JP5707095B2 - Electric actuator - Google Patents

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本発明は、一般産業用の電動機、自動車等の駆動部に使用されるボールねじ機構を備えた電動アクチュエータ、詳しくは、自動車のトランスミッションやパーキングブレーキ等で、電動モータからの回転入力をボールねじ機構を介して駆動軸の直線運動に変換する電動アクチュエータに関するものである。   The present invention relates to an electric actuator provided with a ball screw mechanism used in a drive unit of a general industrial electric motor or automobile, and more specifically, a rotation input from an electric motor is applied to a ball screw mechanism in an automobile transmission or a parking brake. The present invention relates to an electric actuator that converts a linear motion of a drive shaft through a shaft.

各種駆動部に使用される電動アクチュエータにおいて、電動モータの回転運動を軸方向の直線運動に変換する機構として、台形ねじあるいはラックアンドピニオン等の歯車機構が一般的に使用されている。これらの変換機構は、滑り接触部を伴うため動力損失が大きく、電動モータの大型化や消費電力の増大を余儀なくされている。そのため、より効率的なアクチュエータとしてボールねじ機構が採用されるようになってきた。   In electric actuators used in various drive units, a gear mechanism such as a trapezoidal screw or a rack and pinion is generally used as a mechanism for converting the rotational motion of the electric motor into a linear motion in the axial direction. Since these conversion mechanisms involve a sliding contact portion, the power loss is large, and it is necessary to increase the size of the electric motor and increase the power consumption. Therefore, a ball screw mechanism has been adopted as a more efficient actuator.

一般的に、ボールねじ機構を備え、そのナットをハウジングに内包するように構成された電動アクチュエータにおいて、ナットの回転を抑止するための回り止めを設けるには、ハウジング内周に回り止め用の溝を設けたり、あるいは内周を異形(非円筒)形状にする必要がある。然しながら、機械加工によって、ハウジング内周に溝を形成したり、異形形状を成形しようとする場合、細長いハウジングに対する加工は困難であることから、ハウジング全長が制限され、その結果アクチュエータのストロークを長く確保することができないという問題がある。これに対し、型を用いた成形加工よって、ハウジング内周に溝を形成したり、異形形状を成形しようとすることも考えられるが、型が複雑となり、コスト高を招くという問題がある。加えて、ハウジング内周溝にナットを係合させるためには、ナットに突起を設ける必要が生じ、同様にナットのコスト高が避けられないという問題がある。さらには、ハウジング内周、ナット形状とも複雑な形状にせざるを得ず、ひいてはアクチュエータの大型化を誘発する。   Generally, in an electric actuator provided with a ball screw mechanism and configured to enclose a nut in a housing, a non-rotating groove is provided on the inner periphery of the housing in order to provide a detent for suppressing rotation of the nut. Need to be provided, or the inner periphery must have an irregular shape (non-cylinder). However, if a groove is formed in the inner periphery of the housing by machining or if an irregular shape is to be formed, machining of the elongated housing is difficult, so the overall length of the housing is limited, and as a result, a long actuator stroke is secured. There is a problem that you can not. On the other hand, it is conceivable to form a groove on the inner periphery of the housing or to form an irregular shape by molding using a mold, but there is a problem that the mold becomes complicated and the cost is increased. In addition, in order to engage the nut with the inner circumferential groove of the housing, it is necessary to provide a protrusion on the nut, and there is a problem that the cost of the nut is unavoidable. Furthermore, both the inner periphery of the housing and the nut shape must be complicated, which leads to an increase in the size of the actuator.

こうした問題を解決したものとして、図18に示すような電動アクチュエータが知られている。この電動アクチュエータは、ハウジング51と、外周面に雄ねじ溝56aが形成されたねじ軸56と、ハウジング51に対して軸線方向に移動可能となっており、ねじ軸56を包囲するように配置され、かつ内周面に雌ねじ溝53aが形成されたナット53と、対向する両ねじ溝56a、53a間に形成された転走路に沿って転動自在に配置された複数のボール57と、ハウジング51の内周面に沿って延在する案内部63aと、ハウジング51に係合する係合部63bからなる案内部材63とを有している。   As a solution to such a problem, an electric actuator as shown in FIG. 18 is known. This electric actuator is movable so as to be axially movable with respect to the housing 51, the screw shaft 56 having a male screw groove 56a formed on the outer peripheral surface thereof, and is disposed so as to surround the screw shaft 56. A nut 53 having an internal thread groove 53a formed on the inner peripheral surface, a plurality of balls 57 disposed so as to roll along a rolling path formed between the opposing screw grooves 56a and 53a, and the housing 51 A guide portion 63 a extending along the inner peripheral surface and a guide member 63 including an engaging portion 63 b that engages with the housing 51 are provided.

ハウジング51は、略中空円筒状の本体51aと、本体51aの一端を閉止するように固定されるカップ状の蓋部材51bとからなる。円筒形状の内周を持つ本体51aの内部には、被駆動部材である円筒状の出力軸52と、出力軸52に連結されたナット53とが配置されている。出力軸52は、図で左端を本体から突出させており、図で右端には袋孔52aが形成されている。出力軸52の外周は、本体51aに対してブッシュ54により摺動可能に支持されている。また、ブッシュ54に隣接してシール部材55が配置され、出力軸52と本体51aとの間をシールすることで、外部から塵埃等が侵入することを抑制している。   The housing 51 includes a substantially hollow cylindrical main body 51a and a cup-shaped lid member 51b fixed so as to close one end of the main body 51a. A cylindrical output shaft 52, which is a driven member, and a nut 53 connected to the output shaft 52 are disposed inside the main body 51a having a cylindrical inner periphery. The output shaft 52 has a left end protruding from the main body in the figure, and a bag hole 52a is formed at the right end in the figure. The outer periphery of the output shaft 52 is slidably supported by the bush 54 with respect to the main body 51a. In addition, a seal member 55 is disposed adjacent to the bushing 54 and seals between the output shaft 52 and the main body 51a, thereby preventing dust and the like from entering from the outside.

ねじ軸56が、ナット53の内部を貫通し、出力軸52の袋孔52aに対して出入り自在に進入している。一方、ねじ軸56を包囲するように配置されたナット53は、その外周下面に軸線方向に沿って溝53bが形成され、チューブ式のボール循環部材を有するナット53、ねじ軸56、ボール57および案内部材63とでボールねじ機構が構成されている。   A screw shaft 56 passes through the inside of the nut 53 and enters the bag hole 52a of the output shaft 52 so as to freely enter and exit. On the other hand, the nut 53 arranged so as to surround the screw shaft 56 is formed with a groove 53b along the axial direction on the outer peripheral lower surface thereof, and includes a nut 53 having a tube-type ball circulation member, a screw shaft 56, a ball 57, and A ball screw mechanism is constituted by the guide member 63.

本体51aの端部に、軸受間座58を介して玉軸受59が配置され、ねじ軸56を回転自在に支持している。玉軸受59の外輪は、固定部材60により軸受間座58に対して固定されている。一方、玉軸受59の内輪は、止め輪61によりねじ軸56に対して固定されている。したがって、ねじ軸56は、本体51aに対して回転のみ可能となっている。ねじ軸56の図で右端には、ギヤ62がセレーションにより一体的に回転するように連結されている。   A ball bearing 59 is disposed at the end of the main body 51a via a bearing spacer 58, and supports the screw shaft 56 rotatably. The outer ring of the ball bearing 59 is fixed to the bearing spacer 58 by a fixing member 60. On the other hand, the inner ring of the ball bearing 59 is fixed to the screw shaft 56 by a retaining ring 61. Therefore, the screw shaft 56 can only rotate with respect to the main body 51a. A gear 62 is connected to the right end of the screw shaft 56 so as to rotate integrally by serration.

金属板材をプレスして形成された案内部材63は、ナット53のねじ溝53aに係合してなる直線状の案内部63aと、図で右端において案内部63aに対して直角に折り曲げられた係合部63bとを有している。さらに、本体51aの右端面には、溝状の凹部51cが形成されており、係合部63bは、それと同じ幅の凹部51cに係合している(図19参照)。案内部63aの表面には、低摩擦化のためのリン酸マンガン塩やリン酸亜鉛等の皮膜処理からなる表面処理が施されている。   The guide member 63 formed by pressing the metal plate material includes a linear guide portion 63a that is engaged with the thread groove 53a of the nut 53, and a member that is bent at a right angle with respect to the guide portion 63a at the right end in the drawing. And a joint part 63b. Further, a groove-like recess 51c is formed on the right end surface of the main body 51a, and the engaging portion 63b is engaged with a recess 51c having the same width as that (see FIG. 19). The surface of the guide portion 63a is subjected to a surface treatment including a coating treatment such as manganese phosphate or zinc phosphate for reducing friction.

操作者がスイッチを操作すると、図示しないモータの回転軸が回転し、減速機構を介して動力が伝達され、それと共にねじ軸56が回転する。ここで、ナット53は、回り止め機能を発揮する案内部材63により、軸線方向にのみスムーズに案内されるようになっているため、ねじ軸56の回転運動は、ナット53の軸線運動に効率よく変換され、それによりナット53が連結された出力軸52を軸線方向に移動させることができる。   When the operator operates the switch, the rotation shaft of a motor (not shown) rotates, power is transmitted through the speed reduction mechanism, and the screw shaft 56 rotates with it. Here, since the nut 53 is smoothly guided only in the axial direction by the guide member 63 that exhibits a detent function, the rotational motion of the screw shaft 56 is efficient for the axial motion of the nut 53. The output shaft 52 that has been converted and thus connected to the nut 53 can be moved in the axial direction.

組み付け時には、ブッシュ54を組み付けた本体51aの右端から案内部材63を差し込み、案内部63aの先端を切り欠き54aに挿入すると共に、折り曲げた係合部63bを本体51aの凹部51cに係合させる。かかる構成によれば、特殊な工具を用いることなく、案内部材63を本体51aに容易に取り付けることができる。その後、溝53bに案内部63aが係合するようにして、ナット53と出力軸52を本体51a内に挿入し、ねじ軸56等を組み付ければよい。   At the time of assembly, the guide member 63 is inserted from the right end of the main body 51a to which the bush 54 is assembled, the tip of the guide portion 63a is inserted into the notch 54a, and the bent engaging portion 63b is engaged with the concave portion 51c of the main body 51a. According to this configuration, the guide member 63 can be easily attached to the main body 51a without using a special tool. Thereafter, the nut 53 and the output shaft 52 are inserted into the main body 51a so that the guide portion 63a is engaged with the groove 53b, and the screw shaft 56 and the like are assembled.

特に、案内部63aが長尺であった場合、案内部材63が片方のみ支持されていると、支持されていない側で案内部材63のねじりが生じ、回り止め機能が不足する恐れがあるが、ここでは、案内部63aの先端をブッシュ54の切欠54aに係合させており、これにより案内部材63の両端を本体51aに固定することができるので、案内部63aが長尺であっても、そのねじれを抑制し有効な回り止め機能を実現できる(例えば、特許文献1参照。)。   In particular, when the guide portion 63a is long, if only one of the guide members 63 is supported, the guide member 63 may be twisted on the unsupported side, and the anti-rotation function may be insufficient. Here, the front end of the guide portion 63a is engaged with the notch 54a of the bush 54, so that both ends of the guide member 63 can be fixed to the main body 51a. Therefore, even if the guide portion 63a is long, It is possible to suppress the twist and realize an effective detent function (see, for example, Patent Document 1).

特開2008−232338号公報JP 2008-232338 A

こうした従来の電動アクチュエータでは、ナット53の回転止めとして、ナット53の外周面に回転止めのための溝53bが形成され、この溝53bに案内部63aを係合させると共に、案内部63aの先端をブッシュ54の切欠54aに係合させることによって行われている。これでは、部品点数が増えるだけでなく、組立工数が嵩み、かつ煩雑となるばかりでなく、相手部材が摺動するに耐え得る硬度や表面粗さ等の表面性状を備える必要があり、製造コストが高騰するといった問題があった。   In such a conventional electric actuator, as a rotation stop of the nut 53, a groove 53b for rotation prevention is formed on the outer peripheral surface of the nut 53. The guide portion 63a is engaged with the groove 53b, and the tip of the guide portion 63a is connected to the groove 53b. This is done by engaging the notch 54a of the bush 54. This not only increases the number of parts, but also increases the number of assembly steps and becomes complicated, and it is necessary to have surface properties such as hardness and surface roughness that can withstand the sliding of the mating member. There was a problem that costs increased.

本発明は、こうした従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、部品点数を削減して低コスト化を図ると共に、回り止め機構を簡素化し、センサの検出精度を高めて信頼性を向上させた電動アクチュエータを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems of the prior art, and reduces the number of parts to reduce the cost, simplifies the detent mechanism, improves the detection accuracy of the sensor, and improves the reliability. An object is to provide an electric actuator.

係る目的を達成すべく、本発明のうち請求項1に記載の発明は、円筒状のハウジングと、このハウジングに取り付けられた電動モータと、この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構とを備え、このボールねじ機構が、前記減速機構に連結され、前記ハウジングに装着された転がり軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持されたナットと、このナットに多数のボールを介して内挿され、前記駆動軸と同軸状に一体化されたねじ軸とで構成された電動アクチュエータにおいて、前記ハウジングに前記駆動軸を収容する円筒状の袋孔が形成され、この袋孔にセンサカバーが着脱自在に固定され、このサイドカバーの内壁に断面略コの字状で、前記駆動軸に対向して軸方向に延びる凹溝を有する案内部材が装着され、この案内部材に前記ねじ軸の外径に植設された回り止めピンが係合されて前記ねじ軸が前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されると共に、前記ハウジングにセンサピンが回転自在に挿入され、このセンサピンの端部に磁石が取り付けられ、この磁石に所定のエアギャップを介してセンサが対峙されると共に、前記センサピンにセンサリンクが取り付けられて前記回り止めピンに所定の予圧が付与された状態で係合され、前記センサリンクの揺動角によって前記回り止めピンの位置が逐次変化して当該センサリンクの振り子運動を許容し、予め設定されたストロークの範囲で前記駆動軸がガタなく軸方向運動する。 In order to achieve the object, the invention according to claim 1 of the present invention transmits a cylindrical housing, an electric motor attached to the housing, and a rotational force of the electric motor via a motor shaft. A reduction mechanism, and a ball screw mechanism that converts the rotational movement of the electric motor into an axial linear movement of the drive shaft via the reduction mechanism, the ball screw mechanism being connected to the reduction mechanism, and the housing A nut that is rotatably supported via a rolling bearing mounted on the shaft and is not axially movable, and a screw that is inserted into the nut via a large number of balls and is coaxially integrated with the drive shaft. In the electric actuator composed of a shaft, a cylindrical bag hole for accommodating the drive shaft is formed in the housing, and a sensor cover is detachably fixed to the bag hole. A guide member having a substantially U-shaped cross section on the inner wall of the bar and having a concave groove extending in the axial direction facing the drive shaft is mounted on the guide member, and the detent is implanted on the outer diameter of the screw shaft. A pin is engaged so that the screw shaft is supported so as to be non-rotatable and axially movable with respect to the housing, and a sensor pin is rotatably inserted into the housing, and a magnet is attached to the end of the sensor pin. A sensor is opposed to the magnet through a predetermined air gap, and a sensor link is attached to the sensor pin and engaged with a predetermined preload applied to the detent pin . The position of the detent pin sequentially changes according to the swing angle to allow the pendulum movement of the sensor link, and the drive shaft does not play in the axial direction within a preset stroke range. You.

このように、電動モータの回転力を伝達する減速機構と、この減速機構を介して電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構とを備え、このボールねじ機構が、減速機構に連結され、ハウジングに装着された転がり軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持されたナットと、このナットに多数のボールを介して内挿され、駆動軸と同軸状に一体化されたねじ軸とで構成された電動アクチュエータにおいて、ハウジングに駆動軸を収容する円筒状の袋孔が形成され、この袋孔にセンサカバーが着脱自在に固定されると共に、このサイドカバーの内壁に断面略コの字状で、駆動軸に対向して軸方向に延びる凹溝を有する案内部材が装着され、この案内部材にねじ軸の外径に植設された回り止めピンが係合されてねじ軸がハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されると共に、ハウジングにセンサピンが回転自在に挿入され、このセンサピンの端部に磁石が取り付けられ、この磁石に所定のエアギャップを介してセンサが対峙されると共に、センサピンにセンサリンクが取り付けられて回り止めピンに所定の予圧が付与された状態で係合され、センサリンクの揺動角によって回り止めピンの位置が逐次変化して当該センサリンクの振り子運動を許容し、予め設定されたストロークの範囲で駆動軸がガタなく軸方向運動するので、部品点数を削減して低コスト化を図ると共に、回り止め機構を簡素化し、センサの検出精度を高めて信頼性を向上させた電動アクチュエータを提供することができる。 As described above, the ball screw mechanism includes a speed reduction mechanism that transmits the rotational force of the electric motor, and a ball screw mechanism that converts the rotational motion of the electric motor to a linear motion in the axial direction of the drive shaft via the speed reduction mechanism. Is connected to the speed reduction mechanism, is rotatably supported via a rolling bearing mounted on the housing, and is supported so as not to move in the axial direction, and is inserted into the nut via a large number of balls, In an electric actuator composed of a coaxially integrated screw shaft, a cylindrical bag hole for accommodating a drive shaft is formed in a housing, and a sensor cover is detachably fixed to the bag hole. A guide member having a concave groove extending in the axial direction facing the drive shaft is mounted on the inner wall of the side cover, and a detent pin that is implanted on the outer diameter of the screw shaft. Is engaged The screw shaft is supported so as not to rotate with respect to the housing and can move in the axial direction, and a sensor pin is rotatably inserted into the housing, and a magnet is attached to the end of the sensor pin. The sensor is opposed through the air gap, and the sensor link is attached to the sensor pin and engaged with a predetermined preload applied to the rotation stop pin. The position of the rotation stop pin is determined by the swing angle of the sensor link. allowing a pendulum motion of the sensor link sequentially changed, preset Runode to the drive shaft without play axial movement range of the stroke, by reducing the number of parts with cost reduction, detent mechanism Thus, it is possible to provide an electric actuator that is improved in reliability by improving the detection accuracy of the sensor.

また、請求項2に記載の発明のように、前記センサリンクとハウジングにそれぞれ係止部が突設され、この係止部に引張コイルばねが張架され、前記センサリンクが前記回り止めピンに所定の押圧力でもって当接するように予圧が付与されていても良い。   According to a second aspect of the present invention, the sensor link and the housing are each provided with a locking portion, a tension coil spring is stretched on the locking portion, and the sensor link is attached to the rotation prevention pin. A preload may be applied so as to contact with a predetermined pressing force.

また、請求項3に記載の発明のように、前記センサピンに捩りばねが装着され、この捩りばねの一端が前記センサリンクの突設された係止部に当接されると共に、前記捩りばねの他端が前記ハウジングに突設された係止部に当接され、当該センサリンクが前記回り止めピンに所定の押圧力でもって当接するように予圧が付与されていても良い。   According to a third aspect of the present invention, a torsion spring is attached to the sensor pin, and one end of the torsion spring is brought into contact with a projecting engaging portion of the sensor link, and the torsion spring The other end may be brought into contact with a locking portion protruding from the housing, and a preload may be applied so that the sensor link comes into contact with the detent pin with a predetermined pressing force.

また、請求項4に記載の発明のように、前記センサリンクの長手方向にスリットが形成され、このスリットに前記回り止めピンが係合されていれば、駆動軸の回転を阻止し、駆動軸の軸方向の移動を妨げないような振り子運動が可能となる。   If the slit is formed in the longitudinal direction of the sensor link and the detent pin is engaged with the slit as in the invention described in claim 4, the drive shaft is prevented from rotating, and the drive shaft The pendulum movement that does not hinder the movement in the axial direction is possible.

また、請求項5に記載の発明のように、前記センサリンクの長手方向に長穴が形成され、この長穴に前記回り止めピンが係合されていても良い。   Further, as in a fifth aspect of the present invention, an elongated hole may be formed in the longitudinal direction of the sensor link, and the detent pin may be engaged with the elongated hole.

また、請求項6に記載の発明のように、前記センサリンクが、前記センサピンを枢軸として揺動可能に配設された第1のリンクと、この第1のリンクに支点ピンを介して屈曲自在に配設され、一端部に前記固定ピンが係合された第2のリンクとで構成されていても良い。   According to a sixth aspect of the present invention, the sensor link includes a first link that is swingably disposed around the sensor pin as a pivot, and the first link can be bent via a fulcrum pin. And a second link with one end engaged with the fixing pin.

また、請求項7に記載の発明のように、前記回り止めピンにニードル軸受に用いられるニードルころが使用されていれば、SUJ2等の高炭素クロム鋼で形成され、ズブ焼入れにより芯部まで58〜64HRCの範囲に硬化処理されているので、高精度で長期間に亘って耐摩耗性を維持することができる。   Further, as in the seventh aspect of the present invention, if a needle roller used for a needle bearing is used for the detent pin, it is formed of high carbon chrome steel such as SUJ2, and the core portion is formed by quenching. Since it is cured in a range of ˜64 HRC, the wear resistance can be maintained over a long period of time with high accuracy.

また、請求項8に記載の発明のように、前記案内部材の凹溝によって前記回り止めピンの軸方向の位置が制限され、前記駆動軸のストロークが規制されていれば、回り止め機構を簡素化することができる。   Further, as in the invention according to claim 8, if the axial position of the detent pin is limited by the concave groove of the guide member and the stroke of the drive shaft is restricted, the detent mechanism is simplified. Can be

また、請求項9に記載の発明のように、前記案内部材が炭素鋼板からプレス加工にて形成され、高周波焼入れによって表面硬さを40〜50HRCの範囲に硬化処理が施されていれば、耐摩耗性が向上し、回り止めピンが摺動しても長期間に亘って摩耗を抑制することができる。   Further, as in the invention described in claim 9, if the guide member is formed from a carbon steel plate by press working and the surface hardness is set in a range of 40 to 50 HRC by induction hardening, Abrasion is improved and wear can be suppressed over a long period of time even if the detent pin slides.

また、請求項10に記載の発明のように、前記案内部材が浸炭鋼で形成され、浸炭焼入れによって表面硬さを40〜50HRCの範囲に硬化処理が施されていても良い。   Moreover, like the invention of Claim 10, the said guide member may be formed with carburized steel, and the hardening process may be given to the surface hardness of 40-50HRC by carburizing and quenching.

また、請求項11に記載の発明のように、前記案内部材の凹溝の表面に潤滑皮膜が形成されていれば、摺動性が向上し、スムーズで確実な回り止め機構を達成することができる。   Further, as in the invention described in claim 11, if a lubricating film is formed on the surface of the concave groove of the guide member, the slidability is improved, and a smooth and reliable detent mechanism can be achieved. it can.

また、請求項12に記載の発明のように、前記案内部材が繊維状強化材が充填された熱可塑性の合成樹脂から射出成形によって形成されていれば、長期間に亘って摺動性と耐摩耗性を向上させることができる。   Further, as in the invention described in claim 12, if the guide member is formed by injection molding from a thermoplastic synthetic resin filled with a fibrous reinforcing material, slidability and anti-resistance over a long period of time. Abrasion can be improved.

また、請求項13に記載の発明のように、前記センサが非接触式の半導体センサであれば、耐震性に優れ、磁気センサと信号処理回路とが集積されて絶対角度を検出することができ、自動車等の車両の厳しい使用条件における振動等が生じても長期間に亘って安定した検出精度を確保することができる。   In addition, if the sensor is a non-contact type semiconductor sensor as in the invention described in claim 13, it is excellent in earthquake resistance, and an absolute angle can be detected by integrating a magnetic sensor and a signal processing circuit. Stable detection accuracy can be ensured over a long period of time even if vibrations or the like occur under severe use conditions of a vehicle such as an automobile.

本発明に係る電動アクチュエータは、円筒状のハウジングと、このハウジングに取り付けられた電動モータと、この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構とを備え、このボールねじ機構が、前記減速機構に連結され、前記ハウジングに装着された転がり軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持されたナットと、このナットに多数のボールを介して内挿され、前記駆動軸と同軸状に一体化されたねじ軸とで構成された電動アクチュエータにおいて、前記ハウジングに前記駆動軸を収容する円筒状の袋孔が形成され、この袋孔にセンサカバーが着脱自在に固定され、このサイドカバーの内壁に断面略コの字状で、前記駆動軸に対向して軸方向に延びる凹溝を有する案内部材が装着され、この案内部材に前記ねじ軸の外径に植設された回り止めピンが係合されて前記ねじ軸が前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されると共に、前記ハウジングにセンサピンが回転自在に挿入され、このセンサピンの端部に磁石が取り付けられ、この磁石に所定のエアギャップを介してセンサが対峙されると共に、前記センサピンにセンサリンクが取り付けられて前記回り止めピンに所定の予圧が付与された状態で係合され、前記センサリンクの揺動角によって前記回り止めピンの位置が逐次変化して当該センサリンクの振り子運動を許容し、予め設定されたストロークの範囲で前記駆動軸がガタなく軸方向運動するので、部品点数を削減して低コスト化を図ると共に、回り止め機構を簡素化し、センサの検出精度を高めて信頼性を向上させた電動アクチュエータを提供することができる。 An electric actuator according to the present invention includes a cylindrical housing, an electric motor attached to the housing, a reduction mechanism that transmits the rotational force of the electric motor via a motor shaft, and the electric motor via the reduction mechanism. A ball screw mechanism that converts the rotational motion of the motor into a linear motion in the axial direction of the drive shaft, and this ball screw mechanism is connected to the speed reduction mechanism and is rotatable via a rolling bearing mounted on the housing. And an electric actuator comprising: a nut supported so as not to move in the axial direction; and a screw shaft that is inserted into the nut through a large number of balls and is coaxially integrated with the drive shaft. A cylindrical bag hole for housing the drive shaft is formed, and a sensor cover is detachably fixed to the bag hole. A guide member having a concave groove extending in the axial direction opposite to the drive shaft is mounted, and a detent pin implanted on the outer diameter of the screw shaft is engaged with the guide member, and the screw shaft Is supported so as to be non-rotatable and axially movable with respect to the housing, and a sensor pin is rotatably inserted into the housing, and a magnet is attached to an end of the sensor pin, and a predetermined air gap is attached to the magnet. And a sensor link is attached to the sensor pin and engaged with a predetermined preload applied to the rotation stop pin. The rotation angle of the sensor link position is changed sequentially allowing a pendulum motion of the sensor link, preset the drive shaft in the range of stroke to the axial movement without backlash Runode, cutting the number of parts Together to reduce cost, simplify the detent mechanism, to improve the detection accuracy of the sensor it is possible to provide an electric actuator with improved reliability.

本発明に係る電動アクチュエータの一実施形態を示す縦断面図である。It is a longitudinal section showing one embodiment of an electric actuator concerning the present invention. 図1の回り止め部を示す要部拡大図である。It is a principal part enlarged view which shows the rotation prevention part of FIG. 図1の回り止め部を示す横断面図である。It is a cross-sectional view which shows the rotation prevention part of FIG. 図1の回り止め部を示す側面図である。It is a side view which shows the rotation prevention part of FIG. 図4の作動を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the action | operation of FIG. 図4の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the modification of FIG. 図6の作動を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the action | operation of FIG. 図6の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the modification of FIG. 図8の作動を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the action | operation of FIG. 図4の他の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the other modification of FIG. 図10の作動を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the action | operation of FIG. 図6の他の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the other modification of FIG. 図12の作動を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the action | operation of FIG. 図10の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the modification of FIG. 図14の作動を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the action | operation of FIG. 図12の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the modification of FIG. 図16の作動を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the action | operation of FIG. 従来の電動アクチュエータを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the conventional electric actuator. 図18のA−A線に沿った横断面図である。It is a cross-sectional view along the AA line of FIG.

円筒状のハウジングと、このハウジングに取り付けられた電動モータと、この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構とを備え、このボールねじ機構が、前記減速機構に連結され、前記ハウジングに装着された転がり軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持されたナットと、このナットに多数のボールを介して内挿され、前記駆動軸と同軸状に一体化されたねじ軸とで構成された電動アクチュエータにおいて、前記ハウジングに前記駆動軸を収容する円筒状の袋孔が形成され、この袋孔にセンサカバーが着脱自在に固定され、このサイドカバーの内壁に断面略コの字状で、前記駆動軸に対向して軸方向に延びる凹溝を有する案内部材が装着され、この案内部材に前記ねじ軸の外径に植設された回り止めピンが係合されて前記ねじ軸が前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されると共に、前記ハウジングにセンサピンが回転自在に挿入され、このセンサピンの端部に磁石が取り付けられ、この磁石に所定のエアギャップを介してセンサが対峙されると共に、前記センサピンにセンサリンクを取り付け、このセンサリンクと前記ハウジングにそれぞれ係止部が突設され、この係止部に引張コイルばねが張架され、前記センサリンクが前記回り止めピンに所定の押圧力でもって当接するように予圧が付与されている。   A cylindrical housing, an electric motor attached to the housing, a reduction mechanism that transmits the rotational force of the electric motor via a motor shaft, and a rotational movement of the electric motor via the reduction mechanism. A ball screw mechanism that converts the linear motion into an axial direction, and this ball screw mechanism is connected to the speed reduction mechanism and is supported by a rolling bearing mounted on the housing so as to be rotatable and not movable in the axial direction. A cylinder that accommodates the drive shaft in the housing in an electric actuator comprising a nut and a screw shaft that is inserted into the nut through a large number of balls and is coaxially integrated with the drive shaft The sensor cover is detachably fixed to the bag hole. The inner wall of the side cover is substantially U-shaped in cross section and faces the drive shaft in the axial direction. A guide member having a concave groove extending is mounted, and a non-rotating pin planted on the outer diameter of the screw shaft is engaged with the guide member so that the screw shaft cannot rotate with respect to the housing and is axially A sensor pin is rotatably inserted into the housing, and a magnet is attached to the end of the sensor pin. A sensor is opposed to the magnet through a predetermined air gap. A sensor link is attached, and a latching portion is provided on each of the sensor link and the housing. A tension coil spring is stretched on the latching portion, and the sensor link is applied to the detent pin with a predetermined pressing force. Preload is applied so as to contact.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明に係る電動アクチュエータの一実施形態を示す縦断面図、図2は、図1の回り止め部を示す要部拡大図、図3は、図1の回り止め部を示す横断面図、図4は、図1の回り止め部を示す側面図、図5は、図4の作動を示す説明図、図6は、図4の変形例を示す側面図、図7は、図6の作動を示す説明図、図8は、図6の変形例を示す側面図、図9は、図8の作動を示す説明図、図10は、図4の他の変形例を示す側面図、図11は、図10の作動を示す説明図、図12は、図6の他の変形例を示す側面図、図13は、図12の作動を示す説明図、図14は、図10の変形例を示す側面図、図15は、図14の作動を示す説明図、図16は、図12の変形例を示す側面図、図17は、図16の作動を示す説明図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of an electric actuator according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of a main part showing a detent part of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-section showing the detent part of FIG. 4 is a side view showing the detent portion of FIG. 1, FIG. 5 is an explanatory view showing the operation of FIG. 4, FIG. 6 is a side view showing a modification of FIG. 4, and FIG. 8 is a side view showing a modified example of FIG. 6, FIG. 9 is an explanatory view showing the operation of FIG. 8, and FIG. 10 is a side view showing another modified example of FIG. 11 is an explanatory view showing the operation of FIG. 10, FIG. 12 is a side view showing another modification of FIG. 6, FIG. 13 is an explanatory view showing the operation of FIG. 12, and FIG. FIG. 15 is an explanatory view showing the operation of FIG. 14, FIG. 16 is a side view showing the modification of FIG. 12, and FIG. 17 is an explanatory view showing the operation of FIG.

この電動アクチュエータ1は、円筒状のハウジング2と、このハウジング2に取り付けられた電動モータ3と、この電動モータ3の回転力をモータ軸3aを介して伝達する一対の平歯車4、5からなる減速機構6と、この減速機構6を介して電動モータ3の回転運動を駆動軸7の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構8と、駆動軸7の回り止めピン9とを備えている。   The electric actuator 1 includes a cylindrical housing 2, an electric motor 3 attached to the housing 2, and a pair of spur gears 4 and 5 for transmitting the rotational force of the electric motor 3 through a motor shaft 3a. A speed reduction mechanism 6, a ball screw mechanism 8 that converts the rotational motion of the electric motor 3 into an axial linear motion of the drive shaft 7 through the speed reduction mechanism 6, and a detent pin 9 of the drive shaft 7 are provided. .

ハウジング2は、第1のハウジング2aと、その端面に組み付けられた第2のハウジング2bとからなる。第1のハウジング2aの内部には電動モータ3が配置されている。後述するナット16の外径に装着される玉軸受18の外輪は、第1のハウジング2aと軸受ブラケット10とで挟持された状態で取り付けられている。   The housing 2 includes a first housing 2a and a second housing 2b assembled to the end surface. An electric motor 3 is disposed inside the first housing 2a. An outer ring of a ball bearing 18 attached to an outer diameter of a nut 16 described later is attached in a state of being sandwiched between the first housing 2 a and the bearing bracket 10.

電動モータ3のモータ軸3aには小平歯車4が圧入により相対回転不能に取り付けられている。大平歯車5は、後述するボールねじ機構8を構成するナット16に圧入され、小平歯車4に噛合している。   A small spur gear 4 is attached to the motor shaft 3a of the electric motor 3 so as not to be relatively rotatable by press fitting. The large spur gear 5 is press-fitted into a nut 16 constituting a ball screw mechanism 8 described later, and meshes with the small spur gear 4.

ボールねじ機構8は、外周に螺旋状のねじ溝15aが形成されたねじ軸15と、このねじ軸15のねじ溝15aに対向し、内周に螺旋状のねじ溝16aが形成されたナット16と、両ねじ溝15a、16aによって形成される螺旋状の空間に転動自在に収容された多数のボール17とで構成されている。ナット16の外周には前述した大平歯車5が圧入固定されると共に、第1のハウジング2aと軸受ブラケット10に嵌合された玉軸受18が止め輪19を介して位置決め固定され、軸方向に相対移動不可で、相対回転可能となっている。   The ball screw mechanism 8 includes a screw shaft 15 having a spiral screw groove 15a formed on the outer periphery, and a nut 16 having a spiral screw groove 16a formed on the inner periphery thereof, facing the screw groove 15a of the screw shaft 15. And a large number of balls 17 accommodated in a spiral space formed by both screw grooves 15a and 16a so as to be freely rollable. The above-described large spur gear 5 is press-fitted and fixed to the outer periphery of the nut 16, and the ball bearing 18 fitted to the first housing 2 a and the bearing bracket 10 is positioned and fixed via a retaining ring 19, and is relatively relative to the axial direction. It cannot move and can rotate relatively.

各ねじ溝15a、16aの断面形状は、サーキュラアーク形状であってもゴシックアーク形状であっても良いが、ここではボール17との接触角が大きくとれ、アキシアルすきまが小さく設定できるゴシックアーク形状に形成されている。これにより、軸方向荷重に対する剛性が高くなり、かつ振動の発生を抑制することができる。   The cross-sectional shape of each thread groove 15a, 16a may be a circular arc shape or a Gothic arc shape, but here, it has a Gothic arc shape that allows a large contact angle with the ball 17 and a small axial clearance. Is formed. Thereby, the rigidity with respect to an axial load becomes high and generation | occurrence | production of a vibration can be suppressed.

ここで、駆動軸7は、ボールねじ機構8を構成するねじ軸15と一体に構成され、駆動軸7の左端部に、リンク部材(図示せず)に連結するための孔7aが形成されると共に、第1のハウジング2aに駆動軸7を収容する円筒状の袋孔2cが形成され、駆動軸7の外周は、第1のハウジング2aに対してブッシュ11により摺動可能に支持されている。また、ブッシュ11に隣接してシール部材12が装着され、駆動軸7と第1のハウジング2aとの間が密封され、外部から塵埃等が侵入するのを防止している。   Here, the drive shaft 7 is configured integrally with a screw shaft 15 constituting the ball screw mechanism 8, and a hole 7 a for connecting to a link member (not shown) is formed at the left end portion of the drive shaft 7. At the same time, a cylindrical bag hole 2c for accommodating the drive shaft 7 is formed in the first housing 2a, and the outer periphery of the drive shaft 7 is slidably supported by the bush 11 with respect to the first housing 2a. . Further, a seal member 12 is mounted adjacent to the bush 11 to seal between the drive shaft 7 and the first housing 2a, thereby preventing dust and the like from entering from the outside.

ねじ軸15の左端部に回り止めピン9が嵌着されている。また、第1のハウジング2aにはサイドカバー13が着脱自在に固定されている。このサイドカバー13の内壁には断面略コの字状で、ねじ軸15(駆動軸7)に対向して軸方向に延びる凹溝14aを有する案内部材14が装着されている。そして、この案内部材14の凹溝14aに回り止めピン9が係合されている。   A detent pin 9 is fitted to the left end portion of the screw shaft 15. A side cover 13 is detachably fixed to the first housing 2a. On the inner wall of the side cover 13, a guide member 14 having a substantially U-shaped cross section and having a groove 14a extending in the axial direction facing the screw shaft 15 (drive shaft 7) is mounted. Then, the detent pin 9 is engaged with the concave groove 14 a of the guide member 14.

図2に拡大して示すように、回り止めピン9にはセンサリンク20が係合されると共に、案内部材14によって軸方向の位置が制限され、駆動軸7のストロークが規制されている。本実施形態では、回り止めピン9はニードル軸受に用いられるニードルころが使用されている。すなわち、SUJ2等の高炭素クロム鋼で形成され、ズブ焼入れにより芯部まで58〜64HRCの範囲に硬化処理されている。したがって、高精度で長期間に亘って耐摩耗性を維持することができる。一方、案内部材14は、冷間圧延鋼板(JIS規格のSPCC系)やS45C等の炭素鋼板からプレス加工にて形成され、高周波焼入れによって表面硬さを40〜50HRCの範囲に硬化処理が施されている。これにより、耐摩耗性が向上し、回り止めピン9が摺動しても長期間に亘って摩耗を抑制することができる。   As shown in an enlarged view in FIG. 2, the sensor link 20 is engaged with the detent pin 9, the axial position is restricted by the guide member 14, and the stroke of the drive shaft 7 is restricted. In this embodiment, the non-rotating pin 9 is a needle roller used for a needle bearing. That is, it is made of high carbon chrome steel such as SUJ2, and is hardened in the range of 58 to 64 HRC up to the core by quenching. Therefore, it is possible to maintain wear resistance with high accuracy over a long period of time. On the other hand, the guide member 14 is formed by press working from a cold rolled steel plate (JIS standard SPCC system) or a carbon steel plate such as S45C, and is subjected to a hardening process in a range of 40 to 50 HRC by induction hardening. ing. As a result, the wear resistance is improved, and wear can be suppressed over a long period of time even if the detent pin 9 slides.

さらに、案内部材14の凹溝14aの表面に潤滑皮膜が形成されている。この潤滑皮膜としては、TiC、TiCN、WC、DLC(Diamond Like Carbon)等を例示することができる。一例として、DLCの製膜方法について説明すれば、このDLCは、その名が示すようにダイヤモンドに似た性質を持つ炭素材料で、炭素原子が規則的な並び方をしていない非結晶(アモルファス)膜からなる。また、これ以外にも、フッ素系樹脂をコーティングしても良い。このように、凹溝14aの表面に潤滑皮膜が形成されることにより、摺動性が向上し、スムーズで確実な回り止め機構を達成することができる。   Further, a lubricating film is formed on the surface of the concave groove 14 a of the guide member 14. As this lubricating film, TiC, TiCN, WC, DLC (Diamond Like Carbon), etc. can be illustrated. As an example, a DLC film forming method will be described. This DLC is a carbon material having properties similar to diamond as the name implies, and is an amorphous material in which carbon atoms are not regularly arranged. It consists of a membrane. In addition to this, a fluorine resin may be coated. Thus, by forming a lubricating film on the surface of the concave groove 14a, the slidability is improved, and a smooth and reliable detent mechanism can be achieved.

なお、案内部材14の材質として、例示した炭素鋼以外に、例えば、炭素量が比較的少ないSCr420やSCM415等の浸炭鋼で形成し、浸炭焼入れによって耐摩耗性を向上させても良い。また、GF(グラス繊維)等の繊維状強化材が10〜40wt%充填されたPA(ポリアミド)66等の熱可塑性の合成樹脂を射出成形によって形成しても良い。これにより、長期間に亘って摺動性と耐摩耗性を向上させることができる。なお、GFの充填量が10wt%未満ではその補強効果が発揮されず、また、40wt%を超えて充填されると、成形品内の繊維が異方性を引き起こして密度が大きくなって寸法安定性が低下すると共に、靭性が低下し、回り止めピン9の当接によって割損する恐れがあるため好ましくない。なお、繊維状強化材としては、GFに限らず、これ以外に、CF(炭素繊維)やアラミド繊維、ホウ素繊維等を例示することができる。   In addition to the exemplified carbon steel, for example, the guide member 14 may be formed of carburized steel such as SCr420 or SCM415 having a relatively small amount of carbon, and the wear resistance may be improved by carburizing and quenching. Alternatively, a thermoplastic synthetic resin such as PA (polyamide) 66 filled with 10 to 40 wt% of a fibrous reinforcing material such as GF (glass fiber) may be formed by injection molding. Thereby, slidability and abrasion resistance can be improved over a long period of time. Note that if the GF filling amount is less than 10 wt%, the reinforcing effect is not exhibited, and if the filling amount exceeds 40 wt%, the fibers in the molded product cause anisotropy and the density increases and the dimension is stabilized. This is not preferable because the toughness is lowered and the toughness is lowered and there is a risk of breakage due to the contact of the detent pin 9. In addition, as a fibrous reinforcement, not only GF but CF (carbon fiber), an aramid fiber, a boron fiber, etc. can be illustrated other than this.

なお、案内部材14の材質は、前述したPA以外にも、PPA(ポリフタルアミド)、PBT(ポリブチレンテレフタレート)等の所謂エンジニアリングプラスチックと呼称される熱可塑性の合成樹脂やポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリエーテルエーテルケトン (PEEK)、ポリアミドイミド(PAI) 等の所謂スーパーエンジニアリングプラスチックと呼称される熱可塑性の合成樹脂、あるいは、フェノール樹脂(PF)、エポキシ樹脂(EP)、ポリイミド樹脂(PI)等の熱硬化性の合成樹脂であっても良い。   In addition to the PA described above, the material of the guide member 14 may be a thermoplastic synthetic resin called so-called engineering plastic such as PPA (polyphthalamide) or PBT (polybutylene terephthalate), polyphenylene sulfide (PPS), Thermoplastic synthetic resins called super engineering plastics such as polyetheretherketone (PEEK) and polyamideimide (PAI), or phenolic resin (PF), epoxy resin (EP), polyimide resin (PI), etc. A thermosetting synthetic resin may be used.

センサピン21は、図3に示すように、第1のハウジング2aにブッシュ22を介して回転自在に挿入され、このセンサピン21の端部に磁石23が取り付けられている。そして、この磁石23に所定のエアギャップを介してセンサ24が対峙するように配設されている。具体的には、磁石23の中心とセンサ24の中心が一致するように配置され、センサ24からのセンサ電源用および出力用のハーネス25が延び、外部に配設された制御装置(図示せず)に接続されている。センサ24からの出力はアナログ電圧とデジタル信号の両方が得られるものであれば、システムに応じてデジタル信号とアナログ信号が選択できるため望ましい。   As shown in FIG. 3, the sensor pin 21 is rotatably inserted into the first housing 2 a via a bush 22, and a magnet 23 is attached to the end of the sensor pin 21. And the sensor 24 is arrange | positioned so that this magnet 23 may oppose through a predetermined air gap. More specifically, a control device (not shown) is arranged so that the center of the magnet 23 and the center of the sensor 24 are aligned, the sensor power supply harness 25 and the output harness 25 extend from the sensor 24, and are arranged outside. )It is connected to the. The output from the sensor 24 is desirable as long as both an analog voltage and a digital signal can be obtained because a digital signal and an analog signal can be selected according to the system.

センサ24は非接触式のホールICで構成されていても良いが、ここでは、耐震性に優れ、磁気センサと信号処理回路とが集積されて絶対角度を検出でき、ホールIC機能が半導体の回路パターンとして組み込まれた半導体センサが採用されている。これにより、自動車等の車両の厳しい使用条件における振動等が生じても長期間に亘って安定した検出精度を確保することができ、信頼性を向上させることができる。   The sensor 24 may be composed of a non-contact type Hall IC. However, in this case, the sensor 24 is excellent in earthquake resistance, can detect an absolute angle by integrating a magnetic sensor and a signal processing circuit, and the Hall IC function is a semiconductor circuit. A semiconductor sensor incorporated as a pattern is employed. As a result, even if vibration or the like under severe use conditions of a vehicle such as an automobile occurs, stable detection accuracy can be ensured over a long period of time, and reliability can be improved.

次に、図1を用いて、本発明に係る電動アクチュエータの作動を説明する。電動モータ3が駆動されると、減速機構6を介してボールねじ機構8のナット16に減速して伝達され、ねじ軸15が軸方向に直線運動をする。そして、このねじ軸16と同軸上に一体に形成された駆動軸7の直線運動に連動される。この駆動軸7の直動運動に伴い、センサリンク21が揺動して直動範囲を規制する。この時、センサピン21が所定の検出角の範囲で回転する。すなわち、駆動軸7の直動範囲の任意の位置で、センサ24で検出角を計測することによって駆動軸7の位置を直接検出することができる。   Next, the operation of the electric actuator according to the present invention will be described with reference to FIG. When the electric motor 3 is driven, the electric motor 3 is decelerated and transmitted to the nut 16 of the ball screw mechanism 8 through the speed reduction mechanism 6, and the screw shaft 15 linearly moves in the axial direction. And it is interlocked with the linear motion of the drive shaft 7 formed integrally with the screw shaft 16 on the same axis. With the linear motion of the drive shaft 7, the sensor link 21 swings to restrict the linear motion range. At this time, the sensor pin 21 rotates within a predetermined detection angle range. That is, the position of the drive shaft 7 can be directly detected by measuring the detection angle with the sensor 24 at an arbitrary position in the linear motion range of the drive shaft 7.

ここで、センサリンク20は、図3、4に示すように、センサピン21に固定され、このセンサピン21を枢軸として揺動運動する振り子機構を構成している。センサリンク20はバー形状に形成され、この側面に回り止めピン9に当接することによって駆動軸7の回転を阻止し、駆動軸7の軸方向の移動を妨げないように振り子運動が可能となっている。さらに、本実施形態では、センサリンク20とハウジング2aに、それぞれ係止部20a、20bが突設され、この係止部20a、20bに引張コイルばね26が張架されている。すなわち、図5に示すように、センサリンク20の揺動角によって回り止めピン9の当接位置が逐次変化してセンサリンク20の振り子運動を許容し、予め設定された所望のストロークLの範囲で駆動軸7が軸方向運動することができる。   Here, as shown in FIGS. 3 and 4, the sensor link 20 is fixed to a sensor pin 21 and constitutes a pendulum mechanism that swings around the sensor pin 21 as a pivot. The sensor link 20 is formed in a bar shape, and the rotation of the drive shaft 7 is prevented by coming into contact with the detent pin 9 on this side surface, and the pendulum movement can be performed so as not to prevent the movement of the drive shaft 7 in the axial direction. ing. Further, in the present embodiment, locking portions 20a and 20b are provided to project from the sensor link 20 and the housing 2a, respectively, and a tension coil spring 26 is stretched over the locking portions 20a and 20b. That is, as shown in FIG. 5, the contact position of the rotation-preventing pin 9 is sequentially changed according to the swing angle of the sensor link 20 to allow the pendulum movement of the sensor link 20, and a predetermined range of a desired stroke L Thus, the drive shaft 7 can move in the axial direction.

このように、本実施形態では、センサリンク20の揺動角をセンサ24で計測することによって駆動軸7の位置を直接検出すると共に、このセンサリンク20を駆動軸7に嵌着した回り止めピン9に、引張コイルばね26によって所定の予圧が付与された状態で当接させ、案内部材14によってこの回り止めピン9の軸方向の位置が制限され、駆動軸7のストロークを規制するようにしているので、効果的にスペースを活用することができ、部品点数を削減して低コスト化を図ると共に、回り止め機構を簡素化し、センサ24の検出精度を高めて信頼性を向上させた電動アクチュエータを提供することができる。   As described above, in this embodiment, the position of the drive shaft 7 is directly detected by measuring the swing angle of the sensor link 20 with the sensor 24, and the rotation prevention pin that is fitted to the drive shaft 7. 9 with a predetermined preload applied by the tension coil spring 26, the axial position of the detent pin 9 is restricted by the guide member 14, and the stroke of the drive shaft 7 is restricted. Therefore, it is possible to effectively use the space, reduce the number of parts and reduce the cost, simplify the rotation prevention mechanism, increase the detection accuracy of the sensor 24, and improve the reliability. Can be provided.

図6には、前述した図4の変形例を示す。この実施形態は、前述した実施形態と、基本的には予圧を付与するばねが異なるだけで、その他同一の部品同一部位あるいは同様の機能を有する部品や部位には同じ符合を付して詳細な説明を省略する。   FIG. 6 shows a modification of FIG. 4 described above. This embodiment is different from the above-described embodiment basically only in the spring for applying the preload, and the same reference numerals are given to the same parts or parts having the same functions or parts having the same functions. Description is omitted.

センサリンク20は、センサピン21を枢軸として揺動可能に配設されている。このセンサリンク20はバー形状に形成され、この側面に回り止めピン9に当接することによって駆動軸7の回転を阻止し、駆動軸7の軸方向の移動を妨げないように振り子運動が可能となっている。さらに、センサピン21に捩りばね27が装着され、この捩りばね27の一端27aがセンサリンク20の係止部20aに当接されると共に、捩りばね27の他端27bがハウジング2aの係止部20bに当接され、センサリンク20が回り止めピン9に所定の押圧力(図中矢印にて示す)でもって当接するように予圧が付与されている。すなわち、図7に示すように、センサリンク20の揺動角によって回り止めピン9の当接位置が逐次変化してセンサリンク20の振り子運動を許容し、予め設定された所望のストロークLの範囲で駆動軸7が軸方向運動することができる。   The sensor link 20 is disposed so as to be swingable about the sensor pin 21 as a pivot. The sensor link 20 is formed in a bar shape, and the rotation of the drive shaft 7 is prevented by coming into contact with the detent pin 9 on the side surface, and the pendulum movement can be performed so as not to prevent the movement of the drive shaft 7 in the axial direction. It has become. Further, a torsion spring 27 is attached to the sensor pin 21, one end 27a of the torsion spring 27 is brought into contact with the locking portion 20a of the sensor link 20, and the other end 27b of the torsion spring 27 is locked to the locking portion 20b of the housing 2a. The preload is applied so that the sensor link 20 abuts against the rotation prevention pin 9 with a predetermined pressing force (indicated by an arrow in the figure). That is, as shown in FIG. 7, the contact position of the detent pin 9 is sequentially changed according to the swing angle of the sensor link 20 to allow the pendulum movement of the sensor link 20, and the range of the desired stroke L set in advance. Thus, the drive shaft 7 can move in the axial direction.

このように、本実施形態では、センサリンク20の揺動角をセンサ24で計測することによって駆動軸7の位置を直接検出すると共に、このセンサリンク20を駆動軸7に嵌着した回り止めピン9に、捩りばね27によって所定の予圧が付与された状態で当接させ、案内部材14によってこの回り止めピン9の軸方向の位置が制限され、駆動軸7のストロークを規制するようにしている。   As described above, in this embodiment, the position of the drive shaft 7 is directly detected by measuring the swing angle of the sensor link 20 with the sensor 24, and the rotation prevention pin that is fitted to the drive shaft 7. 9 is abutted against the torsion spring 27 in a state where a predetermined preload is applied, and the axial position of the detent pin 9 is restricted by the guide member 14 to restrict the stroke of the drive shaft 7. .

図8には、前述した図6の変形例を示す。この実施形態は、前述した実施形態と、基本的にはセンサリンクの構成が異なるだけで、その他同一の部品同一部位あるいは同様の機能を有する部品や部位には同じ符合を付して詳細な説明を省略する。   FIG. 8 shows a modification of FIG. 6 described above. This embodiment is basically different from the above-described embodiment only in the configuration of the sensor link, and other detailed description is given with the same reference numerals for the same parts or parts having the same functions. Is omitted.

このセンサリンク28は、センサピン21を枢軸として揺動可能に配設された第1のリンク29と、この第1のリンク29に支点ピン31を介して屈曲自在に配設され、一端部に固定ピン9が係合された第2のリンク30とで構成されている。この第1のリンク29、第2のリンク30はバー形状に形成され、支点ピン31に捩りばね27が装着され、この捩りばね27の一端27aが第1のリンク29の係止部29aに当接されると共に、捩りばね27の他端27bが第2のリンク30の係止部30aに当接され、センサリンク28が回り止めピン9に所定の押圧力でもって係止するように予圧が付与されている。すなわち、図9に示すように、センサリンク20の揺動角によって回り止めピン9の位置が逐次変化してセンサリンク28の振り子運動を許容し、予め設定された所望のストロークLの範囲で駆動軸7がガタなく軸方向運動することができる。   The sensor link 28 is disposed so as to be swingable about the sensor pin 21 as a pivot, and is flexibly disposed on the first link 29 via a fulcrum pin 31 and fixed to one end. The second link 30 is engaged with the pin 9. The first link 29 and the second link 30 are formed in a bar shape, and a torsion spring 27 is attached to the fulcrum pin 31, and one end 27 a of the torsion spring 27 contacts the locking portion 29 a of the first link 29. At the same time, the other end 27b of the torsion spring 27 is brought into contact with the locking portion 30a of the second link 30, and the preload is applied so that the sensor link 28 is locked to the rotation prevention pin 9 with a predetermined pressing force. Has been granted. That is, as shown in FIG. 9, the position of the detent pin 9 is sequentially changed by the swing angle of the sensor link 20 to allow the pendulum movement of the sensor link 28, and is driven within a predetermined desired stroke L range. The shaft 7 can move in the axial direction without play.

図10に、前述した図4の他の変形例を示す。この実施形態は、前述した実施形態と、基本的にはセンサリンクの構成が異なるだけで、その他同一の部品同一部位あるいは同様の機能を有する部品や部位には同じ符合を付して詳細な説明を省略する。   FIG. 10 shows another modification of FIG. 4 described above. This embodiment is basically different from the above-described embodiment only in the configuration of the sensor link, and other detailed description is given with the same reference numerals for the same parts or parts having the same functions. Is omitted.

センサリンク32は、長手方向にスリット32aが形成されると共に、センサピン21に固定され、振り子機構を構成している。このセンサリンク32のスリット32aに回り止めピン9が係合することによって駆動軸7の回転を阻止し、駆動軸7の軸方向の移動を妨げないように振り子運動が可能となっている。そして、センサリンク32とハウジング2aに、それぞれ係止部20a、20bが突設され、この係止部20a、20bに引張コイルばね26が張架されている。すなわち、図11に示すように、センサリンク32のスリット32a内に回り止めピン9が係合し、センサリンク32の揺動角によって回り止めピン9の係合位置が逐次変化し、センサリンク32の振り子運動を許容して予め設定された所望のストロークLの範囲で駆動軸7がガタなく軸方向運動することができる。   The sensor link 32 is formed with a slit 32a in the longitudinal direction and is fixed to the sensor pin 21 to constitute a pendulum mechanism. The rotation stop pin 9 engages with the slit 32a of the sensor link 32 to prevent the drive shaft 7 from rotating, and the pendulum movement can be performed so as not to prevent the drive shaft 7 from moving in the axial direction. The sensor link 32 and the housing 2a are respectively provided with locking portions 20a and 20b, and a tension coil spring 26 is stretched around the locking portions 20a and 20b. That is, as shown in FIG. 11, the rotation prevention pin 9 is engaged in the slit 32 a of the sensor link 32, and the engagement position of the rotation prevention pin 9 is sequentially changed by the swing angle of the sensor link 32, and the sensor link 32. The drive shaft 7 can move in the axial direction without play in a desired stroke L range that allows the pendulum movement.

図12に、前述した図10の変形例を示す。この実施形態は、前述した実施形態と、基本的には予圧用のばねの構成が異なるだけで、その他同一の部品同一部位あるいは同様の機能を有する部品や部位には同じ符合を付して詳細な説明を省略する。   FIG. 12 shows a modification of FIG. 10 described above. This embodiment basically differs from the above-described embodiment only in the configuration of the spring for preloading, and the same parts or parts having the same functions or parts having the same functions are denoted by the same reference numerals. The detailed explanation is omitted.

センサリンク32は、長手方向にスリット32aが形成されると共に、センサピン21に固定され、振り子機構を構成している。このセンサリンク32のスリット32aに回り止めピン9に係合することによって駆動軸7の回転を阻止し、駆動軸7の軸方向の移動を妨げないように振り子運動が可能となっている。そして、センサリンク32とハウジング2aに、それぞれ係止部20a、20bが突設され、この係止部20a、20bに捩りばね27がの端部27a、27bがそれぞれ当接されている。すなわち、図13に示すように、センサリンク32のスリット32a内に回り止めピン9が係合し、センサリンク32の揺動角によって回り止めピン9の係合位置が逐次変化し、センサリンク32の振り子運動を許容して予め設定された所望のストロークLの範囲で駆動軸7がガタなく軸方向運動することができる。   The sensor link 32 is formed with a slit 32a in the longitudinal direction and is fixed to the sensor pin 21 to constitute a pendulum mechanism. The rotation of the drive shaft 7 is prevented by engaging the slit 32a of the sensor link 32 with the anti-rotation pin 9, and the pendulum movement is possible so as not to prevent the movement of the drive shaft 7 in the axial direction. The sensor link 32 and the housing 2a are respectively provided with locking portions 20a and 20b. Ends 27a and 27b of the torsion spring 27 are in contact with the locking portions 20a and 20b, respectively. That is, as shown in FIG. 13, the rotation prevention pin 9 is engaged in the slit 32 a of the sensor link 32, and the engagement position of the rotation prevention pin 9 is sequentially changed by the swing angle of the sensor link 32, and the sensor link 32. The drive shaft 7 can move in the axial direction without play in a desired stroke L range that allows the pendulum movement.

図14に、前述した図10の変形例を示す。この実施形態は、前述した実施形態と、基本的にはセンサリンクの構成が異なるだけで、その他同一の部品同一部位あるいは同様の機能を有する部品や部位には同じ符合を付して詳細な説明を省略する。   FIG. 14 shows a modification of FIG. 10 described above. This embodiment is basically different from the above-described embodiment only in the configuration of the sensor link, and other detailed description is given with the same reference numerals for the same parts or parts having the same functions. Is omitted.

センサリンク33は、長手方向に長穴33aが形成されると共に、センサピン21に固定され、振り子機構を構成している。このセンサリンク33の長穴33aに回り止めピン9が係合することによって駆動軸7の回転を阻止し、駆動軸7の軸方向の移動を妨げないように振り子運動が可能となっている。そして、センサリンク33とハウジング2aに、それぞれ係止部20a、20bが突設され、この係止部20a、20bに引張コイルばね26が張架されている。すなわち、図15に示すように、センサリンク33の長穴33a内に回り止めピン9が係合し、センサリンク33の揺動角によって回り止めピン9の係合位置が逐次変化し、センサリンク33の振り子運動を許容して予め設定された所望のストロークLの範囲で駆動軸7がガタなく軸方向運動することができる。   The sensor link 33 has a long hole 33a formed in the longitudinal direction and is fixed to the sensor pin 21 to constitute a pendulum mechanism. The rotation stop pin 9 engages with the elongated hole 33a of the sensor link 33 to prevent the drive shaft 7 from rotating, and the pendulum movement can be performed so as not to prevent the drive shaft 7 from moving in the axial direction. The sensor link 33 and the housing 2a are respectively provided with locking portions 20a and 20b, and a tension coil spring 26 is stretched over the locking portions 20a and 20b. That is, as shown in FIG. 15, the rotation prevention pin 9 is engaged in the elongated hole 33 a of the sensor link 33, and the engagement position of the rotation prevention pin 9 is sequentially changed by the swing angle of the sensor link 33. The drive shaft 7 can move in the axial direction without play within a desired stroke range L that allows 33 pendulum movements.

図16に、前述した図12の変形例を示す。この実施形態は、前述した実施形態と、基本的にはセンサリンクの構成が異なるだけで、その他同一の部品同一部位あるいは同様の機能を有する部品や部位には同じ符合を付して詳細な説明を省略する。   FIG. 16 shows a modification of FIG. 12 described above. This embodiment is basically different from the above-described embodiment only in the configuration of the sensor link, and other detailed description is given with the same reference numerals for the same parts or parts having the same functions. Is omitted.

センサリンク33は、長手方向に長穴33aが形成されると共に、センサピン21に固定され、振り子機構を構成している。このセンサリンク33の長穴33aに回り止めピン9が係合することによって駆動軸7の回転を阻止し、駆動軸7の軸方向の移動を妨げないように振り子運動が可能となっている。そして、センサリンク33とハウジング2aに、それぞれ係止部20a、20bが突設され、この係止部20a、20bに捩りばね27の端部27a、27bがそれぞれ当接されている。すなわち、図17に示すように、センサリンク33の長穴33a内に回り止めピン9が係合し、センサリンク33の揺動角によって回り止めピン9の係合位置が逐次変化し、センサリンク33の振り子運動を許容して予め設定された所望のストロークLの範囲で駆動軸7がガタなく軸方向運動することができる。   The sensor link 33 has a long hole 33a formed in the longitudinal direction and is fixed to the sensor pin 21 to constitute a pendulum mechanism. The rotation stop pin 9 engages with the elongated hole 33a of the sensor link 33 to prevent the drive shaft 7 from rotating, and the pendulum movement can be performed so as not to prevent the drive shaft 7 from moving in the axial direction. The sensor link 33 and the housing 2a are respectively provided with locking portions 20a and 20b, and the end portions 27a and 27b of the torsion spring 27 are in contact with the locking portions 20a and 20b, respectively. That is, as shown in FIG. 17, the rotation prevention pin 9 is engaged in the elongated hole 33 a of the sensor link 33, and the engagement position of the rotation prevention pin 9 is sequentially changed according to the swing angle of the sensor link 33. The drive shaft 7 can move in the axial direction without play within a desired stroke range L that allows 33 pendulum movements.

以上、本発明の実施の形態について説明を行ったが、本発明はこうした実施の形態に何等限定されるものではなく、あくまで例示であって、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。   The embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to such an embodiment, and is merely an example, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. Of course, the scope of the present invention is indicated by the description of the scope of claims, and further, the equivalent meanings described in the scope of claims and all modifications within the scope of the scope of the present invention are included. Including.

本発明に係る電動アクチュエータは、一般産業用の電動機、自動車等の駆動部に使用され、電動モータからの回転入力をボールねじ機構を介して駆動軸の直線運動に変換するボールねじ機構を備えた電動アクチュエータに適用できる。   An electric actuator according to the present invention is used in a drive unit of a general industrial electric motor, an automobile or the like, and includes a ball screw mechanism that converts rotational input from an electric motor into linear motion of a drive shaft via the ball screw mechanism. Applicable to electric actuators.

1 電動アクチュエータ
2 ハウジング
2a 第1のハウジング
2b 第2のハウジング
2c 袋孔
3 電動モータ
3a モータ軸
4 小平歯車
5 大平歯車
6 減速機構
7 駆動軸
7a 孔
8 ボールねじ機構
9 回り止めピン
10 軸受ブラケット
11、22 ブッシュ
12 シール部材
13 サイドカバー
14 案内部材
14a 凹溝
15 ねじ軸
15a、16a ねじ溝
16 ナット
17 ボール
18 玉軸受
19 止め輪
20、28、32、33 センサリンク
20a、20b、29a、30a 係止部
21 センサピン
23 磁石
24 センサ
25 ハーネス
26 引張コイルばね
27 捩りばね
27a 捩りばねの一端
27b 捩りばねの他端
29 第1のリンク
30 第2のリンク
31 支点ピン
32a スリット
33a 長穴
51 ハウジング
51a 本体
51b 蓋部材
51c 凹部
52 出力軸
52a 袋孔
53 ナット
53a、56a ねじ溝
53b 溝
54 ブッシュ
54a 切欠き
55 シール部材
56 ねじ軸
57 ボール
58 軸受間座
59 玉軸受
60 固定部材
61 止め輪
62 ギヤ
63 案内部材
63a 案内部
63b 係合部
L 駆動軸のストローク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electric actuator 2 Housing 2a 1st housing 2b 2nd housing 2c Bag hole 3 Electric motor 3a Motor shaft 4 Small spur gear 5 Large spur gear 6 Reduction mechanism 7 Drive shaft 7a Hole 8 Ball screw mechanism 9 Non-rotating pin 10 Bearing bracket 11 , 22 Bush 12 Seal member 13 Side cover 14 Guide member 14a Groove 15 Screw shaft 15a, 16a Screw groove 16 Nut 17 Ball 18 Ball bearing 19 Retaining ring 20, 28, 32, 33 Sensor link 20a, 20b, 29a, 30a Stop portion 21 Sensor pin 23 Magnet 24 Sensor 25 Harness 26 Tension coil spring 27 Torsion spring 27a Torsion spring one end 27b Torsion spring other end 29 First link 30 Second link 31 fulcrum pin 32a Slit 33a Long hole 51 Housing 51a Main body 51b Lid member 51c Recess 5 Output shaft 52a Bag hole 53 Nut 53a, 56a Screw groove 53b Groove 54 Bush 54a Notch 55 Seal member 56 Screw shaft 57 Ball 58 Bearing spacer 59 Ball bearing 60 Fixing member 61 Retaining ring 62 Gear 63 Guide member 63a Guide part 63b Engagement Joint L Drive shaft stroke

Claims (13)

円筒状のハウジングと、
このハウジングに取り付けられた電動モータと、
この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、
この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構とを備え、
このボールねじ機構が、前記減速機構に連結され、前記ハウジングに装着された転がり軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持されたナットと、
このナットに多数のボールを介して内挿され、前記駆動軸と同軸状に一体化されたねじ軸とで構成された電動アクチュエータにおいて、
前記ハウジングに前記駆動軸を収容する円筒状の袋孔が形成され、この袋孔にセンサカバーが着脱自在に固定され、このサイドカバーの内壁に断面略コの字状で、前記駆動軸に対向して軸方向に延びる凹溝を有する案内部材が装着され、この案内部材に前記ねじ軸の外径に植設された回り止めピンが係合されて前記ねじ軸が前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されると共に、
前記ハウジングにセンサピンが回転自在に挿入され、このセンサピンの端部に磁石が取り付けられ、この磁石に所定のエアギャップを介してセンサが対峙されると共に、
前記センサピンにセンサリンクが取り付けられて前記回り止めピンに所定の予圧が付与された状態で係合され、前記センサリンクの揺動角によって前記回り止めピンの位置が逐次変化して当該センサリンクの振り子運動を許容し、予め設定されたストロークの範囲で前記駆動軸がガタなく軸方向運動することを特徴とする電動アクチュエータ。
A cylindrical housing;
An electric motor attached to the housing;
A speed reduction mechanism for transmitting the rotational force of the electric motor via the motor shaft;
A ball screw mechanism that converts the rotational motion of the electric motor to linear motion in the axial direction of the drive shaft via the speed reduction mechanism;
The ball screw mechanism is connected to the speed reduction mechanism, and is supported via a rolling bearing attached to the housing so that the ball screw mechanism can rotate and cannot move in the axial direction.
In the electric actuator composed of a screw shaft that is inserted into this nut via a large number of balls and is coaxially integrated with the drive shaft,
A cylindrical bag hole for accommodating the drive shaft is formed in the housing, a sensor cover is detachably fixed to the bag hole, and the inner wall of the side cover has a substantially U-shaped cross section and faces the drive shaft. Then, a guide member having a concave groove extending in the axial direction is mounted, and a detent pin implanted on the outer diameter of the screw shaft is engaged with the guide member so that the screw shaft cannot rotate with respect to the housing. And supported so as to be axially movable,
A sensor pin is rotatably inserted into the housing, a magnet is attached to the end of the sensor pin, and the sensor is opposed to the magnet through a predetermined air gap.
A sensor link is attached to the sensor pin and engaged with a predetermined preload applied to the detent pin, and the position of the detent pin is sequentially changed according to the swing angle of the sensor link. allowing a pendulum motion, the electric actuator said drive shaft within a range of the stroke set in advance is characterized that you axial movement without backlash.
前記センサリンクとハウジングにそれぞれ係止部が突設され、この係止部に引張コイルばねが張架され、前記センサリンクが前記回り止めピンに所定の押圧力でもって当接するように予圧が付与されている請求項1に記載の電動アクチュエータ。   The sensor link and the housing are each provided with a locking portion, and a tension coil spring is stretched over the locking portion, and a preload is applied so that the sensor link comes into contact with the detent pin with a predetermined pressing force. The electric actuator according to claim 1. 前記センサピンに捩りばねが装着され、この捩りばねの一端が前記センサリンクの突設された係止部に当接されると共に、前記捩りばねの他端が前記ハウジングに突設された係止部に当接され、当該センサリンクが前記回り止めピンに所定の押圧力でもって当接するように予圧が付与されている請求項1に記載の電動アクチュエータ。   A torsion spring is mounted on the sensor pin, and one end of the torsion spring is brought into contact with a protruding protrusion of the sensor link, and the other end of the torsion spring is protruded from the housing. The electric actuator according to claim 1, wherein a preload is applied so that the sensor link comes into contact with the detent pin with a predetermined pressing force. 前記センサリンクの長手方向にスリットが形成され、このスリットに前記回り止めピンが係合されている請求項1乃至3いずれかに記載の電動アクチュエータ。   The electric actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein a slit is formed in a longitudinal direction of the sensor link, and the rotation stopper pin is engaged with the slit. 前記センサリンクの長手方向に長穴が形成され、この長穴に前記回り止めピンが係合されている請求項1乃至3いずれかに記載の電動アクチュエータ。   The electric actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein an elongated hole is formed in a longitudinal direction of the sensor link, and the detent pin is engaged with the elongated hole. 前記センサリンクが、前記センサピンを枢軸として揺動可能に配設された第1のリンクと、この第1のリンクに支点ピンを介して屈曲自在に配設され、一端部に前記固定ピンが係合された第2のリンクとで構成されている請求項1乃至3いずれかに記載の電動アクチュエータ。   The sensor link is disposed so as to be swingable about the sensor pin as a pivot, and is flexibly disposed on the first link via a fulcrum pin, and the fixing pin is engaged with one end portion. The electric actuator according to any one of claims 1 to 3, comprising a combined second link. 前記回り止めピンにニードル軸受に用いられるニードルころが使用されている請求項1乃至6いずれかに記載の電動アクチュエータ。   The electric actuator according to any one of claims 1 to 6, wherein a needle roller used for a needle bearing is used for the detent pin. 前記案内部材の凹溝によって前記回り止めピンの軸方向の位置が制限され、前記駆動軸のストロークが規制されている請求項1に記載の電動アクチュエータ。   The electric actuator according to claim 1, wherein a position of the detent pin in an axial direction is restricted by a concave groove of the guide member, and a stroke of the drive shaft is restricted. 前記案内部材が炭素鋼板からプレス加工にて形成され、高周波焼入れによって表面硬さを40〜50HRCの範囲に硬化処理が施されている請求項1または8に記載の電動アクチュエータ。   The electric actuator according to claim 1 or 8, wherein the guide member is formed from a carbon steel plate by press working, and has a surface hardness of 40 to 50 HRC by induction hardening. 前記案内部材が浸炭鋼で形成され、浸炭焼入れによって表面硬さを40〜50HRCの範囲に硬化処理が施されている請求項1または8に記載の電動アクチュエータ。   The electric actuator according to claim 1 or 8, wherein the guide member is formed of carburized steel and has a surface hardness of 40 to 50 HRC by carburizing and quenching. 前記案内部材の凹溝の表面に潤滑皮膜が形成されている請求項1または8に記載の電動アクチュエータ。   The electric actuator according to claim 1, wherein a lubricating film is formed on a surface of the concave groove of the guide member. 前記案内部材が繊維状強化材が充填された熱可塑性の合成樹脂から射出成形によって形成されている請求項1または8に記載の電動アクチュエータ。   The electric actuator according to claim 1 or 8, wherein the guide member is formed by injection molding from a thermoplastic synthetic resin filled with a fibrous reinforcing material. 前記センサが非接触式の半導体センサである請求項1に記載の電動アクチュエータ。   The electric actuator according to claim 1, wherein the sensor is a non-contact type semiconductor sensor.
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