JP5912875B2 - Dew point temperature measurement system - Google Patents

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Description

この発明は、一方の面が低温側、他方の面が高温側とされる熱電冷却素子を用いて冷却される鏡面の上に生じる結露や結霜から露点温度を計測する鏡面冷却式露点計と、この鏡面冷却式露点計とは異なる方式で露点温度を計測する露点計（非鏡面冷却式露点計）とを用いた露点温度計測システムに関するものである。   The present invention provides a mirror-cooled dew point meter that measures the dew point temperature from dew condensation or frost generated on a mirror surface cooled using a thermoelectric cooling element in which one surface is a low temperature side and the other surface is a high temperature side. The present invention relates to a dew point temperature measuring system using a dew point meter (non-specular cooling type dew point meter) that measures the dew point temperature by a method different from this mirror surface cooled dew point meter.

従来より、湿度測定法として、被測定気体の温度を低下させ、その被測定気体に含まれる水蒸気の一部を結露させたときの温度を測定することにより露点を検出する露点検出法が知られている。例えば、寒剤、冷凍機、電子冷却器などを用いて鏡を冷却し、この冷却した鏡の鏡面上の反射光の強度の変化を検出し、反射光の強度が平衡状態になった時の鏡面の温度を測定することによって、被測定気体中の水分の露点を検出する鏡面冷却式露点計が用いられている。   Conventionally, as a humidity measurement method, a dew point detection method is known in which a dew point is detected by measuring the temperature when the temperature of a gas to be measured is reduced and a part of water vapor contained in the gas to be measured is condensed. ing. For example, a mirror is cooled by using a cryogen, a refrigerator, an electronic cooler, etc., the change in the intensity of reflected light on the mirror surface of the cooled mirror is detected, and the mirror surface when the intensity of the reflected light is in an equilibrium state A mirror-cooled dew point meter that detects the dew point of moisture in the gas to be measured by measuring the temperature is used.

この鏡面冷却式露点計には、利用する反射光の種類によって、２つのタイプがある。１つは、正反射光を利用する正反射光検出方式（例えば、特許文献１参照）、もう１つは、散乱光を利用する散乱光検出方式（例えば、特許文献２参照）である。   There are two types of mirror-cooled dew point meters depending on the type of reflected light used. One is a specularly reflected light detection method that uses specularly reflected light (see, for example, Patent Document 1), and the other is a scattered light detection method that uses scattered light (see, for example, Patent Document 2).

〔正反射光検出方式〕
図２１に正反射光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計におけるセンサ部の構成を示す。このセンサ部１０１は、被測定気体が流入されるチャンバ１と、このチャンバ１の底部に設けられた熱電冷却素子（ペルチェ素子）２を備えている。熱電冷却素子２の冷却面２−１には鏡３が取り付けられており、熱電冷却素子２の加熱面２−２にはヒートパイプ４を介して放熱部材５が取り付けられている。すなわち、ヒートパイプ４の一端４−１が熱電冷却素子２の加熱面２−２に取り付けられており、熱電冷却素子２から離されたヒートパイプ４の他端４−２に放熱部材５が取り付けられている。 [Specular reflection detection method]
FIG. 21 shows the configuration of a sensor unit in a conventional mirror-cooled dew point meter that employs a regular reflection light detection method. The sensor unit 101 includes a chamber 1 into which a gas to be measured flows and a thermoelectric cooling element (Peltier element) 2 provided at the bottom of the chamber 1. A mirror 3 is attached to the cooling surface 2-1 of the thermoelectric cooling element 2, and a heat radiating member 5 is attached to the heating surface 2-2 of the thermoelectric cooling element 2 via a heat pipe 4. That is, one end 4-1 of the heat pipe 4 is attached to the heating surface 2-2 of the thermoelectric cooling element 2, and the heat radiating member 5 is attached to the other end 4-2 of the heat pipe 4 separated from the thermoelectric cooling element 2. It has been.

また、熱電冷却素子２とヒートパイプ４の一端４−１にはその周囲を覆うように断熱部材６が設けられており、鏡３の上面（鏡面）３−１には温度検出素子７が取り付けられている。また、チャンバ１の上部に、鏡３の鏡面３−１に対して斜めに光を照射する発光素子８と、この発光素子８から鏡面３−１に対して照射された光の正反射光を受光する受光素子９とが設けられている。また、熱電冷却素子２へのリード線１０が断熱部材６を貫通して設けられている。   Further, a heat insulating member 6 is provided at one end 4-1 of the thermoelectric cooling element 2 and the heat pipe 4 so as to cover the periphery thereof, and a temperature detecting element 7 is attached to the upper surface (mirror surface) 3-1 of the mirror 3. It has been. In addition, a light emitting element 8 that irradiates light obliquely onto the mirror surface 3-1 of the mirror 3 and a regular reflection light of the light emitted from the light emitting element 8 to the mirror surface 3-1 are provided on the upper portion of the chamber 1. A light receiving element 9 for receiving light is provided. Further, a lead wire 10 to the thermoelectric cooling element 2 is provided through the heat insulating member 6.

このセンサ部１０１において、チャンバ１内には、不図示の主配管から分岐された分岐管路を介して、被測定気体が流入される。これにより、チャンバ１内の鏡面３−１が、被測定気体に晒される。鏡面３−１に結露が生じていなければ、発光素子８から照射された光はそのほゞ全量が正反射し、受光素子９で受光される。したがって、鏡面３−１に結露が生じていない場合、受光素子９で受光される反射光の強度は大きい。   In the sensor unit 101, a gas to be measured flows into the chamber 1 through a branch pipe branched from a main pipe (not shown). Thereby, the mirror surface 3-1 in the chamber 1 is exposed to the gas to be measured. If condensation does not occur on the mirror surface 3-1, almost all of the light emitted from the light emitting element 8 is regularly reflected and received by the light receiving element 9. Therefore, when there is no condensation on the mirror surface 3-1, the intensity of the reflected light received by the light receiving element 9 is high.

熱電冷却素子２への電流を増大し、熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度を下げて行くと、被測定気体に含まれる水蒸気が鏡面３−１に結露し、その水の分子に発光素子８から照射した光の一部が吸収されたり、乱反射したりする。これにより、受光素子９で受光される反射光（正反射光）の強度が減少する。この鏡面３−１における正反射光の変化を検出することにより、鏡面３−１上の状態の変化、すなわち鏡面３−１上に水分（水滴）が付着したことを知ることができる。さらに、この時の鏡面３−１の温度を温度検出素子７で測定することにより、被測定気体中の水分の露点を知ることができる。   When the current to the thermoelectric cooling element 2 is increased and the temperature of the cooling surface 2-1 of the thermoelectric cooling element 2 is lowered, water vapor contained in the measured gas is condensed on the mirror surface 3-1, and the water molecules Part of the light emitted from the light emitting element 8 is absorbed or irregularly reflected. Thereby, the intensity of the reflected light (regularly reflected light) received by the light receiving element 9 is reduced. By detecting the change in the specularly reflected light on the mirror surface 3-1, it is possible to know the change in the state on the mirror surface 3-1, that is, that moisture (water droplets) has adhered to the mirror surface 3-1. Further, by measuring the temperature of the mirror surface 3-1 at this time with the temperature detecting element 7, the dew point of the moisture in the gas to be measured can be known.

〔散乱光検出方式〕
図２２に散乱光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計におけるセンサ部の構成を示す。このセンサ部１０２は、正反射光検出方式を採用したセンサ部１０１とほゞ同構成であるが、受光素子９の取り付け位置が異なっている。このセンサ部１０２において、受光素子９は、発光素子８から鏡面３−１に対して照射された光の正反射光を受光する位置ではなく、散乱光を受光する位置に設けられている。 (Scattered light detection method)
FIG. 22 shows a configuration of a sensor unit in a conventional mirror-cooled dew point meter that employs a scattered light detection method. The sensor unit 102 has substantially the same configuration as the sensor unit 101 adopting the regular reflection light detection method, but the mounting position of the light receiving element 9 is different. In the sensor unit 102, the light receiving element 9 is provided at a position for receiving scattered light, not at a position for receiving regular reflection light of light emitted from the light emitting element 8 to the mirror surface 3-1.

このセンサ部１０２において、チャンバ１内には、不図示の主配管から分岐された分岐管路を介して、被測定気体が流入される。これにより、チャンバ１内の鏡面３−１が、被測定気体に晒される。鏡面３−１に結露が生じていなければ、発光素子８から照射された光はそのほゞ全量が正反射し、受光素子９での受光量は極微量である。したがって、鏡面３−１に結露が生じていない場合、受光素子９で受光される反射光の強度は小さい。   In the sensor unit 102, a gas to be measured flows into the chamber 1 via a branch pipe branched from a main pipe (not shown). Thereby, the mirror surface 3-1 in the chamber 1 is exposed to the gas to be measured. If there is no condensation on the mirror surface 3-1, almost all of the light emitted from the light emitting element 8 is regularly reflected, and the amount of light received by the light receiving element 9 is extremely small. Therefore, when no condensation occurs on the mirror surface 3-1, the intensity of the reflected light received by the light receiving element 9 is small.

熱電冷却素子２への電流を増大し、熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度を下げて行くと、被測定気体に含まれる水蒸気が鏡面３−１に結露し、その水の分子に発光素子８から照射した光の一部が吸収されたり、乱反射したりする。これにより、受光素子９で受光される乱反射された光（散乱光）の強度が増大する。この鏡面３−１における散乱光の変化を検出することにより、鏡面３−１上の状態の変化、すなわち鏡面３−１上に水分（水滴）が付着したことを知ることができる。さらに、この時の鏡面３−１の温度を温度検出素子７で測定することにより、被測定気体中の水分の露点を知ることができる。   When the current to the thermoelectric cooling element 2 is increased and the temperature of the cooling surface 2-1 of the thermoelectric cooling element 2 is lowered, water vapor contained in the measured gas is condensed on the mirror surface 3-1, and the water molecules Part of the light emitted from the light emitting element 8 is absorbed or irregularly reflected. Thereby, the intensity | strength of the irregularly reflected light (scattered light) received by the light receiving element 9 increases. By detecting the change in the scattered light on the mirror surface 3-1, it is possible to know the change in the state on the mirror surface 3-1, that is, that moisture (water droplets) has adhered to the mirror surface 3-1. Further, by measuring the temperature of the mirror surface 3-1 at this time with the temperature detecting element 7, the dew point of the moisture in the gas to be measured can be known.

なお、上述した露点計においては、鏡面３−１に生じる結露（露点）を検出する例で説明したが、同様の構成によって鏡面３−１に生じる結霜（霜点）を検出することも可能である。本明細書では、霜点も含めた温度を露点温度として定義する。   In addition, in the dew point meter mentioned above, although demonstrated in the example which detects the dew condensation (dew point) which arises on the mirror surface 3-1, it is also possible to detect the dew condensation (frost point) which arises on the mirror surface 3-1 by the same structure. It is. In this specification, the temperature including the frost point is defined as the dew point temperature.

このような鏡面冷却式露点計では、被測定気体に低温で凝縮する物質（例えば、有機溶剤）が混入している場合がある。すなわち、通常は気体で被測定気体に含まれ、露点温度よりも高い低温で固体になる物質が含まれている場合がある。このような物質が露点温度計測のための冷却に伴って凝縮して鏡面に付着すると、この鏡面上に付着した凝縮物質により反射光や散乱光に対して悪影響を及ぼし、正確な露点温度の計測が行えなくなる。例えば、連続露点計測中に凝縮物質が付着して鏡面が汚れると、計測が不安定になったり、汚れにより結露の検出が異常になり、結露し過ぎていると判断し、露点温度が上昇することがある。   In such a mirror-cooled dew point meter, a substance (for example, an organic solvent) that condenses at a low temperature may be mixed in the gas to be measured. That is, there is a case where a substance that is usually a gas and is contained in the gas to be measured and becomes a solid at a low temperature higher than the dew point temperature may be included. If such a substance condenses and adheres to the mirror surface as it cools down to measure the dew point temperature, the condensed material adhering to the mirror surface adversely affects the reflected or scattered light, and the dew point temperature is accurately measured. Cannot be performed. For example, if condensate adheres during continuous dew point measurement and the mirror surface becomes dirty, the measurement becomes unstable, or the detection of dew condensation becomes abnormal due to contamination, and it is determined that dew condensation is excessive and the dew point temperature rises. Sometimes.

そこで、従来は、鏡面の汚れを防ぐために、定期的に露点温度計測を中断して、人手により綿棒などで鏡面を清掃するようにしたり、特許文献３に示されているように、被測定気体に含まれる凝縮物質を鏡面に導かれる前に除去装置によって除去するようにしたり、特許文献４に示されるように、ＣＯ２ガスを吹きかけて凝縮物質を鏡面上から吹き飛ばすようにしている。   Therefore, conventionally, in order to prevent contamination of the mirror surface, the dew point temperature measurement is periodically interrupted and the mirror surface is manually cleaned with a cotton swab or the like, as shown in Patent Document 3, The condensate contained in is removed by a removing device before being guided to the mirror surface, or as disclosed in Patent Document 4, CO2 gas is blown to blow away the condensate from the mirror surface.

特開昭６１−７５２３５号公報JP-A-61-75235 特公平０７−１０４３０４号公報Japanese Patent Publication No. 07-104304 特開２００２−１８９００７号公報JP 2002-189007 A 特開平０５−９９８４６号公報JP 05-99846 A

しかしながら、人手により鏡面を清掃する方法では、露点温度計測を定期的に中断しなければならず、鏡面の汚れを確認する際に鏡面汚れアラームが多発することがある。また、清掃作業が面倒であり、清掃作業のために比較的長時間、露点温度計測を中断しなければならず、露点温度の連続計測ができない。   However, in the method of manually cleaning the mirror surface, the dew point temperature measurement must be periodically interrupted, and a mirror surface contamination alarm may occur frequently when checking the surface of the mirror surface. Further, the cleaning work is troublesome, and the dew point temperature measurement must be interrupted for a relatively long time for the cleaning work, and the dew point temperature cannot be continuously measured.

また、被測定気体が鏡面に導かれる前に凝縮物質を除去する方法では、事前に凝縮物質が特定されていて、それを化学反応などによって除去するための除去装置が必要となる。また、全ての凝縮物質に対して適応していない。   Further, in the method of removing the condensed substance before the measurement gas is guided to the mirror surface, the condensed substance is specified in advance, and a removing device for removing it by a chemical reaction or the like is required. Also, it is not adapted for all condensed matter.

ＣＯ２ガスを吹きかけて凝縮物質を鏡面上から吹き飛ばす方法では、ＣＯ２ガスを吹きかける装置が必要であり、ＣＯ２ガスを吹きかけている間は露点温度の計測を中断しなければならない。   In the method in which the condensed material is blown off from the mirror surface by blowing CO2 gas, a device for blowing CO2 gas is required, and measurement of the dew point temperature must be interrupted while CO2 gas is being blown.

本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、通常は鏡面冷却式露点計により高精度な露点温度計測を行わせる一方、鏡面冷却式露点計の鏡面が汚れるなどして計測精度が落ちたような場合には、鏡面冷却式露点計とは異なる方式で露点温度を計測する露点計（非鏡面冷却式露点計）により露点温度計測を行わせるようにして、途切れることなく連続して露点温度計測を行わせることが可能な露点温度計測システムを提供することにある。   The present invention has been made to solve such a problem, and the purpose of the present invention is to allow a highly accurate dew point temperature measurement with a mirror-cooled dew point meter, while a mirror-cooled dew point meter is generally used. If the measurement accuracy is degraded due to contamination of the mirror surface, etc., the dew point temperature is measured by a dew point meter (non-mirror surface cooling type dew point meter) that measures the dew point temperature using a method different from that of the mirror surface cooling type dew point meter. Thus, an object of the present invention is to provide a dew point temperature measurement system capable of continuously performing dew point temperature measurement without interruption.

また、非鏡面冷却式露点計により露点温度計測を行わせている場合、鏡面冷却式露点計の鏡面に付着しているであろう凝縮物質を除去させる自動クリーニング制御を実行させるようにして、人手による鏡面の清掃を不要とし、凝縮物質を除去する装置を別途設ける必要をなくすことが可能な露点温度計測システムを提供することにある。   In addition, when the dew point temperature is measured using a non-mirror-cooled dew point meter, automatic cleaning control is performed to remove condensed substances that may have adhered to the mirror surface of the mirror-cooled dew point meter. It is an object of the present invention to provide a dew point temperature measurement system that eliminates the need for cleaning the mirror surface and eliminates the need for a separate apparatus for removing condensed substances.

このような目的を達成するために本発明は、被測定気体に晒される鏡面と、この鏡面を冷却する熱電冷却素子と、鏡面の温度を検出する温度センサと、鏡面に対して光を照射する投光手段と、投光手段から鏡面に対して照射された光の反射光を受光する受光手段と、受光手段が受光する反射光の光量に基づいて熱電冷却素子へ供給する電流を制御する制御手段とを備え、制御手段は、受光手段が受光する反射光の光量に基づいて熱電冷却素子へ供給する電流を鏡面に生じる結露もしくは結霜の増減がなくなる平衡状態になるように制御し、その平衡状態において温度センサが検出する鏡面の温度を露点温度として計測する露点温度計測制御を実行する手段を備えた第１の露点計と、第１の露点計とは異なる方式で被測定気体の露点温度を計測する第２の露点計とを備え、第１の露点計によって計測された露点温度計測値を第１の露点温度計測値とし、第２の露点計によって計測された露点温度計測値を第２の露点温度計測値とし、第１および第２の露点温度計測値の何れか一方を被測定気体の有効な露点温度計測値として選択して被測定気体の正式な露点温度計測値として出力する露点温度計測システムであって、第１の露点温度計測値の信頼性を判定する信頼性判定手段と、信頼性判定手段によって第１の露点温度計測値の信頼性が肯定された場合、第１の露点温度計測値を有効な露点温度計測値として選択して通常時の正式な露点温度計測値とする一方、信頼性判定手段によって第１の露点温度計測値の信頼性が否定された場合、第２の露点温度計測値を有効な露点温度計測値として選択して異常時の正式な露点温度計測値とする露点温度計測値選択手段とを備えることを特徴とする。以下、本発明における第１の露点計を鏡面冷却式露点計と呼び、第２の露点計を非鏡面冷却式露点計と呼ぶ。 In order to achieve such an object, the present invention irradiates light to a mirror surface exposed to a gas to be measured, a thermoelectric cooling element that cools the mirror surface, a temperature sensor that detects the temperature of the mirror surface, and the mirror surface. A light projecting means, a light receiving means for receiving reflected light of the light emitted from the light projecting means to the mirror surface, and a control for controlling the current supplied to the thermoelectric cooling element based on the amount of reflected light received by the light receiving means. And the control means controls the current supplied to the thermoelectric cooling element based on the amount of reflected light received by the light receiving means so that there is no increase or decrease in condensation or frost on the mirror surface, A first dew point meter having means for executing dew point temperature measurement control for measuring a mirror surface temperature detected by the temperature sensor in an equilibrium state as a dew point temperature, and a dew point of the gas to be measured by a method different from the first dew point meter Measure temperature A dew point temperature measurement value measured by the first dew point meter as a first dew point temperature measurement value, and a dew point temperature measurement value measured by the second dew point meter as a second dew point temperature measurement value. The dew point temperature is the dew point temperature measurement value, and one of the first and second dew point temperature measurement values is selected as the effective dew point temperature measurement value of the measured gas and output as the official measured dew point temperature value of the measured gas. In the measurement system, when the reliability of the first dew point temperature measurement value is affirmed by the reliability determination unit that determines the reliability of the first dew point temperature measurement value and the reliability determination unit, the first dew point is determined. When the temperature measurement value is selected as an effective dew point temperature measurement value to obtain an official dew point temperature measurement value at the normal time , the reliability of the first dew point temperature measurement value is denied by the reliability determination means. The dew point temperature measurement value is the effective dew point temperature measurement value. Characterized in that it comprises a dew point temperature measurement value selecting means for a formal dew point temperature measurement value of abnormal to select it. Hereinafter, the first dew point meter in the present invention is referred to as a specular cooling type dew point meter, and the second dew point meter is referred to as a non-specular cooling type dew point meter.

この発明では、鏡面冷却式露点計によって計測された露点温度計測値が第１の露点温度計測値とされ、非鏡面冷却式露点計によって計測された露点温度計測値が第２の露点温度計測値とされ、この第１および第２の露点温度計測値の何れか一方が有効な露点温度計測値として選択され、被測定気体の正式な露点温度計測値として出力される。この被測定気体の正式な露点温度計測値の出力に際し、本発明では、第１の露点温度計測値の信頼性を判定するようにし、第１の露点温度計測値の信頼性が肯定された場合、第１の露点温度計測値を有効な露点温度計測値として選択して通常時の正式な露点温度計測値とし、第１の露点温度計測値の信頼性が否定された場合、第２の露点温度計測値を有効な露点温度計測値として選択して異常時の正式な露点温度計測値とする。これにより、通常は鏡面冷却式露点計により高精度な露点温度計測が行われ、鏡面冷却式露点計の鏡面が汚れるなどして計測精度が落ちたような場合には、第１の露点計とは異なる方式で露点温度を計測する非鏡面冷却式露点計により露点温度計測が行われ、途切れることなく連続して露点温度計測が行われるものとなる。 In this invention, the dew point temperature measurement value measured by the specular cooling dew point meter is the first dew point temperature measurement value, and the dew point temperature measurement value measured by the non-specular cooling dew point meter is the second dew point temperature measurement value. Any one of the first and second dew point temperature measurement values is selected as an effective dew point temperature measurement value, and is output as an official dew point temperature measurement value of the gas to be measured. In outputting the official dew point temperature measurement value of the gas to be measured, in the present invention, the reliability of the first dew point temperature measurement value is determined, and the reliability of the first dew point temperature measurement value is affirmed. If the first dew point temperature measurement value is selected as an effective dew point temperature measurement value to obtain the normal dew point temperature measurement value and the reliability of the first dew point temperature measurement value is denied, the second dew point temperature measurement value is determined. Select the temperature measurement value as a valid dew point temperature measurement value and use it as the official dew point temperature measurement value at the time of abnormality . As a result, high-precision dew point temperature measurement is normally performed with a mirror-cooled dew point meter, and if the measurement accuracy drops due to contamination of the mirror surface of the mirror-cooled dew point meter, the first dew point meter The dew point temperature is measured by a non-specular cooling type dew point meter that measures the dew point temperature by a different method, and the dew point temperature is continuously measured without interruption.

本発明では、第１の露点温度計測値の信頼性を判定するようにするが、例えば、第１の方式として、鏡面冷却式露点計の露点温度計測制御を定期的に中断し、受光手段が受光する反射光の光量に基づいて第１の露点温度計測値の信頼性を判定するようにすることが考えられる。また、第２の方式として、第１の露点温度計測値と第２の露点温度計測値との差に基づいて第１の露点温度計測値の信頼性を判定するようにすることが考えられる。   In the present invention, the reliability of the first dew point temperature measurement value is determined. For example, as the first method, the dew point temperature measurement control of the mirror-cooled dew point meter is periodically interrupted, and the light receiving means It is conceivable to determine the reliability of the first dew point temperature measurement value based on the amount of reflected light received. As a second method, it is conceivable to determine the reliability of the first dew point temperature measurement value based on the difference between the first dew point temperature measurement value and the second dew point temperature measurement value.

本発明において、上述した第１の方式を採用した場合、第１の露点温度計測値の信頼性を判定するために、鏡面冷却式露点計の露点温度計測制御を定期的に中断させる必要がある。これに対し、上述した第２の方式を採用すると、鏡面冷却式露点計の鏡面が汚れるなどして計測精度が落ちたような場合だけでなく、露点温度計測制御中も中断させることなく露点温度計測を連続して行わせることが可能となる。   In the present invention, when the above-described first method is adopted, it is necessary to periodically interrupt the dew point temperature measurement control of the mirror-cooled dew point meter in order to determine the reliability of the first dew point temperature measurement value. . On the other hand, when the second method described above is adopted, the dew point temperature is not interrupted even during the dew point temperature measurement control, not only when the mirror surface of the mirror-cooled dew point meter becomes dirty and the measurement accuracy decreases. Measurement can be performed continuously.

また、本発明において、非鏡面冷却式露点計により露点温度計測を行わせている場合、鏡面冷却式露点計の鏡面に付着しているであろう凝縮物質を除去させる自動クリーニング制御を実行させるようにすれば、人手による鏡面の清掃を不要とし、凝縮物質を除去する装置を別途設ける必要をなくすことが可能となる。この場合、自動クリーニング制御として、鏡面に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、鏡面の温度を上昇させるように熱電冷却素子へ供給する電流を制御する方式、鏡面に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、鏡面、熱電冷却素子、温度センサ、投光手段および受光手段を収容するチャンバ内の圧力を減圧制御する方式を採用することが考えられる。   Further, in the present invention, when the dew point temperature is measured by the non-specular cooling type dew point meter, the automatic cleaning control for removing the condensate that may have adhered to the mirror surface of the specular cooling type dew point meter is executed. In this case, it is not necessary to manually clean the mirror surface, and it is possible to eliminate the need to separately provide a device for removing condensed substances. In this case, as an automatic cleaning control, a method of controlling the current supplied to the thermoelectric cooling element so as to raise the temperature of the mirror surface in order to remove condensed substances that would have adhered to the mirror surface, is attached to the mirror surface. In order to remove the condensate that would have been, it is conceivable to adopt a system in which the pressure in the chamber containing the mirror surface, thermoelectric cooling element, temperature sensor, light projecting means and light receiving means is controlled to be reduced.

本発明によれば、鏡面冷却式露点計によって計測された露点温度計測値を第１の露点温度計測値とし、鏡面冷却式露点計とは異なる方式で露点温度を計測する非鏡面冷却式露点計によって計測された露点温度計測値を第２の露点温度計測値とし、第１の露点温度計測値の信頼性を判定し、第１の露点温度計測値の信頼性が肯定された場合、第１の露点温度計測値を有効な露点温度計測値として選択して通常時の正式な露点温度計測値とし、第１の露点温度計測値の信頼性が否定された場合、第２の露点温度計測値を有効な露点温度計測値として選択して異常時の正式な露点温度計測値とするようにしたので、通常は鏡面冷却式露点計により高精度な露点温度計測を行わせる一方、鏡面冷却式露点計の鏡面が汚れるなどして計測精度が落ちたような場合には、鏡面冷却式露点計とは異なる方式で露点温度を計測する非鏡面冷却式露点計により露点温度計測を行わせるようにして、途切れることなく連続して露点温度計測を行わせることが可能となる。
また、本発明によれば、非鏡面冷却式露点計により露点温度計測を行わせている場合、鏡面冷却式露点計の鏡面に付着しているであろう凝縮物質を除去させる自動クリーニング制御を実行させるようにして、人手による鏡面の清掃を不要とし、凝縮物質を除去する装置を別途設ける必要をなくすことが可能となる。 According to the present invention, the dew point temperature measured value measured by the mirror-cooled dew point meter is used as the first dew point temperature measured value, and the non-mirror-cooled dew point meter that measures the dew point temperature by a method different from the mirror-cooled dew point meter. When the dew point temperature measurement value measured by the above is used as the second dew point temperature measurement value, the reliability of the first dew point temperature measurement value is determined, and the reliability of the first dew point temperature measurement value is affirmed, the first When the measured dew point temperature value is selected as the effective dew point temperature measurement value and the normal dew point temperature measurement value is selected, and the reliability of the first dew point temperature measurement value is denied, the second dew point temperature measurement value Is selected as the effective dew point temperature measurement value so that it becomes the official dew point temperature measurement value in the event of an abnormality , so normally the mirror surface cooling type dew point meter is used to perform highly accurate dew point temperature measurement, while the mirror surface cooling type dew point is measured. Measurement accuracy has dropped due to dirt on the mirror surface of the meter. In such cases, the dew point temperature should be measured continuously without interruption by using a non-specular cooling dew point meter that measures the dew point temperature using a method different from that of the mirror cooled dew point meter. Is possible.
Further, according to the present invention, when the dew point temperature is measured by the non-specular cooling type dew point meter, the automatic cleaning control is performed to remove the condensate that may have adhered to the mirror surface of the specular cooling type dew point meter. As a result, it is not necessary to manually clean the mirror surface, and it is possible to eliminate the need to separately provide a device for removing condensed substances.

本発明に係る露点温度計測システムに用いる鏡面冷却式露点計の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the mirror surface cooling type dew point meter used for the dew point temperature measurement system which concerns on this invention. この鏡面冷却式露点計のサンプリングチャンバ内に被測定気体を導くための仕切り弁および吸引ポンプの設置状況を示す図である。It is a figure which shows the installation condition of the gate valve and suction pump for guide | inducing a to-be-measured gas in the sampling chamber of this specular cooling type dew point meter. この鏡面冷却式露点計におけるサブコントローラ側での動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation | movement by the side of the sub controller in this mirror surface cooling type dew point meter. この鏡面冷却式露点計における鏡面に対して照射されるパルス光および鏡面から受光される反射パルス光を示す図である。It is a figure which shows the pulsed light irradiated with respect to the mirror surface in this mirror surface cooling-type dew point meter, and the reflected pulsed light received from a mirror surface. この鏡面冷却式露点計におけるサブクーラおよび第１の熱電冷却素子の冷却曲線（特性Ｉ，II）を示す図である。It is a figure which shows the cooling curve (characteristics I and II) of a subcooler and a 1st thermoelectric cooling element in this mirror surface cooling-type dew point meter. この鏡面冷却式露点計において定期的に行われる鏡面状態の正常／異常の判断および自動クリーニングへの移行動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows normal / abnormal determination of the mirror surface state performed in this mirror surface cooling type dew point meter, and the shift operation to automatic cleaning. この鏡面冷却式露点計において鏡面状態の正常／異常の判断を鏡面温度の変化が生じなくなったことを確認して行うようにした場合の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement at the time of confirming that the change of mirror surface temperature no longer arises in this mirror surface cooling-type dew point meter confirming normality / abnormality of a mirror surface state. この鏡面冷却式露点計において鏡面状態の正常／異常の判断を反射光量の変化が生じなくなったことを確認して行うようにした場合の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement at the time of confirming that the change of reflected light amount no longer arises in this mirror surface cooling-type dew point meter, and judging whether the mirror surface state is normal / abnormal. この鏡面冷却式露点計において定期的に行われる鏡面状態の正常／異常の判断および自動クリーニングへの移行動作の別の例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows another example of the determination operation | movement of the normal / abnormality of a mirror surface state performed regularly in this mirror surface cooling-type dew point meter, and the transfer operation | movement to automatic cleaning. この鏡面冷却式露点計において鏡面状態の正常／異常の判断を鏡面温度の変化が生じなくなったことを確認して行うようにした場合の別の例の動作を示すフローチャートである。FIG. 11 is a flowchart showing another example of the operation in the case of determining whether the specular state is normal or abnormal in the specular cooling type dew point meter after confirming that the change in specular temperature no longer occurs. この鏡面冷却式露点計において鏡面状態の正常／異常の判断を反射光量の変化が生じなくなったことを確認して行うようにした場合の別の例の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation | movement of another example at the time of confirming that the change of reflected light quantity no longer arises in this specular cooling type dew point meter, and confirming whether the specular state is normal / abnormal. この鏡面冷却式露点計の要部の機能ブロック図である。It is a functional block diagram of the principal part of this mirror surface cooling type dew point meter. この鏡面冷却式露点計における制御モードの変化を示すタイムチャートである。It is a time chart which shows the change of the control mode in this mirror surface cooling type dew point meter. 本発明に係る露点温度計測システムの第１の実施の形態（実施の形態１）の要部の機能ブロック図である。It is a functional block diagram of the principal part of 1st Embodiment (Embodiment 1) of the dew point temperature measurement system which concerns on this invention. 実施の形態１の露点温度計測システムの運用中の鏡面冷却式露点計における制御モードの変化および非鏡面冷却式露点計の計測状態を示すタイムチャートである。It is a time chart which shows the change of the control mode in the specular cooling type dew point meter in operation of the dew point temperature measurement system of Embodiment 1, and the measurement state of a non-specular cooling type dew point meter. 実施の形態１の露点温度計測システムにおける鏡面冷却式露点計の制御フローチャートである。3 is a control flowchart of a mirror-cooled dew point meter in the dew point temperature measurement system of the first embodiment. 実施の形態１の露点温度計測システムにおける統括コントローラの制御フローチャートである。4 is a control flowchart of the overall controller in the dew point temperature measurement system according to the first embodiment. 本発明に係る露点温度計測システムの第２の実施の形態（実施の形態２）の要部の機能ブロック図である。It is a functional block diagram of the principal part of 2nd Embodiment (Embodiment 2) of the dew point temperature measurement system which concerns on this invention. 実施の形態２の露点温度計測システムの運用中の鏡面冷却式露点計における制御モードの変化および非鏡面冷却式露点計の計測状態を示すタイムチャートである。It is a time chart which shows the change of the control mode in the specular cooling type dew point meter in operation of the dew point temperature measurement system of Embodiment 2, and the measurement state of a non-specular cooling type dew point meter. 鏡面冷却式露点計と非鏡面冷却式露点計とを直列に設置した場合の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example at the time of installing a mirror surface cooling dew point meter and a non-mirror surface cooling dew point meter in series. 正反射光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計におけるセンサ部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the sensor part in the conventional mirror surface cooling-type dew point meter which employ | adopted the regular reflection light detection system. 散乱光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計におけるセンサ部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the sensor part in the conventional mirror surface cooling-type dew point meter which employ | adopted the scattered light detection system.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
先ず、本発明に係る露点温度計測システムの実施の形態の説明に入る前に、この露点温度計測システムに用いる鏡面冷却式露点計について説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
First, before describing the embodiment of the dew point temperature measurement system according to the present invention, a mirror-cooled dew point meter used in this dew point temperature measurement system will be described.

〔鏡面冷却式露点計〕
図１はこの鏡面冷却式露点計の単体の概略構成図である。この鏡面冷却式露点計２０１はセンサ部２０１Ａとコントロール部２０１Ｂとを有している。 [Mirror surface dew point meter]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a single unit of this mirror-cooled dew point meter. The mirror-cooled dew point meter 201 has a sensor unit 201A and a control unit 201B.

〔センサ部〕
センサ部２０１Ａにおいて、１１は鏡であり、その表面１１−１が鏡面とされている。鏡１１は、例えばシリコンチップとされており、鏡１１の裏面１１−２側に第１の熱電冷却素子（ペルチェ素子）２の冷却面２−１が取り付けられている。また、鏡１１と第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１との間には、例えば白金による第１の温度センサ１２が設けられている。第１の温度センサ１２は鏡１１の裏面１１−２の温度を鏡面温度ｔＰｐｖとして検出する。 (Sensor part)
In the sensor unit 201A, reference numeral 11 denotes a mirror, and the surface 11-1 is a mirror surface. The mirror 11 is, for example, a silicon chip, and the cooling surface 2-1 of the first thermoelectric cooling element (Peltier element) 2 is attached to the back surface 11-2 side of the mirror 11. In addition, a first temperature sensor 12 made of platinum, for example, is provided between the mirror 11 and the cooling surface 2-1 of the first thermoelectric cooling element 2. The first temperature sensor 12 detects the temperature of the back surface 11-2 of the mirror 11 as the mirror surface temperature tPpv.

また、第１の熱電冷却素子２は、その加熱面２−２を底面として、センサボディ１３の先端部１３ａの傾斜面１３ｂに取り付けられている。傾斜面１３ｂはセンサボディ１３の中心軸に対して３０゜〜４５゜の傾斜角とされている。したがって、第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１に第１の温度センサ１２を挟んで取り付けられた鏡１１の鏡面１１−１もセンサボディ１３の中心軸に対して３０゜〜４５゜の角度で傾けられている。   The first thermoelectric cooling element 2 is attached to the inclined surface 13b of the tip end portion 13a of the sensor body 13 with the heating surface 2-2 as the bottom surface. The inclined surface 13 b has an inclination angle of 30 ° to 45 ° with respect to the central axis of the sensor body 13. Therefore, the mirror surface 11-1 of the mirror 11 attached to the cooling surface 2-1 of the first thermoelectric cooling element 2 with the first temperature sensor 12 interposed therebetween is also 30 ° to 45 ° with respect to the central axis of the sensor body 13. Is tilted at an angle of

センサボディ１３の先端部１３ａにつながる後端部１３ｃは円柱状とされている。この後端部１３ｃには、その先端面を鏡面１１−１に対向させて、投受光一体型の光ファイバ１４が保持されている。投受光一体型の光ファイバ１４の投光軸および受光軸はセンサボディ１３の中心軸と平行とされている。なお、この例では、後端部１３ｃから鏡面１１−１に向かって突き出ている投受光一体型の光ファイバ１４の光ファイバ１４−１，１４−２のうち、１４−１を投光側の光ファイバ、１４−２を受光側の光ファイバとしている。   A rear end portion 13c connected to the front end portion 13a of the sensor body 13 has a cylindrical shape. The rear end portion 13c holds a light projecting / receiving integrated optical fiber 14 with its front end face facing the mirror surface 11-1. The light projecting axis and the light receiving axis of the light projecting / receiving integrated optical fiber 14 are parallel to the central axis of the sensor body 13. In this example, among the optical fibers 14-1 and 14-2 of the light projecting / receiving integrated optical fiber 14 protruding from the rear end portion 13c toward the mirror surface 11-1, 14-1 is disposed on the light projecting side. The optical fiber 14-2 is an optical fiber on the light receiving side.

センサボディ１３の後端部１３ｃの後部には冷却ブロック１５が接合されている。また、冷却ブロック１５の後部には、冷却板１６が接合されている。センサボディ１３、冷却ブロック１５、冷却板１６はいずれも熱伝導性の部材とされており、このセンサボディ１３と冷却ブロック１５と冷却板１６とによって熱伝導体１７が構成されている。   A cooling block 15 is joined to the rear portion of the rear end portion 13 c of the sensor body 13. A cooling plate 16 is joined to the rear part of the cooling block 15. The sensor body 13, the cooling block 15, and the cooling plate 16 are all heat conductive members, and the sensor body 13, the cooling block 15, and the cooling plate 16 constitute a heat conductor 17.

冷却板１５の後部には第２の熱電冷却素子（ペルチェ素子）１８が設けられている。第２の熱電冷却素子１８は、その冷却面１８−１を冷却板１６側として、熱伝導体１７に取り付けられている。すなわち、熱伝導体１７の一端に第１の熱電冷却素子２の加熱面２−２が取り付けられ、熱伝導体１７の他端に第２の熱電冷却素子１８の冷却面１８−１が取り付けられている。この鏡面冷却式露点計２０１において、第２の熱電冷却素子１８の冷却能力は、そのサイズを比較しても分かるように、第１の熱電冷却素子２の冷却能力よりも遙かに大きいものとされている。   A second thermoelectric cooling element (Peltier element) 18 is provided at the rear of the cooling plate 15. The second thermoelectric cooling element 18 is attached to the heat conductor 17 with the cooling surface 18-1 as the cooling plate 16 side. That is, the heating surface 2-2 of the first thermoelectric cooling element 2 is attached to one end of the heat conductor 17, and the cooling surface 18-1 of the second thermoelectric cooling element 18 is attached to the other end of the heat conductor 17. ing. In this specular cooling type dew point meter 201, the cooling capacity of the second thermoelectric cooling element 18 is much larger than the cooling capacity of the first thermoelectric cooling element 2, as can be seen by comparing the sizes thereof. Has been.

第２の熱電冷却素子１８の加熱面１８−２にはヒートシンク１９が放熱体として接合されている。ヒートシンク１９には多数の放熱フィン１９ａが形成されている。このヒートシンク１９も熱伝導体１７と同様、熱伝導性の部材とされている。また、ヒートシンク１９の後方には冷却ファン２０が設けられており、冷却板１６には第２の温度センサ２１が設けられている。第２の温度センサ２１は、第２の熱電冷却素子１８の冷却面１８−１の温度をサブクーラ温度ｔＳｐｖとして検出する。   A heat sink 19 is joined to the heating surface 18-2 of the second thermoelectric cooling element 18 as a radiator. The heat sink 19 has a large number of radiating fins 19a. The heat sink 19 is also a heat conductive member like the heat conductor 17. A cooling fan 20 is provided behind the heat sink 19, and a second temperature sensor 21 is provided on the cooling plate 16. The second temperature sensor 21 detects the temperature of the cooling surface 18-1 of the second thermoelectric cooling element 18 as the subcooler temperature tSpv.

この鏡面冷却式露点計２０１では、冷却板１６と第２の熱電冷却素子１８とヒートシンク１９と冷却ファン２０とを合わせた構成を補助冷却器（サブクーラ）と呼ぶが、補助冷却器（サブクーラ）の主要構成は第２の熱電冷却素子１８であり、第２の熱電冷却素子１８単体を補助冷却器（サブクーラ）と呼んでもよい。ここでは、冷却板１６と第２の熱電冷却素子１８とヒートシンク１９と冷却ファン２０とを合わせた構成をサブクーラＳＣとする。   In this mirror-cooled dew point meter 201, a configuration in which the cooling plate 16, the second thermoelectric cooling element 18, the heat sink 19 and the cooling fan 20 are combined is called an auxiliary cooler (subcooler). The main configuration is the second thermoelectric cooling element 18, and the second thermoelectric cooling element 18 alone may be called an auxiliary cooler (subcooler). Here, a configuration in which the cooling plate 16, the second thermoelectric cooling element 18, the heat sink 19, and the cooling fan 20 are combined is referred to as a subcooler SC.

また、この鏡面冷却式露点計２０１において、第１の熱電冷却素子２や鏡１１，第１の温度センサ１２，投光側の光ファイバ１４−１，受光側の光ファイバ１４−２などを含む検出部ＤＴは、被測定気体が引き込まれるサンプリングチャンバ３１内に断熱材３２を通して設けられている。また、サンプリングチャンバ３１に対しては、図２に示すように、このサンプリングチャンバ３１に被測定気体を導くための仕切り弁４０と吸引ポンプ４１が設置されている。   Further, the mirror-cooled dew point meter 201 includes the first thermoelectric cooling element 2, the mirror 11, the first temperature sensor 12, the light-emitting side optical fiber 14-1, the light-receiving side optical fiber 14-2, and the like. The detector DT is provided through the heat insulating material 32 in the sampling chamber 31 into which the gas to be measured is drawn. Further, as shown in FIG. 2, the sampling chamber 31 is provided with a gate valve 40 and a suction pump 41 for guiding the gas to be measured to the sampling chamber 31.

また、センサ部２０１Ａには、光電変換器２２が設けられている。光電変換器２２は、コントロール部２０１Ｂからの電気信号を光信号に変換して投光側の光ファイバ１４−１へ与えたり、受光側の光ファイバ１４−２からの光信号を電気信号に変換してコントロール部２０１Ｂへ与えたりする。光電変換器２２とコントロール部２０１Ｂとの接続関係については後述する。また、センサ部２０１Ａに対しては、冷却ファン２０が吸い込む外気の温度をｔｏｕｔとして検出する外気温度センサ２３が設けられている。外気温度センサ２３が検出する外気温度ｔｏｕｔはコントロール部２０１Ｂへ送られる。   Further, the photoelectric converter 22 is provided in the sensor unit 201A. The photoelectric converter 22 converts the electrical signal from the control unit 201B into an optical signal and supplies it to the light-projecting optical fiber 14-1, or converts the optical signal from the light-receiving optical fiber 14-2 into an electrical signal. To the control unit 201B. The connection relationship between the photoelectric converter 22 and the control unit 201B will be described later. The sensor unit 201A is provided with an outside air temperature sensor 23 that detects the temperature of outside air sucked by the cooling fan 20 as tout. The outside air temperature tout detected by the outside air temperature sensor 23 is sent to the control unit 201B.

〔コントロール部〕
コントロール部２０１Ｂには、メインコントローラ２４と、サブコントローラ２５と、電源２６と、電源スイッチ２７と、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８と、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９と、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０とが設けられている。 [Control part]
The control unit 201B includes a main controller 24, a sub controller 25, a power source 26, a power switch 27, a dew point measurement ON / OFF switch 28, a sub cooler control ON / OFF switch 29, and a sub cooler low temperature / high temperature / interlocking switch. A selector switch 30 is provided.

メインコントローラ２４は、ＣＰＵ２４−１と、第１のＡ／Ｄ変換器２４−２と、第２のＡ／Ｄ変換器２４−３と、露点温度出力部２４−４と、ＲＡＭ２４−５と、ＲＯＭ２４−６とを備えている。ＣＰＵ２４−１は、外部からの各種入力情報を得て、ＲＡＭ２４−５にアクセスしながら、ＲＯＭ２４−６に格納されたプログラムに従って動作する。ＲＯＭ２４−６には露点計測プログラムが格納されている。   The main controller 24 includes a CPU 24-1, a first A / D converter 24-2, a second A / D converter 24-3, a dew point temperature output unit 24-4, a RAM 24-5, ROM 24-6. The CPU 24-1 operates according to a program stored in the ROM 24-6 while obtaining various input information from the outside and accessing the RAM 24-5. The ROM 24-6 stores a dew point measurement program.

なお、メインコントローラ２４において、第１のＡ／Ｄ変換器２４−２は、光電変換器２２からの電気信号に変換された受光側の光ファイバ１４−２からの光信号（信号Ｓ４）をデジタル信号に変換してＣＰＵ２４−１へ与える。また、第２のＡ／Ｄ変換器２４−３は、第１の温度センサ１２からの鏡面温度ｔＰｐｖ（信号Ｓ２）をデジタル信号に変換して露点温度出力部２４−４およびＣＰＵ２４−１へ与える。露点温度出力部２４−４は第１の温度センサ１２からのデジタル信号に変換された鏡面温度ｔＰｐｖを露点温度として上位装置へ送る。   In the main controller 24, the first A / D converter 24-2 digitally converts the optical signal (signal S4) from the light receiving side optical fiber 14-2 converted into the electrical signal from the photoelectric converter 22. It converts into a signal and gives to CPU24-1. Further, the second A / D converter 24-3 converts the mirror surface temperature tPpv (signal S2) from the first temperature sensor 12 into a digital signal and supplies the digital signal to the dew point temperature output unit 24-4 and the CPU 24-1. . The dew point temperature output unit 24-4 sends the mirror surface temperature tPpv converted into the digital signal from the first temperature sensor 12 to the host device as the dew point temperature.

サブコントローラ２５は、ＣＰＵ２５−１と、第１のＡ／Ｄ変換器２５−２と、第２のＡ／Ｄ変換器２５−３と、ＲＡＭ２５−４と、ＲＯＭ２５−５とを備えている。ＣＰＵ２５−１は、外部からの各種入力情報を得て、ＲＡＭ２５−４にアクセスしながら、ＲＯＭ２５−５に格納されたプログラムに従って動作する。ＲＯＭ２５−５にはサブクーラ制御プログラムが格納されている。   The sub-controller 25 includes a CPU 25-1, a first A / D converter 25-2, a second A / D converter 25-3, a RAM 25-4, and a ROM 25-5. The CPU 25-1 obtains various input information from the outside, and operates according to the program stored in the ROM 25-5 while accessing the RAM 25-4. The ROM 25-5 stores a subcooler control program.

なお、サブコントローラ２５において、第１のＡ／Ｄ変換器２５−２は、第２の温度センサ２１からのサブクーラ温度ｔＳｐｖ（信号Ｓ６）をデジタル信号に変換してＣＰＵ２５−１へ与える。また、第２のＡ／Ｄ変換器２５−３は、外気温度センサ２３からの外気温度ｔｏｕｔ（信号Ｓ８）をデジタル信号に変換してＣＰＵ２５−１へ与える。また、ＣＰＵ２５−１には、メインコントローラ２４における第２のＡ／Ｄ変換器２４−３を介して、第１の温度センサ１２からの鏡面温度ｔＰｐｖが与えられる。また、サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、図２に示されるように、メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１からの指令を受けて、仕切り弁４０の開閉および吸引ポンプ４１の運転／停止も制御する。   In the sub-controller 25, the first A / D converter 25-2 converts the sub-cooler temperature tSpv (signal S6) from the second temperature sensor 21 into a digital signal and supplies it to the CPU 25-1. Further, the second A / D converter 25-3 converts the outside air temperature tout (signal S8) from the outside air temperature sensor 23 into a digital signal and gives it to the CPU 25-1. Further, the mirror temperature tPpv from the first temperature sensor 12 is given to the CPU 25-1 via the second A / D converter 24-3 in the main controller 24. Further, as shown in FIG. 2, the CPU 25-1 of the sub-controller 25 controls the opening / closing of the gate valve 40 and the operation / stop of the suction pump 41 in response to a command from the CPU 24-1 of the main controller 24.

〔サブクーラ低温／高温／連動の切替設定〕
この鏡面冷却式露点計２０１では、サブクーラＳＣに対して、「低温（例えば、−５℃固定）」で動作させるのか、「高温（例えば、２５℃固定）」で動作させるのか、「連動（鏡面温度＋α）」で動作させるのかについて、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を用いてその動作モードを選択的に設定することが可能である。 [Sub-cooler low temperature / high temperature / linked switching setting]
In this mirror-cooled dew point meter 201, whether the subcooler SC is operated at “low temperature (for example, fixed at −5 ° C.)” or “high temperature (for example, fixed at 25 ° C.)” It is possible to selectively set the operation mode using the subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 as to whether to operate at “temperature + α)”.

〔動作モードを「低温」としての露点計測〕
今、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「低温」に設定して、露点計測を開始するものとする。なお、この場合、電源スイッチ２７は既にＯＮとされており、メインコントローラ２４およびサブコントローラ２５には電源が供給された状態にあるものとする。 [Dew point measurement with the operation mode set to "low temperature"]
Now, the subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 is set to “low temperature”, and dew point measurement is started. In this case, it is assumed that the power switch 27 has already been turned on and the main controller 24 and the sub-controller 25 are in a state of being supplied with power.

露点計測を開始させる場合、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８とサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９とを共にＯＮとする。なお、先に、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９をＯＮとし、ある程度時間が経った後に露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８をＯＮとするようにしてもよいが、ここでは露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８とサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９とを同時にＯＮとするものとする。   When dew point measurement is started, both the dew point measurement ON / OFF switch 28 and the subcooler control ON / OFF switch 29 are turned ON. The subcooler control ON / OFF switch 29 may be turned on first, and the dew point measurement ON / OFF switch 28 may be turned on after a certain period of time. It is assumed that the subcooler control ON / OFF switch 29 is turned ON simultaneously.

メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされると、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の現在の設定状態と合わせて、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされた旨をサブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１に知らせる。   When the sub-cooler control ON / OFF switch 29 is turned on, the CPU 24-1 of the main controller 24 sets the sub-cooler control ON / OFF switch 29 in accordance with the current setting state of the sub-cooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30. The CPU 25-1 of the sub-controller 25 is informed that it has been turned ON.

〔サブコントローラ側での動作〕
サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、メインコントローラ２４からサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされた旨の知らせを受けると（図３：ステップＳ１０１のＹＥＳ）、仕切り弁４０を開とし（ステップＳ１０２）、吸引ポンプ４１の運転を開始して（ステップＳ１０３）、サンプリングチャンバ３１への被測定気体の流入を開始すると共に、冷却ファン２０の運転を開始する（ステップＳ１０４、信号Ｓ５）。なお、電源スイッチ２７がＯＮとされたときにサンプリングチャンバ３１への被測定気体の導入（仕切り弁４０の開、吸引ポンプ４１の運転）および冷却ファン２０の運転を開始するように構成してもよい。 [Operation on the sub-controller side]
When the CPU 25-1 of the sub-controller 25 receives notification from the main controller 24 that the sub-cooler control ON / OFF switch 29 has been turned ON (FIG. 3: YES in step S101), it opens the gate valve 40 (step S102). Then, the operation of the suction pump 41 is started (step S103), the inflow of the gas to be measured into the sampling chamber 31 is started, and the operation of the cooling fan 20 is started (step S104, signal S5). It should be noted that when the power switch 27 is turned on, the introduction of the gas to be measured into the sampling chamber 31 (opening of the gate valve 40 and the operation of the suction pump 41) and the operation of the cooling fan 20 may be started. Good.

また、サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、メインコントローラ２４から知らされるサブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の現在の設定状態をチェックする（ステップＳ１０５）。この場合、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の設定状態は「低温」とされているので、ステップＳ１０８を経てステップＳ１０９へ進み、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを低温（例えば、−５℃）とする。   Further, the CPU 25-1 of the sub controller 25 checks the current setting state of the sub cooler low temperature / high temperature / interlocking switch selector switch 30 notified from the main controller 24 (step S105). In this case, since the setting state of the subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 is “low temperature”, the process proceeds to step S109 through step S108, and the set target temperature Tsp of the subcooler is set to a low temperature (for example, −5 ° C.). And

そして、第２の温度センサ２１からのサブクーラ温度ｔＳｐｖを取り込み（ステップＳ１１４、信号Ｓ６）、サブクーラ温度ｔＳｐｖと設定目標温度Ｔｓｐとが一致するように、第２の熱電冷却素子１８へ供給する電流をＯＮ／ＯＦＦ制御する（ステップＳ１１５、信号Ｓ７）。   Then, the subcooler temperature tSpv from the second temperature sensor 21 is taken in (step S114, signal S6), and the current supplied to the second thermoelectric cooling element 18 is set so that the subcooler temperature tSpv and the set target temperature Tsp match. ON / OFF control is performed (step S115, signal S7).

〔メインコントローラ側での動作〕
一方、メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８がＯＮとされると、光電変換器２２へ信号Ｓ３を送り、投光側の光ファイバ１４−１の先端面より、鏡面１１−１に対して所定の周期で光を照射させる（図４（ａ）参照）。なお、電源スイッチ２７がＯＮされると投光側の光ファイバ１４−１の先端面より光を照射させるように光電変換器２２を構成してもよい。 [Operation on the main controller side]
On the other hand, when the dew point measurement ON / OFF switch 28 is turned on, the CPU 24-1 of the main controller 24 sends a signal S3 to the photoelectric converter 22, and the mirror surface from the front end surface of the optical fiber 14-1 on the light projecting side. 11-1 is irradiated with light at a predetermined cycle (see FIG. 4A). Note that the photoelectric converter 22 may be configured to irradiate light from the distal end surface of the light-projecting optical fiber 14-1 when the power switch 27 is turned on.

鏡面１１−１は被測定気体に晒されており、鏡面１１−１に結露が生じていなければ、投光側の光ファイバ１４−１の先端から照射された光はそのほゞ全量が正反射し、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される鏡面１１−１からの反射光（散乱光）の量は極微量である。したがって、鏡面１１−１に結露が生じていない場合、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光の強度は小さい。受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光は、光電変換器２２によって電気信号に変換され、メインコントローラ２４の第１のＡ／Ｄ変換器２４−２へ送られ、デジタル信号に変換されてＣＰＵ２４−１に取り込まれる。   If the mirror surface 11-1 is exposed to the gas to be measured and no condensation occurs on the mirror surface 11-1, almost all of the light emitted from the tip of the optical fiber 14-1 on the light projecting side is specularly reflected. However, the amount of reflected light (scattered light) from the mirror surface 11-1 received through the optical fiber 14-2 on the light receiving side is extremely small. Therefore, when no condensation occurs on the mirror surface 11-1, the intensity of the reflected light received through the light receiving side optical fiber 14-2 is small. The reflected light received through the optical fiber 14-2 on the light receiving side is converted into an electric signal by the photoelectric converter 22 and sent to the first A / D converter 24-2 of the main controller 24, where it is a digital signal. Is converted into and taken into the CPU 24-1.

ＣＰＵ２４−１は、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光の上限値と下限値との差を反射光の強度として求める。この場合、反射光の強度はほゞ零であり、予め定められている閾値（結露判定用の設定値）に達していないので、ＣＰＵ２４−１は、第１の熱電冷却素子２への電流を増大させる（信号Ｓ１）。これにより、第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度が下げられて行く。   The CPU 24-1 obtains the difference between the upper limit value and the lower limit value of the reflected light received through the light receiving side optical fiber 14-2 as the intensity of the reflected light. In this case, since the intensity of the reflected light is almost zero and has not reached a predetermined threshold value (setting value for dew condensation determination), the CPU 24-1 generates a current to the first thermoelectric cooling element 2. Increase (signal S1). Thereby, the temperature of the cooling surface 2-1 of the first thermoelectric cooling element 2 is lowered.

第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度、すなわち鏡面１１−１の温度を下げて行くと、被測定気体に含まれる水蒸気が鏡面１１−１に結露し、その水の分子に投光側の光ファイバ１４−１の先端から照射された光の一部が吸収されたり、乱反射したりする。これにより、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される鏡面１１−１からの反射光（散乱光）の強度が増大する。   When the temperature of the cooling surface 2-1 of the first thermoelectric cooling element 2 is lowered, that is, the temperature of the mirror surface 11-1, the water vapor contained in the gas to be measured is condensed on the mirror surface 11-1, and the water molecules Part of the light emitted from the tip of the optical fiber 14-1 on the light projecting side is absorbed or irregularly reflected. Thereby, the intensity | strength of the reflected light (scattered light) from the mirror surface 11-1 light-received via the optical fiber 14-2 by the light-receiving side increases.

ここで、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光の強度が閾値を超えると、ＣＰＵ２４−１は、第１の熱電冷却素子２への電流を減少させる。これにより、第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度の低下が抑えられ、結露の発生が抑制される。この結露の抑制により、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光の強度が小さくなり、閾値を下回ると、ＣＰＵ２４−１は、第１の熱電冷却素子２への電流を増大させる。   Here, when the intensity of the reflected light received through the optical fiber 14-2 on the light receiving side exceeds the threshold value, the CPU 24-1 reduces the current to the first thermoelectric cooling element 2. Thereby, the fall of the temperature of the cooling surface 2-1 of the 1st thermoelectric cooling element 2 is suppressed, and generation | occurrence | production of dew condensation is suppressed. By suppressing this dew condensation, the intensity of the reflected light received through the optical fiber 14-2 on the light receiving side becomes small, and when it falls below the threshold, the CPU 24-1 increases the current to the first thermoelectric cooling element 2. Let

この動作の繰り返しによって、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される反射光の強度が閾値とほゞ等しくなるように、第１の熱電冷却素子２の冷却面２−１の温度が調整される。この調整された温度、すなわち鏡面１１−１に生じた結露が平衡状態に達した温度（露点温度）が、露点温度出力部２４−４に送られる。   By repeating this operation, the temperature of the cooling surface 2-1 of the first thermoelectric cooling element 2 is adjusted so that the intensity of the reflected light received through the optical fiber 14-2 on the light receiving side is approximately equal to the threshold value. Adjusted. The adjusted temperature, that is, the temperature at which the dew condensation occurring on the mirror surface 11-1 reaches the equilibrium state (dew point temperature) is sent to the dew point temperature output unit 24-4.

この露点の検出動作において、第１の熱電冷却素子２の加熱面２−２は熱伝導体１７を介して、第２の熱電冷却素子１８を含むサブクーラＳＣによって冷却される。図５に特性ＩとしてサブクーラＳＣの冷却曲線を示し、特性IIとして第１の熱電冷却素子２の冷却曲線を示す。また、参考として、サブクーラＳＣを用いず、鏡面冷却用の熱電冷却素子を大型の多段ペルチェとした場合の冷却曲線を特性IIIとして示す。   In this dew point detection operation, the heating surface 2-2 of the first thermoelectric cooling element 2 is cooled by the subcooler SC including the second thermoelectric cooling element 18 via the heat conductor 17. FIG. 5 shows a cooling curve of the subcooler SC as a characteristic I, and shows a cooling curve of the first thermoelectric cooling element 2 as a characteristic II. For reference, a cooling curve is shown as characteristic III when the subcooler SC is not used and the thermoelectric cooling element for mirror surface cooling is a large multistage Peltier.

特性IIと特性IIIとを比較して分かるように、鏡面冷却用の熱電冷却素子を大型の多段ペルチェとした場合には、鏡面周りの熱容量が大きくなるので、応答性が悪化する。これに対して、サブクーラＳＣを用いた場合には、鏡面周りの熱容量を小さなままとすることができるので、応答性が悪化することがない。   As can be seen by comparing the characteristic II and the characteristic III, when the thermoelectric cooling element for mirror surface cooling is a large multi-stage Peltier, the heat capacity around the mirror surface increases, and the responsiveness deteriorates. On the other hand, when the subcooler SC is used, the heat capacity around the mirror surface can be kept small, so that the responsiveness does not deteriorate.

このようにして、この鏡面冷却式露点計２０１では、サブクーラＳＣを用いることによって、第１の熱電冷却素子２として冷却能力が比較的小さい小型の素子（冷却スピードの速いペルチェ）を用いることができている。このため、応答性が犠牲になることがなく、鏡面周りのサイズの大型化も避けられる。また、サブクーラＳＣにペルチェ式の冷却器を採用していることから、冷媒式の冷却器や配管が不要であり、装置が複雑化せず、小型となる。また、冷媒漏れの心配もない。   In this way, in this mirror-cooled dew point meter 201, by using the subcooler SC, it is possible to use a small element (Peltier with a high cooling speed) having a relatively small cooling capacity as the first thermoelectric cooling element 2. ing. For this reason, responsiveness is not sacrificed, and enlargement of the size around the mirror surface can be avoided. In addition, since a Peltier-type cooler is used for the subcooler SC, a refrigerant-type cooler and piping are not required, the apparatus is not complicated, and the size is reduced. Moreover, there is no fear of refrigerant leakage.

〔動作モードを「連動」としての露点計測〕
次に、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「連動」に設定して、露点計測を開始する場合について説明する。この場合も、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８とサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９とを同時にＯＮとするものとする。 [Dew point measurement with the operation mode set to "Linked"]
Next, a case where the subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 is set to “interlocking” and dew point measurement is started will be described. Also in this case, the dew point measurement ON / OFF switch 28 and the subcooler control ON / OFF switch 29 are simultaneously turned ON.

メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされると、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の現在の設定状態と合わせて、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされた旨をサブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１に知らせる。   When the sub-cooler control ON / OFF switch 29 is turned on, the CPU 24-1 of the main controller 24 sets the sub-cooler control ON / OFF switch 29 in accordance with the current setting state of the sub-cooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30. The CPU 25-1 of the sub-controller 25 is informed that it has been turned ON.

〔サブコントローラ側での動作〕
サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、メインコントローラ２４からサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９がＯＮとされた旨の知らせを受けると（図３：ステップＳ１０１のＹＥＳ）、仕切り弁４０を開とし（ステップＳ１０２）、吸引ポンプ４１の運転を開始して（ステップＳ１０３）、サンプリングチャンバ３１への被測定気体の流入を開始すると共に、冷却ファン２０の運転を開始する（ステップＳ１０４、信号Ｓ５）。 [Operation on the sub-controller side]
When the CPU 25-1 of the sub-controller 25 receives notification from the main controller 24 that the sub-cooler control ON / OFF switch 29 has been turned ON (FIG. 3: YES in step S101), it opens the gate valve 40 (step S102). Then, the operation of the suction pump 41 is started (step S103), the inflow of the gas to be measured into the sampling chamber 31 is started, and the operation of the cooling fan 20 is started (step S104, signal S5).

また、サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、メインコントローラ２４から知らされるサブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の現在の設定状態をチェックする（ステップＳ１０５）。この場合、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０の設定状態は「連動」とされているので、第１の温度センサ１２からの鏡面温度ｔＰｐｖを取得し（ステップＳ１０６）、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを鏡面温度ｔＰｐｖ＋αとする（ステップＳ１０７）。   Further, the CPU 25-1 of the sub controller 25 checks the current setting state of the sub cooler low temperature / high temperature / interlocking switch selector switch 30 notified from the main controller 24 (step S105). In this case, since the setting state of the subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 is “interlocking”, the mirror surface temperature tPpv from the first temperature sensor 12 is acquired (step S106), and the set target temperature of the subcooler is acquired. Tsp is set to a mirror surface temperature tPpv + α (step S107).

そして、外気温度センサ２３からの外気温度ｔｏｕｔを取り込み（ステップＳ１１１）、ステップＳ１０７で定めた設定目標温度Ｔｓｐと外気温度ｔｏｕｔとを比較する（ステップＳ１１２）。ここで、設定目標温度Ｔｓｐが外気温度ｔｏｕｔ以下であれば（ステップＳ１１２のＹＥＳ）、第２の温度センサ２１からのサブクーラ温度ｔＳｐｖを取り込み（ステップＳ１１４）、サブクーラ温度ｔＳｐｖと設定目標温度Ｔｓｐとが一致するように、第２の熱電冷却素子１８へ供給する電流をＯＮ／ＯＦＦ制御する（ステップＳ１１５）。   Then, the outside air temperature tout from the outside air temperature sensor 23 is taken in (step S111), and the set target temperature Tsp determined in step S107 is compared with the outside air temperature tout (step S112). If the set target temperature Tsp is equal to or lower than the outside air temperature tout (YES in step S112), the sub-cooler temperature tSpv from the second temperature sensor 21 is taken in (step S114), and the sub-cooler temperature tSpv and the set target temperature Tsp are The current supplied to the second thermoelectric cooling element 18 is ON / OFF controlled so as to match (step S115).

これに対し、設定目標温度Ｔｓｐが外気温度ｔｏｕｔよりも高い場合には（ステップＳ１１２のＮＯ）、設定目標温度Ｔｓｐを外気温度ｔｏｕｔとし（ステップＳ１１３）、すなわち設定目標温度Ｔｓｐの上限値を外気温度ｔｏｕｔで規制し、サブクーラ温度ｔＳｐｖと設定目標温度Ｔｓｐとが一致するように、第２の熱電冷却素子１８へ供給する電流をＯＮ／ＯＦＦ制御する（ステップＳ１１４、Ｓ１１５）。   On the other hand, when the set target temperature Tsp is higher than the outside air temperature tout (NO in step S112), the set target temperature Tsp is set to the outside air temperature tout (step S113), that is, the upper limit value of the set target temperature Tsp is set to the outside air temperature. The current supplied to the second thermoelectric cooling element 18 is controlled to be ON / OFF so that the subcooler temperature tSpv and the set target temperature Tsp coincide with each other (steps S114 and S115).

〔メインコントローラ側での動作〕
メインコントローラ２４側での動作は、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「低温」に設定した場合と同じであるので、ここでの説明は省略する。 [Operation on the main controller side]
The operation on the main controller 24 side is the same as the case where the subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 is set to “low temperature”, and the description thereof is omitted here.

サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「低温」に設定した場合、すなわちサブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを低温（例えば、−５℃）に固定するものとした場合、その固定された設定目標温度Ｔｓｐよりも高い露点は測定することができない。また、測定範囲の上限付近の露点を測定する際でも、設定目標温度Ｔｓｐが固定であるので、多くのエネルギーを消費してしまう。   When the subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 is set to “low temperature”, that is, when the set target temperature Tsp of the subcooler is fixed at a low temperature (for example, −5 ° C.), the fixed set target temperature A dew point higher than Tsp cannot be measured. Even when the dew point near the upper limit of the measurement range is measured, a large amount of energy is consumed because the set target temperature Tsp is fixed.

これに対して、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「連動」に設定すると、すなわちサブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを鏡面温度ｔＰｐｖ＋αとすると、鏡面温度ｔＰｐｖが上昇すると設定目標温度Ｔｓｐも上昇することになるので、周囲温度と同じ温度まで露点計測を行うことが可能となる。また、設定目標温度Ｔｓｐは、常に鏡面温度ｔＰｐｖ＋αで変動しているため、消費されるエネルギーも必要最小限となる。   On the other hand, when the subcooler low temperature / high temperature / linkage selector switch 30 is set to “linkage”, that is, when the set target temperature Tsp of the subcooler is set to the mirror surface temperature tPpv + α, the set target temperature Tsp increases as the mirror surface temperature tPpv increases. Therefore, the dew point can be measured up to the same temperature as the ambient temperature. Further, since the set target temperature Tsp always fluctuates at the mirror surface temperature tPpv + α, the consumed energy becomes the minimum necessary.

〔鏡面のメンテナンス(１)〕
例えば、動作モードを「低温」としての露点計測中、鏡面１１−１のメンテナンスを行いたいものとする。この場合、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８をＯＦＦとし、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「高温」に設定する。 [Mirror surface maintenance (1)]
For example, it is assumed that maintenance of the mirror surface 11-1 is desired during dew point measurement with the operation mode set to "low temperature". In this case, the dew point measurement ON / OFF switch 28 is turned OFF, and the subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 is set to “high temperature”.

すると、メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、第１の熱電冷却素子２による鏡面１１−１の冷却動作を中断すると共に、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０が「高温」に設定された旨をサブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１に知らせる。   Then, the CPU 24-1 of the main controller 24 interrupts the cooling operation of the mirror surface 11-1 by the first thermoelectric cooling element 2, and the subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 is set to “high temperature”. Is notified to the CPU 25-1 of the sub-controller 25.

サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、メインコントローラ２４からサブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０が「高温」に設定された旨の知らせを受けると、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを高温（例えば、２５℃）とする（図３：ステップＳ１０８，Ｓ１１０）。   When the CPU 25-1 of the sub-controller 25 receives notification from the main controller 24 that the sub-cooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 has been set to “high temperature”, the sub-cooler set target temperature Tsp is set to a high temperature (for example, 25 ° C) (FIG. 3: Steps S108 and S110).

そして、第２の温度センサ２１からのサブクーラ温度ｔＳｐｖを取り込み（ステップＳ１１４）、サブクーラ温度ｔＳｐｖと設定目標温度Ｔｓｐとが一致するように、第２の熱電冷却素子１８へ供給する電流をＯＮ／ＯＦＦ制御する（ステップＳ１１５）。この場合、設定目標温度Ｔｓｐがサブクーラ温度ｔＳｐｖよりも高いので、第２の熱電冷却素子１８へは逆電流がかけられる。これにより、サブクーラＳＣが加熱器として利用され、鏡面周りが短時間で常温に戻される。   Then, the subcooler temperature tSpv from the second temperature sensor 21 is taken in (step S114), and the current supplied to the second thermoelectric cooling element 18 is turned ON / OFF so that the subcooler temperature tSpv and the set target temperature Tsp match. Control is performed (step S115). In this case, since the set target temperature Tsp is higher than the subcooler temperature tSpv, a reverse current is applied to the second thermoelectric cooling element 18. Thereby, subcooler SC is utilized as a heater and the mirror surface is returned to room temperature in a short time.

〔鏡面のメンテナンス(２)〕
例えば、動作モードを「連動」としての露点計測中、鏡面１１−１のメンテナンスを行いたいものとする。この場合、動作モードを「低温」としての露点計測中と同様にして、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８をＯＦＦとし、サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ３０を「高温」に設定するようにしてもよいが、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８をＯＦＦとするだけとしてもよい。 [Mirror surface maintenance (2)]
For example, it is assumed that maintenance of the mirror surface 11-1 is to be performed during the dew point measurement with the operation mode “interlocking”. In this case, the dew point measurement ON / OFF switch 28 is turned OFF and the subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch 30 is set to “high temperature” in the same manner as during dew point measurement with the operation mode set to “low temperature”. However, the dew point measurement ON / OFF switch 28 may be simply turned OFF.

露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８がＯＦＦにされると、メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、第１の熱電冷却素子２による鏡面１１−１の冷却動作を中断する。この場合、サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１は、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを鏡面温度ｔＰｐｖ＋αとする制御を続ける。これにより、鏡面１１−１の冷却動作の中断による温度の上昇に伴って、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐも上昇して行く。   When the dew point measurement ON / OFF switch 28 is turned OFF, the CPU 24-1 of the main controller 24 interrupts the cooling operation of the mirror surface 11-1 by the first thermoelectric cooling element 2. In this case, the CPU 25-1 of the sub-controller 25 continues control to set the sub-cooler target temperature Tsp to the mirror surface temperature tPpv + α. Thereby, the set target temperature Tsp of the subcooler also increases as the temperature increases due to the interruption of the cooling operation of the mirror surface 11-1.

このようにして、動作モードを「連動」としての露点計測中でれば、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８をＯＦＦとするのみで、サブクーラの設定目標温度Ｔｓｐを高温に切り替えることなく、自動的に鏡面周りを常温に戻すようにすることができる。   In this way, if dew point measurement is being performed with the operation mode set to “interlocking”, the decool point measurement ON / OFF switch 28 is simply turned OFF, and the set target temperature Tsp of the subcooler is automatically switched without switching to a high temperature. The mirror surface can be returned to room temperature.

〔メインコントローラおよびサブコントローラの性能〕
この鏡面冷却式露点計２０１において、鏡面１１−１上での結露の生成スピードは非常に速く、また鏡面温度ｔＰｐｖや鏡面からの反射光の光量は高精度に測定する必要がある。その一方で、サブクーラＳＣの制御は、熱容量が大きいため制御スピードが遅く、また、サブクーラ温度ｔＳｐｖの検出はあまり精度を必要としない。 [Performance of main controller and sub controller]
In this mirror-cooled dew point meter 201, the generation speed of condensation on the mirror surface 11-1 is very fast, and the mirror surface temperature tPpv and the amount of reflected light from the mirror surface must be measured with high accuracy. On the other hand, the control of the subcooler SC is slow because the heat capacity is large, and the detection of the subcooler temperature tSpv does not require much accuracy.

そこで、この鏡面冷却式露点計２０１では、メインコントローラ２４は、高速制御と高精度測定が必要であるので、高性能・高価格コントローラを用い、サブコントローラ２５は、制御性能・計測精度はあまり必要としないので、低性能・低価格のコントローラを用いるようにして、メインコントローラ２４とサブコントローラ２５のコストと性能をバランスさせ、製品コストを安くしている。   Therefore, in the mirror-cooled dew point meter 201, the main controller 24 requires high-speed control and high-accuracy measurement. Therefore, a high-performance and high-price controller is used, and the sub-controller 25 requires less control performance and measurement accuracy. Therefore, by using a low-performance / low-cost controller, the cost and performance of the main controller 24 and the sub-controller 25 are balanced to reduce the product cost.

この点について、さらに具体的に述べる。メインコントローラ２４は、受光側の光ファイバ１４−２が受光する反射光の光量をＡ／Ｄ変換し、そのＡ／Ｄ変換値に基づいて第１の熱電冷却素子２へ供給する電流を所定の制御周期で制御する。また、第１の温度センサ１２が検出する鏡面温度ｔＰｐｖをＡ／Ｄ変換し、その刻々の鏡面温度ｔＰｐｖを表示する。そして、鏡面１１−１に生じた結露が平衡状態に達した時の温度を露点温度として表示する。一方、サブコントローラ２５は、第２の温度センサ２１が検出するサブクーラ温度ｔＳｐｖをＡ／Ｄ変換し、そのＡ／Ｄ変換値に基づいて第２の熱電冷却素子１８へ供給する電流を所定の制御周期で制御する。   This point will be described more specifically. The main controller 24 A / D converts the amount of reflected light received by the optical fiber 14-2 on the light receiving side, and supplies a predetermined current to the first thermoelectric cooling element 2 based on the A / D conversion value. Control with the control cycle. Further, the mirror surface temperature tPpv detected by the first temperature sensor 12 is A / D converted, and the mirror surface temperature tPpv at every moment is displayed. And the temperature when the dew condensation produced on the mirror surface 11-1 reaches the equilibrium state is displayed as the dew point temperature. On the other hand, the sub-controller 25 performs A / D conversion on the sub-cooler temperature tSpv detected by the second temperature sensor 21, and performs a predetermined control on the current supplied to the second thermoelectric cooling element 18 based on the A / D conversion value. Control by cycle.

メインコントローラ２４において、受光側の光ファイバ１４−２が受光する反射光の光量のＡ／Ｄ変換は第１のＡ／Ｄ変換器２４−２で行われ、そのＡ／Ｄ変換値に基づく第１の熱電冷却素子２への供給電流の所定の制御周期での制御はＣＰＵ２４−１で行われる。また、第１の温度センサ１２が検出する鏡面温度ｔＰｐｖのＡ／Ｄ変換は第２のＡ／Ｄ変換器２４−３で行われる。一方、サブコントローラ２５において、第２の温度センサ２１が検出するサブクーラ温度ｔＳｐｖのＡ／Ｄ変換は第１のＡ／Ｄ変換器２５−２で行われ、そのＡ／Ｄ変換値に基づく第２の熱電冷却素子１８への供給電流の所定の制御周期での制御はＣＰＵ２５−１で行われる。   In the main controller 24, A / D conversion of the amount of reflected light received by the light receiving side optical fiber 14-2 is performed by the first A / D converter 24-2, and the first A / D conversion value is used. The CPU 24-1 controls the supply current to one thermoelectric cooling element 2 in a predetermined control cycle. The A / D conversion of the mirror surface temperature tPpv detected by the first temperature sensor 12 is performed by the second A / D converter 24-3. On the other hand, in the sub-controller 25, the A / D conversion of the sub-cooler temperature tSpv detected by the second temperature sensor 21 is performed by the first A / D converter 25-2, and the second based on the A / D conversion value. The CPU 25-1 controls the current supplied to the thermoelectric cooling element 18 at a predetermined control cycle.

ここで、メインコントローラ２４とサブコントローラ２５のコストと性能をバランスさせるために、メインコントローラ２４における第１のＡ／Ｄ変換器２４−２や第２のＡ／Ｄ変換器２４−３のＡ／Ｄ変換の精度は、サブコントローラ２５における第１のＡ／Ｄ変換器２５−２のＡ／Ｄ変換の精度よりも高くされている。また、メインコントローラ２４における第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御周期は、サブコントローラ２５における第２の熱電冷却素子１８への供給電流の制御周期よりも短周期とされている。   Here, in order to balance the cost and performance of the main controller 24 and the sub-controller 25, the A / D of the first A / D converter 24-2 and the second A / D converter 24-3 in the main controller 24 is used. The accuracy of D conversion is higher than the accuracy of A / D conversion of the first A / D converter 25-2 in the sub-controller 25. Further, the control cycle of the supply current to the first thermoelectric cooling element 2 in the main controller 24 is shorter than the control cycle of the supply current to the second thermoelectric cooling element 18 in the sub-controller 25.

なお、サブコントローラ２５において、第２のＡ／Ｄ変換器２４−３のＡ／Ｄ変換の精度は、第１のＡ／Ｄ変換器２５−２と同程度とされている。この例では、説明上、第１のＡ／Ｄ変換器２５−２と第２のＡ／Ｄ変換器２５−３とを別々に設けるものとしたが、第１のＡ／Ｄ変換器２５−２と第２のＡ／Ｄ変換器２５−３とを１つとし、その１つのＡ／Ｄ変換器を時分割で用いるようにしてもよい。   In the sub-controller 25, the accuracy of the A / D conversion of the second A / D converter 24-3 is approximately the same as that of the first A / D converter 25-2. In this example, for the sake of explanation, the first A / D converter 25-2 and the second A / D converter 25-3 are provided separately, but the first A / D converter 25- 2 and the second A / D converter 25-3, and one A / D converter may be used in a time-sharing manner.

また、この鏡面冷却式露点計２０１において、メインコントローラ２４からの第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御周期はサブコントローラ２５からの第２の熱電冷却素子１８への供給電流の制御周期よりも短周期とされているが、メインコントローラ２４からの第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御を比例制御、サブコントローラ２５からの第２の熱電冷却素子１８への供給電流の制御をＯＮ／ＯＦＦ制御とするようにしてもよい。   In this mirror-cooled dew point meter 201, the control period of the supply current from the main controller 24 to the first thermoelectric cooling element 2 is the control period of the supply current from the sub-controller 25 to the second thermoelectric cooling element 18. Although the cycle is shorter, the control of the supply current from the main controller 24 to the first thermoelectric cooling element 2 is proportionally controlled, and the control of the supply current from the sub-controller 25 to the second thermoelectric cooling element 18 is controlled. May be set to ON / OFF control.

すなわち、結露を平衡状態に制御するメインコントローラ２４は、高速で緻密な制御を必要とするので比例制御を採用し、サブクーラの温度を制御するサブコントローラ２５は、比較的アバウトな制御でよいので、制御性能が高くなく低価格で実現可能なＯＮ／ＯＦＦ制御を採用するというように、その制御方式を異ならせるようにしてもよい。勿論、メインコントローラ２４／サブコントローラ２５ともに、その供給電流の制御を比例制御で行うようにしてもよい。   That is, the main controller 24 that controls condensation in an equilibrium state requires high-speed and precise control, and therefore employs proportional control, and the sub-controller 25 that controls the temperature of the sub-cooler may be relatively about control. The control method may be different, such as adopting ON / OFF control that is not high in control performance and can be realized at a low price. Of course, both the main controller 24 / sub-controller 25 may control the supply current by proportional control.

〔受光量基準範囲を用いての鏡面の状態の正常／異常判断〕
メインコントローラ２４のＣＰＵ２４−１は、定期的な割り込み処理動作として、鏡面１１−１に生じる結露の増減がなくなる平衡状態になるような第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御（露点温度計測制御）を中断する（図６：ステップＳ２０１）。 [Normal / abnormal judgment of mirror surface status using the received light intensity reference range]
The CPU 24-1 of the main controller 24 controls the supply current to the first thermoelectric cooling element 2 (dew point temperature) so as to achieve an equilibrium state in which the increase or decrease of the condensation occurring on the mirror surface 11-1 is eliminated as a periodic interrupt processing operation. Measurement control) is interrupted (FIG. 6: step S201).

そして、所定時間の経過を待って（ステップＳ２０２のＹＥＳ）、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される鏡面１１−１からの反射光の光量（受光量）Ｒｐｖを求める（ステップＳ２０３）。そして、この求めた受光量Ｒｐｖが予め定められている受光量基準範囲に入っているか否かをチェックする（ステップＳ２０４）。   Then, after the elapse of a predetermined time (YES in step S202), the light amount (light reception amount) Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 received through the light receiving side optical fiber 14-2 is obtained (step S203). ). Then, it is checked whether or not the calculated received light amount Rpv is within a predetermined received light amount reference range (step S204).

すなわち、ＣＰＵ２４−１は、露点温度計測制御の中断後（ステップＳ２０１）、所定時間の経過を待つことによって（ステップＳ２０２）、鏡面１１−１に結露が生じていない状態を作り出し、この時の鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求め（ステップＳ２０３）、この求めた受光量Ｒｐｖが予め定められている受光量基準範囲に入っているか否かをチェックする（ステップＳ２０４）。   That is, after interrupting the dew point temperature measurement control (step S201), the CPU 24-1 waits for the elapse of a predetermined time (step S202) to create a state in which no condensation occurs on the mirror surface 11-1, and the mirror surface at this time The received light amount Rpv of the reflected light from 11-1 is obtained (step S203), and it is checked whether or not the obtained received light amount Rpv is within a predetermined received light amount reference range (step S204).

ここで、受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲に入っていれば（ステップＳ２０４のＹＥＳ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が正常であると判断し、露点温度計測制御を再開する（ステップＳ２０５）。   If the received light amount Rpv is within the received light amount reference range (YES in step S204), the CPU 24-1 determines that the state of the mirror surface 11-1 is normal, and resumes dew point temperature measurement control ( Step S205).

〔自動クリーニング制御への移行〕
これに対して、受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲から外れていれば（ステップＳ２０４のＮＯ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が異常であると判断し、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、鏡面１１−１の温度を上昇させるように第１の熱電冷却素子２へ供給する電流を制御する（ステップＳ２０６）。すなわち、露点温度計測制御を中止して、鏡面１１−１の温度を上昇させるような第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御（自動クリーニング制御）に移行する。この例では、第１の熱電冷却素子２へ供給する電流を予め定められた所定の電流値まで増大し、鏡面１１−１の温度を上昇させる。 [Transition to automatic cleaning control]
On the other hand, if the received light amount Rpv is out of the received light amount reference range (NO in step S204), the CPU 24-1 determines that the state of the mirror surface 11-1 is abnormal and adheres to the mirror surface 11-1. In order to remove the condensate that would be present, the current supplied to the first thermoelectric cooling element 2 is controlled so as to raise the temperature of the mirror surface 11-1 (step S206). That is, the dew point temperature measurement control is stopped, and the control proceeds to control of the current supplied to the first thermoelectric cooling element 2 (automatic cleaning control) so as to increase the temperature of the mirror surface 11-1. In this example, the current supplied to the first thermoelectric cooling element 2 is increased to a predetermined current value, and the temperature of the mirror surface 11-1 is increased.

そして、所定時間の経過を待って（ステップＳ２０７のＹＥＳ）、Ｎ（初期値０）をＮ＝Ｎ＋１とし（ステップＳ２０８）、Ｎ＞Ｎｍａｘではないことを確認のうえ（ステップＳ２０９のＮＯ）、ステップＳ２０３の処理へ戻る。すなわち、所定時間の経過を待つことにより、鏡面１１−１の温度をステップＳ２０６でアップした電流値に対応する値まで上昇させるものとし、その上昇させた温度で再度、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求める。   Then, after elapse of a predetermined time (YES in step S207), N (initial value 0) is set to N = N + 1 (step S208), and it is confirmed that N> Nmax is not satisfied (NO in step S209). The process returns to S203. That is, by waiting for the elapse of a predetermined time, the temperature of the mirror surface 11-1 is increased to a value corresponding to the current value increased in step S206, and the reflection from the mirror surface 11-1 is performed again at the increased temperature. The amount of received light Rpv is obtained.

この場合、鏡面１１−１に付着していた汚れが凝縮物質であって、その凝縮物質が鏡面１１−１の温度上昇によって蒸発又は昇華して除去されれば、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖは受光量基準範囲に入るものとなり（ステップＳ２０４のＹＥＳ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が正常に戻ったと判断し、露点温度計測制御を再開する（ステップＳ２０５）。   In this case, if the dirt adhering to the mirror surface 11-1 is a condensed material, and the condensed material is removed by evaporation or sublimation due to the temperature rise of the mirror surface 11-1, the reflected light from the mirror surface 11-1. The received light amount Rpv falls within the received light amount reference range (YES in step S204), and the CPU 24-1 determines that the state of the mirror surface 11-1 has returned to normal, and resumes dew point temperature measurement control (step S205). .

これに対して、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲から外れていれば（ステップＳ２０４のＮＯ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が正常に戻らなかったと判断し、第１の熱電冷却素子２へ供給する電流を所定量アップし（ステップＳ２０６）、鏡面１１−１の温度をさらに上昇させる。   On the other hand, if the received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 is out of the received light amount reference range (NO in step S204), the CPU 24-1 does not return the state of the mirror surface 11-1 to normal. The current supplied to the first thermoelectric cooling element 2 is increased by a predetermined amount (step S206), and the temperature of the mirror surface 11-1 is further increased.

そして、所定時間の経過を待って（ステップＳ２０７のＹＥＳ）、Ｎ＝Ｎ＋１とし（ステップＳ２０８）、Ｎ＞Ｎｍａｘではないことを確認のうえ（ステップＳ２０９のＮＯ）、ステップＳ２０３の処理へ戻り、その上昇させた温度で再度、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求める。   Then, after a predetermined time has elapsed (YES in step S207), N = N + 1 is set (step S208). After confirming that N> Nmax is not satisfied (NO in step S209), the process returns to step S203. The received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 is obtained again at the raised temperature.

以下同様にして、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲に入っているか否かをチェックし（ステップＳ２０４）、受光量基準範囲に入っていれば鏡面１１−１の状態が正常に戻ったと判断して（ステップＳ２０４のＹＥＳ）、露点温度計測制御を再開し（ステップＳ２０５）、受光量基準範囲から外れていれば鏡面１１−１の状態が正常に戻らなかったと判断して（ステップＳ２０４のＮＯ）、第１の熱電冷却素子２へ供給する電流を所定量アップし（ステップＳ２０６）、鏡面１１−１の温度をさらに上昇させる、という処理動作を繰り返す。   In the same manner, it is checked whether or not the received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 is within the received light amount reference range (step S204). Determining that the state has returned to normal (YES in step S204), restarting dew point temperature measurement control (step S205), and determining that the state of the mirror surface 11-1 has not returned to normal if it is outside the received light amount reference range. Then (NO in step S204), the current supplied to the first thermoelectric cooling element 2 is increased by a predetermined amount (step S206), and the processing operation of further increasing the temperature of the mirror surface 11-1 is repeated.

このようにして、この鏡面冷却式露点計２０１では、鏡面１１−１に凝縮物質が付着していた場合、その凝縮物質が鏡面１１−１の温度上昇によって速いスピードで蒸発又は昇華するものとなり、人手による鏡面の清掃が不要となり、凝縮物質を除去する装置を別途設ける必要もなくなる。また、この鏡面冷却式露点計２０１では、鏡面１１−１に付着していた汚れが凝縮物質であった場合、その凝縮物質の種類が分からなくても、鏡面１１−１の温度の上昇過程の途中でその凝縮物質が蒸発又は昇華するものとなる。したがって、事前に凝縮物質を特定しなくても、鏡面１１−１の状態を正常な状態に戻すことが可能となる。   In this way, in this mirror-cooled dew point meter 201, when the condensed material is attached to the mirror surface 11-1, the condensed material is evaporated or sublimated at a high speed due to the temperature rise of the mirror surface 11-1, There is no need to manually clean the mirror surface, and there is no need to provide a separate device for removing the condensed material. Moreover, in this mirror surface cooling-type dew point meter 201, when the stain | pollution | contamination adhering to the mirror surface 11-1 is a condensed substance, even if it does not understand the kind of the condensed substance, the process of the temperature rise of the mirror surface 11-1 The condensed substance evaporates or sublimes along the way. Therefore, it is possible to return the state of the mirror surface 11-1 to a normal state without specifying the condensed substance in advance.

なお、ステップＳ２０６〜Ｓ２０９の繰り返し処理中、Ｎ＞Ｎｍａｘとなると（ステップＳ２０９のＹＥＳ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の汚れが温度上昇では回復することができない異常であると判断し、警報を発する（ステップＳ２１０）。例えば、鏡面１１−１にゴミが付着していたり、検出系の劣化などが生じていた場合、鏡面１１−１の温度上昇では回復することができないので、警報が発せられる。この警報は露点温度出力部２４−４を介して上位装置へ送られる。   When N> Nmax is satisfied during the repeated processing of steps S206 to S209 (YES in step S209), the CPU 24-1 determines that the stain on the mirror surface 11-1 cannot be recovered by the temperature rise, and is abnormal. An alarm is issued (step S210). For example, when dust adheres to the mirror surface 11-1 or the detection system is deteriorated, the temperature cannot be recovered by the temperature rise of the mirror surface 11-1, so that an alarm is issued. This alarm is sent to the host device via the dew point temperature output unit 24-4.

なお、図６に示したフローチャートでは、露点温度計測制御を中断した後、所定時間経過後の鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求めるようにしたが、第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御を中断した後、第１の温度センサ１２からの鏡面温度ｔＰｐｖの変化をチェックし、鏡面温度ｔＰｐｖの変化が生じなくなった時の鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求めるようにしてもよい。   In the flowchart shown in FIG. 6, after the dew point temperature measurement control is interrupted, the received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 after the elapse of a predetermined time is obtained, but the first thermoelectric cooling element 2 After interrupting the control of the supply current to the light source, the change in the mirror surface temperature tPpv from the first temperature sensor 12 is checked, and the amount of reflected light received from the mirror surface 11-1 when the mirror surface temperature tPpv no longer changes Rpv may be obtained.

図７にこの場合のフローチャートを例示する。このフローチャートは図６に対応するフローチャートであり、ステップＳ２０２−１において鏡面温度ｔＰｐｖの変化をチェックし、ステップＳ２０２−２において鏡面温度ｔＰｐｖの変化が生じなくなった時点を判断する。なお、鏡面温度ｔＰｐｖの変化が生じなくなった時点は、鏡面温度ｔＰｐｖの変化する割合が所定値を下回ったタイミングとして判断する。   FIG. 7 illustrates a flowchart in this case. This flowchart corresponds to FIG. 6. In step S202-1, the change in the mirror surface temperature tPpv is checked, and in step S202-2, the time point at which the change in the mirror surface temperature tPpv no longer occurs is determined. It should be noted that the point in time at which the change in the mirror surface temperature tPpv no longer occurs is determined as the timing when the rate of change in the mirror surface temperature tPpv falls below a predetermined value.

また、図８に示すように、ステップＳ２０２−１において鏡面温度ｔＰｐｖの変化をチェックする代わりに、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖをチェックし、ステップＳ２０２−２においてその受光量Ｒｐｖの変化が生じなくなった時点を判断するようにしてもよい。なお、受光量ｐｖの変化が生じなくなった時点は、受光量Ｒｐｖの変化する割合が所定値を下回ったタイミングとして判断する。   Further, as shown in FIG. 8, instead of checking the change in the mirror surface temperature tPpv in step S202-1, the received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 is checked, and in step S202-2, the received light amount Rpv. It is also possible to determine the point in time when no change occurs. Note that when the change in the amount of received light pv no longer occurs, it is determined as the timing when the rate of change in the amount of received light Rpv falls below a predetermined value.

なお、この鏡面冷却式露点計２０１では、鏡面１１−１に生じる結露（露点）を検出するようにしているが、同様の構成によって鏡面１１−１に生じる結霜（霜点）を検出することもできる。すなわち、鏡面１１−１に生じる結霜の増減がなくなる平衡状態になるように第１の熱電冷却素子２への供給電流を制御することによって、鏡面１１−１に生じる結霜（霜点）を検出することも可能である。   In addition, in this mirror surface cooling-type dew point meter 201, the dew condensation (dew point) which arises on the mirror surface 11-1 is detected, However, The frost (frost point) which arises on the mirror surface 11-1 by the same structure is detected. You can also. That is, the frost (frost point) generated on the mirror surface 11-1 is controlled by controlling the supply current to the first thermoelectric cooling element 2 so as to achieve an equilibrium state in which the increase or decrease of the frost generated on the mirror surface 11-1 is eliminated. It is also possible to detect.

また、この鏡面冷却式露点計２０１では、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８とサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９とを別個に設けるようにしているが、露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２８とサブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９とを１つのスイッチで構成するようにしてもよい。この場合、露点計測のＯＮとサブクーラの制御のＯＮが同時に行われ、露点計測のＯＦＦとサブクーラの制御のＯＦＦが同時に行われるものとなる。   In this mirror-cooled dew point meter 201, the dew point measurement ON / OFF switch 28 and the subcooler control ON / OFF switch 29 are provided separately. However, the dew point measurement ON / OFF switch 28 and the subcooler control ON / OFF are provided. The switch 29 may be constituted by a single switch. In this case, dew point measurement is turned on and subcooler control is turned on simultaneously, and dew point measurement is turned off and subcooler control is turned off simultaneously.

また、この鏡面冷却式露点計２０１では、第１の熱電冷却素子２を１段のペルチェとしているが、２段のペルチェとするなどしてもよい。すなわち、鏡面回りのサイズや応答性に余裕があれば、多段のペルチェとサブクーラとを組み合わせた構成としても構わない。また、この鏡面冷却式露点計２０１では、第２の熱電冷却素子１８を設けるようにしているが、第２の熱電冷却素子１８は必ずしも設けなくてもよく、第１の熱電冷却素子２のみを設けた構成であっても構わない。   Further, in this mirror-cooled dew point meter 201, the first thermoelectric cooling element 2 is a one-stage Peltier, but it may be a two-stage Peltier. That is, as long as the size around the mirror surface and responsiveness are sufficient, a configuration in which a multistage Peltier and a subcooler are combined may be used. Further, in the mirror surface cooling type dew point meter 201, the second thermoelectric cooling element 18 is provided, but the second thermoelectric cooling element 18 is not necessarily provided, and only the first thermoelectric cooling element 2 is provided. You may be the structure provided.

また、この鏡面冷却式露点計２０１では、例えば図６におけるステップＳ２０６〜Ｓ２０９の処理で示されるように、鏡面１１−１の温度を徐々に上昇させるようにしているが、適切な温度（例えば、１００℃）を定めて、その温度に一気に上昇させるようにしてもよい。この場合、例えば、所定時間が経過しても鏡面１１−１正常な状態に戻らなければ、警報を発するようにする。   Further, in this mirror-cooled dew point meter 201, for example, as shown in the processing of steps S206 to S209 in FIG. 6, the temperature of the mirror surface 11-1 is gradually increased, but an appropriate temperature (for example, (100 ° C.) may be determined and the temperature may be increased at once. In this case, for example, if the mirror surface 11-1 does not return to a normal state even after a predetermined time has elapsed, an alarm is issued.

また、この鏡面冷却式露点計２０１では、自動クリーニング制御として、 鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、鏡面１１−１の温度を上昇させるように熱電冷却素子２へ供給する電流を制御するようにしたが、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、サンプリングチャンバ３１内の圧力を減圧制御するようにしてもよい。   Further, in this mirror-cooled dew point meter 201, as an automatic cleaning control, the thermoelectric cooling element 2 is used so as to raise the temperature of the mirror surface 11-1 in order to remove condensed substances that may have adhered to the mirror surface 11-1. Although the current supplied to is controlled, the pressure in the sampling chamber 31 may be controlled to be reduced in order to remove the condensed material that may have adhered to the mirror surface 11-1.

鏡面１１−１を加熱して鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるようにした場合、ヒートショックによって、ダメージを受ける。これに対し、サンプリングチャンバ３１内の圧力の減圧によって鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させると、加熱する場合のようなヒートショックがなく、ダメージを与えないようにすることが可能となる。   When the mirror surface 11-1 is heated to remove the condensed material that would have adhered to the mirror surface 11-1, it is damaged by heat shock. On the other hand, if the condensed substance that would have adhered to the mirror surface 11-1 is removed by reducing the pressure in the sampling chamber 31, there will be no heat shock as in the case of heating and damage will not occur. It becomes possible.

図９に、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、サンプリングチャンバ３１内の圧力を減圧制御する場合の図６に対応するフローチャートを示す。このフローチャートにおいて、ステップＳ３０１〜Ｓ３０４までの処理は図６のステップＳ２０１〜２０４までの処理と同じであるので、その説明を省略する。   FIG. 9 shows a flowchart corresponding to FIG. 6 in the case where the pressure in the sampling chamber 31 is controlled to be reduced in order to remove the condensate that may have adhered to the mirror surface 11-1. In this flowchart, the processing from steps S301 to S304 is the same as the processing from steps S201 to S204 in FIG.

ＣＰＵ２４−１は、受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲から外れていれば（ステップＳ３０４のＮＯ）、鏡面１１−１の状態が異常であると判断し、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、仕切り弁４０を閉とし、吸引ポンプ４１の運転を継続させることにより、サンプリングチャンバ３１内の圧力を減圧させる（ステップＳ３０６）。すなわち、吸引ポンプ４１の運転を継続させた状態で、仕切り弁４０を閉とすることにより、サンプリングチャンバ３１内の圧力を低下させて行くような減圧制御（自動クリーニング制御）に移行する。なお、仕切り弁４０の閉は、サブコントローラ２５のＣＰＵ２５−１を経由して行われる。   If the received light amount Rpv is out of the received light amount reference range (NO in step S304), the CPU 24-1 determines that the state of the mirror surface 11-1 is abnormal and adheres to the mirror surface 11-1. In order to remove the wax condensate, the gate valve 40 is closed and the operation of the suction pump 41 is continued to reduce the pressure in the sampling chamber 31 (step S306). That is, when the operation of the suction pump 41 is continued, the gate valve 40 is closed to shift to a pressure reduction control (automatic cleaning control) that lowers the pressure in the sampling chamber 31. The gate valve 40 is closed via the CPU 25-1 of the sub-controller 25.

そして、所定時間の経過を待って（ステップＳ３０７のＹＥＳ）、Ｎ（初期値０）をＮ＝Ｎ＋１とし（ステップＳ３０９）、Ｎ＞Ｎｍａｘではないことを確認のうえ（ステップＳ３０９のＮＯ）、ステップＳ３０３の処理へ戻る。すなわち、所定時間の経過を待つことにより、サンプリングチャンバ３１内の圧力を所定の値まで低下させるものとし、この圧力を低下させた状態で再度、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求める。   Then, after elapse of a predetermined time (YES in step S307), N (initial value 0) is set to N = N + 1 (step S309), and after confirming that N> Nmax is not satisfied (NO in step S309), step The process returns to S303. That is, by waiting for the elapse of a predetermined time, the pressure in the sampling chamber 31 is reduced to a predetermined value, and the received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 is again set in a state where this pressure is reduced. Ask.

この場合、鏡面１１−１に付着していた汚れが凝縮物質であって、その凝縮物質がサンプリングチャンバ３１内の圧力の低下によって蒸発又は昇華して除去されれば、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖは受光量基準範囲に入るものとなり（ステップＳ３０４のＹＥＳ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が正常に戻ったと判断し、吸引ポンプ４１の運転を継続させた状態で、仕切り弁４０を開とし、露点温度計測制御を再開する（ステップＳ３０５）。   In this case, if the dirt adhering to the mirror surface 11-1 is a condensed substance and the condensed substance is removed by evaporation or sublimation due to a decrease in the pressure in the sampling chamber 31, the reflection from the mirror surface 11-1. The light reception amount Rpv falls within the light reception amount reference range (YES in step S304), and the CPU 24-1 determines that the state of the mirror surface 11-1 has returned to normal, and continues the operation of the suction pump 41. Thus, the gate valve 40 is opened and the dew point temperature measurement control is resumed (step S305).

これに対して、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲から外れていれば（ステップＳ３０４のＮＯ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の状態が正常に戻らなかったと判断し、仕切り弁４０を閉としたままの状態で所定時間の経過を待ち（ステップＳ３０７のＹＥＳ）、サンプリングチャンバ３１内の圧力をさらに低下させる。なお、この場合のステップＳ３０７での経過時間は、１回目の経過時間よりも短いものとし、サンプリングチャンバ３１内の圧力の低下量は少ないものとする。これにより、サンプリングチャンバ３１内の圧力は、１回目は所定値ＰＬまで低下し、２回目はＰＬ−αまで低下するものとなる。   On the other hand, if the received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 is out of the received light amount reference range (NO in step S304), the CPU 24-1 does not return to the normal state of the mirror surface 11-1. The passage of a predetermined time is awaited with the gate valve 40 closed (YES in step S307), and the pressure in the sampling chamber 31 is further reduced. In this case, the elapsed time in step S307 is shorter than the first elapsed time, and the amount of decrease in the pressure in the sampling chamber 31 is small. Thereby, the pressure in the sampling chamber 31 decreases to the predetermined value PL at the first time and decreases to PL-α at the second time.

そして、ＣＰＵ２４−１は、Ｎ＝Ｎ＋１とし（ステップＳ３０８）、Ｎ＞Ｎｍａｘではないことを確認のうえ（ステップＳ３０９のＮＯ）、ステップＳ３０３の処理へ戻り、その上昇させた温度で再度、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求める。   Then, the CPU 24-1 sets N = N + 1 (step S308), confirms that N> Nmax is not satisfied (NO in step S309), returns to the process in step S303, and again at the increased temperature, the mirror surface 11 The received light amount Rpv of the reflected light from −1 is obtained.

以下同様にして、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖが受光量基準範囲に入っているか否かをチェックし（ステップＳ３０４）、受光量基準範囲に入っていれば鏡面１１−１の状態が正常に戻ったと判断して（ステップＳ３０４のＹＥＳ）、露点温度計測制御を再開し（ステップＳ３０５）、受光量基準範囲から外れていれば鏡面１１−１の状態が正常に戻らなかったと判断して（ステップＳ３０４のＮＯ）、サンプリングチャンバ３１内の圧力を所定量α低下させる（ステップＳ３０６，３０７）、という処理動作を繰り返す。   Similarly, it is checked whether or not the received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 is within the received light amount reference range (step S304). Determining that the state has returned to normal (YES in step S304), restarting dew point temperature measurement control (step S305), and determining that the state of the mirror surface 11-1 has not returned to normal if it is outside the received light amount reference range. Then (NO in step S304), the processing operation of reducing the pressure in the sampling chamber 31 by a predetermined amount α (steps S306 and 307) is repeated.

ステップＳ３０６〜Ｓ３０９の繰り返し処理中、Ｎ＞Ｎｍａｘとなると（ステップＳ３０９のＹＥＳ）、ＣＰＵ２４−１は、鏡面１１−１の汚れが減圧では回復することができない異常であると判断し、警報を発する（ステップＳ３１０）。   If N> Nmax is satisfied during the repetitive processing of steps S306 to S309 (YES in step S309), the CPU 24-1 determines that the contamination of the mirror surface 11-1 cannot be recovered by the reduced pressure, and issues an alarm. (Step S310).

図９に示したフローチャートでは、第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御を中断した後、所定時間経過後の鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求めるようにしたが、図７のフローチャートに対応する図１０のフローチャートが示すように、第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御を中断した後、第１の温度センサ１２からの鏡面温度ｔＰｐｖの変化をチェックし、鏡面温度ｔＰｐｖの変化が生じなくなった時の鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖを求めるようにしてもよい。   In the flowchart shown in FIG. 9, after interrupting the control of the current supplied to the first thermoelectric cooling element 2, the received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 after a lapse of a predetermined time is obtained. As shown in the flowchart of FIG. 10 corresponding to the flowchart of FIG. 7, after the control of the supply current to the first thermoelectric cooling element 2 is interrupted, the change in the mirror surface temperature tPpv from the first temperature sensor 12 is checked. The received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 when the mirror surface temperature tPpv no longer changes may be obtained.

また、図１１に示すように、ステップＳ３０２−１において鏡面温度ｔＰｐｖの変化をチェックする代わりに、鏡面１１−１からの反射光の受光量Ｒｐｖをチェックし、ステップＳ３０２−２においてその受光量Ｒｐｖの変化が生じなくなった時点を判断するようにしてもよい。なお、受光量ｐｖの変化が生じなくなった時点は、受光量Ｒｐｖの変化する割合が所定値を下回ったタイミングとして判断する。   As shown in FIG. 11, instead of checking the change in the mirror surface temperature tPpv in step S302-1, the received light amount Rpv of the reflected light from the mirror surface 11-1 is checked, and in step S302-2, the received light amount Rpv. It is also possible to determine the point in time when no change occurs. Note that when the change in the amount of received light pv no longer occurs, it is determined as the timing when the rate of change in the amount of received light Rpv falls below a predetermined value.

〔鏡面冷却式露点計の要部の機能ブロック図〕
図１２に上述した鏡面冷却式露点計２０１の要部の機能ブロック図を示す。同図において、図１，図２と同一符号は図１，図２を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。この鏡面冷却式露点計２０１において、コントロール部２０１Ｂは露点温度計測制御部３４と、鏡面異常状態判断部３５と、自動クリーニング制御部３６と、制御モード選択部３７とを備えている。なお、露点計測を開始するにあたって、吸引ポンプ４１が運転され、仕切り弁４０が開とされるが、この仕切り弁４０および吸引ポンプ４１に対する制御部は示していない。 [Functional block diagram of the main part of the mirror-cooled dew point meter]
FIG. 12 shows a functional block diagram of the main part of the above-described mirror-cooled dew point meter 201. In this figure, the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 denote the same or equivalent components as those described with reference to FIGS. 1 and 2, and the description thereof will be omitted. In this specular cooling type dew point meter 201, the control unit 201B includes a dew point temperature measurement control unit 34, a specular surface abnormal state determination unit 35, an automatic cleaning control unit 36, and a control mode selection unit 37. In addition, when starting dew point measurement, the suction pump 41 is operated and the gate valve 40 is opened, but a control unit for the gate valve 40 and the suction pump 41 is not shown.

コントロール部２０１Ｂにおいて、露点温度計測制御部３４は、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される鏡面１１−１からの反射光の光量に基づいて熱電冷却素子２へ供給する電流を鏡面１１−１に生じる結露もしくは結霜の増減がなくなる平衡状態になるように制御し、その平衡状態において温度センサ１２が検出する鏡面１１−１の温度ｔｘ１を取り込み、露点温度の計測値ｔｘ１として制御モード選択部３７へ送る。   In the control unit 201B, the dew point temperature measurement control unit 34 mirrors the current supplied to the thermoelectric cooling element 2 based on the amount of reflected light from the mirror surface 11-1 received through the light receiving side optical fiber 14-2. 11-1 is controlled so that there is no increase or decrease in dew condensation or frost formation, and the temperature tx1 of the mirror surface 11-1 detected by the temperature sensor 12 in the equilibrium state is taken in and controlled as a dew point temperature measurement value tx1. The data is sent to the mode selection unit 37.

コントロール部２０１Ｂにおいて、鏡面異常状態判断部３５は、受光側の光ファイバ１４−２を介して受光される鏡面１１−１からの反射光の光量に基づいて鏡面１１−１の状態の正常／異常を判断し、その判断結果を制御モード選択部３７へ送る。   In the control unit 201B, the mirror surface abnormality state determination unit 35 determines whether the state of the mirror surface 11-1 is normal or abnormal based on the amount of reflected light from the mirror surface 11-1 received through the light receiving side optical fiber 14-2. The determination result is sent to the control mode selection unit 37.

コントロール部２０１Ｂにおいて、自動クリーニング制御部３６は、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、鏡面１１−１の温度を上昇させるように熱電冷却素子２へ供給する電流を制御する。なお、この例では、温度センサ１２が検出する鏡面１１−１の温度ｔｘ１を自動クリーニング制御部３６に与えているが、この例では熱電冷却素子２へ供給する電流値をアップさせる方法をとっているので、温度センサ１２が検出する鏡面１１−１の温度ｔｘ１は必ずしも必要とはしない。   In the control unit 201B, the automatic cleaning control unit 36 supplies current to the thermoelectric cooling element 2 so as to raise the temperature of the mirror surface 11-1 so as to remove the condensed material that may have adhered to the mirror surface 11-1. To control. In this example, the temperature tx1 of the mirror surface 11-1 detected by the temperature sensor 12 is given to the automatic cleaning control unit 36. In this example, a method of increasing the current value supplied to the thermoelectric cooling element 2 is taken. Therefore, the temperature tx1 of the mirror surface 11-1 detected by the temperature sensor 12 is not necessarily required.

コントロール部２０１Ｂにおいて、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４に対して露点温度計測制御を常時実行するように指示すると共に、この露点温度計測制御を定期的に中断させて、鏡面異常状態判断部３５による鏡面１１−１の状態の正常／異常の判断を実行させ、鏡面１１−１の状態が異常であった場合、自動クリーニング制御部３６による鏡面１１−１の自動クリーニングを実行させる。この自動クリーニングによって鏡面１１−１の状態が正常に戻った場合、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を再開させる。また、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御中、露点温度計測制御部３４からの露点温度の計測値ｔｘ１を上位装置に出力する。   In the control unit 201B, the control mode selection unit 37 instructs the dew point temperature measurement control unit 34 to always execute the dew point temperature measurement control, and periodically interrupts the dew point temperature measurement control to cause a mirror surface abnormality. Whether the state of the mirror surface 11-1 is normal or abnormal is determined by the state determination unit 35, and when the state of the mirror surface 11-1 is abnormal, the automatic cleaning control unit 36 performs automatic cleaning of the mirror surface 11-1. . When the state of the mirror surface 11-1 returns to normal by this automatic cleaning, the control mode selection unit 37 restarts the dew point temperature measurement control by the dew point temperature measurement control unit 34. In addition, during the dew point temperature measurement control by the dew point temperature measurement control unit 34, the control mode selection unit 37 outputs the dew point temperature measurement value tx1 from the dew point temperature measurement control unit 34 to the host device.

図１３はこの鏡面冷却式露点計２０１における制御モードの変化を示すタイムチャートである。制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を常時実行させる。露点温度計測制御中（期間Ｔ１）、制御モード選択部３７は、この露点温度計測制御を定期的に中断させて、鏡面異常状態判断部３５による鏡面１１−１の状態の正常／異常の判断を実行させる（ｔ１，ｔ２，ｔ３点）。ここで、例えば、ｔ３点において、鏡面１１−１の状態が異常であると判断されると、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を中止させて、自動クリーニング制御部３６による自動クリーニング制御に移行させる。そして、この自動クリーニング制御への移行後、鏡面異常状態判断部３５によって鏡面１１−１の状態が正常に戻ったことが確認されると（ｔ４点）、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を再開させる。   FIG. 13 is a time chart showing changes in the control mode in this mirror-cooled dew point meter 201. The control mode selection unit 37 always executes the dew point temperature measurement control by the dew point temperature measurement control unit 34. During the dew point temperature measurement control (period T1), the control mode selection unit 37 periodically interrupts this dew point temperature measurement control, and the mirror surface abnormal state determination unit 35 determines whether the mirror surface 11-1 is normal or abnormal. Execute (t1, t2, t3 points). Here, for example, when it is determined that the state of the mirror surface 11-1 is abnormal at the point t3, the control mode selection unit 37 stops the dew point temperature measurement control by the dew point temperature measurement control unit 34, and performs automatic cleaning. The control unit 36 shifts to automatic cleaning control. Then, after the transition to the automatic cleaning control, when the mirror surface abnormal state determination unit 35 confirms that the state of the mirror surface 11-1 has returned to normal (point t4), the control mode selection unit 37 performs dew point temperature measurement. The dew point temperature measurement control by the control unit 34 is resumed.

この鏡面冷却式露点計２０１では、鏡面１１−１の状態が異常であると判断された場合、鏡面１１−１に付着しているであろう凝縮物質を除去させるべく、自動クリーニング制御が行われるので、人手による鏡面１１−１の清掃を不要とし、凝縮物質を除去する装置を別途設ける必要をなくすことができる。しかしながら、この鏡面冷却式露点計２０１単体では、自動クリーニング制御を行うために、露点温度計測制御を一度中止（停止）させて、鏡面１１−１を加熱しなければならない。このため、図１３に期間Ｔ２として示されるように、露点温度を計測することができない期間が生じる。   In this mirror-cooled dew point meter 201, when it is determined that the state of the mirror surface 11-1 is abnormal, automatic cleaning control is performed in order to remove condensed substances that may have adhered to the mirror surface 11-1. Therefore, it is not necessary to manually clean the mirror surface 11-1, and it is possible to eliminate the need to separately provide a device for removing condensed substances. However, this mirror-cooled dew point meter 201 alone must stop (stop) the dew point temperature measurement control and heat the mirror surface 11-1 in order to perform automatic cleaning control. For this reason, as shown as period T2 in FIG. 13, a period during which the dew point temperature cannot be measured occurs.

〔露点温度計測システム〕
そこで、本実施の形態の露点温度計測システムでは、鏡面冷却式露点計（露点計１）と、この鏡面冷却式露点計とは異なる方式で露点温度を計測する非鏡面冷却式露点計（露点計２）とを設け、鏡面冷却式露点計は、その露点温度計測値が常に有効な露点温度計測値（被測定気体の正式な露点温度計測値）として用いられる主要センサとし、非鏡面冷却式露点計は、主要センサが自動クリーニング制御中である時にその露点温度計測値が有効な露点温度計測値（被測定気体の正式な露点温度計測値）として用いられる補助センサとするようにする。これにより、通常は主要センサ（鏡面冷却式露点計）により高精度な露点温度計測が行われ、主要センサの鏡面が汚れるなどして計測精度が落ちたような場合には、補助センサ（非鏡面冷却式露点計）により露点温度計測が行われ、途切れることなく連続して露点温度計測が行われるものとなる。すなわち、露点温度を計測することができない期間Ｔ２が生じないようになる。 [Dew point temperature measurement system]
Therefore, in the dew point temperature measurement system of the present embodiment, a specular cooling type dew point meter (dew point meter 1) and a non-specular cooling type dew point meter (dew point meter) that measures the dew point temperature by a method different from this specular cooling type dew point meter. 2), and the mirror-cooled dew point meter is the main sensor that is used as the dew point temperature measurement value (official dew point temperature measurement value of the gas to be measured) whose dew point temperature measurement value is always valid. The meter is an auxiliary sensor that is used as an effective dew point temperature measurement value (formal dew point temperature measurement value of the gas to be measured) when the main sensor is in automatic cleaning control. As a result, the main sensor (mirror-cooled dew point meter) usually performs highly accurate dew point temperature measurement, and the auxiliary sensor (non-specular surface) is used when the measurement accuracy drops due to the mirror surface of the main sensor becoming dirty. The dew point temperature is measured by a cooling type dew point meter, and the dew point temperature is continuously measured without interruption. That is, the period T2 during which the dew point temperature cannot be measured does not occur.

〔実施の形態１〕
図１４に本発明に係る露点温度計測システムの第１の実施の形態（実施の形態１）の要部の機能ブロック図を示す。この露点温度計測システムでは、鏡面冷却式露点計２０１とは別に、鏡面冷却式露点計（露点計１）２０１とは異なる方式で露点温度を計測する非鏡面冷却式露点計（露点計２）２０２を設けている。 [Embodiment 1]
FIG. 14 is a functional block diagram of the main part of the first embodiment (Embodiment 1) of the dew point temperature measurement system according to the present invention. In this dew point temperature measurement system, a non-mirror surface cooling type dew point meter (dew point meter 2) 202 that measures the dew point temperature by a method different from the mirror surface cooling type dew point meter (dew point meter 1) 201 apart from the mirror surface cooling type dew point meter 201. Is provided.

鏡面冷却式露点計２０１において、コントロール部２０１Ｂは露点温度計測制御部３４と、鏡面異常状態判断部３５と、自動クリーニング制御部３６と、制御モード選択部３７とを備えている。   In the specular cooling type dew point meter 201, the control unit 201B includes a dew point temperature measurement control unit 34, a specular surface abnormal state determination unit 35, an automatic cleaning control unit 36, and a control mode selection unit 37.

非鏡面冷却式露点計２０２は、感湿素子２０２Ａと、検出信号生成部２０２Ｂと、露点温度変換部２０２Ｃとを備えており、検出信号生成部２０２Ｂは感湿素子２０２Ａが検出する湿度に応じた信号を検出信号として生成し、露点温度変換部２０２Ｃは検出信号生成部２０２Ｂが生成する湿度に応じた信号を露点温度に変換する。   The non-specular cooling dew point meter 202 includes a moisture sensitive element 202A, a detection signal generation unit 202B, and a dew point temperature conversion unit 202C. The detection signal generation unit 202B corresponds to the humidity detected by the humidity sensitive element 202A. A signal is generated as a detection signal, and the dew point temperature conversion unit 202C converts a signal corresponding to the humidity generated by the detection signal generation unit 202B into a dew point temperature.

なお、鏡面冷却式露点計２０１に対しては仕切り弁４０−１と吸引ポンプ４１−１とが設けられ、非鏡面冷却式露点計２０２に対しては仕切り弁４０−２と吸引ポンプ４１−２とが設けられている。これら仕切り弁４０−１，４０−２および吸引ポンプ４１−１，４１−２に対する制御部は示していないが、露点温度計測を開始するにあたって、吸引ポンプ４１−１，４１−２が運転され、仕切り弁４０−１，４０−２が開とされることにより、鏡面冷却式露点計２０１のサンプリングチャンバ３１および非鏡面冷却式露点計２０２の感湿素子２０２Ａへ被測定気体が分岐して供給される。すなわち、本実施の形態では、鏡面冷却式露点計２０１と非鏡面冷却式露点計２０２とを並列に設置し、供給源を同一とする被測定気体をサンプリングチャンバ３１および感湿素子２０２Ａに同時に送るようにしている。   A gate valve 40-1 and a suction pump 41-1 are provided for the mirror-cooled dew point meter 201, and a gate valve 40-2 and a suction pump 41-2 are provided for the non-mirror surface-cooled dew point meter 202. And are provided. Although control units for these gate valves 40-1, 40-2 and suction pumps 41-1, 41-2 are not shown, the suction pumps 41-1, 41-2 are operated when starting dew point temperature measurement, When the gate valves 40-1 and 40-2 are opened, the gas to be measured is branched and supplied to the sampling chamber 31 of the specular cooling dew point meter 201 and the humidity sensing element 202A of the non-specular cooling dew point meter 202. The That is, in the present embodiment, the specular cooling type dew point meter 201 and the non-specular cooling type dew point meter 202 are installed in parallel, and the gas to be measured having the same supply source is simultaneously sent to the sampling chamber 31 and the humidity sensing element 202A. I am doing so.

また、この露点温度計測システムにおいて、鏡面冷却式露点計２０１および非鏡面冷却式露点計２０２に対しては、統括コントローラ３００が設けられている。統括コントローラ３００は、露点計制御モード指定部３０１と、露点温度計測値選択部３０２と、露点計現在制御モード認識部３０３と、鏡面状態判断結果認識部３０４とを備えている。   In this dew point temperature measurement system, an overall controller 300 is provided for the specular cooling type dew point meter 201 and the non-specular cooling type dew point meter 202. The overall controller 300 includes a dew point meter control mode specifying unit 301, a dew point temperature measurement value selecting unit 302, a dew point meter current control mode recognizing unit 303, and a specular state determination result recognizing unit 304.

鏡面冷却式露点計２０１において、制御モード選択部３７は、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの制御モードの指定（信号Ｄ１）を受け、鏡面冷却式露点計２０１における現在の制御モードを露点温度計測制御モードとするか、自動クリーニング制御モードとするかを選択する。また、制御モード選択部３７は、現在選択している制御モード（信号Ｂ１）を統括コントローラ３００の露点計現在制御モード認識部３０３に送る。また、制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４からの露点温度の計測値ｔｘ１（信号Ａ１）を統括コントローラ３００の露点温度計測値選択部３０２に送る。また、鏡面冷却式露点計２０１において、鏡面状態判断部３５は、鏡面１１−１の状態の正常／異常の判断結果（信号Ｃ１）を自己の制御モード選択部３７ではなく、統括コントローラ３００の鏡面状態判断結果認識部３０４へ送る。   In the specular cooling type dew point meter 201, the control mode selection unit 37 receives the control mode specification (signal D 1) from the dew point meter control mode specifying unit 301 of the overall controller 300, and the current control mode in the specular cooling type dew point meter 201. Is set to the dew point temperature measurement control mode or the automatic cleaning control mode. The control mode selection unit 37 sends the currently selected control mode (signal B1) to the dew point meter current control mode recognition unit 303 of the overall controller 300. Further, the control mode selection unit 37 sends the dew point temperature measurement value tx1 (signal A1) from the dew point temperature measurement control unit 34 to the dew point temperature measurement value selection unit 302 of the overall controller 300. In the mirror-cooled dew point meter 201, the mirror surface state determination unit 35 uses the mirror surface of the overall controller 300 instead of its own control mode selection unit 37 to determine whether the mirror surface 11-1 is normal or abnormal (signal C1). It is sent to the state judgment result recognition unit 304.

非鏡面冷却式露点計２０２において、感湿素子２０２Ａは、鏡面冷却式露点計２０１へ分岐して与えられる被測定気体の露点温度を検出し、検出信号生成部２０２Ｂは、感湿素子２０２Ａが検出する露点温度に応じた信号を検出信号として生成する。この検出信号生成部２０２Ｂが生成した検出信号は非鏡面冷却式露点計２０２が計測する被測定気体の露点温度計測値ｔｘ２（信号Ａ２）として統括コントローラ３００の露点温度計測値選択部３０２へ送られる。   In the non-specular cooling dew point meter 202, the humidity sensing element 202A detects the dew point temperature of the gas to be measured that is branched to the mirror cooling type dew point meter 201, and the detection signal generating unit 202B is detected by the humidity sensing element 202A. A signal corresponding to the dew point temperature to be generated is generated as a detection signal. The detection signal generated by the detection signal generation unit 202B is sent to the dew point temperature measurement value selection unit 302 of the overall controller 300 as the dew point temperature measurement value tx2 (signal A2) of the measurement target gas measured by the non-specular cooling dew point meter 202. .

統括コントローラ３００の露点計現在制御モード認識部３０３は、鏡面冷却式露点計２０１から送られてくる現在選択している制御モード（信号Ｂ１）を認識し、その認識結果を露点計制御モード指定部３０１へ送ると共に、上位装置へ通知する。   The dew point meter current control mode recognition unit 303 of the overall controller 300 recognizes the currently selected control mode (signal B1) sent from the mirror-cooled dew point meter 201 and uses the recognition result as a dew point meter control mode designation unit. The information is sent to 301 and notified to the host device.

統括コントローラ３００の鏡面状態判断結果認識部３０４は、鏡面冷却式露点計２０１から送られてくる鏡面状態の判断結果（信号Ｃ１）を認識し、その認識結果を露点計制御モード指定部３０１へ送ると共に、上位装置へ通知する。   The specular state determination result recognition unit 304 of the overall controller 300 recognizes the specular state determination result (signal C 1) sent from the specular cooling type dew point meter 201 and sends the recognition result to the dew point meter control mode designation unit 301. At the same time, it notifies the host device.

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、露点計現在制御モード認識部３０３からの鏡面冷却式露点計２０１において現在選択されている制御モードの認識結果（Ｂ１）と、鏡面状態判断結果認識部３０４からの鏡面冷却式露点計２０１における鏡面状態の正常／異常の認識結果（Ｃ１）とから、鏡面冷却式露点計２０１に対して指定する制御モード（Ｄ１）を決定すると共に、現在の有効なセンサ（計測された露点温度を有効な露点温度計測値として選択すべきセンサ（鏡面冷却式露点計２０１／非鏡面冷却式露点計２０２）を露点温度計測値選択部３０２へ通知する（信号Ｅ）。   The dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 recognizes the recognition result (B1) of the control mode currently selected in the specular cooling type dew point meter 201 from the dew point meter current control mode recognition unit 303 and recognizes the specular state determination result. The control mode (D1) designated for the specular cooling type dew point meter 201 is determined from the recognition result (C1) of normal / abnormality of the specular state in the specular cooling type dew point meter 201 from the unit 304, and the current effective A sensor (mirror cooling type dew point meter 201 / non-specular cooling type dew point meter 202) to be selected as an effective dew point temperature measurement value is notified to the dew point temperature measurement value selection unit 302 (signal E). ).

統括コントローラ３００の露点温度計測値選択部３０２は、鏡面冷却式露点計２０１からの露点温度計測値（第１の露点温度計測値）ｔｘ１と、非鏡面冷却式露点計２０２からの露点温度計測値（第２の露点温度計測値）ｔｘ２とを入力とし、露点計制御モード指定部３０１から通知される有効なセンサからの露点温度計測値を有効な露点温度計測値として選択し、その選択した露点温度計測値を被測定気体の正式な露点温度計測値（露点温度計測システムの計測露点温度）として上位装置に通知する（信号Ｆ）。   The dew point temperature measurement value selection unit 302 of the overall controller 300 includes a dew point temperature measurement value (first dew point temperature measurement value) tx1 from the specular cooling dew point meter 201 and a dew point temperature measurement value from the non-specular cooling dew point meter 202. (Second dew point temperature measurement value) tx2 is input, and a dew point temperature measurement value from an effective sensor notified from the dew point meter control mode specifying unit 301 is selected as an effective dew point temperature measurement value, and the selected dew point is selected. The temperature measurement value is notified to the host device as the official dew point temperature measurement value of the gas to be measured (measured dew point temperature of the dew point temperature measurement system) (signal F).

なお、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、鏡面冷却式露点計２０１を、その露点温度計測値を常に有効な計測値として用いる主要センサとし、非鏡面冷却式露点計２０２を、主要センサが自動クリーニング制御中である時にその露点温度計測値を有効な計測値として用いる補助センサとし、鏡面冷却式露点計２０１に対して制御モードとして露点温度計測制御モードを指定している場合には、露点温度計測値選択部３０２に対して鏡面冷却式露点計２０１を有効なセンサとして通知し、鏡面冷却式露点計２０１に対して制御モードとして自動クリーニング制御モードを指定している場合には、露点温度計測値選択部３０２に対して非鏡面冷却式露点計２０２を有効なセンサとして通知する。但し、特別な条件として、露点計制御モード指定部３０１は、自動クリーニング制御モードから露点温度計測制御モードへの移行時、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１の間は、露点温度計測値選択部３０２に対して非鏡面冷却式露点計２０２を有効なセンサとして通知する。   The dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 uses the mirror-cooled dew point meter 201 as a main sensor that always uses the measured dew point temperature as an effective measured value, and the non-mirror-cooled dew point meter 202 as the main sensor. When the sensor is in automatic cleaning control, the dew point temperature measurement value is used as an effective sensor, and the dew point temperature measurement control mode is specified as the control mode for the mirror-cooled dew point meter 201. The dew point temperature measurement value selection unit 302 is notified of the specular cooling dew point meter 201 as an effective sensor, and when the automatic cleaning control mode is designated as the control mode for the specular cooling dew point meter 201, The dew point temperature measurement value selection unit 302 is notified of the non-specular cooling dew point meter 202 as an effective sensor. However, as a special condition, the dew point control mode designating unit 301 measures the dew point temperature during a predetermined time T1 until the dew point temperature measurement control is stabilized when shifting from the automatic cleaning control mode to the dew point temperature measurement control mode. The value selection unit 302 is notified of the non-specular cooling dew point meter 202 as an effective sensor.

〔運用〕
図１５（ａ）および（ｂ）はこの実施の形態１の露点温度計測システムの運用中の鏡面冷却式露点計２０１における制御モードの変化および非鏡面冷却式露点計２０２の計測状態を示すタイムチャートである。 [Operation]
FIGS. 15A and 15B are time charts showing the control mode change in the specular cooling type dew point meter 201 and the measurement state of the non-specular cooling type dew point meter 202 during operation of the dew point temperature measurement system of the first embodiment. It is.

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、最初に、鏡面冷却式露点計２０１を主要センサとし、非鏡面冷却式露点計２０２を補助センサとし、露点温度計測値選択部３０２に対して鏡面冷却式露点計２０１を有効なセンサとして通知する。すなわち、鏡面冷却式露点計２０１は、その計測方式から非鏡面冷却式露点計２０２よりも高精度に露点計測を行うことが可能であり、この高精度に露点計測を行うことが可能な鏡面冷却式露点計２０１を有効なセンサとして通知する。以下、主要センサとする鏡面冷却式露点計２０１をメインセンサと呼び、補助センサとする非鏡面冷却式露点計２０２をサブセンサと呼ぶ。   The dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 first uses the mirror-cooled dew point meter 201 as a main sensor and the non-mirror-cooled dew point meter 202 as an auxiliary sensor. The cooling type dew point meter 201 is notified as an effective sensor. That is, the specular cooling type dew point meter 201 can perform dew point measurement with higher accuracy than the non-specular cooling type dew point meter 202 from the measurement method, and the specular cooling that can perform dew point measurement with high accuracy. The dew point meter 201 is notified as an effective sensor. Hereinafter, the mirror-cooled dew point meter 201 serving as a main sensor is referred to as a main sensor, and the non-mirror-cooled dew point meter 202 serving as an auxiliary sensor is referred to as a sub sensor.

メインセンサ２０１の制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を常時実行させ、サブセンサ２０２は計測中の状態を常時続ける。   The control mode selection unit 37 of the main sensor 201 always executes the dew point temperature measurement control by the dew point temperature measurement control unit 34, and the sub sensor 202 always keeps the measurement state.

図１６に実施の形態１の露点温度計測システムにおけるメインセンサ２０１の制御フローチャートを示し、図１７に統括コントローラ３００の制御フローチャートを示す。   FIG. 16 shows a control flowchart of the main sensor 201 in the dew point temperature measurement system of the first embodiment, and FIG. 17 shows a control flowchart of the overall controller 300.

メインセンサ２０１の制御モード選択部３７は、露点温度計測制御中、この露点温度計測制御を定期的に中断させて、鏡面異常状態判断部３５による鏡面１１−１の状態の正常／異常の判断を実行させる（ｔ１，ｔ２，ｔ３点）。すなわち、制御モード選択部３７は、現在の自己の制御モードを確認し（図１６：ステップＳ４０１）、現在の自己の制御モードが露点温度計測制御であるので（ステップＳ４０２のＹＥＳ）、鏡面状態の確認タイミングか否かをチェックし（ステップＳ４０３）、鏡面状態の確認タイミングであれば（ステップＳ４０３のＹＥＳ）、露点温度計測制御を中断させて、鏡面１１−１の状態（正常／異常）を確認させる（ステップＳ４０４）。   The control mode selection unit 37 of the main sensor 201 periodically interrupts the dew point temperature measurement control during the dew point temperature measurement control, and determines whether the mirror surface abnormality state determination unit 35 determines the normal / abnormal state of the mirror surface 11-1. Execute (t1, t2, t3 points). That is, the control mode selection unit 37 confirms the current self control mode (FIG. 16: step S401), and since the current self control mode is dew point temperature measurement control (YES in step S402), the mirror surface state is determined. It is checked whether or not it is the confirmation timing (step S403), and if it is the mirror surface state confirmation timing (YES in step S403), the dew point temperature measurement control is interrupted and the state (normal / abnormal) of the mirror surface 11-1 is confirmed. (Step S404).

メインセンサ２０１の鏡面異常状態判断部３５は、鏡面１１−１の状態が正常であることを確認すると（ステップＳ４０５のＹＥＳ）、その旨を統括コントローラ３００に通知し（ステップＳ４０７）、 鏡面１１−１の状態が異常であることを確認すると（ステップＳ４０５のＮＯ）、その旨を統括コントローラ３００に通知する（ステップＳ４０６）。また、この露点温度計測制御中、鏡面状態の確認タイミングにない場合（ステップＳ４０３のＮＯ）、メインセンサ２０１の制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４からの露点温度計測値ｔｘ１を統括コントローラ３００に通知する（ステップＳ４０８）。   When the mirror surface abnormal state determination unit 35 of the main sensor 201 confirms that the state of the mirror surface 11-1 is normal (YES in step S405), the mirror controller 11- notifies the general controller 300 to that effect (step S407). If it is confirmed that the state 1 is abnormal (NO in step S405), the control unit 300 is notified of this (step S406). In addition, during the dew point temperature measurement control, when the mirror surface state confirmation timing is not reached (NO in step S403), the control mode selection unit 37 of the main sensor 201 supervises the dew point temperature measurement value tx1 from the dew point temperature measurement control unit 34. The controller 300 is notified (step S408).

一方、サブセンサ２０２は、メインセンサ２０１へ分岐して与えられる被測定気体の露点温度の検出を続け、その露点温度計測値ｔｘ２を統括コントローラ３００の露点温度計測値選択部３０２へ送り続ける。   On the other hand, the sub sensor 202 continues to detect the dew point temperature of the gas to be measured that is branched to the main sensor 201 and continues to send the dew point temperature measurement value tx2 to the dew point temperature measurement value selection unit 302 of the overall controller 300.

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、露点計現在制御モード認識部３０３からの認識結果から、メインセンサ２０１の現在の制御モードを確認する（図１７：ステップＳ５０１）。この場合、メインセンサ２０１の現在の制御モードは露点温度計測制御モードであるので（ステップＳ５０２のＹＥＳ）、鏡面状態判断結果認識部３０４からの認識結果から、メインセンサ２０１の鏡面１１−１の状態を確認する（ステップＳ５０３）。   The dew point meter control mode designation unit 301 of the overall controller 300 confirms the current control mode of the main sensor 201 from the recognition result from the dew point meter current control mode recognition unit 303 (FIG. 17: step S501). In this case, since the current control mode of the main sensor 201 is the dew point temperature measurement control mode (YES in step S502), the state of the mirror surface 11-1 of the main sensor 201 is determined based on the recognition result from the mirror surface state determination result recognition unit 304. Is confirmed (step S503).

〔メインセンサの鏡面の状態が正常である場合〕
今、図１５（ａ）に示すｔ１点，ｔ２点にあって、メインセンサ２０１から鏡面１１−１の状態が正常である旨の判断結果が送られてくれば（ステップＳ５０４のＹＥＳ）、露点計制御モード指定部３０１は、露点温度計測値選択部３０２に対してメインセンサ２０１を有効なセンサとして通知する。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、メインセンサ２０１からの露点温度計測値ｔｘ１を有効な露点温度計測値として選択し、この選択した露点温度計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度（通常時の正式な露点温度計測値）として上位装置に通知し続ける（ステップＳ５０５）。 [When the state of the mirror surface of the main sensor is normal]
Now, at the points t1 and t2 shown in FIG. 15A, if the main sensor 201 sends a determination result indicating that the state of the mirror surface 11-1 is normal (YES in step S504), the dew point is reached. The meter control mode designation unit 301 notifies the dew point temperature measurement value selection unit 302 of the main sensor 201 as an effective sensor. Accordingly, the dew point temperature measurement value selection unit 302 selects the dew point temperature measurement value tx1 from the main sensor 201 as an effective dew point temperature measurement value, and the selected dew point temperature measurement value tx1 is the measured dew point temperature measurement system. It is continuously notified to the host device as (official dew point temperature measurement value at normal time) (step S505).

〔メインセンサの鏡面の状態が異常である場合〕
今、図１５（ａ）に示すｔ３点にあって、メインセンサ２０１から鏡面１１−１の状態が異常である旨の判断結果が送られてくれば（ステップＳ５０４のＮＯ）、露点計制御モード指定部３０１は、メインセンサ２０１に対して制御モードを自動クリーニング制御モードに移行するように切換指令を送る（ステップＳ５０６）。 [When the mirror surface of the main sensor is abnormal]
If the determination result that the state of the mirror surface 11-1 is abnormal is sent from the main sensor 201 at the point t3 shown in FIG. 15A (NO in step S504), the dew point meter control mode The designation unit 301 sends a switching command to the main sensor 201 so as to shift the control mode to the automatic cleaning control mode (step S506).

メインセンサ２０１の制御モード選択部３７は、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの自動クリーニング制御モードへの切換指令を受けて、制御モードをそれまでの露点温度計測制御モードから自動クリーニング制御モードに切り換える（図１５（ａ）に示すｔ３点）。すなわち、それまでの露点温度計測制御を中止させて、自動クリーニング制御に移行させる。   The control mode selection unit 37 of the main sensor 201 receives the switching command to the automatic cleaning control mode from the dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 and automatically cleans the control mode from the previous dew point temperature measurement control mode. Switch to the control mode (point t3 shown in FIG. 15A). In other words, the dew point temperature measurement control up to that point is stopped, and the process shifts to automatic cleaning control.

露点計制御モード指定部３０１は、メインセンサ２０１の制御モードを自動クリーニング制御モードに切り換えた後、露点温度計測値選択部３０２に対してサブセンサ２０２を有効なセンサとして通知する。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、サブセンサ２０２からの露点温度計測値ｔｘ２を有効な露点温度計測値として選択し、この選択した露点温度計測値ｔｘ２を露点温度計測システムの計測露点温度（異常時の正式な露点温度計測値）として上位装置に通知し始める（ステップＳ５０７）。 The dew point meter control mode designation unit 301 switches the control mode of the main sensor 201 to the automatic cleaning control mode, and then notifies the dew point temperature measurement value selection unit 302 of the sub sensor 202 as an effective sensor. Thereby, the dew point temperature measurement value selection unit 302 selects the dew point temperature measurement value tx2 from the sub sensor 202 as an effective dew point temperature measurement value, and uses the selected dew point temperature measurement value tx2 as a measured dew point temperature ( It starts to notify the host device as an official dew point temperature measurement value at the time of abnormality (step S507).

メインセンサ２０１の制御モード選択部３７は、自動クリーニング制御として、定期的に鏡面１１−１の自動クリーニングを実行させると共に、鏡面異常状態判断部３５によってそのクリーニング後の鏡面１１−１の状態の正常／異常の判断を行わせる。鏡面異常状態判断部３５は、その正常／異常の判断結果を統括コントローラ３００に通知する（ステップＳ４０９）。   The control mode selection unit 37 of the main sensor 201 periodically performs automatic cleaning of the mirror surface 11-1 as automatic cleaning control, and the mirror surface abnormal state determination unit 35 normalizes the state of the mirror surface 11-1 after the cleaning. / Make judgment of abnormality. The mirror surface abnormal state determination unit 35 notifies the overall controller 300 of the normal / abnormal determination result (step S409).

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、露点計現在制御モード認識部３０３からの認識結果から、メインセンサ２０１の現在の制御モードを確認する（ステップＳ５０１）。この場合、メインセンサ２０１の現在の制御モードが自動クリーニング制御モードであるので（ステップＳ５０２のＮＯ）、露点計制御モード指定部３０１は、露点温度計測値選択部３０２に対してサブセンサ２０２を有効なセンサとして通知する。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、サブセンサ２０２からの露点温度計測値ｔｘ２を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知する（ステップＳ５０８）。   The dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 confirms the current control mode of the main sensor 201 from the recognition result from the dew point meter current control mode recognition unit 303 (step S501). In this case, since the current control mode of the main sensor 201 is the automatic cleaning control mode (NO in step S502), the dew point meter control mode designating unit 301 enables the sub sensor 202 to the dew point temperature measurement value selecting unit 302. Notify as a sensor. Thereby, the dew point temperature measurement value selection unit 302 notifies the higher-level device of the dew point temperature measurement value tx2 from the sub sensor 202 as the measured dew point temperature of the dew point temperature measurement system (step S508).

このメインセンサ２０１の自動クリーニング制御中、露点計制御モード指定部３０１は、鏡面状態判断結果認識部３０４からの認識結果から、メインセンサ２０１の鏡面１１−１の状態を確認しながら（ステップＳ５０９，５１０）、露点温度計測値選択部３０２に対してサブセンサ２０２を有効なセンサとして通知し続ける（ステップＳ５０８）。   During the automatic cleaning control of the main sensor 201, the dew point meter control mode designation unit 301 confirms the state of the mirror surface 11-1 of the main sensor 201 from the recognition result from the mirror surface state determination result recognition unit 304 (step S509, 510), the dew point temperature measurement value selection unit 302 is continuously notified of the sub sensor 202 as a valid sensor (step S508).

〔メインセンサの鏡面の状態が正常に戻った場合〕
今、図１５（ａ）に示すｔ４点にあって、メインセンサ２０１から鏡面１１−１の状態が正常となった旨の判断結果が送られてくれば（ステップＳ５１０のＹＥＳ）、露点計制御モード指定部３０１は、メインセンサ２０１に対して制御モードを露点温度計測制御モードに移行するように切換指令を送る（ステップＳ５１１）。 [When the mirror status of the main sensor returns to normal]
If the determination result that the state of the mirror surface 11-1 is normal is sent from the main sensor 201 at the point t4 shown in FIG. 15 (a) (YES in step S510), the dew point meter control is performed. The mode designation unit 301 sends a switching command to the main sensor 201 so as to shift the control mode to the dew point temperature measurement control mode (step S511).

メインセンサ２０１の制御モード選択部３７は、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの露点温度計測制御モードへの切換指令を受けて、制御モードをそれまでの自動クリーニング制御モードから露点温度計測制御モードに切り換える（図１５（ａ）に示すｔ４点）。すなわち、それまでの自動クリーニング制御を中止させて、露点温度計測制御に復帰させる。   The control mode selection unit 37 of the main sensor 201 receives a switching command to the dew point temperature measurement control mode from the dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300, and changes the control mode from the automatic cleaning control mode so far to the dew point temperature. Switch to the measurement control mode (point t4 shown in FIG. 15A). That is, the automatic cleaning control so far is stopped and the dew point temperature measurement control is restored.

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、メインセンサ２０１の制御モードを自動クリーニング制御モードから露点温度計測制御モードに切り換えた後、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１が経過するまで（ステップＳ５１２のＹＥＳ）、露点温度計測値選択部３０２に対してサブセンサ２０２を有効なセンサとして通知し続ける。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、メインセンサ２０１の自動クリーニング制御の終了後も、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１が経過するまでの間、サブセンサ２０２からの露点温度計測値ｔｘ２を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し続ける（ステップＳ５１３）。   The dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 switches the control mode of the main sensor 201 from the automatic cleaning control mode to the dew point temperature measurement control mode, and then a predetermined time T1 elapses until the dew point temperature measurement control is stabilized. Until (YES in step S512), the dew point temperature measurement value selection unit 302 continues to be notified of the sub sensor 202 as an effective sensor. Thereby, the dew point temperature measurement value selection unit 302 measures the dew point temperature from the sub sensor 202 until the predetermined time T1 until the dew point temperature measurement control is stabilized even after the automatic cleaning control of the main sensor 201 is completed. The value tx2 is continuously notified to the host device as the measured dew point temperature of the dew point temperature measurement system (step S513).

露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１が経過すると（ステップＳ５１２のＹＥＳ）、露点計制御モード指定部３０１は、露点計現在制御モード認識部３０３からの認識結果から、メインセンサ２０１の現在の制御モードを確認する（ステップＳ５０１）。この場合、メインセンサ２０１の現在の制御モードが露点計測制御モードに戻されており（ステップＳ５０２のＹＥＳ）、鏡面１１−１の状態も正常であることから（ステップＳ５０４のＹＥＳ）、露点計制御モード指定部３０１は、露点温度計測値選択部３０２に対してメインセンサ２０１を有効なセンサとして通知する。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、メインセンサ２０１からの露点温度計測値ｔｘ１を有効な露点温度計測値として選択し、その選択した露点温度計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し始める（ステップＳ５０５）。   When a predetermined time T1 has elapsed until the dew point temperature measurement control is stabilized (YES in step S512), the dew point meter control mode designating unit 301 determines the current state of the main sensor 201 from the recognition result from the dew point meter current control mode recognition unit 303. The control mode is confirmed (step S501). In this case, since the current control mode of the main sensor 201 has been returned to the dew point measurement control mode (YES in step S502) and the state of the mirror surface 11-1 is also normal (YES in step S504), dew point meter control is performed. The mode designating unit 301 notifies the dew point temperature measurement value selecting unit 302 of the main sensor 201 as an effective sensor. Thus, the dew point temperature measurement value selection unit 302 selects the dew point temperature measurement value tx1 from the main sensor 201 as an effective dew point temperature measurement value, and the selected dew point temperature measurement value tx1 is the measured dew point temperature measurement system. And start to notify the host device (step S505).

このようにして、この実施の形態１では、通常はメインセンサ２０１により高精度な露点温度計測が行われ、メインセンサ２０１の鏡面１１−１の状態が異常であると判断されると、すなわちメインセンサ２０１による露点温度計測値ｔｘ１の信頼性が否定されると、メインセンサ２０１とは異なる方式で露点温度を計測するサブセンサ２０２による露点温度計測が行われ、途切れることなく連続して露点温度計測が行われるものとなる。   As described above, in the first embodiment, when the main sensor 201 normally performs highly accurate dew point temperature measurement and it is determined that the state of the mirror surface 11-1 of the main sensor 201 is abnormal, When the reliability of the dew point temperature measurement value tx1 by the sensor 201 is denied, the dew point temperature measurement is performed by the sub sensor 202 that measures the dew point temperature by a method different from that of the main sensor 201, and the dew point temperature measurement is continuously performed without interruption. Will be done.

また、この実施の形態１では、自動クリーニング制御の終了後、メインセンサ２０１が露点温度計測制御に復帰し（ステップＳ５１１）、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１が経過して（ステップＳ５１２のＹＥＳ）、鏡面状態判断結果認識部３０４において鏡面１１−１の状態が正常に戻されたことが確認されると（ステップＳ５０４のＹＥＳ）、すなわちメインセンサ２０１による露点温度計測値ｔｘ１の信頼性が肯定されると、メインセンサ２０１からの露点温度計測値ｔｘ１が有効な露点温度計測値として用いられ、メインセンサ２０１による高精度の露点温度計測が続けられる。   In the first embodiment, after the automatic cleaning control is completed, the main sensor 201 returns to the dew point temperature measurement control (step S511), and a predetermined time T1 has elapsed until the dew point temperature measurement control is stabilized (step S511). When the mirror surface state determination result recognition unit 304 confirms that the state of the mirror surface 11-1 has returned to normal (YES in step S504), that is, the reliability of the dew point temperature measurement value tx1 by the main sensor 201. If the determination is positive, the dew point temperature measurement value tx1 from the main sensor 201 is used as an effective dew point temperature measurement value, and high-precision dew point temperature measurement by the main sensor 201 is continued.

すなわち、メインセンサ２０１において自動クリーニング制御が行われている間、および自動クリーニング制御から露点温度計測制御への移行後露点温度計測制御が安定するまでの間は、サブセンサ２０２による露点温度計測が行われ、その他の期間はメインセンサ２０１による高精度の露点温度計測が行われ、全体として常に高精度の露点温度計測が続けられるものとなる。   That is, while the automatic cleaning control is performed in the main sensor 201 and until the dew point temperature measurement control after the transition from the automatic cleaning control to the dew point temperature measurement control is stabilized, the dew point temperature measurement by the sub sensor 202 is performed. In other periods, the dew point temperature measurement with high accuracy is performed by the main sensor 201, and the dew point temperature measurement with high accuracy is always continued as a whole.

〔実施の形態２〕
図１８に本発明に係る露点温度計測システムの第２の実施の形態（実施の形態２）の要部の機能ブロック図を示す。同図において、図１４と同一符号は図１４を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。 [Embodiment 2]
FIG. 18 shows a functional block diagram of the main part of the second embodiment (Embodiment 2) of the dew point temperature measurement system according to the present invention. In this figure, the same reference numerals as those in FIG. 14 denote the same or equivalent components as those described with reference to FIG.

この実施の形態２の実施の形態１と異なる点は、鏡面冷却式露点計２０１から鏡面状態判断部３５を無くし、統括コントローラ３００の鏡面状態判断結果認識部３０４に代えて鏡面状態判断部３０５を設けた点にある。鏡面状態判断部３０５は、鏡面冷却式露点計２０１からの露点温度計測値（第１の露点温度計測値）ｔｘ１と非鏡面冷却式露点計２０２からの露点温度計測値（第２の露点温度計測値）ｔｘ２とを入力とし、この露点温度計測値ｔｘ１とｔｘ２との差に基づいて鏡面冷却式露点計２０１の鏡面１１−１の状態の正常／異常を判断し、その判断結果を露点計制御モード指定部３０１へ送る。   The difference of Embodiment 2 from Embodiment 1 is that the mirror surface state determination unit 35 is eliminated from the mirror surface cooling type dew point meter 201 and the mirror surface state determination unit 305 is replaced with the mirror surface state determination result recognition unit 304 of the overall controller 300. It is in the point provided. The specular state determination unit 305 includes a dew point temperature measurement value (first dew point temperature measurement value) tx1 from the mirror surface cooling dew point meter 201 and a dew point temperature measurement value (second dew point temperature measurement) from the non-specular cooling dew point meter 202. Value) tx2 as an input, based on the difference between the dew point temperature measurement values tx1 and tx2, the normal / abnormal state of the mirror surface 11-1 of the mirror cooled dew point meter 201 is determined, and the determination result is controlled by the dew point meter. The data is sent to the mode designation unit 301.

また、この実施の形態２の露点温度計測システムにおいて、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、鏡面冷却式露点計２０１を、その露点温度計測値が常に有効な露点温度計測値（被測定気体の正式な露点温度計測値）として用いられる主要センサとし、非鏡面冷却式露点計２０２を、主要センサが自動クリーニング制御中である時に露点温度計測値が有効な露点温度計測値（被測定気体の正式な露点温度計測値）として用いられる補助センサとし、鏡面冷却式露点計２０１に対して制御モードとして露点温度計測制御モードを指定している場合には、露点温度計測値選択部３０２に対して鏡面冷却式露点計２０１を有効なセンサとして通知し、鏡面冷却式露点計２０１に対して制御モードとして自動クリーニング制御モードを指定している場合には、露点温度計測値選択部３０２に対して非鏡面冷却式露点計２０２を有効なセンサとして通知する。但し、特別な条件として、露点計制御モード指定部３０１は、自動クリーニング制御モードから露点温度計測制御モードへの移行時、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１の間は、露点温度計測値選択部３０２に対して非鏡面冷却式露点計２０２を有効なセンサとして通知する。   In the dew point temperature measurement system according to the second embodiment, the dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 uses a mirror-cooled dew point meter 201 to measure the dew point temperature measurement value (the measured dew point temperature value for which the dew point temperature measurement value is always valid). The main sensor used as the measurement gas's official dew point temperature measurement value), and the non-specular cooling dew point meter 202 is a dew point temperature measurement value (measured object) when the main sensor is in automatic cleaning control. When the dew point temperature measurement control mode is designated as the control mode for the mirror-cooled dew point meter 201 as an auxiliary sensor used as a gas official dew point temperature measurement value), the dew point temperature measurement value selection unit 302 Mirror surface dew point meter 201 is notified as an effective sensor, and automatic cleaning control is performed as a control mode for mirror surface dew point meter 201. If you specify a over de notifies the non-chilled mirror dew-point hygrometer 202 as a valid sensor against dewpoint temperature measurement value selector 302. However, as a special condition, the dew point control mode designating unit 301 measures the dew point temperature during a predetermined time T1 until the dew point temperature measurement control is stabilized when shifting from the automatic cleaning control mode to the dew point temperature measurement control mode. The value selection unit 302 is notified of the non-specular cooling dew point meter 202 as an effective sensor.

〔運用〕
図１９（ａ）および（ｂ）はこの実施の形態２の露点温度計測システムの運用中の鏡面冷却式露点計２０１における制御モードの変化および非鏡面冷却式露点計２０２の計測状態を示すタイムチャートである。 [Operation]
FIGS. 19A and 19B are time charts showing the control mode change in the specular cooling dew point meter 201 and the measurement state of the non-specular cooling dew point meter 202 during operation of the dew point temperature measurement system of the second embodiment. It is.

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、最初に、鏡面冷却式露点計２０１を主要センサとし、非鏡面冷却式露点計２０２を補助センサとし、露点温度計測値選択部３０２に対して鏡面冷却式露点計２０１を有効なセンサとして通知する。すなわち、鏡面冷却式露点計２０１は、その計測方式から非鏡面冷却式露点計２０２よりも高精度に露点計測を行うことが可能であり、この高精度に露点計測を行うことが可能な鏡面冷却式露点計２０１を有効なセンサとして通知する。以下、主要センサとする鏡面冷却式露点計２０１をメインセンサと呼び、補助センサとする非鏡面冷却式露点計２０２をサブセンサと呼ぶ。   The dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 first uses the mirror-cooled dew point meter 201 as a main sensor and the non-mirror-cooled dew point meter 202 as an auxiliary sensor. The cooling type dew point meter 201 is notified as an effective sensor. That is, the specular cooling type dew point meter 201 can perform dew point measurement with higher accuracy than the non-specular cooling type dew point meter 202 from the measurement method, and the specular cooling that can perform dew point measurement with high accuracy. The dew point meter 201 is notified as an effective sensor. Hereinafter, the mirror-cooled dew point meter 201 serving as a main sensor is referred to as a main sensor, and the non-mirror-cooled dew point meter 202 serving as an auxiliary sensor is referred to as a sub sensor.

メインセンサ２０１の制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を常時実行させ、サブセンサ２０２は計測中の状態を常時続ける。   The control mode selection unit 37 of the main sensor 201 always executes the dew point temperature measurement control by the dew point temperature measurement control unit 34, and the sub sensor 202 always keeps the measurement state.

〔メインセンサの鏡面の状態が正常である場合〕
メインセンサ２０１の制御モード選択部３７は、露点温度計測制御部３４による露点温度計測制御を常時実行させる。一方、サブセンサ２０２は、メインセンサ２０１へ分岐して与えられる被測定気体の露点温度の検出を続け、その露点温度計測値ｔｘ２を統括コントローラ３００の露点温度計測値選択部３０２へ送り続ける。 [When the state of the mirror surface of the main sensor is normal]
The control mode selection unit 37 of the main sensor 201 always executes the dew point temperature measurement control by the dew point temperature measurement control unit 34. On the other hand, the sub sensor 202 continues to detect the dew point temperature of the gas to be measured that is branched to the main sensor 201 and continues to send the dew point temperature measurement value tx2 to the dew point temperature measurement value selection unit 302 of the overall controller 300.

メインセンサ２０１の露点温度計測制御中、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、露点温度計測値選択部３０２に対してメインセンサ２０１を有効なセンサとして通知する。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、メインセンサ２０１からの露点温度計測値ｔｘ１を有効な露点温度計測値として選択し、この選択した露点温度計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知する。   During the dew point temperature measurement control of the main sensor 201, the dew point meter control mode designation unit 301 of the overall controller 300 notifies the dew point temperature measurement value selection unit 302 of the main sensor 201 as an effective sensor. Accordingly, the dew point temperature measurement value selection unit 302 selects the dew point temperature measurement value tx1 from the main sensor 201 as an effective dew point temperature measurement value, and the selected dew point temperature measurement value tx1 is the measured dew point temperature measurement system. To the host device.

また、統括コントローラ３００の鏡面状態判断部３０５は、メインセンサ２０１の露点温度計測制御中、メインセンサ２０１からの露点温度計測値ｔｘ１とサブセンサ２０２からの露点温度計測値ｔｘ２とを入力とし、この露点温度計測値ｔｘ１とｔｘ２との差に基づいてメインセンサ２０１の鏡面１１−１の状態の正常／異常を判断する。この例では、露点温度計測値ｔｘ１の露点温度計測値ｔｘ２に対する乖離を求め、この乖離が所定値を超えた場合にメインセンサ２０１の鏡面１１−１の状態が異常であると判断する。   The mirror surface state determination unit 305 of the overall controller 300 receives the dew point temperature measurement value tx1 from the main sensor 201 and the dew point temperature measurement value tx2 from the sub sensor 202 during the dew point temperature measurement control of the main sensor 201, and this dew point. Based on the difference between the temperature measurement values tx1 and tx2, the normal / abnormal state of the mirror surface 11-1 of the main sensor 201 is determined. In this example, the deviation of the dew point temperature measurement value tx1 from the dew point temperature measurement value tx2 is obtained, and when this deviation exceeds a predetermined value, it is determined that the state of the mirror surface 11-1 of the main sensor 201 is abnormal.

鏡面冷却式露点計は他の計測方式が異なる露点計よりも高精度に露点温度計測が可能である反面、鏡面の汚れによる計測精度の劣化は他の計測方式が異なる露点計よりも速い。このため、鏡面冷却式露点計であるメインセンサ２０１による露点温度計測値ｔｘ１と他の計測方式が異なる露点計であるサブセンサ２０２からの露点温度計測値ｔｘ２の計測値とを比較することで、メインセンサ２０１の劣化の程度が簡単に確認できる。このような知見に基づき、本実施の形態では、露点温度計測値ｔｘ１の露点温度計測値ｔｘ２に対する乖離を求め、この乖離が所定値を超えた場合にメインセンサ２０１の鏡面１１−１の状態が異常であると判断するようにしている。   The mirror-cooled dew point meter can measure the dew point temperature with higher accuracy than dew point meters with different measurement methods, but the degradation of measurement accuracy due to specular contamination is faster than with dew point meters with different measurement methods. Therefore, by comparing the measured dew point temperature value tx1 by the main sensor 201 which is a mirror-cooled dew point meter with the measured value of the dew point temperature measured value tx2 from the sub sensor 202 which is a dew point meter having a different measurement method, The degree of deterioration of the sensor 201 can be easily confirmed. Based on such knowledge, in the present embodiment, the deviation of the dew point temperature measurement value tx1 from the dew point temperature measurement value tx2 is obtained, and when the deviation exceeds a predetermined value, the state of the mirror surface 11-1 of the main sensor 201 is determined. It is judged that it is abnormal.

〔メインセンサの鏡面の状態が異常である場合〕
今、図１９（ａ）に示すｔ１点にあって、統括コントローラ３００の鏡面状態判断部３０５においてメインセンサ２０１の鏡面１１−１の状態が異常であると判断されると、露点計制御モード指定部３０１は、メインセンサ２０１に対して制御モードを自動クリーニング制御モードに移行するように切換指令を送る。 [When the mirror surface of the main sensor is abnormal]
If the mirror surface state determination unit 305 of the overall controller 300 determines that the state of the mirror surface 11-1 of the main sensor 201 is abnormal at the point t1 shown in FIG. The unit 301 sends a switching command to the main sensor 201 so as to shift the control mode to the automatic cleaning control mode.

メインセンサ２０１の制御モード選択部３７は、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの自動クリーニング制御モードへの切換指令を受けて、制御モードをそれまでの露点温度計測制御モードから自動クリーニング制御モードに切り換える（図１９（ａ）に示すｔ１点）。すなわち、それまでの露点温度計測制御を中止させて、自動クリーニング制御に移行させる。   The control mode selection unit 37 of the main sensor 201 receives the switching command to the automatic cleaning control mode from the dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 and automatically cleans the control mode from the previous dew point temperature measurement control mode. Switch to the control mode (point t1 shown in FIG. 19A). In other words, the dew point temperature measurement control up to that point is stopped, and the process shifts to automatic cleaning control.

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、メインセンサ２０１の制御モードを自動クリーニング制御モードに切り換えた後、露点温度計測値選択部３０２に対してサブセンサ２０２を有効なセンサとして通知する。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、サブセンサ２０２からの露点温度計測値ｔｘ２を有効な露点温度計測値として選択し、この選択した露点温度計測値ｔｘ２を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し始める。   The dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 notifies the sub sensor 202 to the dew point temperature measurement value selection unit 302 as an effective sensor after switching the control mode of the main sensor 201 to the automatic cleaning control mode. Thereby, the dew point temperature measurement value selection unit 302 selects the dew point temperature measurement value tx2 from the sub sensor 202 as an effective dew point temperature measurement value, and uses the selected dew point temperature measurement value tx2 as the measured dew point temperature measurement system. Start to notify the host device.

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、メインセンサ２０１の制御モードの自動クリーニング制御モードへの切り換え後、所定時間Ｔが経過した時点で（図１９（ａ）に示すｔ２点）、メインセンサ２０１に対して制御モードを露点温度計測制御モードに移行するように切換指令を送る。   The dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300, when the main sensor 201 is switched from the control mode to the automatic cleaning control mode, at the time when a predetermined time T has elapsed (point t2 shown in FIG. 19A), A switching command is sent to the sensor 201 so as to shift the control mode to the dew point temperature measurement control mode.

なお、この場合の所定時間Ｔは、メインセンサ２０１の鏡面１１−に付着しているであろう凝縮物質を除去させるに充分な所定時間Ｔとして定めておく。   Note that the predetermined time T in this case is determined as a predetermined time T sufficient to remove condensed substances that may be attached to the mirror surface 11-of the main sensor 201.

露点計制御モード指定部３０１は、所定時間Ｔが経過する間、露点温度計測値選択部３０２に対してサブセンサ２０２を有効なセンサとして通知し続ける。これにより、メインセンサ２０１が自動クリーニング制御を実行している間中、露点温度計測値選択部３０２は、サブセンサ２０２からの露点温度計測値ｔｘ２を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し続ける。   The dew point meter control mode designation unit 301 continues to notify the sub sensor 202 as an effective sensor to the dew point temperature measurement value selection unit 302 while the predetermined time T elapses. As a result, while the main sensor 201 is executing the automatic cleaning control, the dew point temperature measurement value selection unit 302 notifies the higher-level device of the dew point temperature measurement value tx2 from the sub sensor 202 as the measurement dew point temperature of the dew point temperature measurement system. Keep doing.

〔メインセンサの鏡面の状態が正常に戻った場合〕
メインセンサ２０１の制御モード選択部３７は、統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１からの露点温度計測制御モードへの切換指令を受けて、制御モードをそれまでの自動クリーニング制御モードから露点温度計測制御モードに切り換える（図１９（ａ）に示すｔ２点）。すなわち、それまでの自動クリーニング制御を中止させて、露点温度計測制御に復帰させる。 [When the mirror status of the main sensor returns to normal]
The control mode selection unit 37 of the main sensor 201 receives a switching command to the dew point temperature measurement control mode from the dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300, and changes the control mode from the automatic cleaning control mode so far to the dew point temperature. Switch to the measurement control mode (point t2 shown in FIG. 19A). That is, the automatic cleaning control so far is stopped and the dew point temperature measurement control is restored.

統括コントローラ３００の露点計制御モード指定部３０１は、メインセンサ２０１の制御モードを自動クリーニング制御モードから露点温度計測制御モードに切り換えた後、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１が経過するまで、露点温度計測値選択部３０２に対してサブセンサ２０２を有効なセンサとして通知し続ける。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、メインセンサ２０１の自動クリーニング制御の終了後も、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１が経過するまでの間、サブセンサ２０２からの露点温度計測値ｔｘ２を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し続ける。   The dew point meter control mode designating unit 301 of the overall controller 300 switches the control mode of the main sensor 201 from the automatic cleaning control mode to the dew point temperature measurement control mode, and then a predetermined time T1 elapses until the dew point temperature measurement control is stabilized. Until then, the sub sensor 202 is continuously notified as an effective sensor to the dew point temperature measurement value selection unit 302. Thereby, the dew point temperature measurement value selection unit 302 measures the dew point temperature from the sub sensor 202 until the predetermined time T1 until the dew point temperature measurement control is stabilized even after the automatic cleaning control of the main sensor 201 is completed. The host device is continuously notified of the value tx2 as the measured dew point temperature of the dew point temperature measuring system.

露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１が経過すると、露点計制御モード指定部３０１は、露点計現在制御モード認識部３０３からの認識結果から、メインセンサ２０１の現在の制御モードを確認する。この場合、メインセンサ２０１の現在の制御モードが露点計測制御モードに戻されているので、露点計制御モード指定部３０１は、鏡面状態判断部３０５からのメインセンサ２０１の鏡面１１−１の状態が正常に戻された旨の判断結果を確認のうえ、露点温度計測値選択部３０２に対してメインセンサ２０１を有効なセンサとして通知する。これにより、露点温度計測値選択部３０２は、メインセンサ２０１からの露点温度計測値ｔｘ１を有効な露点温度計測値として選択し、その選択した露点温度計測値ｔｘ１を露点温度計測システムの計測露点温度として上位装置に通知し始める。   When a predetermined time T <b> 1 elapses until the dew point temperature measurement control is stabilized, the dew point meter control mode designation unit 301 confirms the current control mode of the main sensor 201 from the recognition result from the dew point meter current control mode recognition unit 303. . In this case, since the current control mode of the main sensor 201 is returned to the dew point measurement control mode, the dew point meter control mode designating unit 301 determines that the state of the mirror surface 11-1 of the main sensor 201 from the mirror surface state determination unit 305. The main sensor 201 is notified to the dew point temperature measurement value selection unit 302 as an effective sensor after confirming the determination result indicating that it has returned to normal. Thus, the dew point temperature measurement value selection unit 302 selects the dew point temperature measurement value tx1 from the main sensor 201 as an effective dew point temperature measurement value, and the selected dew point temperature measurement value tx1 is the measured dew point temperature measurement system. As shown in FIG.

このようにして、この実施の形態２では、通常はメインセンサ２０１により高精度な露点温度計測が行われ、メインセンサ２０１の鏡面１１−１の状態が異常であると判断されると、すなわちメインセンサ２０１による露点温度計測値ｔｘ１の信頼性が否定されると、メインセンサ２０１とは異なる方式で露点温度を計測するサブセンサ２０２により露点温度計測が行われ、途切れることなく連続して露点温度計測が行われるものとなる。   In this way, in the second embodiment, usually, the main sensor 201 performs highly accurate dew point temperature measurement, and when it is determined that the state of the mirror surface 11-1 of the main sensor 201 is abnormal, that is, the main sensor 201 When the reliability of the dew point temperature measurement value tx1 by the sensor 201 is denied, the dew point temperature measurement is performed by the sub sensor 202 that measures the dew point temperature by a method different from that of the main sensor 201, and the dew point temperature measurement is continuously performed without interruption. Will be done.

また、この実施の形態２では、所定時間Ｔの自動クリーニング制御の終了後、メインセンサ２０１が露点温度計測制御に復帰し、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１が経過して、鏡面状態判断部３０５において鏡面１１−１の状態が正常に戻されたことが確認されると、すなわちメインセンサ２０１による露点温度計測値ｔｘ１の信頼性が肯定されると、メインセンサ２０１からの露点温度計測値ｔｘ１が有効な露点温度計測値として用いられ、メインセンサ２０１による高精度の露点温度計測が続けられる。   In the second embodiment, after completion of the automatic cleaning control for a predetermined time T, the main sensor 201 returns to the dew point temperature measurement control, and a predetermined time T1 elapses until the dew point temperature measurement control is stabilized. When it is confirmed by the state determination unit 305 that the state of the mirror surface 11-1 has returned to normal, that is, when the reliability of the dew point temperature measurement value tx1 by the main sensor 201 is affirmed, the dew point temperature from the main sensor 201 is determined. The measurement value tx1 is used as an effective dew point temperature measurement value, and highly accurate dew point temperature measurement by the main sensor 201 is continued.

すなわち、メインセンサ２０１において自動クリーニング制御が行われている間、および自動クリーニング制御から露点温度計測制御への移行後露点温度計測制御が安定するまでの間は、サブセンサ２０２による湿度計測が行われ、その他の期間はメインセンサ２０１による高精度の露点温度計測が行われ、全体として常に高精度の露点温度計測が続けられるものとなる。   That is, while the automatic cleaning control is performed in the main sensor 201 and until the dew point temperature measurement control is stabilized after the transition from the automatic cleaning control to the dew point temperature measurement control, the humidity measurement by the sub sensor 202 is performed. During other periods, the dew point temperature measurement with high accuracy is performed by the main sensor 201, and the dew point temperature measurement with high accuracy is always continued as a whole.

また、この実施の形態２では、メインセンサ２０１において、メインセンサ２０１からの露点温度計測値ｔｘ１とサブセンサ２０２からの露点温度計測値ｔｘ２との差に基づいてメインセンサ２０１の鏡面１１−１の状態の正常／異常を判断するようにしているので、露点温度計測制御中も中断させることなく露点温度計測を行うことが可能となる。   In the second embodiment, in the main sensor 201, the state of the mirror surface 11-1 of the main sensor 201 is determined based on the difference between the dew point temperature measurement value tx1 from the main sensor 201 and the dew point temperature measurement value tx2 from the sub sensor 202. Therefore, it is possible to perform dew point temperature measurement without interruption even during dew point temperature measurement control.

なお、上述し実施の形態１，２では、鏡面冷却式露点計２０１における自動クリーニング制御を鏡面を加熱する加熱制御方式としたが、サンプリングチャンバ内の圧力を減圧させる減圧制御方式としてもよい。   In the first and second embodiments described above, the automatic cleaning control in the mirror-cooled dew point meter 201 is a heating control method for heating the mirror surface, but a pressure reduction control method for reducing the pressure in the sampling chamber may be used.

また、上述した実施の形態１，２では、サンプリングチャンバ３１の上流側に仕切り弁４０−１を設け、下流側に吸引ポンプ４１−１を設け、仕切り弁４０−１を開とし、吸引ポンプ４１−１を運転することによって、サンプリングチャンバ３１内に被測定気体を流入させるような構成としたが、吸引ポンプを設けずに、上流側の圧力を高くして、サンプリングチャンバ３１内に被測定気体を流入させるような構成としてもよい。このような構成では、例えば、サンプリングチャンバ３１の上，下流に弁を設け、サンプリングチャンバ３１の近くに減圧用ポンプをポンプを設け、上，下流の弁を閉じ、減圧用ポンプを運転することによって、サンプリングチャンバ３１内の圧力を減圧させるようにすることが可能である。   In the first and second embodiments described above, the gate valve 40-1 is provided on the upstream side of the sampling chamber 31, the suction pump 41-1 is provided on the downstream side, the gate valve 40-1 is opened, and the suction pump 41 is provided. The gas to be measured is caused to flow into the sampling chamber 31 by operating -1. However, the pressure to be measured is increased in the sampling chamber 31 by increasing the upstream pressure without providing a suction pump. It is good also as a structure which flows in. In such a configuration, for example, a valve is provided above and downstream of the sampling chamber 31, a pump for decompression is provided near the sampling chamber 31, a valve at the upstream and downstream is closed, and the pump for decompression is operated. The pressure in the sampling chamber 31 can be reduced.

また、上述した実施の形態１，２では、鏡面冷却式露点計２０１と非鏡面冷却式露点計２０２とを並列に設置したが、直列に設置するようにしてもよい。図２０に鏡面冷却式露点計２０１と非鏡面冷却式露点計２０２とを直列に設置した場合の構成例を示す。直列に設置するようにした場合、鏡面冷却式露点計２０１における自動クリーニング制御は加熱制御方式とする。   In the first and second embodiments described above, the mirror-cooled dew point meter 201 and the non-mirror-cooled dew point meter 202 are installed in parallel, but may be installed in series. FIG. 20 shows a configuration example when a mirror-cooled dew point meter 201 and a non-mirror-cooled dew point meter 202 are installed in series. When installed in series, automatic cleaning control in the mirror-cooled dew point meter 201 is a heating control method.

また、上述した実施の形態１，２では、鏡面冷却式露点計２０１と非鏡面冷却式露点計２０２に対して統括コントローラ３００を設けるようにしたが、統括コントローラ３００の機能を鏡面冷却式露点計２０１に持たせるようにしてもよい。   In the first and second embodiments, the overall controller 300 is provided for the mirror-cooled dew point meter 201 and the non-mirror-cooled dew point meter 202. However, the function of the overall controller 300 is the mirror-cooled dew point meter. 201 may be provided.

また、上述した実施の形態１，２において、本発明でいう信頼性判定手段は鏡面状態判断部３５（図１４）や鏡面状態判断部３０５（図１８）がそれに相当するが、鏡面冷却式露点計２０１による露点温度計測値ｔｘ１の信頼性の判定は必ずしも鏡面状態に基づくものでなくてもよい。例えば、実施の形態２における鏡面状態判断部３０５では、鏡面冷却式露点計２０１の鏡面１１−１の状態が正常な場合であっても、他の要因で露点温度計測値ｔｘ１とｔｘ２との乖離が大きくなることがあり得る。この場合、鏡面１１−１の状態が正常であっても、鏡面冷却式露点計２０１の計測精度が落ちたとみなされ、非鏡面冷却式露点計２０２からの露点温度計測値ｔｘ２が有効な露点温度計測値として選択されるものとなる。   In the first and second embodiments described above, the reliability determination means in the present invention corresponds to the mirror surface state determination unit 35 (FIG. 14) and the mirror surface state determination unit 305 (FIG. 18). The determination of the reliability of the dew point temperature measurement value tx1 by the meter 201 is not necessarily based on the mirror surface state. For example, in the mirror surface state determination unit 305 in the second embodiment, even if the state of the mirror surface 11-1 of the mirror surface cooling type dew point meter 201 is normal, the difference between the dew point temperature measurement values tx1 and tx2 due to other factors. Can be large. In this case, even if the state of the mirror surface 11-1 is normal, it is considered that the measurement accuracy of the mirror-cooled dew point meter 201 has dropped, and the dew point temperature measurement value tx2 from the non-mirror-cooled dew point meter 202 is effective. It will be selected as the measurement value.

また、上述した実施の形態１，２では、自動クリーニング制御から露点温度計測制御への移行後に、露点温度計測制御が安定するまでの所定時間Ｔ１を設け、この所定時間Ｔ１の間も非鏡面冷却式露点計２０２からの露点温度計測値ｔｘ２を有効な露点温度計測値として用いるようにしたが、露点温度計測制御が安定するまでの時間が問題とならない場合もあり、必ずしも所定時間Ｔ１を設けるようにしなくてもよい。また、鏡面１１−１からの反射光の受光量から露点温度計測制御が安定したことを確認し、鏡面冷却式露点計メインセンサ２０１からの露点温度計測値ｔｘ１を有効な露点温度計測値として用いるようにしてもよい。   In the first and second embodiments described above, after the transition from the automatic cleaning control to the dew point temperature measurement control, a predetermined time T1 is provided until the dew point temperature measurement control is stabilized, and the non-specular cooling is also performed during the predetermined time T1. Although the dew point temperature measurement value tx2 from the formula dew point meter 202 is used as an effective dew point temperature measurement value, the time until the dew point temperature measurement control becomes stable may not be a problem, and the predetermined time T1 is always provided. You don't have to. Further, it is confirmed that the dew point temperature measurement control is stable from the amount of received light reflected from the mirror surface 11-1, and the dew point temperature measurement value tx1 from the mirror surface cooling type dew point meter main sensor 201 is used as an effective dew point temperature measurement value. You may do it.

本発明の露点温度計測システムは、熱電冷却素子（ペルチェ素子）を用いた鏡面冷却式露点計と、この鏡面冷却式露点計とは異なる方式で露点温度を計測する露点計（非鏡面冷却式露点計）とを使用した露点温度計測システムとして、各種の被測定気体の露点温度計測に利用することが可能である。   The dew point temperature measurement system of the present invention includes a specular cooling type dew point meter using a thermoelectric cooling element (Peltier element), and a dew point meter (non-specular cooling type dew point) that measures the dew point temperature by a method different from this specular cooling type dew point meter. As a dew point temperature measuring system using a meter, it can be used for measuring dew point temperatures of various gases to be measured.

２０１…鏡面冷却式露点計、２０１Ａ…センサ部、２０１Ｂ…コントロール部、２…第２の熱電冷却素子（ペルチェ素子）、２−１…冷却面、２−２…加熱面、１１…鏡、１１−１…表面（鏡面）、１１−２…裏面、１２…第２の温度センサ、１３…センサボディ、１３ａ…先端部、１３ｂ…傾斜面、１３ｃ…後端部、１４…投受光一体型の光ファイバ、１４−１…投光側の光ファイバ、１４−２…受光側の光ファイバ、１５…冷却ブロック、１６…冷却板、１７…熱伝導体、１８…第２の熱電冷却素子（ペルチェ素子）、１８−１…冷却面、１８−２…加熱面、１９…ヒートシンク、１９ａ…放熱フィン、２０…冷却ファン、２１…第２の温度センサ、２２…光電変換器、２３…外気温度センサ、ＤＴ…検出部、ＳＣ…サブクーラ、２４…メインコントローラ、２４−１…ＣＰＵ、２４−２…第２のＡ／Ｄ変換器、２４−３…第２のＡ／Ｄ変換器、２４−４…露点温度出力部、２４−５…ＡＭ、２４−６…ＯＭ、２５…サブコントローラ、２５−１…ＣＰＵ、２５−２…第２のＡ／Ｄ変換器、２５−３…第２のＡ／Ｄ変換器、２５−４…ＡＭ、２５−５…ＯＭ、２６…電源、２７…電源スイッチ、２８…露点計測ＯＮ／ＯＦＦスイッチ、２９…サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ、３０…サブクーラ低温／高温／連動切替セレクタスイッチ、３１…サンプリングチャンバ、３４…露点温度計測制御部、３５…自動クリーニング制御部、３６…鏡面状態判断部、３７…制御モード選択部、４０（４０−１，４０−２）…仕切り弁、４１（４１−１，４１−２）…吸引ポンプ、 ２０２…非鏡面冷却式露点計、２０２Ａ…感湿素子、２０２Ｂ…検出信号生成部、２０２Ｃ…露点温度変換部、３００…統括コントローラ、３０１…露点計制御モード指定部、３０２…露点温度計測値選択部、３０３…露点計現在制御モード認識部、３０４…鏡面状態判断結果認識部、３０５…鏡面状態判断部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 201 ... Mirror surface cooling type dew point meter, 201A ... Sensor part, 201B ... Control part, 2 ... 2nd thermoelectric cooling element (Peltier element), 2-1 ... Cooling surface, 2-2 ... Heating surface, 11 ... Mirror, 11 DESCRIPTION OF SYMBOLS -1 ... Front surface (mirror surface), 11-2 ... Back surface, 12 ... 2nd temperature sensor, 13 ... Sensor body, 13a ... Front-end | tip part, 13b ... Inclined surface, 13c ... Rear end part, 14 ... Light emitting / receiving integrated type Optical fiber, 14-1 ... Optical fiber on the light-projecting side, 14-2 ... Optical fiber on the light-receiving side, 15 ... Cooling block, 16 ... Cooling plate, 17 ... Thermal conductor, 18 ... Second thermoelectric cooling element (Peltier Element), 18-1 ... cooling surface, 18-2 ... heating surface, 19 ... heat sink, 19a ... radiation fin, 20 ... cooling fan, 21 ... second temperature sensor, 22 ... photoelectric converter, 23 ... outside temperature sensor DT ... detection unit SC ... subcooler 24 ... In-controller, 24-1 ... CPU, 24-2 ... second A / D converter, 24-3 ... second A / D converter, 24-4 ... dew point temperature output unit, 24-5 ... AM, 24-6 ... OM, 25 ... Sub-controller, 25-1 ... CPU, 25-2 ... Second A / D converter, 25-3 ... Second A / D converter, 25-4 ... AM, 25 -5 ... OM, 26 ... power supply, 27 ... power switch, 28 ... dew point measurement ON / OFF switch, 29 ... subcooler control ON / OFF switch, 30 ... subcooler low temperature / high temperature / interlocking selector switch, 31 ... sampling chamber, 34 DESCRIPTION OF SYMBOLS Dew point temperature measurement control part 35 ... Automatic cleaning control part 36 ... Mirror surface state judgment part, 37 ... Control mode selection part, 40 (40-1, 40-2) ... Gate valve, 41 (41-1, 41- 2) Suction pump, 20 ... non-specular cooling dew point meter, 202A ... humidity sensitive element, 202B ... detection signal generation unit, 202C ... dew point temperature conversion unit, 300 ... general controller, 301 ... dew point meter control mode designation unit, 302 ... dew point temperature measurement value selection unit , 303 ... Dew point meter current control mode recognition unit, 304 ... Mirror surface state determination result recognition unit, 305 ... Mirror surface state determination unit.

Claims (9)

被測定気体に晒される鏡面と、
この鏡面を冷却する熱電冷却素子と、
前記鏡面の温度を検出する温度センサと、
前記鏡面に対して光を照射する投光手段と、
前記投光手段から前記鏡面に対して照射された光の反射光を受光する受光手段と、
前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記熱電冷却素子へ供給する電流を前記鏡面に生じる結露もしくは結霜の増減がなくなる平衡状態になるように制御し、その平衡状態において前記温度センサが検出する前記鏡面の温度を露点温度として計測する露点温度計測制御を実行する手段を備えた第１の露点計と、
前記第１の露点計とは異なる方式で前記被測定気体の露点温度を計測する第２の露点計とを備え、
前記第１の露点計によって計測された露点温度計測値を第１の露点温度計測値とし、前記第２の露点計によって計測された露点温度計測値を第２の露点温度計測値とし、前記第１および第２の露点温度計測値の何れか一方を前記被測定気体の有効な露点温度計測値として選択して前記被測定気体の正式な露点温度計測値として出力する露点温度計測システムであって、
前記第１の露点温度計測値の信頼性を判定する信頼性判定手段と、
前記信頼性判定手段によって前記第１の露点温度計測値の信頼性が肯定された場合、前記第１の露点温度計測値を有効な露点温度計測値として選択して通常時の正式な露点温度計測値とする一方、前記信頼性判定手段によって前記第１の露点温度計測値の信頼性が否定された場合、前記第２の露点温度計測値を有効な露点温度計測値として選択して異常時の正式な露点温度計測値とする露点温度計測値選択手段と
を備えることを特徴とする露点温度計測システム。 A mirror surface exposed to the gas to be measured;
A thermoelectric cooling element for cooling the mirror surface;
A temperature sensor for detecting the temperature of the mirror surface;
A light projecting means for irradiating the mirror surface with light;
A light receiving means for receiving a reflected light of the light emitted from the light projecting means to the mirror surface;
Control means for controlling the current supplied to the thermoelectric cooling element based on the amount of reflected light received by the light receiving means,
The control means includes
Based on the amount of reflected light received by the light receiving means, the current supplied to the thermoelectric cooling element is controlled to be in an equilibrium state where there is no increase or decrease in condensation or frost generated on the mirror surface, and in the equilibrium state, the temperature sensor A first dew point meter comprising means for performing dew point temperature measurement control for measuring the temperature of the mirror surface detected by the above as a dew point temperature;
A second dew point meter that measures the dew point temperature of the gas to be measured in a different manner from the first dew point meter,
The dew point temperature measurement value measured by the first dew point meter is the first dew point temperature measurement value, the dew point temperature measurement value measured by the second dew point meter is the second dew point temperature measurement value, A dew point temperature measurement system that selects one of the first and second dew point temperature measurement values as an effective dew point temperature measurement value of the gas to be measured, and outputs the selected value as an official dew point temperature measurement value of the gas to be measured. ,
Reliability determination means for determining the reliability of the first dew point temperature measurement value;
When the reliability of the first dew point temperature measurement value is affirmed by the reliability determination means, the first dew point temperature measurement value is selected as an effective dew point temperature measurement value, and a normal dew point temperature measurement at normal time is selected. On the other hand, when the reliability of the first dew point temperature measurement value is denied by the reliability determination means, the second dew point temperature measurement value is selected as an effective dew point temperature measurement value and A dew point temperature measurement system comprising: a dew point temperature measurement value selection means for obtaining an official dew point temperature measurement value . 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
前記信頼性判定手段は、
前記第１の露点温度計測値と前記第２の露点温度計測値との差に基づいて前記第１の露点温度計測値の信頼性を判定する
ことを特徴とする露点温度計測システム。 In the dew point temperature measurement system according to claim 1,
The reliability determination means includes
A dew point temperature measurement system, wherein reliability of the first dew point temperature measurement value is determined based on a difference between the first dew point temperature measurement value and the second dew point temperature measurement value. 請求項１に記載された露点温度計測システムにおいて、
前記信頼性判定手段は、
前記第１の露点計の露点温度計測制御を定期的に中断し、前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記第１の露点温度計測値の信頼性を判定する
ことを特徴とする露点温度計測システム。 In the dew point temperature measurement system according to claim 1,
The reliability determination means includes
The dew point temperature measurement control of the first dew point meter is periodically interrupted, and the reliability of the first dew point temperature measurement value is determined based on the amount of reflected light received by the light receiving means. Dew point temperature measurement system. 請求項３に記載された露点温度計測システムにおいて、
前記信頼性判定手段は、
前記第１の露点計の露点温度計測制御を定期的に中断して前記第１の露点温度計測値の信頼性を判定する場合、
前記露点温度計測制御による前記熱電冷却素子への供給電流の制御の中断後、その中断から所定時間経過した後の前記受光手段が受光する反射光の光量に基づき、この反射光の光量が予め定められている受光量基準範囲から外れている場合に、前記第１の露点温度計測値の信頼性を否定する
ことを特徴とする露点温度計測システム。 In the dew point temperature measurement system according to claim 3,
The reliability determination means includes
When the reliability of the first dew point temperature measurement value is determined by periodically interrupting the dew point temperature measurement control of the first dew point meter,
After the interruption of the control of the current supplied to the thermoelectric cooling element by the dew point temperature measurement control, the amount of the reflected light is determined in advance based on the amount of the reflected light received by the light receiving means after a predetermined time has elapsed since the interruption. A dew point temperature measurement system, wherein the reliability of the first dew point temperature measurement value is denied when the received light amount is out of the reference range. 請求項３に記載された露点温度計測システムにおいて、
前記信頼性判定手段は、
前記第１の露点計の露点温度計測制御を定期的に中断して前記第１の露点温度計測値の信頼性を判定する場合、
前記露点温度計測制御による前記熱電冷却素子への供給電流の制御の中断後、前記鏡面の温度に変化が生じなくなったと判断したときの前記受光手段が受光する反射光の光量に基づき、この反射光の光量が予め定められている受光量基準範囲から外れている場合に、前記第１の露点温度計測値の信頼性を否定する
ことを特徴とする露点温度計測システム。 In the dew point temperature measurement system according to claim 3,
The reliability determination means includes
When the reliability of the first dew point temperature measurement value is determined by periodically interrupting the dew point temperature measurement control of the first dew point meter,
After interruption of control of the current supplied to the thermoelectric cooling element by the dew point temperature measurement control, the reflected light is based on the amount of reflected light received by the light receiving means when it is determined that the temperature of the mirror surface no longer changes. A dew point temperature measurement system, wherein the reliability of the first dew point temperature measurement value is denied when the amount of light deviates from a predetermined light reception amount reference range. 請求項３に記載された露点温度計測システムにおいて、
前記信頼性判定手段は、
前記第１の露点計の露点温度計測制御を定期的に中断して前記第１の露点温度計測値の信頼性を判定する場合、
前記露点温度計測制御による前記熱電冷却素子への供給電流の制御の中断後、前記受光手段が受光する反射光の光量に変化が生じなくなったと判断したときの前記受光手段が受光する反射光の光量に基づき、この反射光の光量が予め定められている受光量基準範囲から外れている場合に、前記第１の露点温度計測値の信頼性を否定する
ことを特徴とする露点温度計測システム。 In the dew point temperature measurement system according to claim 3,
The reliability determination means includes
When the reliability of the first dew point temperature measurement value is determined by periodically interrupting the dew point temperature measurement control of the first dew point meter,
The amount of reflected light received by the light receiving means when it is determined that there is no change in the amount of reflected light received by the light receiving means after interruption of control of the current supplied to the thermoelectric cooling element by the dew point temperature measurement control The dew point temperature measurement system is characterized in that the reliability of the first dew point temperature measurement value is denied when the amount of reflected light deviates from a predetermined light reception amount reference range. 請求項１〜６の何れか１項に記載された露点温度計測システムにおいて、
前記第１の露点計の制御手段は、
前記鏡面に付着しているであろう、通常は気体で前記被測定気体に含まれ、前記露点温度よりも高い低温で固体となり、前記鏡面を汚す凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させる自動クリーニング制御を実行する手段を備え、
前記第１の露点計は、
前記露点温度計測制御を常時実行し、前記信頼性判定手段によって前記第１の露点温度計測値の信頼性が否定された場合、前記露点温度計測制御を中止して、前記自動クリーニング制御に移行する
ことを特徴とする露点温度計測システム。 In the dew point temperature measurement system according to any one of claims 1 to 6,
The control means of the first dew point meter is:
Automatic cleaning that would be attached to the mirror surface , usually a gas, contained in the gas to be measured, becomes a solid at a temperature lower than the dew point temperature, and removes condensed substances that contaminate the mirror surface by evaporation or sublimation Means for performing the control,
The first dew point meter is
The dew point temperature measurement control is constantly executed, and when the reliability of the first dew point temperature measurement value is denied by the reliability determination unit, the dew point temperature measurement control is stopped and the process proceeds to the automatic cleaning control. A dew point temperature measurement system. 請求項７に記載された露点温度計測システムにおいて、
前記第１の露点計は、
前記自動クリーニング制御として、
前記鏡面に付着しているであろう、通常は気体で前記被測定気体に含まれ、前記露点温度よりも高い低温で固体となり、前記鏡面を汚す凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させるべく、前記鏡面の温度を上昇させるように前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する
ことを特徴とする露点温度計測システム。 In the dew point temperature measurement system according to claim 7,
The first dew point meter is
As the automatic cleaning control,
In order to remove the condensed substances that would be attached to the mirror surface , usually contained in the gas under measurement, become solid at a temperature lower than the dew point temperature, and condense the mirror surface by evaporation or sublimation , A dew point temperature measurement system, wherein a current supplied to the thermoelectric cooling element is controlled so as to increase a temperature of the mirror surface. 請求項７に記載された露点温度計測システムにおいて、
前記第１の露点計は、
前記鏡面、前記熱電冷却素子、前記温度センサ、前記投光手段および前記受光手段を収容するチャンバを少なくとも備え、
前記自動クリーニング制御として、
前記鏡面に付着しているであろう、通常は気体で前記被測定気体に含まれ、前記露点温度よりも高い低温で固体となり、前記鏡面を汚す凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させるべく、前記チャンバ内の圧力を減圧制御する
ことを特徴とする露点温度計測システム。 In the dew point temperature measurement system according to claim 7,
The first dew point meter is
At least a chamber for accommodating the mirror surface, the thermoelectric cooling element, the temperature sensor, the light projecting means, and the light receiving means;
As the automatic cleaning control,
In order to remove the condensed substances that would be attached to the mirror surface , usually contained in the gas under measurement, become solid at a temperature lower than the dew point temperature, and condense the mirror surface by evaporation or sublimation , A dew point temperature measurement system, wherein the pressure in the chamber is reduced.
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