JP5637667B2 - Head gimbal assembly - Google Patents

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
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Description

本発明はヘッド・ジンバル・アセンブリに関し、特に、ヘッド・スライダの信号を伝送するサスペンション上の配線レイアウトに関する。   The present invention relates to a head gimbal assembly, and more particularly to a wiring layout on a suspension for transmitting a head slider signal.

ディスク・ドライブとして、光ディスク、光磁気ディスク、あるいはフレキシブル磁気ディスクなどの様々な態様のディスクを使用する装置が知られているが、その中で、ハードディスク・ドライブ(HDD)は、コンピュータ・システムの他、動画像記録再生装置やカーナビゲーション・システムなど、多くの電子機器において使用されている。   As a disk drive, devices using various types of disks such as an optical disk, a magneto-optical disk, and a flexible magnetic disk are known. Among them, a hard disk drive (HDD) is a computer system. It is used in many electronic devices such as a moving image recording / reproducing apparatus and a car navigation system.

HDDで使用される磁気ディスクは、同心円状に形成された複数のデータ・トラックと複数のサーボ・トラックとを有している。各サーボ・トラックはアドレス情報を有する複数のサーボ・セクタから構成される。また、各データ・トラックには、ユーザ・データを含む複数のデータ・セクタから構成されている。円周方向に離間するサーボ・セクタの間に、データ・セクタが記録されている。揺動するアクチュエータに支持されたヘッド・スライダのヘッド素子部が、サーボ・セクタ内のアドレス情報に従って所望のデータ・セクタにアクセスすることによって、データ・セクタへのデータ書き込み及びデータ・セクタからのデータ読み出しを行うことができる。   A magnetic disk used in the HDD has a plurality of data tracks and a plurality of servo tracks formed concentrically. Each servo track is composed of a plurality of servo sectors having address information. Each data track is composed of a plurality of data sectors including user data. Data sectors are recorded between servo sectors spaced apart in the circumferential direction. The head element portion of the head slider supported by the oscillating actuator accesses the desired data sector according to the address information in the servo sector, thereby writing data to the data sector and data from the data sector. Reading can be performed.

磁気ディスクの記録密度を向上するには、磁気ディスク上を浮上するヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランス(間隔)及びその変化を小さくすることが重要である。このため、クリアランスを調整するいくつかの機構が提案されている。そのうちの一つは、ヘッド・スライダにヒータを備え、そのヒータでヘッド素子部を加熱することよってクリアランスを調整する。本明細書において、これをTFC(Thermal Fly-height Control)と呼ぶ。TFCは、ヒータに電流を供給して発熱させ、熱膨張によってヘッド素子部を突出させる。これによって、磁気ディスクとヘッド素子部との間のクリアランスを小さくする。   In order to improve the recording density of the magnetic disk, it is important to reduce the clearance (interval) between the head element portion that floats on the magnetic disk and the magnetic disk and the change thereof. For this reason, several mechanisms for adjusting the clearance have been proposed. One of them is provided with a heater in the head slider, and the clearance is adjusted by heating the head element portion with the heater. In this specification, this is called TFC (Thermal Fly-height Control). The TFC supplies a current to the heater to generate heat, and causes the head element portion to protrude by thermal expansion. As a result, the clearance between the magnetic disk and the head element portion is reduced.

TFCは、温度の低下に応じてヒータ・パワーを増加して熱膨張によってヘッド素子部を突出させ、温度低下によるクリアランスの増加を補償する。温度が上昇する場合は逆にヒータ・パワーを減少させ、クリアランスの減少を補償する。また、高度が上昇して気圧が低下すると、スライダの浮上高が低下する。このため、気圧の低下によりヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランスも減少する。従って、温度が一定であれば、TFCは気圧の低下に従ってヒータ・パワーを小さくし、気圧の上昇に従ってヒータ・パワーを大きくする。   The TFC compensates for an increase in clearance due to a decrease in temperature by increasing the heater power in response to a decrease in temperature and causing the head element portion to protrude by thermal expansion. If the temperature rises, the heater power is decreased to compensate for the decrease in clearance. Further, when the altitude increases and the atmospheric pressure decreases, the flying height of the slider decreases. For this reason, the clearance between the head element portion and the magnetic disk also decreases due to the decrease in the atmospheric pressure. Therefore, if the temperature is constant, the TFC decreases the heater power as the atmospheric pressure decreases and increases the heater power as the atmospheric pressure increases.

スライダ浮上量やヒータ効率はヘッド・スライダ毎に異なる。そのため。HDDの製造におけるテスト工程において、ヘッド・スライダ毎にTFCのための適切なパラメータを設定する。具体的には、HDDは、ヘッド・スライダと磁気ディスクとが接触するヒータ・パワー値を測定により決定し、その値に従って、温度とヒータ・パワーとの関係、気圧とヒータ・パワーとの関係を特定する。また、これらの関係は磁気ディスク上の半径位置によって変化する。そのため、HDDは、磁気ディスク上の異なる位置において上記接触測定を行い、半径位置に応じた上記の関係を特定する。   The slider flying height and heater efficiency differ for each head and slider. for that reason. In a test process in HDD manufacturing, appropriate parameters for TFC are set for each head slider. Specifically, the HDD determines the heater power value at which the head slider and the magnetic disk are in contact with each other, and according to the value, the relationship between the temperature and the heater power and the relationship between the atmospheric pressure and the heater power are determined. Identify. These relationships vary depending on the radial position on the magnetic disk. Therefore, the HDD performs the contact measurement at different positions on the magnetic disk, and specifies the relationship according to the radial position.

しかし、テスト工程において行うことができる測定の温度範囲や気圧範囲は限られている。また、HDDのテスト工程において、磁気ディスク上の全ての半径位置において測定を行うことは実際的に不可能である。そのため、温度全域において温度とヒータ・パワーとの正確な関係を特定すること、気圧全域において気圧とヒータ・パワーとの正確な関係を特定すること、また、記録領域全域において上記二つの正確な関係を特定することは不可能である。   However, the temperature range and atmospheric pressure range of measurements that can be performed in the test process are limited. In the HDD test process, it is practically impossible to measure at all radial positions on the magnetic disk. Therefore, specify the exact relationship between temperature and heater power over the entire temperature range, identify the exact relationship between air pressure and heater power over the entire atmospheric pressure range, and the above two exact relationships over the entire recording area. It is impossible to specify.

そのため、実際のHDDの設計においては、TFCにおける推定クリアランスと実際クリアランスとの間の誤差によるヘッド・ディスク接触を避けるため、所定のクリアランス・マージンが確保されている。HDDは、このクリアランス・マージンを含むクリアランアスをターゲット・クリアランスとして、TFCを行う。   Therefore, in an actual HDD design, a predetermined clearance margin is secured to avoid head-disk contact due to an error between the estimated clearance and the actual clearance in TFC. The HDD performs TFC using the clear run including the clearance margin as a target clearance.

さらなるデータ記録密度を実現するためには、クリアランス・マージンを小さくすることが必要である。それを実現する一つの方法は、ヘッド・スライダと磁気ディスクとの接触を、常時監視し、ヘッド・ディスク接触が起きた場合にヒータ・パワーを小さくしてクリアランスを大きくする。このようにヘッド・スライダ内に接触を検知するセンサ素子を実装する技術は、例えば、特許文献1に開示されている。   In order to realize further data recording density, it is necessary to reduce the clearance margin. One method for realizing this is to constantly monitor the contact between the head slider and the magnetic disk, and to reduce the heater power and increase the clearance when head-disk contact occurs. A technique for mounting a sensor element for detecting contact in the head slider in this manner is disclosed in, for example, Patent Document 1.

特開2008−16158号公報JP 2008-16158 A 特開2002−192742号公報JP 2002-192742 A

ヘッド・スライダ上の素子へ信号(グランド電位を含む)を伝送する複数の導体線路は、サスペンション上に配置される。BPIの増加に伴う記録周波数の増加により、リード信号線上のリード信号に対するライト信号線上のライト信号からのクロストークが問題となる。ライト信号によるクロストーク電流の発生は、リード素子へ供給可能なセンス電流を小さくし、リード素子の感度を低下させる。   A plurality of conductor lines that transmit signals (including ground potential) to elements on the head slider are disposed on the suspension. Due to the increase in recording frequency accompanying the increase in BPI, crosstalk from the write signal on the write signal line to the read signal on the read signal line becomes a problem. The generation of the crosstalk current due to the write signal reduces the sense current that can be supplied to the read element and lowers the sensitivity of the read element.

このクロストークを抑制するためには、ライト信号線とリード信号線との間の距離を大きくすることが有効である。ヘッド・スライダがヒータ素子を有する場合、サスペンション上には、2本のリード信号線(リード信号線ペア)と2本のライト信号線(ライト信号線ペア)の他に、2本のヒータ信号線(一方がグランド線である場合を含む)が配置される。   In order to suppress this crosstalk, it is effective to increase the distance between the write signal line and the read signal line. When the head slider has a heater element, two heater signal lines are provided on the suspension in addition to two read signal lines (read signal line pair) and two write signal lines (write signal line pair). (Including the case where one is a ground line).

上記特許文献2は、2本のヒータ信号線を、リード信号線ペアとライト信号線ペアとの間に配置することを提案している。ヒータ信号線上の信号は、ライト信号と比較して極めて低い周波数の信号と見なすことができる。そのため、ヒータ信号のリード信号へのクロストークは存在せず、そして、ライト信号線ペアとリード信号線ペアとの距離を大きくできるので、リード線おけるクロストーク電流を低減することができる。   Patent Document 2 proposes arranging two heater signal lines between a read signal line pair and a write signal line pair. The signal on the heater signal line can be regarded as a signal having a very low frequency compared to the write signal. Therefore, there is no crosstalk of the heater signal to the read signal, and the distance between the write signal line pair and the read signal line pair can be increased, so that the crosstalk current in the lead wire can be reduced.

しかし、上述のように、ヘッド・スライダが接触センサ素子を有している場合には、サスペンション上の配線レイアウトについて、新たな検討が必要とされる。ヒータ素子に加え接触センサ素子をヘッド・スライダに実装する場合、典型的には、サスペンション上には、8本の導体線路(グランド線も含む)が配置される。リード素子、ライト素子、ヒータ素子、そしてセンサ素子のそれぞれに2本の導体線路が割り当てられる。   However, as described above, when the head slider has a contact sensor element, a new study is required for the wiring layout on the suspension. When the contact sensor element is mounted on the head slider in addition to the heater element, typically, eight conductor lines (including a ground line) are arranged on the suspension. Two conductor lines are assigned to each of the read element, the write element, the heater element, and the sensor element.

サスペンション上の配線レイアウトにおいては、リード信号へのクロストーク低減の他、接触センサ素子への過大入力の防止、さらに、信号伝送配線のヒート・バランスを考慮することが重要である。構造のシンプリシティと接触検知精度との観点から、抵抗値の熱感度が大きい金属薄膜で接触センサ素子を形成することが好ましい。このような接触センサ素子は、過大電流により容易に破損する。また、信号伝送配線からの熱がアンバランスであると、ジンバルの熱変形によりサスペンションの空力特性が変化し、ヘッド・スライダの位置決め精度への悪影響を及ぼす。   In the wiring layout on the suspension, in addition to reducing crosstalk to the lead signal, it is important to prevent excessive input to the contact sensor element and to consider the heat balance of the signal transmission wiring. From the viewpoint of structure simplicity and contact detection accuracy, the contact sensor element is preferably formed of a metal thin film having a high thermal sensitivity of resistance. Such a contact sensor element is easily damaged by an excessive current. Also, if the heat from the signal transmission wiring is unbalanced, the aerodynamic characteristics of the suspension change due to thermal deformation of the gimbal, which adversely affects the positioning accuracy of the head slider.

本発明の一態様のヘッド・ジンバル・アセンブリは、サスペンションと、前記サスペンション上に固定されているヘッド・スライダと、前記ヘッド・スライダに形成されている、ライト素子、リード素子、ヒータ素子そして接触センサ素子と、前記ヘッド・スライダの信号を伝送する、並んで配列された複数の信号伝送線からなる信号伝送線束とを有する。前記信号伝送線束は、隣接するリード信号伝送線からなるリード信号伝送線ペアと、隣接するライト信号伝送線からなるライト信号伝送線ペアと、ヒータ信号伝送線ペアと、接触センサ信号伝送線ペアとを有する。前記ライト信伝送号線ペアと前記リード信号伝送線ペアとの間に、前記ヒータ信号伝送線ペアの少なくとも1本のヒータ信号伝送線が配線されており。前記ライト信号伝送線ペアと前記接触センサ信号伝送線ペアのとの間に、前記ヒータ信号線ペアの少なくとも1本のヒータ信号伝送線が配線されている。この配線レイアウトにより、ヘッド・スライダ上のヒータ素子及び接触センサ素子により高精度なクリアランス制御を行うと共に、リード素子の感度低下、ヘッド・スライダの信頼性の低下及び位置決め制度の低下を小さくすることができる。   A head gimbal assembly according to an aspect of the present invention includes a suspension, a head slider fixed on the suspension, a write element, a read element, a heater element, and a contact sensor formed on the head slider. An element and a signal transmission line bundle including a plurality of signal transmission lines arranged side by side for transmitting a signal of the head slider. The signal transmission line bundle includes a read signal transmission line pair consisting of adjacent read signal transmission lines, a write signal transmission line pair consisting of adjacent write signal transmission lines, a heater signal transmission line pair, and a contact sensor signal transmission line pair. Have At least one heater signal transmission line of the heater signal transmission line pair is wired between the write signal transmission line pair and the read signal transmission line pair. Between the write signal transmission line pair and the contact sensor signal transmission line pair, at least one heater signal transmission line of the heater signal line pair is wired. With this wiring layout, high-precision clearance control can be performed by the heater element and contact sensor element on the head slider, while reducing the sensitivity of the read element, the reliability of the head slider, and the positioning system. it can.

本発明の他の態様のヘッド・ジンバル・アセンブリは、サスペンションと、前記サスペンション上に固定されているヘッド・スライダと、前記ヘッド・スライダに形成されている、ライト素子、リード素子、ヒータ素子、接触センサ素子、そして熱アシスト記録の光を生成する光学素子と、前記ヘッド・スライダの信号を伝送する、配列された複数の信号伝送線からなる信号伝送線束とを有する。前記信号伝送線束は、隣接するリード信号伝送線からなるリード信号伝送線ペアと、隣接するライト信号伝送線からなるライト信号伝送線ペアと、ヒータ信号伝送線ペアと、光学素子信号伝送線ペアと、接触センサ信号伝送線ペアとを有する。前記ライト信号線ペアと前記リード信号線ペアとの間に、前記ヒータ信号線ペア及び前記光学素子信号伝送線ペアの内の少なくとも1本の信号伝送線が配線されている。前記ライト信号線ペアと前記接触センサ信号線ペアとの間に、前記ヒータ信号線ペア及び前記光学素子信号伝送線ペアの内の少なくとも1本の信号伝送線が配線されている。この配線レイアウトにより、ヘッド・スライダ上のヒータ素子及び接触センサ素子により高精度なクリアランス制御を行うと共に、リード素子の感度低下、ヘッド・スライダの信頼性の低下及び位置決め制度の低下を小さくすることができる。   A head gimbal assembly according to another aspect of the present invention includes a suspension, a head slider fixed on the suspension, and a write element, a read element, a heater element, and a contact formed on the head slider. A sensor element; and an optical element that generates heat-assisted recording light; and a signal transmission line bundle including a plurality of signal transmission lines arranged to transmit a signal of the head slider. The signal transmission line bundle includes a read signal transmission line pair consisting of adjacent read signal transmission lines, a write signal transmission line pair consisting of adjacent write signal transmission lines, a heater signal transmission line pair, and an optical element signal transmission line pair. And a contact sensor signal transmission line pair. At least one signal transmission line of the heater signal line pair and the optical element signal transmission line pair is wired between the write signal line pair and the read signal line pair. At least one signal transmission line of the heater signal line pair and the optical element signal transmission line pair is wired between the write signal line pair and the contact sensor signal line pair. With this wiring layout, high-precision clearance control can be performed by the heater element and contact sensor element on the head slider, while reducing the sensitivity of the read element, the reliability of the head slider, and the positioning system. it can.

好ましい構成において、前記接触センサ信号伝送線ペアは、隣接する接触センサ信号伝送で構成されている。これにより、接触センサ信号をより正確に伝送することができる。   In a preferred configuration, the contact sensor signal transmission line pair includes adjacent contact sensor signal transmissions. Thereby, a contact sensor signal can be transmitted more correctly.

好ましい構成において、前記信号伝送配線束は、前記ヘッド・スライダの近傍において第1の分岐信号伝送配線束と第2の分岐信号伝送配線束とに分岐し、前記第1の分岐信号伝送配線束と前記第2の分岐信号伝送配線束のそれぞれは、前記リード信号線及び前記接触センサ信号線の内の少なくとも1本を含む。これにより、分岐信号伝送配線束が伝送電流量の大きい信号伝送線のみで構成されることがなく、熱バランスの点で好ましい。   In a preferred configuration, the signal transmission wiring bundle branches into a first branch signal transmission wiring bundle and a second branch signal transmission wiring bundle in the vicinity of the head slider, and the first branch signal transmission wiring bundle, Each of the second branch signal transmission wiring bundles includes at least one of the lead signal line and the contact sensor signal line. Thereby, the branch signal transmission wiring bundle is not composed of only signal transmission lines having a large transmission current amount, which is preferable in terms of heat balance.

さらに好ましくは、前記第1の分岐信号伝送配線束と前記第2の分岐信号伝送配線束のそれぞれは、前記信号伝送配線束の半数の信号伝送線から構成されている。この構成が、レイアウト・バランス及び熱バランスの点から好ましい。なお、信号伝送配線束が奇数の信号伝送配線で構成されているとき、半数の信号伝送線で構成されている一方の分岐信号伝送配線束は、半数の信号伝送線で構成されている他方の分岐信号伝送配線束よりも1本多い信号伝送線を有する。これは、以下の記載において同様である。   More preferably, each of the first branch signal transmission wiring bundle and the second branch signal transmission wiring bundle is composed of half the signal transmission lines of the signal transmission wiring bundle. This configuration is preferable in terms of layout balance and heat balance. When the signal transmission wiring bundle is composed of an odd number of signal transmission wirings, one branch signal transmission wiring bundle composed of half the signal transmission lines is connected to the other half of the signal transmission wiring. It has one more signal transmission line than the branch signal transmission wiring bundle. This is the same in the following description.

好ましい構成において、前記信号伝送線束は、ピエゾ素子の信号を伝送するピエゾ信号伝送線のペアを含み、前記ピエゾ信号伝送線ペアと前記リード信号線ペアとの間に、前記ヒータ信号線ペアの少なくとも1本のヒータ信号伝送線が配線されている。これにより、ピエゾ信号伝送線からのリード信号線へのクロストークを低減できる。   In a preferred configuration, the signal transmission line bundle includes a pair of piezoelectric signal transmission lines for transmitting a signal of a piezoelectric element, and at least of the heater signal line pair is interposed between the piezoelectric signal transmission line pair and the read signal line pair. One heater signal transmission line is wired. Thereby, crosstalk from the piezo signal transmission line to the read signal line can be reduced.

好ましい構成において、前記信号伝送配線束は、前記ヘッド・スライダの近傍において第1の分岐信号伝送配線束と第2の分岐信号伝送配線束とに分岐し、前記第1の分岐信号伝送配線束と前記第2の分岐信号伝送配線束のそれぞれは、前記リード信号線、前記接触センサ信号線、前記ピエゾ信号伝送線の内の少なくとも1本を含む。これにより、分岐信号伝送配線束が伝送電流量の大きい信号伝送線のみで構成されることがなく、熱バランスの点で好ましい。   In a preferred configuration, the signal transmission wiring bundle branches into a first branch signal transmission wiring bundle and a second branch signal transmission wiring bundle in the vicinity of the head slider, and the first branch signal transmission wiring bundle, Each of the second branch signal transmission wiring bundles includes at least one of the lead signal line, the contact sensor signal line, and the piezo signal transmission line. Thereby, the branch signal transmission wiring bundle is not composed of only signal transmission lines having a large transmission current amount, which is preferable in terms of heat balance.

好ましい構成において、前記ヘッド・スライダの端面に前記複数の信号伝送線の接続パッドが配列されており、前記接触センサ素子の二つの接続パッドが両端に配置されている。これにより、ヘッド・スライダにおける接触センサ素子の配線抵抗を小さくすることができる。   In a preferred configuration, connection pads of the plurality of signal transmission lines are arranged on an end face of the head slider, and two connection pads of the contact sensor element are arranged at both ends. Thereby, the wiring resistance of the contact sensor element in the head slider can be reduced.

好ましい構成において、前記ヒータ信号線ペアの一方のヒータ信号伝送線はグランド線であり、前記グランド線は前記リード信号伝送線ペアに隣接している。
好ましい構成において、前記ヒータ信号線ペアの一方の信号伝送線及び/もしくは前記光学素子信号伝送線ペアの一方の信号伝送線はグランド線であり、前記グランド線は前記リード信号伝送線ペアに隣接している。これらにより、リード信号伝送線へのクロストークをさらに低減することができる。
In a preferred configuration, one heater signal transmission line of the heater signal line pair is a ground line, and the ground line is adjacent to the read signal transmission line pair.
In a preferred configuration, one signal transmission line of the heater signal line pair and / or one signal transmission line of the optical element signal transmission line pair is a ground line, and the ground line is adjacent to the read signal transmission line pair. ing. As a result, crosstalk to the read signal transmission line can be further reduced.

好ましい構成において、前記信号伝送配線束は、前記ヘッド・スライダの近傍において第1の分岐信号伝送配線束と第2の分岐信号伝送配線束とに分岐し、前記第1の分岐信号伝送配線束と前記第2の分岐信号伝送配線束のそれぞれは、前記信号伝送配線束の半数の信号伝送線から構成され、前記第1の分岐信号伝送配線束と前記第2の分岐信号伝送配線束のそれぞれは、前記リード信号伝送線及び前記接触センサ信号伝送線の内の少なくとも1本を含み、前記ヘッド・スライダの端面に前記複数の信号伝送線の接続パッドが配列されており、前記接触センサ素子の二つの接続パッドが両端に配置されている。これにより、これにより、好ましい熱バランスを実現すると共に、ヘッド・スライダにおける接触センサ素子の配線抵抗を小さくすることができる。   In a preferred configuration, the signal transmission wiring bundle branches into a first branch signal transmission wiring bundle and a second branch signal transmission wiring bundle in the vicinity of the head slider, and the first branch signal transmission wiring bundle, Each of the second branch signal transmission wiring bundles is composed of half the signal transmission lines of the signal transmission wiring bundle, and each of the first branch signal transmission wiring bundle and the second branch signal transmission wiring bundle is , Including at least one of the read signal transmission line and the contact sensor signal transmission line, wherein connection pads of the plurality of signal transmission lines are arranged on an end surface of the head slider, and two of the contact sensor elements are arranged. One connection pad is arranged at both ends. Thereby, it is possible to realize a preferable heat balance and reduce the wiring resistance of the contact sensor element in the head slider.

本発明によれば、ヘッド・スライダ上のヒータ素子及び接触センサ素子により高精度なクリアランス制御を行うと共に、リード素子の感度低下、ヘッド・スライダの信頼性の低下及び位置決め制度の低下を小さくすることができる。   According to the present invention, high precision clearance control is performed by the heater element and the contact sensor element on the head slider, and the sensitivity of the read element, the reliability of the head slider and the positioning system are reduced. Can do.

本実施形態において、ハードディスク・ドライブの全体構成を模式的に示すブロック図である。In this embodiment, it is a block diagram which shows typically the whole structure of a hard-disk drive. 本実施形態において、ヘッド・ジンバル・アセンブリの構成を模式的に示す平面図である。In this embodiment, it is a top view which shows typically the structure of a head gimbal assembly. 本実施形態において、信号伝送配線の好ましいレイアウトの一つを模式的に示す図である。In this embodiment, it is a figure which shows typically one of the preferable layouts of a signal transmission wiring. 本実施形態において、ヘッド・スライダの接続パッドの好ましい配列を模式的に示す図である。In this embodiment, it is a figure which shows typically the preferable arrangement | sequence of the connection pad of a head slider. 本実施形態において、信号伝送配線の好ましいレイアウトの一つを模式的に示す図である。In this embodiment, it is a figure which shows typically one of the preferable layouts of a signal transmission wiring. 本実施形態において、信号伝送配線の好ましいレイアウトの一つを模式的に示す図である。In this embodiment, it is a figure which shows typically one of the preferable layouts of a signal transmission wiring. 本実施形態において、信号伝送配線の好ましいレイアウトの一つを模式的に示す図である。In this embodiment, it is a figure which shows typically one of the preferable layouts of a signal transmission wiring. 本実施形態において、光学素子の信号伝送線ペアを有する信号伝送配線の好ましいレイアウトを模式的に示す図である。In this embodiment, it is a figure which shows typically the preferable layout of the signal transmission wiring which has the signal transmission line pair of an optical element. 本実施形態において、ピエゾ素子の信号伝送線ペアを有する信号伝送配線の好ましいレイアウトを模式的に示す図である。In this embodiment, it is a figure which shows typically the preferable layout of the signal transmission wiring which has the signal transmission line pair of a piezoelectric element.

以下に、本発明を適用した実施の形態を説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略されている。以下においては、ディスク・ドライブの一例であるハードディスク・ドライブ(HDD)に本発明を適用した実施形態を説明する。   Embodiments to which the present invention is applied will be described below. For clarity of explanation, the following description and drawings are omitted and simplified as appropriate. Moreover, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same element and the duplication description is abbreviate | omitted as needed for clarification of description. In the following, an embodiment in which the present invention is applied to a hard disk drive (HDD) which is an example of a disk drive will be described.

本形態のヘッド・スライダ上のヘッド素子部は、リード素子及びライト素子に加え、磁気ディスクとヘッド素子部との間のクリアランスを調整するためのヒータ素子、さらに、ヘッド・スライダと磁気ディスクとの接触を検知する接触センサ素子とを有している。HDDは、ヒータ素子からの発熱を制御することで、ヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランスを制御することができる。このようなスライダ上のヒータ素子を使用するクリアランス制御をTFC(Thermal Fly height Control)と呼ぶ。   In addition to the read element and the write element, the head element portion on the head slider of this embodiment includes a heater element for adjusting the clearance between the magnetic disk and the head element section, and further includes a head element and a magnetic disk. A contact sensor element for detecting contact. The HDD can control the clearance between the head element portion and the magnetic disk by controlling the heat generation from the heater element. Such clearance control using the heater element on the slider is referred to as TFC (Thermal Fly height Control).

HDDは、さらに、接触センサ素子によってヘッド・スライダと磁気ディスクとの接触を監視する。接触センサ素子が接触を検知すると、HDDはヒータ素子へのヒータ・パワーを小さくして、クリアランアスを増加させる。これにより、HDDは、小さいクリアランス・マージンにおいて、クリアランアス制御を行うことができる。   The HDD further monitors the contact between the head slider and the magnetic disk by a contact sensor element. When the contact sensor element detects contact, the HDD decreases the heater power to the heater element and increases the clear run. As a result, the HDD can perform clear run control with a small clearance margin.

接触センサ素子は、温度抵抗係数の大きな金属薄膜で構成する。HDDは、金属薄膜の抵抗値を測定することで、磁気ディスクとヘッド・スライダの接触を検知することができる。このように、金属抵抗薄膜により接触センサ素子を構成することで、高い精度で磁気ディスクとヘッド・スライダ(ヘッド素子部)との接触を検知することができる。また、接触センサ素子を有するヘッド素子部をシンプルな構造で構成することができる。   The contact sensor element is composed of a metal thin film having a large temperature resistance coefficient. The HDD can detect the contact between the magnetic disk and the head slider by measuring the resistance value of the metal thin film. As described above, by configuring the contact sensor element with the metal resistive thin film, the contact between the magnetic disk and the head slider (head element portion) can be detected with high accuracy. Moreover, the head element part which has a contact sensor element can be comprised with a simple structure.

本形態は、ヘッド素子部への信号を伝送する導体線路の配置及びヘッド・スライダ上の接続パッド配置にその特徴を有している。ヒータ素子に接続されている導体線路は、ヒータへのパワーを伝送する。本明細書においては、この導体線路も含み、上記4つの素子に接続される導体線路を信号伝送線と呼ぶ。ヒータ素子の導体線路の一つは、グランド線であることがある。このような構成において、グランド線も信号伝送線と呼ぶ。また、これら信号伝送線のグループを信号伝送配線と呼ぶ。   The present embodiment is characterized by the arrangement of conductor lines for transmitting signals to the head element section and the arrangement of connection pads on the head slider. A conductor line connected to the heater element transmits power to the heater. In this specification, a conductor line including this conductor line and connected to the four elements is referred to as a signal transmission line. One of the conductor lines of the heater element may be a ground line. In such a configuration, the ground line is also called a signal transmission line. A group of these signal transmission lines is called a signal transmission wiring.

本形態における信号伝送配線レイアウト及びヘッド・スライダ上の接続パッド配置について具体的な説明を行う前に、本発明を適用可能なHDDの全体構造について説明する。図1は、本実施形態におけるHDDの基本構成を模式的に示す上面図である。磁気ディスク11はデータを記憶するディスクの一例であり、磁性層が磁化されることによってデータを記録する。ベース12は、ガスケット(不図示)を介してベース12の上部開口を塞ぐカバー(不図示)と固定することによってエンクロージャを構成し、HDD1の各構成要素を収容する。   Before specifically describing the signal transmission wiring layout and the connection pad arrangement on the head slider in this embodiment, the entire structure of the HDD to which the present invention can be applied will be described. FIG. 1 is a top view schematically showing a basic configuration of the HDD in the present embodiment. The magnetic disk 11 is an example of a disk for storing data, and records data by magnetizing the magnetic layer. The base 12 constitutes an enclosure by being fixed to a cover (not shown) that closes the upper opening of the base 12 via a gasket (not shown), and accommodates each component of the HDD 1.

ベース12の底面に固定されたスピンドル・モータ13は、そこに固定されている磁気ディスク11を所定の角速度で回転する。磁気ディスク11にアクセスするヘッド・スライダ15は、磁気ディスク11へのデータ書き込み及びデータ読み出しのためのヘッド素子部と、そのヘッド素子部がその上に形成されているスライダとを有している。   A spindle motor 13 fixed to the bottom surface of the base 12 rotates the magnetic disk 11 fixed thereto at a predetermined angular velocity. The head slider 15 for accessing the magnetic disk 11 has a head element unit for writing data to and reading data from the magnetic disk 11, and a slider on which the head element unit is formed.

アクチュエータ16は、ヘッド・スライダ15を支持し、それを移動する。アクチュエータ16は回動軸17に回動自在に保持されており、ボイス・コイル・モータ(VCM)19により駆動される。アクチュエータ16は、ヘッド・スライダ15が配置されたその先端部から、サスペンション161、アーム162及びボイス・コイル163の順で結合された各構成部材を備えている。ボイス・コイル163は、VCM19の一部品である。   The actuator 16 supports the head slider 15 and moves it. The actuator 16 is rotatably held on a rotary shaft 17 and is driven by a voice coil motor (VCM) 19. The actuator 16 includes constituent members coupled in order of a suspension 161, an arm 162, and a voice coil 163 from the tip portion where the head slider 15 is disposed. The voice coil 163 is a part of the VCM 19.

アクチュエータ16が軸17上で回動することによって、ヘッド・スライダ15が回転する磁気ディスク11上においてその半径方向に移動する。磁気ディスク11に対向するスライダの浮上面で発生する浮力とサスペンション161による押し付け力とがバランスすることによって、ヘッド・スライダ15は磁気ディスク11上を所定のクリアランスにおいて浮上する。   When the actuator 16 rotates on the shaft 17, the head slider 15 moves in the radial direction on the rotating magnetic disk 11. The head slider 15 floats on the magnetic disk 11 with a predetermined clearance by balancing the buoyancy generated on the flying surface of the slider facing the magnetic disk 11 and the pressing force by the suspension 161.

ヘッド・スライダ15の信号は、アクチュエータ16上に配設されている信号伝送配線164が伝送する。典型的には、信号伝送配線164は、サスペンション161の金属層(裏打ち金属層)の上に、ポリイミド絶縁層を介して形成されている。さらに、信号伝送配線164の上にはポリイミドのオーバーコート層が積層されている。信号伝送配線164の各信号伝送線(導体線路)は、ポリイミドにより分離されている。   The signal of the head slider 15 is transmitted by a signal transmission wiring 164 disposed on the actuator 16. Typically, the signal transmission wiring 164 is formed on the metal layer (backing metal layer) of the suspension 161 via a polyimide insulating layer. Further, a polyimide overcoat layer is laminated on the signal transmission wiring 164. Each signal transmission line (conductor line) of the signal transmission wiring 164 is separated by polyimide.

信号伝送配線164は、一端がヘッド・スライダ15に電気的かつ物理的に接続され、他端はプリアンプIC182が実装されたFPC(Flexible Printed Circuit)18に電気的かつ物理的に接続される。典型的には、FPC18は金属あるいは樹脂でできた板上に形成されている。信号伝送配線164は、ヘッド・スライダ15とプリアンプIC182との間の信号、あるいは、FPC18を介して接続された他の回路とヘッド・スライダ15との間の信号を伝送する。   One end of the signal transmission wiring 164 is electrically and physically connected to the head slider 15 and the other end is electrically and physically connected to an FPC (Flexible Printed Circuit) 18 on which a preamplifier IC 182 is mounted. Typically, the FPC 18 is formed on a plate made of metal or resin. The signal transmission wiring 164 transmits a signal between the head slider 15 and the preamplifier IC 182 or a signal between the head slider 15 and another circuit connected via the FPC 18.

典型的に、リード信号及びライト信号はプリアンプIC182を介して伝送される。ヒータ素子の信号は、プリアンプIC182を介さず、他の回路から与えられる構成も知られている。FPC18はコネクタ181を介して、ベース12の外側裏面に実装される制御回路基板(不図示)と電気的に接続されている。FPC18は、制御回路とプリアンプIC182との間の信号を伝送する。HDD1の動作制御及びその信号処理は、制御回路基板上の制御回路が行う。   Typically, the read signal and the write signal are transmitted through the preamplifier IC 182. A configuration is also known in which the heater element signal is supplied from another circuit without passing through the preamplifier IC 182. The FPC 18 is electrically connected to a control circuit board (not shown) mounted on the outer back surface of the base 12 via the connector 181. The FPC 18 transmits a signal between the control circuit and the preamplifier IC 182. The control circuit on the control circuit board performs operation control and signal processing of the HDD 1.

図2は、ヘッド・スライダ15とサスペンション161のアセンブリであるヘッド・ジンバル・アセンブリ(HGA)160の構成を模式的に示す平面図であり、磁気ディスク11の記録面に対向する面を示している。サスペンション161は、ジンバル611、ロード・ビーム612及びマウント・プレート613を備えている。ロード・ビーム612はヒンジ部621を有しており、ヘッド・スライダ15をディスク側に押圧するバネ機能を示す。ロード・ビーム612は、アクチュエータ16が回動する際に、ジンバル611を安定した姿勢で支持するための剛性機能を有する。ベース・プレート613は、ロード・ビーム612をアーム162に固定するための強度を有する。   FIG. 2 is a plan view schematically showing a configuration of a head gimbal assembly (HGA) 160 that is an assembly of the head slider 15 and the suspension 161, and shows a surface facing the recording surface of the magnetic disk 11. . The suspension 161 includes a gimbal 611, a load beam 612, and a mount plate 613. The load beam 612 has a hinge portion 621 and exhibits a spring function for pressing the head slider 15 toward the disk. The load beam 612 has a rigidity function for supporting the gimbal 611 in a stable posture when the actuator 16 rotates. The base plate 613 has a strength for fixing the load beam 612 to the arm 162.

ジンバル611は例えばステンレス鋼で形成することができ、所望の弾性を有する。ジンバル611の前部において、舌片状のジンバル・タングが形成されており、その上にヘッド・スライダ15が低弾性エポキシ樹脂などによって固着されている。ジンバル・タングは、ロード・ビーム612のディンプルを中心として、ヘッド・スライダ15を、ピッチ方向あるいはロール方向に回動させる。本明細書においては、ヘッド・スライダ15が固定されている側を前側、ベース・プレート613が固定されている側を後側と呼ぶ。   The gimbal 611 can be formed of stainless steel, for example, and has a desired elasticity. At the front part of the gimbal 611, a tongue-like gimbal tongue is formed, and the head slider 15 is fixed thereon by a low elastic epoxy resin or the like. The gimbal tongue rotates the head slider 15 around the dimple of the load beam 612 in the pitch direction or the roll direction. In this specification, the side on which the head slider 15 is fixed is referred to as a front side, and the side on which the base plate 613 is fixed is referred to as a rear side.

信号伝送配線164はジンバル611上に形成されている。ジンバル611は、本体部からプリアンプIC182(後方)に向かって延びるテイル部614を有している。テイル部614の先端はマルチコネクタ・タブ169であり、プリアンプIC18が実装されているFPC18に電気的かつ物理的に接続される。本例において、マルチコネクタ・タブ169は8つの接続パッドを有しており、それぞれに信号伝送配線164の信号伝送路がつながっている。このように、信号伝送配線164は、ヘッド・スライダ15の接続パッドとマルチコネクタ・タブ169の接続パッドとの間において、ジンバル611上を引き回されている。   The signal transmission wiring 164 is formed on the gimbal 611. The gimbal 611 has a tail portion 614 extending from the main body portion toward the preamplifier IC 182 (rear). The tip of the tail portion 614 is a multi-connector tab 169 that is electrically and physically connected to the FPC 18 on which the preamplifier IC 18 is mounted. In this example, the multi-connector tab 169 has eight connection pads, and the signal transmission line of the signal transmission wiring 164 is connected to each of them. As described above, the signal transmission wiring 164 is routed on the gimbal 611 between the connection pad of the head slider 15 and the connection pad of the multi-connector tab 169.

HDD1は、1枚もしくは複数枚の磁気ディスクを有することができる。アクチュエータ16は、実装されている磁気ディスクの記録面と同数のHGA160を有している。それらは、同様の構造を有しており、全く同一あるいは左右対称な構造を有する。本発明の信号伝送配線レイアウトは、上記サスペンション構造に限定されず、他の構造を有するサスペンションにも適用することができる。   The HDD 1 can have one or a plurality of magnetic disks. The actuator 16 has the same number of HGAs 160 as the recording surface of the mounted magnetic disk. They have the same structure and have exactly the same or symmetrical structure. The signal transmission wiring layout of the present invention is not limited to the above suspension structure, and can be applied to suspensions having other structures.

以下において、本実施形態における信号伝送配線164のレイアウトについて具体的に説明を行う。図3は、信号伝送配線164の好ましいレイアウトの一つを模式的に示している。図3は、磁気ディスク11から見た配線レイアウトあるいはその裏面から(ジンバル611から)見た配線レイアウトを示している。以下に示すいずれの伝送配線レイアウトの鏡像も、その伝送配線レイアウトと同様の効果を奏する。従って、以下に説明する伝送配線レイアウトの鏡像も、本発明の好ましい構成である。   Hereinafter, the layout of the signal transmission wiring 164 in the present embodiment will be specifically described. FIG. 3 schematically shows one preferred layout of the signal transmission wiring 164. FIG. 3 shows a wiring layout viewed from the magnetic disk 11 or a wiring layout viewed from the back (from the gimbal 611). A mirror image of any of the transmission wiring layouts shown below has the same effect as the transmission wiring layout. Therefore, the mirror image of the transmission wiring layout described below is also a preferred configuration of the present invention.

ヘッド・スライダ15は、ライト素子151、リード素子152、ヒータ素子153そして接触センサ素子154を有している。図3において、ヘッド・スライダ15の上端がトレーリング端であり、下端はリーディング端である。ヘッド・スライダ15のトレーリング端には、複数の接続パッドが配列されている。本構成においては、ヘッド・スライダ15は8つの接続パッドを有している。   The head slider 15 includes a write element 151, a read element 152, a heater element 153, and a contact sensor element 154. In FIG. 3, the upper end of the head slider 15 is a trailing end, and the lower end is a leading end. A plurality of connection pads are arranged on the trailing end of the head slider 15. In this configuration, the head slider 15 has eight connection pads.

接続パッドは、ヘッド・スライダ上の内部配線によって、ライト素子151、リード素子152、ヒータ素子153そして接触センサ素子154に接続される。図3においては、ライト素子151の接続パッド(ライト・パッド)にW、リード素子152の接続パッド(リード・パッド)にR、ヒータ素子153の接続パッド(ヒータ・パッド)にH、そして接触センサ素子154の接続パッド(センサ・パッド)にSを付している。それぞれの素子には、2つの接続パッドが接続されている。   The connection pads are connected to the write element 151, the read element 152, the heater element 153, and the contact sensor element 154 by internal wiring on the head slider. In FIG. 3, W is a connection pad (write pad) of the write element 151, R is a connection pad (read pad) of the read element 152, H is a connection pad (heater pad) of the heater element 153, and a contact sensor. S is attached to the connection pad (sensor pad) of the element 154. Two connection pads are connected to each element.

一般に、ライト素子151は一つもしくは複数の磁極とコイルとで構成され、リード素子152は磁気抵抗効果素子で構成される。ヒータ素子153は、例えば、パーマロイの蛇行する薄膜抵抗体で形成することができる。接触センサ素子154は、温度抵抗係数の大きな金属で形成された薄膜抵抗体である。ニッケル、鉄あるいはコバルトなど、ヘッド素子部において一般に使用される金属を利用することができる。接触センサ素子154に、薄膜抵抗体の一つである磁気抵抗効果素子を使用してもよい。   In general, the write element 151 is composed of one or a plurality of magnetic poles and coils, and the read element 152 is composed of a magnetoresistive element. The heater element 153 can be formed of, for example, a permalloy meandering thin film resistor. The contact sensor element 154 is a thin film resistor formed of a metal having a large temperature resistance coefficient. A metal generally used in the head element portion such as nickel, iron or cobalt can be used. The contact sensor element 154 may be a magnetoresistive effect element that is one of thin film resistors.

HDD1は、ヒータ素子153への電力を制御することでその発熱量を制御する。ヒータ素子153の発熱量に応じてヘッド素子部の熱膨張量が変化し、クリアランスを変化させることができる。HDD1の制御回路は、ヒータ素子153への電力を制御することで、クリアランアスを制御する。   The HDD 1 controls the amount of heat generated by controlling the power to the heater element 153. The amount of thermal expansion of the head element portion changes according to the amount of heat generated by the heater element 153, and the clearance can be changed. The control circuit of the HDD 1 controls the clear run by controlling the power to the heater element 153.

また、制御回路は、接触センサ素子154によりヘッド・スライダ15と磁気ディスク11との接触を監視する。ヘッド・スライダ15と磁気ディスク11とが接触すると、接触センサ素子154の温度が上昇し、それに伴いその抵抗値が増加する。制御回路は、接触センサ素子154の抵抗値を監視することで、ヘッド・スライダ15と磁気ディスク11との間の接触を検知することができる。好ましい例において、制御回路は接触センサ素子154の抵抗値を、記録再生中を含めて常時監視し、接触センサ素子154の抵抗値が閾値を越えて規定時間を経過すると、制御回路は接触が起きていると判定する。   The control circuit monitors the contact between the head slider 15 and the magnetic disk 11 by the contact sensor element 154. When the head slider 15 and the magnetic disk 11 come into contact with each other, the temperature of the contact sensor element 154 rises and the resistance value increases accordingly. The control circuit can detect contact between the head slider 15 and the magnetic disk 11 by monitoring the resistance value of the contact sensor element 154. In a preferred example, the control circuit constantly monitors the resistance value of the contact sensor element 154 including during recording and reproduction. When the resistance value of the contact sensor element 154 exceeds a threshold value and a specified time elapses, the control circuit causes contact. It is determined that

接触センサ素子154により接触を検知すると、制御回路はヒータ素子153へのヒータ・パワーを小さくすることで、クリアランアスを大きくする。このように、ヘッド・スライダ15と磁気ディスク11との接触を監視することで、より小さいクリアランスを実現することができる。なお、本発明は、接触センサ素子154による接触検知を他の方法で利用するHDDにも適用することができる。例えば、制御回路は、接触センサ素子154の抵抗値を、フォローイング処理中のみ監視してもよい。   When contact is detected by the contact sensor element 154, the control circuit increases the clear run by decreasing the heater power to the heater element 153. Thus, by monitoring the contact between the head slider 15 and the magnetic disk 11, a smaller clearance can be realized. Note that the present invention can also be applied to an HDD that uses contact detection by the contact sensor element 154 in another method. For example, the control circuit may monitor the resistance value of the contact sensor element 154 only during the following process.

図3に示すように、ヘッド・スライダ15の接続パッドは、トレーリング端において左右方向に一例に配列されている。左右方向は、ヘッド・スライダ15のスライド方向及び浮上方向に垂直な方向である。典型的なヘッド・スライダ15はこのようなパッド配置を有し、また、左右方向における一列配置が好ましい。本発明は、他のパッド配置に適用することができる。   As shown in FIG. 3, the connection pads of the head slider 15 are arranged as an example in the left-right direction at the trailing end. The left-right direction is a direction perpendicular to the sliding direction and the flying direction of the head slider 15. A typical head slider 15 has such a pad arrangement and is preferably arranged in a line in the left-right direction. The present invention can be applied to other pad arrangements.

図3の構成において、ヘッド・スライダ15の接続パッドは、センサ・パッド、ヒータ・パッド、ライト・パッド、ライト・パッド、リード・パッド、リード・パッド、ヒータ・パッドそしてセンサ・パッドの順で配列されている。これら接続パッドには、それぞれの素子の信号(グランドを含む)の信号伝送線が接続されている。図3においては、各信号配線に対して、対応する素子の符号が付されている。   In the configuration of FIG. 3, the connection pads of the head slider 15 are arranged in the following order: sensor pad, heater pad, write pad, write pad, read pad, lead pad, heater pad, and sensor pad. Has been. These connection pads are connected to signal transmission lines for signals (including ground) of the respective elements. In FIG. 3, reference numerals of corresponding elements are given to the respective signal wirings.

左半分の4つの接続パッド(SHWW)から延びる信号伝送線は、ヘッド・スライダ15の左側面に沿って後方へと(マルチコネクタ・タブ169に向かって)延びている。この信号伝送線の束641において、4本の信号伝送線は互いに平行である。一方、右半分の4つの接続パッド(RRHS)から延びる信号伝送線は、ヘッド・スライダ15の右側面に沿って後方へと(マルチコネクタ169に向かって)延びている。この信号伝送線の束642において、4本の信号伝送線は互いに平行である。   A signal transmission line extending from the four connection pads (SHWW) on the left half extends backward (toward the multi-connector tab 169) along the left side surface of the head slider 15. In this signal transmission line bundle 641, the four signal transmission lines are parallel to each other. On the other hand, the signal transmission line extending from the four connection pads (RRHS) in the right half extends backward (toward the multi-connector 169) along the right side surface of the head slider 15. In the signal transmission line bundle 642, the four signal transmission lines are parallel to each other.

信号伝送線の二つの束は、ヘッド・スライダ15のリーディング端の後方で合流して一つの束643となり、さらに、後方へと延びてマルチコネクタ169に達する。合流した後の8本の信号伝送線からなる束643において、信号伝送線は互いに平行である。図3においては、各素子の信号伝送線には接続パッドと同様の符号を付している。   The two bundles of signal transmission lines merge at the rear of the leading end of the head slider 15 to form one bundle 643, and further extend rearward to reach the multi-connector 169. In the bundle 643 composed of eight signal transmission lines after joining, the signal transmission lines are parallel to each other. In FIG. 3, the signal transmission lines of the respective elements are denoted by the same reference numerals as the connection pads.

ライト信号を伝送する信号伝送線にはW、リード信号を伝送する信号伝送線にはR、ヒータ信号(ヒータ・パワーを意味する)を伝送する信号伝送線にはH、そして、センサ信号を伝送する信号線にはSを付している。なお、束641〜643のそれぞれを構成する信号伝送線は互いに平行であることが好ましいが、必ずしもそうでなくともよい。典型的には、信号伝送配線において、全ての信号伝送線は同一面上に形成されている。従って、各信号伝送線が互いに交差することはない。   W for signal transmission lines that transmit write signals, R for signal transmission lines that transmit read signals, H for signal transmission lines that transmit heater signals (meaning heater power), and sensor signals The signal line to be attached is marked with S. In addition, although it is preferable that the signal transmission line which comprises each of the bundles 641-643 is mutually parallel, it does not necessarily need to be so. Typically, in the signal transmission wiring, all the signal transmission lines are formed on the same surface. Therefore, the signal transmission lines do not cross each other.

図3の信号伝送配線レイアウトにおいて、信号伝送線は、ヘッド・スライダ15を避けるように、その近傍において二つの束641、642に分岐する。一方、リーディング端より後方において、信号伝送線は一つの束643となり、その配列順序は変化することなくマルチコネクタ・タブ169まで延びている。信号伝送配線のレイアウトにおいては、ヘッド・スライダ15近傍における信号伝送配線長は短いため、信号品質(クロストーク)の点では距離が長いリーディング端より後方の部分がより重要である。   In the signal transmission wiring layout of FIG. 3, the signal transmission line branches into two bundles 641 and 642 in the vicinity thereof so as to avoid the head slider 15. On the other hand, behind the leading end, the signal transmission lines form a single bundle 643, which extends to the multi-connector tab 169 without changing the arrangement order. In the signal transmission wiring layout, since the signal transmission wiring length in the vicinity of the head slider 15 is short, the portion behind the leading end having a long distance is more important in terms of signal quality (crosstalk).

図3の構成において、リーディング端よりも後方(信号伝送線束643)における信号伝送配線の配列順序は、図3における左端から、WWHSSHRRである。リード素子及びライト素子の信号伝送線は、隣接する信号伝送線ペアで構成されている。隣接している信号伝送線の間には、他の信号伝送線は存在しない。ライト信号伝送線ペアWW、そしてリード信号伝送線ペアRRのそれぞれにおいて、2本の導体線路は隣接している。これにより、これら素子の信号をより正確に伝送することができる。ヒータ素子153の信号は、他の信号と比較して変化が少なく、その信号伝送配線ペアHHの二本の導体線路を離しても、実質的な問題はない。   In the configuration of FIG. 3, the arrangement order of the signal transmission wirings behind the leading end (signal transmission line bundle 643) is WWHSSHRR from the left end in FIG. The signal transmission lines of the read element and the write element are composed of adjacent signal transmission line pairs. There is no other signal transmission line between adjacent signal transmission lines. In each of the write signal transmission line pair WW and the read signal transmission line pair RR, the two conductor lines are adjacent to each other. Thereby, the signal of these elements can be transmitted more correctly. The signal of the heater element 153 is less changed than other signals, and there is no substantial problem even if the two conductor lines of the signal transmission wiring pair HH are separated.

本構成において重要な点の一つは、ライト信号伝送線ペアWWとリード信号伝送線ペアRRとの間にヒータ信号伝送線Hが存在すると共に、ライト信号線ペアWWと接触センサ信号伝送線Sとの間にもヒータ信号伝送線Hが配線されていることである。リード信号伝送線ペアRRとライト信号伝送線ペアWWとの間にヒータ信号伝送線Hを配置することで、それらの距離が遠くなり、ライト信号伝送線からリード信号伝送線へのクロストークを低減することができる。   One of the important points in this configuration is that the heater signal transmission line H exists between the write signal transmission line pair WW and the read signal transmission line pair RR, and the write signal line pair WW and the contact sensor signal transmission line S. The heater signal transmission line H is also wired between the two. By arranging the heater signal transmission line H between the read signal transmission line pair RR and the write signal transmission line pair WW, the distance between them becomes longer, and crosstalk from the write signal transmission line to the read signal transmission line is reduced. can do.

ヒータ信号は、ライト信号と比較して時定数が大きく、また、変化の頻度が少ないことから、ヒータ信号によるリード信号へのクロストークは発生しない。クロストークにおいては、時定数が重要な特性となる。時定数は、信号変化に要する時間である。信号がロア・レベルから目的のハイ・レベルに変化する、あるいは、ハイ・レベルから目的のロア・レベルに達するまでに時間である。典型的な制御において、信号の立ち上がり及び立下りにおける時定数は同一であり、信号の変化レベルによらず一定である。   Since the heater signal has a larger time constant than the write signal and the frequency of change is low, crosstalk to the read signal due to the heater signal does not occur. In crosstalk, the time constant is an important characteristic. The time constant is the time required for signal change. It is the time for the signal to change from a lower level to a target high level, or to reach a target lower level from a high level. In typical control, the time constant at the rise and fall of the signal is the same, and is constant regardless of the level of signal change.

上述のように、接触センサ素子154は、金属薄膜で形成されている。そのため、接触センサ素子154に過大電流が流れると破損する可能性が高い。ライト信号伝送線に隣接する接触センサ信号伝送線には、ライト信号によるクロストーク電流が発生しやすい。このクロストーク電流は、接触センサ素子154の抵抗検知のための電流に加わり、接触センサ素子154を破損する可能性がある。そこで、図3の構成のように、接触センサ信号伝送線ペアを隣接した伝送線のペアとし、ライト信号伝送線ペアWWと接触センサ信号伝送線ペアSSとの間にヒータ信号伝送線Wが配線することが望ましい。この配線により、ライト信号伝送線ペアWWと接触センサ信号伝送線ペアSSの距離が遠くなり、接触センサ信号伝送線Sにおける過大電流の発生の可能性と小さくし、信頼性を向上することができる。   As described above, the contact sensor element 154 is formed of a metal thin film. Therefore, there is a high possibility that the contact sensor element 154 is damaged when an excessive current flows. In the contact sensor signal transmission line adjacent to the write signal transmission line, a crosstalk current due to the write signal is likely to occur. This crosstalk current is added to the current for resistance detection of the contact sensor element 154, and there is a possibility that the contact sensor element 154 is damaged. Therefore, as shown in FIG. 3, the contact sensor signal transmission line pair is a pair of adjacent transmission lines, and the heater signal transmission line W is wired between the write signal transmission line pair WW and the contact sensor signal transmission line pair SS. It is desirable to do. This wiring increases the distance between the write signal transmission line pair WW and the contact sensor signal transmission line pair SS, reduces the possibility of occurrence of excessive current in the contact sensor signal transmission line S, and improves the reliability. .

更に、ライト信号伝送線ペアWWからの影響は、リード信号伝送線ペアRRに対する影響の方が、センサ信号伝送線ペアSSへの影響よりも重要な問題である。従って、リード信号伝送線ペアRRとライト信号伝送線ペアWWとの間に、センサ信号伝送線ペアSSが存在することが好ましい。図3の構成例は、この条件を満足している。また、接触センサ信号伝送線ペアを互いに隣接させる構成がより望ましい。   Further, as for the influence from the write signal transmission line pair WW, the influence on the read signal transmission line pair RR is more important than the influence on the sensor signal transmission line pair SS. Therefore, it is preferable that the sensor signal transmission line pair SS exists between the read signal transmission line pair RR and the write signal transmission line pair WW. The configuration example of FIG. 3 satisfies this condition. Further, a configuration in which the contact sensor signal transmission line pairs are adjacent to each other is more desirable.

信号伝送配線のレイアウトにおいて、もう一つ重要な点がある。それは、信号伝送配線におけるヒート・バランスである。信号伝送配線において、伝送電流値が大きく熱源となりうる信号伝送線は、ライト信号伝送線とヒータ信号伝送線である。ライト信号伝送線ペアWWとヒータ信号伝送線ペアHHが、分岐後の信号伝送線束の一方に全てまとめられていることは好ましくない。つまり、これら信号伝送線の一部が信号伝送線束641内にあり、他の一部が信号伝送線束642内にあるように、信号伝送線を配線することが好ましい。   There is another important point in the layout of signal transmission wiring. It is heat balance in signal transmission wiring. In the signal transmission wiring, signal transmission lines that have a large transmission current value and can serve as a heat source are a light signal transmission line and a heater signal transmission line. It is not preferable that the write signal transmission line pair WW and the heater signal transmission line pair HH are all integrated into one of the branched signal transmission line bundles. That is, it is preferable to wire the signal transmission lines so that a part of these signal transmission lines is in the signal transmission line bundle 641 and the other part is in the signal transmission line bundle 642.

図3の構成において、2本のライト信号伝送線Wと1本のヒータ信号伝送線Hとが、左側の分岐束641内に配線されている。もう1本のヒータ信号伝送線Hは、右側の分岐束642内に配線されている。本構成においては、ライト信号伝送線とヒータ信号伝送線の内、1本の信号伝送線が他の信号伝送線から分かれて、ヘッド・スライダ15を挟んでそれらと反対側に配線されている。これによって、信号伝送配線における熱がヘッド・スライダ15の一方の側のみに集中することを避け、熱変形によるサスペンションのダイナミクスの変化によって位置決め精度が低下することを防ぐことができる。   In the configuration of FIG. 3, two write signal transmission lines W and one heater signal transmission line H are wired in the left branch bundle 641. Another heater signal transmission line H is wired in the right branch bundle 642. In this configuration, one signal transmission line of the write signal transmission line and the heater signal transmission line is separated from the other signal transmission lines and wired on the opposite side of the head slider 15 with the head slider 15 interposed therebetween. As a result, heat in the signal transmission wiring can be prevented from being concentrated only on one side of the head slider 15, and positioning accuracy can be prevented from being lowered due to a change in suspension dynamics due to thermal deformation.

接触センサ素子154は、抵抗変化を測定する素子である。従って、その信号伝送線は低抵抗であることが重要である。この点は、サスペンション上の信号伝送線に限らず、ヘッド・スライダ15内の信号伝送線についても同様である。そこで、接触センサ素子の接続パッドは、ヘッド・スライダのトレーリング端面において、パッド列における両端に形成されていることが好ましい。これにより、ヘッド・スライダ15内において接触センサ素子154の信号伝送線をより容易に太くすることができる。   The contact sensor element 154 is an element that measures a resistance change. Therefore, it is important that the signal transmission line has a low resistance. This applies not only to the signal transmission line on the suspension but also to the signal transmission line in the head slider 15. Therefore, the connection pads of the contact sensor element are preferably formed at both ends of the pad row on the trailing end face of the head slider. Thereby, the signal transmission line of the contact sensor element 154 can be made thicker easily in the head slider 15.

図4は、リーディング端面上の接続パッド列を模式的に示している。図4の上の図において、接触センサ・パッドSは、パッド列の両端にある。下の図においては、二つの接触センサ・パッドSが片側のみにされている。それぞれの図の斜線部は、ヘッド・スライダ15内の信号伝送線(電極)を示している。二つの図から容易に理解されるように、接触センサ・パッドSをパッド列の両端に配置することで、ヘッド・スライダ15内の配線を太くでき、接触センサ154の抵抗変化をS/N比良く測ることができる。   FIG. 4 schematically shows the connection pad row on the leading end face. In the top view of FIG. 4, the contact sensor pads S are at both ends of the pad row. In the figure below, the two contact sensor pads S are only on one side. A hatched portion in each figure indicates a signal transmission line (electrode) in the head slider 15. As can be easily understood from the two figures, by arranging the contact sensor pads S at both ends of the pad row, the wiring in the head slider 15 can be made thicker, and the resistance change of the contact sensor 154 can be reduced by the S / N ratio. It can be measured well.

図3の好ましい構成例に示すように、信号伝送線束643は、半数の信号伝送線からなる2つの信号伝送線束641、642に分岐することが好ましい。信号伝送配線が奇数本の信号伝送線で構成されている場合、半数からなる2つの信号伝送線束に分岐している構成においては、分岐後の信号伝送線束間における本数の差が1である。この構成を有する場合、両端にある接触センサ・パッドからの信号伝送線は、合流後の信号伝送線束643において、中央において延びる2本の信号伝送線である。従って、接触センサ素子154のヘッド・スライダ内配線の低抵抗化の観点からも、図3に示す本構成は好ましい構成である。   As shown in the preferred configuration example of FIG. 3, the signal transmission line bundle 643 is preferably branched into two signal transmission line bundles 641 and 642 composed of half of the signal transmission lines. When the signal transmission wiring is composed of an odd number of signal transmission lines, the difference in the number of the signal transmission line bundles after the branching is 1 in the configuration in which the signal transmission wiring is branched into two signal transmission line bundles. In the case of having this configuration, the signal transmission lines from the contact sensor pads at both ends are two signal transmission lines extending in the center in the signal transmission line bundle 643 after joining. Therefore, the present configuration shown in FIG. 3 is a preferable configuration also from the viewpoint of reducing the resistance of the head / slider wiring of the contact sensor element 154.

ヒータ信号伝送のためには、バランス伝送あるいはアンバランス伝送の双方が可能である。アンバランス伝送においては、ヒータ信号伝送線ペアHHの一方の信号伝送線Hは、グランド線Gである。この構成において、図3に示すように、グランド線Gがリード信号伝送線ペアRRに隣接していることが好ましい。グランド線は、もう一方の信号伝送線と比較してノイズが小さいため、リード信号への悪影響をより低減することができるからである。   For heater signal transmission, both balanced transmission and unbalanced transmission are possible. In unbalanced transmission, one signal transmission line H of the heater signal transmission line pair HH is a ground line G. In this configuration, as shown in FIG. 3, the ground line G is preferably adjacent to the read signal transmission line pair RR. This is because the ground line has less noise than the other signal transmission line, and therefore, adverse effects on the read signal can be further reduced.

図5は、本実施形態における他の好ましい構成を模式的に示している。図3の構成との相違の一つは、信号伝送線の配列順序が逆になっている点である。上述のように、本実施形態において、一つの配列とその鏡像配列とは同様の効果を奏するため、実質的な相違ではない。他の相違点は、図3の構成においてリード信号伝送線ペアRRと接触センサ信号伝送線ペアSSとの間に配線されているヒータ信号伝送線Hが、リード信号伝送線ペアRRを挟んで接触センサ信号伝送線ペアSSの反対側に配置されている点である。この信号伝送線の配置変化に伴い、接続パッドの配置も変化している。   FIG. 5 schematically shows another preferred configuration in the present embodiment. One difference from the configuration of FIG. 3 is that the arrangement order of the signal transmission lines is reversed. As described above, in the present embodiment, one array and its mirror image array have the same effect, and thus are not substantially different. Another difference is that the heater signal transmission line H wired between the read signal transmission line pair RR and the contact sensor signal transmission line pair SS in the configuration of FIG. 3 is in contact with the read signal transmission line pair RR interposed therebetween. This is the point arranged on the opposite side of the sensor signal transmission line pair SS. With the change in the arrangement of the signal transmission lines, the arrangement of the connection pads also changes.

図5の構成においても、ヒータ素子153以外の素子の信号伝送線ペアの隣接、リード信号伝送線ペアRRとライト信号伝送線ペアWWとの間のヒータ信号伝送線H、接触センサ信号伝送線ペアSSとライト信号伝送線ペアWWとの間のヒータ信号伝送線Hの各条件が満足されている。   In the configuration of FIG. 5 as well, adjacent to the signal transmission line pair of elements other than the heater element 153, the heater signal transmission line H and the contact sensor signal transmission line pair between the read signal transmission line pair RR and the write signal transmission line pair WW. Each condition of the heater signal transmission line H between the SS and the write signal transmission line pair WW is satisfied.

また、ヒータ信号伝送線Hとライト信号伝送線Wの内、3本が分岐後の信号伝送線束642内にあり他の1本は他方の信号伝送線束641内にある。さらに、接触センサ・パッドは、パッド列の両端に形成されている。リード信号伝送線ペアRRとライト信号伝送線ペアWWとの距離を大きくするためには、図3の構成が図5の構成よりも好ましい。その他の点においては、図5の構成は図3の構成と同様の効果を奏する。ヒータ信号伝送線の一方がグランド線Gである場合、リード信号伝送線Rに隣接するヒータ信号伝送線がグランド線Gであることが好ましい点は、図3の構成と同様である。   Of the heater signal transmission line H and the write signal transmission line W, three are in the branched signal transmission line bundle 642 and the other is in the other signal transmission line bundle 641. Furthermore, contact sensor pads are formed at both ends of the pad row. In order to increase the distance between the read signal transmission line pair RR and the write signal transmission line pair WW, the configuration of FIG. 3 is preferable to the configuration of FIG. In other respects, the configuration of FIG. 5 has the same effects as the configuration of FIG. When one of the heater signal transmission lines is the ground line G, the heater signal transmission line adjacent to the lead signal transmission line R is preferably the ground line G, as in the configuration of FIG.

図6は、本実施形態における他の好ましい構成を模式的に示している。図3の構成との相違は、接触センサ信号伝送線ペアSSとライト信号伝送線ペアWWとが入れ替わっていることである。この信号伝送線の配置変化に伴い、接続パッドの配置も変化している。この構成においても、ヒータ素子153以外の素子の信号伝送線ペアの隣接、リード信号伝送線ペアRRとライト信号伝送線ペアWWとの間のヒータ信号伝送線H、接触センサ信号伝送線ペアSSとライト信号伝送線ペアWWとの間のヒータ信号伝送線Hの各条件が満足されている。   FIG. 6 schematically shows another preferred configuration in the present embodiment. The difference from the configuration in FIG. 3 is that the contact sensor signal transmission line pair SS and the write signal transmission line pair WW are interchanged. With the change in the arrangement of the signal transmission lines, the arrangement of the connection pads also changes. Also in this configuration, adjacent to the signal transmission line pair of elements other than the heater element 153, the heater signal transmission line H between the read signal transmission line pair RR and the write signal transmission line pair WW, and the contact sensor signal transmission line pair SS Each condition of the heater signal transmission line H between the write signal transmission line pair WW is satisfied.

本構成においては、ヒータ信号伝送線Hとライト信号伝送線Wの内、半分の2本が分岐後の一方の信号伝送線束641内にあり他の半分の2本が他方の信号伝送線束642内にある。従って、ヒート・バランスの点からは、本構成が図3の構成よりもよりも優れている。一方、接触センサ・パッドは、パッド列の片側のみに配置され、また、リード信号伝送線ペアRRとライト信号伝送線ペアWWとの距離は、図3の構成における距離よりも小さい。これらの点においては、図3の構成が図6の構成よりも好ましい。ヒータ信号伝送線の一方がグランド線である場合、リード信号伝送線Rに隣接するヒータ信号伝送線がグランド線Gであることが好ましい点は、図3の構成と同様である。   In this configuration, two of the heater signal transmission line H and the write signal transmission line W are in one signal transmission line bundle 641 after branching, and the other two are in the other signal transmission line bundle 642. It is in. Therefore, this configuration is superior to the configuration of FIG. 3 in terms of heat balance. On the other hand, the contact sensor pads are arranged only on one side of the pad row, and the distance between the read signal transmission line pair RR and the write signal transmission line pair WW is smaller than the distance in the configuration of FIG. In these respects, the configuration of FIG. 3 is preferable to the configuration of FIG. When one of the heater signal transmission lines is a ground line, the heater signal transmission line adjacent to the lead signal transmission line R is preferably the ground line G, as in the configuration of FIG.

図7は、本実施形態における他の好ましい構成を模式的に示している。図3の構成との相違は、接触センサ信号伝送線ペアSSとリード信号伝送線ペアRRとが入れ替わっていることである。この信号伝送線の配置変化に伴い、接続パッドの配置も変化している。この構成においても、ヒータ素子153以外の素子の信号伝送線ペアの隣接、リード信号伝送線ペアRRとライト信号伝送線ペアWWとの間のヒータ信号伝送線H、接触センサ信号伝送線ペアSSとライト信号伝送線ペアWWとの間のヒータ信号伝送線Hの各条件が満足されている。   FIG. 7 schematically shows another preferred configuration in the present embodiment. The difference from the configuration of FIG. 3 is that the contact sensor signal transmission line pair SS and the read signal transmission line pair RR are interchanged. With the change in the arrangement of the signal transmission lines, the arrangement of the connection pads also changes. Also in this configuration, adjacent to the signal transmission line pair of elements other than the heater element 153, the heater signal transmission line H between the read signal transmission line pair RR and the write signal transmission line pair WW, and the contact sensor signal transmission line pair SS Each condition of the heater signal transmission line H between the write signal transmission line pair WW is satisfied.

図7の構成において、図3の構成と同様に、ヒータ信号伝送線Hとライト信号伝送線Wの内、3本が分岐後の信号伝送線束641内にあり他の1本は他方の信号伝送線束642内にある。リード信号伝送線ペアRRの両隣接信号伝送線がヒータ信号伝送線Hであるため、アンバランス伝送においてはいずれのヒータ信号伝送線がグランド線であってもよい。一方、図7の構成において、接触センサ・パッドは、パッド列の片側のみに配置され、また、リード信号伝送線ペアRRとライト信号伝送線ペアWWとの距離は、図3の構成における距離よりも小さい。これらの点においては、図3の構成が図7の構成よりも好ましい。   In the configuration of FIG. 7, as in the configuration of FIG. 3, among the heater signal transmission line H and the write signal transmission line W, three are in the branched signal transmission line bundle 641 and the other is the other signal transmission. It is in the wire bundle 642. Since both adjacent signal transmission lines of the read signal transmission line pair RR are heater signal transmission lines H, any heater signal transmission line may be a ground line in unbalanced transmission. On the other hand, in the configuration of FIG. 7, the contact sensor pads are arranged only on one side of the pad row, and the distance between the read signal transmission line pair RR and the write signal transmission line pair WW is larger than the distance in the configuration of FIG. Is also small. In these respects, the configuration of FIG. 3 is preferable to the configuration of FIG.

以上の説明から理解されるように、ライト信号伝送線からリード信号伝送線へのクロストーク、ライト信号伝送線からセンサ信号伝送線へのクロストーク、信号伝送配線のヒート・バランス、そして接続パッド配置を総合的に考慮すると、図3に示す信号伝送配線レイアウトが最も好ましい。   As can be understood from the above description, the crosstalk from the write signal transmission line to the read signal transmission line, the crosstalk from the write signal transmission line to the sensor signal transmission line, the heat balance of the signal transmission wiring, and the connection pad arrangement In view of the above, the signal transmission wiring layout shown in FIG. 3 is most preferable.

図3〜図7を参照して説明した構成において、ヘッド・スライダ15は、ライト素子151、リード素子152、ヒータ素子153そして接触センサ素子154を有している。記録密度を向上する技術として、熱アシスト記録が知られている。熱アシスト記録は、磁気記録層に対してエネルギーを与えながら、ライト素子からの記録磁界により磁気データを記録する。   In the configuration described with reference to FIGS. 3 to 7, the head slider 15 includes a write element 151, a read element 152, a heater element 153, and a contact sensor element 154. As a technique for improving the recording density, heat-assisted recording is known. Thermally assisted recording records magnetic data by a recording magnetic field from a write element while applying energy to the magnetic recording layer.

熱アシスト記録のためのヘッド・スライダは、熱を磁気ディスクに与えるための素子を有している。熱アシスト記録に使用される素子は、熱を与えるヒータあるいは光を与える光学素子である。光による熱アシストのために発光素子がヘッド・スライダ15上に形成されている構成において、信号伝送配線は発光素子への信号伝送線を含みうる。このような構成においては、信号伝送配線は、10本の信号伝送線を有する。   A head slider for thermally assisted recording has an element for applying heat to the magnetic disk. The element used for the heat-assisted recording is a heater for applying heat or an optical element for supplying light. In a configuration in which a light emitting element is formed on the head slider 15 for heat assist by light, the signal transmission wiring may include a signal transmission line to the light emitting element. In such a configuration, the signal transmission wiring has ten signal transmission lines.

図8は、リード素子、ライト素子、ヒータ素子、接触センサ素子そして光学素子を有するヘッド・スライダへの信号伝送配線のレイアウトの好ましい例を示している。ヘッド・スライダ15近傍で分岐する前の信号伝送線束の配列を示している。図8のアルファベットは、それぞれ、素子への信号伝送線を示しており、Oは光学素子への信号伝送線を示している。図8は、24の好ましいレイアウト例を示している。   FIG. 8 shows a preferred example of a layout of signal transmission wiring to a head slider having a read element, a write element, a heater element, a contact sensor element, and an optical element. An arrangement of signal transmission line bundles before branching in the vicinity of the head slider 15 is shown. Each alphabet in FIG. 8 indicates a signal transmission line to the element, and O indicates a signal transmission line to the optical element. FIG. 8 shows 24 preferred layout examples.

クロストーク及びヒート・バランスの点おいて、光学素子への信号伝送線は、ヒータ素信号伝送線と同様の性質を持っていると見なすことができる。この10本構成の信号伝送配線において、ヒータ信号伝送線ペアHH及び光学素子信号伝送線ペアOO以外の信号伝送線ペアは、隣接する対応信号伝送線で構成する。ライト信号伝送線ペアWWとリード信号伝送線ペアRRとの間には、ヒータ信号伝送線Hもしくは光学素子信号伝送線Oの少なくとも1本が配線される。また、ライト信号伝送線ペアWWと接触センサ信号伝送線ペアSSとの間には、ヒータ信号伝送線Hもしくは光学素子信号伝送線Oの少なくとも1本が配線される。   In terms of crosstalk and heat balance, the signal transmission line to the optical element can be regarded as having the same properties as the heater element signal transmission line. In the ten signal transmission lines, the signal transmission line pairs other than the heater signal transmission line pair HH and the optical element signal transmission line pair OO are configured by adjacent corresponding signal transmission lines. At least one of the heater signal transmission line H or the optical element signal transmission line O is wired between the write signal transmission line pair WW and the read signal transmission line pair RR. Further, at least one of the heater signal transmission line H or the optical element signal transmission line O is wired between the write signal transmission line pair WW and the contact sensor signal transmission line pair SS.

ヒート・バランスの点から、左右半数の信号伝送線束がライト信号伝送線W、ヒータ信号伝送線H及び光学素子信号伝送線Oのみでは構成されておらず、それら以外のリード信号伝送線Rあるいは接触センサ信号伝送線Sを含む。本例において、信号伝送配線は、左右それぞれ半数(5本)の信号伝送線束に分岐される。図8の全てのレイアウトは中央に接触センサ信号伝送線ペアSSを有する。このペアは、異なる信号伝送線束に分岐する。従って、双方の信号伝送線束に接触センサ信号伝送線Sが含まれる。また、ヘッド・スライダの接続パッド列において、接触センサ・パッドは両端に位置する。   From the viewpoint of heat balance, the signal transmission line bundle on the left and right half is not composed of only the write signal transmission line W, the heater signal transmission line H, and the optical element signal transmission line O, and other read signal transmission lines R or contacts. A sensor signal transmission line S is included. In this example, the signal transmission wiring is branched into half (five) signal transmission line bundles on the left and right. All layouts in FIG. 8 have a contact sensor signal transmission line pair SS in the center. This pair branches into different signal transmission line bundles. Therefore, the contact sensor signal transmission line S is included in both signal transmission line bundles. In the connection pad row of the head slider, the contact sensor pads are located at both ends.

図8に示すレイアウトにおいて、上6つのレイアウトにおけるライト信号伝送線ペアWWとリード信号伝送線ペアRRとの間の距離が最も大きい。つまり、これらペアが信号伝送線束の両端にあり、これらの間に全ての他の信号伝送線が配線されている。この点において、これらのレイアウトは他のレイアウトよりも好ましい。また、ライト信号伝送線ペアWWとリード信号伝送線ペアRRとの間、さらに、ライト信号伝送線ペアWWと接触センサ信号伝送線ペアとの間には、ヒータ信号伝送線H及び光学素子信号伝送線Oの内の2本以上の信号伝送線が配線されていることが好ましい。上記6つのレイアウトはこの条件も満たしている。   In the layout shown in FIG. 8, the distance between the write signal transmission line pair WW and the read signal transmission line pair RR in the upper six layouts is the largest. That is, these pairs are at both ends of the signal transmission line bundle, and all other signal transmission lines are wired between them. In this respect, these layouts are preferred over other layouts. Further, between the write signal transmission line pair WW and the read signal transmission line pair RR and between the write signal transmission line pair WW and the contact sensor signal transmission line pair, the heater signal transmission line H and the optical element signal transmission are provided. It is preferable that two or more signal transmission lines of the line O are wired. The above six layouts also satisfy this condition.

ヒータ信号伝送線ペアHHの1本、及び/もしくは、光学素子信号伝送線ペアOOの1本がグランド線である場合、そのグランド線はリード信号伝送線ペアRRに隣接する信号伝送線であることが好ましい。これは上記8本の信号伝送配線と同様である。もし、ヒータ信号伝送線ペアHHと光学素子信号伝送線ペアOOとが、グランド線を共有する場合、そのグランド線はヒータ信号伝送線及び光学素子信号伝送線のいずれでもあると見なすことができる。この構成においては、9本の信号伝送線で信号伝送配線が構成されるため、半分に分岐した一方の信号伝送線束は4本(半数)の信号伝送線からなり、もう一方の信号伝送線束は5本(半数)の信号伝送線からなる。   When one heater signal transmission line pair HH and / or one optical element signal transmission line pair OO is a ground line, the ground line is a signal transmission line adjacent to the read signal transmission line pair RR. Is preferred. This is the same as the above eight signal transmission lines. If the heater signal transmission line pair HH and the optical element signal transmission line pair OO share a ground line, the ground line can be regarded as both a heater signal transmission line and an optical element signal transmission line. In this configuration, since the signal transmission wiring is composed of nine signal transmission lines, one signal transmission line bundle branched in half is composed of four (half) signal transmission lines, and the other signal transmission line bundle is It consists of five (half) signal transmission lines.

図9は、リード素子、ライト素子、ヒータ素子、接触センサ素子そしてピエゾ素子を有するHGA上への信号伝送配線のレイアウトの好ましい例を示している。ピエゾ素子はヘッド・スライダ15上あるいはサスペンション161上においてヘッド・スライダ15の近傍に配置される。一つもしくは二つのピエゾ素子の伸縮動作により、ヘッド・スライダ15の位置を微調整することができる。図9において、ピエゾ信号伝送線はPで示されており、一方がグランド線である場合、その線はPgで示されている。   FIG. 9 shows a preferred example of a layout of signal transmission wiring on an HGA having a read element, a write element, a heater element, a contact sensor element, and a piezo element. The piezo element is disposed on the head slider 15 or on the suspension 161 in the vicinity of the head slider 15. The position of the head slider 15 can be finely adjusted by extending or contracting one or two piezoelectric elements. In FIG. 9, the piezo signal transmission line is indicated by P, and when one is a ground line, the line is indicated by Pg.

ピエゾ信号伝送線ペアPPは高周波(小さい時定数)の信号を伝送するため、クロストークの点からはライト信号伝送線と同様の特性を有すると見なすことができる。従って、そのペアとリード信号線ペアRRとの間、さらに、接触センサ信号線ペアSSとの間にはヒータ信号伝送線が配線されていることが好ましい(上側二つのレイアウト例)。   Since the piezo signal transmission line pair PP transmits a high-frequency (small time constant) signal, it can be regarded as having the same characteristics as the write signal transmission line in terms of crosstalk. Accordingly, it is preferable that heater signal transmission lines are wired between the pair and the read signal line pair RR and further between the contact sensor signal line pair SS (upper two layout examples).

ピエゾ信号線ペアの一方がグランド線Pgである場合、そのグランド線Pgからのクロストークは小さい。従って、図9の下側二つのレイアウト例のように、グランド線と接触センサ信号伝送線ペアSSとは隣接することが設計上許容されうる。レイアウトにおいても、リード信号伝送線ペアRRとピエゾ信号伝送線ペアPPgとの間には、ヒータ信号伝送線Hを配線する。なお、ピエゾ信号伝送線Pからのクロストークが小さいのであれば、ピエゾ信号伝送線Pと接触センサ信号線ペアSSとを隣接配置してもよい。   When one of the piezo signal line pairs is the ground line Pg, the crosstalk from the ground line Pg is small. Therefore, as in the two layout examples on the lower side of FIG. 9, the ground line and the contact sensor signal transmission line pair SS can be allowed to be adjacent in design. Also in the layout, the heater signal transmission line H is wired between the read signal transmission line pair RR and the piezo signal transmission line pair PPg. If the crosstalk from the piezo signal transmission line P is small, the piezo signal transmission line P and the contact sensor signal line pair SS may be arranged adjacent to each other.

ピエゾ信号伝送線ペアPP、PPgを流れる電流は小さく、設計において発熱を考慮する必要はない。そのため、ヒート・バランスの点においては、ピエゾ信号伝送線ペアPP、PPgは、リード信号伝送線ペアRR及び接触センサ信号線ペアSSと同様の特性を有すると見なすことができる。分岐した信号伝送線束のそれぞれは、リード信号伝送線R、ヒータ信号伝送線H及びピエゾ信号伝送線P、Pgのいずれか1本を少なくとも含む。図9に示す信号配線レイアウトは、10本の信号伝送線束が2つの5本の信号伝送線束に分岐する構成を前提としている。図9の各レイアウトにおいて、右半分及び左半分の信号伝送線に、リード信号伝送線R、ヒータ信号伝送線H及びピエゾ信号伝送線P、Pgのいずれか1本が含まれている。   The current flowing through the piezo signal transmission line pair PP, PPg is small, and it is not necessary to consider heat generation in the design. Therefore, in terms of heat balance, the piezo signal transmission line pair PP, PPg can be regarded as having the same characteristics as the read signal transmission line pair RR and the contact sensor signal line pair SS. Each of the branched signal transmission line bundles includes at least one of the read signal transmission line R, the heater signal transmission line H, and the piezo signal transmission lines P and Pg. The signal wiring layout shown in FIG. 9 is based on the premise that ten signal transmission line bundles are branched into two five signal transmission line bundles. In each layout of FIG. 9, one of the read signal transmission line R, the heater signal transmission line H, and the piezo signal transmission lines P and Pg is included in the right and left half signal transmission lines.

以上、本発明を好ましい実施形態を例として説明したが、本発明が上記の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上記の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。本発明は、HDD以外のディスク・ドライブ装置に適用してもよい。信号伝送線束は、ヘッド・スライダ近傍において半分に分岐することが好ましいが、一方の束の信号伝送線数が他方の束の信号伝送線数より2本以上多い構成も可能である。ピエゾ素子と光学素子の双方が実装されたHGAにおいても本発明を適用することができる。   As mentioned above, although this invention was demonstrated taking preferable embodiment as an example, this invention is not limited to said embodiment. A person skilled in the art can easily change, add, and convert each element of the above-described embodiment within the scope of the present invention. The present invention may be applied to disk drive devices other than HDDs. The signal transmission line bundle is preferably branched in half near the head slider, but a configuration in which the number of signal transmission lines in one bundle is two or more than the number of signal transmission lines in the other bundle is also possible. The present invention can also be applied to an HGA in which both a piezo element and an optical element are mounted.

1 ハードディスク・ドライブ、11 磁気ディスク、12 ベース
13 スピンドル・モータ、15 ヘッド・スライダ、16 アクチュエータ
17 回動軸、18 フレキシブルプリンテッド・サーキット
19 ボイス・コイル・モータ、151 ライト素子、152 リード素子
153 ヒータ素子、154 接触センサ素子、160 ヘッド・ジンバル・アセンブリ
161 サスペンション、162 アーム、163 ボイス・コイル
164 信号伝送配線、169 マルチコネクタ・タブ、181 コネクタ
IC182 プリアンプ、611 ジンバル、612 ロード・ビーム
613 マウント・プレート、614 テイル部、621 ヒンジ部
641、642 分岐した信号伝送線束、643 信号伝送線束
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hard disk drive, 11 Magnetic disk, 12 Base 13 Spindle motor, 15 Head slider, 16 Actuator 17 Rotating shaft, 18 Flexible printed circuit 19 Voice coil motor, 151 Write element, 152 Read element 153 Heater Element, 154 Contact sensor element, 160 Head gimbal assembly 161 Suspension, 162 Arm, 163 Voice coil 164 Signal transmission wiring, 169 Multi-connector tab, 181 Connector IC182 Preamplifier, 611 Gimbal, 612 Load beam 613 Mount plate , 614 tail part, 621 hinge part 641, 642 branched signal transmission line bundle, 643 signal transmission line bundle

Claims (11)

サスペンションと、
前記サスペンション上に固定されているヘッド・スライダと、
前記ヘッド・スライダに形成されている、ライト素子、リード素子、ヒータ素子そして接触センサ素子と、
前記ヘッド・スライダの信号を伝送する、並んで配列された複数の信号伝送線からなる信号伝送線束と、を有し、
前記信号伝送線束は、
隣接するリード信号伝送線からなるリード信号伝送線ペアと、
隣接するライト信号伝送線からなるライト信号伝送線ペアと、
ヒータ信号伝送線ペアと、
接触センサ信号伝送線ペアと、を有し、
前記ライト信号伝送線ペアと前記リード信号伝送線ペアとの間に、前記ヒータ信号伝送線ペアの少なくとも1本のヒータ信号伝送線が配線されており、
前記ライト信号伝送線ペアと前記接触センサ信号伝送線ペアとの間に、前記ヒータ信号伝送線ペアの少なくとも1本のヒータ信号伝送線が配線され、
前記信号伝送線束は、第1の分岐信号伝送線束と第2の分岐信号伝送線束とに分岐し、
前記第1の分岐信号伝送線束と前記第2の分岐信号伝送線束のそれぞれは、前記リード信号伝送線及び前記接触センサ信号伝送線の内の少なくとも1本を含む、
ヘッド・ジンバル・アセンブリ。
Suspension,
A head slider fixed on the suspension;
A write element, a read element, a heater element and a contact sensor element formed on the head slider;
A signal transmission line bundle comprising a plurality of signal transmission lines arranged side by side for transmitting the signal of the head slider;
The signal transmission line bundle is:
A lead signal transmission line pair consisting of adjacent lead signal transmission lines;
A pair of write signal transmission lines consisting of adjacent write signal transmission lines;
A heater signal transmission line pair;
A contact sensor signal transmission line pair, and
The light and signal transmission line pair between the read signal transmission line pair, and at least one heater signal transmission line is a wiring of the heater signal transmission line pair,
Between the contact sensor signal transmission line pair and the write signal transmission line pair, at least one heater signal transmission line of the heater signal transmission line pair are wired,
The signal transmission line bundle branches into a first branch signal transmission line bundle and a second branch signal transmission line bundle,
Each of the first branch signal transmission line bundle and the second branch signal transmission line bundle includes at least one of the lead signal transmission line and the contact sensor signal transmission line,
Head gimbal assembly.
サスペンションと、
前記サスペンション上に固定されているヘッド・スライダと、
前記ヘッド・スライダに形成されている、ライト素子、リード素子、ヒータ素子、接触センサ素子、そして熱アシスト記録の光を生成する光学素子と、
前記ヘッド・スライダの信号を伝送する、配列された複数の信号伝送線からなる信号伝送線束と、を有し、
前記信号伝送線束は、
隣接するリード信号伝送線からなるリード信号伝送線ペアと、
隣接するライト信号伝送線からなるライト信号伝送線ペアと、
ヒータ信号伝送線ペアと、
光学素子信号伝送線ペアと、
接触センサ信号伝送線ペアと、を有し、
前記ライト信号伝送線ペアと前記リード信号伝送線ペアとの間に、前記ヒータ信号伝送線ペア及び前記光学素子信号伝送線ペアの内の少なくとも1本の信号伝送線が配線されており、
前記ライト信号伝送線ペアと前記接触センサ信号伝送線ペアとの間に、前記ヒータ信号伝送線ペア及び前記光学素子信号伝送線ペアの内の少なくとも1本の信号伝送線が配線され、
前記信号伝送線束は、第1の分岐信号伝送線束と第2の分岐信号伝送線束とに分岐し、
前記第1の分岐信号伝送線束と前記第2の分岐信号伝送線束のそれぞれは、前記リード信号伝送線及び前記接触センサ信号伝送線の内の少なくとも1本を含む、
ヘッド・ジンバル・アセンブリ。
Suspension,
A head slider fixed on the suspension;
A write element, a read element, a heater element, a contact sensor element, and an optical element that generates heat-assisted recording light formed on the head slider;
A signal transmission line bundle comprising a plurality of signal transmission lines arranged to transmit the signal of the head slider,
The signal transmission line bundle is:
A lead signal transmission line pair consisting of adjacent lead signal transmission lines;
A pair of write signal transmission lines consisting of adjacent write signal transmission lines;
A heater signal transmission line pair;
An optical element signal transmission line pair;
A contact sensor signal transmission line pair, and
Between the write signal transmission line pair and the read signal transmission line pair, at least one signal transmission line of the heater signal transmission line pair and the optical element signal transmission line pair is wired.
Between the light signal transmission line pair and the contact sensor signal transmission line pair, at least one signal transmission line of the heater signal transmission line pair and the optical element signal transmission line pair is wired .
The signal transmission line bundle branches into a first branch signal transmission line bundle and a second branch signal transmission line bundle,
Each of the first branch signal transmission line bundle and the second branch signal transmission line bundle includes at least one of the lead signal transmission line and the contact sensor signal transmission line.
Head gimbal assembly.
前記接触センサ信号伝送線ペアは、隣接する接触センサ信号伝送で構成されている、
請求項1または2に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
The contact sensor signal transmission line pair is composed of adjacent contact sensor signal transmission lines ,
The head gimbal assembly according to claim 1 or 2.
前記接触センサ信号伝送線ペアは、隣接する接触センサ信号伝送線で構成され、
前記第1の分岐信号伝送線束は、前記接触センサ信号伝送線の一方を含み、
前記第2の分岐信号伝送線束は、前記接触センサ信号伝送線の他方を含み、
前記ヘッド・スライダの端面に前記複数の信号伝送線の接続パッドが配列されており、前記接触センサ素子の二つの接続パッドが両端に配置されている、
請求項1または2に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
The contact sensor signal transmission line pair is composed of adjacent contact sensor signal transmission lines,
The first branch signal transmission line bundle includes one of the contact sensor signal transmission lines,
The second branch signal transmission line bundle includes the other of the contact sensor signal transmission lines,
The connection pads of the plurality of signal transmission lines are arranged on the end surface of the head slider, and the two connection pads of the contact sensor element are arranged at both ends.
The head gimbal assembly according to claim 1 or 2.
前記第1の分岐信号伝送線束と前記第2の分岐信号伝送線束のそれぞれは、前記信号伝送線束の半数の信号伝送線から構成されている、
請求項4に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
Wherein each of the first branch signal Den Ochsen flux and the second branch signals Den Ochsen bundle, and a signal transmission line of half of the signal Den Ochsen bundle,
The head gimbal assembly according to claim 4.
前記信号伝送線束は、ピエゾ素子の信号を伝送するピエゾ信号伝送線のペアを含み、
前記ピエゾ信号伝送線ペアと前記リード信号伝送線ペアとの間に、前記ヒータ信号伝送線ペアの少なくとも1本のヒータ信号伝送線が配線されている、
請求項1に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
The signal transmission line bundle includes a pair of piezoelectric signal transmission lines for transmitting a signal of a piezoelectric element,
Between the read signal transmission line pair and the piezoelectric signal transmission line pair, at least one heater signal transmission line of the heater signal transmission line pair are wired,
The head gimbal assembly according to claim 1.
記第1の分岐信号伝送線束と前記第2の分岐信号伝送線束のそれぞれは、前記リード信号伝送線、前記接触センサ信号伝送線、前記ピエゾ信号伝送線の内の少なくとも1本を含む、
請求項6に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
Before SL Each of the first branch signal Den Ochsen flux and the second branch signals Den Ochsen bundle, the lead signal transmission line, the contact sensor signal transmission line, at least one of said piezoelectric signal transmission line including,
The head gimbal assembly according to claim 6.
前記ヘッド・スライダの端面に前記複数の信号伝送線の接続パッドが配列されており、前記接触センサ素子の二つの接続パッドが両端に配置されている、
請求項1、2または3記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
The connection pads of the plurality of signal transmission lines are arranged on the end surface of the head slider, and the two connection pads of the contact sensor element are arranged at both ends.
The head gimbal assembly according to claim 1, 2 or 3.
前記ヒータ信号伝送線ペアの一方のヒータ信号伝送線はグランド線であり、
前記グランド線は前記リード信号伝送線ペアに隣接している、
請求項1に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
One heater signal transmission line of the heater signal transmission line pair is a ground line,
The ground line is adjacent to the lead signal transmission line pair;
The head gimbal assembly according to claim 1.
前記ヒータ信号伝送線ペアの一方の信号伝送線及び/もしくは前記光学素子信号伝送線ペアの一方の信号伝送線はグランド線であり、
前記グランド線は前記リード信号伝送線ペアに隣接している、
請求項2に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
One signal transmission line of the heater signal transmission line pair and / or one signal transmission line of the optical element signal transmission line pair is a ground line,
The ground line is adjacent to the lead signal transmission line pair;
The head gimbal assembly according to claim 2.
記第1の分岐信号伝送線束と前記第2の分岐信号伝送線束のそれぞれは、前記信号伝送線束の半数の信号伝送線から構成され、
前記第1の分岐信号伝送線束と前記第2の分岐信号伝送線束のそれぞれは、前記リード信号伝送線及び前記接触センサ信号伝送線の内の少なくとも1本を含み、
前記ヘッド・スライダの端面に前記複数の信号伝送線の接続パッドが配列されており、前記接触センサ素子の二つの接続パッドが両端に配置されている、
請求項1、2または3に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
Before SL Each of the first branch signal Den Ochsen flux and the second branch signals Den Ochsen bundle, which consists of a signal transmission line of half of the signal Den Ochsen bundle,
Wherein each of the first branch signal Den Ochsen flux and the second branch signals Den Ochsen bundle includes at least one of said read signal transmission line and the contact sensor signal transmission lines,
The connection pads of the plurality of signal transmission lines are arranged on the end surface of the head slider, and the two connection pads of the contact sensor element are arranged at both ends.
The head gimbal assembly according to claim 1, 2 or 3.
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