JP5747092B2 - Physical quantity sensor - Google Patents

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Description

本発明は、シリコン基板から切り出すなどして形成された可動部の高さ方向への変位量を検知し、これにより、外部から作用する加速度などの物理量の測定を可能とした物理量センサに関する。   The present invention relates to a physical quantity sensor that detects the amount of displacement in the height direction of a movable part formed by cutting out from a silicon substrate and the like, thereby enabling measurement of a physical quantity such as acceleration acting from the outside.

例えば、物理量センサは、シリコン基板をエッチング処理して、高さ方向に変位可能に支持された可動部と、可動部の変位を検知するためのＺ方向検知部とを備える。   For example, the physical quantity sensor includes a movable portion that is supported so as to be displaceable in the height direction by etching a silicon substrate, and a Z-direction detection portion that detects displacement of the movable portion.

本出願人は、この種の物理量センサを過去において出願している（特許文献１〜３）。例えば特許文献１には可動部が高さ方向に変位すると、可動部の変位方向とは逆方向に脚部が突出する構成が開示されている。脚部は、前記可動部の高さ方向への変位量を規制する。   The present applicant has applied for this type of physical quantity sensor in the past (Patent Documents 1 to 3). For example, Patent Document 1 discloses a configuration in which when the movable portion is displaced in the height direction, the leg portion protrudes in the direction opposite to the displacement direction of the movable portion. The leg part regulates the amount of displacement of the movable part in the height direction.

国際公開第２０１０／１４０４６８号のパンフレットPamphlet of International Publication No. 2010/140468 国際公開第２０１０／１４０５７４号のパンフレットPamphlet of International Publication No. 2010/140574 国際公開第２０１０／００１９４７号のパンフレットPamphlet of International Publication No. 2010/001947

本発明者らは、従来の構成よりも検出感度を高めることができるとともに検出安定性を向上させるべく鋭意研究を重ねた。   The inventors of the present invention have made extensive studies to increase detection sensitivity and improve detection stability as compared with the conventional configuration.

したがって本発明は、上記知見から得られたものであり、特に高感度で検出安定性に優れた物理量センサを提供することを目的としている。   Therefore, the present invention has been obtained from the above knowledge, and an object of the present invention is to provide a physical quantity sensor having particularly high sensitivity and excellent detection stability.

本発明は、高さ方向に変位可能な可動部と、前記可動部の変位を検知するためのＺ方向検知部とを有して構成される物理量センサにおいて、
シリコン基板には、固定支持されるアンカ部、前記可動部、及び前記アンカ部と前記可動部とにばね部を介して回動自在に連結された支持部が夫々分離して形成されており、
前記シリコン基板の中央領域に前記可動部が配置され、前記可動部のＹ１−Ｙ２方向の両側に一対の第１のアンカ部が配置され、前記一対の第１のアンカ部に夫々、前記Ｙ１−Ｙ２方向に対して直交するＸ１−Ｘ２方向に延出する第１の支持部が回動自在に連結され、
前記一対の第１のアンカ部に対して前記Ｘ１−Ｘ２方向に並設された一対の第２のアンカ部が配置され、前記一対の第２のアンカ部に夫々、前記Ｘ１−Ｘ２方向に延出する第２の支持部が回動自在に連結されるとともに前記第１の支持部と並設されており、
各支持部には、前記支持部が回動して前記可動部が高さ方向に変位したときに前記可動部の変位方向に対し逆方向に変位する脚部が設けられており、
一対の前記第１の支持部に夫々設けられた第１の脚部は、前記第１のアンカ部からＸ１方向に向けて形成されており、一対の前記第２の支持部に夫々設けられた第２の脚部は、前記第２のアンカ部からＸ２方向に向けて形成されていることを特徴とするものである。The present invention relates to a physical quantity sensor configured to include a movable part that is displaceable in a height direction and a Z direction detection part for detecting the displacement of the movable part.
In the silicon substrate, an anchor part fixedly supported, the movable part, and a support part rotatably connected to the anchor part and the movable part via a spring part are separately formed,
The movable portion is disposed in a central region of the silicon substrate, a pair of first anchor portions are disposed on both sides of the movable portion in the Y1-Y2 direction, and the Y1- A first support portion extending in the X1-X2 direction orthogonal to the Y2 direction is rotatably connected,
A pair of second anchor portions arranged side by side in the X1-X2 direction with respect to the pair of first anchor portions is disposed, and each of the pair of second anchor portions extends in the X1-X2 direction. A second supporting portion to be pivotally connected and juxtaposed with the first supporting portion;
Each support portion is provided with a leg portion that is displaced in a direction opposite to the displacement direction of the movable portion when the support portion rotates and the movable portion is displaced in the height direction.
The first leg portions respectively provided on the pair of first support portions are formed in the X1 direction from the first anchor portion, and are respectively provided on the pair of second support portions. The second leg portion is formed from the second anchor portion toward the X2 direction.

本発明によれば、高さ方向への検出モードと、前記検出モード以外のモードとの固有振動数の差を大きくできる。また可動部が高さ方向に変位したときに、可動部の変位方向とは逆方向に変位して突出する脚部を設けており、脚部により可動部の変位を抑制できる。そして脚部が対向面に接触した状態では、脚部により可動部の四隅付近が支えられる形態となる。またシリコン基板の中央領域に可動部を形成し、可動部の側方に支持部を設けることで、可動部の面積を広くすることができる。これにより高感度で且つ検出安定性を得ることが可能となる。   According to the present invention, the difference in natural frequency between the detection mode in the height direction and a mode other than the detection mode can be increased. Further, when the movable portion is displaced in the height direction, a leg portion is provided that protrudes by being displaced in the direction opposite to the displacement direction of the movable portion, and the displacement of the movable portion can be suppressed by the leg portion. And in the state which the leg part contacted the opposing surface, it becomes a form which the four corner vicinity of a movable part is supported by a leg part. Further, by forming the movable part in the central region of the silicon substrate and providing the support part on the side of the movable part, the area of the movable part can be increased. This makes it possible to obtain high sensitivity and detection stability.

本発明では、前記第１のアンカ部と前記第２のアンカ部との間には、前記第１の支持部と前記第２の支持部との間を連結する連結ばねが設けられていることが好ましい。これにより可動部を高さ方向により安定して平行移動させることができ、検出安定性をより効果的に向上させることができる。   In the present invention, a connecting spring for connecting the first support portion and the second support portion is provided between the first anchor portion and the second anchor portion. Is preferred. Thereby, the movable part can be translated stably in the height direction, and the detection stability can be improved more effectively.

また本発明では、前記一対の第１の支持部は、前記可動部のＸ２側にて連結されて一体化しており、前記一対の前記第２の支持部は、前記可動部のＸ１側にて連結されて一体化していることが好ましい。これにより、一対の第１の支持部及び一対の前記第２の支持部を夫々、安定して回動させることができ、可動部を高さ方向により安定して平行移動させることができる。   In the present invention, the pair of first support portions are connected and integrated on the X2 side of the movable portion, and the pair of second support portions is on the X1 side of the movable portion. It is preferable that they are connected and integrated. Thereby, a pair of 1st support part and a pair of said 2nd support part can each be rotated stably, and a movable part can be translated stably in a height direction.

また本発明では、前記可動部のＹ１側では、前記第１の支持部が前記第２の支持部よりも外側に位置しており、前記可動部のＹ２側では、前記第２の支持部が前記第１の支持部よりも外側に位置していることが好ましい。   In the present invention, the first support portion is positioned outside the second support portion on the Y1 side of the movable portion, and the second support portion is positioned on the Y2 side of the movable portion. It is preferable that it is located outside the first support portion.

また本発明では、前記可動部内には、前記可動部のＸ１−Ｘ２方向への変位を検知するためのＸ方向検知部が形成されることが好ましい。これにより、可動部の高さ方向（Ｚ）への検知とＸ方向への検知の双方を行うことができる。また、可動部の高さ方向への振動性能を損なうことがなく、安定した検出精度を得ることが可能となる。また小型化を実現できる。   Moreover, in this invention, it is preferable that the X direction detection part for detecting the displacement to the X1-X2 direction of the said movable part is formed in the said movable part. Thereby, both the detection to the height direction (Z) of a movable part and the detection to a X direction can be performed. In addition, it is possible to obtain stable detection accuracy without impairing the vibration performance of the movable part in the height direction. Also, downsizing can be realized.

また本発明では、前記Ｘ方向検知部は、前記可動部と一体に形成されたＸ検知可動電極と、前記可動部と分離して形成されたＸ検知固定電極とを有し、前記Ｘ検知可動電極と前記Ｘ検知固定電極とが前記シリコン基板を加工して形成されたものであり、前記Ｘ検知可動電極及び前記Ｘ検知固定電極には夫々、Ｙ１−Ｙ２方向にて間隔を空けて対向する複数の電極子がＸ１−Ｘ２方向に列を成して構成されていることが好ましい。本発明では、Ｘ検知可動電極の端部からＺ方向検知部の固定電極方向に向けて平面方向に広がる電界を発生させることができる。このためＺ方向検知部にて発生する静電容量を、可動部内にＸ方向検知部を形成しない形態と、可動部内にＸ方向検知部を形成した形態とで大差なく制御でき、良好な高さ方向への検出感度を得ることができる。また本発明でのＸ方向検知部は面積変化方式であり、これによりＸ方向の変位に対する静電容量の変化の出力を良好な線形性を有した状態で得られるため、高い検出精度を得ることができ、さらに、Ｘ方向への有効検出範囲（ダイナミックレンジ）を広くできる。   In the present invention, the X direction detection unit includes an X detection movable electrode formed integrally with the movable unit, and an X detection fixed electrode formed separately from the movable unit. An electrode and the X detection fixed electrode are formed by processing the silicon substrate, and face the X detection movable electrode and the X detection fixed electrode with an interval in the Y1-Y2 direction, respectively. It is preferable that the plurality of electrode elements are arranged in a row in the X1-X2 direction. In the present invention, it is possible to generate an electric field that spreads in the plane direction from the end of the X detection movable electrode toward the fixed electrode of the Z direction detection unit. For this reason, the electrostatic capacity generated in the Z direction detection unit can be controlled with a large difference between the form in which the X direction detection part is not formed in the movable part and the form in which the X direction detection part is formed in the movable part. Detection sensitivity in the direction can be obtained. In addition, the X direction detection unit in the present invention is an area change method, so that the output of the change in capacitance with respect to the displacement in the X direction can be obtained with good linearity, so that high detection accuracy is obtained. Furthermore, the effective detection range (dynamic range) in the X direction can be widened.

本発明の構成によれば、高さ方向への検出モードと、前記検出モード以外のモードとの固有振動数の差を大きくできる。また可動部が高さ方向に変位したときに、可動部の変位方向とは逆方向に変位して突出する脚部を設けており、脚部により可動部の変位を抑制できる。そして脚部が対向面に接触した状態では、脚部により可動部の四隅付近が支えられる形態となる。またシリコン基板の中央領域に可動部を形成し、可動部の側方に支持部を設けることで、可動部の面積を広くすることができる。これにより高感度で且つ検出安定性を得ることが可能となる。   According to the configuration of the present invention, the difference in natural frequency between the detection mode in the height direction and a mode other than the detection mode can be increased. Further, when the movable portion is displaced in the height direction, a leg portion is provided that protrudes by being displaced in the direction opposite to the displacement direction of the movable portion, and the displacement of the movable portion can be suppressed by the leg portion. And in the state which the leg part contacted the opposing surface, it becomes a form which the four corner vicinity of a movable part is supported by a leg part. Further, by forming the movable part in the central region of the silicon substrate and providing the support part on the side of the movable part, the area of the movable part can be increased. This makes it possible to obtain high sensitivity and detection stability.

図１は、本発明の第１の実施形態における物理量センサの平面図である。FIG. 1 is a plan view of a physical quantity sensor according to the first embodiment of the present invention. 図２は、本発明の第２の実施形態における物理量センサの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a physical quantity sensor according to the second embodiment of the present invention. 図３は、本実施形態の物理量センサが静止している状態を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a state where the physical quantity sensor of the present embodiment is stationary. 図４は、本実施形態の物理量センサが動作している状態を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a state in which the physical quantity sensor of the present embodiment is operating. 図５は、本実施形態の物理量センサが図４とは逆向きに動作している状態を示す。FIG. 5 shows a state in which the physical quantity sensor of this embodiment is operating in the direction opposite to that in FIG. 図６は、第１アンカ部及び第２アンカ部を拡大して示した部分拡大平面図である。FIG. 6 is a partially enlarged plan view showing the first anchor portion and the second anchor portion in an enlarged manner. 図７は、支持部と可動部との連結部分を拡大して示した部分拡大平面図である。FIG. 7 is a partially enlarged plan view showing an enlarged connection portion between the support portion and the movable portion. 図８は、本実施形態における物理量センサの正面図である。FIG. 8 is a front view of the physical quantity sensor in the present embodiment. 図９は、本実施形態におけるＸ方向検知部の部分拡大平面図である。FIG. 9 is a partially enlarged plan view of the X direction detection unit in the present embodiment. 図１０は、Ｘ方向検知部を構成する一つの電極子とＺ方向検知部の固定電極との間で生じた電界を示す部分拡大縦断面図である。FIG. 10 is a partially enlarged longitudinal sectional view showing an electric field generated between one electrode constituting the X direction detection unit and a fixed electrode of the Z direction detection unit. 図１１は、比較例の形態における物理量センサの平面図である。FIG. 11 is a plan view of a physical quantity sensor according to a comparative example. 図１２は、比較例の物理量センサが静止している状態を示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view illustrating a state where the physical quantity sensor of the comparative example is stationary. 図１３は、比較例の物理量センサが動作している状態を示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing a state in which the physical quantity sensor of the comparative example is operating. 図１４は、第１の実施形態と比較例における複数の異なるモード時の固有振動数を示すグラフである。FIG. 14 is a graph showing natural frequencies in a plurality of different modes in the first embodiment and the comparative example. 図１５は、第２の実施形態と比較例における複数の異なるモード時の固有振動数を示すグラフである。FIG. 15 is a graph showing natural frequencies in a plurality of different modes in the second embodiment and the comparative example. 図１６は、第１の実施形態と第２の実施形態のＺ方向検知部における、可動部（Ｚ方向可動電極）とＺ方向固定電極間のギャップと静電容量との関係を示すグラフである。FIG. 16 is a graph showing the relationship between the capacitance between the movable portion (Z-direction movable electrode) and the Z-direction fixed electrode and the capacitance in the Z-direction detection unit of the first embodiment and the second embodiment. .

各図に示す物理量センサに関しては、Ｘ方向が左右方向であり、Ｘ１方向が左方向でＸ２方向が右方向、Ｙ方向が前後方向であり、Ｙ１方向が後方でＸ２方向が前方である。また、Ｙ方向とＸ方向の双方に直交する方向が上下方向（Ｚ方向；高さ方向）である。   Regarding the physical quantity sensor shown in each figure, the X direction is the left-right direction, the X1 direction is the left direction, the X2 direction is the right direction, the Y direction is the front-rear direction, the Y1 direction is the rear, and the X2 direction is the front. Further, the direction perpendicular to both the Y direction and the X direction is the vertical direction (Z direction; height direction).

図１，図２に示す物理量センサ１，１９は、長方形の平板状のシリコン基板８から形成されている。すなわち、シリコン基板８に、各部材の形状に対応する平面形状のレジスト層を形成し、レジスト層が存在していない部分で、シリコン基板をディープＲＩＥ（ディープ・リアクティブ・イオン・エッチング）などのエッチング工程で切断することで、各部材を分離している。したがって、物理量センサ１を構成する各部材は、シリコン基板の表面と裏面の厚みの範囲内で構成されている。   The physical quantity sensors 1 and 19 shown in FIGS. 1 and 2 are formed from a rectangular flat silicon substrate 8. That is, a planar resist layer corresponding to the shape of each member is formed on the silicon substrate 8, and the silicon substrate is subjected to deep RIE (deep reactive ion etching) or the like at a portion where the resist layer does not exist. Each member is separated by cutting in the etching process. Therefore, each member which comprises the physical quantity sensor 1 is comprised within the range of the thickness of the surface of a silicon substrate, and a back surface.

物理量センサ１は微小であり、例えば長方形の長辺１ａ，１ｂの長さ寸法は１ｍｍ以下であり、例えば短辺１ｃ，１ｄの長さ寸法は０．８ｍｍ以下である。さらに、厚み寸法は０．１ｍｍ以下である。   The physical quantity sensor 1 is very small. For example, the rectangular long sides 1a and 1b have a length dimension of 1 mm or less, and the short sides 1c and 1d have a length dimension of 0.8 mm or less. Furthermore, the thickness dimension is 0.1 mm or less.

図１に示すように、物理量センサ１は、シリコン基板８の中央領域に形成された部分が可動部２である。   As shown in FIG. 1, in the physical quantity sensor 1, the portion formed in the central region of the silicon substrate 8 is the movable part 2.

図１に示すように可動部２の前後方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側に第１のアンカ部６，６が配置されている。一対の第１のアンカ部６，６は前後方向で対向している（前後方向の線上に一致している）。また各第１のアンカ部６，６の左側（Ｘ１）には夫々、第２のアンカ部７，７が配置されている。一対の第２のアンカ部７，７は前後方向で対向している（前後方向の線上に一致している）。   As shown in FIG. 1, first anchor portions 6 and 6 are disposed on both sides of the movable portion 2 in the front-rear direction (Y1-Y2). The pair of first anchor portions 6 and 6 face each other in the front-rear direction (coincides with the line in the front-rear direction). Further, second anchor portions 7 and 7 are arranged on the left side (X1) of the first anchor portions 6 and 6, respectively. The pair of second anchor portions 7 and 7 face each other in the front-rear direction (coincides with the line in the front-rear direction).

図１に示すように、一対の第１のアンカ部６，６には夫々、左右方向（Ｘ１−Ｘ２）に延出する第１の支持部３，４が第１のばね部１１，１１を介して回動自在に連結されている。ここで「左右方向に延出する」とは支持部３，４の基本的な延出方向を指し、第１の支持部３のように前後方向等に折り曲がる部分があってもよい。第１のアンカ部６，６には第１のばね部１１の形成領域に切欠部が形成され、その切欠部内に前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に直線状に延びる第１のばね部１１が、第１のアンカ部６，６と第１の支持部３，４との間を連結している。第１のばね部１１は、第１のアンカ部６，６及び第１の支持部３，４と一体で形成される。第１のばね部１１は、第１の支持部３，４に比べて十分に狭い幅寸法で形成され、弾性変形可能な部分となっている。一方、第１の支持部３，４の剛性は高くなっている。   As shown in FIG. 1, a pair of first anchor portions 6, 6 has first support portions 3, 4 extending in the left-right direction (X 1 -X 2), respectively. It is connected via a pivot. Here, “extending in the left-right direction” refers to the basic extending direction of the support portions 3, 4, and there may be a portion that bends in the front-rear direction, etc., like the first support portion 3. In the first anchor portions 6 and 6, a notch is formed in the formation region of the first spring portion 11, and the first spring portion 11 extending linearly in the front-rear direction (Y1-Y2) is formed in the notch. The first anchor portions 6 and 6 are connected to the first support portions 3 and 4. The first spring portion 11 is formed integrally with the first anchor portions 6 and 6 and the first support portions 3 and 4. The first spring portion 11 is formed with a sufficiently narrow width dimension as compared with the first support portions 3 and 4, and is an elastically deformable portion. On the other hand, the rigidity of the 1st support parts 3 and 4 is high.

図１に示すように第１の支持部３，４の第１のアンカ部６よりも左方（Ｘ１）に第１の脚部３ａ，４ａが設けられている。第１の脚部３ａ，４ａは可動部２の高さ方向への変位を抑制する機能を備える。   As shown in FIG. 1, first leg portions 3 a and 4 a are provided on the left side (X 1) of the first anchor portions 6 of the first support portions 3 and 4. The first leg portions 3a and 4a have a function of suppressing displacement of the movable portion 2 in the height direction.

図１に示すように、前方（Ｙ２）に位置する第１の支持部３は、第１のアンカ部６と可動部２との間を通るように折れ曲がりながら左右方向に延びて形成されている。また後方（Ｙ１）に位置する第１の支持部４は、第１のアンカ部６の外側を通って左右方向に直線状（帯状）に形成される。   As shown in FIG. 1, the first support portion 3 located in the front (Y2) is formed to extend in the left-right direction while being bent so as to pass between the first anchor portion 6 and the movable portion 2. . In addition, the first support portion 4 positioned rearward (Y1) passes through the outside of the first anchor portion 6 and is formed in a straight line shape (band shape) in the left-right direction.

図１に示すように一対の第１の支持部３，４は、可動部２の前方及び後方の各側方にて延在し、さらに可動部２の右側方（Ｘ２）にて前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に延びる第１の連結部５に連結されて一体化している。   As shown in FIG. 1, the pair of first support portions 3, 4 extend on the front and rear sides of the movable portion 2, and further on the right side (X 2) of the movable portion 2 in the front-rear direction ( It is connected and integrated with the first connecting part 5 extending in Y1-Y2).

また図１に示すように一対の支持部３，４は夫々、可動部２と第２のばね部９，９を介して連結されている。第２のばね部９，９は、可動部２の前方側面の右側、及び後方側面の右側に夫々設けられている。   Further, as shown in FIG. 1, the pair of support portions 3 and 4 are connected to each other via the movable portion 2 and the second spring portions 9 and 9. The second spring portions 9, 9 are provided on the right side of the front side surface and the right side of the rear side surface of the movable portion 2, respectively.

図７の部分拡大平面図で示すように、第２のばね部９は、可動部２に設けられた前後方向に細長い溝１０内に配置され、可動部２と第１の支持部３との間を連結している。第２のばね部９は、溝１０内で前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に直線状に長く形成され、また折り返されて、可動部２と第１の支持部３との間を連結している。第２のばね部９は、第１の支持部３に比べて幅寸法が十分小さく、第２のばね部９は、弾性変形可能とされている。第２のばね部９は、可動部２及び第１の支持部３と一体に形成される。   As shown in the partially enlarged plan view of FIG. 7, the second spring portion 9 is disposed in a groove 10 elongated in the front-rear direction provided in the movable portion 2, and the movable portion 2 and the first support portion 3 are arranged. They are connected. The second spring portion 9 is linearly long in the front-rear direction (Y1-Y2) in the groove 10 and is folded back to connect the movable portion 2 and the first support portion 3. . The second spring part 9 is sufficiently smaller in width than the first support part 3, and the second spring part 9 is elastically deformable. The second spring portion 9 is formed integrally with the movable portion 2 and the first support portion 3.

このように第１の支持部３，４は、可動部２と第１のアンカ部６とにばね部９，１１を介して連結されている。ばね部９，１１は捩れ変形可能とされており、これにより第１の支持部３，３を高さ方向に回動させることが可能となっている。   Thus, the first support parts 3 and 4 are connected to the movable part 2 and the first anchor part 6 via the spring parts 9 and 11. The spring portions 9 and 11 are torsionally deformable, whereby the first support portions 3 and 3 can be rotated in the height direction.

また、図１に示すように、一対の第２のアンカ部７，７には夫々、左右方向（Ｘ１−Ｘ２）に延びる第２の支持部１３，１４が第３のばね部１５，１５を介して回動自在に連結されている。第２のアンカ部７，７には第３のばね部１５の形成領域に切欠部が形成され、その切欠部内に前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に直線状に延びる第３のばね部１５が、第２のアンカ部７と第２の支持部１３，１４との間を連結している。第３のばね部１５は、第２のアンカ部７と第２の支持部１３，１４と一体で形成される。第３のばね部１５は、第２の支持部１３，１４に比べて十分に狭い幅寸法で形成され、弾性変形可能な部分となっている。一方、第２の支持部１３，１４の剛性は高くなっている。   Further, as shown in FIG. 1, the pair of second anchor portions 7, 7 has second support portions 13, 14 extending in the left-right direction (X 1 -X 2), and third spring portions 15, 15. It is connected via a pivot. In the second anchor portions 7 and 7, a notch is formed in the formation region of the third spring portion 15, and a third spring portion 15 extending linearly in the front-rear direction (Y1-Y2) is formed in the notch. The second anchor portion 7 is connected to the second support portions 13 and 14. The third spring portion 15 is formed integrally with the second anchor portion 7 and the second support portions 13 and 14. The third spring portion 15 is formed with a sufficiently narrow width dimension as compared with the second support portions 13 and 14, and is a portion that can be elastically deformed. On the other hand, the rigidity of the 2nd support parts 13 and 14 is high.

図１に示すように第２の支持部１３，１４には第２のアンカ部７，７よりも右方（Ｘ２）に第２の脚部１３ａ，１４ａが設けられている。第２の脚部１３ａ，１４ａは可動部２の高さ方向への変位を抑制する機能を備える。   As shown in FIG. 1, the second support portions 13 and 14 are provided with second leg portions 13a and 14a on the right side (X2) of the second anchor portions 7 and 7, respectively. The second leg portions 13a and 14a have a function of suppressing displacement of the movable portion 2 in the height direction.

図１に示すように、可動部２の前方（Ｙ２）に位置する第２の支持部１３は、第２のアンカ部７の外側を通って左右方向（Ｘ１−Ｘ２）に直線状（帯状）に延出している。   As shown in FIG. 1, the second support portion 13 positioned in front of the movable portion 2 (Y2) passes through the outside of the second anchor portion 7 and is linear (band-like) in the left-right direction (X1-X2). It extends to.

また、可動部２の後方（Ｙ１）に位置する第２の支持部１４は、第２のアンカ部７と可動部２との間を通るように折れ曲がりながら左右方向に延びて形成されている。   Further, the second support portion 14 located behind the movable portion 2 (Y1) is formed to extend in the left-right direction while being bent so as to pass between the second anchor portion 7 and the movable portion 2.

可動部２の前方（Ｙ２）及び後方（Ｙ１）の夫々に形成された第１の支持部３，４と第２の支持部１３，１４は、第１のアンカ部６及び第２のアンカ部７が介在する領域を除き、微小隙間を介して相対向した状態で左右方向に延びている。   The first support portions 3 and 4 and the second support portions 13 and 14 formed on the front (Y2) and the rear (Y1) of the movable portion 2 are the first anchor portion 6 and the second anchor portion, respectively. Except for the region where 7 is interposed, it extends in the left-right direction in a state of being opposed to each other through a minute gap.

可動部２の前方（Ｙ２）に配置された第１の支持部３及び第２の支持部１３と、可動部２の後方（Ｙ１）に配置された第１の支持部４及び第２の支持部１４とは互いに、可動部２（シリコン基板８）の中心Ｏを中心軸として１８０度回転させた形態と同じとなっている。このため図１に示すように、第１の支持部３は、第２の支持部１４と可動部２（シリコン基板８）の中心Ｏを中心軸として１８０度回転させた形態と同じとなっており、また、第１の支持部４は、第２の支持部１３と可動部２（シリコン基板８）の中心Ｏを中心軸として１８０度回転させた形態と同じとなっている。   The first support part 3 and the second support part 13 disposed in front of the movable part 2 (Y2), and the first support part 4 and the second support disposed in the rear part (Y1) of the movable part 2 The part 14 has the same form as the part 14 rotated 180 degrees around the center O of the movable part 2 (silicon substrate 8). For this reason, as shown in FIG. 1, the 1st support part 3 becomes the same as the form rotated 180 degree | times centering | focusing on the center O of the 2nd support part 14 and the movable part 2 (silicon substrate 8). In addition, the first support part 4 has the same form as the second support part 13 and the form rotated 180 degrees around the center O of the movable part 2 (silicon substrate 8).

図１に示すように一対の第２の支持部１３，１４は、可動部２の前方及び後方の各側方にて左右方向に延在し、さらに可動部２の左側方（Ｘ１）にて前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に延びる第２の連結部１６に連結されて一体化している。   As shown in FIG. 1, the pair of second support portions 13, 14 extend in the left-right direction on the front and rear sides of the movable portion 2, and further on the left side (X 1) of the movable portion 2. It is connected and integrated with the 2nd connection part 16 extended in the front-back direction (Y1-Y2).

また図１に示すように一対の第２の支持部１３，１４は夫々、可動部２と第４のばね部１７，１７を介して連結されている。第４のばね部１７の形態は図７と同様である。第４のばね部１７，１７は、可動部２の前方側面の左側、及び後方側面の左側に夫々設けられている。   As shown in FIG. 1, the pair of second support portions 13 and 14 are connected to the movable portion 2 via the fourth spring portions 17 and 17, respectively. The form of the 4th spring part 17 is the same as that of FIG. The fourth spring portions 17 and 17 are provided on the left side of the front side surface and the left side of the rear side surface of the movable portion 2, respectively.

このように第２の支持部１３，１４は、可動部２と第２のアンカ部７とにばね部１５，１７を介して連結されている。ばね部１５，１７は捩れ変形可能とされており、これにより第２の支持部１３，１４を高さ方向に回動させることが可能となっている。   Thus, the second support parts 13 and 14 are connected to the movable part 2 and the second anchor part 7 via the spring parts 15 and 17. The spring portions 15 and 17 can be twisted and deformed, and thereby the second support portions 13 and 14 can be rotated in the height direction.

図１，図６に示すように、第１のアンカ部６と第２のアンカ部７との間には左右方向（Ｘ１−Ｘ２）に間隔を空けて前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に延びる隙間２０が形成されている。そして、この隙間２０内に、第１の支持部３と第２の支持部４との間を連結する連結ばね２１が設けられている。   As shown in FIGS. 1 and 6, a gap extending in the front-rear direction (Y1-Y2) with a space in the left-right direction (X1-X2) between the first anchor part 6 and the second anchor part 7. 20 is formed. In the gap 20, a connection spring 21 that connects the first support portion 3 and the second support portion 4 is provided.

図６に示すように連結ばね２１は前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に直線状に細長く形成される。連結ばね２１は弾性変形可能とされている。   As shown in FIG. 6, the connecting spring 21 is formed in an elongated shape in a straight line in the front-rear direction (Y1-Y2). The connecting spring 21 can be elastically deformed.

図１に示すように、連結ばね２１は、可動部２（シリコン基板８）の中心Ｏを通る前後方向（Ｙ１−Ｙ２）の線上に位置している。また、図１に示すように連結ばね２１と第１のばね部１１との間の左右方向（Ｘ１−Ｘ２）の距離、及び連結ばね２１と第３のばね部１５との間の左右方向（Ｘ１−Ｘ２）の距離は同じとなっている。   As shown in FIG. 1, the connecting spring 21 is located on a line in the front-rear direction (Y1-Y2) passing through the center O of the movable part 2 (silicon substrate 8). Further, as shown in FIG. 1, the distance in the left-right direction (X1-X2) between the connection spring 21 and the first spring portion 11 and the left-right direction between the connection spring 21 and the third spring portion 15 ( The distance of X1-X2) is the same.

図１等で示した第１のアンカ部６及び第２のアンカ部７は、図８に示す固定部（支持基板）３０に固定支持される。この固定部３０は例えばシリコン基板であり、各アンカ部６、７と固定部３０との間には図示しない酸化絶縁層（ＳｉＯ2層）が介在している。固定部３０、酸化絶縁層、及び図１に示す可動部２、支持部３，４，１３，１４、アンカ部６，７及び各ばねを構成するシリコン基板８は、例えばＳＯＩ基板である。The first anchor portion 6 and the second anchor portion 7 shown in FIG. 1 and the like are fixedly supported by a fixing portion (supporting substrate) 30 shown in FIG. The fixing portion 30 is, for example, a silicon substrate, and an oxide insulating layer (SiO 2 layer) (not shown) is interposed between the anchor portions 6 and 7 and the fixing portion 30. The fixed portion 30, the oxide insulating layer, and the movable portion 2, the support portions 3, 4, 13, and 14, the anchor portions 6 and 7, and the silicon substrate 8 constituting each spring shown in FIG. 1 are, for example, SOI substrates.

図１に示す可動部２、各支持部３，４，１３，１４及び各アンカ部６，７は夫々分離して形成されている。このうち、各アンカ部６，７と固定部３０との間には上記した酸化絶縁層が介在し、各アンカ部６，７が固定部３０に固定支持された状態になっているが、可動部２及び各支持部３，４，１３，１４と、固定部３０との間には酸化絶縁層は存在せず、可動部２及び各支持部３，４，１３，１４と固定部３０との間は空間となっている。   The movable part 2, the support parts 3, 4, 13, and 14 and the anchor parts 6 and 7 shown in FIG. 1 are formed separately from each other. Among these, the oxide insulating layer described above is interposed between the anchor portions 6 and 7 and the fixed portion 30, and the anchor portions 6 and 7 are fixedly supported by the fixed portion 30, but are movable. There is no oxide insulating layer between the part 2 and the support parts 3, 4, 13, 14 and the fixed part 30, and the movable part 2 and the support parts 3, 4, 13, 14 and the fixed part 30 The space is between.

図８に示すように、物理量センサ１には、可動部２と高さ方向にて離れた一方に固定部３０と他方に対向部４０が設けられる。対向部４０の表面には固定電極４１が設けられる。固定電極４１と可動部２とは高さ方向（Ｚ）にて相対向している。   As shown in FIG. 8, the physical quantity sensor 1 is provided with a fixed portion 30 on one side separated from the movable portion 2 in the height direction and a facing portion 40 on the other side. A fixed electrode 41 is provided on the surface of the facing portion 40. The fixed electrode 41 and the movable part 2 are opposed to each other in the height direction (Z).

対向部４０は例えばシリコン基板であり、固定電極４１は、対向部４０の表面４０ａに絶縁層を介して導電性金属材料をスパッタしまたはメッキすることで形成されている。   The facing portion 40 is, for example, a silicon substrate, and the fixed electrode 41 is formed by sputtering or plating a conductive metal material on the surface 40a of the facing portion 40 via an insulating layer.

また、可動部２の表面（下面）２ａには、固定電極４１に対面する可動電極（図示しない）が絶縁層を介してスパッタやメッキ工程で形成されている。あるいは、可動部２が、低抵抗シリコン基板などの導電性材料で形成されている場合には、可動部２それ自体を可動電極として使用することが可能である。   A movable electrode (not shown) facing the fixed electrode 41 is formed on the surface (lower surface) 2a of the movable part 2 through an insulating layer by sputtering or plating. Alternatively, when the movable portion 2 is formed of a conductive material such as a low resistance silicon substrate, the movable portion 2 itself can be used as a movable electrode.

図１に示す実施形態では、可動部２内に可動部２の左右方向（Ｘ１−Ｘ２）への変位を検知するためのＸ方向検知部５０，５１が形成されている。   In the embodiment shown in FIG. 1, X-direction detection units 50 and 51 for detecting the displacement of the movable unit 2 in the left-right direction (X1-X2) are formed in the movable unit 2.

Ｘ方向検知部５０，５１について図９の部分拡大平面図を用いて説明する。図９は図１に示すＸ方向検知部５０の一部を拡大したものである。図１、図９（ａ）に示す符号５２は可動電極で、符号５３は固定電極である。   The X direction detectors 50 and 51 will be described with reference to a partially enlarged plan view of FIG. FIG. 9 is an enlarged view of a part of the X direction detection unit 50 shown in FIG. Reference numeral 52 shown in FIGS. 1 and 9A is a movable electrode, and reference numeral 53 is a fixed electrode.

図１，図９（ａ）に示すように固定電極５３は固定支持されたアンカ部５４と、アンカ部５４の両側から左右方向（Ｘ１−Ｘ２）に延出する延出部５５，５５と、各延出部５５，５５の前後方向の両側から前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に延出する複数本の支持部５６（図９（ａ）に符号を付した）と、各支持部５６から左方向（Ｘ１）に短く突出し、かつ前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に所定の間隔を空けて配置された複数本の櫛歯状の固定電極子５７と、を有して構成される。アンカ部５４はアンカ部６，７と同様、固定部３０に支持固定されており、各延出部５５，５５から延出する支持部５５は、後述する高さ方向（Ｚ）への加速度が作用しても変位しない。なお図９（ａ）には、２本の固定電極子５７にのみ符号を付した。   As shown in FIGS. 1 and 9A, the fixed electrode 53 includes an anchor portion 54 that is fixedly supported, extending portions 55 and 55 that extend from both sides of the anchor portion 54 in the left-right direction (X1-X2), A plurality of support portions 56 (labeled in FIG. 9 (a)) extending in the front-rear direction (Y1-Y2) from both sides in the front-rear direction of each extension portion 55, 55, and left from each support portion 56 And a plurality of comb-shaped fixed electrode elements 57 that protrude in a short direction in the direction (X1) and are arranged at predetermined intervals in the front-rear direction (Y1-Y2). Like the anchor portions 6 and 7, the anchor portion 54 is supported and fixed to the fixing portion 30, and the support portion 55 extending from each of the extending portions 55 and 55 has an acceleration in the height direction (Z) described later. Even if it acts, it does not move. In FIG. 9A, only the two fixed electrode elements 57 are denoted by reference numerals.

また図１に示すように、可動部２と一体となって可動電極５２が形成されている。可動電極５２には、図９（ａ）に示すように、前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に延出する複数の支持部６０が形成されている。各支持部６０は、可動部２の内側側面から一体となって且つ固定電極５３の各支持部５６と左右方向（Ｘ１−Ｘ２）に間隔を空けて配置されている。また図９（ａ）に示すように、各支持部６０の右側面から右方向（Ｘ２）に短く突出した複数本の可動電極子６１が固定電極子５７と前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に交互に配置されている。なお図９（ａ）には、２本の可動電極子６１にのみ符号を付した。   Further, as shown in FIG. 1, a movable electrode 52 is formed integrally with the movable portion 2. As shown in FIG. 9A, the movable electrode 52 is formed with a plurality of support portions 60 extending in the front-rear direction (Y1-Y2). Each support portion 60 is integrally formed from the inner side surface of the movable portion 2 and is spaced apart from each support portion 56 of the fixed electrode 53 in the left-right direction (X1-X2). Further, as shown in FIG. 9A, a plurality of movable electrode elements 61 projecting short in the right direction (X2) from the right side surface of each support portion 60 are alternately arranged in the fixed electrode element 57 and the front-rear direction (Y1-Y2). Is arranged. In FIG. 9A, only the two movable electrode elements 61 are denoted by reference numerals.

図９（ｂ）は可動部２が左方向（Ｘ１）に移動した状態を示す。これにより、可動電極子６１と固定電極子５７との間の対向面積が図９（ａ）の基準状態よりも減少し、静電容量が小さくなる。   FIG. 9B shows a state in which the movable part 2 has moved leftward (X1). Thereby, the facing area between the movable electrode 61 and the fixed electrode 57 is reduced as compared with the reference state of FIG. 9A, and the capacitance is reduced.

なお図１に示す実施形態では、図１の左側に配置されたＸ方向検知部５０と右側に配置されたＸ方向検知部５１とでは、可動電極子６１と固定電極子５７との位置関係が逆になっており、Ｘ方向検知部５０にて静電容量が増加すれば、Ｘ方向検知部５１にて静電容量が減少し、また、Ｘ方向検知部５１にて静電容量が増加すれば、Ｘ方向検知部５２にて静電容量が減少する。これにより、Ｘ方向検知部５０により得られた静電容量変化と、Ｘ方向検知部５１により得られた静電容量変化により差動出力を得ることができる。   In the embodiment shown in FIG. 1, the positional relationship between the movable electrode 61 and the fixed electrode 57 is different between the X-direction detector 50 arranged on the left side of FIG. 1 and the X-direction detector 51 arranged on the right side. If the capacitance increases in the X direction detection unit 50, the capacitance decreases in the X direction detection unit 51, and the capacitance increases in the X direction detection unit 51. For example, the X direction detection unit 52 reduces the capacitance. Thereby, a differential output can be obtained by the capacitance change obtained by the X direction detection unit 50 and the capacitance change obtained by the X direction detection unit 51.

図２は第２の実施形態における物理量センサ１９の平面図である。図２では、図１と異なって可動部２内にＸ方向検知部５０，５１が形成されておらず平面となっている。すなわち図１０の物理量センサは可動部２の高さ方向への変位のみを検出するものである。そのほか、図１と同じ符号が付された箇所は図１と同じ部分を指す。なお図２では各ばね部を簡易的に図示した。またばね部９，１７の形成位置は図１と異なった位置としたが、図１において図２のばね部９，１７の位置としてもよいし、図２において図１のばね部９，１７の位置としてもよい。   FIG. 2 is a plan view of the physical quantity sensor 19 in the second embodiment. In FIG. 2, unlike FIG. 1, the X direction detection parts 50 and 51 are not formed in the movable part 2, but are flat. That is, the physical quantity sensor in FIG. 10 detects only the displacement of the movable part 2 in the height direction. In addition, portions denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same portions as those in FIG. In FIG. 2, each spring portion is illustrated in a simplified manner. The positions where the springs 9 and 17 are formed are different from those shown in FIG. 1, but the positions of the springs 9 and 17 shown in FIG. 2 may be used in FIG. It is good also as a position.

図３は図２に示す物理量センサの静止状態における斜視図であり、図４、図５は物理量センサに高さ方向への加速度が作用した際の動作状態における斜視図である。なお図１の物理量センサにおいても図３ないし図５と同様の静止状態、動作状態となる。   3 is a perspective view of the physical quantity sensor shown in FIG. 2 in a stationary state, and FIGS. 4 and 5 are perspective views of the physical quantity sensor in an operating state when acceleration in the height direction acts on the physical quantity sensor. Note that the physical quantity sensor in FIG. 1 is also in a stationary state and an operating state similar to those in FIGS.

図３に示すように、物理量センサが静止状態のときに、表面全体と裏面全体が夫々、同一面上に位置しており、表面及び裏面から突出する部分がない図３に示す静止状態において可動部２と固定部３０との間の間隔は、例えば、１〜５μｍ程度である。また、可動部２と対向部４０との間の間隔は、可動部２と固定部３０との間の間隔と同程度かあるいはそれよりも狭く設定される。   As shown in FIG. 3, when the physical quantity sensor is in a stationary state, the entire front surface and the entire back surface are located on the same surface, and there is no portion protruding from the front surface and the back surface. The space | interval between the part 2 and the fixing | fixed part 30 is about 1-5 micrometers, for example. Further, the interval between the movable portion 2 and the facing portion 40 is set to be approximately the same as or narrower than the interval between the movable portion 2 and the fixed portion 30.

本実施形態の物理量センサは、外部から力（加速度等）が作用していないときに、ばね部の弾性復元力により、図３に示すように、全ての部分の表面が同一平面となった状態を維持している。   In the physical quantity sensor of this embodiment, when no force (acceleration, etc.) is applied from the outside, the surface of all the parts is in the same plane as shown in FIG. 3 due to the elastic restoring force of the spring part. Is maintained.

物理量センサに外部から例えば加速度が高さ方向に与えられると、加速度は、可動部２及び各アンカ部６，７に作用する。このとき、可動部２は慣性力によって絶対空間内で留まろうとし、その結果、各アンカ部６，７に対して可動部２が加速度の作用方向と逆の方向へ相対的に移動する。   For example, when acceleration is applied to the physical quantity sensor from the outside in the height direction, the acceleration acts on the movable portion 2 and the anchor portions 6 and 7. At this time, the movable part 2 tries to stay in the absolute space by the inertial force, and as a result, the movable part 2 moves relative to the anchor parts 6 and 7 in the direction opposite to the direction in which the acceleration acts.

図４は、アンカ部６，７、固定部３０及び対向部４０に対して下向きの加速度が作用したときの動作を示している。このとき、可動部２は慣性力により図３の静止状態の位置から上方向へ向けて変位すべく、第１支持部３，４及び第２支持部１３，１４が高さ方向に回動する。この回動動作時、各ばね部が捩れ変形する。   FIG. 4 shows an operation when downward acceleration is applied to the anchor portions 6 and 7, the fixed portion 30, and the facing portion 40. At this time, the first support parts 3 and 4 and the second support parts 13 and 14 rotate in the height direction so that the movable part 2 is displaced upward from the position of the stationary state in FIG. . During this rotation operation, each spring portion is twisted and deformed.

図４に示すように、各支持部３，４，１３，１４の脚部３ａ，４ａ，１３ａ，１４ａは下方に変位し、各脚部３ａ，４ａ，１３ａ，１４ａの先端は可動部２よりも下方に突出する。   As shown in FIG. 4, the legs 3 a, 4 a, 13 a, 14 a of the support parts 3, 4, 13, 14 are displaced downward, and the tips of the legs 3 a, 4 a, 13 a, 14 a are moved from the movable part 2. Also projects downward.

脚部３ａ，４ａ，１３ａ，１４ａの突出量が大きくなると、図８に示すように、可動部２が固定部３０の表面３０ａに当接するよりも先に、脚部３ａ，４ａ，１３ａ，１４ａの先端部が対向部４０の表面（ストッパ面）４０ａに当接し、可動部２が図８の状態よりもさらに上方に変位できなくなり、可動部２の変位が抑制される。このように各脚部３ａ，４ａ，１３ａ，１４ａと対向部４０の表面（ストッパ面）４０ａとで可動部２の変位を抑制するストッパ機構が構成されている。   When the protruding amount of the leg portions 3a, 4a, 13a, and 14a increases, the leg portions 3a, 4a, 13a, and 14a are moved before the movable portion 2 contacts the surface 30a of the fixed portion 30 as shown in FIG. The front end of the contact portion abuts against the surface (stopper surface) 40a of the facing portion 40, and the movable portion 2 cannot be displaced further upward than the state of FIG. 8, and the displacement of the movable portion 2 is suppressed. In this way, a stopper mechanism that suppresses the displacement of the movable portion 2 is configured by the leg portions 3a, 4a, 13a, and 14a and the surface (stopper surface) 40a of the facing portion 40.

図５は、アンカ部６，７、固定部３０及び対向部４０に対して上向きの加速度が作用したときの動作を示している。このとき、可動部２は慣性力により図３の静止状態の位置から下方向へ向けて変位すべく、第１支持部３，４及び第２支持部１３，１４が高さ方向に回動する。この回動動作時、各ばね部が捩れ変形する。   FIG. 5 shows an operation when upward acceleration is applied to the anchor portions 6 and 7, the fixed portion 30, and the facing portion 40. At this time, the first support portions 3 and 4 and the second support portions 13 and 14 rotate in the height direction so that the movable portion 2 is displaced downward from the stationary state position of FIG. . During this rotation operation, each spring portion is twisted and deformed.

図５に示すように、各支持部３，４，１３，１４の脚部３ａ，４ａ，１３ａ，１４ａは上方に変位し、各脚部３ａ，４ａ，１３ａ，１４ａの先端は、可動部２よりも上方に突出する。   As shown in FIG. 5, the legs 3a, 4a, 13a, and 14a of the support parts 3, 4, 13, and 14 are displaced upward, and the tips of the legs 3a, 4a, 13a, and 14a are movable parts 2 respectively. Projecting upward.

本実施形態では、可動部２と、対向部４０に設けられた固定電極４１との間の静電容量変化により、加速度等の物理量を検出することが可能となっている。   In the present embodiment, a physical quantity such as acceleration can be detected by a change in capacitance between the movable part 2 and the fixed electrode 41 provided in the facing part 40.

本実施形態の可動部２の支持機構により可動部２を高さ方向（Ｚ）に効果的に平行移動させることが出来る。   The movable part 2 can be effectively translated in the height direction (Z) by the support mechanism of the movable part 2 of the present embodiment.

特に本実施形態によれば、高さ方向（Ｚ）への検出モードと、検出モード以外のモードとの固有振動数の差を効果的に大きくできる。ここで、「検出モード以外のモード」には、前後方向（Ｙ１−Ｙ２）への振動、前後方向や左右方向、さらには前後方向と左右方向の双方に対して斜めに傾く対角線方向を軸とした回転モード、面内回転モード等が含まれる。このように高さ方向（Ｚ）への検出モードと、検出モード以外のモードとの固有振動数の差を効果的に大きくできるから、検出モード時に、検出モード以外のモードが加わっても、可動部２を高さ方向に安定して平行移動させることができる。   In particular, according to the present embodiment, the difference in natural frequency between the detection mode in the height direction (Z) and a mode other than the detection mode can be effectively increased. Here, the “modes other than the detection mode” include vibration in the front-rear direction (Y1-Y2), front-rear direction, left-right direction, and diagonal direction inclined obliquely with respect to both the front-rear direction and left-right direction. Rotation mode, in-plane rotation mode, and the like. Since the difference in natural frequency between the detection mode in the height direction (Z) and the mode other than the detection mode can be effectively increased in this way, even if a mode other than the detection mode is added during the detection mode, it is movable. The part 2 can be stably translated in the height direction.

また、本実施形態では、大きな加速度が作用した場合等に、各支持部３，４，１３，１４の各脚部３ａ，４ａ，１３ａ，１４ａを対向部４０の表面４０ａに当接させることができ、これにより可動部２の変位を抑制できる。そして本実施形態では、脚部３ａ，４ａ、１３ａ、１４ａの先端（対向部４０の表面４０ａとの当接部）が可動部２の四隅付近に位置するため、図８の当接状態において、可動部２の姿勢を安定にできる。   In the present embodiment, the leg portions 3a, 4a, 13a, and 14a of the support portions 3, 4, 13, and 14 are brought into contact with the surface 40a of the facing portion 40 when a large acceleration is applied. This can suppress the displacement of the movable part 2. And in this embodiment, since the front-end | tip (contact part with the surface 40a of the opposing part 40) of leg part 3a, 4a, 13a, 14a is located near the four corners of the movable part 2, in the contact state of FIG. The posture of the movable part 2 can be stabilized.

また本実施形態では、シリコン基板８の中央領域に可動部２を形成し、可動部２の側方に支持部３，４，１３，１４を設けた構成としたことで、可動部２の面積を広くできる。よって固定電極４１との間で生じる静電容量を大きくできる。また図８のように、各脚部３ａ，４ａ、１３ａ、１４ａの先端が対向部４０の表面４０ａに当接するため、脚部により、簡単なストッパ兼スティッキング防止構造を実現できる。   In the present embodiment, the movable portion 2 is formed in the central region of the silicon substrate 8, and the support portions 3, 4, 13, and 14 are provided on the sides of the movable portion 2. Can be widened. Therefore, the capacitance generated between the fixed electrode 41 can be increased. Further, as shown in FIG. 8, since the tips of the leg portions 3a, 4a, 13a, and 14a abut on the surface 40a of the facing portion 40, a simple stopper / sticking prevention structure can be realized by the leg portions.

なお図８では、対向部４０の表面４０ａが平坦面となっているが、例えば、各脚部３ａ，４ａ、１３ａ、１４ａの先端が当接する位置の表面４０ａを突出させて可動部２の高さ方向（Ｚ）への変位量を規制したり、あるいは表面４０ａからの突起の面積を小さくするなどして、各脚部と対向部４０との接触面積がより小さくなるように構成することもできる。
以上により高感度で検出安定性に優れた物理量センサにできる。In FIG. 8, the surface 40a of the facing portion 40 is a flat surface. For example, the surface 40a at the position where the tips of the legs 3a, 4a, 13a, and 14a abut is projected to increase the height of the movable portion 2. The contact area between each leg portion and the facing portion 40 may be further reduced by regulating the amount of displacement in the vertical direction (Z) or by reducing the area of the protrusion from the surface 40a. it can.
As described above, a physical quantity sensor with high sensitivity and excellent detection stability can be obtained.

また本実施形態では図１，図２，図６に示すように、可動部２の前方（Ｙ２）及び後方（Ｙ１）に形成された夫々の第１の支持部３，４と第２の支持部１３，１４同士が連結ばね２１によって連結されている。連結ばね２１を設けることで、連結ばね２１により連結された第１の支持部３，４と、第２の支持部１３，１４との間で回動状態が同等となるように規制でき、第１の支持部３，４に設けられた第１の脚部３ａ，４ａと、第２の支持部１３，１４に設けられた第２の脚部１３ａ，１４ａとを可動部２に対し上方あるいは下方の同方向に突出量のばらつきを小さく安定して突出させることができる。   In the present embodiment, as shown in FIGS. 1, 2 and 6, the first support portions 3 and 4 and the second support formed on the front (Y2) and the rear (Y1) of the movable portion 2, respectively. The parts 13 and 14 are connected by a connecting spring 21. By providing the connection spring 21, the first support portions 3 and 4 connected by the connection spring 21 and the second support portions 13 and 14 can be regulated so as to have the same rotation state. The first leg portions 3a and 4a provided on the first support portions 3 and 4 and the second leg portions 13a and 14a provided on the second support portions 13 and 14 are arranged above the movable portion 2 or A variation in the amount of protrusion can be made small and stable in the same direction below.

また本実施形態では、図１，図２等に示すように一対の第１の支持部３，４が可動部２の右方側（Ｘ２）にて連結されて一体化しており、また、一対の第２の支持部１３，１４が可動部２の左方側（Ｘ１）にて連結されて一体化している。これにより、一対の第１の支持部３，４及び一対の第２の支持部１３，１４を夫々、一緒に回動させることができ、これにより可動部２を高さ方向に、より安定して平行移動させることができ、検出安定性をより効果的に向上させることができる。   In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, etc., the pair of first support parts 3 and 4 are connected and integrated on the right side (X2) of the movable part 2, and the pair The second support portions 13 and 14 are connected and integrated on the left side (X1) of the movable portion 2. Accordingly, the pair of first support portions 3 and 4 and the pair of second support portions 13 and 14 can be rotated together, thereby making the movable portion 2 more stable in the height direction. The detection stability can be improved more effectively.

また本実施形態では、可動部２の後方（Ｙ１）では、第１の支持部４が第２の支持部１４よりも外側に位置し、可動部２の前方（Ｙ２）では、第２の支持部１３が第１の支持部３よりも外側に位置している。上記したように、可動部２の後方（Ｙ１）に位置する第１の支持部４及び第２の支持部１４と、可動部２の前方（Ｙ２）に位置する第１の支持部３及び第２の支持部１３とでは互いに可動部２（シリコン基板８）の中心Ｏを中心軸として１８０度回転させた形状と一致している。これにより、シリコン基板８内に可動部２と、可動部２の両側に、アンカ部６，７、一対の第１の支持部３，４及び一対の第２の支持部１３，１４とを効率良く配置でき、物理量センサの小型化を実現できる。   Moreover, in this embodiment, the 1st support part 4 is located outside the 2nd support part 14 behind (Y1) of the movable part 2, and it is a 2nd support in front of the movable part 2 (Y2). The part 13 is located outside the first support part 3. As described above, the first support portion 4 and the second support portion 14 that are located behind the movable portion 2 (Y1), and the first support portion 3 and the second support portion 14 that are located in front of the movable portion 2 (Y2). The two support portions 13 coincide with the shapes rotated 180 degrees around the center O of the movable portion 2 (silicon substrate 8). Thereby, the movable part 2 in the silicon substrate 8 and the anchor parts 6, 7, the pair of first support parts 3, 4, and the pair of second support parts 13, 14 are efficiently provided on both sides of the movable part 2. It can be arranged well, and the physical quantity sensor can be downsized.

また図１に示す実施形態では、可動部２内にＸ方向検知部５０，５１を設けたことで、可動部２の高さ方向（Ｚ）への変位の検知と、左右方向（Ｘ１−Ｘ２）への変位の検知の双方を小型の物理量センサにより得ることができる。なお本実施形態では、可動部２と各支持部３，４，１３，１４との間を連結するばね部９，１７が前後方向（Ｙ１−Ｙ２）に細長く形成されており、可動部２が前後方向に変位しにくくなっている。したがって図１に示す実施形態の物理量センサ１によれば、可動部２の高さ方向の変位と左右方向（Ｘ１−Ｘ２）の変位を安定して検知することが可能になっている。   In the embodiment shown in FIG. 1, by providing the X direction detection units 50 and 51 in the movable unit 2, the displacement of the movable unit 2 in the height direction (Z) is detected and the horizontal direction (X1−X2 ) Can be obtained by a small physical quantity sensor. In the present embodiment, the spring portions 9 and 17 that connect the movable portion 2 and the support portions 3, 4, 13, and 14 are formed elongated in the front-rear direction (Y1-Y2). It is difficult to displace in the front-rear direction. Therefore, according to the physical quantity sensor 1 of the embodiment shown in FIG. 1, it is possible to stably detect the displacement of the movable portion 2 in the height direction and the displacement in the left-right direction (X1-X2).

また、可動部２内にＸ方向検知部５０，５１を設けたことで、可動部２の高さ方向への振動性能を損なうことがない。後述する実験では、検出モード以外のモードの固有振動数と高さ方向への検出モードの固有振動数との差を広げることができ、可動部２を安定して高さ方向や左右方向に変位させることができ、優れた検出安定性を得ることができる。   Further, since the X direction detection units 50 and 51 are provided in the movable unit 2, the vibration performance in the height direction of the movable unit 2 is not impaired. In the experiment described later, the difference between the natural frequency of the modes other than the detection mode and the natural frequency of the detection mode in the height direction can be widened, and the movable part 2 can be stably displaced in the height direction and the left-right direction. And excellent detection stability can be obtained.

また図１０は可動電極子６１及びＺ方向検知部としての固定電極４１との部分縦断面図である。図１０には一つの可動電極子６１のみを図示した。図１０に示すように可動電極子６１の下面（端部）６１ａから所定のギャップＧを介して対向する固定電極４１に向けて電界Ｅが可動電極子６１の幅よりも広がって発生していることがわかる。このため図１や図９に示すように可動部２内にＸ方向検知部５０，５１を設けることで微小隙間が可動部２内に形成されるが、前記微小隙間内では、電界Ｅが固定電極４１に向けて広がって生じているために、可動部２内にＸ方向検知部が形成されていない形態と比べて、静電容量の低下を低く抑えることができ、あるいは、可動部２内にＸ方向検知部が形成されていない形態とほぼ同等の静電容量を得ることができる。   FIG. 10 is a partial vertical cross-sectional view of the movable electrode 61 and the fixed electrode 41 as the Z direction detector. FIG. 10 shows only one movable electrode 61. As shown in FIG. 10, the electric field E is generated from the lower surface (end portion) 61 a of the movable electrode 61 toward the fixed electrode 41 facing through a predetermined gap G so as to be wider than the width of the movable electrode 61. I understand that. For this reason, as shown in FIGS. 1 and 9, a minute gap is formed in the movable part 2 by providing the X direction detection parts 50 and 51 in the movable part 2, but the electric field E is fixed in the minute gap. Since it is spread toward the electrode 41, the capacitance can be kept from lowering compared to a mode in which the X-direction detection unit is not formed in the movable unit 2, or in the movable unit 2. In addition, it is possible to obtain a capacitance substantially equivalent to that in which the X-direction detection unit is not formed.

またＸ方向検知部５０，５１を平行平板式でなく、面積変化式による静電容量変化を捉えることで、左右方向（Ｘ１−Ｘ２）の変位に対する静電容量の変化の出力を良好な線形性を有した状態で得られるため、高い検出精度を得ることができ、さらに、左右方向（Ｘ１−Ｘ２）への有効検出範囲（ダイナミックレンジ）を広くできる。   In addition, the X direction detectors 50 and 51 capture the change in capacitance based on the area change equation instead of the parallel plate type, and thereby output the change in capacitance with respect to the displacement in the left and right direction (X1-X2) with good linearity. Therefore, high detection accuracy can be obtained, and further, the effective detection range (dynamic range) in the left-right direction (X1-X2) can be widened.

特に、Ｘ方向検知部５０，５１では固定電極５３と可動電極５２において複数本の支持部５６，６０を設け、各支持部５６，６０から複数本の固定電極子５７及び複数本の可動電極子６１を設けることで、可動部２が左右方向（Ｘ１−Ｘ２）に移動した際の面積変化領域を増やすことができ、左右方向への検出感度を向上させることができる。   In particular, in the X direction detection units 50 and 51, a plurality of support portions 56 and 60 are provided in the fixed electrode 53 and the movable electrode 52, and a plurality of fixed electrode members 57 and a plurality of movable electrode devices are provided from the support portions 56 and 60, respectively. By providing 61, the area change area | region when the movable part 2 moves to the left-right direction (X1-X2) can be increased, and the detection sensitivity to the left-right direction can be improved.

本実施形態では、可動部２と、対向部４０に設けられた固定電極４１との間の静電容量変化により、加速度等の物理量を検出することが可能であるが、検知部の構成は静電容量式に限定するものではない。ただし静電容量式としたことで簡単で且つ高精度な検知部の構成を実現できる。   In the present embodiment, it is possible to detect a physical quantity such as acceleration by a change in capacitance between the movable part 2 and the fixed electrode 41 provided on the facing part 40, but the configuration of the detection part is static. It is not limited to the capacitance type. However, since the capacitance type is adopted, a simple and highly accurate configuration of the detection unit can be realized.

本実施形態は加速度センサのみならず角速度センサ、衝撃センサ等、物理量センサ全般に適用可能である。   This embodiment is applicable not only to acceleration sensors but also to general physical quantity sensors such as angular velocity sensors and impact sensors.

（実験１：実施例と比較例における複数モードでの固有振動数の実験）
図１１ないし図１３は比較例の物理量センサの構成である。図１１は平面図、図１２、図１３は斜視図である。(Experiment 1: Experiments of natural frequencies in multiple modes in Examples and Comparative Examples)
11 to 13 show the configuration of the physical quantity sensor of the comparative example. 11 is a plan view, and FIGS. 12 and 13 are perspective views.

比較例に示す物理量センサ１００は、実施例（図１）の物理量センサ１と異なって可動部１０１の内側にアンカ部１０２〜１０４及び支持部１０５〜１０８が設けられている。可動部１０１、アンカ部１０２〜１０４及び支持部１０５〜１０８は夫々分離して形成されている。また符号１０９〜１２０はばね部である。   The physical quantity sensor 100 shown in the comparative example is provided with anchor parts 102 to 104 and support parts 105 to 108 inside the movable part 101, unlike the physical quantity sensor 1 of the embodiment (FIG. 1). The movable portion 101, the anchor portions 102 to 104, and the support portions 105 to 108 are formed separately from each other. Reference numerals 109 to 120 are spring portions.

図１１に示すように、支持部１０５，１０７には夫々、脚部１０５ａ，１０７ａが設けられている。   As shown in FIG. 11, the support portions 105 and 107 are provided with leg portions 105a and 107a, respectively.

図１２は静止状態であり、高さ方向に加速度が作用すると可動部１０１が高さ方向に変位し、図１３に示すように脚部１０５ａ，１０７ａが可動部１０１とは逆方向に変位して脚部１０５ａ，１０７ａの先端が突出する。   FIG. 12 shows a stationary state. When acceleration is applied in the height direction, the movable portion 101 is displaced in the height direction, and the legs 105a and 107a are displaced in the opposite direction to the movable portion 101 as shown in FIG. The tips of the leg portions 105a and 107a protrude.

図１に示す実施例１と、上記した比較例を用いて、異なる複数モードにおける固有振動数（ＫＨｚ）を求めた。   Using Example 1 shown in FIG. 1 and the above-described comparative example, natural frequencies (KHz) in different plural modes were obtained.

実施例１及び比較例におけるモード１は高さ方向（Ｚ）への検出モードである。実施例１におけるモード２は左右方向（Ｘ１−Ｘ２）への検出モードである。また実施例１におけるモード３〜モード６は、検出モード以外のモードであり、前後方向（Ｙ１−Ｙ２）への振動モード、前後方向及び左右方向を軸とした回転モード、面内回転モードである。実施例１のモード３〜モード６については、固有振動数が低いモード順に並べた。   Mode 1 in Example 1 and the comparative example is a detection mode in the height direction (Z). Mode 2 in the first embodiment is a detection mode in the left-right direction (X1-X2). Further, modes 3 to 6 in the first embodiment are modes other than the detection mode, and are a vibration mode in the front-rear direction (Y1-Y2), a rotation mode about the front-rear direction and the left-right direction, and an in-plane rotation mode. . Modes 3 to 6 of Example 1 were arranged in the order of the modes with the lowest natural frequencies.

また、比較例におけるモード２〜モード６は、検出モード以外のモードであり、左右方向（Ｘ１−Ｘ２）及び前後方向（Ｙ１−Ｙ２）への振動モード、前後方向及び左右方向を軸とした回転モード、面内回転モードである。比較例のモード２〜モード６については、固有振動数が低いモード順に並べた。   In addition, modes 2 to 6 in the comparative example are modes other than the detection mode, and are vibration modes in the left-right direction (X1-X2) and the front-rear direction (Y1-Y2), and rotation about the front-rear direction and the left-right direction. Mode, in-plane rotation mode. About the modes 2 to 6 of the comparative example, they were arranged in the order of the modes with the lower natural frequencies.

実施例１は、高さ方向（Ｚ）及び左右方向（Ｘ）への可動部の変位を検出する構成である。図１４に示すように、比較例においても、検出モード以外であるモード２〜モード６での固有振動数は、検出モードであるモード１よりも高くなり、固有振動数差を得ることができるとわかった。よって比較例の構成においても、可動部の高さ方向への変位を適切に検出することができる。ただし実施例１のほうが比較例よりも検出モード以外であるモード３〜モード６での固有振動数は高くなり、検出モードとの固有振動数差を広げることができるとわかった。   Example 1 is a structure which detects the displacement of the movable part to a height direction (Z) and a left-right direction (X). As shown in FIG. 14, in the comparative example, the natural frequency in modes 2 to 6 other than the detection mode is higher than that in mode 1 which is the detection mode, and a natural frequency difference can be obtained. all right. Therefore, also in the configuration of the comparative example, the displacement of the movable portion in the height direction can be appropriately detected. However, in Example 1, the natural frequency in modes 3 to 6 other than the detection mode is higher than that in the comparative example, and it was found that the natural frequency difference from the detection mode can be widened.

また、実施例１では、左右方向（Ｘ）への検出モードであるモード２と、検出モード以外であるモード３〜モード６との固有振動数差を、モード１の場合と同様に大きくすることができた。   Further, in the first embodiment, the natural frequency difference between the mode 2 which is the detection mode in the left-right direction (X) and the modes 3 to 6 which are other than the detection mode is increased as in the case of the mode 1. I was able to.

このように実施例１では、検出モードと検出モード以外のモードとの固有振動数差を大きくでき、優れた検出安定性を得ることができるとわかった。   Thus, in Example 1, it turned out that the natural frequency difference between detection modes and modes other than a detection mode can be enlarged, and the outstanding detection stability can be acquired.

続いて図１０に示す実施例２（高さ方向検知のみ）と、上記した比較例を用いて、異なる複数モードにおける固有振動数（ＫＨｚ）を求めた。   Subsequently, using Example 2 (only height direction detection) shown in FIG. 10 and the above-described comparative example, natural frequencies (KHz) in different plural modes were obtained.

実施例２及び比較例におけるモード１は高さ方向（Ｚ）への検出モードである。また実施例２及び比較例におけるモード２〜モード６は、検出モード以外のモードであり、左右方向（Ｘ１−Ｘ２）及び前後方向（Ｙ１−Ｙ２）への振動モード、前後方向及び左右方向を軸とした回転モード、面内回転モードである。実施例２及び比較例のモード２〜モード６については、固有振動数が低いモード順に並べた。   Mode 1 in Example 2 and the comparative example is a detection mode in the height direction (Z). Further, modes 2 to 6 in the embodiment 2 and the comparative example are modes other than the detection mode, and the vibration mode in the left-right direction (X1-X2) and the front-rear direction (Y1-Y2), the front-rear direction, and the left-right direction are used as axes. Rotation mode and in-plane rotation mode. The modes 2 to 6 of the example 2 and the comparative example are arranged in the order of the modes with the lower natural frequencies.

図１５に示す比較例の結果は図１４と同じである。図１５に示すように、実施例２と比較例とを対比すると、検出モード以外であるモード２〜モード６での固有振動数はいずれも実施例１のほうが高いことがわかった。この結果、これら検出モード以外のモード２〜６と、高さ方向の検出モードであるモード１との固有振動数差は、実施例２のほうが比較例よりも大きくなることがわかった。   The result of the comparative example shown in FIG. 15 is the same as FIG. As shown in FIG. 15, comparing Example 2 and the comparative example, it was found that the natural frequencies in modes 2 to 6 other than the detection mode are higher in Example 1. As a result, it has been found that the natural frequency difference between modes 2 to 6 other than these detection modes and mode 1 which is the detection mode in the height direction is larger in Example 2 than in the comparative example.

このように実施例２では、検出モードと検出モード以外のモードとの固有振動数差を大きくでき、優れた検出安定性を得ることができるとわかった。   As described above, in Example 2, it was found that the natural frequency difference between the detection mode and a mode other than the detection mode can be increased, and excellent detection stability can be obtained.

（実験２：実施例１におけるギャップと静電容量の実験）
実験では図１に示す実施例１（高さ方向及び左右方向の検知部を備える）の物理量センサを用い、図１０に示すギャップＧを変化させてＺ方向検知部における静電容量を求めた。また図１０に示す実施例２（高さ方向の検知部のみ備える）の物理量センサを用い、図１０に示すギャップＧを変化させてＺ方向検知部における静電容量を求めた。(Experiment 2: Experiment of gap and capacitance in Example 1)
In the experiment, the physical quantity sensor of Example 1 (including the height direction and right and left direction detection units) shown in FIG. 1 was used, and the capacitance in the Z direction detection unit was obtained by changing the gap G shown in FIG. Further, using the physical quantity sensor of Example 2 (provided only with the height direction detection unit) shown in FIG. 10, the gap G shown in FIG. 10 was changed to obtain the capacitance in the Z direction detection unit.

その実験結果が図１６に示されている。実施例１と実施例２との静電容量差は非常に小さく、実施例１のように、可動部内にＸ方向検知部を設けても、高さ方向（Ｚ）への検知を高感度で行うことが可能であるとわかった。   The experimental results are shown in FIG. The capacitance difference between Example 1 and Example 2 is very small, and even in the case where the X direction detection unit is provided in the movable part as in Example 1, the detection in the height direction (Z) is highly sensitive. I found it possible to do it.

電界ベクトルを調べてみると、図１０のように電界が櫛歯状電極の下面から固定電極の方向に向って広がっていることがわかった。この結果、可動部２内にＸ方向検知部を設けることで微小隙間が形成されても、前記微小隙間内は櫛歯状電極の下面から広がった電界が作用して電荷密度を上げることができ、図１６のようにＸ方向検知部を備えない実施例２と大差ない静電容量が得られたものと考えられる。   Examination of the electric field vector revealed that the electric field spreads from the lower surface of the comb-like electrode toward the fixed electrode as shown in FIG. As a result, even if a minute gap is formed by providing the X-direction detector in the movable part 2, the electric field spreading from the lower surface of the comb-like electrode acts in the minute gap and the charge density can be increased. As shown in FIG. 16, it is considered that a capacitance that is not significantly different from that of Example 2 that does not include the X-direction detection unit is obtained.

ただしＸ方向検知部の構成としては、並行平板型などとすると可動部２内に形成される空間が大きくなったり、また前記空間内を電界の広がりでカバーしきれないことがある。したがって、図１，図９に示したように、Ｘ方向検知部の可動電極側と固定電極側とで多数の櫛歯状電極が微小隙間を空けて対向し、可動部２が左右方向に可動したときに櫛歯状電極間の対向面積の変化により静電容量が変化する構成とすることが、高感度にでき好適である。   However, if the X-direction detection unit is configured to be a parallel plate type or the like, the space formed in the movable unit 2 may be large, or the space may not be covered by the spread of the electric field. Therefore, as shown in FIGS. 1 and 9, a large number of comb-like electrodes face each other with a small gap between the movable electrode side and the fixed electrode side of the X direction detection unit, and the movable unit 2 is movable in the left-right direction. In this case, it is preferable to have a configuration in which the capacitance changes due to a change in the facing area between the comb-like electrodes, because high sensitivity can be obtained.

１、１９ 物理量センサ
２ 可動部
３、４ 第１の支持部
３ａ、４ａ 第１の脚部
６、７ 第１のアンカ部
８ シリコン基板
９、１１，１５、１７ ばね部
１３、１４ 第２の支持部
１３ａ、１４ａ 第２の脚部
２１ 連結ばね
３０ 固定部
４０ 対向部
４１、５３ 固定電極
５０、５１ Ｘ方向検知部
５２ 可動電極
５４ アンカ部
５７ 固定電極子
６１ 可動電極子DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 19 Physical quantity sensor 2 Movable part 3, 4 1st support part 3a, 4a 1st leg part 6, 7 1st anchor part 8 Silicon substrate 9, 11, 15, 17 Spring part 13, 14 2nd Support part 13a, 14a 2nd leg part 21 Connection spring 30 Fixed part 40 Opposite part 41, 53 Fixed electrode 50, 51 X direction detection part 52 Movable electrode 54 Anchor part 57 Fixed electrode element 61 Movable electrode element

Claims (5)

高さ方向に変位可能な可動部と、前記可動部の変位を検知するためのＺ方向検知部とを有して構成される物理量センサにおいて、
シリコン基板には、固定支持されるアンカ部、前記可動部、及び前記アンカ部と前記可動部とにばね部を介して回動自在に連結された支持部が夫々分離して形成されており、
前記シリコン基板の中央領域に前記可動部が配置され、前記可動部のＹ１−Ｙ２方向の両側に一対の第１のアンカ部が配置され、前記一対の第１のアンカ部に夫々、前記Ｙ１−Ｙ２方向に対して直交するＸ１−Ｘ２方向に延出する第１の支持部が回動自在に連結され、
前記一対の第１のアンカ部に対して前記Ｘ１−Ｘ２方向に並設された一対の第２のアンカ部が配置され、前記一対の第２のアンカ部に夫々、前記Ｘ１−Ｘ２方向に延出する第２の支持部が回動自在に連結されるとともに前記第１の支持部と並設されており、
各支持部には、前記支持部が回動して前記可動部が高さ方向に変位したときに前記可動部の変位方向に対し逆方向に変位する脚部が設けられており、
一対の前記第１の支持部に夫々設けられた第１の脚部は、前記第１のアンカ部からＸ１方向に向けて形成されており、一対の前記第２の支持部に夫々設けられた第２の脚部は、前記第２のアンカ部からＸ２方向に向けて形成されており、
前記第１のアンカ部と前記第２のアンカ部との間には、前記第１の支持部と前記第２の支持部との間を連結する連結ばねが設けられていることを特徴とする物理量センサ。In a physical quantity sensor configured to include a movable part displaceable in the height direction and a Z-direction detection part for detecting displacement of the movable part,
In the silicon substrate, an anchor part fixedly supported, the movable part, and a support part rotatably connected to the anchor part and the movable part via a spring part are separately formed,
The movable portion is disposed in a central region of the silicon substrate, a pair of first anchor portions are disposed on both sides of the movable portion in the Y1-Y2 direction, and the Y1- A first support portion extending in the X1-X2 direction orthogonal to the Y2 direction is rotatably connected,
A pair of second anchor portions arranged side by side in the X1-X2 direction with respect to the pair of first anchor portions is disposed, and each of the pair of second anchor portions extends in the X1-X2 direction. A second supporting portion to be pivotally connected and juxtaposed with the first supporting portion;
Each support portion is provided with a leg portion that is displaced in a direction opposite to the displacement direction of the movable portion when the support portion rotates and the movable portion is displaced in the height direction.
The first leg portions respectively provided on the pair of first support portions are formed in the X1 direction from the first anchor portion, and are respectively provided on the pair of second support portions. The second leg is formed in the X2 direction from the second anchor part,
A connecting spring for connecting the first support portion and the second support portion is provided between the first anchor portion and the second anchor portion. Physical quantity sensor. 前記一対の第１の支持部は、前記可動部のＸ２側にて連結されて一体化しており、前記一対の前記第２の支持部は、前記可動部のＸ１側にて連結されて一体化している請求項１記載の物理量センサ。  The pair of first support parts are connected and integrated on the X2 side of the movable part, and the pair of second support parts are connected and integrated on the X1 side of the movable part. The physical quantity sensor according to claim 1. 前記可動部のＹ１側では、前記第１の支持部が前記第２の支持部よりも外側に位置しており、前記可動部のＹ２側では、前記第２の支持部が前記第１の支持部よりも外側に位置している請求項２記載の物理量センサ。  On the Y1 side of the movable part, the first support part is located outside the second support part, and on the Y2 side of the movable part, the second support part is the first support part. The physical quantity sensor according to claim 2, wherein the physical quantity sensor is located outside the portion. 前記可動部内には、前記可動部のＸ１−Ｘ２方向への変位を検知するためのＸ方向検知部が形成される請求項１ないし３のいずれか１項に記載の物理量センサ。  The physical quantity sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein an X-direction detection unit for detecting a displacement of the movable unit in the X1-X2 direction is formed in the movable unit. 前記Ｘ方向検知部は、前記可動部と一体に形成されたＸ検知可動電極と、前記可動部と分離して形成されたＸ検知固定電極とを有し、前記Ｘ検知可動電極と前記Ｘ検知固定電極とが前記シリコン基板を加工して形成されたものであり、前記Ｘ検知可動電極及び前記Ｘ検知固定電極には夫々、Ｙ１−Ｙ２方向にて間隔を空けて対向する複数の電極子がＸ１−Ｘ２方向に列を成して構成されている請求項４記載の物理量センサ。  The X direction detection unit includes an X detection movable electrode formed integrally with the movable unit, and an X detection fixed electrode formed separately from the movable unit, and the X detection movable electrode and the X detection A fixed electrode is formed by processing the silicon substrate, and each of the X detection movable electrode and the X detection fixed electrode has a plurality of electrode elements facing each other with an interval in the Y1-Y2 direction. The physical quantity sensor according to claim 4, wherein the physical quantity sensor is configured in a row in the X1-X2 direction.
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