JP5893464B2 - Magnetron and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、電子レンジなどに用いるマグネトロンおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to a magnetron used in a microwave oven and the like and a method for manufacturing the same.

一般的なマグネトロンは、陽極円筒と、複数のベインとを備えている。ベインは、陽極円筒の内部に放射状に配設されている。ベインは、円周方向の一つおきに、ベインの上下端部にろう付けされた大小一対のストラップリングによって連結されている。複数のベインの遊端に囲まれた電子作用空間には、螺旋状陰極が陽極円筒の軸心に沿って配設されている。螺旋状陰極の両端は、それぞれ出力側エンドハットおよび入力側エンドハットに固着されている。また、陽極円筒の両端には、それぞれ略漏斗状の出力側および入力側のポールピースが固着されている。   A general magnetron includes an anode cylinder and a plurality of vanes. The vanes are arranged radially inside the anode cylinder. The vanes are connected to each other in the circumferential direction by a pair of large and small strap rings brazed to the upper and lower ends of the vane. In the electron action space surrounded by the free ends of the plurality of vanes, a spiral cathode is disposed along the axis of the anode cylinder. Both ends of the spiral cathode are fixed to the output side end hat and the input side end hat, respectively. Further, a substantially funnel-shaped output side and input side pole piece are fixed to both ends of the anode cylinder, respectively.

マグネトロンの陽極円筒、ベイン、ストラップリングおよびアンテナなどの陽極部に用いる材料には、非磁性であること、導電性が良いこと、熱伝導性が良いこと、マグネトロン動作時の高温下でのガス放出が少ないことなどが求められる。これらの条件を満たす材料として、一般的には、銅や銅合金が用いられる場合が多い。特に、陽極部の各部品を連続水素炉によってろう付けして接合する場合、水素脆化を起こさないように、酸素含有量の少ない無酸素銅が選択され、そのろう材には銀合金が用いられる。   The materials used for the anode part of magnetron anode cylinder, vane, strap ring and antenna are non-magnetic, have good electrical conductivity, have good thermal conductivity, and emit gas at high temperature during magnetron operation. It is required that there are few. In general, copper or a copper alloy is often used as a material that satisfies these conditions. In particular, when joining the parts of the anode part by brazing with a continuous hydrogen furnace, oxygen-free copper with a low oxygen content is selected so as not to cause hydrogen embrittlement, and a silver alloy is used for the brazing material. It is done.

特開2011−198725号公報JP2011-198725A

省資源の観点や、近年の材料高騰により、マグネトロンにも、材料使用量削減やコスト削減が求められている。このため、陽極部の各部品を接合するろう材も使用量削減が求められる。また、陽極部にはかなりの量の銅あるいは銅合金が用いられていることから、この使用量削減も求められている。   From the viewpoint of resource saving and recent rises in materials, magnetrons are also required to reduce material usage and costs. For this reason, it is required to reduce the amount of brazing material for joining the parts of the anode part. In addition, since a considerable amount of copper or copper alloy is used for the anode part, a reduction in the amount of use is also required.

そこで、本発明は、マグネトロンの陽極部に用いるろう材の使用量を削減することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to reduce the amount of brazing material used for the anode part of the magnetron.

上述の課題を解決するため、本発明は、マグネトロンにおいて、非磁性体の内筒および前記内筒の外面に接し前記内筒よりも熱膨張率が小さい非磁性体の補助円筒からなり中心軸に沿って円筒状に延びる陽極円筒と、前記陽極円筒の内面と拡散接合して前記中心軸に向かって延びる複数のベインと、前記中心軸に沿って螺旋状に延びる陰極と、前記陰極の両端に固着された一対のエンドハットと、前記エンドハットのそれぞれに接続されて前記陰極に電流を供給するサポートロッドと、を具備することを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a magnetron comprising a non-magnetic inner cylinder and a non-magnetic auxiliary cylinder that is in contact with the outer surface of the inner cylinder and has a smaller coefficient of thermal expansion than the inner cylinder. An anode cylinder extending in a cylindrical shape along the plurality of vanes extending toward the central axis by diffusion bonding with the inner surface of the anode cylinder, a cathode extending spirally along the central axis, and both ends of the cathode A pair of end hats fixed to each other and a support rod connected to each of the end hats to supply a current to the cathode are provided.

また、本発明は、マグネトロンの製造方法において、円筒状の非磁性体の内筒を、前記内筒よりも熱膨張率が小さい非磁性体の補助円筒の内側で前記補助円筒の中心軸に沿って配置し、前記内筒の内面から前記中心軸に向かうように複数のベインを配置する配置工程と、前記配置工程の後に、配置された内筒と補助円筒とベインとを前記ベインの前記中心軸方向への変位を制限しながら加熱して、前記内筒の内面とベインとを拡散接合させる接合工程と、前記接合工程の後に、前記中心軸に螺旋状の陰極を配置し、前記陰極の両端に一対のエンドハットを固着し、前記陰極に電流を供給するサポートロッドを前記エンドハットのそれぞれに接続する工程と、を具備することを特徴とする。   Further, according to the present invention, in the magnetron manufacturing method, a cylindrical non-magnetic inner cylinder is placed along the central axis of the auxiliary cylinder inside the non-magnetic auxiliary cylinder having a smaller coefficient of thermal expansion than the inner cylinder. An arrangement step of arranging a plurality of vanes so as to be directed from the inner surface of the inner cylinder toward the central axis, and after the arrangement process, the arranged inner cylinder, auxiliary cylinder, and vane are arranged in the center of the vane. Heating while restricting displacement in the axial direction to diffusely bond the inner surface of the inner cylinder and the vane, and after the bonding step, a spiral cathode is disposed on the central axis, A pair of end hats are fixed to both ends, and a support rod for supplying a current to the cathode is connected to each of the end hats.

本発明によれば、マグネトロンの陽極部に用いるろう材の使用量を削減することができる。   According to this invention, the usage-amount of the brazing material used for the anode part of a magnetron can be reduced.

本発明に係るマグネトロンの第1の実施の形態における縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view in 1st Embodiment of the magnetron based on this invention. 本発明に係るマグネトロンの第1の実施の形態の陽極円筒近傍の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the anode cylinder vicinity of 1st Embodiment of the magnetron based on this invention. 本発明に係るマグネトロンの第1の実施の形態の陽極の横断面図である。It is a cross-sectional view of the anode of the first embodiment of the magnetron according to the present invention. 本発明に係るマグネトロンの第1の実施の形態のベインと陽極円筒の接合時の一部拡大縦断面図である。It is a partially expanded longitudinal cross-sectional view at the time of joining of the vane and anode cylinder of 1st Embodiment of the magnetron based on this invention. 本発明に係るマグネトロンの第2の実施の形態におけるベインの断面図である。It is sectional drawing of the vane in 2nd Embodiment of the magnetron based on this invention. 本発明に係るマグネトロンの第2の実施の形態におけるベインの陽極円筒側の端面の平面図である。It is a top view of the end surface by the side of the anode cylinder of vane in 2nd Embodiment of the magnetron based on this invention. 本発明に係るマグネトロンの第2の実施の形態のベインと陽極円筒の接合時の一部拡大縦断面図である。It is a partially expanded longitudinal cross-sectional view at the time of joining of the vane and anode cylinder of 2nd Embodiment of the magnetron based on this invention. 本発明に係るマグネトロンの第2の実施の形態の陽極円筒とベインの接合部近傍の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the junction part vicinity of the anode cylinder and vane of 2nd Embodiment of the magnetron based on this invention.

本発明に係るマグネトロンの実施の形態を、図面を参照して説明する。なお、同一または類似の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
[第1の実施の形態]
Embodiments of a magnetron according to the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same or similar structure, and the overlapping description is abbreviate | omitted.
[First Embodiment]

図1は、本発明に係るマグネトロンの第1の実施の形態における縦断面図である。図2は、本実施の形態のマグネトロンの陽極円筒近傍の縦断面図である。図3は、本実施の形態のマグネトロンの陽極の横断面図である。   FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a magnetron according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the vicinity of the anode cylinder of the magnetron of the present embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view of the anode of the magnetron of the present embodiment.

本実施の形態のマグネトロンは、同一の軸(中心軸41)に沿って配置された陽極円筒1、陰極5、一対のエンドハット6,7および一対のポールピース8,9、並びに、この中心軸41の近傍から放射状に延びる複数のベイン2を備えている。   The magnetron of the present embodiment includes an anode cylinder 1, a cathode 5, a pair of end hats 6, 7 and a pair of pole pieces 8, 9 arranged along the same axis (center axis 41), and the center axis. A plurality of vanes 2 extending radially from the vicinity of 41 are provided.

陽極円筒1は、中心軸41に沿って円筒状に延びている。ベイン2は、中心軸41の近傍から放射状に延びて、陽極円筒1の内面に固定されている。ベイン2は、それぞれ実質的に長方形の板状に形成されている。陽極円筒1の内面に固定されていない側のベイン2の遊端31は、中心軸41に沿って延びる同一の円筒面上に配置されていて、この円筒面をベイン内接円筒と呼ぶ。複数のベイン2は、円周方向の一つおきに、ベインの上下端部にろう付けされた大小それぞれ対となったストラップリング3,4によって連結されている。   The anode cylinder 1 extends in a cylindrical shape along the central axis 41. The vane 2 extends radially from the vicinity of the central axis 41 and is fixed to the inner surface of the anode cylinder 1. The vanes 2 are each formed in a substantially rectangular plate shape. The free end 31 of the vane 2 on the side not fixed to the inner surface of the anode cylinder 1 is disposed on the same cylindrical surface extending along the central axis 41, and this cylindrical surface is called a vane inscribed cylinder. The plurality of vanes 2 are connected to each other in the circumferential direction by strap rings 3 and 4 that are paired in large and small brazed to the upper and lower ends of the vane.

陰極5は、螺旋状であり、電子作用空間であるベイン内接円筒の内部に配置され、陽極円筒1の中心軸に配置されている。また、陰極5の両端は、それぞれエンドハット6,7に固着されている。エンドハット6,7は、ベイン2に対して中心軸41の外側に配置されている。アンテナ側(出力側)のエンドハット6は陰極5に向かって開いたカップ状に、ステム側(入力側)のエンドハット7はリング状に形成されている。エンドハット6,7は、たとえばモリブデン(Mo)で形成される。   The cathode 5 has a spiral shape and is disposed inside the vane inscribed cylinder, which is an electron action space, and is disposed on the central axis of the anode cylinder 1. Further, both ends of the cathode 5 are fixed to the end hats 6 and 7, respectively. The end hats 6 and 7 are disposed outside the central axis 41 with respect to the vane 2. The end hat 6 on the antenna side (output side) is formed in a cup shape that opens toward the cathode 5, and the end hat 7 on the stem side (input side) is formed in a ring shape. The end hats 6 and 7 are made of, for example, molybdenum (Mo).

一対のポールピース8,9は、それぞれ中央部に貫通孔32を有する漏斗状に形成されている。貫通孔32の中心は、中心軸41上に位置している。それぞれのポールピース8,9は、エンドハット6,7で挟まれる空間に対して中心軸41の外側に向かって貫通孔32から広がるように形成されている。ポールピース8,9の外径は陽極円筒1の径とほぼ同じに形成されている。ポールピース8,9の外周部分は、陽極円筒1の両方の端部にそれぞれ固定されている。また、これら一対のポールピース8,9は、エンドハット6,7で挟まれる空間を挟んで配置されている。   The pair of pole pieces 8 and 9 are each formed in a funnel shape having a through hole 32 at the center. The center of the through hole 32 is located on the central axis 41. Each pole piece 8, 9 is formed so as to spread from the through hole 32 toward the outside of the central axis 41 with respect to the space sandwiched between the end hats 6, 7. The outer diameters of the pole pieces 8 and 9 are formed substantially the same as the diameter of the anode cylinder 1. The outer peripheral portions of the pole pieces 8 and 9 are fixed to both ends of the anode cylinder 1 respectively. Further, the pair of pole pieces 8 and 9 are arranged with a space between the end hats 6 and 7 interposed therebetween.

また、ポールピース8,9には、それぞれ筒状の金属封着体10,11が固着されている。それぞれの金属封着体10,11は、陽極円筒1の一端にも接している。   Further, cylindrical metal sealing bodies 10 and 11 are fixed to the pole pieces 8 and 9, respectively. Each metal sealing body 10, 11 is also in contact with one end of the anode cylinder 1.

出力側の金属封着体10のポールピース8に対して反対側の端には、出力側セラミック12が接合されている。また、出力側セラミック12の金属封着体に対して反対側の端には、排気管13が接合されている。ベイン2からはアンテナ14が導出されている。このアンテナ14は、出力側のポールピース8を貫通して、出力部内を延びて、先端は排気管13で挟持固定されている。排気管13の全体はキャップ15で覆われている。   An output-side ceramic 12 is joined to the end of the output-side metal seal 10 opposite to the pole piece 8. An exhaust pipe 13 is joined to the end of the output side ceramic 12 opposite to the metal seal. An antenna 14 is derived from the vane 2. The antenna 14 passes through the output-side pole piece 8, extends in the output portion, and the tip is clamped and fixed by the exhaust pipe 13. The entire exhaust pipe 13 is covered with a cap 15.

入力側の金属封着体11のポールピース9に対して反対側の端には、入力側セラミック16が接合されている。陰極5には、エンドハット6,7を介して2本のサポートロッド17,18が接続されている。サポートロッド17,18には、たとえば中継板19を介して管外へ導出されて、コイル33および貫通コンデンサ34を有するフィルター回路が接続されている。フィルター回路を構成するコイル33および貫通コンデンサ34は、フィルターボックス27に収められている。   An input-side ceramic 16 is joined to the end of the input-side metal seal 11 opposite to the pole piece 9. Two support rods 17 and 18 are connected to the cathode 5 via end hats 6 and 7. A filter circuit having a coil 33 and a feedthrough capacitor 34 is connected to the support rods 17 and 18, for example, through the relay plate 19 to the outside of the pipe. The coil 33 and feedthrough capacitor 34 constituting the filter circuit are housed in a filter box 27.

陰極5などが配置されたマグネトロンの内部は、たとえば10−3〜10−4Pa程度の真空状態に保たれている。 The inside of the magnetron in which the cathode 5 and the like are arranged is kept in a vacuum state of about 10 −3 to 10 −4 Pa, for example.

また、マグネット21,22とヨーク23,24が、このような発振部本体を囲むように配設されて、磁気回路を形成している。また、発振部本体を冷却するためのラジエーター25、入力側に接続されたチョークコイル33および貫通トランジスタ34とそれらを囲むボックス27とで外装が形成されている。   Further, the magnets 21 and 22 and the yokes 23 and 24 are disposed so as to surround such an oscillating unit main body to form a magnetic circuit. Further, an exterior is formed by the radiator 25 for cooling the oscillating unit body, the choke coil 33 and the through transistor 34 connected to the input side, and the box 27 surrounding them.

陽極円筒1は、内筒51と補助円筒52とを有している。内筒51の外面は、補助円筒52の内面に接している。内筒51は、非磁性体であり熱伝導性、導電性が高い、たとえば銅で形成されている。補助円筒52は、非磁性体であり、内筒51よりも熱膨張率が小さい材料で形成されている。補助円筒52の材料としては、たとえばオーステナイト系ステンレス鋼が用いられる。   The anode cylinder 1 has an inner cylinder 51 and an auxiliary cylinder 52. The outer surface of the inner cylinder 51 is in contact with the inner surface of the auxiliary cylinder 52. The inner cylinder 51 is a non-magnetic material and is made of, for example, copper having high thermal conductivity and high conductivity. The auxiliary cylinder 52 is a nonmagnetic material and is formed of a material having a smaller coefficient of thermal expansion than the inner cylinder 51. As the material of the auxiliary cylinder 52, for example, austenitic stainless steel is used.

図4は、本実施の形態のマグネトロンのベインと陽極円筒の接合時の一部拡大縦断面図である。   FIG. 4 is a partially enlarged longitudinal sectional view of the magnetron vane and anode cylinder of the present embodiment when joined.

ベイン2と陽極円筒1との接合の際には、まず補助円筒52の内側に内筒51を圧入して、嵌合させる。次に、それらの補助円筒52および内筒51の中心軸に、ベイン2の遊端31が形成するベイン内接円に相当する外径の円柱治具61を配置し、ベイン2を所定の位置に押し込む。このように円柱治具61、ベイン2、内筒51および補助円筒52を配置した状態で、これらを高温の真空炉などで加熱する。加熱温度は、たとえば850℃〜900℃程度である。加熱時間は、たとえば10〜15分程度である。なお、補助円筒52の材料としてステンレス鋼以外の水素脆化が問題とならない材料を用いた場合には、水素炉で加熱してもよい。
ベイン2の遊端31側は円柱治具61によって変位が制限されている。このため、高温になると、ベイン2の内筒51側の端辺は、内筒51の内面に押し付けられる。
When joining the vane 2 and the anode cylinder 1, first, the inner cylinder 51 is press-fitted inside the auxiliary cylinder 52 and fitted. Next, a cylindrical jig 61 having an outer diameter corresponding to the vane inscribed circle formed by the free end 31 of the vane 2 is arranged on the center axis of the auxiliary cylinder 52 and the inner cylinder 51, and the vane 2 is placed at a predetermined position. Push into. With the columnar jig 61, the vane 2, the inner cylinder 51, and the auxiliary cylinder 52 arranged in this manner, these are heated in a high-temperature vacuum furnace or the like. The heating temperature is, for example, about 850 ° C to 900 ° C. The heating time is, for example, about 10 to 15 minutes. In addition, when a material that does not cause hydrogen embrittlement other than stainless steel is used as the material of the auxiliary cylinder 52, the auxiliary cylinder 52 may be heated in a hydrogen furnace.
The displacement of the vane 2 on the free end 31 side is limited by a cylindrical jig 61. For this reason, when the temperature becomes high, the end of the vane 2 on the inner cylinder 51 side is pressed against the inner surface of the inner cylinder 51.

高温下でベイン2の端面を内筒51の内面に押し付けた状態をある程度の時間維持することにより、ベイン2の端面と内筒51の内面は、拡散接合する。また、補助円筒52の熱膨張率は内筒51よりも小さいため、内筒51の膨張は抑え込まれ、ベイン2と内筒51との押しつけ力は高まり、より拡散接合が進展する。   By maintaining the state in which the end surface of the vane 2 is pressed against the inner surface of the inner cylinder 51 at a high temperature for a certain period of time, the end surface of the vane 2 and the inner surface of the inner cylinder 51 are diffusion-bonded. Further, since the coefficient of thermal expansion of the auxiliary cylinder 52 is smaller than that of the inner cylinder 51, the expansion of the inner cylinder 51 is suppressed, the pressing force between the vane 2 and the inner cylinder 51 is increased, and diffusion bonding is further advanced.

このように本実施の形態のマグネトロンでは、陽極円筒1とベイン2とを拡散接合させているため、陽極円筒1とベイン2との接合にろう材を用いる必要がない。よって、ろう材の使用量を削減できる。また、補助円筒52を用いることにより、高温での接合時に、陽極円筒1の内筒51の変形を抑制することができるため、内筒51とベイン2との接触圧力を高め、より効果的に拡散接合させることができる。   Thus, in the magnetron of the present embodiment, the anode cylinder 1 and the vane 2 are diffusion-bonded, so that it is not necessary to use a brazing material for the bonding of the anode cylinder 1 and the vane 2. Therefore, the amount of brazing material used can be reduced. Moreover, since the deformation | transformation of the inner cylinder 51 of the anode cylinder 1 can be suppressed at the time of joining at high temperature by using the auxiliary cylinder 52, the contact pressure between the inner cylinder 51 and the vane 2 is increased and more effectively. It can be diffusion bonded.

さらに、陽極円筒1の機械的強度を補助円筒52が担うことができる。したがって、内筒51の厚さを低減し、内筒51の材料使用量を削減できる。内筒51に銅を用いている場合には、オーステナイト系ステンレス鋼などの安価な材料の使用量を増やすことにより、銅の使用量を低減することができる。
[第2の実施の形態]
Further, the auxiliary cylinder 52 can bear the mechanical strength of the anode cylinder 1. Therefore, the thickness of the inner cylinder 51 can be reduced, and the amount of material used for the inner cylinder 51 can be reduced. When copper is used for the inner cylinder 51, the usage amount of copper can be reduced by increasing the usage amount of an inexpensive material such as austenitic stainless steel.
[Second Embodiment]

図5は、本発明に係るマグネトロンの第2の実施の形態におけるベインの断面図である。図6は、本実施の形態におけるベインの陽極円筒側の端面の平面図である。   FIG. 5 is a cross-sectional view of the vane in the second embodiment of the magnetron according to the present invention. FIG. 6 is a plan view of the end surface of the vane on the anode cylinder side in the present embodiment.

本実施の形態のマグネトロンでは、ベイン92の形状が第1の実施の形態と異なる。本実施の形態のベイン92は、遊端31とは反対側、すなわち、陽極円筒1に接する側の端面71に窪み72が形成されている。窪み72は、たとえば軸方向の2か所に形成されている。   In the magnetron of the present embodiment, the shape of the vane 92 is different from that of the first embodiment. In the vane 92 of the present embodiment, a recess 72 is formed on the end surface 71 on the side opposite to the free end 31, that is, on the side in contact with the anode cylinder 1. The depressions 72 are formed, for example, at two locations in the axial direction.

図7は、本実施の形態のマグネトロンのベインと陽極円筒の接合時の一部拡大縦断面図である。   FIG. 7 is a partially enlarged longitudinal sectional view of the magnetron vane and anode cylinder of the present embodiment when joined.

このようなベイン92を、第1の実施の形態と同様の方法で、陽極円筒1に接合する。   Such a vane 92 is joined to the anode cylinder 1 in the same manner as in the first embodiment.

図8は、本実施の形態のマグネトロンの陽極円筒とベインの接合部近傍の縦断面図である。   FIG. 8 is a longitudinal sectional view of the vicinity of the junction between the anode cylinder and the vane of the magnetron of the present embodiment.

本実施の形態のベイン92を用いると、加熱によって接合する際に、押しつけによって、ベイン92の端面70は内筒51に押し込まれ、また、内筒51の内面はベイン92の窪み72に入り込む。その結果、内筒51とベイン92との接触面積が増大し、拡散接合される表面積が増大する。したがって、内筒51とベイン92との接合強度が増大する。
[他の実施の形態]
When the vane 92 of the present embodiment is used, when joining by heating, the end surface 70 of the vane 92 is pushed into the inner cylinder 51 by pressing, and the inner surface of the inner cylinder 51 enters the recess 72 of the vane 92. As a result, the contact area between the inner cylinder 51 and the vane 92 increases, and the surface area for diffusion bonding increases. Therefore, the bonding strength between the inner cylinder 51 and the vane 92 is increased.
[Other embodiments]

上述の各実施の形態は単なる例示であり、本発明はこれらに限定されない。また、各実施の形態の特徴を組み合わせて実施することもできる。   The above-described embodiments are merely examples, and the present invention is not limited to these. Moreover, it can also implement combining the characteristic of each embodiment.

1…陽極円筒、2…ベイン、3…ストラップリング、4…ストラップリング、5…陰極、6…エンドハット、7…エンドハット、8…ポールピース、9…ポールピース、10…金属封着体、11…金属封着体、12…出力側セラミック、13…排気管、14…アンテナ、15…キャップ、16…入力側セラミック、17…サポートロッド、18…サポートロッド、19…中継板、21…マグネット、22…マグネット、23…ヨーク、24…ヨーク、25…ラジエーター、31…遊端、32…貫通孔、33…チョークコイル、34…貫通トランジスタ、41…中心軸、51…内筒、52…補助円筒、61…円柱治具、71…端面、72…窪み、92…ベイン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Anode cylinder, 2 ... Vane, 3 ... Strap ring, 4 ... Strap ring, 5 ... Cathode, 6 ... End hat, 7 ... End hat, 8 ... Pole piece, 9 ... Pole piece, 10 ... Metal sealing body, DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Metal sealing body, 12 ... Output side ceramic, 13 ... Exhaust pipe, 14 ... Antenna, 15 ... Cap, 16 ... Input side ceramic, 17 ... Support rod, 18 ... Support rod, 19 ... Relay plate, 21 ... Magnet , 22 ... magnet, 23 ... yoke, 24 ... yoke, 25 ... radiator, 31 ... free end, 32 ... through hole, 33 ... choke coil, 34 ... penetrating transistor, 41 ... central axis, 51 ... inner cylinder, 52 ... auxiliary Cylinder, 61 ... Cylinder jig, 71 ... End face, 72 ... Dimple, 92 ... Bain

Claims (3)

非磁性体の内筒および前記内筒の外面に接し前記内筒よりも熱膨張率が小さい非磁性体の補助円筒からなり中心軸に沿って円筒状に延びる陽極円筒と、
前記陽極円筒の内面と拡散接合して前記中心軸に向かって延びる複数のベインと、
前記中心軸に沿って螺旋状に延びる陰極と、
前記陰極の両端に固着された一対のエンドハットと、
前記エンドハットのそれぞれに接続されて前記陰極に電流を供給するサポートロッドと、
を具備することを特徴とするマグネトロン。
A non-magnetic inner cylinder and an anode cylinder that is in contact with the outer surface of the inner cylinder and has a non-magnetic auxiliary cylinder having a smaller coefficient of thermal expansion than the inner cylinder and extends in a cylindrical shape along the central axis;
A plurality of vanes extending toward the central axis by diffusion bonding with the inner surface of the anode cylinder;
A cathode extending spirally along the central axis;
A pair of end hats secured to both ends of the cathode;
A support rod connected to each of the end hats for supplying current to the cathode;
A magnetron comprising:
前記ベインの前記陽極円筒に接する端面には窪みが形成されていることを特徴とする請求項1に記載のマグネトロン。   The magnetron according to claim 1, wherein a recess is formed in an end surface of the vane that contacts the anode cylinder. 円筒状の非磁性体の内筒を、前記内筒よりも熱膨張率が小さい非磁性体の補助円筒の内側で前記補助円筒の中心軸に沿って配置し、前記内筒の内面から前記中心軸に向かうように複数のベインを配置する配置工程と、
前記配置工程の後に、配置された内筒と補助円筒とベインとを前記ベインの前記中心軸方向への変位を制限しながら加熱して、前記内筒の内面とベインとを拡散接合させる接合工程と、
前記接合工程の後に、前記中心軸に螺旋状の陰極を配置し、前記陰極の両端に一対のエンドハットを固着し、前記陰極に電流を供給するサポートロッドを前記エンドハットのそれぞれに接続する工程と、
を具備することを特徴とするマグネトロンの製造方法。
A cylindrical non-magnetic inner cylinder is disposed along the central axis of the auxiliary cylinder on the inner side of the non-magnetic auxiliary cylinder whose coefficient of thermal expansion is smaller than that of the inner cylinder. An arrangement step of arranging a plurality of vanes toward the axis;
After the arranging step, the arranged inner cylinder, the auxiliary cylinder, and the vane are heated while restricting the displacement of the vane in the central axis direction, so that the inner surface of the inner cylinder and the vane are diffusion bonded. When,
After the joining step, a step of disposing a spiral cathode on the central axis, fixing a pair of end hats to both ends of the cathode, and connecting a support rod for supplying current to the cathode to each of the end hats When,
A method for producing a magnetron, comprising:
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