JP5940262B2 - Power supply circuit and pulse output circuit using the same - Google Patents

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Description

この発明は、電源回路及びそれを用いたパルス出力回路に関し、特に、スイッチング回路を用いた電源回路及びパルス出力回路に関する。   The present invention relates to a power supply circuit and a pulse output circuit using the same, and more particularly to a power supply circuit and a pulse output circuit using a switching circuit.

従来、電荷を蓄電するコンデンサー(キャパシター)とスイッチング回路と用いて、比較的高電圧な直流パルスを出力可能とした電源回路がある。このような電源回路は、コンデンサーに蓄えられた電荷をスイッチング素子を用いて放電し、高電圧で大きな電流の電力を短時間で出力する。   2. Description of the Related Art Conventionally, there is a power supply circuit that can output a relatively high voltage DC pulse by using a capacitor (capacitor) that stores electric charges and a switching circuit. Such a power supply circuit discharges the electric charge stored in the capacitor by using a switching element, and outputs a high current with a high voltage in a short time.

ところで、上記のような電源回路には、より高電圧のパルスを出力することが求められる場合がある。高電圧のパルスを出力するためには、電源回路を構成する各回路素子として、より高耐圧のものを用いる必要がある。しかしながら、このような回路素子は、特殊なものであって入手しにくい場合がある。そのため、電源回路の製造コストが高くなったり、電源回路の構成が複雑になったりすることがある。   By the way, the above power supply circuit may be required to output a higher voltage pulse. In order to output a high-voltage pulse, it is necessary to use a higher withstand voltage as each circuit element constituting the power supply circuit. However, such circuit elements are special and may be difficult to obtain. For this reason, the manufacturing cost of the power supply circuit may increase, and the configuration of the power supply circuit may be complicated.

この発明はそのような問題点を解決するためになされたものであり、比較的簡素な構成で高電圧の電力を出力できる電源回路及びそれを用いたパルス出力回路を提供することを目的としている。   The present invention has been made to solve such problems, and an object thereof is to provide a power supply circuit capable of outputting high-voltage power with a relatively simple configuration and a pulse output circuit using the power supply circuit. .

上記目的を達成するためこの発明のある局面に従うと、圧を出力端から出力できる電源回路は、パルス幅変調信号を出力する電圧制御部と、それぞれ、電源から入力される電力に基づき、電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じた直流電圧を出力する複数のスイッチング回路とを備え、複数のスイッチング回路のそれぞれは、電源から入力端側に供給される電力に基づいて、出力端側から所定の直流電圧を出力する変圧部と、変圧部の出力端側に、変圧部に並列に接続され、変圧部から出力された直流電圧に基づいて電荷を蓄電する蓄電素子と、蓄電素子の出力が入力され、電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じて動作するスイッチング部と、スイッチング部の出力端側に設けられ、スイッチング部からの出力を平滑する平滑部とを有し、複数のスイッチング回路は、出力端側で互いに直列に接続されており、変圧部は、出力端側に入力された電力を入力端側から出力できる双方向型のものであり、電源回路は、出力端に電力が入力されたとき、出力端に入力された電力のうち電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じた電力を複数のスイッチング回路のそれぞれにおいてスイッチング部及び変圧部を介して入力端側から出力させることにより負荷として吸収する、負荷装置として動作可能である
この発明の他の局面に従うと、パルス状の電圧を出力端から出力できる電源回路は、パルス幅変調信号を出力する電圧制御部と、それぞれ、電源から入力される電力に基づき、電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じた直流電圧を出力する複数のスイッチング回路とを備え、複数のスイッチング回路のそれぞれは、電源から入力端側に供給される電力に基づいて、出力端側から所定の直流電圧を出力する変圧部と、変圧部の出力端側に、変圧部に並列に接続され、変圧部から出力された直流電圧に基づいて電荷を蓄電する蓄電素子と、蓄電素子の出力が入力され、電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じて動作するスイッチング部と、スイッチング部の出力端側に設けられ、スイッチング部からの出力を平滑する平滑部とを有し、複数のスイッチング回路は、出力端側で互いに直列に接続されており、変圧部は、出力端側に入力された電力を入力端側から出力できる双方向型のものであり、電源回路は、出力端に電力が入力されたとき、出力端に入力された電力のうち電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じた電力を複数のスイッチング回路のそれぞれにおいてスイッチング部及び変圧部を介して入力端側から出力させることにより負荷として吸収する、負荷装置として動作可能である。
好ましくは、電圧制御部は、パルス幅変調信号を調整することで、電源回路を用いた回路の電力潮流制御を行う。
According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a power supply circuit capable of outputting a voltage from the output terminal, a voltage control unit for outputting a pulse width modulation signal, respectively, based on the power input from the power supply, the voltage A plurality of switching circuits for outputting a DC voltage corresponding to the pulse width modulation signal output from the control unit, and each of the plurality of switching circuits is based on the power supplied from the power source to the input end side. A transformer unit that outputs a predetermined DC voltage from the side, a storage element that is connected in parallel to the transformer unit on the output end side of the transformer unit, and that stores electric charges based on the DC voltage output from the transformer unit, and a storage element Is provided on the output end side of the switching unit and the switching unit that operates according to the pulse width modulation signal output from the voltage control unit, and the output from the switching unit is leveled. And a smoothing unit, a plurality of switching circuits is connected in series with each other at the output end side, the transformer unit, intended interactive that can output the input to the output end side power from the input end side of When the power is input to the output terminal, the power supply circuit switches the power corresponding to the pulse width modulation signal output from the voltage control unit among the power input to the output terminal in each of the plurality of switching circuits. It is possible to operate as a load device that absorbs as a load by outputting from the input end side through the unit and the transformer .
According to another aspect of the present invention, a power supply circuit capable of outputting a pulsed voltage from an output terminal is based on a voltage control unit that outputs a pulse width modulation signal and a voltage control unit based on power input from the power supply, respectively. A plurality of switching circuits for outputting a DC voltage corresponding to the output pulse width modulation signal, and each of the plurality of switching circuits is predetermined from the output end side based on power supplied from the power source to the input end side. A transformer unit that outputs a direct current voltage, a storage element that is connected in parallel to the transformer unit on the output end side of the transformer unit, and that stores electric charges based on the DC voltage output from the transformer unit, and an output of the storage element A switching unit that operates according to a pulse width modulation signal that is input and output from the voltage control unit, and a smoothing unit that is provided on the output end side of the switching unit and smoothes the output from the switching unit The plurality of switching circuits are connected in series to each other on the output end side, and the transformer is a bidirectional type that can output the power input to the output end side from the input end side, When power is input to the output terminal, the circuit supplies power corresponding to the pulse width modulation signal output from the voltage control unit among the power input to the output terminal in each of the plurality of switching circuits. It is possible to operate as a load device that absorbs as a load by outputting from the input end side via the.
Preferably, the voltage control unit performs power flow control of the circuit using the power supply circuit by adjusting the pulse width modulation signal.

好ましくは電圧制御部は、電源回路の出力電圧又は電源回路に接続されている外部回路の所定の位置の電圧に基づいて、パルス幅変調信号を出力する。   Preferably, the voltage control unit outputs the pulse width modulation signal based on the output voltage of the power supply circuit or the voltage at a predetermined position of the external circuit connected to the power supply circuit.

好ましくは電圧制御部は、電源回路に設けられている記憶部又は電源回路の外部に設けられている記憶部に記憶されている、電源回路から出力される電圧に関する波形情報に基づいて、パルス幅変調信号を出力する。   Preferably, the voltage control unit has a pulse width based on waveform information relating to a voltage output from the power supply circuit, which is stored in a storage unit provided in the power supply circuit or a storage unit provided outside the power supply circuit. Output modulation signal.

好ましくは電圧制御部は、電源回路に設けられている演算部又は電源回路の外部に設けられている演算部で演算されて生成された、電源回路から出力される電圧に関する波形情報に基づいて、パルス幅変調信号を出力する。
好ましくは、電圧制御部は、複数のスイッチング回路のそれぞれに対して同一のパルス幅変調信号を出力し、複数のスイッチング回路を同期させて動作させる
Preferably, the voltage control unit is based on waveform information relating to a voltage output from the power supply circuit, which is calculated and generated by a calculation unit provided in the power supply circuit or a calculation unit provided outside the power supply circuit. Outputs a pulse width modulation signal.
Preferably, the voltage control unit outputs the same pulse width modulation signal to each of the plurality of switching circuits, and operates the plurality of switching circuits in synchronization .

好ましくは負荷にパルス状に電圧を印加するパルス出力回路は、直流電源と、直流電源に対して並列に接続された蓄電部と、蓄電部と負荷との間に負荷に直列に接続されたバウンサー回路とを備え、バウンサー回路は、上記のいずれかに記載の電源回路である。   Preferably, the pulse output circuit for applying a voltage in a pulsed manner to the load includes a DC power source, a power storage unit connected in parallel to the DC power source, and a bouncer connected in series to the load between the power storage unit and the load. The bouncer circuit is any one of the power supply circuits described above.

好ましくはバウンサー回路の電圧制御部は、パルス出力回路から負荷に印加される電圧に基づいて、パルス幅変調信号を出力する。   Preferably, the voltage control unit of the bouncer circuit outputs a pulse width modulation signal based on the voltage applied to the load from the pulse output circuit.

これらの発明に従うと、電源回路は、各スイッチング回路から出力される電圧を直列にして加算し、電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じた任意の直流電圧を出力できる。したがって、比較的簡素な構成で高電圧の電力を出力できる電源回路及びそれを用いたパルス出力回路を提供することができる。   According to these inventions, the power supply circuit can add the voltage output from each switching circuit in series and output any DC voltage corresponding to the pulse width modulation signal output from the voltage control unit. Therefore, it is possible to provide a power supply circuit capable of outputting high-voltage power with a relatively simple configuration and a pulse output circuit using the power supply circuit.

本発明の実施の形態の1つにおけるパルス出力回路を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the pulse output circuit in one of the embodiments of this invention. パルス出力回路の動作の一例を説明するタイミングチャートである。It is a timing chart explaining an example of operation of a pulse output circuit. バウンサー回路の概略構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows schematic structure of a bouncer circuit. スイッチング回路の概略構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows schematic structure of a switching circuit. 電圧制御回路の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of a voltage control circuit. 本実施の形態の一変型例に係るパルス出力回路の一例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows an example of the pulse output circuit which concerns on the modified example of this Embodiment.

以下、本発明の実施の形態の1つにおける電源回路を用いたパルス出力回路について説明する。   Hereinafter, a pulse output circuit using a power supply circuit according to one embodiment of the present invention will be described.

電源回路は、本実施の形態において、パルス出力回路のバウンサー回路として用いられる。パルス出力回路は、例えば、線形加速器において用いられるクライストロン用のパルスモジュレーターである。パルス出力回路は、線形加速器において大出力のマイクロ波を増幅するクライストロンを負荷として、その負荷で用いられる高圧パルスを出力する。なお、電源回路は、この用途に限られず、後述するように、種々の用途に用いることができるものである。   The power supply circuit is used as a bouncer circuit of a pulse output circuit in this embodiment. The pulse output circuit is, for example, a pulse modulator for a klystron used in a linear accelerator. The pulse output circuit uses a klystron that amplifies a high-output microwave in a linear accelerator as a load, and outputs a high-pressure pulse used in the load. The power supply circuit is not limited to this application and can be used for various applications as will be described later.

[実施の形態]   [Embodiment]

電源回路(バウンサー回路)の説明に先だって、本実施の形態に係るパルス出力回路の全体の構成について説明する。   Prior to the description of the power supply circuit (bouncer circuit), the entire configuration of the pulse output circuit according to the present embodiment will be described.

[パルス出力回路の全体構成]   [Overall configuration of pulse output circuit]

図1は、本発明の実施の形態の1つにおけるパルス出力回路を示す回路図である。   FIG. 1 is a circuit diagram showing a pulse output circuit according to one embodiment of the present invention.

図1に示されるように、パルス出力回路1は、直流電源DC1と、コンデンサー(キャパシター;蓄電部の一例)Cと、例えば負荷9と、バウンサー回路(電源回路の一例)10とを備える。負荷9は、例えばクライストロンである。負荷9の数は、単数でも複数でもよい。なお、パルス出力回路1は、これらの構成要素の他にも、例えば、保護回路や、アノード変調部(クライストロンのアノードにパルストリガーを出力してクライストロンを動作させる)などを備える。これらは公知の構成であるため、図1における図示やそれらの詳細な説明は省略する。   As shown in FIG. 1, the pulse output circuit 1 includes a DC power source DC1, a capacitor (capacitor; an example of a power storage unit) C, a load 9, and a bouncer circuit (an example of a power circuit). The load 9 is, for example, a klystron. The number of loads 9 may be singular or plural. In addition to these components, the pulse output circuit 1 includes, for example, a protection circuit and an anode modulation unit (outputs a pulse trigger to the anode of the klystron to operate the klystron). Since these are known configurations, the illustration in FIG. 1 and their detailed description are omitted.

直流電源DC1は、例えば、高圧の交流電源に基づいて直流電圧を発生させるスイッチング電源である。直流電源DC1は、負荷9に直列に接続されている。   The DC power supply DC1 is a switching power supply that generates a DC voltage based on, for example, a high-voltage AC power supply. The DC power source DC1 is connected to the load 9 in series.

コンデンサーCは、直流電源DC1に対して、並列に接続されている。コンデンサーCには、直流電源DC1から直流電圧が印加されることで、電荷が蓄積される。   The capacitor C is connected in parallel to the DC power source DC1. Charge is stored in the capacitor C by applying a DC voltage from the DC power source DC1.

バウンサー回路10は、コンデンサーCと負荷9との間に、コンデンサーC及び負荷9に対し直列に接続されている。バウンサー回路10は、直流電圧を出力し、コンデンサーCから負荷9に印加される電圧にその直流電圧を重畳させる。バウンサー回路10は、負荷9に高圧パルスが印加されるとき、それに合わせて直流電圧を出力することにより、パルスが略平坦になるようにする(負荷9に印加される電圧が低下しないようにする)。   The bouncer circuit 10 is connected in series with the capacitor C and the load 9 between the capacitor C and the load 9. The bouncer circuit 10 outputs a DC voltage and superimposes the DC voltage on the voltage applied from the capacitor C to the load 9. When a high voltage pulse is applied to the load 9, the bouncer circuit 10 outputs a DC voltage in accordance with the high voltage pulse so that the pulse becomes substantially flat (a voltage applied to the load 9 is not reduced). ).

クライストロンである負荷9は、短時間に高圧を必要とする。負荷9は、パルストリガーが印加されることで、パルス状の電圧を用いて動作する。パルス出力回路1は、例えば次のような高圧パルスを負荷9に印加する。すなわち、高圧パルスは、70kV程度の所定の電圧であって、パルス電流は、200A〜300A程度である。パルスの幅(電圧の印加時間)は、例えば、2ms〜3ms程度である。従来のパルスの幅は、例えば1ms〜2msであるところ、これは比較的に長パルスであるといえる。高圧パルスは、例えば5ヘルツで(200ms毎に)負荷9に印加される。   The load 9 which is a klystron requires a high pressure in a short time. The load 9 operates using a pulsed voltage when a pulse trigger is applied. The pulse output circuit 1 applies, for example, the following high voltage pulse to the load 9. That is, the high voltage pulse is a predetermined voltage of about 70 kV, and the pulse current is about 200A to 300A. The pulse width (voltage application time) is, for example, about 2 ms to 3 ms. The width of the conventional pulse is, for example, 1 ms to 2 ms, which can be said to be a relatively long pulse. The high-pressure pulse is applied to the load 9 at, for example, 5 Hz (every 200 ms).

クライストロンが適切な位相のマイクロ波を発生できるような、パルスの出力開始時からの電圧の落ち込みの許容量は、例えば1kV程度である。しかしながら、上記のように高圧パルスを出力する場合、コンデンサーCの電圧が低下する量は上記許容量をはるかに超える量となる。そのため、仮にバウンサー回路10が用いられない場合には、クライストロンの正常な動作が期待できなくなる可能性がある。そこで、バウンサー回路10からの補正用の電圧を用いることで、パルス出力回路の電圧低下の影響が許容量内に納まるようになっている。   An allowable amount of voltage drop from the start of pulse output so that the klystron can generate a microwave having an appropriate phase is, for example, about 1 kV. However, when a high voltage pulse is output as described above, the amount by which the voltage of the capacitor C is reduced is much larger than the allowable amount. For this reason, if the bouncer circuit 10 is not used, there is a possibility that normal operation of the klystron cannot be expected. Therefore, by using the correction voltage from the bouncer circuit 10, the influence of the voltage drop of the pulse output circuit falls within an allowable amount.

図2は、パルス出力回路1の動作の一例を説明するタイミングチャートである。   FIG. 2 is a timing chart for explaining an example of the operation of the pulse output circuit 1.

図2において、上段から順に、負荷9へのパルストリガーの印加タイミング、コンデンサーCの電圧、バウンサー回路10の出力電圧、負荷9に流れる電流を示す。図2に示されるように、パルストリガーは、時刻t1から時刻t1’までの期間及び時刻t2から時刻t2’までの期間においてオンとなる。時刻t1から時刻t1’まで、時刻t2から時刻t2’までのそれぞれの期間は、例えば、2.5msである。また、時刻t1から時刻t2までの期間は、例えば、200msである。   2, the application timing of the pulse trigger to the load 9, the voltage of the capacitor C, the output voltage of the bouncer circuit 10, and the current flowing through the load 9 are shown in order from the top. As shown in FIG. 2, the pulse trigger is turned on in a period from time t1 to time t1 'and in a period from time t2 to time t2'. Each period from time t1 to time t1 'and from time t2 to time t2' is, for example, 2.5 ms. Further, the period from time t1 to time t2 is, for example, 200 ms.

本実施の形態において、コンデンサーCの電圧は、常に略70kVの高圧に保たれている。すなわち、負荷9には、負荷9が電力をほとんど使用しない期間も含め、常に高圧がかけられている。この意味で、パルス出力回路1は、負荷9に略一定の電圧を印加しているともいえる。負荷9は、パルストリガーがオンになっているとき、電力を消費する。すなわち、負荷9は、パルス電力を消費する。この意味で、パルス出力回路1は、パルストリガーがオンになっているとき、負荷9にパルス状に電圧を印加するといえる。時刻t1にパルストリガーがオンとなり、負荷9への電圧の印加が開始されると、コンデンサーCの電荷が少なくなるのに伴い、コンデンサーCの電圧が低くなる。時刻t1’に負荷9への電圧の印加が終了すると、コンデンサーCは直流電源DC1によって充電され、コンデンサーCの電圧も徐々に高くなる。   In the present embodiment, the voltage of the capacitor C is always kept at a high voltage of about 70 kV. That is, a high voltage is always applied to the load 9 including a period in which the load 9 hardly uses electric power. In this sense, it can be said that the pulse output circuit 1 applies a substantially constant voltage to the load 9. The load 9 consumes power when the pulse trigger is on. That is, the load 9 consumes pulse power. In this sense, it can be said that the pulse output circuit 1 applies a voltage in a pulsed manner to the load 9 when the pulse trigger is on. When the pulse trigger is turned on at time t1 and the application of the voltage to the load 9 is started, the voltage of the capacitor C decreases as the charge of the capacitor C decreases. When the application of the voltage to the load 9 is completed at time t1 ', the capacitor C is charged by the DC power source DC1, and the voltage of the capacitor C gradually increases.

ここで、バウンサー回路10は、時刻t1から時刻t1’までと、時刻t2から時刻t2’までとのそれぞれの期間に、直流電圧を出力する。バウンサー回路10から出力される直流電圧は、コンデンサーCの電圧の低下に合わせて、パルスの出力期間が終わるまで徐々に高くなる。直流電圧は、例えば、0Vから15kV程度の範囲で出力される。コンデンサーCから放電される電荷に基づく電圧と、バウンサー回路10から出力される電圧とが重畳されることで、負荷9には平坦なパルス状の電圧が供給される。   Here, the bouncer circuit 10 outputs a DC voltage during each period from time t1 to time t1 'and from time t2 to time t2'. The DC voltage output from the bouncer circuit 10 gradually increases as the voltage of the capacitor C decreases until the pulse output period ends. The DC voltage is output in the range of about 0V to 15kV, for example. A flat pulse voltage is supplied to the load 9 by superimposing the voltage based on the electric charge discharged from the capacitor C and the voltage output from the bouncer circuit 10.

次に、バウンサー回路10の構成について説明する。   Next, the configuration of the bouncer circuit 10 will be described.

[バウンサー回路10の構成]   [Configuration of Bouncer Circuit 10]

図3は、バウンサー回路10の概略構成を示す回路図である。   FIG. 3 is a circuit diagram illustrating a schematic configuration of the bouncer circuit 10.

図3に示されるように、バウンサー回路10は、例えば15個のスイッチング回路20a,20b,…,20o(以下、これらのそれぞれを区別せずスイッチング回路20ということがある。)と、AC/DCコンバーター回路60と、電圧制御回路(電圧制御部の一例)70と、制御部90とを有している。バウンサー回路10は、出力端10aから直流電圧を出力できる。バウンサー回路10は、直流電圧を、パルス状に出力できる。   As shown in FIG. 3, the bouncer circuit 10 includes, for example, 15 switching circuits 20a, 20b,..., 20o (hereinafter, these may be referred to as switching circuits 20 without being distinguished from each other), and AC / DC. It has a converter circuit 60, a voltage control circuit (an example of a voltage control unit) 70, and a control unit 90. The bouncer circuit 10 can output a DC voltage from the output terminal 10a. The bouncer circuit 10 can output a DC voltage in a pulse form.

AC/DCコンバーター回路60は、例えば3相200Vの交流電源AC1に接続されている。AC/DCコンバーター回路60は、交流電源AC1から供給された交流電圧を直流に変換し、各スイッチング回路20に出力する。交流電源AC1は、直流電源DC1とは別に設けられた電源であるが、これに限られるものではない。   The AC / DC converter circuit 60 is connected to, for example, a three-phase 200V AC power supply AC1. The AC / DC converter circuit 60 converts the alternating voltage supplied from the alternating current power supply AC <b> 1 into direct current and outputs the direct current to each switching circuit 20. Although AC power supply AC1 is a power supply provided separately from DC power supply DC1, it is not restricted to this.

図4は、スイッチング回路20の概略構成を示す回路図である。   FIG. 4 is a circuit diagram showing a schematic configuration of the switching circuit 20.

図4を参照して、スイッチング回路20は、変圧部21と、コンデンサー(蓄電素子の一例)C11と、スイッチングアンプ(スイッチング部の一例))23と、平滑インダクターL2と、平滑コンデンサーC2とを有している。   Referring to FIG. 4, the switching circuit 20 includes a transformer 21, a capacitor (an example of a storage element) C11, a switching amplifier (an example of a switching unit) 23, a smoothing inductor L2, and a smoothing capacitor C2. doing.

AC/DCコンバーター回路60の出力は、各スイッチング回路20において、変圧部21に入力される。変圧部21は、DC/DCコンバーターである。変圧部21は、例えば、絶縁トランスや、絶縁トランスの2次側に設けられたダイオードブリッジなどで構成されている。変圧部21は、交流電源AC1からAC/DCコンバーター回路60を経由して直流電力が入力されると、電圧を高く変圧し、所定の直流電圧を出力する。なお、各スイッチング回路20において、変圧部21から出力される直流電圧は同じであってもよいし、異なるようにしてもよい。   The output of the AC / DC converter circuit 60 is input to the transformer unit 21 in each switching circuit 20. The transformer 21 is a DC / DC converter. The transformer unit 21 is configured by, for example, an insulating transformer or a diode bridge provided on the secondary side of the insulating transformer. When DC power is input from the AC power supply AC1 via the AC / DC converter circuit 60, the transformer unit 21 transforms the voltage to be high and outputs a predetermined DC voltage. In each switching circuit 20, the DC voltage output from the transformer 21 may be the same or different.

コンデンサーC11は、例えば電解コンデンサーである。コンデンサーC11は、変圧部21に対して並列に接続されている。コンデンサーC11は、バウンサー回路10から所定のタイミング(本実施の形態においては、パルス出力回路1の高圧パルスの出力タイミングに対応するタイミングをいう。)で出力される電荷を、出力されるまで蓄積する。これにより、スイッチング回路20からパルス状の直流電圧を出力することができる。   The capacitor C11 is, for example, an electrolytic capacitor. The capacitor C11 is connected in parallel to the transformer unit 21. Capacitor C11 accumulates the electric charge output from bouncer circuit 10 at a predetermined timing (in this embodiment, the timing corresponding to the output timing of the high-voltage pulse of pulse output circuit 1) until it is output. . Thereby, a pulsed DC voltage can be output from the switching circuit 20.

スイッチングアンプ23は、スイッチング素子23aを有している。スイッチングアンプ23には、変圧部21の出力が入力される。スイッチングアンプ23は、スイッチング素子23aのオン・オフ動作に伴い、変圧部21から出力された電力、すなわちコンデンサーC11から出力された電力を出力する。   The switching amplifier 23 has a switching element 23a. The output of the transformer 21 is input to the switching amplifier 23. The switching amplifier 23 outputs the power output from the transformer 21, that is, the power output from the capacitor C11, in accordance with the on / off operation of the switching element 23a.

本実施の形態において、スイッチング素子23aは、後述のようにして電圧制御回路70から出力されたパルス幅変調(PWM)信号に応じて開閉する。これにより、スイッチングアンプ23は、変圧部21から入力された直流電圧に基づいて、パルス幅変調信号に応じた電圧を出力する。   In the present embodiment, the switching element 23a opens and closes according to a pulse width modulation (PWM) signal output from the voltage control circuit 70 as will be described later. Thereby, the switching amplifier 23 outputs a voltage corresponding to the pulse width modulation signal based on the DC voltage input from the transformer 21.

スイッチングアンプ23よりも後段の、スイッチングアンプ23の高圧側の出力ラインには、スイッチングアンプ23に対して直列に接続された平滑インダクターL2が設けられている。平滑インダクターL2の出力ライン(出力端T1に繋がるライン)とスイッチングアンプ23の低圧側の出力ライン(出力端T2に繋がるライン)との間には、平滑コンデンサーC2が接続されている。換言すると、平滑インダクターL2及び平滑コンデンサーC2は、スイッチングアンプ23よりも出力端T1,T2側の出力ラインに設けられている。平滑インダクターL2及び平滑コンデンサーC2は、スイッチングアンプ23から出力された直流電圧を平滑する平滑部を構成する。スイッチングアンプ23から出力された直流電圧は、平滑コンデンサーC2及び平滑インダクターL2により平滑されて、出力端T1,T2から出力される。   A smoothing inductor L <b> 2 connected in series to the switching amplifier 23 is provided on the output line on the high voltage side of the switching amplifier 23, which is subsequent to the switching amplifier 23. A smoothing capacitor C2 is connected between the output line of the smoothing inductor L2 (line connected to the output terminal T1) and the output line on the low voltage side of the switching amplifier 23 (line connected to the output terminal T2). In other words, the smoothing inductor L <b> 2 and the smoothing capacitor C <b> 2 are provided on the output line closer to the output terminals T <b> 1 and T <b> 2 than the switching amplifier 23. The smoothing inductor L2 and the smoothing capacitor C2 form a smoothing unit that smoothes the DC voltage output from the switching amplifier 23. The DC voltage output from the switching amplifier 23 is smoothed by the smoothing capacitor C2 and the smoothing inductor L2, and is output from the output terminals T1 and T2.

図3に示されるように、複数のスイッチング回路20は、それぞれ、互いに並列に、AC/DCコンバーター回路60に接続されている。すなわち、複数のスイッチング回路20は、その電源となるAC/DCコンバーター回路60及び交流電源AC1に対して、互いに並列に接続されている。各スイッチング回路20は、AC/DCコンバーター回路60から出力された電力に基づいて、直流電圧を出力する。各スイッチング回路20は、1kV程度までの直流電圧を出力可能に構成されている。   As shown in FIG. 3, the plurality of switching circuits 20 are connected to the AC / DC converter circuit 60 in parallel with each other. That is, the plurality of switching circuits 20 are connected in parallel to each other with respect to the AC / DC converter circuit 60 and the AC power supply AC1 serving as the power supply. Each switching circuit 20 outputs a DC voltage based on the power output from the AC / DC converter circuit 60. Each switching circuit 20 is configured to be able to output a DC voltage up to about 1 kV.

また、本実施の形態において、複数のスイッチング回路20は、それらの出力が積み重なるように、出力端T1,T2側において互いに直列に接続されている。各スイッチング回路20の高圧側の出力端T1(図4に示す)は、それよりも上段のスイッチング回路20の低圧側の出力端T2(図4に示す)に接続されている。接地されている最下段のスイッチング回路20oの高圧側の出力端T1の電圧は、高いときで1kV程度となる。これに直列に接続された次のスイッチング回路(図示せず)の高圧側の出力端T1は、2kV程度となり、最上段で15個目のスイッチング回路20aの高圧側の出力端T1は、高いときで15kV程度となる。複数のスイッチング回路20のうち、最上段のスイッチング回路20aの高圧側の出力端T1の直流電圧が、バウンサー回路10の出力端10aから出力される。各スイッチング回路20は、0V〜1kV程度の範囲で直流電圧を出力できるので、スイッチング回路20a,…,20oを直列に接続して各出力電圧を加算することにより、バウンサー回路10は、0V〜15kV程度の範囲で直流電圧を出力できる。   Moreover, in this Embodiment, the some switching circuit 20 is mutually connected in series by the output terminal T1, T2 side so that those outputs may be piled up. The output terminal T1 (shown in FIG. 4) on the high voltage side of each switching circuit 20 is connected to the output terminal T2 (shown in FIG. 4) on the low voltage side of the switching circuit 20 in the upper stage. The voltage of the output terminal T1 on the high voltage side of the lowermost switching circuit 20o that is grounded is about 1 kV when it is high. When the output terminal T1 on the high voltage side of the next switching circuit (not shown) connected in series is about 2 kV, and the output terminal T1 on the high voltage side of the fifteenth switching circuit 20a at the top is high. Is about 15 kV. Among the plurality of switching circuits 20, a DC voltage at the output terminal T1 on the high voltage side of the uppermost switching circuit 20a is output from the output terminal 10a of the bouncer circuit 10. Since each switching circuit 20 can output a DC voltage in the range of about 0V to 1kV, the bouncer circuit 10 can be set to 0V to 15kV by connecting the switching circuits 20a, ..., 20o in series and adding the output voltages. DC voltage can be output within a range.

図3に示されるように、制御部90は、例えばマイクロコンピューターなどを用いて構成されている。制御部90は、CPU(演算部の一例)91と、メモリ(記憶部の一例)92とを有している。メモリ92には、バウンサー回路10から出力される電圧に関する波形情報が記憶されている。制御部90は、波形情報に基づいて基準波形信号を生成する。制御部90は、生成した基準波形信号を電圧制御回路70に送信する。   As shown in FIG. 3, the control unit 90 is configured using, for example, a microcomputer. The control unit 90 includes a CPU (an example of a calculation unit) 91 and a memory (an example of a storage unit) 92. The memory 92 stores waveform information related to the voltage output from the bouncer circuit 10. The control unit 90 generates a reference waveform signal based on the waveform information. The control unit 90 transmits the generated reference waveform signal to the voltage control circuit 70.

電圧制御回路70は、後述のようにしてパルス幅変調信号を生成し、生成したパルス幅変調信号を各スイッチング回路20に出力する。パルス幅変調信号は、光点弧信号としてスイッチング回路20に送られる。パルス幅変調信号がスイッチング回路20に送られると、各スイッチング回路20は、パルス幅変調信号に応じて動作し、パルス幅変調信号に応じた直流電圧を出力する。各スイッチング回路20は、同一のパルス幅変調信号に基づいて動作することになる。すなわち、電圧制御回路70が複数のスイッチング回路20を同期させて一体として動作させることで、複数のスイッチング回路20のうち最上段のものの出力端から、それら複数のスイッチング回路20の全体の動作結果としての直流電圧の出力を得ることができる。   The voltage control circuit 70 generates a pulse width modulation signal as described later, and outputs the generated pulse width modulation signal to each switching circuit 20. The pulse width modulation signal is sent to the switching circuit 20 as a light ignition signal. When the pulse width modulation signal is sent to the switching circuit 20, each switching circuit 20 operates according to the pulse width modulation signal and outputs a DC voltage according to the pulse width modulation signal. Each switching circuit 20 operates based on the same pulse width modulation signal. That is, the voltage control circuit 70 synchronizes and operates the plurality of switching circuits 20 as a unit, so that the overall operation result of the plurality of switching circuits 20 is output from the output terminal of the uppermost one of the plurality of switching circuits 20. DC voltage output can be obtained.

パルス幅変調信号は、基本的には、次のように出力される。すなわち、高圧パルスの印加開始から印加終了まで、バウンサー回路10から出力される直流電圧が徐々に大きくなるように、パルス幅変調信号のデュティ比が徐々に大きくなる。コンデンサーCの電圧が低下するのに応じて、パルス幅変調信号のデュティ比が変化され、それにより、バウンサー回路10から三角パルス波状の直流電圧が出力される。   The pulse width modulation signal is basically output as follows. That is, the duty ratio of the pulse width modulation signal gradually increases so that the DC voltage output from the bouncer circuit 10 gradually increases from the start to the end of application of the high-voltage pulse. As the voltage of the capacitor C decreases, the duty ratio of the pulse width modulation signal is changed, so that a DC voltage in the form of a triangular pulse wave is output from the bouncer circuit 10.

電圧制御回路70には、制御部90から送信された基準波形信号と、モニター電圧とが入力される。本実施の形態においては、バウンサー回路10の出力電圧に応じた電圧がモニター電圧として入力される。すなわち、最上段のスイッチング回路20aの出力端の電圧を抵抗R1と抵抗R2とで分圧した電圧が、モニター電圧として、電圧制御回路70に入力されている。   The voltage control circuit 70 receives the reference waveform signal transmitted from the control unit 90 and the monitor voltage. In the present embodiment, a voltage corresponding to the output voltage of the bouncer circuit 10 is input as the monitor voltage. That is, a voltage obtained by dividing the voltage at the output terminal of the uppermost switching circuit 20a by the resistor R1 and the resistor R2 is input to the voltage control circuit 70 as a monitor voltage.

電圧制御回路70は、基準波形信号に基づいて、パルス幅変調信号を生成する。換言すると、電圧制御回路70は、メモリ92に記憶されている波形情報に基づいて、パルス幅変調信号を出力する。また、電圧制御回路70は、モニター電圧にも基づいて、パルス幅変調信号を生成する。これにより、電圧制御回路70は、バウンサー回路10から出力される直流電圧のフィードバック制御を行う。   The voltage control circuit 70 generates a pulse width modulation signal based on the reference waveform signal. In other words, the voltage control circuit 70 outputs a pulse width modulation signal based on the waveform information stored in the memory 92. The voltage control circuit 70 also generates a pulse width modulation signal based on the monitor voltage. Thereby, the voltage control circuit 70 performs feedback control of the DC voltage output from the bouncer circuit 10.

図5は、電圧制御回路70の概略構成を示すブロック図である。   FIG. 5 is a block diagram showing a schematic configuration of the voltage control circuit 70.

電圧制御回路70は、比較部71と、A/D変換部73と、PWM変調部75と、信号出力部77などを有している。   The voltage control circuit 70 includes a comparison unit 71, an A / D conversion unit 73, a PWM modulation unit 75, a signal output unit 77, and the like.

比較部71には、制御部90から送信された基準波形信号が入力される。また、比較部71には、モニター電圧に基づく信号が入力される。モニター電圧が比較部71に入力されると、A/D変換部73によりモニター電圧に基づくデジタル信号が生成され、出力される。比較部71には、A/D変換部73から出力された、モニター電圧に基づくデジタル信号が入力される。   The reference waveform signal transmitted from the control unit 90 is input to the comparison unit 71. Further, a signal based on the monitor voltage is input to the comparison unit 71. When the monitor voltage is input to the comparison unit 71, a digital signal based on the monitor voltage is generated and output by the A / D conversion unit 73. The comparison unit 71 receives a digital signal output from the A / D conversion unit 73 based on the monitor voltage.

比較部71は、入力された信号を比較し、それらに基づいて、信号をPWM変調部75に出力する。PWM変調部75は、入力された信号に基づいてパルス幅変調を行い、パルス幅変調信号を信号出力部77に送る。信号出力部77は、PWM変調部75から送られたパルス幅変調信号を光点弧信号として、各スイッチング回路20に送出する。これにより、各スイッチング回路20は、パルス幅変調信号に基づいて動作し、バウンサー回路10から、パルス幅変調信号に対応する直流電圧が出力される。   The comparison unit 71 compares the input signals and outputs a signal to the PWM modulation unit 75 based on them. The PWM modulation unit 75 performs pulse width modulation based on the input signal and sends a pulse width modulation signal to the signal output unit 77. The signal output unit 77 sends the pulse width modulation signal sent from the PWM modulation unit 75 to each switching circuit 20 as a light ignition signal. Thus, each switching circuit 20 operates based on the pulse width modulation signal, and a DC voltage corresponding to the pulse width modulation signal is output from the bouncer circuit 10.

[パルス出力回路の変型例の説明]   [Description of variation of pulse output circuit]

パルス出力回路は、負電圧を負荷9に印加するように構成されていてもよい。   The pulse output circuit may be configured to apply a negative voltage to the load 9.

図6は、本実施の形態の一変型例に係るパルス出力回路101の一例を示す回路図である。   FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an example of a pulse output circuit 101 according to a variation of the present embodiment.

パルス出力回路101は、負電圧のパルス電圧を、クライストロンである負荷9に印加する。図6に示されるように、パルス出力回路101は、直流電源DC1aと、コンデンサーCと、保護回路105と、アノード変調回路106と、バウンサー回路110と、負荷9とを備えている。   The pulse output circuit 101 applies a negative pulse voltage to the load 9 which is a klystron. As shown in FIG. 6, the pulse output circuit 101 includes a DC power supply DC1a, a capacitor C, a protection circuit 105, an anode modulation circuit 106, a bouncer circuit 110, and a load 9.

直流電源DC1aには、例えば交流電源が入力される。直流電源DC1aは、交流電源をもとに、負荷9に印加される直流電圧を出力し、直流電源DC1aに並列に接続されたコンデンサーCに電荷を蓄積する。コンデンサーCと負荷9との間には、コンデンサーCに並列に、保護回路105が接続されている。保護回路105は、例えば、スパークギャップスイッチなどを有している。   For example, an AC power supply is input to the DC power supply DC1a. The DC power source DC1a outputs a DC voltage applied to the load 9 based on the AC power source, and accumulates electric charges in a capacitor C connected in parallel to the DC power source DC1a. A protection circuit 105 is connected between the capacitor C and the load 9 in parallel with the capacitor C. The protection circuit 105 includes, for example, a spark gap switch.

パルス出力回路101の高圧側の出力ラインは、接地されている。パルス出力回路101の高圧側の出力ラインは、0Vであり、低圧側の出力ラインは、例えば−70kV程度とされている。バウンサー回路110は、接地点とコンデンサーCの高圧側のラインとの間に、コンデンサーC及び負荷9に対し直列に接続されている。また、アノード変調回路106は、高圧側の出力ラインに接続されている。アノード変調回路106には、負荷9を動作させるためのパルストリガーを発生するアノードパルサー106aが設けられている。アノードパルサー106aは、高圧側の出力ラインの電圧を用いて、パルストリガーを所定のタイミングで発生させ、各負荷9にパルストリガーを送出する。これにより、各負荷9が所定のタイミングで駆動され、パルス出力回路101から供給される電圧をパルス状に消費する。すなわち、各負荷9には、パルストリガーにあわせて、高圧パルスが印加される。   The output line on the high voltage side of the pulse output circuit 101 is grounded. The output line on the high voltage side of the pulse output circuit 101 is 0 V, and the output line on the low voltage side is, for example, about −70 kV. The bouncer circuit 110 is connected in series with the capacitor C and the load 9 between the ground point and the line on the high voltage side of the capacitor C. Further, the anode modulation circuit 106 is connected to an output line on the high voltage side. The anode modulation circuit 106 is provided with an anode pulser 106 a that generates a pulse trigger for operating the load 9. The anode pulser 106a generates a pulse trigger at a predetermined timing using the voltage of the output line on the high voltage side, and sends the pulse trigger to each load 9. As a result, each load 9 is driven at a predetermined timing, and the voltage supplied from the pulse output circuit 101 is consumed in pulses. That is, a high voltage pulse is applied to each load 9 in accordance with the pulse trigger.

このように負電圧を負荷9に印加するように構成されたパルス出力回路101においても、バウンサー回路110は、上述の実施の形態と略同様に、パルス幅変調信号に基づいて動作するスイッチング回路を直列に接続して積み重ねて構成されている。バウンサー回路110は、スイッチング回路がパルス幅変調信号に応じて動作することで、コンデンサーCの電圧低下分を補正するための負の直流電圧を、高圧パルスが負荷9に出力されるタイミングに合わせて出力する。コンデンサーCから放電される電荷に基づく電圧と、バウンサー回路10から出力される電圧とが重畳されることで、負荷9には、平坦なパルス状の電圧が供給される。   In the pulse output circuit 101 configured to apply a negative voltage to the load 9 as described above, the bouncer circuit 110 includes a switching circuit that operates based on the pulse width modulation signal, as in the above-described embodiment. Connected in series and stacked. The bouncer circuit 110 operates the switching circuit according to the pulse width modulation signal, so that the negative DC voltage for correcting the voltage drop of the capacitor C is matched with the timing when the high voltage pulse is output to the load 9. Output. The voltage based on the electric charge discharged from the capacitor C and the voltage output from the bouncer circuit 10 are superimposed, whereby a flat pulse voltage is supplied to the load 9.

[変型例の説明]   [Description of variant]

制御部90は、バウンサー回路10に専用のものとして設けられているものであってもよいし、そうではなく、他の回路や装置の制御も行うものであってもよい。制御部90は、バウンサー回路10外や、パルス出力回路1外に設けられていてもよい。また、波形情報は、電圧制御回路70の内部に記憶されており、適切なタイミングでそれに対応する信号が比較部71に入力されるようにしてもよい。   The controller 90 may be provided exclusively for the bouncer circuit 10, or may be a controller that controls other circuits and devices. The controller 90 may be provided outside the bouncer circuit 10 or outside the pulse output circuit 1. The waveform information may be stored in the voltage control circuit 70, and a signal corresponding to the waveform information may be input to the comparison unit 71 at an appropriate timing.

制御部90は、バウンサー回路10の動作時に、CPU91による演算を行うことにより波形情報を生成し、生成した波形情報に基づいて信号を電圧制御回路70に送信するようにしてもよい。波形情報は、例えば、予め設定された種々のパラメータと、時刻情報(タイミング情報)などに基づいて生成できる。電圧制御回路70には、バウンサー回路10に接続された、制御部90としての外部のコンピューターから送信された波形情報が入力されるようにしてもよい。これにより、バウンサー回路10の動作を適宜変更することができる。   The control unit 90 may generate waveform information by performing calculation by the CPU 91 during operation of the bouncer circuit 10, and may transmit a signal to the voltage control circuit 70 based on the generated waveform information. The waveform information can be generated based on, for example, various preset parameters and time information (timing information). The voltage control circuit 70 may be input with waveform information transmitted from an external computer connected to the bouncer circuit 10 as the control unit 90. Thereby, the operation of the bouncer circuit 10 can be changed as appropriate.

電圧制御回路70には、パルス出力回路1から負荷9に印加される電圧に基づく電圧が、モニター電圧として入力されてもよい。すなわち、電圧制御回路70は、バウンサー回路10から出力される電圧とコンデンサーCに基づく電圧とを重畳した電圧に基づいて、その電圧が所定の電圧に維持されるように、バウンサー回路10から出力される電圧をフィードバック制御するようにしてもよい。このようにバウンサー回路10による補正加算後の電圧が略一定になるように大ループのアクティブ補正回路を構成することにより、負荷9に印加される電圧をより確実に安定させることができる。   A voltage based on the voltage applied from the pulse output circuit 1 to the load 9 may be input to the voltage control circuit 70 as a monitor voltage. That is, the voltage control circuit 70 is output from the bouncer circuit 10 based on a voltage obtained by superimposing the voltage output from the bouncer circuit 10 and the voltage based on the capacitor C so that the voltage is maintained at a predetermined voltage. The voltage may be feedback controlled. In this way, by configuring the large loop active correction circuit so that the voltage after the correction addition by the bouncer circuit 10 becomes substantially constant, the voltage applied to the load 9 can be stabilized more reliably.

電圧制御回路70には、モニター電圧が入力されなくてもよい。すなわち、電圧制御回路70は、フィードバック制御を行わず、所定のタイミングで所定のパルス幅変調信号を送出し、バウンサー回路10から常に同様の直流電圧が出力されるようにしてもよい。   The monitor voltage may not be input to the voltage control circuit 70. That is, the voltage control circuit 70 may send out a predetermined pulse width modulation signal at a predetermined timing without performing feedback control so that the bouncer circuit 10 always outputs the same DC voltage.

[バウンサー回路10に関する効果]   [Effects on the bouncer circuit 10]

以上説明したように、本実施の形態では、バウンサー回路10は、パルス幅変調信号に応じてパルス状の直流電圧を出力できる電源回路としての構成を有している。各スイッチング回路20から電圧を出力するとき、出力に伴ってコンデンサーC11の電圧が下がる。しかしながら、電圧の出力に伴い、電圧制御回路70から出力するパルス幅変調信号のデュティ比を変更することで、各スイッチング回路20から出力される電圧の高さは、略一定に保たれる。換言すると、コンデンサーC11の電圧が下がっても、スイッチングアンプ23によりこれを補正して出力することができる。これにより、コンデンサーC11として容量が大きな特殊なものを用いることなく、比較的小型なものを用いつつ、電源回路から安定した直流電圧を出力することが可能となる。   As described above, in the present embodiment, the bouncer circuit 10 has a configuration as a power supply circuit that can output a pulsed DC voltage in accordance with a pulse width modulation signal. When a voltage is output from each switching circuit 20, the voltage of the capacitor C11 decreases with the output. However, by changing the duty ratio of the pulse width modulation signal output from the voltage control circuit 70 as the voltage is output, the height of the voltage output from each switching circuit 20 is kept substantially constant. In other words, even if the voltage of the capacitor C11 decreases, the switching amplifier 23 can correct this and output it. As a result, it is possible to output a stable DC voltage from the power supply circuit while using a relatively small capacitor C11 without using a special capacitor having a large capacity.

このような電源回路は、スイッチング素子23aを備えたスイッチング回路20を備え、小型に構成可能なものである。電源回路は、複数のスイッチング回路20を互いに直列に積み重ねて、1つの電源回路として、比較的高い電圧の直流電圧を出力できるように構成されている。したがって、各スイッチング回路20に含まれる各々の素子としては、比較的ありふれたものを用いることができる。そのため、電源回路の構成は比較的簡素にすることができる。各スイッチング回路20はそれほど大きな電圧を出力しなくてもよいので、小型の素子を用いて構成できる。例えば、コンデンサーC11としては、それほど大きくない容量の、市販品のものをもちいることができる。これにより、バウンサー回路10の製造コストを低減することができ、また、全体の大きさが大きくならないようにすることができる。   Such a power supply circuit includes the switching circuit 20 including the switching element 23a and can be configured in a small size. The power supply circuit is configured such that a plurality of switching circuits 20 are stacked in series with each other and a relatively high DC voltage can be output as one power supply circuit. Therefore, a relatively common element can be used as each element included in each switching circuit 20. Therefore, the configuration of the power supply circuit can be made relatively simple. Since each switching circuit 20 does not need to output a very large voltage, it can be configured using small elements. For example, as the capacitor C11, a commercially available product having a capacity not so large can be used. Thereby, the manufacturing cost of the bouncer circuit 10 can be reduced, and the overall size can be prevented from becoming large.

本実施の形態において、バウンサー回路10から出力される電圧は、電圧制御回路70によりフィードバック制御され、常に適切な大きさとなる。したがって、負荷9に印加される電圧を、より安定させることができる。また、電圧制御回路70は、制御部90のメモリ92に記憶された波形情報に基づいて、バウンサー回路10からパルス状の直流電圧を出力させる。したがって、波形情報を調整することで、同一のハードウェア構成のバウンサー回路10を、出力する高圧パルスの電圧やパルス幅が異なる様々な構成のパルス出力回路に用いることができる。例えば、事後的なパルス出力回路1の構成変更に伴い、バウンサー回路10から出力する必要がある高圧パルスの波形等が変更されても、波形情報を調整することで、これに容易に対応させることができる。電圧制御回路70への波形情報に対応する信号の入力方法としては、上記の通り種々の方法を採ることができる。したがって、バウンサー回路10をより汎用性の高いものとすることができる。   In the present embodiment, the voltage output from the bouncer circuit 10 is feedback-controlled by the voltage control circuit 70 and always has an appropriate magnitude. Therefore, the voltage applied to the load 9 can be further stabilized. Further, the voltage control circuit 70 causes the bouncer circuit 10 to output a pulsed DC voltage based on the waveform information stored in the memory 92 of the control unit 90. Therefore, by adjusting the waveform information, the bouncer circuit 10 having the same hardware configuration can be used for pulse output circuits having various configurations with different voltages and pulse widths of the high voltage pulses to be output. For example, even if the waveform of a high-voltage pulse that needs to be output from the bouncer circuit 10 is changed due to a subsequent configuration change of the pulse output circuit 1, it is possible to easily cope with this by adjusting the waveform information. Can do. As a method for inputting a signal corresponding to the waveform information to the voltage control circuit 70, various methods can be adopted as described above. Therefore, the bouncer circuit 10 can be made more versatile.

[パルス出力回路1に関する効果]   [Effects related to pulse output circuit 1]

本実施の形態におけるパルス出力回路1の効果を説明する前に、従来のパルス出力回路について説明すると、次のようであった。   Prior to describing the effects of the pulse output circuit 1 in the present embodiment, the conventional pulse output circuit will be described as follows.

すなわち、例えば線形加速器に用いられるクライストロンなどには、高圧パルスが印加される。このような負荷に印加される高圧パルスは、大型のコンデンサーを用いたパルス出力回路により出力される。このようなパルス出力回路では、パルス出力開始からコンデンサーの電荷が放出されることにより、コンデンサーの電圧低下が発生する。パルス出力回路としては、コンデンサーの電圧低下の影響を少なくするため、LC共振回路を用いたバウンサー回路が設けられているものが知られていた。   That is, a high-pressure pulse is applied to, for example, a klystron used in a linear accelerator. The high voltage pulse applied to such a load is output by a pulse output circuit using a large capacitor. In such a pulse output circuit, the capacitor voltage is reduced by discharging the capacitor charge from the start of pulse output. As a pulse output circuit, there has been known a pulse output circuit provided with a bouncer circuit using an LC resonance circuit in order to reduce the influence of a voltage drop of a capacitor.

LC共振回路によるバウンサー回路を用いた装置では、コンデンサーの電圧低下がバウンサー回路によりある程度補償されるとはいえ、パルス電圧を一定にするには限界があった。すなわち、バウンサー回路では、LC共振回路により、三角関数の波形状の共振電圧を発生させる。コンデンサーの電荷が減少することによる電圧低下に対し、バウンサー回路の共振電圧を重畳させて、長い時間電圧を補償し続けるためには、LC共振のL,C共に大型のものになり、直流重畳のためのパルストランスも大型になってしまう。   In the apparatus using the bouncer circuit by the LC resonance circuit, although the voltage drop of the capacitor is compensated to some extent by the bouncer circuit, there is a limit in making the pulse voltage constant. That is, in the bouncer circuit, an LC resonance circuit generates a trigonometric wave-shaped resonance voltage. In order to continue to compensate the voltage for a long time by superimposing the resonance voltage of the bouncer circuit against the voltage drop due to the decrease in the charge of the capacitor, both L and C of the LC resonance become large, and the DC superposition The pulse transformer for this will also become large.

また、LC共振回路によるバウンサー回路は、高圧パルスを補償するための電圧を出力するものであるため、比較的大型になる。そのため、パルス出力回路の大きさを小型化するには限界がある。   In addition, the bouncer circuit using the LC resonance circuit outputs a voltage for compensating the high voltage pulse, and thus becomes relatively large. For this reason, there is a limit in reducing the size of the pulse output circuit.

なお、コンデンサーの電圧低下の影響を小さくするには、バウンサー回路を設ける方法のほか、より大型なコンデンサーを用いる方法が考えられる。しかしながら、大型のコンデンサーを用いる場合、コンデンサーが占める空間が大きくなる。パルス出力回路は、用途によっては、例えば大型の装置であれば設置が困難になるような、地中などの狭い空間で用いられることもある。そのため、パルス出力回路の小型化が強く望まれる場合があり、この場合、大型のコンデンサーを用いることはできない。   In order to reduce the influence of the voltage drop of the capacitor, in addition to a method of providing a bouncer circuit, a method of using a larger capacitor can be considered. However, when a large capacitor is used, the space occupied by the capacitor increases. Depending on the application, the pulse output circuit may be used in a narrow space such as the ground, which is difficult to install for a large device, for example. Therefore, there is a case where it is strongly desired to reduce the size of the pulse output circuit. In this case, a large capacitor cannot be used.

このような従来のパルス出力回路の問題点に対して、本実施の形態では、上記のように電源回路として動作可能に構成されたバウンサー回路10を用いてパルス出力回路1が構成されていることにより、次の効果を得られる。   In the present embodiment, the pulse output circuit 1 is configured using the bouncer circuit 10 configured to be operable as a power supply circuit as described above in order to deal with such problems of the conventional pulse output circuit. Thus, the following effects can be obtained.

すなわち、バウンサー回路10は、電圧制御回路70から出力されたパルス幅変調信号に応じて、負荷9に印加される電圧を補償するための直流電圧を出力できる。したがって、負荷9に電圧が印加されることにより、コンデンサーCに蓄積された電荷が減少し、コンデンサーCに蓄積された電荷に基づく電圧が低下しても、その低下分に合わせた波形で、バウンサー回路10から直流電圧を出力することができる。したがって、負荷9に印加される高圧パルスの波形を極力平坦にすることができ、パルス出力回路1から出力される電圧をより安定させることができる。パルス幅が比較的長い場合であっても、それに合わせてバウンサー回路10からコンデンサーCの電圧降下に対する補償用の電圧を出力することができるので、負荷9に安定した高電圧を印加できる。   That is, the bouncer circuit 10 can output a DC voltage for compensating the voltage applied to the load 9 in accordance with the pulse width modulation signal output from the voltage control circuit 70. Therefore, even if the voltage applied to the load 9 decreases the charge accumulated in the capacitor C and the voltage based on the charge accumulated in the capacitor C decreases, the bouncer has a waveform that matches the decrease. A DC voltage can be output from the circuit 10. Therefore, the waveform of the high voltage pulse applied to the load 9 can be made as flat as possible, and the voltage output from the pulse output circuit 1 can be made more stable. Even when the pulse width is relatively long, a voltage for compensation against the voltage drop of the capacitor C can be output from the bouncer circuit 10 accordingly, so that a stable high voltage can be applied to the load 9.

このとき、コンデンサーCの電圧降下に対する補償用の電圧は、バウンサー回路10における各スイッチング回路20内の比較的小さなコンデンサーC11に蓄積されたエネルギーを使って出力される。したがって、バウンサー回路10は小型のありふれた素子を用いて構成することができるので、パルス出力回路1の製造コストを比較的低くすることができる。また、バウンサー回路10は、比較的小型に構成可能なものである。そして、パルス出力回路1のコンデンサーCとして比較的に小型なものを用いても、バウンサー回路10によりコンデンサーの電圧低下の影響を小さく抑えることができる。したがって、パルス出力回路1を全体として小型化することができ、狭い場所にも設置可能にすることができる。   At this time, a compensation voltage for the voltage drop of the capacitor C is output using energy stored in a relatively small capacitor C11 in each switching circuit 20 in the bouncer circuit 10. Therefore, since the bouncer circuit 10 can be configured using a small common element, the manufacturing cost of the pulse output circuit 1 can be made relatively low. The bouncer circuit 10 can be configured to be relatively small. Even if a relatively small capacitor C is used for the pulse output circuit 1, the bouncer circuit 10 can suppress the influence of the voltage drop of the capacitor. Therefore, the pulse output circuit 1 can be reduced in size as a whole, and can be installed in a narrow place.

[電源回路の用途・動作例に関する説明]   [Explanation of power circuit usage / operation examples]

上記の実施の形態においては、電源回路をパルス出力回路1のバウンサー回路10として用いた例について説明したが、電源回路の用途はこれに限られるものではない。バウンサー回路10と同様の構成を有する電源回路は、種々の回路の電源装置などに、広く用いることができる。すなわち、電源回路は、電源から供給する電力を用いて、パルス幅変調信号に基づき、例えば0V〜15kVの任意の波形の高圧の直流電圧を出力可能である。電源回路は、複数のスイッチング回路20を積み重ねた構成を有しているので、比較的簡素な構成で、高電圧の電力を出力できる。   In the above embodiment, the example in which the power supply circuit is used as the bouncer circuit 10 of the pulse output circuit 1 has been described, but the application of the power supply circuit is not limited to this. A power supply circuit having a configuration similar to that of the bouncer circuit 10 can be widely used for power supply devices of various circuits. That is, the power supply circuit can output a high-voltage DC voltage having an arbitrary waveform of, for example, 0 V to 15 kV, based on the pulse width modulation signal, using the power supplied from the power supply. Since the power supply circuit has a configuration in which a plurality of switching circuits 20 are stacked, high-voltage power can be output with a relatively simple configuration.

ここで、電圧制御回路70には、例えば電源回路の出力電圧に基づくモニター電圧や、電源回路に接続されている外部回路の所定の位置の電圧に基づくモニター電圧が入力され、それに基づいてパルス幅変調信号を出力するように構成されていてもよい。これにより、電源回路の出力電圧をフィードバック制御することができ、電源回路をより安定して動作させることができる。   Here, for example, a monitor voltage based on the output voltage of the power supply circuit or a monitor voltage based on a voltage at a predetermined position of the external circuit connected to the power supply circuit is input to the voltage control circuit 70, and the pulse width is based on the monitor voltage. It may be configured to output a modulation signal. Thereby, feedback control of the output voltage of a power supply circuit can be carried out, and a power supply circuit can be operated more stably.

また、電源回路は、負荷装置としても動作するように構成してもよい。電源回路に設けられる変圧回路として双方向型の回路を有するものを用いることで、電源回路を負荷装置として動作可能に構成することができる。この場合、電源回路は、出力端側から電力を吸収し、スイッチングアンプ、変圧部等を通して、入力側の電源に出力することができる。   The power supply circuit may also be configured to operate as a load device. By using a transformer circuit having a bidirectional circuit as a transformer circuit provided in the power supply circuit, the power supply circuit can be configured to operate as a load device. In this case, the power supply circuit can absorb power from the output end side and output it to the power supply on the input side through a switching amplifier, a transformer, or the like.

例えば、電源回路がバウンサー回路10と同様の構成を有する場合について説明する。このとき、AC/DCコンバーター回路60や、変圧部21などを双方向型にすることで、電源回路を負荷装置として動作可能にすることができる。電源回路は、出力端10a側から、入力された電力を吸収できる。吸収される電力は、各スイッチング回路20において、スイッチングアンプ23、変圧部21を経由し、AC/DCコンバーター回路60を介して、入力側の交流電源AC1に出力される。   For example, a case where the power supply circuit has the same configuration as the bouncer circuit 10 will be described. At this time, by making the AC / DC converter circuit 60, the transformer 21 and the like bidirectional, the power circuit can be made operable as a load device. The power supply circuit can absorb the input power from the output terminal 10a side. The absorbed power is output to the AC power supply AC <b> 1 on the input side via the switching amplifier 23 and the transformer unit 21 and via the AC / DC converter circuit 60 in each switching circuit 20.

このように電源回路を負荷装置として動作するように用いる場合、電圧制御回路からのパルス幅変調信号を調整することで、比較的高速に、負荷として吸収できる電力を変化させることができる。したがって、電源回路を、比較的高電圧に対応し高速で動作可能な、電力潮流制御を行うための装置として用いることができる。   When the power supply circuit is used to operate as a load device in this way, the power that can be absorbed as a load can be changed relatively quickly by adjusting the pulse width modulation signal from the voltage control circuit. Therefore, the power supply circuit can be used as a device for performing power flow control that can operate at a high speed corresponding to a relatively high voltage.

[その他]   [Others]

バウンサー回路(電源回路)に設けられているスイッチング回路の数やそれら1つあたりで出力可能な電圧の大きさは、上記に限られない。さらに多くのスイッチング回路が直列に接続されていてもよい。   The number of switching circuits provided in the bouncer circuit (power supply circuit) and the magnitude of the voltage that can be output per one of them are not limited to the above. Many more switching circuits may be connected in series.

パルス出力回路の構成は上述に限られず、回路を構成する他の素子などが設けられていてもよい。例えば、パルス出力回路の大型のコンデンサーや、スイッチング回路に用いられるコンデンサーなどは、複数であってもよい。また、パルス出力回路のコンデンサーやスイッチング回路のコンデンサーに代えて、他の形式の蓄電素子、装置を用いてもよい。上記の実施の形態においては、説明をわかりやすく行うため、パルス出力回路の構成は極力簡略化して示されている。   The configuration of the pulse output circuit is not limited to the above, and other elements or the like constituting the circuit may be provided. For example, there may be a plurality of large capacitors for the pulse output circuit and capacitors used for the switching circuit. Further, in place of the capacitor of the pulse output circuit and the capacitor of the switching circuit, other types of power storage elements and devices may be used. In the above embodiment, the configuration of the pulse output circuit is shown as simplified as possible for easy understanding.

バウンサー回路(電源回路)やパルス出力回路が出力する、高圧パルスの電圧値やパルス幅の時間などは、上記に限られるものではなく、用途などに応じて適宜設定されていればよい。   The voltage value of the high voltage pulse and the time of the pulse width output from the bouncer circuit (power supply circuit) and the pulse output circuit are not limited to the above, and may be set as appropriate according to the application.

パルス出力回路からの電圧が供給される負荷としては、クライストロンに限られない。高圧パルスが印加されて駆動される他種の負荷についても、パルス出力回路は適用可能である。   The load to which the voltage from the pulse output circuit is supplied is not limited to the klystron. The pulse output circuit can also be applied to other types of loads driven by application of high-voltage pulses.

上記実施の形態において示されているパルス出力回路は、負荷に対しては安定した高い電圧を印加するものである。すなわち、このパルス出力回路は、パルス状のタイミングで負荷が電力を消費することにより、負荷に高圧パルスを印加できるものである。しかしながら、パルス出力回路の構成はこれに限られない。すなわち、パルス出力時にのみ、安定な高圧パルス電圧を負荷に印加し、その他の期間においては負荷にはパルス出力回路からの電圧が加えられていないようにしてもよい。   The pulse output circuit shown in the above embodiment applies a stable high voltage to the load. That is, this pulse output circuit can apply a high voltage pulse to the load when the load consumes electric power at a pulse-like timing. However, the configuration of the pulse output circuit is not limited to this. That is, a stable high-voltage pulse voltage may be applied to the load only during pulse output, and the voltage from the pulse output circuit may not be applied to the load during other periods.

上記実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The above embodiment should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

1,101 パルス出力回路
9 負荷
10,110 バウンサー回路(電源回路の一例)
10a バウンサー回路の出力端(電源回路の出力端の一例)
20,20a,…,20o スイッチング回路
21 変圧部
23 スイッチングアンプ(スイッチング部の一例)
23a スイッチング素子
60 AC/DCコンバーター回路
70 電圧制御回路(電圧制御部の一例)
71 比較部
73 A/D変換部
75 PWM変調部
77 信号出力部
90 制御部
91 CPU(演算部の一例)
92 メモリ(記憶部の一例)
AC1 交流電源
C コンデンサー(蓄電部の一例)
C2 平滑コンデンサー
C11 コンデンサー(蓄電素子の一例)
DC1,DC1a 直流電源
L2 平滑インダクター
1,101 Pulse output circuit 9 Load 10,110 Bouncer circuit (an example of a power supply circuit)
10a Output terminal of bouncer circuit (an example of power circuit output terminal)
20, 20a, ..., 20o Switching circuit 21 Transformer 23 Switching amplifier (an example of a switching unit)
23a Switching element 60 AC / DC converter circuit 70 Voltage control circuit (an example of a voltage control unit)
71 Comparison Unit 73 A / D Conversion Unit 75 PWM Modulation Unit 77 Signal Output Unit 90 Control Unit 91 CPU (Example of Calculation Unit)
92 memory (an example of a storage unit)
AC1 AC power supply C capacitor (an example of a power storage unit)
C2 smoothing capacitor C11 capacitor (an example of a storage element)
DC1, DC1a DC power supply L2 Smoothing inductor

Claims (9)

圧を出力端から出力できる電源回路であって、
パルス幅変調信号を出力する電圧制御部と、
それぞれ、電源から入力される電力に基づき、前記電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じた直流電圧を出力する複数のスイッチング回路とを備え、
前記複数のスイッチング回路のそれぞれは、
前記電源から入力端側に供給される電力に基づいて、前記出力端側から所定の直流電圧を出力する変圧部と、
前記変圧部の前記出力端側に、前記変圧部に並列に接続され、前記変圧部から出力された直流電圧に基づいて電荷を蓄電する蓄電素子と、
前記蓄電素子の出力が入力され、前記電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じて動作するスイッチング部と、
前記スイッチング部の前記出力端側に設けられ、前記スイッチング部からの出力を平滑する平滑部とを有し、
前記複数のスイッチング回路は、前記出力端側で互いに直列に接続されており、
前記変圧部は、前記出力端側に入力された電力を前記入力端側から出力できる双方向型のものであり、
前記電源回路は、前記出力端に電力が入力されたとき、前記出力端に入力された電力のうち前記電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じた電力を前記複数のスイッチング回路のそれぞれにおいて前記スイッチング部及び前記変圧部を介して前記入力端側から出力させることにより負荷として吸収する、負荷装置として動作可能である、電源回路。
The power supply circuit capable of outputting a voltage from the output terminal,
A voltage controller that outputs a pulse width modulation signal;
Each comprising a plurality of switching circuits that output a DC voltage corresponding to the pulse width modulation signal output from the voltage control unit, based on the power input from the power supply,
Each of the plurality of switching circuits is
Based on the power supplied from the power source to the input end side, a transformer that outputs a predetermined DC voltage from the output end side;
A power storage element that is connected in parallel to the transformer unit on the output end side of the transformer unit, and that stores electric charges based on a DC voltage output from the transformer unit;
A switching unit that receives the output of the storage element and operates according to a pulse width modulation signal output from the voltage control unit;
A smoothing unit that is provided on the output end side of the switching unit and smoothes the output from the switching unit;
The plurality of switching circuits are connected in series with each other on the output end side ,
The transformer is a bidirectional type that can output power input to the output end side from the input end side,
When the power is input to the output terminal, the power supply circuit supplies power corresponding to the pulse width modulation signal output from the voltage control unit among the power input to the output terminal to each of the plurality of switching circuits. A power supply circuit that is operable as a load device that absorbs a load by being output from the input end side through the switching unit and the transformer unit .
パルス状の電圧を出力端から出力できる電源回路であって、
パルス幅変調信号を出力する電圧制御部と、
それぞれ、電源から入力される電力に基づき、前記電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じた直流電圧を出力する複数のスイッチング回路とを備え、
前記複数のスイッチング回路のそれぞれは、
前記電源から入力端側に供給される電力に基づいて、前記出力端側から所定の直流電圧を出力する変圧部と、
前記変圧部の前記出力端側に、前記変圧部に並列に接続され、前記変圧部から出力された直流電圧に基づいて電荷を蓄電する蓄電素子と、
前記蓄電素子の出力が入力され、前記電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じて動作するスイッチング部と、
前記スイッチング部の前記出力端側に設けられ、前記スイッチング部からの出力を平滑する平滑部とを有し、
前記複数のスイッチング回路は、前記出力端側で互いに直列に接続されており、
前記変圧部は、前記出力端側に入力された電力を前記入力端側から出力できる双方向型のものであり、
前記電源回路は、前記出力端に電力が入力されたとき、前記出力端に入力された電力のうち前記電圧制御部から出力されたパルス幅変調信号に応じた電力を前記複数のスイッチング回路のそれぞれにおいて前記スイッチング部及び前記変圧部を介して前記入力端側から出力させることにより負荷として吸収する、負荷装置として動作可能である電源回路。
A power supply circuit that can output a pulsed voltage from the output end,
A voltage controller that outputs a pulse width modulation signal;
Each comprising a plurality of switching circuits that output a DC voltage corresponding to the pulse width modulation signal output from the voltage control unit, based on the power input from the power supply,
Each of the plurality of switching circuits is
Based on the power supplied from the power source to the input end side, a transformer that outputs a predetermined DC voltage from the output end side;
A power storage element that is connected in parallel to the transformer unit on the output end side of the transformer unit, and that stores electric charges based on a DC voltage output from the transformer unit;
A switching unit that receives the output of the storage element and operates according to a pulse width modulation signal output from the voltage control unit;
A smoothing unit that is provided on the output end side of the switching unit and smoothes the output from the switching unit;
The plurality of switching circuits are connected in series with each other on the output end side,
The transformer is a bidirectional type that can output power input to the output end side from the input end side,
When the power is input to the output terminal, the power supply circuit supplies power corresponding to the pulse width modulation signal output from the voltage control unit among the power input to the output terminal to each of the plurality of switching circuits. the switching unit and via the transformer to absorb as a load by the output from the input end side, is operable as a load device, the power supply circuit in.
前記電圧制御部は、前記パルス幅変調信号を調整することで、前記電源回路を用いた回路の電力潮流制御を行う、請求項1又は2に記載の電源回路。 The voltage control unit, said by adjusting the pulse width modulated signal, performs power flow control of the circuit using the power supply circuit, a power supply circuit according to claim 1 or 2. 前記電圧制御部は、前記電源回路の出力電圧又は前記電源回路に接続されている外部回路の所定の位置の電圧に基づいて、前記パルス幅変調信号を出力する、請求項1から3のいずれかに記載の電源回路。 4. The voltage control unit according to claim 1, wherein the voltage control unit outputs the pulse width modulation signal based on an output voltage of the power supply circuit or a voltage at a predetermined position of an external circuit connected to the power supply circuit . 5. The power supply circuit described in 1. 前記電圧制御部は、前記電源回路に設けられている記憶部又は前記電源回路の外部に設けられている記憶部に記憶されている、前記電源回路から出力される電圧に関する波形情報に基づいて、前記パルス幅変調信号を出力する、請求項1から4のいずれかに記載の電源回路。 The voltage control unit is stored in a storage unit provided in the power supply circuit or a storage unit provided outside the power supply circuit, based on waveform information regarding the voltage output from the power supply circuit, The power supply circuit according to claim 1, wherein the power supply circuit outputs the pulse width modulation signal. 前記電圧制御部は、前記電源回路に設けられている演算部又は前記電源回路の外部に設けられている演算部で演算されて生成された、前記電源回路から出力される電圧に関する波形情報に基づいて、前記パルス幅変調信号を出力する、請求項1から4のいずれかに記載の電源回路。 The voltage control unit is based on waveform information relating to a voltage output from the power supply circuit, which is calculated and generated by a calculation unit provided in the power supply circuit or a calculation unit provided outside the power supply circuit. The power supply circuit according to claim 1, wherein the power supply circuit outputs the pulse width modulation signal. 前記電圧制御部は、前記複数のスイッチング回路のそれぞれに対して同一の前記パルス幅変調信号を出力し、前記複数のスイッチング回路を同期させて動作させる、請求項1からのいずれかに記載の電源回路。 The voltage control section outputs the same the pulse width modulation signal to each of the plurality of switching circuits, wherein to the plurality of operating in synchronization with the switching circuit, according to any one of claims 1 to 6 Power supply circuit. 負荷にパルス状に電圧を印加するパルス出力回路であって、
直流電源と、
前記直流電源に対して並列に接続された蓄電部と、
前記蓄電部と前記負荷との間に前記負荷に直列に接続されたバウンサー回路とを備え、
前記バウンサー回路は、請求項1から7のいずれかに記載の電源回路である、パルス出力回路。
A pulse output circuit for applying a voltage in a pulsed manner to a load,
DC power supply,
A power storage unit connected in parallel to the DC power source;
A bouncer circuit connected in series to the load between the power storage unit and the load;
The said bouncer circuit is a pulse output circuit which is a power supply circuit in any one of Claim 1 to 7.
前記バウンサー回路の電圧制御部は、前記パルス出力回路から前記負荷に印加される電圧に基づいて、前記パルス幅変調信号を出力する、請求項8に記載のパルス出力回路。   The pulse output circuit according to claim 8, wherein the voltage control unit of the bouncer circuit outputs the pulse width modulation signal based on a voltage applied from the pulse output circuit to the load.
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