in which the digital signal transmitted by the output signal line 290 is different from the digital signal D1 ′ occurs, so that the determination unit 300 can determine a short circuit failure in the memory unit.

また、本実施例では、第1の転送回路241と第2の転送回路242とが同期して転送する構成を例に説明した。本実施例は1つの水平選択信号線が第1の転送回路241と、第2の転送回路242とに共通して接続されている構成に限定されるものではなく、第1の転送回路241、第2の転送回路242のそれぞれに異なる水平選択信号線が電気的に接続されており、第1の転送回路241と第2の転送回路242の転送動作が同期していなくとも良い。この構成であっても、検査モード1と検査モード2とを行うことによって、メモリ部230、水平転送部240の検査を行うことができる。   In the present embodiment, the configuration in which the first transfer circuit 241 and the second transfer circuit 242 perform the transfer in synchronization has been described as an example. The present embodiment is not limited to the configuration in which one horizontal selection signal line is commonly connected to the first transfer circuit 241 and the second transfer circuit 242, but the first transfer circuit 241, Different horizontal selection signal lines are electrically connected to the second transfer circuits 242, and the transfer operations of the first transfer circuit 241 and the second transfer circuit 242 do not have to be synchronized. Even in this configuration, the inspection of the memory unit 230 and the horizontal transfer unit 240 can be performed by performing the inspection mode 1 and the inspection mode 2.

本実施例に関して、実施例1と異なる点を中心に説明を行う。   The present embodiment will be described focusing on differences from the first embodiment.

図10(a)に本発明に関する撮像装置のメモリ部の構成の一例を示す。   FIG. 10A shows an example of the configuration of the memory unit of the imaging apparatus according to the present invention.

本実施例では、列毎にクロック信号を計数するカウンタ機能を有する列メモリ1−401〜1−408が配置されている。更にAD変換期間と水平転送期間を重ねるために、列メモリ1−401〜1−408に記憶されたデジタル信号をバッファするための2段目の列メモリ2−401〜2−408が配置されている。2段目の列メモリ2−401〜2−408は、第3、第4のメモリである。   In this embodiment, column memories 1-401 to 1-408 having a counter function for counting clock signals for each column are arranged. Further, in order to overlap the AD conversion period and the horizontal transfer period, second stage column memories 2-401 to 2-408 for buffering digital signals stored in the column memories 1-401 to 1-408 are arranged. Yes. The second stage column memories 2-401 to 2-408 are third and fourth memories.

メモリ部230は、第1のメモリ領域232、第2のメモリ領域233で構成されている。クロック信号供給部235は第1のメモリ領域232に含まれる列メモリ1−401〜1−408に電気的に接続され、クロック信号を列メモリ1−401〜1−408に供給する。転送信号供給部234は、第2のメモリ領域233に含まれる列メモリ2−401〜2−408に電気的に接続され、転送信号を列メモリ2−401〜2−408に供給する。   The memory unit 230 includes a first memory area 232 and a second memory area 233. The clock signal supply unit 235 is electrically connected to the column memories 1-401 to 1-408 included in the first memory area 232 and supplies clock signals to the column memories 1-401 to 1-408. The transfer signal supply unit 234 is electrically connected to the column memories 2-401 to 2-408 included in the second memory area 233, and supplies transfer signals to the column memories 2-401 to 2-408.

以下、通常モードについて説明する。   Hereinafter, the normal mode will be described.

選択回路121〜128は、列メモリ1−401〜1−408にそれぞれ比較器出力線111〜114の信号レベルを選択回路出力線131〜138を介して出力している。クロック信号供給部235で生成されたクロック信号clkは、列メモリ1−401〜1−408に入力されている。列メモリ1−401〜1−408では、ランプ電圧rmpが上昇を開始する時刻t0から選択回路出力線131〜138の信号レベルが変化するまでの時刻である、T1、T2によって規定される期間(以降、比較期間と表記する)をクロック信号clkで計数する。そして、そのクロック信号の計数結果であるカウント値を列メモリ1−401〜1−408が記憶する。   The selection circuits 121 to 128 output the signal levels of the comparator output lines 111 to 114 to the column memories 1-401 to 1-408 via the selection circuit output lines 131 to 138, respectively. The clock signal clk generated by the clock signal supply unit 235 is input to the column memories 1-401 to 1-408. In the column memories 1-401 to 1-408, a period defined by T 1 and T 2, which is a time from the time t 0 when the ramp voltage rmp starts to rise to the time when the signal level of the selection circuit output lines 131 to 138 changes ( Hereinafter, it is counted by the clock signal clk. The column memories 1-401 to 1-408 store count values that are the count results of the clock signals.

列メモリ1−401〜1―408の出力は、データ線161〜168を介して列メモリ2−401〜2−408の入力にそれぞれ電気的に接続されている。列メモリ2−401〜2−408は、転送信号供給部234で生成された転送信号mtxがHレベルの時に、列メモリ1−401〜1−408に記憶されたデジタル信号を列メモリ2−401〜2−408へ転送する。データ線161〜168、転送信号供給部234はメモリ間転送部である。列メモリ2−401〜2−408にデジタル信号が転送された後、再び列メモリ1−401〜1−408は比較期間をクロック信号clkで計数することができる。列メモリ2−401〜2−408の出力に電気的に接続された列メモリ出力線141〜148は、不図示の水平転送部に電気的に接続されている。本実施例で例示した構成にすることによって、比較期間で表されるAD変換期間と、列メモリ2−401〜2−408に記憶されたデジタル信号を出力する期間で表される水平転送期間を重ねることができる。これにより、複数行の画素信号をデジタル信号に変換するのに要する、AD変換期間と水平転送期間の合計期間を、実施例1に比べて本実施例は短縮することができる。   Outputs of the column memories 1-401 to 1-408 are electrically connected to inputs of the column memories 2-401 to 2-408 via data lines 161 to 168, respectively. The column memories 2-401 to 2-408 receive the digital signals stored in the column memories 1-401 to 1-408 when the transfer signal mtx generated by the transfer signal supply unit 234 is at the H level. Transfer to ~ 2-408. The data lines 161 to 168 and the transfer signal supply unit 234 are inter-memory transfer units. After the digital signals are transferred to the column memories 2-401 to 2-408, the column memories 1-401 to 1-408 can again count the comparison period with the clock signal clk. The column memory output lines 141 to 148 electrically connected to the outputs of the column memories 2-401 to 2-408 are electrically connected to a horizontal transfer unit (not shown). By adopting the configuration exemplified in this embodiment, the AD conversion period represented by the comparison period and the horizontal transfer period represented by the period for outputting the digital signals stored in the column memories 2-401 to 2-408 are provided. Can be stacked. Thereby, the present embodiment can shorten the total period of the AD conversion period and the horizontal transfer period required for converting the pixel signals of a plurality of rows into a digital signal, as compared with the first embodiment.

メモリ部230の検査は、実施例1と同様に行うことができる。   The inspection of the memory unit 230 can be performed in the same manner as in the first embodiment.

検査モードにおいては、選択回路121〜128は、テスト信号供給部221から供給されるテスト信号Ctr1、Ctr2が列メモリ1−401〜1−408のそれぞれに入力されている。列メモリ1−401〜1−408では、モード選択信号tstがHレベルとなる時刻t0から、テスト信号Ctr1、Ctr2のそれぞれの信号レベルが変化するまでの時刻である、T1´、T2´をクロック信号clkで計数する。そして、そのクロック信号の計数結果であるカウント値を列メモリ1−401〜1−408が記憶する。   In the inspection mode, the selection circuits 121 to 128 have the test signals Ctr1 and Ctr2 supplied from the test signal supply unit 221 inputted to the column memories 1-401 to 1-408, respectively. In the column memories 1-401 to 1-408, clocks T1 ′ and T2 ′, which are times from when the mode selection signal tst becomes H level to when the signal levels of the test signals Ctr1 and Ctr2 change, are clocked. Count with signal clk. The column memories 1-401 to 1-408 store count values that are the count results of the clock signals.

検査モードを実施することによって、第1のメモリ領域232と第2のメモリ領域233について、縮退故障や、それぞれのメモリ領域内で隣接する列メモリ同士のショート故障について検査することができる。   By performing the inspection mode, the first memory area 232 and the second memory area 233 can be inspected for a stuck-at fault or a short-circuit fault between adjacent column memories in each memory area.

クロック信号供給部235、転送信号供給部234は、メモリ部230が設けられた基板と同一基板上に設けられていても良い。また、クロック信号供給部235、転送信号供給部234は、メモリ部230が設けられた基板の外部に設けられている形態であっても良い。   The clock signal supply unit 235 and the transfer signal supply unit 234 may be provided on the same substrate as the substrate on which the memory unit 230 is provided. Further, the clock signal supply unit 235 and the transfer signal supply unit 234 may be provided outside the substrate on which the memory unit 230 is provided.

本実施例に関して、実施例1と異なる点を中心に説明を行う。   The present embodiment will be described focusing on differences from the first embodiment.

図10(b)に本実施例の撮像装置のメモリ部の一例を示す。   FIG. 10B shows an example of the memory unit of the imaging apparatus of the present embodiment.

本実施例では、カウント信号cntを記憶する列メモリ1−401〜1−408が配置され、更に、列メモリ1−401〜1−408に2段目の列メモリ2−401〜2−408が電気的に接続されている。列メモリ1−401〜1−408は第1のメモリ領域232、列メモリ2−401〜2−408は第2のメモリ領域を構成している。   In the present embodiment, column memories 1-401 to 1-408 for storing count signals cnt are arranged, and further, column memory 1-401 to 1-408 includes second-stage column memories 2-401 to 2-408. Electrically connected. The column memories 1-401 to 1-408 constitute a first memory area 232, and the column memories 2-401 to 2-408 constitute a second memory area.

メモリ部230は、第1のメモリ領域232、第2のメモリ領域233で構成されている。カウント信号供給部236は、不図示のクロック信号供給部からのクロック信号をカウントし、カウント結果であるカウント信号cntを生成する。カウント信号供給部236は第1のメモリ領域232に含まれる列メモリ1−401〜1−408に電気的に接続されている。転送信号供給部234は第2のメモリ領域233に含まれる列メモリ2−401〜2−408に電気的に接続されており、転送信号を列メモリ2−401〜2−408に供給する。   The memory unit 230 includes a first memory area 232 and a second memory area 233. The count signal supply unit 236 counts clock signals from a clock signal supply unit (not shown), and generates a count signal cnt that is a count result. The count signal supply unit 236 is electrically connected to the column memories 1-401 to 1-408 included in the first memory area 232. The transfer signal supply unit 234 is electrically connected to the column memories 2-401 to 2-408 included in the second memory area 233, and supplies transfer signals to the column memories 2-401 to 2-408.

以下、通常モードについて説明する。   Hereinafter, the normal mode will be described.

選択回路出力線131〜138は、列メモリ1−401〜1−408にそれぞれ電気的に接続されている。カウント信号供給部236で生成されたカウント信号cntは、列メモリ1−401〜1−408に入力されている。カウント信号供給部236は、不図示のランプ電圧rmpが上昇を開始する時刻t0からカウントを開始し、カウント信号cntを生成する。列メモリ1−401〜1−408では、選択回路出力線131〜138の信号レベルが変化する時刻に、カウント信号cntの値を取り込む。時刻t0から全ての選択回路出力線の信号レベルが変化する時刻で表される期間が本実施例における比較期間である。   The selection circuit output lines 131 to 138 are electrically connected to the column memories 1-401 to 1-408, respectively. The count signal cnt generated by the count signal supply unit 236 is input to the column memories 1-401 to 1-408. The count signal supply unit 236 starts counting from a time t0 when a ramp voltage rmp (not shown) starts increasing, and generates a count signal cnt. The column memories 1-401 to 1-408 take in the value of the count signal cnt at the time when the signal level of the selection circuit output lines 131 to 138 changes. The period represented by the time when the signal levels of all the selection circuit output lines change from time t0 is the comparison period in this embodiment.

列メモリ1−401〜1−408の出力は、データ線161〜168を介して列メモリ2−401〜2−408の入力にそれぞれ電気的に接続されている。列メモリ2−401〜2−408は、転送信号供給部234で生成された転送信号mtxがHレベルの時に、列メモリ1−401〜1−408に記憶されたデジタル信号を列メモリ2−401〜2−408へ転送する。データ線161〜168、転送信号供給部234はメモリ間転送部である。列メモリ2−401〜2−408にデジタル信号が転送された後、再び列メモリ1−401〜1−408はカウント信号cntの値を取り込むことができる。よって、AD変換期間と、水平転送期間を重ねることができる。列メモリ2−401〜2−408の出力に電気的に接続された列メモリ出力線141〜148は、第2のメモリ領域233に電気的に接続される水平転送部に出力されている。   The outputs of the column memories 1-401 to 1-408 are electrically connected to the inputs of the column memories 2-401 to 2-408 via data lines 161 to 168, respectively. The column memories 2-401 to 2-408 receive the digital signals stored in the column memories 1-401 to 1-408 when the transfer signal mtx generated by the transfer signal supply unit 234 is at the H level. Transfer to ~ 2-408. The data lines 161 to 168 and the transfer signal supply unit 234 are inter-memory transfer units. After the digital signals are transferred to the column memories 2-401 to 2-408, the column memories 1-401 to 1-408 can capture the value of the count signal cnt again. Therefore, the AD conversion period and the horizontal transfer period can be overlapped. The column memory output lines 141 to 148 that are electrically connected to the outputs of the column memories 2-401 to 2-408 are output to the horizontal transfer unit that is electrically connected to the second memory area 233.

列メモリ2−401〜2−408に記憶されたデジタル信号は、水平走査部250が水平選択信号線151〜158の信号レベルを順次Hレベルとすることにより、水平転送部240を介して出力信号線290に出力される。   The digital signals stored in the column memories 2-401 to 2-408 are output signals via the horizontal transfer unit 240 when the horizontal scanning unit 250 sequentially sets the signal levels of the horizontal selection signal lines 151 to 158 to the H level. Output on line 290.

本実施例で例示した構成にすることによって、比較期間で表されるAD変換期間と、列メモリ2−401〜2−408に記憶されたデジタル信号を出力する期間で表される水平転送期間を重ねることができる。これによりデジタル信号の出力速度を速めることができる。   By adopting the configuration exemplified in this embodiment, the AD conversion period represented by the comparison period and the horizontal transfer period represented by the period for outputting the digital signals stored in the column memories 2-401 to 2-408 are provided. Can be stacked. Thereby, the output speed of the digital signal can be increased.

メモリ部を検査するための検査モードについては、実施例1と同様に行うことができる。   The inspection mode for inspecting the memory unit can be performed in the same manner as in the first embodiment.

以下、検査モードについて説明する。   Hereinafter, the inspection mode will be described.

検査モードでは、カウント信号供給部236はモード選択信号tstがHレベルとなった時にカウントを開始し、カウント信号cntを生成する。選択回路121〜128は、テスト信号供給部221から供給されるテスト信号Ctr1、Ctr2が列メモリ1−401〜1−408のそれぞれに入力されている。列メモリ1−401〜1−408では、テスト信号Ctr1、Ctr2のそれぞれの信号レベルが変化する時刻にカウント信号cntを取り込んでカウント値を記憶する。この記憶したカウント値がT1´、T2´である。   In the inspection mode, the count signal supply unit 236 starts counting when the mode selection signal tst becomes H level, and generates the count signal cnt. In the selection circuits 121 to 128, the test signals Ctr1 and Ctr2 supplied from the test signal supply unit 221 are input to the column memories 1-401 to 1-408, respectively. The column memories 1-401 to 1-408 take in the count signal cnt and store the count value at the time when the signal levels of the test signals Ctr1 and Ctr2 change. The stored count values are T1 ′ and T2 ′.

列メモリ1−401〜1−408に記憶された信号は、通常モードと同様に、列メモリ2−401〜2−408に出力された後、水平転送部240を介して水平走査部250により出力信号線290に出力される。   The signals stored in the column memories 1-401 to 1-408 are output to the column memories 2-401 to 2-408, and then output by the horizontal scanning unit 250 via the horizontal transfer unit 240, as in the normal mode. The signal is output to the signal line 290.

検査モードを実施することによって、第1のメモリ領域232と第2のメモリ領域233について、縮退故障や、それぞれのメモリ領域内で隣接する列メモリ同士のショート故障について検査することができる。   By performing the inspection mode, the first memory area 232 and the second memory area 233 can be inspected for a stuck-at fault or a short-circuit fault between adjacent column memories in each memory area.

カウント信号供給部236、転送信号供給部234は、メモリ部230が設けられた基板と同一基板上に設けられていても良い。また、カウント信号供給部236、転送信号供給部234は、メモリ部230が設けられた基板の外部に設けられている形態であっても良い。   The count signal supply unit 236 and the transfer signal supply unit 234 may be provided on the same substrate as the substrate on which the memory unit 230 is provided. Further, the count signal supply unit 236 and the transfer signal supply unit 234 may be provided outside the substrate on which the memory unit 230 is provided.

これらの実施例では、本発明を撮像装置に適用した例を説明したが、本発明は他の装置にも適用が可能である。この場合、信号線101〜108には、このような装置においてデジタル信号に変換すべきアナログ信号が入力される。   In these embodiments, examples in which the present invention is applied to an imaging apparatus have been described, but the present invention can also be applied to other apparatuses. In this case, analog signals to be converted into digital signals in such a device are input to the signal lines 101 to 108.

本発明の撮像装置を撮像システムに適用した場合の一実施例について詳述する。撮像システムとは、デジタルスチルカメラやデジタルカムコーダーや監視カメラなどがあげられる。図11に、撮像システムの例としてデジタルスチルカメラに適用した場合のブロック図を例示する。   An embodiment when the imaging apparatus of the present invention is applied to an imaging system will be described in detail. Examples of the imaging system include a digital still camera, a digital camcorder, and a surveillance camera. FIG. 11 illustrates a block diagram when applied to a digital still camera as an example of an imaging system.

図11において、1はレンズの保護のためのバリア、2は被写体の光学像を撮像装置4に結像させるレンズ、3はレンズ2を通った光量を可変するための絞りである。4は上述の実施例1〜5で説明した撮像装置であって、レンズ2により結像された光学像を画像データとして変換する。7は撮像装置4より出力された撮像データに各種の補正やデータを圧縮する信号処理部である。そして、図11において、8は撮像装置4および信号処理部7に、各種タイミング信号を出力するタイミング発生部、9は各種演算とデジタルスチルカメラ全体を制御する全体制御・演算部である。10は画像データを一時的に記憶する為のデータ保持部、11は記録媒体に記録または読み出しを行うためのインターフェース部、12は撮像データの記録または読み出しを行う為の半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体である。そして、13は外部コンピュータ等と通信する為のインターフェース部である。ここで、タイミング信号などは外部から入力されてもよく、撮像システムは少なくとも撮像装置4と、撮像装置から出力された撮像信号を処理する信号処理部7とを有すればよい。エラー表示部14は、撮像装置4の判定部300から出力される信号に基づいて表示を行う表示部である。   In FIG. 11, reference numeral 1 denotes a barrier for protecting the lens, 2 denotes a lens for forming an optical image of a subject on the imaging device 4, and 3 denotes a diaphragm for changing the amount of light passing through the lens 2. Reference numeral 4 denotes the image pickup apparatus described in the first to fifth embodiments, which converts an optical image formed by the lens 2 as image data. Reference numeral 7 denotes a signal processing unit that compresses various corrections and data into the imaging data output from the imaging device 4. In FIG. 11, 8 is a timing generator for outputting various timing signals to the imaging device 4 and the signal processor 7, and 9 is an overall control / arithmetic unit for controlling various calculations and the entire digital still camera. 10 is a data holding unit for temporarily storing image data, 11 is an interface unit for recording or reading data on a recording medium, and 12 is a detachable semiconductor memory or the like for recording or reading image data. It is a recording medium. Reference numeral 13 denotes an interface unit for communicating with an external computer or the like. Here, the timing signal or the like may be input from the outside, and the imaging system only needs to include at least the imaging device 4 and the signal processing unit 7 that processes the imaging signal output from the imaging device. The error display unit 14 is a display unit that performs display based on a signal output from the determination unit 300 of the imaging device 4.

撮像装置に設けられた判定部300は、故障と判定した場合にエラー表示部14にエラー信号を出力する。エラー表示部14はエラー信号が入力されると、撮像装置に故障が生じていることを知らせる表示を行う。この表示は、例えば警告ランプの発光動作や故障が生じている旨のメッセージを表示すること等により行うことができる。   The determination unit 300 provided in the imaging apparatus outputs an error signal to the error display unit 14 when it is determined that there is a failure. When an error signal is input, the error display unit 14 performs a display notifying that a failure has occurred in the imaging apparatus. This display can be performed, for example, by displaying a light-emitting operation of the warning lamp or a message indicating that a failure has occurred.

また、判定部300から全体制御・演算部9にエラー信号を出力する形態であっても良い。この形態では、エラー信号が全体制御・演算部9に入力された時に、以後の撮像動作を停止するように制御できる。この形態の場合、エラー表示部14に判定部300からエラー信号が入力される形態であっても良いし、全体制御・演算部9からエラー表示部14にエラー表示を行わせる信号を出力する形態であっても良い。   Alternatively, an error signal may be output from the determination unit 300 to the overall control / calculation unit 9. In this embodiment, when an error signal is input to the overall control / calculation unit 9, the subsequent imaging operation can be controlled to stop. In the case of this form, the form which an error signal is input from the determination part 300 to the error display part 14 may be sufficient, and the form which outputs the signal which makes the error display part 14 perform an error display from the overall control / calculating part 9 It may be.

以上のように、本発明の撮像装置を撮像システムに適用することが可能である。本発明の撮像装置を撮像システムに適用することにより、撮像装置のメモリ部にショート故障や縮退故障、水平走査部に縮退故障が生じていた場合に撮像動作を行わせる撮影者に故障を通知することができる。よって、故障に気が付かないまま撮影を続けることを抑止できる効果が得られる。   As described above, the imaging apparatus of the present invention can be applied to an imaging system. By applying the imaging device of the present invention to an imaging system, a failure is notified to a photographer who performs an imaging operation when a short-circuit failure or a stuck-at failure occurs in the memory unit of the imaging device or a stuck-out failure occurs in the horizontal scanning unit. be able to. Therefore, it is possible to prevent the camera from continuing shooting without noticing the failure.

本実施例において、撮像システムがエラー表示部14を有する形態を説明した。本実施例はこの形態に限定されず、エラー表示部14を有さない形態であっても良い。このような形態として、例えば、判定部300が故障と判定した場合には撮像を行わないようにする形態などがある。   In the present embodiment, the form in which the imaging system has the error display unit 14 has been described. The present embodiment is not limited to this form, and may be a form without the error display unit 14. As such a form, for example, there is a form in which imaging is not performed when the determination unit 300 determines a failure.

また、本実施例では、撮像システムに含まれる撮像装置4が判定部300を有する形態を説明した。本実施例はこれに限定されず、判定部300が撮像装置4および撮像システムの外部に設けられている形態であっても良い。つまり、撮像システムに含まれる撮像装置4の製造工程において、判定部300が出力信号線上に設けられた端子に電気的に接続し、列メモリの故障有無の判定を行う形態であっても良い。   In the present embodiment, the form in which the imaging device 4 included in the imaging system includes the determination unit 300 has been described. The present embodiment is not limited to this, and the determination unit 300 may be provided outside the imaging device 4 and the imaging system. In other words, in the manufacturing process of the imaging device 4 included in the imaging system, the determination unit 300 may be electrically connected to a terminal provided on the output signal line to determine whether or not the column memory has failed.

この製造工程において、列メモリの故障が検出された場合には、故障している列メモリの修復を行ったり、故障と判定された撮像装置4を用いた撮像システムの製造を中止したりすることができる。また、故障と判定された列メモリの位置を外部のルックアップテーブルに記憶しておき、故障と判定された列メモリを用いずに、正常な列メモリに保持された信号で置換したり、補正したりするようにして正常動作可能なようにしてもよい。   In this manufacturing process, when a failure of the column memory is detected, the failed column memory is repaired or the manufacturing of the imaging system using the imaging device 4 determined to be failed is stopped. Can do. Also, the position of the column memory determined to be faulty is stored in an external look-up table, and the column memory determined to be faulty is replaced with a signal held in a normal column memory or corrected. It may be possible to operate normally.

よって、列メモリの故障の有無を検査することにより、正常動作可能な撮像装置4を有する撮像システムを製造することができる。   Therefore, an imaging system having the imaging device 4 capable of normal operation can be manufactured by inspecting whether or not the column memory is faulty.

101〜108 信号線
111〜118 比較器出力線
121〜128 選択回路
131〜138 選択回路出力線
141〜148 列メモリ出力線
151〜158 水平選択信号線
212 ランプ電圧供給部
221 テスト信号供給部
290 出力信号線
300 判定部(出力比較部の一例)
301〜308 比較器
401〜408 列メモリ
101-108 signal line 111-118 comparator output line 121-128 selection circuit 131-138 selection circuit output line 141-148 column memory output line 151-158 horizontal selection signal line 212 lamp voltage supply unit 221 test signal supply unit 290 output Signal line 300 determination unit (an example of an output comparison unit)
301-308 Comparator 401-408 Column Memory

Claims (9)

アナログ信号と参照信号との比較結果を示す比較結果信号を出力する比較器と、前記比較結果信号に基づいてデジタル信号を保持するメモリと、を各々が含む複数の回路部を有し、
前記アナログ信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換回路であって、
前記複数の回路部の各々は前記メモリとして第1のメモリまたは第2のメモリを有するとともに、前記複数の回路部は複数の前記第1のメモリと複数の前記第2のメモリを備え、
前記複数の第1のメモリの各々に、第1のデジタル信号を保持させるための第1のテスト信号を供給するとともに、前記複数の第2のメモリの各々に、前記第1のデジタル信号とは異なる信号値の第2のデジタル信号を保持させるための第2のテスト信号を供給するテスト信号供給部と、
期待値を記憶する出力比較部と、
転送部と、を備え、
前記転送部は、前記第1及び第2のメモリがそれぞれ保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送する第1及び第2の転送回路を有し、
前記複数の第1のメモリの各々は、前記第1の転送回路にデジタル信号を転送し、前記複数の第2のメモリの各々は、前記第2の転送回路にデジタル信号を転送し、
前記テスト信号供給部が前記複数の第1のメモリに前記第1のテスト信号を供給し、前記複数の第2のメモリに前記第2のテスト信号を供給した後、前記第1の転送回路は前記複数の第1のメモリの各々が保持したデジタル信号を前記出力比較部に連続して転送し、前記第2の転送回路は前記複数の第2のメモリが保持したデジタル信号を前記出力比較部に連続して転送し、
前記出力比較部は、前記第1の転送回路から転送される前記第1のデジタル信号と、前記第2の転送回路から転送される前記第2のデジタル信号のそれぞれと、前記期待値とを比較することを特徴とするアナログデジタル変換回路。
A plurality of circuit units each including a comparator that outputs a comparison result signal indicating a comparison result between the analog signal and the reference signal, and a memory that holds a digital signal based on the comparison result signal;
An analog-digital conversion circuit for converting the analog signal into a digital signal,
Each of the plurality of circuit units includes a first memory or a second memory as the memory, and the plurality of circuit units include a plurality of the first memories and a plurality of the second memories,
A first test signal for holding the first digital signal is supplied to each of the plurality of first memories, and the first digital signal is supplied to each of the plurality of second memories. A test signal supply unit for supplying a second test signal for holding a second digital signal having a different signal value;
An output comparison unit for storing the expected value;
A transfer unit, and
The transfer unit includes first and second transfer circuits that transfer digital signals held by the first and second memories to the output comparison unit, respectively.
Each of the plurality of first memories transfers a digital signal to the first transfer circuit, and each of the plurality of second memories transfers a digital signal to the second transfer circuit,
After the test signal supply unit supplies the first test signal to the plurality of first memories and supplies the second test signal to the plurality of second memories, the first transfer circuit includes: The digital signal held in each of the plurality of first memories is continuously transferred to the output comparison unit, and the second transfer circuit transfers the digital signal held in the plurality of second memories to the output comparison unit. Transfer continuously to
The output comparison unit compares the expected value with each of the first digital signal transferred from the first transfer circuit and the second digital signal transferred from the second transfer circuit. An analog-digital conversion circuit characterized by:
前記複数の第1のメモリの各々の間に、前記複数の第2のメモリの一つがあることを特徴とする請求項1に記載のアナログデジタル変換回路。   2. The analog-digital conversion circuit according to claim 1, wherein one of the plurality of second memories is provided between each of the plurality of first memories. 前記複数の第1のメモリおよび前記複数の第2のメモリに供給する信号を、前記比較器から出力される前記比較結果信号と、
前記テスト信号供給部から供給される前記第1又は第2のテスト信号と、のいずれかに切り替える選択部をさらに有することを特徴とする請求項1または2に記載のアナログデジタル変換回路。
Signals supplied to the plurality of first memories and the plurality of second memories, the comparison result signal output from the comparator,
3. The analog-digital conversion circuit according to claim 1, further comprising a selection unit that switches between the first test signal and the second test signal supplied from the test signal supply unit. 4.
クロック信号を計数したカウント信号を、前記複数の第1のメモリと前記複数の第2のメモリとに共通して供給するカウンタをさらに有し、
前記複数の第1のメモリの各々は前記第1のテスト信号に基づいて前記カウント信号をデジタル信号として保持し、前記複数の第2のメモリの各々は前記第2のテスト信号に基づいて前記カウント信号をデジタル信号として保持することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のアナログデジタル変換回路。
A counter that supplies a count signal obtained by counting the clock signal to the plurality of first memories and the plurality of second memories in common;
Each of the plurality of first memories holds the count signal as a digital signal based on the first test signal, and each of the plurality of second memories stores the count signal based on the second test signal. 4. The analog-digital conversion circuit according to claim 1, wherein the signal is held as a digital signal.
クロック信号を前記複数の第1のメモリと前記複数の第2のメモリとに供給するクロック信号供給部をさらに有し、
前記複数の第1のメモリの各々と前記複数の第2のメモリの各々が前記クロック信号を計数したカウント信号を生成するカウンタを有し、
前記複数の第1のメモリの各々は前記第1のテスト信号に基づいて前記カウント信号をデジタル信号として保持し、前記複数の第2のメモリの各々は前記第2のテスト信号に基づいて前記カウント信号をデジタル信号として保持することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のアナログデジタル変換回路。
A clock signal supply unit for supplying a clock signal to the plurality of first memories and the plurality of second memories;
Each of the plurality of first memories and each of the plurality of second memories has a counter that generates a count signal obtained by counting the clock signals;
Each of the plurality of first memories holds the count signal as a digital signal based on the first test signal, and each of the plurality of second memories stores the count signal based on the second test signal. 4. The analog-digital conversion circuit according to claim 1, wherein the signal is held as a digital signal.
さらに、前記複数の回路部の各々は、第3及び第4のメモリと、メモリ間転送部とを有し、
前記メモリ間転送部は、前記第1のメモリが保持したデジタル信号を前記第3のメモリに転送し、前記第2のメモリが保持したデジタル信号を前記第4のメモリに転送し、前記第3のメモリから前記デジタル信号が前記転送部に転送され、前記第4のメモリから前記デジタル信号が転送されることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のアナログデジタル変換回路。
Further, each of the plurality of circuit units includes third and fourth memories, and an inter-memory transfer unit,
The inter-memory transfer unit transfers the digital signal held in the first memory to the third memory, transfers the digital signal held in the second memory to the fourth memory, and The analog-to-digital conversion circuit according to claim 1, wherein the digital signal is transferred from the memory to the transfer unit, and the digital signal is transferred from the fourth memory.
前記テスト信号供給部が前記複数の第1のメモリに前記第1のテスト信号を供給し、前記複数の第2のメモリに前記第2のテスト信号を供給した後、さらに、
前記第1の転送回路は前記第1のメモリが保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送した後に前記第2のメモリが保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送し、前記第2の転送回路は前記第1のメモリが保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送した後に前記第2のメモリが保持したデジタル信号を前記出力比較部に転送し、
前記出力比較部は、前記第1の転送回路から交互に転送される前記第1及び第2のデジタル信号と、前記第2の転送回路から交互に転送される前記第1及び第2のデジタル信号のそれぞれと、前記期待値とを比較することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のアナログデジタル変換回路。
After the test signal supply unit supplies the first test signal to the plurality of first memories, and supplies the second test signal to the plurality of second memories,
The first transfer circuit transfers the digital signal held in the first memory to the output comparison unit, and then transfers the digital signal held in the second memory to the output comparison unit, and the second transfer. The circuit transfers the digital signal held by the first memory to the output comparison unit, and then transfers the digital signal held by the second memory to the output comparison unit.
The output comparison unit includes the first and second digital signals transferred alternately from the first transfer circuit, and the first and second digital signals transferred alternately from the second transfer circuit. The analog-to-digital conversion circuit according to claim 1, wherein the expected value is compared with each of the analog-to-digital conversion circuit.
請求項1〜のいずれかに記載のアナログデジタル変換回路と、
各々が光電変換部を含む複数の画素が複数列状に配置された画素部とを有し、
前記画素部の各列から出力されたアナログ信号が、前記アナログデジタル変換回路の各回路部の前記比較器に入力するように構成されたことを特徴とする撮像装置。
The analog-digital conversion circuit according to any one of claims 1 to 7 ,
A plurality of pixels each including a photoelectric conversion unit, and a pixel unit arranged in a plurality of columns,
An image pickup apparatus configured to input an analog signal output from each column of the pixel portion to the comparator of each circuit portion of the analog-to-digital conversion circuit.
請求項の撮像装置と、
前記撮像装置から出力されたデジタル信号を処理する信号処理部と、
を有することを特徴とする撮像システム。
An imaging device according to claim 8 ;
A signal processing unit for processing a digital signal output from the imaging device;
An imaging system comprising:
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