JP5937775B1 - Mems圧力センサとその位置決め方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 51
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 23
- 230000035485 pulse pressure Effects 0.000 claims description 22
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims description 19
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 claims description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 210000002321 radial artery Anatomy 0.000 description 28
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 10
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 230000002792 vascular Effects 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 230000004872 arterial blood pressure Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Measuring Pulse, Heart Rate, Blood Pressure Or Blood Flow (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
(1)MEMS圧力センサ220からの信号波形の振幅が小さく、雑音を多く含み、信号品質がきわめて悪く、信号対雑音電力比(S/N比)がきわめて小さい。
(2)橈骨動脈部7の部位が非常に狭いために、MEMS圧力センサ220の検知部を載置する位置範囲がきわめて狭い。
ダイアフラムの圧力検出面側に第1の空間を有し、上記第1の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するMEMS圧力センサと、
上記MEMS圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第1のフィルムシートであって、上記第1の空間に連通しかつ上記第1の空間よりも大きな、上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第2の空間を有する第1のフィルムシートとを備えるMEMS圧力センサ装置であって、
上記MEMS圧力センサ装置を上記被測定部に位置決めするために上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第3の空間を有する第2のフィルムシートであって、上記MEMS圧力センサ装置を上記被測定部に載置する前に、上記被測定部の部位が上記第3の空間に位置するように載置するための第2のフィルムシートをさらに備えたことを特徴とする。
上記MEMS圧力センサ装置と、
上記MEMS圧力センサ装置からの電気信号に基づいて、予め計測された電気信号レベルと圧力値との関係を参照して圧力値を算出して出力する圧力計測部とを備えることを特徴とする。
上記圧力計測部は上記圧力値である脈圧値を算出して出力することを特徴とする。
ダイアフラムの圧力検出面側に第1の空間を有し、上記第1の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するMEMS圧力センサと、
上記MEMS圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第1のフィルムシートであって、上記第1の空間に連通しかつ上記第1の空間よりも大きな、上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第2の空間を有する第1のフィルムシートとを備えるMEMS圧力センサ装置の位置決め方法であって、
上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第3の空間を有する第2のフィルムシートを用いて、上記被測定部の部位が上記第3の空間に位置するように、上記第2のフィルムシートを上記被測定部の部位上に載置するステップと、
次いで、上記第1のフィルムシートを有するMEMS圧力センサを、上記第2の空間が上記第3の空間に位置するように上記第2のフィルムシート上に載置することで、上記MEMS圧力センサ装置を上記被測定部に位置決めするステップとを含むことを特徴とする。
図3Aは本発明の実施形態1に係る圧力センサ部40の構成を示す縦断面図であり、図3Bは図3Aの圧力センサ部40の底面図である。
図6は本発明の実施形態2に係る圧力センサ部40Aの構成を示す縦断面図である。図6において、実施形態2に係る圧力センサ部40Aは、図3Aの圧力センサ部40に比較して以下の点が異なる。
(1)パッド11の底面部を削除して厚さt4のフィルムシート12を接着させた。ここで、フィルムシート12はその中央部に圧力検知用空洞孔12hにより空間22を形成する。
(2)フィルムシート12を有する圧力センサ部40Aの位置決めのために、事前に手首8の橈骨動脈部7に接着するフィルムシート13をさらに備える。フィルムシート13はその中央部に圧力検知用空洞孔13hにより、圧力検出面に平行な方向のサイズを有する空間23を形成する。ここで、フィルムシート13の橈骨動脈部7への貼付を容易にするために、圧力検知用空洞孔13hの直径d5は、フィルムシート12の圧力検知用空洞孔12hの直径d2よりも大きい。構成例では、d5=5mm、d2=3mmである。また、空間21,22,23により実施形態1において説明した密閉空間を構成する。
(3)圧力センサ部40Aの誘電体基板10の上面の中央部に中央を示すマーク10Cを好ましくは描いておく。
(ステップA)最初に橈骨動脈部7の位置(最初に脈の取れる位置を確認しマーキングした箇所が好ましい)にフィルムシート13を貼付する。ここで、フィルムシート13の接着下面13bが橈骨動脈部7の皮膚表面に接着し、フィルムシート13の圧力検知用空洞孔13hの中央部が橈骨動脈部7に位置するようにフィルムシート13を位置決めして貼付する。
(ステップB)次いで、フィルムシート13の上面13aに、圧力センサ部40Aのフィルムシート12を貼付する。ここで、マーク10Cが圧力検知用空洞孔13hの中央部に位置するように、すなわち、フィルムシート12の圧力検知用空洞孔12hの中央部が圧力検知用空洞孔13hの中央部に位置するように、フィルムシート12を有する圧力センサ部40Aを位置決めする。
2…ダイアフラム、
6…被測定者、
7…橈骨動脈部、
8…手首、
10…誘電体基板、
11…パッド、
12,12A,13…フィルムシート、
21,22,30…空間、
31…半田ボール、
40,40A…圧力センサ部、
41,44…ケーブル、
42a,42b…コネクタ、
43…信号増幅器、
50…装置コントローラ、
50m…内部メモリ、
51…血管脈圧測定処理モジュール、
52…表示部、
53…A/D変換器、
100…脈圧計測システム、
110…脈圧計測部本体、
120…信号中継部、
210…脈波血圧計本体、
211a,211b…コネクタ、
220…MEMS圧力センサ、
220h…圧力検知用空洞孔。
Claims (9)
- ダイアフラムの圧力検出面側に第1の空間を有し、上記第1の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するMEMS圧力センサと、
上記MEMS圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第1のフィルムシートであって、上記第1の空間に連通しかつ上記第1の空間よりも大きな、上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第2の空間を有する第1のフィルムシートとを備えるMEMS圧力センサ装置であって、
上記MEMS圧力センサ装置を上記被測定部に位置決めするために上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第3の空間を有する第2のフィルムシートであって、上記MEMS圧力センサ装置を上記被測定部に載置する前に、上記被測定部の部位が上記第3の空間に位置するように載置するための第2のフィルムシートをさらに備えたことを特徴とするMEMS圧力センサ装置。 - 上記MEMS圧力センサ装置を上記第2のフィルムシートを介して上記被測定部に載置したときに上記第1の空間、上記第2の空間及び第3の空間が密閉されて密閉空間となり、上記被測定部の圧力が上記第1の空間、上記第2の空間及び上記第3の空間を介して上記MEMS圧力センサのダイアフラムに伝達されて上記MEMS圧力センサが圧力の検出を行うことを特徴とする請求項1記載のMEMS圧力センサ装置。
- 上記第1の空間、上記第2の空間及び第3の空間はそれぞれ、上記ダイアフラムの圧力検出面に実質的に平行な底面を有し、かつ互いに同軸である実質的に円筒形状又は楕円筒形状を有することを特徴とする請求項1又は2記載のMEMS圧力センサ装置。
- 上記第3の空間の底面の直径は上記第2の空間の底面の直径よりも大きいことを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか1つに記載のMEMS圧力センサ装置。
- 上記第2の空間の底面の直径は上記第1の空間の底面の直径よりも大きいことを特徴とする請求項1〜4のうちのいずれか1つに記載のMEMS圧力センサ装置。
- 上記第1及び第2のフィルムシートは粘着性シートであることを特徴とする請求項1〜5のうちのいずれか1つに記載のMEMS圧力センサ装置。
- 請求項1〜6のうちのいずれか1つに記載のMEMS圧力センサ装置と、
上記MEMS圧力センサ装置からの電気信号に基づいて、予め計測された電気信号レベルと圧力値との関係を参照して圧力値を算出して出力する圧力計測部とを備えることを特徴とする圧力計測システム。 - 上記MEMS圧力センサ装置の第3の空間は上記被測定部の血管に、圧力検出可能に近接して設けられ、
上記圧力計測部は上記圧力値である脈圧値を算出して出力することを特徴とする請求項7記載の圧力計測システム。 - ダイアフラムの圧力検出面側に第1の空間を有し、上記第1の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するMEMS圧力センサと、
上記MEMS圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第1のフィルムシートであって、上記第1の空間に連通しかつ上記第1の空間よりも大きな、上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第2の空間を有する第1のフィルムシートとを備えるMEMS圧力センサ装置の位置決め方法であって、
上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第3の空間を有する第2のフィルムシートを用いて、上記被測定部の部位が上記第3の空間に位置するように、上記第2のフィルムシートを上記被測定部の部位上に載置するステップと、
次いで、上記第1のフィルムシートを有するMEMS圧力センサを、上記第2の空間が上記第3の空間に位置するように上記第2のフィルムシート上に載置することで、上記MEMS圧力センサ装置を上記被測定部に位置決めするステップとを含むことを特徴とするMEMS圧力センサ装置の位置決め方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015050920 | 2015-03-13 | ||
JP2015050920 | 2015-03-13 | ||
PCT/JP2015/084799 WO2016147503A1 (ja) | 2015-03-13 | 2015-12-11 | Mems圧力センサとその位置決め方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5937775B1 true JP5937775B1 (ja) | 2016-06-22 |
JPWO2016147503A1 JPWO2016147503A1 (ja) | 2017-04-27 |
Family
ID=56184699
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016509211A Active JP5937775B1 (ja) | 2015-03-13 | 2015-12-11 | Mems圧力センサとその位置決め方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5937775B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114190909A (zh) * | 2021-12-01 | 2022-03-18 | 上海平脉科技有限公司 | 脉搏波检测装置及其控制方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5763342B2 (ja) * | 2007-12-20 | 2015-08-12 | アカリクス アクティーゼルスカブ | 音響信号を測定するための接着式パッチ |
JP5766569B2 (ja) * | 2011-09-27 | 2015-08-19 | 株式会社東芝 | 脈波伝播速度計測装置 |
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2015
- 2015-12-11 JP JP2016509211A patent/JP5937775B1/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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---|---|
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