JP5880389B2 - Method for producing boron nitride polycrystal - Google Patents

Method for producing boron nitride polycrystal Download PDF

Info

Publication number
JP5880389B2
JP5880389B2 JP2012232989A JP2012232989A JP5880389B2 JP 5880389 B2 JP5880389 B2 JP 5880389B2 JP 2012232989 A JP2012232989 A JP 2012232989A JP 2012232989 A JP2012232989 A JP 2012232989A JP 5880389 B2 JP5880389 B2 JP 5880389B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
boron nitride
wbn
polycrystal
nitride polycrystal
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012232989A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2014084243A (en
Inventor
雄 石田
雄 石田
角谷 均
均 角谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP2012232989A priority Critical patent/JP5880389B2/en
Publication of JP2014084243A publication Critical patent/JP2014084243A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5880389B2 publication Critical patent/JP5880389B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、窒化ホウ素多結晶体およびその製造方法、ならびに工具に関し、特にウルツ鉱型窒化ホウ素を主成分とする、窒化ホウ素多結晶体およびその製造方法、ならびに工具に関する。   The present invention relates to a boron nitride polycrystal, a method for producing the same, and a tool, and more particularly, to a boron nitride polycrystal having a main component of wurtzite boron nitride, a method for producing the same, and a tool.

従来、切削工具や耐摩工具として用いられる立方晶窒化ホウ素(cBN)焼結体には、焼結助剤あるいは結合材として窒化チタン(TiN)、炭化チタン(TiC)、コバルト(Co)などが用いられている。これらは、cBN粉末を焼結助剤や結合材とともに4〜5GPa程の圧力下で焼結することで得られる。この焼結体には10〜40%程度のバインダーが含まれており、このバインダーが、焼結体の強度、耐熱性、および熱拡散性に大きく影響を与える。特に鉄系材料を切削する工具として用いた場合には、刃先の欠損や亀裂が生じやすく、工具としての寿命が短くなる。   Conventionally, titanium nitride (TiN), titanium carbide (TiC), cobalt (Co), etc. have been used as sintering aids or binders in cubic boron nitride (cBN) sintered bodies used as cutting tools and anti-wear tools. It has been. These can be obtained by sintering cBN powder together with a sintering aid and a binder under a pressure of about 4 to 5 GPa. This sintered body contains about 10 to 40% of a binder, and this binder greatly affects the strength, heat resistance, and thermal diffusibility of the sintered body. In particular, when the iron-based material is used as a tool for cutting, the cutting edge is easily broken or cracked, and the tool life is shortened.

工具寿命を長くする手法として、バインダーを含まずに窒化ホウ素焼結体を製造する方法が知られている。この方法では、ホウ窒化マグネシウムなどの触媒を用いた六方晶窒化ホウ素(hBN)を原料とし、これを反応焼結させる。この方法ではバインダーを含まないため、cBN同士が強く結合しており熱伝導率が6〜7W/cm℃と高くなる。そのため、該窒化ホウ素焼結体は、ヒートシンク材やTAB(Tape Automated Bonding)ボンディングツールなどに用いられている。   As a technique for extending the tool life, a method of manufacturing a boron nitride sintered body without including a binder is known. In this method, hexagonal boron nitride (hBN) using a catalyst such as magnesium boronitride is used as a raw material, and this is subjected to reaction sintering. Since this method does not include a binder, the cBNs are strongly bonded to each other, and the thermal conductivity is as high as 6 to 7 W / cm ° C. Therefore, the boron nitride sintered body is used for a heat sink material, a TAB (Tape Automated Bonding) bonding tool, and the like.

しかし、この焼結体の中には触媒がいくらか残留しているため、熱を加えると触媒とcBNとの熱膨張差による微細クラックが入りやすい。このため、その耐熱温度は700℃程度と低く、切削工具としては大きな問題となる。また、粒径が10μm前後と大きいため、熱伝導率が高いものの、強度は弱く、負荷の大きい切削には耐えられない。   However, since some catalyst remains in this sintered body, when heat is applied, fine cracks due to a difference in thermal expansion between the catalyst and cBN are likely to occur. For this reason, the heat-resistant temperature is as low as about 700 ° C., which is a serious problem as a cutting tool. Further, since the particle size is as large as about 10 μm, the thermal conductivity is high, but the strength is weak and it cannot withstand heavy cutting.

一方、hBNなどの常圧型BNを超高圧高温下で、直接変換焼結させることによっても窒化ホウ素焼結体は得られる。たとえば、特開昭47−34099号公報(特許文献1)や特開平3−159964号公報(特許文献2)にhBNを超高圧高温下で、cBNに変換させ窒化ホウ素焼結体を得る方法が示されている。   On the other hand, a boron nitride sintered body can also be obtained by subjecting atmospheric pressure type BN such as hBN to direct conversion sintering under ultra high pressure and high temperature. For example, JP-A-47-34099 (Patent Document 1) and JP-A-3-159964 (Patent Document 2) convert hBN into cBN under ultra-high pressure and high temperature to obtain a boron nitride sintered body. It is shown.

また、BNの高圧相にはcBNの他に、ウルツ鉱型窒化ホウ素(wBN)が知られており、wBNはcBNと同様に優れた機械的強度が期待されている材料である。しかし、窒化ホウ素は、高圧においてcBNが安定相であり、wBNは準安定相である。そのため、wBNは作製が極めて困難である。特公昭58−23459号公報には、爆薬の爆発などの衝撃圧縮により、常圧型hBNからwBNへ相転移させ、微細なwBN粉末を作製する方法が記載されている。さらに特公昭58−23459号公報には、このwBN粉末を結合材と共に焼結した窒化ホウ素焼結体や、wBN粉末とcBNと結合材を焼結した窒化ホウ素焼結体が記載されている。   In addition to cBN, wurtzite boron nitride (wBN) is known as the high-pressure phase of BN, and wBN is a material that is expected to have excellent mechanical strength like cBN. However, in boron nitride, cBN is a stable phase at high pressure, and wBN is a metastable phase. Therefore, wBN is extremely difficult to produce. Japanese Examined Patent Publication No. 58-23459 describes a method of producing a fine wBN powder by phase transition from normal pressure type hBN to wBN by impact compression such as explosion of explosives. Further, Japanese Patent Publication No. 58-23459 describes a boron nitride sintered body obtained by sintering this wBN powder together with a binder, and a boron nitride sintered body obtained by sintering wBN powder, cBN, and a binder.

特開昭47−34099号公報JP 47-34099 A 特開平3−159964号公報JP-A-3-159964 特公昭63−394号公報Japanese Patent Publication No. 63-394 特公昭58−23459号公報Japanese Patent Publication No.58-23459

しかしながら、衝撃圧縮によるwBNの合成に要する時間は100万分の1秒単位の極めて短い時間であるため、クラックや欠陥の無いバルク状の多結晶体は得られず、粉末状のものしか製造できない。また得られるwBN粉末も結晶内に多くの格子欠陥を含んでおり、硬度、強度が不十分であった。そのため、このようなwBN粉末と結合材とを混合、焼結して得られた窒化ホウ素焼結体も、工具(特に、切削工具、耐摩工具、および研削工具)用部材としては、硬度、強度が不十分であった。   However, since the time required to synthesize wBN by impact compression is an extremely short time in units of 1 / 1,000,000 second, a bulk polycrystalline body free from cracks and defects cannot be obtained, and only a powdery product can be produced. Further, the obtained wBN powder also contained many lattice defects in the crystal, and the hardness and strength were insufficient. Therefore, a boron nitride sintered body obtained by mixing and sintering such a wBN powder and a binder also has hardness, strength as a member for tools (particularly, cutting tools, wear-resistant tools, and grinding tools). Was insufficient.

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものである。本発明の主たる目的は、高い硬度で、かつ耐亀裂伝搬性を有する窒化ホウ素多結晶体およびその製造方法、ならびに工具を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems. A main object of the present invention is to provide a boron nitride polycrystal having high hardness and crack propagation resistance, a method for producing the same, and a tool.

本発明の窒化ホウ素多結晶体は、ウルツ鉱型窒化ホウ素と不可避不純物とからなり、外形の最大幅が0.3mm以上である。このように、本発明の窒化ホウ素多結晶体は、主としてウルツ鉱型窒化ホウ素により構成されており、また、粉末としてではなくバルク状の外形を有することができるため、高硬度で、かつ耐亀裂伝搬性を有することができる。   The polycrystalline boron nitride of the present invention comprises wurtzite boron nitride and unavoidable impurities, and has a maximum outer width of 0.3 mm or more. As described above, the polycrystalline boron nitride of the present invention is mainly composed of wurtzite boron nitride, and can have a bulk-like outer shape, not as a powder, and thus has high hardness and is resistant to cracking. It can have propagation properties.

本発明の窒化ホウ素多結晶体は、ウルツ鉱型窒化ホウ素と不可避不純物とからなり、ヌープ硬度が40GPa以上である。このように、本発明の窒化ホウ素多結晶体は、主としてウルツ鉱型窒化ホウ素により構成されているため、高硬度とすることができる。   The polycrystalline boron nitride of the present invention comprises wurtzite boron nitride and inevitable impurities, and has a Knoop hardness of 40 GPa or more. Thus, since the boron nitride polycrystal of the present invention is mainly composed of wurtzite boron nitride, it can have high hardness.

本発明の窒化ホウ素多結晶体は、ウルツ鉱型窒化ホウ素と不可避不純物とからなり、破壊靭性値K1cが8.0MPa・m1/2以上である。このように、本発明の窒化ホウ素多結晶体は、主としてウルツ鉱型窒化ホウ素により構成されているため、優れた靭性を有することができる。 The polycrystalline boron nitride of the present invention comprises wurtzite boron nitride and inevitable impurities, and has a fracture toughness value K 1c of 8.0 MPa · m 1/2 or more. Thus, since the boron nitride polycrystal of the present invention is mainly composed of wurtzite boron nitride, it can have excellent toughness.

本発明の窒化ホウ素多結晶体は、ウルツ鉱型窒化ホウ素を95体積%以上含み、残部をウルツ鉱型窒化ホウ素とは結晶構造の異なる他の窒化ホウ素と不可避不純物とで構成される。これにより、主としてウルツ鉱型窒化ホウ素により構成された窒化ホウ素多結晶体は、粉末としてではなくバルク状の外形を有するため、高硬度で、かつ耐亀裂伝搬性を有することができる。   The boron nitride polycrystal of the present invention contains 95% by volume or more of wurtzite boron nitride, and the remainder is composed of other boron nitrides and inevitable impurities having a crystal structure different from that of wurtzite boron nitride. Thereby, since the boron nitride polycrystal composed mainly of wurtzite boron nitride has a bulk-like outer shape, not as a powder, it can have high hardness and crack propagation resistance.

上記他の窒化ホウ素は、立方晶窒化ホウ素としてもよい。上記他の窒化ホウ素は、圧縮型六方晶窒化ホウ素としてもよい。ここで、「圧縮型六方晶窒化ホウ素」とは、通常のhBNと結晶構造が類似し、c軸方向の面間隔が、通常のhBNの面間隔(0.333nm)よりも小さいものをいう。   The other boron nitride may be cubic boron nitride. The other boron nitride may be compressed hexagonal boron nitride. Here, “compressed hexagonal boron nitride” refers to a crystal having a crystal structure similar to that of normal hBN and having a c-axis direction plane spacing smaller than that of normal hBN (0.333 nm).

また、ウルツ鉱型窒化ホウ素を95体積%以上含み、残部を前記ウルツ鉱型窒化ホウ素とは結晶構造の異なる他の窒化ホウ素と不可避不純物とで構成される上記窒化ホウ素多結晶体は、外形の最大幅が0.3mm以上とすることができる。また、上記窒化ホウ素多結晶体は、ヌープ硬度が40GPa以上とすることができる。また、上記窒化ホウ素多結晶体は、破壊靭性値K1cが8.0MPa・m1/2以上とすることができる。 In addition, the boron nitride polycrystal including 95% by volume or more of wurtzite-type boron nitride and the balance of the boron nitride and inevitable impurities having different crystal structures from the wurtzite-type boron nitride has an outer shape. The maximum width can be 0.3 mm or more. The boron nitride polycrystal may have a Knoop hardness of 40 GPa or more. The boron nitride polycrystal may have a fracture toughness value K 1c of 8.0 MPa · m 1/2 or more.

本発明に係る工具は、上記窒化ホウ素多結晶体を備える。このようにすれば、高硬度で耐亀裂伝搬性に優れた工具を実現できる。   The tool which concerns on this invention is equipped with the said boron nitride polycrystal. In this way, a tool with high hardness and excellent crack propagation resistance can be realized.

本発明の窒化ホウ素多結晶体の製造方法は出発物質として、X線回折法における黒鉛化指数が3.5未満である常圧型窒化ホウ素を準備する工程と、常圧型窒化ホウ素を熱処理する工程とを備え、熱処理する工程は、圧力8GPa以上かつ温度1200℃以上2200℃未満の条件にまで加圧および加熱する工程と、条件を維持する工程とを含む。   The method for producing a boron nitride polycrystal according to the present invention includes, as a starting material, a step of preparing atmospheric pressure boron nitride having a graphitization index of less than 3.5 in an X-ray diffraction method, and a step of heat-treating atmospheric pressure boron nitride. And the step of heat-treating includes a step of pressurizing and heating to a pressure of 8 GPa or higher and a temperature of 1200 ° C. or higher and lower than 2200 ° C., and a step of maintaining the conditions.

これにより、本発明に係る窒化ホウ素多結晶体を容易に得ることができる。
上記熱処理する工程では、常圧型窒化ホウ素をウルツ鉱型窒化ホウ素に直接変換させると同時に焼結することができる。
Thereby, the boron nitride polycrystal according to the present invention can be easily obtained.
In the heat treatment step, atmospheric pressure boron nitride can be directly converted into wurtzite boron nitride and simultaneously sintered.

本発明に係る窒化ホウ素多結晶体は、主としてウルツ鉱型窒化ホウ素により構成されるため、高硬度で、かつ耐亀裂伝搬性を有することができる。   Since the boron nitride polycrystal according to the present invention is mainly composed of wurtzite boron nitride, it can have high hardness and crack propagation resistance.

本実施の形態に係る工具を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the tool which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体の製造方法のフローを示す図である。It is a figure which shows the flow of the manufacturing method of the boron nitride polycrystal which concerns on this Embodiment.

以下、本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る窒化ホウ素(BN)焼結体は、ウルツ鉱型窒化ホウ素(wBN)を95体積%以上含み、残部を立方晶窒化ホウ素(cBN)と不可避不純物とで構成される。不可避不純物とは、たとえば窒素、水素、酸素などであり、含有率は0.1体積%以下である。このとき、wBNの平均粒径は500nm以下程度である。該焼結体は、実質的にバインダー、焼結助剤、触媒などを含んでいない。このため、wBN粒子同士、wBN粒子とcBN粒子、さらにcBN粒子同士がいずれも強固に結合しており、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体は緻密な複合組織を有している。   Embodiments of the present invention will be described below. The boron nitride (BN) sintered body according to the present embodiment contains 95% by volume or more of wurtzite boron nitride (wBN), and the balance is composed of cubic boron nitride (cBN) and inevitable impurities. Inevitable impurities are, for example, nitrogen, hydrogen, oxygen, etc., and the content is 0.1 volume% or less. At this time, the average particle size of wBN is about 500 nm or less. The sintered body does not substantially contain a binder, a sintering aid, a catalyst and the like. For this reason, the wBN particles, the wBN particles and the cBN particles, and the cBN particles are all firmly bonded, and the boron nitride polycrystal according to the present embodiment has a dense composite structure.

本実施の形態の窒化ホウ素多結晶体は、外形の最大幅が0.3mm以上ある。つまり、本実施の形態の窒化ホウ素多結晶体は、粉末状ではなく、バルク体(塊体)である。   The boron nitride polycrystal of the present embodiment has a maximum outer width of 0.3 mm or more. That is, the boron nitride polycrystal of the present embodiment is not a powder form but a bulk body (lump).

従来、wBNは粉末状として作製できるのみで、バルク状体として作製することはできなかった。そのため、従来のwBNを含む窒化ホウ素多結晶体は、wBN粉末、cBN粉末および結合材と焼結して作製され、その硬度や耐亀裂伝搬性の検討は、wBNやcBNと結合材との比率、又は結合材の材質を調整することにより行われていた。その結果、wBNを含む窒化ホウ素多結晶体は、工具用部材として十分な硬度と耐亀裂伝搬性を有することができなかった。   Conventionally, wBN can only be produced as a powder, but cannot be produced as a bulk. Therefore, a conventional boron nitride polycrystal containing wBN is produced by sintering with wBN powder, cBN powder and a binder, and the hardness and crack propagation resistance are examined by the ratio of wBN or cBN to the binder. Or by adjusting the material of the binder. As a result, the boron nitride polycrystal containing wBN could not have sufficient hardness and crack propagation resistance as a tool member.

本実施の形態の窒化ホウ素多結晶体は、上述のように、結合材等を含まずに構成された、バルク状体とすることができる。そのため、本実施の形態の窒化ホウ素多結晶体は、ヌープ硬度が40GPa以上とすることができ、さらに、破壊靭性値K1cを8.0MPa・m1/2以上とすることができる。 As described above, the boron nitride polycrystal of the present embodiment can be a bulk-like body configured without including a binder or the like. Therefore, the boron nitride polycrystal of the present embodiment can have a Knoop hardness of 40 GPa or more, and can further have a fracture toughness value K 1c of 8.0 MPa · m 1/2 or more.

後述の実施例より、wBN、cBN、および不可避不純物からなる窒化ホウ素多結晶体は、室温でのヌープ硬度は48GPa以上、破壊靭性値K1cは8.6MPa・m1/2以上であった。このように、本実施の形態の窒化ホウ素多結晶体は、高い耐亀裂性を有することが確認できた。 From the examples described later, the boron nitride polycrystal composed of wBN, cBN, and inevitable impurities had a Knoop hardness at room temperature of 48 GPa or more and a fracture toughness value K 1c of 8.6 MPa · m 1/2 or more. Thus, it was confirmed that the boron nitride polycrystal of the present embodiment has high crack resistance.

本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体は、高硬度でかつ耐亀裂伝搬性に優れ、さらに外形の最大幅が0.3mm以上であるため、工具用部材に好適である。たとえば、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体は、切削工具、耐摩工具、および研削工具等に用いることができ、より具体的には、切削バイト、ダイス、およびマイクロ工具等の精密工具等に用いることができる。図1を参照して、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体を備えた切削工具の概略図を示す。台金2の所定の領域に、ろう付け層3およびメタライズ層4を介して窒化ホウ素多結晶体1が固定されている。このようにして作製された本実施の形態に係る工具は、従来の衝撃圧縮により作製されたwBN粉末と結合材とを混合、焼結して得られた窒化ホウ素多結晶体を備える工具よりも、長寿命である。   The boron nitride polycrystal according to the present embodiment is suitable for a tool member because it has high hardness and excellent crack propagation resistance and has a maximum outer width of 0.3 mm or more. For example, the boron nitride polycrystal according to the present embodiment can be used for cutting tools, wear-resistant tools, grinding tools, and the like, and more specifically, precision tools such as cutting tools, dies, and micro tools, etc. Can be used. With reference to FIG. 1, the schematic of the cutting tool provided with the boron nitride polycrystal which concerns on this Embodiment is shown. The boron nitride polycrystalline body 1 is fixed to a predetermined region of the base metal 2 via the brazing layer 3 and the metallized layer 4. The tool according to the present embodiment manufactured in this way is more than a tool including a boron nitride polycrystal obtained by mixing and sintering a wBN powder and a binder prepared by conventional impact compression. Long life.

次に、図2を参照して、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体の製造方法について説明する。本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体の製造方法は、出発物質として、X線回折法における黒鉛化指数が3.5未満である常圧型窒化ホウ素(BN)を準備する工程(S10)と、常圧型BNを熱処理する工程(S20)とを備える。   Next, with reference to FIG. 2, the manufacturing method of the boron nitride polycrystal which concerns on this Embodiment is demonstrated. The method for producing a polycrystalline boron nitride according to the present embodiment includes a step of preparing atmospheric pressure boron nitride (BN) having a graphitization index of less than 3.5 in an X-ray diffraction method as a starting material (S10); And a step (S20) of heat-treating the normal pressure type BN.

まず、工程(S10)では、出発物質として六方晶窒化ホウ素(hBN)を準備する。hBNは、X線回折法における黒鉛化指数(GI値)が3.5未満であり、高結晶性である。GI値とは、hBNのX線回折の3本のピーク、すなわち(100)、(101)、(102)のピークの面積を数式1に導入することによって導き出される値である。   First, in step (S10), hexagonal boron nitride (hBN) is prepared as a starting material. hBN has a graphitization index (GI value) of less than 3.5 in the X-ray diffraction method and is highly crystalline. The GI value is a value derived by introducing the areas of the three peaks of x-ray diffraction of hBN, that is, the peaks of (100), (101), and (102) into Equation 1.

Figure 0005880389
Figure 0005880389

hBNの結晶性が向上するとGI値は小さくなる。ここで、I(XXX)はhBN結晶の(XXX)面の回折ピークの面積のことである。 When the crystallinity of hBN is improved, the GI value is decreased. Here, I (XXX) is the area of the diffraction peak on the (XXX) plane of the hBN crystal.

次に、工程(S20)では、常圧型BNを熱処理することにより、wBNに相転移させ、さらにこれを焼結することにより窒化ホウ素多結晶体を作製する。具体的には、工程(S20)は、常圧型BNを圧力8GPa以上かつ温度1300℃以上2200℃未満の条件にまで加圧および加熱する工程(S21)と、当該条件を維持する工程(S22)とを含む。このとき、合成圧力の上限値については、wBNが熱力学的に安定な値であればよく、実際には使用する超高圧高温発生装置により圧力の上限値は決められる(例えば、25GPa程度)。また、工程(S22)において、工程(S21)の圧力温度条件を維持する時間は、120秒以上である。   Next, in step (S20), atmospheric pressure type BN is heat-treated to cause phase transition to wBN, and further sintered to produce a boron nitride polycrystal. Specifically, the step (S20) includes a step (S21) of pressurizing and heating the normal pressure BN to a pressure of 8 GPa or more and a temperature of 1300 ° C. or more and less than 2200 ° C., and a step of maintaining the condition (S22). Including. At this time, the upper limit value of the synthesis pressure may be any value as long as wBN is thermodynamically stable, and the upper limit value of the pressure is actually determined by the ultrahigh pressure and high temperature generator to be used (for example, about 25 GPa). In step (S22), the time for maintaining the pressure temperature condition in step (S21) is 120 seconds or more.

本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体の製造方法において、特に重要であるのは、工程(S01)にて準備される出発物質(hBN)の黒鉛化指数(GI値)と、工程(S02)における温度圧力条件である。   In the method for producing a polycrystalline boron nitride according to the present embodiment, what is particularly important is the graphitization index (GI value) of the starting material (hBN) prepared in the step (S01), and the step (S02). ) Temperature and pressure conditions.

出発物質のGI値が3.5以上であり、かつ圧力が20GPa程度である場合には、工程(S02)において生成されるwBNの含有率が減少する。   When the GI value of the starting material is 3.5 or more and the pressure is about 20 GPa, the content of wBN produced in the step (S02) decreases.

工程(S02)における加熱温度が2200℃以上である場合には、準安定相であるwBNは安定相であるcBNに相転移してしまう。また、加熱温度が1300℃未満である場合には、得られる窒化ホウ素多結晶体には未変換の出発物質が残ってしまう。   When the heating temperature in the step (S02) is 2200 ° C. or higher, wBN that is a metastable phase undergoes phase transition to cBN that is a stable phase. When the heating temperature is less than 1300 ° C., the unconverted starting material remains in the obtained boron nitride polycrystal.

本実施の形態の窒化ホウ素多結晶体を合成するために適切な加熱温度は、合成圧力と出発物質のGI値によって変化する。たとえば、出発物質のGI値が低い場合には、合成圧力が低く、かつ加熱温度が高い圧力温度条件でも、wBNを95体積%以上含んだ窒化ホウ素多結晶体を得ることができる。逆に、出発物質のGI値が高い場合には、合成圧力が高く、加熱温度の低い圧力温度条件にすることで、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体を得ることができる。   An appropriate heating temperature for synthesizing the boron nitride polycrystal of the present embodiment varies depending on the synthesis pressure and the GI value of the starting material. For example, when the GI value of the starting material is low, a boron nitride polycrystal containing 95% by volume or more of wBN can be obtained even under pressure temperature conditions where the synthesis pressure is low and the heating temperature is high. Conversely, when the starting material has a high GI value, the boron nitride polycrystal according to the present embodiment can be obtained by using a pressure temperature condition in which the synthesis pressure is high and the heating temperature is low.

このようにすることで、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体の製造方法は、衝撃圧縮法によらず、かつ焼結助剤や触媒等を添加せずに、wBN、cBNおよび不可避不純物からなる窒化ホウ素多結晶体を、外形の最大幅が0.3mm以上のバルク状体として得ることができる。   By doing in this way, the manufacturing method of the boron nitride polycrystal according to the present embodiment is not based on the impact compression method, and without adding a sintering aid, a catalyst, or the like, wBN, cBN, and inevitable impurities. The polycrystalline boron nitride made of can be obtained as a bulk-like body having a maximum outer width of 0.3 mm or more.

後述する実施例より、出発物質に黒鉛化指数が3.5未満の高結晶性のhBNを用いて、工程(S02)において、圧力16〜20GPa程度、温度1300〜1800℃程度の圧力温度条件で焼結して得られた窒化ホウ素多結晶体は、室温におけるヌープ硬度が、試験荷重4.9Nの条件下において、45GPa以上、破壊靭性値K1cは8.2MPa・m1/2以上であった。このように、本実施の形態の窒化ホウ素多結晶体は、高い耐亀裂伝搬性を有することが確認できた。しかし、圧力8GPa以上程度、かつ2200℃未満程度の焼結条件においても、同様の特性を有する窒化ホウ素多結晶体を得ることができると考えられる。 From examples described later, using a highly crystalline hBN having a graphitization index of less than 3.5 as a starting material, in the step (S02), the pressure is about 16 to 20 GPa and the temperature is about 1300 to 1800 ° C. The boron nitride polycrystal obtained by sintering had a Knoop hardness at room temperature of 45 GPa or more and a fracture toughness value K 1c of 8.2 MPa · m 1/2 or more under the condition of a test load of 4.9 N. It was. Thus, it was confirmed that the boron nitride polycrystal of the present embodiment has high crack propagation resistance. However, it is considered that a boron nitride polycrystal having similar characteristics can be obtained even under sintering conditions of a pressure of about 8 GPa or more and less than about 2200 ° C.

以上のように、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体は、wBN、cBNと不可避不純物からなり、かつ外形の最大幅が0.3mm以上であるため、高硬度でかつ破壊靭性値が高く、耐亀裂伝搬性に優れている。そのため、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体は切削工具、耐摩工具、および研削工具等に用いることができる。また、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体の製造方法によれば、工程(S01)において出発物質として高結晶性のhBNを準備し、工程(S02)において当該出発物質を所定の圧力温度条件で加圧および加熱し、さらにその条件を維持することにより、上記のような窒化ホウ素多結晶体を作製することができる。   As described above, the boron nitride polycrystal according to the present embodiment is composed of wBN, cBN and unavoidable impurities, and has a maximum outer width of 0.3 mm or more, so it has high hardness and high fracture toughness value. Excellent crack propagation resistance. Therefore, the boron nitride polycrystal according to the present embodiment can be used for cutting tools, wear-resistant tools, grinding tools, and the like. In addition, according to the method for manufacturing a boron nitride polycrystal according to the present embodiment, highly crystalline hBN is prepared as a starting material in step (S01), and the starting material is supplied at a predetermined pressure and temperature in step (S02). By applying pressure and heating under conditions, and further maintaining the conditions, a boron nitride polycrystal as described above can be produced.

また、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体は、wBNと結晶構造の異なる窒化ホウ素としてcBNを含んでいるが、これに限られるものではない。例えば、wBNとは結晶構造の異なる他の窒化ホウ素は、圧縮型六方晶窒化ホウ素であってもよい。また、cBNと圧縮型窒化ホウ素とが混在していてもよい。このようにしても、本発明の窒化ホウ素多結晶体は緻密な複合組織を有しており、工具用部材として十分な硬度と耐亀裂伝搬性を有することができる。   Moreover, although the boron nitride polycrystal according to the present embodiment includes cBN as boron nitride having a crystal structure different from that of wBN, the present invention is not limited to this. For example, the other boron nitride having a crystal structure different from wBN may be compressed hexagonal boron nitride. Moreover, cBN and compressed boron nitride may be mixed. Even in this case, the boron nitride polycrystal of the present invention has a dense composite structure, and can have sufficient hardness and crack propagation resistance as a tool member.

上述のように、本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体は、wBNを95体積%以上含み、残部をwBNとは結晶構造の異なる他の窒化ホウ素としてのcBNと、不可避不純物とで構成されている。しかし、本発明の窒化ホウ素多結晶体は、wBNと不可避不純物とで構成されることができる。このときも、不可避不純物は0.1体積%以下である。つまり、本発明の窒化ホウ素多結晶体は、不純物濃度を極めて低く抑えながら、wBNとは結晶構造の異なる他の窒化ホウ素を含まずに、窒化ホウ素としてwBNのみを含むことができる。このようにしても、本発明の窒化ホウ素多結晶体は緻密な複合組織を有しており、工具用部材として十分な硬度と耐亀裂伝搬性を有することができる。   As described above, the boron nitride polycrystal according to the present embodiment includes 95% by volume or more of wBN, and the balance is composed of cBN as another boron nitride having a crystal structure different from that of wBN, and unavoidable impurities. ing. However, the polycrystalline boron nitride of the present invention can be composed of wBN and inevitable impurities. At this time, the inevitable impurities are 0.1% by volume or less. That is, the polycrystalline boron nitride of the present invention can contain only wBN as boron nitride without containing other boron nitride having a crystal structure different from that of wBN while keeping the impurity concentration extremely low. Even in this case, the boron nitride polycrystal of the present invention has a dense composite structure, and can have sufficient hardness and crack propagation resistance as a tool member.

wBNと不可避不純物のみからなる窒化ホウ素多結晶体の製造方法は、基本的には本実施の形態に係る窒化ホウ素多結晶体の製造方法と同等の構成を備えるが、出発物質のGI値および圧力温度条件の範囲がより限定される。たとえば、GI値が3.0以上3.4未満の場合には、合成圧力20GPa程度、加熱温度1300℃程度とすればよい。また、GI値が2.0以上3.0未満程度の場合には、合成圧力19GPa程度、加熱温度1400℃以上1500℃以下程度とすればよい。また、GI値が1.0以上2.0未満程度の場合には、合成圧力18GPa程度、加熱温度1400℃以上1800℃以下程度とすればよい。   The method for producing a boron nitride polycrystal comprising only wBN and inevitable impurities has basically the same structure as the method for producing a boron nitride polycrystal according to the present embodiment, but the GI value and pressure of the starting material. The range of temperature conditions is more limited. For example, when the GI value is 3.0 or more and less than 3.4, the combined pressure may be about 20 GPa and the heating temperature may be about 1300 ° C. Further, when the GI value is about 2.0 or more and less than 3.0, the combined pressure may be about 19 GPa and the heating temperature may be about 1400 ° C. or more and 1500 ° C. or less. When the GI value is about 1.0 or more and less than 2.0, the combined pressure may be about 18 GPa and the heating temperature may be about 1400 ° C. or more and 1800 ° C. or less.

後述の実施例より、窒化ホウ素としてwBNのみを含む窒化ホウ素多結晶体は、室温におけるヌープ硬度が、試験荷重4.9Nの条件下において、45GPa以上、破壊靭性値K1cは8.2MPa・m1/2以上であった。 From the examples described later, the boron nitride polycrystal containing only wBN as boron nitride has a Knoop hardness at room temperature of 45 GPa or more under a test load of 4.9 N, and a fracture toughness value K 1c of 8.2 MPa · m. It was more than 1/2 .

以下、本発明の実施例を説明する。   Examples of the present invention will be described below.

実施例1、2に係る窒化ホウ素多結晶体を以下の方法で作製した。まず、出発原料として市販のペレット状であってGI値が3.1という高結晶性のhBNを使用した。その出発原料を高融点金属からなるカプセルに入れ、超高圧高温発生装置を用いて表1に記載の圧力、温度条件下において20分間保持し、窒化ホウ素多結晶体を作製した。   Boron nitride polycrystals according to Examples 1 and 2 were produced by the following method. First, a highly crystalline hBN having a GI value of 3.1 in the form of a commercially available pellet was used as a starting material. The starting material was put into a capsule made of a refractory metal and held for 20 minutes under the pressure and temperature conditions shown in Table 1 using an ultrahigh pressure and high temperature generator to produce a boron nitride polycrystal.

実施例3、4に係る窒化ホウ素多結晶体を以下の方法で作製した。まず、出発原料として市販のペレット状であってGI値が1.1という高結晶性のhBNを使用した。その出発原料を高融点金属からなるカプセルに入れ、超高圧高温発生装置を用いて表1に記載の圧力、温度条件下において20分間保持し、窒化ホウ素多結晶体を作製した。   Boron nitride polycrystals according to Examples 3 and 4 were produced by the following method. First, a highly crystalline hBN having a GI value of 1.1 having a commercially available pellet form was used as a starting material. The starting material was put into a capsule made of a refractory metal and held for 20 minutes under the pressure and temperature conditions shown in Table 1 using an ultrahigh pressure and high temperature generator to produce a boron nitride polycrystal.

比較例1に係る窒化ホウ素多結晶体を以下の方法で作製した。まず、出発原料として市販のペレット状であってGI値が3.6という高結晶性のhBNを使用した。その出発原料を高融点金属からなるカプセルに入れ、超高圧発生装置で7.7GPaの圧力を発生させ、2300℃の温度で15分間保持し、窒化ホウ素多結晶体を作製した。   A boron nitride polycrystal according to Comparative Example 1 was produced by the following method. First, as a starting material, commercially available pellet-shaped hBN having a GI value of 3.6 was used. The starting material was put in a capsule made of a refractory metal, a pressure of 7.7 GPa was generated with an ultrahigh pressure generator, and held at a temperature of 2300 ° C. for 15 minutes to prepare a boron nitride polycrystal.

比較例2、3に係る窒化ホウ素多結晶体を以下の方法で作製した。まず、出発原料として市販のペレット状であってGI値が1.1という高結晶性のhBNを使用した。その出発原料を、高融点金属からなるカプセルに入れ、超高圧高温発生装置を用いて表1に記載の圧力、温度条件下において20分間保持し、窒化ホウ素多結晶体を作製した。   Boron nitride polycrystals according to Comparative Examples 2 and 3 were produced by the following method. First, a highly crystalline hBN having a GI value of 1.1 having a commercially available pellet form was used as a starting material. The starting material was put into a capsule made of a refractory metal and held for 20 minutes under the pressure and temperature conditions shown in Table 1 using an ultrahigh pressure and high temperature generator to produce a boron nitride polycrystal.

上記の様にして得られた実施例1〜4および比較例1〜3の窒化ホウ素多結晶体の組成、粒径と硬度と破壊靭性値を下記の手法で測定した。   The composition, particle size, hardness, and fracture toughness value of the boron nitride polycrystals of Examples 1-4 and Comparative Examples 1-3 obtained as described above were measured by the following methods.

各相の組成は、X線回折装置により各相を同定することにより得られた。この装置のX線の線源はCuであり、波長1.54ÅのKα線である。   The composition of each phase was obtained by identifying each phase with an X-ray diffractometer. The X-ray source of this apparatus is Cu, which is a Kα ray with a wavelength of 1.54 mm.

平均粒径は、走査電子顕微鏡によって測定した。平均粒径を求める方法として切断法を使用した。この方法では、まず走査電子顕微鏡(SEM)の画像に円を書き、円の中心から8本の直線を放射状に円の外周まで引き、円の中で直線が結晶粒界を横切る数を数える。そして、直線の長さをその横切る数で割ることで平均切片長さを求め、その平均切片長さに1.128をかけると平均結晶粒径が求められる。なお、比較例2の窒化ホウ素多結晶体の粒径は小さいものでも1000nm以上であったため、切断法を使用して平均粒径を算出することができなかった。   The average particle size was measured with a scanning electron microscope. A cutting method was used as a method for obtaining the average particle diameter. In this method, first, a circle is written on an image of a scanning electron microscope (SEM), eight straight lines are drawn radially from the center of the circle to the outer periphery of the circle, and the number of lines that cross the grain boundary in the circle is counted. Then, the average intercept length is obtained by dividing the length of the straight line by the number of crossing, and the average crystal grain size is obtained by multiplying the average intercept length by 1.128. In addition, since the particle size of the boron nitride polycrystal of the comparative example 2 was 1000 nm or more even if it was small, the average particle size was not able to be calculated using the cutting method.

切断法を用いるのに使用したSEM画像の倍率は30000倍である。その理由は、これ以下の倍率では、円内の粒の数が多くなり粒界が見えにくく、数え間違いが発生する上に、線を引く際に板状組織を含める可能性が高くなるからである。また、これ以上の倍率では、円内の粒の数が少な過ぎて、正確な平均粒径が算出できないからである。   The magnification of the SEM image used to use the cutting method is 30000 times. The reason for this is that at a magnification less than this, the number of grains in the circle increases, making it difficult to see the grain boundaries, causing miscounting, and increasing the possibility of including a plate-like structure when drawing a line. is there. Further, when the magnification is higher than this, the number of grains in the circle is too small, and an accurate average particle diameter cannot be calculated.

本実験においては、1つの試料に対して、別々の箇所を撮影した3枚のSEM画像を使用した。それぞれのSEM画像に対して切断法を使用して、その平均値を平均粒径とした。   In this experiment, three SEM images obtained by photographing different locations were used for one sample. The average value was made into the average particle diameter using the cutting method with respect to each SEM image.

硬度の測定として、ヌープ硬度を測定した。ヌープ硬度の測定には、マイクロヌープ圧子を使用した。このときの荷重を4.9Nとした。測定機器はミツトヨ社製VLPAK2000を用いた。測定は5回行い、その中で一番小さい値と大きい値を除いた3つの値の平均値を試料の硬度とした。   Knoop hardness was measured as a hardness measurement. A micro Knoop indenter was used to measure Knoop hardness. The load at this time was set to 4.9N. VLPAK2000 manufactured by Mitutoyo Corporation was used as a measuring instrument. The measurement was performed five times, and the average value of the three values excluding the smallest value and the largest value was taken as the hardness of the sample.

破壊靭性値K1CはJIS−R−1607に則り、ビッカース硬さを測定する際に発生する亀裂の長さより測定を行った。ビッカース硬さを測定するときの荷重は98Nとした。測定は5回行い、その中で一番小さい値と大きい値を除いた3つの値の平均値を試料の破壊靭性値とした。 Fracture toughness value K1C was measured from the length of a crack generated when measuring Vickers hardness according to JIS-R-1607. The load when measuring the Vickers hardness was 98N. The measurement was performed five times, and the average value of the three values excluding the smallest value and the largest value was taken as the fracture toughness value of the sample.

実施例1〜4および比較例1〜3の窒化ホウ素多結晶体の組成、粒径、硬度の結果を表1に示す。なお、表1において、比較例2の粒径は平均粒径ではなく粒径の最小値を示す。   Table 1 shows the results of composition, particle size, and hardness of the boron nitride polycrystals of Examples 1-4 and Comparative Examples 1-3. In Table 1, the particle size of Comparative Example 2 is not the average particle size but the minimum value of the particle size.

Figure 0005880389
Figure 0005880389

表1に示すように、実施例1〜4の窒化ホウ素多結晶体は、wBNを95体積%以上含むことがわかった。具体的には、実施例1および3の窒化ホウ素多結晶体は、wBNの組成比が100体積%であった。実施例2の窒化ホウ素多結晶体は、wBNの組成比が97体積%程度であって、wBNと結晶構造の異なる他の窒化ホウ素としてhBNとcBNとを含んでいた。実施例4の窒化ホウ素多結晶体は、wBNの組成比が99.9体積%程度であり、wBNと結晶構造の異なる他の窒化ホウ素としてhBNを含んでいた。また、実施例1〜4の窒化ホウ素多結晶体において、粒状の結晶の平均粒径は、32〜101nmであった。また、実施例1〜4の窒化ホウ素多結晶体は、硬度が40GPa以上であり、かつ破壊靭性値が8.0MPa・m1/2以上であった。 As shown in Table 1, the boron nitride polycrystals of Examples 1 to 4 were found to contain 95% by volume or more of wBN. Specifically, the boron nitride polycrystals of Examples 1 and 3 had a wBN composition ratio of 100% by volume. The boron nitride polycrystal of Example 2 had a composition ratio of wBN of about 97% by volume, and contained hBN and cBN as other boron nitrides having a different crystal structure from wBN. The boron nitride polycrystal of Example 4 had a wBN composition ratio of about 99.9% by volume, and contained hBN as another boron nitride having a crystal structure different from that of wBN. Moreover, in the boron nitride polycrystal of Examples 1-4, the average particle diameter of the granular crystal was 32 to 101 nm. Moreover, the boron nitride polycrystals of Examples 1 to 4 had a hardness of 40 GPa or more and a fracture toughness value of 8.0 MPa · m 1/2 or more.

一方、比較例1〜2の窒化ホウ素多結晶体はwBNを有さず、また比較例3の窒化ホウ素多結晶体はwBNの組成比が30体積%程度と少なかった。また、比較例1および3の窒化ホウ素多結晶体の硬度は、実施例1〜4の窒化ホウ素多結晶体と同程度であったが、破壊靭性値が7.9MPa・m1/2以下であった。比較例2の窒化ホウ素多結晶体は、硬度および破壊靭性値ともに実施例1〜4の窒化ホウ素多結晶体よりも低かった。なお、実施例1〜4および比較例1〜3の窒化ホウ素多結晶体は直接変換法により作製されているため、いずれも不可避不純物がX線回折法において検出限界以下であった。 On the other hand, the boron nitride polycrystals of Comparative Examples 1 and 2 did not have wBN, and the boron nitride polycrystal of Comparative Example 3 had a small composition ratio of wBN of about 30% by volume. Moreover, the hardness of the boron nitride polycrystals of Comparative Examples 1 and 3 was comparable to those of the boron nitride polycrystals of Examples 1 to 4, but the fracture toughness value was 7.9 MPa · m 1/2 or less. there were. The boron nitride polycrystal of Comparative Example 2 was lower in both hardness and fracture toughness than the boron nitride polycrystal of Examples 1 to 4. In addition, since the boron nitride polycrystals of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3 were produced by a direct conversion method, inevitable impurities were all below the detection limit in the X-ray diffraction method.

表1より実施例1〜4の窒化ホウ素多結晶体は、比較例1〜3の窒化ホウ素多結晶体と比較して、耐亀裂伝搬性が向上していることが確認できた。   From Table 1, it was confirmed that the boron nitride polycrystals of Examples 1 to 4 had improved crack propagation resistance compared to the boron nitride polycrystals of Comparative Examples 1 to 3.

以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の実施の形態および実施例を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は上述の実施の形態および実施例に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。   Although the embodiments and examples of the present invention have been described above, various modifications can be made to the above-described embodiments and examples. Further, the scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

1 窒化ホウ素多結晶体、2 台金、3 ろう付け層、4 メタライズ層。   1 Boron nitride polycrystal, 2 base metal, 3 brazing layer, 4 metallized layer.

Claims (2)

出発物質として、X線回折法における黒鉛化指数が3.5未満である常圧型窒化ホウ素を準備する工程と、
前記常圧型窒化ホウ素を熱処理する工程とを備え、
前記熱処理する工程は、圧力8GPa以上かつ温度1200℃以上2200℃未満の条件にまで加圧および加熱する工程と、前記条件を維持する工程とを含む、窒化ホウ素多結晶体の製造方法。
Preparing a normal pressure boron nitride having a graphitization index of less than 3.5 in the X-ray diffraction method as a starting material;
Heat treating the atmospheric pressure boron nitride,
The step of performing the heat treatment includes a step of pressurizing and heating to a pressure of 8 GPa or more and a temperature of 1200 ° C. or more and less than 2200 ° C., and a step of maintaining the condition.
前記熱処理する工程では、前記常圧型窒化ホウ素をウルツ鉱型窒化ホウ素に直接変換させると同時に焼結する、請求項に記載の窒化ホウ素多結晶体の製造方法。 2. The method for producing a boron nitride polycrystal according to claim 1 , wherein in the heat treatment, the atmospheric pressure boron nitride is directly converted into wurtzite boron nitride and simultaneously sintered.
JP2012232989A 2012-10-22 2012-10-22 Method for producing boron nitride polycrystal Active JP5880389B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012232989A JP5880389B2 (en) 2012-10-22 2012-10-22 Method for producing boron nitride polycrystal

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012232989A JP5880389B2 (en) 2012-10-22 2012-10-22 Method for producing boron nitride polycrystal

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016015982A Division JP6288117B2 (en) 2016-01-29 2016-01-29 Boron nitride polycrystals and tools

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014084243A JP2014084243A (en) 2014-05-12
JP5880389B2 true JP5880389B2 (en) 2016-03-09

Family

ID=50787657

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012232989A Active JP5880389B2 (en) 2012-10-22 2012-10-22 Method for producing boron nitride polycrystal

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5880389B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016143172A1 (en) 2015-03-09 2016-09-15 住友電気工業株式会社 Ceramic powder and boron nitride sintered body

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5039444B2 (en) * 1972-05-17 1975-12-17
JPS5219208B2 (en) * 1973-04-04 1977-05-26
JPS5049309A (en) * 1973-09-03 1975-05-02
JPS5418240B2 (en) * 1974-02-26 1979-07-05

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014084243A (en) 2014-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5900502B2 (en) Cubic boron nitride composite polycrystal and manufacturing method thereof, cutting tool, drawing die, and grinding tool
JP6159064B2 (en) Cubic boron nitride composite polycrystal and cutting tool, wire drawing die, and grinding tool
JP6447205B2 (en) Cubic boron nitride polycrystal, cutting tool, wear-resistant tool, grinding tool, and method for producing cubic boron nitride polycrystal
JP6447197B2 (en) Cubic boron nitride polycrystal, cutting tool, wear-resistant tool, grinding tool, and method for producing cubic boron nitride polycrystal
JP6291995B2 (en) Cubic boron nitride polycrystal, cutting tool, wear-resistant tool, grinding tool, and method for producing cubic boron nitride polycrystal
JP2019085329A (en) Production method of polycrystalline boron nitride, polycrystalline boron nitride, cutting tool, wear-resistant tool and cutting tool
EP3266756A1 (en) Polycrystalline diamond body, cutting tool, wear-resistant tool, grinding tool and method for producing polycrystalline diamond body
JP2014080323A (en) Cubic boron nitride composite polycrystal, production method thereof, and cutting tool, abrasion resistance tool and grinding tool each equipped with the cubic boron nitride composite polycrystal
JP5929655B2 (en) Cubic boron nitride composite polycrystal, method for producing the same, cutting tool, and wear-resistant tool
WO2015166730A1 (en) Composite sintered body
JP6288117B2 (en) Boron nitride polycrystals and tools
JP6741017B2 (en) Composite polycrystalline
JP5880389B2 (en) Method for producing boron nitride polycrystal
JP2014080322A (en) Cubic boron nitride composite polycrystal, production method thereof, and cutting tool, abrasion resistance tool and grinding tool each equipped with the cubic boron nitride composite polycrystal
JP6015325B2 (en) Polycrystalline diamond, method for producing the same, and tool
JP2014080321A (en) Cubic boron nitride composite polycrystal, production method thereof, and cutting tool, abrasion resistance tool and grinding tool each equipped with the cubic boron nitride composite polycrystal
JP2011098875A (en) Cubic boron nitride sintered compact
JP6665969B2 (en) Polycrystalline diamond and method for producing the same
JP6950942B2 (en) Hard material containing rhenium nitride, its manufacturing method and cutting tools using it
JP2007217281A (en) Cubical boron nitride sintered compact and method of manufacturing the same
JP2014141359A (en) Sialon-base sintered compact

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150527

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150930

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20151013

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151207

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160105

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160118

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5880389

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250