JP5740209B2 - Aqueous inkjet ink composition for etching resist - Google Patents

Aqueous inkjet ink composition for etching resist Download PDF

Info

Publication number
JP5740209B2
JP5740209B2 JP2011121398A JP2011121398A JP5740209B2 JP 5740209 B2 JP5740209 B2 JP 5740209B2 JP 2011121398 A JP2011121398 A JP 2011121398A JP 2011121398 A JP2011121398 A JP 2011121398A JP 5740209 B2 JP5740209 B2 JP 5740209B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polymer
water
ink
parts
meth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011121398A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2012245757A (en
Inventor
嶋中 博之
博之 嶋中
山崎 三雄
三雄 山崎
真一郎 青柳
真一郎 青柳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dainichiseika Color and Chemicals Mfg Co Ltd
Original Assignee
Dainichiseika Color and Chemicals Mfg Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dainichiseika Color and Chemicals Mfg Co Ltd filed Critical Dainichiseika Color and Chemicals Mfg Co Ltd
Priority to JP2011121398A priority Critical patent/JP5740209B2/en
Publication of JP2012245757A publication Critical patent/JP2012245757A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5740209B2 publication Critical patent/JP5740209B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Ink Jet Recording Methods And Recording Media Thereof (AREA)
  • Inks, Pencil-Leads, Or Crayons (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Description

本発明は、エッチングレジストに使用されるインク組成物に関し、さらに詳しくは、インクジェット印刷方式で印刷できる水性のエッチングレジストであるエッチングレジスト用の水性インクジェットインク組成物に関する。   The present invention relates to an ink composition used for an etching resist, and more particularly to an aqueous inkjet ink composition for an etching resist that is an aqueous etching resist that can be printed by an inkjet printing method.

エッチングとは、腐食層(例えば、銅、亜鉛などの金属、樹脂)を表面に有する素材の必要な部分に、化学薬品(腐食液、エッチング液)に耐えうる保護膜(レジスト)を形成して防食処理をし、次いで化学薬品によって不要な部分を除去する方法のことであり、その後に保護膜を除去して現像が行われる。この場合、特にアルカリ溶液による現像が一般的であるが、このような化学薬品で保護膜を除去することで、その保護された部分のみ腐食層が残り、素材上に所望の像の形成を可能にする。この方法を利用することで、様々な種類の素材上に、精緻な、文字、画像、回路、パターンなどを作成することができるが、近年、この技術の利用は広範な分野に及んでいる。   Etching is the formation of a protective film (resist) that can withstand chemicals (corrosive solution, etchant) on the necessary parts of the material having a corrosive layer (for example, metals such as copper and zinc, resin) on the surface. This is a method of performing an anticorrosion treatment and then removing unnecessary portions with chemicals, and thereafter, the protective film is removed and development is performed. In this case, development with an alkaline solution is generally used. However, by removing the protective film with such a chemical, a corrosive layer remains only on the protected portion, and a desired image can be formed on the material. To. By using this method, it is possible to create elaborate characters, images, circuits, patterns, etc. on various types of materials, but in recent years, the use of this technique has spread to a wide range of fields.

このようなエッチング方法を使用する技術は、例えば、金属加工、電子回路、プリント基板、製版、半導体分野、カラーフィルターなどの各種分野で、画像形成やパターン形成の手法として利用されている。特に、昨今の情報化機器の急速な発展に伴って、その小型化が進んできているという実情から、また、金属プレートなどの高意匠性に対応する目的から、その画像形成やパターン形成は、細密化、多層化したものになっており、繊細で微細な線画の形成を可能にするエッチング方法が求められている。このため、従来行なわれているスクリーン印刷やフォトリソグラフィーなどに用いられているスピンコートやスリットコートでの塗布よりもさらに繊細な線画の印刷ができるように、エッチング方法においても、インクジェット印刷方式が採用され始めている。ここで、インクジェット印刷方法で用いられているレジストインクは、有機溶媒系(例えば、特許文献1、2参照)、紫外線硬化性インク(例えば特許文献3、4参照)などであるが、省資源、省エネルギー、環境性や安全性の観点から、水性タイプのインクの開発が求められている。   The technique using such an etching method is used as a technique for image formation or pattern formation in various fields such as metal processing, electronic circuits, printed circuit boards, plate making, semiconductor fields, and color filters. In particular, from the actual situation that the miniaturization has progressed with the rapid development of information-oriented devices in recent years, and for the purpose of responding to high design properties such as metal plates, image formation and pattern formation, There is a demand for an etching method that is fine and multilayered, and that enables the formation of delicate and fine line drawings. For this reason, the inkjet printing method is also used in the etching method so that finer line drawings can be printed than the conventional spin coating and slit coating methods used for screen printing and photolithography. Being started. Here, the resist ink used in the inkjet printing method is an organic solvent system (for example, see Patent Documents 1 and 2), an ultraviolet curable ink (for example, see Patent Documents 3 and 4), etc., but resource saving, From the viewpoint of energy saving, environmental friendliness and safety, development of water-based ink is required.

特開平9−114091号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-114091 特開平11−149159号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-149159 特開2007−507610号公報JP 2007-507610 A 特開2010−53177号公報JP 2010-53177 A

したがって、本発明の目的は、環境保護などの観点から有用な水性のインクであって、且つ微細で精度のよい印画ができるインクジェット印刷方式で印画・印字でき、且つエッチングの際の塩化第二鉄などの無機化合物水溶液である腐食液に耐え、さらにアルカリ水溶液で溶解して現像できるエッチングレジスト用水性インクジェットインクを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is a water-based ink useful from the viewpoint of environmental protection and the like, and can be printed and printed by an ink jet printing method capable of fine and accurate printing, and ferric chloride at the time of etching. Another object of the present invention is to provide a water-based inkjet ink for an etching resist that can withstand a corrosive liquid that is an aqueous solution of an inorganic compound such as an aqueous solution and that can be dissolved and developed in an aqueous alkaline solution.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、エッチングレジスト用の水性インクとして有用に機能し得るポリマーの性状を見出し、本発明を達成した。すなわち、本発明者らは、アルカリ現像できうる酸基であるカルボキシル基をその構造中に有するビニル系ポリマーを用い、さらに該ポリマーを、そのカルボキシル基に由来するポリマーの酸価のうちの少なくとも一部をアルカリで中和させ、インクを構成する水と水可溶性有機溶媒(以下、水性媒体とも呼ぶ)に溶解せずに、水分散体又はエマルジョンの形で配合させることが有効であることを見出した。このように構成したポリマーを含有してなる水性インクとすることによって、ポリマーの構造中にカルボキシル基が多くても、又は配合量が多くても、低粘度化された水性インクとなる。このインクの低粘度を達成することでインクジェット印刷ができるようになり、その結果、インクジェット印刷によって微細な線画を精度よく印刷することを達成した。本発明者らは、このインクジェット用インクとしての適性に加えて、本発明を特徴づける上記ポリマーは、エッチング耐性、アルカリ現像性に優れることを見出して、エッチングレジスト用の水性インクジェットインク組成物として本発明を完成するに至った。   As a result of diligent research to solve the above problems, the present inventors have found the properties of a polymer that can function effectively as a water-based ink for an etching resist, and achieved the present invention. That is, the present inventors use a vinyl polymer having a carboxyl group in its structure, which is an acid group that can be alkali-developed, and further use the polymer for at least one of the acid values of the polymer derived from the carboxyl group. It has been found that it is effective to neutralize the part with an alkali and mix it in the form of an aqueous dispersion or emulsion without dissolving it in the water constituting the ink and the water-soluble organic solvent (hereinafter also referred to as an aqueous medium). It was. By making the water-based ink containing the polymer constituted in this way, the water-based ink having a reduced viscosity can be obtained regardless of whether the polymer structure has many carboxyl groups or a large amount. By achieving the low viscosity of the ink, ink jet printing can be performed. As a result, fine line drawing can be accurately printed by ink jet printing. In addition to the suitability as an ink jet ink, the present inventors have found that the above-mentioned polymer characterizing the present invention is excellent in etching resistance and alkali developability, and the present invention is used as an aqueous ink jet ink composition for an etching resist. The invention has been completed.

すなわち、本発明は、以下に示すエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物を提供する。
[1]水と、水可溶性有機溶媒と、ポリマーとを少なくとも含有してなる、インクジェット印刷方式で印画されるエッチングレジスト用インクであって、前記ポリマー、α,β不飽和結合含有モノマーの付加重合によって得られ、少なくとも、カルボキシル基を有するα,β不飽和結合含有モノマーを構成成分とする、その酸価が50〜250mgKOH/gで、且つ、その数平均分子量が2,000〜20,000であり、さらに、インク中における該ポリマーの形態が、前記ポリマーの前記酸価のうちの少なくとも一部を中和することで、平均粒子径が10nm〜200nmの水分散体又はエマルジョンとなっており、前記中和後のポリマーの形態を水分散体又はエマルジョンとするための中和が、前記カルボキシル基に由来するポリマーの前記酸価のうちの少なくとも一部、アンモニア;モノ又はジ又はトリアルキル(炭素数1〜4)アミン;モノアルカノール(炭素数2又は3)アミン;モノ又はジアルキル(炭素数1〜4)モノアルカノール(炭素数2又は3)アミンからなる群から選択される少なくともいずれかの化合物で前記ポリマーが水可溶性にならないように中和することでなされており、且つ、インクの粘度が2〜20mPa・sであることを特徴とするエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物。
That is, this invention provides the water-based inkjet ink composition for etching resists shown below.
[1] An etching resist ink printed by an ink jet printing method, comprising at least water, a water-soluble organic solvent, and a polymer, wherein the polymer is an addition of a monomer containing an α, β unsaturated bond It is obtained by polymerization and contains at least an α, β unsaturated bond-containing monomer having a carboxyl group as a constituent, its acid value is 50 to 250 mgKOH / g, and its number average molecular weight is 2,000 to 20,000. 0, further, the form of the polymer in the ink is, by neutralizing at least a portion of the acid value of the polymer, the average particle diameter becomes aqueous dispersion or emulsion of 10nm~200nm cage, polymers in the form of polymer after the neutralization neutralization for the water dispersion or emulsion, derived from the carboxyl group Of at least a portion of the acid value, ammonia; mono- or di- or trialkyl (1-4 carbon atoms) amine; monoalkanol (carbon atoms 2 or 3) an amine; mono- or dialkyl (1-4 carbon atoms) at least the polymer in one of compound selected from the group consisting of mono-alkanols (2 or 3 carbon atoms) amine are such that neutralize so as not to water-soluble, and the viscosity of the ink is 2 An aqueous ink-jet ink composition for etching resists, characterized in that it is 20 mPa · s .

[2]25℃において、pHが5〜8.2であり、粘度が0mPa・sである上記[1]のインク組成物。
[3]前記ポリマーの分子量分布である重量平均分子量/数平均分子量が、1.6以下である上記[1]又は[2]のインク組成物。
[2] The ink composition according to the above [1], having a pH of 5 to 8.2 and a viscosity of 3 to 10 mPa · s at 25 ° C.
[3] The ink composition according to [1] or [2], wherein the weight average molecular weight / number average molecular weight, which is the molecular weight distribution of the polymer, is 1.6 or less.

[4]前記ポリマーが、A−Bブロックコポリマー構造を有し、Aのポリマーブロックが、その酸価が0〜50mgKOH/gで且つその数平均分子量が1,000〜5,000であり、Bのポリマーブロックが、その酸価が50〜200mgKOH/gで且つその数平均分子量が1,000〜15,000である上記[1]〜[3]のいずれかに記載のインク組成物。 [4] The polymer has an AB block copolymer structure, the polymer block of A has an acid value of 0 to 50 mgKOH / g and a number average molecular weight of 1,000 to 5,000, The ink composition according to any one of [1] to [3], wherein the polymer block has an acid value of 50 to 200 mg KOH / g and a number average molecular weight of 1,000 to 15,000.

また、上記[1]〜[4]のいずれかに記載のインク組成物において、インクの成分として以下を満たすことが好ましい。
[5]さらに、着色剤成分として染料又は顔料を含むインク組成物。
[6]さらに、水性の紫外線硬化性モノマー及び/又はオリゴマーを硬化成分として含むインク組成物。
In addition, in the ink composition according to any one of [1] to [4], it is preferable that the following are satisfied as ink components.
[5] An ink composition further comprising a dye or pigment as a colorant component.
[6] An ink composition further comprising an aqueous ultraviolet curable monomer and / or oligomer as a curing component.

本発明によれば、環境保護などの観点から有用な水性のインクであり、且つ微細で精度のよい印画ができるインクジェット印刷方式で印画・印字をすることが可能で、且つ該インクで形成したポリマー層は、エッチングの際の塩化第二鉄などの無機化合物水溶液である腐食液に耐え、さらにアルカリ現像液で容易に溶解や剥離ができるものとなるエッチングレジスト用に有用な水性インクジェットインク組成物が提供される。本発明によれば、このエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物(以下、単にインク組成物又はインクと呼ぶ)を用いることで、例えば、金属加工、電子回路、プリント基板、製版、半導体分野、カラーフィルターなどの各種分野における画像形成やパターン形成において、微細で精度のよい画像、文字、回路、パターンなどを容易に形成することが可能になる。   According to the present invention, a water-based ink that is useful from the viewpoint of environmental protection and the like, a polymer that can be printed and printed by an ink jet printing method capable of fine and accurate printing, and formed with the ink. The layer is resistant to a corrosive liquid that is an aqueous solution of an inorganic compound such as ferric chloride at the time of etching, and further, an aqueous inkjet ink composition useful for an etching resist that can be easily dissolved or peeled off with an alkaline developer. Provided. According to the present invention, by using this aqueous inkjet ink composition for an etching resist (hereinafter simply referred to as an ink composition or ink), for example, metal processing, electronic circuit, printed circuit board, plate making, semiconductor field, color filter In image formation and pattern formation in various fields such as, it is possible to easily form fine and accurate images, characters, circuits, patterns, and the like.

次に、本発明を実施するための好ましい形態を例に挙げて、本発明をさらに詳しく説明する。
本発明のインク組成物は、下記のようにして素材上にエッチングパターンを形成する際に用いるレジストとして機能し得るものである。腐食層(銅、亜鉛などの金属層、樹脂層)をもつ素材に、本発明の水性インクでインクジェット印刷(乾燥工程を含む)して微細な線画のポリマー膜を作成する。次いで、塩化第二鉄水溶液などの腐食水溶液にて腐食層を除去するが、本発明の水性インクで形成したポリマー層が設けられた腐食層部分は除去されることなく保護される。次いで、アルカリ水溶液にてポリマー層のカルボキシル基を中和してイオン化し、ポリマー膜を水可溶として除去する。この結果、不要な部分が除去されて、素材上に精緻な腐食層の線画が形成される。その具体例としては、例えば、その腐食層が銅であれば、精緻な回路やパターンの形成が容易にできる。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments for carrying out the present invention.
The ink composition of the present invention can function as a resist used when an etching pattern is formed on a material as described below. A material having a corrosive layer (a metal layer such as copper or zinc, or a resin layer) is inkjet-printed (including a drying step) with the aqueous ink of the present invention to form a polymer film having a fine line drawing. Next, the corrosive layer is removed with a corrosive aqueous solution such as an aqueous ferric chloride solution, but the corrosive layer portion provided with the polymer layer formed with the aqueous ink of the present invention is protected without being removed. Next, the carboxyl group of the polymer layer is neutralized and ionized with an aqueous alkaline solution, and the polymer film is removed as water-soluble. As a result, unnecessary portions are removed, and a fine line drawing of the corrosion layer is formed on the material. As a specific example, for example, if the corrosive layer is copper, it is possible to easily form a precise circuit or pattern.

本発明のインク組成物は、上記のような特殊用途に用いられるものであるため、通常のインクジェット用インク組成物とは異なる要求性能も必要になり、その特性の大きなポイントは下記に挙げるものになる。
(1)環境保全に資する水性でありながら、ポリマー膜を形成できること。
(2)インクジェット印刷方式で吐出できる低粘度(例えば、5mPa・s)であり、且つヘッドで乾燥しても再度液媒体で溶解すること。
(3)金属層や樹脂層などの腐食層を持つ素材に対して、密着性が高いポリマー膜を形成できること。
(4)形成したポリマー膜が、腐食水溶液に耐え得る保護層としてのポリマー膜であること、その際水に不溶であること。
(5)アルカリ現像にて、形成したポリマー膜がイオン化されて溶解して除去できること。
Since the ink composition of the present invention is used for special applications as described above, it also requires required performance different from that of a normal inkjet ink composition. Become.
(1) A polymer film can be formed while being water-based for environmental conservation.
(2) It has a low viscosity (for example, 5 mPa · s) that can be ejected by an ink jet printing method, and dissolves again in a liquid medium even when dried by a head.
(3) A polymer film having high adhesion can be formed on a material having a corrosion layer such as a metal layer or a resin layer.
(4) The formed polymer film is a polymer film as a protective layer that can withstand a corrosive aqueous solution, and is insoluble in water.
(5) The formed polymer film is ionized, dissolved and removed by alkali development.

本発明者らは、上記した要求性能に鑑み、エッチングレジスト用の水性インクジェットインク組成物に適用可能なポリマーとするための要件について鋭意検討した。まず、最終的にアルカリ現像できることが必要であるので、保護膜となるポリマーには、アルカリにてイオン化して水に溶解するポリマーとするために、その構造中に酸基を多く持つことが必須になる。または、水可溶性を出すために、その構造中に、親水性を出すポリエーテルなどの水溶性基を導入してもよい。しかし、アルカリ現像では、その酸基を持つポリマーが水に溶解するということなので、そのまますべての酸基を中和してインクにすると粘度が高くなってしまい、インクジェット印刷で印字できる低粘度のインクにならない。また、その構造中に親水性基を有すると腐食水溶液に溶解してしまい、強固な保護膜として機能できないといった別の問題が出てくる。本発明者らは、これらのことから、エッチングレジスト用であって、しかもインクジェット印刷用である本発明のインクに対する要求性能を満足するためには、インクの粘度を上げず、且つ腐食水溶液に分解や溶解せず、且つアルカリ現像液で溶解して水に溶解するという性質を併せ持つポリマー成分の開発が必要であるとの結論に至った。   In view of the above-mentioned required performance, the present inventors diligently studied requirements for making a polymer applicable to an aqueous inkjet ink composition for an etching resist. First, since it is necessary to finally be able to develop with an alkali, it is essential for the polymer to be a protective film to have many acid groups in its structure in order to make it a polymer that can be ionized with an alkali and dissolved in water. become. Alternatively, in order to achieve water solubility, a water-soluble group such as polyether that exhibits hydrophilicity may be introduced into the structure. However, in alkali development, the polymer having the acid group is dissolved in water, so if all the acid groups are neutralized to make an ink, the viscosity becomes high, and the low viscosity ink that can be printed by inkjet printing. do not become. In addition, if the structure has a hydrophilic group, it will dissolve in the corrosive aqueous solution, resulting in another problem that it cannot function as a strong protective film. From these facts, in order to satisfy the required performance of the ink of the present invention that is used for etching resist and for inkjet printing, the present inventors do not increase the viscosity of the ink and decompose it into a corrosive aqueous solution. It came to the conclusion that it is necessary to develop a polymer component that does not dissolve, and that has the property of dissolving in an alkaline developer and dissolving in water.

本発明者らは、上記した観点から、インク組成物に含有させるポリマー成分について鋭意検討した結果、上記した問題は次の方法によって解決することができることを見出し、本発明を達成した。すなわち、少なくとも、水、水可溶性有機溶媒、バインダーとからなる水性インクにおいて、該バインダーを、カルボキシル基を有するビニル系ポリマーとし、且つそのカルボキシル基の一部がアルカリにて中和されてイオン化しており、且つ水媒体に分散又は乳化している形態の、ポリマーの水分散体又はエマルジョンとすることで、上記の課題はいずれも解決可能になる。   As a result of intensive studies on the polymer component contained in the ink composition from the above viewpoint, the present inventors have found that the above-described problems can be solved by the following method, and have achieved the present invention. That is, in an aqueous ink comprising at least water, a water-soluble organic solvent, and a binder, the binder is a vinyl polymer having a carboxyl group, and a part of the carboxyl group is ionized by being neutralized with an alkali. All of the above problems can be solved by using an aqueous dispersion or emulsion of the polymer in a form dispersed and emulsified in an aqueous medium.

さらに詳しくは、該ポリマーは、下記の要件をいずれも満足する平均粒子径10nm〜200nmの水分散体又はエマルジョンであることを要する。
(1)α,β不飽和結合含有モノマーの付加重合で得られたものであること。
(2)カルボキシル基を有するα,β不飽和結合含有モノマーを少なくとも構成成分として付加重合されたもので、ポリマー中の酸価が50〜250mgKOH/gのものであること。
(3)数平均分子量が2,000〜20,000であること。
(4)そのカルボキシル基含有量の酸価のうちの少なくとも一部(カルボキシル基に由来するポリマーの酸価のうちの少なくとも一部)が、アルカリで中和されていること。ここで、少なくとも一部とは、ポリマーが本来有するカルボキシル基に由来する酸価のうちの10〜100mgKOH/g程度が中和されていることを意味しており、上記した酸価の一部が部分中和されたものをインク成分として用いることを意味している。
(5)部分中和するためのアルカリが、アンモニア;モノ又はジ又はトリアルキル(炭素数1〜4)アミン;モノアルカノール(炭素数2又は3)アミン;モノ又はジアルキル(炭素数1〜4)モノアルカノール(炭素数2又は3)アミンからなる群から選択される少なくともいずれかであること。
More specifically, the polymer needs to be an aqueous dispersion or emulsion having an average particle diameter of 10 nm to 200 nm that satisfies all of the following requirements.
(1) It was obtained by addition polymerization of a monomer containing an α, β unsaturated bond.
(2) An addition-polymerized monomer having an α, β-unsaturated bond-containing monomer having a carboxyl group and having an acid value in the polymer of 50 to 250 mgKOH / g.
(3) The number average molecular weight is 2,000 to 20,000.
(4) At least a part of the acid value of the carboxyl group content (at least a part of the acid value of the polymer derived from the carboxyl group) is neutralized with an alkali. Here, at least a part means that about 10 to 100 mgKOH / g of the acid value derived from the carboxyl group inherent in the polymer is neutralized, and a part of the acid value described above is This means that a partially neutralized ink is used as the ink component.
(5) Alkali for partial neutralization is ammonia; mono-, di- or trialkyl (1 to 4 carbon atoms) amine; monoalkanol (2 or 3 carbon atoms) amine; mono or dialkyl (1 to 4 carbon atoms) It is at least one selected from the group consisting of monoalkanol (carbon number 2 or 3) amine.

以下、本発明に使用されるポリマーの構成成分などについて詳細に説明する。該ポリマーは、α,β不飽和結合含有モノマー(以下、単にビニルモノマー、又はモノマーともいう)の付加重合で得られるビニル系ポリマーである。具体的には、オレフィン系、スチレン系、アクリル系、ビニルエーテル系、ビニルエステル系、ビニルアミド系、ハロゲン化ビニル系モノマーなどのいずれかのポリマー種、これらに使用されるモノマーの組み合わせにてできるポリマー種のいずれかであって、且つカルボキシル基を有するビニルモノマーを成分として含むことを必須とする。   Hereinafter, the constituent components of the polymer used in the present invention will be described in detail. The polymer is a vinyl polymer obtained by addition polymerization of an α, β unsaturated bond-containing monomer (hereinafter, also simply referred to as a vinyl monomer or a monomer). Specifically, any polymer species such as olefin, styrene, acrylic, vinyl ether, vinyl ester, vinyl amide, vinyl halide monomer, and the polymer species that can be used in combination of the monomers used And a vinyl monomer having a carboxyl group as a component is essential.

本発明で使用するカルボキシル基を有するビニル系モノマーとしては、特に限定されないが、下記のものが挙げられる。例えば、ビニル安息香酸、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、アクリル酸二量体或いは(メタ)アクリル酸モノヒドロキシアルキルエステルなどの水酸基含有モノマーに、無水フタル酸や無水コハク酸などの二塩基酸を反応させたモノマーや、α−クロロアクリル酸などが使用できる。   Although it does not specifically limit as a vinyl-type monomer which has a carboxyl group used by this invention, The following are mentioned. For example, phthalic anhydride or succinic anhydride to a hydroxyl group-containing monomer such as vinyl benzoic acid, (meth) acrylic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, acrylic acid dimer or (meth) acrylic acid monohydroxyalkyl ester A monomer obtained by reacting a dibasic acid such as α-chloroacrylic acid or the like can be used.

本発明を特徴づけるポリマーは、上記に挙げたようなカルボキシル基含有モノマーのホモポリマー又は他のビニルモノマーとの共重合体である。この場合に使用できる他のビニルモノマーとしては、付加重合できるα,β不飽和結合含有モノマーであれば特に限定はなく、下記に挙げるものが例示される。例えば、エチレンやプロピレンなどの不飽和炭化水素系のモノマー;スチレンやビニルトルエンなどの芳香族炭化水素系のモノマー;クロロエチレンやテトラフルオロエチレンなどのハロゲン系ビニルモノマー;(メタ)アクリロニトリルなどのニトリル系のモノマー;(メタ)アクリル酸メチルや(メタ)アクリル酸シクロヘキシルなどの(メタ)アクリル酸エステル系のモノマー;(メタ)アクリルアミドやN,N−ジメチル(メタ)アクリルアミドなどのアミド系のビニルモノマー;酢酸ビニルやプロピオン酸ビニルなどのビニルエステル系モノマー;ビニルt−ブチルエーテルなどのビニルエーテル系のモノマー;N−ビニルカプロラクタムなどのビニルアミド系モノマーが使用できる。   The polymer characterizing the present invention is a homopolymer of a carboxyl group-containing monomer as mentioned above or a copolymer with another vinyl monomer. The other vinyl monomer that can be used in this case is not particularly limited as long as it is an α, β unsaturated bond-containing monomer capable of addition polymerization, and examples thereof include the following. For example, unsaturated hydrocarbon monomers such as ethylene and propylene; aromatic hydrocarbon monomers such as styrene and vinyl toluene; halogen vinyl monomers such as chloroethylene and tetrafluoroethylene; nitrile monomers such as (meth) acrylonitrile A monomer of (meth) acrylate ester such as methyl (meth) acrylate and cyclohexyl (meth) acrylate; an amide vinyl monomer such as (meth) acrylamide and N, N-dimethyl (meth) acrylamide; Vinyl ester monomers such as vinyl acetate and vinyl propionate; vinyl ether monomers such as vinyl t-butyl ether; vinylamide monomers such as N-vinylcaprolactam can be used.

特に本発明では、上記その他のモノマーとして、芳香族炭化水素系のモノマーや(メタ)アクリル酸エステル系のモノマーからなるポリマーを用いることが好ましい。その理由は、これらのモノマーは、モノマー種類の多さによる性能改良や性能最適化の容易さ、リビングラジカル重合にて、工業的に容易に構造が制御されたポリマー構造とすることができるからである。   In particular, in the present invention, it is preferable to use a polymer comprising an aromatic hydrocarbon monomer or a (meth) acrylic acid ester monomer as the other monomer. The reason is that these monomers can be easily improved in performance and performance optimization due to the variety of monomers, and can be made into a polymer structure whose structure is easily controlled industrially by living radical polymerization. is there.

さらに、本発明を特徴づけるポリマーの合成に好適に使用できる芳香族炭化水素系モノマーを例示すると、下記のものが挙げられる。例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、ヒドロキシスチレン、t−ブチルビニルベンゼンエーテル、クロロメチルスチレン、エチルスチレン、ビニルナフタレン、ビニルビフェニル、ビニルアントラセンおよびスチレンスルホン酸などから選択したものが、いずれも使用できる。   Furthermore, examples of the aromatic hydrocarbon monomer that can be suitably used for the synthesis of the polymer characterizing the present invention include the following. For example, those selected from styrene, vinyl toluene, α-methyl styrene, hydroxy styrene, t-butyl vinyl benzene ether, chloromethyl styrene, ethyl styrene, vinyl naphthalene, vinyl biphenyl, vinyl anthracene, styrene sulfonic acid, etc. Can be used.

また、本発明を特徴づけるポリマーの合成に好適に使用できる(メタ)アクリル酸エステル系モノマーとしては、下記の従来公知の種々のモノマーが挙げられ、いずれも使用できる。該モノマーとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−メチルプロパン(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラデシル(メタ)アクリレート、オクタデシル(メタ)アクリレート、べへニル(メタ)アクリレート、イソステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、t−ブチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリメチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、シクロデシル(メタ)アクリレート、シクロデシルメチル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレートなどのアルキル、シクロアルキル(メタ)アクリレート;   In addition, examples of the (meth) acrylic acid ester monomer that can be suitably used for the synthesis of the polymer characterizing the present invention include the following conventionally known various monomers, and any of them can be used. Examples of the monomer include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-methylpropane (meth) acrylate, t-butyl ( (Meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, lauryl ( (Meth) acrylate, tetradecyl (meth) acrylate, octadecyl (meth) acrylate, behenyl (meth) acrylate, isostearyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, -Butylcyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, trimethylcyclohexyl (meth) acrylate, cyclodecyl (meth) acrylate, cyclodecylmethyl (meth) acrylate, tricyclodecyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, phenyl Alkyl such as (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, cycloalkyl (meth) acrylate;

2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、シクロヘキサンジオールモノ(メタ)アクリレートなどの水酸基含有(メタ)アクリレート;   2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, cyclohexanediol mono (meta) ) Hydroxyl-containing (meth) acrylates such as acrylates;

ポリ(n=2以上)エチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリ(n=2以上)プロピレングリコールモノ(メタ)アクリレートなどのポリアルキレングリコールのモノ(メタ)アクリレート;   Mono (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as poly (n = 2 or more) ethylene glycol mono (meth) acrylate, poly (n = 2 or more) propylene glycol mono (meth) acrylate;

(ポリ)エチレングリコールモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールモノラウリルエーテル(メタ)アクリレート((ポリ)プロピレングリコ−ルモノメチルエーテル(メタ)アクリレートなどのグリコールエーテル系(メタ)アクリレート;   (Poly) ethylene glycol monomethyl ether (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol monolauryl ether (meth) acrylate (glycol ether (meth) acrylates such as (poly) propylene glycol monomethyl ether (meth) acrylate);

グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイロキシエチルグリシジルエーテル、(メタ)アクリロイロキシエトキシエチルグリシジルエーテルなどのグリシジル基含有(メタ)アクリレート;   Glycidyl group-containing (meth) acrylates such as glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, (meth) acryloyloxyethyl glycidyl ether, (meth) acryloyloxyethoxyethyl glycidyl ether;

(メタ)アクリロイロキシエチルイソシアネート、2−(2−イソシアナトエトキシ)エチル(メタ)アクリレート、およびそれらイソシアネートのε−カプロラクトンやMEKオキシム、ピラゾールなどでイソシアネートをブロックしてあるモノマーなどのイソシアネート基含有(メタ)アクリレート;   Contains isocyanate groups such as (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, 2- (2-isocyanatoethoxy) ethyl (meth) acrylate, and monomers that are blocked with ε-caprolactone, MEK oxime, pyrazole, etc. (Meth) acrylate;

テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、オキセタニルメチル(メタ)アクリレートなどの環状(メタ)アクリレート;   Cyclic (meth) acrylates such as tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate and oxetanylmethyl (meth) acrylate;

ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、t−ブチルアミノエチル(メタ)アクリレートなどのアミノ基含有(メタ)アクリレート;   Amino group-containing (meth) acrylates such as dimethylaminoethyl (meth) acrylate, diethylaminoethyl (meth) acrylate, t-butylaminoethyl (meth) acrylate;

オクタフルオロオクチル(メタ)アクリレート、テトラフルオロエチル(メタ)アクリレートなどのハロゲン元素含有(メタ)アクリレート;   Halogen element-containing (meth) acrylates such as octafluorooctyl (meth) acrylate and tetrafluoroethyl (meth) acrylate;

2−(4−ベンゾキシ−3−ヒドロキシフェノキシ)エチル(メタ)アクリレート、2−(2’−ヒドロキシ−5−(メタ)アクリロイロキシエチルフェニル)−2H−ベンゾトリアゾールの如き紫外線を吸収する(メタ)アクリレート;   Absorbs ultraviolet light such as 2- (4-benzoxy-3-hydroxyphenoxy) ethyl (meth) acrylate, 2- (2′-hydroxy-5- (meth) acryloyloxyethylphenyl) -2H-benzotriazole (meta ) Acrylate;

トリメトキシシリル基やジメチルシリコーン鎖を持ったケイ素原子含有(メタ)アクリレートなどのモノマー、などが挙げられる。   And monomers such as a silicon atom-containing (meth) acrylate having a trimethoxysilyl group or a dimethylsilicone chain.

また、これらのモノマーを重合して得られるオリゴマーの片末端に(メタ)アクリル基を導入して得られるマクロモノマーなども使用することができる。   Moreover, the macromonomer etc. which are obtained by introduce | transducing a (meth) acryl group into the one terminal of the oligomer obtained by superposing | polymerizing these monomers can also be used.

また、上記で使用するモノマー構成成分としては、上記に限定されず、下記に挙げるようなものも使用できる。例えば、上記したような水酸基やカルボキシル基の官能基を有する(メタ)アクリレートモノマーを使用して合成したアクリル樹脂に、これらの官能基と反応しうる基を有する(メタ)アクリレート、例えば、イソシアナートエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレートなどを反応させて感光性基を導入したものであってもよい。   Moreover, as a monomer structural component used above, it is not limited to the above, The following can be used. For example, an acrylic resin synthesized using a (meth) acrylate monomer having a functional group such as a hydroxyl group or a carboxyl group as described above, and a (meth) acrylate having a group capable of reacting with these functional groups, for example, isocyanate It may be one in which a photosensitive group is introduced by reacting ethyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, or the like.

また、下記に挙げるような、カルボキシル基以外の酸であるスルホン酸基やリン酸基を有するモノマーも使用できる。具体的には、例えば、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、リン酸エチル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。   Moreover, the monomer which has the sulfonic acid group and phosphoric acid group which are acids other than a carboxyl group which are listed below can also be used. Specific examples include styrene sulfonic acid, vinyl sulfonic acid, acrylamide-2-methylpropane sulfonic acid, and ethyl phosphate (meth) acrylate.

本発明を特徴づけるポリマーは、上記に列挙したモノマーの一種以上を構成成分としてなるが、該ポリマーによって形成された保護膜がアルカリ現像できるようにするために、ポリマー中の酸価が50〜250mgKOH/gであることを要する。すなわち、50mgKOH/g未満では十分なアルカリ現像ができず、または非常に溶解が遅くなり、実用的ではない。一方、ポリマー中の酸価が250mgKOH/gよりも大きいと、酸基が多すぎて水可溶性が出てきてしまい、エッチングする際の腐食水溶液に溶解してしまう可能性があり、加えて耐水性が悪い。より好適には、ポリマー中の酸価が65〜150mgKOH/gであるものを用いることが好ましい。このポリマーの有する適宜な酸価によって、本発明のインクによって形成したポリマー膜は、十分なアルカリ現像性を達成できる。   The polymer characterizing the present invention is composed of one or more of the above-listed monomers as constituents, but the acid value in the polymer is 50 to 250 mg KOH so that the protective film formed by the polymer can be alkali-developed. / G. That is, if it is less than 50 mgKOH / g, sufficient alkali development cannot be performed, or dissolution becomes very slow, which is not practical. On the other hand, if the acid value in the polymer is larger than 250 mgKOH / g, there are too many acid groups, resulting in water solubility, which may be dissolved in a corrosive aqueous solution at the time of etching. Is bad. More preferably, the polymer having an acid value of 65 to 150 mgKOH / g is preferably used. With an appropriate acid value of the polymer, the polymer film formed by the ink of the present invention can achieve sufficient alkali developability.

本発明では、以上の酸価を持つポリマーをインクの構成成分として用いるが、この酸基をすべて中和してしまうと、水に溶解してしまい、インク化したときに粘度が高くなってしまう恐れがあり、インクジェット印刷で安定な吐出ができなくなる。そこで、本発明では、その構造中のカルボキシル基に由来するポリマーの酸価のうちの少なくとも一部を中和することで、水溶解性をなくし、該ポリマーを特定の平均粒子径の水分散体又はエマルジョンとする。このように構成したことで、上記ポリマーをインクに含有させた場合に低粘度のインクとすることができる。このため、本発明のインクは、安定した状態でインクジェット印刷が可能なものとなる。加えて、低粘度の水分散体またはエマルジョンであるため、インク中にポリマー成分を多く配合することができ、この結果、良好に機能するレジスト膜の形成が可能になる。   In the present invention, a polymer having the above acid value is used as a constituent component of the ink. However, if all of these acid groups are neutralized, the polymer dissolves in water and increases in viscosity when converted into an ink. There is a fear that stable ejection cannot be performed by inkjet printing. Therefore, in the present invention, water solubility is eliminated by neutralizing at least a part of the acid value of the polymer derived from the carboxyl group in the structure, and the polymer is dispersed in water with a specific average particle size. Or an emulsion. By comprising in this way, when the said polymer is contained in an ink, it can be set as a low viscosity ink. For this reason, the ink of the present invention can be inkjet-printed in a stable state. In addition, since it is a low-viscosity aqueous dispersion or emulsion, a large amount of polymer component can be blended in the ink, and as a result, a resist film that functions well can be formed.

上記したポリマーの一部分の中和に関しては、要するに水不溶とする範囲、具体的には、ポリマーが、平均粒子径が10nm〜200nmの水分散体又はエマルジョンとなる範囲で調整される。本発明で使用するポリマーの酸価の範囲である50〜250mgKOH/g、より好ましい範囲である65〜150mgKOH/gのうちの、どれくらいの酸価を中和すればよいか(以下中和率)は、重合されるモノマーの性質によってそのポリマーの性質が変わるので、一概に言えない。しかし、平均粒子径が10nm〜200nmの水分散体又はエマルジョンとするためには、好ましくは、ポリマー中のカルボキシル基に由来するポリマーの酸価のうちの10〜100mgKOH/gを中和するとよい。例えば、極端な例で言えば、上記酸価の範囲の最小値である50mgKOH/gの場合、50mgKOH/gすべてを中和しても水可溶性にならなければよい。しかし、好ましくは、50mgKOH/g未満で中和する。上記酸価の範囲の最大値である250mgKOH/gの場合は、100mgKOH/g以下の範囲で中和するとよい。この中和率は、重合に使用するモノマーによって得られるポリマーの性質が変わるので、使用するモノマーによって適宜に決められる。   Regarding the neutralization of a part of the polymer described above, it is adjusted in a range where water is insoluble, specifically, a range in which the polymer becomes an aqueous dispersion or emulsion having an average particle size of 10 nm to 200 nm. How much acid value should be neutralized out of 50 to 250 mgKOH / g which is the range of acid value of the polymer used in the present invention and 65 to 150 mgKOH / g which is a more preferable range (hereinafter referred to as neutralization rate) Since the properties of the polymer change depending on the properties of the monomer to be polymerized, it cannot be generally said. However, in order to obtain an aqueous dispersion or emulsion having an average particle size of 10 nm to 200 nm, it is preferable to neutralize 10 to 100 mg KOH / g of the acid value of the polymer derived from the carboxyl group in the polymer. For example, in an extreme example, in the case of 50 mg KOH / g, which is the minimum value in the range of the acid value, even if all 50 mg KOH / g is neutralized, it does not have to be water-soluble. Preferably, however, it is neutralized at less than 50 mg KOH / g. In the case of 250 mgKOH / g, which is the maximum value in the range of the acid value, neutralization is preferably performed in the range of 100 mgKOH / g or less. This neutralization rate is appropriately determined depending on the monomer used because the properties of the polymer obtained vary depending on the monomer used for the polymerization.

次に、本発明で使用するポリマーは、数平均分子量が2,000〜20,000のものを使用する。上記数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(以下、GPCと略記する)のポリスチレン換算の数平均分子量(Mn)である。なお、以下の分子量はいずれも、GPC測定によるポリスチレン換算の値である。この数平均分子量が2,000未満であるとポリマーの物性が弱く、本発明のインクによって形成したポリマー膜(保護膜)がもろくなったり、液状であったりするため、エッチングする際に腐食水溶液で溶解してしまうなど、保護膜としての性能が劣る場合がある。一方、数平均分子量が20,000よりも大きい場合は、最終的にアルカリ現像する際に、酸価がある程度あっても溶解しなかったり、現像に時間がかかり遅かったりする場合がある。さらには、数平均分子量が5,000〜17,000の範囲にあるポリマーを使用することが好ましい。   Next, the polymer used in the present invention has a number average molecular weight of 2,000 to 20,000. The number average molecular weight is a polystyrene-reduced number average molecular weight (Mn) of gel permeation chromatography (hereinafter abbreviated as GPC). In addition, all the following molecular weights are the values of polystyrene conversion by GPC measurement. If the number average molecular weight is less than 2,000, the physical properties of the polymer are weak, and the polymer film (protective film) formed by the ink of the present invention becomes brittle or liquid. The performance as a protective film may be inferior, such as dissolution. On the other hand, when the number average molecular weight is larger than 20,000, the final alkali development may not be dissolved even if there is a certain acid value, or it may take a long time to develop. Furthermore, it is preferable to use a polymer having a number average molecular weight in the range of 5,000 to 17,000.

上記したようなモノマー組成で、本発明で規定する酸価を持ち、さらに酸価の一部分を中和することで、水分散体又はエマルジョンとなるが、その場合のポリマーの平均粒子径は10〜200nmである。この平均粒子径はどのような測定方法の値でもよく、例えば、動的光散乱法などが用いられる。以下、光散乱法での測定による平均粒子径とする。インク中におけるポリマーの平均粒子径が10nm未満であると、分散体といえども粘度が出てしまう可能性がある。一方、ポリマーの平均粒子径が200nmよりも大きくなると、インクジェット印刷装置のインクジェットヘッドにポリマーが詰まってしまったり、印画した場合に、ドットが大きくなって微細な線画が描けなかったりすることが生じる。より好ましいポリマーの平均粒子径は20nm〜120nmである。   In the monomer composition as described above, it has an acid value specified in the present invention, and further neutralizes a part of the acid value to form an aqueous dispersion or emulsion. In this case, the average particle size of the polymer is 10 to 10%. 200 nm. The average particle diameter may be any measurement method value, for example, a dynamic light scattering method. Hereinafter, it is set as the average particle diameter measured by the light scattering method. If the average particle size of the polymer in the ink is less than 10 nm, viscosity may be obtained even in a dispersion. On the other hand, when the average particle diameter of the polymer is larger than 200 nm, the polymer may be clogged in the ink jet head of the ink jet printing apparatus, or the dots may become large and a fine line image may not be drawn when printing is performed. A more preferable average particle diameter of the polymer is 20 nm to 120 nm.

以上のポリマーは、従来公知の重合方法によって得ることができ、特に限定されない。通常のアゾ系ラジカル発生剤や過酸化物系ラジカル発生剤を使用するラジカル重合も使用できるし、新しい重合方法として、リビングラジカル重合方法によって得ることもできる。   The above polymer can be obtained by a conventionally known polymerization method and is not particularly limited. A radical polymerization using a normal azo radical generator or a peroxide radical generator can be used, and a new polymerization method can be obtained by a living radical polymerization method.

リビングラジカル重合は各種の方法があり、特に限定されない。リビングラジカル重合は、下記に例示されるような従来公知の方法に従って行えばよい。リビングラジカル重合の例としては、例えば、下記の方法が挙げられる。
(a)ニトロキサイドを使用する重合法(Nitroxide mediated polymerization(NMP法))、
(b)ハロゲン元素である保護基を金属錯体などで引き抜く原子移動ラジカル重合法(Atom Transfer Radical Polymerization(ATRP法))、
(c)ジチオエステルやザンテート化合物を使用する可逆的付加開裂型連鎖移動重合法(Revarsible Addition Fragmentation Transfer Polymerization(RAFT法))、
(d)有機テルル化合物や有機ビスマス化合物などを使用する方法、
(e)コバルト錯体を使用する方法、
(f)ヨウ素移動重合法、
(g)ヨウ素を保護基とし、触媒としてリン、窒素、酸素、又は炭化水素を含む化合物を使用する可逆的触媒移動重合法(Revarsivle Transfer Catalized Polymerization(RTCP法))など。
Living radical polymerization has various methods and is not particularly limited. Living radical polymerization may be performed according to a conventionally known method as exemplified below. As an example of living radical polymerization, the following method is mentioned, for example.
(A) a polymerization method using nitroxide (Nitroxide polymerized polymerization (NMP method)),
(B) an atom transfer radical polymerization method (ATRP method) in which a protective group that is a halogen element is extracted with a metal complex or the like;
(C) Reversible Addition Fragmentation Transfer Polymerization (RAFT method) using dithioester or xanthate compound,
(D) a method using an organic tellurium compound or an organic bismuth compound,
(E) a method using a cobalt complex,
(F) iodine transfer polymerization method,
(G) Reversible Transfer Catalyzed Polymerization (RTCP method) using iodine as a protecting group and using a compound containing phosphorus, nitrogen, oxygen, or hydrocarbon as a catalyst.

また、本発明のインクを構成するポリマーには、重合によって得られる重量平均分子量/数平均分子量である分子量分布はどのような値のものでも使用できる。中でも、リビングラジカル重合では、その分子量分布を狭くすることができるので、リビングラジカル重合で得たポリマーを用いることが好ましい。ポリマーの分子量が狭い、すなわち、このことは分子量が揃っているということであり、この場合はポリマー鎖一本一本の分子量が同じとなるので溶解性が均一に近くなる。この結果、アルカリ現像した場合に、シャープな線画のエッジ形成が可能になる。好ましくは、分子量分布が1.6以下、より好ましくは1.5以下のポリマーを用いることが好ましい。   In addition, the polymer constituting the ink of the present invention can be used with any value of molecular weight distribution which is weight average molecular weight / number average molecular weight obtained by polymerization. Especially, since the molecular weight distribution can be narrowed in living radical polymerization, it is preferable to use a polymer obtained by living radical polymerization. The molecular weight of the polymer is narrow, that is, this means that the molecular weight is uniform. In this case, since the molecular weight of each polymer chain is the same, the solubility becomes nearly uniform. As a result, a sharp line drawing edge can be formed when alkali development is performed. It is preferable to use a polymer having a molecular weight distribution of 1.6 or less, more preferably 1.5 or less.

本発明を特徴づけるポリマーは、上記したように、ラジカル重合やリビングラジカル重合などの重合方法を用いて重合して得られたものを用いることができるが、その構造は、ランダム構造、ブロック構造、グラフト構造、星型ポリマー構造などの構造をとることができ、いずれのものも使用できる。本発明においては、より好ましくは、該ポリマーの構造がA−Bブロックコポリマーであって、Aのポリマーブロックが、酸価が0〜50mgKOH/gで且つその数平均分子量が1,000〜5,000であり、Bのポリマーブロックが、その酸価が50〜200mgKOH/gで且つその数平均分子量が1,000〜15,000であるとよい。   As described above, the polymer characterizing the present invention may be a polymer obtained by polymerization using a polymerization method such as radical polymerization or living radical polymerization, and the structure thereof is random structure, block structure, A structure such as a graft structure or a star polymer structure can be employed, and any structure can be used. In the present invention, more preferably, the structure of the polymer is an AB block copolymer, and the polymer block of A has an acid value of 0 to 50 mgKOH / g and a number average molecular weight of 1,000 to 5, It is preferable that the polymer block of B has an acid value of 50 to 200 mgKOH / g and a number average molecular weight of 1,000 to 15,000.

本発明において、特に上記構造のA−Bブロックコポリマーが好適である理由について、本発明者らは以下のように考えている。上記構造を有するため、水に溶解しない又はしにくいAのポリマーブロックが粒子を形成する一方、Bのポリマーブロックは中和によって水に溶解し、分散体やエマルジョンを形成し低粘度化し、且つAのポリマーブロックは水に不溶のため、腐食水溶液に対してより不溶であり、さらに基材の密着性を高めることができる結果、該ポリマーを用いることでより良好なエッチングレジスト用インクになる。本発明者らの検討によれば、さらに好ましくは、Aのポリマーブロックの酸価が0〜20mgKOH/gで、Bのポリマーブロックの酸価が60〜150mgKOH/gであるA−Bブロックコポリマーを用いるとよい。   In the present invention, the present inventors consider the reason why the AB block copolymer having the above structure is particularly suitable as follows. A polymer block of A that is insoluble or difficult to dissolve in water forms particles because it has the above structure, while the polymer block of B dissolves in water by neutralization to form a dispersion or emulsion to lower the viscosity, and A Since the polymer block is insoluble in water, it is more insoluble in the corrosive aqueous solution, and the adhesion of the substrate can be further improved. As a result, the use of the polymer makes a better ink for etching resist. According to the study by the present inventors, more preferably, an AB block copolymer in which the acid value of the polymer block of A is 0 to 20 mgKOH / g and the acid value of the polymer block of B is 60 to 150 mgKOH / g is used. Use it.

また、本発明に好適なA−BブロックコポリマーのAのポリマーブロックの数平均分子量は1,000〜5,000であるが、かかる範囲は、疎水性をもち密着性を高め、且つアルカリ現像時に溶解しづらいなどの影響を与えない範囲である。より好ましくは、Aのポリマーブロックの数平均分子量が2,000〜5,000であるポリマーを用いるとよい。また、本発明に好適なA−BブロックコポリマーのBのポリマーブロックの数平均分子量は1,000〜15,000であるが、これは、アルカリ現像できうる水溶解性が発揮できる範囲である。この数平均分子量が1,000未満であるとアルカリ現像ができない場合があり、一方、15,000を超えると、Bのポリマーブロックの数平均分子量が大きすぎて現像に時間がかかりすぎ、実用的ではない。より好ましくは、Bのポリマーブロックの数平均分子量が4,000〜7,000であるA−Bブロックコポリマーを用いるとよい。   The number average molecular weight of the A polymer block of the AB block copolymer suitable for the present invention is 1,000 to 5,000, but this range is hydrophobic and improves adhesion, and at the time of alkali development. It is in a range that does not affect such as difficult to dissolve. More preferably, a polymer having a polymer block of A having a number average molecular weight of 2,000 to 5,000 may be used. The number average molecular weight of the polymer block B of the AB block copolymer suitable for the present invention is 1,000 to 15,000, and this is a range in which water solubility capable of alkali development can be exhibited. When the number average molecular weight is less than 1,000, alkali development may not be possible. On the other hand, when the number average molecular weight exceeds 15,000, the number average molecular weight of the polymer block of B is too large, and development takes too much time. is not. More preferably, an AB block copolymer in which the number average molecular weight of the polymer block of B is 4,000 to 7,000 may be used.

上記したA−Bブロックコポリマーの合成に使用されるモノマーとしては前記モノマーが使用でき、特に限定されない。また、前記したリビングラジカル重合を用いれば、AのポリマーブロックおよびBのポリマーブロックのそれぞれが、上記したような好適なものであるA−Bブロックコポリマーを容易に合成できる。その手法は特に限定されない。   As the monomer used for the synthesis of the AB block copolymer described above, the monomer can be used, and is not particularly limited. Further, by using the above-described living radical polymerization, it is possible to easily synthesize an AB block copolymer in which each of the A polymer block and the B polymer block is suitable as described above. The method is not particularly limited.

本発明のインクを構成する特定のポリマーの水分散体やエマルジョンを作る方法は、特に限定されない。例えば、溶液重合後、その酸価を中和するアルカリを溶解させた水溶液を添加して得ることもできるし、溶液重合で得たポリマーを貧溶剤で析出させたり、乾燥させたりしてポリマーを得て、これをアルカリ水溶液で中和して得ることもできる。また、乳化剤や保護コロイド性水可溶性ポリマーの存在下、乳化重合した後、アルカリを加えて中和して得てもよい。なお、前記したように、上記における中和は、本発明で使用するポリマーの酸価を部分的に中和することを意味している。   The method for producing an aqueous dispersion or emulsion of a specific polymer constituting the ink of the present invention is not particularly limited. For example, it can be obtained by adding an aqueous solution in which an alkali that neutralizes the acid value is dissolved after solution polymerization, or by precipitating the polymer obtained by solution polymerization with a poor solvent or drying the polymer. It can also be obtained by neutralizing with an aqueous alkali solution. Alternatively, it may be obtained by emulsion polymerization in the presence of an emulsifier or a protective colloidal water-soluble polymer and then neutralizing with an alkali. As described above, neutralization in the above means that the acid value of the polymer used in the present invention is partially neutralized.

次に、本発明で使用されるポリマーの酸価を部分的に中和する際に用いるアルカリについて説明する。該アルカリは、インクジェット印刷後の乾燥工程がある場合を考慮すると揮発性のアミンが好ましく、具体的には、アンモニア、モノ又はジ又はトリアルキル(炭素数1〜4)アミン、モノアルカノール(炭素数2又は3)アミン、モノ又はジアルキル(炭素数1〜4)モノアルカノール(炭素数2又は3)アミンを用いることを要する。より具体的には、アンモニア;メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、トリエチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミンなどのモノ又はジ又はトリアルキル(炭素数1〜4)アミン;モノエタノールアミン、モノプロパノールアミンなどのモノアルカノールアミン、ジメチルアミノエタノールなどのモノ又はジアルキル(炭素数1〜4)モノアルカノールアミンのいずれか一種以上がよい。さらに好ましくは、アンモニア、トリメチルアミン、モノエタノールアミンが、揮発性が高く、残存しにくく、市販品として入手しやすいので好適である。   Next, the alkali used for partially neutralizing the acid value of the polymer used in the present invention will be described. The alkali is preferably a volatile amine in consideration of the case where there is a drying step after ink jet printing. Specifically, ammonia, mono- or di- or trialkyl (1 to 4 carbon atoms) amine, monoalkanol (carbon number) 2 or 3) It is necessary to use an amine, mono or dialkyl (C1 to C4) monoalkanol (C2 or C3) amine. More specifically, ammonia; mono- or di- or trialkyl (1 to 4 carbon atoms) amine such as methylamine, dimethylamine, trimethylamine, ethylamine, triethylamine, propylamine, butylamine; monoethanolamine, monopropanolamine, etc. Any one or more of mono- or dialkyl (C1-C4) monoalkanolamines such as monoalkanolamine and dimethylaminoethanol are preferable. More preferably, ammonia, trimethylamine, or monoethanolamine is preferable because it has high volatility, hardly remains, and is easily available as a commercial product.

本発明のインク組成物は、保護膜の形成材料である上記で説明した特定のポリマーと、水、水可溶性溶媒を少なくとも構成成分としてなる。インク中の水可溶性溶媒の働きは、下記に述べるように、インクジェットインクのヘッドの乾燥防止と、基材へのインクの濡れ性向上をはかることである。すなわち、インクが乾燥してしまうと、ヘッドで詰まったり、インクの吐出が不安定であったりする。これに対し、水可溶性溶媒を使用すると、ヘッドの乾燥を防止することができる。好ましくは、沸点が100℃以上の水可溶性溶媒を用いるとよい。また、水とポリマーだけであると表面張力が高く、基材に濡れにくい可能性があるが、水可溶性溶剤を添加することで、表面張力を下げて膜の形成を有利にさせることができる。特に、インクの表面張力の限定はないが、本発明では、その表面張力は50mN/m以下であることが好ましいと考えられる。   The ink composition of the present invention comprises at least the specific polymer described above, which is a material for forming a protective film, water, and a water-soluble solvent. The action of the water-soluble solvent in the ink is to prevent the head of the inkjet ink from drying and to improve the wettability of the ink to the substrate, as described below. That is, when the ink is dried, the head is clogged or the ink ejection is unstable. On the other hand, when a water-soluble solvent is used, the head can be prevented from drying. Preferably, a water-soluble solvent having a boiling point of 100 ° C. or higher is used. Further, when only water and a polymer are used, the surface tension is high and it may be difficult to wet the substrate. However, by adding a water-soluble solvent, the surface tension can be lowered to advantageously form a film. In particular, although there is no limitation on the surface tension of the ink, it is considered that the surface tension is preferably 50 mN / m or less in the present invention.

本発明で用いる水可溶性溶媒は特に限定されない。水に完全に溶解する溶媒でもよいし、少しでも水に溶解する溶媒でもよいが、好ましくは20g/水1L以上の溶解性をもつ溶剤を用いるとよい。本発明に使用し得る水可溶性溶媒を例示すると、メタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール系溶媒;エチレングリコール、プロピレングリコール、1,3−ブチレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,2−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、グリセリンなどの多価アルコール系溶媒;エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシ−1−ブタノール、3−メトキシ−3−メチル−ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、3−メトキシ−3−メチルブチルアセテートなどのグリコール系溶媒;乳酸エチル、ε−カプロラクトンなどのエステル系溶媒;ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ピロリドンなどのアミド系溶媒;ジメチルスルホキシド、テトラメチル尿素などの極性溶媒などが挙げられる。これらは、1種以上が選択されて使用される。   The water-soluble solvent used in the present invention is not particularly limited. A solvent that completely dissolves in water or a solvent that dissolves in water as much as possible may be used, but a solvent having a solubility of 20 g / liter or more of water is preferably used. Examples of water-soluble solvents that can be used in the present invention include alcohol solvents such as methanol, propanol, and butanol; ethylene glycol, propylene glycol, 1,3-butylene glycol, 1,4-butanediol, 1,2-hexanediol. Polyhydric alcohol solvents such as ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxy-1-butanol, 3-methoxy-3-methyl-butanol, propylene glycol Glycol solvents such as monomethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, 3-methoxy-3-methylbutyl acetate; milk Ethyl, ester solvents such as ε- caprolactone; dimethylacetamide, N- methylpyrrolidone, amide solvents such as pyrrolidone; dimethyl sulfoxide, polar solvents such as tetramethyl urea. One or more of these are selected and used.

本発明のインクを構成する上記した水、水可溶性溶媒、ポリマーの量は、当該インクを使用するインクジェット印刷機の種類や印刷条件などによって調整され、その配合比は特に限定されない。好ましくは、水30〜70質量%、水可溶性溶媒5〜40質量%、ポリマー成分5〜30質量%である。本発明の特徴は水分散体又はエマルジョンである低粘度化されたポリマー成分であるので、ポリマー成分を多くすることができることが特徴である。本発明のインクは、エッチングレジスト用という特殊用途のインクであるので、該インクで保護膜としての性能を保持するパターンを形成するには、ある程度の保護膜の厚さが必要である。すなわち、本発明のインクは、吐出するインクの成分量が多い方がよく、このため、インク中におけるポリマー成分は、好ましくは10〜20質量%とするとよい。   The amount of the water, water-soluble solvent and polymer constituting the ink of the present invention is adjusted depending on the type of ink jet printer using the ink and the printing conditions, and the blending ratio is not particularly limited. Preferably, they are 30-70 mass% of water, 5-40 mass% of water-soluble solvents, and 5-30 mass% of polymer components. Since the feature of the present invention is a polymer component having a reduced viscosity which is an aqueous dispersion or emulsion, the polymer component can be increased. Since the ink of the present invention is a special purpose ink for etching resist, a certain amount of protective film thickness is required to form a pattern that retains the performance as a protective film with the ink. In other words, the ink of the present invention should have a large amount of component of the ink to be ejected. For this reason, the polymer component in the ink is preferably 10 to 20% by mass.

本発明のインク組成物は、以上のような構成を有し、エッチングレジスト用として有用であるが、下記に述べるように、上記構成を採ることで、そのインクの性質は、25℃において、pHが5〜8.2の範囲であり、粘度が2〜20mPa・sの範囲のものになる。   The ink composition of the present invention has the above-described configuration and is useful as an etching resist. As described below, by adopting the above-described configuration, the properties of the ink are pH at 25 ° C. Is in the range of 5 to 8.2, and the viscosity is in the range of 2 to 20 mPa · s.

まず、インクのpHは、本発明のインクでは、含有させたポリマーは、カルボキシル基を部分中和されているので、未中和のカルボキシル基が存在することになり、そのpHは酸性〜弱アルカリ性となる。その範囲は、pHが5〜8.2であり、この範囲で、水分散体やエマルジョンとなる。pHが5よりも小さいと、水分散体やエマルジョンの安定性が悪くなってしまい、析出や沈降が起こる可能性がある。一方、pHが8.2以上であると溶解状態となってしまい、粘度が上がる可能性がある。より好ましいインクのpHは、5.5〜8である。   First, the pH of the ink in the ink of the present invention is such that the contained polymer is partially neutralized with carboxyl groups, so that unneutralized carboxyl groups are present, and the pH is acidic to weakly alkaline. It becomes. In this range, the pH is 5 to 8.2, and in this range, an aqueous dispersion or emulsion is obtained. When the pH is less than 5, the stability of the aqueous dispersion or emulsion is deteriorated, and precipitation or sedimentation may occur. On the other hand, if the pH is 8.2 or higher, the solution is in a dissolved state, which may increase the viscosity. A more preferable pH of the ink is 5.5-8.

要求されるインクの粘度は、当該インクを適用するインクジェット印刷機の性能によって異なってくるが、好ましくは2〜20mPa・sである。2mPa・sより小さいと吐出安定性が悪くなる傾向があり、20mPa・sより大きいと、場合によっては吐出できなくなる可能性がある。より好ましいインクの粘度は、3〜10mPa・sである。   The required viscosity of the ink varies depending on the performance of the ink jet printer to which the ink is applied, but is preferably 2 to 20 mPa · s. If it is less than 2 mPa · s, the ejection stability tends to be poor, and if it is greater than 20 mPa · s, there is a possibility that it may become impossible to eject. A more preferable viscosity of the ink is 3 to 10 mPa · s.

以上が基本的な本発明のエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物であるが、必要に応じて、着色成分として、染料や顔料を使用してもよい。印字した部分の視認性に使用できるからである。染料や顔料は特に限定されない。染料は水可溶性染料がよく、顔料は少なくとも水性分散してある顔料分散体を使用することが必要で、顔料は無機顔料、有機顔料いずれのものでも使用できる。例示すると、アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、アンスラキノン系、ジケトピロロピロール系、ペリレン系、キノフタロン系、ジオキサジン系などの有機系染料や顔料、カーボンブラック系、酸化チタンなどの無機顔料などが挙げられる。   The above is the basic aqueous inkjet ink composition for an etching resist of the present invention, but a dye or a pigment may be used as a coloring component as necessary. It is because it can be used for the visibility of the printed part. The dye or pigment is not particularly limited. The dye is preferably a water-soluble dye, and it is necessary to use at least a pigment dispersion in which the pigment is dispersed in water. The pigment can be either an inorganic pigment or an organic pigment. Examples include organic dyes and pigments such as azo, phthalocyanine, quinacridone, anthraquinone, diketopyrrolopyrrole, perylene, quinophthalone, and dioxazine, carbon black, titanium oxide, and other inorganic pigments. Can be mentioned.

着色剤の本発明のインクへの配合量も任意であり、はっきりと画像を視認したい場合は、配合量を多くし、薄くしたい場合は、配合量を少なくすればよい。配合量としては、染料の場合は、インク中に0.1〜3質量%、顔料の場合は、0.5〜5質量%が好ましい例として挙げられる。   The blending amount of the colorant in the ink of the present invention is also arbitrary. If it is desired to clearly see the image, the blending amount is increased, and if it is desired to reduce the thickness, the blending amount may be decreased. The blending amount is preferably 0.1 to 3% by mass in the case of a dye and 0.5 to 5% by mass in the case of a pigment.

さらに加えて、硬化性成分として、インク中に水性の紫外線硬化性モノマー及び/又はオリゴマーを添加してもよい。これらの成分としては、従来公知のものを使用でき、特に限定はない。紫外線硬化性モノマーとしては、前記した(メタ)アクリレート系のモノマーが挙げられ、オリゴマーとしては、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレートなどのグリコール系の多価アクリレート系などが挙げられる。硬化性成分を添加することで、インクによって形成した保護膜に架橋構造をとらせることができるので、腐食液に対する耐性をさらに向上させることができ、保護膜としての性能向上効果が得られる。   In addition, an aqueous ultraviolet curable monomer and / or oligomer may be added to the ink as the curable component. As these components, conventionally known ones can be used, and there is no particular limitation. Examples of the ultraviolet curable monomer include the aforementioned (meth) acrylate monomers, and examples of the oligomer include glycol-based polyvalent acrylates such as polyethylene glycol di (meth) acrylate. By adding a curable component, the protective film formed of the ink can have a cross-linked structure, so that the resistance to the corrosive liquid can be further improved, and the performance improvement effect as a protective film can be obtained.

さらに、必要に応じて、重合開始剤、光酸発生剤、界面活性剤、防腐剤、レベリング剤、消泡剤などの添加剤を配合することができるが、特に限定されない。   Furthermore, additives such as a polymerization initiator, a photoacid generator, a surfactant, an antiseptic, a leveling agent, and an antifoaming agent can be blended as needed, but are not particularly limited.

本発明のインク組成物を適用するエッチングの手法については、その使用する素材、腐食液、アルカリ現像液や、その方法や条件など、特に限定されるものではなく、従来公知の材料、方法が取られる。すなわち、インクジェット印刷ができる本発明の水性インクジェットインク組成物にて印字して素材上に保護膜を形成し、その後、エッチング工程とアルカリ現像工程を含むものであれば、全く限定されない。保護膜を形成する素材について例示すると、例えば、アルミニウム、真鍮、ステンレスなどの金属鋼板、銅張積層板、アルミニウム蒸着シリコン基板、銅箔積層ポリイミド樹脂フィルムなどが挙げられる。   The etching method to which the ink composition of the present invention is applied is not particularly limited, such as the material used, the corrosive solution, the alkaline developer, the method and conditions thereof, and conventionally known materials and methods are used. It is done. That is, it is not limited at all as long as printing is performed with the aqueous inkjet ink composition of the present invention capable of inkjet printing, a protective film is formed on the material, and then an etching step and an alkali development step are included. Examples of the material for forming the protective film include metal steel plates such as aluminum, brass, and stainless steel, copper-clad laminates, aluminum-deposited silicon substrates, and copper foil-laminated polyimide resin films.

エッチングに用いる腐食液としては、第二塩化鉄水溶液、塩化第二銅水溶液、アンモニア銅水溶液、高濃度水酸化ナトリウム水溶液、高濃度塩酸、フッ化水素水、硝酸第二鉄水溶液などが使用でき、アルカリ現像液としては、水酸化カリウム水溶液、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド水溶液、(メタ)珪酸ナトリウム水溶液などが使用できるが、それらの濃度は任意である。   As etching solution used for etching, ferric chloride aqueous solution, cupric chloride aqueous solution, ammonia copper aqueous solution, high concentration sodium hydroxide aqueous solution, high concentration hydrochloric acid, hydrogen fluoride water, ferric nitrate aqueous solution, etc. can be used. As the alkaline developer, an aqueous potassium hydroxide solution, an aqueous tetramethylammonium hydroxide solution, an aqueous solution of sodium (meth) silicate, and the like can be used, but their concentrations are arbitrary.

本発明のインク組成物をエッチングレジストとして用いて素材上に保護膜を形成する工程において行うインクジェット印刷としては、従来公知のインクジェット方式がとられ、ピエゾヘッド、サーマルヘッドでの印刷も使用できる。本発明のインクは、水性であるので、印刷後に乾燥工程を含むことが好ましい。具体的には、印字後、乾燥温度50〜130℃で、数秒〜30分程度で乾燥して保護膜を形成することが好ましい。この際に、インクの構成成分である、水、アルカリ、有機溶媒の全部又は一部が揮発して、保護層であるポリマー膜を形成する。次いで、腐食液でエッチングするが、その時間、温度は任意であり、ポリマー層で保護されていない部分の素材が腐食溶解する。次いで、好ましくは洗浄した後に、アルカリ現像液に浸漬させ、ポリマー層を溶解する。その現像時間や温度は任意である。これら一連の工程によって、文字、画像、パターン、回路などの微細で精度のよい線画を得ることができる。   As ink jet printing performed in the step of forming a protective film on a material using the ink composition of the present invention as an etching resist, a conventionally known ink jet method is used, and printing with a piezo head or a thermal head can also be used. Since the ink of the present invention is aqueous, it is preferable to include a drying step after printing. Specifically, after printing, it is preferable to form a protective film by drying at a drying temperature of 50 to 130 ° C. for several seconds to 30 minutes. At this time, all or part of water, alkali, and organic solvent, which are constituents of the ink, are volatilized to form a polymer film that is a protective layer. Next, etching is performed with a corrosive liquid, and the temperature is arbitrary during that time, and the material of the portion not protected by the polymer layer is corroded and dissolved. Then, preferably after washing, the polymer layer is dissolved by immersing in an alkali developer. The development time and temperature are arbitrary. Through these series of steps, fine and accurate line drawings such as characters, images, patterns, and circuits can be obtained.

次に、具体的な実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。以下、文中の「部」及び「%」は、特に断りのない限り質量基準である。   Next, the present invention will be described in more detail with specific examples. Hereinafter, “part” and “%” in the text are based on mass unless otherwise specified.

[合成例1]ランダムポリマー型
撹拌機、逆流コンデンサー、温度計を取り付けた反応容器に、ブチルセロソルブ(以下BCSと略)200部、ブチルジグリコール(以下BDGと略)200部を仕込んで、85℃に加熱した。85℃に達したら、アゾビスイソブチロニトリル(以下AIBNと略)を4部加えた。また、別に用意したスチレンモノマー(以下Stと略)80部、ブチルアクリレート(以下BAと略)80部、メチルメタクリレート(以下MMAと略)80部、ラウリルメタクリレート(以下LMAと略)40部、ヒドロキシエチルメタクリレート(以下HEMAと略)60部、メタクリル酸60部、AIBN16部を混合したモノマー溶液416部のうち、138部を加えた。残り278部は1時間30分かけてゆっくりと滴下しながら加えた。モノマー溶液の滴下終了後、AIBNを2部加え、さらに5時間30分85℃にて撹拌を行い、ポリマー溶液P−01を得た。
[Synthesis Example 1] Random polymer type A reaction vessel equipped with a stirrer, a reverse flow condenser, and a thermometer was charged with 200 parts of butyl cellosolve (hereinafter abbreviated as BCS) and 200 parts of butyl diglycol (hereinafter abbreviated as BDG) at 85 ° C. Heated. When the temperature reached 85 ° C., 4 parts of azobisisobutyronitrile (hereinafter abbreviated as AIBN) was added. Separately prepared 80 parts of styrene monomer (hereinafter abbreviated as St), 80 parts of butyl acrylate (hereinafter abbreviated as BA), 80 parts of methyl methacrylate (hereinafter abbreviated as MMA), 40 parts of lauryl methacrylate (hereinafter abbreviated as LMA), hydroxy 138 parts were added among 416 parts of monomer solutions which mixed 60 parts of ethyl methacrylate (henceforth HEMA), 60 parts of methacrylic acid, and 16 parts of AIBN. The remaining 278 parts were added slowly dropwise over 1 hour 30 minutes. After completion of the dropwise addition of the monomer solution, 2 parts of AIBN was added, and the mixture was further stirred for 5 hours 30 minutes at 85 ° C. to obtain a polymer solution P-01.

ポリマー溶液P−01をサンプリングし、固形分を測定したところ50.3%であり、不揮発分から換算した重合転化率はほぼ100%であった(以下、重合転化率、重合率はこの方法によって測定される)。この時のゲル浸透クロマトグラフィー(以下GPCと略)の示差屈折計(以下RIと略)での数平均分子量(以下Mnと略)は9,400であり、重量平均分子量(以下Mwと略)は18,500であり、Mw/Mnから得られる分散度(以下PDIと略)は1.97であった。酸価は、フェノールフタレインを指示薬、0.1NKOHエタノール溶液を滴定液とし、トルエン/エタノール=50/50溶液にて滴定測定したところ、97.7mgKOH/gのポリマー酸価であった。   When the polymer solution P-01 was sampled and the solid content was measured, it was 50.3%, and the polymerization conversion rate converted from the nonvolatile content was almost 100% (hereinafter, the polymerization conversion rate and the polymerization rate were measured by this method). ) The number average molecular weight (hereinafter abbreviated as Mn) in a differential refractometer (hereinafter abbreviated as RI) of the gel permeation chromatography (hereinafter abbreviated as GPC) was 9,400, and the weight average molecular weight (hereinafter abbreviated as Mw). Was 18,500, and the dispersity obtained from Mw / Mn (hereinafter abbreviated as PDI) was 1.97. The acid value was determined to be 97.7 mgKOH / g when titrated with toluene / ethanol = 50/50 solution using phenolphthalein as the indicator and 0.1 NKOH ethanol solution as the titrant.

[中和例1]
ビーカーにポリマー溶液P−01を100部仕込み、28%アンモニア水4.7部、水15.3部を加え、撹拌して中和した。続けて、水40部を加え、撹拌した。さらに、水40部を加え、撹拌し、ポリマー溶液P−01Aを得た。この時、P−01Aの酸基に対する中和率は60%であり、ポリマー酸価の97.7mgKOH/g中の58.6mgKOH/g分を部分中和した(以下、部分中和を中和率で表す)。固形分は25.3%であった。また、P−01Aを水で10倍希釈した溶液のpHは7.9(25℃、以下25℃での測定値)である半透明の水分散体を得、水希釈して光散乱による粒子径測定を行なった(原理上体積基準の平均粒子径。以下、平均粒子径はこの方法で測定)。その結果、平均粒子径は35nmであった。
[Neutralization Example 1]
In a beaker, 100 parts of the polymer solution P-01 was added, 4.7 parts of 28% ammonia water and 15.3 parts of water were added, and the mixture was neutralized by stirring. Subsequently, 40 parts of water was added and stirred. Furthermore, 40 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-01A. At this time, the neutralization rate with respect to the acid group of P-01A was 60%, and 58.6 mgKOH / g of 97.7 mgKOH / g of the polymer acid value was partially neutralized (hereinafter, partial neutralization was neutralized). Expressed as a rate). The solid content was 25.3%. Further, a translucent aqueous dispersion having a pH of 7.9 (measured at 25 ° C., hereinafter 25 ° C.) obtained by diluting P-01A 10 times with water is obtained, diluted with water, and particles by light scattering. The diameter was measured (in principle, the volume-based average particle diameter. Hereinafter, the average particle diameter was measured by this method). As a result, the average particle size was 35 nm.

[比較中和例1]
中和例1と同様にポリマー溶液P−01を仕込み、28%アンモニア水8.7部、水11.3部を加え、撹拌して中和した。続けて、水40部を加え、撹拌した。さらに、水40部を加え、撹拌し、ポリマー溶液P−01Bを得た。この時、ポリマー溶液の中和率は110%ですべての酸基を中和するものであり、固形分は25.4%であった。また、ポリマー溶液は高粘性の透明な液体となった。pHは9.2であった。透明であるので平均粒子径は測定できなかった。
[Comparative neutralization example 1]
In the same manner as in Neutralization Example 1, polymer solution P-01 was charged, and 8.7 parts of 28% aqueous ammonia and 11.3 parts of water were added and neutralized by stirring. Subsequently, 40 parts of water was added and stirred. Furthermore, 40 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-01B. At this time, the neutralization rate of the polymer solution was 110% to neutralize all acid groups, and the solid content was 25.4%. Further, the polymer solution became a highly viscous transparent liquid. The pH was 9.2. Since it was transparent, the average particle size could not be measured.

[中和例2]
中和例1と同様にポリマー溶液P−01を仕込み、モノエタノールアミン2.1部、水17.9部を加え、撹拌して中和した。続けて、水40部を加え、撹拌した。さらに、水40部を加え、撹拌し、ポリマー溶液P−01Cを得た。この時、P−01Cの中和率は40%であり、固形分は26.1%であった。また、P−01Cを水で10倍希釈した溶液のpHは8.0であった。半透明である水分散体を得た。その平均粒子径は41nmであった
[Neutralization Example 2]
In the same manner as in Neutralization Example 1, the polymer solution P-01 was charged, and 2.1 parts of monoethanolamine and 17.9 parts of water were added and neutralized by stirring. Subsequently, 40 parts of water was added and stirred. Furthermore, 40 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-01C. At this time, the neutralization rate of P-01C was 40%, and the solid content was 26.1%. The pH of a solution obtained by diluting P-01C 10 times with water was 8.0. A translucent aqueous dispersion was obtained. The average particle size was 41 nm.

[比較中和例2]
中和例1と同様にポリマー溶液P−01を仕込み、ジエタノールアミン3.7部、水16.3部を加え、撹拌して中和した。続けて、水40部を加え、撹拌した。さらに、水40部を加え、撹拌し、ポリマー溶液P−01Dを得た。この時、P−01Dの中和率は40%であり、固形分は26.3%であった。また、P−01Dを水で10倍希釈した溶液のpHは7.9であった。半透明である水分散体であった。平均粒子径は32nmであった。
[Comparative neutralization example 2]
The polymer solution P-01 was charged in the same manner as in Neutralization Example 1, 3.7 parts of diethanolamine and 16.3 parts of water were added, and the mixture was neutralized by stirring. Subsequently, 40 parts of water was added and stirred. Furthermore, 40 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-01D. At this time, the neutralization rate of P-01D was 40%, and the solid content was 26.3%. Moreover, the pH of the solution which diluted P-01D 10 times with water was 7.9. It was a translucent aqueous dispersion. The average particle size was 32 nm.

[比較中和例3]
中和例1と同様にポリマー溶液P−01を仕込み、トリエタノールアミン5.2部、水14.8部を加え、撹拌して中和した。続けて、水40部を加え、撹拌した。さらに、水40部を加え、撹拌し、ポリマー溶液P−01Eを得た。この時、P−01Eの中和率は40%であり、固形分は26.0%であった。また、P−01Eを水で10倍希釈した溶液のpHは7.7であった。透明感が強い液体であった。平均粒子径は23nmであった。
[Comparative neutralization example 3]
In the same manner as in Neutralization Example 1, polymer solution P-01 was charged, 5.2 parts of triethanolamine and 14.8 parts of water were added, and the mixture was neutralized by stirring. Subsequently, 40 parts of water was added and stirred. Furthermore, 40 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-01E. At this time, the neutralization rate of P-01E was 40%, and the solid content was 26.0%. The pH of a solution obtained by diluting P-01E 10 times with water was 7.7. It was a highly transparent liquid. The average particle size was 23 nm.

[中和例3]
中和例1と同様にポリマー溶液P−01を仕込み、ジメチルアミノエタノール3.1部、水16.9部を加え、撹拌して中和した。続けて、水40部を加え、撹拌した。さらに、水40部を加え、撹拌し、ポリマー溶液P−01Fを得た。この時、P−01Fの中和率は40%であり、固形分は26.2%であった。また、P−01Fを水で10倍希釈した溶液のpHは7.9であった。半透明である水分散体であった。平均粒子径は45nmであった。
[Neutralization Example 3]
In the same manner as in Neutralization Example 1, polymer solution P-01 was charged, and 3.1 parts of dimethylaminoethanol and 16.9 parts of water were added and neutralized by stirring. Subsequently, 40 parts of water was added and stirred. Furthermore, 40 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-01F. At this time, the neutralization rate of P-01F was 40%, and the solid content was 26.2%. The pH of a solution obtained by diluting P-01F 10 times with water was 7.9. It was a translucent aqueous dispersion. The average particle size was 45 nm.

[中和例4]
中和例1と同様にポリマー溶液P−01を仕込み、ジメチルアミノエタノール4.7部、水15.3部を加え、撹拌して中和した。続けて、水40部を加え、撹拌した。さらに、水40部を加え、撹拌し、ポリマー溶液P−01Gを得た。この時、P−01Gの中和率は60%であり、固形分は25.8%であった。また、P−01Gを水で10倍希釈した溶液のpHは8.2であった。幾分透明感のある水分散体であった。平均粒子径は36nmであった。
[Neutralization Example 4]
In the same manner as in Neutralization Example 1, the polymer solution P-01 was charged, and 4.7 parts of dimethylaminoethanol and 15.3 parts of water were added and neutralized by stirring. Subsequently, 40 parts of water was added and stirred. Furthermore, 40 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-01G. At this time, the neutralization rate of P-01G was 60%, and the solid content was 25.8%. The pH of a solution obtained by diluting P-01G 10 times with water was 8.2. The water dispersion was somewhat transparent. The average particle size was 36 nm.

[比較中和例5]
中和例1と同様にポリマー溶液P−01を仕込み、水酸化ナトリウム3.1部と水16.9部の混合液を加え、撹拌して中和した。続けて水40部を加え撹拌した。さらに水40部を加え撹拌し、ポリマー溶液P−01Hを得た。この時、P−01Hの中和度は40%であり、固形分は27.3%であった。またpHは8.4であった。透明感が強い液体であった。粒子径が検出できなかった。水酸化ナトリウムであることで、水への溶解性が高く、明らかな粒子にならず、検出できなかったものと考えられる。
[Comparative neutralization example 5]
In the same manner as in Neutralization Example 1, polymer solution P-01 was charged, and a mixed solution of 3.1 parts of sodium hydroxide and 16.9 parts of water was added, followed by stirring to neutralize. Subsequently, 40 parts of water was added and stirred. Furthermore, 40 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-01H. At this time, the neutralization degree of P-01H was 40%, and the solid content was 27.3%. The pH was 8.4. It was a highly transparent liquid. The particle size could not be detected. By being sodium hydroxide, the solubility in water is high, and it is considered that the particles were not clearly detected and could not be detected.

以上の中和例をまとめ、表1に示した。

Figure 0005740209
The above neutralization examples are summarized and shown in Table 1.
Figure 0005740209

[比較合成例1]親水性鎖を有するランダムポリマー型
撹拌機、逆流コンデンサー、温度計を取り付けた反応容器に、エタノール100部、BDG100部を仕込んで、75℃に加熱した。75℃に達したら、別に用意したSt40部、MMA30部、エチルメタクリレート(以下EMAと略)30部、ラウリルメタクリレート(以下LMAと略)40部、メタクリル酸30部、分子量約400のメトキシポリエチレングリコールモノメタクリレート(以下PME−400と略)30部、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(以下V−65と略)5部を混合したモノマー溶液205部のうち、68部を加えた。残り137部は1時間30分かけてゆっくりと滴下しながら加えた。モノマーの滴下終了後、1時間後、V−65を1部加えた。続けて1時間後、V−65を1部加えた。さらに3時間75℃にて撹拌を行い、ポリマー溶液P−02を得た。得られたP−02をサンプリングし、換算した重合転化率は100%であった。この時のGPCのRIでのMnは13,100であり、PDIは1.77であった。また、該ポリマーの酸価は97.8mgKOH/gであった。
[Comparative Synthesis Example 1] Random polymer type having a hydrophilic chain 100 parts of ethanol and 100 parts of BDG were charged in a reaction vessel equipped with a stirrer, a reverse flow condenser and a thermometer, and heated to 75 ° C. When the temperature reached 75 ° C., separately prepared St 40 parts, MMA 30 parts, ethyl methacrylate (hereinafter abbreviated as EMA) 30 parts, lauryl methacrylate (hereinafter abbreviated as LMA) 40 parts, methacrylic acid 30 parts, molecular weight about 400 methoxypolyethylene glycol mono Of 205 parts of the monomer solution mixed with 30 parts of methacrylate (hereinafter abbreviated as PME-400) and 5 parts of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) (hereinafter abbreviated as V-65), 68 parts added. The remaining 137 parts were added dropwise over 1 hour 30 minutes. One hour after the completion of the monomer addition, 1 part of V-65 was added. After 1 hour, 1 part of V-65 was added. The mixture was further stirred at 75 ° C. for 3 hours to obtain a polymer solution P-02. The obtained P-02 was sampled, and the polymerization conversion rate converted was 100%. At this time, Mn of RI of GPC was 13,100, and PDI was 1.77. The acid value of the polymer was 97.8 mgKOH / g.

[比較中和例5]
500mlビーカーにポリマー溶液P−02を100部仕込み、モノエタノールアミン2.1部、水17.9部を加え、撹拌して中和した。続けて、水40部を加え、撹拌した。さらに、水40部を加え、撹拌し、ポリマー溶液P−02Aを得た。この時、P−02Aの中和率は40%であり、固形分は26.4%であった。また、P−02Aを水で10倍希釈した溶液のpHは8.02(25℃)であった。透明感が強い液体であり、粒子径が検出できなかった。この理由は、ポリマーの構造中にポリエチレングリコール鎖が多く結合しているので、水溶性(親水性)が高く明らかな粒子にならず、検出できなかったものと考えられる。
[Comparative neutralization example 5]
In a 500 ml beaker, 100 parts of polymer solution P-02 was charged, 2.1 parts of monoethanolamine and 17.9 parts of water were added, and the mixture was neutralized by stirring. Subsequently, 40 parts of water was added and stirred. Furthermore, 40 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-02A. At this time, the neutralization rate of P-02A was 40%, and the solid content was 26.4%. The pH of a solution obtained by diluting P-02A 10 times with water was 8.02 (25 ° C.). It was a liquid with a strong transparency, and the particle size could not be detected. This is probably because many polyethylene glycol chains are bonded in the structure of the polymer, so that the particles are not highly water-soluble (hydrophilic) and cannot be detected.

[合成例2]狭い分子量分布を持つ(低PDI)ランダムポリマー型
合成例1と同様の装置を使用して、BDG172.9部、ベンジルメタクリレート(以下BzMAと略)70.4部、メタクリル酸8.6部、HEMA13.0部、ヨウ素1.0部、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)(以下V−70と略)3.7部、N−アイオドスクシンイミド0.11部を仕込んで、窒素を流しながら、40℃で撹拌して8時間重合し、ポリマー溶液P−03を得た。サンプリングし、固形分を測定したところ、35.6%であり、重合転化率はほぼ100%であった。GPCによるMnは10,900であり、Mwは13,950であり、PDIは1.28であった。酸価の測定によって樹脂の酸価は61.0mgKOH/gであった。なお、本合成方法は、本文中にリビングラジカル重合の例として記載した(g)の方法を取っている。
[Synthesis Example 2] Random Polymer Type with Narrow Molecular Weight Distribution (Low PDI) Using the same apparatus as in Synthesis Example 1, 172.9 parts of BDG, 70.4 parts of benzyl methacrylate (hereinafter abbreviated as BzMA), 8 .6 parts, HEMA 13.0 parts, iodine 1.0 part, 2,2'-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile) (hereinafter abbreviated as V-70) 3.7 parts, N-eye Odosuccinimide (0.11 part) was charged, and the mixture was stirred at 40 ° C. with nitrogen flowing for polymerization for 8 hours to obtain a polymer solution P-03. Sampling and measurement of the solid content were 35.6% and the polymerization conversion was almost 100%. Mn by GPC was 10,900, Mw was 13,950, and PDI was 1.28. The acid value of the resin was 61.0 mgKOH / g by measuring the acid value. In addition, this synthetic method has taken the method of (g) described as an example of living radical polymerization in the text.

[中和例5]
500mlビーカーにP−03を142.8部仕込んで、モノエタノールアミン1.2部、水7.8部を加え、撹拌して中和した。続けて、水20.0部を加え、撹拌した。さらに、水27.2部を加え、撹拌し、ポリマー溶液P−03Aを得た。この時、P−03Aの中和率は50%であり、固形分は26.0%であった。また、P−03Aを水で10倍希釈した溶液のpHは7.9であった。透明感のある白色のエマルジョンを得、平均粒子径は62nmであった。
[Neutralization Example 5]
Into a 500 ml beaker, 142.8 parts of P-03 was charged, and 1.2 parts of monoethanolamine and 7.8 parts of water were added, and the mixture was neutralized by stirring. Subsequently, 20.0 parts of water was added and stirred. Furthermore, 27.2 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-03A. At this time, the neutralization rate of P-03A was 50%, and the solid content was 26.0%. The pH of a solution obtained by diluting P-03A 10 times with water was 7.9. A transparent white emulsion was obtained, and the average particle size was 62 nm.

[合成例3]ブロックポリマー型
合成例1と同様の装置を使用して、ジメチルジグリコール179部、BzMA35.2部、メタクリル酸1.8部、ヨウ素1.0部、V−70を5.0部、ジフェニルメタン0.3部を仕込んで、窒素を流しながら7時間重合し、Aのポリマーブロックを得た。一部をサンプリングして、重合率はほぼ100%であった。また、Mnは4,300であり、PDIは1.12であった。酸価の測定の結果、31.7mgKOH/gであった。これのポリマーの一部をアンモニア水で中和してみたところ溶解せずに析出した。酸価が低いため、溶解しなかったと考えられる。
[Synthesis Example 3] Block Polymer Type Using the same apparatus as in Synthesis Example 1, 179 parts of dimethyldiglycol, 35.2 parts of BzMA, 1.8 parts of methacrylic acid, 1.0 part of iodine, and V-70 are 5. 0 parts and 0.3 parts of diphenylmethane were charged and polymerized for 7 hours while flowing nitrogen to obtain a polymer block of A. A part was sampled, and the polymerization rate was almost 100%. Moreover, Mn was 4,300 and PDI was 1.12. As a result of measuring the acid value, it was 31.7 mgKOH / g. When a part of the polymer was neutralized with aqueous ammonia, it was precipitated without dissolving. It is thought that it did not dissolve because of its low acid value.

次いで、BzMA52.8部、メタクリル酸8.6部、HEMA6.5部を仕込んでさらに4時間重合し、A−BブロックポリマーであるP−04を得た。重合率はほぼ100%であり、Mnは16,800であり、PDIは1.36であった。すなわち、Bのポリマーブロックの分子量は12,500である。このA−Bブロックポリマーにおいて、GPCのピークから、Aのポリマーブロックが高分子量側にずれていることが確認できた。これは、Aのポリマーブロックから重合が始まり、A−Bブロックポリマーとなったと考えられる。また、該ポリマーは、酸価測定の結果、71.0mgKOH/gであった。Bのポリマーブロックだけでみると、その酸価は配合上の計算から82.6mgKOH/gである。固形分は51.0%であった。なお、本合成方法は、本文中にリビングラジカル重合の例として記載した(g)の方法を取っている。   Next, 52.8 parts of BzMA, 8.6 parts of methacrylic acid, and 6.5 parts of HEMA were charged and polymerized for another 4 hours to obtain P-04 as an AB block polymer. The polymerization rate was almost 100%, Mn was 16,800, and PDI was 1.36. That is, the molecular weight of the polymer block of B is 12,500. In this AB block polymer, it was confirmed that the polymer block of A was shifted to the high molecular weight side from the GPC peak. It is considered that this started from the polymer block of A and became an AB block polymer. Moreover, this polymer was 71.0 mgKOH / g as a result of an acid value measurement. If only the polymer block of B is seen, the acid value is 82.6 mgKOH / g from the calculation on the blending. The solid content was 51.0%. In addition, this synthetic method has taken the method of (g) described as an example of living radical polymerization in the text.

[中和例6]
ビーカーにP−04を100部仕込んで、モノエタノールアミン2.3部、水17.7部を加え、撹拌して中和した。続けて、水40部を加え、撹拌した。さらに、水40部を加え、撹拌し、ポリマー溶液P−04Aを得た。この時、P−04Aの中和率は60%であり、固形分は25.6%であった。また、P−04Aを水で10倍希釈した溶液のpHは7.7であった。透明感のある白色のエマルジョンを得、平均粒子径は70nmであった。
[Neutralization Example 6]
100 parts of P-04 was charged into a beaker, 2.3 parts of monoethanolamine and 17.7 parts of water were added, and the mixture was neutralized by stirring. Subsequently, 40 parts of water was added and stirred. Furthermore, 40 parts of water was added and stirred to obtain a polymer solution P-04A. At this time, the neutralization rate of P-04A was 60%, and the solid content was 25.6%. The pH of a solution obtained by diluting P-04A 10 times with water was 7.7. A transparent white emulsion was obtained, and the average particle size was 70 nm.

[実施例1]
300リッタービーカーに、中和例1で得たP−01Aを59.3部、ダイレクトブルー86を0.3部、エチレングリコール20部、グリセリン2部、イオン交換水18.4部を配合して、撹拌機にて均一になるように撹拌した。次いで、5μm、次いで1.2μmのフィルターにてろ過し、インクを作成した。粘度を測定したところ、3.6mPa・sであり、pHは7.5であった。
[Example 1]
In a 300 liter beaker, 59.3 parts of P-01A obtained in Neutralization Example 1, 0.3 part of Direct Blue 86, 20 parts of ethylene glycol, 2 parts of glycerin, and 18.4 parts of ion-exchanged water were blended. The mixture was stirred with a stirrer so as to be uniform. Subsequently, it filtered with the filter of 5 micrometers and then 1.2 micrometers, and created the ink. When the viscosity was measured, it was 3.6 mPa · s, and the pH was 7.5.

[実施例2〜4、比較例1〜5]
実施例1と同様にして、表1に記載したP−01B〜H、P−02Aを使用して、ポリマー分が12%になるようにイオン交換水の量を調整してインクを作成した。これらのインクの主組成と性状を、実施例1のインクとあわせて表2に示した。
[Examples 2 to 4, Comparative Examples 1 to 5]
In the same manner as in Example 1, using P-01B to H and P-02A shown in Table 1, the amount of ion-exchanged water was adjusted so that the polymer content was 12% to prepare an ink. The main compositions and properties of these inks are shown in Table 2 together with the ink of Example 1.

Figure 0005740209
Figure 0005740209

[評価例1]
これらのインクをカートリッジボトルに装填し、ピエゾ式インクジェット印刷機(マスターマインド社製、MMP813P)にて、アセトンで表面の油脂などを除去した真鍮鋼板に、10ポイント、16ポイント、24ポイント、40ポイントのフォントの大きさの明朝体にて“永”の字を印字し、この印字物を80℃、3分乾燥させ、保護層であるポリマー膜を形成させた。
[Evaluation Example 1]
10 points, 16 points, 24 points, and 40 points on a brass steel plate in which these inks are loaded into a cartridge bottle and surface oils and fats are removed with acetone using a piezo-type ink jet printer (manufactured by Mastermind, MMP813P). The character “Ei” was printed in the Mincho style with the font size of 、, and the printed matter was dried at 80 ° C. for 3 minutes to form a polymer film as a protective layer.

その結果、実施例1〜4のインク組成物を使用した場合においては、吐出性がよく、印字の“永”の字のそれぞれの部分である“はね”や“はらい”の細かい部分まで綺麗に印字されていることが確認できた。しかし、比較例1のインク組成物を使用した場合では、吐出不能で印字できなかった。これは、この印刷機に対してはインクの粘度が高すぎたためと考えられ、最適な低粘度が必要と考えられる。次に、比較例2と3のインク組成物を使用した場合に関しては、“永”の字の前記した部分に若干乱れが生じていた。これは中和しているアミンが揮発しにくいことと、親水性が高いアミンであることから、乾燥時に乱れが生じたものと考える。しかし、比較例4、5のインク組成物を使用した場合については、実施例1〜4と同様の結果を得た。これは、比較例4、5のインク組成物については、その構成成分としたポリマー溶液では粒子が観察されなかったが、インク組成溶媒中ではうまくポリマーが粒子となったためと考えられる。   As a result, when the ink compositions of Examples 1 to 4 were used, the ejection performance was good and the fine portions of “Splash” and “Harai”, which are the portions of the “elong” character of the print, were beautiful. It was confirmed that it was printed on. However, when the ink composition of Comparative Example 1 was used, printing could not be performed because ejection was impossible. This is thought to be because the viscosity of the ink was too high for this printing press, and an optimum low viscosity is considered necessary. Next, in the case where the ink compositions of Comparative Examples 2 and 3 were used, there was a slight disturbance in the above-mentioned portion of the “permanent” character. This is because the neutralized amine is difficult to volatilize and the amine has high hydrophilicity, and thus it is considered that disturbance occurred during drying. However, when the ink compositions of Comparative Examples 4 and 5 were used, the same results as in Examples 1 to 4 were obtained. This is probably because, in the ink compositions of Comparative Examples 4 and 5, particles were not observed in the polymer solution as a constituent component, but the polymer was successfully converted into particles in the ink composition solvent.

次いで、この印字された鋼板を、20%の塩化第二鉄水溶液に30℃で8分浸漬させ、エッチングした。その結果、実施例1〜4のインクを用いた場合については、ポリマー膜の剥がれがないことが確認できた。これは、ポリマーの構造中の酸基であるカルボキシル基が基材との密着性を高め、且つ酸基をもつポリマーであるので、強酸である腐食液にも溶解しなかったためと考えられる。これに対し、比較例2〜5のインクを用いた場合では、エッチングの際にポリマー膜が剥がれていて、レジストとしての性能を保持していないことを確認した。これは、比較例2〜4のインクの成分としたポリマーの中和に用いた中和剤が高沸点のアミンや金属塩であったため、ポリマー構造中のカルボキシル基が中和されたままであり水溶解性が出てしまい、腐食液に溶解してしまったためと考えられる。また、比較例5のインクでは、その成分中のポリマーの合成にポリエチレングリコール系のメタクリレートが多く配合されており、部分的に中和しても明らかな粒子にならず親水性が高いために、該インクで形成したポリマー膜が腐食液に溶解してしまったためと、ポリマー膜自体の基材への密着性が足りなかったからと推測される。   The printed steel sheet was then immersed in a 20% aqueous ferric chloride solution at 30 ° C. for 8 minutes and etched. As a result, it was confirmed that there was no peeling of the polymer film when the inks of Examples 1 to 4 were used. This is presumably because the carboxyl group, which is an acid group in the structure of the polymer, increases the adhesion to the base material and is a polymer having an acid group, so it was not dissolved in a strong acid corrosive solution. On the other hand, when the inks of Comparative Examples 2 to 5 were used, it was confirmed that the polymer film was peeled off during the etching, and the performance as a resist was not maintained. This is because the neutralizing agent used for neutralizing the polymer as a component of the inks of Comparative Examples 2 to 4 was a high-boiling amine or metal salt, so that the carboxyl groups in the polymer structure remained neutralized and water This is considered to be because the solubility has come out and it has been dissolved in the corrosive liquid. Further, in the ink of Comparative Example 5, a lot of polyethylene glycol-based methacrylate is blended in the synthesis of the polymer in the component, and even if it is partially neutralized, the particles are not obvious and are highly hydrophilic. It is presumed that the polymer film formed with the ink was dissolved in the corrosive liquid and that the adhesion of the polymer film itself to the substrate was insufficient.

次いで、実施例1〜4でのエッチングされたアルミ鋼板を、よくイオン交換水で洗浄した後、2.5%水酸化カリウム水溶液に15秒浸漬させて現像操作を行った。この結果、すべての実施例において、その一部が膜状となって脱落している状態が見られたが、ポリマー膜が容易に溶解し、真鍮鋼板に綺麗な“永”の字を様々なフォントの大きさで形成することができた。この技術を利用することで、文字、画像、パターン、回路などの精密な線画を描くことができることが確認された。   Next, the etched aluminum steel plates in Examples 1 to 4 were thoroughly washed with ion-exchanged water and then immersed in a 2.5% aqueous potassium hydroxide solution for 15 seconds to perform a developing operation. As a result, in all of the examples, a part of the film was dropped out, but the polymer film was easily dissolved, and a beautiful “elong” character was variously formed on the brass steel plate. It was possible to form with the size of the font. It was confirmed that precise line drawings such as characters, images, patterns, and circuits can be drawn by using this technology.

[実施例5]
実施例1と同様の装置にて、合成例2で得たP−03を部分中和した、中和例5で得たP−03Aを46.1部、NAFカラーNAF5091ブラック(カーボンブラックの水分散体、顔料分35%、大日精化社製)を8.7部、エチレングリコールを7部、ジエチレングリコールを7部、イオン交換水31.2部を混合した後、5μm、次いで1.2μmのフィルターにてろ過してインクを作成した。得られたブラックインクは、粘度が3.6で、pH8.1であった。
[Example 5]
In the same apparatus as in Example 1, P-03 obtained in Synthesis Example 2 was partially neutralized, 46.1 parts of P-03A obtained in Neutralization Example 5, NAF color NAF5091 black (carbon black water) 8.7 parts of dispersion (35% pigment content, manufactured by Dainichi Seika Co., Ltd.), 7 parts of ethylene glycol, 7 parts of diethylene glycol and 31.2 parts of ion-exchanged water were mixed, and then 5 μm and then 1.2 μm The ink was prepared by filtering with a filter. The obtained black ink had a viscosity of 3.6 and a pH of 8.1.

[評価例2]
評価例1と同様にして、実施例5で得たブラックインクをカートリッジボトルに装填し、前記したインクジェット印刷機にて、アセトンで表面の油脂などを除去した銅箔積層シリコンウェハーに、1mmの線幅の線を間隔1mmあけて10本印刷した。この結果、ヘッドのつまりもなく問題なく吐出できた。次いで、印刷した上記素材を100℃で1分乾燥して、ポリマー層を形成させた。綺麗な線画を得ることができ、膜の剥がれなどは確認されなかった。
[Evaluation Example 2]
In the same manner as in Evaluation Example 1, the black ink obtained in Example 5 was loaded into a cartridge bottle, and a 1 mm wire was applied to a copper foil laminated silicon wafer from which surface oils and fats were removed with acetone using the ink jet printer described above. Ten lines of width were printed with an interval of 1 mm. As a result, ejection was possible without any clogging of the head. Next, the printed material was dried at 100 ° C. for 1 minute to form a polymer layer. A beautiful line drawing could be obtained, and no peeling of the film was confirmed.

次いで、評価例1と同様にしてエッチングしたところ、銅箔がなくなり、シリコンウェハーが露出し、そのポリマー層で保護されている部分が残った。ポリマー層は剥がれることなく、レジストとしての性能を持つことが確認できた。さらに同様にして0.5%テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド水溶液に5秒浸漬させた。ポリマー膜は、評価例1の場合のように膜状に剥がれることはなく、溶解しながら脱離していくことが確認できた。この溶解の様子の違いは、本実施例で使用したポリマーのP−03が低PDIのものであるためと考えられる。この結果、前記した線画が綺麗に銅膜として残った。本実施例のインクを使用した場合は、実施例1〜4のインクを用いた場合よりもさらに微細な線画も形成できると考えられ、電子回路図などの、より繊細で精緻なパターニングに利用できると考えられる。   Next, etching was performed in the same manner as in Evaluation Example 1. As a result, the copper foil disappeared, the silicon wafer was exposed, and a portion protected by the polymer layer remained. It was confirmed that the polymer layer had a performance as a resist without peeling off. Further, it was immersed in a 0.5% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution for 5 seconds in the same manner. The polymer film was not peeled off as in the case of Evaluation Example 1, and it was confirmed that the polymer film was detached while being dissolved. This difference in the dissolution state is considered to be because the polymer P-03 used in this example has a low PDI. As a result, the above-described line drawing remained beautifully as a copper film. When the ink of this example is used, it is considered that a finer line drawing can be formed than when the inks of Examples 1 to 4 are used, and can be used for more delicate and precise patterning such as an electronic circuit diagram. it is conceivable that.

[実施例6]
実施例1と同様の装置にて、合成例3で得たP−04を部分中和した、中和例6で得たP−04Aを11.8部、ビスフェノールA型ポリ(n+m=6)エチレングリコールジアクリレートを6部、ブチルセロソルブを10部、グリセリンを3部、水を68.4部、ベンゾフェノンを0.3部、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン0.3部を混合した後、5μm、次いで1.2μmのフィルターにてろ過してインクを作成した。得られたインクは、粘度が9.4で、pH7.6であった。
[Example 6]
In the same apparatus as in Example 1, P-04 obtained in Synthesis Example 3 was partially neutralized. 11.8 parts of P-04A obtained in Neutralization Example 6 and bisphenol A type poly (n + m = 6) After mixing 6 parts of ethylene glycol diacrylate, 10 parts of butyl cellosolve, 3 parts of glycerin, 68.4 parts of water, 0.3 part of benzophenone and 0.3 part of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 5 μm, then The ink was prepared by filtering through a 1.2 μm filter. The obtained ink had a viscosity of 9.4 and a pH of 7.6.

[評価例3]
実施例6のインクを用い、評価例1と同様にして、洗浄されたステンレス鋼板に2cm×2cm、乾燥厚み10μmになるように印画した。この結果、ヘッドのつまりもなく、問題なく吐出できた。次いで、80℃で5分間乾燥し、UV照射装置(メタルハライドランプ120W)にて紫外線を照射して膜を硬化させた。次いで、評価例1と同様にしてエッチングして、洗浄し、アルカリ現像した。エッチングにおいては、他の樹脂成分が入っていても、インク中に含有させたA−Bブロックポリマーのカルボキシル基のため密着性が高く、剥がれがなく、一方、アルカリ現像も、B鎖が高酸価であることによって、容易に剥離し、アルカリ現像性も良好であった。
[Evaluation Example 3]
Using the ink of Example 6, in the same manner as in Evaluation Example 1, printing was performed on the washed stainless steel plate so as to be 2 cm × 2 cm and a dry thickness of 10 μm. As a result, there was no clogging of the head and ejection was possible without any problem. Subsequently, it dried at 80 degreeC for 5 minute (s), and the film | membrane was hardened by irradiating an ultraviolet-ray with a UV irradiation apparatus (metal halide lamp 120W). Next, etching, washing, and alkali development were performed in the same manner as in Evaluation Example 1. In the etching, even if other resin components are contained, the adhesion is high due to the carboxyl group of the AB block polymer contained in the ink, and there is no peeling. On the other hand, in alkali development, the B chain has a high acidity. By being a valence, it peeled easily and the alkali developability was also good.

以上のように、インク中にA−Bブロックポリマーを含有させた実施例6のインクによれば、水性で、低粘度のため、インクジェットで良好な印刷ができ、さらに、エッチング耐性、アルカリ現像性に優れたレジスト膜を得ることができる。より繊細な線画を描くためには、本実施例のエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物が有用である。   As described above, according to the ink of Example 6 in which the AB block polymer is contained in the ink, it is water-based and has a low viscosity, so that good printing can be performed by inkjet, etching resistance, and alkali developability. It is possible to obtain an excellent resist film. In order to draw a more delicate line drawing, the aqueous inkjet ink composition for etching resists of this example is useful.

本発明のエッチングレジスト用水性インクジェットインキ組成物を使用することで、微細に印刷できるインクジェット印刷の利用が可能になり、この結果、より容易に、より繊細で微細な線画を必要とする、金属加工、電子回路、プリント基板、製版、半導体分野、カラーフィルターなどの画像形成やパターン形成が可能になる。これによって、情報化機器の急速な発展に伴う部品の小型化への対応や、高意匠性の金属プレートなどを容易に得ることができるようになるので、本発明の活用は、極めて広範な分野に及ぶことが期待される。   By using the aqueous inkjet ink composition for etching resists of the present invention, it becomes possible to use inkjet printing capable of fine printing, and as a result, metal processing that requires more delicate and fine line drawing more easily. Image formation and pattern formation are possible for electronic circuits, printed circuit boards, plate making, semiconductor fields, color filters, and the like. As a result, it becomes possible to easily cope with the miniaturization of parts accompanying the rapid development of information-oriented equipment and highly-designed metal plates. Expected to reach

Claims (6)

水と、水可溶性有機溶媒と、ポリマーとを少なくとも含有してなる、インクジェット印刷方式で印画されるエッチングレジスト用インクであって、
前記ポリマー
α,β不飽和結合含有モノマーの付加重合によって得られ、少なくとも、カルボキシル基を有するα,β不飽和結合含有モノマーを構成成分とする、その酸価が50〜250mgKOH/gで、且つ、その数平均分子量が2,000〜20,000であり、
さらに、インク中における該ポリマーの形態が、前記ポリマーの前記酸価のうちの少なくとも一部を中和することで、平均粒子径が10nm〜200nmの水分散体又はエマルジョンとなっており、前記中和後のポリマーの形態を水分散体又はエマルジョンとするための中和が、前記カルボキシル基に由来するポリマーの前記酸価のうちの少なくとも一部、アンモニア;モノ又はジ又はトリアルキル(炭素数1〜4)アミン;モノアルカノール(炭素数2又は3)アミン;モノ又はジアルキル(炭素数1〜4)モノアルカノール(炭素数2又は3)アミンからなる群から選択される少なくともいずれかの化合物で前記ポリマーが水可溶性にならないように中和することでなされており、
且つ、インクの粘度が2〜20mPa・sであることを特徴とするエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物。
An etching resist ink printed by an ink jet printing method, comprising at least water, a water-soluble organic solvent, and a polymer,
The polymer is
Obtained by addition polymerization of an α, β unsaturated bond-containing monomer and having at least an α, β unsaturated bond-containing monomer having a carboxyl group as a constituent, its acid value is 50 to 250 mgKOH / g, and the number thereof average molecular weight is 2,000~20,00 0,
Furthermore, the form of the polymer in the ink is an aqueous dispersion or emulsion having an average particle size of 10 nm to 200 nm by neutralizing at least a part of the acid value of the polymer. the form of polymer after the sum is neutralized to the aqueous dispersion or emulsion, at least a portion of the acid value of the polymer derived from the carboxyl group, ammonia; mono- or di- or trialkyl (number of carbon atoms 1-4) amine; monoalkanol (carbon number 2 or 3) amine; mono- or dialkyl (carbon number 1-4) monoalkanol (carbon number 2 or 3) at least one compound selected from the group consisting of amines are in such a that the polymer is neutralized so as not to water-soluble,
An aqueous inkjet ink composition for etching resists , wherein the viscosity of the ink is 2 to 20 mPa · s .
25℃において、pHが5〜8.2であり、粘度が0mPa・sである請求項1に記載のエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物。 2. The aqueous inkjet ink composition for etching resist according to claim 1, having a pH of 5 to 8.2 and a viscosity of 3 to 10 mPa · s at 25 ° C. 3 . 前記ポリマーの分子量分布である重量平均分子量/数平均分子量が、1.6以下である請求項1又は2に記載のエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物。   The water-based inkjet ink composition for an etching resist according to claim 1, wherein a weight average molecular weight / number average molecular weight, which is a molecular weight distribution of the polymer, is 1.6 or less. 前記ポリマーが、A−Bブロックコポリマー構造を有し、Aのポリマーブロックが、その酸価が0〜50mgKOH/gで且つその数平均分子量が1,000〜5,000であり、Bのポリマーブロックが、その酸価が50〜200mgKOH/gで且つその数平均分子量が1,000〜15,000である請求項1〜3のいずれか1項に記載のエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物。   The polymer has an AB block copolymer structure, the polymer block of A has an acid value of 0 to 50 mgKOH / g and a number average molecular weight of 1,000 to 5,000, and the polymer block of B The acid value is 50-200 mgKOH / g, and the number average molecular weight is 1,000-15,000, The aqueous inkjet ink composition for etching resists of any one of Claims 1-3. さらに、着色剤成分として染料又は顔料を含む請求項1〜4のいずれか1項に記載のエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物。   Furthermore, the water-based inkjet ink composition for etching resists of any one of Claims 1-4 which contain dye or a pigment as a coloring agent component. さらに、水性の紫外線硬化性モノマー及び/又はオリゴマーを硬化成分として含む請求項1〜5のいずれか1項に記載のエッチングレジスト用水性インクジェットインク組成物。   Furthermore, the aqueous inkjet ink composition for etching resists of any one of Claims 1-5 which contain an aqueous | water-based ultraviolet curable monomer and / or oligomer as a hardening component.
JP2011121398A 2011-05-31 2011-05-31 Aqueous inkjet ink composition for etching resist Active JP5740209B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011121398A JP5740209B2 (en) 2011-05-31 2011-05-31 Aqueous inkjet ink composition for etching resist

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011121398A JP5740209B2 (en) 2011-05-31 2011-05-31 Aqueous inkjet ink composition for etching resist

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012245757A JP2012245757A (en) 2012-12-13
JP5740209B2 true JP5740209B2 (en) 2015-06-24

Family

ID=47466687

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011121398A Active JP5740209B2 (en) 2011-05-31 2011-05-31 Aqueous inkjet ink composition for etching resist

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5740209B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6057695B2 (en) * 2012-12-19 2017-01-11 東洋アルミニウム株式会社 Inkjet ink composition for etching resist

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3799069B2 (en) * 1993-12-14 2006-07-19 キヤノン株式会社 Etching resist composition, pattern forming method using the same, and method for manufacturing wiring board
JPH07170054A (en) * 1993-12-14 1995-07-04 Canon Inc Ultraviolet hardening composition, formation of pattern using this and manufacture of wiring board
JPH10104830A (en) * 1996-09-30 1998-04-24 Mitsui Petrochem Ind Ltd Etching resist ink for dip coating and its use method
JP2003142801A (en) * 2001-11-07 2003-05-16 Toyobo Co Ltd Etching resist ink
JP5065052B2 (en) * 2005-02-22 2012-10-31 カーディオフォーカス・インコーポレイテッド Flexible sheath catheter

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012245757A (en) 2012-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3351602B1 (en) Lithographic printing ink, varnish for lithographic inks, and method for producing printed matter using said ink
JP5797296B2 (en) Ink composition for inkjet recording, recording method using the same, and recorded matter
JP5069494B2 (en) Water-soluble resin composition for forming fine pattern and fine pattern forming method using the same
DE60307485T2 (en) METHOD AND INK FOR PRODUCING ELECTRONIC COMPONENTS
EP0659039B1 (en) Process for producing a printed wiring board making use of an ultraviolet-curing composition
DE69826456T2 (en) AQUEOUS URETHANE ACRYLATE PHOTORESIS
JPH09157559A (en) Ink jet recording fluid and its production
JP6699852B2 (en) Colored fine particle dispersion
JP2015134852A (en) Colored resin particle dispersion and inkjet ink
JP2008195769A (en) Block polymer compound, liquid composition and ink for ink jet
CN111417688A (en) Ink set and method for producing printed matter
JP5883144B2 (en) Ink composition, image forming method, printed matter, and graft copolymer
JP2013166894A (en) Inkjet ink composition, image forming method, and printed article
JP5085973B2 (en) Inkjet ink
JP5740209B2 (en) Aqueous inkjet ink composition for etching resist
JP2000239392A (en) Production of aqueous pigment dispersion
JP2007326904A (en) Not-true spherical macromolecular fine particle, method for producing the same, inkjet ink composition containing the fine particle, planographic printing plate using the composition and method for producing the same, electrophoretic particle composition containing the fine particle
JP6524579B2 (en) UV curable composition for inkjet etching resist
JP2004210951A (en) Aqueous ink
KR100961713B1 (en) Plating process
WO2006095793A1 (en) Water-based inks for ink-jet printing
JP2008045047A (en) Active ray-curable composition
JP2003268273A (en) Ink for ink-jet printer
CN113891804A (en) Water-based ink for plate printing
JP6339925B2 (en) UV curable composition for inkjet etching resist

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130614

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140902

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141029

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150421

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150427

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5740209

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250