JP5766348B2 - Tubular heater - Google Patents

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    • H05B2203/021Heaters specially adapted for heating liquids

Description

本発明は、流体加熱用ヒーター等に用いられる管状ヒーターに関するものである。   The present invention relates to a tubular heater used for a fluid heating heater or the like.

管状ヒーターとして、図11に示すように、流体の流路902を備えた管状のセラミック基体901と、管状のセラミック基体901の内部に埋設され、流路902の周囲にほぼ均等に配置された線状の抵抗発熱体903とを有するものが提案されている(特許文献1を参照)。   As the tubular heater, as shown in FIG. 11, a tubular ceramic base 901 having a fluid flow path 902, and a wire embedded in the tubular ceramic base 901 and arranged substantially evenly around the flow path 902. Have been proposed (see Patent Document 1).

しかしながら、図11に示す管状ヒーターでは、流路902の断面形状が上流側から下流側にかけて一定であって、流路902を流れる流体への伝熱効率が高いとは言えないことから、被加熱物である流体を所定の温度まで加熱する際に、流体が暖まりにくく、流体が所定の温度になるまでの加熱時間が比較的長くかかるという問題がある。   However, in the tubular heater shown in FIG. 11, the cross-sectional shape of the channel 902 is constant from the upstream side to the downstream side, and it cannot be said that the heat transfer efficiency to the fluid flowing through the channel 902 is high. When the fluid is heated to a predetermined temperature, there is a problem that the fluid is hardly warmed up and it takes a relatively long heating time until the fluid reaches the predetermined temperature.

そこで、図12に示すように、流路902として、径の異なる複数の流路部が接続された構成とすることで、流体の流速を減速させることによって流体の滞留時間を増やし、伝熱効率を高めることも提案されている(特許文献1を参照)。   Therefore, as shown in FIG. 12, the flow path 902 has a configuration in which a plurality of flow path portions having different diameters are connected, so that the fluid residence time is increased by reducing the flow rate of the fluid, and the heat transfer efficiency is increased. It has also been proposed to increase it (see Patent Document 1).

しかしながら、図12に示す管状ヒーターによっても、流体が液体の場合には流路径の大きな領域に沸騰時の気泡等が溜まったり、流体が停滞したりする等して、伝熱効率の向上が十分ではない。   However, even with the tubular heater shown in FIG. 12, when the fluid is a liquid, the heat transfer efficiency is not sufficiently improved, for example, bubbles at the time of boiling accumulate in an area with a large flow path diameter or the fluid stagnates. Absent.

一方、ヒーターを用いて被加熱物となる流体を加熱する際に、必要時のみ電源を供給し、より短時間で所望の温度に到達させるといったランニングタイムの短縮要求が高まってきている。ここで、ランニングタイムの短縮を達成させる手段のひとつとして、予め目的とした加熱温度以下で予備加熱をしておき、必要時に流体を必要温度まで加熱し、所望の温度までの到達時間を短くするといった手段が挙げられる。しかし、近年の省エネ要求に鑑みれば、必要時のみ電源を供給し、より効率よく加熱するようにできるのが望ましい。   On the other hand, when a fluid to be heated is heated using a heater, there is an increasing demand for shortening the running time by supplying power only when necessary and reaching a desired temperature in a shorter time. Here, as one of the means for shortening the running time, preheating is performed in advance below the intended heating temperature, and the fluid is heated to the necessary temperature when necessary, thereby shortening the arrival time to the desired temperature. The means are mentioned. However, in view of recent energy saving requirements, it is desirable to supply power only when necessary and to heat more efficiently.

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、伝熱効率が良く、流体を予定の温度まで短時間で昇温することができる管状ヒーターを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a tubular heater that has good heat transfer efficiency and can raise the temperature of a fluid to a predetermined temperature in a short time.

特開2004−185929号公報JP 2004-185929 A

本発明の管状ヒーターは、内側に流体の流路となる空間を有する管状の絶縁基体と、該絶縁基体の内部に埋設された、発熱部を有する抵抗体とを含み、前記絶縁基体の内壁は、前記流路の長さ方向に垂直な面の断面積が上流側から下流側にかけてほぼ一定のまま前記流路の長さ方向に垂直な面の形状が変化する変化領域を有する。   The tubular heater of the present invention includes a tubular insulating base having a space serving as a fluid flow path inside, and a resistor having a heat generating portion embedded in the insulating base, and the inner wall of the insulating base is And a change region in which the shape of the surface perpendicular to the length direction of the flow path changes while the cross-sectional area of the surface perpendicular to the length direction of the flow path remains substantially constant from the upstream side to the downstream side.

本発明の管状ヒーターの実施の形態の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of embodiment of the tubular heater of this invention. 図1に示す管状ヒーターの左側面図である。It is a left view of the tubular heater shown in FIG. 図1に示す管状ヒーターの右側面図である。It is a right view of the tubular heater shown in FIG. 図1に示す管状ヒーターの抵抗体の例を示す概略透視図である。It is a schematic perspective view which shows the example of the resistor of the tubular heater shown in FIG. 図4に示すA−A線における横断面図である。It is a cross-sectional view in the AA line shown in FIG. 図4に示すB−B線における横断面図である。It is a cross-sectional view in the BB line shown in FIG. 本発明の管状ヒーターの実施の形態の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of embodiment of the tubular heater of this invention. 本発明の管状ヒーターの実施の形態の他の例を示す概略透視図である。It is a schematic perspective view which shows the other example of embodiment of the tubular heater of this invention. 本発明の管状ヒーターの実施の形態の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of embodiment of the tubular heater of this invention. 図9に示す管状ヒーターの概略縦断面図である。It is a schematic longitudinal cross-sectional view of the tubular heater shown in FIG. 従来のヒーターの一例を示す概略透視図である。It is a schematic perspective view which shows an example of the conventional heater. 従来のヒーターの他の例を示す概略透視図である。It is a schematic perspective view which shows the other example of the conventional heater.

以下、本発明の管状ヒーターについて実施の形態の例について図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, the example of an embodiment about the tubular heater of the present invention is explained in detail with reference to drawings.

図1は本発明の管状ヒーターの実施の形態の一例を示す概略透視図であり、図2は図1に示す管状ヒーターの左側面図、図3は図1に示す管状ヒーターの右側面図である。本実施形態の管状ヒーターは、内側に流体の流路2となる空間を有する管状の絶縁基体1と、絶縁基体1の内部に埋設された、発熱部7を有する抵抗体6とを含み、絶縁基体1の内壁は、流路2の断面積が上流側から下流側にかけてほぼ一定のまま流路2の断面形状が変化する変化領域10を有することを特徴とするものである。   1 is a schematic perspective view showing an example of an embodiment of the tubular heater of the present invention, FIG. 2 is a left side view of the tubular heater shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a right side view of the tubular heater shown in FIG. is there. The tubular heater of the present embodiment includes a tubular insulating base 1 having a space serving as a fluid flow path 2 on the inside, and a resistor 6 having a heat generating portion 7 embedded in the insulating base 1 and insulated. The inner wall of the substrate 1 has a change region 10 in which the cross-sectional shape of the flow path 2 changes while the cross-sectional area of the flow path 2 is substantially constant from the upstream side to the downstream side.

絶縁基体1としては、例えば酸化物セラミックス、窒化物セラミックスまたは炭化物セラミックス等の絶縁性を備えたセラミックスを用いることができる。具体的には、アルミナ質セラミックス、窒化珪素質セラミックス、窒化アルミニウム質セラミックスまたは炭化珪素質セラミックス等を用いることができる。中でも、耐酸化性の点からは、アルミナ質セラミックスを用いることが好ましい。また、被加熱物である流体への熱伝導性の点からは、高純度のアルミナ質セラミックスや窒化アルミニウム質セラミックスを用いてもよい。   As the insulating substrate 1, for example, ceramics having insulation properties such as oxide ceramics, nitride ceramics or carbide ceramics can be used. Specifically, alumina ceramics, silicon nitride ceramics, aluminum nitride ceramics, silicon carbide ceramics, or the like can be used. Among these, alumina ceramics is preferably used from the viewpoint of oxidation resistance. From the viewpoint of thermal conductivity to the fluid to be heated, high-purity alumina ceramics or aluminum nitride ceramics may be used.

絶縁基体1は管状に形成されていて、図4に示すように、内側には流体の流路2となる空間を有している。また、流路2を取り巻く管状の絶縁基体1の内部には、発熱部7を有する抵抗体6が埋設されている。   The insulating substrate 1 is formed in a tubular shape, and has a space serving as a fluid flow path 2 inside as shown in FIG. A resistor 6 having a heat generating portion 7 is embedded in the tubular insulating base 1 surrounding the flow path 2.

具体的には、絶縁基体1は厚みの薄い端部領域11と厚みの厚い中央領域12とを有していて、中央領域12の内部に抵抗体6が埋設されている。例えば、絶縁基体1の長さ(流路2の長さ)は40〜200mmで、厚みの薄い端部領域11の長さは0.5〜15mm、厚みの厚い中央領域12の長さは30〜190mmである。また、流路2の直径は、例えば4〜20mmである。このような形状であるのは後述する製造方法によって作製されることによるが、特にこの形状に限定されるものではない。   Specifically, the insulating base 1 has a thin end region 11 and a thick central region 12, and the resistor 6 is embedded in the central region 12. For example, the length of the insulating substrate 1 (length of the flow path 2) is 40 to 200 mm, the length of the thin end region 11 is 0.5 to 15 mm, and the length of the thick central region 12 is 30. ~ 190 mm. Moreover, the diameter of the flow path 2 is 4-20 mm, for example. This shape is produced by a manufacturing method described later, but is not particularly limited to this shape.

抵抗体6は、例えばタングステン、モリブデンまたはレニウム等の高融点金属を主成分とした導電体からなる。例えばスクリーン印刷法または転写法によって抵抗体6を形成する場合は、これらの高融点金属を主成分とする導電性ペーストが用いられる。   The resistor 6 is made of a conductor whose main component is a refractory metal such as tungsten, molybdenum or rhenium. For example, when the resistor 6 is formed by a screen printing method or a transfer method, a conductive paste mainly composed of these refractory metals is used.

ここで、図4に示すように、抵抗体6は加熱領域となる発熱部7と非加熱領域となる引き出し部8とを備えているのが好ましい。   Here, as shown in FIG. 4, it is preferable that the resistor 6 includes a heat generating portion 7 serving as a heating region and a drawing portion 8 serving as a non-heating region.

非加熱領域となる引き出し部8を設けることで、パッド5にろう付けや半田付け等の手段でリード端子4が接続される給電部3の温度上昇が抑制され、熱疲労によってクラックが発生したり加熱による酸化で接触不良が生じたりするのを抑制することができる。したがって、漏電や断線といった故障が抑制された、より長寿命で信頼性の高い管状ヒーターを提供することが可能になる。   By providing the lead-out portion 8 which is a non-heated region, the temperature increase of the power feeding portion 3 to which the lead terminal 4 is connected to the pad 5 by means such as brazing or soldering is suppressed, and cracks are generated due to thermal fatigue. It is possible to suppress contact failure due to oxidation caused by heating. Therefore, it is possible to provide a long-life and highly reliable tubular heater in which failures such as electric leakage and disconnection are suppressed.

給電部3の温度が50℃以下となるような低温で使用をする場合にはこの限りではないが、給電部3の接続信頼性を高めるためには、発熱部7と引き出し部8とを有する構成にすることがよい。なお、配線パターンの線幅や厚みを異ならせることで、発熱部7と引き出し部8とを明確に区別できる配線パターンとすることができる。   This is not limited to the case where the power supply unit 3 is used at a low temperature such that the temperature of the power supply unit 3 is 50 ° C. or lower. However, in order to increase the connection reliability of the power supply unit 3, the heat generation unit 7 and the lead-out unit 8 are provided. It is good to have a configuration. In addition, it can be set as the wiring pattern which can distinguish the heat-emitting part 7 and the drawer | drawing-out part 8 clearly by varying the line width and thickness of a wiring pattern.

また、発熱部7が絶縁基体1の一端側に設けられているとともに、抵抗体6の端部が発熱部7に対応する位置よりも絶縁基体1の他端側で絶縁基体1の表面に導出されていることが好ましい。このような構成であれば、抵抗体6の端部に接続される給電部3が温度上昇しにくくなるため、接触不良がなく安定した加熱が可能になるとともに、漏電や断線がない長寿命で信頼性の高い管状ヒーターとすることができる。   Further, the heat generating portion 7 is provided on one end side of the insulating base 1, and the end of the resistor 6 is led out to the surface of the insulating base 1 on the other end side of the insulating base 1 from the position corresponding to the heat generating portion 7. It is preferable that With such a configuration, the temperature of the power feeding unit 3 connected to the end of the resistor 6 is not easily increased, so that stable heating is possible without contact failure, and there is a long life with no leakage or disconnection. A tubular heater with high reliability can be obtained.

さらに、図4〜6に示すように、加熱領域を形成する発熱部7は、例えば管状の絶縁基体1の周方向にわたってほぼ均等な間隔に配置されている。また、抵抗体6は発熱部7の他に非加熱領域となる引き出し部8を有していて、引き出し部8も発熱部7と同様に周方向にわたってほぼ均等な間隔に配置されている。   Further, as shown in FIGS. 4 to 6, the heat generating portions 7 that form the heating region are arranged at almost equal intervals over the circumferential direction of the tubular insulating base 1, for example. In addition to the heat generating portion 7, the resistor 6 has a drawing portion 8 that is a non-heated region, and the drawing portion 8 is also arranged at substantially equal intervals in the circumferential direction like the heat generating portion 7.

これにより、均一な温度分布となり、ヒートショック割れが生じるといった不具合を低減させる効果がある。また、絶縁基体1を焼成する際に、焼結バランスが崩れてクラックが生じるといった不具合も低減させる効果がある。   Thereby, it has the effect of becoming a uniform temperature distribution and reducing the malfunction that a heat shock crack arises. Further, when firing the insulating substrate 1, there is an effect of reducing a problem that the sintering balance is lost and cracks are generated.

そして、絶縁基体1の内壁は、流路2の断面積が絶縁基体1の一端側から他端側にかけてほぼ一定のまま流路2の断面形状が変化する変化領域10を有している。本実施形態においては、絶縁基体1は中央領域12の一端から他端にかけて連続的に断面形状が変化している。すなわち、本実施形態においては、中央領域12の内壁の全体が変化領域10になっている。そのため、図2および図3に示すとおり、絶縁基体1の一端面の形状と他端面の形状とが異なる。なお、絶縁基体1に部分的に変化領域10が設けられていてもよい。   The inner wall of the insulating base 1 has a change region 10 in which the cross-sectional shape of the flow path 2 changes while the cross-sectional area of the flow path 2 is substantially constant from one end side to the other end side of the insulating base 1. In this embodiment, the cross-sectional shape of the insulating substrate 1 continuously changes from one end to the other end of the central region 12. That is, in the present embodiment, the entire inner wall of the central region 12 is the change region 10. Therefore, as shown in FIGS. 2 and 3, the shape of one end surface of the insulating base 1 is different from the shape of the other end surface. Note that the change region 10 may be partially provided in the insulating substrate 1.

ここで、変化領域10における断面形状が変化するとは、急激に変化していることではなく、緩やかに変化していることである。より具体的には、「断面形状が変化している」状態とは、以下の状態をいう。すなわち、図5に示すように、絶縁基体1の長さ方向に垂直な横断面のうちの1つの面において、内径が最大となる方向の軸をX軸とし、それと直角に交わる方向の軸をY軸として、X軸方向の長さをY軸方向の長さで割った値をR1とする。さらに、図6に示すように、絶縁基体1の長さ方向に垂直な横断面のうちの他の面において、先ほどのX軸方向の長さをY軸方向の長さで割った値をR2とする。このとき、R1の値とR2の値とが0.5%以上異なる場合には、「断面形状が変化している」と見なす。   Here, the change in the cross-sectional shape in the change region 10 does not change abruptly but changes gently. More specifically, the “cross-sectional shape is changing” state refers to the following state. That is, as shown in FIG. 5, in one surface of the cross section perpendicular to the length direction of the insulating base 1, the axis in the direction in which the inner diameter is maximum is the X axis, and the axis in the direction perpendicular to the axis is the axis. As the Y-axis, a value obtained by dividing the length in the X-axis direction by the length in the Y-axis direction is R1. Furthermore, as shown in FIG. 6, on the other surface of the cross section perpendicular to the length direction of the insulating base 1, the value obtained by dividing the length in the X-axis direction by the length in the Y-axis direction is R2. And At this time, when the value of R1 and the value of R2 differ by 0.5% or more, it is considered that “the cross-sectional shape has changed”.

このように絶縁基体1に変化領域10を設けることによって、流路2において気泡等の溜まりが発生することを抑制できる。また、流路2の内部を流れる流体(被加熱物)に乱流が発生し、流体に対する伝熱効率が良くなる。したがって、流体が暖まりやすく、短時間で目的の温度まで暖めることが可能となる。   Thus, by providing the change area | region 10 in the insulation base | substrate 1, it can suppress that a bubble etc. accumulate in the flow path 2. FIG. Moreover, a turbulent flow is generated in the fluid (subject to be heated) flowing in the flow path 2, and the heat transfer efficiency to the fluid is improved. Therefore, the fluid is easily warmed and can be warmed to the target temperature in a short time.

ここでいう、断面積がほぼ一定とは、断面積の平均値に対して±5%以下の面積の差の範囲内であることをいう。この構成によれば、流路2に凹凸が無くなめらかな変化であるため、流体が液体である場合において、液体が流れる際の気泡等の巻き込みが無くなり、伝熱効率が良くなる。   As used herein, the phrase “the cross-sectional area is substantially constant” means that the cross-sectional area is within a range of an area difference of ± 5% or less with respect to the average cross-sectional area. According to this configuration, since the flow path 2 has no irregularities and is a smooth change, when the fluid is a liquid, entrainment of bubbles or the like when the liquid flows is eliminated, and heat transfer efficiency is improved.

なお、断面形状の変化していること、および断面積が一定であることの確認には以下の方法を用いることができる。例えば、変化領域10を5mm間隔で輪切りにして、断面をMitsutoyo社製Measuring Microscopeを用いて、前述したR1およびR2ならびに断面積を測定すればよい。   The following method can be used to confirm that the cross-sectional shape is changing and that the cross-sectional area is constant. For example, the above-described R1 and R2 and the cross-sectional area may be measured by cutting the change region 10 at intervals of 5 mm and using the Measuring Microscope manufactured by Mitsutoyo.

また、図7に示すように、一端側の断面と他端側の断面とがそれぞれ楕円形状であるとともに、中央部において断面が円形状になっているような形状変化になっていてもよい。また、一端側の断面と他端側の断面とが円形状であるとともに、中央部において断面の形状が円形状から最も大きく変化しているような形状変化になっていてもよい。   Moreover, as shown in FIG. 7, while the cross section of the one end side and the cross section of the other end side are each elliptical shapes, it may be the shape change that the cross section is circular in the center part. Further, the cross section on the one end side and the cross section on the other end side may be circular, and the shape may be changed so that the cross section changes most greatly from the circular shape at the center.

変化領域10が所望の領域のみに設けられている場合としては、例えば図8に示すように、発熱部7が絶縁基体1の一端側に設けられているとともに、変化領域10が絶縁基体1の他端側に設けられているとよい。これにより、絶縁基体1の他端側から流体を流したときに、変化領域10において流体が乱流になった後に、発熱部7において流体を加熱することができる。これにより、流体を加熱しやすくすることができ、より短時間で目的の温度まで暖めることが可能となる。   In the case where the change region 10 is provided only in a desired region, for example, as shown in FIG. 8, the heat generating portion 7 is provided on one end side of the insulating base 1 and the change region 10 is provided on the insulating base 1. It may be provided on the other end side. Thereby, when the fluid is caused to flow from the other end side of the insulating base 1, the fluid can be heated in the heat generating portion 7 after the fluid becomes turbulent in the change region 10. Thereby, it is possible to easily heat the fluid, and it is possible to warm up to a target temperature in a shorter time.

絶縁基体1の内側に設けられた流路2に設けられた形状が変化する部分が多いほど、流路2内を通過する流体に与える乱流発生効果が大きくなり、より伝熱効率が良くなるという効果が得られる。   The more the portion where the shape provided in the flow path 2 provided inside the insulating substrate 1 changes, the greater the effect of generating turbulent flow on the fluid passing through the flow path 2 and the higher the heat transfer efficiency. An effect is obtained.

そこで、図9に示すように、変化領域10が複数ある構成であって、さらに絶縁基体1の一端側から他端側にかけて流路2の断面積がほぼ一定のまま流路2の断面形状が変化していることが好ましい。なお、図9は本発明の管状ヒーターの実施の形態の他の例を示す概略透視図であり、図10は図9に示す管状ヒーターの縦断面図である。   Therefore, as shown in FIG. 9, there is a configuration in which there are a plurality of change regions 10, and the cross-sectional shape of the flow path 2 is maintained while the cross-sectional area of the flow path 2 is substantially constant from one end side to the other end side of the insulating base 1. Preferably it has changed. 9 is a schematic perspective view showing another example of the embodiment of the tubular heater of the present invention, and FIG. 10 is a longitudinal sectional view of the tubular heater shown in FIG.

絶縁基体1の一端側から他端側の全域にかけて繰り返し断面形状を変化させた変化領域10を設けることで、流路2に設けられた形状が変化する部分がより多くなるため、流路2内を通過する流体に与える乱流発生効果がより大きくなり、より伝熱効率が良くなるという効果が得られるからである。   Since the change region 10 in which the cross-sectional shape is repeatedly changed from one end side to the other end side of the insulating base 1 is provided, there are more portions where the shape provided in the flow channel 2 changes. This is because the effect of generating turbulent flow on the fluid passing through the cylinder becomes larger and the heat transfer efficiency is improved.

なお、図1〜図10に示す管状ヒーターは、流路2の断面形状の変化に伴って絶縁基体1の外形も変化したものとなっているが、このような構成に限らず、絶縁基体1の外形は変化しないもの(縦断面で見て真っ直ぐな形状)であってもよい。   1 to 10, the outer shape of the insulating base 1 is changed in accordance with the change in the cross-sectional shape of the flow path 2, but the insulating base 1 is not limited to such a configuration. The outer shape may not change (a straight shape as viewed in the longitudinal section).

また、発熱部7が絶縁基体1の一端側に設けられているとともに、発熱部7に対応する領域に変化領域10が設けられていてもよい。この場合は、発熱部7において乱流を発生させることができるので、流路2中の温度が比較的高い部分で流体を加熱しやすくすることができる。   Further, the heat generating portion 7 may be provided on one end side of the insulating base 1, and the change region 10 may be provided in a region corresponding to the heat generating portion 7. In this case, since the turbulent flow can be generated in the heat generating portion 7, it is possible to easily heat the fluid in a portion where the temperature in the flow path 2 is relatively high.

次に、本実施の形態の管状ヒーターの製造方法について説明する。   Next, the manufacturing method of the tubular heater of this Embodiment is demonstrated.

ここでは、絶縁基体1がアルミナ質セラミックスからなる場合の例について説明する。   Here, an example in which the insulating substrate 1 is made of an alumina ceramic will be described.

まず、アルミナ(Al)を主成分とし、シリカ(SiO)、カルシア(CaO)、マグネシア(MgO)およびジルコニア(ZrO)が合計で10質量%以内になるように調製したアルミナ質セラミックグリーンシートを作製する。First, the alumina which has alumina (Al 2 O 3 ) as a main component and is prepared so that silica (SiO 2 ), calcia (CaO), magnesia (MgO) and zirconia (ZrO 2 ) are within 10 mass% in total. A ceramic green sheet is produced.

そして、このアルミナ質セラミックグリーンシートの表面に、抵抗体6となる所定のパターンを形成する。抵抗体6の形成方法としては、スクリーン印刷法、転写法、抵抗体埋設法が、あるいはその他の方法として金属箔を用いてエッチング法等によって形成する方法またはニクロム線をコイル状に形成して埋設する方法等があるが、スクリーン印刷法で形成することが、品質面での安定性や製造コストが抑えられるといった面から用いられやすい。また、抵抗体6は発熱部7と引き出し部8とからなるが、それぞれを別々な形成方法で形成してもよい。   A predetermined pattern to be the resistor 6 is formed on the surface of the alumina ceramic green sheet. As a method of forming the resistor 6, a screen printing method, a transfer method, a resistor embedding method, or as another method, a method of forming a metal foil by an etching method or the like, or a nichrome wire formed in a coil shape and embedded However, it is easy to use the screen printing method in terms of quality stability and manufacturing cost. Moreover, although the resistor 6 consists of the heat generating part 7 and the drawer | drawing-out part 8, you may form each with a separate formation method.

また、セラミックグリーンシートの抵抗体6を形成する面とは反対側の面に、パッド5を抵抗体6の形成と同様に所定のパターン形状で形成する。   Further, the pad 5 is formed in a predetermined pattern shape on the surface of the ceramic green sheet opposite to the surface on which the resistor 6 is formed in the same manner as the resistor 6 is formed.

また、セラミックグリーンシートには、抵抗体6とパッド5とを電気的に接続するための孔加工およびスルーホール導体9を形成するための導体ペーストの充填を行なう。   Moreover, the ceramic green sheet is filled with a conductor paste for forming a through hole conductor 9 and a through hole conductor 9 for electrically connecting the resistor 6 and the pad 5.

抵抗体6、パッド5およびスルーホール導体9は、例えばタングステン(W)、モリブデン(Mo)またはレニウム(Re)等の高融点金属を主成分とする導電性ペーストを用いることができる。   For the resistor 6, the pad 5, and the through-hole conductor 9, for example, a conductive paste whose main component is a refractory metal such as tungsten (W), molybdenum (Mo), or rhenium (Re) can be used.

一方、押し出し成型にて円筒状のアルミナ質セラミック成型体を成型する。   On the other hand, a cylindrical alumina ceramic molded body is formed by extrusion molding.

そして、この円筒状のアルミナ質セラミック成型体に前述のアルミナ質セラミックグリーンシートを巻き付け、同一の組成のアルミナ質セラミックスを分散させた密着液を塗布して密着させることで、絶縁基体1となるアルミナ質一体成型体を得ることができる。この一体成型体に30℃で80%RHの加湿状態にて種々の形状からなる型で荷重を加えて変形させた後、70℃の乾燥室にて乾燥させることで、断面積がほぼ均一なまま断面形状を変化させた変化領域10を有する一体成形体を形成することができる。   Then, the above alumina ceramic green sheet is wound around this cylindrical alumina ceramic molded body, and an adhesive liquid in which the alumina ceramic of the same composition is dispersed is applied and brought into close contact, whereby alumina serving as the insulating substrate 1 is obtained. A quality-integrated molded body can be obtained. The integral molded body is deformed by applying a load with a mold having various shapes in a humidified state of 80% RH at 30 ° C., and then dried in a drying chamber at 70 ° C., so that the cross-sectional area is substantially uniform. As a result, an integrally molded body having the change region 10 in which the cross-sectional shape is changed can be formed.

こうして得られた一体成型体を1500〜1600℃の還元雰囲気中(窒素雰囲気)で焼成することで、アルミナ質一体焼結体(絶縁基体1)を作製することができる。   By firing the integrally molded body thus obtained in a reducing atmosphere (nitrogen atmosphere) at 1500 to 1600 ° C., an alumina-based integrated sintered body (insulating base 1) can be produced.

次に、絶縁基体1に形成されたパッド5上に給電部3を形成時の下地となるめっきを施す。めっきは、ニッケルめっき、金めっき、スズめっき等が汎用的である。めっきを施す方法としては無電解めっきや電解めっき、バレルめっき等のめっき方法を目的に応じて選択するとよい。給電部3は端子やリードをろう付けで形成する方法や、縒り線を半田付けする方法で得られる。管状ヒーターの使用時の電流値を考慮し、太さや材質から選定するとよい。   Next, plating is applied on the pad 5 formed on the insulating substrate 1 as a base for forming the power feeding portion 3. As the plating, nickel plating, gold plating, tin plating and the like are generally used. As a plating method, a plating method such as electroless plating, electrolytic plating, or barrel plating may be selected according to the purpose. The power feeding unit 3 can be obtained by a method of forming terminals and leads by brazing or a method of soldering twisted wires. Considering the current value when using the tubular heater, it is better to select from the thickness and material.

以上の方法で本発明の管状ヒーターが得られる。   The tubular heater of the present invention is obtained by the above method.

Alを主成分とし、SiO、CaO、MgOおよびZrOが合計で10質量%以内になるように調整したアルミナ質セラミックグリーンシートを準備し、この表面にタングステンおよびモリブデンを主導電成分としてなる抵抗体用導電性ペーストをスクリーン印刷法にて印刷した。また、裏面にはタングステンを主導電成分としてなるパッド用導電性ペーストを同様にスクリーン印刷法にて印刷した。An alumina ceramic green sheet having Al 2 O 3 as a main component and adjusted so that SiO 2 , CaO, MgO and ZrO 2 are within 10 mass% in total is prepared, and tungsten and molybdenum are used as main conductive components on the surface. The resistor conductive paste was printed by a screen printing method. Also, a pad conductive paste having tungsten as a main conductive component was similarly printed on the back surface by a screen printing method.

具体的には、抵抗体は幅1mmの5往復の蛇行形状にて発熱部を形成し、その両端部に接続する幅3mmの引き出し部8を経て給電部の位置にて導出させた。   Specifically, the resistor formed a heat generating portion in a 5-reciprocating meandering shape with a width of 1 mm, and was led out at the position of the power feeding portion through a lead portion 8 with a width of 3 mm connected to both ends thereof.

引き出し部の端部にはφ0.4mmのスルーホールを形成し、タングステンを主導電成分としたペーストを注入することにより、パッドと抵抗体とを電気的に接続するスルーホール導体を形成した。ここで、スルーホール導体は5mm×6mmの四角形状のパッドの対角線上に4箇所設け、それぞれのスルーホール導体間の距離を1mm以上となるようにした。   A through hole having a diameter of 0.4 mm was formed at the end of the lead portion, and a paste having tungsten as a main conductive component was injected to form a through hole conductor that electrically connected the pad and the resistor. Here, four through-hole conductors were provided on the diagonal line of a 5 mm × 6 mm square pad so that the distance between each through-hole conductor was 1 mm or more.

次に、準備したアルミナ質セラミックグリーンシートの抵抗体用導電性ペースト形成側に、略同一組成からなるアルミナ質セラミックスを分散させた密着液を塗布し、別で準備した絶縁基体となる円筒状のアルミナ質セラミック成型体の周囲に密着して、アルミナ質一体成型体を作製した。絶縁基体となるアルミナ質セラミック成型体は押し出し成型によって作製し、乾燥したものである。具体的には、アルミナ質セラミック成型体を押し出し成型し、その成型体に30℃で80%RHの加湿状態にて種々の形状からなる型で荷重を加えて変形させた後、70℃の乾燥室にて乾燥させることで、断面積がほぼ均一なまま断面形状を変化させた変化領域を持った絶縁基体を得た。   Next, an adhesive liquid in which alumina ceramics having substantially the same composition are dispersed is applied to the side of the prepared alumina ceramic green sheet on which the conductive paste for resistor is formed, and a cylindrical shape serving as an insulating base prepared separately is applied. An alumina-based integral molded body was produced by closely contacting the periphery of the alumina-based ceramic molded body. The alumina ceramic molded body to be an insulating substrate is produced by extrusion molding and dried. Specifically, an alumina ceramic molded body is extruded, and the molded body is deformed by applying a load with a mold having various shapes in a humidified state of 80% RH at 30 ° C., followed by drying at 70 ° C. By drying in a chamber, an insulating substrate having a change region in which the cross-sectional shape was changed while the cross-sectional area was substantially uniform was obtained.

なお、絶縁基体の長さは90mmであり、厚みの厚い中央領域の長さは70mm、厚みの薄い端部領域の長さは中央領域の両端に10mmずつであった。また、絶縁基体の内径(流路の直径)は6.5mmで、中央領域の厚みは2.75mm、端部領域の厚みは2.25mmであった。   The length of the insulating base was 90 mm, the length of the thick central region was 70 mm, and the length of the thin end region was 10 mm at both ends of the central region. The inner diameter (diameter of the flow path) of the insulating substrate was 6.5 mm, the thickness of the central region was 2.75 mm, and the thickness of the end region was 2.25 mm.

ここで、作製した管状ヒーターのサンプルとして、まず図1に示す形態のアルミナ質一体成型体(試料1)を作製した。この管状ヒーターは、絶縁基体の一端側に発熱部が設けられているとともに、一端側の断面が円形状であって、他端側に向かうにつれて円形状から楕円形状に変化させたものである。   Here, as a sample of the produced tubular heater, an alumina-integrated molded body (sample 1) having the form shown in FIG. 1 was first produced. In this tubular heater, a heat generating portion is provided on one end side of the insulating base, the cross section on one end side is circular, and the shape is changed from a circular shape to an elliptical shape toward the other end side.

また、図7に示す形態のアルミナ質一体成型体(試料2)を作製した。この管状ヒーターは一端側の断面と他端側の断面とが楕円形状であるとともに、中央部において断面が円形状になっているような変化領域を有している。   Further, an alumina-based integral molded body (sample 2) having the form shown in FIG. 7 was produced. This tubular heater has an elliptical shape in cross section on one end side and a cross section on the other end side, and has a change region in which the cross section is circular in the center.

また、部分的に変化領域を設けた型を使用することで、図8に示す形態のアルミナ質一体成型体(試料3)を作製した。この管状ヒーターは、絶縁基体の一端側に発熱部が設けられているとともに、他端側にのみ変化領域を有している。   Further, by using a mold partially provided with a change region, an alumina-integrated molded body (sample 3) having a form shown in FIG. 8 was produced. This tubular heater is provided with a heat generating portion on one end side of the insulating base and has a change region only on the other end side.

また、加湿状態での荷重を加える際に全体的に変化領域を設けた型を使用することで、図9に示す形態のアルミナ質一体成型体(試料4)を作製した。   Further, by using a mold provided with a change region as a whole when applying a load in a humidified state, an alumina integrated molded body (sample 4) having a form shown in FIG. 9 was produced.

さらに、比較用の従来の構造として、流体の流通経路を押し出し加工で形成した後、内径加工で均一に加工し、一定の断面形状を有した形態のアルミナ質一体成型体(試料5)を作製した。   Furthermore, as a conventional structure for comparison, after the fluid flow path is formed by extrusion processing, it is uniformly processed by inner diameter processing to produce an alumina integrated molded body (sample 5) having a certain cross-sectional shape. did.

このようにして準備された各種アルミナ質一体成型体を1500〜1600℃の還元雰囲気中(窒素雰囲気)で焼成することで、アルミナ質一体焼結体を作製した。アルミナ質一体焼結体の表面には、前述のパッドを形成した。このパッドに無電解めっきにてニッケルめっきを施し、φ1.2mmのニッケルワイヤーを銀ろうにてろう付けし、評価用の管状ヒーターを作製した。   The various alumina-based molded bodies thus prepared were fired in a reducing atmosphere (nitrogen atmosphere) at 1500 to 1600 ° C. to produce an alumina-based integrated sintered body. The aforementioned pad was formed on the surface of the alumina integrated sintered body. The pad was subjected to nickel plating by electroless plating, and a φ1.2 mm nickel wire was brazed with silver brazing to produce a tubular heater for evaluation.

作製した管状ヒーターについて、流入させる水の温度5℃、流量500ml/minにて通過させ、この通過した水を一旦恒温水槽に入れてから再び入口側に戻して流入させることを繰り返して循環させて、作製されたいずれのセラミックヒーターにも45℃時のヒーター電力が1000Wとなる電力を与え、5リットルの水が45℃になるまでの時間を比較評価した。なお、水温の測定は、恒温水槽にKタイプ熱電対を槽内5カ所に設置して、その測温値の5カ所平均を加熱後の水温とすることで行なった。   About the produced tubular heater, the water to be introduced was passed at a temperature of 5 ° C. and a flow rate of 500 ml / min, and the water thus passed was once put into a constant temperature water tank and then returned to the inlet side again to be circulated repeatedly. Each of the fabricated ceramic heaters was given a power at which the heater power at 45 ° C. was 1000 W, and the time until 5 liters of water reached 45 ° C. was comparatively evaluated. The water temperature was measured by installing K-type thermocouples at five locations in the thermostatic water tank, and taking the average of the five temperature measurements as the water temperature after heating.

その結果、比較例である試料5の管状ヒーターでは、水温が45℃に到達するまでの時間が3分10秒かかった。   As a result, in the tubular heater of Sample 5 as a comparative example, it took 3 minutes and 10 seconds until the water temperature reached 45 ° C.

これに対し、本発明の実施例である試料1〜4の管状ヒーターでは、それぞれ2分30秒(試料1)、2分10秒(試料2)、1分40秒(試料3)および1分10秒(試料4)で、それぞれ5リットルの水を45℃に加熱することができた。   On the other hand, in the tubular heaters of Samples 1 to 4 which are examples of the present invention, 2 minutes and 30 seconds (Sample 1), 2 minutes and 10 seconds (Sample 2), 1 minute and 40 seconds (Sample 3), and 1 minute, respectively. In 10 seconds (Sample 4), 5 liters of water could be heated to 45 ° C each.

このように、試料1〜4の管状ヒーターは、比較例である試料5の管状ヒーターよりも伝熱効率が良くなり、被加熱物である流体を短時間で目的の温度まで暖めることができた。これは、絶縁基体の内部に設けられた流路の形状変化により、流体に乱流が発生し、伝熱効率が良くなったためであると思われる。   As described above, the tubular heaters of Samples 1 to 4 have higher heat transfer efficiency than the tubular heater of Sample 5 as a comparative example, and were able to warm the fluid to be heated to the target temperature in a short time. This is presumably because the turbulent flow is generated in the fluid due to the change in the shape of the flow path provided inside the insulating substrate, and the heat transfer efficiency is improved.

なお、本発明の管状ヒーターは、流体を流すことによって、上述した作用効果を得ることができるが、粉体を含む固体または気体を加熱する際にも用いることができる。   In addition, although the tubular heater of this invention can obtain the effect mentioned above by flowing a fluid, it can be used also when heating the solid or gas containing powder.

また、本発明の管状ヒーターの用途としては、温水洗浄便座などが挙げられる。   Moreover, a hot water washing toilet seat etc. are mentioned as a use of the tubular heater of this invention.

1:絶縁基体
2:流路
3:給電部
4:リード端子
5:パッド
6:抵抗体
7:発熱部
8:引き出し部
9:スルーホール導体
10:変化領域
1: Insulating substrate 2: Flow path 3: Power feeding part 4: Lead terminal 5: Pad 6: Resistor 7: Heat generating part 8: Leading part 9: Through-hole conductor 10: Change region

Claims (4)

内側に流体の流路となる空間を有する管状の絶縁基体と、該絶縁基体の内部に埋設された、発熱部を有する抵抗体とを含み、前記絶縁基体の内壁は、前記流路の長さ方向に垂直な面の断面積が上流側から下流側にかけてほぼ一定のまま前記流路の長さ方向に垂直な面の形状が変化する変化領域を有することを特徴とする管状ヒーター。   A tubular insulating base having a space to be a fluid flow path on the inside, and a resistor having a heat generating portion embedded in the insulating base, the inner wall of the insulating base being the length of the flow path A tubular heater having a change region in which the shape of the surface perpendicular to the length direction of the flow path changes while the cross-sectional area of the surface perpendicular to the direction is substantially constant from the upstream side to the downstream side. 前記発熱部が前記絶縁基体の一端側に設けられているとともに、前記変化領域が絶縁基体の他端側に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の管状ヒータ。   2. The tubular heater according to claim 1, wherein the heat generating portion is provided on one end side of the insulating base, and the change region is provided on the other end side of the insulating base. 前記発熱部が前記絶縁基体の一端側に設けられているとともに、前記抵抗体の端部が前記発熱部に対応する位置よりも前記絶縁基体の他端側で前記絶縁基体の表面に導出されていることを特徴とする請求項1に記載の管状ヒーター。   The heat generating portion is provided on one end side of the insulating base, and the end of the resistor is led to the surface of the insulating base on the other end side of the insulating base from a position corresponding to the heat generating portion. The tubular heater according to claim 1, wherein: 前記変化領域を複数有することを特徴とする請求項1に記載の管状ヒーター。   The tubular heater according to claim 1, comprising a plurality of the change regions.
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