JP5850918B2 - 改良された触感特性を有するアクチュエータ装置 - Google Patents
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Description
a)「アクティブ層」と呼ばれる第1の層。アクティブ層の構成は、(少なくとも)前述の延伸方向に制御可能に変化し得る。アクティブ層は、例えば、適当な信号(例えば電場)に応答して、方向に収縮または膨脹しても良い。
b)「スキン層」と呼ばれ、前述のアクティブ層の上部に配置される第2の層。本願において、「上部」と言う用語は、(延伸方向に対して)アクティブ層と平行に、アクティブ層に直接または間接的に取り付けられる配置を意味する。また、スキン層は、中間凹部によって分離された複数の上昇部を有するように構造化される。その名前が示すように、スキン層は、通常、アクチュエータ装置の最外層であり、すなわちユーザによって触られる。
使用され、これは、多くの異なる用途を含む。アクチュエータ装置は、例えば、対象に、変化可能な表面を提供し、これは、ユーザに触覚/触感フィードバックを与え、あるいはこれを用いて、柔らかい触感センサが構成される。
a)構成が前記延伸方向に制御可能に変化し得るアクティブ層を提供するステップ。前述のように、そのようなアクティブ層は、例えば、EAPで構成されても良い。
b)前記アクティブ層の上部に直接または間接的に配置され、中間凹部によって分離された複数の上昇部を有するように構造化されたスキン層を作製するステップ。
b1)現在の最外層の表面が複数の上昇部および凹部を有するように形状化するステップ。
b2)前記形状化された表面上に、前記アクティブ層の材料よりも高い弾性率を有する、追加の材料を成膜するステップ。
b2’)前記形状化された表面の上部層を、該上部層の弾性率が前記アクティブ層の材料よりも大きくなるように変化させるステップ。そのような変化は、例えば電磁放射線によって達成されても良い。
A 第1の方法では、構造は、平坦な電気応答システムの上部に形成され、構造は、不連続であり、前記システムの変形を容易化する;
B 第2の方法では、電気応答システム自身が、より硬質の上部層の変形が容易となる表面幾何形状を有する。
軟性電気応答エラストマー(すなわち、図1の「アクティブ層110」または「パッシブ層115」)上に、市販のエポキシ系フォトレジスト(例えばSU8)のリソグラフ露光により、エポキシド構造部のアレイを構成する。図2のSEM画像には、得られる上昇部E(円筒状グレイン221を有する)のアレイの一例を示す。
10μm厚さのポリビニルアルコール層(ドクターブレードコーティング機器により、水溶液からコーティングされる)を有するガラス基板上に、ネガティブフォトレジスト材料(SU8、MicroChem社から市販されている)の15μmの厚さの層を設置することにより、マイクロアレイを製造する。予備ベークステップ(65℃で2分、および95℃で10分)により、全ての溶媒が蒸発し、SU8がガラス状態となる。これにより、複数の暴露ステップを使用することが可能となる。次に、サンプルは、マスクを介して露光され、サブミクロンサイズのラメラ(層状構造)の潜在画像が形成される(140mJ/cm2、351nm)。露光の後、サンプルが65℃で1分間加熱され、95℃で2分間加熱され、フォトレジストのクロスリンクが形成される。非クロスリンク領域は、SU8現像液(mr-Dev600、MicroChem社)を用いて洗浄除去され、その後、プロパノール2を用いてリンス洗浄される。構成されたSU8構造は、構造部の上部を、粘性2成分系エポキシの薄い(0.5μm)層に押し付け、次にエラストマーに押し付けることにより、電気応答エラストマーに転写される。2成分系エポキシが硬化され、ポリビニルアルコールを水中で溶解させることにより、ガラス板が除去される。
エラストマーよりも高弾性率であるが、比較的低弾性率の構造を製造する代替方法は、液体エンボス化技術を使用することである。例えば、スピンコーティングにより、またはワイヤーロッドコーティングにより、ゴム(EAP)上に、反応性混合物の液体層が設置される。液体層において、ネガ表面幾何形状を有するモールドが押し付けられる。これは、アクチュエータ上であることが望ましい。次に、反応層は、硬化により高分子に変換され、モールドが除去される。この方法でグレインを形成するのに適当な材料は、
−低弾性率構造用の中間温度の加熱で硬化する2成分系シリコーンゴム、
−例えば、中間弾性率構造用の光硬化によって硬化するアクリレートモノマー混合物、
−高弾性率構造用の、室温または中間温度の加熱により硬化する2成分系エポキシ。
構造化表面を製造するさらに別の方法は、感光性高分子のいわゆる光エンボス化処理である。例えば、高分子バインダとしてのポリベンジルメタクリレート(Mw 70kg/mol、Scientific Polymer Products社)、多機能モノマーとしてのジペンタエリトリトール ペンタ/ヘキサ−アクリレート(Sigma Aldrich社)、抑制剤としての第3ブチルヒドロキノン(Sigma Aldrich社)、および光開始剤としてのIrgacure 819(CIBA Specialty Chemicals社)の混合物が使用される。溶媒として、エトキシプロピルアセテート(Avocado Research Chemicals社)とプロピレングリコール−メチルエーテルアセテート(Aldrich社)の50/50wt%混合物を使用した。光重合溶液は、23.5wt%の高分子バインダと、23.5wt%のモノマーと、2.4wt%の光開始剤と、3.6wt%の抑制剤と、47wt%の溶媒とで構成される。混合物は、エラストマー(EAP)上にコーティングされ、溶媒の揮発の後、マスクを用いて、局部的にUV光で露光した。80℃までの短い加熱ステップにより、拡散過程が開始され、重合化される際に、反応性モノマー(ジペンタエリトリトール ペンタ/ヘキサアクリレート)が露光領域に拡散し、表面プロファイルが形成される。熱現像の前の複数の露光により、手近の用途向けに適正に設計された、複雑な表面幾何形状が得られる。ラインマスクおよびホールマスクを介した後続の露光の後に得られた、上昇部Eおよび凹部Rの表面を有するアクチュエータ装置300の一例は、図3に示されている。
さらに別の製造方法では、印刷技術により、構造が電気応答エラストマー(EAP)上に形成される。インクジェット印刷およびオフセット印刷法など、いくつかの印刷方法が利用できる。印刷インクは、アクリレートモノマーで構成され、溶媒フリーであり、これにより、プロセスは、しばしば、低溶媒抵抗エラストマーと互換性を有するようになる。この場合、印刷の後、UV硬化ステップが実施される。
グレイン化スキン層を形成する別の方法は、EAP層の上にコーティングされる上部層に湿式法/乾式法を使用することである。EAP層を局部的に遮蔽するシャドウマスクを用いたUVオゾン処理により、EPA層は、局部的に有極性にされる。これにより、極性表面に、小さな極性「島」のパターンが形成される。薄膜の上部にUV硬化処理を実施した場合、それが乾燥し、極性の島に、小さな液滴が形成されるようになる。短いUV露光により、これらの液滴は、固体材料、すなわち所望のグレインに変換される。
カーボンブラック
カーボンナノチューブ
グラフェン
ポリアニリン(PANI)
ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)(PEDOT)、例えばポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)ポリ(スチレンスルフォネート)(PEDOT:PSS)。
第1の例では、EAPエラストマーおよび/またはEAP上のパッシブ層は、例えば、2成分系シリコーンゴムで構成され、これは、硬化の間、モールド表面に適合し、例えば、図4、5に示すような波形状の表面構造が提供される。次に、この波形構造は、より硬質の表面層でコーティングされる。この表面層に適当な材料は、例えば、UV硬化性アクリレートコーティングを有し、このコーティングは、以下の成分を有する:
−90wt%のトリプロピレングリコールジアクリレート
−4wt%の2−エチルヘキシルアクリレート
−2wt%のヘキサンジオールジアクリレート
−1wt%のオクタデシルチオール
−3wt%のIrgacure819(CIBA Specialty Chemicals社)。
別の好適な方法は、ブロックコポリマーおよび不活性液体材料系のゲルからエラストマーEAP層を構成するステップを有する。ブロックコポリマーは、不活性液体に対して非混和性のセグメントと、混和性のセグメントとで構成され、これにより、低い弾性率のまま、機械的一体性が得られる。この混合物により硬質の上部層を提供するため、あるモノマー、例えば1wt%のトリメチロールプロパントリアクリレートが、光開始剤、および光開始剤と同じ波長領域で吸収を示す色素とともに、低濃度で添加される。以下、操作の手順について説明する。高分子ゲルをUV透明モールドに対して押し付けることにより、高分子ゲルに表面形状が提供される。UV光により、モールドを介して混合物が露光される。色素の存在のため、混合物中の光の浸透深さは、極めて小さい。ゲルとモールドの間の界面近傍でのみ、重合化が生じる。重合化の間、モノマーは、界面に拡散し、これにより、薄いが硬質の上部層が形成され、モールドの除去後、これにより、ゲルは、その形状内に保持される。
1 スキン層は、好ましくない大きな摩擦の影響を除去する必要がある。このため、スキン層は、(1または2以上の)以下の特性を有する。これらは、皮膚との接触面積を削減するためのものである:
1a アクチュエータ装置のスキン層は、人の皮膚の上部層の弾性率(剪断または引張のいずれか)の少なくとも1/10の弾性率(剛性)を有することが好ましい。アクチュエータ装置のスキン層は、人の皮膚の上部層よりも剛性があることが好ましい。その剛性は、人の皮膚の引張剛性よりも有意に大きい(10〜100倍)ことがより好ましい。これらの特性により、アクチュエータの上部層は、人の皮膚に存在する粗さ形状に「追随」しなくなる。「追随」が生じると、有効接触面積が大きくなり、摩擦が上昇する。
−触感(適応性)ユーザインターフェース
−適応性製品仕上げ(表面形状の変更)
−軟性高分子センサ表面
−点字ディスプレイ
−ハイブリッド(光学式/機械式)ディスプレイ
−軟性触感(圧力)センサ。
σ=f(ε)
「弾性率」は、この関係の微分E=df/dεとして定められる。一般に、非線形の場合、この弾性率は、歪みεに依存する。線形の場合、すなわち、フックの法則が利用できる場合、弾性率は一定となり(ヤング率と称される)、単純な式(F/A)=E・(Δl/l)が得られる。
Claims (17)
- 少なくとも一つの延伸方向を有するアクチュエータ装置であって、
a)構成が前記延伸方向に制御可能に変化し得るアクティブ層と、
b)前記アクティブ層の上部に配置され、中間凹部によって分離された複数の上昇部を有するように構造化された別の層であって、使用の際に、ユーザによって触られる、当該アクチュエータ装置の最外層となるスキン層である別の層と、
を有し、
前記スキン層は、該スキン層に接触する物体との接触面積を最小化するように構成される、アクチュエータ装置。 - 前記スキン層において、隣接する前記上昇部同士は、5μmから1mmの間隔で、前記中間凹部によって分離されることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ装置。
- 前記スキン層の材料の剛性は、前記アクティブ層の剛性よりも大きいことを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ装置。
- 前記アクティブ層は、電極を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一つに記載のアクチュエータ装置。
- 前記スキン層は、前記凹部によって相互に分離された複数のグレインを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載のアクチュエータ装置。
- 前記アクティブ層と前記スキン層の間に配置されたパッシブ層を有することを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ装置。
- 前記スキン層は、前記凹部によって相互に分離された複数のグレインを有し、該グレインは、前記アクティブ層とは別の材料で構成されることを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ装置。
- 前記スキン層は、波状の表面層を有し、前記表面層の材料は、前記アクティブ層の材料、および/または前記アクティブ層と前記スキン層の間のいかなる追加層の材料よりも高い弾性率を有することを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ装置。
- 前記表面層の材料は、約100kPaと50GPaの間の弾性率を有し、好ましくは約1MPaと10GPaの間の弾性率を有し、より好ましくは約10MPaと10GPaの間の弾性率を有することを特徴とする請求項8に記載のアクチュエータ装置。
- 前記アクティブ層は、電気活性材料を有し、好ましくは電気活性高分子を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一つに記載のアクチュエータ装置。
- 請求項1乃至10のいずれか一つに記載のアクチュエータ装置の使用であって、
ユーザが前記アクチュエータ装置の最外層に触ると、信号の制御の下、前記アクチュエータ装置の前記延伸方向において、前記アクティブ層の構成が変化するステップを有し、
前記ユーザに触られる最外層は、前記スキン層であり、該スキン層は、前記アクティブ層の上部に配置され、中間凹部によって分離された複数の上昇部を有するように構造化されることを特徴とする使用。 - 少なくとも一つの延伸方向を有するアクチュエータ装置を製造する方法であって、
a)構成が前記延伸方向に制御可能に変化し得るアクティブ層を提供するステップと、
b)前記アクティブ層の上部に直接または間接的に配置され、中間凹部によって分離された複数の上昇部を有するように構造化された別の層を作製するステップと
を有し、
前記別の層は、使用の際に、ユーザによって触られる、製造後の前記アクチュエータ装置の最外層となるスキン層であり、
前記スキン層は、該スキン層に接触する物体との接触面積を最小化するように構成される、方法。 - 前記スキン層において、隣接する前記上昇部同士は、5μmから1mmの間隔で、前記中間凹部によって分離されることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記アクティブ層と前記スキン層の間に、パッシブ層を設置する追加ステップを有することを特徴とする請求項12または13に記載の方法。
- 前記b)のスキン層を作製するステップは、現在の最外層の上にグレインを成膜および/または形成するステップを有し、
前記グレインは、前記アクティブ層とは別の材料で構成されることを特徴とする請求項12または13に記載の方法。 - 前記b)のスキン層を作製するステップは、以下のサブステップ:
b1)現在の最外層の表面が複数の上昇部および凹部を有するように形状化するステップと、
b2)前記形状化された表面上に、前記アクティブ層の材料よりも高い弾性率を有する、追加の材料を成膜するステップと、
を有することを特徴とする請求項12または13に記載の方法。 - 前記b)のスキン層を作製するステップは、以下のサブステップ:
b1)現在の最外層の表面が複数の上昇部および凹部を有するように形状化するステップと、
b2’)前記形状化された表面の上部層を、該上部層の弾性率が前記アクティブ層の材料よりも大きくなるように変化させるステップと、
を有することを特徴とする請求項12または13に記載の方法。
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