JP5837649B2 - 基板処理装置、異常処理部判定方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行う欠陥分類手段と、
前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に搬送順路が記憶された基板処理が終了した基板毎に、前記欠陥分類手段により分類された欠陥の種類と、当該欠陥の発生原因となりうる処理部の種類とを対応づけた異常モジュール判定テーブルを生成し、当該異常モジュール判定テーブルに基づいて、前記欠陥の発生原因となりうる処理部の種類の中から欠陥の発生原因となった処理部を特定する欠陥処理特定手段と、を有し、
前記欠陥処理特定手段は、前記欠陥の発生原因となりうる処理部において連続して欠陥が発生した場合に、当該欠陥の発生原因となりうる処理部を欠陥の発生原因となった処理部として特定することを特徴としている。
欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行う欠陥分類手段と、
前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に搬送順路が記憶された基板処理が終了した基板毎に、前記欠陥分類手段により分類された欠陥の種類と、当該欠陥の発生原因となりうる処理部の種類とを対応づけた異常モジュール判定テーブルを生成し、当該異常モジュール判定テーブルに基づいて、前記欠陥の発生原因となりうる処理部の種類の中から欠陥の発生原因となった処理部を特定する欠陥処理特定手段と、を有し、
前記欠陥処理特定手段は、前記欠陥の発生原因となりうる処理部において、欠陥の発生割合が予め設定された割合を上回った場合に、当該欠陥の発生原因となりうる処理部を欠陥の発生原因となった処理部と特定することを特徴としている。
欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行い、
前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶し、
前記搬送順路が記憶された基板処理が終了した基板毎に、前記分類された欠陥の種類と、当該欠陥の発生原因となりうる処理部の種類とを対応づけた異常モジュール判定テーブルを生成し、当該異常モジュール判定テーブルに基づいて、欠陥の発生原因となりうる処理部において連続して欠陥が発生した場合に、当該欠陥の発生原因となりうる処理部を欠陥の発生原因となった処理部として特定することを特徴としている。
欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行い、
前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶し、
前記搬送順路が記憶された基板処理が終了した基板毎に、前記分類された欠陥の種類と、当該欠陥の発生原因となりうる処理部の種類とを対応づけた異常モジュール判定テーブルを生成し、当該異常モジュール判定テーブルに基づいて、欠陥の発生原因となりうる処理部において、欠陥の発生の割合が予め設定された割合を上回った場合に、欠陥の発生原因となりうる処理部を欠陥の発生原因となった処理部と特定することを特徴としている。
2 カセットステーション
3 処理ステーション
4 露光装置
5 インターフェイスステーション
10 カセット搬入出部
11 ウェハ搬送部
12 カセット載置台
13 カセット載置板
20 搬送路
21 ウェハ搬送機構
30 現像処理ユニット
31 下部反射防止膜形成ユニット
32 レジスト塗布ユニット
33 上部反射防止膜形成ユニット
40〜46 熱処理ユニット
50〜56 受け渡しユニット
60〜62 受け渡しユニット
70〜73 ウェハ搬送機構
80 シャトル搬送機構
90 ウェハ搬送機構
91 ウェハ搬送機構
100 欠陥検査部
101 ケーシング
120 載置台
121 回転駆動部
122 ガイドレール
123 駆動装置
130 撮像装置
131 ハーフミラー
132 照明装置
150 制御部
200 搬送制御手段
201 ウェハ処理制御手段
202 記憶手段
203 欠陥分類手段
204 欠陥処理特定手段
205 搬送順路テーブル
206 欠陥分類テーブル
210 異常モジュール判定テーブル
W ウェハ
F1〜F3 カップ
D ウェハ搬送領域
C カセット
Claims (6)
- 基板を処理する複数の処理部と、基板を搬送する基板搬送機構と、基板処理が終了した基板表面の欠陥を検査する欠陥検査部と、を備えた基板処理装置であって、
欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行う欠陥分類手段と、
前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に搬送順路が記憶された基板処理が終了した基板毎に、前記欠陥分類手段により分類された欠陥の種類と、当該欠陥の発生原因となりうる処理部の種類とを対応づけた異常モジュール判定テーブルを生成し、当該異常モジュール判定テーブルに基づいて、前記欠陥の発生原因となりうる処理部の種類の中から欠陥の発生原因となった処理部を特定する欠陥処理特定手段と、を有し、
前記欠陥処理特定手段は、前記欠陥の発生原因となりうる処理部において連続して欠陥が発生した場合に、当該欠陥の発生原因となりうる処理部を欠陥の発生原因となった処理部として特定することを特徴とする、基板処理装置。 - 基板を処理する複数の処理部と、基板を搬送する基板搬送機構と、基板処理が終了した基板表面の欠陥を検査する欠陥検査部と、を備えた基板処理装置であって、
欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行う欠陥分類手段と、
前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に搬送順路が記憶された基板処理が終了した基板毎に、前記欠陥分類手段により分類された欠陥の種類と、当該欠陥の発生原因となりうる処理部の種類とを対応づけた異常モジュール判定テーブルを生成し、当該異常モジュール判定テーブルに基づいて、前記欠陥の発生原因となりうる処理部の種類の中から欠陥の発生原因となった処理部を特定する欠陥処理特定手段と、を有し、
前記欠陥処理特定手段は、前記欠陥の発生原因となりうる処理部において、欠陥の発生割合が予め設定された割合を上回った場合に、当該欠陥の発生原因となりうる処理部を欠陥の発生原因となった処理部と特定することを特徴とする、基板処理装置。 - 基板を処理する複数の処理部と、基板を搬送する基板搬送機構と、基板処理が終了した基板表面の欠陥の有無を検査する欠陥検査部と、を備えた基板処理装置における異常処理部判定方法であって、
欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行い、
前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶し、
前記搬送順路が記憶された基板処理が終了した基板毎に、前記分類された欠陥の種類と、当該欠陥の発生原因となりうる処理部の種類とを対応づけた異常モジュール判定テーブルを生成し、当該異常モジュール判定テーブルに基づいて、欠陥の発生原因となりうる処理部において連続して欠陥が発生した場合に、当該欠陥の発生原因となりうる処理部を欠陥の発生原因となった処理部として特定することを特徴とする、異常処理部判定方法。 - 基板を処理する複数の処理部と、基板を搬送する基板搬送機構と、基板処理が終了した基板表面の欠陥の有無を検査する欠陥検査部と、を備えた基板処理装置における異常処理部判定方法であって、
欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行い、
前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶し、
前記搬送順路が記憶された基板処理が終了した基板毎に、前記分類された欠陥の種類と、当該欠陥の発生原因となりうる処理部の種類とを対応づけた異常モジュール判定テーブルを生成し、当該異常モジュール判定テーブルに基づいて、欠陥の発生原因となりうる処理部において、欠陥の発生の割合が予め設定された割合を上回った場合に、欠陥の発生原因となりうる処理部を欠陥の発生原因となった処理部と特定することを特徴とする、異常処理部判定方法。 - 請求項3または4のいずれか一項に記載の異常処理部判定方法を基板処理装置によって実行させるように、当該基板処理装置を制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項5に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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