JP5712029B2

JP5712029B2 - Solenoid valve

Info

Publication number: JP5712029B2
Application number: JP2011079207A
Authority: JP
Inventors: 小野　純一; 純一小野; 弘毅加藤; 圭吾安田
Original assignee: KYB Corp
Current assignee: KYB Corp
Priority date: 2011-03-31
Filing date: 2011-03-31
Publication date: 2015-05-07
Anticipated expiration: 2031-03-31
Also published as: JP2012215187A

Description

本発明は、ソレノイド推力に応じて作動流体の流量を調節するソレノイドバルブに関するものである。 The present invention relates to a solenoid valve that adjusts the flow rate of a working fluid in accordance with solenoid thrust.

従来、この種のソレノイドバルブとして、例えば特許文献１に開示されたものは、ソレノイド推力に応じて移動するピンポペットがパイロット圧力を調節し、このパイロット圧力に応じて移動するポペットがバルブシートの開口面積を変えることによって、バルブシート（バルブ通路）を通過する作動流体の流量を調節するようになっている。 Conventionally, as a solenoid valve of this type, for example, the one disclosed in Patent Document 1 has a pin poppet that moves in accordance with the solenoid thrust, and adjusts the pilot pressure, and the poppet that moves in response to the pilot pressure opens the valve seat. By changing the area, the flow rate of the working fluid passing through the valve seat (valve passage) is adjusted.

特開２０１０−１３８９２５号公報JP 2010-138925 A

しかしながら、このような従来のソレノイドバルブにあっては、ピンポペットの開度が小さいときピンポペットに働く流体力が急変するため、少流量を精度よく調節することと、大流量を応答性よく調節することを両立することが難しいという問題点があった。 However, in such a conventional solenoid valve, the fluid force acting on the pin poppet changes abruptly when the pin poppet opening is small, so that the small flow rate can be adjusted accurately and the large flow rate can be adjusted with high responsiveness. There was a problem that it was difficult to achieve both.

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、少流量を精度よく調節することと、大流量を応答性よく調節することを両立するソレノイドバルブを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a solenoid valve that can adjust both a small flow rate with high accuracy and a large flow rate with high responsiveness.

本発明は、ソレノイド推力に応じてバルブ通路の流入側から流出側へと流れる作動流体の流量を調節するソレノイドバルブであって、バルブ通路に介装されるメインシートと、このメインシートに対して変位することによってメインシートの開口面積を変えるポペットと、このポペットを閉弁方向に付勢するサブパイロット圧力が生じるサブパイロット室と、このサブパイロット室をメインシートより流入側のバルブ通路に連通する流入側サブパイロット通路と、サブパイロット室をメインシートより流出側のバルブ通路に連通する流出側サブパイロット通路と、この流出側サブパイロット通路に介装されるサブシートと、ソレノイド推力に応じてサブシートに対して変位することによってサブシートの開口面積を変えるピンポペットと、流入側サブパイロット通路においてピンポペットの軸方向に沿ってサブシートへと向かう作動流体の流れを絞ることで作動流体の粘性抵抗が生じる絞り手段と、を備え、ピンポペットがソレノイド推力によって開弁方向に駆動されると、作動流体が流入側サブパイロット通路から絞り手段を介して流出側サブパイロット通路に流れるものとした。 The present invention relates to a solenoid valves for adjusting the flow rate of the working fluid flowing to the outlet side from the inlet side of the valve passage according to the solenoid thrust, and the main sheet interposed valve duct, with respect to the main seat A poppet that changes the opening area of the main seat by being displaced, a subpilot chamber that generates a subpilot pressure that urges the poppet in the valve closing direction, and the subpilot chamber that communicates with the valve passage on the inflow side from the main seat An inflow side subpilot passage, an outflow side subpilot passage communicating with the subpilot chamber from the main seat to the outflow side valve passage, a subseat interposed in the outflow side subpilot passage, and a solenoid thrust A pin poppet that changes the opening area of the sub-sheet by displacing with respect to the sub-sheet; And a stop means for the viscous resistance is generated in the working fluid by narrowing the flow of hydraulic fluid towards the sub-sheet along the axial direction of the Pinpopetto the side sub-pilot passage, Pinpopetto is the valve opening direction by the solenoid thrust When driven , the working fluid flows from the inflow side subpilot passage to the outflow side subpilot passage through the throttle means .

本発明によると、絞り手段を流れる作動流体は、ピンポペットに沿ってサブシートへと向かうことにより、その粘性抵抗によってピンポペットを閉弁方向に付勢する。この粘性抵抗による閉弁方向の付勢力とピンポペットに働く流体力がソレノイド推力と釣り合い、ピンポペットをソレノイド推力に応じて漸次変位させることが可能となり、ピンポペットにより少流量を精度よく調節することと、ポペットを介して大流量を応答性よく調節することが両立される。 According to the present invention, the working fluid flowing through the throttle means moves toward the sub-seat along the pin poppet, and biases the pin poppet in the valve closing direction by its viscous resistance. The urging force in the valve closing direction due to this viscous resistance and the fluid force acting on the pin poppet balance with the solenoid thrust, and the pin poppet can be gradually displaced according to the solenoid thrust, and the small flow rate can be adjusted accurately with the pin poppet. And adjusting the large flow rate with high responsiveness through the poppet.

本発明の実施形態を示すソレノイドバルブの構成図。The block diagram of the solenoid valve which shows embodiment of this invention. 同じくソレノイドバルブの構成図。The block diagram of a solenoid valve similarly. 同じくソレノイド電流値とバルブ通路の流量の関係を示す線図。Similarly, the diagram which shows the relationship between a solenoid electric current value and the flow volume of a valve channel | path. 同じくピンポペットの変位とポペットに働く流体力の関係を示す線図。The diagram which similarly shows the relationship between the displacement of a pin poppet, and the fluid force which acts on a poppet. 他の実施形態を示すソレノイドバルブの構成図。The block diagram of the solenoid valve which shows other embodiment. 他の実施形態を示すソレノイドバルブの構成図。The block diagram of the solenoid valve which shows other embodiment. 他の実施形態を示すソレノイドバルブの構成図。The block diagram of the solenoid valve which shows other embodiment. 他の実施形態を示すソレノイドバルブの構成図。The block diagram of the solenoid valve which shows other embodiment. 参考例を示すソレノイドバルブの構成図。The block diagram of the solenoid valve which shows a reference example .

以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

（第１実施形態）
図１、２は、ソレノイドバルブ１の概略構成を示す図であり、以下、これについて説明する。 (First embodiment)
1 and 2 are diagrams showing a schematic configuration of the solenoid valve 1, which will be described below.

ソレノイドバルブ１は、流入側（圧力源側）と流出側（負荷側）を連通するバルブ通路２の開口面積をソレノイド推力に応じて変え、このバルブ通路２を通過する作動油（以下作動流体と呼ぶ）の流量を調節するものである。 The solenoid valve 1 changes the opening area of the valve passage 2 that communicates the inflow side (pressure source side) and the outflow side (load side) according to the solenoid thrust, and hydraulic oil (hereinafter referred to as a working fluid and a fluid) that passes through the valve passage 2. Called).

バルブハウジング９にはバルブ通路２を構成するバルブポート１２、１３が形成される。バルブポート１２、１３の一方が図示しない配管等を介して圧力源に連通し、バルブポート１２、１３の他方が図示しない配管等を介して負荷に連通する。 Valve ports 12 and 13 constituting the valve passage 2 are formed in the valve housing 9. One of the valve ports 12 and 13 communicates with a pressure source via a pipe (not shown) and the other of the valve ports 12 and 13 communicates with a load via a pipe (not shown).

ソレノイドバルブ１は、両方向開閉タイプのものであり、図１に矢印で示すようにバルブポート１２からバルブポート１３に向かう作動流体の流れ（以下、第一流れと呼ぶ）に対して開閉作動するとともに、図２に矢印で示すようにバルブポート１３からバルブポート１２に向かう作動流体の流れ（以下、第二流れと呼ぶ）に対しても開閉作動する。 The solenoid valve 1 is of a bi-directional opening / closing type, and opens / closes with respect to a flow of working fluid (hereinafter referred to as a first flow) from the valve port 12 toward the valve port 13 as indicated by an arrow in FIG. As shown by the arrows in FIG. 2, the opening / closing operation is also performed for the flow of the working fluid from the valve port 13 toward the valve port 12 (hereinafter referred to as the second flow).

ソレノイドバルブ１は、上記した第一、第二流れの流量を調節する弁体として、大流量を制御するメインポペット２０と、小流量を制御するポペット４０と、微少流量を制御するピンポペット６０とを備える。円筒状のメインポペット２０の内側にポペット４０が摺動可能に嵌合し、メインポペット２０とポペット４０とピンポペット６０とは、同軸上に直列に配置される。 The solenoid valve 1 is a main poppet 20 that controls a large flow rate, a poppet 40 that controls a small flow rate, and a pin poppet 60 that controls a micro flow rate, as valve bodies that adjust the flow rates of the first and second flows described above. Is provided. The poppet 40 is slidably fitted inside the cylindrical main poppet 20, and the main poppet 20, the poppet 40, and the pin poppet 60 are arranged in series on the same axis.

ソレノイドバルブ１のバルブ通路２は、メインポペット２０によって開閉されるメイン通路１０と、ポペット４０によって開閉されるメインパイロット通路１００、１１０と、ピンポペット６０によって開閉されるサブパイロット通路３０、５０とによって構成される。このメイン通路１０とメインパイロット通路１００、１１０とサブパイロット通路３０、５０とは、互いに並列に設けられる。 The valve passage 2 of the solenoid valve 1 includes a main passage 10 opened and closed by the main poppet 20, main pilot passages 100 and 110 opened and closed by the poppet 40, and sub-pilot passages 30 and 50 opened and closed by the pin poppet 60. Composed. The main passage 10, the main pilot passages 100 and 110, and the sub pilot passages 30 and 50 are provided in parallel to each other.

円筒状のメインポペット２０は、バルブハウジング９内に摺動可能に介装され、メイン通路１０を開閉する。 A cylindrical main poppet 20 is slidably interposed in the valve housing 9 and opens and closes the main passage 10.

メイン通路１０は、単一のバルブポート１２と、複数のバルブポート１３とによって構成される。 The main passage 10 includes a single valve port 12 and a plurality of valve ports 13.

バルブポート１２は、メインポペット２０が摺動する軸方向に延びる円筒面によって形成され、バルブポート１２の開口端に環状のバルブシート１１が形成される。 The valve port 12 is formed by an axially extending cylindrical surface on which the main poppet 20 slides, and an annular valve seat 11 is formed at the open end of the valve port 12.

メインポペット２０は、バルブシート１１に着座する円錐面状のテーパ部２０ａを有する。 The main poppet 20 has a conical tapered portion 20 a seated on the valve seat 11.

メインポペット２０は、そのテーパ部２０ａがバルブシート１１に着座することによって閉弁し、この閉弁状態から図１、図２にて上方に摺動し、テーパ部２０ａがバルブシート１１から離れることによって開弁する。メインポペット２０は、このバルブシート１１に対して軸方向に変位し、メイン通路１０の開口面積を変える。 The main poppet 20 is closed when the tapered portion 20a is seated on the valve seat 11. From the closed state, the main poppet 20 slides upward in FIGS. 1 and 2, and the tapered portion 20a is separated from the valve seat 11. To open the valve. The main poppet 20 is displaced in the axial direction with respect to the valve seat 11 to change the opening area of the main passage 10.

メインポペット２０は、バルブシート１１より内側に設けられる円盤状の受圧部と、バルブシート１１より外側に設けられる環状の受圧部とを有する。メインポペット２０は、これらの受圧部が受けるバルブポート１２、１３の供給圧力によって開弁方向に付勢される。 The main poppet 20 includes a disk-shaped pressure receiving portion provided inside the valve seat 11 and an annular pressure receiving portion provided outside the valve seat 11. The main poppet 20 is urged in the valve opening direction by the supply pressure of the valve ports 12 and 13 received by these pressure receiving portions.

バルブハウジング９にはメインポペット２０の背後にメインパイロット室２１が画成される。メインポペット２０は、その背面に受けるメインパイロット室２１のメインパイロット圧力によって閉弁方向に付勢される。 A main pilot chamber 21 is defined in the valve housing 9 behind the main poppet 20. The main poppet 20 is urged in the valve closing direction by the main pilot pressure in the main pilot chamber 21 received on the back surface thereof.

バルブハウジング９とメインポペット２０の間にはメインリターンスプリング８が介装される。メインポペット２０は、メインリターンスプリング８のバネ力によって閉弁方向に付勢される。 A main return spring 8 is interposed between the valve housing 9 and the main poppet 20. The main poppet 20 is biased in the valve closing direction by the spring force of the main return spring 8.

バルブポート１２、１３の供給圧力による開弁力が、メインパイロット室２１のメインパイロット圧力による閉弁力とメインリターンスプリング８のバネ力（閉弁力）とを合わせた力より大きくなると、メインポペット２０は図１、図２にて上方に摺動して開弁可能なように構成される。 When the valve opening force due to the supply pressure of the valve ports 12 and 13 becomes larger than the combined force of the valve closing force due to the main pilot pressure in the main pilot chamber 21 and the spring force (valve closing force) of the main return spring 8, the main poppet 1 and 2 are configured to be able to open the valve by sliding upward.

メインパイロット室２１に生じるメインパイロット圧力を制御する手段として、バルブシート１１を迂回してバルブ通路２を流れる作動流体を導くメインパイロット通路１００、１１０が設けられる。 As means for controlling the main pilot pressure generated in the main pilot chamber 21, main pilot passages 100 and 110 that guide the working fluid that flows through the valve passage 2 bypassing the valve seat 11 are provided.

このメインパイロット通路１００、１１０に、メインパイロットオリフィス２４、２５、メインパイロット室２１、メインシート３１とがそれぞれ介装される。 Main pilot orifices 24 and 25, a main pilot chamber 21, and a main seat 31 are interposed in the main pilot passages 100 and 110, respectively.

メインパイロット通路１００は、バルブポート１２からバルブポート１３に向かう作動流体の第一流れに対して開通し、作動流体を図１に矢印で示すようにバルブポート１２→メインパイロットオリフィス２４→メインパイロット室２１→メインシート３１→バルブポート１３の順に導く。一方、メインパイロット通路１１０は、バルブポート１３からバルブポート１２に向かう作動流体の第二流れに対して開通し、作動流体を図２に矢印で示すようにバルブポート１３→メインパイロットオリフィス２５→メインパイロット室２１→メインシート３１→バルブポート１２の順に導く。 The main pilot passage 100 is opened with respect to the first flow of the working fluid from the valve port 12 toward the valve port 13, and the working fluid is connected to the valve port 12 → the main pilot orifice 24 → the main pilot chamber as indicated by an arrow in FIG. 21 → Main seat 31 → Valve port 13 are guided in this order. On the other hand, the main pilot passage 110 is opened with respect to the second flow of the working fluid from the valve port 13 toward the valve port 12, and the working fluid is valve port 13 → main pilot orifice 25 → main as shown by an arrow in FIG. The pilot chamber 21 is guided in the order of the main seat 31 and the valve port 12.

ポペット４０がメインシート３１の開口面積を変えて、メインパイロット通路１００、１１０を流れる作動流体の流量を調節することにより、メインパイロットオリフィス２４、２５とメインシート３１との間に生じるメインパイロット圧力（中間圧力）が制御される。 When the poppet 40 changes the opening area of the main seat 31 to adjust the flow rate of the working fluid flowing through the main pilot passages 100 and 110, the main pilot pressure generated between the main pilot orifices 24 and 25 and the main seat 31 ( Intermediate pressure) is controlled.

メインパイロット通路１００、１１０は、メインパイロット室２１をバルブシート１１より流入側のバルブ通路２に連通する第一、第二流入側メインパイロット通路２２、２３と、メインパイロット室２１をバルブシート１１より流出側のバルブ通路２に連通する第一、第二流出側メインパイロット通路２６、２７とを備える。 The main pilot passages 100 and 110 include first and second inflow-side main pilot passages 22 and 23 that connect the main pilot chamber 21 to the inflow side valve passage 2 from the valve seat 11, and the main pilot chamber 21 from the valve seat 11. First and second outflow side main pilot passages 26 and 27 communicating with the outflow side valve passage 2 are provided.

メインパイロット通路１００におけるバルブポート１２からバルブポート１３に向かう作動流体の第一流れは、図１に矢印で示すように、第一流入側メインパイロット通路（流入側メインパイロット通路）２２と第一流出側メインパイロット通路（流出側メインパイロット通路）２６とを通る。 The first flow of the working fluid from the valve port 12 to the valve port 13 in the main pilot passage 100 is connected to the first inflow side main pilot passage (inflow side main pilot passage) 22 and the first outflow as shown by arrows in FIG. Side main pilot passage (outflow side main pilot passage) 26.

第一流入側メインパイロット通路２２は、その上流端がバルブポート１２に連通し、その下流端がメインパイロット室２１に連通する。 The first inflow side main pilot passage 22 has an upstream end communicating with the valve port 12 and a downstream end communicating with the main pilot chamber 21.

第一流入側メインパイロット通路２２には、チェック弁３４とメインパイロットオリフィス２４とがそれぞれ介装される。このチェック弁３４は、バルブポート１２から第一流入側メインパイロット通路２２を通ってメインパイロット室２１に向かう作動流体の流れに対して開弁し、逆方向の流れに対して閉弁する。 A check valve 34 and a main pilot orifice 24 are interposed in the first inflow side main pilot passage 22, respectively. The check valve 34 opens with respect to the flow of the working fluid from the valve port 12 through the first inflow side main pilot passage 22 toward the main pilot chamber 21, and closes with respect to the flow in the reverse direction.

メインパイロット室２１から延びる第一流出側メインパイロット通路２６は、メインポペット２０に形成される通孔２９と、メインポペット２０とポペット４０の間に画成されるポペット間室４８と、ポペット４０の先端に開口するポペット内室４９とを介して連通し、その下流端がバルブポート１３に連通する。 The first outflow side main pilot passage 26 extending from the main pilot chamber 21 has a through hole 29 formed in the main poppet 20, an inter-poppet chamber 48 defined between the main poppet 20 and the poppet 40, and the poppet 40. It communicates with the poppet inner chamber 49 opened at the tip, and its downstream end communicates with the valve port 13.

第一流出側メインパイロット通路２６には、メインシート３１とチェック弁３６とが介装される。このチェック弁３６は、第一流出側メインパイロット通路２６を通ってバルブポート１３に向かう作動流体の流れに対して開弁し、逆方向の流れに対して閉弁する。 A main seat 31 and a check valve 36 are interposed in the first outflow side main pilot passage 26. The check valve 36 opens with respect to the flow of the working fluid toward the valve port 13 through the first outflow main pilot passage 26 and closes with respect to the flow in the reverse direction.

一方、メインパイロット通路１１０におけるバルブポート１３からバルブポート１２に向かう作動流体の第二流れは、図２に矢印で示すように、第二流入側メインパイロット通路２３と第二流出側メインパイロット通路２７とを通る。 On the other hand, the second flow of the working fluid from the valve port 13 to the valve port 12 in the main pilot passage 110 is, as indicated by arrows in FIG. 2, the second inflow side main pilot passage 23 and the second outflow side main pilot passage 27. And pass through.

第二流入側メインパイロット通路２３は、その上流端がバルブポート１３に連通し、その下流端がメインパイロット室２１に連通する。 The second inflow side main pilot passage 23 has an upstream end communicating with the valve port 13 and a downstream end communicating with the main pilot chamber 21.

第二流入側メインパイロット通路２３には、チェック弁３５とメインパイロットオリフィス２５とがそれぞれ介装される。このチェック弁３５は、バルブポート１３から第二流入側メインパイロット通路２３を通ってメインパイロット室２１に向かう作動流体の流れに対して開弁し、逆方向の流れに対して閉弁する。 A check valve 35 and a main pilot orifice 25 are interposed in the second inflow side main pilot passage 23, respectively. The check valve 35 opens with respect to the flow of the working fluid from the valve port 13 through the second inflow side main pilot passage 23 toward the main pilot chamber 21, and closes with respect to the flow in the reverse direction.

メインパイロット室２１から延びる第二流出側メインパイロット通路２７は、メインポペット２０に形成される通孔２９と、メインポペット２０とポペット４０の間に画成されるポペット間室４８と、ポペット４０の先端に開口するポペット内室４９とを介して連通し、その下流端がバルブポート１２に連通する。 The second outflow side main pilot passage 27 extending from the main pilot chamber 21 has a through hole 29 formed in the main poppet 20, an inter-poppet chamber 48 defined between the main poppet 20 and the poppet 40, and the poppet 40. It communicates with the poppet inner chamber 49 opened at the tip, and its downstream end communicates with the valve port 12.

第二流出側メインパイロット通路２７には、メインシート３１とチェック弁３７とが介装される。このチェック弁３７は、第二流出側メインパイロット通路２７を通ってバルブポート１２に向かう作動流体の流れに対して開弁し、逆方向の流れに対して閉弁する。 A main seat 31 and a check valve 37 are interposed in the second outflow side main pilot passage 27. The check valve 37 opens with respect to the flow of the working fluid toward the valve port 12 through the second outflow side main pilot passage 27, and closes with respect to the flow in the reverse direction.

円筒状のポペット４０は、メインポペット２０内に摺動可能に介装される。メインポペット２０内には、圧力補償スリーブ８１が介装され、この圧力補償スリーブ８１にメインシート３１が形成される。ポペット４０はメインシート３１に対して変位することによってメインシート３１の開口面積を変える。 The cylindrical poppet 40 is slidably interposed in the main poppet 20. A pressure compensation sleeve 81 is interposed in the main poppet 20, and the main seat 31 is formed on the pressure compensation sleeve 81. The poppet 40 changes the opening area of the main sheet 31 by being displaced with respect to the main sheet 31.

圧力補償機構８０として、ポペット４０を着座させる圧力補償スリーブ８１がメインポペット２０内に摺動可能に介装され、この圧力補償スリーブ８１に形成されるメインシート３１をポペット４０に押し付ける方向に付勢する圧力補償スプリング８２が介装される。後述するサブパイロット圧力が上昇するのに伴ってサブシート５１が図１、図２において下方に移動し、ピンポペット６０を開弁させるソレノイド推力（開弁力）が高まることが抑えられる。 As the pressure compensation mechanism 80, a pressure compensation sleeve 81 on which the poppet 40 is seated is slidably interposed in the main poppet 20, and the main sheet 31 formed on the pressure compensation sleeve 81 is urged in a direction in which it is pressed against the poppet 40. A pressure compensating spring 82 is interposed. As the subpilot pressure, which will be described later, increases, the sub-seat 51 moves downward in FIGS. 1 and 2 and the solenoid thrust (valve opening force) for opening the pin poppet 60 is suppressed.

ポペット４０は、メインシート３１より外側に設けられる環状の受圧部を有し、この受圧部にメインパイロット室２１のメインパイロット圧力がポペット間室４８を介して導かれ、このメインパイロット圧力によって開弁方向に付勢される。 The poppet 40 has an annular pressure receiving portion provided outside the main seat 31, and the main pilot pressure of the main pilot chamber 21 is guided to the pressure receiving portion via the inter-poppet chamber 48, and the valve is opened by the main pilot pressure. Biased in the direction.

メインポペット２０内にはポペット４０の背後にサブパイロット室４１が画成される。ポペット４０は、その背面が受けるサブパイロット室４１のサブパイロット圧力によって閉弁方向に付勢される。 A sub-pilot chamber 41 is defined in the main poppet 20 behind the poppet 40. The poppet 40 is urged in the valve closing direction by the subpilot pressure in the subpilot chamber 41 received on the back surface thereof.

メインポペット２０のサブパイロット室４１に対する受圧面積は、メインパイロット室２１に対する受圧面積より小さく設定される。 The pressure receiving area with respect to the sub-pilot chamber 41 of the main poppet 20 is set smaller than the pressure receiving area with respect to the main pilot chamber 21.

ポペット４０とバルブハウジング９の間にはサブリターンスプリング７が介装される。ポペット４０は、サブリターンスプリング７のバネ力によって閉弁方向に付勢される。 A sub return spring 7 is interposed between the poppet 40 and the valve housing 9. The poppet 40 is urged in the valve closing direction by the spring force of the sub return spring 7.

ポペット４０は、メインパイロット圧力による開弁力が、サブパイロット室４１のサブパイロット圧力による閉弁力とサブリターンスプリング７のバネ力（閉弁力）とを合わせた力より大きくなると、図１、図２にて上方に摺動して開弁する。 In the poppet 40, when the valve opening force due to the main pilot pressure becomes larger than the combined force of the valve closing force due to the sub pilot pressure in the sub pilot chamber 41 and the spring force (valve closing force) of the sub return spring 7, FIG. In FIG. 2, the valve slides upward to open.

サブパイロット室４１に生じるサブパイロット圧力を制御する手段として、バルブシート１１を迂回してバルブ通路２を流れる作動流体を導くサブパイロット通路３０、５０が設けられる。 As means for controlling the subpilot pressure generated in the subpilot chamber 41, subpilot passages 30 and 50 that guide the working fluid that flows through the valve passage 2 bypassing the valve seat 11 are provided.

このサブパイロット通路３０、５０に、サブオリフィス４４、４５、サブパイロット室４１、サブシート５１とがそれぞれ介装される。ピンポペット６０がサブシート５１の開口面積を変えて、サブパイロット通路３０、５０を流れる作動流体の流量を調節することにより、サブオリフィス４４、４５とサブシート５１との間に生じるサブパイロット圧力が制御される。 Sub-orifices 44 and 45, a sub-pilot chamber 41, and a sub-seat 51 are interposed in the sub-pilot passages 30 and 50, respectively. When the pin poppet 60 changes the opening area of the sub-seat 51 and adjusts the flow rate of the working fluid flowing through the sub-pilot passages 30, 50, the sub-pilot pressure generated between the sub-orifices 44, 45 and the sub-seat 51 is increased. Be controlled.

サブパイロット通路３０は、バルブポート１２からバルブポート１３に向かう作動流体の第一流れに対して開通し、作動流体を図１に矢印で示すようにバルブポート１２→サブオリフィス４４→サブパイロット室４１→サブシート５１→バルブポート１３の順に導く。一方、サブパイロット通路５０は、バルブポート１３からバルブポート１２に向かう作動流体の第二流れに対して開通し、作動流体を図２に矢印で示すようにバルブポート１３→サブオリフィス４５→サブパイロット室４１→サブシート５１→バルブポート１２の順に導く。 The subpilot passage 30 is opened with respect to the first flow of the working fluid from the valve port 12 toward the valve port 13, and the working fluid is connected to the valve port 12 → sub-orifice 44 → sub-pilot chamber 41 as indicated by an arrow in FIG. 1. → Sub-seat 51 → Valve port 13 is guided in this order. On the other hand, the sub-pilot passage 50 is opened with respect to the second flow of the working fluid from the valve port 13 toward the valve port 12, and the working fluid is indicated by an arrow in FIG. The chamber 41 is led in the order of the sub-seat 51 and the valve port 12.

サブパイロット通路３０、５０は、サブパイロット室４１をバルブシート１１より流入側のバルブ通路２に連通する第一、第二流入側サブパイロット通路４２、４３と、サブパイロット室４１をバルブシート１１より流出側のバルブ通路２に連通する第一、第二流出側サブパイロット通路４６、４７とを備える。 The subpilot passages 30 and 50 include first and second inflow side subpilot passages 42 and 43 that connect the subpilot chamber 41 to the inflow side valve passage 2 from the valve seat 11, and the subpilot chamber 41 from the valve seat 11. First and second outflow side sub-pilot passages 46 and 47 communicating with the outflow side valve passage 2 are provided.

サブパイロット通路３０におけるバルブポート１２からバルブポート１３に向かう作動流体の第一流れは、図１に矢印で示すように、第一流入側サブパイロット通路（流入側サブパイロット通路）４２と第一流出側サブパイロット通路（流出側サブパイロット通路）４６とを通る。一方、サブパイロット通路５０におけるバルブポート１３からバルブポート１２に向かう作動流体の第二流れは、図２に矢印で示すように、第二流入側サブパイロット通路４３と第二流出側サブパイロット通路４７とを通る。 The first flow of the working fluid from the valve port 12 to the valve port 13 in the subpilot passage 30 is connected to the first inflow side subpilot passage (inflow side subpilot passage) 42 and the first outflow as shown by arrows in FIG. Through the side subpilot passage (outflow side subpilot passage) 46. On the other hand, the second flow of the working fluid from the valve port 13 to the valve port 12 in the subpilot passage 50 is, as indicated by arrows in FIG. 2, the second inflow side subpilot passage 43 and the second outflow side subpilot passage 47. And pass through.

第一流入側サブパイロット通路４２には、チェック弁３４とサブオリフィス４４とがそれぞれ介装される。 A check valve 34 and a sub-orifice 44 are interposed in the first inflow side sub-pilot passage 42, respectively.

このチェック弁３４は、バルブポート１２から第一流入側サブパイロット通路４２を通ってサブパイロット室４１に向かう作動流体の流れに対して開弁し、逆方向の流れに対して閉弁する。 The check valve 34 opens with respect to the flow of the working fluid from the valve port 12 through the first inflow side subpilot passage 42 toward the subpilot chamber 41 and closes with respect to the flow in the reverse direction.

第一流入側サブパイロット通路４２は、第一流入側メインパイロット通路２２に対して、チェック弁３４とこのチェック弁３４より上流側の通路部分が共通して設けられており、構造の簡素化がはかられている。なお、これに限らず、第一流入側サブパイロット通路４２と第一流入側メインパイロット通路２２とをそれぞれ独立して設けてもよい。 The first inflow side subpilot passage 42 is provided with a check valve 34 and a passage portion on the upstream side of the check valve 34 in common with the first inflow side main pilot passage 22, thereby simplifying the structure. It is offended. The first inflow side sub-pilot passage 42 and the first inflow side main pilot passage 22 may be provided independently of each other.

第二流入側サブパイロット通路４３には、チェック弁３５とサブオリフィス４５とがそれぞれ介装される。このチェック弁３５は、バルブポート１３から第二流入側サブパイロット通路４３を通ってサブパイロット室４１に向かう作動流体の流れに対して開弁し、逆方向の流れに対して閉弁する。 A check valve 35 and a sub-orifice 45 are interposed in the second inflow side sub-pilot passage 43, respectively. The check valve 35 opens with respect to the flow of the working fluid from the valve port 13 through the second inflow side subpilot passage 43 toward the subpilot chamber 41 and closes with respect to the flow in the reverse direction.

第二流入側サブパイロット通路４３は、第二流入側メインパイロット通路２３に対して、チェック弁３５とこのチェック弁３５より上流側の通路部分が共通して設けられており、構造の簡素化がはかられている。なお、これに限らず、第二流入側サブパイロット通路４３と第二流入側メインパイロット通路２３とをそれぞれ独立して設けてもよい。 The second inflow side sub-pilot passage 43 has a check valve 35 and a passage portion on the upstream side of the check valve 35 in common with the second inflow side main pilot passage 23, thereby simplifying the structure. It is offended. The second inflow side sub-pilot passage 43 and the second inflow side main pilot passage 23 may be provided independently of each other.

そして本発明の要旨とするところであるが、ピンポペット６０に働く流体力を調節するために、第一、第二流入側サブパイロット通路４２、４３においてピンポペット６０に沿ってサブシート５１へと向かう作動流体の流れを絞る絞り手段が設けられる。 Then, as the gist of the present invention, in order to adjust the fluid force acting on the pin poppet 60, the first and second inflow side subpilot passages 42 and 43 are directed to the sub seat 51 along the pin poppet 60. A throttling means for restricting the flow of the working fluid is provided.

本実施形態では、絞り手段として、ピンポペット６０の外周面６１のまわりに絞り間隙６３が画成される。 In the present embodiment, a diaphragm gap 63 is defined around the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60 as the diaphragm means.

メインポペット２０には、ピンポペット６０を挿通させる絞り壁部６２が形成される。この絞り壁部６２は円筒面状に形成され、ピンポペット６０の外周面６１との間に絞り間隙６３を円筒状の隙間として画成する。 The main poppet 20 is formed with a throttle wall 62 through which the pin poppet 60 is inserted. The throttle wall 62 is formed in a cylindrical shape, and defines a throttle gap 63 as a cylindrical gap with the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60.

バルブハウジング９とメインポペット２０の間には、絞り壁部６２より上流側に絞り上流側室６４が画成され、絞り壁部６２より下流側にサブパイロット室４１が画成される。 Between the valve housing 9 and the main poppet 20, a throttle upstream chamber 64 is defined on the upstream side of the throttle wall portion 62, and a sub pilot chamber 41 is defined on the downstream side of the throttle wall portion 62.

第一流入側サブパイロット通路４２は、その上流端がバルブポート１２に連通し、その下流端が絞り上流側室６４に連通する。 The upstream end of the first inflow side subpilot passage 42 communicates with the valve port 12, and the downstream end communicates with the throttle upstream chamber 64.

第二流入側サブパイロット通路４３は、その上流端がバルブポート１３に連通し、その下流端が絞り上流側室６４に連通する。 The second inflow side sub-pilot passage 43 has an upstream end communicating with the valve port 13 and a downstream end communicating with the throttle upstream chamber 64.

これにより、第一、第二流入側サブパイロット通路４２、４３を通る作動流体は、絞り上流側室６４から絞り間隙６３を通ってサブパイロット室４１に流入し、サブシート５１へと向かう。 As a result, the working fluid passing through the first and second inflow-side subpilot passages 42 and 43 flows from the throttle upstream chamber 64 into the subpilot chamber 41 through the throttle gap 63 and heads toward the subseat 51.

絞り間隙６３を通る作動流体は、ピンポペット６０に沿ってサブシート５１へと向かうことにより、その粘性抵抗によってピンポペット６０を閉弁方向に付勢する。 The working fluid passing through the throttle gap 63 travels along the pin poppet 60 toward the sub-sheet 51, thereby urging the pin poppet 60 in the valve closing direction by its viscous resistance.

絞り間隙６３の開口幅（ピンポペット６０の径方向の寸法）、通路長（ピンポペット６０の軸方向の寸法）は、任意に設定され、ピンポペット６０の変位（流量）に応じて適度な粘性抵抗が生じるようになっている。 The opening width (diameter dimension of the pin poppet 60) and the passage length (dimension in the axial direction of the pin poppet 60) of the throttle gap 63 are arbitrarily set, and appropriate viscosity according to the displacement (flow rate) of the pin poppet 60. Resistance is generated.

第一流出側サブパイロット通路４６は、その上流端がサブパイロット室４１に連通し、その下流端がバルブポート１３に連通する。 The first outflow side subpilot passage 46 has an upstream end communicating with the subpilot chamber 41 and a downstream end communicating with the valve port 13.

第一流出側サブパイロット通路４６には、サブシート５１とチェック弁３６とが介装される。このチェック弁３６は、サブパイロット室４１から第一流出側サブパイロット通路４６を通ってバルブポート１３に向かう作動流体の流れに対して開弁し、逆方向の流れに対して閉弁する。 A sub seat 51 and a check valve 36 are interposed in the first outflow side sub pilot passage 46. The check valve 36 opens with respect to the flow of the working fluid from the sub pilot chamber 41 through the first outflow side sub pilot passage 46 toward the valve port 13 and closes with respect to the flow in the reverse direction.

第一流出側サブパイロット通路４６と第一流出側メインパイロット通路２６とは、両者の間で共通のチェック弁３６が用いられ、チェック弁３６の前後通路部分を共用することによって、構造の簡素化がはかられている。なお、これに限らず、第一流出側サブパイロット通路４６と第一流出側メインパイロット通路２６とをそれぞれ独立して設けてもよい。 The first outflow side sub-pilot passage 46 and the first outflow side main pilot passage 26 use a common check valve 36 between them, and share the front and rear passage portions of the check valve 36, thereby simplifying the structure. Is peeled off. The first outflow side sub-pilot passage 46 and the first outflow side main pilot passage 26 may be provided independently of each other.

第二流出側サブパイロット通路４７は、その上流端がサブパイロット室４１に連通し、その下流端がバルブポート１２に連通する。 The second outflow side subpilot passage 47 has an upstream end communicating with the subpilot chamber 41 and a downstream end communicating with the valve port 12.

第二流出側サブパイロット通路４７には、サブシート５１とチェック弁３７とが介装される。このチェック弁３７は、サブパイロット室４１から第二流出側サブパイロット通路４７を通ってバルブポート１２に向かう作動流体の流れに対して開弁し、逆方向の流れに対して閉弁する。 A sub seat 51 and a check valve 37 are interposed in the second outflow side sub pilot passage 47. The check valve 37 opens with respect to the flow of the working fluid from the subpilot chamber 41 through the second outflow side subpilot passage 47 toward the valve port 12 and closes with respect to the reverse flow.

第二流出側サブパイロット通路４７と第二流出側メインパイロット通路２７とは、両者の間で共通のチェック弁３７が用いられ、チェック弁３７の前後通路部分を共用することによって、構造の簡素化がはかられている。なお、これに限らず、第二流出側サブパイロット通路４７と第二流出側メインパイロット通路２７とをそれぞれ独立して設けてもよい。 The second outflow side sub-pilot passage 47 and the second outflow side main pilot passage 27 use a common check valve 37 between them, and share the front and rear passage portions of the check valve 37, thereby simplifying the structure. Is peeled off. The second outflow side sub-pilot passage 47 and the second outflow side main pilot passage 27 may be provided independently of each other.

図１には、バルブポート１２からバルブポート１３に向かう作動流体の第一流れが矢印で示されている。以下、この第一流れについて説明する。 In FIG. 1, the first flow of the working fluid from the valve port 12 toward the valve port 13 is indicated by an arrow. Hereinafter, this first flow will be described.

・ソレノイド推力によってピンポペット６０がサブシート５１から離れ、サブパイロット通路３０が開通すると、作動流体は、バルブポート１２→第一流入側サブパイロット通路４２（チェック弁３４、サブオリフィス４４）→絞り上流側室６４→絞り間隙６３→サブパイロット室４１→第一流出側サブパイロット通路４６（サブシート５１、ポペット内室４９、チェック弁３６）→バルブポート１３の順に流れる。 -When the pin poppet 60 is separated from the sub seat 51 by the solenoid thrust and the sub pilot passage 30 is opened, the working fluid flows from the valve port 12 to the first inflow side sub pilot passage 42 (check valve 34, sub orifice 44) → upstream of the throttle. It flows in the order of the side chamber 64 → the throttle gap 63 → the sub pilot chamber 41 → the first outflow side sub pilot passage 46 (sub seat 51, poppet inner chamber 49, check valve 36) → valve port 13.

・上記サブパイロット通路３０の流量が増加するのに伴ってサブパイロット室４１のサブパイロット圧力が低下すると、サブパイロット圧力とメインパイロット圧力との差圧力によってポペット４０がサブリターンスプリング７に抗してメインシート３１より離れ、メインパイロット通路１００が開通する。こうしてメインパイロット通路１００が開通すると、作動流体は、バルブポート１２→第一流入側メインパイロット通路２２（チェック弁３４、メインパイロットオリフィス２４）→メインパイロット室２１→第一流出側メインパイロット通路２６（メインシート３１、ポペット内室４９、チェック弁３６）→バルブポート１３の順に流れる。 When the sub pilot pressure in the sub pilot chamber 41 decreases as the flow rate of the sub pilot passage 30 increases, the poppet 40 resists the sub return spring 7 by the differential pressure between the sub pilot pressure and the main pilot pressure. The main pilot passage 100 is opened away from the main seat 31. When the main pilot passage 100 is thus opened, the working fluid flows from the valve port 12 to the first inflow side main pilot passage 22 (check valve 34, main pilot orifice 24) → main pilot chamber 21 → first outflow side main pilot passage 26 ( It flows in the order of main seat 31, poppet inner chamber 49, check valve 36) → valve port 13.

・メインパイロット通路１００の流量が増加するのに伴ってメインパイロット室２１のメインパイロット圧力が低下すると、メインパイロット圧力とバルブポート１２に導かれる圧力源からの圧力の差圧力によってメインリターンスプリング８に抗してメインポペット２０がバルブシート１１より離れ、メイン通路１０が開通する。こうしてメイン通路１０が開通すると、作動流体は、バルブポート１２→バルブシート１１→バルブポート１３の順に流れる。 When the main pilot pressure in the main pilot chamber 21 decreases as the flow rate in the main pilot passage 100 increases, the main return spring 8 is brought into contact with the main return spring 8 by the differential pressure between the main pilot pressure and the pressure from the pressure source guided to the valve port 12. Accordingly, the main poppet 20 is separated from the valve seat 11 and the main passage 10 is opened. When the main passage 10 is thus opened, the working fluid flows in the order of the valve port 12 → the valve seat 11 → the valve port 13.

図２には、バルブポート１３からバルブポート１２に向かう作動流体の第二流れが矢印で示されている。以下、この第二流れについて説明する。 In FIG. 2, the second flow of the working fluid from the valve port 13 toward the valve port 12 is indicated by an arrow. Hereinafter, this second flow will be described.

・ソレノイド推力によってピンポペット６０がサブシート５１から離れ、サブパイロット通路５０が開通すると、作動流体は、バルブポート１３→第二流入側サブパイロット通路４３（チェック弁３５、サブオリフィス４５）→絞り上流側室６４→絞り間隙６３→サブパイロット室４１→第二流出側サブパイロット通路４７（サブシート５１、ポペット内室４９、チェック弁３７）→バルブポート１２の順に流れる。 When the pin poppet 60 is separated from the sub seat 51 by the solenoid thrust and the sub pilot passage 50 is opened, the working fluid flows from the valve port 13 to the second inflow side sub pilot passage 43 (check valve 35, sub orifice 45) → upstream of the throttle. It flows in the order of the side chamber 64 → the throttle gap 63 → the sub pilot chamber 41 → the second outflow side sub pilot passage 47 (sub seat 51, poppet inner chamber 49, check valve 37) → valve port 12.

・上記サブパイロット通路５０の流量が増加するのに伴ってサブパイロット室４１のサブパイロット圧力が低下すると、サブパイロット圧力とメインパイロット圧力との差圧力によってポペット４０がサブリターンスプリング７に抗してメインシート３１より離れ、メインパイロット通路１１０が開通する。こうしてメインパイロット通路１１０が開通すると、作動流体は、バルブポート１３→第二流入側メインパイロット通路２３（チェック弁３５、メインパイロットオリフィス２５）→メインパイロット室２１→第二流出側メインパイロット通路２７（メインシート３１、ポペット内室４９、チェック弁３７）→バルブポート１２の順に流れる。 When the sub pilot pressure in the sub pilot chamber 41 decreases as the flow rate in the sub pilot passage 50 increases, the poppet 40 resists the sub return spring 7 by the differential pressure between the sub pilot pressure and the main pilot pressure. The main pilot passage 110 is opened away from the main seat 31. When the main pilot passage 110 is thus opened, the working fluid flows from the valve port 13 to the second inflow side main pilot passage 23 (check valve 35, main pilot orifice 25) → main pilot chamber 21 → second outflow side main pilot passage 27 ( It flows in the order of main seat 31, poppet inner chamber 49, check valve 37) → valve port 12.

・メインパイロット通路１１０の流量が増加するのに伴ってメインパイロット室２１のメインパイロット圧力の低下すると、メインパイロット圧力とバルブポート１２に導かれる圧力源からの圧力の差圧力によってメインリターンスプリング８に抗してメインポペット２０がバルブシート１１より離れ、メイン通路１０が開通する。こうしてメイン通路１０が開通すると、作動流体は、バルブポート１３→バルブシート１１→バルブポート１２の順に流れる。 When the main pilot pressure in the main pilot chamber 21 decreases as the flow rate of the main pilot passage 110 increases, the main return spring 8 is brought into contact with the main return spring 8 by the differential pressure between the main pilot pressure and the pressure from the pressure source guided to the valve port 12. Accordingly, the main poppet 20 is separated from the valve seat 11 and the main passage 10 is opened. When the main passage 10 is thus opened, the working fluid flows in the order of the valve port 13 → the valve seat 11 → the valve port 12.

図３は、ソレノイドに流れるソレノイド電流値Ｉと、バルブ通路２の流量Ｑの関係を示す線図である。 FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the solenoid current value I flowing through the solenoid and the flow rate Q of the valve passage 2.

ソレノイド電流値Ｉが零の場合、バルブ通路２の流量Ｑは零である。 When the solenoid current value I is zero, the flow rate Q of the valve passage 2 is zero.

ソレノイド電流値Ｉが小さい場合、サブパイロット通路３０、５０のみが開通し、バルブ通路２の流量Ｑはソレノイド電流値Ｉに応じて零から低い増加率で漸次増加する。 When the solenoid current value I is small, only the subpilot passages 30 and 50 are opened, and the flow rate Q of the valve passage 2 gradually increases from zero according to the solenoid current value I at a low increase rate.

これについて詳述すると、ピンポペット６０を開弁方向に駆動するソレノイド推力は、ピンポペット６０に働く流体力Ｆｆと、ピンポペット６０に働く作動流体圧力Ｆｐと、ピンポペット６０を閉弁方向に付勢するリターンスプリング（図示せず）のバネ力Ｆｓと、を合わせた力とバランスする位置にピンポペット６０を変位させる。 More specifically, the solenoid thrust force that drives the pin poppet 60 in the valve opening direction is applied to the fluid force Ff acting on the pin poppet 60, the working fluid pressure Fp acting on the pin poppet 60, and the pin poppet 60 in the valve closing direction. The pin poppet 60 is displaced to a position that balances the combined spring force Fs of the return spring (not shown).

上記のピンポペット６０に働く流体力Ｆｆは、サブシート５１に対峙する部位に生じる前後差圧力ΔＰと、サブシート５１からポペット内室４９へと流出する作動流体の流量、流速、流出角に応じて増減する流体力ｆ（ｆ＝ρＱｖCOSθ、ρ：定数、Ｑ：流量、ｖ：流速、θ：流出角）と、作動流体がピンポペット６０に付与する粘性抵抗による流体力（剪断力）Ｔと、を合わせた力となる。 The fluid force Ff acting on the pin poppet 60 depends on the front-rear differential pressure ΔP generated at the portion facing the sub-sheet 51 and the flow rate, flow velocity, and outflow angle of the working fluid flowing out from the sub-sheet 51 to the poppet inner chamber 49. The fluid force f (f = ρQvCOSθ, ρ: constant, Q: flow rate, v: flow velocity, θ: outflow angle) and the fluid force (shearing force) T due to the viscous resistance applied to the pin poppet 60 by the working fluid , Will be the combined power.

図４は、ピンポペット６０の変位Ｘと、ピンポペット６０に働く流体力Ｆｆの関係を示す線図である。 FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the displacement X of the pin poppet 60 and the fluid force Ff acting on the pin poppet 60.

図４の線図にて破線で示す特性は、絞り手段（絞り間隙６３）を備えない従来装置のものであり、ピンポペット６０の変位Ｘが大きくなるのに伴って、ピンポペット６０の開弁方向に働く流体力Ｆｆが一旦増加した後に減少する。これは、ピンポペット６０の変位Ｘが大きくなるのに伴って、粘性抵抗による流体力Ｔが一旦増加した後に減少するためである。 The characteristic indicated by the broken line in the diagram of FIG. 4 is that of the conventional device that does not include the throttle means (throttle gap 63), and the pin poppet 60 opens as the displacement X of the pin poppet 60 increases. The fluid force Ff acting in the direction once increases and then decreases. This is because as the displacement X of the pin poppet 60 increases, the fluid force T due to viscous resistance once increases and then decreases.

図３の線図にて破線で示す特性は、絞り手段（絞り間隙６３）を備えない従来装置のものであり、ソレノイド電流値Ｉが小さいときに、バルブ通路２の流量Ｑが段差をもって変化する。 The characteristic indicated by the broken line in the diagram of FIG. 3 is that of the conventional device that does not include the throttle means (throttle gap 63), and when the solenoid current value I is small, the flow rate Q of the valve passage 2 changes with a step. .

図４の線図にて実線で示す特性は、絞り手段（絞り間隙６３）を備える本発明のソレノイドバルブ１のものであり、ピンポペット６０の変位Ｘが大きくなるのに伴って、ピンポペット６０の開弁方向に働く流体力Ｆｆが漸次増加している。これは、ピンポペット６０の変位Ｘが大きくなるのに伴って、絞り間隙６３を流れる作動流体の速度が高まり、粘性抵抗による流体力Ｔが漸次増加するためである。 The characteristic indicated by the solid line in the diagram of FIG. 4 is that of the solenoid valve 1 of the present invention having the throttle means (throttle gap 63). The pin poppet 60 increases as the displacement X of the pin poppet 60 increases. The fluid force Ff acting in the valve opening direction gradually increases. This is because as the displacement X of the pin poppet 60 increases, the speed of the working fluid flowing through the throttle gap 63 increases and the fluid force T due to viscous resistance gradually increases.

これにより、本発明のソレノイドバルブ１は、図３の線図に実線で示すように、バルブ通路２の流量Ｑがソレノイド電流値Ｉに応じて零から低い増加率で漸次増加する。 As a result, in the solenoid valve 1 of the present invention, the flow rate Q of the valve passage 2 gradually increases from zero according to the solenoid current value I at a low increase rate, as indicated by the solid line in the diagram of FIG.

ソレノイド電流値Ｉが所定値Ｉ１を超えて大きくなると、サブパイロット通路３０、５０に加えてメインパイロット通路１００、１１０が開通し、バルブ通路２の流量Ｑはソレノイド電流値Ｉに応じて中程度の増加率で次第に増加する。 When the solenoid current value I increases beyond the predetermined value I1, the main pilot passages 100 and 110 are opened in addition to the subpilot passages 30 and 50, and the flow rate Q of the valve passage 2 is moderate according to the solenoid current value I. It gradually increases at an increasing rate.

ソレノイド電流値Ｉが所定値Ｉ２を超えて大きくなると、サブパイロット通路３０、５０及びメインパイロット通路１００、１１０に加えてメイン通路１０が開通し、バルブ通路２の流量Ｑはソレノイド電流値Ｉに応じて高い増加率で次第に増加する。 When the solenoid current value I increases beyond the predetermined value I2, the main passage 10 is opened in addition to the subpilot passages 30 and 50 and the main pilot passages 100 and 110, and the flow rate Q of the valve passage 2 depends on the solenoid current value I. Gradually increase at a high rate of increase.

このように、ソレノイド電流値Ｉ（ソレノイド推力）が大きくなるのに伴ってバルブ通路２の流量Ｑは段階的に増加率を高められる。 Thus, as the solenoid current value I (solenoid thrust) increases, the flow rate Q of the valve passage 2 can be increased stepwise.

以下、本実施形態の要旨と作用、効果を説明する。 Hereinafter, the gist, operation, and effect of the present embodiment will be described.

本実施の形態では、ソレノイド推力に応じてバルブ通路２の流入側から流出側へと流れる作動流体の流量を調節するソレノイドバルブ１であって、バルブ通路２に介装されるメインシート３１と、このメインシート３１に対して変位することによってメインシート３１の開口面積を変えるポペット４０と、このポペット４０を閉弁方向に付勢するサブパイロット圧力が生じるサブパイロット室４１と、このサブパイロット室４１をメインシート３１より流入側のバルブ通路２に連通する流入側サブパイロット通路４２、４３と、サブパイロット室４１をメインシート３１より流出側のバルブ通路２に連通する流出側サブパイロット通路４６、４７と、この流出側サブパイロット通路４６、４７に介装されるサブシート５１と、ソレノイド推力に応じてサブシート５１に対して変位することによってサブシート５１の開口面積を変えるピンポペット６０と、流入側サブパイロット通路４２、４３においてピンポペット６０に沿ってサブシート５１へと向かう作動流体の流れを絞る絞り手段と、を備え、ピンポペット６０がソレノイド推力によって開弁方向に駆動される構成とした。 In the present embodiment, the solenoid valve 1 that adjusts the flow rate of the working fluid that flows from the inflow side to the outflow side of the valve passage 2 according to the solenoid thrust, the main seat 31 interposed in the valve passage 2; A poppet 40 that changes the opening area of the main seat 31 by being displaced with respect to the main seat 31, a subpilot chamber 41 that generates a subpilot pressure that biases the poppet 40 in the valve closing direction, and the subpilot chamber 41 Are connected to the inflow side valve passage 2 from the main seat 31 and outflow side subpilot passages 46, 47 are connected to the subpilot chamber 41 from the main seat 31 to the outflow valve passage 2. A sub-seat 51 interposed in the outflow side sub-pilot passages 46 and 47, and a solenoid thrust Accordingly, the pin poppet 60 that changes the opening area of the sub-sheet 51 by displacing with respect to the sub-sheet 51, and the flow of the working fluid toward the sub-sheet 51 along the pin poppet 60 in the inflow side sub-pilot passages 42 and 43. And the pin poppet 60 is driven in the valve opening direction by the solenoid thrust.

上記構成に基づき、ソレノイド推力に応じて移動するピンポペット６０がサブパイロット圧力を調節し、サブパイロット圧力に応じて移動するポペット４０がメインシート３１の開口面積を変えることによって、メインシート３１（メインパイロット通路１００、１１０）を通過する作動流体の流量が調節される。 Based on the above configuration, the pin poppet 60 that moves according to the solenoid thrust adjusts the subpilot pressure, and the poppet 40 that moves according to the subpilot pressure changes the opening area of the main seat 31, thereby The flow rate of the working fluid passing through the pilot passages 100, 110) is adjusted.

絞り手段（絞り間隙６３）を流れる作動流体は、ピンポペット６０に沿ってサブシート５１へと向かうことにより、その粘性抵抗によってピンポペット６０を閉弁方向に付勢する。この粘性抵抗による閉弁方向の付勢力とピンポペット６０に働く流体力がピンポペット６０を開弁方向に駆動するソレノイド推力と釣り合い、ピンポペット６０をソレノイド推力に応じて漸次変位させることが可能となり、ピンポペット６０により少流量を精度よく調節することと、ポペット４０を介して大流量を応答性よく調節することが両立される。 The working fluid flowing through the throttle means (throttle gap 63) travels along the pin poppet 60 toward the sub-seat 51, thereby biasing the pin poppet 60 in the valve closing direction by its viscous resistance. The biasing force in the valve closing direction due to this viscous resistance and the fluid force acting on the pin poppet 60 balance with the solenoid thrust that drives the pin poppet 60 in the valve opening direction, and the pin poppet 60 can be gradually displaced according to the solenoid thrust. Both the adjustment of the small flow rate with the pin poppet 60 with high accuracy and the adjustment of the large flow rate with the responsiveness through the poppet 40 are compatible.

本実施形態では、絞り手段として、ピンポペット６０の外周面６１のまわりに絞り間隙６３が画成され、この絞り間隙６３が流入側サブパイロット通路４２、４３に介装される構成とした。 In the present embodiment, a throttle gap 63 is defined around the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60 as the throttle means, and the throttle gap 63 is interposed in the inflow side subpilot passages 42 and 43.

上記構成に基づき、流入側サブパイロット通路４２、４３を通る作動流体の流れは、絞り間隙６３にてピンポペット６０に沿ってサブシート５１へと向かうことにより、その粘性抵抗によってピンポペット６０を閉弁方向に付勢する。この粘性抵抗による閉弁方向の付勢力をピンポペット６０の開度が増大するのに伴って漸次増大することにより、ピンポペット６０により微少流量を精度よく調節することができる。 Based on the above configuration, the flow of the working fluid passing through the inflow-side subpilot passages 42 and 43 is directed to the sub-sheet 51 along the pin poppet 60 at the throttle gap 63, thereby closing the pin poppet 60 by its viscous resistance. Energize in the valve direction. By gradually increasing the urging force in the valve closing direction due to this viscous resistance as the opening degree of the pin poppet 60 increases, the minute flow rate can be accurately adjusted by the pin poppet 60.

なお、本実施形態は、メイン通路１０における作動流体の一方向の流れと逆方向の流れに対して開弁作動する両方向開閉タイプのソレノイドバルブ１であるが、これに限らず、２系統の通路構成と、これを切換えるチェック弁３４〜３７等とを廃止した、一方向開閉タイプのソレノイドバルブに本発明を適用してもよい。 In addition, although this embodiment is the solenoid valve 1 of the bidirectional | two-way opening / closing type which opens a valve | bulb with respect to the flow of the working fluid in the main channel | path 10 in the direction opposite to one direction, it is not restricted to this, Two channel | paths The present invention may be applied to a one-way open / close type solenoid valve that eliminates the configuration and the check valves 34 to 37 that switch the configuration.

また、本実施形態は、メインポペット２０、ポペット４０、ピンポペット６０を介して流量を３段階に調節するソレノイドバルブ１であるが、これに限らず、メインポペット２０を廃止し、ポペット４０、ピンポペット６０を介して流量を２段階に調節するソレノイドバルブに本発明を適用してもよい。 Moreover, although this embodiment is the solenoid valve 1 which adjusts a flow volume to 3 steps | paragraphs via the main poppet 20, the poppet 40, and the pin poppet 60, not only this but the main poppet 20 is abolished and the poppet 40, pin poppet The present invention may be applied to a solenoid valve that adjusts the flow rate in two stages via the pet 60.

また、本実施形態は、流入側サブパイロット通路４２、４３にサブオリフィス４４、４５が介装されるソレノイドバルブ１であるが、これに限らず、サブオリフィス４４、４５を廃止し、ピンポペット６０がサブシート５１の開口面積を変えて、サブパイロット通路３０、５０を流れる作動流体の流量を調節することにより、絞り間隙６３（絞り手段）とサブシート５１との間に生じるサブパイロット圧力が制御される構成としてもよい。 In addition, the present embodiment is the solenoid valve 1 in which the sub-orifices 44 and 45 are interposed in the inflow side sub-pilot passages 42 and 43, but not limited thereto, the sub-orifices 44 and 45 are eliminated, and the pin poppet 60 Changes the opening area of the sub-seat 51 and adjusts the flow rate of the working fluid flowing through the sub-pilot passages 30 and 50, thereby controlling the sub-pilot pressure generated between the throttle gap 63 (throttle means) and the sub-seat 51. It is good also as a structure to be made.

（第２実施形態）
次に図５に示す他の実施形態を説明する。なお、前記実施形態と同一構成部には同一符号を付す。 (Second Embodiment)
Next, another embodiment shown in FIG. 5 will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same structure part as the said embodiment.

本実施形態では、絞り手段として、ピンポペット６０の外周面６１から環状に突出する環状凸部６５を備え、この環状凸部６５に絞り穴６６が形成され、この絞り穴６６が流入側サブパイロット通路４２、４３に介装される。 In the present embodiment, as the throttle means, an annular convex portion 65 projecting annularly from the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60 is provided, and a throttle hole 66 is formed in the annular convex portion 65, and this throttle hole 66 is the inflow side sub-pilot. It is interposed in the passages 42 and 43.

環状凸部６５は円盤状に形成される。環状凸部６５に複数の絞り穴６６がオリフィスとして形成される。 The annular convex portion 65 is formed in a disc shape. A plurality of throttle holes 66 are formed in the annular convex portion 65 as orifices.

メインポペット２０には、ピンポペット６０を挿通させる壁部６７が形成される。この壁部６７は円筒面状に形成され、環状凸部６５を摺動可能に挿通させる。 The main poppet 20 is formed with a wall portion 67 through which the pin poppet 60 is inserted. The wall portion 67 is formed in a cylindrical surface shape, and allows the annular convex portion 65 to be slidably inserted.

バルブハウジング９とメインポペット２０の間には、壁部６７より上流側に絞り上流側室６４が画成され、壁部６７より下流側にサブパイロット室４１が画成される。 Between the valve housing 9 and the main poppet 20, a throttle upstream chamber 64 is defined upstream of the wall portion 67, and a sub pilot chamber 41 is defined downstream of the wall portion 67.

これにより、第一、第二流入側サブパイロット通路４２、４３を通る作動流体は、絞り上流側室６４から絞り穴６６を通ってサブパイロット室４１に流入し、サブシート５１へと向かう。 Thus, the working fluid passing through the first and second inflow side subpilot passages 42 and 43 flows from the throttle upstream chamber 64 through the throttle hole 66 into the subpilot chamber 41 and heads toward the subseat 51.

こうしてピンポペット６０に沿ってサブシート５１へと向かう作動流体は、絞り穴６６に付与される粘性抵抗と流体力によってピンポペット６０を閉弁方向に付勢する。 Thus, the working fluid traveling toward the sub-sheet 51 along the pin poppet 60 urges the pin poppet 60 in the valve closing direction by the viscous resistance and fluid force applied to the throttle hole 66.

絞り穴６６の開口径は、任意に設定され、ピンポペット６０の変位（流量）に応じて適度な粘性抵抗と流体力が生じるようにする。 The opening diameter of the throttle hole 66 is arbitrarily set so that appropriate viscous resistance and fluid force are generated according to the displacement (flow rate) of the pin poppet 60.

この場合に、絞り手段が絞り穴６６によって構成されるため、前記実施形態に比べて流路の開口幅を大きくすることが可能となり、作動流体中に含まれるコンタミ等の異物が流路を塞ぐことを防止できる。 In this case, since the restricting means is constituted by the restricting hole 66, the opening width of the flow path can be made larger than in the above-described embodiment, and foreign matters such as contamination contained in the working fluid block the flow path. Can be prevented.

また、図６に示すように、環状凸部６５が円柱状に形成され、この環状凸部６５に複数の絞り穴６６がチョークとして形成される構成としてもよい。 Further, as shown in FIG. 6, the annular convex portion 65 may be formed in a columnar shape, and a plurality of throttle holes 66 may be formed in the annular convex portion 65 as a choke.

この場合に、絞り穴６６の流路長さが大きいため、絞り穴６６を流れる作動流体の粘性抵抗が増大される。 In this case, since the flow path length of the throttle hole 66 is large, the viscous resistance of the working fluid flowing through the throttle hole 66 is increased.

（第３実施形態）
次に図７に示す他の実施形態を説明する。なお、前記実施形態と同一構成部には同一符号を付す。 (Third embodiment)
Next, another embodiment shown in FIG. 7 will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same structure part as the said embodiment.

本実施形態では、絞り手段として、ピンポペット６０の外周面６１から突出する複数のフィン７１を備え、このフィン７１が流入側サブパイロット通路４２、４３に介装される。 In this embodiment, a plurality of fins 71 projecting from the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60 are provided as throttling means, and the fins 71 are interposed in the inflow side sub pilot passages 42 and 43.

各フィン７１は、ピンポペット６０の外周面６１から放射状に突出するリブ状に形成される。 Each fin 71 is formed in a rib shape protruding radially from the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60.

メインポペット２０には、ピンポペット６０を挿通させる壁部７０が形成される。この壁部７０は円筒面状に形成され、フィン７１の突出端部に間隙をもって対峙する。 The main poppet 20 is formed with a wall portion 70 through which the pin poppet 60 is inserted. The wall portion 70 is formed in a cylindrical surface shape and faces the protruding end portion of the fin 71 with a gap.

バルブハウジング９とメインポペット２０の間には、壁部７０より上流側に絞り上流側室６４が画成され、壁部７０より下流側にサブパイロット室４１が画成される。 Between the valve housing 9 and the main poppet 20, a throttle upstream chamber 64 is defined upstream of the wall portion 70, and a sub pilot chamber 41 is defined downstream of the wall portion 70.

これにより、第一、第二流入側サブパイロット通路４２、４３を通る作動流体は、絞り上流側室６４から各フィン７１の間を通ってサブパイロット室４１に流入し、サブシート５１へと向かう。 Thereby, the working fluid passing through the first and second inflow side subpilot passages 42 and 43 flows from the throttle upstream side chamber 64 into the subpilot chamber 41 through the spaces between the fins 71 and heads toward the subseat 51.

こうしてピンポペット６０に沿ってサブシート５１へと向かう作動流体は、各フィン７１に付与する粘性抵抗と体力によってピンポペット６０を閉弁方向に付勢する。 Thus, the working fluid traveling toward the sub-sheet 51 along the pin poppet 60 urges the pin poppet 60 in the valve closing direction by the viscous resistance and physical force applied to each fin 71.

フィン７１の形状は、任意に設定され、ピンポペット６０の変位（流量）に応じて適度な粘性抵抗と流体力が生じるようにする。 The shape of the fin 71 is arbitrarily set, and appropriate viscous resistance and fluid force are generated according to the displacement (flow rate) of the pin poppet 60.

この場合に、絞り手段が各フィン７１によって構成されるため、前記各実施形態に比べて流路の開口幅をさらに大きくすることが可能となり、作動流体中に含まれるコンタミ等の異物が流路を塞ぐことを防止できる。 In this case, since the throttling means is constituted by the fins 71, it becomes possible to further increase the opening width of the flow path as compared with the respective embodiments, and foreign matters such as contaminants contained in the working fluid are flowed. Can be prevented.

（第４実施形態）
次に図８に示す他の実施形態を説明する。なお、前記実施形態と同一構成部には同一符号を付す。 (Fourth embodiment)
Next, another embodiment shown in FIG. 8 will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same structure part as the said embodiment.

本実施形態では、絞り手段として、ピンポペット６０の内部に絞り通路７４が形成され、この絞り通路７４が流入側サブパイロット通路４２、４３に介装される。 In this embodiment, a throttle passage 74 is formed inside the pin poppet 60 as a throttle means, and this throttle passage 74 is interposed in the inflow side subpilot passages 42 and 43.

メインポペット２０には、ピンポペット６０を挿通させる壁部７３が形成される。この壁部７３は円筒面状に形成され、ピンポペット６０の外周面６１を摺動可能に挿通させる。 A wall portion 73 through which the pin poppet 60 is inserted is formed in the main poppet 20. The wall portion 73 is formed in a cylindrical surface shape, and allows the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60 to be slidably inserted.

バルブハウジング９とメインポペット２０の間には、壁部７３より上流側に絞り上流側室６４が画成され、壁部７３より下流側にサブパイロット室４１が画成される。 Between the valve housing 9 and the main poppet 20, a throttle upstream chamber 64 is defined upstream of the wall portion 73, and a sub pilot chamber 41 is defined downstream of the wall portion 73.

これにより、第一、第二流入側サブパイロット通路４２、４３を通る作動流体は、絞り上流側室６４から絞り通路７４を通ってサブパイロット室４１に流入し、サブシート５１へと向かう。 As a result, the working fluid passing through the first and second inflow-side subpilot passages 42 and 43 flows from the throttle upstream chamber 64 through the throttle passage 74 into the subpilot chamber 41 and heads toward the sub seat 51.

こうしてピンポペット６０に沿ってサブシート５１へと向かう作動流体は、絞り通路７４に付与される粘性抵抗によってピンポペット６０を閉弁方向に付勢する。 Thus, the working fluid traveling toward the sub seat 51 along the pin poppet 60 urges the pin poppet 60 in the valve closing direction by the viscous resistance applied to the throttle passage 74.

絞り通路７４の開口径及び通路長は、任意に設定され、ピンポペット６０の変位（流量）に応じて適度な粘性抵抗が生じるようにする。 The opening diameter and the passage length of the throttle passage 74 are arbitrarily set, and an appropriate viscous resistance is generated according to the displacement (flow rate) of the pin poppet 60.

この場合に、絞り手段がピンポペット６０の内部に形成される絞り通路７４によって構成されるため、前記実施形態に比べて流路の長さと開口幅をそれぞれ大きくすることが可能となり、作動流体中に含まれるコンタミ等の異物が流路を塞ぐことを防止できる。 In this case, since the throttle means is constituted by the throttle passage 74 formed inside the pin poppet 60, the length of the flow path and the opening width can be increased as compared with the above-described embodiment, so that the working fluid It is possible to prevent foreign matter such as contamination contained in the fluid from blocking the flow path.

（参考例）
次に図９に示す参考例を説明する。なお、前記実施形態と同一構成部には同一符号を付す。 ( Reference example )
Next, a reference example shown in FIG. 9 will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same structure part as the said embodiment.

本参考例では、絞り手段として、ピンポペット６０の外周面６１に絞り溝７７が形成され、この絞り溝７７が流入側サブパイロット通路４２、４３に介装される。 In this reference example , a throttle groove 77 is formed in the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60 as a throttle means, and this throttle groove 77 is interposed in the inflow side subpilot passages 42 and 43.

絞り溝７７は、ピンポペット６０の外周面６１に沿って螺旋状に延びる。 The throttle groove 77 extends spirally along the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60.

メインポペット２０には、ピンポペット６０を挿通させる壁部７６が形成される。この壁部７６は円筒面状に形成され、ピンポペット６０の外周面６１を摺動可能に挿通させる。 The main poppet 20 is formed with a wall portion 76 through which the pin poppet 60 is inserted. The wall portion 76 is formed in a cylindrical surface shape, and allows the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60 to be slidably inserted.

バルブハウジング９とメインポペット２０の間には、壁部７６より上流側に絞り上流側室６４が画成され、壁部７６より下流側にサブパイロット室４１が画成される。 Between the valve housing 9 and the main poppet 20, a throttle upstream chamber 64 is defined upstream of the wall portion 76, and a sub-pilot chamber 41 is defined downstream of the wall portion 76.

これにより、第一、第二流入側サブパイロット通路４２、４３を通る作動流体は、絞り上流側室６４から絞り溝７７を通ってサブパイロット室４１に流入し、サブシート５１へと向かう。 As a result, the working fluid passing through the first and second inflow-side subpilot passages 42 and 43 flows from the throttle upstream chamber 64 through the throttle groove 77 into the subpilot chamber 41 and travels toward the subseat 51.

こうしてピンポペット６０に沿ってサブシート５１へと向かう作動流体は、絞り溝７７に付与される粘性抵抗によってピンポペット６０を閉弁方向に付勢する。 Thus, the working fluid traveling toward the sub-sheet 51 along the pin poppet 60 urges the pin poppet 60 in the valve closing direction by the viscous resistance applied to the throttle groove 77.

絞り溝７７の開口幅及び通路長は、任意に設定され、ピンポペット６０の変位（流量）に応じて適度な粘性抵抗が生じるようにする。 The opening width and the passage length of the throttle groove 77 are arbitrarily set so that an appropriate viscous resistance is generated according to the displacement (flow rate) of the pin poppet 60.

この場合に、絞り手段がピンポペット６０の外周面６１に形成される絞り溝７７によって構成されるため、前記実施形態に比べて流路の長さと開口幅をそれぞれ大きくすることが可能となり、作動流体中に含まれるコンタミ等の異物が流路を塞ぐことを防止できる。 In this case, since the throttle means is constituted by the throttle groove 77 formed on the outer peripheral surface 61 of the pin poppet 60, it becomes possible to increase the length of the flow path and the opening width, respectively, as compared with the previous embodiment. It is possible to prevent foreign matters such as contamination contained in the fluid from blocking the flow path.

本発明は上記の実施形態に限定されずに、その技術的な思想の範囲内において種々の変更がなしうることは明白である。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is obvious that various modifications can be made within the scope of the technical idea.

１ソレノイドバルブ
２バルブ通路
７サブリターンスプリング
８メインリターンスプリング
９バルブハウジング
１０メイン通路
１１バルブシート
２０メインポペット
３０サブパイロット通路
３１メインシート
４０ポペット
４１サブパイロット室
４２、４３流入側サブパイロット通路
４４サブオリフィス
４６、４７流出側サブパイロット通路
５１サブシート
６０ピンポペット
６１外周面
６２絞り壁部
６３絞り間隙
６４絞り上流側室
６５環状凸部
６６絞り穴
７１フィン
７４絞り通路 1 Solenoid valve 2 Valve passage 7 Sub return spring 8 Main return spring 9 Valve housing 10 Main passage 11 Valve seat 20 Main poppet 30 Sub pilot passage 31 Main seat 40 Poppet 41 Sub pilot chamber 42, 43 Inlet side sub pilot passage 44 Sub orifice 46 and 47 the outlet side sub pilot passage 51 sub-seat 60 Pinpopetto 61 outer peripheral surface 62 stop wall 63 aperture gap 64 throttle upstream side chamber 65 annular projection 66 throttle hole 71 fins 74 stop communication path

Claims

A solenoid valves for adjusting the flow rate of the working fluid flowing to the outlet side from the inlet side of the valve passage according to the solenoid thrust,
A main seat interposed in the valve passage;
A poppet that changes the opening area of the main sheet by displacing the main sheet;
A sub-pilot chamber for generating a sub-pilot pressure for urging the poppet in the valve closing direction;
An inflow side subpilot passage communicating the subpilot chamber with the valve passage on the inflow side from the main seat;
An outflow side subpilot passage communicating the subpilot chamber with the valve passage on the outflow side from the main seat;
A sub-seat interposed in the outflow side sub-pilot passage;
A pin poppet that changes the opening area of the sub-sheet by displacing with respect to the sub-sheet in accordance with a solenoid thrust force;
A throttle means for generating a viscous resistance of the working fluid by restricting the flow of the working fluid toward the sub-seat along the axial direction of the pin poppet in the inflow side sub-pilot passage;
When the pin poppet is driven in a valve opening direction by a solenoid thrust , the working fluid flows from the inflow side subpilot passage to the outflow side subpilot passage through the throttle means .

A sub-orifice in the inflow side sub-pilot passage;
The solenoid valve according to claim 1, wherein the sub-orifice and the throttle means are arranged in series in the inflow side sub-pilot passage .

As the aperture means,
An aperture gap is defined around the outer peripheral surface of the pin poppet,
The solenoid valve according to claim 1, wherein the throttle gap is interposed in the inflow side subpilot passage .

As the aperture means,
Comprising an annular convex portion projecting annularly from the outer peripheral surface of the pin poppet;
A throttle hole is formed in the annular convex portion,
The solenoid valve according to claim 1, wherein the throttle hole is interposed in the inflow side subpilot passage .

As the aperture means,
A plurality of fins projecting from the outer peripheral surface of the pin poppet;
The solenoid valve according to claim 1, wherein the fin is interposed in the inflow side subpilot passage .

As the throttle means, a throttle passage is formed inside the pin poppet,
The solenoid valve according to claim 1, wherein the throttle passage is interposed in the inflow side subpilot passage .