JP5860234B2

JP5860234B2 - Electric heater substrate

Info

Publication number: JP5860234B2
Application number: JP2011154178A
Authority: JP
Inventors: 哲村山
Original assignee: 哲村山
Priority date: 2011-07-12
Filing date: 2011-07-12
Publication date: 2016-02-16
Anticipated expiration: 2031-07-12
Also published as: KR20130008437A; JP2013020854A

Description

本発明は、電熱ヒーター用基板に関し、更に詳しくは、主として、半導体製造装置等の配管及び機器を加熱するために使用する電熱ヒーター用基板に関する。 The present invention relates to an electric heater substrate, and more particularly, to an electric heater substrate used for heating piping and equipment such as a semiconductor manufacturing apparatus.

電熱ヒーターは、高温を必要とする機器及び配管を加熱又は保温するために使用されるものであり、例えば、マントルヒーター、リボンヒーター又はジャケットヒーター等が知られている。そして、近年、非常に多くの分野で使用されるようになり、とりわけ、半導体製造装置等では非常に高度な要求がされるようになってきている。 The electric heater is used to heat or keep equipment and pipes that require a high temperature. For example, a mantle heater, a ribbon heater, or a jacket heater is known. In recent years, it has been used in a great number of fields, and in particular, a very high demand has been made in a semiconductor manufacturing apparatus or the like.

第一に、加熱の均一性が強く要求されるようになり、発熱量の小さなヒーター線を緻密に配列することが要求された。特許文献１には、この問題を解決した電熱ヒーターが記載されている。図１４に示すように、特許文献１に記載されたヒーター線１３０は、ニクロム線１３１の表面にセラミック繊維からなるフェルト状の第１の被覆層１３２を形成し、その表面にセラミック繊維の編物等からなる第２の被覆層１３３を形成したものである。このヒーター線１３０は、絶縁性に優れていると共に柔軟性に富んでいるために、小さな曲げ半径で折り曲げることが可能である。 First, the uniformity of heating has been strongly demanded, and it has been demanded to arrange heater wires with small calorific values precisely. Patent Document 1 describes an electric heater that solves this problem. As shown in FIG. 14, the heater wire 130 described in Patent Document 1 has a felt-like first coating layer 132 made of ceramic fibers formed on the surface of a nichrome wire 131, and a ceramic fiber knitted fabric or the like on the surface. A second coating layer 133 made of is formed. Since this heater wire 130 is excellent in insulation and rich in flexibility, it can be bent with a small bending radius.

また、図１５に示すように、特許文献１に記載された電熱ヒーター１１０は、シート状の基材１２０の表面にヒーター線１３０を所定の形状で配列して固定糸１２１で固定し、これを断熱材１４０と共にカバー部材１５０に納めて構成している。ヒーター線１３０は、絶縁性と柔軟性に富んでいるために緻密な配列をすることが可能であり、このため加熱の均一性に優れたヒーターとすることができる。 As shown in FIG. 15, the electric heater 110 described in Patent Document 1 has heater wires 130 arranged in a predetermined shape on the surface of a sheet-like substrate 120 and fixed with fixing threads 121. The heat insulating material 140 and the cover member 150 are included in the structure. Since the heater wire 130 is rich in insulation and flexibility, it can be arranged in a dense manner, and therefore, a heater excellent in heating uniformity can be obtained.

更に、図１５に示すような平面形状ではなく、対象物の形状に合わせた形状とすることにより、加熱の均一性を一層高めることが要求された。特許文献２には、配管、継手、弁等の加熱や保温を目的として、対象物の外観形状に対応する形状に加工した電熱ヒーターが記載されている。例えば、図１６に示す電熱ヒーター１１０は配管用であり、基材１２０にヒーター線１３０を取り付けて断熱材１４０と共にカバー部材１５０に納めた構成は図１５と同様であるが、全体が配管の形状に対応するように加工されているので加熱の均一性が一層高められている。 Furthermore, it has been required to further improve the uniformity of heating by adopting a shape that matches the shape of the object instead of the planar shape as shown in FIG. Patent Document 2 describes an electric heater that has been processed into a shape corresponding to the external shape of an object for the purpose of heating and heat insulation of pipes, joints, valves, and the like. For example, the electric heater 110 shown in FIG. 16 is for piping, and the configuration in which the heater wire 130 is attached to the base material 120 and is housed in the cover member 150 together with the heat insulating material 140 is the same as in FIG. The uniformity of heating is further enhanced.

第二に、電熱ヒーターから発生するパーティクルを低減することが強く要求されるようになった。図１５に示すように、電熱ヒーター１１０を構成している基材１２０、固定糸１２１、断熱材１４０等は、電気絶縁性及び耐熱性を必要とするために、セラミック繊維等の織物やフェルトが用いられ、パーティクルの発生が非常に多い材料である。このため、これらを収納するカバー部材１５０については、パーティクルの発生が少ない材料とすることが要求された。 Secondly, there has been a strong demand to reduce particles generated from the electric heater. As shown in FIG. 15, the base material 120, the fixing thread 121, the heat insulating material 140 and the like constituting the electric heater 110 require electrical insulation and heat resistance. It is a material that is used and has an extremely large number of particles. For this reason, the cover member 150 for storing them is required to be made of a material that generates less particles.

特許文献３には、この問題を解決した電熱ヒーターが記載され、カバー部材の材料としてフッ素樹脂繊維又は芳香族ナイロン繊維を使用することが記載されている。また、多孔質のフッ素樹脂フィルムを使用することが記載されている。これらの材料は、耐熱性、電気絶縁性、柔軟性、安全性を備えると共に、物理的な耐久性を備えて破損し難いために、低発塵性の材料として使用することができる。 Patent Document 3 describes an electric heater that solves this problem, and describes that a fluororesin fiber or an aromatic nylon fiber is used as a material for a cover member. It also describes the use of a porous fluororesin film. These materials have heat resistance, electrical insulation properties, flexibility, safety, physical durability, and are not easily damaged, and thus can be used as a low dusting material.

また、特許文献４には、金属製の配管部材等に適用して着脱を繰り返しても破損しない十分な強度を有し、パーティクルが発生することもない電熱ヒーターが記載されている。そして、カバー部材の材質として、加熱面にはＰＢＯ繊維を、側面及び背面には芳香族ナイロン繊維を使用することが記載されている。 Patent Document 4 describes an electric heater that is applied to a metal piping member or the like and has sufficient strength that does not break even when it is repeatedly attached and detached, and does not generate particles. As a material for the cover member, it is described that PBO fibers are used on the heating surface and aromatic nylon fibers are used on the side surface and the back surface.

このように、電熱ヒーターは高度に精密な形態で製作されることとなった。しかしながら、半導体製造装置等における配管は、通常、狭い空間に複雑に入り込んだ配管であり、正確な配管図面が存在しない場合が多い。このために、設計者が現場に赴いて複雑な配管をスケッチして、詳細な採寸を行わなければならない。特に、配管の途中にある継手、バルブ等の位置を正確に採寸すると共に、ステー等の障害物についても入念に採寸する必要がある。この結果、電熱ヒーターの設計段階で多大な費用が発生することになる。 Thus, the electric heater was manufactured in a highly precise form. However, piping in a semiconductor manufacturing apparatus or the like is usually piping that has entered a narrow space in a complicated manner, and there are many cases where there is no accurate piping drawing. To this end, the designer must go to the site and sketch complex piping to perform detailed measurements. In particular, it is necessary to accurately measure the positions of joints, valves, and the like in the middle of piping, and to carefully measure obstacles such as stays. As a result, a great expense is generated in the design stage of the electric heater.

製造工程においても、標準化することができず、一品ごとに異なる図面に従って製造することとなるために、多大な労力を必要とすることになる。また、図１６に示すように、電熱ヒーター１１０を立体的な一体形状とするために、断熱材１４０及びカバー部材１５０等の寸法取り、裁断、縫合等の作業が、非常に複雑な作業となり、多大な労力を費やすことになる。さらに、製品の確認や検査等における労力も多大となる。この結果、製造段階でも多大な費用が発生することになる。 Even in the manufacturing process, standardization cannot be performed, and manufacturing is performed according to different drawings for each product, which requires a great deal of labor. Also, as shown in FIG. 16, in order to make the electric heater 110 into a three-dimensional integrated shape, the operations such as dimensioning, cutting, stitching, etc. of the heat insulating material 140 and the cover member 150 are very complicated operations. A great deal of effort will be spent. Furthermore, much labor is required for product confirmation and inspection. As a result, enormous costs are generated even in the manufacturing stage.

すなわち、現在の状況下では、電熱ヒーターを標準化することは困難であり、客先からの依頼を受けた後に、設計及び製作を行なわざるを得ないという問題がある。そして、設計段階及び製造段階における多大な労力は、多大なコストの発生となるのみならず、製品の納期に多大な期間を必要とするという問題がある。 That is, under the current situation, it is difficult to standardize an electric heater, and there is a problem that design and manufacture must be performed after receiving a request from a customer. Further, a great amount of labor in the design stage and the manufacturing stage has a problem that not only a great cost is generated, but a long period is required for delivery of the product.

そこで、本発明者は、特許文献５において、シート状の基材、該基材の表面又はその近傍に配列されたヒーター線、及びこれらを収納するヒーターカバーを備える加熱部と、断熱材及びこれを収納する断熱材カバーを備える保温部とを有する電熱ヒーターにおいて、前記加熱部が、切り込み可能な切込部を備えている電熱ヒーターを提案した。該電熱ヒーターによれば、現場において、適宜、切込部を切断することにより、半導体製造装置等における複雑な配管等に対応可能である故、現場における複雑なスケッチ作業や採寸作業をする必要がなく設計工程を簡略化することができる。従って、電熱ヒーターを標準化して在庫可能な商品とすることができる。それに伴って、設計及び製造コストも低減でき、かつ納期も短縮することができる。このように、特許文献５記載の電熱ヒーターによれば、従来の問題点を大きく改善することができた。しかし、それで十分と言うものではなかった。 Therefore, the present inventor in Patent Document 5, a sheet-like base material, a heater wire arranged on the surface of the base material or in the vicinity thereof, a heating unit including a heater cover for storing these, a heat insulating material, and this The electric heater which has the heat insulation part provided with the heat insulating material cover which accommodates this invention proposed the electric heater in which the said heating part was provided with the cutting part which can be cut. According to the electric heater, since it is possible to cope with complicated piping and the like in a semiconductor manufacturing apparatus etc. by appropriately cutting the cut portion at the site, it is necessary to perform complicated sketching work and measuring work at the site. Therefore, the design process can be simplified. Therefore, it is possible to standardize the electric heater and make it a commodity that can be stocked. Accordingly, design and manufacturing costs can be reduced, and the delivery time can be shortened. Thus, according to the electric heater described in Patent Document 5, the conventional problems could be greatly improved. But that wasn't enough.

特開２００３−３４７０１７号公報JP 2003-347017 A 特開２００２−２９５７８３号公報JP 2002-295883 A 特開２００４−１８５９１０号公報JP 2004-185910 A 特開２００５−１６６３５２号公報JP 2005-166352 A 特開２００９−１９９９６７号公報JP 2009-199967 A

本発明は、予め電熱ヒーターとして組み立てる必要がなく、別個に、電熱ヒーターの要素、例えば、ヒーター線、断熱材、カバー部材等を準備して、現場で組み立て得ることから、複雑な配管、装置等の加熱及び保温に容易かつ適切に対応可能であり、現場での取付け施工を著しく簡便化し得るばかりではなく、自体簡単な形状であり、かつ、用途に応じて、他の電熱ヒーターの要素を適切に選択し得ることから、加熱及び保温に要する設計、施工及び製造コストを著しく低減し得る電熱ヒーター用基板を提供するものである。 The present invention does not need to be assembled in advance as an electric heater, and separately prepares elements of the electric heater, such as heater wires, heat insulating materials, cover members, etc., and can be assembled on-site. It can easily and appropriately respond to the heating and heat insulation, and can not only greatly simplify the installation work on site, but also has a simple shape and other elements of the electric heater depending on the application. Therefore, it is an object of the present invention to provide an electric heater substrate that can significantly reduce the design, construction, and manufacturing costs required for heating and heat insulation.

本発明者は、特許文献５記載の電熱ヒーターを改良すべく、更なる検討を試みた。特許文献５記載の電熱ヒーターは、加熱部が切り込み可能な切込部を備えていることにより、複雑な配管、装置等の加熱及び保温においても、該切込部を適宜切断することにより、効率よく対応することができる。その一方、該電熱ヒーターは一体型に形成されており、また、所定の位置に切込部を設ける必要があることから、従来品に比べれば製造コスト、設置コスト等を低減し得るとはいうものの、改善の余地がないわけではなかった。また、実際の配管等に設置した際、不要な切込部分が存在したりする等、改善を必要とする問題も存在していた。そこで、本発明者は、このような一体型の電熱ヒーターと言う既存の考えから脱却し、電熱ヒーター用基板、ヒーター線、保温材等の個々の要素を、夫々、別々に提供できれば、そして、これらの要素の全て、とりわけ、電熱ヒーター用基板を標準化できれば、これら要素を予め一体型に組み立てて電熱ヒーターとして提供する必要はなく、現場で、実際の配管、装置等に合わせて、適宜、これらの要素を選択して組立てることにより電熱ヒーターとすることができ、作業性、並びに、設計、施工及び製造コスト等を著しく低減し得るのではないかという観点に立って、本発明を完成したのである。 This inventor tried further examination in order to improve the electric heater of patent documents 5. The electric heater described in Patent Document 5 is provided with a cut portion that can be cut by the heating portion, so that the efficiency can be improved by appropriately cutting the cut portion even in heating and heat insulation of complicated pipes and devices. Can respond well. On the other hand, the electric heater is integrally formed, and it is necessary to provide a notch at a predetermined position. Therefore, it can be said that manufacturing costs, installation costs, etc. can be reduced as compared with conventional products. However, there was no room for improvement. In addition, when installed in actual piping or the like, there are problems that require improvement, such as the presence of unnecessary cut portions. Therefore, the present inventor has moved away from the existing idea of such an integrated electric heater, and if individual elements such as an electric heater substrate, a heater wire, and a heat insulating material can be separately provided, and If all of these elements, in particular, the electric heater substrate can be standardized, it is not necessary to assemble these elements in advance and provide them as electric heaters. The present invention has been completed from the viewpoint of being able to make an electric heater by selecting and assembling the above elements, and from the viewpoint that workability and design, construction and manufacturing costs can be significantly reduced. is there.

即ち、本発明は、
（１）金属製平板のみから成り、該金属製平板が、その少なくとも一つの面に、該平板内部に形成された、互いに略平行な複数の溝を備え、該金属製平板が、上記の互いに略平行な複数の溝の長さ方向に沿って折り曲げ可能であり、かつ、上記の互いに略平行な複数の溝が、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込み可能に形成されている電熱ヒーター用基板において、上記電熱ヒーター用基板を、現場での加熱及び保温の取付け施工に際して、現場で配管及び機器に合せて折り曲げ、次いで、上記ヒーター線を、現場で上記溝にはめ込む、電熱ヒーター用基板の使用方法である。 That is, the present invention
(1) It consists only of a metal flat plate, and the metal flat plate is provided with a plurality of substantially parallel grooves formed in the flat plate on at least one surface thereof, For electric heaters that can be bent along the length direction of a plurality of substantially parallel grooves, and that the plurality of substantially parallel grooves are formed so that insulated heater wires can be fitted therein. in the substrate, a substrate for a electric heater, when the mounting construction of the heating and heat-retention at the site, the site bent to fit the pipes and equipment, then the heater wire, Komu fit into the groove in the field, for electric heater It is the usage method of a board | substrate.

好ましい態様として、
（２）一つの面に備えられる、互いに略平行な複数の溝の直径が略同一である、上記（１）記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（３）上記の互いに略平行な複数の溝が、上記の金属製平板の相対する二つの面に備えられている、上記（１）又は（２）記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（４）上記の金属製平板の一方の面に備えられている溝の直径と他方の面に備えられている溝の直径とが互いに異なる、上記（３）記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（５）上記の金属製平板の面に備えられている溝の直径が、０．８〜５．０ｍｍの範囲から選ばれる、上記（１）〜（４）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（６）上記の金属製平板の面に備えられている溝の直径が、１．８〜２．８ｍｍの範囲から選ばれる、上記（１）〜（４）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（７）上記の金属製平板の一方の面に備えられている溝の直径が、１．８〜２．０ｍｍであり、他方の面に備えられている溝の直径が２．６〜２．８ｍｍである、上記（３）又は（４）記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（８）上記の金属製平板が長方形又は正方形である、上記（１）〜（７）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（９）上記の金属製平板がアルミニウム又はアルミニウム合金製である、上記（１）〜（８）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（１０）上記の金属製平板が、上記の複数の溝の長さ方向に略平行な金属製平板端部で、該金属製平板同士を水平及び垂直方向のいずれにも接続可能に形成されている、上記（１）〜（９）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（１１）上記の互いに略平行な複数の溝をその長さ方向に垂直な面で切断したときの溝の断面が、略Ｕ字形又は略半円形である、上記（１）〜（１０）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（１２）上記の金属製平板の厚さが２．０〜１２．０ｍｍである、上記（１）〜（１１）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（１３）上記の金属製平板の厚さが３．０〜８．０ｍｍである、上記（１）〜（１１）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（１４）上記の金属製平板の厚さが４．０〜６．０ｍｍである、上記（１）〜（１１）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（１５）上記の金属製平板の、溝に垂直な方向の全長（幅）が５０〜３００ｍｍである、上記（１）〜（１４）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（１６）上記の金属製平板の幅が７０〜２００ｍｍである、上記（１）〜（１４）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（１７）上記の金属製平板の幅が９０〜１００ｍｍである、上記（１）〜（１４）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（１８）上記の金属製平板の、溝に水平な方向の全長（長さ）が、３，０００ｍｍ以下である、上記（１）〜（１７）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（１９）上記の金属製平板の長さが、１，５００〜２，５００ｍｍである、上記（１）〜（１７）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法、
（２０）上記の金属製平板の長さが、１，９００〜２，１００ｍｍである、上記（１）〜（１７）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の使用方法
を挙げることができる。 As a preferred embodiment,
(2) The method of using the electric heater substrate according to (1) above, wherein the diameters of the plurality of substantially parallel grooves provided on one surface are substantially the same.
(3) The method for using the electric heater substrate according to (1) or (2), wherein the plurality of grooves substantially parallel to each other are provided on two opposing surfaces of the metal flat plate,
(4) The method for using the electric heater substrate according to (3), wherein a diameter of the groove provided on one surface of the metal flat plate is different from a diameter of the groove provided on the other surface. ,
(5) The electric heating according to any one of (1) to (4), wherein a diameter of the groove provided on the surface of the metal flat plate is selected from a range of 0.8 to 5.0 mm. How to use the heater substrate,
(6) The electric heating according to any one of (1) to (4), wherein a diameter of a groove provided on the surface of the metal flat plate is selected from a range of 1.8 to 2.8 mm. How to use the heater substrate,
(7) The diameter of the groove provided on one surface of the metal flat plate is 1.8 to 2.0 mm, and the diameter of the groove provided on the other surface is 2.6 to 2. The method for using the electric heater substrate according to (3) or (4), which is 8 mm,
(8) The method for using the electric heater substrate according to any one of (1) to (7), wherein the metal flat plate is rectangular or square.
(9) The method for using the electric heater substrate according to any one of (1) to (8), wherein the metal flat plate is made of aluminum or an aluminum alloy.
(10) The metal flat plate is formed so that the metal flat plates can be connected in both the horizontal and vertical directions at the end of the metal flat plate substantially parallel to the length direction of the plurality of grooves. A method of using the electric heater substrate according to any one of (1) to (9),
(11) In the above (1) to (10), the cross section of the groove when the plurality of grooves substantially parallel to each other is cut along a plane perpendicular to the length direction is substantially U-shaped or semicircular. Use of the electric heater substrate according to any one of the above,
(12) The method for using the electric heater substrate according to any one of (1) to (11) above, wherein the thickness of the metal flat plate is 2.0 to 12.0 mm,
(13) The method of using the electric heater substrate according to any one of (1) to (11), wherein the thickness of the metal flat plate is 3.0 to 8.0 mm,
(14) The method for using the electric heater substrate according to any one of (1) to (11), wherein the thickness of the metal flat plate is 4.0 to 6.0 mm.
(15) The method for using the electric heater substrate according to any one of (1) to (14) above, wherein an overall length (width) of the metal flat plate in a direction perpendicular to the groove is 50 to 300 mm. ,
(16) The method for using the electric heater substrate according to any one of (1) to (14), wherein the width of the metal flat plate is 70 to 200 mm,
(17) The method for using the electric heater substrate according to any one of (1) to (14), wherein the width of the metal flat plate is 90 to 100 mm,
(18) The electric heater substrate according to any one of (1) to (17), wherein an overall length (length) of the metal flat plate in a direction horizontal to the groove is 3,000 mm or less. How to use ,
(19) The method for using the electric heater substrate according to any one of (1) to (17), wherein the length of the metal flat plate is 1,500 to 2,500 mm,
(20) The method of using the electric heater substrate according to any one of (1) to (17), wherein the length of the metal flat plate is 1,900 to 2,100 mm. Can be mentioned.

従来、プレートヒーター（スペースヒーター）は、金属製の厚板、例えば、アルミニウム製又はアルミニウム合金製の厚板をドリル等で切削して穴を空け、この穴に棒状の電熱ヒーターを差し込むことにより製造していた。しかし、ドリルでの切削により穴を空ける方法では、その穴の長さに限界があるばかりではなく、該方法によれば、相当の製造コストが必要であり、結局、プレートヒーターの価格に該コストを転嫁せざるを得なかった。そこで、本発明者は、上記の電熱ヒーター用基板をプレートヒーターとして使用できないかを鋭意検討した。その結果、上記の電熱ヒーター用基板の互いに略平行な複数の溝に絶縁されたヒーター線をはめ込み、そして、その面上、また、必要に応じて反対の面上に、金属製平板を設置すれば、上記の互いに略平行な複数の溝を備える電熱ヒーター用基板は、押出成型で容易に作製し得ることから、従来品のようにドリルで切削して穴を空けることなく、簡便かつ著しく安価にプレートヒーターを製造し得ることを見出した。また、押出成型であることから、穴の長さも、ドリル切削で穴を空ける方法に存在するような限界もない。 Conventionally, a plate heater (space heater) is manufactured by cutting a metal plank, for example, a plank made of aluminum or aluminum alloy, using a drill or the like to make a hole, and inserting a rod-shaped electric heater into this hole. Was. However, the method of making a hole by cutting with a drill not only has a limit on the length of the hole, but according to the method, a considerable manufacturing cost is required, and the cost of the plate heater is eventually reduced. I had to pass on. Therefore, the present inventor diligently studied whether the above-mentioned electric heater substrate can be used as a plate heater. As a result, the insulated heater wires are fitted into a plurality of substantially parallel grooves of the electric heater substrate, and a metal flat plate is installed on the surface and, if necessary, on the opposite surface. For example, since the electric heater substrate having a plurality of grooves substantially parallel to each other can be easily produced by extrusion molding, it is simple and extremely inexpensive without using a drill to make a hole like a conventional product. It was found that a plate heater can be manufactured. Moreover, since it is extrusion molding, there is no limit which exists in the method of drilling a hole by the length of a hole.

本発明は、また、
（２１）互いに略平行な複数の溝に絶縁されたヒーター線がはめ込まれている、上記（１）〜（２０）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の、ヒーター線がはめ込まれている側の面及び／又は該面と反対側の面に、金属製平板が備えられてなるプレートヒーターである。 The present invention also provides
(21) The heater wire of the electric heater substrate according to any one of (1) to (20), wherein a heater wire insulated in a plurality of grooves substantially parallel to each other is fitted. It is the plate heater by which the metal flat plate is provided in the surface and the surface on the opposite side to this surface.

好ましい態様として、
（２２）上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板が電熱ヒーター用基板と接する面と、該金属製平板が備えられる電熱ヒーター用基板面とが略一致している、上記（２１）記載のプレートヒーター、
（２３）上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板の厚さが、２．０〜３０．０ｍｍである、上記（２１）又は（２２）記載のプレートヒーター、
（２４）上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板の厚さが、５．０〜２０．０ｍｍである、上記（２１）又は（２２）記載のプレートヒーター、
（２５）上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板が、アルミニウム又はアルミニウム合金製である、上記（２１）〜（２４）のいずれか一つに記載のプレートヒーター
を挙げることができる。 As a preferred embodiment,
(22) The above-mentioned (21), wherein the surface of the metal flat plate provided on the electric heater substrate is in contact with the surface of the electric heater substrate provided with the metal flat plate. Plate heater,
(23) The plate heater according to (21) or (22), wherein the thickness of the metal flat plate provided on the electric heater substrate is 2.0 to 30.0 mm,
(24) The plate heater according to (21) or (22), wherein the thickness of the metal flat plate provided on the electric heater substrate is 5.0 to 20.0 mm,
(25) The plate heater according to any one of (21) to (24), wherein the metal flat plate provided on the electric heater substrate is made of aluminum or an aluminum alloy.

本発明の電熱ヒーター用基板は、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込むことができる互いに略平行な複数の溝を備えており、かつ、該基板は、該溝の長さ方向に沿って折り曲げ可能であることから、現場において、加熱又は保温すべき配管及び機器等に合わせて、配管及び機器等に該基板を巻き付け、そして、加熱又は保温に必要な熱量を与えるように、該基板上に備えられた複数の溝に、絶縁されたヒーター線を、適宜、はめ込むことができる。従って、配管及び機器等を適切に加熱又は保温することができ、現場での取付け施工を著しく簡便化し得る。また、実際の装置においては使用される配管径は限定される故、予めそれに適合する基板を準備する等、規格化が容易である。加えて、従来の電熱ヒーターのように一体型ではなく、電熱ヒーターを構成する要素ごとに保管及び提供して、その場で組み立て可能であることから、作業性、並びに、製造及び設置コスト等を著しく改善し得る。また、溝の直径を、市販の絶縁されたヒーター線がはめ込み可能に設計すれば、市販の絶縁されたヒーター線を効果的に使用することができ、更なる、コスト削減を達成することができる。好ましくは、本発明の電熱ヒーター用基板は、基板の相対する二つの面、即ち、表裏両面に、好ましくは、直径の異なる溝を備えることができる。これにより、配管及び機器等の加熱又は保温に必要な熱量に合わせて、いずれかの直径の溝を選ぶことができ、そして、その溝に適合する絶縁されたヒーター線をはめ込むことにより、より適切かつ簡便に、配管等の加熱又は保温を達成することができる。加えて、本発明の電熱ヒーター用基板は、金属製平板より成ることから、例えば、半導体製造において低減することを強く要求されているパーティクルの発生がない。また、本発明の電熱ヒーター用基板を使用すれば、簡便かつ著しく安価にプレートヒーターを製造することができる。 The electric heater substrate of the present invention has a plurality of substantially parallel grooves into which the insulated heater wires can be fitted, and the substrate is bent along the length direction of the grooves. Since it is possible, the substrate is wrapped around the piping and equipment in accordance with the piping and equipment to be heated or kept warm on the site, and the amount of heat necessary for heating or keeping warm is applied on the board. An insulated heater wire can be appropriately fitted in the plurality of grooves provided. Therefore, piping and equipment can be appropriately heated or kept warm, and installation work on site can be greatly simplified. In addition, since the pipe diameter used in an actual apparatus is limited, standardization is easy, for example, by preparing a board suitable for it in advance. In addition, it is not integrated as in the conventional electric heater, but can be stored and provided for each component constituting the electric heater, and can be assembled on the spot, so that workability, manufacturing and installation costs, etc. are reduced. It can be significantly improved. In addition, if the diameter of the groove is designed so that a commercially available insulated heater wire can be fitted, a commercially available insulated heater wire can be used effectively, and further cost reduction can be achieved. . Preferably, the electric heater substrate of the present invention can be provided with grooves having different diameters on two opposite surfaces of the substrate, that is, both the front and back surfaces. This makes it possible to select a groove of any diameter according to the amount of heat required for heating or heat insulation of piping and equipment, etc., and by fitting an insulated heater wire that fits the groove, it is more appropriate And simply, heating or heat insulation of piping etc. can be achieved. In addition, since the electric heater substrate of the present invention is made of a metal flat plate, for example, there is no generation of particles that are strongly required to be reduced in semiconductor manufacturing. In addition, if the electric heater substrate of the present invention is used, a plate heater can be manufactured easily and at a very low cost.

図１は、本発明の電熱ヒーター用基板の一実施態様を示した平面図（ａ）及びそのＡ−Ａ断面図（ｂ）である。FIG. 1: is the top view (a) which showed one embodiment of the board | substrate for electric heaters of this invention, and its AA sectional drawing (b). 図２は、図１に示した電熱ヒーター用基板のＡ−Ａ断面図の部分拡大図である。2 is a partially enlarged view of the AA cross-sectional view of the electric heater substrate shown in FIG. 図３は、本発明の電熱ヒーター用基板を構成する金属製平板に備えられた互いに略平行な複数の溝に絶縁されたヒーター線をはめ込んだ状態の平面図（ａ）及びそのＢ−Ｂ断面図（ｂ）である。FIG. 3A is a plan view of a state in which insulated heater wires are inserted into a plurality of substantially parallel grooves provided on a metal flat plate constituting the electric heater substrate of the present invention, and its BB cross section. FIG. 図４は、本発明の電熱ヒーター用基板の他の一実施態様を示した平面図（ａ）、底面図（ｂ）及びＣ−Ｃ断面図（ｃ）である。FIG. 4: is the top view (a), bottom view (b), and CC sectional drawing (c) which showed other one Embodiment of the board | substrate for electric heaters of this invention. 図５は、図４に示した電熱ヒーター用基板（Ａ）のＣ−Ｃ断面図（ｃ）の部分拡大図である。FIG. 5 is a partially enlarged view of CC sectional view (c) of the electric heater substrate (A) shown in FIG. 図６は、電熱ヒーター用基板の一方の端部と他方の端部の一実施態様の概略を示した図である。FIG. 6 is a diagram showing an outline of an embodiment of one end and the other end of the electric heater substrate. 図７は、二枚の電熱ヒーター用基板を水平方向に接続したとき（ａ）と垂直方向に接続したとき（ｂ）の概略図である。FIG. 7 is a schematic diagram when two electric heater substrates are connected in the horizontal direction (a) and when connected in the vertical direction (b). 図８は、水平方向に接続した、二枚の電熱ヒーター用基板を、ストッパーを使用して固定した状態を示す概略図である。FIG. 8 is a schematic view showing a state in which two electric heater substrates connected in the horizontal direction are fixed using a stopper. 図９は、電熱ヒーター用基板を配管に巻き付ける状態を示す概略図である。FIG. 9 is a schematic view showing a state where the electric heater substrate is wound around the pipe. 図１０は、溝と溝とを隔てる部分が取り除かれた電熱ヒーター用基板に絶縁されたヒーター線をはめ込んだ状態の平面図である。FIG. 10 is a plan view showing a state in which the insulated heater wire is fitted to the electric heater substrate from which the part separating the grooves is removed. 図１１は、ヒーター線保護カバー（ａ）及びそれを電熱ヒーター用基板に装着したとき（ｂ）の概略図である。FIG. 11 is a schematic diagram of the heater wire protective cover (a) and when it is mounted on the electric heater substrate (b). 図１２は、電熱ヒーター用基板を直角方向に接続したときに使用するヒーター線保護カバー（ａ）及びそれを電熱ヒーター用基板に装着したとき（ｂ）の概略図である。FIG. 12 is a schematic view of the heater wire protective cover (a) used when the electric heater substrate is connected in a right angle direction and when the electric wire heater cover is attached to the electric heater substrate (b). 図１３は、本発明のプレートヒーターの一実施態様の断面を示す概略図である。FIG. 13 is a schematic view showing a cross section of one embodiment of the plate heater of the present invention. 図１４は、ヒーター線の例を示す概略斜視図である。FIG. 14 is a schematic perspective view showing an example of a heater wire. 図１５は、従来の電熱ヒーターの一例を示す概略斜視図である。FIG. 15 is a schematic perspective view showing an example of a conventional electric heater. 図１６は、従来の電熱ヒーターの他の例を示す概略斜視図である。FIG. 16 is a schematic perspective view showing another example of a conventional electric heater.

本発明の電熱ヒーター用基板の一実施態様の平面図（ａ）及びそのＡ−Ａ断面図（ｂ）を図１に示した。図１に示す通り、本発明の電熱ヒーター用基板（Ａ）は金属製平板（１）から成り、かつ、該金属製平板（１）は、その少なくとも一つの面に、互いに略平行な複数の溝（２）を備えている。また、金属製平板（１）は、互いに略平行な複数の溝（２）の長さ方向に沿って折り曲げ可能、即ち、人力又は簡便な治具により容易に折り曲げることができるものである。例えば、金属製平板（１）を人力で配管に押し付けることにより、配管に沿って容易に折り曲げることができる。これにより、例えば、加熱又は保温をする配管及び機器等に、金属製平板（１）を自在に巻き付けることができる。該金属製平板（１）としては、上記のように複数の溝（２）の長さ方向に沿って、容易に折り曲げ可能であると共に、熱伝導が良好である材質が選ばれる。通常、加工の容易さ及び価格等の観点から、好ましくはアルミニウム又はアルミニウム合金（例えば、ＪＩＡＡ６０６３Ｔ１等）が使用される。該金属製平板（１）は、切削等の金属加工により製造することもできるが、特に好ましくは、押出成型により製造する。これにより、著しく製造コストを低減し得る。また、互いに略平行な複数の溝（２）は、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込むことができるように形成されている。図２は、図１に示した電熱ヒーター用基板（Ａ）のＡ−Ａ断面図（ｂ）の部分拡大図である。互いに略平行な複数の溝（２）の断面、即ち、該溝（２）をその長さ方向に垂直な面で切断したときの溝の断面は、好ましくは、略Ｕ字形又は略半円形であり、より好ましくは、図１及び２に示すように略Ｕ字形である。該溝（２）の直径（３）、即ち、該溝（２）の断面の開口部の幅は、絶縁されたヒーター線をはめ込むことができればよく、通常、絶縁されたヒーター線の直径とほぼ等しいか又はやや小さい。やや小さめとすることにより、はめ込んだヒーター線の脱落を防止し得る。該溝の直径（３）は、好ましくは０．８〜５．０ｍｍの範囲から選ばれ、より好ましくは１．８〜２．８ｍｍの範囲から選ばれる。絶縁されたヒーター線としては、オリジナル製品を使用することもできるが、市販品を使用することが特に好ましい。市販品を使用することにより、とりわけ、絶縁されたヒーター線を特注する必要がなく、コスト低減を達成することができる。絶縁されたヒーター線の市販品としては、例えば、株式会社加島製マイクロヒーター等を使用することができる。また、一つの面に備えられる、互いに略平行な複数の溝（２）の直径（３）は、略同一であることが好ましい。これにより、基板（１）の製造を簡略化し得る。図３には、本発明の電熱ヒーター用基板を構成する金属製平板に備えられた互いに略平行な複数の溝（２）に絶縁されたヒーター線（４）をはめ込んだ状態の平面図（ａ）、及び、そのＢ−Ｂ断面図を示した。このように絶縁されたヒーター線（４）は、金属製平板に備えられた互いに略平行な複数の溝（２）中にはめ込まれる。図３においては、絶縁されたヒーター線（４）は全ての互いに略平行な複数の溝（２）中に嵌め込まれているが、もちろん、互いに略平行な複数の溝（２）の１本おき、又は、２本おき等、適宜、定めて嵌め込むことができる。 FIG. 1 shows a plan view (a) and an AA sectional view (b) of an embodiment of the electric heater substrate of the present invention. As shown in FIG. 1, the electric heater substrate (A) of the present invention comprises a metal flat plate (1), and the metal flat plate (1) has a plurality of substantially parallel to each other on at least one surface thereof. A groove (2) is provided. The metal flat plate (1) can be bent along the length direction of the plurality of grooves (2) substantially parallel to each other, that is, can be easily bent by human power or a simple jig. For example, the metal flat plate (1) can be easily bent along the pipe by pressing it against the pipe manually. Thereby, a metal flat plate (1) can be freely wound around, for example, pipes and equipment for heating or keeping warm. As the metal flat plate (1), a material that can be easily bent along the length direction of the plurality of grooves (2) as described above and has good heat conduction is selected. Usually, aluminum or an aluminum alloy (for example, JIA A 6063T1 etc.) is preferably used from the viewpoint of ease of processing and price. Although this metal flat plate (1) can be manufactured by metal processing such as cutting, it is particularly preferably manufactured by extrusion molding. This can significantly reduce the manufacturing cost. The plurality of grooves (2) substantially parallel to each other are formed so that the insulated heater wires can be fitted therein. FIG. 2 is a partially enlarged view of the AA sectional view (b) of the electric heater substrate (A) shown in FIG. The cross section of the plurality of grooves (2) substantially parallel to each other, that is, the cross section of the groove when the groove (2) is cut along a plane perpendicular to the length direction thereof is preferably substantially U-shaped or substantially semicircular. More preferably, it is substantially U-shaped as shown in FIGS. The diameter (3) of the groove (2), that is, the width of the opening in the cross section of the groove (2) is only required to be able to fit the insulated heater wire, and is generally approximately equal to the diameter of the insulated heater wire. Equal or slightly smaller. By making it a little smaller, it is possible to prevent the fitted heater wire from falling off. The groove diameter (3) is preferably selected from the range of 0.8 to 5.0 mm, more preferably from the range of 1.8 to 2.8 mm. Although an original product can be used as the insulated heater wire, it is particularly preferable to use a commercial product. By using a commercial product, it is not necessary to specially order an insulated heater wire, and cost reduction can be achieved. As a commercial product of the insulated heater wire, for example, a micro heater manufactured by Kashima Co., Ltd. can be used. Moreover, it is preferable that the diameter (3) of the some groove | channel (2) provided in one surface substantially parallel is substantially the same. Thereby, manufacture of a board | substrate (1) can be simplified. FIG. 3 is a plan view showing a state in which a heater wire (4) is fitted in a plurality of grooves (2) substantially parallel to each other provided on a metal flat plate constituting the electric heater substrate of the present invention (a ) And its BB cross section. The heater wire (4) thus insulated is fitted into a plurality of substantially parallel grooves (2) provided on the metal flat plate. In FIG. 3, the insulated heater wire (4) is fitted in all of the plurality of substantially parallel grooves (2), but, of course, every other plurality of substantially parallel grooves (2). Alternatively, it can be determined and fitted as appropriate, such as every two.

図４には、本発明の電熱ヒーター用基板の他の一実施態様の平面図（ａ）、底面図（ｂ）及びＣ−Ｃ断面図（ｃ）を示した。図４に示す通り、本発明の電熱ヒーター用基板（Ａ）は金属製平板（１）から成り、かつ、該金属製平板（１）は、その相対する二つの面、即ち、表裏面に、互いに略平行な複数の溝（２，２’）を備えている。また、金属製平板（１）は、上記と同様に、表裏面に備えられた互いに略平行な複数の溝（２，２’）の長さ方向に沿って、表裏面のいずれの側にも折り曲げ可能である。これにより、例えば、加熱又は保温をする配管及び機器等に、金属製平板（１）を自在に巻き付けることができる。また、互いに略平行な複数の溝（２，２’）は、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込むことができるように形成されている。該金属製平板（１）の材質は上記と同様である。また、上記と同様に押出成型により製造することが好ましい。図５は、図４に示した電熱ヒーター用基板（Ａ）のＣ−Ｃ断面図（ｃ）の部分拡大図である。互いに略平行な複数の溝（２，２’）の断面は、上記と同じく、好ましくは、略Ｕ字形、略半円形であり、より好ましくは、図４及び５に示すように略Ｕ字形である。該溝（２，２’）の直径（３，３’）、即ち、該溝（２，２’）の断面の開口部の幅は、絶縁されたヒーター線をはめ込むことができればよく、通常、絶縁されたヒーター線の直径とほぼ等しいか又はやや小さい。上記と同様にやや小さいほうが好ましい。該溝の直径（３，３’）は、好ましくは０．８〜５．０ｍｍの範囲から選ばれ、より好ましくは１．８〜２．８ｍｍの範囲から選ばれる。この実施態様においては、金属製平板（１）の一の面、即ち、表面に備えられている互いに略平行な複数の溝（２）の直径（３）と、他の面、即ち、裏面に備えられている互いに略平行な複数の溝（２’）の直径（３’）は、互いに異なる。好ましくは、金属製平板の一の面に備えられている溝の直径（３）が、２．６〜２．８ｍｍであり、他の面に備えられている溝の直径（３’）が１．８〜２．０ｍｍである。これにより、加熱又は保温すべき配管及び機器等に必要な熱量に合わせて、いずれかの面又は両面を使用して加熱又は保温をすることができる。 FIG. 4 shows a plan view (a), a bottom view (b), and a CC sectional view (c) of another embodiment of the electric heater substrate of the present invention. As shown in FIG. 4, the electric heater substrate (A) of the present invention comprises a metal flat plate (1), and the metal flat plate (1) has two opposite surfaces, that is, on the front and back surfaces. A plurality of grooves (2, 2 ′) substantially parallel to each other are provided. In addition, the metal flat plate (1) is disposed on either side of the front and back surfaces along the length direction of the plurality of substantially parallel grooves (2, 2 ′) provided on the front and back surfaces, as described above. It can be bent. Thereby, a metal flat plate (1) can be freely wound around, for example, pipes and equipment for heating or keeping warm. The plurality of grooves (2, 2 ') that are substantially parallel to each other are formed so that the insulated heater wires can be fitted therein. The material of the metal flat plate (1) is the same as described above. Moreover, it is preferable to manufacture by extrusion molding similarly to the above. FIG. 5 is a partially enlarged view of CC sectional view (c) of the electric heater substrate (A) shown in FIG. The cross-sections of the plurality of grooves (2, 2 ′) that are substantially parallel to each other are preferably substantially U-shaped and substantially semicircular, and more preferably substantially U-shaped as shown in FIGS. is there. The diameter (3, 3 ') of the groove (2, 2'), that is, the width of the opening in the cross section of the groove (2, 2 ') is sufficient as long as an insulated heater wire can be fitted. It is approximately equal to or slightly smaller than the diameter of the insulated heater wire. A slightly smaller one is preferable as described above. The diameter (3, 3 ') of the groove is preferably selected from the range of 0.8 to 5.0 mm, more preferably from the range of 1.8 to 2.8 mm. In this embodiment, on one surface of the metal flat plate (1), that is, the diameter (3) of a plurality of grooves (2) provided substantially parallel to each other and on the other surface, that is, the back surface. The diameters (3 ′) of the plurality of grooves (2 ′) provided substantially parallel to each other are different from each other. Preferably, the diameter (3) of the groove provided on one surface of the metal flat plate is 2.6 to 2.8 mm, and the diameter (3 ′) of the groove provided on the other surface is 1. .8 to 2.0 mm. Thereby, according to the calorie | heat amount required for piping and apparatus etc. which should be heated or heat-retained, it can heat or heat-retain using either surface or both surfaces.

本発明の電熱ヒーター用基板を構成する金属製平板の、複数の溝を備える面及びその反対側の面の形状は、好ましくは、四角形であり、より好ましくは、正方形、長方形であり、更に好ましくは長方形である。また、金属製平板（１）の厚さ（５）は、溝の高さ（深さ）（６，６’）、並びに、上記所定の材質で製造した際に、平板（１）が複数の溝の長さ方向に沿って折り曲げ可能であるか否か、その強度及び製造コスト等に依存して定められる。通常、図１に示したような一面のみに溝（２）を有する態様の電熱ヒーター用基板（Ａ）にあっては、金属製平板（１）の厚さ（５）は、溝の高さ（６）に加えて、好ましくは０．５〜２．０ｍｍ程度であり、図４に示したような表裏両面に溝（２，２’）を有する態様の電熱ヒーター用基板（Ａ）にあっては、金属製平板（１）の厚さ（５）は、一の面に備えられた溝の高さ（６）と他の面に備えられた溝の高さ（６’）の合計に加えて、好ましくは０．５〜２．０ｍｍ程度である。金属製平板（１）の厚さ（５）は、好ましくは２．０〜１２．０ｍｍ、より好ましくは３．０〜８．０ｍｍ、更に好ましくは４．０〜６．０ｍｍである。例えば、金属製平板の一の面に備えられている溝の直径（３）が、２．６〜２．８ｍｍであり、他の面に備えられている溝の直径（３’）が１．８〜２．０ｍｍであるときには、金属製平板（１）の厚さ（５）は、好ましくは４．８〜５．２ｍｍ程度である。 The shape of the metal flat plate constituting the electric heater substrate of the present invention, the surface having a plurality of grooves and the surface on the opposite side thereof is preferably a quadrangle, more preferably a square or a rectangle, and still more preferably. Is a rectangle. Further, the thickness (5) of the metal flat plate (1) is such that the groove (height) (6, 6 ') and the flat plate (1) have a plurality of thicknesses when manufactured with the predetermined material. It is determined depending on whether it can be bent along the length direction of the groove, its strength, manufacturing cost, and the like. Usually, in the electric heater substrate (A) having the groove (2) only on one surface as shown in FIG. 1, the thickness (5) of the metal flat plate (1) is the height of the groove. In addition to (6), it is preferably about 0.5 to 2.0 mm, and is suitable for the electric heater substrate (A) having a groove (2, 2 ′) on both the front and back surfaces as shown in FIG. Thus, the thickness (5) of the metal flat plate (1) is the sum of the height (6) of the groove provided on one surface and the height (6 ′) of the groove provided on the other surface. In addition, it is preferably about 0.5 to 2.0 mm. The thickness (5) of the metal flat plate (1) is preferably 2.0 to 12.0 mm, more preferably 3.0 to 8.0 mm, and still more preferably 4.0 to 6.0 mm. For example, the diameter (3) of the groove provided on one surface of the metal flat plate is 2.6 to 2.8 mm, and the diameter (3 ′) of the groove provided on the other surface is 1. When the thickness is 8 to 2.0 mm, the thickness (5) of the metal flat plate (1) is preferably about 4.8 to 5.2 mm.

金属製平板（１）の、溝（２）に垂直な方向の全長（８）、即ち、金属製平板（１）の幅（８）は、通常、加熱又は保温する配管及び機器の寸法、例えば、配管径に依存して定められる。半導体製造装置等の配管では、通常、使用している配管径が限定される故、それに応じて、金属製平板（１）の幅（８）を定めることができる。金属製平板（１）の幅（８）は、好ましくは５０〜３００ｍｍ、より好ましくは７０〜２００ｍｍ、更に好ましくは９０〜１００ｍｍである。金属製平板（１）に備えられる互いに略平行な複数の溝の数には特に制限はなく、金属製平板（１）の幅（８）に応じて適宜定めることができる。通常、溝と溝とを隔てる部分の間隔が０．５〜３．０ｍｍ、好ましくは１．０〜２．０ｍｍ程度になるように定められる。また、金属製平板（１）は、金属製平板（１）の、複数の溝の長さ方向に略平行な端部（９）、即ち、金属製平板（１）の幅（８）方向の端部（９）で、金属製平板（１）同士を水平又は垂直方向に接続可能に形成されている。図６には、金属製平板（１）の一方の端部（９）と他方の端部（９’）の一実施態様を示した。図７には、図６に示した、夫々異なる端部を有する金属製平板を二枚（１，１’）用意し、これらを水平方向に接続したとき（ａ）と垂直方向に接続したとき（ｂ）の概略図を示す。これにより、複数の金属製平板（１，１’）を接続して幅方向の長さを任意の長さに調節することができると共に、例えば、機器類のかどの部分等を加熱又は保温する際に金属製平板（１）の方向を９０度変更することができる。また、金属製平板（１）の溝に水平な方向の全長（７）、即ち、金属製平板（１）の長さ（７）に特に制限はなく、好ましくは３，０００ｍｍ以下、より好ましくは１，５００〜２，５００ｍｍ、更に好ましくは１，９００〜２，１００ｍｍである。金属製平板（１）の長さ（７）は、加熱又は保温する配管及び機器等の長さに応じて適宜切断することができる。本発明の金属製平板（１）は、好ましくは４００℃以下の加熱及び保温に使用可能である。より好ましくは３００℃以下、更に好ましくは２２０〜２８０℃の加熱及び保温に使用可能である。２５０℃以下の低温で使用する際には、絶縁されたヒーター線（４）の絶縁能力が多少低いものであってもよく、また、２００℃以下の低温で使用する際には、金属製平板（１）の表面をアルマイト加工することにより金属製平板（１）自体に絶縁性を持たせることもできる。 The overall length (8) of the metal flat plate (1) in the direction perpendicular to the groove (2), that is, the width (8) of the metal flat plate (1) is usually the size of the piping and equipment to be heated or insulated, for example, Depends on the pipe diameter. In piping for semiconductor manufacturing equipment or the like, since the diameter of the piping used is usually limited, the width (8) of the metal flat plate (1) can be determined accordingly. The width (8) of the metal flat plate (1) is preferably 50 to 300 mm, more preferably 70 to 200 mm, and still more preferably 90 to 100 mm. There is no restriction | limiting in particular in the number of the some substantially parallel groove | channel provided with a metal flat plate (1), According to the width | variety (8) of a metal flat plate (1), it can determine suitably. Usually, the distance between the grooves is set to be 0.5 to 3.0 mm, preferably about 1.0 to 2.0 mm. Further, the metal flat plate (1) is an end (9) of the metal flat plate (1) substantially parallel to the length direction of the plurality of grooves, that is, the width (8) direction of the metal flat plate (1). At the end (9), the metal flat plates (1) are formed to be connectable in the horizontal or vertical direction. FIG. 6 shows one embodiment of one end (9) and the other end (9 ') of the metal flat plate (1). In FIG. 7, two metal plates (1, 1 ′) having different end portions as shown in FIG. 6 are prepared and connected in the horizontal direction (a) and in the vertical direction. The schematic of (b) is shown. Thereby, a plurality of metal flat plates (1, 1 ′) can be connected and the length in the width direction can be adjusted to an arbitrary length, and, for example, when heating or keeping a part of equipment or the like. The direction of the metal flat plate (1) can be changed by 90 degrees. Moreover, there is no restriction | limiting in particular in the full length (7) of a horizontal direction in the groove | channel of a metal flat plate (1), ie, the length (7) of a metal flat plate (1), Preferably it is 3,000 mm or less, More preferably It is 1,500 to 2,500 mm, more preferably 1,900 to 2,100 mm. The length (7) of the metal flat plate (1) can be appropriately cut according to the length of pipes and equipment to be heated or kept warm. The metal flat plate (1) of the present invention can be used for heating and heat retention at 400 ° C. or lower. More preferably, it can be used for heating and heat retention at 300 ° C. or lower, more preferably 220 to 280 ° C. When used at a low temperature of 250 ° C. or lower, the insulation capacity of the insulated heater wire (4) may be somewhat low, and when used at a low temperature of 200 ° C. or lower, a metal flat plate By anodizing the surface of (1), the metal flat plate (1) itself can be made insulating.

次に、本発明の電熱ヒーター用基板を配管に取り付け、絶縁されたヒーター線をはめ込んで電熱ヒーターを配管に敷設する手順を簡単に説明する。まず、加熱又は保温する配管径に合わせて、かつ、加熱又は保温に必要なおおよその熱量を考慮して、所定寸法及び所定の溝直径を有する電熱ヒーター用基板（Ａ）及び絶縁されたヒーター線（４）を準備する。配管径が大きい場合、例えば、直径５０ｍｍ以上の配管には、それに合わせて複数の電熱ヒーター用基板（Ａ）を用意して、上記の図７（ａ）に示したように接続して使用することもできる。水平に接続して使用するとき、作業中に該接続部分が外れることがないように、例えば、図８に示したように固定具（１５）を使用して固定することもできる。もちろん、所定の熱量を与えることができれば、配管の全周を電熱ヒーター用基板（１）で覆う必要はない。電熱ヒーター用基板（１）の長さ（７）が長すぎる場合には、適切な寸法に切断する。次いで、図９に示すように、電熱ヒーター用基板（１）を溝の長さ方向に沿って折り曲げて、配管の周囲に巻き付ける。そして、このようにして巻き付けた電熱ヒーター用基板（１）の複数の溝（２，２’）に絶縁されたヒーター線（４）をはめ込む。この際、絶縁されたヒーター線（４）は、直接配管に接触する側の溝（２’）に嵌め込まれることが好ましい。また、絶縁されたヒーター線（４）は、配管に接触しない側の溝（２）に嵌め込まれていてもよく、あるいは、両側の溝（２，２’）に嵌め込まれてもよい。配管に接触しない側の溝（２）に嵌め込む際には、その上を、数ミリメートル、好ましくは１〜２ｍｍのアルミニウム又はアルミニウム合金の板で覆うこともできる。また、図１０に示すように、電熱ヒーター用基板の溝と溝とを隔てる部分（１６）を機械加工、例えば、フライスにより、適宜、取り除いて、絶縁されたヒーター線が電熱ヒーター用基板の外側へと突出することを回避することができる。これにより、ヒーター線の破損等を未然に防止することができる。また、電熱ヒーター用基板（Ａ）を折り曲げることなく使用したとき、電熱ヒーター用基板（Ａ）の複数の溝（２，２’）に絶縁されたヒーター線（４）をはめ込んだ後、図１１に示したようなヒーター線保護カバー（１０）を使用して、ヒーター線（４）が突出している端部（１３）を保護することもできる。これによりヒーター線の破損等を防ぐことができる。また、図１２には、電熱ヒーター用基板（Ａ，Ａ’）を直角方向に接続したときに使用するヒーター線保護カバー（１０’）を示した。次いで、その上を所定の保温材で覆い、固定具、例えば、固定バンド等で固定することにより作業が完了する。半導体装置等では、保温材は極力パーティクルの発生しない素材、例えば、フッ素樹脂繊維、芳香族ナイロン繊維等のカバーで覆われたものを使用することが好ましい。 Next, a procedure for attaching the electric heater substrate of the present invention to a pipe, inserting an insulated heater wire, and laying the electric heater on the pipe will be briefly described. First, an electric heater substrate (A) having a predetermined size and a predetermined groove diameter and an insulated heater wire in accordance with the diameter of a pipe to be heated or kept warm and taking into consideration the approximate amount of heat necessary for heating or keeping warm. Prepare (4). When the pipe diameter is large, for example, for a pipe having a diameter of 50 mm or more, a plurality of electric heater substrates (A) are prepared and connected as shown in FIG. 7 (a). You can also When using it connected horizontally, it can also be fixed using, for example, a fixing tool (15) as shown in FIG. 8 so that the connecting portion does not come off during work. Of course, if a predetermined amount of heat can be applied, it is not necessary to cover the entire circumference of the pipe with the electric heater substrate (1). When the length (7) of the electric heater substrate (1) is too long, it is cut into an appropriate dimension. Next, as shown in FIG. 9, the electric heater substrate (1) is bent along the length direction of the groove and wound around the pipe. Then, the insulated heater wire (4) is fitted into the plurality of grooves (2, 2 ') of the electric heater substrate (1) wound in this manner. At this time, the insulated heater wire (4) is preferably fitted into the groove (2 ') on the side in direct contact with the pipe. Further, the insulated heater wire (4) may be fitted into the groove (2) on the side not in contact with the pipe, or may be fitted into the grooves (2, 2 ') on both sides. When fitting into the groove (2) on the side not in contact with the pipe, it can also be covered with a plate of aluminum or aluminum alloy of several millimeters, preferably 1-2 mm. Further, as shown in FIG. 10, the portion (16) separating the grooves of the electric heater substrate is appropriately removed by machining, for example, milling, and the insulated heater wire is placed outside the electric heater substrate. It is possible to avoid projecting to the side. Thereby, breakage of the heater wire and the like can be prevented in advance. Further, when the electric heater substrate (A) is used without being bent, the insulated heater wires (4) are fitted into the plurality of grooves (2, 2 ′) of the electric heater substrate (A), and then, FIG. The end portion (13) from which the heater wire (4) protrudes can also be protected by using the heater wire protective cover (10) as shown in FIG. This can prevent the heater wire from being damaged. FIG. 12 shows the heater wire protective cover (10 ') used when the electric heater substrates (A, A') are connected in a right angle direction. Then, the work is completed by covering the top with a predetermined heat insulating material and fixing with a fixing tool such as a fixing band. In a semiconductor device or the like, it is preferable to use a material that does not generate particles as much as possible, for example, a material covered with a cover such as a fluororesin fiber or an aromatic nylon fiber.

図１３は、本発明のプレートヒーター（Ｂ）の一実施態様の断面を示す概略図である。図１３に示すプレートヒーター（Ｂ）は、例えば、図４に示した本発明の電熱ヒーター用基板（Ａ）の複数の溝（２，２’）に絶縁されたヒーター線（４，４’）をはめ込み、かつ、ヒーター線がはめ込まれている二つの面に密着するように、金属製平板（１４，１４’）を設置したものである。該金属製平板（１４，１４’）の材質は、好ましくは、アルミニウム又はアルミニウム合金製である。また、該金属製平板（１４，１４’）は、電熱ヒーター用基板（Ａ）の面とほぼ一致するように、電熱ヒーター用基板（Ａ）の面の幅及び長さとほぼ同一の寸法を有していることが好ましい。該金属製平板（１４，１４’）の厚さは、特に制限はなく、適宜定めることができるが、好ましくは２．０〜３０．０ｍｍ、より好ましくは５．０〜２０．０ｍｍである。 FIG. 13 is a schematic view showing a cross section of one embodiment of the plate heater (B) of the present invention. The plate heater (B) shown in FIG. 13 includes, for example, heater wires (4, 4 ′) insulated from a plurality of grooves (2, 2 ′) of the electric heater substrate (A) of the present invention shown in FIG. And a flat metal plate (14, 14 ') is installed so as to be in close contact with the two surfaces into which the heater wire is fitted. The material of the metal flat plate (14, 14 ') is preferably made of aluminum or an aluminum alloy. Further, the metal flat plates (14, 14 ′) have substantially the same dimensions as the width and length of the surface of the electric heater substrate (A) so as to substantially coincide with the surface of the electric heater substrate (A). It is preferable. The thickness of the metal flat plate (14, 14 ') is not particularly limited and can be appropriately determined, but is preferably 2.0 to 30.0 mm, more preferably 5.0 to 20.0 mm.

本発明の電熱ヒーター用基板は、複雑な配管、装置等の加熱及び保温に容易かつ適切に対応可能であることから、現場での取付け施工を著しく簡便化し得るばかりではなく、自体簡単な形状であることから、加熱及び保温に要する設計及び製造コストを著しく低減し得る。従って、複雑な配管、装置等の加熱及び保温を要求される分野、とりわけ、半導体製造分野等での使用が今後大いに期待される。また、本発明の電熱ヒーター用基板を使用して製造したプレートヒーターは安価である。従って、種々の配管、装置等の加熱及び保温に使用されることが期待される。 Since the electric heater substrate of the present invention can easily and appropriately cope with heating and heat insulation of complicated pipes, devices, etc., not only can installation work on site be greatly simplified, but also a simple shape itself. As a result, the design and manufacturing costs required for heating and heat insulation can be significantly reduced. Therefore, it is highly expected that it will be used in fields that require heating and heat insulation of complicated pipes and devices, especially in the field of semiconductor manufacturing. Moreover, the plate heater manufactured using the board | substrate for electric heaters of this invention is cheap. Therefore, it is expected to be used for heating and heat insulation of various pipes and devices.

Ａ電熱ヒーター用基板
Ｂプレートヒーター
１，１’ 金属製平板
２，２’ 溝
３，３’ 溝の直径
４，４’ 絶縁されたヒーター線
５金属製平板の厚さ
６，６’ 溝の高さ
７金属製平板の、溝に水平な方向の全長（金属製平板の長さ）
８金属製平板の、溝に垂直な方向の全長（金属製平板の幅）
９，９’ 金属製平板の、溝の長さ方向に略平行な端部（金属製平板の幅方向の端部）
１０，１０’ ヒーター線保護カバー
１１配管
１２，１２’ ヒーター線保護カバーのストッパー
１３，１３’ ヒーター線突出端部
１４，１４’ 金属製平板
１５基板接続部固定具
１６溝と溝とを隔てる部分
１１０電熱ヒーター
１２０基材
１２１固定糸
１３０ヒーター線
１３１ニクロム線
１３２第１の被覆層
１３３第２の被覆層
１４０断熱材
１５０カバー部材 A Heater substrate B Plate heater 1, 1 'Metal flat plate 2, 2' Groove 3, 3 'Groove diameter 4, 4' Insulated heater wire 5 Metal flat plate thickness 6, 6 'Groove height 7 Total length of metal flat plate in the direction horizontal to the groove (length of metal flat plate)
8 Total length of metal flat plate in the direction perpendicular to the groove (width of metal flat plate)
9, 9 'The end of the metal flat plate that is substantially parallel to the length direction of the groove (the end in the width direction of the metal flat plate)
10, 10 'heater wire protective cover 11 piping 12, 12' heater wire protective cover stopper 13, 13 'heater wire protruding end 14, 14' metal flat plate 15 board connecting part fixture 16 part separating groove and groove DESCRIPTION OF SYMBOLS 110 Electric heater 120 Base material 121 Fixed thread 130 Heater wire 131 Nichrome wire 132 1st coating layer 133 2nd coating layer 140 Heat insulating material 150 Cover member

Claims

The metal flat plate comprises a plurality of substantially parallel grooves formed in the flat plate on at least one surface thereof, and the metal flat plate is substantially parallel to each other. In the electric heater substrate that can be bent along the length direction of the plurality of grooves, and in which the plurality of substantially parallel grooves are formed so that the insulated heater wires can be fitted therein , the substrate for the electric heater, when the mounting construction of the heating and heat-retention at the site, the site bent to fit the pipes and equipment, then the heater wire, Komu fit into the groove in the field, the use of a substrate for electric heater Way .

The method of using a substrate for an electric heater according to claim 1, wherein the diameters of the plurality of grooves substantially parallel to each other provided on one surface are substantially the same.

A plurality of grooves substantially parallel to each other are provided on two opposing surfaces of the metal flat plate, and the diameter and the other surface of the grooves provided on one surface of the metal flat plate The usage method of the board | substrate for electric heaters of Claim 1 or 2 from which the diameter of the groove | channel provided in each differs.

The method for using the electric heater substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein a diameter of the groove provided on the surface of the metal flat plate is selected from a range of 0.8 to 5.0 mm. .

The diameter of the groove provided on one surface of the metal flat plate is 1.8 to 2.0 mm, and the diameter of the groove provided on the other surface is 2.6 to 2.8 mm. The usage method of the board | substrate for electric heaters of Claim 3.

The metal flat plate is formed so that the metal flat plates can be connected in both the horizontal and vertical directions at the end of the metal flat plate substantially parallel to the length direction of the plurality of grooves. Item 6. A method for using the electric heater substrate according to any one of Items 1 to 5.

The method for using the electric heater substrate according to any one of claims 1 to 6, wherein the metal flat plate is made of aluminum or an aluminum alloy.