JP5777146B2 - 温度センサー - Google Patents
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Description
薄膜トランジスターはマイクロメーター単位で形成できるため、この構成によれば、空間分解能が数マイクロメーターと極めて高い温度センサーを実現できる。加えて、各計測セルに差動トランジスター対が設けられている為に、面状の温度センサーが大面積となっても、高精細になっても、高精度に温度を計測する事ができる。又、この構成によれば、温度の計測期間と計測結果の出力期間とを分ける事ができるので、計測時に薄膜トランジスターが自己発熱することなく、正確な温度測定が実現する。換言すれば、高性能で実用的な面状温度センサーを実現できる。
この構成によれば、計測セルを第一の方向に複数個配置して、個別に選択するので、第一の方向に関する温度の空間分布を計測できる。従って、温度が第一の方向に沿って異なっていても、温度を場所の関数として定量的に正確に計測できる。
この構成によれば、計測セルを第二の方向に複数個配置して、個別に選択するので、第二の方向に関する温度の空間分布を計測できる。従って、温度が第二の方向に沿って異なっていても、温度を場所の関数として定量的に正確に計測できる。
この構成によれば、第三薄膜トランジスターと第四薄膜トランジスターとが第一の方向及び第二の方向での選択回路の一部として機能するので、第一の方向及び第二の方向に於ける温度の情報が干渉する事を防げる。
この構成によれば、薄膜トランジスター群がカレントミラー型差動増幅回路を構成するので、温度を電圧に変換した上で増幅できる。即ち、温度を正確に計測できる。
この構成によれば、第七薄膜トランジスターが定電流源と成り得るので、第一薄膜トランジスターのゲート電位の増幅が線型となり、温度を正確に計測できる。
この構成によれば、ゲート電位が温度依存性を有する第一薄膜トランジスターの電気特性とゲート電位が基準値となる第二薄膜トランジスターの電気特性とを比較して、温度を計測するので、温度を正確に計測できる。
この構成によれば、温度の計測を空間的及び時間的に順次繰り返して行う際に、各計測の間に出力電位をリセットできるので、迅速に正確な計測を実現できる。
この構成によれば、N型の薄膜トランジスターで温度センサーを実現できる。
この構成によれば、P型の薄膜トランジスターで温度センサーを実現できる。
「温度センサーの概要」
図1は、本実施形態に係わる温度センサーを模式的に示す斜視外観図である。以下、図1を用いて、まず温度センサーの概要を説明する。
基板2には、計測回路3の他に、出力回路4と、第一選択回路51と、第一処理回路52と、第二選択回路61と、第二処理回路62と、が設けられている。計測回路3に配置された複数の計測セルは、計測回路3の外周部に配置された第一選択回路51と第二選択回路61とにより、順次選択される。基板2の一辺を第一の方向(x軸に平行な方向で、行方向とする)とし、第一の方向と交差する(ほぼ直交する)別の方向を第二の方向(y軸に平行な方向で、列方向とする)とすると、第一選択回路51と第一処理回路52とは、計測回路3の外側で第一の方向に沿って形成され、第二選択回路61と第二処理回路62とは、計測回路3の外側で第二の方向に沿って形成される。計測セルは第一の方向に沿って複数個形成されると共に、第一選択回路51によって、第一の方向で選択される。同様に、計測セルは第二の方向に沿って複数個形成されると共に、第二選択回路61によって、第二の方向で選択される。選択された計測セルは出力回路4と接続され、温度計測がなされる。こうして行列状に配置された計測セルにて順次温度が測定され、温度に関する面分布が得られる。
図2は、本実施形態に係わる温度センサーの計測原理を説明する図である。以下、図2を参照して、温度を計測する原理を説明する。
図3は、本実施形態に係わる温度センサーの回路を説明する図である。以下、図3を参照して、温度センサーの回路を説明する。尚、N型薄膜トランジスターのソースドレインは、両者を比較して電位の高い方がドレインになり、電位の低い方がソースとなる。参考の為に、図3には各薄膜トランジスターのソースドレインをそれぞれsとdとで記載してある。
温度センサー1は計測回路3と出力回路4、第一選択回路51、第一処理回路52、第二選択回路61、第二処理回路62とを有する。計測回路3には計測セル(i,j)がM行N列の行列状に配置されている。MとNは1以上の整数である(1≦i≦M、1≦j≦N)。第一選択回路51は第一の方向に関してM行の行線R(i)から特定の一本の行線を選択する。従って、第一選択回路51は行選択回路でもある。第一選択回路51にはシフトレジスターやデコーダーが使用される。第一処理回路52は第一選択回路51からの選択信号を計測に適する様に加工する。具体的には選択電位を変換するレベルシフターや、高速で安定的に行線を選択する様にバッファーを備える。第二選択回路61は第二の方向に関してN列の列線C(j)から特定の一本の列線を選択する。従って、第二選択回路61は列選択回路でもある。第二選択回路61にはシフトレジスターやデコーダーが使用される。第二処理回路62は第二選択回路61からの選択信号を計測に適する様に加工する。具体的には選択電位を変換するレベルシフターや、高速で安定的に列線を選択する様にバッファーを備える。
第二処理回路62は、上述の回路の他に、列選択トランジスターT3CとT4Cとを含む。列選択トランジスターT3CとT4Cとは、列毎にペアとなって設けられる。出力回路4は差動トランジスター対に対する電流源になると共に、LDOUT及びXLDOUTとして計測結果を出力する。これらの回路の内で、計測回路3と出力回路4、第二処理回路62の内の列選択トランジスターT3CとT4Cとが薄膜トランジスターで形成される。本実施形態では、これらの他に第一選択回路51と第一処理回路52、第二選択回路61、もCMOS構成の(N型及びP型の)薄膜トランジスターで形成されたが、第一選択回路51と第一処理回路52、第二選択回路61、第二処理回路62の内の列選択トランジスターT3CとT4C以外の回路は、外付けのシリコンICチップにて形成されても良い。
図4は、本実施形態に係わる温度センサーにて温度を計測する際に、回路を駆動させるタイミングチャートを説明する図である。以下、図4を参照して、温度センサーを用いた計測方法を説明する。
温度センサーを使用する際には、低頻度測定モードと高頻度測定モードとを設けても良い。低頻度測定モードとは高頻度測定モードに備えて低頻度で計測を繰り返している期間で有る。高頻度測定モードでは、温度センサーは高頻度で計測を繰り返している。例えば、温度センサーを水道の凍結防止帯に内蔵させて使用する場合、暖かな日中は低頻度測定モードとし、気温が低下し始めて凍結しそうな期間を高頻度測定モードとする。或いは、温度の時間変化が緩やかな場合に低頻度測定モードとし、温度の時間変化が緩やかな場合には高頻度測定モードとする。
図5は、本実施形態に係わる温度センサーにて温度を計測する際の等価回路図である。次に、図5を参照して、高感度で高性能な計測を実現する為の条件を示す。以下、第一薄膜トランジスターT1をT1と略称する。第二薄膜トランジスターT2から第七薄膜トランジスターT7も同様に略す。尚、T3のドレイン電位をV3で表し、T4のドレイン電位をV4、T7のドレイン電位をV7、で表す。
図6は、本実施形態に係わる温度センサーで使用される各種回路の平面レイアウトを説明する図で、(a)は出力回路、(b)は列選択トランジスター、(c)は計測セル(i,j)である。以下、図6を参照して、これらの回路の平面レイアウトを説明する。
温度センサー1では、柔軟性を有するプラスチックフィルムの基板2に薄膜回路を形成してあるが、ここでは温度センサー1の製造方法を述べる。具体的には、最初にガラス基板に形成された薄膜回路を剥離して、プラスチックフィルムに転写する方法で温度センサー1を製造する。
温度センサー1が計測セルを複数個有し、各計測セルに差動トランジスター対が設けられている為に、大面積で空間分解能が高く、温度分解能も高い。又、トランジスターの自己発熱の影響を受ける事なく正確な温度計測が可能となる。
「イコライズ回路が配置されている形態」
図7は、実施形態2に係わる温度センサーの回路を説明する図である。又、図8は、実施形態2に係わる温度センサーにて温度を計測する際に、回路を駆動させるタイミングチャートを説明する図である。以下、本実施形態に係わる温度センサーについて説明する。尚、実施形態1と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
イコライズ回路を備えているので、温度の計測を空間的及び時間的に順次繰り返して行う際に、各計測の間に出力電位をリセットできる。その結果、迅速に正確な計測を実現できる。
「回路がPMOSにて形成されている形態」
図9は、変形例1に係わる温度センサーの回路を説明する図である。以下、本変形例に係わる温度センサーについて説明する。尚、実施形態1と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
本変形例(図9)は実施形態1(図3)と比べて、温度センサー1の回路を構成する薄膜トランジスターの伝導型が異なっている。それ以外の構成は、実施形態1とほぼ同様である。
「回路がPMOSで形成され、イコライズ回路が配置されている形態」
図10は、変形例2に係わる温度センサーの回路を説明する図である。以下、本変形例に係わる温度センサーについて説明する。尚、実施形態1乃至2と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
本変形例(図10)は実施形態2(図7)と比べて、温度センサー1の回路を構成する薄膜トランジスターの伝導型が異なっている。それ以外の構成は、実施形態2とほぼ同様である。
Claims (10)
- 行列状に複数個配置され、計測用薄膜トランジスターと第一薄膜トランジスターと第二
薄膜トランジスターとを含む、温度を計測する計測セルと、
前記計測セルから任意の一行を選択する行選択回路と、
前記計測セルから任意の一列を選択する列選択回路と、
第三薄膜トランジスターと第四薄膜トランジスターと、
を備え、
前記第一薄膜トランジスターと前記第二薄膜トランジスターとは差動トランジスター対
をなし、
前記第一薄膜トランジスターのゲートは前記計測用薄膜トランジスターのソース又はド
レインの一方に接続され、
前記第三薄膜トランジスターは前記第一薄膜トランジスターに接続され、
前記第四薄膜トランジスターは前記第二薄膜トランジスターに接続され、
前記第三薄膜トランジスターと前記第四薄膜トランジスターとは、前記行選択回路及び
前記列選択回路にて制御される事を特徴とする温度センサー。 - 更に第五薄膜トランジスターと第六薄膜トランジスターとを備え、
前記第五薄膜トランジスターと前記第六薄膜トランジスターとはカレントミラー対をな
し、
前記第一薄膜トランジスターと前記第五薄膜トランジスターとの間に前記第三薄膜トラ
ンジスターが配置され、
前記第二薄膜トランジスターと前記第六薄膜トランジスターとの間に前記第四薄膜トラ
ンジスターが配置される事を特徴とする請求項1に記載の温度センサー。 - 更に第一電源と第二電源と第七薄膜トランジスターとを備え、
前記第一薄膜トランジスターと前記第二薄膜トランジスターとは前記第一電源に接続さ
れ、
前記第五薄膜トランジスターと前記第六薄膜トランジスターとは前記第七薄膜トランジ
スターに接続され、
前記第七薄膜トランジスターは前記第二電源に接続される事を特徴とする請求項2に記
載の温度センサー。 - 前記第二薄膜トランジスターは基準トランジスターとして動作し、
前記第一薄膜トランジスターの電気特性と前記第二薄膜トランジスターの電気特性とを
比較して、温度を計測する事を特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の温度セ
ンサー。 - 前記第五薄膜トランジスターのドレインと前記第六薄膜トランジスターのドレインとの
間にイコライズ回路を備える事を特徴とする請求項3に記載の温度センサー。 - 前記第五薄膜トランジスターと前記第六薄膜トランジスターと前記第七薄膜トランジス
ターとがN型であり、
前記第二電源が負電源である事を特徴とする請求項5に記載の温度センサー。 - 前記第五薄膜トランジスターと前記第六薄膜トランジスターと前記第七薄膜トランジス
ターとがP型であり、
前記第二電源が正電源である事を特徴とする請求項5に記載の温度センサー。 - 前記第三薄膜トランジスターは第三列選択トランジスターと第三行選択トランジスター
とを含み、
前記第四薄膜トランジスターは第四列選択トランジスターと第四行選択トランジスター
とを含み、
前記第三列選択トランジスターと前記第四列選択トランジスターとは前記列選択回路に
て制御され、
前記第三行選択トランジスターと前記第四行選択トランジスターとは前記行選択回路に
て制御される事を特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の温度センサー。 - 更に、奇数列線と、偶数列線と、前記行選択回路にて選択される行線とを備え、
前記第三行選択トランジスターと前記第四行選択トランジスターとは前記計測セルに配
置され、
前記第三行選択トランジスターのドレインは前記第一薄膜トランジスターのソースに接
続し、前記第三行選択トランジスターのソースは前記奇数列線に接続し、前記第三行選択
トランジスターのゲートは前記行線に接続し、
前記第四行選択トランジスターのドレインは前記第二薄膜トランジスターのソースに接
続し、前記第四行選択トランジスターのソースは前記偶数列線に接続し、前記第四行選択
トランジスターのゲートは前記行線に接続する事を特徴とする請求項8に記載の温度セン
サー。 - 更に、前記列選択回路にて選択される列線を備え、
前記第三列選択トランジスターのゲートと前記第四列選択トランジスターのゲートとは
前記列線に接続され、
前記第三列選択トランジスターのドレインは前記奇数列線に接続され、
前記第四列選択トランジスターのドレインは前記偶数列線に接続さる事を特徴とする請求
項9に記載の温度センサー。
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