JP5833598B2 - Polarization combiner - Google Patents

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本発明は、偏波合成器に関し、より詳細には、複数のプリズムで構成されたバルク型偏波合成器に関する。   The present invention relates to a polarization beam combiner, and more particularly to a bulk polarization beam combiner composed of a plurality of prisms.

インターネット等により通信トラフィックの大容量化が求められている。そのため、波長分割多重(WDM)システムにおいて、1チャネル当たりの伝送速度の増加や波長数の増加が求められている。具体的には、WDMシステムの伝送には40Gbit/sや100Gbit/sといった高い伝送速度が求められている。   There is a demand for an increase in communication traffic volume via the Internet and the like. Therefore, in a wavelength division multiplexing (WDM) system, an increase in transmission speed per channel and an increase in the number of wavelengths are required. Specifically, high transmission rates such as 40 Gbit / s and 100 Gbit / s are required for transmission in the WDM system.

ところが、高速化のために変調シンボルレートを高くすると、分散耐性が急激に劣化し、伝送距離が縮小してしまうという問題等があり、シンボルレートを上げずにビットレートを大きくする多値化技術や多重化技術の必要性が高まっている。マッハツェンダ型光変調部を複数並列に配置したDQPSK(Differential Quadrature Phasa Shift Keying)光変調器やDP(Dual Polarization)−QPSK光変調器等、様々なフォーマットが開発されているが、こうしたアドバンスドフォーマットでは偏波多重化技術が標準的になってきている。   However, when the modulation symbol rate is increased for higher speed, there is a problem that the dispersion tolerance is rapidly deteriorated and the transmission distance is shortened. A multilevel technology for increasing the bit rate without increasing the symbol rate. And the need for multiplexing technology is increasing. Various formats have been developed such as DQPSK (Differential Quadrature Shift Keying) modulators and DP (Dual Polarization) -QPSK optical modulators in which a plurality of Mach-Zehnder optical modulators are arranged in parallel. Wave multiplexing techniques are becoming standard.

偏波多重化技術において光送信器に必要な機能は、直交する偏光成分それぞれに異なる変調信号を載せることである。形にする方法として2つ考えられている。1つは、1偏波の光をそれぞれ変調し、どちらか一方の偏光を90°回転させた後に偏波ビームコンバイナ(Polarization Beam Combiner)により合波する方法(非特許文献1参照)であり、もう1つは、光変調器に光が入射される時点で2つの偏光成分を持たせ、入射後、偏光ビームスプリッタ(Polarization Beam Splitter)により直交する成分に分離して直交成分をそれぞれ変調する方法(非特許文献2参照)である。   In the polarization multiplexing technique, a function required for the optical transmitter is to place different modulation signals on the orthogonal polarization components. There are two possible ways to shape it. One is a method (see Non-Patent Document 1) in which one polarization light is modulated, and one of the polarizations is rotated by 90 ° and then combined by a polarization beam combiner (Polarization Beam Combiner). The other is a method in which two polarization components are provided at the time when light enters the optical modulator, and after the incidence, they are separated into orthogonal components by a polarization beam splitter, and the orthogonal components are respectively modulated. (See Non-Patent Document 2).

前者は、偏波回転素子が必要となる。後者の構成では、偏波回転素子は不要であるが、両方の偏光成分が等しい強度を持つように入力光の偏光方向を傾斜させて光変調器に入れる必要がある。   The former requires a polarization rotation element. In the latter configuration, the polarization rotation element is not necessary, but it is necessary to tilt the polarization direction of the input light into the optical modulator so that both polarization components have the same intensity.

現在、これらの技術はLiNbO3(ニオブ酸リチウム;LN)で構成されたLN変調器を用いて実現されているが、100Gbit/sのDP−QPSKが今後普及してくると、LN変調器ではサイズが大きくなってしまう。また、半波長電圧が比較的高く、高い電圧出力を有するドライバーを使用する必要もあり、ドライバーでの消費電力が高くなる問題に直面する。現在の通信では、消費電力を下げながら、かつ小型化していくことが求められており、今後はLN変調器だけで上記問題を解決していくことに限りがある。 At present, these technologies are realized by using an LN modulator composed of LiNbO 3 (lithium niobate; LN). When 100-Gbit / s DP-QPSK becomes popular in the future, The size will increase. In addition, it is necessary to use a driver having a relatively high half-wave voltage and a high voltage output, and thus the power consumption of the driver is increased. In the current communication, it is required to reduce the power consumption while reducing the size, and in the future, there is a limit to solving the above problem using only the LN modulator.

そこで、これらの要求に応える1つの手段として、半導体素子に電界を与えることで屈折率を変化させ、入力電気信号を光の位相変化に変換するマッハツェンダ型の半導体変調器が注目されている。半導体変調器は、LN変調器に比べて、構成する光導波路の比屈折率差が大きく、曲げ半径を小さくできるため、小型な回路レイアウトが可能となる。また、駆動電圧もLN変調器に比べて小さくすることが可能であるため、低消費電力の観点からも注目されている。すでに、これらの半導体変調器においても、LN変調器と同じく、DQPSKなどの多値伝送フォーマットに対応した高速変調器が報告されている。   Therefore, as one means for meeting these requirements, a Mach-Zehnder type semiconductor modulator that changes the refractive index by applying an electric field to a semiconductor element and converts an input electric signal into a phase change of light has attracted attention. The semiconductor modulator has a larger relative refractive index difference between the optical waveguides to be configured and a smaller bending radius than the LN modulator, so that a small circuit layout is possible. In addition, since the drive voltage can be made smaller than that of the LN modulator, it has been attracting attention from the viewpoint of low power consumption. In these semiconductor modulators, as with the LN modulator, a high-speed modulator corresponding to a multilevel transmission format such as DQPSK has already been reported.

Hiroshi Yamazaki et al., “Integrated 100-Gb/s PDM-QPSK modulator using a hybrid assembly technique with silica-based PLCs and LiNbO3 phase modulators,” ECOC 2008, Mo.3.C.1, 2008.Hiroshi Yamazaki et al., “Integrated 100-Gb / s PDM-QPSK modulator using a hybrid assembly technique with silica-based PLCs and LiNbO3 phase modulators,” ECOC 2008, Mo.3.C.1, 2008. C. R. Doerr and L. Zhang, “Monolithic 80-Gb/s Dual Polarization On-Off-Keying Modulator in InP,” OFC, PDP19, 2008.C. R. Doerr and L. Zhang, “Monolithic 80-Gb / s Dual Polarization On-Off-Keying Modulator in InP,” OFC, PDP19, 2008. Hatem El-Refaei and David Yevick, “An Optimized InGaAsP/InP Polarization Converter Employing Asymmetric Rib Waveguides,” Journal of Lightwave Technology, Vol. 21, No. 6, June 2003.Hatem El-Refaei and David Yevick, “An Optimized InGaAsP / InP Polarization Converter Employing Asymmetric Rib Waveguides,” Journal of Lightwave Technology, Vol. 21, No. 6, June 2003. 杉谷晃彦、「最近のプロジェクタの現状と動向」、光技術情報誌「ライトエッジ」、ウシオ電機株式会社、No. 15、pp. 84-89、1998年11月Sugitani Akihiko, “Current Status and Trends of Recent Projectors”, Optical Technology Information Magazine “Light Edge”, USHIO Inc., No. 15, pp. 84-89, November 1998 G. L. Li and P. K. L. Yu, “Optical Intensity Modulators for Digital and Analog Applications,” Journal of Lightwave Technology, vol. 21, No. 9, pp. 2010-2030, 2003.G. L. Li and P. K. L. Yu, “Optical Intensity Modulators for Digital and Analog Applications,” Journal of Lightwave Technology, vol. 21, No. 9, pp. 2010-2030, 2003.

Si基板上にSiO系ガラスを主成分とする光導波路を形成した石英系平面光波回路(Planar Lightwave Circuit)を用いた光変調器の場合は、Si基板上に溝を形成してそこに波長板を挿入するだけで簡便に偏波回転が得られるが、半導体光変調器の場合は、溝を切った時点で導波路損失が大きい。半導体による偏波回転素子も報告されている(非特許文献3参照)が、高歩留りで製造することが難しく、特殊な付加プロセスが必要となる。したがって、半導体光変調器では、基板上で偏波を回すのは困難であり、半導体光変調器における変調の後にどちらか一方の偏光を90°回転させた後に合波する偏波合成器が求められている。 In the case of an optical modulator using a silica-based planar lightwave circuit in which an optical waveguide mainly composed of SiO 2 glass is formed on a Si substrate, a groove is formed on the Si substrate and a wavelength is formed there. Polarization rotation can be obtained simply by inserting a plate, but in the case of a semiconductor optical modulator, the waveguide loss is large when the groove is cut. Although a semiconductor polarization rotation element has also been reported (see Non-Patent Document 3), it is difficult to manufacture with a high yield, and a special additional process is required. Therefore, in a semiconductor optical modulator, it is difficult to rotate the polarization on the substrate, and there is a need for a polarization synthesizer that combines after rotating one of the polarizations by 90 ° after the modulation in the semiconductor optical modulator. It has been.

そこで、汎用の偏波合分波器として従来知られている図1に示すようなものを利用することが考えられる(非特許文献4参照)。図1の光学素子100は、偏光ビームスプリッタ(PBS)キューブ101と第1のプリズム102とを組み合わせて構成され、第1のプリズム102は、全反射面102Aを有するプリズムである。光学素子100を偏波合成器として用いる場合、PBSキューブ101に入射されるTEモードの光はそのまま透過し、第1のプリズム102に入射されるTMモードの光は全反射面102Aで全反射し、次いでPBSキューブ101の反射膜101Aにおいて反射されてPBSキューブ101からTEモードの光とともに出射する。TEモードの光をPBSキューブ101及び第1のプリズム102にそれぞれ入射して偏波合成を行うためには、第1のプリズム102の入射面に半波長板を設ければよい。   Therefore, it is conceivable to use a conventional polarization multiplexer / demultiplexer as shown in FIG. 1 (see Non-Patent Document 4). The optical element 100 in FIG. 1 is configured by combining a polarization beam splitter (PBS) cube 101 and a first prism 102, and the first prism 102 is a prism having a total reflection surface 102A. When the optical element 100 is used as a polarization beam combiner, the TE mode light incident on the PBS cube 101 is transmitted as it is, and the TM mode light incident on the first prism 102 is totally reflected by the total reflection surface 102A. Then, the light is reflected by the reflective film 101A of the PBS cube 101 and emitted from the PBS cube 101 together with the TE mode light. In order to perform polarization synthesis by entering TE mode light into the PBS cube 101 and the first prism 102, a half-wave plate may be provided on the incident surface of the first prism 102.

しかしながら、図1の光学素子に半波長板を設けただけではTEモードとTMモードの位相補償が必要になり、光学素子が大型化してしまう。図2は、位相補償に必要な光路調整用プリズム103をさらに設けた光学素子の上面図を示している。PBSキューブ101、第1のプリズム102、及び光路調整用プリズム103の硝材としてH−K9L、半波長板104の材料として石英を用いた場合、次式により定まる光路調整用プリズム103の長さLは6mm程度となり全体では8mm以上になってしまう。
L×nH−K9L=L×nair+L×nqurtz+L×nH−K9L
(式1)
例えば、石英半波長板104の厚さLを0.35mm、屈折率nqurtzを1.531783、全反射面102Aから反射膜101Aまでの距離LをPBSキューブ101の一辺の長さに等しいとし、ガラス硝材H−K9Lの屈折率nH−K9Lを1.5009922と置くと、L=L+Lの関係から長さLは決めることでできる。L=2mmであるとき、位相調整用プリズム103の長さLは約6.28353mmで、偏波合波器の総長としてはPBSキューブ101の長さL=2mm加えて、8.2853mmにもなる。しかも、補償精度は硝材の加工精度に依存するので、それほど高くは無い。
However, merely providing a half-wave plate in the optical element of FIG. 1 requires phase compensation in the TE mode and the TM mode, and the optical element becomes large. FIG. 2 shows a top view of an optical element further provided with an optical path adjusting prism 103 necessary for phase compensation. When H-K9L is used as the glass material of the PBS cube 101, the first prism 102, and the optical path adjusting prism 103, and quartz is used as the material of the half-wave plate 104, the length L of the optical path adjusting prism 103 determined by the following equation is It becomes about 6 mm and becomes 8 mm or more as a whole.
L × n H−K9L = L 1 × n air + L 2 × n qurtz + L 3 × n H-K9L
(Formula 1)
For example, the thickness L 2 of the quartz half-wave plate 104 is 0.35 mm, the refractive index n qrtz is 1.531788, and the distance L 3 from the total reflection surface 102A to the reflection film 101A is equal to the length of one side of the PBS cube 101. If the refractive index n H-K9L of the glass glass material H-K9L is set to 1.5009922, the length L can be determined from the relationship L = L 1 + L 2 . When L 3 = 2 mm, the length L of the phase adjusting prism 103 is about 6.28353 mm, and the total length of the polarization multiplexer is added to the length L 3 = 2 mm of the PBS cube 101 to be 8.2853 mm. Also become. Moreover, since the compensation accuracy depends on the processing accuracy of the glass material, it is not so high.

また、一つのキューブの大きさを縮小すれば、反射行路によって生じる位相差は小さくなるので、位相補償長さも短くなり、光学素子の小型化が可能となる。しかし、通常、コリメーター化された光のビームの大きさは、1/e全幅で約0.6mmから0.8mmとなる。二つのビームが平行に進む場合は、相互の干渉や調整不良による位置のずれにより隣接光行路に入り込む光の量を完全に抑制するために、反射ミラーとして使用するキューブの幅は、ビームの全幅の2倍程度は必要になる。このため、上記の構造では小型化、特に短小化が困難である。 Further, if the size of one cube is reduced, the phase difference caused by the reflection path is reduced, so that the phase compensation length is shortened, and the optical element can be miniaturized. However, the size of the collimated beam of light is typically about 0.6 mm to 0.8 mm for the full 1 / e 2 width. When two beams travel in parallel, the width of the cube used as a reflection mirror is the full width of the beam to completely suppress the amount of light entering the adjacent optical path due to misalignment due to mutual interference or misalignment. Twice as much as is necessary. For this reason, with the above structure, it is difficult to reduce the size, particularly to reduce the size.

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、同一の偏光方向を有する2つの入力光に対するバルク型偏波合成器において、2つの入力光の位相差を補償しつつ素子の大型化を抑制することにある。   The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to compensate for the phase difference between two input lights in a bulk polarization synthesizer for two input lights having the same polarization direction. However, it is to suppress the enlargement of the element.

このような目的を達成するために、本発明の第1の態様は、PBSキューブと、前記PBSキューブに隣接し、前記PBSキューブの反射膜と平行な第1の反射面を有する第1のプリズムと、前記PBSキューブに隣接し、前記PBSキューブの前記反射膜と直角な第2の反射面および前記第2の反射面に対向する第3の反射面を有する第2のプリズムと、前記第1のプリズムに隣接する光路調整用キューブとを備え前記PBSキューブ、前記第1のプリズム、前記第2のプリズム、および前記光路調整用キューブは同一の材料からなり、前記光路調整用キューブに設けられた半波長板と、前記第2のプリズムに設けられ、前記半波長板と同一の材料からなる補償板とさらに備え、第1の偏光方向を有する第1及び第2の入力光を、それぞれ前記補償板及び前記半波長板に入射したとき、前記第1の入力光が、前記補償板を透過し、前記第3の反射面で反射された後、前記第2の反射面で反射され、前記PBSキューブの前記反射膜に至る光路長と、前記第2の入力光、前記半波長板を透過して第2の偏光方向に変換された後、前記光路調整用キューブを透過して前記第1の反射面で反射され、前記PBSキューブの前記反射膜に至る光路長とが等しいことを特徴とする偏波合成器である。 In order to achieve such an object, according to a first aspect of the present invention, there is provided a first prism having a PBS cube and a first reflecting surface adjacent to the PBS cube and parallel to a reflecting film of the PBS cube. A second prism having a second reflecting surface adjacent to the PBS cube and perpendicular to the reflecting film of the PBS cube and a third reflecting surface facing the second reflecting surface; and an optical path adjusting cubes adjacent to the prism, the PBS cube, the first prism, the second prism, and the optical path adjustment cube made of the same material, provided in the optical path adjustment cube and a half-wave plate, is provided on the second prism, further comprising a compensation plate consisting of a half wavelength the same material as the plate, the first and second input light having a first polarization direction, it Are having entered into the compensation plate and the half-wave plate, the first input light is transmitted through the compensation plate after being reflected by the third reflecting surface, it is reflected by the second reflecting surface The optical path length of the PBS cube reaching the reflective film and the second input light are transmitted through the half-wave plate and converted into the second polarization direction, and then transmitted through the optical path adjustment cube. The polarization beam combiner is characterized in that the optical path length reflected by the first reflecting surface and reaching the reflecting film of the PBS cube is equal .

また、本発明の第2の態様は、第1の態様において、前記第1のプリズムが、前記第1の反射面を有する第1のキューブを備え、前記第2のプリズムは、前記PBSキューブに隣接し、前記PBSキューブの前記反射膜と直角な前記第2の反射面を有する第2のキューブと、前記第2のキューブに隣接し、前記第2のキューブの前記第2の反射面と平行な前記第3の反射面を有する第3のキューブとを備え、前記補償板は前記第3のキューブに設けられていることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the first prism includes a first cube having the first reflecting surface, and the second prism is formed in the PBS cube. A second cube having the second reflective surface adjacent and perpendicular to the reflective film of the PBS cube; and adjacent to the second cube and parallel to the second reflective surface of the second cube. And a third cube having the third reflecting surface, and the compensator is provided on the third cube.

また、本発明の第3の態様は、第2の態様において、前記第1の偏光方向はTEモード、前記第2の偏光方向はTMモードであり、前記第1の反射面は、TMモードの光に対する94%以上96%以下の反射膜であり、前記第3の反射面は、TEモードの光に対する94%以上96%以下の反射膜であることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the second aspect, the first polarization direction is a TE mode, the second polarization direction is a TM mode, and the first reflection surface is a TM mode. The reflection film is 94% or more and 96% or less with respect to light, and the third reflection surface is 94% or more and 96% or less with respect to TE mode light.

また、本発明の第4の態様は、第3の態様において、前記第1の反射面を透過したTMモードの光と、前記第3の反射面を透過したTEモードの光をそれぞれ検出するための受光素子をさらに備えることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect, to detect the TM mode light transmitted through the first reflecting surface and the TE mode light transmitted through the third reflecting surface, respectively. The light receiving element is further provided.

また、本発明の第5の態様は、第2の態様において、前記第2の反射面が、前記第2のキューブの硝材と空気との界面による全反射鏡であることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the second aspect, the second reflecting surface is a total reflection mirror formed by an interface between the glass material of the second cube and air.

本発明によれば、同一の偏光方向を有する2つの入力光に対するバルク型偏波合成器において、PBSキューブと、反射面を有する複数のプリズムを用いて光路を適切に設計することにより、2つの入力光の位相差を補償しつつ素子の大型化を抑制することができる。   According to the present invention, in a bulk polarization synthesizer for two input lights having the same polarization direction, two optical paths are appropriately designed by using a PBS cube and a plurality of prisms having reflecting surfaces. An increase in the size of the element can be suppressed while compensating for the phase difference of the input light.

従来知られている汎用の偏波合分波器を示す図である。It is a figure which shows the general-purpose polarization multiplexer / demultiplexer known conventionally. 図1の偏波合分波器に位相補償に必要な光路調整用プリズムをさらに設けた光学素子の上面図である。FIG. 2 is a top view of an optical element in which the polarization multiplexer / demultiplexer of FIG. 1 is further provided with an optical path adjusting prism necessary for phase compensation. 本発明の第1の実施形態に係る偏波合成器を示す図である。It is a figure which shows the polarization beam combiner which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 図3の偏波合成器の機能を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the function of the polarization beam combiner of FIG. 第1の実施形態の変形形態を示す図である。It is a figure which shows the modification of 1st Embodiment. 第1の実施形態の別の変形形態を示す図である。It is a figure which shows another modification of 1st Embodiment. 第2の実施形態に係る受光素子を有する偏波合成器を示す図である。It is a figure which shows the polarization beam combiner which has a light receiving element which concerns on 2nd Embodiment. 本発明に係る偏波合成器の製造方法の一形態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating one form of the manufacturing method of the polarization beam combiner which concerns on this invention. 本発明に係る偏波合成器の製造方法の一形態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating one form of the manufacturing method of the polarization beam combiner which concerns on this invention. 本発明に係る偏波合成器の製造方法の一形態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating one form of the manufacturing method of the polarization beam combiner which concerns on this invention. 本発明に係る偏波合成器の製造方法の別の形態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating another form of the manufacturing method of the polarization beam combiner which concerns on this invention.

以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
図3に、本発明の第1の実施形態に係る偏波合成器を示す。偏波合成器300は、PBSキューブ301と、PBSキューブ301に隣接し、PBSキューブ301の反射膜301Aと平行な第1の反射面302Aを有する第1のプリズム302と、PBSキューブ301に隣接し、PBSキューブ301の反射膜301Aと直角な第2の反射面303Aおよび第2の反射面303Aに対向する第3の反射面303Bを有する第2のプリズム303と、第1のプリズム302に隣接する光路調整用キューブ304と、第2のプリズム303に設けられた補償板305と、前記光路調整用キューブ304に設けられた半波長板306とを備える。
(First embodiment)
FIG. 3 shows a polarization beam combiner according to the first embodiment of the present invention. The polarization beam combiner 300 is adjacent to the PBS cube 301, the first prism 302 adjacent to the PBS cube 301 and having the first reflecting surface 302A parallel to the reflective film 301A of the PBS cube 301, and the PBS cube 301. The second prism 303 having the second reflecting surface 303A perpendicular to the reflecting film 301A of the PBS cube 301 and the third reflecting surface 303B facing the second reflecting surface 303A, and adjacent to the first prism 302 An optical path adjustment cube 304, a compensation plate 305 provided in the second prism 303, and a half-wave plate 306 provided in the optical path adjustment cube 304 are provided.

図4を参照して、偏波合成器300の機能を説明する。第1の偏光方向、例えばTEモードの2つの入力光が、それぞれ補償板305及び半波長板306に入射される。補償板305を透過した第1の入力光は、第2のプリズム303の第3の反射面303Bで全反射した後、第3の反射面303Bに対向する第2の反射面303Aにおいても全反射される。第1の入力光は、次いでPBSキューブ301に入射されて、反射膜301Aを透過する。半波長板306に入射された第2の入力光は、第1の偏光方向であるTEモードから第2の偏光方向であるTMモードに変換された後、光路調整用キューブ304を透過し、第1のプリズム302に入射される。そして、第1のプリズム302の反射面302Aで全反射された後、PBSキューブ301の反射膜301Aで反射され、PBSキューブ301からTEモードの第1の入力光とともに出射される。   The function of the polarization beam combiner 300 will be described with reference to FIG. Two input lights in the first polarization direction, for example, the TE mode, are incident on the compensation plate 305 and the half-wave plate 306, respectively. The first input light transmitted through the compensation plate 305 is totally reflected by the third reflecting surface 303B of the second prism 303, and then totally reflected by the second reflecting surface 303A facing the third reflecting surface 303B. Is done. The first input light then enters the PBS cube 301 and passes through the reflective film 301A. The second input light incident on the half-wave plate 306 is converted from the TE mode, which is the first polarization direction, to the TM mode, which is the second polarization direction, and then passes through the optical path adjustment cube 304. 1 is incident on one prism 302. Then, after being totally reflected by the reflecting surface 302A of the first prism 302, it is reflected by the reflecting film 301A of the PBS cube 301 and is emitted from the PBS cube 301 together with the first input light in the TE mode.

このような構成を採ることにより、同一の偏光方向を有する2つの入力光に対するバルク型偏波合成器において、2つの入力光の位相差を補償しつつ素子の大型化を抑制することができる。たとえば、図2の例と同様に、PBSキューブ301、第1のプリズム302、第2のプリズム303、及び光路調整用キューブ304の硝材としてH−K9L、補償板305および半波長板306の材料として石英を用いた場合、一辺が2mmの三角ミラー、またはキューブミラーを2列と、長さが0.35mm程度の水晶製半波長板を用いるため、偏波合波器全体での長さは4.35mm程度となり、従来の構造における長さ8.28mmに比べ、約半分となり、大型化を抑制できていることが分かる。   By adopting such a configuration, it is possible to suppress an increase in the size of the element while compensating for the phase difference between the two input lights in the bulk polarization synthesizer for the two input lights having the same polarization direction. For example, as in the example of FIG. 2, H-K9L as the glass material of the PBS cube 301, the first prism 302, the second prism 303, and the optical path adjustment cube 304, as the material of the compensation plate 305 and the half-wave plate 306 When quartz is used, a triangular mirror with a side of 2 mm or two rows of cube mirrors and a quartz half-wave plate with a length of about 0.35 mm are used, so the total length of the polarization multiplexer is 4 It is about .35 mm, which is about half of the length of 8.28 mm in the conventional structure, and it can be seen that the increase in size can be suppressed.

なお、図3においては、PBSキューブ301として立方体のプリズムを図示してあるが、本実施形態に係る偏波合成器が備えるPBSキューブには、より大きなプリズムの中にPBSキューブ構造が内包されている場合も含まれる。たとえば、図5に示すように、3つの部品を組み合わせて偏波合成器を構成することができる。汎用のPBSブロック501は、反射膜501Aを中心としたPBSキューブ構造を内包する。PBSブロック501の第1の面501Bで第1のブロック502と接着し、第2の面501Cで光路調整用キューブ503と接着すればよい。   In FIG. 3, a cubic prism is illustrated as the PBS cube 301, but the PBS cube included in the polarization beam combiner according to the present embodiment includes a PBS cube structure in a larger prism. It is also included. For example, as shown in FIG. 5, a polarization beam combiner can be configured by combining three components. The general-purpose PBS block 501 includes a PBS cube structure centered on the reflective film 501A. The PBS block 501 may be bonded to the first block 502 on the first surface 501B, and may be bonded to the optical path adjusting cube 503 on the second surface 501C.

また、図6のような例も考えられる。図6の偏波合成器600は、すべて立方体のプリズムを部品として組み立てられており、図3の偏波合成器300と、第1のプリズム302および第2のプリズム303の構造が異なる。偏波合成器600においては、図3の第1のプリズム302が、第1の反射面602Aを有する第1のキューブ602を備え、図3の第2のプリズム303が、PBSキューブ301に隣接し、PBSキューブ301の反射膜301Aと直角な第2の反射面603Aを有する第2のキューブ603’と、第2のキューブ603’に隣接し、第2のキューブ603’の第2の反射面603Aと平行な第3の反射面603Bを有する第3のキューブ603”とを備える。第1のキューブ602、第2のキューブ603’及び第3のキューブ603”は、後述する図10及び11のように、これらのキューブ構造を内包する形で製造することもできる。   An example as shown in FIG. 6 is also conceivable. The polarization beam combiner 600 shown in FIG. 6 is assembled with cubic prisms as parts, and the structure of the first prism 302 and the second prism 303 is different from that of the polarization beam combiner 300 shown in FIG. In the polarization beam combiner 600, the first prism 302 of FIG. 3 includes a first cube 602 having a first reflecting surface 602A, and the second prism 303 of FIG. 3 is adjacent to the PBS cube 301. , A second cube 603 ′ having a second reflective surface 603A perpendicular to the reflective film 301A of the PBS cube 301, and a second reflective surface 603A of the second cube 603 ′ adjacent to the second cube 603 ′. And a third cube 603 ″ having a third reflecting surface 603B parallel to the first cube 602, the second cube 603 ′ and the third cube 603 ″ as shown in FIGS. In addition, these cube structures can also be manufactured.

図3の例との大きな相違点は、図3においては、第1の反射面302A、第2の反射面303A、及び第3の反射面303Bが、硝材と空気との界面に形成される全反射鏡であるのに対し、図6においては、第1の反射面602A、第2の反射面603A、及び第3の反射面603Bが、反射膜をコーティングすることによって形成されている。   The major difference from the example of FIG. 3 is that in FIG. 3, the first reflecting surface 302A, the second reflecting surface 303A, and the third reflecting surface 303B are all formed at the interface between the glass material and air. In contrast to the reflecting mirror, in FIG. 6, the first reflecting surface 602A, the second reflecting surface 603A, and the third reflecting surface 603B are formed by coating a reflecting film.

また、補償板305及び半波長板306は、同一の加工によって作られた石英板とし、補償板305については、結晶軸(C軸)を0度、半波長板306については結晶軸を45度に切り出させたものとすることができる。   The compensation plate 305 and the half-wave plate 306 are quartz plates made by the same processing. The compensation plate 305 has a crystal axis (C axis) of 0 degree, and the half-wave plate 306 has a crystal axis of 45 degrees. It can be cut out.

また、通常の[100]基板を用いる化合物半導体レーザは、基本的にTEモードで発振することが多く、加えて、半導体光変調器においてもその動作原理となる電気光学効果や、光の吸収効果であるフランツケルディッシュ効果、QCSEなどの量子効果などもTMモードの光よりもTEモードの光に対する変調効率が大きい(非特許文献5参照)。したがって、2つの入力光の偏光方向がTEモードである場合、2つの入力光の位相差を補償しつつ素子の大型化を抑制することのできる本実施形態に係る偏波合成器の意義は非常に大きい。   In addition, a compound semiconductor laser using a normal [100] substrate often oscillates basically in the TE mode. In addition, an electro-optic effect and a light absorption effect, which are the principle of operation of a semiconductor optical modulator, are also obtained. The Franzkeldish effect and the quantum effect such as QCSE have a higher modulation efficiency for TE mode light than TM mode light (see Non-Patent Document 5). Therefore, when the polarization directions of the two input lights are in the TE mode, the significance of the polarization synthesizer according to the present embodiment that can suppress the increase in size of the element while compensating for the phase difference between the two input lights is very significant. Big.

また、「全反射」という用語を用いたが、第3の実施形態で説明するように実際には100%の反射率を実現することは難しく、本実施形態の説明を容易にするためにこの用語が用いられている点に留意されたい。   Further, although the term “total reflection” is used, it is difficult to actually realize 100% reflectance as described in the third embodiment. Note that terminology is used.

(第2の実施形態)
図6のように偏波合成器を構成すると、TEモードの光とTMモードの光をそれぞれ部分的に取り出してモニタリングを行うことが可能になる。第1の反射面602Aに、TMモードの光に対する反射率が例えば95%のコーティングを行い、第3の反射面603Bに、TEモードの光に対する反射率が例えば95%のコーティングを行うと、図7に示すように受光素子701、702を配置することで両偏波のモニタリングができる。それぞれ独立にモニタリングし、光強度制御が必要な場合がある。
(Second Embodiment)
When the polarization beam combiner is configured as shown in FIG. 6, it is possible to perform monitoring by partially extracting TE mode light and TM mode light. When the first reflective surface 602A is coated with, for example, 95% reflectance for TM mode light, and the third reflective surface 603B is coated with, for example, 95% reflectance for TE mode light, FIG. As shown in FIG. 7, by arranging the light receiving elements 701 and 702, both polarizations can be monitored. There are cases in which the light intensity is controlled by monitoring each independently.

(第3の実施形態)
図8〜10を参照して、本発明に係る偏波合成器の製造方法の一形態を説明する。
(Third embodiment)
With reference to FIGS. 8 to 10, an embodiment of a method for manufacturing a polarization beam combiner according to the present invention will be described.

まず、厚さを制御した大判の硝材を切断し、切断された薄板の片面に、所要のコーティングを行う(図8)。次いで、これらの薄板を接着して、45度の切り出しを行う(図9)。同様の工程を異なるコーティングの組み合わせについて行い、張り合わせる(図10)。例えば、図中の(1)から(5)の面処理を、それぞれ、コーティング無しの光学研磨面、TEモードに対する94%〜100%反射膜、TEモードに対する94%〜100%反射膜、PBS用反射膜、TMモードに対する95%〜100%反射膜とすると、図10に示すように、TEモードとTMモードの入力光の偏波合成を行うことができる。このように製造することで、本発明に係る偏波合成器を低価格に量産することができる。この製造方法では、コーティングが異なるだけで同一の研磨で作製した厚板を切り出して使用するため、製造誤差がTE側及びTM側それぞれに同様に加わるので、相対的な誤差が発生せず非常に高精度の位相補償が可能になる。   First, a large glass material having a controlled thickness is cut, and a required coating is applied to one side of the cut thin plate (FIG. 8). Next, these thin plates are bonded and cut out at 45 degrees (FIG. 9). The same process is performed for different coating combinations and bonded together (FIG. 10). For example, the surface treatments (1) to (5) in the figure are respectively applied to an optically polished surface without coating, a 94% to 100% reflective film for TE mode, a 94% to 100% reflective film for TE mode, and for PBS. If the reflective film is a 95% to 100% reflective film with respect to the TM mode, as shown in FIG. 10, polarization synthesis of TE mode and TM mode input light can be performed. By manufacturing in this way, the polarization beam combiner according to the present invention can be mass-produced at a low price. In this manufacturing method, since a thick plate manufactured by the same polishing is cut out and used only with a different coating, a manufacturing error is similarly applied to each of the TE side and the TM side. High-precision phase compensation becomes possible.

一般原理としてはTEモード及びTMモードに対してそれぞれ100%の反射率となる高反射膜の作成は可能なのだが、実際には、硝材の吸収や屈折率、使用する光の波長との関係、加えて理想的屈折率を有するコーティング材料が無く、波長帯によってはTMモードに関しては100%近くまで到達できるものの、TEモードに関しては最大でも95%程度までしか高反射状態にできない。1550nmの光の波長帯では、まさにこのような状態であり、通常コーティングに用いる2酸化シリコンSiO、2酸化チタンTiO、フッ化マグネシウムMgF、アモルファスSiなどでは、キューブ構造ではTEモードは93%強程度で、これに金属膜を加えてやっと95%程度まで上昇できるかどうかである。このため、偏波合波器内で2回反射する本構造では、TEモードに関して10%程度の挿入損失となる。このうち、5%は第2の実施形態で説明したモニター用の光取り出しだとしても、残りの5%は損失となる。 As a general principle, it is possible to create a highly reflective film with a reflectance of 100% for each of the TE mode and TM mode, but in reality, the relationship between the absorption and refractive index of the glass material, the wavelength of the light used, In addition, there is no coating material having an ideal refractive index, and depending on the wavelength band, the TM mode can reach nearly 100%, but the TE mode can be in a highly reflective state only up to about 95%. In the wavelength band of light of 1550 nm, this is exactly the case. With silicon dioxide SiO 2 , titanium dioxide TiO 2 , magnesium fluoride MgF, amorphous Si, etc., which are usually used for coating, the TE mode is 93% in the cube structure. Whether it can be increased to about 95% by adding a metal film to it. For this reason, in this structure which reflects twice in the polarization multiplexer, the insertion loss is about 10% with respect to the TE mode. Of these, even if 5% is the light extraction for monitoring described in the second embodiment, the remaining 5% is a loss.

このため、各偏波状態の光に対して、挿入損失を0.5dB以内に保ちたい場合には、特にTEモード側の第3の反射面(図10では(2))に95%の反射率を設定し、5%をモニター光として利用すると、第2の反射面(図10では(3))は限りなく100%に近づけなければならない。通常、光デバイスの光出力に必要以上に余裕がない限り、送信機の特性を維持するために、光部品の挿入損失として0.5dB以上は認められていない。このため、TEモードの光に対する第2の反射面は、可能な限り100%に近いことが必要とされる。また、同じ理由により、モニター光として利用できる光の割合も6%以上を用いることは無い。このため、モニター光に対する反射面となる第1の反射面(図10では(1))と第3の反射面(図10では(2))は、製造誤差も考慮して、95%程度(94%〜96%が好ましい)に設定されるべきである。それ以外の反射面は、すべて100%に限りなく近い設計が必要となる。   For this reason, when it is desired to keep the insertion loss within 0.5 dB with respect to light in each polarization state, 95% reflection is caused particularly on the third reflection surface ((2) in FIG. 10) on the TE mode side. When the rate is set and 5% is used as the monitor light, the second reflecting surface ((3) in FIG. 10) must be as close to 100% as possible. In general, unless the optical output of the optical device has more margin than necessary, an insertion loss of the optical component of 0.5 dB or more is not permitted in order to maintain the characteristics of the transmitter. For this reason, the second reflecting surface for light in the TE mode is required to be as close to 100% as possible. For the same reason, the ratio of light that can be used as monitor light is not more than 6%. For this reason, the first reflecting surface ((1) in FIG. 10) and the third reflecting surface ((2) in FIG. 10), which are reflecting surfaces for the monitor light, are approximately 95% in consideration of manufacturing errors ( 94% to 96% is preferable). All other reflective surfaces must be designed to be as close to 100% as possible.

図10では、第2の反射面(図10では(3))の面処理を、TEモードに対する100%反射膜のコーティングとした例で説明した。しかし、実際にTEモードに対する反射率を100%近くに設定することは難しく、製造トレランスを考慮すると95%程度になってしまうことがある。この場合、TEモードを反射膜で2回反射させると、10%程度の光を失う計算になる。そこで、第2の反射面(図10では(3))の面処理として、反射膜のコーティングではなく、図11に示すように凹部を設けてもよい。凹部を設けることにより、硝材と空気との界面に全反射鏡が形成され、反射損失、ひいては挿入損失を低減することができる。また、モニター用に光の取り出しを必要としない場合には、同様に第3の反射面(図10では(2))の面処理として、反射膜のコーティングではなく、反射面となる面の後面に凹部(図11に点線で表記)を設け、空気の屈折率の層を作ることで、全反射面とすることができる。   In FIG. 10, the surface treatment of the second reflecting surface ((3) in FIG. 10) has been described as an example in which the coating of the 100% reflecting film for the TE mode is used. However, it is difficult to actually set the reflectivity for the TE mode to be close to 100%, and in consideration of manufacturing tolerance, it may be about 95%. In this case, when the TE mode is reflected twice by the reflective film, about 10% of light is lost. Therefore, as a surface treatment of the second reflecting surface ((3) in FIG. 10), a concave portion may be provided as shown in FIG. 11 instead of coating the reflecting film. By providing the recess, a total reflection mirror is formed at the interface between the glass material and the air, and the reflection loss and hence the insertion loss can be reduced. In addition, when it is not necessary to extract light for monitoring, similarly as the surface treatment of the third reflecting surface ((2) in FIG. 10), the rear surface of the surface that becomes the reflecting surface, not the coating of the reflecting film. By providing a recess (indicated by a dotted line in FIG. 11) and forming a layer having an air refractive index, a total reflection surface can be obtained.

300 偏波合成器
301 PBSキューブ
301A 反射膜
302 第1のプリズム
302A 第1の反射面
303 第2のプリズム
303A 第2の反射面
303B 第3の反射面
304 光路調整用キューブ
305 補償板
306 半波長板
501 PBSブロック
501A 反射膜
501B 第1の面
501C 第2の面
502 第1のブロック
503 光路調整用キューブ
600 偏波合成器
602 第1のキューブ
602A 第1の反射面
603’ 第2のキューブ
603” 第3のキューブ
603A 第2の反射面
603B 第3の反射面
701、702 受光素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 300 Polarization combiner 301 PBS cube 301A Reflective film 302 1st prism 302A 1st reflective surface 303 2nd prism 303A 2nd reflective surface 303B 3rd reflective surface 304 Optical path adjustment cube 305 Compensation plate 306 Half wavelength Plate 501 PBS block 501A Reflective film 501B First surface 501C Second surface 502 First block 503 Optical path adjusting cube 600 Polarization combiner 602 First cube 602A First reflective surface 603 'Second cube 603 ”Third cube 603A Second reflecting surface 603B Third reflecting surface 701, 702 Light receiving element

Claims (5)

PBSキューブと、
前記PBSキューブに隣接し、前記PBSキューブの反射膜と平行な第1の反射面を有する第1のプリズムと、
前記PBSキューブに隣接し、前記PBSキューブの前記反射膜と直角な第2の反射面および前記第2の反射面に対向する第3の反射面を有する第2のプリズムと、
前記第1のプリズムに隣接する光路調整用キューブとを備え
前記PBSキューブ、前記第1のプリズム、前記第2のプリズム、および前記光路調整用キューブは同一の材料からなり、
前記光路調整用キューブに設けられた半波長板と
前記第2のプリズムに設けられ、前記半波長板と同一の材料からなる補償板とさらに備え、
第1の偏光方向を有する第1及び第2の入力光を、それぞれ前記補償板及び前記半波長板に入射したとき、
前記第1の入力光が、前記補償板を透過し、前記第3の反射面で反射された後、前記第2の反射面で反射され、前記PBSキューブの前記反射膜に至る光路長と
前記第2の入力光、前記半波長板を透過して第2の偏光方向に変換された後、前記光路調整用キューブを透過して前記第1の反射面で反射され、前記PBSキューブの前記反射膜に至る光路長とが等しいことを特徴とする偏波合成器。
PBS cube,
A first prism having a first reflective surface adjacent to the PBS cube and parallel to the reflective film of the PBS cube;
A second prism having a second reflecting surface adjacent to the PBS cube and perpendicular to the reflecting film of the PBS cube and a third reflecting surface facing the second reflecting surface;
And an optical path adjusting cubes adjacent to the first prism,
The PBS cube, the first prism, the second prism, and the optical path adjustment cube are made of the same material,
A half-wave plate provided in the optical path adjustment cube ;
Provided on the second prism, further comprising a compensation plate consisting of the half-wave plate of the same material,
When first and second input lights having a first polarization direction are incident on the compensation plate and the half-wave plate, respectively.
The first input light passes through the compensation plate, is reflected by the third reflecting surface, is then reflected by the second reflecting surface, and reaches the reflecting film of the PBS cube; and
The second input light is transmitted through the half-wave plate and converted into a second polarization direction, and then transmitted through the optical path adjustment cube and reflected by the first reflection surface, A polarization beam combiner characterized by having an equal optical path length to the reflection film.
前記第1のプリズムは、前記第1の反射面を有する第1のキューブを備え、
前記第2のプリズムは、前記PBSキューブに隣接し、前記PBSキューブの前記反射膜と直角な前記第2の反射面を有する第2のキューブと、前記第2のキューブに隣接し、前記第2のキューブの前記第2の反射面と平行な前記第3の反射面を有する第3のキューブとを備え、前記補償板は前記第3のキューブに設けられていることを特徴とする請求項1記載の偏波合成器。
The first prism includes a first cube having the first reflecting surface;
The second prism is adjacent to the PBS cube, has a second reflecting surface perpendicular to the reflective film of the PBS cube, is adjacent to the second cube, and is And a third cube having the third reflecting surface parallel to the second reflecting surface of the cube, and the compensator is provided on the third cube. The polarization synthesizer described.
前記第1の偏光方向はTEモード、前記第2の偏光方向はTMモードであり、
前記第1の反射面は、TMモードの光に対する94%以上96%以下の反射膜であり、
前記第3の反射面は、TEモードの光に対する94%以上96%以下の反射膜であることを特徴とする請求項2記載の偏波合成器。
The first polarization direction is a TE mode, and the second polarization direction is a TM mode,
The first reflection surface is a reflection film of 94% or more and 96% or less with respect to TM mode light,
3. The polarization beam combiner according to claim 2, wherein the third reflection surface is a reflection film of 94% or more and 96% or less with respect to TE mode light.
前記第1の反射面を透過したTMモードの光と、前記第3の反射面を透過したTEモードの光をそれぞれ検出するための受光素子をさらに備えることを特徴とする請求項3記載の偏波合成器。   4. The polarization according to claim 3, further comprising a light receiving element for detecting TM mode light transmitted through the first reflective surface and TE mode light transmitted through the third reflective surface. Wave synthesizer. 前記第2の反射面は、前記第2のキューブの硝材と空気との界面による全反射鏡であることを特徴とする請求項2記載の偏波合成器。   3. The polarization beam combiner according to claim 2, wherein the second reflecting surface is a total reflection mirror formed by an interface between the glass material of the second cube and air.
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EP1930764A1 (en) * 1999-04-21 2008-06-11 3M Innovative Properties Company Optical systems for reflective LCD's
JP3569489B2 (en) * 2000-10-25 2004-09-22 シャープ株式会社 Optical pickup device
JP4479232B2 (en) * 2002-12-20 2010-06-09 富士ゼロックス株式会社 Light wave splitting prism, light wave splitting prism manufacturing method, and optical-optical switch device
JP2004334169A (en) * 2003-04-17 2004-11-25 Sony Corp Beam multiplexing element, beam multiplexing method, beam separating element, beam separating method, and exciting light output device
JP2006162671A (en) * 2004-12-02 2006-06-22 Canon Inc Laser scanner
JP5542071B2 (en) * 2011-01-26 2014-07-09 日本電信電話株式会社 Optical integrated circuit

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