JP5970274B2 - Mass spectrometer - Google Patents

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  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

本発明は多重極電極を備えた質量分析装置に関する。   The present invention relates to a mass spectrometer equipped with a multipole electrode.

質量分析装置において、周囲の温度変化などの環境変化に対する質量分析精度の安定性を維持することが求められている。特にバッテリー駆動で使用される可搬可能な質量分析装置において、高周波電圧の振幅を安定化させ共振周波数を最適な値にすることは、消費電力を低減するうえで重要な項目の一つである。   In mass spectrometers, it is required to maintain the stability of mass spectrometry accuracy against environmental changes such as ambient temperature changes. Stabilizing the amplitude of the high-frequency voltage and optimizing the resonance frequency is one of the important items for reducing power consumption, especially in portable mass spectrometers used on battery power. .

従来、高周波電圧を生成するLC共振回路において,温度変動などにより共振周波数が駆動回路の駆動周波数からずれて高周波電圧の振幅が減少した場合、駆動回路の同調手段により自動的に共振周波数と駆動周波数を合わせ込むことにより,高周波電圧の振幅を安定化していた(特許文献1)。   Conventionally, in an LC resonance circuit that generates a high-frequency voltage, when the resonance frequency deviates from the drive frequency of the drive circuit due to temperature fluctuation or the like and the amplitude of the high-frequency voltage decreases, the resonance frequency and the drive frequency are automatically adjusted by the tuning means of the drive circuit. Thus, the amplitude of the high-frequency voltage was stabilized (Patent Document 1).

特開平3−71546号公報Japanese Patent Laid-Open No. 3-71546

上記の高周波電圧の振幅の安定化には、調整期間が必要である。また、調整期間中にも回路は動作しているため、不要な電力を消費すると共に調整期間中の共振周波数と駆動周波数が合っていない期間には大幅な電力消費が起こることになる。   An adjustment period is required to stabilize the amplitude of the high-frequency voltage. Further, since the circuit is operating even during the adjustment period, unnecessary power is consumed, and a large amount of power is consumed in a period in which the resonance frequency and the drive frequency do not match during the adjustment period.

本発明では、周囲の温度が変動しても短時間で、安定した高周波電圧を生成することができる質量分析装置を提供する。   The present invention provides a mass spectrometer that can generate a stable high-frequency voltage in a short time even if the ambient temperature fluctuates.

本発明の質量分析装置は、試料を導入する試料導入部と、導入した試料をイオン化するイオン源と、イオン化した試料を分析する複数の電極及び検出器を有する分析部と、を備えた質量分析装置であって、前記複数の電極に印加する電圧を生成するLC共振回路と、前記LC共振回路の周波数を可変する周波数可変回路と、前記LC共振回路の振幅を可変する振幅変調回路と、前記周波数可変回路及び前記振幅変調回路を制御する制御部と、温度測定部と、をさらに備え、前記制御部は、前記温度測定部で求めた測定結果に基づき、前記周波数可変回路及び前記振幅変調回路を制御する。   A mass spectrometer of the present invention includes a sample introduction unit for introducing a sample, an ion source for ionizing the introduced sample, and an analysis unit having a plurality of electrodes and a detector for analyzing the ionized sample. An LC resonance circuit that generates a voltage to be applied to the plurality of electrodes; a frequency variable circuit that varies a frequency of the LC resonance circuit; an amplitude modulation circuit that varies an amplitude of the LC resonance circuit; A control unit for controlling the frequency variable circuit and the amplitude modulation circuit; and a temperature measurement unit, wherein the control unit is configured to control the frequency variable circuit and the amplitude modulation circuit based on a measurement result obtained by the temperature measurement unit. To control.

上記のように構成された本発明によれば、周囲温度が変化しても、その時の温度に対応した周波数及び電圧を制御することで、LC共振回路から電極に印加する高周波電圧を最適な共振周波数に同調することができる。従って、調整時間不要でLC共振回路の電力が最適化され、安定した高精度な質量分析が可能となる。   According to the present invention configured as described above, even if the ambient temperature changes, by controlling the frequency and voltage corresponding to the temperature at that time, the high frequency voltage applied to the electrode from the LC resonance circuit is optimally resonated. Can be tuned to frequency. Accordingly, the power of the LC resonance circuit is optimized without requiring adjustment time, and stable and highly accurate mass analysis is possible.

本実施例の質量分析装置の全体構成図である。It is a whole block diagram of the mass spectrometer of a present Example. 高周波発生回路の内部構成図である。It is an internal block diagram of a high frequency generation circuit. 周波数記憶部の内部構成図である。It is an internal block diagram of a frequency memory | storage part. LC共振回路の内部構成図である。It is an internal block diagram of LC resonance circuit. 図4のLC共振回路の同調特性である。5 is a tuning characteristic of the LC resonance circuit of FIG. 実施例1のフローチャートである。3 is a flowchart of the first embodiment. 実施例2のフローチャートである。10 is a flowchart of Example 2.

以下、本発明に係る一実施例を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明で用いる質量分析装置の一装置構成例を示す。   FIG. 1 shows an apparatus configuration example of a mass spectrometer used in the present invention.

本実施例で用いる質量分析装置は、標準試料を導入するための試料導入部5と、試料をイオン化するためのイオン源2と、イオン化されたイオンの溜め込み及び質量分離を行う四重極電極3を備える分析部6と、分析部6内でイオンを電流信号として検出する検出器4と、分析部6内を真空に保つ真空排気部7と、四重極電極3に高周波電圧を印加する高周波発生回路1とを備える。   The mass spectrometer used in the present embodiment includes a sample introduction unit 5 for introducing a standard sample, an ion source 2 for ionizing the sample, and a quadrupole electrode 3 for storing ionized ions and performing mass separation. , A detector 4 that detects ions as a current signal in the analysis unit 6, a vacuum exhaust unit 7 that keeps the analysis unit 6 in a vacuum, and a high frequency that applies a high frequency voltage to the quadrupole electrode 3 And a generation circuit 1.

ここで、イオン化の方法の例としては、電子衝撃イオン化法(EI)、大気圧中でイオン化するエレクトロスプレーイオン化法(ESI)、プラズマを用いてイオン化する誘導結合プラズマイオン源(ICP)、低真空バリア放電イオン化法などがある。   Examples of ionization methods include electron impact ionization (EI), electrospray ionization (ESI) that ionizes at atmospheric pressure, inductively coupled plasma ion source (ICP) that ionizes using plasma, and low vacuum. There is a barrier discharge ionization method.

また、試料導入部5には試料を入れる試料容器が設置できる構造になっているが、資料容器内の圧力を減圧する機構や試料容器内の温度を上げるためのヒータ等も設置することが可能である。   In addition, the sample introduction part 5 has a structure in which a sample container for containing a sample can be installed, but a mechanism for reducing the pressure in the data container and a heater for raising the temperature in the sample container can be installed. It is.

さらに本実施例の質量分析装置は、データ処理部8と表示パネル9を備える。検出された電流信号は、データ処理部8へ送られ、各時間毎で質量対電荷比(m/z)を横軸としたマススペクトルデータとして記録される。データ処理部8は該マススペクトルデータを基に検出された質量の成分を特定し表示パネルに表示する。   Furthermore, the mass spectrometer of the present embodiment includes a data processing unit 8 and a display panel 9. The detected current signal is sent to the data processing unit 8 and recorded as mass spectrum data with the mass-to-charge ratio (m / z) as the horizontal axis at each time. The data processing unit 8 specifies the detected mass component based on the mass spectrum data and displays it on the display panel.

ここで目的の特定質量イオンに関して、特定の条件下でそれに対応する高周波電圧の周波数の値、高周波電圧の振幅の値を正確に求めることが必要になる。   Here, regarding the specific mass ion of interest, it is necessary to accurately obtain the frequency value of the high-frequency voltage and the amplitude value of the high-frequency voltage corresponding to the specific mass ion.

各電極間に高周波電圧VcosΩt が印加されて、電極間空間に三次元四重極電界が形成される。この電界中に捕捉されたイオンの軌道の安定性は、四重極電極内半径r0 と、電極に印加される高周波電圧の振幅Vとその角周波数Ω、さらに、イオンの質量対電荷比m/zによって与えられるa,q値((1)(2)式)によって定まる。 A high-frequency voltage VcosΩt is applied between the electrodes to form a three-dimensional quadrupole electric field in the interelectrode space. The stability of the trajectory of ions trapped in this electric field includes the radius r 0 in the quadrupole electrode, the amplitude V of the high frequency voltage applied to the electrode and its angular frequency Ω, and the ion mass-to-charge ratio m. It is determined by a and q values (Equations (1) and (2)) given by / z.

ここで、zはイオンの価数、mは質量、Ωは2πf、fは高周波電圧の周波数、eは素電荷を表す。   Here, z is the valence of the ion, m is the mass, Ω is 2πf, f is the frequency of the high-frequency voltage, and e is the elementary charge.

通常の製品では、直流電圧Uは使用されないことが多く、即ちa=0となるため、(2)式のみが重要になる。これによりr0が固定値であれば、特定の質量のイオンを四重極電極内に溜め込むために印加する高周波電圧の振幅(V)は、高周波電圧の周波数(f)を設定することで求めることができる。 In a normal product, the DC voltage U is often not used, i.e., a = 0, so that only the expression (2) is important. Thus, if r 0 is a fixed value, the amplitude (V) of the high-frequency voltage applied to store ions of a specific mass in the quadrupole electrode is obtained by setting the frequency (f) of the high-frequency voltage. be able to.

さらに本実施例の質量分析装置は、小型で軽量な構造となっており、容易に可搬することができる。また、専用のバッテリーが搭載可能で、バッテリーから電力を供給することもできる。   Furthermore, the mass spectrometer of the present embodiment has a small and lightweight structure and can be easily carried. In addition, a dedicated battery can be installed, and power can be supplied from the battery.

図2は、図1の高周波発生回路1の回路構成図である。高周波発生回路1内に設置される構成は、制御部10、周波数可変回路12、振幅変調回路13、高周波増幅回路14、LC共振回路11、温度記憶部15、周波数記憶部16、検波回路17、AD変換回路18、第1の温度測定部19、第2の温度測定部20、第3の温度測定部21である。周波数記憶部16は予め決めた複数の温度に対応する周波数、電圧の数値を記憶する。   FIG. 2 is a circuit configuration diagram of the high-frequency generation circuit 1 of FIG. The configuration installed in the high frequency generation circuit 1 includes a control unit 10, a frequency variable circuit 12, an amplitude modulation circuit 13, a high frequency amplification circuit 14, an LC resonance circuit 11, a temperature storage unit 15, a frequency storage unit 16, a detection circuit 17, An AD conversion circuit 18, a first temperature measurement unit 19, a second temperature measurement unit 20, and a third temperature measurement unit 21. The frequency storage unit 16 stores frequency and voltage values corresponding to a plurality of predetermined temperatures.

ここで周波数記憶部16のデータ列の例として図3を使い説明する。周波数記憶部16には、複数の基準温度、周波数可変回路12に設定する基準温度に対応した共振周波数の数値、振幅変調回路13に設定する共振周波数に対応した電圧の数値が記憶される。   Here, an example of a data string in the frequency storage unit 16 will be described with reference to FIG. The frequency storage unit 16 stores a plurality of reference temperatures, numerical values of resonance frequencies corresponding to the reference temperatures set in the frequency variable circuit 12, and numerical values of voltages corresponding to the resonance frequencies set in the amplitude modulation circuit 13.

第1の温度測定部19はLC共振回路11内に設置され、LC共振回路11内の温度を測定する温度センサであり、サーミスタ、熱電対、CMOSセンサなどがある。第2の温度測定部20は高周波増幅回路14内に設置され、高周波増幅回路14内の温度を測定する温度センサであり、サーミスタ、熱電対、CMOSセンサなどがある。第3の温度測定部21は装置の側面、空気を外部から取り込む空気口などに設置され、外気の温度を測定する温度センサであり、サーミスタ、熱電対、CMOSセンサなどがある。   The first temperature measurement unit 19 is a temperature sensor that is installed in the LC resonance circuit 11 and measures the temperature in the LC resonance circuit 11, and includes a thermistor, a thermocouple, a CMOS sensor, and the like. The second temperature measuring unit 20 is a temperature sensor that is installed in the high-frequency amplifier circuit 14 and measures the temperature in the high-frequency amplifier circuit 14, and includes a thermistor, a thermocouple, a CMOS sensor, and the like. The third temperature measurement unit 21 is a temperature sensor that is installed on the side of the apparatus, an air port that takes in air from the outside, and measures the temperature of the outside air, and includes a thermistor, a thermocouple, a CMOS sensor, and the like.

温度記憶部15には、前回の測定時に周波数可変回路12に設定した共振周波数の数値と振幅変調回路13に設定した電圧の数値に対応した基準温度を記憶する。   The temperature storage unit 15 stores the reference temperature corresponding to the numerical value of the resonance frequency set in the frequency variable circuit 12 and the numerical value of the voltage set in the amplitude modulation circuit 13 during the previous measurement.

周波数可変回路12は制御部10から設定された周波数の高周波電圧を発生させる。発生された該高周波電圧は振幅変調回路13において制御部10から設定された電圧値に振幅変調される。振幅変調された該高周波電圧は高周波増幅回路14で増幅され電線22を介してLC共振回路11へ与えられる。与えられた該高周波電圧はLC共振回路11で更に増幅され四重極電極3に印加される。また、LC共振回路11においては、それにかかる高周波電圧の大きさが後述するように検出され、該検出された高周波電圧は検波回路17に与えられる。   The frequency variable circuit 12 generates a high-frequency voltage having a frequency set by the control unit 10. The generated high-frequency voltage is amplitude-modulated to a voltage value set by the control unit 10 in the amplitude modulation circuit 13. The amplitude-modulated high-frequency voltage is amplified by the high-frequency amplifier circuit 14 and applied to the LC resonance circuit 11 via the electric wire 22. The given high-frequency voltage is further amplified by the LC resonance circuit 11 and applied to the quadrupole electrode 3. Further, in the LC resonance circuit 11, the magnitude of the high frequency voltage applied thereto is detected as will be described later, and the detected high frequency voltage is applied to the detection circuit 17.

図4は、図2のLC共振回路11の回路構成図である。高周波トランス24の1次側のコイルに高周波増幅回路14から高周波電圧が印加される。1次側コイルに印加される該高周波電圧の極性が図に示す矢印の向きであるとき、2次側の2つのコイルに誘起される電圧の向きが図に示す矢印の向きになるように2つのコイルはコアに巻かれる。   FIG. 4 is a circuit configuration diagram of the LC resonance circuit 11 of FIG. A high frequency voltage is applied from the high frequency amplifier circuit 14 to the primary coil of the high frequency transformer 24. When the polarity of the high-frequency voltage applied to the primary coil is in the direction of the arrow shown in the figure, the direction of the voltage induced in the two coils on the secondary side is in the direction of the arrow shown in the figure. One coil is wound around the core.

2次側の2つのコイルの間に直列にコンデンサ25が接続される。高周波トランス24とコンデンサ25は並列共振するLC共振回路11を形成する。また、高周波トランス24の2次側に発生する電圧は2つの分圧用コンデンサ26により分圧され電線23を介して検波回路17に与えられる。   A capacitor 25 is connected in series between the two coils on the secondary side. The high-frequency transformer 24 and the capacitor 25 form an LC resonance circuit 11 that resonates in parallel. The voltage generated on the secondary side of the high-frequency transformer 24 is divided by two voltage dividing capacitors 26 and supplied to the detection circuit 17 via the electric wires 23.

ここで、1次側及び2次側のコイルのインダクタンス(L)、2次側のコンデンサの静電容量(C)は温度の変化によって変動することが知られている。   Here, it is known that the inductance (L) of the primary side and secondary side coils (L) and the capacitance (C) of the secondary side capacitor fluctuate due to changes in temperature.

このようなLC共振回路11における周波数に対する高周波トランスの2次側に発生する電圧の関係、即ち同調特性を各温度別に図5に示す。高周波トランスの2次側に発生する電圧は同調時に最大となり印加される高周波電圧の周波数が同調周波数から上側または下側のいずれの方にずれてもずれるに従い該発生電圧は小さくなる。即ち、該発生電圧の大きさは周波数に対して単峰特性を有する。   FIG. 5 shows the relationship between the voltage generated on the secondary side of the high-frequency transformer with respect to the frequency in the LC resonance circuit 11, that is, the tuning characteristics, for each temperature. The voltage generated on the secondary side of the high-frequency transformer is maximized at the time of tuning, and the generated voltage decreases as the frequency of the applied high-frequency voltage deviates either upward or downward from the tuning frequency. That is, the magnitude of the generated voltage has a single peak characteristic with respect to the frequency.

ここで、(1)は温度Taでの特性を示し共振周波数はfa、(2)は温度Tbでの特性を示し共振周波数はfb、(3)は温度Tcでの特性を示し共振周波数はfc、(4)は温度Tdでの特性を示し共振周波数はfdとなるが、温度Taでの共振周波数fa を設定した状態で温度がTdに変化した場合、発生電圧は1/10以下となる。従って、各温度に対応した周波数を設定する必要がある。   Here, (1) shows the characteristics at the temperature Ta, the resonance frequency is fa, (2) shows the characteristics at the temperature Tb, the resonance frequency is fb, (3) shows the characteristics at the temperature Tc, and the resonance frequency is fc. (4) shows the characteristics at the temperature Td, and the resonance frequency is fd. When the temperature changes to Td with the resonance frequency fa at the temperature Ta set, the generated voltage becomes 1/10 or less. Therefore, it is necessary to set a frequency corresponding to each temperature.

LC共振回路から電線23を介して与えられた高周波電圧は、検波回路17で整流され更に平滑化される。該整流され更に平滑化された電圧はAD変換回路18においてデジタル値に変換され制御部10に与えられる。与えられた該高周波電圧は制御部10内において、振幅変調回路13に設定した電圧と比較される。比較された結果、偏差は制御部10内のPI演算回路により補正が行われ、振幅変調回路13の電圧値が更新される。PI演算回路による補正が繰り返されることで、LC共振回路11から四重極電極に印加される高周波電圧は一定の電圧値に制御される。また、比較された結果、偏差が閾値を超えた場合は、LC共振回路11の駆動周波数が共振周波数からずれたと判断し、測定を中止してアラームを上げることも可能である。同様に、制御部10においては、高周波増幅回路14の消費電力も監視し、常に閾値と比較している。比較した結果、偏差が閾値を超えた場合は、LC共振回路11の駆動周波数が共振周波数からずれたと判断し、測定を中止してアラームを上げることも可能である。   The high frequency voltage applied from the LC resonance circuit via the electric wire 23 is rectified by the detection circuit 17 and further smoothed. The rectified and further smoothed voltage is converted into a digital value by the AD conversion circuit 18 and supplied to the control unit 10. The given high frequency voltage is compared with the voltage set in the amplitude modulation circuit 13 in the control unit 10. As a result of the comparison, the deviation is corrected by the PI operation circuit in the control unit 10, and the voltage value of the amplitude modulation circuit 13 is updated. By repeating the correction by the PI operation circuit, the high frequency voltage applied from the LC resonance circuit 11 to the quadrupole electrode is controlled to a constant voltage value. If the deviation exceeds the threshold as a result of the comparison, it is possible to determine that the drive frequency of the LC resonance circuit 11 has deviated from the resonance frequency, stop the measurement, and raise an alarm. Similarly, the control unit 10 monitors the power consumption of the high frequency amplifier circuit 14 and constantly compares it with a threshold value. As a result of the comparison, if the deviation exceeds the threshold value, it is possible to determine that the drive frequency of the LC resonance circuit 11 has deviated from the resonance frequency, stop the measurement, and raise an alarm.

図6に実施例1のフローチャートを示す。   FIG. 6 shows a flowchart of the first embodiment.

測定が開始すると、制御部10は第1の温度測定部19、第2の温度測定部20、第3の温度測定部21の中から1つを選択して温度を測定する。制御部10は選択し測定した該温度データに近い基準温度に対応した共振周波数と電圧を周波数記憶部16から参照し、共振周波数を周波数可変回路12に、電圧を振幅変調回路13に設定し、質量分析が開始する。   When the measurement starts, the control unit 10 selects one of the first temperature measurement unit 19, the second temperature measurement unit 20, and the third temperature measurement unit 21 and measures the temperature. The control unit 10 refers to the resonance frequency and voltage corresponding to the reference temperature close to the selected and measured temperature data from the frequency storage unit 16, sets the resonance frequency in the frequency variable circuit 12, and sets the voltage in the amplitude modulation circuit 13. Mass spectrometry begins.

図7に実施例2のフローチャートを示す。   FIG. 7 shows a flowchart of the second embodiment.

測定を開始すると、制御部10は第1の温度測定部19、第2の温度測定部20、第3の温度測定部21の中から1つを選択して温度を測定する。制御部10は測定した該温度データと前回の測定時に周波数可変回路12に設定した共振周波数に対応した基準温度を比較する。比較した結果、その偏差が所定の閾値以下であるかどうか判定し、所定の閾値以下の場合には、周波数可変回路12と振幅変調回路13は前回の設定のままにする。その時、温度記憶部15も更新せず、前回の設定のままにする。所定の閾値以下でない場合には、今回測定した温度に近い基準温度に対応した共振周波数と電圧を周波数記憶部16から参照し、共振周波数を周波数可変回路12に、電圧を振幅変調回路13に設定し、質量分析が開始する。   When the measurement is started, the control unit 10 selects one of the first temperature measurement unit 19, the second temperature measurement unit 20, and the third temperature measurement unit 21 and measures the temperature. The control unit 10 compares the measured temperature data with a reference temperature corresponding to the resonance frequency set in the frequency variable circuit 12 at the previous measurement. As a result of the comparison, it is determined whether or not the deviation is equal to or smaller than a predetermined threshold value. When the deviation is equal to or smaller than the predetermined threshold value, the frequency variable circuit 12 and the amplitude modulation circuit 13 are left at the previous settings. At that time, the temperature storage unit 15 is not updated and the previous setting is maintained. If it is not less than the predetermined threshold value, the resonance frequency and voltage corresponding to the reference temperature close to the temperature measured this time are referred from the frequency storage unit 16, the resonance frequency is set in the frequency variable circuit 12, and the voltage is set in the amplitude modulation circuit 13. Then, mass spectrometry starts.

1 高周波発生回路
2 イオン源
3 四重極電極
4 検出器
5 試料導入部
6 分析部
7 真空排気部
8 データ処理部
9 表示パネル
10 制御部
11 LC共振回路
12 周波数可変回路
13 振幅変調回路
14 高周波増幅回路
15 温度記憶部
16 周波数記憶部
17 検波回路
18 AD変換回路
19 第1の温度測定部
20 第2の温度測定部
21 第3の温度測定部
22、23 電線
24 高周波トランス
25 コンデンサ
26 分圧用コンデンサ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 High frequency generating circuit 2 Ion source 3 Quadrupole electrode 4 Detector 5 Sample introduction part 6 Analysis part 7 Vacuum exhaust part 8 Data processing part 9 Display panel 10 Control part 11 LC resonance circuit 12 Frequency variable circuit 13 Amplitude modulation circuit 14 High frequency Amplifier circuit 15 Temperature storage unit 16 Frequency storage unit 17 Detection circuit 18 AD conversion circuit 19 First temperature measurement unit 20 Second temperature measurement unit 21 Third temperature measurement unit 22, 23 Electric wire 24 High-frequency transformer 25 Capacitor 26 For voltage division Capacitor

Claims (10)

試料を導入する試料導入部と、導入した試料をイオン化するイオン源と、イオン化した試料を分析する複数の電極及び検出器を有する分析部と、を備えた質量分析装置であって、
複数の電極に印加する電圧を生成するLC共振回路と、前記LC共振回路の周波数を可変する周波数可変回路と、予め決めた複数の基準温度に対応する電圧−周波数の関係を記憶する周波数記憶部と、前回の測定時に設定した周波数に対応する基準温度を記憶する温度記憶部と、前記周波数可変回路を制御する制御部と、温度測定部と、をさらに備え、
前記制御部は、前記温度測定部で測定した温度と、前記温度記憶部に記憶した前回の測定時に設定した周波数に対応する基準温度を比較し、その差が所定の閾値以下であるかどうかを判定し、(a) 所定の閾値以下である場合には、前回と同じ周波数となるように前記周波数可変回路を制御し、(b) 所定の閾値以下でない場合には、前記周波数記憶部を参照し、今回測定した温度に対応した周波数となるように前記周波数可変回路を制御することを特徴とする、質量分析装置。
A mass spectrometer comprising: a sample introduction unit for introducing a sample; an ion source for ionizing the introduced sample; and an analysis unit having a plurality of electrodes and a detector for analyzing the ionized sample,
LC resonance circuit for generating a voltage to be applied to a plurality of electrodes, a frequency variable circuit for changing the frequency of the LC resonance circuit, and a frequency storage unit for storing a voltage-frequency relationship corresponding to a plurality of predetermined reference temperatures And a temperature storage unit that stores a reference temperature corresponding to the frequency set at the time of the previous measurement, a control unit that controls the frequency variable circuit, and a temperature measurement unit,
The control unit compares the temperature measured by the temperature measurement unit with a reference temperature corresponding to the frequency set at the previous measurement stored in the temperature storage unit, and determines whether the difference is equal to or less than a predetermined threshold value. (A) If the frequency is less than or equal to a predetermined threshold, control the frequency variable circuit to be the same frequency as the previous time, and (b) if not less than the predetermined threshold, refer to the frequency storage unit And the frequency variable circuit is controlled so as to have a frequency corresponding to the temperature measured this time.
請求項1において、
前記温度測定部は、前記LC共振回路内の温度を測定することを特徴とする、質量分析装置。
In claim 1,
The mass spectrometer is characterized in that the temperature measuring unit measures the temperature in the LC resonance circuit.
請求項1において、
前記LC共振回路の前段に高周波増幅回路を備え、
前記温度測定部は、前記高周波増幅回路内の温度を測定することを特徴とする、質量分析装置。
In claim 1,
A high frequency amplifier circuit is provided in front of the LC resonance circuit,
The mass spectrometer is characterized in that the temperature measuring unit measures a temperature in the high-frequency amplifier circuit.
請求項1において、
前記温度測定部は、装置の外面、又は、外気を取り込む箇所に設置されていることを特徴とする、質量分析装置。
In claim 1,
The mass spectrometer according to claim 1, wherein the temperature measuring unit is installed on an outer surface of the apparatus or a location for taking in outside air.
請求項1から4のいずれかにおいて、
前記温度測定部は、サーミスタであることを特徴とする、質量分析装置。
In any one of Claim 1-4,
The mass spectrometer is a thermistor.
試料を導入する試料導入部と、導入した試料をイオン化するイオン源と、イオン化した試料を分析する複数の電極及び検出器を有する質量分析部と、を備えた質量分析装置であって、A mass spectrometer having a sample introduction unit for introducing a sample, an ion source for ionizing the introduced sample, and a mass analysis unit having a plurality of electrodes and a detector for analyzing the ionized sample,
複数の電極に印加する電圧を生成するLC共振回路と、前記LC共振回路の周波数を可変する周波数可変回路と、予め決めた複数の温度に対応する電圧−周波数の関係を記憶する周波数記憶部と、前記周波数可変回路を制御する制御部と、温度測定部と、をさらに備え、An LC resonance circuit for generating a voltage to be applied to a plurality of electrodes, a frequency variable circuit for varying the frequency of the LC resonance circuit, and a frequency storage unit for storing a voltage-frequency relationship corresponding to a plurality of predetermined temperatures A control unit for controlling the frequency variable circuit; and a temperature measurement unit,
前記制御部は、前記周波数記憶部を参照し、前記温度測定部で測定した温度に対応する周波数となるように前記周波数可変回路を制御することを特徴とする、質量分析装置。The mass spectroscope is characterized in that the control unit refers to the frequency storage unit and controls the frequency variable circuit to have a frequency corresponding to the temperature measured by the temperature measurement unit.
請求項において、
前記温度測定部は、前記LC共振回路内の温度を測定することを特徴とする、質量分析装置。
In claim 6 ,
The mass spectrometer is characterized in that the temperature measuring unit measures the temperature in the LC resonance circuit.
請求項6において、In claim 6,
前記LC共振回路の前段に高周波増幅回路を備え、A high frequency amplifier circuit is provided in front of the LC resonance circuit,
前記温度測定部は、前記高周波増幅回路内の温度を測定することを特徴とする、質量分析装置。The mass spectrometer is characterized in that the temperature measuring unit measures a temperature in the high-frequency amplifier circuit.
請求項において、
前記温度測定部は、装置の外面、又は、外気を取り込む箇所に設置されていることを特徴とする、質量分析装置。
In claim 6 ,
The mass spectrometer according to claim 1, wherein the temperature measuring unit is installed on an outer surface of the apparatus or a location for taking in outside air.
請求項6から9のいずれかにおいて、
前記温度測定部は、サーミスタであることを特徴とする、質量分析装置。
In any of claims 6 to 9 ,
The mass spectrometer is a thermistor.
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