JP5934479B2 - Equivalent circuit analysis apparatus and equivalent circuit analysis method - Google Patents

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  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Description

本発明は、測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定し、この周波数特性から、電気的な等価回路の素子定数を推定する等価回路解析装置及び方法に関するものである。   The present invention relates to an equivalent circuit analysis apparatus and method for measuring a frequency characteristic of a complex impedance of a measurement object and estimating an element constant of an electrical equivalent circuit from the frequency characteristic.

抵抗、コンデンサ、コイル、ダイオード、トランジスタ、一次・二次電池、太陽電池、フィルタなどの電気的な部品を測定対象物（以下、ＤＵＴともいう）として、そこに周波数を掃引させつつ測定用信号電圧を印加して、その電圧及び流れた電流から、複素インピーダンスの周波数特性を測定し、測定した周波数特性を表示パネルにグラフで表示するインピーダンス測定装置が知られている。このようなインピーダンス測定装置の中には、測定した複素インピーダンスの周波数特性から、測定対象物の電気的な等価回路の素子定数を推定する等価回路解析機能を有しているものがある。   Electrical components such as resistors, capacitors, coils, diodes, transistors, primary / secondary batteries, solar cells, and filters are used as measurement objects (hereinafter also referred to as DUTs), and the signal voltage for measurement is swept through the frequency. There is known an impedance measuring apparatus that measures the frequency characteristic of complex impedance from the voltage and the flowing current, and displays the measured frequency characteristic in a graph on a display panel. Some of these impedance measuring apparatuses have an equivalent circuit analysis function for estimating an element constant of an electrical equivalent circuit of a measurement object from the frequency characteristics of the measured complex impedance.

例えば、特許文献１には、複素インピーダンスの周波数特性を測定し、モンテカルロ法により評価関数が最小になる等価回路の素子定数を演算し、この演算した素子定数を局所探索法の開始値として評価関数が極小値になる素子定数を演算して、さらにこれら演算を所定回数繰り返し行って素子定数を求める等価回路解析方法が記載されている。   For example, in Patent Document 1, frequency characteristics of a complex impedance are measured, an element constant of an equivalent circuit that minimizes an evaluation function is calculated by a Monte Carlo method, and the calculated function constant is used as an evaluation function as a start value of a local search method. Describes an equivalent circuit analysis method for calculating an element constant at which the element constant becomes a minimum value and further repeating these calculations a predetermined number of times to obtain the element constant.

しかしながら、どのような推定方法を用いたとしても、素子定数の推定結果に誤差が生じてしまう場合がある。そのため、推定結果に誤差があるか否かを測定者が判断可能なように、推定した素子定数で等価回路の理論的な周波数特性を演算し、得られた理論的な周波数特性のグラフを、ＤＵＴの測定結果のグラフと共に表示パネルに表示させることが考えられる。測定者は、両グラフを比較して、両グラフ間にほとんど差が無ければ推定された素子定数はＤＵＴを正しく（よく近似して）表しており、一部でも大きな差があれば素子定数はＤＵＴを正しく表していないと判断する。測定者は、両グラフ間に一部でも差がある場合、推定された素子定数の値を手動で適宜変更（調整）して、装置に等価回路の理論的な周波数特性のグラフを再度表示させ、測定結果のグラフと一致させるようにすることで、誤差の少ない素子定数を得ることができる。   However, no matter what estimation method is used, an error may occur in the estimation result of the element constant. Therefore, the theoretical frequency characteristic of the equivalent circuit is calculated with the estimated element constant so that the measurer can determine whether there is an error in the estimation result, and the graph of the theoretical frequency characteristic obtained is It is conceivable to display on the display panel together with the graph of the DUT measurement result. The measurer compares both graphs, and if there is almost no difference between the two graphs, the estimated element constant correctly represents the DUT. It is determined that the DUT is not correctly represented. If there is any difference between the two graphs, the measurer manually changes (adjusts) the estimated value of the element constant manually, and causes the device to display the graph of the theoretical frequency characteristics of the equivalent circuit again. By making it coincide with the measurement result graph, it is possible to obtain an element constant with less error.

しかしながら、ＤＵＴの測定結果のグラフと等価回路のグラフとの間の差の有無を、測定者が目視で比較して判断しているので、判断基準が統一できず、等価回路の解析結果に差が生じてしまう可能性がある。   However, since the measurer visually determines whether there is a difference between the graph of the DUT measurement result and the graph of the equivalent circuit, the judgment standard cannot be unified, and there is a difference in the analysis result of the equivalent circuit. May occur.

特開２０１０−２４９７４９号公報JP 2010-249749 A

本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、測定対象物に対する等価回路の近似の度合いを、定量的に表すことができる等価回路解析装置及び方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an equivalent circuit analysis apparatus and method that can quantitatively represent the degree of approximation of an equivalent circuit to a measurement object.

前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載された等価回路解析装置は、測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定する測定部と、該測定部の測定した該測定対象物の周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する推定部と、該等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を算出する理論特性演算部と、該測定部の測定した該測定対象物の周波数特性と該理論特性演算部の算出した該等価回路の周波数特性との近似の度合いを示す評価値を、下記の式（１）

Figure 0005934479
（式中、ｉは該測定対象物の周波数特性の測定ポイントの番号１，２・・・，ｎを示し、Ｄ ｉ はｉ番目の該測定ポイントの測定対象物の複素インピーダンスを示し、Ｓ ｉ はｉ番目の該測定ポイントの等価回路の複素インピーダンスを示し、Ｅは残差２乗平均を示す）によって残差２乗平均を評価値として算出する評価値演算部とを備え、該評価値演算部が、全ての該測定ポイントで式（１）を演算し、極値の該測定ポイントを中心として下記の式（２）
Figure 0005934479
 の関係が少なくとも成り立たない範囲を判別し、その範囲内の該測定ポイントを、演算対象から除外して、式（１）の演算を行うことを特徴とする。 An equivalent circuit analysis apparatus according to claim 1, which has been made to achieve the above object, includes a measurement unit that measures a frequency characteristic of a complex impedance of a measurement object, and a measurement by the measurement unit. Based on the frequency characteristics of the measured object, an estimation unit for estimating each element constant of a predetermined equivalent circuit combining a plurality of electric elements, and a theory for calculating the frequency characteristics of the theoretical complex impedance of the equivalent circuit An evaluation value indicating the degree of approximation between the characteristic calculation unit and the frequency characteristic of the measurement object measured by the measurement unit and the frequency characteristic of the equivalent circuit calculated by the theoretical characteristic calculation unit is expressed by the following equation (1):
Figure 0005934479
 (In the formula, i represents the measurement point numbers 1, 2,..., N of the frequency characteristic of the measurement object, D i represents the complex impedance of the measurement object at the i-th measurement point, and S i Is a complex impedance of an equivalent circuit of the i-th measurement point, and E is a residual mean square), and an evaluation value computing unit that computes the residual mean square as an evaluation value. The section calculates the formula (1) at all the measurement points, and the following formula (2)
Figure 0005934479
 It is characterized in that a range in which the above relationship is not established is discriminated, the measurement point in the range is excluded from the calculation target, and the calculation of Expression (1) is performed .

請求項２に記載された等価回路解析装置は、請求項１に記載されたもので、前記評価値演算部が、前記残差２乗平均の平方根である残差を算出して、その残差を前記評価値とすることを特徴とする。   The equivalent circuit analysis device described in claim 2 is the one described in claim 1, wherein the evaluation value calculation unit calculates a residual which is a square root of the residual mean square, and the residual Is the evaluation value.

請求項３に記載された等価回路解析装置は、請求項１に記載されたもので、前記評価値演算部が、前記測定対象物の周波数特性の各測定ポイントで測定された該複素インピーダンスに基づき、該各測定ポイントに対応させて上限値及び下限値を設定し、該上限値及び下限値の範囲内に前記等価回路の複素インピーダンスが入る該測定ポイントの数を算出し、その数と全ての測定ポイントの数との比を前記評価値として算出することを特徴とする。 An equivalent circuit analysis device according to a third aspect is the one according to the first aspect , wherein the evaluation value calculation unit is based on the complex impedance measured at each measurement point of the frequency characteristic of the measurement object. The upper limit value and the lower limit value are set corresponding to each measurement point, and the number of the measurement points where the complex impedance of the equivalent circuit falls within the range of the upper limit value and the lower limit value is calculated. A ratio with the number of measurement points is calculated as the evaluation value.

請求項４に記載された等価回路解析装置は、請求項３に記載されたもので、前記評価値演算部が、前記各測定ポイントで測定された前記測定対象物の複素インピーダンスに対し、予め設定された許容上限割合及び許容下限割合で前記上限値及び下限値を算出することを特徴とする。   The equivalent circuit analysis device described in claim 4 is the one described in claim 3, wherein the evaluation value calculation unit is preset with respect to the complex impedance of the measurement object measured at each measurement point. The upper limit value and the lower limit value are calculated using the allowable upper limit ratio and the allowable lower limit ratio.

請求項５に記載された等価回路解析装置は、請求項１から４のいずれかに記載されたもので、前記推定部が、複数の前記等価回路の各々の前記素子定数を推定し、理論特性演算部が、該複数の該等価回路の各々の周波数特性を算出し、前記評価値演算部が、該複数の該等価回路の各々の前記評価値を算出して、該複数の等価回路の中から最も該評価値のよい該等価回路を選定することを特徴とする。 An equivalent circuit analysis device according to a fifth aspect is the device according to any one of the first to fourth aspects, wherein the estimation unit estimates the element constant of each of the plurality of equivalent circuits, and has a theoretical characteristic. The calculation unit calculates the frequency characteristics of each of the plurality of equivalent circuits, and the evaluation value calculation unit calculates the evaluation values of each of the plurality of equivalent circuits, The equivalent circuit having the best evaluation value is selected from the above.

請求項６に記載された等価回路解析装置は、請求項１から５のいずれかに記載されたもので、表示部を備え、前記測定対象物の周波数特性のグラフ、前記等価回路の周波数特性のグラフ、及び前記評価値を該表示部に表示させることを特徴とする。 An equivalent circuit analysis apparatus according to a sixth aspect is the apparatus according to any one of the first to fifth aspects, comprising a display unit, a graph of a frequency characteristic of the measurement object, and a frequency characteristic of the equivalent circuit. The graph and the evaluation value are displayed on the display unit.

請求項７に記載された等価回路解析方法は、測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定する測定ステップと、該測定ステップで測定した該測定対象物の周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する推定ステップと、該等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を算出する理論特性演算ステップと、測定ステップで測定した該測定対象物の周波数特性と該理論特性演算ステップで演算した該等価回路の周波数特性との近似の度合いを示す評価値を、下記の式（１）

Figure 0005934479
（式中、ｉは該測定対象物の周波数特性の測定ポイントの番号１，２・・・，ｎを示し、Ｄ ｉ はｉ番目の該測定ポイントの測定対象物の複素インピーダンスを示し、Ｓ ｉ はｉ番目の該測定ポイントの等価回路の複素インピーダンスを示し、Ｅは残差２乗平均を示す）によって残差２乗平均を評価値として算出する評価値演算ステップとを備え、該評価値演算ステップで、全ての該測定ポイントで式（１）を演算し、極値の該測定ポイントを中心として下記の式（２）
Figure 0005934479
 の関係が少なくとも成り立たない範囲を判別し、その範囲内の前記測定ポイントを、演算対象から除外して式（１）の演算を行うことを特徴とする。
The equivalent circuit analysis method according to claim 7 includes a measurement step of measuring a frequency characteristic of a complex impedance of a measurement object, and a plurality of electric elements based on the frequency characteristic of the measurement object measured in the measurement step. An estimation step for estimating each element constant of a predetermined equivalent circuit, a theoretical characteristic calculation step for calculating a frequency characteristic of a theoretical complex impedance of the equivalent circuit, and a frequency of the measurement object measured in the measurement step An evaluation value indicating the degree of approximation between the characteristic and the frequency characteristic of the equivalent circuit calculated in the theoretical characteristic calculation step is expressed by the following equation (1).
Figure 0005934479
 (In the formula, i represents the measurement point numbers 1, 2,..., N of the frequency characteristic of the measurement object, D i represents the complex impedance of the measurement object at the i-th measurement point, and S i Is a complex impedance of an equivalent circuit of the i-th measurement point, and E is a residual mean square), and an evaluation value calculation step for calculating a residual mean square as an evaluation value. In step, the equation (1) is calculated at all the measurement points, and the following equation (2)
Figure 0005934479
 A range in which the above relationship is not established is discriminated, and the calculation of Expression (1) is performed by excluding the measurement point in the range from the calculation target .

請求項８に記載された等価回路解析方法は、請求項７に記載されたもので、前記評価値演算ステップで、前記残差２乗平均の平方根である残差を算出して、その残差を前記評価値とすることを特徴とする。 The equivalent circuit analysis method described in claim 8 is the method described in claim 7 , wherein in the evaluation value calculation step, a residual that is a square root of the residual mean square is calculated, and the residual is calculated. Is the evaluation value.

請求項９に記載された等価回路解析方法は、請求項７に記載されたもので、前記評価値演算ステップで、前記測定対象物の周波数特性の各測定ポイントで測定された該複素インピーダンスに基づき、該各測定ポイントに対応させて上限値及び下限値を設定し、該上限値及び下限値の範囲内に前記等価回路の複素インピーダンスが入る該測定ポイントの数を算出し、その数と全ての測定ポイントの数との比を前記評価値として算出することを特徴とする。 The equivalent circuit analysis method described in claim 9 is the method described in claim 7 , and is based on the complex impedance measured at each measurement point of the frequency characteristic of the measurement object in the evaluation value calculation step. The upper limit value and the lower limit value are set corresponding to each measurement point, and the number of the measurement points where the complex impedance of the equivalent circuit falls within the range of the upper limit value and the lower limit value is calculated. A ratio with the number of measurement points is calculated as the evaluation value.

請求項１０に記載された等価回路解析方法は、請求項９に記載されたもので、前記評価値演算ステップで、前記各測定ポイントで測定された前記測定対象物の複素インピーダンスに対し、予め設定された許容上限割合及び許容下限割合で前記上限値及び下限値を算出することを特徴とする。 The equivalent circuit analysis method described in claim 10 is the method described in claim 9 , and is preset with respect to the complex impedance of the measurement object measured at each measurement point in the evaluation value calculation step. The upper limit value and the lower limit value are calculated using the allowable upper limit ratio and the allowable lower limit ratio.

請求項１１に記載された等価回路解析方法は、請求項７から１０のいずれかに記載されたもので、前記推定ステップで、複数の前記等価回路の各々の前記素子定数を推定し、理論特性演算ステップで、該複数の該等価回路の各々の周波数特性を算出し、前記評価値演算ステップで、該複数の該等価回路の各々の前記評価値を算出して、該複数の等価回路の中から最も該評価値のよい該等価回路を選定することを特徴とする。 Are equivalent circuit analysis method according to claim 11 has been described in any one of claims 7 to 10, in the estimation step to estimate the element constants of each of the plurality of the equivalent circuit, the theoretical characteristics In the calculation step, the frequency characteristics of each of the plurality of equivalent circuits are calculated. In the evaluation value calculation step, the evaluation values of each of the plurality of equivalent circuits are calculated. The equivalent circuit having the best evaluation value is selected from the above.

請求項１２に記載された等価回路解析方法は、請求項７から１１のいずれかに記載されたもので、前記測定対象物の周波数特性のグラフ、前記等価回路の周波数特性のグラフ、及び前記評価値を表示部に表示させることを特徴とする。 The equivalent circuit analysis method described in claim 12 is the one described in any one of claims 7 to 11 , wherein the frequency characteristic graph of the measurement object, the frequency characteristic graph of the equivalent circuit, and the evaluation The value is displayed on the display unit.

本発明の等価回路解析装置及び方法によれば、測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性と、等価回路の複素インピーダンスの周波数特性との近似の度合いを示す評価値を算出することにより、測定者は、測定対象物に対する等価回路の近似の度合いを、定量的な評価値に基づいて判断することができる。そのため、判断基準を統一化することができる。   According to the equivalent circuit analysis apparatus and method of the present invention, by calculating an evaluation value indicating the degree of approximation between the frequency characteristics of the complex impedance of the measurement object and the frequency characteristics of the complex impedance of the equivalent circuit, the measurer can The degree of approximation of the equivalent circuit with respect to the measurement object can be determined based on the quantitative evaluation value. Therefore, it is possible to unify the judgment criteria.

残差２乗平均を評価値とする場合、測定対象物の周波数特性と等価回路の周波数特性との差が大きくなると評価値が大きくなり、差が小さくなると評価値が小さくなる。このため、両特性の差の大小を評価値の大小で表すことができ、測定者に素子定数の誤差の大きさを直感的に認識させることができる。   When the residual mean square is used as the evaluation value, the evaluation value increases as the difference between the frequency characteristic of the measurement object and the frequency characteristic of the equivalent circuit increases, and the evaluation value decreases as the difference decreases. Therefore, the magnitude of the difference between the two characteristics can be expressed by the magnitude of the evaluation value, and the measurer can intuitively recognize the magnitude of the error in the element constant.

測定対象物の周波数特性の中の極値から所定範囲内の測定ポイントを、演算対象から除外して残差２乗平均を算出する場合、素子定数の誤差に大きな影響が無い極値付近の両特性の差の影響を排除でき、素子定数の誤差の大きさを一層正しく表すことができる。   When calculating the residual mean square by excluding the measurement points within the specified range from the extreme value in the frequency characteristic of the measurement object and calculating the residual mean square, both of the extreme values that have no significant effect on the error of the element constant The influence of the characteristic difference can be eliminated, and the magnitude of the element constant error can be expressed more correctly.

全ての測定ポイントの残差２乗平均の平方根を予め算出し、極値の測定ポイントを中心として、[測定対象物の複素インピーダンスの値]±[残差２乗平均の平方根]内に等価回路の複素インピーダンスが入っていない範囲を、前記の所定範囲として残差２乗平均の演算対象から除外する場合、平均的な差よりも大きな差が生じている極値付近の測定ポイントを演算対象から除外できるので、素子定数の誤差の大きさをより一層正しく表すことができる。   Calculating the square root of the residual mean square of all measurement points in advance, and centering on the extreme measurement point, the equivalent circuit within [the value of complex impedance of the measurement object] ± [square root of the residual mean square] When the range that does not include complex impedance is excluded from the calculation target of the residual mean square as the predetermined range, the measurement point near the extreme value where the difference larger than the average difference is generated from the calculation target. Since it can be excluded, the magnitude of the error of the element constant can be expressed more correctly.

評価値として残差２乗平均を用いるのではなく、評価値として残差２乗平均の平方根である残差を用いる場合、評価値が測定対象物及び等価回路の両周波数特性の差に比例する値（線形な値）で表されるので、測定者は、両特性の差の大きさを容易に理解することができる。   When the residual that is the square root of the residual mean square is used as the evaluation value instead of using the residual mean square as the evaluation value, the evaluation value is proportional to the difference between both frequency characteristics of the measurement object and the equivalent circuit. Since it is represented by a value (linear value), the measurer can easily understand the magnitude of the difference between the two characteristics.

測定対象物の周波数特性の各測定ポイントで測定された複素インピーダンスに基づいて上限値及び下限値を設定し、その範囲内に等価回路の複素インピーダンスが入る測定ポイントの数を算出し、その数と全ての測定ポイントの数との比を評価値とする場合、全体の内のどの程度の範囲で両特性がほぼ一致（近似）しているかが判るので、測定者は、素子定数の誤差の大きさを直感的に容易に理解することができる。   Set the upper and lower limits based on the complex impedance measured at each measurement point of the frequency characteristics of the measurement object, calculate the number of measurement points where the complex impedance of the equivalent circuit falls within the range, and calculate the number and When the ratio to the number of all measurement points is used as the evaluation value, it is possible to determine how much of the overall characteristics are in agreement (approximate) with each other. Can be understood intuitively and easily.

各測定ポイントで測定された測定対象物の複素インピーダンスに対し、予め設定された許容上限割合及び許容下限割合で上限値及び下限値を算出する場合、設定が容易であると共に、両特性の近似の度合いを的確に表すことができる。   When calculating the upper limit and lower limit with the preset allowable upper limit ratio and allowable lower limit ratio for the complex impedance of the measurement object measured at each measurement point, it is easy to set and approximates both characteristics. The degree can be expressed accurately.

複数の等価回路の中から評価値が最もよい等価回路を測定対象物の等価回路として選定する場合、測定者が判断することなく等価回路を自動的に選定することができる。   When selecting an equivalent circuit having the best evaluation value from among a plurality of equivalent circuits as the equivalent circuit of the measurement object, the equivalent circuit can be automatically selected without the judgment of the measurer.

表示部に、測定対象物の周波数特性のグラフ、等価回路の周波数特性のグラフ、評価値を表示させる場合、測定者は、両特性の近似の度合いを容易に理解することができる。   When displaying the graph of the frequency characteristic of the measurement object, the graph of the frequency characteristic of the equivalent circuit, and the evaluation value on the display unit, the measurer can easily understand the degree of approximation of both characteristics.

本発明を適用する等価回路解析装置のブロック図である。It is a block diagram of an equivalent circuit analysis device to which the present invention is applied. 本発明を適用する等価回路解析方法を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the equivalent circuit analysis method to which this invention is applied. 本発明を適用する等価回路解析装置に用いるタッチパネルの表示例を示す概要図である。It is a schematic diagram which shows the example of a display of the touchscreen used for the equivalent circuit analysis apparatus to which this invention is applied. 測定対象物の等価回路の例である。It is an example of the equivalent circuit of a measurement object. 図４に示す各等価回路のインピーダンス周波数特性及び位相周波数特性の例である。It is an example of the impedance frequency characteristic and phase frequency characteristic of each equivalent circuit shown in FIG. 等価回路ａにおける素子定数の推定方法を説明するための実効抵抗の周波数特性データ（グラフ）である。It is the frequency characteristic data (graph) of effective resistance for demonstrating the estimation method of the element constant in the equivalent circuit a. 等価回路ｄにおける素子定数の推定方法を説明するためのコンダクタンスの周波数特性データ（グラフ）である。It is conductance frequency characteristic data (graph) for explaining a method of estimating an element constant in the equivalent circuit d. 本発明を適用する別の等価回路解析方法を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating another equivalent circuit analysis method to which this invention is applied. 測定対象物及び等価回路のインピーダンス周波数特性のグラフの極大値付近の拡大図である。It is an enlarged view near the maximum value of the graph of the impedance frequency characteristic of the measurement object and the equivalent circuit. 除外ポイント抽出ステップＳ１２を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating exclusion point extraction step S12. 他の除外ポイント抽出ステップＳ１２を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating other exclusion point extraction step S12. 本発明を適用するさらに他の等価回路解析方法を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the further another equivalent circuit analysis method to which this invention is applied. 測定対象物、等価回路、上限値、及び下限値のインピーダンス周波数特性のグラフの一部拡大図である。It is a partially enlarged view of a graph of impedance frequency characteristics of a measurement object, an equivalent circuit, an upper limit value, and a lower limit value. 本発明を適用するさらに他の等価回路解析方法を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the further another equivalent circuit analysis method to which this invention is applied.

以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。   Hereinafter, although the form for implementing this invention is demonstrated in detail, the scope of the present invention is not limited to these forms.

本発明を適用する等価回路解析装置１は、図１に機能的ブロックで示すように、測定部２、推定部３、素子定数変更部４、理論特性演算部５、評価値演算部６、及びタッチパネル１０を備え、測定対象物（ＤＵＴ）９０の複素インピーダンスの周波数特性を測定して、その周波数特性から等価回路の各素子定数を推定部３が推定することが可能になっている。なお、同図に示す推定部３、理論特性演算部５、素子定数変更部４、及び評価値演算部６等は、一例として、本装置１の動作を統括的に制御する１つ又は複数のＣＰＵ（不図示）がメモリ（不図示）に予め記憶されたソフトウエアに従って動作して演算処理することで実現されている。また、等価回路解析装置１は、後述する図２、図８、図１０、図１１、図１２、図１４の各フローチャートに対応するプログラムがメモリに予め記憶されていて、各フローチャートに従って動作可能に構成されている。いずれのフローチャートに従って動作するかは、測定者のタッチパネル１０の操作で選択が可能になっている。なお、測定部２として従来のインピーダンス測定装置を用い、その他の推定部３、素子定数変更部４、理論特性演算部５、評価値演算部６、及びタッチパネル１０としてコンピュータ（例えばパーソナルコンピュータ）を用い、両者を組み合わせて本発明の等価回路解析装置１としてもよい。   An equivalent circuit analysis apparatus 1 to which the present invention is applied includes a measurement unit 2, an estimation unit 3, an element constant change unit 4, a theoretical characteristic calculation unit 5, an evaluation value calculation unit 6, and a functional block shown in FIG. The touch panel 10 is provided, the frequency characteristic of the complex impedance of the measurement object (DUT) 90 is measured, and the estimation unit 3 can estimate each element constant of the equivalent circuit from the frequency characteristic. Note that the estimation unit 3, the theoretical characteristic calculation unit 5, the element constant change unit 4, the evaluation value calculation unit 6, and the like shown in the figure are, as an example, one or a plurality of ones that collectively control the operation of the apparatus 1. This is realized by a CPU (not shown) operating according to software prestored in a memory (not shown) to perform arithmetic processing. In addition, the equivalent circuit analysis apparatus 1 is prestored in a memory with programs corresponding to the flowcharts of FIGS. 2, 8, 10, 11, 12, and 14 to be described later, and can operate according to the flowcharts. It is configured. Which flowchart is to be operated can be selected by operating the touch panel 10 of the measurer. Note that a conventional impedance measuring device is used as the measuring unit 2, and a computer (for example, a personal computer) is used as the other estimating unit 3, element constant changing unit 4, theoretical characteristic calculating unit 5, evaluation value calculating unit 6, and touch panel 10. These may be combined to form the equivalent circuit analysis device 1 of the present invention.

タッチパネル１０は、画像を表示可能な液晶パネルやＣＲＴなどの表示装置と、タッチパッドなどの位置入力装置を組み合わせたもので、画像を表示可能であると共に、指や専用ペン等が画面に触れたときに、その触れた画面上の位置情報を出力するものである。タッチパネル１０は、等価回路解析装置１の表示部及び操作部として用いられる。タッチパネル１０に換えて、液晶パネル等の表示部と、キーボード等の操作部とを備えるようにしてもよい。   The touch panel 10 is a combination of a display device such as a liquid crystal panel or CRT capable of displaying an image and a position input device such as a touch pad. The touch panel 10 can display an image, and a finger or a dedicated pen touches the screen. Sometimes, the position information on the touched screen is output. The touch panel 10 is used as a display unit and an operation unit of the equivalent circuit analysis device 1. Instead of the touch panel 10, a display unit such as a liquid crystal panel and an operation unit such as a keyboard may be provided.

等価回路解析装置１の具体的な動作について図１〜図３を参照して説明する。ここで、図２に示すフローチャートは、本発明を適用する等価回路解析方法を示し、これに沿って等価回路解析装置１の動作を説明する。   A specific operation of the equivalent circuit analysis apparatus 1 will be described with reference to FIGS. Here, the flowchart shown in FIG. 2 shows an equivalent circuit analysis method to which the present invention is applied, and the operation of the equivalent circuit analysis apparatus 1 will be described along this.

測定ステップＳ１では、測定部２が、不図示の交流信号源からプローブ２１ａ，２１ｂを介して、周波数を開始周波数から終了周波数まで掃引させて測定用信号電圧を測定対象物（ＤＵＴ）９０に印加し、２端子法又は４端子法などの公知の測定方法で電圧と電流とを測定し、その電圧及び電流から、ＤＵＴ９０の複素インピーダンスの周波数特性を測定する。ここで測定部２は、開始周波数から終了周波数まで、周波数分解能ごとに順番に、番号ｉ＝１、２・・・，ｎ（ｎは整数）の測定ポイント（サンプリングポイント）の周波数で測定を行い、複素インピーダンスＤｉ（ｉ＝１〜ｎ）を得る。測定部２は、ＤＵＴ９０の複素インピーダンスの周波数特性として、一例として複素インピーダンスの絶対値の周波数特性（以下、「インピーダンス周波数特性」ともいう）のグラフ３１ａ、及び位相周波数特性のグラフ３２ａを、図３に例えば実線で示すように、タッチパネル１０のグラフ表示領域１１に表示させる。グラフ表示領域１１に、インピーダンス周波数特性のグラフ３１ａを表示させるか、位相周波数特性のグラフ３２ａを表示させるか、又は両特性のグラフ３１ａ，３２ａを表示させるかの切り替えは、測定者がタッチパネル１０を操作することで、自由に切り換えることができる。同図では、グラフ３１ａ，３２ａの両特性を表示させた例を表している。なお、タッチパネル１０にグラフ表示させる複素インピーダンスの周波数特性の表現方法は、コンダクタンス（Ｇ）−サセプタンス（Ｂ）特性、実効抵抗（Ｒｓ）−リアクタンス（Ｘ）特性、動アドミタンス円、又は動インピーダンス円などのように、公知の種々の表現方法で表現させることができる。   In the measurement step S1, the measurement unit 2 sweeps the frequency from the start frequency to the end frequency from the AC signal source (not shown) via the probes 21a and 21b and applies the measurement signal voltage to the measurement object (DUT) 90. The voltage and current are measured by a known measurement method such as the two-terminal method or the four-terminal method, and the frequency characteristics of the complex impedance of the DUT 90 are measured from the voltage and current. Here, the measurement unit 2 performs measurement at the frequency of the measurement points (sampling points) of numbers i = 1, 2,..., N (n is an integer) in order for each frequency resolution from the start frequency to the end frequency. The complex impedance Di (i = 1 to n) is obtained. As an example of the frequency characteristics of the complex impedance of the DUT 90, the measurement unit 2 includes a graph 31a of a frequency characteristic of an absolute value of a complex impedance (hereinafter also referred to as “impedance frequency characteristic”) and a graph 32a of a phase frequency characteristic as shown in FIG. For example, as indicated by a solid line, the graph is displayed in the graph display area 11 of the touch panel 10. In the graph display area 11, the operator can change the display of the impedance frequency characteristic graph 31 a, the phase frequency characteristic graph 32 a, or the both characteristic graphs 31 a and 32 a by switching the touch panel 10. By operating, it can be switched freely. In the figure, an example in which both characteristics of the graphs 31a and 32a are displayed is shown. It should be noted that the method for expressing the complex impedance frequency characteristics displayed on the touch panel 10 in graph form includes conductance (G) -susceptance (B) characteristics, effective resistance (Rs) -reactance (X) characteristics, a dynamic admittance circle, or a dynamic impedance circle. As described above, it can be expressed by various known expression methods.

次に、推定ステップＳ２では、推定部３が、測定ステップＳ１で測定部２の測定したＤＵＴ９０の複素インピーダンスの周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する。等価回路を構成する電気素子は、抵抗（素子定数Ｒ）、コンデンサ（素子定数Ｃ）、コイル（素子定数Ｌ）である。等価回路は、抵抗、コンデンサ、コイルのうちの少なくとも２つを接続して構成する。等価回路に用いる電気素子の数は、特に限定がなく、同種の電気素子が複数用いられていてもよい。推定部３は、推定した各素子定数を素子定数変更部４、及び理論特性演算部５に出力する。   Next, in the estimation step S2, the estimation unit 3 calculates each element constant of a predetermined equivalent circuit obtained by combining a plurality of electrical elements based on the frequency characteristics of the complex impedance of the DUT 90 measured by the measurement unit 2 in the measurement step S1. presume. The electric elements constituting the equivalent circuit are a resistor (element constant R), a capacitor (element constant C), and a coil (element constant L). The equivalent circuit is configured by connecting at least two of a resistor, a capacitor, and a coil. The number of electric elements used for the equivalent circuit is not particularly limited, and a plurality of electric elements of the same type may be used. The estimating unit 3 outputs the estimated element constants to the element constant changing unit 4 and the theoretical characteristic calculating unit 5.

等価回路の例を、図４の等価回路ａ〜ｄに示す。主として、等価回路ａはコイルや抵抗を測定する場合に用いられ、等価回路ｂは損失が大きなコイルを測定する場合に用いられ、等価回路ｃは高抵抗を測定する場合に用いられ、等価回路ｄはコンデンサを測定する場合に用いられる。図５に、等価回路ａ〜ｄのインピーダンス周波数特性Ｚ及び位相周波数特性θの例を図示する。同図中には、後述する並列共振周波数ωｐ、直列共振周波数ωｍの位置を示している。   Examples of equivalent circuits are shown in equivalent circuits a to d in FIG. The equivalent circuit a is mainly used when measuring a coil or resistance, the equivalent circuit b is used when measuring a coil with a large loss, the equivalent circuit c is used when measuring a high resistance, and the equivalent circuit d. Is used when measuring capacitors. FIG. 5 illustrates an example of the impedance frequency characteristic Z and the phase frequency characteristic θ of the equivalent circuits a to d. In the figure, positions of a parallel resonance frequency ωp and a series resonance frequency ωm described later are shown.

このように複数の等価回路を予め設定しておき、測定者がタッチパネル１０を操作して、１つの等価回路を選択できるようにすることが好ましい。推定部３は、等価回路ａ〜ｄの各素子定数の推定が可能になっている。測定者は、タッチパネル１０を操作して、測定ステップＳ１又は推定ステップＳ２の前に、用いる等価回路を予め選択しておく。   As described above, it is preferable that a plurality of equivalent circuits be set in advance so that the measurer can select one equivalent circuit by operating the touch panel 10. The estimation unit 3 can estimate each element constant of the equivalent circuits a to d. The measurer operates the touch panel 10 to select an equivalent circuit to be used in advance before the measurement step S1 or the estimation step S2.

推定部３が各素子定数を推定する例として、等価回路ａが選択されている場合について説明する。等価回路ａのときには、推定部３は、測定部２の測定データから各測定ポイントにおける複素インピーダンスの実効抵抗（レジスタンス）Ｒｓを算出し、その実効抵抗Ｒｓから各素子定数を推定する。なお、複素インピーダンスを、実効抵抗Ｒｓ及びリアクタンスＸで表現できることは周知な事項であるのでその算出法等について説明は省略する。測定部２によって、図６のグラフ２５に示す実効抵抗Ｒｓの周波数特性が測定された場合、推定部３は、先ず、グラフ２５（測定データ）の中の極大値Ｐを求める。この極大値Ｐのときの周波数が、並列共振周波数ωｐである。次に、推定部３は、グラフ２５が、極大値Ｐの１／２になる２つの周波数（象限周波数）ω1，ω2を求める。次に、推定部３は、共振の鋭さＱを次式で算出する。
Ｑ＝ωp／（ω2−ω1） As an example in which the estimation unit 3 estimates each element constant, a case where the equivalent circuit a is selected will be described. In the case of the equivalent circuit a, the estimation unit 3 calculates the effective resistance (resistance) Rs of the complex impedance at each measurement point from the measurement data of the measurement unit 2, and estimates each element constant from the effective resistance Rs. Since it is a well-known matter that the complex impedance can be expressed by the effective resistance Rs and the reactance X, description of the calculation method and the like will be omitted. When the measurement unit 2 measures the frequency characteristic of the effective resistance Rs shown in the graph 25 of FIG. 6, the estimation unit 3 first obtains the maximum value P in the graph 25 (measurement data). The frequency at the maximum value P is the parallel resonance frequency ωp. Next, the estimation unit 3 obtains two frequencies (quadrant frequencies) ω 1 and ω 2 at which the graph 25 becomes 1/2 of the maximum value P. Next, the estimation unit 3 calculates the resonance sharpness Q by the following equation.
Q = ωp / (ω 2 −ω 1 )

次に、推定部３は、等価回路ａのコンデンサの素子定数Ｃを次式で算出する。
Ｃ＝Ｑ／（ωp×Ｐ） Next, the estimation unit 3 calculates the element constant C of the capacitor of the equivalent circuit a by the following equation.
C = Q / (ωp × P)

次に、推定部３は、等価回路ａのコイルの素子定数Ｌを次式で算出する。
Ｌ＝（２×Ｑ2）／（ωp2×Ｃ×（２×Ｑ2−１）） Next, the estimation unit 3 calculates the element constant L of the coil of the equivalent circuit a by the following equation.
L = (2 × Q 2 ) / (ωp 2 × C × (2 × Q 2 −1))

次に、推定部３は、等価回路ａの抵抗の素子定数Ｒを次式で算出する。
Ｒ＝Ｌ／（Ｃ×Ｐ） Next, the estimation unit 3 calculates the element constant R of the resistance of the equivalent circuit a by the following equation.
R = L / (C × P)

以上で、等価回路ａの各素子定数の推定が終了する。   Thus, the estimation of each element constant of the equivalent circuit “a” is completed.

また、等価回路ｄのように直列共振回路の場合には、推定部３は、測定部２の測定データから各周波数における複素アドミタンス（複素インピーダンスの別の表現方法）のコンダクタンスＧを算出し、そのコンダクタンスＧから各素子定数を推定する。なお、複素アドミタンスを、コンダクタンスＧ及びサセプタンスＢで表現できることは周知な事項であるのでその算出法等について説明は省略する。測定部２によって、図７のグラフ２６に示すコンダクタンスＧの周波数特性が測定された場合、推定部３は、先ず、グラフ２６（測定データ）の中の極大値Ｍを求める。この極大値Ｍのときの周波数が、直列共振周波数ωｍである。次に、推定部３は、グラフ２６が、極大値Ｍの１／２になる２つの周波数（象限周波数）ω1，ω2を求める。次に、推定部３は、共振の鋭さＱを次式で算出する。
Ｑ＝ωｍ／（ω2−ω1） In the case of a series resonant circuit such as the equivalent circuit d, the estimation unit 3 calculates the conductance G of complex admittance (another expression method of complex impedance) at each frequency from the measurement data of the measurement unit 2, Each element constant is estimated from the conductance G. Since it is a well-known matter that the complex admittance can be expressed by conductance G and susceptance B, description of the calculation method and the like will be omitted. When the measurement unit 2 measures the frequency characteristic of the conductance G shown in the graph 26 of FIG. 7, the estimation unit 3 first obtains the maximum value M in the graph 26 (measurement data). The frequency at the maximum value M is the series resonance frequency ωm. Next, the estimation unit 3 obtains two frequencies (quadrant frequencies) ω 1 and ω 2 at which the graph 26 is ½ of the maximum value M. Next, the estimation unit 3 calculates the resonance sharpness Q by the following equation.
Q = ωm / (ω 2 −ω 1 )

次に、推定部３は、等価回路ｄのコイルの素子定数Ｌを次式で算出する。
Ｌ＝Ｑ／（ωｍ×Ｍ） Next, the estimation unit 3 calculates the element constant L of the coil of the equivalent circuit d by the following equation.
L = Q / (ωm × M)

次に、推定部３は、等価回路ｄのコンデンサの素子定数Ｃを次式で算出する。
Ｃ＝（２×Ｑ2）／（ωｍ2×Ｌ×（２×Ｑ2−１）） Next, the estimation unit 3 calculates the element constant C of the capacitor of the equivalent circuit d by the following equation.
C = (2 × Q 2 ) / (ωm 2 × L × (2 × Q 2 −1))

次に、推定部３は、等価回路ｄの抵抗の素子定数Ｒを次式で算出する。
Ｒ＝（Ｌ×Ｍ）／Ｃ Next, the estimation unit 3 calculates the element constant R of the resistance of the equivalent circuit d by the following equation.
R = (L × M) / C

以上で、等価回路ｄの各素子定数の推定が終了する。   This completes the estimation of each element constant of the equivalent circuit d.

他の等価回路の場合であっても、並列共振周波数ωｐ、直列共振周波数ωｍ、２つの象限周波数ω1，ω2、共振の鋭さＱに基づいて、Ｒ，Ｃ，Ｌの各素子定数を推定することができる。なお、公知の他の推定方法で等価回路の各素子定数を推定してもよい。 Even in the case of other equivalent circuits, the R, C, and L element constants are estimated based on the parallel resonance frequency ωp, the series resonance frequency ωm, the two quadrant frequencies ω 1 and ω 2 , and the sharpness Q of the resonance. can do. Note that each element constant of the equivalent circuit may be estimated by another known estimation method.

推定部３は、推定した各素子定数を素子定数変更部４、及び理論特性演算部５に出力する。素子定数変更部４は、各素子定数を個々に変更設定する操作を可能にするためのものであり、図３に示すように、等価回路に用いられている電気素子の数に対応させた各素子定数Ｒ，Ｃ，Ｌをタッチパネル１０の素子定数表示領域１２ａ，１２ｂ，１２ｃに表示させると共に、素子定数設定操作用の増減ボタン１４ａ，１４ｂ，１４ｃをタッチパネル１０に表示させて、各素子定数Ｒ，Ｃ，Ｌを変更する操作を可能にする。なお、増減ボタン１４ａ〜１４ｃに換えて、回転により値を増減させるジョグダイヤルのような回転ダイヤルを表示させてもよい。このように、一回の操作で値を増加又は減少させて変更できる素子定数変更部４の他に、二回以上の操作で値を変更できる例えばテン（１０）キーと確定キーとを有するキーボードを、素子定数を変更するために表示させたり備えたりしてもよい。なお、素子定数を変更する機能の必要が無い場合には、素子定数変更部４を設けずに、素子定数を表示させるだけでよい。   The estimating unit 3 outputs the estimated element constants to the element constant changing unit 4 and the theoretical characteristic calculating unit 5. The element constant changing unit 4 is for enabling an operation to change and set each element constant individually. As shown in FIG. 3, each element constant changing unit 4 corresponds to the number of electric elements used in the equivalent circuit. The element constants R, C, and L are displayed on the element constant display areas 12a, 12b, and 12c of the touch panel 10, and the increase / decrease buttons 14a, 14b, and 14c for element constant setting operation are displayed on the touch panel 10, and each element constant R is displayed. , C, and L can be changed. Instead of the increase / decrease buttons 14a to 14c, a rotary dial such as a jog dial that increases or decreases the value by rotation may be displayed. As described above, in addition to the element constant changing unit 4 that can be changed by increasing or decreasing the value by one operation, a keyboard having, for example, a ten (10) key and a confirmation key that can change the value by two or more operations. May be displayed or provided to change the element constant. When there is no need for a function for changing the element constant, the element constant may be displayed without providing the element constant changing unit 4.

次に、理論特性演算ステップＳ３では、理論特性演算部５が、推定ステップＳ２で推定部３が推定した各素子定数で、等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を算出する。ここで、等価回路の理論的な複素インピーダンスとは、抵抗の複素インピーダンスがＲ、コンデンサの複素インピーダンスが１／（ｊωＣ）、コイルの複素インピーダンスがｊωＬであるので、これらを等価回路の接続に対応させて合成したものである。複素インピーダンスの合成については、周知な事項であるので説明は省略する。なお、計算にはアドミタンスを用いてもよいし、複素インピーダンスと位相から算出できる他のパラメータを用いてもよい。理論特性演算部５は、タッチパネル１０に表示させるグラフに適した形式で演算を行う。   Next, in the theoretical characteristic calculation step S3, the theoretical characteristic calculation unit 5 calculates the frequency characteristic of the theoretical complex impedance of the equivalent circuit with each element constant estimated by the estimation unit 3 in the estimation step S2. Here, the theoretical complex impedance of the equivalent circuit means that the complex impedance of the resistor is R, the complex impedance of the capacitor is 1 / (jωC), and the complex impedance of the coil is jωL, and these correspond to the connection of the equivalent circuit. And synthesized. Since the complex impedance synthesis is a well-known matter, a description thereof will be omitted. Note that admittance may be used for the calculation, or other parameters that can be calculated from the complex impedance and phase may be used. The theoretical characteristic calculation unit 5 performs calculation in a format suitable for the graph displayed on the touch panel 10.

理論特性演算部５が演算を行う周波数は、測定部２の測定した１〜ｎの測定ポイントに合わせた周波数で演算する。つまり、理論特性演算部５は、合成した等価回路の複素インピーダンスに、周波数を開始周波数から終了周波数まで番号１〜ｎの測定ポイントに合わせて可変させて演算して、等価回路の理論的な複素インピーダンスＳｉ（ｉ＝１〜ｎ）（例えばインピーダンス周波数特性、及び位相周波数特性）を算出する。   The frequency at which the theoretical characteristic calculation unit 5 performs calculation is calculated at a frequency that matches the measurement points 1 to n measured by the measurement unit 2. That is, the theoretical characteristic calculation unit 5 calculates the complex impedance of the synthesized equivalent circuit by varying the frequency from the start frequency to the end frequency according to the measurement points numbered 1 to n, and calculates the theoretical complex of the equivalent circuit. Impedance Si (i = 1 to n) (for example, impedance frequency characteristics and phase frequency characteristics) is calculated.

また、理論特性演算部５は、図３に例えば破線で示すように、算出した等価回路の複素インピーダンスの周波数特性のグラフである、インピーダンス周波数特性のグラフ３１ｂ、及び位相周波数特性のグラフ３２ｂを、ＤＵＴ９０の測定結果のグラフ３１ａ，３２ａと区別可能に線種や色を変えて、かつ縦軸及び横軸を合わせて重なり合うように、タッチパネル１０のグラフ表示領域１１に表示させる。   Further, as shown in FIG. 3 by, for example, a broken line, the theoretical characteristic calculation unit 5 includes an impedance frequency characteristic graph 31b and a phase frequency characteristic graph 32b, which are graphs of the frequency characteristics of the complex impedance of the calculated equivalent circuit. The line type and color are changed so as to be distinguishable from the graphs 31a and 32a of the measurement results of the DUT 90, and the graphs are displayed in the graph display area 11 of the touch panel 10 so as to overlap with the vertical and horizontal axes.

次に、測定部２の測定したＤＵＴ９０の複素インピーダンスの周波数特性と、理論特性演算部５の算出した等価回路の複素インピーダンスの周波数特性との近似の度合いを示す評価値を算出する。   Next, an evaluation value indicating the degree of approximation between the frequency characteristic of the complex impedance of the DUT 90 measured by the measurement unit 2 and the frequency characteristic of the complex impedance of the equivalent circuit calculated by the theoretical characteristic calculation unit 5 is calculated.

具体的には、残差２乗平均演算ステップＳ４では、評価値演算部６が、下記の式（１）で残差２乗平均Ｅを演算する。   Specifically, in the residual mean square calculation step S4, the evaluation value calculation unit 6 calculates the residual mean square E using the following equation (1).

Figure 0005934479
式中のｉはＤＵＴ９０の周波数特性の測定ポイントの番号１，２・・・，ｎを示し、Ｄｉはｉ番目の測定ポイントのＤＵＴ９０の複素インピーダンスを示し、Ｓｉはｉ番目の測定ポイントの等価回路の複素インピーダンスを示す。このように、等価回路の複素インピーダンスとＤＵＴ９０の複素インピーダンスとの差を２乗しているのは、その差が正負いずれの値であっても正の数値で評価値を表現するためである。残差２乗平均Ｅは、ＤＵＴ９０と等価回路との両特性が近似（一致）するほど、値が小さくなる。
Figure 0005934479
 In the equation, i represents the measurement point numbers 1, 2,..., N of the frequency characteristics of the DUT 90, D i represents the complex impedance of the DUT 90 at the i-th measurement point, and S i represents the i-th measurement point. The complex impedance of the equivalent circuit is shown. Thus, the reason why the difference between the complex impedance of the equivalent circuit and the complex impedance of the DUT 90 is squared is to express the evaluation value as a positive value regardless of whether the difference is positive or negative. The residual mean square E becomes smaller as both characteristics of the DUT 90 and the equivalent circuit are approximated (matched).

評価値演算部６は、タッチパネル１０に表示させているグラフの種類のそれぞれに対応させて、式（１）の演算を行うことが好ましい。この例では、図３に示すように、タッチパネル１０に、インピーダンス周波数特性のグラフ３１ａ，３１ｂ、及び位相周波数特性のグラフ３２ａ，３２ｂの２種類のグラフを表示させているので、インピーダンス周波数特性、及び位相周波数特性の各々で、式（１）の演算を行う。従って、残差２乗平均演算ステップＳ４で、インピーダンス周波数特性の残差２乗平均ＥＺ、及び位相周波数特性の残差２乗平均Ｅθを算出する。なお、いずれか一方の残差２乗平均だけを算出するようにしてもよい。タッチパネル１０に一方の種類のグラフだけを表示させている場合には、そのグラフの残差２乗平均を算出する。 The evaluation value calculation unit 6 preferably performs the calculation of Expression (1) corresponding to each type of graph displayed on the touch panel 10. In this example, as shown in FIG. 3, since two types of graphs of impedance frequency characteristic graphs 31a and 31b and phase frequency characteristic graphs 32a and 32b are displayed on the touch panel 10, impedance frequency characteristics and The calculation of Expression (1) is performed for each of the phase frequency characteristics. Accordingly, in the residual mean square calculation step S4, the residual mean square E Z of the impedance frequency characteristics and the residual mean square E θ of the phase frequency characteristics are calculated. Note that only one of the residual mean squares may be calculated. When only one type of graph is displayed on the touch panel 10, the residual mean square of the graph is calculated.

残差２乗平均演算ステップＳ４で算出した残差２乗平均Ｅ（ＥＺ、Ｅθ）を、評価値としてそのまま用いてもよいが、次の残差演算ステップＳ５で、評価値演算部６が残差２乗平均Ｅの平方根である残差Ｘを算出して、この残差Ｘを評価値としてもよい。評価値として、残差２乗平均Ｅよりも残差Ｘを用いたほうが、グラフの差に比例する値となるので、測定者にとって直感的に理解しやすい数値になり好ましい。 The residual mean square E (E Z , E θ ) calculated in the residual mean square calculation step S4 may be used as it is as an evaluation value, but in the next residual calculation step S5, the evaluation value calculation unit 6 May be calculated as a square root of the residual mean square E, and the residual X may be used as an evaluation value. As the evaluation value, it is preferable to use the residual X rather than the residual mean square E because the value is proportional to the difference between the graphs, and it is preferable because it is a value that can be easily understood by the measurer.

この例では、残差演算ステップＳ５で、評価値演算部６が、インピーダンス周波数特性の残差２乗平均の平方根である残差ＸＺ、及び位相周波数特性の残差２乗平均の平方根である残差Ｘθを各々評価値として算出する。 In this example, in the residual calculation step S5, the evaluation value calculation unit 6 is the residual XZ which is the square root of the residual mean square of the impedance frequency characteristic and the square root of the residual mean square of the phase frequency characteristic. It is calculated as each evaluation value residual X theta.

なお、評価値として残差２乗平均Ｅを用いた場合、残差２乗平均演算ステップＳ４が本発明における評価値演算ステップに相当し、評価値として残差Ｘを用いた場合、残差２乗平均演算ステップＳ４及び残差演算ステップＳ５が、本発明における評価値演算ステップに相当する。   When the residual mean square E is used as the evaluation value, the residual mean square calculation step S4 corresponds to the evaluation value calculation step in the present invention. When the residual X is used as the evaluation value, the residual 2 The multiplying average calculation step S4 and the residual calculation step S5 correspond to the evaluation value calculation step in the present invention.

次に、評価値表示ステップＳ６では、評価値演算部６が、評価値をタッチパネル１０に表示させる。この例では、ステップＳ５で算出した残差（評価値）ＸＺ、Ｘθを、図３に示すように、タッチパネル１０のグラフ表示領域１１に、評価値表示３３のように数値で表示させる。なお、評価値表示３３は、見やすい位置であれば、素子定数表示領域１２ａの上側や増減ボタン１４ｃの下側等のように、いずれの場所に表示させてもよい。 Next, in the evaluation value display step S <b> 6, the evaluation value calculation unit 6 displays the evaluation value on the touch panel 10. In this example, the residuals (evaluation values) X Z and X θ calculated in step S5 are displayed numerically in the graph display area 11 of the touch panel 10 as shown in the evaluation value display 33 as shown in FIG. It should be noted that the evaluation value display 33 may be displayed at any location such as the upper side of the element constant display region 12a or the lower side of the increase / decrease button 14c as long as it is an easy-to-see position.

続いて、素子定数変更設定ステップＳ７では、タッチパネル１０の増減ボタン１４ａ〜１４ｂが操作されたときに、素子定数変更部４が、変更された素子定数をタッチパネル１０に表示させると共に、変更された素子定数を理論特性演算部５に出力して、理論特性演算ステップＳ３に戻る。これにより、理論特性演算ステップＳ３で、論理特性演算部５が、素子定数変更部４により変更された後の各素子定数で等価回路の周波数特性を演算して、グラフ３１ｂ，３２ｂを再描画する。続いて、残差２乗平均演算ステップＳ４、残差演算ステップＳ５、評価値表示ステップＳ６の処理を行い、変更された素子定数における評価値ＸＺ、Ｘθを再演算し、評価値表示３３をタッチパネル１０に表示する。タッチパネル１０の増減ボタン１４ａ〜１４ｂが操作されるたびに、ステップＳ７，Ｓ３〜Ｓ６を繰り返し行う。 Subsequently, in the element constant change setting step S7, when the increase / decrease buttons 14a to 14b of the touch panel 10 are operated, the element constant changing unit 4 displays the changed element constant on the touch panel 10 and the changed element. The constant is output to the theoretical characteristic calculation unit 5 and the process returns to the theoretical characteristic calculation step S3. Thereby, in the theoretical characteristic calculation step S3, the logical characteristic calculation unit 5 calculates the frequency characteristic of the equivalent circuit with each element constant after being changed by the element constant changing unit 4, and redraws the graphs 31b and 32b. . Subsequently, the residual mean square calculation step S4, the residual calculation step S5, and the evaluation value display step S6 are processed, and the evaluation values X Z and X θ in the changed element constant are recalculated to display the evaluation value display 33. Is displayed on the touch panel 10. Steps S7 and S3 to S6 are repeated each time the increase / decrease buttons 14a to 14b of the touch panel 10 are operated.

このように、評価値表示３３をタッチパネル１０に表示することで、測定者は、等価回路とＤＵＴ９０との近似度合を数値で判断することができる。また、増減ボタン１４ａ〜１４ｃが操作されるたびに、等価回路の周波数特性及び評価値が再演算されて再表示されるため、素子定数の調整を迅速に行うことができる。なお、タッチパネル１０に評価値表示３３を表示させた方が、周波数特性のグラフ３１ａ〜３２ｂと共に評価値表示３３を測定者が同時に確認することができるため好ましいが、タッチパネル１０に評価値表示３３を表示させずに、又は表示と共に、等価回路解析装置１の外部インタフェース回路（図示せず）から装置外部に評価値を出力させてもよい。例えば、この外部インタフェースにコンピュータを接続し、このコンピュータで評価値が所定範囲に入っているか否かを判別させるようにしてもよい。また、ここまではインピーダンス周波数特性Ｚや位相周波数特性θから残差２乗平均や残差を評価値として求めたが、Ｚやθから求められる他のパラメータを評価値として用いてもよい。   In this way, by displaying the evaluation value display 33 on the touch panel 10, the measurer can determine the degree of approximation between the equivalent circuit and the DUT 90 by a numerical value. In addition, each time the increase / decrease buttons 14a to 14c are operated, the frequency characteristics and evaluation values of the equivalent circuit are recalculated and redisplayed, so that the element constants can be adjusted quickly. Although it is preferable to display the evaluation value display 33 on the touch panel 10 because the measurer can simultaneously check the evaluation value display 33 together with the frequency characteristic graphs 31 a to 32 b, the evaluation value display 33 is displayed on the touch panel 10. The evaluation value may be output from the external interface circuit (not shown) of the equivalent circuit analysis device 1 to the outside of the device without being displayed or together with the display. For example, a computer may be connected to the external interface, and the computer may determine whether the evaluation value is within a predetermined range. Further, so far, the residual mean square and the residual are obtained as the evaluation values from the impedance frequency characteristic Z and the phase frequency characteristic θ, but other parameters obtained from Z and θ may be used as the evaluation values.

次に、本発明を適用する他の等価回路解析方法について、図８のフローチャートに沿って説明する。なお、既に説明したステップ（工程）と同様のステップについては同じ符号を付して詳細な説明を省略する。   Next, another equivalent circuit analysis method to which the present invention is applied will be described with reference to the flowchart of FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the step similar to the already demonstrated step (process), and detailed description is abbreviate | omitted.

図８のフローチャートで示す等価回路解析方法は、前述した図２のフローチャートで示した解析方法を改良したものである。例えば図９に拡大図で示すように、ＤＵＴ９０のインピーダンス周波数特性のグラフ３１ａ、及び等価回路のインピーダンス周波数特性のグラフ３１ｂは、極大値Ｐ（極値）付近以外では殆どグラフが一致していたとしても、極大値Ｐ付近で両特性の差が大きくなる場合がある。これは、等価回路の素子定数が充分にＤＵＴ９０を近似できていて誤差の少ないものであったとしても、極大値Ｐ付近ではグラフの傾きが非常に大きくなるため、素子定数の無視できる程度の僅かな違いにより、極大値Ｐ付近で両特性に大きな差が生じることがあるためである。同様に、極小値（極値）付近においても両特性に差が生じてしまうことがある。そのため、図２のフローチャートで説明した解析方法では、素子定数の誤差が小さくても、極値付近の差の影響で、評価値が悪化する（大きくなる）ことがあるという課題がある。このような課題を解決するために、図８のフローチャートでは、極値付近の差の影響を排除するようにして評価値を演算している。   The equivalent circuit analysis method shown in the flowchart of FIG. 8 is an improvement of the analysis method shown in the flowchart of FIG. For example, as shown in an enlarged view in FIG. 9, it is assumed that the impedance frequency characteristic graph 31a of the DUT 90 and the impedance frequency characteristic graph 31b of the equivalent circuit almost coincide except in the vicinity of the maximum value P (extreme value). In some cases, however, the difference between the two characteristics increases in the vicinity of the maximum value P. This is because even if the element constant of the equivalent circuit can sufficiently approximate the DUT 90 and the error is small, the slope of the graph becomes very large near the maximum value P, so that the element constant is negligibly small. This is because a large difference may occur between the two characteristics in the vicinity of the maximum value P. Similarly, there may be a difference between both characteristics near the minimum value (extreme value). Therefore, the analysis method described in the flowchart of FIG. 2 has a problem that the evaluation value may deteriorate (become large) due to the influence of the difference near the extreme value even if the error of the element constant is small. In order to solve such a problem, in the flowchart of FIG. 8, the evaluation value is calculated so as to eliminate the influence of the difference near the extreme value.

同図のフローチャートでは、既に説明した測定ステップＳ１、推定ステップＳ２、理論特性演算ステップＳ３、残差２乗平均演算ステップＳ４と同様にこの順で処理を行い、ＤＵＴ９０の複素インピーダンスの周波数特性と等価回路の複素インピーダンスの周波数特性との残差２乗平均Ｅを算出する。   In the flowchart shown in the figure, the processing is performed in this order in the same manner as the measurement step S1, the estimation step S2, the theoretical characteristic calculation step S3, and the residual mean square calculation step S4 already described, and is equivalent to the frequency characteristic of the complex impedance of the DUT 90. The residual mean square E with the frequency characteristic of the complex impedance of the circuit is calculated.

続いて、極値選択ステップＳ１１では、評価値演算部６が、ＤＵＴ９０の複素インピーダンスＤｉ（ｉ＝１〜ｎ）の中から極大値や極小値といった極値Ｄpeakを選択する。ここで、peakは、極値となる測定ポイントのｉを示す。特性中に極大値があるか極小値があるかということを、等価回路モデルの種類ａ〜ｄに基づいて判別してもよい。また、例えば極値Ｄpeak1，極値Ｄpeak2・・・のように極値Ｄpeakが複数あってもよい。また、極値Ｄpeakとして、推定ステップＳ２で求めた極大値Ｐ，Ｍを用いてもよい。   Subsequently, in the extreme value selection step S <b> 11, the evaluation value calculation unit 6 selects an extreme value Dpeak such as a maximum value or a minimum value from the complex impedance Di (i = 1 to n) of the DUT 90. Here, peak indicates i of the measurement point that is an extreme value. Whether there is a maximum value or a minimum value in the characteristic may be determined based on the types a to d of the equivalent circuit model. Further, for example, there may be a plurality of extreme values Dpeak such as extreme value Dpeak1, extreme value Dpeak2,. Further, as the extreme value Dpeak, the local maximum values P and M obtained in the estimation step S2 may be used.

次に、除外ポイント抽出ステップＳ１２では、評価値演算部６が、極値Ｄpeakの測定ポイントを中心として、下記の式（２）

Figure 0005934479
の関係が少なくとも成り立たない測定ポイントの範囲（所定範囲の一例）を判別する。ここで、式中のｉ，Ｄｉ，Ｓｉ，Ｅは式（１）のものと同様である。 Next, in the exclusion point extraction step S12, the evaluation value calculation unit 6 centers on the measurement point of the extreme value Dpeak as the following formula (2).
Figure 0005934479
 A measurement point range (an example of a predetermined range) in which at least the above relationship does not hold is determined. Here, i, D i , S i and E in the formula are the same as those in the formula (1).

具体的には、例えば、評価値演算部６は、図１０に示すフローチャートに従って動作して除外ポイント抽出ステップＳ１２を実行する。先ず、評価値演算部６は、ステップＳ４１で、極値の測定ポイント（ｉ＝peak）における式（２）を演算する。式（２）の関係を満たすときは、ステップＳ４２に進み、除外する測定ポイントはないと判別して除外ポイント抽出ステップＳ１２を終了する。   Specifically, for example, the evaluation value calculator 6 operates according to the flowchart shown in FIG. 10 and executes the exclusion point extraction step S12. First, the evaluation value calculation unit 6 calculates Equation (2) at an extreme value measurement point (i = peak) in step S41. When the relationship of the formula (2) is satisfied, the process proceeds to step S42, and it is determined that there are no measurement points to be excluded, and the excluded point extraction step S12 is ended.

ステップＳ４１で式（２）の関係を満たさないときは、ステップＳ４３に進み、変数ｊｎに初期値１に設定する。次に、評価値演算部６は、ステップＳ４４、Ｓ４５のループで、式（２）のｉをpeak−ｊｎとし、ｊｎを１ずつ増加させ、式（２）の関係が満たされるまで演算する。これにより、peakより小さい側で式（２）の関係を満たさない測定ポイントの範囲peak−ｊｎ＋１が求められる。ステップＳ４４の関係を満たしたときに、ステップＳ４６に進み、変数ｊｐに初期値１に設定する。次に、評価値演算部６は、ステップＳ４７、Ｓ４８のループで、式（２）のｉをpeak＋ｊｐとし、ｊｎを１ずつ増加させ、式（２）の関係が満たされるまで演算する。これにより、peakより大きい側で式（２）の関係を満たさない測定ポイントの範囲peak＋ｊｐ−１が求められる。評価値演算部６は、ステップＳ４９で、peak−ｊｎ＋１〜peak＋ｊｐ−１を、除外する測定ポイントの範囲に設定して、除外ポイント抽出ステップＳ１２を終了する。   When the relationship of the formula (2) is not satisfied in step S41, the process proceeds to step S43, and the initial value 1 is set to the variable jn. Next, in the loop of steps S44 and S45, the evaluation value calculation unit 6 sets i in the equation (2) to peak-jn, increases jn by 1, and calculates until the relationship of the equation (2) is satisfied. As a result, a measurement point range peak-jn + 1 that does not satisfy the relationship of the expression (2) on the side smaller than peak is obtained. When the relationship of step S44 is satisfied, the process proceeds to step S46, and the variable jp is set to the initial value 1. Next, in the loop of steps S47 and S48, the evaluation value calculation unit 6 sets i in the equation (2) to peak + jp, increases jn by 1, and performs calculation until the relationship of the equation (2) is satisfied. As a result, a measurement point range peak + jp−1 that does not satisfy the relationship of the expression (2) on the side larger than peak is obtained. In step S49, the evaluation value calculation unit 6 sets peak-jn + 1 to peak + jp-1 to the range of measurement points to be excluded, and ends the exclusion point extraction step S12.

極値Ｄpeakが複数ある場合には、上記の演算を各極値Ｄpeak１、Ｄpeak２・・・について行う。   When there are a plurality of extreme values Dpeak, the above calculation is performed for each extreme value Dpeak1, Dpeak2,.

なお、評価値演算部６は、図１１に示すフローチャートに従って動作して除外ポイント抽出ステップＳ１２を実行してもよい。この例では、図１０のフローチャートで得られる除外する測定ポイントの範囲よりも、得られる範囲が広くなる場合があるが、必要な変数の数が１つでよく、演算量も少なくて済むという特徴がある。具体的には、評価値演算部６は、ステップＳ５１で変数ｊを初期値０に設定し、ステップＳ５３で極値の測定ポイントであるｉ＝peakのときの式（２）を演算する。式（２）の関係を満たすときは、評価値演算部６は、ステップＳ５４に進み、除外する測定ポイントはないと判別して除外ポイント抽出ステップＳ１２を終了する。   The evaluation value calculation unit 6 may operate according to the flowchart shown in FIG. 11 and execute the exclusion point extraction step S12. In this example, the range to be obtained may be wider than the range of measurement points to be excluded obtained in the flowchart of FIG. 10, but the number of necessary variables may be one and the amount of calculation may be small. There is. Specifically, the evaluation value calculation unit 6 sets the variable j to the initial value 0 in step S51, and calculates equation (2) when i = peak, which is the extreme measurement point, in step S53. When the relationship of the expression (2) is satisfied, the evaluation value calculation unit 6 proceeds to step S54, determines that there is no measurement point to be excluded, and ends the exclusion point extraction step S12.

ステップＳ５３で式（２）の関係を満たさないときは、評価値演算部６は、ステップＳ５５、Ｓ５２、Ｓ５６のループで、式（２）のｉをpeak−ｊとし、ｊを１ずつ増加させ、式（２）の関係が満たされるまで演算する。ステップＳ５６の関係を満たしたときに、ステップＳ５７に進む。評価値演算部６は、ステップＳ５７で、先の演算に用いていた変数ｊを用いて式（２）のｉをpeak＋ｊとして演算し、式（２）の関係を満たすか否かを判別する。ステップＳ５７の関係を満たさないときに、評価値演算部６は、Ｓ５５、Ｓ５２、Ｓ５６、Ｓ５７のループで、ｊを１ずつ増加させ、式（２）の関係が満たされるまで演算する。ステップＳ５７の関係を満たしたときに、評価値演算部６は、ステップＳ５８に進む。このように処理することで、peakよりも小さい側で式（２）の関係を満たさない測定ポイントの範囲と、peakよりも大きい側で式（２）の関係を満たさない測定ポイントの範囲とのうちで、広い方の範囲に対応するｊの値が求められる。評価値演算部６は、ステップＳ５８で、peak−ｊ＋１〜peak＋ｊ−１を、除外する測定ポイントの範囲に設定して、除外ポイント抽出ステップＳ１２を終了する。このように求めることで、少なくとも式（２）の関係を満たさない範囲が抽出される。また、このように求めても、例えば図９に示すように、グラフの形状は極値の前後で概ね対称形になるので、図１０のフローチャートで求める範囲と大きく異ならない。   When the relationship of Expression (2) is not satisfied in Step S53, the evaluation value calculation unit 6 increases i by 1 in the loop of Steps S55, S52, and S56, with i in Expression (2) being peak-j. The calculation is performed until the relationship of the expression (2) is satisfied. When the relationship of step S56 is satisfied, the process proceeds to step S57. In step S57, the evaluation value calculation unit 6 calculates i in equation (2) as peak + j using the variable j used in the previous calculation, and determines whether or not the relationship of equation (2) is satisfied. When the relationship of step S57 is not satisfied, the evaluation value calculation unit 6 increases j by 1 in the loop of S55, S52, S56, and S57, and calculates until the relationship of equation (2) is satisfied. When the relationship of step S57 is satisfied, the evaluation value calculation unit 6 proceeds to step S58. By processing in this way, a range of measurement points that do not satisfy the relationship of equation (2) on the side smaller than peak and a range of measurement points that do not satisfy the relationship of equation (2) on the side larger than peak. Among them, the value of j corresponding to the wider range is obtained. In step S58, the evaluation value calculator 6 sets peak−j + 1 to peak + j−1 to the range of measurement points to be excluded, and ends the excluded point extraction step S12. By obtaining in this way, a range that does not satisfy at least the relationship of Expression (2) is extracted. Even if it is obtained in this way, for example, as shown in FIG. 9, the shape of the graph is substantially symmetrical before and after the extreme value, so that it does not differ greatly from the range obtained in the flowchart of FIG.

また、除外ポイント抽出ステップＳ１２を行う方法については、図１０、図１１のフローチャートの以外の方法で行ってもよい。例えば、評価値演算部６が、極値が式（２）の関係を満たさないときに極値の前後各１００個（所定個数）の測定ポイントの範囲を除外するというように、極値の前後の一定の範囲を所定範囲として、式（１）の演算から除外するようにしてもよい。また、極値が式（２）の関係を満たすか満たさないかに関係なく、例えば極値の前後各１００個（所定個数）の測定ポイントの中で、式（２）の関係を満たさない測定ポイントの範囲を所定範囲として除外するようにしてもよい。   Further, the method of performing the exclusion point extraction step S12 may be performed by a method other than the flowcharts of FIGS. For example, the evaluation value calculation unit 6 excludes the range of 100 measurement points (predetermined number) before and after the extreme value when the extreme value does not satisfy the relationship of the expression (2). The predetermined range may be excluded from the calculation of Expression (1) as a predetermined range. Moreover, regardless of whether the extreme value satisfies or does not satisfy the relationship of the formula (2), for example, among the 100 measurement points (predetermined number) before and after the extreme value, the measurement points that do not satisfy the relationship of the formula (2) This range may be excluded as a predetermined range.

次に、図８のフローチャートに戻って説明すると、除外演算ステップＳ１３では、評価値演算部６が、除外ポイント抽出ステップＳ１２で抽出した測定ポイントを、演算対象から除外して式（１）を再演算して、再演算した残差２乗平均Ｅを評価値として算出する。例えば、ｉがpeak−Ａ〜peak＋Ｂの測定ポイントを演算対象から除外する場合、これら（Ａ＋Ｂ＋１）個の測定ポイントが無いものとして、式（１）を演算する。演算対象の測定ポイントの数が減るので、式（１）中のｎは、除外した測定ポイントの数を減算して、ｎ−（Ｂ＋Ａ＋１）となる。なお、残差２乗平均演算ステップＳ４、極値選択ステップＳ１１、除外ポイント抽出ステップＳ１２、及び除外演算ステップＳ１３が本発明における評価値演算ステップに相当する。   Next, returning to the flowchart of FIG. 8, in the exclusion calculation step S13, the evaluation value calculation unit 6 excludes the measurement points extracted in the exclusion point extraction step S12 from the calculation target and re-creates the equation (1). After the calculation, the recalculated residual mean square E is calculated as an evaluation value. For example, when excluding measurement points where i is peak-A to peak + B from the calculation target, Equation (1) is calculated assuming that there are no (A + B + 1) measurement points. Since the number of measurement points to be calculated is reduced, n in Equation (1) is subtracted from the number of excluded measurement points to be n− (B + A + 1). The residual mean square calculation step S4, the extreme value selection step S11, the exclusion point extraction step S12, and the exclusion calculation step S13 correspond to the evaluation value calculation step in the present invention.

次に、評価値表示ステップＳ６で、評価値演算部６が、除外演算ステップＳ１３で再演算した残差２乗平均Ｅを評価値としてタッチパネル１０に表示する。なお、図２のフローチャートの残差演算ステップＳ５で説明したように、評価値演算部６が残差２乗平均Ｅの平方根である残差Ｘを算出して、この残差Ｘを評価値として表示させてもよい。   Next, in the evaluation value display step S6, the evaluation value calculation unit 6 displays the residual mean square E recalculated in the exclusion calculation step S13 on the touch panel 10 as an evaluation value. As described in the residual calculation step S5 in the flowchart of FIG. 2, the evaluation value calculation unit 6 calculates a residual X that is the square root of the residual mean square E, and uses this residual X as an evaluation value. It may be displayed.

素子定数変更設定ステップＳ７で素子定数が変更されると、理論特性演算ステップＳ３に戻り、ステップＳ４〜Ｓ１４を実行し、変更された素子定数で評価値を算出して、再表示する。   When the element constant is changed in the element constant change setting step S7, the process returns to the theoretical characteristic calculation step S3, steps S4 to S14 are executed, the evaluation value is calculated with the changed element constant, and redisplayed.

このように、所定条件のときに極値付近の所定範囲の測定ポイントを除外して残差２乗平均を算出することで、評価値が、素子定数の誤差の大きさを一層的確に表した値となる。   In this way, by calculating the residual mean square by excluding the measurement points in the predetermined range near the extreme value under the predetermined condition, the evaluation value more accurately represents the magnitude of the error of the element constant. Value.

次に、本発明を適用するさらに他の等価回路解析方法について、図１２のフローチャートに沿って説明する。   Next, still another equivalent circuit analysis method to which the present invention is applied will be described with reference to the flowchart of FIG.

同図に示す解析方法は、評価値演算部６が、ＤＵＴ９０の周波数特性の各測定ポイントで測定された複素インピーダンスに基づき、各測定ポイントに対応させて上限値及び下限値を設定し、各測定ポイントにおける等価回路の複素インピーダンスが対応する上限値及び下限値の範囲内にあるか否かを判別し、その範囲内にある測定ポイントの数と全ての測定ポイントの数との比を評価値として演算する方法である。この場合、評価値演算部６が、各測定ポイントで測定されたＤＵＴ９０の複素インピーダンスに対し、予め設定された許容上限割合及び許容下限割合で上限値及び下限値を演算することが好ましい。   In the analysis method shown in the figure, the evaluation value calculation unit 6 sets an upper limit value and a lower limit value corresponding to each measurement point based on the complex impedance measured at each measurement point of the frequency characteristic of the DUT 90, and each measurement It is determined whether or not the complex impedance of the equivalent circuit at the point is within the range of the corresponding upper limit value and lower limit value, and the ratio between the number of measurement points within the range and the number of all measurement points is used as the evaluation value. It is a method of calculation. In this case, it is preferable that the evaluation value calculation unit 6 calculates an upper limit value and a lower limit value with a preset allowable upper limit ratio and allowable lower limit ratio with respect to the complex impedance of the DUT 90 measured at each measurement point.

具体的に説明すると、同図のフローチャートでは、既に説明した測定ステップＳ１、推定ステップＳ２、理論特性演算ステップＳ３と同様にこの順で処理して、ＤＵＴ９０の複素インピーダンスの周波数特性と等価回路の複素インピーダンスの周波数特性を得る。   More specifically, in the flowchart shown in the figure, the frequency characteristics of the complex impedance of the DUT 90 and the complex circuit of the equivalent circuit are processed in this order in the same manner as the measurement step S1, the estimation step S2, and the theoretical characteristic calculation step S3. Get frequency characteristics of impedance.

次に、上下限値演算ステップＳ２１では、評価値演算部６が、ＤＵＴ９０の周波数特性の測定ポイント１〜ｎで測定された各々の複素インピーダンスＤｉに対し、予め設定された許容上限割合及び許容下限割合で、各測定ポイント１〜ｎにおける上限値及び下限値を算出する。許容上限割合及び許容下限割合は、予め不図示のメモリに記憶されている値であってもよいし、測定者によってタッチパネル１０が操作されて任意の値に予め設定された値であってもよい。一例を示すと、許容上限割合が＋Ｙ％（例えば＋２％）、許容下限割合が−Ｙ％（例えば−２％）のように設定される。評価値演算部６は、各測定ポイントにおいて、上限値としてＤＵＴ９０の複素インピーダンスＤｉに対する＋Ｙ％の値を算出し、下限値としてＤＵＴ９０の複素インピーダンスＤｉに対する−Ｙ％の値を算出する。上限割合と下限割合とが異なっていてもよい。   Next, in the upper and lower limit value calculation step S21, the evaluation value calculation unit 6 sets a predetermined allowable upper limit ratio and an allowable lower limit for each complex impedance Di measured at the measurement points 1 to n of the frequency characteristics of the DUT 90. The upper limit value and the lower limit value at each measurement point 1 to n are calculated as a ratio. The allowable upper limit ratio and the allowable lower limit ratio may be values that are stored in advance in a memory (not shown), or may be values that are preset to arbitrary values by operating the touch panel 10 by the measurer. . For example, the allowable upper limit ratio is set to + Y% (for example, + 2%), and the allowable lower limit ratio is set to -Y% (for example, -2%). The evaluation value calculator 6 calculates a value of + Y% with respect to the complex impedance Di of the DUT 90 as an upper limit value at each measurement point, and calculates a value of −Y% with respect to the complex impedance Di of the DUT 90 as a lower limit value. The upper limit ratio and the lower limit ratio may be different.

なお、グラフをデシベル表示で表示しているような場合には、上限割合及び下限割合を＋Ｙ ｄＢ（例えば＋３ｄＢ）、−Ｙ ｄＢ（例えば−３ｄＢ）のようにデシベル値（比の対数）で設定するようにしてもよい。また、極大値に対する上限幅割合（例えばＹ％）の値（上限幅）を算出し、各測定ポイントの複素インピーダンスＤｉに上限幅を一律に加算して上限値とし、極値に対する下限幅割合（例えばＹ％）の値（下限幅）を算出し、各測定ポイントの複素インピーダンスＤｉから下限幅を一律に減算して下限値としてもよい。   When the graph is displayed in a decibel display, the upper limit ratio and the lower limit ratio are set as decibel values (logarithm of ratio) such as + Y dB (for example, +3 dB) and −Y dB (for example, −3 dB). You may make it do. Moreover, the value (upper limit width) of the upper limit width ratio (for example, Y%) with respect to the maximum value is calculated, and the upper limit width is uniformly added to the complex impedance Di of each measurement point to obtain the upper limit value. For example, a value (lower limit width) of Y%) may be calculated, and the lower limit width may be uniformly subtracted from the complex impedance Di of each measurement point to obtain the lower limit value.

評価値演算部６は、算出した各測定ポイントにおける上限値及び下限値を、図１３に拡大図で示すように、タッチパネル１０にグラフで表示させてもよい。同図は、ＤＵＴ９０のインピーダンス周波数特性のグラフ３１ａ、等価回路のグラフ３１ｂと共に、上限値のグラフ３５Ｕ、下限値のグラフ３５Ｌを表示させた例である。グラフ３１ａ，３１ｂ，３５Ｕ，３５Ｌは、例えばグラフ３１ａの一部を拡大して図の右上丸枠内に模式的に示すように、各々、測定ポイントにおける値を線で繋いで表示させている。 The evaluation value calculation unit 6 may display the calculated upper limit value and lower limit value at each measurement point in a graph on the touch panel 10 as shown in an enlarged view in FIG. This figure shows an example in which an upper limit graph 35 U and a lower limit graph 35 L are displayed together with the impedance frequency characteristic graph 31 a and the equivalent circuit graph 31 b of the DUT 90. Graph 31a, 31b, 35 U, 35 L, for example an enlarged portion of the graph 31a as schematically shown in the upper right round frame in FIG, respectively, to display by connecting the values at the measurement points by a line Yes.

次に、図１２の比較ステップＳ２２では、評価値演算部６が、各測定ポイントにおいて、下限値から上限値までの範囲内に等価回路の複素インピーダンスＳｉが入るか否かを比較して、その範囲内に入った測定ポイントの数ｈを算出する。図１３では、等価回路の複素インピーダンスＳｉのグラフ３１ｂが上限値３５Ｕ及び下限値３５Ｌの範囲内に入る領域を「範囲内」で示し、上限値及び下限値の範囲外となる領域を「範囲外」で示している。 Next, in comparison step S22 of FIG. 12, the evaluation value calculation unit 6 compares whether or not the complex impedance Si of the equivalent circuit falls within the range from the lower limit value to the upper limit value at each measurement point. The number h of measurement points that fall within the range is calculated. In FIG. 13, the region where the graph 31b of the complex impedance Si of the equivalent circuit falls within the range of the upper limit value 35 U and the lower limit value 35 L is indicated by “within range”, and the region outside the range of the upper limit value and the lower limit value is indicated by “ “Out of range”.

続いて、比率演算ステップＳ２３では、評価値演算部６が、比較ステップＳ２２で算出した測定ポイントの数ｈと、全ての測定ポイントの数ｎとの比（ｈ／ｎ）を評価値として算出する。その比は、分数で表してもよいし、小数で表してもよいし、百分率（パーセント）で表してもよい。この解析方法では、ＤＵＴ９０と等価回路との両特性が近似（一致）するほど、評価値が大きくなる。なお、上下限値演算ステップＳ２１、比較ステップＳ２２、及び比率演算ステップＳ２３が本発明における評価値演算ステップに相当する。   Subsequently, in the ratio calculation step S23, the evaluation value calculation unit 6 calculates the ratio (h / n) between the number h of measurement points calculated in the comparison step S22 and the number n of all measurement points as an evaluation value. . The ratio may be expressed by a fraction, a decimal, or a percentage (percent). In this analysis method, the evaluation value increases as the characteristics of the DUT 90 and the equivalent circuit approximate (match). The upper / lower limit value calculation step S21, the comparison step S22, and the ratio calculation step S23 correspond to the evaluation value calculation step in the present invention.

次に、評価値表示ステップＳ６で、評価値演算部６が、比率演算ステップＳ２３で算出した評価値を、タッチパネル１０に表示させる。素子定数変更設定ステップＳ７で素子定数が変更されたときには、ステップＳ３に戻り、前述の説明と同様に、変更された素子定数で評価値を再度演算して表示する。   Next, in the evaluation value display step S6, the evaluation value calculation unit 6 causes the touch panel 10 to display the evaluation value calculated in the ratio calculation step S23. When the element constant is changed in the element constant change setting step S7, the process returns to step S3, and the evaluation value is again calculated and displayed with the changed element constant, as described above.

この解析方法では、評価値が、全体の内のどの程度の範囲で両特性がほぼ一致しているか示しているので、測定者が両特性の一致の度合いを直感的に理解することができる。   In this analysis method, the evaluation value indicates to what extent the two characteristics are almost the same in the whole, so that the measurer can intuitively understand the degree of coincidence between the two characteristics.

なお、図２、図８、図１２のフローチャートにおいて、素子定数を変更設定する機能の必要性が無い場合には、素子定数変更設定ステップＳ７を設けずに、評価値表示ステップＳ６で各フローチャートを終了するようにしてもよい。   2, 8, and 12, when there is no need for a function for changing and setting the element constant, each element is changed in the evaluation value display step S <b> 6 without providing the element constant change setting step S <b> 7. You may make it complete | finish.

次に、本発明を適用するさらに他の等価回路解析方法について、図１４のフローチャートに沿って説明する。この解析方法は、既に説明した評価値を用いて、複数の等価回路の中からＤＵＴ９０を表すのに最も適した等価回路を選択する方法である。   Next, still another equivalent circuit analysis method to which the present invention is applied will be described with reference to the flowchart of FIG. This analysis method is a method of selecting an equivalent circuit most suitable for representing the DUT 90 from a plurality of equivalent circuits using the evaluation values already described.

具体的に説明すると、同図の測定ステップＳ１でＤＵＴ９０の複素インピーダンスの周波数特性を測定する。続いて、推定ステップＳ３１で、推定部３が、測定ステップＳ１で測定された周波数特性に対して、例えば図４の等価回路ａ〜ｄに示すような予め設定されている複数の等価回路の各素子定数を各々推定する。   More specifically, the frequency characteristic of the complex impedance of the DUT 90 is measured in the measurement step S1 in FIG. Subsequently, in the estimation step S31, the estimation unit 3 sets each of a plurality of preset equivalent circuits as shown in the equivalent circuits a to d of FIG. 4 for the frequency characteristics measured in the measurement step S1, for example. Each element constant is estimated.

次に、理論特性演算ステップＳ３２では、理論特性演算部５が、推定ステップＳ３１で推定した複数の等価回路の各素子定数を用いて、複数の等価回路の複素インピーダンスの周波数特性を各々算出する。続いて、評価値演算ステップＳ３３では、評価値演算部６が、複数の等価回路のそれぞれの評価値を算出する。評価値は、図２、図８、図１２のフローチャートに示したいずれの方法で算出してもよい。   Next, in the theoretical characteristic calculation step S32, the theoretical characteristic calculation unit 5 calculates the frequency characteristics of the complex impedances of the plurality of equivalent circuits using the element constants of the plurality of equivalent circuits estimated in the estimation step S31. Subsequently, in the evaluation value calculation step S33, the evaluation value calculation unit 6 calculates each evaluation value of the plurality of equivalent circuits. The evaluation value may be calculated by any of the methods shown in the flowcharts of FIGS.

最後に、等価回路選定ステップＳ３４で、評価値演算部６が、最も評価値のよい等価回路を選定する。また、選定結果をタッチパネル１０に表示する。   Finally, in the equivalent circuit selection step S34, the evaluation value calculation unit 6 selects the equivalent circuit with the best evaluation value. The selection result is displayed on the touch panel 10.

図１４のように処理することで、複数の等価回路の中から最もＤＵＴ９０に適した等価回路を自動的に選定することができる。ＤＵＴ９０の周波数特性のグラフ、及び複数の等価回路の周波数特性のグラフをタッチパネル１０に表示させるようにしてもよい。同図のように処理して等価回路を選定した後に、図２、図８、又は図１２のフローチャートに示した解析方法をさらに実行して、素子定数をより誤差の無いものに測定者が調整するようにしてもよい。   By performing processing as shown in FIG. 14, an equivalent circuit most suitable for the DUT 90 can be automatically selected from a plurality of equivalent circuits. A graph of frequency characteristics of the DUT 90 and a graph of frequency characteristics of a plurality of equivalent circuits may be displayed on the touch panel 10. After selecting the equivalent circuit by processing as shown in the figure, the analysis method shown in the flowchart of FIG. 2, FIG. 8, or FIG. You may make it do.

１は等価回路解析装置、２は測定部、３は推定部、４は素子定数変更部、５は理論特性演算部、６は評価値演算部、１０はタッチパネル、１１はグラフ表示領域、１２・１２ａ・１２ｂ・１２ｃは素子定数表示領域、１４・１４ａ・１４ｂ・１４ｃは増減ボタン（設定操作用ボタン）、２１ａ・２１ｂはプローブ、２５は実効抵抗Ｒｓの周波数特性のグラフ（データ）、２６はコンダクタンスＧの周波数特性のグラフ（データ）、３１ａは測定部２の測定した複素インピーダンスの絶対値の周波数特性のグラフ、３１ｂは理論特性演算部５が演算した等価回路の理論的な複素インピーダンスの絶対値の周波数特性のグラフ、３２ａは測定部２の測定した複素インピーダンスの位相周波数特性のグラフ、３２ｂは理論特性演算部５が演算した等価回路の理論的な複素インピーダンスの位相周波数特性のグラフ、３３は評価値表示、３５Ｕは上限値のグラフ、３５Ｌは下限値のグラフ、９０は測定対象物、ａ・ｂ・ｃ・ｄは等価回路、Ｃはコンデンサの素子定数、Ｌはコイルの素子定数、Ｒは抵抗の素子定数、Ｒｓは実効抵抗、Ｇはコンダクタンス、Ｐ・Ｍは極大値、Ｚはインピーダンス周波数特性、θは位相周波数特性、ω1，ω2は象限周波数、ωｐは並列共振周波数、ωｍは直列共振周波数である。 1 is an equivalent circuit analyzer, 2 is a measurement unit, 3 is an estimation unit, 4 is an element constant changing unit, 5 is a theoretical characteristic calculation unit, 6 is an evaluation value calculation unit, 10 is a touch panel, 11 is a graph display area, 12a, 12b, and 12c are element constant display areas; 14, 14a, 14b, and 14c are increase / decrease buttons (setting operation buttons); 21a and 21b are probes; 25 is a graph (data) of frequency characteristics of the effective resistance Rs; Graph (data) of the frequency characteristic of conductance G, 31a is a graph of frequency characteristic of the absolute value of the complex impedance measured by the measurement unit 2, and 31b is the absolute value of the theoretical complex impedance of the equivalent circuit calculated by the theoretical characteristic calculation unit 5. Graph of frequency characteristics of values, 32a is a graph of phase frequency characteristics of complex impedance measured by the measurement unit 2, 32b is calculated by the theoretical characteristic calculation unit 5, etc. Graph of the phase frequency characteristic of the theoretical complex impedance of the circuit, 33 evaluation value display, 35 U graph upper limit, 35 L is the graph of the lower limit, 90 measurement object, a · b · c · d is Equivalent circuit, C is the element constant of the capacitor, L is the element constant of the coil, R is the element constant of the resistor, Rs is the effective resistance, G is the conductance, P · M is the maximum value, Z is the impedance frequency characteristic, θ is the phase frequency Characteristics, ω 1 and ω 2 are quadrant frequencies, ωp is a parallel resonance frequency, and ωm is a series resonance frequency.

Claims (12)

測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定する測定部と、
該測定部の測定した該測定対象物の周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する推定部と、
該等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を算出する理論特性演算部と、
該測定部の測定した該測定対象物の周波数特性と該理論特性演算部の算出した該等価回路の周波数特性との近似の度合いを示す評価値を、下記の式（１）
Figure 0005934479
 （式中、ｉは該測定対象物の周波数特性の測定ポイントの番号１，２・・・，ｎを示し、Ｄ ｉ はｉ番目の該測定ポイントの測定対象物の複素インピーダンスを示し、Ｓ ｉ はｉ番目の該測定ポイントの等価回路の複素インピーダンスを示し、Ｅは残差２乗平均を示す）
によって残差２乗平均を評価値として算出する評価値演算部とを備え、
該評価値演算部が、全ての該測定ポイントで式（１）を演算し、極値の該測定ポイントを中心として下記の式（２）
Figure 0005934479
 の関係が少なくとも成り立たない範囲を判別し、その範囲内の該測定ポイントを、演算対象から除外して、式（１）の演算を行うことを特徴とする等価回路解析装置。 A measurement unit for measuring the frequency characteristics of the complex impedance of the measurement object;
Based on the frequency characteristics of the measurement object measured by the measurement unit, an estimation unit that estimates each element constant of a predetermined equivalent circuit combining a plurality of electrical elements;
A theoretical characteristic calculator that calculates the frequency characteristic of the theoretical complex impedance of the equivalent circuit;
An evaluation value indicating the degree of approximation between the frequency characteristic of the measurement object measured by the measurement unit and the frequency characteristic of the equivalent circuit calculated by the theoretical characteristic calculation unit is expressed by the following equation (1).
Figure 0005934479
 (In the formula, i represents the measurement point numbers 1, 2,..., N of the frequency characteristic of the measurement object, D i represents the complex impedance of the measurement object at the i-th measurement point, and S i Indicates the complex impedance of the equivalent circuit of the i-th measurement point, and E indicates the residual mean square)
And an evaluation value calculation unit that calculates a residual mean square as an evaluation value.
The evaluation value calculation unit calculates the expression (1) at all the measurement points, and the following expression (2) around the measurement point of the extreme value.
Figure 0005934479
 An equivalent circuit analysis apparatus characterized in that a range where at least the relationship of ## EQU1 ## does not hold is discriminated, and the measurement point in the range is excluded from the calculation target and the calculation of Expression (1) is performed . 前記評価値演算部が、前記残差２乗平均の平方根である残差を算出して、その残差を前記評価値とすることを特徴とする請求項１に記載の等価回路解析装置。 The equivalent circuit analysis apparatus according to claim 1 , wherein the evaluation value calculation unit calculates a residual that is a square root of the residual mean square, and uses the residual as the evaluation value. 前記評価値演算部が、前記測定対象物の周波数特性の各測定ポイントで測定された該複素インピーダンスに基づき、該各測定ポイントに対応させて上限値及び下限値を設定し、該上限値及び下限値の範囲内に前記等価回路の複素インピーダンスが入る該測定ポイントの数を算出し、その数と全ての測定ポイントの数との比を前記評価値として算出することを特徴とする請求項１に記載の等価回路解析装置。 The evaluation value calculation unit sets an upper limit value and a lower limit value corresponding to each measurement point based on the complex impedance measured at each measurement point of the frequency characteristic of the measurement object, and the upper limit value and the lower limit value. calculating the number of the measurement points the complex impedance of the equivalent circuit is within a range of values, to claim 1, characterized in that to calculate the ratio of the number of the number of all measuring points as the evaluation value The equivalent circuit analysis apparatus described. 前記評価値演算部が、前記各測定ポイントで測定された前記測定対象物の複素インピーダンスに対し、予め設定された許容上限割合及び許容下限割合で前記上限値及び下限値を算出することを特徴とする請求項３に記載の等価回路解析装置。 The evaluation value calculation unit calculates the upper limit value and the lower limit value with a preset allowable upper limit ratio and allowable lower limit ratio with respect to the complex impedance of the measurement object measured at each measurement point, The equivalent circuit analysis apparatus according to claim 3 . 前記推定部が、複数の前記等価回路の各々の前記素子定数を推定し、理論特性演算部が、該複数の該等価回路の各々の周波数特性を算出し、前記評価値演算部が、該複数の該等価回路の各々の前記評価値を算出して、該複数の等価回路の中から最も該評価値のよい該等価回路を選定することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の等価回路解析装置。 The estimation unit estimates the element constant of each of the plurality of equivalent circuits, a theoretical characteristic calculation unit calculates a frequency characteristic of each of the plurality of equivalent circuits, and the evaluation value calculation unit includes the plurality of evaluation values It calculates the evaluation value of each of the equivalent circuit of, according to claim 1, characterized in that selecting a good the equivalent circuit of the most evaluation value from the equivalent circuit of the plurality of 4 Equivalent circuit analysis device. 表示部を備え、前記測定対象物の周波数特性のグラフ、前記等価回路の周波数特性のグラフ、及び前記評価値を該表示部に表示させることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の等価回路解析装置。 A display unit, a graph of the frequency characteristics of the measurement object, the graph of the frequency characteristics of the equivalent circuit, and wherein the evaluation value in any one of claims 1-5, characterized in that to be displayed on the display unit Equivalent circuit analysis device. 測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定する測定ステップと、
該測定ステップで測定した該測定対象物の周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する推定ステップと、
該等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を算出する理論特性演算ステップと、
測定ステップで測定した該測定対象物の周波数特性と該理論特性演算ステップで演算した該等価回路の周波数特性との近似の度合いを示す評価値を、下記の式（１）
Figure 0005934479
 （式中、ｉは該測定対象物の周波数特性の測定ポイントの番号１，２・・・，ｎを示し、Ｄ ｉ はｉ番目の該測定ポイントの測定対象物の複素インピーダンスを示し、Ｓ ｉ はｉ番目の該測定ポイントの等価回路の複素インピーダンスを示し、Ｅは残差２乗平均を示す）
によって残差２乗平均を評価値として算出する評価値演算ステップとを備え、
該評価値演算ステップで、全ての該測定ポイントで式（１）を演算し、極値の該測定ポイントを中心として下記の式（２）
Figure 0005934479
 の関係が少なくとも成り立たない範囲を判別し、その範囲内の前記測定ポイントを、演算対象から除外して式（１）の演算を行うことを特徴とする等価回路解析方法。 A measurement step for measuring the frequency characteristic of the complex impedance of the measurement object;
An estimation step for estimating each element constant of a predetermined equivalent circuit obtained by combining a plurality of electric elements based on the frequency characteristics of the measurement object measured in the measurement step;
A theoretical characteristic calculation step for calculating a frequency characteristic of a theoretical complex impedance of the equivalent circuit;
An evaluation value indicating the degree of approximation between the frequency characteristic of the measurement object measured in the measurement step and the frequency characteristic of the equivalent circuit calculated in the theoretical characteristic calculation step is expressed by the following equation (1).
Figure 0005934479
 (In the formula, i represents the measurement point numbers 1, 2,..., N of the frequency characteristic of the measurement object, D i represents the complex impedance of the measurement object at the i-th measurement point, and S i Indicates the complex impedance of the equivalent circuit of the i-th measurement point, and E indicates the residual mean square)
And an evaluation value calculation step for calculating a residual mean square as an evaluation value.
In the evaluation value calculation step, the equation (1) is calculated at all the measurement points, and the following equation (2)
Figure 0005934479
 The equivalent circuit analysis method is characterized in that a range in which the above relationship is not established is discriminated, and the measurement point in the range is excluded from the calculation target and the calculation of Expression (1) is performed . 前記評価値演算ステップで、前記残差２乗平均の平方根である残差を算出して、その残差を前記評価値とすることを特徴とする請求項７に記載の等価回路解析方法。 The equivalent circuit analysis method according to claim 7 , wherein, in the evaluation value calculation step, a residual that is a square root of the residual mean square is calculated, and the residual is used as the evaluation value. 前記評価値演算ステップで、前記測定対象物の周波数特性の各測定ポイントで測定された該複素インピーダンスに基づき、該各測定ポイントに対応させて上限値及び下限値を設定し、該上限値及び下限値の範囲内に前記等価回路の複素インピーダンスが入る該測定ポイントの数を算出し、その数と全ての測定ポイントの数との比を前記評価値として算出することを特徴とする請求項７に記載の等価回路解析方法。 Based on the complex impedance measured at each measurement point of the frequency characteristic of the measurement object in the evaluation value calculation step, an upper limit value and a lower limit value are set corresponding to each measurement point, and the upper limit value and the lower limit value are set. calculating the number of the measurement points the complex impedance of the equivalent circuit is within a range of values, to claim 7, characterized in that to calculate the ratio of the number of the number of all measuring points as the evaluation value The equivalent circuit analysis method described. 前記評価値演算ステップで、前記各測定ポイントで測定された前記測定対象物の複素インピーダンスに対し、予め設定された許容上限割合及び許容下限割合で前記上限値及び下限値を算出することを特徴とする請求項９に記載の等価回路解析方法。 In the evaluation value calculating step, the upper limit value and the lower limit value are calculated at a preset allowable upper limit ratio and allowable lower limit ratio with respect to the complex impedance of the measurement object measured at each measurement point. The equivalent circuit analysis method according to claim 9 . 前記推定ステップで、複数の前記等価回路の各々の前記素子定数を推定し、理論特性演算ステップで、該複数の該等価回路の各々の周波数特性を算出し、前記評価値演算ステップで、該複数の該等価回路の各々の前記評価値を算出して、該複数の等価回路の中から最も該評価値のよい該等価回路を選定することを特徴とする請求項７から１０のいずれかに記載の等価回路解析方法。 The estimation step estimates the element constant of each of the plurality of equivalent circuits, the theoretical characteristic calculation step calculates the frequency characteristic of each of the plurality of equivalent circuits, and the evaluation value calculation step includes the plurality of the plurality of equivalent circuits. It calculates the evaluation value of each of the equivalent circuit of, according to claim 7, characterized in that selecting a good the equivalent circuit of the most evaluation value from the equivalent circuit of the plurality of 10 Equivalent circuit analysis method. 前記測定対象物の周波数特性のグラフ、前記等価回路の周波数特性のグラフ、及び前記評価値を表示部に表示させることを特徴とする請求項７から１１のいずれかに記載の等価回路解析方法。 The equivalent circuit analysis method according to claim 7 , wherein a graph of frequency characteristics of the measurement object, a graph of frequency characteristics of the equivalent circuit, and the evaluation value are displayed on a display unit.
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