JP5741806B2 - はんだ下地層形成用ペースト - Google Patents
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Description
この金属板が回路層とされ、回路層の上に、はんだ材を介してパワー素子としての半導体素子が搭載される。
さらに、半導体素子を接合するまでの過程においてNiめっき膜の表面が酸化等によって劣化し、はんだ材を介して接合した半導体素子との接合信頼性が低下するおそれがあった。
しかしながら、半導体素子等をはんだ接合する場合には、はんだ下地層が平滑でなければ、はんだの濡れが不均一となり、ボイドが発生する原因となっていた。
ここで、特許文献2,3に記載された導電性ペーストにおいては、粘度を規定することで印刷されたペースト表面の平滑化を図っているが、はんだ下地層としては不十分であった。すなわち、単にペーストの粘度を規定しても、はんだ下地層の表面を平滑化することが困難であった。
そして、本発明のはんだ下地層形成用ペーストにおいては、せん断を解放してから2分経過後の歪量が−40%以下としていることから、前述のように、せん断応力を印加して変形させても、せん断応力を解放すると容易に元の形状へと回復する力が大きいという特性を有している。よって、ペーストをスクリーン印刷によって塗布した後スクリーン版が版離れする過程で、ペーストがスクリーン版に付着して持ち上げられるように変形しても、ペーストがスクリーン版から離れた段階で元の形状へと回復する力が発生する。よって、スクリーン印刷によって塗布した場合であっても、表面が平滑なはんだ下地層を形成することができる。
また、銀粉末を用いているので、導電性に優れたはんだ下地層を形成することが可能になる。
さらに、セルロース系樹脂を用いた場合、セルロース系樹脂は、例えば400〜450℃といった比較的低い温度で燃焼して除去されるため、焼成温度を低く抑えることができ、はんだ下地層形成用ペーストを確実に焼成して、はんだ下地層を確実に形成することができる。
また、アクリル系樹脂を用いた場合、アクリル系樹脂は、真空雰囲気や不活性ガス雰囲気であっても、熱分解によって除去されるものであるため、大気雰囲気での焼成では酸化してしまう金属を使用することができる。
この場合、微小な応力を印加した際のクリープ歪量が15%以上とされているので、スクリーン版を完全に取り外した後に、スクリーン版に付着して持ち上げられるように変形した部分が、ペースト自体の自重によって元の形状に戻りやすくなる。特に、メッシュが100/inch以下のような粗いスクリーンを用いた場合において、はんだ下地層の表面を平滑化するのに有効である。
また、微小な応力を印加した際のクリープ歪量が500%以下とされているので、ダレ過ぎによるにじみを防止できる。
この場合、銀粉末の平均粒径が1μm以下とされているので、焼成後のはんだ下地層において銀粉末の粒径に起因する凹凸の発生を抑制することができる。また、銀粉末の平均粒径が0.05μm以上とされているので、ペーストの導電性を確保できる金属含有量としても良好な流動性を持たせることができる。
この場合、塗布されたペーストを焼成することにより生成されるはんだ下地層が、前記ガラス粉末が軟化して形成されるガラス層と、前記ガラス層上に銀粉末が焼結されたAg層とを備えることになる。ここで、前記ガラス層が回路表面の酸化皮膜と反応することになり、回路とはんだ下地層とが強固に接合される。また、前記ガラス層内部には、Agを含有する導電性粒子が分散しており、この導電性粒子によって導電性が確保される。
さらに、前記銀粉末の重量Aと前記ガラス粉末の重量Gの比A/Gが、80/20から99/1の範囲内に設定されているので、導電性に優れ、かつ、回路との密着性に優れたはんだ下地層を形成することができる。
このはんだ下地層形成用ペーストPは、金属粉末と、ガラス粉末と、樹脂と、溶剤と、分散剤と、を含有している。本実施形態では。金属粉末として銀粉末を用いている。
また、銀粉末とガラス粉末とからなる粉末成分の含有量が、はんだ下地層形成用ペーストP全体の60質量%以上90質量%以下とされており、残部が樹脂、溶剤、分散剤とされている。本実施形態では、銀粉末とガラス粉末とからなる粉末成分の含有量は、はんだ下地層形成用ペーストP全体の85質量%とされている。
ガラス粉末は、例えば、酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ケイ素、ホウ酸、リン酸及び酸化ビスマスのいずれか1種又は2種以上を含有しており、その軟化温度が600℃以下とされている。本実施形態では、酸化ビスマスとホウ酸とからなり、平均粒径が0.7μmのガラス粉末を使用した。
また、銀粉末の重量Aとガラス粉末の重量Gとの重量比A/Gは、80/20から99/1の範囲内に調整されており、本実施形態では、A/G=80/5とした。
溶剤は、例えば、α−ターピネオール、ブチルカルビトールアセテート、ジエチレンクリコールジブチルエーテル等を適用することができる。なお、本実施形態では、α−ターピネオール、及び、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソブチレートを、重量比で1:1に混合したものを用いている。
分散剤としては、ポリアミン系分散剤、ジカルボン酸系分散剤を用いることができる。本実施形態では、ポリアミン系分散剤を用いている。なお、分散剤を添加することなく、はんだ下地層形成用ペーストPを構成してもよい。
この回復歪量は、ストレス制御型レオメータを用いることで測定することが可能である。なお、回復歪量は、ストレス型レオメータの測定子とステージのギャップ量(ペースト厚さ)に対する割合として測定されるものである。また、上述のように、せん断を解放した時点の歪量を基準としていることから、回復歪量は負の値を示すことになる。そして、この回復歪量が小さくなる(絶対値が大きくなる)と、元の形状へ回復量しやすいことになる。
このクリープ歪量は、ストレス制御型レオメータを用いることで測定することが可能である。なお、クリープ歪量は、ストレス型レオメータの測定子とステージのギャップ量(ペースト厚さ)に対する割合として測定されるものである。
まず、前述した銀粉末とガラス粉末とを混合して混合粉末を生成する(混合粉末形成工程S1)。
また、溶剤と樹脂とを混合して有機混合物を生成する(有機物混合工程S2)。本実施形態では、α−ターピネオールを45質量%、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソブチレートを45質量%、エチルセルロースを10質量%として、有機混合物を生成する。
得られた予備混合物を、3本ロールミルによって混練し、粉末の凝集を解砕してペーストを得る(混錬工程S4)。
混錬工程S4によって得られたペーストを、ペーストろ過機によってろ過する(ろ過工程S5)。
このようにして、本実施形態であるはんだ下地層形成用ペーストPが製出される。
このパワーモジュール1は、回路層12が配設されたパワーモジュール用基板10と、回路層12の表面にはんだ層2を介して接合された半導体チップ3と、冷却器40とを備えている。
セラミックス基板11は、回路層12と金属層13との間の電気的接続を防止するものであって、絶縁性の高いAlN(窒化アルミ)で構成されている。また、セラミックス基板11の厚さは、0.2〜1.5mmの範囲内に設定されており、本実施形態では、0.635mmに設定されている。
なお、はんだ下地層30は、図2に示すように、回路層12の表面全体には形成されておらず、半導体チップ3が配設される部分にのみ選択的に形成されている。
このパワーモジュール用基板10においては、回路層12の表面(図3において上面)に、前述のはんだ下地層30が形成されている。このはんだ下地層30は、はんだ層2を介して半導体チップ3を接合する前の状態では、図3に示すように、回路層12側に形成されたガラス層31と、このガラス層31上に形成されたAg層32と、を備えている。このガラス層31内部には、粒径が数ナノメートル程度の微細な導電性粒子が分散されている。本実施形態においては、この導電性粒子は、Ag又はAlの少なくとも一方を含有する結晶性粒子とされている。なお、ガラス層31内の導電性粒子は、例えば透過型電子顕微鏡観察(TEM)を用いることで観察される。
まず、回路層12となるアルミニウム板及び金属層13となるアルミニウム板を準備し、これらのアルミニウム板を、セラミックス基板11の一方の面及び他方の面にそれぞれろう材を介して積層し、加圧・加熱後冷却することによって、前記アルミニウム板とセラミックス基板11とを接合する(回路層接合工程S11)。なお、このろう付けの温度は、640℃〜650℃に設定されている。
このとき、スクリーン版51にはんだ下地層形成用ペーストPが付着し、一緒に上方に引き上げられる。引き上げられたはんだ下地層形成用ペーストPはすぐに千切れ、引き上げられた際の変形を回復しようとして塗布されたはんだ下地層形成用ペーストPの表面が平滑化される。
このようにして、はんだ下地層形成用ペーストPが回路層12上に塗布される。
この焼成工程S14により、ガラス層31とAg層32とを備えたはんだ下地層30が形成される。このとき、ガラス層31によって、回路層12の表面に自然発生していたアルミニウム酸化皮膜が溶融除去されることになり、回路層12に直接ガラス層31が形成される。また、ガラス層31の内部に、微細な導電性粒子が分散される。この導電性粒子は、Ag又はAlの少なくとも一方を含有する結晶性粒子とされており、焼成の際にガラス層31内部に析出したものと推測される。
はんだ下地層30においては、はんだ下地層形成ペースト塗布工程S13で塗布されたはんだ下地層形成ペーストの表面状態がそのまま反映されることになる。
これにより、はんだ層2を介して半導体チップ3が回路層12上に接合されたパワーモジュール1が製出されることになる。
よって、はんだ下地層30及びはんだ層2を介して、半導体チップ3と回路層12との間で電気を確実に導通することが可能となり、信頼性の高いパワーモジュール1を構成することができる。
さらに、粉末成分中における銀粉末の重量Aとガラス粉末の重量Gの比A/Gが、80/20から99/1の範囲内に設定されており、本実施形態ではA/G=80/5とされているので、導電性に優れ、かつ、回路層12との密着性に優れたはんだ下地層30を形成することができる。
例えば、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる回路層上にはんだ下地層を形成するものとして説明したが、これに限定されることはなく、銅又は銅合金などの他の導電性物質からなる回路の上にはんだ下地層を形成するものであってもよい。
金属粉末として銀粉末を用いたもので説明したが、Au、Cu、Ni、Al等の金属粉末を用いてもよい。
樹脂としてエチルセルロースを用いたもので説明したが、アクリル系樹脂等の他の樹脂を適用してもよい。
溶剤についても、本実施形態に記載されたものに限定されることはない。
分散剤、ガラス粉末は、適宜選択して添加すればよい。
金属粉末として、表1に示す平均粒径の銀粉末を用いた。なお、平均粒径はマイクロトラック法により測定したd50(メジアン径)とした。ここで、平均粒径0.2μm、0.6μm、0.8μmの銀粉末は球状のものとし、平均粒径0.3μmの銀粉末は凝集した形状のものとした。
樹脂は3種類を準備した。樹脂Aは、ハーキュレス社製エチルセルロースN−200とした。樹脂Bは、ハーキュレス社製エチルセルロースN−50とした。樹脂Cは、アクリル樹脂であるポリイソブチルメタアクリレート(重量平均分子量50000)とした。
分散剤は2種類を準備した。分散剤Dは、ポリアミン系分散剤とした。分散剤Eは、ジカルボン酸系分散剤とした。
測定対象となるペーストを測定ステージ上に10g載置し、測定子を所定のギャップに調整した。このとき、測定子からはみ出したペーストはスパチュラを用いて除去した上で測定を開始した。
粘度は、せん断速度0.4s−1〜40s−1の粘度を測定した。表2に、0.4s−1における粘度(η0.4)と40s−1における粘度(η40)を示す。
なお、通常、表面粗さとしては粗さ曲線の算術平均高さRaを用いることが多いが、カットオフ値λc=0.08μmにてRa,Waを分離して検討した結果、スクリーン版のメッシュに起因する粗さはWaに大きく影響し、Raにはほとんど影響がないことが判明したため、Waを用いて評価した。
また、#250のスクリーン版を用いた場合の回復歪量と表面粗さとの関係を図6に示す。#70のスクリーン版を用いた場合の回復歪量と表面粗さとの関係を図7に示す。
さらに、#70のスクリーン版を用いた場合のクリープ歪量と表面粗さとの関係を図8、図9に示す。
また、表2に示すように、クリープ歪み量が786.5%とされた本発明例8では、はんだ下地層の表面粗さは小さくなっているが、にじみが発生しており、アルミニウムの回路層を高精細に形成する場合には適さない。一方、クリープ歪み量が430%とされた本発明例9では、にじみが抑えられており、アルミニウムの回路層を高精細に形成することが可能であることが確認される。
2 はんだ層
3 半導体チップ(電子部品)
10 パワーモジュール用基板
12 回路層(回路)
30 はんだ下地層
Claims (4)
- 回路上に電子部品をはんだ接合する際に用いられるはんだ下地層形成用ペーストであって、
少なくとも、銀粉末と、セルロース系樹脂又はアクリル系樹脂と、ガラス粉末と、を含み、
ずり速度10s−1でせん断を1分間加えた後に、応力を印加しない状態で歪量を測定した場合に、
せん断を解放した時点での歪量を0として、せん断を解放してから2分経過後の歪量が−40%以下かつ−81.3%以上となることを特徴とするはんだ下地層形成用ペースト。 - せん断応力を5Pa×1分間印加した場合において、クリープ歪量が15%以上500%以下であることを特徴とする請求項1に記載のはんだ下地層形成用ペースト。
- 前記銀粉末の平均粒径が0.05μm以上1μm以下とされていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のはんだ下地層形成用ペースト。
- 前記銀粉末及び前記ガラス粉末からなる粉末成分の含有量が、60質量%以上90質量%以下とされ、
前記粉末成分中における前記銀粉末の重量Aと前記ガラス粉末の重量Gの比A/Gが、80/20から99/1の範囲内に設定されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のはんだ下地層形成用ペースト。
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