JP5782706B2 - Liquid ejecting head, liquid ejecting head unit, and liquid ejecting apparatus - Google Patents

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Description

本発明は液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head, a liquid ejecting head unit, and a liquid ejecting apparatus.

従来から、圧電素子、あるいは発熱素子等の圧力発生手段によって液体に圧力を付与す
ることで、ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例として
は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。
Conventionally, there has been known a liquid ejecting head that ejects liquid droplets from a nozzle by applying pressure to a liquid by a pressure generating means such as a piezoelectric element or a heat generating element. As a typical example, an ink droplet is ejected. An ink jet recording head.

インクジェット式記録ヘッド(ユニット)としては、例えば、インク滴を噴射するノズ
ル開口が穿設されたノズルプレートと、ノズル開口に連通する圧力発生室や複数の圧力発
生室が連通するリザーバー(連通部)等の流路が形成された流路形成基板と、を有するヘ
ッド本体を複数備え、これら複数のヘッド本体のノズルプレートをそれぞれ固定板に位置
決めした後に、ヘッド本体を固定板に接着剤で固定されたものがある(例えば、特許文献
1参照)。
As an ink jet recording head (unit), for example, a nozzle plate having nozzle openings for ejecting ink droplets, a pressure generating chamber communicating with the nozzle openings, and a reservoir (communication portion) communicating with a plurality of pressure generating chambers A plurality of head main bodies having a flow path forming substrate on which the flow paths are formed, and after positioning the nozzle plates of the plurality of head main bodies on the fixing plates, the head main bodies are fixed to the fixing plates with an adhesive. (See, for example, Patent Document 1).

特開2005−096419号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-096419

しかしながら、このように固定板にヘッド本体を固定した場合に、ヘッド本体に設けら
れたノズルプレートが剥離してしまうことがある。これは、ヘッド本体が、流路形成基板
等の複数の基板を接着剤を用いて固定したものであるが、これらの基板がそれぞれ異なる
材料で構成されているためである。つまり、それぞれの基板が異なる線膨張係数を有して
いるため、環境温度が高温である場合に、ヘッド本体の長手方向において反りが発生して
応力が発生すると接着剤で積層された基板間で剥離が生じることが考えられる。
However, when the head main body is fixed to the fixing plate in this way, the nozzle plate provided on the head main body may be peeled off. This is because the head body is obtained by fixing a plurality of substrates such as a flow path forming substrate using an adhesive, and these substrates are made of different materials. That is, since each substrate has a different linear expansion coefficient, when the environmental temperature is high, warping occurs in the longitudinal direction of the head body and stress occurs between the substrates laminated with the adhesive. It is considered that peeling occurs.

そこで、本発明の課題は、上記した従来技術の問題点を解決することにあり、ヘッド本
体を構成する基板間の剥離を抑制した液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体
噴射装置を提供しようとするものである。
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problems of the prior art, and an attempt is made to provide a liquid ejecting head, a liquid ejecting head unit, and a liquid ejecting apparatus in which peeling between substrates constituting the head body is suppressed. To do.

本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口が形成されたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に圧力を付与し、前記ノズル開口から液体を噴射させる圧力発生手段とを含むヘッド本体と、該ヘッド本体が固定される固定板と、を含み、該固定板には、前記ノズル開口が露出される露出部開口と、該露出部開口の周囲の少なくとも一部に形成された貫通孔とが設けられており、前記貫通孔は、前記流路形成基板と前記ノズルプレートと前記固定板とを含む積層基板の線膨張係数の違いにより前記固定板に働く応力を軽減することを特徴とする。
本発明の液体噴射ヘッドにおいては、固定板に露出部以外に貫通孔が設けられているので、流路形成基板、ノズルプレート、固定板を含む積層基板のいずれかの間において、線膨張係数の違いによる反りが発生したとしても、貫通孔により、その応力を緩和し、積層基板の剥離を抑制することができる。
本発明の別の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口が形成されたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に圧力を付与し、前記ノズル開口から液体を噴射させる圧力発生手段とを含むヘッド本体と、該ヘッド本体が固定される固定板と、を含み、該固定板には、前記ノズル開口が露出される露出部開口と、該露出部開口の周囲の少なくとも一部に形成された貫通孔とが設けられていることを特徴とする。
本発明の液体噴射ヘッドにおいては、固定板に露出部以外に貫通孔が設けられているので、ノズルプレート、流路形成基板等の積層基板での線膨張係数の違いによる長手方向の反りが発生したとしても、その応力を緩和することができる。
The liquid jet head according to the present invention applies pressure to the nozzle plate in which a nozzle opening for jetting liquid is formed, a flow path forming substrate provided with a pressure generation chamber communicating with the nozzle opening, and the pressure generation chamber. A head main body including pressure generating means for ejecting liquid from the nozzle opening, and a fixing plate to which the head main body is fixed, and an exposed portion opening from which the nozzle opening is exposed to the fixing plate. A through hole formed in at least a part of the periphery of the opening of the exposed portion, and the through hole is a linear expansion of the laminated substrate including the flow path forming substrate, the nozzle plate, and the fixing plate. The stress acting on the fixed plate is reduced by the difference in coefficient .
In the liquid ejecting head of the present invention, since the through hole is provided in the fixed plate in addition to the exposed portion, the linear expansion coefficient is between any of the flow path forming substrate, the nozzle plate, and the laminated substrate including the fixed plate. Even if warping due to a difference occurs, the stress can be relieved by the through holes, and peeling of the laminated substrate can be suppressed.
Another liquid ejecting head according to the present invention includes a nozzle plate in which a nozzle opening for ejecting liquid is formed, a flow path forming substrate in which a pressure generating chamber communicating with the nozzle opening is provided, and pressure applied to the pressure generating chamber. A head main body including pressure generating means for applying and ejecting liquid from the nozzle opening; and a fixing plate to which the head main body is fixed. An exposed portion on which the nozzle opening is exposed on the fixing plate. An opening and a through hole formed in at least a part of the periphery of the exposed portion opening are provided.
In the liquid jet head of the present invention, since the through hole is provided in the fixed plate in addition to the exposed portion, warpage in the longitudinal direction occurs due to the difference in the linear expansion coefficient in the multilayer substrate such as the nozzle plate and the flow path forming substrate. Even if it does, the stress can be relieved.

本発明の好ましい実施形態としては、前記貫通孔が、前記露出部開口の周縁部の少なく
とも一部に設けられている第1貫通孔であることか、前記貫通孔が、前記露出部開口の外
周側の少なくとも一部に前記露出部開口とは不連続となるように設けられている第2貫通
孔であることが挙げられる。
As a preferred embodiment of the present invention, the through hole is a first through hole provided in at least a part of a peripheral edge of the exposed portion opening, or the through hole is an outer periphery of the exposed portion opening. It is mentioned that it is the 2nd through-hole provided in the at least one part of the side so that the said exposure part opening may become discontinuous.

前記ヘッド本体は、圧力発生室に液体流路を介して連通し、液体を貯留する液体貯留部
と、該液体貯留部を封止する封止板とを備え、該封止板には、該封止板の長手方向に沿っ
て設けられた凹部と、該凹部の縁部から該凹部に向かってせり出して延設され、前記液体
貯留部に液体を導入するための液体導入口が形成された延設部とが設けられ、前記貫通孔
は、少なくともその一部が上面視において前記ヘッド本体の短手方向で該延設部と相対向
するように前記固定板に形成されていることが好ましい。
The head main body includes a liquid storage part that communicates with the pressure generation chamber via a liquid channel and stores the liquid, and a sealing plate that seals the liquid storage part. A recess provided along the longitudinal direction of the sealing plate and a liquid introduction port extending from the edge of the recess toward the recess and introducing a liquid into the liquid storage portion were formed. It is preferable that the through hole is formed in the fixing plate so that at least a part of the through hole is opposed to the extended portion in a short direction of the head body in a top view. .

延設部が設けられた領域は、封止板の長手方向において剛性が高いので、この剛性が高
い領域と上面視において前記ヘッド本体の短手方向で相対向するように貫通孔が設けられ
ていることで、ヘッド全体の剛性が均一化される。
Since the region where the extending portion is provided has a high rigidity in the longitudinal direction of the sealing plate, a through hole is provided so as to face this high rigidity region in the short side direction of the head body in a top view. As a result, the rigidity of the entire head is made uniform.

本発明の液体噴射ヘッドユニットは、前記いずれかに記載の前記液体噴射ヘッドを複数
有することを特徴とする。本発明の液体噴射ヘッドユニットは、線膨張形成数の違いから
発生した反りによる応力に基づいたヘッド本体を構成する積層基板の剥離を抑制した液体
噴射ヘッドを有していることで、液体噴射特性が優れている。
A liquid jet head unit according to the present invention includes a plurality of the liquid jet heads according to any one of the above. The liquid ejecting head unit according to the present invention includes the liquid ejecting head that suppresses the peeling of the multilayer substrate that constitutes the head body based on the stress caused by the warp generated from the difference in the number of linear expansions. Is excellent.

本発明の液体噴射装置は、前記いずれかに記載の前記液体噴射ヘッドを有することを特
徴とする。本発明の液体噴射装置は、線膨張形成数の違いから発生した反りによる応力に
基づいたヘッド本体を構成する積層基板の剥離を抑制した液体噴射ヘッドを有しているこ
とで、液体噴射特性が優れている。
The liquid ejecting apparatus according to the aspect of the invention includes the liquid ejecting head according to any one of the above. The liquid ejecting apparatus according to the aspect of the invention includes the liquid ejecting head that suppresses the peeling of the multilayer substrate that constitutes the head body based on the stress caused by the warp generated due to the difference in the number of linear expansions. Are better.

本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of a recording head according to an embodiment of the invention. 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの組立斜視図である。FIG. 2 is an assembled perspective view of a recording head according to an embodiment of the invention. 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of a recording head according to an embodiment of the invention. 本発明の一実施形態に係る固定板の上面図である。It is a top view of the fixed plate concerning one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの模式図である。1 is a schematic diagram of a recording head according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る固定板の一部拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the fixed board concerning one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの上面図である。FIG. 3 is a top view of a recording head according to an embodiment of the invention. 本発明の一実施形態に係る液体噴射装置である。1 is a liquid ejecting apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る固定板の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the fixing plate which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の別の実施形態に係る記録ヘッドの上面図である。FIG. 6 is a top view of a recording head according to another embodiment of the present invention.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
まず、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット
式記録ヘッドユニット(以下、単にヘッドユニットとも言う)について説明する。なお、
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図で
ある。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
First, an ink jet recording head unit (hereinafter also simply referred to as a head unit), which is an example of a liquid ejecting head unit according to Embodiment 1 of the invention, will be described. In addition,
FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head unit according to Embodiment 1 of the present invention.

図1に示すように、インクジェット式記録ヘッドユニット1は、液体噴射ヘッドの一例
である複数(本実施例では、例として4個)のインクジェット式記録ヘッド10(以下、
単に「記録ヘッド」という)と、保持部材60とを備える。記録ヘッド10は、インクジ
ェット式記録ヘッド本体20(以下、単に「記録ヘッド本体」という)と、各記録ヘッド
本体20がそれぞれ位置決めされた後で、接着剤で固定される固定板70とで構成されて
いる。
As shown in FIG. 1, the ink jet recording head unit 1 includes a plurality of ink jet recording heads 10 (hereinafter, four as an example in the present embodiment) that are examples of liquid ejecting heads (hereinafter referred to as “ink jet recording heads”).
And a holding member 60. The recording head 10 includes an ink jet recording head main body 20 (hereinafter simply referred to as “recording head main body”) and a fixing plate 70 that is fixed with an adhesive after each recording head main body 20 is positioned. ing.

保持部材60は、例えば、樹脂材料で形成され、その内部に回路基板やインク連通路が
形成された流路部材を備えている。保持部材60の上面(記録ヘッド本体20とは逆側の
面)にはインク供給針61(本実施例では、例として8個)が固定されている。このイン
ク供給針61は、各色のインクが貯留されたインクカートリッジ(図示なし)に接続され
たチューブに接合される。このインク供給針61には、インク連通路の一端が連通してい
る。インク連通路の他端は記録ヘッド本体20側(保持部材60の底面側)に開口してい
る。即ち、インクはインクカートリッジからインク供給針61を介してこのインク連通路
に供給され、供給されたインクは、詳しくは後述するようにインク導入路を介して記録ヘ
ッド本体20にそれぞれ供給される。
The holding member 60 includes, for example, a flow path member formed of a resin material and having a circuit board and an ink communication path formed therein. Ink supply needles 61 (eight as an example in the present embodiment) are fixed to the upper surface of the holding member 60 (the surface opposite to the recording head main body 20). The ink supply needle 61 is joined to a tube connected to an ink cartridge (not shown) in which each color ink is stored. One end of the ink communication path communicates with the ink supply needle 61. The other end of the ink communication path opens to the recording head main body 20 side (the bottom surface side of the holding member 60). That is, ink is supplied from the ink cartridge to the ink communication path via the ink supply needle 61, and the supplied ink is supplied to the recording head main body 20 via the ink introduction path as will be described in detail later.

保持部材60の底面には、所定間隔で位置決めされた複数の記録ヘッド本体20が固定
される。各記録ヘッド本体20は各色のインクに対応してそれぞれ設けられている。
A plurality of recording head main bodies 20 positioned at predetermined intervals are fixed to the bottom surface of the holding member 60. Each recording head body 20 is provided corresponding to each color ink.

この場合に、記録ヘッド10は、記録ヘッドの長手方向である第1方向に向かって千鳥
状に配置されることで、第1方向に同一ピッチで長尺化したノズル列を形成することがで
きる。なお、ここで言う記録ヘッド10が千鳥状に配置されているとは、複数の記録ヘッ
ド10が後述するノズル開口26(図2参照)の並設方向でもある第1方向に向かって並
設されており、第1方向に並設された複数(2つ)の記録ヘッド10で構成される列は、
ノズル開口が並設された方向(第1方向)とは交差する第2方向に並んで2列設けられて
いる。これら第2方向に並設された記録ヘッド10の2列は、互いに第1方向に向かって
若干ずらした位置に配置されている。そして、2列の記録ヘッド10の列において、隣り
合う記録ヘッド10は、一方の列の記録ヘッド10のノズル列の端部側のノズル開口と、
他方の列の記録ヘッド10のノズル列の端部側のノズル開口とが、ノズル開口の第1方向
で同一位置となるように設けられている。これにより、複数の記録ヘッド10(本実施形
態では、4つの記録ヘッド10)によって、第1方向に沿って同一ピッチでノズル開口を
4つの記録ヘッド10の分だけ並設してノズル列を連続させることができ、連続するノズ
ル列の幅で広い面積に亘って印刷を行うことができる。
In this case, the recording heads 10 are arranged in a staggered manner in the first direction, which is the longitudinal direction of the recording head, so that nozzle rows that are elongated at the same pitch in the first direction can be formed. . Here, the recording heads 10 are arranged in a staggered manner in which a plurality of recording heads 10 are arranged in parallel in the first direction, which is also the direction in which nozzle openings 26 (see FIG. 2) described later are arranged. And a row composed of a plurality of (two) recording heads 10 arranged in parallel in the first direction is:
Two rows are provided side by side in the second direction intersecting the direction in which the nozzle openings are arranged in parallel (first direction). The two rows of the recording heads 10 arranged in parallel in the second direction are arranged at positions slightly shifted from each other in the first direction. In the two rows of print heads 10, the adjacent print heads 10 include nozzle openings on the end side of the nozzle row of the print head 10 in one row,
The nozzle openings on the end side of the nozzle row of the recording head 10 in the other row are provided so as to be at the same position in the first direction of the nozzle openings. As a result, a plurality of recording heads 10 (in the present embodiment, four recording heads 10), nozzle openings are arranged in parallel at the same pitch along the first direction by the number of the four recording heads 10, and the nozzle rows are continuous. Printing can be performed over a wide area with the width of the continuous nozzle row.

以下、記録ヘッド10の構成の一例について、図2及び図3を参照して説明する。なお
、図2は、本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図3は、記録ヘッ
ドの圧力発生室の長手方向中央における断面図である。
Hereinafter, an example of the configuration of the recording head 10 will be described with reference to FIGS. 2 is an exploded perspective view of the recording head according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view at the center in the longitudinal direction of the pressure generating chamber of the recording head.

図2及び図3に示すように、記録ヘッド本体20を構成する流路形成基板21には、複
数の圧力発生室22がその幅方向に並設された列が2列設けられている。また、各列の圧
力発生室22の長手方向外側の領域には連通部23が形成され、連通部23と各圧力発生
室22とが、圧力発生室22毎に設けられたインク供給路24及び連通路25を介して連
通されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the flow path forming substrate 21 constituting the recording head main body 20 is provided with two rows in which a plurality of pressure generating chambers 22 are arranged in the width direction. In addition, a communication portion 23 is formed in a region outside the longitudinal direction of the pressure generation chambers 22 in each row, and the communication portion 23 and each pressure generation chamber 22 are provided with an ink supply path 24 provided for each pressure generation chamber 22 and It communicates via the communication path 25.

流路形成基板21の一方の面には、各圧力発生室22のインク供給路24とは反対側の
端部近傍に連通するノズル開口26が穿設されたノズルプレート27が接合されている。
ノズル開口26は、列設されている。このノズル開口26が列設されてなるノズル列の長
手方向が、本実施形態における第1方向である。
On one surface of the flow path forming substrate 21, a nozzle plate 27 having a nozzle opening 26 communicating with the vicinity of the end of each pressure generating chamber 22 on the side opposite to the ink supply path 24 is joined.
The nozzle openings 26 are arranged in a row. The longitudinal direction of the nozzle row in which the nozzle openings 26 are arranged is the first direction in the present embodiment.

他方、流路形成基板21のノズルプレート27とは反対側の面には、弾性膜28及び絶
縁体膜29を介して圧電素子30が形成されている。圧電素子30は、第1電極31と、
圧電体層32と、第2電極33とで構成されている。各圧電素子30を構成する第2電極
33には、絶縁体膜29上まで延設されたリード電極34が接続されている。リード電極
34は、一端部が第2電極33に接続されていると共に、他端部側が、フレキシブル配線
部材(COF基板)であり圧電素子30を駆動するための駆動IC35aが実装された駆
動配線35と接続されている。このように駆動配線35の一端側にはリード電極34が接
続され、駆動配線35の他端側はカートリッジケース内に設けられた図示しない回路基板
に固定されている。
On the other hand, a piezoelectric element 30 is formed on the surface of the flow path forming substrate 21 opposite to the nozzle plate 27 via an elastic film 28 and an insulator film 29. The piezoelectric element 30 includes a first electrode 31 and
A piezoelectric layer 32 and a second electrode 33 are included. A lead electrode 34 extending to the insulator film 29 is connected to the second electrode 33 constituting each piezoelectric element 30. One end of the lead electrode 34 is connected to the second electrode 33, and the other end is a flexible wiring member (COF substrate), and a driving wiring 35 on which a driving IC 35 a for driving the piezoelectric element 30 is mounted. Connected with. Thus, the lead electrode 34 is connected to one end side of the drive wiring 35, and the other end side of the drive wiring 35 is fixed to a circuit board (not shown) provided in the cartridge case.

このような圧電素子30が形成された流路形成基板21上には、圧電素子30に対向す
る領域に、圧電素子30を保護するための空間である圧電素子保持部36を備えた保護基
板37が接着剤38によって接合されている。また、保護基板37には、マニホールド部
39が設けられている。このマニホールド部39は、本実施形態では、流路形成基板21
の連通部23と連通されて各圧力発生室22の共通のインク室となるマニホールド(液体
貯留部)40を構成している。
On the flow path forming substrate 21 on which such a piezoelectric element 30 is formed, a protective substrate 37 provided with a piezoelectric element holding portion 36 which is a space for protecting the piezoelectric element 30 in a region facing the piezoelectric element 30. Are joined by an adhesive 38. The protective substrate 37 is provided with a manifold portion 39. In the present embodiment, the manifold portion 39 is the flow path forming substrate 21.
A manifold (liquid storage part) 40 that is in communication with the communication part 23 and serves as an ink chamber common to the pressure generation chambers 22 is formed.

また、保護基板37には、保護基板37を厚さ方向に貫通する貫通孔41が設けられて
いる。貫通孔41は、本実施形態では、2つの圧電素子保持部36の間に設けられている
。そして、各圧電素子30から引き出されたリード電極34の端部近傍は、貫通孔41内
に露出するように設けられている。
The protective substrate 37 is provided with a through hole 41 that penetrates the protective substrate 37 in the thickness direction. In the present embodiment, the through hole 41 is provided between the two piezoelectric element holding portions 36. The vicinity of the end portion of the lead electrode 34 drawn out from each piezoelectric element 30 is provided so as to be exposed in the through hole 41.

さらに保護基板37上には、封止膜44及び封止膜44を補強する補強板45とからな
るコンプライアンス基板(封止基板)46が接合されている。ここで、封止膜44は、剛
性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜44によってマニホールド部39の一
方面が封止されている。このように封止膜44でマニホールド部39の一方面を封止する
ことで、例えば、マニホールド40よりも上流側にあるインクがマニホールド40内に流
入した際に発生する圧力を封止膜44が吸収でき、ノズル開口26からインクが誤って吐
出されてしまうことを防止することができる。また、補強板45は、金属等の硬質の材料
で形成されている。この補強板45のマニホールド40に対向する領域は、厚さ方向に完
全に除去された開口部47となっているため、マニホールド40の一方面は可撓性を有す
る封止膜44のみで封止されている。即ち、コンプライアンス基板46は、この開口部4
7が凹部となるように構成されている。
Furthermore, a compliance substrate (sealing substrate) 46 including a sealing film 44 and a reinforcing plate 45 that reinforces the sealing film 44 is bonded onto the protective substrate 37. Here, the sealing film 44 is made of a material having low rigidity and flexibility, and one surface of the manifold portion 39 is sealed by the sealing film 44. By sealing one surface of the manifold portion 39 with the sealing film 44 in this way, for example, the sealing film 44 generates pressure generated when ink on the upstream side of the manifold 40 flows into the manifold 40. The ink can be absorbed, and ink can be prevented from being accidentally ejected from the nozzle opening 26. The reinforcing plate 45 is formed of a hard material such as metal. Since the region of the reinforcing plate 45 facing the manifold 40 is an opening 47 that is completely removed in the thickness direction, one surface of the manifold 40 is sealed only with a flexible sealing film 44. Has been. That is, the compliance substrate 46 has the opening 4
It is comprised so that 7 may become a recessed part.

開口部47の長手方向の中央部には、開口部47にせり出すように開口部47の縁部か
ら延設された延設部47aが設けられている。延設部47aには、マニホールド40内に
マニホールド40よりも上流側から流れてくるインクを導入するためのインレットとなる
インク導入口48が設けられている。即ち、封止膜44が剛性を有していないためにイン
ク導入口48を形成することができないので、補強板45に延設部47aを設け、この延
設部47aにインク導入口48を設けている。このように開口部47の幅が延設部47a
により狭まることでコンプライアンス基板46の長手方向の剛性はこの延設部47aが設
けられた近辺で高くなる。従って、記録ヘッド本体20の長手方向において、インク導入
口48の周囲は開口部47の他の部分に比べて剛性が高くなっている箇所が存在する。
An extended portion 47 a extending from the edge of the opening 47 is provided at the center of the opening 47 in the longitudinal direction so as to protrude from the opening 47. The extended portion 47 a is provided with an ink introduction port 48 serving as an inlet for introducing ink flowing from the upstream side of the manifold 40 into the manifold 40. That is, since the ink introduction port 48 cannot be formed because the sealing film 44 does not have rigidity, the extending portion 47a is provided in the reinforcing plate 45, and the ink introduction port 48 is provided in the extending portion 47a. ing. Thus, the width of the opening 47 is the extended portion 47a.
The rigidity in the longitudinal direction of the compliance substrate 46 is increased in the vicinity where the extended portion 47a is provided. Therefore, in the longitudinal direction of the recording head main body 20, there are places around the ink inlet 48 that are more rigid than the other parts of the opening 47.

コンプライアンス基板46上には、ヘッドケース49が固定されている。ヘッドケース
49には、インク導入口48に連通し、カートリッジ等の貯留手段からのインクをマニホ
ールド40に供給するインク導入路50が設けられている。さらに、ヘッドケース49に
は、保護基板37に設けられた貫通孔41と連通する配線部材を保持する保持孔51が設
けられており、駆動配線35は保持孔51内に挿通された状態でその一端側がリード電極
34と接続されている。
A head case 49 is fixed on the compliance substrate 46. The head case 49 is provided with an ink introduction path 50 that communicates with the ink introduction port 48 and supplies ink from a storage unit such as a cartridge to the manifold 40. Further, the head case 49 is provided with a holding hole 51 that holds a wiring member that communicates with the through hole 41 provided in the protective substrate 37, and the drive wiring 35 is inserted in the holding hole 51 in the state where the driving hole 35 is inserted. One end side is connected to the lead electrode 34.

また、ノズルプレート27の圧力発生室22とは逆側の面には、図示しない接着層で接
着された固定板70が設けられている。この固定板70の底面は、記録ヘッド本体20の
底面となるノズルプレート27の外形よりも大きい矩形状となるように構成されており、
この固定板70の上面と記録ヘッド本体20の外周縁部とで構成された角部には、モール
ド部材52(図3参照)が設けられている。このモールド部材52は、本実施形態ではノ
ズルプレート27と流路形成基板21との接合面より上側に亘って設けられており、これ
によりインクが接着層を通ってノズルプレート27と流路形成基板21との間に回りこむ
ことを防止している。
In addition, a fixing plate 70 bonded with an adhesive layer (not shown) is provided on the surface of the nozzle plate 27 opposite to the pressure generating chamber 22. The bottom surface of the fixed plate 70 is configured to have a rectangular shape that is larger than the outer shape of the nozzle plate 27 serving as the bottom surface of the recording head body 20.
A mold member 52 (see FIG. 3) is provided at a corner portion formed by the upper surface of the fixed plate 70 and the outer peripheral edge portion of the recording head main body 20. In this embodiment, the mold member 52 is provided over the bonding surface between the nozzle plate 27 and the flow path forming substrate 21, so that the ink passes through the adhesive layer and the nozzle plate 27 and the flow path forming substrate. It is prevented from sneaking between the two.

固定板70の底面には、ノズル開口26が露出するように矩形状の露出部開口71が形
成されている。固定板70の縁部は、記録ヘッド本体20側に屈曲し立ち上がって壁状と
なっている。即ち、この固定板70は、側壁部を有する箱状形状を有している。
A rectangular exposed portion opening 71 is formed on the bottom surface of the fixed plate 70 so that the nozzle opening 26 is exposed. The edge of the fixed plate 70 is bent and rises toward the recording head main body 20 to form a wall shape. That is, the fixing plate 70 has a box shape having a side wall portion.

この固定板70の側壁部は、記録ヘッド本体20のノズルプレート27近辺の外周側を
覆っている。記録ヘッド本体20の底面側の角部がそのまま露出していると例えば紙送り
の際に紙が引っ掛かったり、また、その流路が形成された積層部分に異物が侵入してしま
う等の問題が発生しやすいが、このように記録ヘッド本体20の底面側の角部を固定板7
0が保護していることで、これらの問題を抑制することができる。
The side wall portion of the fixed plate 70 covers the outer peripheral side of the recording head body 20 near the nozzle plate 27. If the corners on the bottom side of the recording head main body 20 are exposed as they are, for example, paper is caught when the paper is fed, and foreign matters enter the laminated portion where the flow path is formed. Although it is likely to occur, the corner on the bottom surface side of the recording head main body 20 is thus fixed to the fixing plate 7.
These problems can be suppressed because 0 is protected.

なお、本実施形態では、固定板70の側壁部は固定板70の底面と一体であるものを説
明しているが、必ずしも一体にする必要はない。底面部分となる平板部と、記録ヘッド本
体20の側面を覆うように配置された側壁部とを別体としてもよい。この場合に、固定板
70のノズルプレート27と接する部分が平板部となり、側壁部は、記録ヘッド本体20
の側壁に接着剤で固定されていてもよく、又は、保持部材60と一体的に構成されていて
もよい。
In the present embodiment, the side wall portion of the fixed plate 70 is described as being integral with the bottom surface of the fixed plate 70, but it is not necessarily integral. The flat plate portion serving as the bottom surface portion and the side wall portion arranged so as to cover the side surface of the recording head main body 20 may be separated. In this case, the portion of the fixed plate 70 that contacts the nozzle plate 27 is a flat plate portion, and the side wall portion is the recording head body 20.
It may be fixed to the side wall with an adhesive, or may be formed integrally with the holding member 60.

固定板70について、図4も用いて詳細に説明する。
本実施形態において、固定板70の底面には、矩形状の露出部開口71と、露出部開口
71の周縁部の一部に、一対の第1スリット(第1貫通孔)72が形成されている。
The fixing plate 70 will be described in detail with reference to FIG.
In the present embodiment, a rectangular exposed portion opening 71 and a pair of first slits (first through holes) 72 are formed in a part of the peripheral portion of the exposed portion opening 71 on the bottom surface of the fixed plate 70. Yes.

第1スリット72は、露出部開口71の周縁部における長手方向の中央部に、露出部開
口71の周縁部に連続するように形成されている。この第1スリット72は露出部開口7
1を挟んで互いに対向して設けられている。第1スリット72は、矩形状である。この第
1スリット72及び露出部開口71の外周側に亘って、記録ヘッド本体20を固定板70
に接着するために接着剤が塗布される第1の領域74aが設けられている。この第1の領
域74aは、記録ヘッド本体20の底面を構成するノズルプレート27よりもやや小さい
The first slit 72 is formed at the central portion in the longitudinal direction of the peripheral portion of the exposed portion opening 71 so as to be continuous with the peripheral portion of the exposed portion opening 71. The first slit 72 has an exposed portion opening 7.
1 are provided opposite to each other. The first slit 72 has a rectangular shape. The recording head main body 20 is fixed to the fixed plate 70 across the outer periphery of the first slit 72 and the exposed portion opening 71.
A first region 74a to which an adhesive is applied to adhere to the first region 74a is provided. The first region 74 a is slightly smaller than the nozzle plate 27 that forms the bottom surface of the recording head main body 20.

また、この第1の領域74aよりも固定板70における外周側には、モールド部材52
(図3参照)が塗布される第2の領域74bが形成されている。この第2の領域74bは
、第1の領域74aよりも幅が広く、ノズルプレート27を固定板70に接着する際に、
第2の領域74bのうち、内周側はノズルプレート27がその上面に接着される。そして
、第2の領域74bの残部である外周側はノズルプレート27が内周側に接着されると、
この外周側に塗布されていたモールド部材52が盛り上がり(図3参照)、ノズルプレー
ト27と流路形成基板21との接合面より上側に亘って設けることができ、これにより上
述したようにインクが接着層を通ってノズルプレート27と流路形成基板21との間に回
りこむことを防止できる。第2の領域74bよりも固定板70における外周側に、第1ス
リット72と対向して第2スリット(第2貫通孔)73が設けられている。即ち、第2ス
リット73は、第1スリット72及び露出部開口71とは不連続で設けられている。また
、第2スリット73の周縁は、すべて固定板70の底面部で規定されていることになる。
Further, on the outer peripheral side of the fixing plate 70 from the first region 74a, the mold member 52 is disposed.
A second region 74b to which (see FIG. 3) is applied is formed. The second region 74b is wider than the first region 74a, and when the nozzle plate 27 is bonded to the fixed plate 70,
In the second region 74b, the nozzle plate 27 is bonded to the upper surface of the inner peripheral side. And when the nozzle plate 27 is bonded to the inner peripheral side of the outer peripheral side which is the remaining part of the second region 74b,
The mold member 52 applied to the outer peripheral side rises (see FIG. 3), and can be provided over the bonding surface between the nozzle plate 27 and the flow path forming substrate 21. It is possible to prevent wrapping between the nozzle plate 27 and the flow path forming substrate 21 through the adhesive layer. A second slit (second through hole) 73 is provided opposite to the first slit 72 on the outer peripheral side of the fixed plate 70 with respect to the second region 74b. That is, the second slit 73 is provided discontinuously with the first slit 72 and the exposed portion opening 71. Further, the entire periphery of the second slit 73 is defined by the bottom surface portion of the fixed plate 70.

第2スリット73は、矩形状の開口である。このように第2スリット73を第1の領域
74aよりも固定板70の外周側に設けていることで、第1の領域74aを第1スリット
72及び露出部開口71の外周に亘って確保することができ、固定板70に記録ヘッド本
体20を所望の接着強度で固定することができる。また、第2スリット73が第1の領域
74aの固定板70の外周側に設けられていることで、固定板70に記録ヘッド本体20
を固定した場合に接着剤が第2スリット73から固定板70の外部(印刷媒体側)にはみ
出ることを防止することができる。
The second slit 73 is a rectangular opening. Thus, by providing the second slit 73 on the outer peripheral side of the fixing plate 70 with respect to the first region 74 a, the first region 74 a is secured over the outer periphery of the first slit 72 and the exposed portion opening 71. The recording head body 20 can be fixed to the fixing plate 70 with a desired adhesive strength. Further, since the second slit 73 is provided on the outer peripheral side of the fixed plate 70 in the first region 74 a, the recording head main body 20 is provided on the fixed plate 70.
It is possible to prevent the adhesive from protruding from the second slit 73 to the outside of the fixing plate 70 (print medium side) when the is fixed.

これらの第1スリット72及び第2スリット73が固定板70に設けられていることで
、図5に示すように、記録ヘッド10の長手方向で発生する応力を抑制することができる
。即ち、第1スリット及び第2スリットを設けない場合、図5(1)に示すように、記録
ヘッド本体20のノズルプレートや流路形成基板等の積層基板の線膨張係数の違いにより
例えば、環境が高温である時に記録ヘッド本体20にその長手方向において反りが発生し
た場合に、記録ヘッド本体20に固定された固定板70がこの反りに追随してその長手方
向において湾曲する。この場合に、固定板70が元の方向に戻ろうとして固定板70の湾
曲方向とは逆方向に応力が発生するが、特に記録ヘッド本体20の長手方向の端部側にお
いて大きな応力(図中矢印A)が発生する。この応力により、固定板70に接着されたノ
ズルプレート27にも応力が作用し、この応力によりノズルプレート27の記録ヘッド本
体20から剥離や固定板70からの剥離が生じてしまう。
Since the first slit 72 and the second slit 73 are provided in the fixed plate 70, the stress generated in the longitudinal direction of the recording head 10 can be suppressed as shown in FIG. That is, when the first slit and the second slit are not provided, as shown in FIG. 5A, for example, due to the difference in the linear expansion coefficient of the laminated substrate such as the nozzle plate of the recording head body 20 or the flow path forming substrate, When the warp occurs in the longitudinal direction of the recording head main body 20 when the temperature is high, the fixing plate 70 fixed to the recording head main body 20 follows the warp and curves in the longitudinal direction. In this case, a stress is generated in the direction opposite to the bending direction of the fixing plate 70 as the fixing plate 70 tries to return to the original direction. Arrow A) occurs. Due to this stress, the stress also acts on the nozzle plate 27 bonded to the fixed plate 70, and this stress causes the nozzle plate 27 to peel off from the recording head main body 20 and to peel off from the fixed plate 70.

しかしながら、本実施形態においては、図5(2)に示すように、高温時に記録ヘッド
10にその長手方向において反りが発生した場合に、記録ヘッド本体20に固定された固
定板70も追随してその長手方向において湾曲しているが、第1スリット72及び第2ス
リット73が形成されていることで、固定板70の長手方向の端部における固定板70の
湾曲方向とは反対側に発生した応力(図中矢印B)は図5(1)に比較して小さなものと
なる。従って、本実施形態では、このような基板間で発生した応力によるノズルプレート
27の剥離を抑制することができる。
However, in the present embodiment, as shown in FIG. 5B, when the recording head 10 warps in the longitudinal direction at a high temperature, the fixing plate 70 fixed to the recording head body 20 also follows. Although it is curved in the longitudinal direction, the first slit 72 and the second slit 73 are formed, so that the first slit 72 and the second slit 73 are formed on the side opposite to the curved direction of the fixed plate 70 at the end in the longitudinal direction of the fixed plate 70. The stress (arrow B in the figure) is smaller than that in FIG. Therefore, in this embodiment, peeling of the nozzle plate 27 due to the stress generated between the substrates can be suppressed.

なお、このように流路形成基板21やノズルプレート27にこのように応力を緩和する
ための開口を設けることも考えられるが、これらの基板にスリットを設ける余裕がないこ
とや、流路形成基板21やノズルプレート27自体の剛性を低下させてしまい、耐久性が
低くなってしまうことが考えられるため、本実施形態のように固定板70に第1スリット
72及び第2スリット73を設けることが好ましい。
Although it is conceivable to provide openings for relieving stress in the flow path forming substrate 21 and the nozzle plate 27 in this way, there is no room for providing slits in these substrates, and the flow path forming substrate. 21 and the rigidity of the nozzle plate 27 itself may be reduced, and the durability may be lowered. Therefore, the first slit 72 and the second slit 73 may be provided on the fixing plate 70 as in the present embodiment. preferable.

このように本実施形態においては、第1スリット72及び第2スリット73を設けるこ
とで、記録ヘッド10の長手方向での反りによる応力を軽減し、ノズルプレート27の剥
離を抑制することができる。
As described above, in the present embodiment, by providing the first slit 72 and the second slit 73, it is possible to reduce the stress caused by the warp in the longitudinal direction of the recording head 10 and to suppress the peeling of the nozzle plate 27.

また、この場合に、モールド部材が塗布される第2の領域74bよりも固定板70にお
ける外周側に第2スリット73が設けられていることで、上述のように図6に示すように
仮に第2スリット73からモールド部材52がインク吐出面側にはみでたとしても、第2
スリット73と第1スリット72とは連続していないので、モールド部材52が露出部開
口71に流出することがない。その結果、ノズル開口26にモールド部材52が到達する
ことがなく、吐出を妨げることはない。かつ、このようにモールド部材52が第2スリッ
ト73から露出することで、モールド部材52によるモールドが広範囲に亘って確実に行
われていると共に第2の領域74bの内周側の領域におけるモールド部材52による接着
もより確実に行われていることを記録ヘッド10の吐出面側から視覚的に確認することが
できる。また、このように第2スリット73をモールド部材52で埋設する場合には、記
録ヘッド10の吐出面側での記録媒体(紙面)の第2スリット73での引っかかりを抑制
することができる。
Further, in this case, since the second slit 73 is provided on the outer peripheral side of the fixed plate 70 with respect to the second region 74b to which the mold member is applied, the second slit 73 is temporarily provided as shown in FIG. Even if the mold member 52 protrudes from the slit 73 to the ink ejection surface side, the second
Since the slit 73 and the first slit 72 are not continuous, the mold member 52 does not flow out to the exposed portion opening 71. As a result, the mold member 52 does not reach the nozzle opening 26 and does not hinder ejection. In addition, since the mold member 52 is exposed from the second slit 73 in this way, the molding by the mold member 52 is reliably performed over a wide range, and the mold member in the inner peripheral side region of the second region 74b. It can be visually confirmed from the ejection surface side of the recording head 10 that the bonding by 52 is more reliably performed. Further, when the second slit 73 is embedded in the mold member 52 in this manner, the recording medium (paper surface) on the ejection surface side of the recording head 10 can be prevented from being caught by the second slit 73.

これらの第1スリット72及び第2スリット73の形成位置について、さらに図7を用
いて説明する。
The formation positions of the first slit 72 and the second slit 73 will be further described with reference to FIG.

図7に示すように記録ヘッド10の上面視において、第1スリット72及び第2スリッ
ト73は、固定板70の長手方向における所定位置、つまり、インク導入口48が形成さ
れている延設部47aが形成されている位置に設けられている。
As shown in FIG. 7, in the top view of the recording head 10, the first slit 72 and the second slit 73 are a predetermined position in the longitudinal direction of the fixed plate 70, that is, an extending portion 47 a in which the ink introduction port 48 is formed. Is provided at a position where is formed.

上述したように、インク導入口48を形成するために設けた延設部47a付近は開口部
47の幅が狭いために記録ヘッド本体20の長手方向において剛性が高い。このように記
録ヘッド本体20の長手方向における剛性の高い領域R、即ち延設部47aの幅に一致し
て、記録ヘッド本体20の幅方向に延びる領域R内に全て重なるように固定板70に第1
スリット72及び第2スリット73を設けることで、記録ヘッド10全体の長手方向にお
ける剛性を均一化することができる。即ち、固定板70は、第1スリット72及び第2ス
リット73を設けることで上面視において領域Rでその長手方向における剛性が下がるが
、記録ヘッド本体20の剛性は上面視においてこの領域Rでその長手方向における剛性が
上がっている。従って、記録ヘッド本体20と固定板70とからなる記録ヘッド10全体
としては、その長手方向における剛性が均一化される。
As described above, the vicinity of the extended portion 47 a provided for forming the ink inlet 48 has a high rigidity in the longitudinal direction of the recording head body 20 because the width of the opening 47 is narrow. In this way, the fixing plate 70 is overlapped with the region R having a high rigidity in the longitudinal direction of the recording head body 20, that is, the region R extending in the width direction of the recording head body 20 in accordance with the width of the extending portion 47 a. First
By providing the slit 72 and the second slit 73, the rigidity in the longitudinal direction of the entire recording head 10 can be made uniform. That is, the fixing plate 70 is provided with the first slit 72 and the second slit 73 to reduce the rigidity in the longitudinal direction in the region R in the top view, but the rigidity of the recording head main body 20 is the region R in the region R in the top view. The rigidity in the longitudinal direction is increased. Therefore, the rigidity of the entire recording head 10 including the recording head body 20 and the fixed plate 70 is uniform in the longitudinal direction.

このように、上面視においてこの延設部47aが形成されている領域Rに記録ヘッド本
体20の幅方向において相対向する第1スリット72及び第2スリット73を設けること
により剛性が低下する虞もなく、むしろ第1スリット72及び第2スリット73を設けて
剛性を均一化することで、応力が集中することも抑制されているのである。
As described above, when the first slit 72 and the second slit 73 opposed to each other in the width direction of the recording head main body 20 are provided in the region R where the extending portion 47a is formed in the top view, there is a possibility that the rigidity may be lowered. Rather, by providing the first slit 72 and the second slit 73 to equalize the rigidity, the concentration of stress is also suppressed.

このような記録ヘッド10を有するヘッドユニット1は、図8に示すように、複数個が
固定部材に固定されて(本実施形態では例として4個)液体噴射ヘッドモジュールの一例
であるインクジェット式記録ヘッドモジュール200を構成する。このようなヘッドモジ
ュール200は、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置に搭載される。こ
こで、本実施形態のインクジェット式記録装置について説明する。なお、図8は、本発明
の実施形態1に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を示す概略斜視
図である。
As shown in FIG. 8, a plurality of head units 1 having such a recording head 10 are fixed to a fixing member (four in this embodiment as an example), and an ink jet recording which is an example of a liquid ejecting head module. The head module 200 is configured. Such a head module 200 is mounted on an ink jet recording apparatus which is an example of a liquid ejecting apparatus. Here, the ink jet recording apparatus of this embodiment will be described. FIG. 8 is a schematic perspective view illustrating an ink jet recording apparatus that is an example of the liquid ejecting apparatus according to the first embodiment of the invention.

図8に示すように、本実施形態のインクジェット式記録装置は、ヘッドモジュール20
0が固定されて、被噴射媒体である紙などの記録シートSを搬送することで印刷を行う、
所謂ライン式記録装置である。
As shown in FIG. 8, the ink jet recording apparatus of this embodiment includes a head module 20.
Printing is performed by transporting a recording sheet S such as paper that is a medium to be ejected with 0 fixed.
This is a so-called line type recording apparatus.

具体的には、インクジェット式記録装置Iは、装置本体2と、装置本体2に固定された
ヘッドモジュール200と、被記録媒体である記録シートSを搬送する搬送手段3と、記
録シートSのヘッドモジュール200に相対向する印刷面とは反対の裏面側を支持するプ
ラテン4とを具備する。
Specifically, the ink jet recording apparatus I includes an apparatus main body 2, a head module 200 fixed to the apparatus main body 2, a conveying unit 3 that conveys a recording sheet S that is a recording medium, and a head of the recording sheet S. The module 200 includes a platen 4 that supports the back side opposite to the printing surface facing the module 200.

ヘッドモジュール200は、記録ヘッド本体20のノズル開口26の並設方向である第
1方向が記録シートSの搬送方向と交差する方向となるように装置本体2に固定されてい
る。
The head module 200 is fixed to the apparatus main body 2 such that the first direction, which is the juxtaposed direction of the nozzle openings 26 of the recording head main body 20, is a direction that intersects the conveyance direction of the recording sheet S.

搬送手段3は、ヘッドモジュール200に対して記録シートSの搬送方向の両側に設け
られた第1の搬送手段5と、第2の搬送手段6とを具備する。
The transport unit 3 includes a first transport unit 5 and a second transport unit 6 provided on both sides of the recording direction of the recording sheet S with respect to the head module 200.

第1の搬送手段5は、駆動ローラー5aと、従動ローラー5bと、これら駆動ローラー
5a及び従動ローラー5bに巻回された搬送ベルト5cとで構成されている。また、第2
の搬送手段6は、第1の搬送手段5と同様に駆動ローラー6a、従動ローラー6b及び搬
送ベルト6cで構成されている。
The first transport means 5 includes a drive roller 5a, a driven roller 5b, and a transport belt 5c wound around the drive roller 5a and the driven roller 5b. Second
Similarly to the first transport unit 5, the transport unit 6 includes a driving roller 6a, a driven roller 6b, and a transport belt 6c.

これらの第1の搬送手段5及び第2の搬送手段6のそれぞれの駆動ローラー5a、6a
には、図示しない駆動モーター等の駆動手段が接続されており、駆動手段の駆動力によっ
て搬送ベルト5c、6cが回転駆動することで、記録シートSをヘッドモジュール200
の上流及び下流側で搬送する。
The driving rollers 5a and 6a of the first conveying means 5 and the second conveying means 6 respectively.
A driving means such as a driving motor (not shown) is connected to the recording medium S, and the conveying belts 5c and 6c are driven to rotate by the driving force of the driving means, whereby the recording sheet S is moved to the head module 200.
It is conveyed on the upstream and downstream sides.

なお、本実施形態では、駆動ローラー5a、6a、従動ローラー5b、6b及び搬送ベ
ルト5c、6cで構成される第1の搬送手段5及び第2の搬送手段6を例示したが、記録
シートSを搬送ベルト5c、6c上に保持させる保持手段をさらに設けてもよい。保持手
段としては、例えば、記録シートSの外周面を帯電させる帯電手段を設け、この帯電手段
によって帯電した記録シートSを誘電分極の作用により搬送ベルト5c、6c上に吸着さ
せるようにしてもよい。また、保持手段として、搬送ベルト5c、6c上に押えローラー
を設け、押えローラーと搬送ベルト5c、6cとの間で記録シートSを挟持させるように
してもよい。
In the present embodiment, the first conveying unit 5 and the second conveying unit 6 including the driving rollers 5a and 6a, the driven rollers 5b and 6b, and the conveying belts 5c and 6c are exemplified. You may further provide the holding means hold | maintained on the conveyance belts 5c and 6c. As the holding unit, for example, a charging unit that charges the outer peripheral surface of the recording sheet S may be provided, and the recording sheet S charged by the charging unit may be attracted onto the conveying belts 5c and 6c by the action of dielectric polarization. . Further, as a holding unit, a pressing roller may be provided on the conveying belts 5c and 6c, and the recording sheet S may be sandwiched between the pressing roller and the conveying belts 5c and 6c.

プラテン4は、第1の搬送手段5と第2の搬送手段6との間に、ヘッドモジュール20
0に相対向して設けられた断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなる。プラテン4は
、第1の搬送手段5及び第2の搬送手段6によって搬送された記録シートSを、ヘッドモ
ジュール200に相対向する位置で支持する。
The platen 4 includes a head module 20 between the first transport unit 5 and the second transport unit 6.
The cross section provided opposite to 0 is made of a metal or resin having a rectangular shape. The platen 4 supports the recording sheet S conveyed by the first conveying unit 5 and the second conveying unit 6 at a position facing the head module 200.

なお、プラテン4には、搬送された記録シートSをプラテン4上で吸着する吸着手段が
設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートSを吸引することで吸引
吸着するものや、静電気力で記録シートSを静電吸着するもの等が挙げられる。
The platen 4 may be provided with a suction unit that sucks the conveyed recording sheet S on the platen 4. Examples of the suction means include a device that sucks and sucks the recording sheet S and a device that electrostatically sucks the recording sheet S by electrostatic force.

また、ヘッドモジュール200には、図示していないが、インクが貯留されたインクタ
ンクやインクカートリッジなどのインク貯留手段がインクを供給可能に接続されている。
インク貯留手段は、例えば、ヘッドモジュール200上に保持されていても、また、装置
本体2内のヘッドモジュール200とは異なる位置に保持されてチューブ等を介して各ヘ
ッドユニット1のインク供給針61に接続されていてもよい。さらに、ヘッドモジュール
200の各ヘッドユニット1には、図示しない外部配線が接続されている。
Although not shown, the head module 200 is connected to ink storage means such as an ink tank or ink cartridge in which ink is stored so as to be able to supply ink.
For example, even if the ink storage unit is held on the head module 200, the ink supply needle 61 of each head unit 1 is held at a position different from the head module 200 in the apparatus main body 2 via a tube or the like. It may be connected to. Further, external wiring (not shown) is connected to each head unit 1 of the head module 200.

このようなインクジェット式記録装置Iでは、搬送手段5によって記録シートSが搬送
され、ヘッドモジュール200によってプラテン4上で支持された記録シートSに印刷が
実行される。印刷された記録シートSは、搬送手段3によって搬送される。
In such an ink jet recording apparatus I, the recording sheet S is transported by the transport unit 5, and printing is performed on the recording sheet S supported on the platen 4 by the head module 200. The printed recording sheet S is conveyed by the conveying means 3.

(他の実施形態)
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限
定されるものではない。
(Other embodiments)
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.

上述した実施形態では、スリットとしては第1スリット72及び第2スリット73をそ
れぞれ設けたが、これに限定されない。例えば、第1スリット72のみ、第2スリット7
3のみでもよい。また、スリットを左右非対称となるように設けても良い。
In the embodiment described above, the first slit 72 and the second slit 73 are provided as the slits, but the present invention is not limited to this. For example, only the first slit 72 and the second slit 7
Only 3 is acceptable. Moreover, you may provide a slit so that it may become asymmetrical.

実施形態では、延設部47aの幅方向における領域R内が記録ヘッド本体20の長手方
向における剛性の高い領域であるので、この領域R内に第1スリット72及び第2スリッ
ト73が収まるように設けているが、これに限定されない。図9に示すように、少なくと
もこの領域R内に第1スリット72及び第2スリット73の一部が重なるように設けられ
ていても、各記録ヘッド10の長手方向における応力を軽減させると共に、各記録ヘッド
10の長手方向における剛性分布を略均一にすることができる。また、本実施形態に示す
ように、第1スリット72の形状と第2スリット73の形状とを異なる形状としてもよい
In the embodiment, the region R in the width direction of the extending portion 47 a is a region having high rigidity in the longitudinal direction of the recording head body 20, so that the first slit 72 and the second slit 73 are accommodated in this region R. Although provided, it is not limited to this. As shown in FIG. 9, even if the first slit 72 and the second slit 73 are provided so as to overlap at least in this region R, the stress in the longitudinal direction of each recording head 10 is reduced, and each The rigidity distribution in the longitudinal direction of the recording head 10 can be made substantially uniform. Further, as shown in the present embodiment, the shape of the first slit 72 and the shape of the second slit 73 may be different.

また、本実施形態では、インク導入路50及びインク導入口48が記録ヘッド本体20
の中央部に形成されていたために、延設部47aも記録ヘッド本体20の中央部に位置す
るように設けたが、これに限定されない。例えば、図10に示すように、インク導入路5
0及びインク導入口48が4つ、それぞれ上面視において記録ヘッド本体20にそれぞれ
ヘッドケース49の長手方向における端部側に設けられている場合には、この形成位置に
合わせて延設部47bが固定板70の長手方向の端部側にそれぞれ設けられている。なお
、図10に示す実施形態においては、露出部開口71は本実施形態におけるものよりも小
さい。
In the present embodiment, the ink introduction path 50 and the ink introduction port 48 are the recording head body 20.
The extended portion 47a is also provided so as to be positioned at the central portion of the recording head body 20, but is not limited thereto. For example, as shown in FIG.
When the recording head body 20 is provided on the end side in the longitudinal direction of the head case 49 in the top view, respectively, the extended portion 47b is formed in accordance with this forming position. The fixing plate 70 is provided on each end side in the longitudinal direction. In the embodiment shown in FIG. 10, the exposed portion opening 71 is smaller than that in the present embodiment.

従って、この図10に示す場合には、これらの延設部47bの形成位置に対向するよう
に第1スリット72A及び第2スリット73Aを設けている。このように固定板70の長
手方向に複数の第1スリット72A及び第2スリット73Aを設けることで、より固定板
70の長手方向における応力を軽減させると共に、各記録ヘッド10の長手方向における
剛性分布を略均一にすることができる。
Therefore, in the case shown in FIG. 10, the first slit 72A and the second slit 73A are provided so as to face the formation positions of the extending portions 47b. Thus, by providing the plurality of first slits 72A and the second slits 73A in the longitudinal direction of the fixed plate 70, the stress in the longitudinal direction of the fixed plate 70 is further reduced, and the stiffness distribution in the longitudinal direction of each recording head 10 is reduced. Can be made substantially uniform.

本実施形態では、各記録ヘッド本体20に対して一つの固定板70を設けたが、これに
限定されない。複数の記録ヘッド本体20を一つの固定板70に固定し、固定板70に各
記録ヘッド本体20に対応した複数の露出部開口71を設けるように構成してもよい。こ
の場合においても、各記録ヘッド本体20の長手方向における反りによる応力を抑制する
ように第1スリット72及び第2スリット73が形成されていればよい。即ち、各露出部
開口71には、露出部開口71の周縁部の少なくとも一部に第1スリット72が一対設け
られていると共に、第2スリット73が、各記録ヘッド本体20のモールド部材塗布領域
74bよりも外側の少なくとも一部に露出部開口71とは不連続となるように設けられて
いればよい。
In the present embodiment, one fixing plate 70 is provided for each recording head main body 20, but the present invention is not limited to this. A plurality of recording head main bodies 20 may be fixed to one fixed plate 70, and a plurality of exposed portion openings 71 corresponding to each recording head main body 20 may be provided on the fixed plate 70. Even in this case, the first slit 72 and the second slit 73 may be formed so as to suppress stress due to warpage in the longitudinal direction of each recording head main body 20. That is, each exposed portion opening 71 is provided with a pair of first slits 72 at least at a part of the peripheral edge of the exposed portion opening 71, and the second slit 73 is a mold member application region of each recording head body 20. What is necessary is just to be provided in at least one part outside 74b so that the exposed part opening 71 may become discontinuous.

また、本実施形態では第1スリット72及び第2スリット73の形状はそれぞれ矩形状
であるとしたが、これに限定されない。第1スリット72及び第2スリット73の角部が
R形状となっていてもよい。このように角部を鋭角とせずにR形状とすることで、固定板
70の表面を拭き取るワイピング時にワイピング手段の引っ掛かりを防止することができ
る。
Moreover, although the shape of the 1st slit 72 and the 2nd slit 73 was each rectangular shape in this embodiment, it is not limited to this. The corners of the first slit 72 and the second slit 73 may be R-shaped. By making the corners into an R shape without making the corners acute, the wiping means can be prevented from being caught during wiping to wipe the surface of the fixed plate 70.

本実施形態では、インクカートリッジがヘッドモジュールに搭載されないいわゆるオフ
キャリアー型のインクジェット式記録装置を例示したが、これに限定されない。例えば、
インクカートリッジがヘッドモジュールに搭載されたいわゆるオンキャリアー型のインク
ジェット式記録装置としてもよい。
In the present embodiment, the so-called off-carrier type ink jet recording apparatus in which the ink cartridge is not mounted on the head module is exemplified, but the present invention is not limited to this. For example,
A so-called on-carrier type ink jet recording apparatus in which an ink cartridge is mounted on a head module may be used.

また、例えば、上述した実施形態では、圧力発生素子として、薄膜型の圧電素子を例示
したが、圧力発生素子の構成は特に限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の
方法により形成される厚膜型の圧電素子や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させ
て軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子などであってもよい。また、圧力発生素子とし
て、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズ
ルから液滴を噴射するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて静電気力によっ
て振動板を変形させてノズルから液滴を噴射させるいわゆる静電式アクチュエーターなど
を使用することができる。
Further, for example, in the above-described embodiment, a thin film type piezoelectric element is exemplified as the pressure generating element, but the configuration of the pressure generating element is not particularly limited, and is formed by, for example, a method of attaching a green sheet or the like. It may be a thick film type piezoelectric element or a longitudinal vibration type piezoelectric element in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked to expand and contract in the axial direction. In addition, as a pressure generating element, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are ejected from the nozzle by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. A so-called electrostatic actuator that ejects liquid droplets from the nozzle by deforming the diaphragm by electrostatic force can be used.

また、上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッ
ドを説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドモジュール全
般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記
録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、
有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極
材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を有する液体
噴射ヘッドモジュールにも適用することができる。
In the above-described embodiment, the ink jet recording head has been described as an example of the liquid ejecting head. However, the present invention is intended for all liquid ejecting head modules that widely include the liquid ejecting head. Various recording heads used in image recording apparatuses such as, color material ejection heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays,
The present invention can also be applied to a liquid ejecting head module having an electrode material ejecting head used for electrode formation such as an organic EL display and FED (field emission display), a bio-organic matter ejecting head used for biochip production, and the like.

I インクジェット式記録装置、 1 ヘッドユニット、 10 インクジェット式記
録ヘッド、 20 記録ヘッド本体、 21 流路形成基板、 22 圧力発生室、 2
6 ノズル開口、 27 ノズルプレート、 30 圧電素子、 39 マニホールド部
、 40 マニホールド、 41 貫通孔、 44 封止膜、 45 補強板、 46
コンプライアンス基板、 47 開口部、 47a、47b 延設部、 48 インク導
入口、 49 ヘッドケース、 50 インク導入路、 60 保持部材、 70 固定
板、 71 露出部開口、 72、72A 第1スリット、 73、73A 第2スリッ
ト、 74a 接着剤塗布領域、 74b モールド部材塗布領域
I ink jet recording apparatus, 1 head unit, 10 ink jet recording head, 20 recording head main body, 21 flow path forming substrate, 22 pressure generating chamber, 2
6 Nozzle opening, 27 Nozzle plate, 30 Piezoelectric element, 39 Manifold part, 40 Manifold, 41 Through hole, 44 Sealing film, 45 Reinforcement plate, 46
Compliance board, 47 opening, 47a, 47b extending portion, 48 ink introduction port, 49 head case, 50 ink introduction path, 60 holding member, 70 fixing plate, 71 exposed portion opening, 72, 72A first slit, 73, 73A Second slit, 74a Adhesive application area, 74b Mold member application area

Claims (6)

液体を噴射するノズル開口が形成されたノズルプレートと、
前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に圧力を付与し、前記ノズル開口から液体を噴射させる圧力発生手段とを含むヘッド本体と、
該ヘッド本体が固定される固定板と、を含み、
該固定板には、前記ノズル開口が露出される露出部開口と、該露出部開口の周囲の少なくとも一部に形成された貫通孔とが設けられており、
前記貫通孔は、前記流路形成基板と前記ノズルプレートと前記固定板とを含む積層基板の線膨張係数の違いにより前記固定板に働く応力を軽減することを特徴とする液体噴射ヘッド。
A nozzle plate in which nozzle openings for ejecting liquid are formed;
A head body including a flow path forming substrate provided with a pressure generating chamber communicating with the nozzle opening, and pressure generating means for applying pressure to the pressure generating chamber and ejecting liquid from the nozzle opening;
A fixing plate to which the head body is fixed,
The fixing plate is provided with an exposed portion opening from which the nozzle opening is exposed, and a through hole formed in at least a part of the periphery of the exposed portion opening,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the through hole reduces stress acting on the fixed plate due to a difference in linear expansion coefficient of a laminated substrate including the flow path forming substrate, the nozzle plate, and the fixed plate.
前記貫通孔が、前記露出部開口の周縁部における長手方向の中央部に設けられている第1貫通孔であることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the through hole is a first through hole provided in a central portion in a longitudinal direction of a peripheral edge portion of the exposed portion opening. 前記貫通孔が、前記露出部開口の外周側であって、前記露出部開口の周縁部における長手方向の中央部に前記露出部開口とは不連続となるように設けられている第2貫通孔であることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。   The second through-hole is provided on the outer peripheral side of the exposed portion opening and at a central portion in the longitudinal direction of the peripheral portion of the exposed portion opening so as to be discontinuous with the exposed portion opening. The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the liquid ejecting head is a liquid ejecting head. 前記ヘッド本体は、
圧力発生室に液体流路を介して連通し、液体を貯留する液体貯留部と、
該液体貯留部を封止する封止板とを備え、
該封止板には、該封止板の長手方向に沿って設けられた凹部と、
該凹部の縁部から該凹部に向かってせり出して延設され、前記液体貯留部に液体を導入するための液体導入口が形成された延設部とが設けられ、
前記貫通孔は、少なくともその一部が上面視において前記ヘッド本体の短手方向で該延設部と相対向するように前記固定板に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
The head body is
A liquid reservoir that communicates with the pressure generation chamber via a liquid flow path and stores the liquid;
A sealing plate for sealing the liquid reservoir,
In the sealing plate, a recess provided along the longitudinal direction of the sealing plate;
Extending from the edge of the recess toward the recess, and provided with an extension portion in which a liquid inlet for introducing liquid into the liquid storage portion is formed,
The said through-hole is formed in the said fixed plate so that at least one part may oppose this extended part in the transversal direction of the said head main body in top view. The liquid jet head according to any one of the above.
請求項1〜4のいずれか一項に記載の前記液体噴射ヘッドを複数有することを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。   A liquid ejecting head unit comprising a plurality of the liquid ejecting heads according to claim 1. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の前記液体噴射ヘッドを有することを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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