JP5790278B2

JP5790278B2 - Liquid feeding device and projector

Info

Publication number: JP5790278B2
Application number: JP2011173617A
Authority: JP
Inventors: 大島　敦; 敦大島; 尚洋松崎; 和見内田; 明男小林
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2011-08-09
Filing date: 2011-08-09
Publication date: 2015-10-07
Anticipated expiration: 2031-08-09
Also published as: JP2013038242A

Description

本発明は、液体の冷却媒体を液体通路に循環させる冷却装置、および冷却装置を搭載したプロジェクターに関する。 The present invention relates to a cooling device that circulates a liquid cooling medium in a liquid passage, and a projector equipped with the cooling device.

動作中に加熱され、あるいは発熱して温度が上昇するデバイスを冷却するために、冷却通路に冷却媒体を循環させてデバイスを冷却する冷却装置が知られている。例えば、プロジェクターに搭載される固体発光光源は、電流の供給量を増やすにつれて発光量が増加するが、同時に発熱量も増加するので、大きな電流を供給した場合には冷却が必要となる。そこで、ポンプを用いて液体通路に、液体の冷却媒体（液体）を循環させることによって固体発光光源を冷却する冷却装置が提案されている（特許文献１）。 In order to cool a device that is heated during operation or generates heat to increase its temperature, a cooling device that circulates a cooling medium in a cooling passage to cool the device is known. For example, a solid light-emitting light source mounted on a projector increases in light emission amount as the current supply amount increases, but at the same time, the heat generation amount also increases. Therefore, when a large current is supplied, cooling is necessary. Therefore, a cooling device has been proposed that cools a solid-state light-emitting light source by circulating a liquid cooling medium (liquid) in a liquid passage using a pump (Patent Document 1).

また、大きな光量を得ようとすると固体発光光源に供給する電流量が多くなり、それに伴って発熱量も大きくなるので、液体の流量を増やして冷却能力を向上させる必要が生じる。加えて、液体通路は細く（断面積が小さく）かつ長く（通路長が大きく）形成されるので、液体の流量を増やすと大きな通路抵抗が生じる。そこで、液体を循環させるためのポンプとして、振動や騒音の少ない遠心型ポンプに替えて、容積型ポンプを採用することも提案されている（特許文献２）。遠心型ポンプは、ポンプ室内で羽根を回転させた時に生じる動圧を用いて流体を加圧している関係上、出口側の圧力が高くなると流量の確保が困難となる。これに対して容積型ポンプは、ポンプ室の容積変化を用いて流体を加圧するので、出口側の圧力が高くなっても流量の確保が容易である。このため、容積型ポンプを用いた方が、液体通路を循環する液体の流量を容易に増加させることができる。 In addition, when an attempt is made to obtain a large amount of light, the amount of current supplied to the solid-state light source increases, and the amount of heat generated increases accordingly. Therefore, it is necessary to increase the liquid flow rate to improve the cooling capacity. In addition, since the liquid passage is narrow (small cross-sectional area) and long (large passage length), a large passage resistance is generated when the liquid flow rate is increased. Therefore, it has been proposed to employ a positive displacement pump instead of a centrifugal pump with less vibration and noise as a pump for circulating the liquid (Patent Document 2). Since the centrifugal pump pressurizes the fluid using the dynamic pressure generated when the blades are rotated in the pump chamber, it is difficult to ensure the flow rate when the pressure on the outlet side increases. On the other hand, the positive displacement pump pressurizes the fluid using the change in volume of the pump chamber, so that it is easy to ensure the flow rate even when the pressure on the outlet side increases. For this reason, the flow rate of the liquid circulating through the liquid passage can be easily increased when the positive displacement pump is used.

特開平８−２４２４６３号公報JP-A-8-242463 特開２００７−１０３８２０号公報JP 2007-103820 A

しかし今日では、必要とされる冷却能力が増加する傾向にあるため、より一層の液体の流量増加が望まれている。もちろん、容積型ポンプを採用した上でポンプを大型化したり、ポンプの運転速度を高くしたりすれば液体の流量を増加することができるが、ポンプの大型化は冷却装置の大型化を招くおそれがあり、また、ポンプの運転速度を高くすると振動や騒音の増加を招くおそれがあるので、何れも好ましいことではない。 Today, however, the required cooling capacity tends to increase, so a further increase in liquid flow rate is desired. Of course, it is possible to increase the flow rate of liquid by adopting a positive displacement pump and then increasing the pump size or increasing the pump operating speed. However, increasing the pump size may lead to an increase in the size of the cooling device. In addition, if the pump operating speed is increased, vibration and noise may increase, which is not preferable.

この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、液体を循環させるポンプを大型化することなく、液体の流量を効率よく増加させることが可能な技術の提供を目的とする。 The present invention has been made to solve at least a part of the above-described problems of the prior art, and can increase the flow rate of the liquid efficiently without increasing the size of the pump for circulating the liquid. Aims to provide new technology.

上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の冷却装置は次の構成を採用した。すなわち、
冷却媒体である液体が流れる液体流路と、該液体流路の入口に向けて該液体を吐出させる送液ポンプとを備えた冷却装置であって、
前記送液ポンプは、
容積が変更可能なポンプ室と、
前記ポンプ室に前記液体が流入する入口流路と、
前記ポンプ室から前記液体が流出する出口流路と、
前記入口流路と前記ポンプ室との間に設けられた逆止弁と
を備えており、
前記出口流路と前記液体流路との間には、前記ポンプ室よりも大きなコンプライアンスを有する出口側バッファ室が設けられ、
前記出口流路の流路抵抗もしくはイナータンスの少なくとも一方が、前記液体流路の流路抵抗もしくはイナータンスよりも低いことを要旨とする。 In order to solve at least a part of the problems described above, the cooling device of the present invention employs the following configuration. That is,
A cooling device comprising a liquid channel through which a liquid as a cooling medium flows, and a liquid feed pump for discharging the liquid toward the inlet of the liquid channel,
The liquid feed pump is
A pump chamber whose volume can be changed;
An inlet channel through which the liquid flows into the pump chamber;
An outlet channel through which the liquid flows out of the pump chamber;
A check valve provided between the inlet channel and the pump chamber,
Between the outlet channel and the liquid channel, an outlet side buffer chamber having a larger compliance than the pump chamber is provided,
The gist is that at least one of the channel resistance or inertance of the outlet channel is lower than the channel resistance or inertance of the liquid channel.

こうした構成を有する本発明の冷却装置においては、液体が流れる液体流路の入口が送液ポンプの出口流路に接続され、液体流路の出口が送液ポンプの入口流路に接続されており、送液ポンプを用いて液体を循環させることによって対象物を冷却する。また、送液ポンプの出口流路と液体流路との間には、送液ポンプのポンプ室よりも大きなコンプライアンスを有する出口側バッファ室が設けられており、少なくとも、ポンプ室は、液体によって満たされた状態となっている。尚、出口側バッファ室は、送液ポンプの出口流路に直接取り付けられていても良いし、液体流路を介して出口流路に取り付けられていても構わない。 In the cooling device of the present invention having such a configuration, the inlet of the liquid channel through which the liquid flows is connected to the outlet channel of the liquid feeding pump, and the outlet of the liquid channel is connected to the inlet channel of the liquid feeding pump. The object is cooled by circulating the liquid using a liquid feed pump. In addition, an outlet side buffer chamber having a larger compliance than the pump chamber of the liquid feeding pump is provided between the outlet channel of the liquid feeding pump and the liquid channel, and at least the pump chamber is filled with liquid. It has become a state. The outlet-side buffer chamber may be directly attached to the outlet flow path of the liquid feed pump, or may be attached to the outlet flow path via the liquid flow path.

このようにすれば、ポンプ室と出口側バッファ室とは互いに連通するとともに、ポンプ室が液体で満たされた状態となるため、共振系を構成する。従って共振系の共振周波数に同期させて（すなわち、共振周波数に相当する周期あるいはその周期の整数倍の周期で）、ポンプ室の容積を増減させれば、ポンプ室内に大きな圧力振動を生じさせることができる。そして、ポンプ室の入口流路側には逆止弁が設けられているので、ポンプ室の圧力が高くなっても入口流路に液体が逆流することはなく、また、ポンプ室の圧力が低くなると入口流路から液体が供給される。その結果、圧力振動によって高くなった圧力でポンプ室から出口側バッファ室へと液体を圧送することができ、出口側バッファ室から液体通路へと流れる液体の流量も増加させることができる。このように本願発明の冷却装置では、送液ポンプの出口流路側に出口側バッファ室を設けるだけで、送液ポンプを大型化することなく、液体の流量を効率よく増加させることができ、冷却能力を向上させることが可能となる。尚、出口側バッファ室のコンプライアンスは、少なくともポンプ室のコンプライアンスよりは大きくないと十分な効果は得られず、少なくともポンプ室の数倍以上（たとえば１０倍）、可能であれば１００倍程度のコンプライアンスに設定することが望ましい。 In this way, the pump chamber and the outlet side buffer chamber communicate with each other and the pump chamber is filled with the liquid, so that a resonance system is configured. Therefore, if the volume of the pump chamber is increased or decreased in synchronism with the resonance frequency of the resonance system (that is, a cycle corresponding to the resonance frequency or a cycle that is an integral multiple of the cycle), a large pressure oscillation is generated in the pump chamber. Can do. Since a check valve is provided on the inlet channel side of the pump chamber, liquid does not flow back into the inlet channel even when the pressure in the pump chamber increases, and when the pressure in the pump chamber decreases. Liquid is supplied from the inlet channel. As a result, the liquid can be pumped from the pump chamber to the outlet side buffer chamber with the pressure increased by the pressure vibration, and the flow rate of the liquid flowing from the outlet side buffer chamber to the liquid passage can be increased. Thus, in the cooling device of the present invention, the flow rate of the liquid can be increased efficiently without increasing the size of the liquid feed pump by simply providing the outlet side buffer chamber on the outlet flow channel side of the liquid feed pump. Capability can be improved. In addition, if the compliance of the outlet side buffer chamber is not at least larger than the compliance of the pump chamber, a sufficient effect cannot be obtained, and at least several times (for example, 10 times) that of the pump chamber, or about 100 times if possible. It is desirable to set to.

また、上述した本発明の冷却装置においては、ポンプ室の容積の容積を減少させてから、ポンプ室と出口流路と出口バッファ室と液体によって決定される共振周期Ｔの整数倍の時点と、その時点に対して−Ｔ/２との間で、送液ポンプ室の容積を増加させるようにしてもよい。 In the cooling device of the present invention described above, after reducing the volume of the volume of the pump chamber, a time that is an integral multiple of the resonance period T determined by the pump chamber, the outlet channel, the outlet buffer chamber, and the liquid; You may make it increase the volume of a liquid feeding pump chamber between -T / 2 with respect to the time.

あるいは、上述した本発明の冷却装置においては、ポンプ室内の圧力が上昇するタイミングで、ポンプ室の容積を減少させることとしてもよい。 Alternatively, in the above-described cooling device of the present invention, the volume of the pump chamber may be reduced at the timing when the pressure in the pump chamber increases.

更には、上述した本発明の冷却装置においては、ポンプ室の容積の増減の繰返し周期が、ポンプ室と出口流路と出口バッファ室と液体によって決定される共振周期Ｔの整数倍の時点に対して±Ｔ/４の間となるようにしてもよい。 Furthermore, in the above-described cooling device of the present invention, the repetition cycle of the increase / decrease in the volume of the pump chamber is a time that is an integral multiple of the resonance cycle T determined by the pump chamber, the outlet channel, the outlet buffer chamber, and the liquid. May be between ± T / 4.

これらのようにすれば、送液ポンプの運転によってポンプ室内に生じた圧力振動圧力振動を利用して液体を圧送することができるので、液体の流量を増加させることが可能となる。 If it does in this way, since the liquid can be pumped using the pressure vibration generated in the pump chamber by the operation of the liquid feed pump, the flow rate of the liquid can be increased.

また上述した本発明の冷却装置においては、圧電素子を用いてポンプ室の容積を変更するようにしてもよい。 In the cooling device of the present invention described above, the volume of the pump chamber may be changed using a piezoelectric element.

圧電素子は、正電圧を印加することによって伸張し、大きな力でポンプ室を圧縮することができる。このため、出口側バッファ室内の液体が圧縮性流体として振る舞うようになり、ポンプ室と出口側バッファ室との間に共振系が形成される。その結果、ポンプ室に発生する圧力振動を利用して液体を圧送することができるので、液体の流量を増加させることが可能となる。 The piezoelectric element can be expanded by applying a positive voltage, and the pump chamber can be compressed with a large force. For this reason, the liquid in the outlet side buffer chamber behaves as a compressive fluid, and a resonance system is formed between the pump chamber and the outlet side buffer chamber. As a result, since the liquid can be pumped using the pressure vibration generated in the pump chamber, the liquid flow rate can be increased.

また、上述した本発明の冷却装置をプロジェクターに搭載しても良い。 Further, the above-described cooling device of the present invention may be mounted on a projector.

プロジェクターの光源は大きな熱を発生するので冷却が必要となる。また、大きな光量を得ようとすると発生する熱も大きくなるので、冷却能力を向上させる必要が生じる。ここで、上述した本発明の冷却装置は小型でありながら高い冷却能力を有しているので、本発明の冷却装置を搭載すれば、小型で、光量の大きなプロジェクターを構成することが可能となる。 The light source of the projector generates a large amount of heat and needs to be cooled. In addition, since a large amount of heat is generated when trying to obtain a large amount of light, it is necessary to improve the cooling capacity. Here, since the above-described cooling device of the present invention is small and has a high cooling capacity, if the cooling device of the present invention is mounted, a small projector with a large amount of light can be configured. .

本実施例のプロジェクターの大まかな構成を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the rough structure of the projector of a present Example. 本実施例の冷却装置の構成を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the structure of the cooling device of a present Example. 本実施例の冷却装置に搭載されている送液ポンプの構造を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the structure of the liquid feeding pump mounted in the cooling device of a present Example. 出口側バッファ室の有無による液体の流量の違いを示す計測結果である。It is a measurement result which shows the difference in the flow volume of the liquid by the presence or absence of an exit side buffer chamber. 出口側バッファ室の有無によるポンプ室の内部圧力の違いを示す計測結果である。It is a measurement result which shows the difference in the internal pressure of a pump chamber by the presence or absence of an exit side buffer chamber. 圧電素子に印加する駆動電圧の立ち上がり時間が流量に与える影響を調べた計測結果である。It is the measurement result which investigated the influence which the rise time of the drive voltage applied to a piezoelectric element has on flow volume. 圧電素子に印加する駆動電圧の駆動周期が流量に与える影響を調べた計測結果である。It is the measurement result which investigated the influence which the drive period of the drive voltage applied to a piezoelectric element has on flow volume. 圧電素子に印加した駆動電圧を立ち下げるタイミングが流量に与える影響を調べた計測結果である。It is the measurement result which investigated the influence which the timing which falls the drive voltage applied to the piezoelectric element has on the flow rate.

以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。
Ａ．プロジェクターの構成：
Ｂ．冷却装置の構成：
Ｃ．送液ポンプの構成：
Ｄ．送液ポンプの動作：
Ｅ．出口側バッファ室の働き： Hereinafter, in order to clarify the contents of the present invention described above, examples will be described in the following order.
A. Projector configuration:
B. Cooling device configuration:
C. Structure of liquid pump:
D. Fluid pump operation:
E. Function of the outlet side buffer chamber:

Ａ．プロジェクターの構成：
図１は、本実施例のプロジェクター１のおおまかな構成を示した説明図である。図示されるように、本実施例のプロジェクター１は、複数の光学部品から構成される光学系と、光学部品を冷却する冷却装置１０と、図示しない電源ユニットと、図示しない制御ユニットなどが、外装筺体２０の内部に収納されることによって構成されている。光学系は、光束を射出する光源２２と、画像情報に応じて光変調を行う液晶ライトバルブ２４と、ダイクロイックプリズム２６と、投射レンズ２８などから構成されている。 A. Projector configuration:
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a rough configuration of the projector 1 according to the present embodiment. As shown in the figure, the projector 1 according to the present embodiment includes an optical system including a plurality of optical components, a cooling device 10 that cools the optical components, a power supply unit (not shown), a control unit (not shown), and the like. It is configured by being housed inside the housing 20. The optical system includes a light source 22 that emits a light beam, a liquid crystal light valve 24 that modulates light according to image information, a dichroic prism 26, a projection lens 28, and the like.

光源２２としては、Ｒ色光を射出するＲ光源２２Ｒと、Ｇ色光を射出するＧ光源２２Ｇと、Ｂ色光を射出するＢ光源２２Ｂの、３つの光源２２Ｒ〜２２Ｂが搭載されている。これら各色の光源２２Ｒ〜２２Ｂには、ＬＥＤ素子や、レーザーダイオード、有機ＥＬ素子、シリコン発光素子などの各種の固体発光素子を用いることができる。また、各色の光源２２Ｒ〜２２Ｂは、それぞれに設けられた液晶ライトバルブ２４に向けて光束を射出する。 As the light source 22, three light sources 22R to 22B, which are an R light source 22R that emits R color light, a G light source 22G that emits G color light, and a B light source 22B that emits B color light, are mounted. Various light emitting elements such as LED elements, laser diodes, organic EL elements, and silicon light emitting elements can be used for the light sources 22R to 22B of these colors. In addition, the light sources 22R to 22B of the respective colors emit light beams toward the liquid crystal light valve 24 provided in each of the light sources 22R to 22B.

液晶ライトバルブ２４は透過型の液晶パネルであり、図示しない制御装置からの駆動信号に基づいて、液晶セル内の液晶分子の配列を変化させて光を透過あるいは遮断することによって、画像情報に応じた光学像を形成する。尚、液晶セルで光を透過させたり、遮断したりする動作を「光変調」と呼ぶことがある。液晶ライトバルブ２４で光変調を行う結果、光源２２Ｒからの光束を受ける液晶ライトバルブ２４ＲではＲ光学像が形成され、光源２２Ｇからの光束を受ける液晶ライトバルブ２４ＧではＧ光学像が形成され、光源２２Ｂからの光束を受ける液晶ライトバルブ２４ＢではＢ光学像が形成される。こうして得られた各色の光学像は、ダイクロイックプリズム２６に向けて射出される。 The liquid crystal light valve 24 is a transmissive liquid crystal panel, and changes the arrangement of the liquid crystal molecules in the liquid crystal cell based on a drive signal from a control device (not shown) to transmit or block light, depending on image information. An optical image is formed. The operation of transmitting and blocking light in the liquid crystal cell may be referred to as “light modulation”. As a result of light modulation by the liquid crystal light valve 24, an R optical image is formed in the liquid crystal light valve 24R that receives the light beam from the light source 22R, and a G optical image is formed in the liquid crystal light valve 24G that receives the light beam from the light source 22G. A B optical image is formed in the liquid crystal light valve 24B that receives the light beam from 22B. The optical images of the respective colors thus obtained are emitted toward the dichroic prism 26.

ダイクロイックプリズム２６は、４つの直角プリズムを貼り合わせて構成されたほぼ立方体形状の光学素子である。直角プリズム同士を貼り合わせた界面には、誘電体多層膜が形成されている。誘電体多層膜は、膜厚の設定によって特定の波長の光のみを反射し、その他の光を透過する性質がある。この性質を利用して、ダイクロイックプリズム２６では、液晶ライトバルブ２４から射出された色光を投射レンズ２８の方向に向けて反射する。それぞれの液晶ライトバルブ２４Ｒ〜２４Ｂからの色光が投射レンズ２８に向けて反射される結果、各色光による光学像が合成されて、カラー画像として投射レンズ２８に向けて射出される。そして投射レンズ２８は、図示しないスクリーン上にカラー画像を投影することによって拡大表示する。 The dichroic prism 26 is a substantially cubic optical element configured by bonding four right-angle prisms. A dielectric multilayer film is formed at the interface where the right-angle prisms are bonded together. The dielectric multilayer film has a property of reflecting only light of a specific wavelength and transmitting other light depending on the film thickness setting. Using this property, the dichroic prism 26 reflects the color light emitted from the liquid crystal light valve 24 toward the projection lens 28. As a result of the color lights from the respective liquid crystal light valves 24R to 24B being reflected toward the projection lens 28, optical images of the respective color lights are synthesized and emitted as color images toward the projection lens 28. The projection lens 28 displays an enlarged image by projecting a color image on a screen (not shown).

ここで、光源２２は光を射出すると同時に発熱する。そこで、各色の光源２２Ｒ〜２２Ｂを、冷却装置１０によって冷却する。尚、本実施例では、冷却装置１０を用いて光源２２を冷却しているが、他の部品（例えば液晶ライトバルブ２４や、電源ユニットなど）を冷却してもよい。 Here, the light source 22 generates heat simultaneously with the emission of light. Therefore, the light sources 22R to 22B of the respective colors are cooled by the cooling device 10. In the present embodiment, the light source 22 is cooled by using the cooling device 10, but other components (for example, the liquid crystal light valve 24, the power supply unit, etc.) may be cooled.

Ｂ．冷却装置の構成：
図２は、本実施例の冷却装置１０の構成を示した説明図である。尚、図１を用いて前述したように、冷却装置１０は、各色の光源２２Ｒ〜２２Ｂのそれぞれに（合計で３つ）設けられているが、何れの構成も同様であるため、以下では、１つの冷却装置１０について説明する。 B. Cooling device configuration:
FIG. 2 is an explanatory diagram showing the configuration of the cooling device 10 of this embodiment. As described above with reference to FIG. 1, the cooling device 10 is provided in each of the light sources 22R to 22B of each color (three in total). One cooling device 10 will be described.

図示されるように本実施例の冷却装置１０は、液体の冷却媒体である液体が流れる流路チューブ１５０や、流路チューブ１５０に液体を循環させる送液ポンプ１００などを備えている。流路チューブ１５０の途中には、出口側バッファ室１５２や、光源２２からの熱を液体に吸収させる受熱部１５４や、液体の熱を放熱させる放熱部１５６が設けられており、流路チューブ１５０と、出口側バッファ室１５２と、受熱部１５４と、放熱部１５６とによって、送液ポンプ１００に液体を循環させる液体流路が構成されている。尚、図２では、冷却が流れる方向が、破線の矢印によって示されている。 As shown in the figure, the cooling device 10 of the present embodiment includes a flow channel tube 150 through which a liquid that is a liquid cooling medium flows, a liquid feed pump 100 that circulates the liquid through the flow channel tube 150, and the like. In the middle of the flow channel tube 150, an outlet side buffer chamber 152, a heat receiving unit 154 that absorbs heat from the light source 22 into the liquid, and a heat radiation unit 156 that dissipates the heat of the liquid are provided. The outlet-side buffer chamber 152, the heat receiving unit 154, and the heat radiating unit 156 constitute a liquid flow path for circulating the liquid through the liquid feed pump 100. In FIG. 2, the direction in which the cooling flows is indicated by a dashed arrow.

受熱部１５４では、金属などの熱伝導率の高い材質で形成された図示しない伝熱部材に液体が接触して流れるようになっており、伝熱部材は、光源２２の熱を持つ部分に接触している。このため、光源２２の熱が伝熱部材を介して液体に伝達されて光源２２が冷却される。放熱部１５６は、いわゆるラジエーターであり、内部を流れる液体の温度を、表面に形成された複数の放熱フィンから空気中に放熱する。その結果、放熱部１５６を通過した液体は冷やされた状態で、送液ポンプ１００に還流される。 In the heat receiving portion 154, the liquid flows in contact with a heat transfer member (not shown) formed of a material having high thermal conductivity such as metal, and the heat transfer member contacts the portion of the light source 22 that has heat. doing. For this reason, the heat of the light source 22 is transmitted to the liquid via the heat transfer member, and the light source 22 is cooled. The heat dissipating part 156 is a so-called radiator, and dissipates the temperature of the liquid flowing inside from a plurality of heat dissipating fins formed on the surface into the air. As a result, the liquid that has passed through the heat radiating unit 156 is returned to the liquid feed pump 100 in a cooled state.

また、本実施例の冷却装置１０には、放熱部１５６での放熱を促進するための冷却促進ユニットも搭載されている。この冷却促進ユニットは、冷却ファン１６０と、冷却ファン１６０を回転させるファンモーター１６２と、ファンモーター１６２の動作を制御するモーター制御部１６４と、温度センサー１６６などから構成されている。温度センサー１６６は光源２２の近傍に配置されており、光源２２の温度を検出して、検出した温度をモーター制御部１６４に出力する。モーター制御部１６４は、検出された温度に基づいてファンモーター１６２の動作を制御する。例えば、温度センサー１６６で検出した温度が高い場合には、ファンモーター１６２の回転速度を増加させることによって放熱部１５６での放熱を促進させる。すると、放熱部１５６から流出する液体の温度が低下し、より温度の低い液体が受熱部１５４に供給される結果、光源２２の温度を下げることが可能となる。 In addition, the cooling device 10 of the present embodiment is also equipped with a cooling promotion unit for promoting heat dissipation in the heat dissipating unit 156. The cooling promotion unit includes a cooling fan 160, a fan motor 162 that rotates the cooling fan 160, a motor control unit 164 that controls the operation of the fan motor 162, a temperature sensor 166, and the like. The temperature sensor 166 is disposed in the vicinity of the light source 22, detects the temperature of the light source 22, and outputs the detected temperature to the motor control unit 164. The motor control unit 164 controls the operation of the fan motor 162 based on the detected temperature. For example, when the temperature detected by the temperature sensor 166 is high, the heat radiation at the heat radiating unit 156 is promoted by increasing the rotational speed of the fan motor 162. Then, the temperature of the liquid flowing out from the heat radiating unit 156 is lowered, and the liquid having a lower temperature is supplied to the heat receiving unit 154. As a result, the temperature of the light source 22 can be lowered.

Ｃ．送液ポンプの構成：
図３は、本実施例の冷却装置１０に搭載されている送液ポンプ１００の構造を示した説明図である。図３（ａ）には送液ポンプ１００の断面図が示されており、図３（ｂ）には、送液ポンプ１００の上面図が示されている。図３（ａ）に示されるように、本実施例の送液ポンプ１００は、おおまかには、圧電素子ケース１１０と、ポンプ室ブロック１２０と、入口側ブロック１３０の３つの部分から構成されている。 C. Liquid feed pump configuration:
FIG. 3 is an explanatory view showing the structure of the liquid feed pump 100 mounted on the cooling device 10 of this embodiment. FIG. 3A shows a cross-sectional view of the liquid feed pump 100, and FIG. 3B shows a top view of the liquid feed pump 100. As shown in FIG. 3A, the liquid feed pump 100 of this embodiment is roughly composed of three parts: a piezoelectric element case 110, a pump chamber block 120, and an inlet side block 130. .

このうち、圧電素子ケース１１０は、積層型の圧電素子１１４が内部に収納されており、圧電素子ケース１１０の底部には、ケース底板１１２が堅固に固定されている。圧電素子１１４の底部はケース底板１１２に接着されており、圧電素子１１４の上面には端板１１６が接着されている。また、圧電素子１１４は正電圧が印加されると電圧値に応じて伸張する性質を有している。そして、端板１１６および圧電素子ケース１１０は、端板１１６の上面と圧電素子ケース１１０の上面とが面位置となるように研磨加工されている。従って、圧電素子１１４に所定の電圧を印加して圧電素子１１４を伸張させた状態では、端板１１６の上面が圧電素子ケース１１０の端面に対して押し出た状態となる。 Among them, the piezoelectric element case 110 has a laminated piezoelectric element 114 housed therein, and a case bottom plate 112 is firmly fixed to the bottom of the piezoelectric element case 110. The bottom of the piezoelectric element 114 is bonded to the case bottom plate 112, and the end plate 116 is bonded to the upper surface of the piezoelectric element 114. The piezoelectric element 114 has a property of expanding according to a voltage value when a positive voltage is applied. The end plate 116 and the piezoelectric element case 110 are polished so that the upper surface of the end plate 116 and the upper surface of the piezoelectric element case 110 are in a surface position. Therefore, when the piezoelectric element 114 is extended by applying a predetermined voltage to the piezoelectric element 114, the upper surface of the end plate 116 is pushed out with respect to the end face of the piezoelectric element case 110.

更に、端板１１６および圧電素子ケース１１０の上面には、ステンレス鋼薄板で形成された円板形状のダイアフラム１１８が、それぞれ端板１１６および圧電素子ケース１１０に接着される。また、ダイアフラム１１８の上面側（圧電素子１１４および圧電素子ケース１１０に接着されていない側）には、樹脂被膜が設けられている。 Further, on the upper surfaces of the end plate 116 and the piezoelectric element case 110, a disk-shaped diaphragm 118 formed of a stainless steel thin plate is bonded to the end plate 116 and the piezoelectric element case 110, respectively. In addition, a resin film is provided on the upper surface side of the diaphragm 118 (the side not bonded to the piezoelectric element 114 and the piezoelectric element case 110).

ポンプ室ブロック１２０は、底面側（圧電素子ケース１１０に向いた側）に開口する円形の浅い凹部が形成されており、凹部の中心部分は円柱状に貫通した形状となっている。底面側の凹部の内径はダイアフラム１１８の外径よりも小さくなっており、このため、圧電素子ケース１１０の上にポンプ室ブロック１２０を載せると、ダイアフラム１１８は、ポンプ室ブロック１２０の凹部の外側の部分と、圧電素子ケース１１０との間で挟まれた状態となる。この状態で、ポンプ室ブロック１２０は、ネジ止めなどによって圧電素子ケース１１０に堅固に取り付けられる。 The pump chamber block 120 is formed with a circular shallow recess opening on the bottom surface side (side facing the piezoelectric element case 110), and the center portion of the recess has a shape penetrating in a cylindrical shape. The inner diameter of the recess on the bottom surface side is smaller than the outer diameter of the diaphragm 118. Therefore, when the pump chamber block 120 is placed on the piezoelectric element case 110, the diaphragm 118 is located outside the recess of the pump chamber block 120. The state is sandwiched between the portion and the piezoelectric element case 110. In this state, the pump chamber block 120 is firmly attached to the piezoelectric element case 110 by screws or the like.

また、ポンプ室ブロック１２０を圧電素子ケース１１０に取り付けると、ポンプ室ブロック１２０の底面側に形成された凹部および凹部の中央の貫通部分と、ダイアフラム１１８との間には、ポンプ室１２２が形成される。圧電素子１１４が伸張あるいは収縮してダイアフラム１１８が変形すると、ポンプ室１２２の容積が変化する。また、ポンプ室ブロック１２０の側面には出口ニップル１２６が立設しており、出口ニップル１２６の内部には出口流路１２８が形成されている。そして、ポンプ室１２２は、細管通路１２４を介して出口流路１２８に連通している。出口ニップル１２６には、図２に示した流路チューブ１５０を介して出口側バッファ室１５２が取り付けられる。もちろん、出口ニップル１２６に出口側バッファ室１５２を直接取り付けても良い。 Further, when the pump chamber block 120 is attached to the piezoelectric element case 110, a pump chamber 122 is formed between the concave portion formed on the bottom surface side of the pump chamber block 120 and the central through portion of the concave portion and the diaphragm 118. The When the piezoelectric element 114 expands or contracts and the diaphragm 118 deforms, the volume of the pump chamber 122 changes. An outlet nipple 126 is erected on the side surface of the pump chamber block 120, and an outlet channel 128 is formed inside the outlet nipple 126. The pump chamber 122 communicates with the outlet channel 128 via the narrow tube passage 124. An outlet-side buffer chamber 152 is attached to the outlet nipple 126 via the flow tube 150 shown in FIG. Of course, the outlet side buffer chamber 152 may be directly attached to the outlet nipple 126.

入口側ブロック１３０は、上面側（ポンプ室ブロック１２０とは反対側）に開口させて円形の凹部が形成されており、凹部の中心部分には底面側（ポンプ室ブロック１２０と向いた側）に貫通した通路が形成されている。上面側に開口した凹部は、柔軟で且つガスバリア性の高いカバー１３２で覆われており、入口側ブロック１３０の凹部との間に入口側バッファ室１３４が形成されている。カバー１３２の材質としては、柔軟性とガスバリア性とを両立させるために、金属（例えばステンレス、アルミニウムなど）の薄膜と樹脂との複合材料や、金属膜などが望ましい。また、入口側バッファ室１３４からポンプ室１２２に連通する通路とポンプ室１２２との境界部分には、ステンレス鋼薄板で形成された逆止弁１３９が設けられている。このため、ポンプ室１２２の圧力が入口側バッファ室１３４の圧力よりも高い場合には、逆止弁１３９が閉じてポンプ室１２２から入口側バッファ室１３４への液体の逆流が防止され、逆に、ポンプ室１２２の圧力が入口側バッファ室１３４の圧力よりも低くなると、逆止弁１３９が開いて入口側バッファ室１３４からポンプ室１２２へと液体が流れ込む。また、入口側ブロック１３０の側面には、入口ニップル１３６が立設しており、入口ニップル１３６の内部には入口流路１３８が形成されており、この入口流路１３８は入口側バッファ室１３４に開口している。この入口ニップル１３６には、図２に示した流路チューブ１５０が取り付けられる。また、図３（ｂ）には、逆止弁１３９の形状や、端板１１６の形状などが示されている。 The inlet side block 130 is opened on the upper surface side (the side opposite to the pump chamber block 120) to form a circular recess, and the central portion of the recess is on the bottom surface side (the side facing the pump chamber block 120). A penetrating passage is formed. The concave portion opened to the upper surface side is covered with a flexible cover 132 having a high gas barrier property, and an inlet-side buffer chamber 134 is formed between the concave portion of the inlet-side block 130. As a material for the cover 132, in order to achieve both flexibility and gas barrier properties, a composite material of a metal (for example, stainless steel, aluminum, etc.) thin film and a resin, or a metal film is desirable. Further, a check valve 139 formed of a stainless steel thin plate is provided at a boundary portion between the passage communicating from the inlet side buffer chamber 134 to the pump chamber 122 and the pump chamber 122. For this reason, when the pressure in the pump chamber 122 is higher than the pressure in the inlet side buffer chamber 134, the check valve 139 is closed to prevent the backflow of liquid from the pump chamber 122 to the inlet side buffer chamber 134. When the pressure in the pump chamber 122 becomes lower than the pressure in the inlet side buffer chamber 134, the check valve 139 opens and the liquid flows from the inlet side buffer chamber 134 into the pump chamber 122. An inlet nipple 136 is erected on the side surface of the inlet side block 130, and an inlet channel 138 is formed inside the inlet nipple 136. The inlet channel 138 is formed in the inlet side buffer chamber 134. It is open. A flow tube 150 shown in FIG. 2 is attached to the inlet nipple 136. 3B shows the shape of the check valve 139, the shape of the end plate 116, and the like.

Ｄ．送液ポンプの動作：
図３に示した本実施例の送液ポンプ１００は、次のように動作する。先ず、ポンプ室１２２や、入口側バッファ室１３４、入口流路１３８、細管通路１２４、出口流路１２８は全て液体で満たしておく。また、圧電素子１１４に電圧が印加されていない状態では、端板１１６は圧電素子ケース１１０の端面と面位置に並んだ状態となっている。そして、圧電素子１１４に正電圧を印加すると、圧電素子１１４が伸張してポンプ室１２２の容積が小さくなり、ポンプ室１２２の液体が加圧される。ここで、ポンプ室１２２と入口側バッファ室１３４との間には逆止弁１３９が設けられているので、ポンプ室１２２内の液体が入口側バッファ室１３４に逆流することはない。その結果、ポンプ室１２２の容積が減少した分の液体が、出口流路１２８から圧送される。 D. Fluid pump operation:
The liquid feed pump 100 of this embodiment shown in FIG. 3 operates as follows. First, the pump chamber 122, the inlet side buffer chamber 134, the inlet channel 138, the narrow tube channel 124, and the outlet channel 128 are all filled with liquid. Further, in a state where no voltage is applied to the piezoelectric element 114, the end plate 116 is aligned with the end face of the piezoelectric element case 110 and the surface position. When a positive voltage is applied to the piezoelectric element 114, the piezoelectric element 114 expands to reduce the volume of the pump chamber 122, and the liquid in the pump chamber 122 is pressurized. Here, since the check valve 139 is provided between the pump chamber 122 and the inlet side buffer chamber 134, the liquid in the pump chamber 122 does not flow back into the inlet side buffer chamber 134. As a result, the liquid corresponding to the reduced volume of the pump chamber 122 is pumped from the outlet channel 128.

次に、圧電素子１１４に印加した電圧を取り除くと、圧電素子１１４が収縮してポンプ室１２２の容積が大きくなり、ポンプ室１２２が負圧となる。この負圧は、入口側バッファ室１３４にある液体（入口側の液体）をポンプ室１２２に吸い込む方向に作用すると同時に、出口流路１２８内にある液体（出口側の液体）を吸い込む方向にも作用する。しかし実際には、出口側の液体が吸い込まれることはほとんど無く、もっぱら入口側の液体が吸い込まれる。これは、出口側の流路（細管通路１２４および出口流路１２８）のイナータンスに比べて、入口側の流路（入口側バッファ室１３４および逆止弁１３９が設けられた通路部分）のイナータンスが大幅に小さいことに因る。 Next, when the voltage applied to the piezoelectric element 114 is removed, the piezoelectric element 114 contracts, the volume of the pump chamber 122 increases, and the pump chamber 122 becomes negative pressure. This negative pressure acts in the direction in which the liquid (inlet side liquid) in the inlet side buffer chamber 134 is sucked into the pump chamber 122, and at the same time, in the direction in which the liquid in the outlet channel 128 (outlet side liquid) is sucked. Works. However, in reality, the liquid on the outlet side is hardly sucked, and the liquid on the inlet side is sucked exclusively. This is because the inertance of the inlet-side flow path (the passage portion provided with the inlet-side buffer chamber 134 and the check valve 139) is smaller than the inertance of the outlet-side flow path (the narrow tube passage 124 and the outlet flow path 128). Due to the fact that it is significantly smaller.

ここでイナータンスとは、流路の特性値であり、流路の一端に圧力が加わったことによって流路内の流体が流れようとする時の、流体の流れ易さを示している。たとえば、最も単純な場合として、断面積がＳで長さがＬの流路に密度ρの流体（ここでは液体とする）が満たされており、流路の一端に圧力Ｐ（正確には、両端での圧力差Ｐ）が加わったものとする。流路内の流体には圧力Ｐ×断面積Ｓの力が作用し、その結果、流路内の流体が流れ出す。その時の流体の加速度をａとすると、流路内の流体の質量は密度ρ×断面積Ｓ×長さＬだから、運動方程式を立てて変形すると、
Ｐ＝ρ×Ｌ×ａ・・・（１）
が得られる。更に、流路を流れる体積流量をＱ、流路を流れる流体の流速をｖとすると、
Ｑ＝ｖ×Ｓだから、
ｄＱ／ｄｔ＝ａ×Ｓ・・・（２）
が成り立つ。（２）式を（１）式に代入すると、
Ｐ＝（ρ×Ｌ／Ｓ）×（ｄＱ／ｄｔ）・・・（３）
となる。この式は、流路内の流体についての運動方程式を、流路の一端に加わる圧力Ｐ（正確には両端での圧力差）と、ｄＱ／ｄｔとを用いて表した式である。（３）式は、同じ圧力Ｐが加わるのであれば、（ρ×Ｌ／Ｓ）が小さくなるほど、ｄＱ／ｄｔが大きくなる（すなわち、流速が大きく変化する）ことを表している。この（ρ×Ｌ／Ｓ）が、イナータンスと呼ばれる値である。 Here, inertance is a characteristic value of the flow path, and indicates the ease of fluid flow when the fluid in the flow path is about to flow when pressure is applied to one end of the flow path. For example, in the simplest case, a fluid having a density ρ (here, a liquid) is filled in a channel having a cross-sectional area S and a length L, and a pressure P (exactly, It is assumed that a pressure difference P) at both ends is added. A force of pressure P × cross-sectional area S acts on the fluid in the channel, and as a result, the fluid in the channel flows out. If the acceleration of the fluid at that time is a, the mass of the fluid in the flow path is density ρ × cross-sectional area S × length L.
P = ρ × L × a (1)
Is obtained. Furthermore, when the volume flow rate flowing through the flow path is Q and the flow velocity of the fluid flowing through the flow path is v,
Q = v × S So
dQ / dt = a × S (2)
Holds. Substituting equation (2) into equation (1),
P = (ρ × L / S) × (dQ / dt) (3)
It becomes. This equation is an equation representing the equation of motion of the fluid in the flow path using the pressure P applied to one end of the flow path (more precisely, the pressure difference at both ends) and dQ / dt. Equation (3) indicates that if the same pressure P is applied, dQ / dt increases (that is, the flow velocity changes greatly) as (ρ × L / S) decreases. This (ρ × L / S) is a value called inertance.

また、実際の流路は断面積Ｓが変化する。たとえば、図３に示した本実施例の送液ポンプ１００では、ポンプ室１２２から液体が流れ出す側の流路は、細管通路１２４および出口流路１２８という内径の異なる２つの部分から構成されている。流路の内径が途中で変化している場合は、内径が一定の複数の流路に分割して、それぞれの流路のイナータンスが合成されたものとして取り扱えばよい。合成されたイナータンス（合成イナータンス）は、電気回路に設けられたコイルのインダクタンスを合成する場合と同様にして求めることができる。 Moreover, the cross-sectional area S changes in an actual flow path. For example, in the liquid delivery pump 100 of the present embodiment shown in FIG. 3, the flow path on the side from which the liquid flows out from the pump chamber 122 is composed of two portions having different inner diameters, that is, the narrow tube path 124 and the outlet flow path 128. . When the inner diameter of the flow path changes in the middle, it may be handled as a combination of a plurality of flow paths having a constant inner diameter and the inertance of each flow path synthesized. The synthesized inertance (synthetic inertance) can be obtained in the same manner as when the inductances of the coils provided in the electric circuit are synthesized.

図３に示した本実施例の送液ポンプ１００では、ポンプ室１２２の出口側の流路の合成イナータンスは、細管通路１２４のイナータンスと出口流路１２８のイナータンスとを合成したイナータンスとなる。細管通路１２４も出口流路１２８も、内径が小さく且つ通路長が長いのでイナータンスが大きく、これらを合成した合成イナータンスも大きな値となる。これに対してポンプ室１２２の入口側の流路の合成イナータンスは、入口側バッファ室１３４のイナータンスと、逆止弁１３９が設けられた通路部分のイナータンスとを合成したイナータンスとなる。 In the liquid delivery pump 100 of the present embodiment shown in FIG. 3, the combined inertance of the flow path on the outlet side of the pump chamber 122 is an inertance that combines the inertance of the narrow tube passage 124 and the inertance of the outlet flow path 128. Since both the narrow tube passage 124 and the outlet channel 128 have a small inner diameter and a long passage length, the inertance is large, and the combined inertance obtained by synthesizing them has a large value. On the other hand, the combined inertance of the flow path on the inlet side of the pump chamber 122 is an inertance obtained by combining the inertance of the inlet buffer chamber 134 and the inertance of the passage portion provided with the check valve 139.

入口側バッファ室１３４は内径が大きく且つ通路長が短いのでイナータンスはたいへんに小さく、逆止弁１３９が設けられた通路部分のイナータンスと合成した合成イナータンスも小さな値となる。このため、ポンプ室１２２が負圧となったときに、合成イナータンスの大きな出口側の液体はほとんど吸い込まれず、もっぱら合成イナータンスの小さな入口側の液体がポンプ室１２２に吸い込まれるのである。 Since the inlet side buffer chamber 134 has a large inner diameter and a short passage length, the inertance is very small, and the combined inertance combined with the inertance of the passage portion provided with the check valve 139 has a small value. For this reason, when the pump chamber 122 has a negative pressure, the liquid on the outlet side with a large synthetic inertance is hardly sucked, and the liquid on the inlet side with a small synthetic inertance is sucked into the pump chamber 122 exclusively.

以上の理由から、本実施例の送液ポンプ１００は、圧電素子１１４に正電圧を印加すると、ポンプ室１２２の容積が小さくなってポンプ室１２２内の液体が出口流路１２８から流出し、圧電素子１１４に印加した正電圧を除去すると、ポンプ室１２２の容積が大きくなって入口側バッファ室１３４内の液体がポンプ室１２２に流入する。このことから明らかなように、送液ポンプ１００が圧送する液体の流量は、圧電素子１１４に正電圧を印加した回数と、圧電素子１１４に印加した電圧値とによって決定される。ところが、図２に示したように、送液ポンプ１００の出口側に、出口側バッファ室１５２を設けることによって、送液ポンプ１００の能力が大幅に向上することが見いだされた。 For the above reasons, when a positive voltage is applied to the piezoelectric element 114, the liquid delivery pump 100 of the present embodiment reduces the volume of the pump chamber 122 and the liquid in the pump chamber 122 flows out from the outlet channel 128, and the piezoelectric pump 114. When the positive voltage applied to the element 114 is removed, the volume of the pump chamber 122 increases and the liquid in the inlet side buffer chamber 134 flows into the pump chamber 122. As is clear from this, the flow rate of the liquid pumped by the liquid feed pump 100 is determined by the number of times that a positive voltage is applied to the piezoelectric element 114 and the voltage value applied to the piezoelectric element 114. However, as shown in FIG. 2, it has been found that by providing the outlet side buffer chamber 152 on the outlet side of the liquid feeding pump 100, the capability of the liquid feeding pump 100 is greatly improved.

Ｅ．出口側バッファ室の働き：
図４は、ある条件で圧電素子１１４を駆動したときに送液ポンプ１００が吐出した液体の流量を計測した結果を示した説明図である。ここで、図４（ａ）は、圧電素子１１４に印加した電圧振幅に対する流量の計測結果であり、図４（ｂ）は、出口側バッファ室とポンプ室との容積比に対する流量の計測結果である。図示した例では、出口側バッファ室１５２を設けることによって、液体の吐出流量が２倍以上に増加している。そこで、出口側バッファ室１５２がある場合と無い場合とで、ポンプ室１２２の内部圧力を計測した。 E. Function of outlet side buffer chamber:
FIG. 4 is an explanatory view showing the result of measuring the flow rate of the liquid discharged by the liquid feed pump 100 when the piezoelectric element 114 is driven under a certain condition. Here, FIG. 4A shows the measurement result of the flow rate with respect to the voltage amplitude applied to the piezoelectric element 114, and FIG. 4B shows the measurement result of the flow rate with respect to the volume ratio between the outlet side buffer chamber and the pump chamber. is there. In the illustrated example, by providing the outlet-side buffer chamber 152, the liquid discharge flow rate is increased by a factor of two or more. Therefore, the internal pressure of the pump chamber 122 was measured with and without the outlet side buffer chamber 152.

図５は、出口側バッファ室１５２がある場合と無い場合とで、ポンプ室１２２の内部圧力を計測した結果を示した説明図である。図５（ａ）には、計測に際して圧電素子１１４に印加した駆動電圧の波形が示されている。図示するように、ステップ状に電圧が増加してその電圧を維持するような波形の駆動電圧を圧電素子１１４に印加した。図５（ｂ）には、出口側バッファ室１５２が無い場合に得られたポンプ室１２２の内部圧力の計測結果が示されており、図５（ｃ）には、出口側バッファ室１５２がある場合に得られた計測結果が示されている。 FIG. 5 is an explanatory diagram showing the results of measuring the internal pressure of the pump chamber 122 with and without the outlet-side buffer chamber 152. FIG. 5A shows the waveform of the drive voltage applied to the piezoelectric element 114 during measurement. As shown in the figure, a driving voltage having a waveform that increases and maintains the voltage stepwise is applied to the piezoelectric element 114. FIG. 5B shows the measurement result of the internal pressure of the pump chamber 122 obtained when there is no outlet side buffer chamber 152, and FIG. 5C shows the outlet side buffer chamber 152. The measurement results obtained in each case are shown.

図５（ｂ）に示されるように、出口側バッファ室１５２が無い場合のポンプ室１２２の内部圧力は、駆動電圧の立ち上がりと同時に急激に増加する。そして、ポンプ室１２２内の液体が出口流路１２８から流出するに伴って低下する。ここで、出口流路１２８に接続された流路チューブ１５０は長く、内径も小さいので、出口側の流路（細管通路１２４および出口流路１２８）に対して大きな流路抵抗を有している。このため、ポンプ室１２２内の液体は一度に流出することができず徐々に流出するので、ポンプ室１２２の内部圧力も徐々に低下する。これにより、圧電素子１１４に正電圧を印加することによってポンプ室１２２の容積が減少した分の液体が、出口流路１２８を流れきるまでに時間がかかり、この間は、圧電素子１１４に印加した正電圧を除去しない限り、入口側バッファ室１３４内の液体がポンプ室１２２に流入しない。流量を増加させるために駆動周波数（駆動サイクル）を高くする場合、ポンプ室１２２の内部圧力が残った状態で圧電素子１１４に印加した正電圧を除去することで強制的に入口側バッファ室１３４内の液体をポンプ室１２２に流入させているが、非常に効率が悪い。 As shown in FIG. 5B, the internal pressure of the pump chamber 122 without the outlet-side buffer chamber 152 increases rapidly at the same time as the drive voltage rises. Then, the liquid in the pump chamber 122 decreases as it flows out of the outlet channel 128. Here, since the flow tube 150 connected to the outlet flow channel 128 is long and has a small inner diameter, it has a large flow resistance with respect to the flow channels on the outlet side (the narrow tube passage 124 and the outlet flow channel 128). . For this reason, the liquid in the pump chamber 122 cannot flow out at a time but gradually flows out, so that the internal pressure of the pump chamber 122 also gradually decreases. As a result, it takes time until the liquid corresponding to the volume of the pump chamber 122 reduced by applying a positive voltage to the piezoelectric element 114 flows through the outlet channel 128, and during this time, the positive voltage applied to the piezoelectric element 114 is applied. Unless the voltage is removed, the liquid in the inlet side buffer chamber 134 does not flow into the pump chamber 122. When the drive frequency (drive cycle) is increased in order to increase the flow rate, the positive voltage applied to the piezoelectric element 114 is removed while the internal pressure of the pump chamber 122 remains, so that the inside of the inlet-side buffer chamber 134 is forcibly removed. However, the efficiency is very poor.

一方、図５（ｃ）に示されるように、出口側バッファ室１５２がある場合のポンプ室１２２の内部圧力には、明確な圧力振動が生じている。出口側バッファ室１５２を設けたことでこのような圧力振動が生じる原因として、当初は、ポンプ室１２２と出口側バッファ室１５２との間で音速の圧力波が往復しているためではないかと考えられた。しかし実際に検討してみると、図５（ｃ）に示すように圧力振動の周期は約０．４ｍｓｅｃであり、圧力波が往復する周期よりも十分に長いので、これが原因であるとは考えにくい。 On the other hand, as shown in FIG. 5C, a clear pressure oscillation is generated in the internal pressure of the pump chamber 122 when the outlet side buffer chamber 152 is provided. The reason why such pressure oscillation is caused by providing the outlet-side buffer chamber 152 is thought to be because the sonic pressure wave reciprocates between the pump chamber 122 and the outlet-side buffer chamber 152 at the beginning. It was. However, when actually examined, as shown in FIG. 5C, the period of pressure oscillation is about 0.4 msec, which is sufficiently longer than the period in which the pressure wave reciprocates. Hateful.

また、ポンプ室１２２の内部圧力が急激に増加した後に圧力が低下する速さに注目すると、図５（ｃ）では、図５（ｂ）に比べて圧力の低下が明らかに速くなっている。これは、出口側バッファ室１５２を設けたことでポンプ室１２２内の液体が流出し易くなったことを意味している。そして、このことは、ポンプ室１２２内の液体が、通路抵抗の大きな流路チューブ１５０内を流れる前に一旦、出口側バッファ室１５２で蓄えられたことを示唆している。液体が非圧縮性流体であれば、流路チューブ１５０から流れ出る前に出口側バッファ室１５２に一旦蓄えられることは起こり得ないから、液体が、あたかも気体のような圧縮性流体として振る舞っていることになる。そして、液体が圧縮性流体として振る舞うのであれば、ポンプ室１２２と出口側バッファ室１５２との間の流路とポンプ室１２２とが共振系を形成し、あるいはその流路と出口側バッファ室１５２（更には、ポンプ室１２２および出口側バッファ室１５２）とが共振系を形成すると考えられ、この共振系の共振周期は、図５（ｃ）に示した圧力振動の周期と同じオーダーまで長くなる。更に、本実施例では、液体を圧電素子１１４で圧縮しており、しかも、ポンプ室１２２は液体で満たされているので、圧電素子１１４で圧縮されるとポンプ室１２２の内部圧力はたいへんに高くなる。このようにたいへんに高い圧力下では、液体であっても圧縮性流体として振る舞うことは起こり得る。従って、図４に示したように送液ポンプ１００の流量が増加した理由は、以下のように説明することができる。 When attention is paid to the speed at which the pressure decreases after the internal pressure of the pump chamber 122 suddenly increases, the pressure decrease is clearly faster in FIG. 5C than in FIG. 5B. This means that the liquid in the pump chamber 122 easily flows out by providing the outlet side buffer chamber 152. This suggests that the liquid in the pump chamber 122 is temporarily stored in the outlet side buffer chamber 152 before flowing in the flow path tube 150 having a large passage resistance. If the liquid is an incompressible fluid, it cannot be temporarily stored in the outlet side buffer chamber 152 before flowing out of the flow path tube 150, so that the liquid behaves as if it is a compressible fluid such as a gas. become. If the liquid behaves as a compressible fluid, the flow path between the pump chamber 122 and the outlet side buffer chamber 152 and the pump chamber 122 form a resonance system, or the flow path and the outlet side buffer chamber 152. (Furthermore, it is considered that the pump chamber 122 and the outlet side buffer chamber 152) form a resonance system, and the resonance period of this resonance system becomes longer to the same order as the period of the pressure oscillation shown in FIG. . Further, in this embodiment, the liquid is compressed by the piezoelectric element 114, and the pump chamber 122 is filled with the liquid. Therefore, when compressed by the piezoelectric element 114, the internal pressure of the pump chamber 122 is very high. Become. Under such a high pressure, even a liquid can behave as a compressible fluid. Therefore, the reason why the flow rate of the liquid feed pump 100 is increased as shown in FIG. 4 can be explained as follows.

送液ポンプ１００の下流側に出口側バッファ室１５２を設けたことで、ポンプ室１２２との間に共振系が形成される。ポンプ室１２２から見ると、この共振系の共振周波数付近では出口側バッファ室１５２より下流の流路抵抗は殆ど無視されるため、ポンプ室１２２の内部圧力が急激に増加した直後にもかかわらず、ポンプ室１２２の内部圧力が急激に低下し、ポンプ室１２２内の液体が出口側バッファ室１５２で蓄えられる。このため、圧電素子１１４に印加した正電圧を除去しなくても、ポンプ室１２２の内部圧力を負圧となり、入口側バッファ室１３４内の液体をポンプ室１２２に流入させることが可能となる。また、その後も圧力振動が残るので、一度の駆動サイクルでポンプ室１２２を何回も負圧にすることも可能である。 By providing the outlet side buffer chamber 152 on the downstream side of the liquid feed pump 100, a resonance system is formed between the pump chamber 122 and the outlet side buffer chamber 152. When viewed from the pump chamber 122, the flow path resistance downstream from the outlet-side buffer chamber 152 is almost ignored in the vicinity of the resonance frequency of the resonance system, so even though immediately after the internal pressure of the pump chamber 122 suddenly increases. The internal pressure of the pump chamber 122 decreases rapidly, and the liquid in the pump chamber 122 is stored in the outlet side buffer chamber 152. For this reason, even if the positive voltage applied to the piezoelectric element 114 is not removed, the internal pressure of the pump chamber 122 becomes negative and the liquid in the inlet side buffer chamber 134 can flow into the pump chamber 122. Further, since pressure vibration remains after that, it is possible to make the pump chamber 122 negative pressure many times in one driving cycle.

また、図４（ｂ）が示すように、出口側バッファ室の容積が大きいほど、液体の流量が増加している。この理由については次のように説明することができる。ポンプ室１２２と出口側バッファ室１５２と、それらの間の流路とで形成される共振系の共振周期Ｔは、以下の式で表すことができる。
Ｔ＝２π（ＭＣ）^１／２・・・（４）
Ｃ＝１／｛（１／Ｃ１）＋（１／Ｃ２）｝・・・（５）
ここで、Ｃ１はポンプ室１２２のコンプライアンス、Ｃ２は出口側バッファ室１５２のコンプライアンス（Ｃはポンプ室１２２と出口側バッファ室１５２との合成コンプライアンス）、Ｍはポンプ室１２２と出口側バッファ室１５２との間の流路のイナータンスである。ここでコンプライアンスとは、流路内に圧力が加わったことによる流体の圧縮もしくは流路の膨張のし易さを示しており、たとえば流路が金属などの剛体である場合は、流路の容積と流体の圧縮率との積で表され、そうでない場合は、流路の容積と流路の膨張率との積で表される。 Moreover, as FIG.4 (b) shows, the flow volume of the liquid is increasing, so that the volume of the exit side buffer chamber is large. The reason for this can be explained as follows. The resonance period T of the resonance system formed by the pump chamber 122, the outlet side buffer chamber 152, and the flow path between them can be expressed by the following equation.
T = 2π (MC) ^1/2 (4)
C = 1 / {(1 / C1) + (1 / C2)} (5)
Here, C1 is the compliance of the pump chamber 122, C2 is the compliance of the outlet side buffer chamber 152 (C is the composite compliance of the pump chamber 122 and the outlet side buffer chamber 152), and M is the pump chamber 122 and the outlet side buffer chamber 152. Is the inertance of the flow path between. Here, compliance indicates the ease of fluid compression or channel expansion due to pressure applied to the channel. For example, when the channel is a rigid body such as metal, the volume of the channel And the compression rate of the fluid. Otherwise, it is represented by the product of the volume of the flow path and the expansion coefficient of the flow path.

図５（ｃ）に示す圧力振動は、ポンプ室１２２と出口側バッファ室１５２との間の流路の流路抵抗によって減衰するため、ポンプ室１２２の内部圧力が負圧となる回数に限りがある。つまり、ポンプ室１２２が負圧となる期間、つまり、入口側バッファ室１３４からポンプ室１２２に液体が供給される期間（特に最初の負圧期間）が長いほど流量が多くなるので、共振周期を長く設定するほうが良い。このためには、（４）式に示す合成コンプライアンスをなるべく大きく設定すればよく、（５）式に示すポンプ室１２２か出口側バッファ室１５２の少なくとも一方の容積（コンプライアンス）が大きくなるように設定すれば良い。しかし、ポンプ室１２２の容積を大きく設定すると、そのポンプ室１２２の容積に対して、圧電素子１１４に正電圧を印加することによってポンプ室１２２の容積が減少した分の液体の体積の割合が小さくなるので、ポンプ室１２２の内部圧力の増加幅が小さくなってしまう。よって、出口側バッファ室１５２の容積（コンプライアンス）は、ポンプ室１２２の容積（コンプライアンス）の数倍以上（たとえば１０倍）、可能であれば１００倍程度のコンプライアンスとなるように設定することで、送液ポンプ１００の能力を向上させることが可能となる。尚、出口側バッファ室１５２としてポンプ室１２２の１００倍以上のコンプライアンスを構成するために、たとえば、伸縮性のある材料（樹脂など）や形状（ベローズ、薄膜など）を用いる他、出口側バッファ室１５２内に圧縮率の高い空気を混在させてもよく、こうすれば、比較的小型に出口側バッファ室１５２を実現することができる。 Since the pressure vibration shown in FIG. 5C is attenuated by the flow path resistance of the flow path between the pump chamber 122 and the outlet side buffer chamber 152, the number of times the internal pressure of the pump chamber 122 becomes negative is limited. is there. That is, since the flow rate increases as the period during which the pump chamber 122 becomes negative pressure, that is, the period during which the liquid is supplied from the inlet side buffer chamber 134 to the pump chamber 122 (particularly the first negative pressure period), the flow rate increases. It is better to set longer. For this purpose, the composite compliance shown in the equation (4) should be set as large as possible, and the volume (compliance) of at least one of the pump chamber 122 or the outlet side buffer chamber 152 shown in the equation (5) should be set large. Just do it. However, when the volume of the pump chamber 122 is set to be large, the ratio of the volume of the liquid corresponding to the decrease in the volume of the pump chamber 122 by applying a positive voltage to the piezoelectric element 114 is small with respect to the volume of the pump chamber 122. Therefore, the increase width of the internal pressure of the pump chamber 122 becomes small. Therefore, the volume (compliance) of the outlet side buffer chamber 152 is set to be several times or more (for example, 10 times) the volume (compliance) of the pump chamber 122, for example, about 100 times the compliance if possible. It becomes possible to improve the capability of the liquid feed pump 100. In order to configure compliance 100 times or more that of the pump chamber 122 as the outlet side buffer chamber 152, for example, an elastic material (resin) or a shape (bellows, thin film, etc.) is used, and the outlet side buffer chamber is used. Air with a high compression ratio may be mixed in the 152, and in this way, the outlet side buffer chamber 152 can be realized in a relatively small size.

次に、圧電素子１１４に印加する駆動電圧について調べてみた。図６は、駆動電圧の立ち上がり（ポンプ室１２２の容積が減少する）時間に対して、送液ポンプ１００が吐出した液体の流量を計測した結果を示した説明図である。図示するように、駆動電圧の立ち上がり時間は、０．４ｍｓｅｃよりも短くなると急激に流量が増加し、０．２ｍｓｅｃを下回るようになると次第に流量の増加率が低下する。そして、０．１ｍｓｅｃ程度まで短くなると、流量がほぼ飽和する。よって、駆動電圧の立ち上がり時間は、０．２ｍｓｅｃ以下の時間に設定すると良く、最良には０．１ｍｓｅｃ以下に設定することが望ましい。ここで、本実施例における送液ポンプ１００の共振周期は凡そ０．４ｍｓｅｃであるので、言い換えれば、駆動電圧の立ち上がり時間は共振周期の２分の１以下の時間に設定すると良く、最良には共振周期の４分の１以下に設定することが望ましい。 Next, the drive voltage applied to the piezoelectric element 114 was examined. FIG. 6 is an explanatory diagram showing the result of measuring the flow rate of the liquid discharged from the liquid feeding pump 100 with respect to the rising time of the drive voltage (the volume of the pump chamber 122 decreases). As shown in the figure, when the drive voltage rise time is shorter than 0.4 msec, the flow rate increases rapidly, and when the drive voltage rises below 0.2 msec, the flow rate increase rate gradually decreases. When the time is shortened to about 0.1 msec, the flow rate is almost saturated. Therefore, the rise time of the drive voltage may be set to a time of 0.2 msec or less, and is preferably set to 0.1 msec or less. Here, since the resonance cycle of the liquid feed pump 100 in this embodiment is about 0.4 msec, in other words, the drive voltage rise time may be set to a time equal to or less than half of the resonance cycle. It is desirable to set it to 1/4 or less of the resonance period.

図７は、圧電素子１１４にパルス状の駆動電圧を印加して、駆動周期が流量に与える影響を調べた計測結果である。図７（ａ）に示されるように、パルス幅が約０．２ｍｓｅｃの駆動電圧を１回だけ圧電素子１１４に印加すると、ポンプ室１２２の内部圧力には、図７（ｂ）に示したような圧力振動が発生する。そこで、次に駆動電圧を印加するまでの経過時間を種々に変更して、その時に送液ポンプ１００が吐出する液体の流量を計測した。たとえば、図７（ｃ）中にＡと表示した駆動電圧は、１回目の駆動電圧の印加後から約０．８ｍｓｅｃが経過した時点で印加した場合の駆動電圧である。図７（ｂ）と比較すると、この駆動電圧は、ポンプ室１２２の圧力振動が上昇するタイミングで印加されていることが分かる。また、図７（ｃ）中にＢと表示した駆動電圧は、ポンプ室１２２の圧力振動が下降するタイミングで印加されていることになる。このようにポンプ室１２２の圧力振動を基準として、圧電素子１１４に駆動電圧を印加するタイミングを変更したときの流量を計測したところ、図７（ｄ）に示す結果が得られた。 FIG. 7 shows measurement results obtained by applying a pulsed drive voltage to the piezoelectric element 114 and examining the influence of the drive cycle on the flow rate. As shown in FIG. 7A, when a driving voltage having a pulse width of about 0.2 msec is applied to the piezoelectric element 114 only once, the internal pressure of the pump chamber 122 is as shown in FIG. Pressure vibration occurs. Therefore, the elapsed time until the drive voltage is next applied was changed in various ways, and the flow rate of the liquid discharged by the liquid feed pump 100 at that time was measured. For example, the drive voltage indicated as A in FIG. 7C is a drive voltage when applied at a time when about 0.8 msec has elapsed after the first drive voltage is applied. Compared with FIG. 7B, it can be seen that this drive voltage is applied at the timing when the pressure oscillation of the pump chamber 122 increases. In addition, the drive voltage indicated by B in FIG. 7C is applied at the timing when the pressure vibration of the pump chamber 122 decreases. In this way, when the flow rate when the timing of applying the drive voltage to the piezoelectric element 114 was changed with the pressure vibration of the pump chamber 122 as a reference, the result shown in FIG. 7D was obtained.

すなわち、図７（ｃ）中にＡと表示したタイミングのように、ポンプ室１２２の圧力振動が上昇するタイミングで駆動電圧を印加すると流量が増加し、逆に、図７（ｃ）中のＢのように圧力振動が下降するタイミングで駆動電圧を印加すると流量が減少する。また、たとえば経過時間が約０．４ｍｓｅｃの場合と、約０．８ｍｓｅｃの場合とを比較すれば明らかなように、圧力振動が同じように上昇するタイミングでも（図７（ｂ）を参照）、圧力振動が減衰したタイミングでは流量の増加も小さくなる。 That is, when the drive voltage is applied at the timing when the pressure oscillation of the pump chamber 122 increases, as in the timing indicated by A in FIG. 7C, the flow rate increases, and conversely, B in FIG. 7C. If the drive voltage is applied at the timing when the pressure vibration falls, the flow rate decreases. Further, for example, as is clear from a comparison between the case where the elapsed time is about 0.4 msec and the case where the elapsed time is about 0.8 msec, even at the timing when the pressure vibration rises similarly (see FIG. 7B), At the timing when the pressure vibration is attenuated, the increase in the flow rate is also reduced.

前述したように圧電素子１１４は、正電圧の駆動電圧が印加されると伸張してポンプ室１２２を圧縮する。従って、図７（ｄ）に示した計測結果は、駆動信号を印加したタイミングが、ポンプ室１２２内の圧力振動を強めるタイミングであれば流量が増加し、圧力振動を弱めるタイミングであれば流量が減少することを示していると考えられる。具体的には、図７（ｄ）の斜線部に示すように、駆動信号の駆動周期を、本実施例における送液ポンプ１００の共振周期Ｔの整数倍の時点に対して±Ｔ/８の間となるように設定すると良い。 As described above, the piezoelectric element 114 expands and compresses the pump chamber 122 when a positive drive voltage is applied. Therefore, the measurement result shown in FIG. 7D shows that the flow rate increases if the timing at which the drive signal is applied increases the pressure vibration in the pump chamber 122, and the flow rate increases if the pressure vibration is weakened. This is thought to indicate a decrease. Specifically, as shown by the hatched portion in FIG. 7D, the drive cycle of the drive signal is ± T / 8 with respect to a point that is an integral multiple of the resonance cycle T of the liquid feed pump 100 in this embodiment. It is good to set it between.

また、圧電素子１１４に印加した駆動電圧を取り除くと、圧縮されていたポンプ室１２２が元に戻るので、ポンプ室１２２に負圧が発生する。従って、ポンプ室１２２の圧力振動を強めるタイミングで駆動電圧を立ち下げることによっても、送液ポンプ１００が圧送する流量を増加させることが可能と考えられる。そこで、圧電素子１１４に印加する駆動電圧を立ち下げるタイミングの影響も調べてみた。 Further, when the driving voltage applied to the piezoelectric element 114 is removed, the compressed pump chamber 122 returns to its original state, and thus negative pressure is generated in the pump chamber 122. Therefore, it is considered that the flow rate of the liquid feed pump 100 can be increased also by lowering the drive voltage at the timing of increasing the pressure vibration of the pump chamber 122. Therefore, the influence of the timing at which the drive voltage applied to the piezoelectric element 114 is lowered was also examined.

図８は、圧電素子１１４に印加した駆動電圧を立ち下げるタイミングが流量に与える影響を調べた計測結果である。図８（ａ）に示したようにステップ状の駆動電圧を圧電素子１１４に印加すると、ポンプ室１２２の内部圧力には図８（ｂ）に示した圧力振動が発生する。そこで、駆動電圧を立ち下げるまでの経過時間を種々に変更して、その時に送液ポンプ１００が圧送する液体の流量を計測した。たとえば、図８（ｃ）中にＡと表示した駆動電圧は、印加後から約０．３ｍｓｅｃが経過した時点で立ち下げた場合の駆動電圧である。また、図８（ｃ）中にＢと表示した駆動電圧は、約０．５ｍｓｅｃが経過した時点で立ち下げた場合の駆動電圧である。このように、駆動電圧を立ち下げるタイミングが異なる種々の駆動電圧で流量を計測したところ、図８（ｄ）に示す結果が得られた。 FIG. 8 shows measurement results obtained by examining the influence of the timing at which the drive voltage applied to the piezoelectric element 114 falls on the flow rate. When a step-like drive voltage is applied to the piezoelectric element 114 as shown in FIG. 8A, the pressure oscillation shown in FIG. 8B is generated in the internal pressure of the pump chamber 122. Therefore, the elapsed time until the drive voltage was lowered was variously changed, and the flow rate of the liquid pumped by the liquid feed pump 100 at that time was measured. For example, the drive voltage indicated as A in FIG. 8C is a drive voltage when it is lowered when about 0.3 msec has elapsed after application. Further, the drive voltage indicated as B in FIG. 8C is a drive voltage when the voltage is lowered when about 0.5 msec has elapsed. As described above, when the flow rate was measured with various driving voltages having different timings at which the driving voltage was lowered, the result shown in FIG. 8D was obtained.

図８（ｃ）中のＡの駆動電圧のように、ポンプ室１２２の圧力振動が「山」になるタイミングで電圧が立ち下がるような駆動電圧を印加すると流量が減少する。また、図８（ｃ）中のＢの駆動電圧のように、圧力振動が「谷」になるタイミングで電圧が立ち下がるような駆動電圧を印加すると流量が増加する。このことから、駆動電圧を立ち下げるタイミングについても、ポンプ室１２２内の圧力振動を強めるタイミングで駆動電圧を立ち下げると流量が増加し、圧力振動を弱めるタイミングで駆動電圧を立ち下げると流量が減少することが分かる。最良には、図８（ｄ）の斜線部に示すように、駆動電圧を立ち上げてから、本実施例における送液ポンプ１００の共振周期Ｔに対してＴ／４からＴまでの間で立ち下げるように設定すると良い。 When a driving voltage is applied such that the voltage falls at the timing when the pressure oscillation of the pump chamber 122 becomes “mountain” like the driving voltage A in FIG. 8C, the flow rate decreases. Further, when a driving voltage is applied such that the voltage falls at the timing when the pressure oscillation becomes “valley” like the driving voltage of B in FIG. 8C, the flow rate increases. For this reason, with regard to the timing at which the drive voltage is lowered, the flow rate is increased when the drive voltage is lowered at the timing of increasing the pressure vibration in the pump chamber 122, and the flow rate is decreased when the drive voltage is lowered at the timing of weakening the pressure vibration. I understand that As best shown in FIG. 8 (d), after the drive voltage is raised, it rises from T / 4 to T with respect to the resonance period T of the liquid feed pump 100 in this embodiment. It should be set to lower.

尚、圧電素子１１４に印加する駆動電圧としてパルス状の波形で説明してきたが、これに限られることは無く、たとえば正弦波のような駆動電圧の波形を用いてもよい。この場合、これまでの結果から、正弦波の波形周期成分は本実施例における送液ポンプ１００の共振周期Ｔに対してＴ／２からＴまでの間に設定すると良い。 Although the drive voltage applied to the piezoelectric element 114 has been described with a pulse waveform, the present invention is not limited to this, and a drive voltage waveform such as a sine wave may be used. In this case, from the results so far, the waveform period component of the sine wave is preferably set between T / 2 and T with respect to the resonance period T of the liquid feeding pump 100 in this embodiment.

以上に説明したように、送液ポンプ１００の出口側に、出口側バッファ室１５２を設けると送液ポンプ１００のポンプ室１２２との間で共振系が形成されて、ポンプ室１２２内に圧力振動が発生する。この圧力振動の周期は、流路内で圧力波が往復する周期に比べて、十分に長い周期となる。そして、この圧力振動を強めるような周期で駆動電圧を印加したり、あるいはこの圧力振動を強めるようなタイミングで駆動電圧を立ち下げたりすると、送液ポンプ１００の流量を増加させることができる。また、駆動周期や駆動電圧の立ち下がりタイミングなどの条件を調整してやれば、出口側バッファ室１５２を設けない場合に比べて、流量が２倍以上に増加するという顕著な効果が得られることが確認されている。 As described above, when the outlet side buffer chamber 152 is provided on the outlet side of the liquid feeding pump 100, a resonance system is formed between the pump chamber 122 of the liquid feeding pump 100 and pressure vibrations are generated in the pump chamber 122. Will occur. The period of this pressure oscillation is sufficiently longer than the period in which the pressure wave reciprocates in the flow path. The flow rate of the liquid feed pump 100 can be increased by applying the drive voltage at a period that increases the pressure vibration or by lowering the drive voltage at a timing that increases the pressure vibration. In addition, it is confirmed that if the conditions such as the driving cycle and the falling timing of the driving voltage are adjusted, a remarkable effect is obtained that the flow rate increases more than twice as compared with the case where the outlet side buffer chamber 152 is not provided. Has been.

また、常識的には圧縮性を有しないと考えられる液体を吐出させているにも拘わらず、このように圧縮性に基づく共振系が形成されるのは、ポンプ室１２２が液体で満たされており、且つ、ポンプ室１２２を圧電素子１１４で圧縮しているために、非常に高い圧力が液体に加わるためと考えられる。そして、アクチュエーターとして圧電素子１１４を用いているため、共振系の共振周波数に相当する高い周波数で駆動することが可能であり、このため送液ポンプ１００の流量を大幅に増加させることが可能になったものと考えられる。 In addition, the resonance system based on compressibility is formed in this way even though liquid that is considered to have no compressibility is ejected, because the pump chamber 122 is filled with liquid. In addition, since the pump chamber 122 is compressed by the piezoelectric element 114, it is considered that a very high pressure is applied to the liquid. Since the piezoelectric element 114 is used as the actuator, it can be driven at a high frequency corresponding to the resonance frequency of the resonance system, and thus the flow rate of the liquid feed pump 100 can be greatly increased. It is thought that.

尚、送液ポンプ１００のアクチュエーターは圧電素子１１４を用いたものに限らず、圧電素子１１４と同じ程度に高い圧力を発生させることが可能であり、且つ、圧電素子１１４と同じ程度に高い周波数で駆動することが可能であれば、どのようなアクチュエーターを用いた場合でも同様な効果を得ることが可能である。もっとも、圧電素子１１４を用いれば、アクチュエーターを構造が単純で且つ小さなアクチュエーターとすることができるので好ましい。 The actuator of the liquid feed pump 100 is not limited to the one using the piezoelectric element 114, and can generate a pressure as high as that of the piezoelectric element 114 and has a frequency as high as that of the piezoelectric element 114. As long as it can be driven, the same effect can be obtained regardless of the type of actuator used. However, the use of the piezoelectric element 114 is preferable because the actuator can be a simple actuator with a small structure.

以上、出口側バッファ室１５２を備えた本実施例の冷却装置１０、および冷却装置１０を搭載したプロジェクター１について説明したが、本発明は上記すべての実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。たとえば、本実施例の冷却装置１０を用いて冷却する対象は、プロジェクター１の光源２２に限らず、動作中に熱を持つ種々の電子部品（たとえばＣＰＵ）などとすることができる。また、本実施例のように送液ポンプ１００の出口流路側に出力側バッファ室１５２を設けるだけで良く、必ずしも液体を循環させる必要は無い。 As described above, the cooling device 10 of the present embodiment provided with the outlet side buffer chamber 152 and the projector 1 equipped with the cooling device 10 have been described. However, the present invention is not limited to all the above embodiments, and the gist thereof is as follows. The present invention can be implemented in various modes without departing from the scope. For example, the object to be cooled using the cooling device 10 of the present embodiment is not limited to the light source 22 of the projector 1, but may be various electronic components (for example, CPU) that have heat during operation. Further, it is only necessary to provide the output side buffer chamber 152 on the outlet flow channel side of the liquid feed pump 100 as in this embodiment, and it is not always necessary to circulate the liquid.

１…プロジェクター、１０…冷却装置、２０…外装筺体、
２２…光源、２４…液晶ライトバルブ、２６…ダイクロイックプリズム、
２８…投射レンズ、１００…送液ポンプ、１１０…圧電素子ケース、
１１２…ケース底板、１１４…圧電素子、１１６…端板、
１１８…ダイアフラム、１２０…ポンプ室ブロック、１２２…ポンプ室、
１２４…細管通路、１２６…出口ニップル、１２８…出口流路、
１３０…入口側ブロック、１３２…カバー、１３４…入口側バッファ室、
１３６…入口ニップル、１３８…入口流路、１３９…逆止弁、
１５０…流路チューブ、１５２…出口側バッファ室、１５４…受熱部、
１５６…放熱部、１６０…冷却ファン、１６２…ファンモーター、
１６４…モーター制御部、１６６…温度センサー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Projector, 10 ... Cooling device, 20 ... Exterior housing,
22 ... light source, 24 ... liquid crystal light valve, 26 ... dichroic prism,
28 ... Projection lens, 100 ... Liquid feed pump, 110 ... Piezoelectric element case,
112 ... Case bottom plate, 114 ... Piezoelectric element, 116 ... End plate,
118 ... Diaphragm, 120 ... Pump chamber block, 122 ... Pump chamber,
124 ... capillary passage, 126 ... outlet nipple, 128 ... outlet channel,
130 ... Entrance side block, 132 ... Cover, 134 ... Entrance side buffer chamber,
136 ... Inlet nipple, 138 ... Inlet flow path, 139 ... Check valve,
150 ... channel tube, 152 ... exit side buffer chamber, 154 ... heat receiving part,
156 ... Radiating section, 160 ... Cooling fan, 162 ... Fan motor,
164 ... Motor control unit, 166 ... Temperature sensor

Claims

A liquid feeding device comprising a liquid channel through which a liquid flows and a liquid feeding pump for discharging the liquid toward the inlet of the liquid channel,
The liquid feed pump is
A pump chamber whose volume can be changed;
An inlet channel through which the liquid flowing into the pump chamber flows;
An outlet channel through which the liquid flowing out of the pump chamber flows;
A check valve provided between the inlet channel and the pump chamber;
With
Between the outlet channel and the liquid channel, an outlet buffer chamber having a larger compliance than the pump chamber is provided ,
The liquid feed pump reduces the volume of the pump chamber, and then a time that is an integral multiple of a resonance period T determined by the pump chamber, the outlet channel, the outlet buffer chamber, and the liquid, and the time The liquid feeding device is characterized in that the volume of the liquid feeding pump chamber is increased between the time point of -T / 2 .

The liquid feed pump, liquid delivery device according to claim 1, characterized in that the pressure of the pump chamber reduces the volume of the pump chamber at a timing of rise.

The liquid feeding pump has a repetition cycle of increase / decrease in the volume of the pump chamber with respect to a time point that is an integral multiple of a resonance cycle T determined by the pump chamber, the outlet channel, the outlet buffer chamber, and the liquid. The liquid feeding device according to claim 2 , which is between T / 4.

It is a liquid feeding apparatus of Claim 1 thru | or 3 , Comprising:
The liquid feeding pump is a pump that changes a volume of the pump chamber using a piezoelectric element.

A projector provided with the liquid feeding apparatus of any one of Claims 1 thru | or 4 .