JP5642527B2

JP5642527B2 - Transport roller

Info

Publication number: JP5642527B2
Application number: JP2010278849A
Authority: JP
Inventors: ▲はま▼窪　真司; 真司 ▲はま▼窪; 浩己宮代
Original assignee: Mitsubishi Cable Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Cable Industries Ltd
Priority date: 2010-12-15
Filing date: 2010-12-15
Publication date: 2014-12-17
Anticipated expiration: 2030-12-15
Also published as: JP2012126809A

Description

本発明は、ゴム組成物、およびそれを用いてなるゴム部材、搬送ローラに関する。 The present invention relates to a rubber composition, a rubber member using the same, and a conveyance roller.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に使用されるガラス基板は、その製造工程において、工程内及び工程間を搬送ローラによって搬送されるローラ搬送方式の装置を使用する場合がある。例えば、液晶ディスプレイの製造工程では、基板の受け入れ検査、洗浄、成膜、露光、現像、エッチング、レジスト剥離、検査等の工程を繰り返して薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルタを形成するが、各工程内及び工程間はローラ搬送方式の装置でガラス基板を搬送することが多い。本発明において、洗浄工程など薬液がかかる工程をウエット工程、薬液のかからない工程をドライ工程と言う。 A glass substrate used in a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display, a plasma display, and an organic EL display uses a roller conveyance type apparatus that is conveyed by a conveyance roller in and between processes in the manufacturing process. There is a case. For example, in the liquid crystal display manufacturing process, thin film transistors (TFTs) and color filters are formed by repeating processes such as substrate acceptance inspection, cleaning, film formation, exposure, development, etching, resist stripping, and inspection. And between processes, a glass substrate is often conveyed with the apparatus of a roller conveyance system. In the present invention, a process in which a chemical liquid is applied, such as a cleaning process, is referred to as a wet process, and a process in which no chemical liquid is applied is referred to as a dry process.

前記搬送ローラは、例えば、円筒状の回転軸にゴムからなるＯリングを取り付けた構造である。複数本列設された前記搬送ローラにガラス基板を載架し、前記搬送ローラを回動することにより、前記ガラス基板を搬送する。前記搬送ローラを備えた設備の一例として、特許文献１には、ゴムからなるＯリングが取り付けられたローラを用いてガラス基板を搬送する搬送装置を備えた洗浄設備が開示されている。 For example, the transport roller has a structure in which an O-ring made of rubber is attached to a cylindrical rotating shaft. A glass substrate is placed on the plurality of conveying rollers arranged in a row, and the glass substrate is conveyed by rotating the conveying roller. As an example of equipment provided with the transport roller, Patent Document 1 discloses a cleaning equipment provided with a transport device that transports a glass substrate using a roller to which an O-ring made of rubber is attached.

搬送ローラを備えた設備において、ガラス基板に粉塵微粒子（パーティクル）が付着するという問題がある。前記パーティクルの付着要因としては、搬送ローラが前記ガラス基板との摩擦やガラス基板のエッジ部と接触したことにより生じた摩耗粉の付着、搬送ローラに堆積した汚れのガラス基板への転写等がある。 In equipment equipped with a transport roller, there is a problem that dust particles adhere to the glass substrate. The particle adhesion factors include friction with the glass substrate, adhesion of abrasion powder generated by contact with the edge of the glass substrate, transfer of dirt accumulated on the conveyance roller to the glass substrate, and the like. .

例えば、特許文献２には、搬送ローラにガラス基板エッジ部が接触することによる前記搬送ローラの損傷により生じた摩耗粉の発塵や、基板裏面に前記摩耗粉が転写するという問題があり、ウエット処理エリア（本発明でいうウエット工程）の搬送ローラを円筒ローラ（ローラ外層は、例えばウレタンゴムのような弾性体）とし、ドライエリア（本発明でいうドライ工程）の搬送ローラを円板ローラ（例えば鋳造された金属や、射出成形されたプラスチック（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等））として、基板のエッジ部が搬送ローラに接触することを防止したことにより、搬送ローラの損傷が少なくなり、基板
裏面への汚れの転写が低減できたことが開示されている。 For example, Patent Document 2 has a problem that abrasion powder generated due to damage to the conveyance roller due to contact of the glass substrate edge portion with the conveyance roller, and that the abrasion powder is transferred to the back surface of the substrate. The conveying roller in the processing area (wet process referred to in the present invention) is a cylindrical roller (the roller outer layer is an elastic body such as urethane rubber), and the conveying roller in the dry area (dry process referred to in the present invention) is a disc roller ( For example, the casting roller or injection-molded plastic (for example, polyethylene, polypropylene, etc.) prevents the edge of the substrate from coming into contact with the conveying roller, thereby reducing the damage to the conveying roller and the back surface of the substrate. It has been disclosed that the transfer of dirt to the surface can be reduced.

特許文献３には、Ｏリングのパーティングラインの位置が搬送物との接触面と異なる位置にあること、及び前記Ｏリングが非金属元素よりなることを特徴とする搬送ローラが開示されており、前記搬送ローラによると、Ｏリングのパーティングラインに溜まったパーティクルがガラス基盤や半導体ウェハー等の搬送物へ付着せず、Ｏリングが摩耗しても金属が表面に析出しないため、パーティングラインに溜まったパーティクルとＯリングの摩耗粉等が、搬送物へのパーティクル付着の要因とならないとされている。 Patent Document 3 discloses a conveying roller characterized in that the position of the parting line of the O-ring is at a position different from the contact surface with the conveyed object, and that the O-ring is made of a nonmetallic element. According to the transport roller, particles accumulated in the parting line of the O-ring do not adhere to transported objects such as glass substrates and semiconductor wafers, and even if the O-ring wears, metal does not deposit on the surface. It is said that the particles accumulated on the O-ring and the wear powder of the O-ring do not cause the particles to adhere to the conveyed product.

搬送ローラに用いるゴム部材としては、特許文献４には、耐プラズマ性を考慮したＯリングとして、フッ素含率が６８質量％以上の過酸化物架橋可能なフッ素ゴム１００質量部当り、多官能性不飽和化合物０．７〜２．４質量部及び有機過酸化物０．３〜１．０質量部を含有したフッ素ゴム組成物が開示されており、前記フッ素ゴム組成物から得られる加硫成形品は、耐プラズマ性が良好であり、シールとして必要な常態物性値及び圧縮永久ひずみ値を示しており、半導体製造装置や液晶製造装置の部品、例えばシールや搬送ローラ等の用途に好適に用いることができるとされている。 As a rubber member used for the conveyance roller, Patent Document 4 discloses a polyfunctionality per 100 parts by mass of peroxide-crosslinkable fluorine rubber having a fluorine content of 68% by mass or more as an O-ring in consideration of plasma resistance. A fluororubber composition containing 0.7 to 2.4 parts by mass of an unsaturated compound and 0.3 to 1.0 part by mass of an organic peroxide is disclosed, and vulcanization molding obtained from the fluororubber composition The product has good plasma resistance and exhibits normal physical property values and compression set values necessary for sealing, and is suitably used for parts of semiconductor manufacturing equipment and liquid crystal manufacturing equipment, such as seals and transport rollers. It is supposed to be possible.

また、特許文献５には、金属製車軸と、該金属製車軸に固定された樹脂製ホイールと、該樹脂製ホイールの外周縁に被覆された滑り止めリングを備えた帯電防止搬送ローラであって、上記滑り止めリングと金属製車軸とが導線などの導電手段によって導通されている帯電防止搬送ローラが開示されており、搬送ローラで搬送される電子基板等搬送体への静電気の帯電を防止するとともに、搬送ローラの製造コスト及び維持管理コストの低減を実現できるとされている。 Patent Document 5 discloses an antistatic transport roller including a metal axle, a resin wheel fixed to the metal axle, and an anti-slip ring coated on the outer periphery of the resin wheel. An antistatic transport roller is disclosed in which the anti-slip ring and the metal axle are electrically connected by a conductive means such as a conductor, and prevents electrostatic charges on a transport body such as an electronic substrate transported by the transport roller. At the same time, it is said that it is possible to reduce the manufacturing cost and maintenance cost of the transport roller.

特開２００４−２６２６２６号公報JP 2004-262626 A 特開２００３−１２４２８５号公報JP 2003-124285 A 特開２００４−２７７０９６号公報JP 2004-277096 A 特開２００８−０５６７３９号公報JP 2008-056739 A 特開２００４−３３８９３０号公報JP 2004-338930 A

しかしながら、特許文献１から５の搬送ローラには次のような問題がある。すなわち、特許文献１から５の搬送ローラにおいて、ガラス基板の搬送に伴い、前記ガラス基板面との接触により前記搬送ローラのゴム部材、弾性体又は滑り止めリングが、多少なりとも摩耗することは避けられず、摩耗により生じた摩耗粉がガラス基板へ粘着する問題がある。 However, the conveyance rollers disclosed in Patent Documents 1 to 5 have the following problems. That is, in the transport rollers of Patent Documents 1 to 5, avoid any wear of the rubber member, the elastic body, or the anti-slip ring of the transport roller due to contact with the glass substrate surface as the glass substrate is transported. In other words, there is a problem that the abrasion powder generated by abrasion sticks to the glass substrate.

特許文献２は、ドライ工程の搬送ローラに金属又はプラスチック製の円板ローラが使用されている。しかしながら、金属又はプラスチック製の円板ローラのみの搬送ローラで搬送すると、搬送物であるガラス基板が滑り搬送ローラが空転する虞が有る。このため、通常、金属又はプラスチック製の円板ローラを搬送ローラに用いる場合、ゴム製の補助ローラを円板ローラに併走して、搬送ローラの空転を防止する。しかしながら、ガラス基板の搬送によりゴム製の補助ローラから生じる摩耗粉が、搬送物であるガラス基板に粘着する虞がある。 In Patent Document 2, a disk roller made of metal or plastic is used as a transport roller in a dry process. However, when transported by a transport roller only made of a metal or plastic disk roller, there is a possibility that the glass substrate as a transported material slips and the transport roller is idled. For this reason, usually, when a metal or plastic disc roller is used as the transport roller, a rubber auxiliary roller is run along with the disc roller to prevent the transport roller from slipping. However, there is a possibility that the abrasion powder generated from the rubber auxiliary roller by the conveyance of the glass substrate adheres to the glass substrate as the conveyed product.

また、近年のガラス基板の大型化、各処理の短時間化に伴い、ガラス基板の搬送時に搬送ローラにかかる応力が大きくなっている。このため、搬送ローラにおいて、搬送物と接する部分のゴム部材の引張応力緩和特性が抑制されていない場合、稼動後早期に前記ゴム部材の緊迫力が低下し、前記搬送ローラにおいて、前記ゴム部材とローラ本体の間で滑りが生じ、前記ローラ本体が空転するため搬送不良となる。さらに前記ローラ本体が空転することにより、前記ローラ本体と前記ゴム部材の摩擦により前記ゴム部材が摩耗し、摩耗粉が発生するなどの不具合が生じる虞がある。 In addition, with the recent increase in the size of glass substrates and the shortening of each process, the stress applied to the transport roller during the transport of the glass substrate has increased. For this reason, in the conveyance roller, when the tensile stress relaxation characteristic of the rubber member in the portion in contact with the conveyance object is not suppressed, the tightening force of the rubber member is reduced early after operation, and in the conveyance roller, Sliding occurs between the roller bodies, and the roller bodies run idle, resulting in a conveyance failure. Furthermore, when the roller body idles, the rubber member is worn by friction between the roller body and the rubber member, and there is a possibility that a problem such as generation of wear powder occurs.

また、ドライ工程においてガラス基板が搬送ローラによって搬送される際に、ガラス基板と搬送ローラの摩擦や、ガラス基板の搬送ローラからの剥離により静電気が生じる。これらの静電気は、ガラス基板の搬送中に、ガラス基板表面に蓄積されて帯電する。このように静電気が帯電したガラス基板が導電性材料部材と接触すると、ガラス基板に帯電した電荷が導電性部材へ流れる。この電荷の移動により、ガラス基板上に載置した素子が破壊されるといったＥＳＤ（ＥｌｅｃｔｒｏＳｔａｔｉｃＤｉｓｃｈａｒｇｅ：静電気放電）現象による問題が有る。 In addition, when the glass substrate is transported by the transport roller in the drying process, static electricity is generated due to friction between the glass substrate and the transport roller or peeling of the glass substrate from the transport roller. These static electricity accumulates on the surface of the glass substrate and is charged during conveyance of the glass substrate. When the glass substrate charged with static electricity comes into contact with the conductive material member in this manner, the charge charged on the glass substrate flows to the conductive member. There is a problem due to an ESD (Electro Static Discharge) phenomenon that an element placed on the glass substrate is destroyed by this movement of electric charges.

本発明は、上述した問題点に着目し、搬送物と接触する部分に用いる搬送ローラ用ゴム部材であり、ガラス基板を搬送する際に生じる摩耗粉の、搬送物であるガラス基板への粘着、前記ゴム部材の引張応力緩和による搬送不良、ならびにＥＳＤ現象を低減したゴム部材のためのゴム組成物を提供することを目的とする。 The present invention pays attention to the above-mentioned problems, and is a rubber member for a conveyance roller used for a portion that comes into contact with a conveyed product. Adhesion of abrasion powder generated when conveying a glass substrate to a glass substrate that is a conveyed product, It is an object of the present invention to provide a rubber composition for a rubber member in which conveyance failure due to relaxation of tensile stress of the rubber member and ESD phenomenon are reduced.

本発明の特徴は以下のとおりである。
〔１〕少なくとも搬送物と接する部分が、ゴム部材であり、前記ゴム部材が、有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム１００質量部当たり、ＤＢＰ吸油量が３００〜６００ｃｍ^３／１００ｇであり、窒素吸着比表面積が７００〜１４００ｍ²／ｇである導電性カーボンブラックが３から２０質量部、有機過酸化物が０．７質量部以上３質量部以下、多官能性不飽和化合物が１質量部以上５質量部以下を含有するゴム組成物を架橋してなるゴム部材であることを特徴とする搬送ローラ。
〔２〕前記ゴム部材が接地されることを特徴とする上記〔１〕に記載の搬送ローラ。
〔３〕前記搬送物がフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であることを特徴とする上記〔１〕又は〔２〕に記載の搬送ローラ。
〔４〕フラットパネルディスプレイ製造工程のドライ工程で用いることを特徴とする上記〔１〕から〔３〕のいずれか一つに記載の搬送ローラ。 The features of the present invention are as follows.
[1] At least a portion in contact with a conveyed product is a rubber member, and the rubber member is per 100 parts by mass of vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer rubber into which an organic peroxide crosslinkable group is introduced. a DBP oil absorption 300~600cm ³ / 100g, 20 parts by weight conductive carbon black is from 3 nitrogen adsorption specific surface area of 700~1400m ² / g, an organic peroxide is at least 0.7 part by weight 3 A conveyance roller, which is a rubber member formed by crosslinking a rubber composition containing 1 part by mass or more and 5 parts by mass or less of a polyfunctional unsaturated compound.
[2] The conveying roller according to [1], wherein the rubber member is grounded.
[3] The transport roller according to [1] or [2], wherein the transported object is a glass substrate for a flat panel display.
[4] The transport roller according to any one of [1] to [3], wherein the transport roller is used in a dry process of a flat panel display manufacturing process.

本発明により、搬送物と接触する部分に用いる搬送ローラ用ゴム部材であり、ガラス基板を搬送する際に生じる摩耗粉が、搬送物であるガラス基板に粘着しにくいゴム部材のためのゴム組成物が提供される。これにより、搬送ローラから生じる摩耗粉によるガラス基板の汚染を低減することが可能となる。また、本発明により、搬送装置で用いる搬送ローラについて、搬送物と接触する部分に用いる搬送ローラ用ゴム部材であり、稼動後早期に緊迫力が低下しにくいゴム部材のためのゴム組成物が提供される。これにより、長期にわたり、搬送ローラのローラ本体の空転がないため、長期にわたり搬送効率を維持することができる。また、前記空転により、前記ローラ本体と前記ゴム部材とが摩擦し、前記ゴム部材が摩耗して生じる摩耗粉の発生を抑えることが出来る。さらにＥＳＤ現象を低減したゴム部材のためのゴム組成物が提供される。これにより、搬送時のガラス基板の帯電を防ぐことができ、搬送するガラス基板に載置した素子の破壊を防ぐことができる。 A rubber composition for a rubber member, which is a rubber member for a conveyance roller used in a portion that comes into contact with a conveyed product according to the present invention, and the abrasion powder generated when conveying a glass substrate is difficult to adhere to the glass substrate as a conveyed item. Is provided. Thereby, it becomes possible to reduce the contamination of the glass substrate due to the abrasion powder generated from the conveying roller. Further, according to the present invention, there is provided a rubber composition for a rubber member that is a rubber member for a conveyance roller that is used in a portion that comes into contact with a conveyance object with respect to the conveyance roller used in the conveyance device, and whose tension force is not easily lowered after operation. Is done. Thereby, since there is no idling of the roller main body of a conveyance roller over a long period of time, conveyance efficiency can be maintained over a long period of time. In addition, the idling can suppress the generation of wear powder caused by friction between the roller body and the rubber member and wear of the rubber member. Furthermore, a rubber composition for a rubber member with reduced ESD phenomenon is provided. Thereby, charging of the glass substrate at the time of conveyance can be prevented, and destruction of elements placed on the glass substrate to be conveyed can be prevented.

本発明の実施形態の一つである搬送ローラの断面図である。It is sectional drawing of the conveyance roller which is one of the embodiment of this invention. 本発明の実施形態の一つである搬送ローラの説明図である。It is explanatory drawing of the conveyance roller which is one of embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態の一つである搬送ローラの断面図である。It is sectional drawing of the conveyance roller which is one of the other embodiments of this invention. 本発明の他の実施形態の一つである搬送ローラの説明図である。It is explanatory drawing of the conveyance roller which is one of the other embodiments of this invention. 摩耗粉の粘着性の試験を行うための摩耗試験装置の斜視図である。It is a perspective view of the abrasion test apparatus for testing the adhesiveness of abrasion powder. Ｏリングホルダーに試験用Ｏリングを嵌挿したものであり、（ａ）その平面図と（ｂ）ｘ−ｘ’矢視の断面正面図と（ｃ）ｙ-ｙ’ 矢視の断面側面図と（ｄ）あり溝の拡大図である。A test O-ring is inserted into an O-ring holder, (a) a plan view thereof, (b) a cross-sectional front view taken along arrow xx ', and (c) a cross-sectional side view taken along arrow yy'. And (d) is an enlarged view of a groove.

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。本発明に用いるビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（三元ＦＫＭ系共重合ゴム）は、過酸化物架橋が可能な三元ＦＫＭ系共重合ゴムであり、例えば、ビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合ゴム（三元ＦＫＭ共重合ゴム）に反応性ハロゲン基（例えば、臭化オレフィン、ヨウ化オレフィン等）等の有機過酸化物架橋性基を導入した三元ＦＫＭ系共重合ゴムが挙げられる。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments thereof. The vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer rubber (ternary FKM copolymer rubber) used in the present invention is a ternary FKM copolymer rubber capable of peroxide crosslinking. For example, vinylidene Organic peroxide crosslinkable groups such as reactive halogen groups (for example, brominated olefins, iodinated olefins) were introduced into fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer rubber (ternary FKM copolymer rubber). A ternary FKM copolymer rubber is mentioned.

本発明に用いる三元ＦＫＭ系共重合ゴム中のフッ素含有率は特に特定しないが、好ましくは６７質量％から７２質量％、更に好ましくは６７質量％から７１質量％である。前記フッ素含有率が６７質量％から７２質量％であると、搬送ローラに用いるゴム部材として最適な引張応力緩和特性が得られるため好ましく、７２質量％以下であるとゴム組成物中での多官能性不飽和化合物の分散が良好であるため好ましく、６７質量％から７１質量％であると商業的に入手が容易であるため好ましい。 The fluorine content in the ternary FKM copolymer rubber used in the present invention is not particularly specified, but is preferably 67% by mass to 72% by mass, more preferably 67% by mass to 71% by mass. When the fluorine content is 67% by mass to 72% by mass, an optimum tensile stress relaxation property can be obtained as a rubber member used for the conveyance roller, and when it is 72% by mass or less, polyfunctionality in the rubber composition is obtained. It is preferable because the dispersibility of the unsaturated compound is good, and it is preferable that it is 67 mass% to 71 mass% because it is easily available commercially.

本発明に好適な三元ＦＫＭ系共重合ゴムは、ダイエルＧ−９１２（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９０６２（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９０７４（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９０１（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９０２（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９５０３（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９５２（ダイキン工業社製）、バイトンＧＦ−６００Ｓ（デュポンエラストマー社製）、テクノフロンＰ９５９（ソルベイソレクシス社製）、テクノフロンＰ４５９（ソルベイソレクシス社製）、テクノフロンＰ７５７（ソルベイソレクシス社製）又はテクノフロンＰ４５７（ソルベイソレクシス社製）、テクノフロンＰ９５９／３０Ｍ（ソルベイソレクシス社製）等として商業的に入手しても良い。これらの三元ＦＫＭ系共重合ゴムは、一種又は二種以上を組み合わせて用いてもよい。 The ternary FKM copolymer rubber suitable for the present invention is Daiel G-912 (Daikin Industries), Daiel G-9062 (Daikin Industries), Daiel G-9074 (Daikin Industries), Daiel G-. 901 (made by Daikin Industries), Daiel G-902 (made by Daikin Industries), Daiel G-9503 (made by Daikin Industries), Daiel G-952 (made by Daikin Industries), Viton GF-600S (made by DuPont Elastomers) ), Technoflon P959 (manufactured by Solvay Solexis), Technoflon P459 (manufactured by Solvay Solexis), Technoflon P757 (manufactured by Solvay Solexis) or Technoflon P457 (manufactured by Solvay Solexis), Technoflon P959 / 30M It may be commercially available as (Solvisolexis). These ternary FKM copolymer rubbers may be used singly or in combination of two or more.

本発明に用いる導電性カーボンブラックは、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり３〜２０質量部である。前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記導電性カーボンブラックが３質量部未満であると、得られる搬送ローラでガラス基板を搬送する際に生じるゴム部材の摩耗粉の粘着性が大きくなり、前記摩耗粉がガラス基板に粘着し、ガラス基板から摩耗粉を取り除きにくくなる。また、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記導電性カーボンブラックが３質量部未満であると、得られるゴム部材の体積抵抗率が大きくなる。搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板と接触するゴム部材の体積抵抗率が大きくなると、搬送したガラス基板上に静電気が帯電して、ガラス基板上の素子がＥＳＤ現象により破壊する虞が生じるため問題である。 The conductive carbon black used in the present invention is 3 to 20 parts by mass per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber. When the conductive carbon black is less than 3 parts by mass per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber, the adhesiveness of the abrasion powder of the rubber member generated when the glass substrate is conveyed by the obtained conveyance roller is increased. The wear powder adheres to the glass substrate, and it becomes difficult to remove the wear powder from the glass substrate. Further, when the conductive carbon black is less than 3 parts by mass per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber, the volume resistivity of the obtained rubber member is increased. If the volume resistivity of the rubber member that comes into contact with the glass substrate, which is a conveyed product, increases in the conveying roller, static electricity is charged on the conveyed glass substrate, and elements on the glass substrate may be destroyed due to an ESD phenomenon. It is.

前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記導電性カーボンブラックが２０質量部を超えると、本発明のゴム組成物の混練時の発熱が大きくなる。前記発熱が大きくなるとスコーチが発生する虞がある。また得られるゴム組成物を成形する際、配合組成に起因すると思われる融合不良等が発生するなど成形性が低下する。 When the conductive carbon black exceeds 20 parts by mass per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber, heat generation during kneading of the rubber composition of the present invention increases. If the heat generation becomes large, scorching may occur. Further, when the resulting rubber composition is molded, the moldability is deteriorated, for example, a poor fusion caused by the compounding composition occurs.

本発明に用いる導電性カーボンブラックは、ＪＩＳＫ６２１７−４におけるＤＢＰ吸油量が３００〜６００ｃｍ^３／１００ｇである。前記導電性カーボンブラックのＤＢＰ吸油量が３００ｃｍ^３／１００ｇ未満であると、得られるゴム部材は、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板と接触するゴム部材に求められる硬さ及び体積抵抗率を両立できない。すなわち、前記導電性カーボンブラックのＤＢＰ吸油量が３００ｃｍ^３／１００ｇ未満であると、得られるゴム部材を、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板に接触するゴム部材として好適な硬さに調整すると、得られるゴム部材の体積抵抗率が大きくなる。前記ゴム部材の体積抵抗率が大きいと、得られる搬送ローラで搬送したガラス基板上に静電気が帯電して、前記ガラス基板上の素子がＥＳＤ現象により破壊する虞がある。また、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板に接触するゴム部材として好適な体積抵抗率に調整すると、得られるゴム部材の硬さが硬くなる。前記ゴム部材の硬さが硬いと、得られる搬送ローラでガラス基板を搬送した場合、搬送物が滑ることにより搬送ローラが空転する虞がある。このため、本発明に用いる導電性カーボンブラックは、ＤＢＰ吸油量が３００ｃｍ^３／１００ｇ以上であり、好ましくは３４０ｃｍ^３／１００ｇ以上である。 Conductive carbon black used in the present invention, DBP oil absorption amount in JIS K 6217-4 is 300~600cm ³ / 100g. When DBP oil absorption of the conductive carbon black is less than 300 cm ^3/100 g, the resulting rubber member, both the hardness and volume resistivity required for the rubber member in contact with the glass substrate is conveyed in the conveyance roller Can not. That is, the when the DBP oil absorption of the conductive carbon black is less than 300 cm ^3/100 g, the resulting rubber member, to adjust to a suitable hardness as the rubber member in contact with the glass substrate is conveyed in the conveying roller, The volume resistivity of the resulting rubber member is increased. When the volume resistivity of the rubber member is large, static electricity is charged on the glass substrate transported by the resulting transport roller, and the elements on the glass substrate may be destroyed due to the ESD phenomenon. Further, when the volume resistivity is adjusted to be suitable as a rubber member that comes into contact with the glass substrate that is the conveyed product in the conveying roller, the hardness of the obtained rubber member is increased. If the rubber member is hard, when the glass substrate is conveyed by the obtained conveyance roller, there is a possibility that the conveyance roller slips due to slipping of the conveyed product. Thus, conductive carbon black used in the present invention is a DBP oil absorption 300 cm ^3/100 g or more, preferably 340 cm ^3/100 g or more.

また、前記導電性カーボンブラックのＤＢＰ吸油量が６００ｍ^３／１００ｇを超えると、得られるゴム部材は混練加工性および成形性が低下する。このため、本発明に用いる導電性カーボンブラックは、ＤＢＰ吸油量が６００ｃｍ^３／１００ｇ以下であり、好ましくは５５０ｃｍ^３／１００ｇ以下である。 Further, DBP oil absorption of the conductive carbon black is more than 600 meters ^3/100 g, the resulting rubber member kneading processability and moldability lowers. Thus, conductive carbon black used in the present invention is the DBP oil absorption is 600 cm ^3/100 g or less, preferably not more than 550 cm ^3/100 g.

また、本発明に用いる導電性カーボンブラックは、ＪＩＳＫ６２１７−２における窒素吸着比表面積が７００〜１４００ｍ²／ｇである。窒素吸着比表面積が７００ｍ²／ｇ未満であると、得られるゴム部材は、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板と接触するゴム部材に求められる硬さ及び体積抵抗率を両立できない。すなわち、前記導電性カーボンブラックの窒素吸着比表面積が７００ｍ²／ｇ未満であると、得られるゴム部材を、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板に接触するゴム部材として好適な硬さに調整すると、得られるゴム部材の体積抵抗率が大きくなる。前記ゴム部材の体積抵抗率が大きいと、得られる搬送ローラで搬送したガラス基板上に静電気が帯電して、前記ガラス基板上の素子がＥＳＤ現象により破壊する虞がある。また、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板に接触するゴム部材として好適な体積抵抗率に調整すると、得られるゴム部材の硬さが硬くなる。前記ゴム部材の硬さが硬いと、得られる搬送ローラでガラス基板を搬送した場合、搬送物が滑ることにより搬送ローラが空転する虞がある。このため、本発明に用いる導電性カーボンブラックは、窒素吸着比表面積が７００ｍ²／ｇ以上であり、好ましくは７５０ｍ²／ｇ以上である。 Moreover, the conductive carbon black used in the present invention has a nitrogen adsorption specific surface area of 700 to 1400 m ² / g in JIS K 6217-2. When the nitrogen adsorption specific surface area is less than 700 m ² / g, the resulting rubber member cannot achieve both the hardness and volume resistivity required for the rubber member that comes into contact with the glass substrate as the conveyed product in the conveying roller. That is, when the nitrogen adsorption specific surface area of the conductive carbon black is less than 700 m ² / g, the obtained rubber member is adjusted to a hardness suitable as a rubber member that contacts a glass substrate as a conveyed product in the conveying roller. The volume resistivity of the resulting rubber member is increased. When the volume resistivity of the rubber member is large, static electricity is charged on the glass substrate transported by the resulting transport roller, and the elements on the glass substrate may be destroyed due to the ESD phenomenon. Further, when the volume resistivity is adjusted to be suitable as a rubber member that comes into contact with the glass substrate that is the conveyed product in the conveying roller, the hardness of the obtained rubber member is increased. If the rubber member is hard, when the glass substrate is conveyed by the obtained conveyance roller, there is a possibility that the conveyance roller slips due to slipping of the conveyed product. For this reason, the conductive carbon black used in the present invention has a nitrogen adsorption specific surface area of 700 m ² / g or more, preferably 750 m ² / g or more.

また、前記導電性カーボンブラックの窒素吸着比表面積が１４００ｍ²／ｇを超えると、得られるゴム部材は引張応力緩和が大きくなり、混練加工性および成形性が低下する。このため、本発明に用いる導電性カーボンブラックは、窒素吸着比表面積が１４００ｍ²／ｇ以下であり、好ましくは１３５０ｍ²／ｇ以下である。 On the other hand, when the nitrogen adsorption specific surface area of the conductive carbon black exceeds 1400 m ² / g, the resulting rubber member has a large relaxation of tensile stress, and the kneadability and moldability are lowered. For this reason, the conductive carbon black used in the present invention has a nitrogen adsorption specific surface area of 1400 m ² / g or less, preferably 1350 m ² / g or less.

本発明に用いる導電性カーボンブラックの平均粒子径（一次粒子径）は特に限定されるものではないが、引張応力緩和特性、混練加工性および成形性の点から、好ましくは２０〜７０ｎｍ、より好ましくは３０〜５０ｎｍである。なお、前記平均粒子径は、透過型電子顕微鏡により、無作為に選択した１０００個のカーボンブラック粒子の粒子径を計測し、算術平均を求めたものである。 The average particle size (primary particle size) of the conductive carbon black used in the present invention is not particularly limited, but is preferably 20 to 70 nm, more preferably from the viewpoint of tensile stress relaxation characteristics, kneading processability and moldability. Is 30-50 nm. In addition, the said average particle diameter measured the particle diameter of 1000 carbon black particles selected at random with the transmission electron microscope, and calculated | required the arithmetic average.

本発明に用いる導電性カーボンブラックの粒子の構造に特に限定はなく、充填形状でもよく、中空シェル状の形状でもよいが、少ない導電性カーボンブラックの添加量で高い体積抵抗値のゴム部材が得られることから、中空シェル状の形状が好ましい。 The structure of the conductive carbon black particles used in the present invention is not particularly limited, and may be a filled shape or a hollow shell shape, but a rubber member having a high volume resistance value can be obtained with a small amount of conductive carbon black added. Therefore, a hollow shell shape is preferable.

本発明に好適な導電性カーボンブラックは、例えば、ケッチェンブラックＥＣ３００Ｊ、ケッチェンブラックＥＣ６００ＪＤ（いずれもケッチェンブラックインターナショナル社製）として商業的に入手することが出来る。 The conductive carbon black suitable for the present invention can be obtained commercially as, for example, Ketjen Black EC300J, Ketjen Black EC600JD (both manufactured by Ketjen Black International).

本発明に用いる有機過酸化物の配合量は、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり０．７〜３質量部である。前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記有機過酸化物が０．７質量部未満であると、得られる搬送ローラでガラス基板を搬送する際に生じるゴム部材の摩耗粉の粘着性が大きくなり、前記摩耗粉がガラス基板に粘着し、ガラス基板から摩耗粉を取り除きにくくなる。くわえて、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記有機過酸化物が０．７質量部未満であると、得られるゴム部材の引張応力緩和が大きくなる。前記ゴム部材の引張応力緩和が大きくなると、前記ゴム部材を搬送ローラにおいて搬送物と接触する部分のゴム部材として長期にわたり使用した際に、前記ゴム部材の緊迫力が低下し、前記搬送ローラの軸心であるローラシャフトおよびローラ本体の回転に前記ゴム部材の回転が追従しなくなり、前記ローラ本体が空転して搬送不良となる虞がある。このように、ゴム部材から生じる摩耗粉の粘着性や、ゴム部材の引張応力緩和特性の点で、本発明に用いる有機過酸化物の配合量は、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり０．７質量部以上であり、１．０質量部以上が好ましく、１．２質量部以上がより好ましい。 The compounding quantity of the organic peroxide used for this invention is 0.7-3 mass parts per 100 mass parts of said ternary FKM type copolymer rubber. When the organic peroxide is less than 0.7 parts by mass per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber, the adhesiveness of the abrasion powder of the rubber member generated when the glass substrate is conveyed by the obtained conveyance roller is The wear powder adheres to the glass substrate, and it is difficult to remove the wear powder from the glass substrate. In addition, when the organic peroxide is less than 0.7 parts by mass per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber, the tensile stress relaxation of the resulting rubber member is increased. When the tensile stress relaxation of the rubber member is increased, when the rubber member is used for a long time as a rubber member in a portion in contact with the conveyed object in the conveying roller, the elastic force of the rubber member is reduced, and the shaft of the conveying roller is reduced. There is a possibility that the rotation of the rubber member does not follow the rotation of the roller shaft and the roller main body, which are the cores, and the roller main body idles, resulting in poor conveyance. Thus, the amount of the organic peroxide used in the present invention is 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber in terms of the adhesiveness of the abrasion powder generated from the rubber member and the tensile stress relaxation property of the rubber member. It is 0.7 parts by mass or more, preferably 1.0 part by mass or more, and more preferably 1.2 parts by mass or more.

本発明に用いる有機過酸化物の配合量が、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり３質量部を超えると、本発明のゴム組成物の架橋速度が速くなり、前記ゴム組成物の混練中や成形中にスコーチが発生する等の成形性が低下する。このため、本発明に用いる有機過酸化物の配合量は、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記有機過酸化物は３質量部以下であり、２質量部以下が好ましい。 When the amount of the organic peroxide used in the present invention exceeds 3 parts by mass per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber, the crosslinking rate of the rubber composition of the present invention increases, Formability such as scorch generation during kneading or molding is reduced. For this reason, the compounding amount of the organic peroxide used in the present invention is 3 parts by mass or less, preferably 2 parts by mass or less, per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber.

本発明に用いる有機過酸化物として、ｏ−メチルベンゾイルパーオキサイド、ビス（３，５，５−トリメチルヘキサノイル）パーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ジクミルパーオキサイド、１，３−ビス（ｔ−ブチルパーオキシイソプロピル）ベンゼン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）−ヘキシン−３、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン又はジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等が例示され、一種又は二種以上を組み合わせて用いることができる。なかでも、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサンが、本発明のゴム部材から生じる前記摩耗粉の粘着性、本発明のゴム部材の引張応力緩和特性、本発明のゴム組成物の成形性の点で好適である。 As the organic peroxide used in the present invention, o-methylbenzoyl peroxide, bis (3,5,5-trimethylhexanoyl) peroxide, lauroyl peroxide, benzoyl peroxide, t-butylperoxypivalate, t- Butylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxyisobutyrate, dicumyl peroxide, 1,3-bis (t-butylperoxyisopropyl) benzene, 2,5-dimethyl-2,5- Examples include di (t-butylperoxy) -hexyne-3,2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane, di-t-butyl peroxide, and the like, one or more Can be used in combination. Among them, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane is the adhesiveness of the wear powder generated from the rubber member of the present invention, the tensile stress relaxation property of the rubber member of the present invention, It is suitable in terms of moldability of the rubber composition of the invention.

本発明に用いる多官能性不飽和化合物の配合量は前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり１〜５質量部である。前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり本発明に用いる多官能性不飽和化合物が１質量部未満であると、得られる搬送ローラでガラス基板を搬送する際に生じるゴム部材の摩耗粉の粘着性が大きくなり、前記摩耗粉がガラス基板に粘着し、ガラス基板から摩耗粉を取り除きにくくなる。くわえて、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記多官能性不飽和化合物が１質量部未満であると、得られるゴム部材の引張応力緩和が大きくなる。前記ゴム部材の引張応力緩和が大きくなると、前記ゴム部材を搬送ローラにおいて搬送物と接触する部分のゴム部材として長期にわたり使用した際に、前記ゴム部材の緊迫力が低下し、前記搬送ローラにおいて、ローラシャフトおよびローラ本体の回転に前記ゴム部材の回転が追従しなくなり、前記ローラ本体が空転して搬送不良となり、さらに前記ローラ本体が空転することにより、前記ローラ本体と前記ゴム部材の摩擦により前記ゴム部材が摩耗し、摩耗粉が発生するなどの不具合が生じる虞がある。このように、ゴム部材から生じる摩耗粉の粘着性や、ゴム部材の引張応力緩和特性の点で、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記多官能性不飽和化合物は１質量部以上であり、１．５質量部以上が好ましい。また、本発明のゴム組成物の架橋反応をより好適に促進することから、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記多官能性不飽和化合物は２質量部以上がより好ましい。 The compounding quantity of the polyfunctional unsaturated compound used for this invention is 1-5 mass parts per 100 mass parts of said ternary FKM type copolymer rubber. When the polyfunctional unsaturated compound used in the present invention is less than 1 part by mass per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber, the abrasion powder of the rubber member generated when the glass substrate is conveyed by the obtained conveyance roller The adhesiveness increases, and the wear powder adheres to the glass substrate, and it becomes difficult to remove the wear powder from the glass substrate. In addition, when the polyfunctional unsaturated compound is less than 1 part by mass per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber, the tensile stress relaxation of the resulting rubber member increases. When the tensile stress relaxation of the rubber member is increased, when the rubber member is used over a long period of time as a rubber member in contact with an object to be conveyed in the conveying roller, the tightening force of the rubber member is reduced, and in the conveying roller, The rotation of the rubber member does not follow the rotation of the roller shaft and the roller main body, the roller main body is idled to cause a conveyance failure, and the roller main body is idled to cause the friction between the roller main body and the rubber member. There is a possibility that problems such as wear of the rubber member and generation of wear powder may occur. Thus, the polyfunctional unsaturated compound is 1 part by mass or more per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber in terms of adhesiveness of wear powder generated from the rubber member and tensile stress relaxation characteristics of the rubber member. It is preferably 1.5 parts by mass or more. Moreover, since the crosslinking reaction of the rubber composition of this invention is accelerated | stimulated more suitably, the said polyfunctional unsaturated compound has more preferable 2 mass parts or more per 100 mass parts of said ternary FKM type copolymer rubber.

本発明に用いる多官能性不飽和化合物の配合量が、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり５質量部を越えると、得られるゴム部材の表面に前記多官能性不飽和化合物の重合物が析出して成形不良が発生する等、成形性が低下する。このことから、本発明のゴム組成物において好適な成形性を得るためには、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記多官能性不飽和化合物は５質量部以下であり、４質量部以下が好ましい。 When the blending amount of the polyfunctional unsaturated compound used in the present invention exceeds 5 parts by mass per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber, the polyfunctional unsaturated compound is polymerized on the surface of the resulting rubber member. Formability deteriorates, for example, a product is deposited and a molding defect occurs. From this, in order to obtain suitable moldability in the rubber composition of the present invention, the polyfunctional unsaturated compound is 5 parts by mass or less per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber, and 4 parts by mass. Part or less is preferred.

前記多官能性不飽和化合物として、キノンジオキシム系（ｐ−キノンジオキシム等）、メタアクリレート系（トリエチレングリコールジメタアクリレート、メチルメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート等）、アリル系（ジアリルフタレート、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリアリルトリメリテート等）、マレイミド系（マレイミド、フェニルマレイミド、Ｎ，Ｎ´−ｍ−フェニレンビスマレイミド等）、無水マレイン酸、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン又は１，２-ポリブタジエン等が例示され、一種又は二種以上を組み合わせて用いることができる。なかでも、トリアリルイソシアヌレートが、本発明のゴム部材から生じる前記摩耗粉の粘着性、本発明のゴム部材の引張応力緩和特性、本発明のゴム組成物の成形性の点で好適である。 Examples of the polyfunctional unsaturated compound include quinone dioxime (p-quinone dioxime, etc.), methacrylate (triethylene glycol dimethacrylate, methyl methacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, etc.), allyl (diallyl phthalate). , Triallyl cyanurate, triallyl isocyanurate, triallyl trimellitate, etc.), maleimide (maleimide, phenylmaleimide, N, N′-m-phenylenebismaleimide, etc.), maleic anhydride, divinylbenzene, vinyltoluene or 1,2-polybutadiene is exemplified, and one or a combination of two or more can be used. Among them, triallyl isocyanurate is preferable in terms of the adhesiveness of the wear powder generated from the rubber member of the present invention, the tensile stress relaxation property of the rubber member of the present invention, and the moldability of the rubber composition of the present invention.

本発明のゴム組成物には、例えば、老化防止剤（例えば、アミン系、フェノール系、イミダゾール系）、可塑剤（例えば、アジピン酸系可塑剤（ジオクチルアジペート等）、セバシン酸系可塑剤（セバシン酸ジオクチル等）、トリメリット酸系可塑剤（トリメリテート等）、重合型可塑剤（例えば、ポリエーテル若しくはポリエステル等の重合型可塑剤）等）又は加工助剤（例えば、ステアリン酸、パルミチン酸、パラフィンワックス等）等ゴム工業で一般的に使用されている配合剤を必要に応じて適宜添加することができる。なお、各配合剤の添加量は特に限定せず、本発明の目的を損なわない範囲で必要に応じて適宜設定することができる。 Examples of the rubber composition of the present invention include an anti-aging agent (for example, amine-based, phenol-based, and imidazole-based), a plasticizer (for example, adipic acid-based plasticizer (dioctyl adipate, etc.), sebacic acid-based plasticizer (sebacin). Acid dioctyl), trimellitic acid plasticizer (trimellitate, etc.), polymerization type plasticizer (eg, polymerization plasticizer such as polyether or polyester)) or processing aid (eg, stearic acid, palmitic acid, paraffin) A compounding agent generally used in the rubber industry, such as wax, can be added as necessary. In addition, the addition amount of each compounding agent is not specifically limited, It can set suitably as needed in the range which does not impair the objective of this invention.

本発明のゴム組成物を、従来公知のインタミックス、ニーダ、バンバリーミキサ等の混練機、オープンロール又は二軸混練押出機等を用いて混練した後、射出成形機、圧縮成形機、加熱プレス機又は押出成形機等を用いて所望の形状に架橋成形して前記ゴム部材を得ることができる。前記架橋成形において、例えば１４０℃〜２００℃で２分間〜３０分間の一次架橋を施した後、必要に応じて１５０℃〜２３０℃で１時間〜２４時間の二次架橋を施すというような条件で架橋を行うことが好ましい。二次架橋を施すことで、一次架橋のみの場合のゴム部材と比較して、前記ゴム部材を搬送ローラのゴム部材とした場合に前記ゴム部材から発塵する摩耗粉の搬送物である前記ガラス基板への付着量を低減でき、また前記ゴム部材の引張応力緩和を小さくすることができる。 The rubber composition of the present invention is kneaded using a conventionally known kneader such as intermix, kneader, Banbury mixer, open roll or twin-screw kneading extruder, and then an injection molding machine, a compression molding machine, and a heating press machine. Alternatively, the rubber member can be obtained by crosslinking and molding into a desired shape using an extruder or the like. In the cross-linking molding, for example, a condition in which primary cross-linking is performed at 140 ° C. to 200 ° C. for 2 minutes to 30 minutes and then secondary cross-linking is performed at 150 ° C. to 230 ° C. for 1 hour to 24 hours as necessary. It is preferable to perform cross-linking. The glass, which is a conveyed product of abrasion powder that generates dust from the rubber member when the rubber member is used as a rubber member of a conveying roller as compared with a rubber member in the case of only the primary crosslinking by performing secondary crosslinking. The amount of adhesion to the substrate can be reduced, and the relaxation of the tensile stress of the rubber member can be reduced.

本発明のゴム部材は、ＪＩＳＫ６２５３に準拠して評価した、デュロメータ硬さ（瞬間値）がＡ５５〜Ａ９０である。この範囲の硬さは、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板と接触する部分に用いるゴム部材として好適な硬さである。前記搬送ローラがガラス基板を搬送するためのグリップ力が向上し、前記搬送ローラの搬送効率が向上することから、本発明のゴム部材のデュロメータ硬さ（瞬間値）はＡ６５〜Ａ８０であることが好ましい。例えば、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たりの前記導電性カーボンブラックの配合量が、前記導電性カーボンブラックの窒素吸着比表面積が７００〜９００ｍ²／ｇの場合５〜１０質量部であり、前記導電性カーボンブラックの窒素吸着比表面積が１２００〜１４００ｍ²／ｇの場合３〜７．５質量部であると、得られるゴム部材のデュロメータ硬さがＡ６５〜Ａ８０となる。 The rubber member of the present invention has a durometer hardness (instantaneous value) of A55 to A90 evaluated according to JIS K 6253. The hardness in this range is a hardness suitable as a rubber member used for a portion in contact with the glass substrate which is a conveyed product in the conveying roller. Since the grip force for the conveyance roller to convey the glass substrate is improved and the conveyance efficiency of the conveyance roller is improved, the durometer hardness (instantaneous value) of the rubber member of the present invention is A65 to A80. preferable. For example, the blending amount of the conductive carbon black per 100 parts by mass of the ternary FKM copolymer rubber is 5 to 10 parts by mass when the nitrogen adsorption specific surface area of the conductive carbon black is 700 to 900 m ² / g. When the nitrogen adsorption specific surface area of the conductive carbon black is 1200 to 1400 m ² / g, the durometer hardness of the obtained rubber member is A65 to A80 when it is 3 to 7.5 parts by mass.

また、本発明のゴム部材は、体積抵抗率が１．０×１０^０〜１．０×１０^５Ω・ｃｍである。このため、本発明のゴム部材に対して、他の部材が摩擦、あるいは接触して剥離することにより前記の他の部材が帯電することを防ぐことができる。このことから、ＥＳＤ現象を低減する必要がある部分に用いるゴム部材として好適である。例えば、素子を載置したガラス基板を搬送するための搬送ローラに用いるゴム部材のうち、搬送物であるガラス基板と接する部分のゴム部材に、本発明のゴム部材は好適である。 The rubber member of the present invention has a volume resistivity of 1.0 × 10 ^{0 to} 1.0 × 10 ⁵ Ω · cm. For this reason, with respect to the rubber member of the present invention, it is possible to prevent the other member from being charged due to the friction or contact and separation of the other member. For this reason, it is suitable as a rubber member used for a portion where the ESD phenomenon needs to be reduced. For example, the rubber member of the present invention is suitable for a rubber member in a portion in contact with a glass substrate that is a conveyance object among rubber members used for a conveyance roller for conveying a glass substrate on which an element is placed.

搬送ローラにおいて、搬送物であるガラス基板と接触する部分のゴム部材は、複数の搬送物を連続して搬送するため引張応力を連続的に受ける。このことにより、前記ゴム部材に引張応力緩和が生じる。前記引張応力緩和が大きいと、稼動後早期に前記ゴム部材の緊迫力が低下し、前記搬送ローラにおいて、前記ゴム部材とローラ本体の間で滑りが生じ、前記ローラ本体が空転して搬送不良となる傾向にある。さらに前記ローラ本体が空転することにより、前記ローラ本体と前記ゴム部材の摩擦により前記ゴム部材が摩耗し、摩耗粉が発生するなどの不具合が生じる虞がある。しかしながら、本発明の搬送ローラは、引張応力緩和が小さいため、前記空転が生じにくく、前記空転による摩耗粉が発生し難く、良好な搬送特性を長期に渡り維持できる。なお、本発明のゴム部材の引張応力緩和測定値は、ＪＩＳＫ６２６３（引張応力緩和試験Ａ法）に準拠して、試験片は短冊１号形とし、試験温度４０℃、試験時間３０分、試験ひずみ２０％の条件下において、１０％以下である。 In the transport roller, the rubber member in the portion that comes into contact with the glass substrate, which is a transport object, continuously receives a tensile stress in order to continuously transport a plurality of transport objects. As a result, tensile stress relaxation occurs in the rubber member. If the tensile stress relaxation is large, the tightening force of the rubber member is reduced early after operation, and in the transport roller, slip occurs between the rubber member and the roller main body, and the roller main body idles and transport failure. Tend to be. Furthermore, when the roller body idles, the rubber member is worn by friction between the roller body and the rubber member, and there is a possibility that a problem such as generation of wear powder occurs. However, the conveyance roller of the present invention has low relaxation of the tensile stress, so that the idling hardly occurs, the wear powder due to the idling hardly occurs, and good conveyance characteristics can be maintained for a long period. In addition, the tensile stress relaxation measured value of the rubber member of the present invention is based on JIS K 6263 (Tensile Stress Relaxation Test Method A), the test piece is a strip No. 1, test temperature 40 ° C., test time 30 minutes, It is 10% or less under the condition of a test strain of 20%.

また、本発明の搬送ローラにおいて、ガラス基板搬送時に、搬送物であるガラス基板と前記ガラス基板と接触する部分のゴム部材との摩擦や剥離によってガラス基板に帯電した静電気を効率よく逃すためには、ゴム部材は接地（アース）されていることが望ましい。接地の方法は特に制限は無いが、ゴム部材を導電性の樹脂や金属等の導電部材でできた溝等を介してローラシャフトに固定して接地するなどの方法が考えられる。 In the transport roller of the present invention, when the glass substrate is transported, in order to efficiently escape the static electricity charged on the glass substrate due to friction or peeling between the glass substrate as a transported object and the rubber member in contact with the glass substrate. The rubber member is preferably grounded. The method of grounding is not particularly limited, but a method of grounding by fixing the rubber member to the roller shaft via a groove made of a conductive member such as conductive resin or metal is conceivable.

本発明のゴム部材の形状は特に限定されず、Ｏリング、Ｄリング、角リング、Ｘリング、Ｔリング等のリング形状又はシート形状等や、金属材料や樹脂材料と接着等で組み合わせた複合体等その目的に応じて適宜選ばれる。本発明のゴム部材の大きさも特に限定はなく、目的に応じ適宜選ばれる。 The shape of the rubber member of the present invention is not particularly limited, and is a composite formed by combining a ring shape such as an O-ring, a D-ring, a square ring, an X-ring, or a T-ring, a sheet shape, or a metal material or a resin material. Etc. are appropriately selected according to the purpose. The size of the rubber member of the present invention is not particularly limited, and is appropriately selected according to the purpose.

本発明の搬送ローラは少なくとも搬送物と接する部分が本発明のゴム部材であり、例えば、中心軸を回転軸とした円筒状で前記円筒の側面に本発明のゴム部材を被覆した搬送ローラや、周方向に溝を設けた円筒状もしくは円盤状のローラ本体に前記溝に適合する形状とした本発明のゴム部材を設置した搬送ローラが挙げられる。前記搬送ローラをガラス基板搬送装置などの搬送装置に少なくとも一式設置し、ガラス基板などの搬送物を搬送する。 The conveyance roller of the present invention is a rubber member of the present invention at least at a portion in contact with the conveyance object, for example, a conveyance roller in which the central axis is a cylindrical shape and the side surface of the cylinder is coated with the rubber member of the present invention, Examples thereof include a conveyance roller in which a rubber member of the present invention having a shape suitable for the groove is installed on a cylindrical or disk-shaped roller body provided with a groove in the circumferential direction. At least one set of the transport rollers is installed on a transport device such as a glass substrate transport device to transport a transported object such as a glass substrate.

例えば、図１、２に示すように、ガラス基板Ｋの下面Ｋｂ側に、ガラス基板Ｋの搬送方向Ｙに並設された複数本のローラシャフト３と、ローラシャフト３に外嵌されガラス基板Ｋを下面Ｋｂ側から支持しつつ送り出し搬送するための複数のローラ本体１と、ローラ本体１の凹周溝１１に装着される本発明のゴム部材８と、を備える搬送ユニットが例示される。図１、２においてゴム部材８の形状はＯリングであるが、角リング、異形リングなど他の断面形状の円環状（リング状）としても良い。 For example, as shown in FIGS. 1 and 2, a plurality of roller shafts 3 arranged in parallel in the transport direction Y of the glass substrate K on the lower surface Kb side of the glass substrate K, and the glass substrate K that is externally fitted to the roller shaft 3. A transport unit including a plurality of roller main bodies 1 for feeding and transporting while supporting from the lower surface Kb side, and the rubber member 8 of the present invention mounted in the concave circumferential groove 11 of the roller main body 1 is exemplified. 1 and 2, the shape of the rubber member 8 is an O-ring. However, the rubber member 8 may have an annular shape (ring shape) having another cross-sectional shape such as a square ring or a deformed ring.

また、図３、４に示すように、ガラス基板Ｋの上下両側に、ガラス基板Ｋの搬送方向Ｙに並設された複数本のローラシャフト３と、ローラシャフト３に外嵌されガラス基板Ｋを上下方向から挟圧しつつ搬送する複数対のローラ本体１と、本発明のゴム部材８と、を備えている。ここで、図３、４でゴム部材８の形状はＯリングであるが、角リング、異形リングなど他の断面形状の円環状（リング状）としても良い。 As shown in FIGS. 3 and 4, a plurality of roller shafts 3 arranged in parallel in the transport direction Y of the glass substrate K on both the upper and lower sides of the glass substrate K, and the glass substrate K that is externally fitted to the roller shaft 3 are attached. There are provided a plurality of pairs of roller bodies 1 that convey while sandwiching pressure from above and below, and a rubber member 8 of the present invention. Here, the shape of the rubber member 8 in FIGS. 3 and 4 is an O-ring, but it may be an annular shape (ring shape) having another cross-sectional shape such as a square ring or a deformed ring.

図３、４において、上側のローラ本体１（１Ａ）及び上側のゴム部材８（８Ａ）と、その上側のローラ本体１Ａ及び上側のゴム部材８Ａに対してガラス基板Ｋを挟んで対面位置に配設された下側のローラ本体１（１Ｂ）及び下側のゴム部材８（８Ｂ）は、前後方向及び左右方向が一致するように配設している。つまり、上側のゴム部材８Ａの左右中心線Ｓａと下側のゴム部材８Ｂの左右中心線Ｓｂとが一致するよう（同一直線上）に配設し、かつ、上側のゴム部材８Ａの前後中心線と下側のゴム部材８Ｂの前後中心線とが一致するように配設している。なお、本発明において、前方向とは、ガラス基板Ｋの進行方向Ｙで
ある。 3 and 4, the upper roller body 1 (1A) and the upper rubber member 8 (8A) and the upper roller body 1A and the upper rubber member 8A are arranged facing each other with the glass substrate K interposed therebetween. The provided lower roller body 1 (1B) and the lower rubber member 8 (8B) are arranged so that the front-rear direction and the left-right direction coincide with each other. That is, the left and right center line Sa of the upper rubber member 8A and the left and right center line Sb of the lower rubber member 8B are arranged so as to coincide (on the same straight line), and the front and rear center lines of the upper rubber member 8A Are arranged so that the front and rear center lines of the lower rubber member 8B coincide with each other. In the present invention, the forward direction is the traveling direction Y of the glass substrate K.

図３、４に示すように、上下方向からゴム部材８をガラス基板Ｋに接触させつつ送り出し搬送することで、ガラス基板Ｋの水平度が保持され、安定した搬送を可能にする。また、上側のゴム部材８（８Ａ）と下側のゴム部材８（８Ｂ）が、前後方向及び左右方向が一致するように配設することで、ゴム部材の位置ずれによりガラス基板Ｋに生じる割れやヒビ等の破損を防止する。このことから、上下方向からゴム部材８をガラス基板Ｋに接触させつつ送り出し搬送することが好ましい。 As shown in FIGS. 3 and 4, the rubber member 8 is sent out and conveyed while being in contact with the glass substrate K from above and below, so that the level of the glass substrate K is maintained and stable conveyance is possible. In addition, the upper rubber member 8 (8A) and the lower rubber member 8 (8B) are disposed so that the front-rear direction and the left-right direction coincide with each other, so that the glass substrate K is cracked due to the displacement of the rubber member. Prevents damage such as cracks and cracks. For this reason, it is preferable to feed and convey the rubber member 8 from the vertical direction while contacting the glass substrate K.

本発明の搬送ローラは、ガラス基板を搬送した際に、搬送ローラのゴム部材から発塵する摩耗粉がガラス基板に極めて粘着し難いことに加え、前記ゴム部材の引張応力緩和が小さいことから搬送不良が起こりにくく、前記ガラス基板と接する部分にＥＳＤ現象を低減したゴム部材を用いることから、例えばフラットパネルディスプレイ製造装置に使用するガラス基板搬送用の搬送ローラとして、好適に使用でき、ＥＳＤ現象を低減している観点から、フラットパネルディスプレイ製造工程のドライ工程に使用する、ガラス基板搬送用の搬送ローラとして、特に好適に使用できる。 The transport roller of the present invention transports the wear powder generated from the rubber member of the transport roller when the glass substrate is transported, and is hardly adhered to the glass substrate. Since a rubber member with reduced ESD phenomenon is used in a portion that is unlikely to be defective and is in contact with the glass substrate, for example, it can be suitably used as a conveyance roller for conveying a glass substrate used in a flat panel display manufacturing apparatus. From the viewpoint of reducing, it can be particularly suitably used as a transport roller for transporting a glass substrate used in a dry process of a flat panel display manufacturing process.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、実施例等で使用した材料およびその略号は以下のとおりである。 EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. The materials used in the examples and the abbreviations are as follows.

有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴムとしては、
・Ａ-１：有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（共重合ゴム中のフッ素含有率７１質量％）：ダイエルＧ−９１２（ダイキン工業社製）
・Ａ−２：有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（共重合ゴム中のフッ素含有率７０質量％）：テクノフロンＰ９５９（ソルベイソレクシス社製）
・Ａ−３：有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（共重合ゴム中のフッ素含有率６７質量％）：テクノフロンＰ７５７（ソルベイソレクシス社製） As vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer rubber having an organic peroxide crosslinkable group introduced,
A-1: Vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer rubber into which an organic peroxide crosslinkable group has been introduced (fluorine content of 71% by mass in the copolymer rubber): Daiel G-912 (Daikin) (Manufactured by Kogyo)
A-2: Vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer rubber introduced with an organic peroxide crosslinkable group (fluorine content 70 mass% in copolymer rubber): Technoflon P959 (Solveiso (Lexis)
A-3: Vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer rubber having an organic peroxide crosslinkable group introduced (fluorine content 67 mass% in copolymer rubber): Technoflon P757 (Solveiso (Lexis)

有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴムとの比較として以下Ａ’−１およびＡ’−２の成分を用いた。
・Ａ’−１：有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（共重合ゴム中のフッ素含有率６６質量％）：ダイエルＧ−８０１（ダイキン工業社製）
・Ａ’−２：ポリオール架橋可能なビニリデンフロライド−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（共重合ゴム中のフッ素含有率６６質量％）：ダイエルＧ−７０２（ダイキン工業社製） As a comparison with vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer rubber into which an organic peroxide crosslinkable group was introduced, the following components A′-1 and A′-2 were used.
A′-1: Vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer rubber introduced with an organic peroxide crosslinkable group (fluorine content 66 mass% in copolymer rubber): Daiel G-801 (manufactured by Daikin Industries, Ltd.) )
A′-2: Polyvinyl crosslinkable vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer rubber (fluorine content 66% by mass in copolymer rubber): Daiel G-702 (manufactured by Daikin Industries)

ＤＢＰ吸油量が３００〜６００ｃｍ^３／１００ｇであり、窒素吸着比表面積が７００〜１４００ｍ²／ｇである導電性カーボンブラックとしては、
・Ｂ−１：導電性カーボンブラック（ＤＢＰ吸油量３６０ｃｍ^３／１００ｇ、窒素吸着比表面積８００ｍ²／ｇ、平均粒子径３９．５ｎｍ、中空シェル形状）：ケッチェンブラックＥＣ３００Ｊ（ケッチェンブラックインターナショナル社製）
・Ｂ−２：導電性カーボンブラック（ＤＢＰ吸油量４９５ｃｍ^３／１００ｇ、窒素吸着比表面積１２７０ｍ²／ｇ、平均粒子径３４．０ｎｍ、中空シェル形状）：ケッチェンブラックＥＣ６００ＪＤ（ケッチェンブラックインターナショナル社製） A DBP oil absorption 300~600cm ³ / 100g, as the electrically conductive carbon black nitrogen adsorption specific surface area of 700~1400m ² / g,
· B-1: conductive carbon black (DBP oil absorption of 360 cm ^3/100 g, the nitrogen adsorption specific surface area 800 m ² / g, an average particle diameter of 39.5 nm, a hollow shell shape): Ketjen Black EC300J (Ketjen Black International Co., Ltd. )
· B-2: conductive carbon black (DBP oil absorption 495cm ³ / 100g, nitrogen adsorption specific surface area 1270 m ² / g, an average particle diameter of 34.0nm, hollow shell shape): Ketjen Black EC600JD (Ketjen Black International Co., Ltd. )

ＤＢＰ吸油量が３００〜６００ｃｍ^３／１００ｇであり、窒素吸着比表面積が７００〜１４００ｍ²／ｇである導電性カーボンブラックの比較として、以下のＢ’−１およびＢ’−２の成分を用いた。
・Ｂ’−１：導電性カーボンブラック（ＤＢＰ吸油量１５５ｃｍ^３／１００ｇ、窒素吸着比表面積２２５ｍ²／ｇ、平均粒子径２５ｎｍ、充填形状）：トーカブラック＃５５００（東海カーボン社製）
・Ｂ’−２：導電性カーボンブラック（ＤＢＰ吸油量１６８ｃｍ^３／１００ｇ、窒素吸着比表面積５８ｍ²／ｇ、平均粒子径４０ｎｍ、充填形状）：トーカブラック＃４５００（東海カーボン社製） DBP oil absorption amount is 300~600cm ³ / 100g, a specific surface area by nitrogen adsorption as compared conductive carbon black is 700~1400m ² / g, was used component of B'-1 and B'-2 below .
· B'-1: conductive carbon black (DBP oil absorption 155cm ³ / 100g, nitrogen adsorption specific surface area 225 m ² / g, an average particle diameter of 25 nm, the filling shape): TOKABLACK # 5500 (manufactured by Tokai Carbon Co., Ltd.)
· B'-2: conductive carbon black (DBP oil absorption 168cm ³ / 100g, nitrogen adsorption specific surface area 58m ² / g, an average particle diameter of 40 nm, the filling shape): TOKABLACK # 4500 (manufactured by Tokai Carbon Co., Ltd.)

有機過酸化物としては、
・Ｃ−１：有機過酸化物（２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン）：パーヘキサ２５Ｂ（日油社製） As organic peroxide,
C-1: organic peroxide (2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane): perhexa 25B (manufactured by NOF Corporation)

多官能性不飽和化合物としては、
・Ｃ−２：多官能性不飽和化合物（トリアリルイソシアヌレート）：ＴＡＩＣ（日本化成社製） As polyfunctional unsaturated compounds,
C-2: polyfunctional unsaturated compound (triallyl isocyanurate): TAIC (Nippon Kasei Co., Ltd.)

有機過酸化物架橋の比較として、以下のポリオール架橋用のＣ’−１、Ｃ’−２の成分を検討した添加剤としては、
・Ｃ’−１：キョウワマグ１５０（協和化学工業社製）：酸化マグネシウム（受酸剤）
・Ｃ’−２：カルディック２０００（近江化学工業社製）：水酸化カルシウム（受酸剤） As a comparison of organic peroxide cross-linking, as an additive for examining the following components for C′-1 and C′-2 for cross-linking polyol,
C′-1: Kyowa Mag 150 (manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.): Magnesium oxide (acid acceptor)
C'-2: Caldic 2000 (Omi Chemical Co., Ltd.): Calcium hydroxide (acid acceptor)

実施例１〜１７、比較例１、３〜１４について、表１〜４の配合に示す割合のゴム及び配合剤を、オープンロールにて混練してゴム組成物を調整した。次いで、ゴム組成物をプレス成形装置
にて１６０℃で１０分間プレス架橋した後、更に２００℃で４時間二次架橋してゴム部材を得た。なお、表１〜４の配合の単位は質量部である。 For Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 and 3 to 14, rubbers and compounding agents in proportions shown in Tables 1 to 4 were kneaded with an open roll to prepare rubber compositions. Next, the rubber composition was subjected to press crosslinking at 160 ° C. for 10 minutes using a press molding apparatus, and then secondary crosslinked at 200 ° C. for 4 hours to obtain a rubber member. In addition, the unit of the mixing | blending of Tables 1-4 is a mass part.

比較例２は、表３の配合に示す割合のゴムおよび配合剤を、オープンロールにて混練してゴム組成物を調整した。次いで、ゴム組成物を１７０℃で１０分間プレス架橋を試みた。 In Comparative Example 2, a rubber composition was prepared by kneading rubbers and compounding agents in proportions shown in Table 3 with an open roll. The rubber composition was then subjected to press crosslinking at 170 ° C. for 10 minutes.

実施例１〜１７及び比較例１、３〜１４で得られたゴム部材をサンプルとして、以下の（１）〜（５）の評価を行い、それらの結果に基づいて（６）総合評価を実施した。その結果を表１〜４に示す。なお、比較例２は、プレス架橋を試みたが加硫しなかったため、（２）〜（５）の評価は実施できなかった。 Using the rubber members obtained in Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 and 3 to 14 as samples, the following (1) to (5) are evaluated, and (6) comprehensive evaluation is performed based on the results. did. The results are shown in Tables 1-4. In Comparative Example 2, although press crosslinking was attempted but not vulcanized, the evaluations (2) to (5) could not be performed.

（１）成形性
ＪＩＳＢ２４０１記載のＧ２５サイズのＯリングを２０個成形して目視で外観を確認し、多官能性不飽和化合物の重合物と思われる析出物や、スコーチによる成形不良、ゴムの融合不良等、配合組成に起因すると思われる異常が確認されたものを外観不良とし、以下の基準にて評価した。
○ ：成形品の外観不良品が１個以下
× ：成形品の外観不良品が２個以上、あるいは加硫しない (1) Moldability 20 G25 size O-rings described in JIS B 2401 were molded and the appearance was visually confirmed. Precipitates considered to be a polymer of a polyfunctional unsaturated compound, molding defects due to scorch, rubber Those in which abnormalities considered to be caused by the blending composition such as poor fusion were confirmed as poor appearance and evaluated according to the following criteria.
○: 1 or less defective appearance of molded product ×: 2 or more defective appearance products of molded product or not vulcanized

（２）摩耗粉の粘着性
図５に示す摩耗試験装置を用いてガラス板への摩耗粉の粘着性を確認した。即ち、ＪＩＳＢ２４０１に記載のＰ２０サイズの試験用Ｏリング１０を質量２．５ＮのＯリングホルダー１２０で把持し、試験用Ｏリング１１０と可動式架台１３０に固定したガラス板１４０（松浪硝子工業社製大型スライドガラス）を、Ｏリングホルダー１２０の質量により圧接し、駆動装置（図示せず）によりガラス板１４０を固定した可動式架台１３０を１分間に５０回の速さで一方向（矢印で図示）に往復摺動（ストローク５０ｍｍ）させ、１００００往復後にガラス板１４０を取り出し、ガラス板１４０上に付着している摩耗粉を目視で確認し、以下の基準で評価した。
○ ：摩耗粉は見られない、
又は摩耗粉が発生してガラス板表面に付着しているが、
１００ｃｃポリエチレン製洗浄瓶を使用して
エタノールをかけ流すと容易に除去できる。
× ：摩耗粉がＯリングの摺動方向に伸びて
ガラス板表面に粘着している状態が観察される、
あるいは１００ｃｃポリエチレン製洗浄瓶を使用してエタノールを
かけ流しても容易に除去できない摩耗粉が付着している。 (2) Adhesiveness of abrasion powder The abrasion resistance of the abrasion powder to the glass plate was confirmed using the abrasion test apparatus shown in FIG. That is, a glass plate 140 (Matsunami Glass Industrial Co., Ltd.), which holds a P20 size test O-ring 10 described in JISB 2401 with an O-ring holder 120 having a mass of 2.5 N and is fixed to the test O-ring 110 and the movable mount 130. A large slide glass) is pressed by the mass of the O-ring holder 120, and the movable mount 130 on which the glass plate 140 is fixed by a driving device (not shown) is moved in one direction (indicated by an arrow) at a speed of 50 times per minute. The glass plate 140 was taken out after 10000 reciprocations, and the wear powder adhering to the glass plate 140 was visually confirmed and evaluated according to the following criteria.
○: No wear powder is seen,
Or wear powder is generated and adhered to the glass plate surface.
Using a 100cc polyethylene wash bottle
It can be easily removed by pouring ethanol over it.
×: Wear powder extends in the sliding direction of the O-ring
The state of sticking to the glass plate surface is observed,
Or use a 100cc polyethylene wash bottle
Abrasion powder that cannot be removed easily even when applied.

なお、固定台１５０に固定したホルダー固定架台１６０の上部に設けた円孔に、Ｏリングホルダー１２０を挿着することにより、試験装置稼動中に、Ｏリングホルダー１２０が、可動式架台１３０の往復摺動に追動せず、可動式架台１３０の往復摺動方向と垂直方向には自由に運動できるようにした。この時、Ｏリングホルダー１２０とホルダー固定架台１６０は、Ｏリングホルダー挿着部Ｉで、Ｏリングホルダー１２０の前記運動に影響がない程度に近接しており、Ｏリングホルダー挿着部Ｉ以外のいずれの部位においても接触しない。 In addition, by inserting the O-ring holder 120 into a circular hole provided in the upper part of the holder fixing base 160 fixed to the fixing base 150, the O-ring holder 120 can be moved back and forth between the movable base 130 during the operation of the test apparatus. The movable base 130 can move freely in the direction perpendicular to the reciprocating sliding direction without being driven by sliding. At this time, the O-ring holder 120 and the holder fixing stand 160 are close to each other at the O-ring holder insertion portion I so that the movement of the O-ring holder 120 is not affected. There is no contact at any site.

また、図６に示すとおり、Ｏリングホルダー２０のＯリング固定溝は、試験用Ｏリング１１０が脱落しないように、あり溝形状とした。Ｏリング固定溝のサイズは、Ｏリング固定溝中心径φ＝２２．２ｍｍ、Ｏリング固定溝開口幅ｄ＝２．２２ｍｍ、Ｏリング固定溝深さｈ＝１．８ｍｍ、あり溝角度θ＝６６．６°、あり溝底半径ｒ１＝０．２ｍｍ、あり溝開口部エッジ半径ｒ２＝０．２ｍｍとした。 Further, as shown in FIG. 6, the O-ring fixing groove of the O-ring holder 20 has a dovetail shape so that the test O-ring 110 does not fall off. The size of the O-ring fixing groove is as follows: O-ring fixing groove center diameter φ = 22.2 mm, O-ring fixing groove opening width d = 2.22 mm, O-ring fixing groove depth h = 1.8 mm, and groove angle θ = 66 .6 °, dovetail groove bottom radius r1 = 0.2 mm, dovetail groove opening edge radius r2 = 0.2 mm.

（３）体積抵抗率
ＪＩＳＫ６２７１に準拠し、１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×２ｍｍ厚さのシート状としたゴム部材について、２３℃、相対湿度５０％の条件下で測定した。なお、１.０×１０^６Ω・ｃｍ以上は測定不能であったため、体積抵抗率が大きいために測定不能の場合は、１.０×１０^６Ω・ｃｍ以上とする。
○ ：体積抵抗率が１.０×１０^５Ω・ｃｍ未満
× ：体積抵抗率が１.０×１０^５Ω・ｃｍ以上 (3) Volume resistivity Based on JIS K 6271, it measured on the conditions of 23 degreeC and 50% of relative humidity about the rubber member made into the sheet form of 150 mm x 150 mm x 2 mm thickness. In addition, since 1.0 × 10 ⁶ Ω · cm or more was not measurable, the volume resistivity is so large that the measurement is impossible because the volume resistivity is 1.0 × 10 ⁶ Ω · cm or more.
○: Volume resistivity is less than 1.0 × 10 ⁵ Ω · cm ×: Volume resistivity is 1.0 × 10 ⁵ Ω · cm or more

（４）引張応力緩和
ＪＩＳＫ６２６３引張応力緩和試験Ａに準拠し、試験片形状短冊1号形、試験温度４０℃、１００ｍｍ／ｍｉｎで２０％伸張し、３０分後の引張応力緩和を測定し、以下の基準で評価した。
○ ：引張応力緩和が１０％以下
× ：引張応力緩和が１０％を超える (4) Tensile stress relaxation In accordance with JIS K 6263 tensile stress relaxation test A, the test piece shape strip No. 1 was stretched 20% at a test temperature of 40 ° C. and 100 mm / min, and the tensile stress relaxation after 30 minutes was measured. The evaluation was based on the following criteria.
○: Tensile stress relaxation is 10% or less ×: Tensile stress relaxation exceeds 10%

（５）硬さ
ＪＩＳＫ６２５３に準拠し、タイプＡデュロメータによる瞬間値（加圧板を試験片に接触させた瞬間に読み取った数値）を測定し、以下の基準で評価した。
○ ：５５〜９０（但し、６５〜８０を◎とした）
× ：５５未満、又は９０を超える (5) Hardness Based on JIS K 6253, an instantaneous value (a numerical value read at the moment when the pressure plate was brought into contact with the test piece) was measured by a type A durometer and evaluated according to the following criteria.
○: 55 to 90 (however, 65 to 80 are marked with ◎)
X: Less than 55 or more than 90

（６）総合評価
前記（１）〜（５）の試験結果から、以下の基準にて評価した。
○ ：評価（１）〜（５）において、○もしくは◎であるもの
× ：評価（１）〜（５）において、×が一つ以上あるもの (6) Comprehensive evaluation It evaluated on the following references | standards from the test result of said (1)-(5).
○: In the evaluations (1) to (5), those that are ○ or ◎ ×: In the evaluations (1) to (5), there are one or more ×

表１および２に示すように、実施例１〜１７のゴム部材は、摩耗粉の粘着性試験において、摩耗粉が見られない、又は摩耗粉が発生してガラス板表面に付着しているが容易に除去できることから、搬送ローラに用いるゴム部材として優れた性能を有している。また、実施例１〜１７のゴム部材は、体積抵抗率が１．０×１０^５Ω・ｃｍ未満であることから、搬送ローラにおいて、ガラス基板と接触する部分に用いるゴム部材として用いると、ガラス基板が搬送ローラによって搬送される際に生じる静電気が、ガラス基板の搬送中に、ガラス基板表面に蓄積されずに、逐次放電される。 As shown in Tables 1 and 2, the rubber members of Examples 1 to 17 show no wear powder in the wear powder adhesion test, or wear powder is generated and adhered to the glass plate surface. Since it can be easily removed, it has excellent performance as a rubber member used for the conveying roller. In addition, since the rubber members of Examples 1 to 17 have a volume resistivity of less than 1.0 × 10 ⁵ Ω · cm, when used as a rubber member used in a portion that contacts the glass substrate in the transport roller, Static electricity generated when the substrate is transported by the transport roller is sequentially discharged without being accumulated on the surface of the glass substrate during transport of the glass substrate.

これに対し、表３および４に示すように、比較例４から、本発明の範囲の導電性カーボンブラックの配合量が２０質量部を超えると成形性が低下し、且つ高硬度となり搬送不良が生じる傾向にあるといえる。また、比較例１から、有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴムを用いると発塵した摩耗粉が搬送物へ粘着しやすい傾向にあるといえる。また、比較例３および５から、本発明の範囲の導電性カーボンブラックの配合量が５質量部未満であると発塵した摩耗粉が搬送物へ粘着しやすい傾向にあるといえる。また、比較例３および５から、本発明の範囲の導電性
カーボンブラックの配合量が５質量部未満であると、得られるゴム部材の体積抵抗率が大きくなり、ＥＳＤ現象により搬送物であるガラス基板上の素子を破壊する虞があるといえる。また、比較例７および８から、ＤＢＰ吸油量および窒素吸着比表面積が本発明の範囲を外れる導電性カーボンブラックを用いると、多量配合しても得られるゴム部材の体積抵抗率が大きいため、ＥＳＤ現象により搬送物であるガラス基板上の素子を破壊する虞があるといえる。また、比較例２から、本発明の範囲の導電性カーボンブラックはポリオール架橋反応を阻害する虞があるといえる。また、比較例９〜１４から、架橋剤である有機過酸化物や架橋助剤である多官能性不飽和化合物が少ないと摩耗粉の粘着性や引張応力緩和特性が低下する傾向にあり、前記架橋剤や前記架橋助剤が多いと成形性が低下する傾向にあるといえる。 On the other hand, as shown in Tables 3 and 4, from Comparative Example 4, if the blending amount of the conductive carbon black in the range of the present invention exceeds 20 parts by mass, the moldability is lowered and the hardness becomes high, resulting in poor conveyance. It can be said that it tends to occur. Moreover, it can be said from Comparative Example 1 that when vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer rubber into which an organic peroxide crosslinkable group is introduced is used, the generated abrasion powder tends to stick to the conveyed product. Moreover, it can be said from Comparative Examples 3 and 5 that when the blending amount of the conductive carbon black in the range of the present invention is less than 5 parts by mass, the generated abrasion powder tends to stick to the conveyed product. Further, from Comparative Examples 3 and 5, when the blending amount of the conductive carbon black within the range of the present invention is less than 5 parts by mass, the volume resistivity of the resulting rubber member is increased, and the glass which is a conveyed product due to ESD phenomenon It can be said that the element on the substrate may be destroyed. Further, from Comparative Examples 7 and 8, when conductive carbon black whose DBP oil absorption amount and nitrogen adsorption specific surface area are out of the scope of the present invention is used, the volume resistivity of the rubber member obtained even if blended in a large amount is large. It can be said that there is a possibility of destroying the element on the glass substrate which is a conveyed product due to the phenomenon. Moreover, it can be said from Comparative Example 2 that conductive carbon black within the scope of the present invention may inhibit the polyol crosslinking reaction. In addition, from Comparative Examples 9 to 14, when the organic peroxide as a crosslinking agent or the polyfunctional unsaturated compound as a crosslinking aid is small, the adhesiveness and tensile stress relaxation properties of the wear powder tend to be reduced. It can be said that when there are many crosslinking agents and the said crosslinking adjuvant, a moldability tends to fall.

本発明のゴム組成物は、搬送ローラにおいて搬送物（例えばガラス板）と接する部分のゴム部材から発塵した摩耗粉の搬送物への粘着、前記ゴム部材の引張応力緩和による搬送不良、又はＥＳＤ現象、を低減する必要がある搬送ローラに用いるゴム部材のためのゴム組成物として好適に使用できる。 The rubber composition of the present invention is a material that adheres to the conveyed product of abrasion powder generated from the rubber member in contact with the conveyed product (for example, a glass plate) in the conveying roller, poor conveyance due to relaxation of tensile stress of the rubber member, or ESD. It can be suitably used as a rubber composition for a rubber member used for a conveyance roller that needs to reduce the phenomenon.

１ローラ本体
３ローラシャフト
８ゴム部材（Ｏリング形状）
１１凹周溝
Ｋガラス基板（搬送物）
１１０試験用Ｏリング
１２０Ｏリングホルダー
１３０可動式架台
１４０ガラス板
１５０固定台
１６０ホルダー固定架台 1 Roller body 3 Roller shaft 8 Rubber member (O-ring shape)
11 Concave groove K Glass substrate (Transported object)
110 O-ring 120 for test 120 O-ring holder 130 Movable mount 140 Glass plate 150 Fixed stand 160 Holder fixed mount

Claims

At least a portion in contact with the conveyed product is a rubber member, and the rubber member is DBP oil absorbing per 100 parts by mass of vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer rubber into which an organic peroxide crosslinkable group is introduced. the amount is 300~600cm ³ / 100g, a nitrogen adsorption specific surface area of 700~1400m ² / g conductive carbon black is 3 to 20 parts by weight, the organic peroxide is at least 0.7 part by weight 3 parts by weight A conveyance roller, which is a rubber member obtained by crosslinking a rubber composition containing 1 part by mass or more and 5 parts by mass or less of a polyfunctional unsaturated compound.

The conveyance roller according to claim 1, wherein the rubber member is grounded.

The conveyance roller according to claim 1, wherein the conveyance object is a glass substrate for a flat panel display.

The conveyance roller according to any one of claims 1 to 3, wherein the conveyance roller is used in a dry process of a flat panel display manufacturing process.