JP5705860B2 - 真空ポンプ用潤滑剤組成物 - Google Patents

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Description

関連出願の相互参照
本願は、2009年10月6日出願の欧州特許出願公開第09172280.1号に基づく優先権を主張する。当該欧州特許出願の全内容は、全ての目的に関して、参照することによって本明細書に組み込まれる。
本発明は、(ペル)フルオロポリエーテル潤滑剤組成物、および真空ポンプを潤滑するためのそれらの使用に関する。
フルオロポリエーテル潤滑剤は、高度に要求の多い用途で、例えば、半導体産業で、真空ポンプに使用されることが当該技術で知られており、特に、反応性であり、かつ有害な気体を取り扱うコンプレッサーおよびポンプを潤滑するために、典型的に、回転ポンプ、ターボ分子ポンプ、ルーツポンプおよび拡散ポンプに使用されている。
実際に、高真空および超高真空用途で使用されるフルオロポリエーテル潤滑剤に対する主な必要条件としては、金属の存在下での高い熱酸化安定性、低い蒸発による重量損失および高い潤滑性能が挙げられる。
真空ポンプを潤滑して、通常、操作時の可動金属部品間での摩擦によって生じる熱によって揮発性油フラクションが真空チャンバーへと逆行することを一般に低減させるために、揮発性のフラクションが実質的にないフルオロポリエーテル油が典型的に使用される。
したがって、2000年5月3日出願の(特許文献1)(AUSIMONT S.P.A.)は、多くとも0.1重量%の1500以下の分子量を示すフラクションと、多くとも1.3重量%の1800以下の分子量を示すフラクションを有するペルフルオロポリエーテルの真空ポンプでの使用を開示している。前記ペルフルオロポリエーテルは、典型的に、20℃で約140cSt〜約270cStの範囲の粘度を有し、そして好ましくは、式CF(OCF(CF)CF(OCFOCF(式中、m/nは1000以上である)およびF(CFCF(CF)O)CFCFを有する分枝状ペルフルオロポリエーテルに対応する。
それにもかかわらず、従来技術のフルオロポリエーテル油、特に、直鎖状フルオロポリエーテル油は、一般に、高真空および超高真空ポンプで潤滑剤として有利に使用するには、金属の存在下での熱酸化安定性が低いという難点がある。
2005年10月5日出願の(特許文献2)(SOLVAY SOLEXIS S.P.A.)には、2〜20に含まれる−CFCFO−/−CFO−の比率で、ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って統計学的に分布している−CFCFO−および−CFO−繰り返し単位を含んでなる直鎖状ペルフルオロポリエーテル油が開示されている。これは、既知の直鎖状ペルフルオロポリエーテル油と比較して、高い粘度指数および低い流動点値を保持しながら、典型的に0.1〜10に含まれるより低い−CFCFO−/−CFO−比を有する既知の直鎖状ペルフルオロポリエーテル油に対して、金属の存在下での改善された熱酸化安定性を示す。新規直鎖状ペルフルオロポリエーテル油の安定性は、潤滑剤として使用される場合、例えば、ホスフィン、ホスフェート、ホスファゼン、ベンゾチアゾール、トリアジン、アミン、置換アミン、ニトロ誘導体化合物などの官能基を含んでなるペルフルオロポリエーテルをベースとする熱安定剤の添加によって、さらに増加し得る。
欧州特許第0553768B号明細書 欧州特許第1454938B号明細書
したがって、潤滑剤のより長い寿命と、潤滑剤の高い潤滑性能に起因するより少ない消費のため、ポンプのより低い維持費が保証されることによって高真空および超高真空ポンプにおいて首尾よく使用されるように、低い蒸発による重量損失、ならびに適切な運動粘度および耐摩耗、防錆特性に関する高い潤滑性能を保持しながら、金属の存在下で改善された熱酸化安定性を有する(ペル)フルオロポリエーテル潤滑剤を提供する必要があると思われた。
したがって、発明の目的は、
(A)少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R)を含んでなる少なくとも1つの非官能性(ペル)フルオロポリエーテル油(非官能性PFPE油)と、
(B)次式(I)または(II):
Figure 0005705860
を有する1つまたはそれ以上の環式部分を含んでなり、前記環式部分が、1つまたはそれ以上のリン原子に結合して、少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)を含んでなる少なくとも1つの置換基を含んでなる、少なくとも1つの環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]と、
(C)少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)と、少なくとも1つの単環式または多環式芳香環を含んでなる少なくとも1つの官能基とを含んでなり、前記芳香環が、場合により、N、OおよびSから選択される1つまたはそれ以上のヘテロ原子と、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基を含有する、化合物(P)とは異なる少なくとも1つの官能性(ペル)フルオロポリエーテル誘導体(官能性PFPE誘導体)と
を含んでなる潤滑剤組成物である。
本出願人は、驚くべきことに、本発明の潤滑剤組成物が、高真空および超高真空用途に首尾よく使用されるように、低い蒸発による重量損失および高い潤滑性能を保持しながら、金属の存在下で改善された熱酸化安定性を有利に示すことを見出した。
本発明の目的に対して、「(ペル)フルオロポリエーテル」は、完全にフッ素化されたペルフルオロポリエーテルまたは部分的にフッ素化されたフルオロポリエーテルのいずれも意味するように意図される。
本発明の目的に対して、「(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖」は、完全にフッ素化されたペルフルオロポリオキシアルキレン鎖または部分的にフッ素化されたフルオロポリオキシアルキレン鎖のいずれも意味するように意図される。
本発明の非官能性(ペル)フルオロポリエーテル油(非官能性PFPE油)の(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R)は、典型的に、一般式−(CJJ’)−CKK’−O−(式中、JおよびJ’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、フッ素原子またはC〜C(ペル)フルオロ(オキシ)アルキル基を表し、KおよびK’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、水素原子、フッ素原子、塩素原子またはC〜C(ペル)フルオロ(オキシ)アルキル基を表し、そしてjは、0〜3に含まれる整数である)を有する1つまたはそれ以上の繰り返し単位Rを含んでなり、前記繰り返し単位は、(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している。
本発明の非官能性PFPE油は、直鎖状非官能性PFPE油であっても、分枝状非官能性PFPE油であってもよい。
「直鎖状非官能性PFPE油」とは、JおよびJ’が両方ともフッ素原子を表し、そしてKおよびK’が、互いに等しいか、または異なって、独立して、水素原子、フッ素原子または塩素原子を表す、上記で定義された少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R)を含んでなる非官能性PFPE油を意味する。
「分枝状非官能性PFPE油」とは、J、J’、KおよびK’の少なくとも1つが、C〜C(ペル)フルオロ(オキシ)アルキル基を表わす、上記で定義された少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R)を含んでなる非官能性PFPE油を意味する。
本発明による適切な非官能性PFPE油の代表的な例は、特に、以下の通りである。
(1)T−O−(CO)b1’(CFO)b2’−T1’
(式中:
− TおよびT1’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、−CF、−Cおよび−C基から選択され、
− b1’およびb2’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、b1’/b2’の比率が0.1〜5に含まれ、そして(b1’+b2’)の合計が5〜250に含まれるような0以上の整数であり、b1’およびb2’が両方とも0とは異なる場合、異なる繰り返し単位が、ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している)
前記生成物は、1973年2月6日出願の米国特許第3715378号明細書(MONTECATINI EDISON S.P.A.)に報告されたCの光酸化と、1972年5月23日出願の米国特許第3665041号明細書(MONTECATINI EDISON S.P.A.)に記載されたその後のフッ素による処理によって製造することができる。
(2)T−O−(CFO)c1’(CFCFO)c2’(CFCFCFO)c3’(CFCFCFCFO)c4’−T2’
(式中:
− TおよびT2’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、−CF、−C、−C、−C、−CFCl、−CFCFCl基から選択され、
− c1’、c2’、c3’およびc4’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、数平均分子量が700〜100000に含まれるような0以上の整数であり、
− c2’/c1’の比率は2〜20に含まれ、
− (c3’+c4’)/(c1’+c2’+c3’+c4’)の比率は0.05〜0.2に含まれ、
− c1’/(c1’+c2’+c3’+c4’)の比率は0.05〜0.4に含まれ、c1’、c2’、c3’およびc4’の少なくとも2つが0とは異なる場合、異なる繰り返し単位が、ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している)
前記生成物は、2005年10月5日出願の欧州特許第1454938B号明細書(SOLVAY SOLEXIS S.P.A.)に記載されたように製造することができる。
(3)T−O−(CFCFO)d’−T3’
(式中:
− TおよびT3’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、−Cおよび−C基から選択され、
− d’は、5〜250に含まれる整数である)
前記生成物は、1985年6月11日出願の米国特許第4523039号明細書(THE UNIVERSITY OF TEXAS)に報告されたように、例えばフッ素元素で、ポリエチレンオキシドをフッ素化する工程と、場合により、そのようにして得られたフッ素化ポリエチレンオキシドを熱的に断片化する工程とを含んでなる方法によって得ることができる。
(4)T−O−(CFCFC(Hal)O)e1’−(CFCFCHO)e2’−(CFCFCH(Hal)O)e3’−T1’
(式中:
− TおよびT1’は、互いに等しいか、または異なって、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− Halは、それぞれ、等しいか、または異なって、フッ素および塩素原子から選択されるハロゲン、好ましくはフッ素原子であり、
− e1’、e2’およびe3’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、(e1’+e2’+e3’)の合計が5〜250に含まれるような0以上の整数であり、e1’、e2’およびe3’の少なくとも2つが0とは異なる場合、異なる繰り返し単位が(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している)
前記生成物は、1992年3月25日出願の欧州特許第148482B号明細書(DAIKIN INDUSTRIES LTD.)に詳述されたように、重合開始剤の存在下で2,2,3,3−テトラフルオロオキセタンを開環重合し、式−CHCFCFO−の繰り返し単位を含んでなるポリエーテルを生じさせ、そして場合により、上記ポリエーテルをフッ素化および/または塩素化することによって調製されてもよい。
(5)T−O−[CF(CF)CFO]f1’(CFYO)f2’−T1’
(式中:
− TおよびT1’は、互いに等しいか、または異なって、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− Yは、それぞれ、等しいか、または異なって、フッ素原子または−CF基から選択され、
− f1’およびf2’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、f1’/f2’の比率が20〜1000に含まれ、そして(f1’+f2’)の合計が5〜250に含まれるような0以上の整数であり、f1’およびf2’の両方が0とは異なる場合、異なる繰り返し単位が、ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している)
前記生成物は、1968年6月4日出願のカナダ国特許第786877号明細書(MONTEDISON S.P.A.)に記載されたようなCの光酸化と、1971年3月31日出願の英国特許第1226566号明細書(MONTECATINI EDISON S.P.A.)に記載されたようなその後の末端基の変換とによって得ることができる。
(6)T−O−[CF(CF)CFO]g1’(CO)g2’(CFYO)g3’−T1’
(式中:
− TおよびT1’は、互いに等しいか、または異なって、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− Yは、それぞれ、等しいか、または異なって、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− g1’、g2’およびg3’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、(g1’+g2’+g3’)の合計が5〜250に含まれるような0以上の整数であり、g1’、g2’およびg3’の少なくとも2つが0とは異なる場合、異なる繰り返し単位が、ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している)
前記生成物は、1972年5月23日出願の米国特許第3665041号明細書(MONTECATINI EDISON S.P.A.)に記載されたように、CおよびCの混合物の光酸化と、その後のフッ素による処理とによって製造することができる。
(7)CO−[CF(CF)CFO]h’−T
(式中:
− Tは、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− h’は、5〜250に含まれる整数である)
前記生成物は、1966年3月22日出願の米国特許第3242218号明細書(E.I.DU PONT DE NEMOURS AND CO.)に記載されたように、イオンヘキサフルオロプロピレンエポキシドオリゴマー化と、その後のフッ素による処理とによって調製することができる。
(8){CO−[CF(CF)CFO]i’−CF(CF)−}
(式中:
− i’は、2〜250に含まれる整数である)
前記生成物は、1965年10月26日出願の米国特許第3214478号明細書(E.I.DU PONT DE NEMOURS AND CO.)に報告されたように、ヘキサフルオロプロピレンエポキシドのイオン短鎖重合と、その後の光化学二量体化とによって得ることができる。
(9)R −{C(CF−O−[C(R ]j1’C(R −O}j2’−R
(式中:
− R は、それぞれ、等しいか、または異なって、C〜Cペルフルオロアルキル基であり、
− R は、それぞれ、等しいか、または異なって、フッ素原子およびC〜Cペルフルオロアルキル基から選択され、
− j1’は、1または2に等しく、
− j2’は、5〜250に含まれる整数である)
前記生成物は、1987年1月29日出願の国際公開第87/00538号パンフレット(LAGOWら)に詳述されたように、ヘキサフルオロアセトンと、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、エポキシブタンおよび/またはトリメチレンオキシド(オキセタン)またはそれらの置換誘導体から選択される酸素含有環式コモノマーとの共重合、およびその後の得られたコポリマーのペルフッ素化によって製造することができる。
本発明の目的に適切な好ましい非官能性PFPE油としては、特に、以下が挙げられる。
(i)上記式(2)に対応する非官能性PFPE油であって、式中、
− TおよびT2’が−CF基であり、
− c1’、c2’、c3’およびc4’が、互いに等しいか、または異なって、独立して、数平均分子量が1000〜20000に含まれるような0より大きい整数であり、
− c2’/c1’の比率が2〜5に含まれ、
− (c3’+c4’)/(c1’+c2’+c3’+c4’)の比率が0.07〜0.2に含まれ、
− c1’/(c1’+c2’+c3’+c4’)の比率が0.1〜0.3に含まれ、
異なる繰り返し単位が、ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している非官能性PFPE油。
(ii)商標名FOMBLIN(登録商標)(タイプM、ZまたはY)でSolvay Solexis S.p.A.から商業的に入手可能な非官能性PFPE油であって、次式のいずれかに対応する少なくとも1つの油を一般に含んでなる非官能性PFPE油。
CF−[(OCFCF−(OCF]−OCF
(式中、m+n=40〜180であり、m/n=0.5〜2である)
CF−[(OCF(CF)CF−(OCF]−OCF
(式中、p+q=8〜45であり、p/q=20〜1000である)
(iii)商標名DEMNUM(登録商標)でDaikinから商業的に入手可能な非官能性PFPE油であって、次式に対応する少なくとも1つの油を一般に含んでなる非官能性PFPE油。
F−(CFCFCFO)−(CFCFCHO)−CFCF
(式中、j=0または0より大きい整数であり、n+j=10〜150である)
(iv)商標名KRYTOX(登録商標)でDu Pont de Nemoursから商業的に入手可能な非官能性PFPE油であって、次式に対応する少なくとも1つの低分子量の、フッ素でエンドキャップされた、ヘキサフルオロプロピレンエポキシドのホモポリマーを一般に含んでなる非官能性PFPE油。
F−(CF(CF)CFO)−CFCF
(式中、n=10〜60である)
本発明の目的に適切な、より好ましい非官能性PFPE油としては、特に、上記の式(2)に対応する非官能性PFPE油と、上記の商標名FOMBLIN(登録商標)(タイプM、ZまたはY)でSolvay Solexis S.p.A.から商業的に入手可能な非官能性PFPE油が挙げられる。
2つ以上の上記で定義された非官能性PFPE油の混合物を、本発明の潤滑剤組成物中に使用してもよい。
2つ以上の上記で定義された非官能性PFPE油の好ましい混合物としては、特に、少なくとも1つの上記で定義された直鎖状非官能性PFPE油と、少なくとも1つの上記で定義された分枝状非官能性PFPE油との混合物が挙げられる。少なくとも1つの上記で定義された直鎖状非官能性PFPE油と、少なくとも1つの上記で定義された分枝状非官能性PFPE油との適切な混合物の代表的な例としては、特に、商標名FOMBLIN(登録商標)WでSolvay Solexis S.p.A.から商業的に入手可能なものが挙げられる。
本発明の環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]の(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)は、典型的に、一般式−(CF−CFK−O−(式中、Kは、フッ素原子およびC〜C(ペル)フルオロ(オキシ)アルキル基から選択され、そしてjは、0〜3に含まれる整数である)を有する1つまたはそれ以上の繰り返し単位Rを含んでなり、前記繰り返し単位は、ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している。
本発明の第1の実施形態によると、化合物(P)は、次式(I−A)、(I−Aビス)または(II−A)に対応する。
Figure 0005705860
[式中、
− Rは、式−CFO(CFCFO)p’(CFO)q’CF−(式中、p’およびq’は、鎖の数平均分子量が1000〜2000に含まれ、q’/p’の比率が0.2〜2に含まれるような整数である)を有する1つまたはそれ以上の繰り返し単位を含んでなる(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖であり、
− R’は、式−(CO)(CF(CF)O)−(式中、qおよびrは、鎖の数平均分子量が500〜700に含まれ、q/rの比率が2以上であるような整数である)を有する1つまたはそれ以上の繰り返し単位を含んでなる(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖である]
本発明の第1の実施形態に記載の式(I−A)、(I−Aビス)または(II−A)に対応する化合物(P)は、特に、2003年8月20日出願の欧州特許第1336614A号明細書(SOLVAY SOLEXIS S.P.A.)に開示されている。
本発明の第2の実施形態によると、化合物(P)は、次式(I−B)または(II−B)に対応する。
Figure 0005705860
{式中、
− R’’およびR’’’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、
(i)Yがフッ素原子または−CF基である−CFYO−、
(ii)Yが上記で定義されたものと同じ意味を有する−CFCFYO−、
(iii)−CFCFCFO−、
(iv)−CFCFCFCFO−
から選択される1つまたはそれ以上の繰り返し単位を含んでなる(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖を表わし、
前記繰り返し単位は、(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布しており、
− ZおよびZ’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、式−O[式中、Mは、水素、一価金属、好ましくはアルカリ金属、および式−NR(式中、R、R、R、Rのそれぞれは、独立して、水素原子または場合によりフッ素化されたC〜C12炭化水素基である)を有するアンモニウム基から選択される]の極性基、あるいは式−OM’2+(式中、M’は、二価金属、好ましくはアルカリ土類金属である)の極性基を表わし、
− nは、1〜3に含まれる整数であり、好ましくは1に等しく、
− nZ’は、1〜4に含まれる整数であり、好ましくは1に等しく、
− nは、n+nが6に等しくなるような整数であり、
− nf’は、nZ’+nf’が8に等しくなるような整数である}
本発明の第2の実施形態の化合物(P)は、好ましくは、R’’O−およびR’’’O−が、
(a)T−O−(CFCFO)p’(CFO)q’−J−
[式中、
− Tは、−CF、−CFCF、−CFCFCF、−(CF−CF(T)および−(CF−CF(T)(T)(式中、fは0または1であり、TおよびTは、互いに等しいか、または異なって、独立して、塩素、臭素および水素原子から選択される)から選択され、
− Jは、式−CE’(Y)CEO(CHCHO)s1−および−CE’YO(CHCHO)s2−(式中、EおよびE’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、フッ素原子、水素原子および−CF基から選択され、Eは、好ましくは水素原子であり、そしてE’は、好ましくはフッ素原子および−CF基から選択され、Yは、フッ素原子および−CF基から選択され、s1およびs2は、互いに等しいか、または異なって、0〜5に含まれる整数である)を有する基から選択され、
− p’およびq’は、(p’+q’)の合計が1〜100に含まれ、q’/p’の比率が0.1〜10に含まれるような数である]
(b)T−O−(CFCF(CF)O)r’−(CFCFO)s’−(CFYO)t’−J−
[式中、
− Tは、−CF、−CFYCF、−CF(Y)CF(Y)CF、−(CFY)−CFY(T’)および−(CFY)−CY(T’)(T’)(式中、fは0または1であり、T’およびT’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、塩素、臭素および水素原子から選択される)から選択され、
− Yは、それぞれ、等しいか、または異なって、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− Jは、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− r’、s’およびt’は、(r’+s’+t’)の合計が1〜100に含まれ、t’/(r’+s’)の比率が0.01〜0.1に含まれるような数である]
(c)T−(OCFY)t1’’(OCu1’’−OR O−(CO)u2’’(CFYO)t2’’−J−
(式中、
− Tは、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− Yは、それぞれ、等しいか、または異なって、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− Jは、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− R は、C〜Cペルフルオロアルキレン基であり、
− t1’’、u1’’、t2’’、u2’’は、(t1’’+u1’’+t2’’+u2’’)の合計が1〜100に含まれ、(t1’’+t2’’)/(u1’’+u2’’)の比率が0.01〜0.1に含まれるような数である)
(d)T−CFCFO−(CF−(CFx’CFO)v’−J−
(式中、
− Tは、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− Jは、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− x’は1または2に等しく、
− v’は1〜100に含まれる数である)
(e)T−CFCH−(OCFCFCHw’−OR O−(CHCFCFO)w’−J−
(式中、
− Tは、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− Jは、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− R は、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− w’は1〜100に含まれる数である)
から選択される上記の式(I−B)または(II−B)に対応する。
本発明の第2の実施形態の化合物(P)は、より好ましくは、次式(I−B)または(II−B)に対応する。
Figure 0005705860
[式中、
− Z、Z’、n、nz’、nおよびnf’は、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
− R’’ O−およびR’’’ O−は、互いに等しいか、または異なって、式
−O−(CFCFO)p*(CFO)q*−CF−CHO(CHCHO)s*
(式中、
− Tは、−CF、−CFCFおよび−CFCFCF基から選択され、
− pおよびqは、(p+q)の合計が1〜50に含まれ、q/pの比率が0.1〜10に含まれるような数であり、
− sは0〜5に含まれる数である)
を有するフルオロポリオキシアルキレン鎖を表わす]。
本発明の第2の実施形態の化合物(P)は、最も好ましくは、次式(III−B)または(III−Bビス)に対応する。
Figure 0005705860
[式中、
− MおよびM’は、上記で定義されたものと同じ意味を有し、Mは、好ましくは、Li、NaおよびKから選択されるアルカリ金属、または式−NR(式中、R、R、R、Rのそれぞれは、独立して、水素原子またはC〜C12炭化水素基であり、好ましくは、R=R=R=R=n−ブチルである)を有するアンモニウム基であり、そしてM’は、好ましくは、CaおよびMgから選択されるアルカリ土類金属であり、より好ましくは、M’はCaであり、
− pi(i=1〜5)およびqi(i=1〜5)のそれぞれは、独立して、(pi+qi)の合計が2〜25に含まれ、そしてqi/piの比率が0.1〜10に含まれるような0以上の整数である]
本発明の第2の実施形態に記載された式(I−B)または(II−B)に対応する化合物(P)は、特に、2008年1月3日出願の国際公開第2008/000706号パンフレット(SOLVAY SOLEXIS S.P.A.)に開示されている。
本発明の第3の実施形態によると、化合物(P)は、典型的に、次式(IV−C)に対応する。
Figure 0005705860
[式中、
− Aは、それぞれ、等しいか、または異なって、
(i)−QR基(式中、Qは、−O−、−S−、−NR−および−NH−NH−から選択される二価の基であり、Rは、水素原子またはC〜Cアルキル基であり、そしてRは、場合により、1つまたはそれ以上、好ましくは1つまたは2つの、C〜Cアルキル基、−OR−、−NR、−NO、フッ素および塩素原子から選択される基によって置換されたC〜C12アリール基、好ましくはフェニル基であり、R、RおよびRは、水素原子またはC〜Cアルキル基である)、
(ii)RCHO(CHCHO)−(式中、Rは、上記で定義された(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)であり、そしてsは、0、1または2に等しい)
から選択され、
− mは3または4に等しく、
− nは0に等しい]
本発明の第3の実施形態に記載された式((IV−C)に対応する化合物(P)は、特に、1998年9月16日出願の欧州特許第0597369A号明細書(AUSIMONT S.P.A.)に開示されている。
本発明の好ましい潤滑剤組成物は、1つまたはそれ以上の上記で詳述された本発明の第1のおよび/または第2の実施形態による化合物(P)を含んでなる。
本発明のより好ましい潤滑剤組成物は、1つまたはそれ以上の上記で詳述された本発明の第2の実施形態による化合物(P)を含んでなる。
本発明の最も好ましい潤滑剤組成物は、1つまたはそれ以上の上記された式(III−B)または(III−Bビス)のいずれかに対応する化合物(P)を含んでなる。
本発明の官能性(ペル)フルオロポリエーテル誘導体(官能性PFPE誘導体)は、少なくとも1つの上記で定義された(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)と、典型的に、少なくとも1つの単環式または多環式芳香環を含んでなる少なくとも1つのエーテル、チオエーテル、エステルまたはアミン基を含んでなる少なくとも1つの官能基とを含んでなり、上記芳香環は、場合により、N、OおよびSから選択される1つまたはそれ以上のヘテロ原子と、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基とを含有する。
本発明の官能性(ペル)フルオロポリエーテル誘導体(官能性PFPE誘導体)は、好ましくは、次式(V)に対応する。
T−(CFWp1−O−R−(CFWp1’−T’(V)
(式中、
− Rは、上記で定義された(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)であり、
− TおよびT’は、互いに等しいか、または異なって、
i)少なくとも1つの単環式または多環式芳香環を含んでなる少なくとも1つのエーテル、チオエーテル、エステルまたはアミン基を含んでなる官能性末端基であって、前記芳香環が、場合により、N、OおよびSから選択される1つまたはそれ以上のヘテロ原子と、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基とを含有する官能性末端基、
ii)フッ素原子、塩素原子、および場合により1つまたはそれ以上の塩素原子を含有するC〜C(ペル)フルオロアルキル基から選択される非官能性末端基
から選択されるが、ただし、TおよびT’の少なくとも1つは、上記で定義された官能性末端基であり、
− WおよびWは、互いに等しいか、または異なって、独立して、フッ素原子または−CF基を表し、
− p1およびp1’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、1〜3に含まれる整数であり、好ましくは、Wおよび/またはWが−CF基である場合、1に等しい)。
本発明の官能性PFPE誘導体は、より好ましくは次式(VI)に対応する。
T’’−CFO(CFCFO)m*(CFO)n*CF−T’’’(VI)
{式中、
− T’’およびT’’’は、互いに等しいか、または異なって、
i)式−CH−A−Y、−CH(CF)−A−Y、−CHW’−B−(CHCHO)m’−Yおよび−COOY[式中、
(a’)Aは、酸素および硫黄原子から選択され、
(b’)Bは、酸素原子、硫黄原子および−NH基から選択され、
(c’)W’は、水素原子および−CF基から選択され、
(d’)m’は、0〜6に含まれる整数であり、
(e’)Yは、場合により、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基によって置換された、フェニル、ピリジン、トリアジン、ベンゾキサゾール、ベンゾチアゾールおよびベンゾピラジン基から選択される]を有するものから選択される官能性末端基、
ii)フッ素原子、塩素原子、−CF基、−C基および−(CFCl基(式中、nは1〜3に含まれる整数である)から選択される非官能性末端基
から選択されるが、ただし、T’’およびT’’’の少なくとも1つは、上記で定義された官能性末端基であり、
− mおよびnは、官能性PFPE誘導体の数平均分子量が400〜10000に含まれ、m/nの比率が0.1〜10に含まれるような整数である}
本発明の好ましい潤滑剤組成物は、
− TおよびT’の少なくとも1つが、場合により、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基によって置換された少なくとも1つのピリジン基を含んでなる少なくとも1つのエーテルまたはチエーテル(thiether)基を含んでなる官能性末端基であり、特に、2004年11月24日出願の欧州特許第1479753A号明細書(SOLVAY SOLEXIS S.P.A.)に開示されている、上記の式(V)に対応する官能性PFPE誘導体、
− TおよびT’の少なくとも1つが、場合により、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基によって置換された少なくとも1つのフェニル基を含んでなる少なくとも1つのエーテルまたはエステル基を含んでなる官能性末端基であり、特に、2006年6月14日出願の欧州特許第1354932B号明細書(SOLVAY SOLEXIS S.P.A.)に開示されている、上記の式(V)に対応する官能性PFPE誘導体、
− TおよびT’の少なくとも1つが、場合により、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基によって置換された少なくとも1つの1,3,5−トリアジン基を含んでなる少なくとも1つのエーテル、チオエーテルまたはアミン基を含んでなる官能性末端基であり、特に、2008年12月10日出願の欧州特許第1712580B号明細書(SOLVAY SOLEXIS S.P.A.)に開示されている、上記の式(V)に対応する官能性PFPE誘導体、
− TおよびT’の少なくとも1つが、場合により、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基によって置換された少なくとも1つのベンゾキサゾール、ベンゾチアゾールまたはベンゾピラジン基を含んでなる少なくとも1つのエーテルまたはチオエーテル基を含んでなる官能性末端基であり、特に、2006年5月24日出願の欧州特許第1659164A号明細書(SOLVAY SOLEXIS S.P.A.)に開示されている、上記の式(V)に対応する官能性PFPE誘導体
から選択される1つまたはそれ以上の官能性PFPE誘導体を含んでなる。
本発明の最も好ましい潤滑剤組成物は、T’’およびT’’’が両方とも上記で定義された官能性末端基である、1つまたはそれ以上の上記の式(VI)に対応する官能性PFPE誘導体(二官能性PFPE誘導体)を含んでなる。
適切な二官能性PFPE誘導体の非制限的な例としては、特に、
− 次式に対応する二官能性PFPE誘導体
Figure 0005705860
(式中、mおよびnは、二官能性PFPE誘導体の数平均分子量が、1000〜6000、好ましくは、2000〜4000に含まれ、m/nの比率が0.1〜5に含まれるような整数である)、
− 商標名FOMBLIN(登録商標)DA 410でSolvay Solexis S.p.A.から商業的に入手可能な二官能性PFPE誘導体であって、次式に対応する二官能性PFPE誘導体
Figure 0005705860
(式中、mおよびnは、二官能性PFPE誘導体の数平均分子量が、1000〜6000、好ましくは、2000〜4000に含まれ、m/nの比率が0.1〜5に含まれるような整数である)
が挙げられる。
次式
Figure 0005705860
(式中、mおよびnは、二官能性PFPE誘導体の数平均分子量が、1000〜6000、好ましくは、2000〜4000に含まれ、m/nの比率が0.1〜5に含まれるような整数である)に対応する1つまたはそれ以上の二官能性PFPE誘導体を含んでなる潤滑剤組成物で非常に良好な結果が得られた。
本発明の潤滑剤組成物は、典型的に、少なくとも1つの上記で定義された環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]を、非官能性PFPE油の重量に対して、少なくとも0.1重量%、好ましくは少なくとも0.2重量%、より好ましくは少なくとも0.3重量%の量で含んでなる。
本発明の潤滑剤組成物は、典型的に、少なくとも1つの上記で定義された環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]を、非官能性PFPE油の重量に対して、多くとも15重量%、好ましくは多くとも10重量%、より好ましくは多くとも5重量%の量で含んでなる。
本発明の潤滑剤組成物は、典型的に、少なくとも1つの、上記で定義された化合物(P)とは異なる官能性PFPE誘導体を、非官能性PFPE油の重量に対して、少なくとも0.5重量%、好ましくは少なくとも1重量%、より好ましくは少なくとも2重量%の量で含んでなる。
本発明の潤滑剤組成物は、典型的に、少なくとも1つの、上記で定義された化合物(P)とは異なる官能性PFPE誘導体を、非官能性PFPE油の重量に対して、多くとも15重量%、好ましくは多くとも10重量%、より好ましくは多くとも6重量%の量で含んでなる。
非官能性PFPE油の重量に対して0.3重量%〜5重量%の範囲の量の少なくとも1つの環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]と、非官能性PFPE油の重量に対して2重量%〜6重量%の範囲の量の、少なくとも1つの、上記で定義された化合物(P)とは異なる官能性PFPE誘導体とを含んでなる潤滑剤組成物で非常に良好な結果が得られた。
本発明の潤滑剤組成物は、典型的に、ASTM D445によって20℃で測定した場合、100〜350、好ましくは120〜300の範囲の動粘性率(η)を有する。
本潤滑剤組成物は、特に、防錆添加剤、酸化防止剤、消泡剤、耐摩耗添加剤および耐損傷添加剤の1種またはそれ以上を含む他の添加剤をさらに含むことも可能である。本発明の潤滑剤組成物に有利に添加することができる防錆添加剤の代表的な例としては、特に、商標名FOMBLIN(登録商標)DA305、FOMBLIN(登録商標)DA306、およびFOMBLIN(登録商標)DA308でSolvay Solexis S.p.A.から商業的に入手可能な官能性PFPEが挙げられる。
本発明のもう1つの目的は、特に、高純度潤滑剤が典型的に必要とされる半導体産業で、真空ポンプ、特に、高真空および超高真空ポンプを潤滑するための上記潤滑剤組成物の使用である。
参照によって本明細書に組み込まれるいずれかの特許、特許出願および刊行物の開示が、用語が不明確になる範囲まで本願の記載と矛盾する場合、本記載が優先されるべきである。
次に、本発明について、以下の実施例に関連して、より詳細に説明する。本実施例は、その目的が単なる実例であり、本発明の範囲を限定するものではない。
原材料
非官能性PFPE油(1)は、式CFO−(CFO)(CFCFO)(CFCFCFO)(CFCFCFCFO)−CF(式中、m、n、rおよびsは、数平均分子量が約11000であり、m/nの比率が約2.7であるような整数である)を有する直鎖状非官能性PFPE油である。
非官能性PFPE油(2)は、式CFO−(CFCFO)(CFO)−CF(式中、mおよびnは、数平均分子量が約10600であり、m/nの比率が約0.9であるような整数である)を有するFOMBLIN(登録商標)M15直鎖状非官能性PFPE油である。
非官能性PFPE油(3)は、式CFO−(CFCFO)(CFO)−CF(式中、mおよびnは、数平均分子量が約13000であり、m/nの比率が約0.9であるような整数である)を有するFOMBLIN(登録商標)M30直鎖状非官能性PFPE油である。
非官能性PFPE油(4)は、式CFO−(CF(CF)CFO)(CFO)−CF(式中、pおよびqは、数平均分子量が約3800であるような整数である)を有するFOMBLIN(登録商標)Y25/6分枝状非官能性PFPE油である。
化合物(P1)は、式
Figure 0005705860
(式中、pi(i=1〜5)およびqi(i=1〜5)指数は、数平均分子量が約8300であるような整数である)を有する環式ホスファゼン化合物である。
官能性PFPE誘導体(1)は、式
Figure 0005705860
(式中、mおよびnは、数平均分子量が約3800であり、m/nの比率が約0.9であるような整数である)を有する。
熱酸化安定性試験方法
熱酸化安定性試験は、Fe−Cu−Sn−C型の焼結金属軸受において実施した。Fe−Cu−Sn−C型の焼結金属軸受を30℃で25分間、真空(7mbar)で、本発明の潤滑剤組成物に含浸させた。次いで、焼結金属軸受に含浸させた潤滑剤組成物の量が約0.05gとなるように、約15分間、そのように処理された焼結金属軸受の水分を除去した。そのように含浸させた焼結金属軸受を、200℃に設定した換気式オーブンに置き、48〜72時間ごとに重量を測定した。潤滑剤組成物の重量損失を時間の関数として調査した。潤滑剤組成物の分解が完了するまで、誘導時間を測定した。
トライボロジー試験方法
ボール−オン−デスク(ball−on−disk)摩擦計を用いて、140℃で6時間、以下の操作条件で、スライド摩耗試験を実施した。
− ボール直径:10mm;
− 適用された負荷:200N;
− 振動の振幅:1mm;
− 振動の周波数:50Hz
ディスク[mm]の摩耗量(V)は、以下の通りに算出した。
Figure 0005705860
(式中:
− d1は、振動と平行のディスク摩耗の対角線を表し、
− d2は、振動に対して垂直なディスク摩耗の対角線を表し、
− Rは、ボール半径(5mm)を表す)
実施例1
非官能性PFPE油(3)を、非官能性PFPE油(3)の0.5重量%の化合物(P1)および非官能性PFPE油(3)の5重量%の官能性PFPE誘導体(1)と混合することによって、潤滑剤組成物を調製した。前記潤滑剤組成物の熱酸化安定性試験の結果を下記表1に示す。
比較例1C
非官能性PFPE油(3)を非官能性PFPE油(3)の0.5重量%の化合物(P1)と混合することによって、組成物を調製した。前記組成物の熱酸化安定性試験の結果を下記表1に示す。
比較例2C
非官能性PFPE油(3)を非官能性PFPE油(3)の5重量%の官能性PFPE誘導体(1)と混合することによって、組成物を調製した。前記組成物の熱酸化安定性試験の結果を下記表1に示す。
Figure 0005705860
本発明の実施例1の潤滑剤組成物で実施した熱酸化安定性試験では、比較例1Cおよび2Cの組成物に対して、分解までの誘導時間の実質的な増加を示し、すなわち、本発明の潤滑剤組成物は、少なくとも1つの上記で定義された非官能性PFPE油、および少なくとも1つの上記で定義された化合物(P)または少なくとも1つの上記で定義された官能性PFPE誘導体のいずれかを含んでなる組成物に対して、改善された熱酸化安定性を示した。
実施例2
非官能性PFPE油(1)を、非官能性PFPE油(3)の3重量%の化合物(P1)および非官能性PFPE油(3)の3重量%の官能性PFPE誘導体(1)と混合することによって、潤滑剤組成物を調製した。前記潤滑剤組成物のトライボロジー試験および150℃における蒸発速度定数[(蒸発した潤滑剤mm/曝露表面積mm)・時間]([*])の結果を下記表2に示す。
実施例3
非官能性PFPE油(2)を、非官能性PFPE油(3)の3重量%の化合物(P1)および非官能性PFPE油(3)の3重量%の官能性PFPE誘導体(1)と混合することによって、潤滑剤組成物を調製した。前記潤滑剤組成物のトライボロジー試験および150℃における蒸発速度定数[(蒸発した潤滑剤mm/曝露表面積mm)・時間]([*])の結果を下記表2に示す。
実施例4
非官能性PFPE油(4)を、非官能性PFPE油(3)の3重量%の化合物(P1)および非官能性PFPE油(3)の3重量%の官能性PFPE誘導体(1)と混合することによって、潤滑剤組成物を調製した。前記潤滑剤組成物のトライボロジー試験および150℃における蒸発速度定数[(蒸発した潤滑剤mm/曝露表面積mm)・時間]([*])の結果を下記表2に示す。
比較例3C
非官能性PFPE油(2)を非官能性PFPE油(3)の3重量%の化合物(P1)と混合することによって、組成物を調製した。前記組成物のトライボロジー試験および150℃における蒸発速度定数[(蒸発した潤滑剤mm/曝露表面積mm)・時間]([*])の結果を下記表2に示す。例3Cの組成物で実施した熱酸化安定性試験では、本発明の実施例4の潤滑剤組成物に対して、分解までの誘導時間の実質的な減少を示した。
比較例4C
非官能性PFPE油(2)を非官能性PFPE油(3)の3重量%の官能性PFPE誘導体(1)と混合することによって、組成物を調製した。前記組成物のトライボロジー試験および150℃における蒸発速度定数[(蒸発した潤滑剤mm/曝露表面積mm)・時間]([*])の結果を下記表2に示す。例4Cの組成物で実施した熱酸化安定性試験では、本発明の実施例4の潤滑剤組成物に対して、分解までの誘導時間の実質的な減少を
示した。
Figure 0005705860
実質的に低い摩耗量および低い蒸発速度定数が、本発明の実施例2、3および4の潤滑剤組成物に関して測定され、すなわち、本発明の潤滑剤組成物は、耐摩耗特性および低い蒸発による重量損失に関して、実質的に高い潤滑性能を示した。特に、本発明の実施例3の潤滑剤組成物で実施したトライボロジー試験では、比較例3Cおよび4Cの組成物に対して、実質的に低いか、またはわずかに減少した摩耗量が測定されたことが示され、すなわち、本発明の潤滑剤組成物は、少なくとも1つの上記で定義された非官能性PFPE油、および少なくとも1つの上記で定義された化合物(P)または少なくとも1つの上記で定義された官能性PFPE誘導体のいずれかを含んでなる組成物に対して、良好な、またはわずかに改善された耐摩耗特性を示した。

Claims (9)

  1. 真空ポンプを潤滑するための潤滑剤組成物の使用であって、前記潤滑剤組成物が、
    (A)少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R)を含む少なくとも1つの非官能性(ペル)フルオロポリエーテル油(非官能性PFPE油)と、
    (B)次式(I)または(II):
    Figure 0005705860
    を有する1つまたはそれ以上の環式部分を含み、前記環式部分が、1つまたはそれ以上のリン原子に結合した、少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)を含む少なくとも1つの置換基を含む、少なくとも1つの環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]と、
    (C)少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)と、少なくとも1つのピリジン環を含む少なくとも1つの官能基とを含み、前記ピリジン環、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基を有するかまたは有さない、化合物(P)とは異なる少なくとも1つの官能性(ペル)フルオロポリエーテル誘導体(官能性PFPE誘導体)と
    を含み、
    前記官能性PFPE誘導体が、次式(V)
    T−(CFWp1−O−R−(CFWp1’−T’(V)
    (式中、
    − Rは、(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)であり、
    − TおよびT’は、互いに等しいか、または異なって、
    i)少なくとも1つのピリジン環を含む少なくとも1つのエーテル、チオエーテル、エステルまたはアミン基を含む官能性末端基であって、前記ピリジン環、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基を有するかまたは有さない、官能性末端基、
    ii)フッ素原子、塩素原子を含み、および、1つまたはそれ以上の塩素原子を含むかまたは含まないC〜C(ペル)フルオロアルキル基から選択される非官能性末端基
    から選択されるが、ただし、TおよびT’の少なくとも1つは、上記で定義された官能性末端基であり、
    − WおよびWは、互いに等しいか、または異なって、独立して、フッ素原子または−CF基を表し、
    − p1およびp1’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、1〜3に含まれる整数である)
    に対応する、使用。
  2. 前記潤滑剤組成物中の前記非官能性PFPE油が、
    (1)T−O−(CO)b1’(CFO)b2’−T1’
    (式中:
    − TおよびT1’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、−CF、−Cおよび−C基から選択され、
    − b1’およびb2’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、b1’/b2’の比率が0.1〜5に含まれ、そして(b1’+b2’)の合計が5〜250に含まれるような0以上の整数であり、b1’およびb2’が両方とも0とは異なる場合、異なる繰り返し単位が、前記ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している)
    (2)T−O−(CFO)c1’(CFCFO)c2’(CFCFCFO)c3’(CFCFCFCFO)c4’−T2’
    (式中:
    − TおよびT2’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、−CF、−C、−C、−C、−CFCl、−CFCFCl基から選択され、
    − c1’、c2’、c3’およびc4’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、数平均分子量が700〜100000に含まれるような0以上の整数であり、
    − c2’/c1’の比率は2〜20に含まれ、
    − (c3’+c4’)/(c1’+c2’+c3’+c4’)の比率は0.05〜0.2に含まれ、
    − c1’/(c1’+c2’+c3’+c4’)の比率は0.05〜0.4に含まれ、c1’、c2’、c3’およびc4’の少なくとも2つが0とは異なる場合、異なる繰り返し単位が、前記ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している)
    (3)T−O−(CFCFO)d’−T3’
    (式中:
    − TおよびT3’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、−Cおよび−C基から選択され、
    − d’は、5〜250に含まれる整数である)
    (4)T−O−(CFCFC(Hal)O)e1’−(CFCFCHO)e2’−(CFCFCH(Hal)O)e3’−T1’
    (式中:
    − TおよびT1’は、互いに等しいか、または異なって、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
    − Halは、それぞれ、等しいか、または異なって、フッ素および塩素原子から選択されるハロゲンであり、
    − e1’、e2’およびe3’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、(e1’+e2’+e3’)の合計が5〜250に含まれるような0以上の整数であり、e1’、e2’およびe3’の少なくとも2つが0とは異なる場合、異なる繰り返し単位が前記(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している)
    (5)T−O−[CF(CF)CFO]f1’(CFYO)f2’−T1’
    (式中:
    − TおよびT1’は、互いに等しいか、または異なって、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
    − Yは、それぞれ、等しいか、または異なって、フッ素原子または−CF基から選択され、
    − f1’およびf2’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、f1’/f2’の比率が20〜1000に含まれ、そして(f1’+f2’)の合計が5〜250に含まれるような0以上の整数であり、f1’およびf2’の両方が0とは異なる場合、異なる繰り返し単位が、前記ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している)
    (6)T−O−[CF(CF)CFO]g1’(CO)g2’(CFYO)g3’−T1’
    (式中:
    − TおよびT1’は、互いに等しいか、または異なって、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
    − Yは、それぞれ、等しいか、または異なって、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
    − g1’、g2’およびg3’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、(g1’+g2’+g3’)の合計が5〜250に含まれるような0以上の整数であり、g1’、g2’およびg3’の少なくとも2つが0とは異なる場合、異なる繰り返し単位が、前記ペルフルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布している)
    (7)CO−[CF(CF)CFO]h’−T
    (式中:
    − Tは、上記で定義されたものと同じ意味を有し、
    − h’は、5〜250に含まれる整数である)
    (8){CO−[CF(CF)CFO]i’−CF(CF)−}
    (式中:
    − i’は、2〜250に含まれる整数である)
    (9)R −{C(CF−O−[C(R ]j1’C(R −O}j2’−R
    (式中:
    − R は、それぞれ、等しいか、または異なって、C〜Cペルフルオロアルキル基であり、
    − R は、それぞれ、等しいか、または異なって、フッ素原子およびC〜Cペルフルオロアルキル基から選択され、
    − j1’は、1または2に等しく、
    − j2’は、5〜250に含まれる整数である)
    から選択される請求項1に記載の使用。
  3. 2つ以上の非官能性PFPE油の混合物が前記潤滑剤組成物に使用される請求項1または2に記載の使用。
  4. 前記潤滑剤組成物中の前記環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]が、次式(I−B)または(II−B)に対応する請求項1〜3のいずれか一項に記載の使用。
    Figure 0005705860
    {式中、
    − R’’およびR’’’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、
    (i)Yがフッ素原子または−CF基である−CFYO−、
    (ii)Yが上記で定義されたものと同じ意味を有する−CFCFYO−、
    (iii)−CFCFCFO−、
    (iv)−CFCFCFCFO−
    から選択される1つまたはそれ以上の繰り返し単位を含む(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖を表わし、
    前記繰り返し単位は、前記(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖に沿って一般に統計学的に分布しており、
    − ZおよびZ’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、式−O[式中、Mは、水素、一価金属、および式−NR(式中、R、R、R、Rのそれぞれは、独立して、水素原子、またはフッ素化されているかもしくはフッ素化されていないC〜C12炭化水素基である)を有するアンモニウム基から選択される]の極性基、あるいは式−OM’2+(式中、M’は、二価金属である)の極性基を表わし、
    − nは、1〜3に含まれる整数であり、
    − nZ’は、1〜4に含まれる整数であり、
    − nは、n+nが6に等しくなるような整数であり、
    − nf’は、nZ’+nf’が8に等しくなるような整数である}
  5. 前記潤滑剤組成物中の前記環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]が、次式(I−B)または(II−B
    Figure 0005705860
    [式中、
    − Z、Z’、n、nz’、nおよびnf’は、請求項4で定義されたものと同じ意味を有し、
    − R’’ O−およびR’’’ O−は、互いに等しいか、または異なって、式
    −O−(CFCFO)p*(CFO)q*−CF−CHO(CHCHO)s*
    (式中、
    − Tは、−CF、−CFCFおよび−CFCFCF基から選択され、
    − pおよびqは、(p+q)の合計が1〜50に含まれ、q/pの比率が0.1〜10に含まれるような数であり、
    − sは0〜5に含まれる数である)
    を有する(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖を表わす]
    に対応する請求項4に記載の使用。
  6. 前記潤滑剤組成物中の前記環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]が、次式(III−B)または(III−Bビス)
    Figure 0005705860
    [式中、
    − MおよびM’は、請求項4で定義されたものと同じ意味を有し、Mは、Li、NaおよびKから選択されるアルカリ金属、または式−NR(式中、R、R、R、Rのそれぞれは、独立して、水素原子またはC〜C12炭化水素基である)を有するアンモニウム基であり、そしてM’は、CaおよびMgから選択されるアルカリ土類金属であり、
    − pi(i=1〜5)およびqi(i=1〜5)のそれぞれは、独立して、(pi+qi)の合計が2〜25に含まれ、そしてqi/piの比率が0.1〜10に含まれるような0以上の整数である]
    に対応する請求項4または5に記載の使用。
  7. 前記潤滑剤組成物中の前記官能性PFPE誘導体が、次式(VI)
    T’’−CFO(CFCFO)m*(CFO)n*CF−T’’’(VI)
    {式中、
    − T’’およびT’’’は、互いに等しいか、または異なって、
    i)式−CH−A−Y、−CH(CF)−A−Y、−CHW’−B−(CHCHO)m’−Yおよび−COOY[式中、
    (a’)Aは、酸素および硫黄原子から選択され、
    (b’)Bは、酸素原子、硫黄原子および−NH基から選択され、
    (c’)W’は、水素原子および−CF基から選択され、
    (d’)m’は、0〜6に含まれる整数であり、
    (e’)Yは、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基によって置換されているかまたはされていないピリジン基から選択される]を有するものから選択される官能性末端基、
    ii)フッ素原子、塩素原子、−CF基、−C基および−(CFCl基(式中、nは1〜3に含まれる整数である)から選択される非官能性末端基
    から選択されるが、ただし、T’’およびT’’’の少なくとも1つは、上記で定義された官能性末端基であり、
    − mおよびnは、前記官能性PFPE誘導体の数平均分子量が400〜10000に含まれ、m/nの比率が0.1〜10に含まれるような整数である}
    に対応する請求項6に記載の使用。
  8. 前記潤滑剤組成物中の少なくとも1つの環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]が、前記非官能性PFPE油の重量に対して、0.3重量%〜5重量%の範囲の量で含まれ、そして化合物(P)とは異なる少なくとも1つの官能性PFPE誘導体が、前記非官能性PFPE油の重量に対して、2重量%〜6重量%の範囲の量で含まれる請求項1〜7のいずれか一項に記載の使用。
  9. (A)少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R)を含む少なくとも1つの非官能性(ペル)フルオロポリエーテル油(非官能性PFPE油)と、
    (B)次式(I)または(II):
    Figure 0005705860
    を有する1つまたはそれ以上の環式部分を含み、前記環式部分が、1つまたはそれ以上のリン原子に結合した、少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)を含む少なくとも1つの置換基を含む、少なくとも1つの環式ホスファゼン化合物[化合物(P)]と、
    (C)少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)と、少なくとも1つのピリジン環を含む少なくとも1つの官能基とを含み、前記ピリジン環、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基を有するかまたは有さない、化合物(P)とは異なる少なくとも1つの官能性(ペル)フルオロポリエーテル誘導体(官能性PFPE誘導体)と
    を含み、
    前記官能性PFPE誘導体が、次式(V)
    T−(CFWp1−O−R−(CFWp1’−T’(V)
    (式中、
    − Rは、(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖(鎖R’)であり、
    − TおよびT’は、互いに等しいか、または異なって、
    i)少なくとも1つのピリジン環を含む少なくとも1つのエーテル、チオエーテル、エステルまたはアミン基を含む官能性末端基であって、前記ピリジン環、水素原子とは異なる1つまたはそれ以上の置換基を有するかまたは有さない、官能性末端基、
    ii)フッ素原子、塩素原子を含み、および、1つまたはそれ以上の塩素原子を含むかまたは含まないC〜C(ペル)フルオロアルキル基から選択される非官能性末端基
    から選択されるが、ただし、TおよびT’の少なくとも1つは、上記で定義された官能性末端基であり、
    − WおよびWは、互いに等しいか、または異なって、独立して、フッ素原子または−CF基を表し、
    − p1およびp1’は、互いに等しいか、または異なって、独立して、1〜3に含まれる整数である)
    に対応する、真空ポンプ用潤滑剤組成物。
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