JP5773128B2 - Method for producing refractory filler - Google Patents
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Description
本発明は、耐火性フィラーの製造方法に関し、特にプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰ）、有機ＥＬディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ（以下、ＦＥＤ）、蛍光表示管（以下、ＶＦＤ）等の表示装置の封着材料、圧電振動子パッケージ、ＩＣパッケージ等の電子部品の封着材料に用いる耐火性フィラーの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a refractory filler, and in particular, sealing of display devices such as a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP), an organic EL display, a field emission display (hereinafter referred to as FED), and a fluorescent display tube (hereinafter referred to as VFD). The present invention relates to a method for producing a refractory filler used as a sealing material for electronic parts such as materials, piezoelectric vibrator packages, and IC packages.
封着材料として、ガラス粉末と耐火性フィラーを含む複合粉末材料が用いられている。この封着材料は、樹脂系の接着剤に比べ、化学的耐久性や耐熱性に優れており、また気密性の確保に適している。 As a sealing material, a composite powder material containing glass powder and a refractory filler is used. This sealing material is excellent in chemical durability and heat resistance as compared with a resin-based adhesive, and is suitable for ensuring airtightness.
従来、ガラス粉末として、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３系ガラスが用いられていた（特許文献１等参照）。しかし、環境的観点から、ガラス組成からＰｂＯを除くことが要求されており、Ｂｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３系ガラスが開発されるに到っている。特許文献２等によると、Ｂｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３系ガラスは、低融点であり、且つＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３系ガラスと同様の化学的耐久性を有している。 Conventionally, PbO—B 2 O 3 -based glass has been used as the glass powder (see Patent Document 1, etc.). However, from the environmental viewpoint, it is required to remove PbO from the glass composition, and Bi 2 O 3 —B 2 O 3 -based glass has been developed. According to Patent Document 2 and the like, Bi 2 O 3 —B 2 O 3 based glass has a low melting point and has the same chemical durability as PbO—B 2 O 3 based glass.
耐火性フィラーを用いると、熱膨張係数の低下や機械的強度の向上を図ることができる。従来、耐火性フィラーとして、低膨張のチタン酸鉛等が使用されてきた。しかし、ガラス粉末と同様にして、耐火性フィラーの組成からＰｂＯを除くことが要求されている。このため、耐火性フィラーとして、ウイレマイト、コーディエライト、二酸化スズ、β−ユークリプタイト、ムライト、シリカ、β−石英固溶体、チタン酸アルミ、ジルコン等が検討されている。その中でもウイレマイトは、低膨張であり、且つＢｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３系ガラスと適合性が良好である（封着時にＢｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３系ガラスを失透させ難い）ため、注目されている(特許文献３、非特許文献１参照)。 When a refractory filler is used, the thermal expansion coefficient can be lowered and the mechanical strength can be improved. Conventionally, low expansion lead titanate has been used as a refractory filler. However, it is required to remove PbO from the composition of the refractory filler in the same manner as the glass powder. For this reason, willemite, cordierite, tin dioxide, β-eucryptite, mullite, silica, β-quartz solid solution, aluminum titanate, zircon and the like have been studied as refractory fillers. Among these, willemite has low expansion and good compatibility with Bi 2 O 3 —B 2 O 3 glass (it is difficult to devitrify Bi 2 O 3 —B 2 O 3 glass during sealing). Therefore, it attracts attention (see Patent Document 3 and Non-Patent Document 1).
ウイレマイト等の耐火性フィラーは、一般的に固相反応法で作製される。固相反応法でウイレマイトを作製する場合、固相反応を完了させるために、融点(約１５１０℃；非特許文献１参照)付近の温度、具体的には１４４０℃以上で原料バッチを長時間焼成する必要がある。このため、焼成時に焼成物の融着が発生し易く、結果として、焼成物の粉砕効率が大幅に低下し、耐火性フィラーの製造コストが高騰してしまう。一方、焼成温度が低いと、原料の一部が未反応になり易い。 Refractory fillers such as willemite are generally produced by a solid phase reaction method. When producing willemite by the solid phase reaction method, in order to complete the solid phase reaction, the raw material batch is fired for a long time at a temperature near the melting point (about 1510 ° C .; see Non-Patent Document 1), specifically at 1440 ° C. or higher. There is a need to. For this reason, fusion | bonding of a baked product is easy to generate | occur | produce at the time of baking, As a result, the grinding | pulverization efficiency of a baked product falls significantly and the manufacturing cost of a refractory filler will rise. On the other hand, if the firing temperature is low, part of the raw material tends to be unreacted.
上記事情に鑑み、本発明は、製造コストを低廉化するとともに、原料の一部が未反応になる事態を防止し得る耐火性フィラーの製造方法を創案することを技術的課題とする。 In view of the above circumstances, an object of the present invention is to create a method for producing a refractory filler capable of reducing the production cost and preventing a situation where a part of the raw material becomes unreacted.
本発明者等は、鋭意努力の結果、原料バッチを融解した後、得られた融液を冷却することにより、上記技術的課題を解決できることを見出し、本発明として、提案するものである。すなわち、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、原料バッチを融解した後、得られた融液を冷却することにより、主結晶（最も析出量が多い結晶）相として、ウイレマイトを析出させることを特徴とする。 As a result of intensive efforts, the present inventors have found that the above technical problem can be solved by melting the raw material batch and then cooling the obtained melt, and propose the present invention. That is, the method for producing a refractory filler according to the present invention is to deposit Willemite as a main crystal (crystal with the largest amount of precipitation) phase by melting the raw material batch and then cooling the obtained melt. Features.
本発明の耐火性フィラーの製造方法は、原料バッチを融解することを特徴とする。このようにすれば、原料バッチの反応時間を短縮できるため、耐火性フィラーの製造コストを低廉化することができる。また、このようにすれば、未反応原料が発生し難いため、耐火性フィラーの組成を均一化し易くなる。 The method for producing a refractory filler according to the present invention is characterized by melting a raw material batch. In this way, since the reaction time of the raw material batch can be shortened, the manufacturing cost of the refractory filler can be reduced. Moreover, since it is hard to generate | occur | produce an unreacted raw material in this way, it becomes easy to make the composition of a refractory filler uniform.
また、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、融液を冷却することを特徴とする。このようにすれば、冷却時に結晶を析出させることが可能になり、耐火性フィラーの製造コストを低廉化することができる。 Moreover, the manufacturing method of the refractory filler of this invention is characterized by cooling a melt. In this way, it becomes possible to precipitate crystals during cooling, and the manufacturing cost of the refractory filler can be reduced.
さらに、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、主結晶として、ウイレマイトを析出させることを特徴とする。このようにすれば、熱膨張係数を低下させる効果が大きくなるため、封着部位等が熱応力により破損する事態を防止し易くなる。なお、所定の原料バッチを用いると、冷却時に、主結晶相として、ウイレマイト等を析出させることが可能になる。 Furthermore, the method for producing a refractory filler of the present invention is characterized in that willemite is precipitated as a main crystal. In this way, the effect of lowering the thermal expansion coefficient is increased, so that it is easy to prevent a situation where the sealing part or the like is damaged due to thermal stress. In addition, when a predetermined raw material batch is used, it becomes possible to deposit willemite or the like as the main crystal phase during cooling.
耐火性フィラーの結晶化度が低い場合には、冷却後に、８００℃以上の熱処理工程を設けて、耐火性フィラーの結晶化度を高めることも可能である。しかし、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、冷却時に十分な結晶を析出させることにより、そのような熱処理工程を省略することが好ましい。このようにすれば、耐火性フィラーの製造コストを低廉化することができる。 When the crystallinity of the refractory filler is low, it is possible to increase the crystallinity of the refractory filler by providing a heat treatment step at 800 ° C. or higher after cooling. However, the method for producing a refractory filler according to the present invention preferably omits such a heat treatment step by allowing sufficient crystals to precipitate during cooling. If it does in this way, the manufacturing cost of a refractory filler can be reduced.
第二に、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、成形ローラー間に流し出すことにより、融液を冷却することが好ましい。このようにすれば、フィルム形状に成形できるため、耐火性フィラーを細粒化し易くなり、また耐火性フィラーの粒度調整も容易になり、結果として、耐火性フィラーの製造コストを低廉化し易くなる。そして、冷却時にウイレマイト結晶を析出させることも可能である。 2ndly, it is preferable that the manufacturing method of the refractory filler of this invention cools a melt by pouring between shaping | molding rollers. In this way, since the film can be formed into a film shape, the refractory filler can be easily made finer and the particle size of the refractory filler can be easily adjusted. As a result, the manufacturing cost of the refractory filler can be easily reduced. And it is also possible to precipitate a willemite crystal at the time of cooling.
第三に、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、水中に流し出すことにより、融液を冷却することが好ましい。このようにすれば、冷却時に破砕形状に成形され、且つ成形物に多数のクラックが入るため、耐火性フィラーを細粒化し易くなり、また耐火性フィラーの粒度調整も容易になり、結果として、耐火性フィラーの製造コストを低廉化し易くなる。そして、冷却時にウイレマイト結晶を析出させることも可能である。 Thirdly, it is preferable that the manufacturing method of the refractory filler of this invention cools a melt by pouring in water. In this way, it is molded into a crushed shape during cooling, and a large number of cracks are formed in the molded product, so that the refractory filler is easily finely divided, and the particle size adjustment of the refractory filler is also facilitated. It becomes easy to reduce the manufacturing cost of the refractory filler. And it is also possible to precipitate a willemite crystal at the time of cooling.
第四に、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、耐火性フィラーが、組成として、モル％で、ＺｎＯ ５０〜８０％、ＳｉＯ２ １０〜４０％、Ａｌ２Ｏ３ ０〜１０％を含有するように、原料バッチを調製することが好ましい。このようにすれば、冷却時に、主結晶相として、ウイレマイト等が析出し易くなるため、耐火性フィラーの製造コストを低廉化し易くなる。 Fourth, the production method of the refractory filler of the present invention, the refractory filler is a composition, in mol%, containing 50 to 80% ZnO, SiO 2 10 to 40%, the Al 2 O 3 0% It is preferable to prepare a raw material batch. If it does in this way, since it will become easy to precipitate willemite etc. as a main crystal phase at the time of cooling, it will become easy to reduce the manufacturing cost of a refractory filler.
第五に、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、原料バッチの平均粒子径Ｄ５０が２０μｍ未満であることが好ましい。このようにすれば、原料の密度差に起因した原料の未溶解や融液の不均質化を防止し易くなる。ここで、「平均粒子径Ｄ５０」は、レーザ回折法で測定した値を指し、レーザ回折法で測定した際の体積基準の累積粒度分布曲線において、その積算量が粒子の小さい方から累積して５０％である粒径を表す。 Fifth, the production method of the refractory filler of the present invention preferably has an average particle diameter D 50 of the raw batch is less than 20 [mu] m. In this way, it becomes easy to prevent undissolved raw materials and non-homogeneous melt due to the density difference of the raw materials. Here, the “average particle diameter D 50 ” refers to a value measured by the laser diffraction method, and in the volume-based cumulative particle size distribution curve measured by the laser diffraction method, the accumulated amount is accumulated from the smaller particle. Represents a particle size of 50%.
第六に、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、原料バッチの最大粒子径Ｄｍａｘが１００μｍ未満であることが好ましい。このようにすれば、原料の密度差に起因した原料の未溶解や融液の不均質化を防止し易くなる。ここで、「最大粒子径Ｄｍａｘ」は、レーザ回折法で測定した値を指し、レーザ回折法で測定した際の体積基準の累積粒度分布曲線において、その積算量が粒子の小さい方から累積して９９％である粒径を表す。 Sixth, in the method for producing a refractory filler of the present invention, it is preferable that the maximum particle diameter D max of the raw material batch is less than 100 μm. In this way, it becomes easy to prevent undissolved raw materials and non-homogeneous melt due to the density difference of the raw materials. Here, the “maximum particle diameter D max ” indicates a value measured by the laser diffraction method, and in the cumulative particle size distribution curve based on the volume when measured by the laser diffraction method, the accumulated amount is accumulated from the smaller particle. Represents a particle size of 99%.
第七に、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、主結晶相として、ウイレマイト及びガーナイトを析出させることが好ましい。このようにすれば、主結晶相がウイレマイトのみの場合よりも、機械的強度を向上させる効果が大きくなるため、封着部位等の破損を防止し易くなって、表示装置等の気密性を維持し易くなる。 Seventh, the method for producing a refractory filler of the present invention preferably deposits willemite and garnite as the main crystal phase. In this way, since the effect of improving the mechanical strength is greater than when the main crystal phase is only willemite, it becomes easier to prevent damage to the sealing site and the like, and the airtightness of the display device and the like is maintained. It becomes easy to do.
第八に、本発明の耐火性フィラーの製造方法は、ウイレマイトとガーナイトの割合が、モル比で、１００：０〜７０：３０の範囲内であることが好ましい。 Eighth, in the method for producing a refractory filler of the present invention, the ratio of willemite and garnite is preferably in the range of 100: 0 to 70:30 in terms of molar ratio.
第九に、本発明の耐火性フィラーは、上記の方法で製造されていることを特徴とする。 Ninthly, the refractory filler of the present invention is manufactured by the above method.
第十に、本発明の耐火性フィラーは、主結晶として、ウイレマイトが析出している耐火性フィラーであって、原料バッチを融解した後、得られた融液を冷却することで作製されてなることを特徴とする。 Tenth, the refractory filler of the present invention is a refractory filler in which willemite is precipitated as a main crystal, and is prepared by melting a raw material batch and then cooling the obtained melt. It is characterized by that.
第十一に、本発明の封着材料は、ガラス粉末と耐火性フィラーを含む封着材料において、耐火性フィラーの全部又は一部が、上記の耐火性フィラーであることを特徴とする。 Eleventh, the sealing material of the present invention is characterized in that in the sealing material containing glass powder and a refractory filler, all or part of the refractory filler is the above-mentioned refractory filler.
本発明の耐火性フィラーの製造方法において、融液の冷却方法として、種々の方法を採用することができる。例えば、成形ローラー間に流し出す方法、水中に流し出す方法等が好適である。前者の方法によれば、フィルム形状に成形できるため、成形物を粉砕し易くなり、結果として、耐火性フィラーを細粒化し易くなり、また耐火性フィラーの粒度調整も容易になる。そして、冷却時にウイレマイト結晶を析出させることも可能である。後者の方法によれば、冷却時に破砕形状に成形され、且つ成形物に多数のクラックが入るため、成形物を粉砕し易くなり、結果として、耐火性フィラーを細粒化し易くなり、また耐火性フィラーの粒度調整も容易になる。そして、冷却時にウイレマイト結晶を析出させることも可能である。 In the method for producing a refractory filler of the present invention, various methods can be adopted as a method for cooling the melt. For example, a method of pouring between molding rollers, a method of pouring into water, and the like are suitable. According to the former method, since it can be formed into a film shape, the molded product can be easily pulverized. As a result, the refractory filler can be easily finely divided, and the particle size of the refractory filler can be easily adjusted. And it is also possible to precipitate a willemite crystal at the time of cooling. According to the latter method, the molded product is formed into a crushed shape upon cooling, and a large number of cracks are formed in the molded product. As a result, the molded product can be easily pulverized, and as a result, the refractory filler can be easily refined and fire resistant. It becomes easy to adjust the particle size of the filler. And it is also possible to precipitate a willemite crystal at the time of cooling.
本発明の耐火性フィラーの製造方法は、耐火性フィラーが、モル％で、ＺｎＯ ６０〜７９．９％（好ましくは６３〜７０％）、ＳｉＯ２ ２０〜３９．９％（好ましくは２８〜３５％）、Ａｌ２Ｏ３ ０〜１０％を含有するように原料バッチを調製することが好ましい。原料バッチのバッチ組成も、モル％で、ＺｎＯ ６０〜７９．９％（好ましくは６３〜７０％）、ＳｉＯ２ ２０〜３９．９％（好ましくは２８〜３５％）、Ａｌ２Ｏ３ ０〜１０％を含有することが好ましい。ＺｎＯ及びＳｉＯ２は、結晶の構成成分である。Ａｌ２Ｏ３は、結晶の構成成分であり、且つ少量の添加により、融液の融点を低下させる成分である。なお、主結晶相として、ガーナイトを析出させる場合、Ａｌ２Ｏ３の含有量は０．１モル％以上、１モル％以上、特に３モル％以上が好ましい。Ａｌ２Ｏ３の含有量が０．１モル％より少ないと、ガーナイトが析出し難くなり、また融液の融点を低下させる効果が乏しくなる。一方、Ａｌ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、成形物がガラス化し易くなるため、ウイレマイトを析出させることが困難になり、また融液の成分バランスが損なわれて、逆に融液の融点が上昇し易くなり、原料バッチを融解し難くなる。 In the method for producing a refractory filler of the present invention, the refractory filler is mol%, ZnO 60 to 79.9% (preferably 63 to 70%), SiO 2 20 to 39.9% (preferably 28 to 35). %), Al 2 O 3 is preferably prepared so as to contain 0 to 10%. Also batch composition of the raw batch, in mol%, ZnO 60-79.9% (preferably 63~70%), SiO 2 20~39.9% ( preferably 28~35%), Al 2 O 3 0~ It is preferable to contain 10%. ZnO and SiO 2 are constituents of the crystal. Al 2 O 3 is a component of the crystal and is a component that lowers the melting point of the melt when added in a small amount. When garnite is precipitated as the main crystal phase, the content of Al 2 O 3 is preferably 0.1 mol% or more, 1 mol% or more, particularly 3 mol% or more. If the content of Al 2 O 3 is less than 0.1 mol%, garnite is difficult to precipitate, and the effect of lowering the melting point of the melt is poor. On the other hand, when the content of Al 2 O 3 is too large, the molded product is easily vitrified, so that it is difficult to deposit willemite, and the component balance of the melt is impaired, conversely, the melting point of the melt. Tends to rise, making it difficult to melt the raw material batch.
本発明の耐火性フィラーの製造方法は、実質的にＰｂＯを含有しない原料バッチを用いることが好ましい。このようにすれば、近年の環境的要請を満たすことができる。ここで、「実質的にＰｂＯを含有しない」とは、ＰｂＯの含有量が１０００ｐｐｍ（質量）以下の場合を指す。 It is preferable to use the raw material batch which does not contain PbO substantially in the manufacturing method of the refractory filler of this invention. In this way, environmental demands in recent years can be satisfied. Here, “substantially does not contain PbO” refers to a case where the content of PbO is 1000 ppm (mass) or less.
本発明の耐火性フィラーの製造方法は、原料バッチの平均粒子径Ｄ５０が２０μｍ未満であることが好ましい。本発明の耐火性フィラーの作製に際し、ＺｎＯ原料とＳｉＯ２原料を用いると、原料間の密度差が大きくなる。この場合、原料バッチの平均粒子径Ｄ５０が大き過ぎると、原料間の密度差に起因して、ＺｎＯの沈殿やＳｉＯ２の浮遊物が生じ易くなるため、均質な融液を得難くなり、結果として、耐火性フィラーの組成が不均一になり易い。なお、ＺｎＯ原料の密度は５．６ｇ／ｃｍ３であり、ＳｉＯ２原料の密度は２．６ｇ／ｃｍ３である。 Method for producing a refractory filler of the present invention preferably has an average particle diameter D 50 of the raw batch is less than 20 [mu] m. When the ZnO raw material and the SiO 2 raw material are used in the production of the refractory filler of the present invention, the density difference between the raw materials becomes large. In this case, when the average particle diameter D 50 of the raw batch is too large, due to the density difference between the raw material, since the suspended solids precipitated and SiO 2 of ZnO is likely to occur, it difficult to obtain a homogeneous melt, As a result, the composition of the refractory filler tends to be non-uniform. The density of the ZnO raw material is 5.6 g / cm 3 and the density of the SiO 2 raw material is 2.6 g / cm 3 .
本発明の耐火性フィラーの製造方法は、原料バッチの最大粒子径Ｄｍａｘが１００μｍ未満であることが好ましい。上記の通り、本発明の耐火性フィラーの作製に際し、ＺｎＯ原料とＳｉＯ２原料を用いると、原料間の密度差が大きくなる。この場合、原料バッチの最大粒子径Ｄｍａｘが大き過ぎると、原料間の密度差に起因して、ＺｎＯの沈殿やＳｉＯ２の浮遊物が生じ易くなるため、均質な融液を得難くなり、結果として、耐火性フィラーの組成が不均一になり易い。 In the method for producing a refractory filler of the present invention, the maximum particle diameter Dmax of the raw material batch is preferably less than 100 μm. As described above, when the ZnO raw material and the SiO 2 raw material are used in the production of the refractory filler of the present invention, the density difference between the raw materials increases. In this case, if the maximum particle diameter Dmax of the raw material batch is too large, it becomes difficult to obtain a homogeneous melt because ZnO precipitation or SiO 2 suspended matter is likely to occur due to the density difference between the raw materials. As a result, the composition of the refractory filler tends to be non-uniform.
本発明の耐火性フィラーの製造方法は、主結晶相として、ウイレマイト及びガーナイトを析出させることが好ましい。同一粒子中にウイレマイト及びガーナイトを析出させた場合、主結晶相がウイレマイトのみの場合よりも、機械的強度を向上させる効果が大きくなる。その結果、封着部位等の破損を防止し易くなって、表示装置等の気密性を維持し易くなる。また、ウイレマイトの析出により、熱膨張係数を低下させる効果も的確に享受することができる。 In the method for producing a refractory filler of the present invention, it is preferable to deposit willemite and garnite as the main crystal phase. When willemite and garnite are precipitated in the same particle, the effect of improving the mechanical strength is greater than when the main crystal phase is only willemite. As a result, it becomes easy to prevent damage to the sealing part and the like, and it becomes easy to maintain the airtightness of the display device and the like. Moreover, the effect of lowering the thermal expansion coefficient can also be enjoyed accurately due to the precipitation of willemite.
本発明の耐火性フィラーの製造方法において、ウイレマイトとガーナイトの析出割合をモル比でウイレマイト：ガーナイト＝９９：１〜７０：３０、９５：５〜８０：２０、特に９５：５〜９０：１０に調整することが好ましい。ガーナイトの割合が少ないと、機械的強度を高める効果が乏しくなる。一方、ガーナイトの割合が多過ぎると、熱膨張係数を低下させる効果が乏しくなる。 In the method for producing a refractory filler according to the present invention, the precipitation ratio of willemite and garnite is a ratio of willemite: garnite = 99: 1 to 70:30, 95: 5 to 80:20, particularly 95: 5 to 90:10. It is preferable to adjust. When the ratio of garnite is small, the effect of increasing the mechanical strength becomes poor. On the other hand, if the proportion of garnite is too large, the effect of reducing the thermal expansion coefficient becomes poor.
本発明の耐火性フィラーの製造方法は、平均粒子径Ｄ５０が２０μｍ以下、特に２〜１５μｍになるように、成形物を粉砕、分級する工程を有することが好ましい。このようにすれば、封着厚みを狭小化し易くなる。なお、耐火性フィラーによる効果を的確に享受するために、耐火性フィラーの平均粒子径Ｄ５０は０．５μｍ以上が好ましい。 The method of manufacturing a refractory filler of the present invention has an average particle diameter D 50 of 20μm or less, especially so that 2 to 15 [mu] m, the molding was crushed, it is preferable to have a step of classifying. If it does in this way, it will become easy to narrow down sealing thickness. In order to accurately receive the effect of the refractory filler, the average particle diameter D 50 of the refractory filler is preferably at least 0.5 [mu] m.
本発明の耐火性フィラーの製造方法は、最大粒子径Ｄｍａｘが１００μｍ以下、特に１０〜７５μｍになるように、成形物を粉砕、分級する工程を有することが好ましい。このようにすれば、グレーズ面を平滑化し易くなるとともに、封着厚みを狭小化し易くなる。 The method for producing a refractory filler of the present invention preferably includes a step of pulverizing and classifying the molded product so that the maximum particle diameter Dmax is 100 μm or less, particularly 10 to 75 μm. In this way, the glaze surface can be easily smoothed and the sealing thickness can be easily reduced.
粉砕方法（装置）として、ボールミル、ジョークラッシャー、ジェットミル、ディスクミル、スペクトロミル、グラインダー、ミキサーミル等が利用可能であるが、ランニングコスト及び粉砕効率の観点から、ボールミルが好ましい。 A ball mill, jaw crusher, jet mill, disc mill, spectro mill, grinder, mixer mill and the like can be used as the pulverization method (apparatus), but the ball mill is preferable from the viewpoint of running cost and pulverization efficiency.
本発明の耐火性フィラーは、上記の方法で製造されていることを特徴とする。また、本発明の耐火性フィラーは、上記の理由により、実質的にＰｂＯを含有しないことが好ましい。 The refractory filler of the present invention is manufactured by the above method. Moreover, it is preferable that the refractory filler of this invention does not contain PbO substantially for the above-mentioned reason.
本発明の耐火性フィラーは、ガラス粉末と複合化し、封着材料として用いることが好ましい。すなわち、本発明の封着材料は、ガラス粉末と耐火性フィラーを含む封着材料において、耐火性フィラーの全部又は一部が、上記の方法で製造された耐火性フィラーであることを特徴とする。封着材料中の耐火性フィラーの含有量は０．１〜７０体積％、１５〜５０体積％、特に２０〜４０体積％が好ましい。耐火性フィラーの含有量が７０体積％より多いと、ガラス粉末の含有量が相対的に少なくなるため、封着材料の流動性が低下し、結果として、封着強度が低下し易くなる。一方、耐火性フィラーの含有量が０．１体積％より少ないと、耐火性フィラーによる効果が乏しくなる。なお、更に、上記方法で作製した耐火性フィラー以外にも、耐火性フィラーとして、コーディエライト、ジルコン、β−ユークリプタイト、石英ガラス、アルミナ、ムライト、アルミナ−シリカ系セラミックスから選ばれる一種又は二種以上を含んでもよい。これらの耐火性フィラーは、熱膨張係数の調整、流動性の調整、及び機械的強度の向上の観点から、有用である。また、これらの耐火性フィラーの含有量は、合量で０〜３０体積％、特に０〜１０体積％が好ましい。 The refractory filler of the present invention is preferably combined with glass powder and used as a sealing material. That is, the sealing material of the present invention is characterized in that, in a sealing material containing glass powder and a refractory filler, all or part of the refractory filler is a refractory filler produced by the above method. . The content of the refractory filler in the sealing material is preferably 0.1 to 70% by volume, 15 to 50% by volume, and particularly preferably 20 to 40% by volume. When the content of the refractory filler is more than 70% by volume, the content of the glass powder is relatively reduced, so that the fluidity of the sealing material is lowered, and as a result, the sealing strength is easily lowered. On the other hand, when the content of the refractory filler is less than 0.1% by volume, the effect of the refractory filler becomes poor. In addition to the refractory filler produced by the above method, as the refractory filler, one selected from cordierite, zircon, β-eucryptite, quartz glass, alumina, mullite, and alumina-silica ceramics or Two or more kinds may be included. These refractory fillers are useful from the viewpoints of adjusting the thermal expansion coefficient, adjusting the fluidity, and improving the mechanical strength. Further, the total content of these refractory fillers is preferably 0 to 30% by volume, particularly preferably 0 to 10% by volume.
ガラス粉末として、種々のガラス粉末を用いることができる。例えば、Ｂｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ系ガラス、Ｖ２Ｏ５−Ｐ２Ｏ５系ガラス、ＳｎＯ−Ｐ２Ｏ５系ガラスが低融点特性の点で好適であり、Ｂｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ系ガラスが熱的安定性、耐水性の点で特に好ましい。ここで、「〜系ガラス」とは、明示の成分を必須成分として含有し、且つ明示の成分の合量が３０モル％以上、好ましくは４０モル％以上、より好ましくは５０モル％以上のガラスを指す。 Various glass powders can be used as the glass powder. For example, Bi 2 O 3 —B 2 O 3 —ZnO-based glass, V 2 O 5 —P 2 O 5 -based glass, and SnO—P 2 O 5 -based glass are suitable in terms of low melting point characteristics, and Bi 2 O 3- B 2 O 3 —ZnO-based glass is particularly preferable in terms of thermal stability and water resistance. Here, “to glass” contains an explicit component as an essential component, and the total amount of the explicit component is 30 mol% or more, preferably 40 mol% or more, more preferably 50 mol% or more. Point to.
ガラス粉末の平均粒子径Ｄ５０は１５μｍ未満、０．５〜１０μｍ、特に１〜５μｍが好ましい。ガラス粉末の平均粒子径Ｄ５０が小さい程、ガラス粉末の軟化点が低下する。 The average particle diameter D50 of the glass powder is preferably less than 15 μm, 0.5 to 10 μm, and particularly preferably 1 to 5 μm. As the average particle diameter D 50 of the glass powder is small, the softening point of the glass powder is lowered.
本発明の封着材料は、粉末状態で使用に供してもよいが、ビークルと均一に混練し、ペースト化すると取り扱い易くなり、好ましい。ビークルは、通常、溶媒と樹脂を含む。樹脂は、ペーストの粘性を調整する目的で添加される。また、必要に応じて、界面活性剤、増粘剤等を添加することもできる。作製されたペーストは、ディスペンサーやスクリーン印刷機等の塗布機を用いて、被封着物の表面に塗布される。 The sealing material of the present invention may be used in a powder state, but is preferably kneaded uniformly with a vehicle and made into a paste for easy handling. A vehicle usually includes a solvent and a resin. The resin is added for the purpose of adjusting the viscosity of the paste. Moreover, surfactant, a thickener, etc. can also be added as needed. The produced paste is applied to the surface of an object to be sealed using an applicator such as a dispenser or a screen printer.
樹脂としては、アクリル酸エステル（アクリル樹脂）、エチルセルロース、ポリエチレングリコール誘導体、ニトロセルロース、ポリメチルスチレン、ポリエチレンカーボネート、メタクリル酸エステル等が使用可能である。特に、アクリル酸エステル、ニトロセルロースは、熱分解性が良好であるため、好ましい。 As the resin, acrylic acid ester (acrylic resin), ethyl cellulose, polyethylene glycol derivative, nitrocellulose, polymethylstyrene, polyethylene carbonate, methacrylic acid ester and the like can be used. In particular, acrylic acid esters and nitrocellulose are preferable because they have good thermal decomposability.
溶媒としては、Ｎ、Ｎ’−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、α−ターピネオール、高級アルコール、γ−ブチルラクトン（γ−ＢＬ）、テトラリン、ブチルカルビトールアセテート、酢酸エチル、酢酸イソアミル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ベンジルアルコール、トルエン、３−メトキシ−３−メチルブタノール、水、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレンカーボネート、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等が使用可能である。特に、α−ターピネオールは、高粘性であり、樹脂等の溶解性も良好であるため、好ましい。 As the solvent, N, N′-dimethylformamide (DMF), α-terpineol, higher alcohol, γ-butyllactone (γ-BL), tetralin, butyl carbitol acetate, ethyl acetate, isoamyl acetate, diethylene glycol monoethyl ether, Diethylene glycol monoethyl ether acetate, benzyl alcohol, toluene, 3-methoxy-3-methylbutanol, water, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether , Tripropylene glycol monobutyl ether, propylene carbonate, dimethyl sulfoxide (DMSO), N Methyl-2-pyrrolidone and the like can be used. In particular, α-terpineol is preferable because it is highly viscous and has good solubility in resins and the like.
本発明の封着材料は、所定形状に焼結し、タブレット化して用いることが好ましい。ＰＤＰ等の排気管の封着には、リング状に成型加工されたタブレット（プレスフリット・ガラス焼結体・ガラス成形体）が使用されている。タブレットには、排気管を挿入するための挿入孔が形成されており、この挿入孔に排気管を挿入し、排気管の先端部をパネルの排気孔の位置に合わせ、クリップ等で固定される。その後、二次焼成工程（封着工程）でタブレットを軟化させることにより、排気管がパネルに取り付けられる。本発明の封着材料をタブレットに加工すれば、排気管の取り付けに際して、排気設備への接続が容易になり、また排気管の傾きを低減でき、更にはＰＤＰ等の発光能力を維持しつつ、気密信頼性が保たれるように取り付け易くなる。 The sealing material of the present invention is preferably sintered into a predetermined shape and used as a tablet. Tablets (press frit, glass sintered body, glass molded body) molded into a ring shape are used for sealing exhaust pipes such as PDPs. The tablet has an insertion hole for inserting the exhaust pipe. The exhaust pipe is inserted into the insertion hole, and the tip of the exhaust pipe is aligned with the position of the exhaust hole of the panel and fixed with a clip or the like. . Then, an exhaust pipe is attached to a panel by softening a tablet by a secondary baking process (sealing process). If the sealing material of the present invention is processed into a tablet, when the exhaust pipe is attached, it becomes easy to connect to the exhaust equipment, the inclination of the exhaust pipe can be reduced, and further, while maintaining the light emission capability such as PDP, It becomes easy to install so that airtight reliability is maintained.
タブレットは、複数回の熱処理により作製される。まず、封着材料に樹脂や溶剤を添加し、スラリーを形成する。その後、このスラリーをスプレードライヤー等の造粒装置に投入し、顆粒を作製する。その際、顆粒は、溶剤が揮発する温度（１００〜２００℃程度）で乾燥される。さらに、作製された顆粒は、所定の寸法に設計された金型に投入された後、リング状に乾式プレス成型され、プレス体が作製される。次に、ベルト炉等の熱処理炉にて、このプレス体に残存する樹脂を分解揮発させた後、封着材料の軟化点程度の温度で焼結する。このようにして、所定形状のタブレットを作製することができる。また、焼結回数を複数回としてもよい。このようにすれば、タブレットの強度が向上し、タブレットの欠損、破壊等を防止し易くなる。 The tablet is produced by a plurality of heat treatments. First, a resin or solvent is added to the sealing material to form a slurry. Thereafter, this slurry is put into a granulator such as a spray dryer to produce granules. At that time, the granules are dried at a temperature at which the solvent volatilizes (about 100 to 200 ° C.). Further, the produced granules are put into a mold designed to have a predetermined size, and then dry press-molded into a ring shape to produce a pressed body. Next, the resin remaining in the press body is decomposed and volatilized in a heat treatment furnace such as a belt furnace, and then sintered at a temperature about the softening point of the sealing material. In this way, a tablet having a predetermined shape can be produced. Also, the number of times of sintering may be multiple. In this way, the strength of the tablet is improved and it is easy to prevent the tablet from being broken or broken.
本発明の封着材料は、タブレット化した上で、更に拡径された排気管の先端部に取り付けてタブレット一体型排気管として用いることが好ましい。このようにすれば、排気孔を起点にして、排気管とタブレットの位置合わせが不要になり、排気管の取り付け作業を簡略化することができる。 The sealing material of the present invention is preferably used as a tablet-integrated exhaust pipe by making it into a tablet and attaching it to the tip of the exhaust pipe further expanded in diameter. In this way, it is not necessary to align the exhaust pipe and the tablet with the exhaust hole as a starting point, and the work of attaching the exhaust pipe can be simplified.
タブレット一体型排気管の作製に当たり、まず排気管の先端部にタブレットを接触させた状態で熱処理し、予めタブレットを排気管の先端部に接着しておく必要がある。この場合、治具で排気管を固定し、この状態の排気管にタブレットを挿入し熱処理する方法が好ましい。排気管を固定する治具は、タブレットが融着しない材質、例えばカーボン治具等が好ましい。また、排気管とタブレットの接着は、封着材料の軟化点付近で短時間、例えば５〜１０分程度行えばよい。 In producing the tablet-integrated exhaust pipe, it is necessary to first heat-treat the tablet in contact with the distal end portion of the exhaust pipe and bond the tablet to the distal end portion of the exhaust pipe in advance. In this case, it is preferable to fix the exhaust pipe with a jig, insert a tablet into the exhaust pipe in this state, and perform heat treatment. The jig for fixing the exhaust pipe is preferably made of a material to which the tablet is not fused, such as a carbon jig. Moreover, what is necessary is just to perform adhesion | attachment of an exhaust pipe and a tablet for a short time, for example, about 5 to 10 minutes, near the softening point of a sealing material.
排気管として、アルカリ金属酸化物を所定量含有させたＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３系ガラスが好適であり、特に日本電気硝子株式会社製ＦＥ−２が好適である。この排気管は、熱膨張係数が８５×１０−７／℃、耐熱温度が５５０℃であり、寸法が、例えば外径５ｍｍ、内径３．５ｍｍである。また、排気管の先端部を拡径化すれば、自立安定性を高めることができる。その場合、排気管の先端部は、フレア形状又はフランジ形状が好ましい。排気管の先端部を拡径化する方法として、種々の方法を採用することができる。特に、排気管の先端部を回転させながらガスバーナーを用いて加熱し、数種類の治具を用いて所定の形状に加工する方法が量産性に優れるため好ましい。図１は、この構成のタブレット一体型排気管の一例を示している。つまり、図１は、タブレット一体型排気管の断面図であり、排気管１の先端部が拡径化されており、排気管のパネル側の先端部にタブレット２が接着されている。 As the exhaust pipe, SiO 2 -Al 2 O 3 -B 2 O 3 based glass and the alkali metal oxide is contained a predetermined amount is suitable, it is preferred particularly Nippon Electric Glass Co., Ltd. FE-2. This exhaust pipe has a thermal expansion coefficient of 85 × 10 −7 / ° C., a heat resistant temperature of 550 ° C., and has dimensions of, for example, an outer diameter of 5 mm and an inner diameter of 3.5 mm. Moreover, if the diameter of the tip of the exhaust pipe is increased, the self-supporting stability can be improved. In that case, the flare shape or the flange shape is preferable for the tip of the exhaust pipe. Various methods can be adopted as a method for expanding the diameter of the tip of the exhaust pipe. In particular, a method of heating using a gas burner while rotating the tip of the exhaust pipe and processing it into a predetermined shape using several kinds of jigs is preferable because it is excellent in mass productivity. FIG. 1 shows an example of a tablet-integrated exhaust pipe having this configuration. That is, FIG. 1 is a cross-sectional view of the tablet-integrated exhaust pipe, in which the tip of the exhaust pipe 1 is enlarged in diameter, and the tablet 2 is bonded to the tip of the exhaust pipe on the panel side.
タブレット一体型排気管として、拡径された排気管の先端部にタブレットと、高融点タブレットとが取り付けられており、且つタブレットを拡径された排気管の先端部側に取り付け、高融点タブレットをタブレットよりも後端部側に取り付けた構造が好ましい。この構成を採用すれば、パネル等に排気管を取り付ける際にパネル等と接触する面積が、排気管だけの場合よりも大きくなるため、パネルに対して垂直に取り付け易くなる。また、タブレットを排気管に固着させる際、タブレットと治具の間に高融点タブレットを配置できるため、特殊な治具が不要になり、結果として、タブレット一体型排気管の製造工程を簡略化することができる。 As a tablet-integrated exhaust pipe, a tablet and a high melting point tablet are attached to the tip of the expanded exhaust pipe, and the tablet is attached to the tip of the enlarged exhaust pipe, A structure attached to the rear end side of the tablet is preferable. By adopting this configuration, when the exhaust pipe is attached to the panel or the like, the area in contact with the panel or the like becomes larger than in the case of the exhaust pipe alone, so that it becomes easy to attach the panel vertically to the panel. Also, when fixing the tablet to the exhaust pipe, a high melting point tablet can be placed between the tablet and the jig, eliminating the need for a special jig and, as a result, simplifying the manufacturing process of the tablet-integrated exhaust pipe be able to.
上記のタブレット一体型排気管において、タブレットが排気管の先端部の外周面に接着した構成が好ましく、タブレットが排気管の先端部の外周面のみに接着し、排気管の先端部の先端面、すなわちパネル等と接する面に接着していない構成が更に好ましい。このようにすれば、真空排気工程でタブレットの構成成分が排気孔へ流れ込む事態を防止し易くなる。また、高融点タブレットについては、排気管に直接接着せず、タブレットを介して排気管に固定すれば、二次焼成工程で高融点タブレット部分をクリップで固定した状態で排気管を加圧封着できるため、好ましい。図２は、この構成のタブレット一体型排気管の一例を示している。つまり、図２は、タブレット一体型排気管の断面図であり、排気管１の先端部が拡径化されており、排気管１のフランジ部分１ａの外周面側の先端部にタブレット２が接着している。一方、高融点タブレット３は排気管１の外周面側に接着していない。また、タブレット２は、フランジ部分１ａの先端部側に取り付けられており、高融点タブレット３がタブレット２よりもフランジ部分１ａの後端部側に取り付けられている。 In the above-described tablet-integrated exhaust pipe, it is preferable that the tablet is bonded to the outer peripheral surface of the distal end portion of the exhaust pipe, the tablet is bonded only to the outer peripheral surface of the distal end portion of the exhaust pipe, In other words, a configuration in which the surface is not bonded to the panel or the like is more preferable. If it does in this way, it will become easy to prevent the situation where the component of a tablet flows into an exhaust hole in a vacuum exhaust process. For high melting point tablets, if they are fixed directly to the exhaust pipe via the tablet instead of directly adhering to the exhaust pipe, the high melting point tablet part is fixed with a clip in the secondary firing process, and the exhaust pipe is pressure sealed. This is preferable because it is possible. FIG. 2 shows an example of the tablet-integrated exhaust pipe having this configuration. That is, FIG. 2 is a cross-sectional view of the tablet-integrated exhaust pipe, in which the distal end portion of the exhaust pipe 1 is enlarged, and the tablet 2 is bonded to the distal end portion on the outer peripheral surface side of the flange portion 1a of the exhaust pipe 1. doing. On the other hand, the high melting point tablet 3 is not bonded to the outer peripheral surface side of the exhaust pipe 1. The tablet 2 is attached to the front end side of the flange portion 1 a, and the high melting point tablet 3 is attached to the rear end portion side of the flange portion 1 a than the tablet 2.
高融点タブレットとして、日本電気硝子株式会社製ＳＴ−４、ＦＮ−１３が好ましい。高融点タブレットの作製方法は、材質がガラスの場合、上記のタブレットの作製方法と同様である。また、高融点タブレットとして、セラミックス、金属等を用いることもできる。 As high melting point tablets, ST-4 and FN-13 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. are preferable. The method for producing the high melting point tablet is the same as the method for producing the tablet when the material is glass. Moreover, ceramics, metal, etc. can also be used as a high melting point tablet.
以下、実施例に基づいて、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, based on an Example, this invention is demonstrated in detail.
表１は、本発明の実施例（試料Ｎｏ．１〜４）及び比較例（試料Ｎｏ．５、６）を示している。 Table 1 shows Examples (Sample Nos. 1 to 4) and Comparative Examples (Sample Nos. 5 and 6) of the present invention.
以下のようにして、試料Ｎｏ．１〜４を作製した。まず表中の組成になるように、各種酸化物の原料を調合し、原料バッチを作製した。次に、原料バッチを白金坩堝に入れて、表中の融解温度で３時間融解した後、得られた融液を成形ローラー（双ローラー）間に流し出すことにより、冷却し、且つフィルム形状に成形した。続いて、得られたフィルムをボールミルで粉砕した後、２５０メッシュパスの篩で分級し、平均粒子径Ｄ５０１０μｍの耐火性フィラーを得た。表中では、この方法を「溶融法」と記載した。 Sample no. 1-4 were produced. First, raw materials for various oxides were prepared so that the compositions in the table were obtained, and raw material batches were prepared. Next, the raw material batch is put in a platinum crucible and melted at the melting temperature in the table for 3 hours, and then the obtained melt is cooled between casting rollers (double rollers) to be cooled and formed into a film shape. Molded. Subsequently, the obtained film was pulverized by a ball mill and then classified by a 250 mesh pass sieve to obtain a refractory filler having an average particle diameter D 50 of 10 μm. In the table, this method is described as “melting method”.
以下のようにして、試料Ｎｏ．５、６を作製した。まず表中の組成になるように、各種酸化物の原料を調合した後、ボールミルを用いて、１時間粉砕混合し、原料バッチを作製した。次に、原料バッチをアルミナ坩堝に入れて、表中の焼成温度で２０時間焼成した。最後に、得られた焼成物を解砕後、ボールミルで粉砕した上で、２５０メッシュパスの篩で分級し、平均粒子径Ｄ５０１２μｍの耐火性フィラーを得た。 Sample no. 5 and 6 were produced. First, raw materials of various oxides were prepared so as to have the composition shown in the table, and then pulverized and mixed for 1 hour using a ball mill to prepare a raw material batch. Next, the raw material batch was put in an alumina crucible and fired at the firing temperature in the table for 20 hours. Finally, the obtained fired product was pulverized, pulverized with a ball mill, and classified with a 250 mesh pass sieve to obtain a refractory filler having an average particle diameter D 50 of 12 μm.
各試料につき、主結晶相及び未反応の原料（主にＺｎＯ）の有無をＸＲＤにより評価した。その結果を表１に示す。 For each sample, the presence or absence of the main crystal phase and unreacted raw material (mainly ZnO) was evaluated by XRD. The results are shown in Table 1.
表１から明らかなように、試料Ｎｏ．１〜４は、主結晶相として、ウイレマイト又はウイレマイト・ガーナイトが析出しており、また未反応原料が残っていなかった。一方、試料Ｎｏ．５は、固相反応法で作製されているため、未反応原料が残っていた。また、試料Ｎｏ．６は、主結晶相として、ウイレマイトが析出していないため、熱膨張係数を低下させる効果が乏しいと考えられる。 As is clear from Table 1, sample No. In 1-4, as the main crystal phase, willemite or willemite garnite was precipitated, and no unreacted raw material remained. On the other hand, sample No. Since No. 5 was produced by a solid phase reaction method, unreacted raw materials remained. Sample No. No. 6 is considered to have a poor effect of reducing the thermal expansion coefficient because no willemite is precipitated as the main crystal phase.
表２は、本発明の実施例（試料Ｎｏ．７〜１０）を示している。 Table 2 shows Examples (Sample Nos. 7 to 10) of the present invention.
以下のようにして、試料Ｎｏ．７〜１０を作製した。まず表中に記載の組成になるように、各種酸化物の原料を調合し、原料バッチを作製した。次に、原料バッチを白金坩堝に入れて、表中の融解温度で３時間融解した後、得られた融液を水中に流し出すことにより、冷却し、破砕形状に成形した。続いて、得られた水砕物をボールミルで粉砕した後、２５０メッシュパスの篩で分級し、平均粒子径Ｄ５０１０μｍの耐火性フィラーを得た。表中では、この方法を「溶融法」と記載した。 Sample no. 7-10 were produced. First, raw materials for various oxides were prepared so as to have the composition described in the table, and raw material batches were prepared. Next, the raw material batch was put into a platinum crucible and melted at the melting temperature in the table for 3 hours, and then the obtained melt was cooled into water to form a crushed shape. Subsequently, the obtained ground pulverized product was pulverized with a ball mill and then classified with a 250 mesh pass sieve to obtain a refractory filler having an average particle size D 50 of 10 μm. In the table, this method is described as “melting method”.
各試料につき、主結晶相及び未反応の原料（主にＺｎＯ）の有無をＸＲＤにより評価した。その結果を表２に示す。 For each sample, the presence or absence of the main crystal phase and unreacted raw material (mainly ZnO) was evaluated by XRD. The results are shown in Table 2.
表２から明らかなように、試料Ｎｏ．７〜１０は、主結晶相として、ウイレマイト又はウイレマイト・ガーナイトが析出しており、また未反応原料が残っていなかった。 As apparent from Table 2, the sample No. In Nos. 7 to 10, as the main crystal phase, willemite or willemite garnite was precipitated, and no unreacted raw material remained.
本発明の耐火性フィラーの製造方法は、（１）ＰＤＰ、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ、ＶＦＤ等の表示装置の封着材料、（２）ＰＤＰ、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ、ＶＦＤ等の表示装置の被覆材料、（３）圧電振動子パッケージ、ＩＣパッケージ等の電子部品の封着材料、（４）磁気ヘッドのコア同士又はコアとスライダーの封着材料、（５）シリコン太陽電池、色素増感型太陽電池等の太陽電池の封着材料、（６）有機ＥＬ照明等の照明装置の封着材料に用いる耐火性フィラーの製造方法として好適である。 The method for producing a refractory filler according to the present invention includes (1) sealing materials for display devices such as PDP, organic EL display, FED, and VFD, and (2) coating of display devices such as PDP, organic EL display, FED, and VFD. Materials, (3) sealing materials for electronic components such as piezoelectric vibrator packages, IC packages, (4) sealing materials for cores of magnetic heads or cores and sliders, (5) silicon solar cells, dye-sensitized solar It is suitable as a method for producing a fireproof filler used for sealing materials for solar cells such as batteries, and (6) sealing materials for lighting devices such as organic EL lighting.
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